WO2005081611A1

WO2005081611A1 - Support pin holding device and substrate supporting device

Info

Publication number: WO2005081611A1
Application number: PCT/JP2005/002327
Authority: WO
Inventors: Takeshi Kondo; Akinobu Ito; Shinsuke Suhara
Original assignee: Fuji Machine Mfg. Co., Ltd.
Priority date: 2004-02-20
Filing date: 2005-02-16
Publication date: 2005-09-01
Also published as: CN100556269C; CN1922949A; JP4499096B2; JPWO2005081611A1

Abstract

A support pin holding device capable of rapidly holding and releasing a support pin at low cost. A holding device body (360) openably holds a holding claw group (362) by a liftably held forward/backward movement member (364). When the holding device body (360) is lowered, the support pin (250) is fitted into a fitting hole (386) and engaged with the forward/backward movement member (364) to push the member from a non-acting position to near an acting position. By the relative movement of a motion converting mechanism (430) to the holding device body (360), the motion converting mechanism closes the holding claw group (362) to hold the support pin (250), and at a locking device (432), engagement parts (482) and (484) are moved to locking positions. When the holding device body (360) rises, the engagement parts (482) and (484) are engaged with locking surfaces to hold the forward/backward movement member (364) at the acting position, and when the next holding device body (360) is lowered, the support pin (250) stops the lowering of the forward/backward movement member (364) and pushes the member to near the acting position. Thus, the engagement of the engagement parts (482) and (484) is released, and when the holding device body (360) rises, the forward/backward movement member (364) moves to the non-acting position so as to open the holding claw group (362).

Description

明細書 Specification

支持ピン把持装置および基板支持装置 Support pin holding device and substrate support device

技術分野 Technical field

[0001 ] 本発明は、プリント基板等の板状部材を支持する支持ピンをピン支持部材に取り付け、取り外す支持ピン把持装置に関するものであり、特に、支持ピンを把持，開放する複数の支持ピン把持部材を開閉させる開閉装置の改良に関するものである。 The present invention relates to a support pin gripping device for attaching and detaching a support pin for supporting a plate-like member such as a printed circuit board to and from a pin support member, and more particularly to a plurality of support pins for gripping and releasing the support pin. The present invention relates to an improvement of an opening and closing device for opening and closing a gripping member.

背景技術 Background art

[0002] 複数の支持ピン把持部材を備え、それら支持ピン把持部材の開閉により支持ピンを把持，開放する支持ピン把持装置は、例えば、特許文献 1に記載されているように既に知られている。この支持ピン把持装置は、一対の支持ピン把持部材を備え、それら支持ピン把持部材がバキュームシリンダを駆動源とする開閉装置によって開閉させられることにより支持ピンを把持，開放するようにされている。 A support pin gripping device that includes a plurality of support pin gripping members and grips and releases the support pins by opening and closing the support pin gripping members is already known, for example, as described in Patent Document 1 ing. This support pin gripping device includes a pair of support pin gripping members, and the support pin gripping members are opened and closed by an opening / closing device driven by a vacuum cylinder, so as to grip and release the support pins. I have.

特許文献 1 ：特開 2 0 0 1 - 1 1 1 2 9 6号公報 Patent document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-1-1111296

発明の開示 Disclosure of the invention

発明が解決しょうとする課題 Problems to be solved by the invention

[0003] しかしながら、この支持ピン把持装置においては、支持ピン把持部材の開閉のための専用のァクチユエータたるバキュームシリンダおよびそのバキュ一ムシリンダへの負圧の供給，遮断を制御する制御装置が必要であり、コス卜が高くなる。また、支持ピンの把持，開放が制御装置からの指令信号に基づいて電気的に制御されるため、信号の授受，開閉装置の作動確認等が行われる分、支持ピン把持部材による支持ピンの把持，開放に要する時間が長くなる。 [0003] However, this support pin gripping device requires a vacuum cylinder, which is a dedicated actuator for opening and closing the support pin gripping member, and a control device that controls the supply and cutoff of negative pressure to the vacuum cylinder. Yes, the cost is high. In addition, since the holding and opening of the support pins are electrically controlled based on the command signal from the control device, signals are transmitted and received, and the operation of the opening and closing device is checked. The time required for gripping and releasing becomes longer.

本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、安価でかつ支持ピンの把持，開放を迅速に行うことができる支持ピン把持装置の提供を課題とする。課題を解決するための手段 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a support pin gripping device that is inexpensive and can quickly grip and release the support pin. Means for solving the problem

[0004] 上記の課題を解決するために、本発明は、ピン支持部材に取り付けるべき支持ピンを把持する支持ピン把持装置を、（a)把持装置本体と、（b)その把持装置本体により、相対移動可能に、直接または間接に保持された複数の支持ピン把持部材から成る開閉可能な把持部材群と、（c)前記把持装置本体によリ作動可能に保持され、前記把持装置本体と前記ピン支持部材との相対移動に伴ってその把持装置本体と相対移動する係合部材との係合により、非作用位置から作用位置に向かって作動させられる作動部材と、（d)その作動部材と機械的に連動し、その作動部材が 1回作動させられる毎に、前記把持部材群を開状態から閉状態へと閉状態から開状態へとに交互に切リ換える切換装置とを含むものとしたことを特徴とする。 [0004] In order to solve the above problems, the present invention provides a support pin gripping device for gripping a support pin to be attached to a pin support member, comprising: (a) a gripping device main body; and (b) a gripping device main body. An openable and closable gripping member group comprising a plurality of support pin gripping members held directly or indirectly so as to be relatively movable; and (c) a gripping device main body which is operably held by the gripping device main body. An actuating member that is actuated from a non-acting position to an actuating position by engagement of the gripping device body with an engaging member that relatively moves with the relative movement with the pin support member; A switching device that is mechanically interlocked and alternately switches the gripping member group from an open state to a closed state from a closed state to an open state each time the operating member is operated once. It is characterized by having.

発明の効果 The invention's effect

[0005] 支持ピン把持部材は、把持装置本体により直接保持されてもよく、例えば作動部材に保持されて、把持装置本体により間接に保持されてもよい。また、作動部材は、回動軸線まわりに回動する回動部材でもよく、軸方向に進退する進退部材でもよい。さらに、把持部材群を開閉させるために把持装置本体を移動させてもよく、ピン支持部材を移動させてもよく、両方を移動させてもよい。 [0005] The support pin gripping member may be directly held by the gripping device main body, for example, may be held by an operating member and indirectly held by the gripping device main body. Further, the operating member may be a turning member that turns around the turning axis, or an advancing / retreating member that moves back and forth in the axial direction. Further, the gripping device body may be moved to open and close the gripping member group, the pin support member may be moved, or both may be moved.

把持装置本体とピン支持部材との相対移動に伴つて作動部材と係合部材とが係合し、作動部材が非作用位置から作用位置に向かって作動させられ、その作動と機械的に連動して、把持部材群が開閉させられ、支持ピンを把持，開放する。支持ピン把持装置が支持ピンをピン支持部材に取り付け、取り外すためには、支持ピン把持装置とピン支持部材との相対移動が不可欠であり、その不可欠の相対移動の利用により支持ピンを把持，開放することができ、支持ピン把持部材の開閉のために専用のァクチユエータを設けなくてもよいのであり、支持ピン把持装置を安価に構成することができる。また、支持ピン把持部材の開閉のために、制御装置による電気的な制御が不要であり、支持ピンを迅速に把持，開放することができる。発明の態様 The actuating member and the engaging member engage with the relative movement of the gripping device main body and the pin support member, and the actuating member is operated from the non-operating position toward the operating position, and is mechanically interlocked with the operation. Then, the gripping member group is opened and closed, and the support pin is gripped and released. In order for the support pin gripping device to attach and detach the support pin to and from the pin support member, relative movement between the support pin gripping device and the pin support member is indispensable, and the support pin is gripped by utilizing the indispensable relative movement. Since it is possible to open the support pin holding member, there is no need to provide a dedicated actuator for opening and closing the support pin holding member, and the support pin holding device can be configured at low cost. Also, since the support pin gripping member is opened and closed, electrical control by the control device is not required, and the support pin can be quickly gripped and released. Aspects of the invention

[0006] 以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、少なくとも、請求の範囲に記載された発明である「本発明」ないし「本願発明」を含むが、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。 [0006] Hereinafter, an invention recognized as being claimable in the present application (hereinafter, may be referred to as a "claimable invention". The claimable invention is at least the invention described in the claims. The present invention includes the "invention" or "the invention of the present application, but may also include a subordinate invention of the present invention, a superordinate concept of the present invention, or an invention of another concept.) As in the case of the claims, each aspect is divided into sections, each section is numbered, and the number of another section is cited as necessary. This is for the purpose of facilitating the understanding of the claimable invention, and is not intended to limit the combination of the components constituting the claimable invention to those described in the following items. In other words, the claimable invention should be interpreted in consideration of the description attached to each item, the description of the embodiment, and the like, and other components are added to the embodiments of each item as long as the interpretation is followed. The embodiments and the embodiments in which the constituent elements are deleted from the embodiments of the respective sections can also be one embodiment of the claimable invention.

[0007] なお、以下の各項において、（1)項が請求項 1に相当し、（2)項が請求項 2 に、（3)項が請求項 3に、（4)項が請求項 4に、（5)項が請求項 5に、（6)項が請求項 6に、（7)項が請求項 7に、（8)項が請求項 8に、（9)項が請求項 9に、 (10)項が請求項 1 0に、 (11)項が請求項 1 1に、 (12)項が請求項 1 2に、 (13)項が請求項 1 3に、 (14)項が請求項 1 4に、 (15)項が請求項 1 5に、 (16)項が請求項 1 6に、（17)項が請求項 1 7に、（50)項の一部が請求項 1 8 に、（50)項の残りの部分が請求項 1 9に、（50)項と（40)項とを合わせたものが請求項 2 0にそれぞれ相当する。 [0007] In the following items, (1) corresponds to claim 1, (2) to claim 2, (3) to claim 3, and (4) to claim (4), (5) to claim 5, (6) to claim 6, (7) to claim 7, (8) to claim 8, and (9) to claim (9), (10) to claim 10, (11) to claim 11, (12) to claim 12, (13) to claim 13, (14) Claim to claim 14, (15) to claim 15, (16) to claim 16, (17) to claim 17, and part of (50) to claim Claim 18 corresponds to claim 19 with the remaining part of (50) and claim 20 with the combination of (50) and (40).

[0008] ( 1 ) ピン支持部材に取り付けるべき支持ピンを把持する支持ピン把持装置であって、 (1) A support pin holding device for holding a support pin to be attached to a pin support member,

把持装置本体と、 A gripping device main body;

その把持装置本体により、相対移動可能に、直接または間接に保持された複数の支持ピン把持部材から成る開閉可能な把持部材群と、 An openable / closable gripping member group including a plurality of supporting pin gripping members held directly or indirectly so as to be relatively movable by the gripping device main body;

前記把持装置本体によリ作動可能に保持され、前記把持装置本体と前記ピン支持部材との相対移動に伴ってその把持装置本体と相対移動する係合部材との係合により、非作用位置から作用位置に向かって作動させられる作動部材と、 The gripping device body is operably held by the gripping device body, and the gripping device body and the pin An operating member which is operated from the non-operating position toward the operating position by engagement of the gripping device main body with the engaging member which moves relatively with the relative movement with the support member;

その作動部材と機械的に連動し、その作動部材が 1回作動させられる毎に、前記把持部材群を開状態から閉状態へと閉状態から開状態へとに交互に切リ換える切換装置と A switching device that is mechanically interlocked with the operating member and alternately switches the gripping member group from an open state to a closed state from a closed state to an open state each time the operating member is operated once.

を含む支持ピン把持装置。 And a support pin gripping device.

( 2 ) 前記把持部材群と前記支持ピンとが、把持部材群による支持ピンの把持が可能な位置へ相対移動するのに伴い、支持ピンと係合し、支持ピンによリ前記非作用位置から前記作用位置に向かって移動させられる位置に前記作動部材が設けられており、支持ピンが前記係合部材として機能する（1)項に記載の支持ピン把持装置。 (2) As the gripping member group and the support pin relatively move to a position where the gripping member group can grip the support pin, the gripping member group and the support pin are engaged with the support pin, and the support pin is moved from the inoperative position. The support pin holding device according to (1), wherein the operating member is provided at a position where the operating member is moved toward the operation position, and the support pin functions as the engagement member.

支持ピンは、例えば、その先端部において作動部材に係合するようにしてもよく、先端部以外の部分において係合するようにしてもよい。 For example, the support pin may be engaged with the operating member at the distal end thereof, or may be engaged at a portion other than the distal end.

本項に記載の支持ピン把持装置によれば、作動部材が把持対象部材である支持ピンそのものによって作動させられるため、係合部材を支持ピンとは別部材により構成する場合に比較して支持ピン把持装置を簡易化でき、コス卜低減を図り得る。 According to the support pin gripping device described in this section, since the operating member is operated by the support pin itself, which is the member to be gripped, the support pin grips as compared with a case where the engaging member is formed by a member different from the support pin. The apparatus can be simplified and cost can be reduced.

( 3 ) 前記作動部材が前記把持部材群の中央部奥に設けられ、前記把持部材群内に進入した支持ピンの先端部により作動させられる位置に設けられた (2) 項に記載の支持ピン把持装置。 (3) The support pin according to (2), wherein the operating member is provided at the back of the center of the gripping member group, and is provided at a position where the operating member is operated by a tip portion of the support pin that has entered the gripping member group. Gripping device.

「中央部奥」は、中央奥および中央近傍部奥を含む。作動部材は、被作動部を含む全体を把持部材群と同軸に設けてもよく、被作動部を支持ピンの先端部と係合可能な位置に設け、その他の部分は把持部材群の開閉軸線と交差する方向に外して設けてもよい。前者の場合、作動部材は把持部材群の中央奥に設けられ、後者の場合、中央近傍部奥に設けられることとなる。 “Back of center” includes the back of the center and the back near the center. The actuation member may be provided coaxially with the gripping member group, including the actuated portion, the actuated portion is provided at a position engageable with the front end of the support pin, and other portions are opened and closed by the gripping member group. It may be provided in a direction crossing the axis. In the case of the former, the operating member is provided at the back of the center of the gripping member group, and in the case of the latter, it is provided at the back of the vicinity of the center.

本項に記載の支持ピン把持装置によれば、作動部材を把持部材群の中央部奥に設ければよく、支持ピンの先端部以外の部分と係合する場合のように、先端部以外の部分と係合する部分を設けなくてよい。 According to the support pin gripping device described in this section, the operating member may be provided at the back of the center of the gripping member group, and as in the case of engaging with a portion other than the tip of the support pin, It is not necessary to provide a portion that engages with a portion other than the tip portion.

( 4 ) 前記切換装置が、 (4) The switching device is

前記作動部材の運動を前記把持部材群の開閉運動に変換する運動変換機構前記作動部材が前記係合部材との係合により 1回作用位置の近傍へ押された際はその作動部材を前記作用位置に保持し、次にもう 1回押された際はその保持を解除して作動部材が非作用位置へ復帰することを許容する作動部材制御装置と A motion conversion mechanism that converts the motion of the operating member into an opening and closing motion of the gripping member group. When the operating member is pushed to the vicinity of a single action position by engagement with the engaging member, the operating member is moved to the action And an operating member control device that allows the operating member to return to the non-operating position by releasing the holding when the lever is pressed again.

を備えた（1)項ないし (3)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 The support pin gripping device according to any one of (1) to (3), comprising:

把持部材群が開状態に切り換えられた状態において作動部材が非作用位置から作用位置の近傍へ押されれば、把持部材群が閉状態に切り換えられて支持ピンを把持するとともに、作動部材が作用位置に保持されてその閉状態を維持する。そして、次に作動部材が押されて非作用位置へ復帰すれば、把持部材群が開状態に切り換えられて支持ピンを開放する。把持部材群の開状態から閉状態への切換えも、閉状態から開状態への切換えも、作動部材を作用位置の近傍へ押すことによリ行うことができ、把持装置本体とピン支持部材との同じ相対移動動作によって支持ピンの把持と開放とを行うことができる If the operating member is pushed from the non-operating position to the vicinity of the operating position in a state where the gripping member group is switched to the open state, the gripping member group is switched to the closed state and grips the support pin, and the operating member is It is held in the working position and maintains its closed state. Then, when the operating member is pushed back to return to the non-operating position, the gripping member group is switched to the open state to open the support pin. The switching of the gripping member group from the open state to the closed state and the switching from the closed state to the open state can be performed by pushing the operating member to the vicinity of the operating position. The support pin can be gripped and released by the same relative movement of

( 5 ) 前記作動部材制御装置が、前記装置本体と前記作動部材との一方に設けられた係止部材と他方に設けられた被係止部材とを含む係止装置であり、被係止部材が、係止部材によつて係止されることにより前記作動部材を前記作用位置に保持する被係止部と、係止部材を案内し、前記作動部材の 1回の作動に起因する係止部材と被係止部材との相対移動に伴つて係止部材を前記被係止部を係止する係止位置へ導き、次の 1回の相対移動に伴って係止部材による被係止部の係止を解除して係止部材を原位置へ導く案内部とを備えた(5) The operating member control device is a locking device including a locking member provided on one of the device main body and the operating member and a locked member provided on the other, and A member that is locked by a locking member to hold the operating member in the operating position; and a guide that guides the locking member, and an engagement caused by a single operation of the operating member. With the relative movement of the stop member and the locked member, the locking member is guided to the locking position for locking the locked portion, and locked by the locking member with the next relative movement. Guide portion for releasing the locking of the portion and guiding the locking member to the original position.

(4)項に記載の支持ピン把持装置。 The support pin holding device according to the above mode (4).

係止装置を用いれば、被係止部材の形状の選定によリ容易に係止部材の所望の動作を実現することができ、把持装置本体とピン支持部材との相対移動を作動部材の運動に容易に変換することができる。 By using the locking device, the desired operation of the locking member can be easily realized by selecting the shape of the locked member, and the relative movement between the gripping device main body and the pin support member can be achieved. Can be easily converted to the motion of the operating member.

( 6 ) 前記係止部材が、回動軸部とその回動軸部からほぼ直角方向に延び出た一対のアーム部と、それらアーム部の自由端部に設けられた一対の係合部とを備え、回動軸部において前記把持装置本体と前記作動部材との一方に回動可能に保持された回動係止部材であり、前記被係止部材が、互いに共同して前記一対の係合部を案内する一対の案内部を備えた (5)項に記載の支持ピン把持装置。 (6) The locking member includes a rotating shaft, a pair of arms extending substantially perpendicularly from the rotating shaft, and a pair of engaging portions provided at free ends of the arms. A rotation locking member rotatably held at one of the gripping device main body and the operating member at a rotation shaft portion, wherein the locked members cooperate with each other to form the pair of engagement members. The support pin holding device according to item (5), further comprising a pair of guide portions for guiding the joint portion.

回動軸部，一対のアーム部および一対の係合部は一体的に設けられる。本項の支持ピン把持装置によれば、係止部材を構造の簡単なものとすることができる。 The rotating shaft portion, the pair of arm portions, and the pair of engaging portions are provided integrally. According to the support pin gripping device of this mode, the locking member can have a simple structure.

一対の係合部にそれぞれ、ローラを回転可能に設けて回転係合部とし、係合部と案内部との摩擦を軽減させてもよい。 A roller may be rotatably provided on each of the pair of engagement portions to form a rotation engagement portion, and friction between the engagement portion and the guide portion may be reduced.

( 7 ) 前記一対の案内部が、前記作動部材の 2回の作動に伴って前記一対の係合部に前記被係止部を含んで予め設定された周回運動を行わせる形状を有する（6)項に記載の支持ピン把持装置。 (7) The pair of guide portions have a shape that causes the pair of engagement portions to perform a predetermined orbiting motion including the locked portions in accordance with two operations of the operation member ( The support pin holding device according to the item 6).

本項の支持ピン把持装置によれば、係止部材に、被係止部に対する係止と、係止解除との異なる 2種類の動作を、作動部材の 2回の作動に伴って容易に行わせることができる。 According to the support pin gripping device of this paragraph, the locking member can easily perform two types of operations different from the locking to the locked portion and the unlocking with the operation member twice. Can be made.

( 8 ) 前記把持部材群が対称軸に対して軸対称に開閉するものである（1)項ないし（7)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 (8) The support pin gripping device according to any one of (1) to (7), wherein the gripping member group opens and closes symmetrically with respect to an axis of symmetry.

本項の支持ピン把持装置によれば、例えば、軸線が位置決めされた支持ピンを、その位置決めを妨げることなく、把持部材群が把持することができる。また、複数の支持ピン把持部材のうちの一つを閉方向に移動させることにより、残リが閉方向に移動させられるようにすることができる。 According to the support pin gripping device of this mode, for example, the gripping member group can grip the support pin on which the axis is positioned without hindering the positioning. Further, by moving one of the plurality of support pin gripping members in the closing direction, the remaining member can be moved in the closing direction.

把持部材群を軸対称に開閉するものとすることは不可欠ではなく、例えば、支持ピンの被把持部の横断面形状が支持ピンの軸線に対して非対称であリ、例えば、支持対象部材を支持する支持面に対して偏心した形状を有している場合、把持部材群は開閉軸に対して非対称に開閉するものとされる。 ( 9 ) 前記作動部材が軸方向に進退する進退部材である（1)項ないし (8)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 It is not essential that the gripping member group be opened and closed axially symmetrically. For example, the cross-sectional shape of the gripped portion of the support pin is asymmetrical with respect to the axis of the support pin. When the holding member group has an eccentric shape with respect to the supporting surface, the gripping member group opens and closes asymmetrically with respect to the opening and closing axis. (9) The support pin gripping device according to any one of (1) to (8), wherein the operating member is a reciprocating member that reciprocates in an axial direction.

本項の支持ピン把持装置によれば、例えば、作動部材を回動部材とする場合に比較して、支持ピン把持装置を、把持装置本体の軸線と交差する方向においてコンパク卜に構成することができる。 According to the support pin gripping device of this section, for example, the support pin gripping device is compactly configured in a direction intersecting the axis of the gripping device main body as compared with a case where the operating member is a rotating member. can do.

( 1 0 ) 前記作動部材が、前記対称軸上に配設され、その対称軸に沿って進退する進退部材である（8)項に記載の支持ピン把持装置。 (10) The support pin gripping device according to mode (8), wherein the operating member is an advancing / retreating member that is disposed on the symmetry axis and that advances and retreats along the symmetry axis.

本項の支持ピン把持装置の作動部材は、被作動部を含む全体が把持部材群の中央奥に位置し、支持ピン把持装置をよリコンパク卜に構成することができる。 The operating member of the support pin gripping device of this section is entirely located at the center rear of the group of gripping members, including the operated part, and the support pin gripping device can be configured to be more compact.

( 1 1 ) 前記作動部材を把持装置本体に対して前記作用位置から前記非作用位置に向かう向きに付勢する付勢手段を含む (1)項ないし（10)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 (11) The support according to any one of (1) to (10), further including an urging means for urging the operating member toward the gripping device body from the operation position toward the non-operation position. Pin gripping device.

付勢手段は、スプリング等の弾性部材の他、重力を含む。 The biasing means includes gravity in addition to an elastic member such as a spring.

作動部材は、付勢手段の付勢力に杭して非作用位置から作用位置に向かつて作動させられ、付勢手段の付勢によリ非作用位置へ戻される。 The operating member is piled up by the urging force of the urging means, is operated from the non-operation position toward the operation position, and is returned to the non-operation position by the urging of the urging means.

( 1 2 ) 前記付勢手段が、前記作動部材と前記把持装置本体との間に配設された弾性部材を含む (11 )項に記載の支持ピン把持装置。 (12) The support pin gripping device according to (11), wherein the urging means includes an elastic member disposed between the operating member and the gripping device main body.

本項の支持ピン把持装置によれば、弾性部材の弾性力によリ作動部材を確実にかつ迅速に非作用位置に復帰させることができる。 According to the support pin gripping device of this mode, the re-actuating member can be reliably and quickly returned to the non-operating position by the elastic force of the elastic member.

( 1 3 ) 前記運動変換機構が、前記複数の支持ピン把持部材のそれぞれに一端部が相対回動可能に連結されるとともに、他端部同士が互いに相対回動可能に連結された複数の連結リンクと、それら連結リンクの前記他端部を前記進退部材の進退方向には移動可能であるがその進退方向と交差する方向には移動不能に案内する案内手段とを含む (9)項ないし（12)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 (13) The motion conversion mechanism includes a plurality of support pin gripping members each having one end connected to be relatively rotatable and the other end being connected to each other so as to be rotatable relative to each other. And linking means for guiding the other end of the link in the direction of movement of the member but not in the direction intersecting the direction of movement of the member. 20. The support pin gripping device according to any one of to (12).

本項の支持ピン把持装置によれば、複数の支持ピン把持部材を一斉に移動させることができる。また、複数の支持ピン把持部材の一つに開閉動作を行わせれば、連結リンクを介して他の支持ピン把持部材にも開閉動作を行わせることができる。複数の支持ピン把持部材および複数の連結リンクを軸対称に構成すれば、複数の支持ピン把持部材を軸対称に移動させ、把持部材群を軸対称に開閉させることができる。 According to the support pin gripping device of this mode, a plurality of support pin gripping members can be moved simultaneously. Also, one of the plurality of support pin gripping members is opened and closed. By doing so, the opening / closing operation can be performed on other support pin gripping members via the connection link. If the plurality of support pin gripping members and the plurality of connection links are configured to be axially symmetric, the plurality of support pin gripping members can be moved axially symmetrically, and the gripping member group can be opened and closed axially symmetrically.

( 1 4 ) 支持ピンが前記係合部材として機能し、前記進退部材が前記支持ピンと嵌合して実質的に支持ピンの傾きを防止する嵌合穴を備え、前記複数の支持ピン把持部材が、それぞれの自由端部において前記支持ピンにその支持ピンの相対的な傾きを許容する状態で係合する（9)項ないし（13)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 (14) The support pin functions as the engagement member, the advance / retreat member includes a fitting hole that fits with the support pin to substantially prevent the support pin from tilting, and the plurality of support pin grips are provided. The support pin gripping device according to any one of the above modes (9) to (13), wherein the member is engaged with the support pin at each free end thereof in such a manner as to allow a relative inclination of the support pin.

嵌合穴との嵌合により支持ピンの心出しが為されるとともに、支持ピン把持部材が支持ピンを、心出しが為された状態で把持することができる。心出しが為されることにより、支持ピンをピン支持部材等の予め設定された位置に正確に配置することができる。 The support pin is centered by the fitting with the fitting hole, and the support pin holding member can grip the support pin in the centered state. By centering, the support pin can be accurately arranged at a preset position such as a pin support member.

進退部材が支持ピンと嵌合して実質的に支持ピンの傾きを防止する嵌合穴を備えたものである場合には、上記のように支持ピンの位置決めは嵌合穴との嵌合によつて行われるため、支持ピン把持部材は支持ピンの嵌合穴からの離脱を防止すればよく、 1つとすることも可能である。この場合には、支持ピン把持部材は「把持」はしないため、離脱防止部材と称すべきものとなる When the advancing / retreating member has a fitting hole that fits with the support pin and substantially prevents the support pin from being tilted, the positioning of the support pin is performed by fitting with the fitting hole as described above. Therefore, the support pin gripping member only needs to prevent the support pin from being detached from the fitting hole, and it is also possible to use one support pin. In this case, the support pin gripping member does not “grip”, so it should be called a detachment prevention member.

( 1 5 ) 前記作動部材が、前記把持装置本体に軸方向に進退可能に嵌合された進退部材であり、前記複数の支持ピン把持部材がその進退部材に相対移動可能に保持される一方、前記把持装置本体に、進退部材の後退に伴って前記複数の支持ピン把持部材の少なくとも 1つに係合することによりその少なくとも 1っを閉方向に移動させる作用部が設けられ、その作用部が前記運動変換機構の少なくとも一部を構成する (4)項に記載の支持ピン把持装置。 (15) The operating member is an advance / retreat member fitted to the gripping device main body so as to be able to advance / retreat in the axial direction, and the plurality of support pin gripping members are held by the advance / retreat member so as to be relatively movable. The gripping device main body is provided with an operating portion that engages at least one of the plurality of support pin gripping members as the advancing / retreating member retracts to move at least one of the plurality of support pin gripping members in the closing direction. Constitutes at least a part of the motion conversion mechanism. The support pin holding device according to the mode (4).

本項の特徴は、前記 (5)項ないし（14)項のいずれかに記載の特徴と組み合わせて採用することができる。 The features of this mode can be adopted in combination with the features described in any one of modes (5) to (14).

( 1 6 ) 前記作用部が、前記把持装置本体により前記進退部材の進退方向と交差する方向に移動可能に設けられ、かつ付勢手段により前記少なくとも 1 つの支持ピン把持部材に接近する向きに付勢された可動作用部材により構成された（15)項に記載の支持ピン把持装置。 (16) The action portion is configured to move in the retreating direction of the retreating member by the gripping device main body. (15) The support pin gripping device according to (15), comprising a movable action member movably provided in a crossing direction and biased by a biasing means in a direction approaching the at least one support pin gripping member. .

本項の支持ピン把持装置によれば、例えば、支持ピン把持部材が確実に支持ピンを把持することができる。作用部は把持装置本体に固定して設けてもよい。しかし、その場合、複数の支持ピン把持部材が軸対称に移動させられる場合には、支持ピン把持部材が最も閉じられたときの角度が作用部の配置に応じて決まり、支持ピン把持装置の構成部材の製造誤差や組付け誤差等により、支持ピン把持部材の閉角度にばらつきが生じ、不足すれば、支持ピンを把持できない事態が生じることがある。それに対し、作用部が可動作用部材により構成され、付勢手段により付勢されるものとすれば、可動作用部材を、支持ピン把持部材を支持ピンを把持することが予定される位置より更に閉方向に移動させることができるように設けることにより、構成部材製造誤差等があっても閉角度が不足することはなく、支持ピン把持部材に支持ピンを確実に把持させることができる。支持ピン把持部材が支持ピンを把持した後は、可動作用部材が付勢手段の付勢力に杭して移動することにより、支持ピン把持部材が余分に閉方向に移動させられることがなく、支持ピン把持部材ゃ支持ピンが損傷することはない。 According to the support pin gripping device of this mode, for example, the support pin gripping member can reliably grip the support pin. The action section may be provided fixed to the gripping device main body. However, in this case, when a plurality of support pin gripping members are moved axially symmetrically, the angle at which the support pin gripping member is most closed is determined according to the arrangement of the action section, and the support pin gripping device is Due to manufacturing errors or assembling errors of the component members, the closing angle of the support pin gripping member varies, and if it is insufficient, the support pin may not be able to be gripped. On the other hand, assuming that the action portion is constituted by the movable action member and is urged by the urging means, the movable action member is further moved from the position where the support pin holding member is to be held by the support pin. By providing such that the support pin can be moved in the closing direction, the closing angle does not become insufficient even if there is a component manufacturing error or the like, and the support pin can be reliably held by the support pin holding member. After the support pin gripping member grips the support pin, the movable operating member is moved by staking the urging force of the urging means, so that the support pin gripping member is not moved excessively in the closing direction. Pin gripping material ゃ Support pins are not damaged.

可動作用部材は、進退部材の進退方向と交差する回動軸線まわりに回動させられる回動型作用部材としてもよく、進退部材の進退方向と交差する方向に直線移動させられる直線移動型作用部材としてもよい。 The movable action member may be a rotary action member that is turned around a rotation axis that intersects the reciprocating direction of the reciprocating member, and a linear moving action that is linearly moved in a direction intersecting the reciprocating direction of the reciprocating member. It may be a member.

( 1 7 ) 前記複数の支持ピン把持部材がそれぞれ一軸線まわりに回動可能な回動型把持部材である（1)項ないし（16)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 (17) The support pin gripping device according to any one of (1) to (16), wherein the plurality of support pin gripping members are rotatable gripping members rotatable around one axis, respectively.

支持ピン把持部材は、支持ピンの軸線と交差する方向に直線移動させられて支持ピンを把持，開放する直線移動型把持部材としてもよいが、回動型把持部材とすれば、支持ピン把持装置を簡易にかつコンパク卜に構成することができる。 ( 2 0 ) 内側に内側空間を有する基台と、 The support pin gripping member may be a linear movement type gripping member that linearly moves in a direction intersecting the axis of the support pin to grip and release the support pin. However, if the rotation type gripping member is used, the support pin gripping member may be used. The device can be configured simply and compactly. (20) a base having an inner space inside,

その基台に、基端部が前記内側空間内に位置するとともに軸方向に相対移動可能に保持され、基台から突出した突出部の先端でプリント基板を支持するピン部材と、 A pin member having a base end located in the inner space and movably held in the axial direction relative to the base, and supporting the printed circuit board at a tip end of the protrusion protruding from the base;

前記基台の前記内側空間内に少なくとも傾動可能に配設され、基台が磁性材料製のピン支持部材上に載置された状態で、そのピン支持部材に磁気的に吸引され、その磁気吸引力に基づいて基台にその基台をピン支持部材に押し付ける力を加える永久磁石部と、 In a state where the base is placed on the pin support member made of a magnetic material at least in a tiltable manner in the inner space of the base, the base is magnetically attracted to the pin support member, and the magnetic attraction is provided. A permanent magnet unit for applying a force to the base based on the force to press the base against the pin support member;

前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分と前記永久磁石部との少なくとも一方に設けられ、ピン部材に引張力が加えられた場合に、その引張力を前記永久磁石部に、その永久磁石部を前記ピン支持部材に対して相対的に傾動させつつピン支持部材から離間させる力として伝達する力伝達装置とを含む支持ピン。 The pin member is provided on at least one of a portion located in the inner space and the permanent magnet portion, and when a tensile force is applied to the pin member, the tensile force is applied to the permanent magnet portion. And a force transmission device for transmitting the force as a force to separate the permanent magnet portion from the pin support member while tilting the permanent magnet portion relative to the pin support member.

プリント基板は、プリント配線が形成された板であるプリント配線板、電子回路部品が所定の位置に搭載されるとともにはんだ付け接合されて実装が完了した製品たるプリン卜回路板、およびそれらの間の過程にある半製品を含むものとする。 The printed circuit board is a printed circuit board on which printed wiring is formed, a printed circuit board on which electronic circuit components are mounted at predetermined positions and soldered and completed to be mounted, and a printed circuit board between them. Semi-finished products in the process of

永久磁石部は、永久磁石のみにより構成されてもよく、永久磁石と永久磁石を固定的に保持する部材とにより構成されてもよい。 The permanent magnet section may be composed of only the permanent magnet, or may be composed of the permanent magnet and a member that fixedly holds the permanent magnet.

永久磁石部は基台の内側空間内に少なくとも傾動可能に配設されておリ、ピン部材に引張力が加えられたとき、まず、永久磁石部が傾動させられ、それによって磁気吸引力が減少させられた状態で基台がピン支持部材から離間させられ、支持ピンがピン支持部材から取り外される。 The permanent magnet portion is disposed at least in a tiltable manner in the inner space of the base, and when a tensile force is applied to the pin member, first, the permanent magnet portion is tilted, whereby the magnetic attraction force is reduced. The base is separated from the pin support member in the reduced state, and the support pin is removed from the pin support member.

永久磁石部をピン支持部材から離間させれば、支持ピンをピン支持部材から取り外すことができるのであるが、永久磁石部全体を同時にピン支持部材から離間させようとすれば、永久磁石部全体に作用する磁気吸引力に打ち勝つ引張力を作用させることが必要であり、大きい引張力が必要である。それに対し、永久磁石部を傾動させる場合には、永久磁石部全部を同時に離間させる場合より小さい引張力で済み、より小さい引張力で永久磁石をピン支持部材から離間させることができる。また、永久磁石部が傾動させられるとき、基台およびピン部材が傾くことはなく、支持ピンをピン支持部材により支持された状態と同じ姿勢で取リ外すことができる。 If the permanent magnet part is separated from the pin support member, the support pin can be removed from the pin support member. However, if the entire permanent magnet part is simultaneously separated from the pin support member, the entire permanent magnet part will be removed. It is necessary to apply a tensile force that overcomes the magnetic attraction force that acts on the surface, and a large tensile force is required. On the other hand, when tilting the permanent magnet, all the permanent magnets must be separated at the same time. In this case, the permanent magnet can be separated from the pin supporting member with a smaller tensile force. Further, when the permanent magnet portion is tilted, the base and the pin member do not tilt, and the support pin can be removed in the same posture as that supported by the pin support member.

永久磁石を有し、磁気吸引力によってピン支持部材に固定される支持ピンは、例えば、特開 2 0 0 3 - 2 8 3 1 9 7号公報に記載されている。この公報に記載の支持ピンにおいては、支持ピンに回動可能に設けられたレバーに永久磁石が固定されている。一対の把持部を有する支持ピン把持装置が支持ピンを把持する際の把持動作の利用によりレバーが回動させられ、永久磁石がピン支持部材から遠ざけられてから支持ピンがピン支持部材から取り外される。しかし、この支持ピンにおいては、レバーを回動させる必要上、支持ピン把持装置の把持動作を大きくすることが必要であるため、支持ピン把持装置が大形化するとともに、支持ピンの把持，解放に時間がかかる問題がある。また、プリント基板の既に電子回路部品が装着されている裏面を支持する場合、レバーが既装着回路部品と干渉する恐れがあり、支持位置が限定され問 siもある。 A support pin having a permanent magnet and fixed to the pin support member by magnetic attraction is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-283197. In the support pin described in this publication, a permanent magnet is fixed to a lever rotatably provided on the support pin. The lever is rotated by the use of the gripping operation when the support pin gripper having a pair of grippers grips the support pin, the permanent magnet is moved away from the pin support member, and then the support pin is removed from the pin support member. It is. However, in this support pin, since the lever needs to be rotated and the gripping operation of the support pin gripping device needs to be increased, the support pin gripping device is increased in size and the support pin gripping is performed. , There is a problem that it takes time to release. In addition, when supporting the back surface of the printed circuit board on which the electronic circuit components are already mounted, the lever may interfere with the already mounted circuit components, and the supporting position is limited, which may be a problem.

本項の支持ピンによれば、そのような問題を生じることなく、磁気吸引力を減少させて支持ピンをピン支持部材から容易に離間させることができる。しかも、支持ピンのピン支持部材からの取外し時に為されるのが普通である支持ピンの単純な引張動作によって永久磁石部を傾動させることができ、支持ピンの取外しに要する作業時間を長くすることなく磁気吸引力を減少させて、支持ピンを容易に取り外すことができる。（20)項ないし (31)項に記載の支持ピンの把持には、（1 )項ないし（17)項に記載の支持ピン把持装置が使用可能であるが、これに限らず、支持ピンを把持して引張力を加えることができる支持ピン把持装置であれば、使用可能である。作業者が取付け，取外ししてもよい。 According to the support pin of this mode, the magnetic attractive force can be reduced and the support pin can be easily separated from the pin support member without such a problem. In addition, the permanent magnet can be tilted by a simple pulling operation of the support pin, which is usually performed when the support pin is removed from the pin support member, and the work time required for removing the support pin is extended. The support pin can be easily removed with reduced magnetic attraction without the need. For gripping the support pins described in the paragraphs (20) to (31), the support pin gripping device described in the paragraphs (1) to (17) can be used, but is not limited thereto. Any supporting pin gripping device that can apply a pulling force by gripping the device can be used. It may be installed and removed by the operator.

( 2 1 ) 前記永久磁石部が前記内側空間内に前記基台に対して相対移動自在に配設された (20)項に記載の支持ピン。永久磁石部は、内側空間内に傾動のみ可能に設けてもよいが、相対移動自在に配設すれば、永久磁石部の拘束が少なくて済み、傾動可能な状態で配設することが容易である。 (21) The support pin according to item (20), wherein the permanent magnet portion is disposed in the inner space so as to be relatively movable with respect to the base. The permanent magnet section may be provided in the inner space so that it can only be tilted.However, if the permanent magnet section is disposed independently, the constraint of the permanent magnet section is reduced, and the permanent magnet section can be easily disposed in a tiltable state. It is.

( 2 2 ) 前記基台が、前記内側空間として底部が開放された凹部を備えたものである（20)項または (21)項に記載の支持ピン。 (22) The support pin according to the mode (20) or (21), wherein the base is provided with a concave portion having an open bottom as the inner space.

基台の内側空間内に配設された永久磁石部とピン支持部材との間に磁気吸引力が作用し易く、基台が確実にピン支持部材に押し付けられる。 The magnetic attraction force easily acts between the permanent magnet portion disposed in the inner space of the base and the pin support member, and the base is reliably pressed against the pin support member.

( 2 3 ) 前記永久磁石部と前記基台とがそれぞれ、永久磁石部が前記ピン支持部材に最も接近した状態において互いに係合し、前記磁気吸引力を基台に伝達して基台をピン支持部材に押し付ける力伝達部を備えた (20)項ないし (22)項のいずれかに記載の支持ピン。 (23) The permanent magnet portion and the base are engaged with each other in a state where the permanent magnet portion is closest to the pin supporting member, and the magnetic attraction force is transmitted to the base to move the base. The support pin according to any one of the above modes (20) to (22), further comprising a force transmitting unit for pressing the pin support member.

永久磁石部は、磁気吸引力が作用すればよく、ピン支持部材に接触させてもよく、接触させなくてもよい。前者の場合、直接接触させてもよく、間接的に接触させてもよい。 The permanent magnet portion only needs to exert a magnetic attraction force, and may or may not contact the pin support member. In the former case, the contact may be made directly or indirectly.

( 2 4 ) 前記基台が、前記内側空間として底部が開放された凹部を備えたものであり、その凹部の少なくとも一部が底板により覆われており、その底板の上面と前記永久磁石部の底面とが前記力伝達部として機能する（23)項に記載の支持ピン。 (24) The base is provided with a concave part whose bottom is open as the inner space, at least a part of the concave part is covered by a bottom plate, and the upper surface of the bottom plate and the permanent magnet part The support pin according to item (23), wherein the bottom surface functions as the force transmission unit.

本項の支持ピンによれば、磁気吸引力に基づく押付力が、ピン支持部材の近くにおいて永久磁石部から基台に伝達され、支持ピンが安定してピン支持部材に取り付けられる。 According to the support pin of this mode, the pressing force based on the magnetic attraction force is transmitted from the permanent magnet portion to the base near the pin support member, and the support pin is stably attached to the pin support member.

凹部に底板を設けることは不可欠ではなく、開放されたままでもよい。この場合、例えば、基台に内側空間内に位置する係合部を設けるとともに、永久磁石部にその係合部に、ピン支持部材とは反対側から係合する係合部を設け、押付力を加えさせる。これら係合部が力伝達部を構成する。 It is not essential to provide a bottom plate in the recess, and it may be left open. In this case, for example, the base is provided with an engaging portion located in the inner space, and the permanent magnet is provided with an engaging portion for engaging the engaging portion from the side opposite to the pin support member. Apply the pressing force. These engaging parts constitute a force transmitting part.

( 2 5 ) 前記底板が非磁性材料から成る（24)項に記載の支持ピン。 (25) The support pin according to (24), wherein the bottom plate is made of a non-magnetic material.

永久磁石部が基台に押付力を伝達するとき、底板が磁化されず、永久磁石部と底板とは互いに磁気的に吸引されず、永久磁石部を傾動させる際の引張力が大きくなることが回避される。 When the permanent magnet portion transmits the pressing force to the base, the bottom plate is not magnetized, the permanent magnet portion and the bottom plate are not magnetically attracted to each other, and the tension when tilting the permanent magnet portion is generated. High forces are avoided.

( 2 6 ) 前記基台の底面がゴム層により覆われた (20)項ないし (25)項のいずれかに記載の支持ピン。 (26) The support pin according to any one of (20) to (25), wherein a bottom surface of the base is covered with a rubber layer.

ゴムは摩擦係数が高い高摩擦材料の一種である。基台の底面が高摩擦材料層によって覆われることにより、支持ピンとピン支持部材との間に大きい摩擦力が得られる。そのため、支持ピンに、その軸線と交差する方向の力が作用しても位置がずれ難く、プリント基板を安定して支持することができる。また、高摩擦材料層はクッションとしても機能し、支持ピンがピン支持部材や支持ピン収納装置等のピン支持面上に載置されたとき、それらを損傷することが防止される。 Rubber is a kind of high friction material having a high coefficient of friction. Since the bottom surface of the base is covered with the high friction material layer, a large frictional force is obtained between the support pin and the pin support member. Therefore, even if a force is applied to the support pin in a direction intersecting the axis thereof, the position is not easily shifted, and the printed circuit board can be stably supported. In addition, the high friction material layer also functions as a cushion, which prevents the support pins from being damaged when placed on the pin support surface of the pin support member or the support pin storage device.

( 2 7 ) 前記力伝達装置が、前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分と共に移動する第一係合部と、前記永久磁石部と共に移動する第二係合部とを備え、それら第一係合部と第二係合部とが、前記永久磁石部と前記ピン支持部材との間に作用する磁気吸引力の合力の作用線から外れた位置において互いに係合することにより、永久磁石部に回転モーメントを生じさせる（20) 項ないし (26)項のいずれかに記載の支持ピン。 (27) The force transmitting device includes: a first engaging portion that moves together with a portion of the pin member located in the inner space; and a second engaging portion that moves together with the permanent magnet portion. The one engagement portion and the second engagement portion engage with each other at a position deviating from the line of action of the resultant force of the magnetic attraction force acting between the permanent magnet portion and the pin support member, thereby providing a permanent The support pin according to any one of the above modes (20) to (26), which generates a rotational moment in the magnet section.

回転モーメントを生じさせるための引張力は、永久磁石部全体をピン支持部材から一挙に離間させるための引張力より小さくて済む。 The tensile force for generating the rotational moment is smaller than the tensile force for separating the entire permanent magnet portion from the pin support member at once.

( 2 8 ) 前記力伝達装置が、前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分に固定的に設けられた一対の第一係合部と、前記永久磁石部に固定的に設けられた一対の第二係合部とを備え、前記一対の第一係合部の一方と他方と前記一対の第二係合部の一方と他方とが、前記永久磁石部が前記ピン支持部材に最も接近して前記基台に前記磁気吸引力に基づく力を加える状態において、前記ピン部材の軸方向において互いに異なる距離を隔ててそれぞれ対向する（20)項ないし (27)項のいずれかに記載の支持ピン。 (28) A pair of first engagement portions fixedly provided on a portion of the pin member located in the inner space of the pin member, and a pair of first engagement portions fixedly provided on the permanent magnet portion. Wherein one and the other of the pair of first engagement portions and one and the other of the pair of second engagement portions are such that the permanent magnet portion is the most suitable for the pin support member. (20) to (27), wherein in a state in which the force based on the magnetic attraction force is applied to the base by approaching the base member, the base members oppose each other at different distances in the axial direction of the pin member. Support pins.

ピン部材に引張力が加えられるとき、一対ずつの第一，第二係合部のうち、まず、互いに近いものが係合し、永久磁石部を、第一，第二係合部が互いに遠い第二係合部側の部分を支点にして傾動させ、磁気吸引力を減少させる。ピン部材が更に引っ張られれば、一対ずつの第一，第二係合部の他方（互いに遠いもの）が係合し、永久磁石部の上記支点となった部分をピン支持部材から離間させて、磁気吸引力を消滅させる。永久磁石部全体を内側空間内においてピン支持部材から離間させ、磁気吸引力を効果的に消滅させることができる。永久磁石部をそれの一端を支点にして傾動させるために必要なピン部材の引張力も、支点となった一端をピン支持部材から離間させるために必要な引張力も、永久磁石部全体を一挙にピン支持部材から離間させるために必要な引張力より小さくて済み、結局比較的小さい引張力で支持ピンをピン支持部材から取り外すことができる。 When a tensile force is applied to the pin member, first, the pair of first and second engaging portions, which are close to each other, first engage with each other, and the first and second engaging portions engage with each other. Tilt with the distant second engagement part side as a fulcrum to reduce magnetic attraction . When the pin member is further pulled, the other of the pair of first and second engaging portions (farther from each other) is engaged, and the portion of the permanent magnet portion serving as the fulcrum is separated from the pin supporting member. To extinguish the magnetic attraction. The entire permanent magnet portion is separated from the pin support member in the inner space, so that the magnetic attraction force can be effectively eliminated. Both the tensile force of the pin member required to tilt the permanent magnet part with its one end as a fulcrum and the tensile force required to separate the fulcrum end from the pin support member at a glance The support pin can be removed from the pin support member with a relatively small tensile force, which is smaller than the pull force required to separate the pin support member from the pin support member.

( 2 9 ) 前記一対の第一係合部が、前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分に固定的に設けられ、横断面形状が概して C字形を成し、その C字の開放部が下方を向いた C形部材の両端部によリ形成され、前記一対の第二係合部が、前記永久磁石に一体的に設けられ、側方へ突出した一対の突部によリ形成され、それら一対の突部と前記 C形部材の前記両端部との少なくとも一方が、前記ピン部材の軸方向における位置を互いに異にする（28)項に記載の支持ピン。 (29) The pair of first engagement portions is fixedly provided at a portion of the pin member located in the inner space, and has a generally C-shaped cross-sectional shape, and the C-shaped opening is provided. The pair of second engaging portions are integrally formed on the permanent magnet, and are formed by a pair of laterally protruding protrusions. The support pin according to (28), wherein at least one of the pair of protrusions and the both end portions of the C-shaped member is different from each other in the axial position of the pin member.

( 3 0 ) 前記基台が下方に開放された溝を有して溝形を成し、前記 C形部材が前記溝内に、前記両端部がその溝に平行に延びる姿勢で収容され、ぞれら基台と C字形部材とにより四方をほぼ囲まれた空間内に前記永久磁石部が相対移動は自在であるが空間からの離脱は防止された状態で配設された (29)項に記載の支持ピン。 (30) The base has a groove shape having a groove opened downward, and the C-shaped member is accommodated in the groove with the both ends extending in parallel with the groove. (29) The permanent magnet portion is disposed in a space substantially surrounded on all sides by the base and the C-shaped member in such a manner that the permanent magnet portion is freely movable, but is prevented from being separated from the space. The support pin according to 1.

基台および C形部材が永久磁石の離脱防止手段を構成し、それらとは別に離脱防止手段を設ける場合に比較して支持ピンを簡易にかつ安価に構成することができる。 The support pin and the C-shaped member constitute a means for preventing detachment of the permanent magnet, and the support pins can be constituted simply and inexpensively as compared with the case where the detachment preventing means is provided separately from them.

( 3 1 ) 前記基台に前記ピン部材の基台側への移動限度を規定する移動限度規定部が設けられた (20)項ないし (30)項のいずれかに記載の支持ピン。永久磁石部の傾動により磁気吸引力が減少させられた状態から更にピン部材に引張力が加えられるとき、移動限度の規定によりピン部材が基台に係合して基台をピン支持部材から離間させる。本項の支持ピンは、支持ピン把持装置により自動でピン支持部材に取付け，取外しされる支持ピンとして好適である。 (31) The support pin according to any one of the above modes (20) to (30), wherein the base is provided with a movement limit defining portion for defining a movement limit of the pin member toward the base. When tensile force is further applied to the pin member from the state where the magnetic attraction force is reduced by the tilting of the permanent magnet, the pin member engages with the base according to the movement limit. Then, the base is separated from the pin supporting member. The support pin of this section is suitable as a support pin that is automatically attached to and detached from the pin support member by a support pin holding device.

( 4 0 ) 一対のサイドフレームとそれらサイドフレームに支持された一対のコンペャベルトとを含み、前記一対のサイドフレームの一方が固定フレーム、他方がその固定フレームに接近，離間することによって搬送幅を変更する可動フレームである基板コンペャにより搬送されるプリント基板を、下方から支持する支持ピンを収納する支持ピン収納装置であって、 (40) Including a pair of side frames and a pair of conveyor belts supported by the side frames, one of the pair of side frames has a fixed frame, and the other approaches or separates from the fixed frame to change the conveying width. A support pin storage device for storing a support pin for supporting a printed board, which is conveyed by a board conveyer as a movable frame, from below,

前記可動フレームに、その可動フレームと共に移動可能に取り付けられた支持ピン収納装置。 A support pin storage device mounted on the movable frame so as to be movable together with the movable frame.

搬送幅は、例えば、プリント基板の種類が変わり、幅が変わる場合に変更される。支持ピンのプリント基板支持位置は、プリント基板の種類によって異なるのが普通であり、プリン卜基板の種類に応じて支持ピンが配置される。この際、支持ピンが支持ピン収納装置に収納されたり、支持ピン収納装置から支持ピンが取り出され、プリント基板の支持に用いられたりするのであるが、支持ピン収納装置が可動フレームと共に移動可能に取リ付けられていれば、支持ピン収納装置を、プリント基板の種類を問わず、常にプリント基板近傍であって、支持ピン配置領域近傍に位置させることができ、支持ピンの収納，取出しを迅速に行うことができる。 The transport width is changed, for example, when the type of the printed circuit board changes and the width changes. The printed board supporting positions of the support pins usually differ depending on the type of the printed board, and the support pins are arranged according to the type of the printed board. At this time, the support pins are stored in the support pin storage device, or the support pins are taken out of the support pin storage device and used to support the printed circuit board.The support pin storage device can move together with the movable frame. If it is attached to the support pin, the support pin storage device can always be located near the print board and near the support pin arrangement area, regardless of the type of printed circuit board. Can be done quickly.

また、本支持ピン収納装置が電子回路部品をプリン卜基板に取り付ける電子回路部品装着システムに設けられる場合、部品装着能率の低下を回避することができる。例えば、固定フレーム側に部品供給装置が設けられている場合、支持ピン収納装置を固定フレームに取り付ければ、その分、プリント基板と部品供給装置の部品供給部との距離が長くなリ、部品装着へッドの移動に時間を要するのであるが、可動フレームと共に移動可能に取り付けられれば、部品装着ヘッドの移動距離が長くなることがなく、装着能率の低下が回避される。 Further, when the support pin storage device is provided in an electronic circuit component mounting system for mounting electronic circuit components on a printed circuit board, it is possible to avoid a reduction in component mounting efficiency. For example, when the component supply device is provided on the fixed frame side, if the support pin storage device is attached to the fixed frame, the distance between the printed board and the component supply unit of the component supply device will be lengthened accordingly. It takes time to move the component mounting head, but if it is mounted movably with the movable frame, the moving distance of the component mounting head does not increase, and a reduction in mounting efficiency is avoided.

( 4 1 ) 前記支持ピンを収納する収納部が複数、前記可動フレームの長手方向に平行に並べて配列された収納部列を少なくとも 1列備えた (40)項に記載の支持ピン収納装置。 (41) A plurality of storage portions for storing the support pins, a longitudinal direction of the movable frame. (40) The support pin storage device according to the above mode (40), comprising at least one storage section row arranged in parallel to the direction.

可動フレームの長手方向に平行な方向においては、少なくとも可動フレームが設けられている領域内において収納部を設けることができ、可動フレームの移動方向と平行な方向においてはコンパク卜でありながら、収納数の多い支持ピン収納装置を得ることができる。 In a direction parallel to the longitudinal direction of the movable frame, a storage portion can be provided at least in a region where the movable frame is provided, and while being compact in a direction parallel to the moving direction of the movable frame, A support pin storage device with a large number of storages can be obtained.

( 4 2 ) 当該支持ピン収納装置に収納された支持ピンの、前記可動フレームの移動に伴って変化する前記基板コンペャの幅方向の位置を検出する支持ピン位置検出装置を含む (40)項または (41)項に記載の支持ピン収納装置。 (42) Item (40) includes a support pin position detection device that detects a position of the support pin stored in the support pin storage device in a width direction of the substrate conveyor that changes with movement of the movable frame. Or the support pin storage device according to the above mode (41).

支持ピンの位置検出は、例えば、支持ピン収納装置の可動フレームへの取付け時に行ってもよく、取付け後、予め設定された条件の成立時に行なってもよい。例えば、設定時間の経過時、設定枚数のプリント基板への電子回路部品の装着終了時等に位置を検出し直すのである。 The detection of the position of the support pin may be performed, for example, when the support pin storage device is mounted on the movable frame, or after the mounting, when a preset condition is satisfied. For example, the position is detected again when the set time elapses or when the set number of electronic circuit components on the printed circuit board is completed.

可動フレームが移動させられれば、それに伴って支持ピン収納装置の基板コンペャの幅方向の位置が変わるが、支持ピン位置検出装置によって支持ピンの位置を検出することにより、例えば、支持ピンの支持ピン収納装置への収納，取出しを自動で行う場合、支持ピン取付取外装置をピン収納装置に収納された支持ピンゃ空のピン収納部へ精度良く移動させ、支持ピンの損傷等を生ずることなく、収納，取出しを行うことができる。 When the movable frame is moved, the width of the board conveyor of the support pin storage device changes accordingly.However, by detecting the position of the support pins with the support pin position detection device, for example, the support pins are supported. When storing and unloading to / from the pin storage device is performed automatically, the support pin mounting / removing device is accurately moved from the support pin stored in the pin storage device to the empty pin storage unit, causing damage to the support pin. Storage and unloading can be performed without the need.

( 4 3 ) 前記支持ピン位置検出装置が、 (43) The support pin position detecting device is

当該支持ピン収納装置に収納された支持ピンまたはそれと共に移動する部材の予め定められた部分である被撮像部を、その被撮像部と対向する位置から撮像する撮像装置と、 An imaging device for imaging an imaging target portion, which is a predetermined portion of the support pin stored in the support pin storage device or a member moving therewith, from a position facing the imaging target portion;

その撮像装置を、少なくとも前記基板コンペャの幅方向に移動させる撮像装置移動装置と、 An imaging device moving device that moves the imaging device at least in the width direction of the substrate conveyor;

その撮像装置移動装置によって移動させられた前記撮像装置の位置と、その位置において撮像された画像内における前記被撮像部の位置とに基づいて、前記支持ピンの位置を演算する位置演算装置とを含む (42)項に記載の支持ピン収納装置。 A position calculation device that calculates the position of the support pin based on the position of the imaging device moved by the imaging device moving device and the position of the imaging target in an image captured at the position. The support pin storage device according to item (42).

支持ピンと共に移動する部材には、例えば、支持ピン収納装置そのものや、可動フレームがある。被撮像部は、例えば、支持ピンの先端面や支持ピンに設けられたマークや凹凸でもよく、支持ピン収納装置や可動フレームに設けられたマークや凹凸等、撮像により他の部分と区別して認識可能な部分でもよい。支持ピン収納装置の予め定められた部分を被撮像部とすれば、支持ピン収納装置に支持ピンが収納されていない状態においても被撮像部を撮像し、収納が予定されている支持ピンの位置を検出することができる。 The members that move together with the support pins include, for example, the support pin storage device itself and a movable frame. The part to be imaged may be, for example, a mark or unevenness provided on the tip surface of the support pin or the support pin, and may be distinguished from other parts by imaging, such as a mark or unevenness provided on the support pin storage device or the movable frame. The part that can be recognized may be used. If the predetermined portion of the support pin storage device is set as the imaging target portion, the imaging target portion is imaged even when the support pin is not stored in the support pin storage device, and the position of the support pin scheduled to be stored. Can be detected.

( 4 4 ) 前記支持ピン位置検出装置が、 (44) The support pin position detecting device is

前記可動フレームを移動させるフレーム移動装置に設けられ、可動フレームの位置に対応する信号を出力するエンコーダと、 An encoder that is provided in a frame moving device that moves the movable frame and outputs a signal corresponding to a position of the movable frame;

そのエンコーダに接続され、エンコーダの出力に基づいて、その収納部に収納された支持ピンの位置を演算する位置演算装置と A position calculating device connected to the encoder and calculating a position of the support pin stored in the storage portion based on an output of the encoder;

を含む (42)項または (43)項に記載の支持ピン収納装置。 The support pin storage device according to the above mode (42) or (43), comprising:

可動フレームの位置は、その移動に伴って自動的に得られ、支持ピンの位置が迅速に検出される。 The position of the movable frame is obtained automatically as it moves, and the position of the support pin is quickly detected.

( 4 5 ) 前記位置演算部が、前記エンコーダの出力と、予め設定されている可動フレームと前記収納部との相対位置の情報とに基づいて前記支持ピンの位置を演算するものである (44)項に記載の支持ピン収納装置。 (45) The position calculating section calculates the position of the support pin based on an output of the encoder and information on a predetermined relative position between the movable frame and the storage section. Item).

( 4 6 ) 当該支持ピン収納装置が、前記可動フレームの前記固定フレーム側とは反対側の位置において可動フレームに取り付けられた（40)項ないし（45) 項のいずれかに記載の支持ピン収納装置。 (46) The support pin storage device according to any one of (40) to (45), wherein the support pin storage device is attached to the movable frame at a position of the movable frame opposite to the fixed frame. apparatus.

本項の支持ピン収納装置においては、支持ピン収納装置が基板搬送領域外に設けられることとなり、基板コンペャにより搬送されるプリント基板との干渉回避を考慮することなく、設けることができる。支持ピン収納装置を可動フレームの固定フレーム側の位置に取り付けてもよい。しかし、その場合、支持ピン収納装置は、基板コンペャの基板搬送領域内に位置することとなリ、例えば、支持ピン収納装置を昇降可能に設け、プリント基板や、その裏面に既に装着されている電子回路部品との干渉を回避させたり、あるいは、支持ピン収納装置を、基板コンペャの基板搬送面と直角な方向においてそれらプリン卜基板等と干渉しない位置に固定して設けるとともに、支持ピン取付取外装置を、その支持ピン収納装置の収納部について収納，取出しを行うことができる作動ストロークを有するものとすることが必要となるのであるが、本項の支持ピン収納装置においてはそれらが不要である。 In the support pin storage device according to this aspect, the support pin storage device is provided outside the board transfer area, and can be provided without considering interference with the printed board transferred by the board conveyor. The support pin storage device may be mounted at a position on the fixed frame side of the movable frame. However, in this case, the support pin storage device must be located within the board transfer area of the board conveyor. Avoid interference with the electronic circuit components already mounted on the surface, or fix the support pin storage device at a position that does not interfere with the printed circuit board etc. in a direction perpendicular to the board transfer surface of the board conveyor. In addition to this, it is necessary to provide a support pin mounting / removing device having an operating stroke capable of storing and removing the storage portion of the support pin storage device. They are unnecessary in the pin storage device.

( 4 7 ) 前記収納部が、前記支持ピンと嵌合して支持ピンを位置決めする位置決め部を備えた (40)項ないし (46)項のいずれかに記載の支持ピン収納装置例えば、支持ピンがずれることがなく、検出された支持ピンの位置を用いて支持ピンの収納，取出しを正確に行うことができる。また、収納部と支持ピンとの相対位置が一義的に決まり、収納部の位置を検出することによリ支持ピンの位置を検出することができる。 (47) The support pin storage device according to any one of (40) to (46), wherein the storage unit includes a positioning unit that fits the support pin and positions the support pin. The pins are not displaced, and the storage and removal of the support pins can be accurately performed using the detected positions of the support pins. Further, the relative position between the storage section and the support pin is uniquely determined, and the position of the support pin can be detected by detecting the position of the storage section.

( 5 0 ) (1 )項ないし（17)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置と、 (50) The support pin holding device according to any one of (1) to (17),

(20)項ないし (31 )項のいずれかに記載の支持ピンと、 A support pin according to any of paragraphs (20) to (31),

その支持ピンを支持するピン支持部材と、 A pin support member for supporting the support pin,

前記支持ピンを収納する支持ピン収納装置と、 A support pin storage device for storing the support pin,

前記支持ピン把持装置と前記ピン支持部材および支持ピン収納装置とを、一平面内の任意の相対位置へ相対移動させるとともに、前記一平面と直交する一軸方向に相対移動させる相対移動装置と、 A relative movement device that relatively moves the support pin gripping device and the pin support member and the support pin storage device to an arbitrary relative position within one plane, and relatively moves in a uniaxial direction orthogonal to the one plane;

その相対移動装置を制御して、前記支持ピンを前記支持ピン収納装置から取り出して前記ピン支持部材上に取リ付け、そのピン支持部材上から取り外して支持ピン収納装置に収納する制御装置と A control device for controlling the relative movement device to take out the support pin from the support pin storage device, mount the support pin on the pin support member, remove the support pin from the pin support member, and store the support pin in the support pin storage device. When

を含む自動段取替え可能な基板支持装置。 An automatic setup changeable substrate supporting device including:

(1)項ないし（17)項のいずれかに記載の支持ピン把持装置および (20)項ないし（31)項のいずれかに記載の支持ピンについて得られる効果を享受しつつ、支持ピンを自動で段取り替えすることができる。 While enjoying the effect obtained with the support pin gripping device according to any one of the paragraphs (1) to (17) and the support pin according to any one of the paragraphs (20) to (31), the support pin is The setup can be changed automatically.

( 5 1 ) 前記相対移動装置が、当該基板支持装置により支持されたプリント基板の任意の個所に作業を行う作業へッドをプリン卜基板に対して相対移動させる相対移動装置を兼ねる（50)項に記載の基板支持装置。 (51) The print in which the relative movement device is supported by the substrate support device. (50) The substrate supporting device according to the above mode (50), which also serves as a relative moving device that moves an operation head for performing an operation on an arbitrary portion of the substrate relative to the print substrate.

作業ヘッドには、例えば、プリント基板に電子回路部品を装着する部品装着ヘッドや、接着剤，クリーム状はんだ等の高粘性流体を塗布する高粘性流体塗布へッドゃ、プリント基板における電子回路部品の装着状態を検査する装着状態検査へッドがある。 The work head includes, for example, a component mounting head that mounts electronic circuit components on a printed circuit board, a high-viscosity fluid application head that applies a high-viscosity fluid such as an adhesive or creamy solder, or an electronic device mounted on a printed circuit board. There is a mounting state inspection head that inspects the mounting state of circuit components.

相対移動装置は、作業へッドをプリント基板に対して相対移動させる相対移動装置の全部を兼ねてもよく、一部を兼ねてもよい。 The relative moving device may also serve as the whole or a part of the relative moving device that moves the work head relative to the printed circuit board.

本項によれば、基板支持装置を簡易にかつ安価に構成することができる。 According to this aspect, the substrate supporting device can be simply and inexpensively configured.

( 5 2 ) 前記作業へッドと前記支持ピン把持装置とが別個の保持装置に保持される（51)項に記載の基板支持装置。 (52) The substrate supporting apparatus according to the mode (51), wherein the work head and the support pin holding device are held by separate holding devices.

作業ヘッドと支持ピン把持装置とをそれぞれ保持装置に保持させて一緒に相対移動装置に装着することができる。それにより、例えば、作業終了後、直ちに段取り替えを行うことができ、あるいは段取替え終了後、直ちに作業を開始することができる。 The work head and the support pin gripping device can be respectively held by the holding device and mounted together on the relative movement device. Thereby, for example, the setup can be changed immediately after the work is completed, or the work can be started immediately after the work is completed.

( 5 3 ) 前記別個の保持装置を備え、前記相対移動装置により相対移動させられる保持部が複数準備され、それら複数の保持部が前記相対移動装置に対して択一的に装着される（52)項に記載の基板支持装置。 (53) A plurality of holding units which are provided with the separate holding device and are relatively moved by the relative moving device are prepared, and the plurality of holding units are selectively mounted on the relative moving device. 52) The substrate supporting apparatus according to the above item.

相対移動装置に装着される作業へッドが変われば、作業へッドと共に支持ピン把持装置も変えられ、常に支持ピン把持装置が作業へッドと共に相対移動装置に装着される。 If the work head mounted on the relative moving device changes, the support pin gripping device is changed together with the work head, and the support pin gripping device is always mounted on the relative moving device together with the work head.

なお、支持ピン把持装置は相対移動装置に装着されたままとされ、相対移動装置に対して択一的に装着される複数の作業へッドに共通とされてもよい Note that the support pin holding device may be left mounted on the relative moving device, and may be shared by a plurality of work heads selectively mounted on the relative moving device.

( 5 4 ) 前記作業ヘッドと前記支持ピン把持装置とが、共通の保持装置に択一的に保持される（51)項に記載の基板支持装置。 (54) The substrate supporting device according to the mode (51), wherein the working head and the support pin holding device are selectively held by a common holding device.

支持ピンの段取り替え時には、作業へッドが保持装置から取り外されるとともに相対移動装置から外され、支持ピン把持装置が保持装置に保持されるとともに相対移動装置に装着され、作業ヘッドの作業時には、支持ピン把持装置に替えて作業へッドが相対移動装置に装着される。 When changing the support pins, the work head is detached from the holding device and detached from the relative movement device, and the support pin holding device is held by the holding device. At the same time, the work head is mounted on the relative movement device instead of the support pin gripping device when the work head is working.

相対移動装置は作業へッドと支持ピン把持装置とのいずれか一方のみを移動させればよく、移動部が軽く、例えば、移動時の加，減速度を大きくすることができる。 The relative moving device only needs to move one of the working head and the support pin gripping device, and the moving portion is light, and for example, acceleration and deceleration during movement can be increased.

( 5 5 ) 前記共通の保持装置を備え、前記相対移動装置により相対移動させられる保持部が複数準備され、それら複数の保持部が前記相対移動装置に対して択一的に装着される（54)項に記載の基板支持装置。 (55) A plurality of holding units provided with the common holding device and relatively moved by the relative moving device are prepared, and the plurality of holding units are selectively mounted on the relative moving device. 54) The substrate supporting apparatus according to the above item.

( 5 6 ) 前記支持ピン収納装置が、前記 (40)項ないし (47)項のいずれかに記載の支持ピン収納装置である（50)項ないし (55)項のいずれかに記載の基板支持装置。 (56) The substrate according to any one of (50) to (55), wherein the support pin storage device is the support pin storage device according to any one of (40) to (47). Support device.

前記 (40)項ないし (47)項のいずれかに記載の支持ピン収納装置の効果を享受しつつ、支持ピンを自動で段取替えすることができる。 The support pins can be automatically changed while enjoying the effects of the support pin storage device according to any one of the above modes (40) to (47).

図面の簡単な説明 Brief Description of Drawings

[図 1 ]請求可能発明の実施例である支持ピン把持装置等を備えた装着モジユールが複数並べられた電子回路部品装着システムを示す斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view showing an electronic circuit component mounting system in which a plurality of mounting modules each including a support pin gripping device and the like according to an embodiment of the present invention are arranged.

[図 2]上記複数の装着モジュールの一部を示す斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view showing a part of the plurality of mounting modules.

[図 3]上記装着モジュールのノズル保持へッドおよびノズル保持へッド移動装置を示す斜視図である。 FIG. 3 is a perspective view showing a nozzle holding head and a nozzle holding head moving device of the mounting module.

[図 4]上記ノズル保持へッド移動装置を示す分解斜視図である。 FIG. 4 is an exploded perspective view showing the nozzle holding head moving device.

[図 5]上記ノズル保持へッドをへッドカバーを取り除いて示す斜視図である。 FIG. 5 is a perspective view showing the nozzle holding head with a head cover removed.

[図 6]ノズルホルダ数を異にする 3種類のノズル保持へッドを示す斜視図である。 FIG. 6 is a perspective view showing three types of nozzle holding heads having different numbers of nozzle holders.

[図 7]上記装着モジュールの一つを概略的に示す平面図である。 FIG. 7 is a plan view schematically showing one of the mounting modules.

[図 8]上記装着モジュールの基板搬送装置の可動レールおよびその周辺部を支持ピンおよびピン支持台等と共に示す正面図である。 FIG. 8 is a front view showing a movable rail of the substrate transfer device of the mounting module and peripheral portions thereof together with a support pin, a pin support, and the like.

[図 9]上記可動レールおよび支持ピン収納装置を示す側面断面図である。 FIG. 9 is a side sectional view showing the movable rail and the support pin storage device.

[図 10]上記可動レールおよび支持ピン収納装置を示す平面図である。 [図 1 1 ]上記支持ピンを示す正面図（一部断面）である。 FIG. 10 is a plan view showing the movable rail and the support pin storage device. FIG. 11 is a front view (partial cross section) showing the support pin.

[図 12]上記支持ピンを示す側面図である。 FIG. 12 is a side view showing the support pin.

[図 13]上記支持ピンを示す平面図である。 FIG. 13 is a plan view showing the support pin.

[図 14]上記支持ピン把持装置および支持ピン把持装置昇降装置を示す側面図である。 FIG. 14 is a side view showing the support pin gripping device and the support pin gripping device elevating device.

[図 15]上記支持ピン把持装置および支持ピン把持装置昇降装置を示す正面図である。 FIG. 15 is a front view showing the support pin gripping device and the support pin gripping device elevating device.

[図 16]上記支持ピン把持装置を示す正面断面図であって、進退部材が非作用位置に位置する状態を示す図である。 FIG. 16 is a front cross-sectional view showing the support pin gripping device, showing a state in which an advance / retreat member is located at a non-operating position.

[図 17]上記支持ピン把持装置を示す正面断面図であって、進退部材が後退端位置に位置する状態を示す図である。 FIG. 17 is a front cross-sectional view showing the support pin gripping device, showing a state in which an advance / retreat member is located at a retreat end position.

[図 18]上記支持ピン把持装置を示す正面断面図であって、進退部材が作用位置に位置する状態を示す図である。 FIG. 18 is a front cross-sectional view showing the support pin gripping device, showing a state in which an advance / retreat member is located at an operation position.

[図 19]上記支持ピン把持装置を示す左側面断面図であって、進退部材が非作用位置に位置する状態を示す図である。 FIG. 19 is a left side sectional view showing the support pin gripping device, showing a state in which the reciprocating member is located at a non-operation position.

[図 20]上記支持ピンを示す右側面図であって、進退部材が作用位置に位置する状態を示す図である。 FIG. 20 is a right side view showing the support pin, showing a state in which an advance / retreat member is located at an operation position.

[図 21 ]上記支持ピン把持装置による支持ピンのピン支持台からの取外しを説明する図である。 FIG. 21 is a diagram illustrating removal of a support pin from a pin support by the support pin holding device.

[図 22]上記進退部材に設けられた一対の案内部を示す図であり、それら案内部による一対の係合部の原位置から係止位置への案内を説明する図である。 FIG. 22 is a view showing a pair of guide portions provided on the advance / retreat member, and is a diagram for explaining the guide of the pair of engagement portions from the original position to the locking position by the guide portions.

[図 23]上記一対の案内部による一対の係合部の係止位置から原位置への案内を説明する図である。 FIG. 23 is a diagram for explaining the guide from the locked position of the pair of engagement portions to the original position by the pair of guide portions.

[図 24]上記装着モジュールを制御する制御装置を概略的に示すブロック図でのる。 FIG. 24 is a block diagram schematically showing a control device for controlling the mounting module.

[図 25]請求可能発明の別の実施例である支持ピン収納装置の支持ピン位置検出装置を概略的に示す図である。 FIG. 25 is a view schematically showing a support pin position detecting device of a support pin storage device which is another embodiment of the claimable invention.

[図 26]請求可能発明の更に別の実施例である支持ピン把持装置を示す左側面断面図である。 FIG. 26 is a left side view showing a support pin holding device according to still another embodiment of the claimable invention. It is sectional drawing.

[図 27]請求可能発明の更に別の実施例である支持ピン把持装置を示す左側面断面図である。 FIG. 27 is a left side sectional view showing a support pin gripping device as still another embodiment of the claimable invention.

[図 28]請求可能発明の更に別の実施例である支持ピンの磁石保持部およびその周辺を示す正面断面図である。 FIG. 28 is a front sectional view showing a magnet holding portion of a support pin and its periphery according to still another embodiment of the claimable invention.

符号の説明 Explanation of symbols

[0013] 28 ：基板支持装置 40 ：ノズル保持へッド 42 ：ノズル保持へッド移動装置 50 : プリント基板 1 20 :ヘッド本体 250 : 支持ピン 252 :支持ピン把持装置 254 : ピン支持台 256 ：支持ピン収納装置 360 :把持装置本体 362 :把持爪群 3 64 ：進退部材 366 :切換装置 374 :圧縮コイルスプリング [0013] 28: Substrate support device 40: Nozzle holding head 42: Nozzle holding head moving device 50: Printed circuit board 1 20: Head body 250: Support pin 252: Support pin holding device 254: Pin support table 256: Support pin storage device 360: Gripping device main body 362: Gripping claw group 3 64: Retracting member 366: Switching device 374: Compression coil spring

386 :嵌合穴 394， 396 :把持爪 430 :運動変換機構386: Mating hole 394, 396: Gripping claw 430: Motion conversion mechanism

432 :係止装置 434， 436 :連結リンク 438 :案内装置 440 ：作用レバー 470 :被係止部材 472 :回動係止部材 476 :回動軸部 478， 480 :アーム部 482， 484 : 係合部 486， 488 :溝 490， 492 :案内部 650 ：制御装置 720 :支持ピン把持装置 722 :進退部材 724 :突部 728 :保持体 732 :係合部材 740 :支持ピン把持装置 432: Locking device 434, 436: Linking link 438: Guide device 440: Working lever 470: Locked member 472: Rotating locking member 476: Rotating shaft portion 478, 480: Arm portion 482, 484: Engagement Part 486, 488: Groove 490, 492: Guide part 650: Control device 720: Support pin gripping device 722: Reciprocating member 724: Projection 728: Holder 732: Engaging member 740: Support pin gripping device

742 :進退部材 744 :係合アーム 770 :支持ピン発明を実施するための最良の形態 742: Retractable member 744: Engagement arm 770: Support pin Best mode for carrying out the invention

[0014] 以下、請求可能発明のいくつかの実施例を図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。 Hereinafter, several embodiments of the claimable invention will be described in detail with reference to the drawings. The claimed invention may be embodied in various forms with various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art, including the embodiments described in the section of the above [Embodiments of the Invention], in addition to the following examples. can do.

[0015] 図 1に、請求可能発明の一実施例としての配線板支持装置等を備え、電子回路部品装着作業を行う電子回路部品装着システム（以後、装着システムと略称する）を示す。この装着システムは、 1つのシステムベース 1 0の上に、装着モジュール 1 2が複数台互いに近接して同じ向きに並べられることによりモジュール列が構成されている。これら複数台の装着モジュールの各々においてプリント基板への電子回路部品（以後、回路部品と略称する）の装着が分担して行われる。装着モジュール 1 2の各々が電子回路部品装着機なのである。以下、装着モジュール 1 2の並ぶ方向を X軸方向と称し、水平面内において X軸方向に直角な方向を Y軸方向と称することとする。 FIG. 1 shows an electronic circuit component mounting system (hereinafter abbreviated as “mounting system”) that includes a wiring board support device and the like and performs an electronic circuit component mounting operation as one embodiment of the claimable invention. In this mounting system, a plurality of mounting modules 12 are arranged in the same direction on one system base 10 close to each other. This constitutes a module row. In each of the plurality of mounting modules, the mounting of electronic circuit components (hereinafter abbreviated as circuit components) to the printed circuit board is performed in a shared manner. Each of the mounting modules 12 is an electronic circuit component mounting machine. Hereinafter, the direction in which the mounting modules 12 are arranged is referred to as the X-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis direction in the horizontal plane is referred to as the Y-axis direction.

[0016] 図 2に、上記複数台の装着モジュール 1 2のうちの 1台の外装部品の一部を取り除いた斜視図を示す。装着モジュール 1 2の各々は、モジュール本体 1 8，モジュール本体 1 8に設けられた部品供給装置 2 2，基板搬送装置 2 4，部品装着装置 2 6，基板支持装置 2 8 (図 8参照）等を有している。部品供給装置 2 2は、モジュール本体 1 8の前方の部分に設けられ、例えば、フィーダ型部品供給装置により電子回路部品を供給し、あるいはトレィ型部品供給装置により電子回路部品を供給するようにされている。 FIG. 2 shows a perspective view in which a part of one exterior component of the plurality of mounting modules 12 is removed. Each of the mounting modules 12 includes a module body 18, a component supply device 22 provided on the module body 18, a board transfer device 24, a component mounting device 26, a board support device 28 (see FIG. 8), and the like. have. The component supply device 22 is provided in a front part of the module main body 18 so as to supply electronic circuit components by a feeder type component supply device or supply electronic circuit components by a tray type component supply device. Has been.

[0017] 部品装着装置 2 6は、図 3に示すように、ノズル保持ヘッド 4 0およびノズル保持ヘッド移動装置（以後、ヘッド移動装置と略称する） 4 2を備えている。ノズル保持ヘッド 4 0は部品保持具としての吸着ノズル 4 4 (図 5参照）を保持し、ヘッド移動装置 4 2により部品供給装置 2 2と基板搬送装置 2 4とにわたつて移動させられ、部品供給装置 2 2から回路部品を取り出し、基板搬送装置 2 4により搬送されるとともに、基板支持装置 2 8により支持されたプリント基板（以後、基板と略称する） 5 0にその回路部品を装着する。ノズル保持へッド 4 0は部品装着へッドであり、作業へッドの一種でめる。 As shown in FIG. 3, the component mounting device 26 includes a nozzle holding head 40 and a nozzle holding head moving device (hereinafter, abbreviated as a head moving device) 42. The nozzle holding head 40 holds a suction nozzle 44 (see FIG. 5) as a component holder, and is moved by the head moving device 42 across the component supply device 22 and the substrate transfer device 24. The circuit components are taken out from the component supply device 22 and transported by the substrate transport device 24, and the circuit components are mounted on a printed circuit board (hereinafter abbreviated as a substrate) 50 supported by the substrate support device 28. I do. The nozzle holding head 40 is a component mounting head, and is a kind of work head.

[0018] へッド移動装置 4 2は、本実施例では、 X Yロボッ卜型の移動装置とされており、モジュール本体 1 8に設けられ、図 3および図 4に示すように、ノズル保持ヘッド 4 0を、互いに直交する 2方向（X， Y軸方向）に移動させる 2つの直線移動装置たる Yスラィド装置 6 0および Xスライド装置 6 2を含んでいる。 In this embodiment, the head moving device 42 is an XY robot type moving device, which is provided in the module main body 18 and has a nozzle holding device as shown in FIGS. 3 and 4. It includes a Y-slide device 60 and an X-slide device 62 as two linear moving devices for moving the head 40 in two directions (X, Y-axis directions) orthogonal to each other.

[0019] Yスライド装置 6 0は、駆動源としての Y軸モータ 6 6によって、ねじ軸の一種である Yポールねじ 6 8が回転させられることにより Yナット 7 0が移動させられ、移動部材としての Y軸スライド 7 2が Y軸方向に移動させられる構成とされている。 Y軸モータ 6 6は、本実施例においては、例えば、エンコーダ付サーポモータにより構成されている。サーポモータは回転角度の精度の良い制御が可能な電動モータである。サーポモータに代えてステップモータを用いてもよい。 [0019] In the Y slide device 60, a Y-pole motor 68 as a drive source rotates a Y-pole screw 68, which is a kind of screw shaft, so that a Y nut 70 is formed. The Y-axis slide 72 as a moving member is moved in the Y-axis direction. In the present embodiment, the Y-axis motor 66 is constituted by, for example, a servomotor with an encoder. Servo motors are electric motors that can precisely control the rotation angle. A step motor may be used instead of the servo motor.

[0020] Xスライド装置 6 2は、本実施例においては、複段式移動装置すなわち 2 段式移動装置とされており、第一 Xスライド装置 8 0と、第二 Xスライド装置 8 2との 2つのスライド装置を含んで構成されている。これら第一，第二 Xスライド装置 8 0， 8 2はそれぞれ、 Yスライド装置 6 0と同様に、駆動源としての X軸モータ 8 4， 8 6 , ねじ軸の一種である Xポールねじ 8 8， 9 0，ナット 9 2， 9 4および移動部材としての X軸スライド 9 6， 9 8を含んで構成されている。 X軸モータ 8 4， 8 6は、本実施例ではエンコーダ付サーポモータにより構成されている。第二 Xスライド装置 8 2の X軸スラィドである第二 X軸スライド 9 8にノズル保持へッド 4 0が保持され、 Y軸モータ 6 6， X軸モータ 8 4， 8 6の回転を制御することにより、ノズル保持へッド 4 0は、水平な一平面内の任意の位置へ移動させられる。 In this embodiment, the X slide device 62 is a multi-stage moving device, that is, a two-stage moving device. The first X sliding device 80 and the second X sliding device 82 It consists of two slide devices. Like the Y slide device 60, the first and second X slide devices 80, 82 each have an X-axis motor 84, 86 as a drive source, and an X pole screw 88, which is a kind of screw shaft. , 90, nuts 92, 94 and an X-axis slide 96, 98 as a moving member. In this embodiment, the X-axis motors 84 and 86 are constituted by a servomotor with an encoder. The nozzle holding head 40 is held on the second X-axis slide 98, which is the X-axis slide of the second X-slide device 82, and the Y-axis motor 66 and the X-axis motors 84, 86 rotate. By controlling the pressure, the nozzle holding head 40 can be moved to an arbitrary position within one horizontal plane.

[0021 ] 本実施例においてノズル保持へッド 4 0は、へッド移動装置 4 2に対して着脱可能とされ、互いに構成の異なる複数のものの中から選択して保持可能とされる。部品装着装置 2 6は、ノズル保持ヘッド 4 0を種類の違うものに交換することが可能とされているのである。図 6に、ヘッド移動装置 4 2が保持可能なノズル保持へッド 4 0の例として、 3つのノズル保持へッド 4 0 a , 4 0 b , 4 0 cを示す。ノズル保持ヘッド 4 0は、図 5にノズル保持へッド 4 0 aを代表的に示すように、へッド本体 1 2 0と、へッド本体 1 2 0 の各所に配設された種々の構成部品，構成装置と、それら構成部品等を覆うヘッドカバー 1 2 2 (図 3参照）とを含んで構成されている。図 5は、このへッドカバー 1 2 2を除いたものである。へッド本体 1 2 0には、ノズル保持へッド 4 0 aを保持してへッド移動装置 4 2に取り付けられる保持体 1 2 6がー体に設けられ、保持装置を構成している。ノズル保持ヘッド 4 0 aは、保持体 1 2 6において第二 X軸スライド 9 8に対してヘッド位置決め装置In the present embodiment, the nozzle holding head 40 is detachable from the head moving device 42, and can be selected and held from a plurality of components having different configurations. The component mounting device 26 can replace the nozzle holding head 40 with a different type. FIG. 6 shows three nozzle holding heads 40 a, 40 b, and 40 c as an example of the nozzle holding head 40 that can be held by the head moving device 42. As shown in FIG. 5, the nozzle holding head 40a is a nozzle holding head 40a. As shown in FIG. It is composed of the following components and components, and a head cover 122 (see FIG. 3) that covers these components. FIG. 5 shows a state where the head cover 122 is removed. The head main body 120 is provided with a holder 126 holding the nozzle holding head 40 a and attached to the head moving device 42, which constitutes a holding device. ing. Nozzle holding head 40a The head positioning device with respect to the second X-axis slide 98 at the holding body 126

1 2 3により位置決めされ、ヘッド取付装置 1 2 4 (図 3参照）により迅速に取付け，取外しし、着脱することができる。 Positioned by 1 2 3, and can be quickly mounted, removed, and detached by the head mounting device 1 2 4 (see Fig. 3).

[0022] ノズル保持へッド 4 0 a， 4 0 b , 4 0 cはそれぞれ、ノズルホルダ 1 3 0の数を異にし、保持する吸着ノズル 4 4の数が互いに異ならされており、基板 5 0の種類や装着される回路部品の種類等に応じて択一的にへッド移動装置 4 2に保持される。上記へッド位置決め装置 1 2 3，へッド取付装置 1The nozzle holding heads 40 a, 40 b, and 40 c have different numbers of nozzle holders 130, respectively, and have different numbers of suction nozzles 44 to hold. The head is selectively held by the head moving device 42 according to the type of 0, the type of the circuit component to be mounted, and the like. Head positioning device 1 2 3 above, Head mounting device 1

2 4およびノズル保持ヘッド 4 0 a， 4 0 b , 4 0 cは、未だ公開されていないが、本出願人による特願 2 0 0 2 - 3 3 7 7 3 9号の明細書に記載されており、詳細な説明は省略する。 24 and the nozzle holding heads 40a, 40b, and 40c are not disclosed yet, but are described in the specification of Japanese Patent Application No. 2002-3373 739 by the present applicant. Therefore, detailed description is omitted.

[0023] 前記第二 X軸スライド 9 8には、その下部に、基板 5 0の表面（上面）に付された基準マーク等を撮像するための装置であって、撮像デバイスとしての C C Dカメラ 1 6 0および照明装置 1 6 2を含む認識装置の一種であるマ一ク撮像装置 1 6 4が設けられている（図 3，図 2 4参照）。マーク撮像装置 1 6 4は、ノズル保持へッド 4 0と共に、へッド移動装置 4 2により水平な一平面内の任意の位置へ移動させられる。 [0023] The second X-axis slide 98 is a device for imaging a reference mark or the like attached to the surface (upper surface) of the substrate 50 below the second X-axis slide 98, and includes a CCD camera 1 as an imaging device. A mark imaging device 164, which is a type of recognition device including a lighting device 160 and a lighting device 162, is provided (see Figs. 3 and 24). The mark imaging device 16 4 is moved together with the nozzle holding head 40 to an arbitrary position within one horizontal plane by the head moving device 42.

[0024] また、各々の装着モジュール 1 2には、図 2に示すようにモジュール本体 [0024] Each mounting module 12 has a module main body as shown in FIG.

1 8に、部品供給装置 2 2と基板搬送装置 2 4との間に撮像デバイスとしての C C Dカメラおよび照明装置を有する認識装置の一種である部品撮像装置 18 shows a component imaging device which is a kind of a recognition device having a CCD camera and an illumination device as an imaging device between the component supply device 22 and the substrate transfer device 24.

1 7 0が配備されており、部品撮像装置 1 1 0は、ノズル保持へッド 4 0により保持された回路部品の姿勢等を撮像する。このように各々の装着モジュール 1 2は、部品供給装置 2 2，部品搬送装置 2 4，部品装着装置 2 6をそれぞれ備えてモジュール化されたモジュール化装置であり、システムベースA component imaging device 110 captures the attitude and the like of the circuit component held by the nozzle holding head 40. As described above, each mounting module 12 is a modularized device that is provided with the component supply device 22, the component transport device 24, and the component mounting device 26, and is modularized.

1 0から容易に分離可能な構造とされ、各々を入れ替えて配置することも可能となっている。 It has a structure that can be easily separated from 10 and can be replaced with each other.

[0025] 基板搬送装置 2 4を説明する。本システムにおいては、基板 5 0は基板搬送装置 2 4により、装着モジュール 1 2が並ぶ方向である X軸方向に搬送される。 X軸方向が基板搬送方向である。基板搬送装置 2 4は、本実施例ではコンペャ装置であり、図 7に概略的に示すように、フロントコンペャ部 2 0 0およびリヤコンべャ部 2 0 2の 2つのコンペャ部を有し、ガイドレール 2[0025] The substrate transfer device 24 will be described. In this system, the substrate 50 is transported by the substrate transport device 24 in the X-axis direction in which the mounting modules 12 are arranged. The X-axis direction is the substrate transfer direction. In this embodiment, the substrate transfer device 24 is As shown schematically in FIG. 7, the conveyor device has two conveyor units, a front conveyor unit 200 and a rear conveyor unit 202.

1 0およびガイドレール 2 1 2がフロントコンペャ部 2 0 0の本体を構成し、ガイドレール 2 1 4およびガイドレール 2 1 6がリヤコンべャ部 2 0 2の本体を構成している。ガイドレール 2 1 0， 2 1 2， 2 1 4， 2 1 6はサイドフレームの一例であるが、基板 5 0および後述するコンペャベルトを案内するガイド部を備えているため、ガイドレールと称することとし、以下、単にレールと略称する。 The guide rail 210 and the guide rail 211 constitute the main body of the front conveyor section 200, and the guide rail 210 and the guide rail 216 constitute the main body of the rear conveyor section 202. The guide rails 210, 212, 214, and 216 are examples of side frames, but are referred to as guide rails because they have guide portions for guiding the substrate 50 and a conveyor belt described later. Hereinafter, it is simply referred to as a rail.

[0026] レール 2 1 0は、システムベース 1 0の前方（Y軸方向における部品供給装置 2 2側）に固定して設けられた固定レールであり、レール 2 1 2， 2 1 4， 2 1 6は、システムベース 1 0に配設されたガイド 2 1 8 (図 8参照）に沿って Y軸方向に移動可能に設けられた可動レールである。これらレール 2 1 2， 2 1 4， 2 1 6はそれぞれ、図 8にレール 2 1 2を代表的に示すように、駆動源たるレール位置変更モータ 2 2 0 (図 2 4参照），ポールねじ 2 2 2およびナツ卜 2 2 4を含むレール移動装置 2 2 6により独立して移動させられ、フロントコンペャ部 2 0 0およびリヤコンべャ部 2 0 2の搬送幅がそれぞれ任意に変更可能とされている。レール 2 1 4は可動レールであるが、リヤコンべャ部 2 0 2においてはレール 2 1 6がレール 2 1 4に対して接近，離間させられて搬送幅が調節される。その意味では、レール 2 1 4は固定レールと考えることもできる。 The rail 210 is a fixed rail fixedly provided in front of the system base 10 (on the component supply device 22 side in the Y-axis direction), and the rails 2 1 2, 2 1 4, 2 1 Reference numeral 6 denotes a movable rail provided to be movable in the Y-axis direction along a guide 2 18 (see FIG. 8) provided on the system base 10. These rails 2 1 2, 2 14, and 2 16 are, as shown in Fig. 8, representative of rails 2 12, a rail position changing motor 2 20 (see Fig. 24) as a driving source, and a pole screw. It can be moved independently by the rail moving device 2 26 including the 2 2 2 and the nut 2 2 4, and the transport width of the front conveyor 200 and the rear conveyor 202 can be changed arbitrarily. Have been. The rails 214 are movable rails, but in the rear conveyor section 202, the rails 214 are moved closer to and away from the rails 214 to adjust the transport width. In that sense, rails 2 1 4 can also be considered fixed rails.

[0027] レール 2 1 0 - 2 1 6にはそれぞれ、レール 2 1 2について図 8に代表的に示すように、プーリ 2 3 0を始めとする複数のプーリが回転可能に設けられるとともに、環状のコンペャベルト 2 3 2が巻き掛けられており、基板搬送モータ 2 3 4 (図 2 4参照）を駆動源とするベルト駆動装置によってブーリ 2 3 0等が回転させられることによリコンべャベルト 2 3 2が周回させられ、その上面上に載置された基板 5 0がガイド部材 2 3 6によって案内されつつ、 X軸方向に搬送される。コンペャベルト 2 3 2の上面を含む面が基板搬送面 2 3 8である。基板搬送モータ 2 3 4および前記レール位置変更モータ 2 2 0は、本実施例では、電動モータであるエンコーダ付サーポモータにより構成されている。レール 2 1 0 - 2 1 6のそれぞれにはまた、図 8および図 9に示すように、基板 5 0をコンペャベルト 2 3 2上から押し上げ、押さえ部 2 4 0に押し付けてクランプするクランプ部材ないし押上部材 2 4 2 が昇降可能に設けられ、それら押さえ部 2 4 0および押上部材 2 4 2等が基板クランプ装置を構成している。 [0027] Each of the rails 2 10 -2 16 is provided with a plurality of pulleys including a pulley 2 30 as shown in FIG. An annular conveyor belt 232 is wrapped around the belt conveyor, and the belt drive device driven by a substrate carrying motor 234 (see FIG. 24) drives the bullion 230 and the like to rotate so that the conveyor is recombined. The belt 23 is rotated, and the substrate 50 placed on its upper surface is transported in the X-axis direction while being guided by the guide members 236. The surface including the upper surface of the conveyor belt 232 is the substrate transfer surface 238. Board transport motor 2 3 4 and rail position change motor In this embodiment, the motor 220 is constituted by a servo motor with an encoder, which is an electric motor. Each of the rails 210-216 also has a clamp that pushes up the substrate 50 from above the conveyor belt 232 and presses it against the holding portion 240 as shown in FIGS. 8 and 9. A member or a lifting member 242 is provided so as to be able to move up and down, and the pressing portion 240 and the lifting member 242 constitute a substrate clamping device.

[0028] 基板支持装置 2 8を説明する。基板支持装置 2 8は、図 8，図 1 0および図 1 4に示すように、支持ピン 2 5 0，支持ピン把持装置 2 5 2，ピン支持部材としてのピン支持台 2 5 4，支持ピン収納装置 2 5 6，相対移動装置としての支持ピン把持装置移動装置およびその移動装置を制御する制御装置を備えている。支持ピン 2 5 0，ピン支持台 2 5 4および支持ピン収納装置 2 5 6は、フロントコンペャ部 2 0 0およびリヤコンべャ部 2 0 2の各々について設けられ、それら以外は共用とされている。 [0028] The substrate supporting device 28 will be described. As shown in FIGS. 8, 10, and 14, the substrate support device 28 includes a support pin 250, a support pin gripping device 252, a pin support base 254 as a pin support member, and a support pin. It has a storage device 256, a support pin gripping device moving device as a relative moving device, and a control device for controlling the moving device. The support pins 250, the pin support bases 254, and the support pin storage devices 256 are provided for each of the front conveyor section 200 and the rear conveyor section 202. Have been.

[0029] 支持ピン 2 5 0およびピン支持台 2 5 4を説明する。支持ピン 2 5 0は、図 1 1ないし図 1 3に示すように、永久磁石 2 7 0の磁力に基づいて基台 2 7 2がピン支持台 2 5 4に押し付けられ、着脱可能に固定されるとともに、基台 2 7 2により支持されたピン部材 2 7 4により基板 5 0を支持するものとされている。ピン支持台 2 5 4は、図 8に概略的に示すように、横断面形状が矩形の板状を成し、その上面により構成されるピン支持面 2 7 6上に支持ピン 2 5 0が載置される。そのため、ピン支持台 2 5 4は、少なくともピン支持面 2 7 6が鋼等、磁性材料製とされている。 [0029] The support pin 250 and the pin support 254 will be described. As shown in FIGS. 11 to 13, the support pin 250 is pressed against the pin support base 254 based on the magnetic force of the permanent magnet 270, and is detachably fixed. In addition, the substrate 50 is supported by a pin member 274 supported by the base 272. As schematically shown in FIG. 8, the pin support 2 4 4 has a rectangular plate shape in cross section, and has a support pin 2 5 6 0 is placed. Therefore, at least the pin support surface 276 of the pin support 254 is made of a magnetic material such as steel.

[0030] ピン支持台 2 5 4は、ピン支持部材移動装置としての支持台昇降装置 2 8 0により、図 8に二点鎖線で示すように、支持ピン 2 5 0が基板 5 0を支持する基板支持位置と、図 8に実線で示すように、支持ピン 2 5 0が基板搬送面 2 3 8の下方へ退避させられた退避位置とに移動させられる。支持台昇降装置 2 8 0は、本実施例においては流体圧ァクチユエータの一種であるエアシリンダを駆動源とする。ピン支持台 2 5 4は、前記フロントコンペャ部 2 0 0およびリヤコンべャ部 2 0 2により搬送される複数種類の基板 5 0の支持に用いられ、搬送幅調節時には可動レール 2 1 2 , 2 1 6はピン支持台 2 5 4に対して Y軸方向に移動させられる。 As shown by a two-dot chain line in FIG. 8, the support pins 250 support the substrate 50 by the support lift device 280 as a pin support member moving device. The support pins 250 are moved to a retracted position in which the support pins 250 are retracted below the substrate transfer surface 238, as shown by a solid line in FIG. In the present embodiment, the support platform elevating device 280 uses an air cylinder, which is a type of fluid pressure actuator, as a drive source. The pin support 254 supports a plurality of types of substrates 50 conveyed by the front conveyor section 200 and the rear conveyor section 202. The movable rails 2 1 2 and 2 16 are moved in the Y-axis direction with respect to the pin support 2 254 when the transport width is adjusted.

[0031 ] 支持ピン 2 5 0の基台 2 7 2は、本実施例においては、アルミニウム合金等の非磁性材料製とされ、図 1 1および図 1 3に示すように、横断面形状が円形を成し、下方に開放されるとともに、支持ピン 2 5 0の軸線と直交する方向に貫通する溝 2 8 8を有して溝形を成し、内側に内側空間 2 9 0を有する。内側空間 2 9 0は、底部が開放された凹部でもある。基台 2 7 2の底面である下面には、その全面に底板 2 9 2が接着等、適宜の固定手段によって固定され、内側空間 2 9 0の全部を覆っている。底板 2 9 2は、本実施例では、ステンレススチール等の非磁性材料製とされ、その基台 2 7 2側の面である上面 2 9 3とは反対側の外面である下面にゴム板 2 9 4が接着等、適宜の固定手段により固定され、基台 2 7 2の底面がゴム層により覆われている。ゴム板 2 9 4の底板 2 9 2とは反対側の面が、支持ピン 2 5 0のピン支持台 2 5 4により支持される被支持面を構成している。 In the present embodiment, the base 2 72 of the support pin 250 is made of a non-magnetic material such as an aluminum alloy, and has a circular cross section as shown in FIGS. 11 and 13. It is open downward, has a groove 288 that penetrates in a direction perpendicular to the axis of the support pin 250, and has a groove shape, and has an inner space 290 inside. . The inner space 290 is also a concave part whose bottom is open. A bottom plate 292 is fixed to the entire lower surface, which is the bottom surface of the base 272, by an appropriate fixing means such as bonding, and covers the entire inner space 290. In this embodiment, the bottom plate 292 is made of a non-magnetic material such as stainless steel, and a rubber plate is provided on the lower surface which is the outer surface opposite to the upper surface 293 which is the surface on the base 272 side. 294 is fixed by an appropriate fixing means such as bonding, and the bottom surface of the base 272 is covered with a rubber layer. The surface of the rubber plate 294 opposite to the bottom plate 292 forms a supported surface supported by the pin support 254 of the support pin 250.

[0032] ピン部材 2 7 4は、図 1 1および図 1 2に示すように、いずれも軸状を成す第一部材 3 0 0および第二部材 3 0 2を含む。第二部材 3 0 2は、基台 2 7 2の溝 2 8 8の底を構成する天壁 3 1 4を軸方向に相対移動可能に嵌合され、基台 2 7 2により保持されており、その下端部が内側空間 2 9 0内に位置させられて基端部を構成するとともに、 C形部材 3 0 4が固定されている。 C形部材 3 0 4は、横断面形状が矩形を成す本体部 3 0 8と、本体部 3 0 8の長手方向の両端部においてそれぞれ、その幅方向の中央部から、本体部 3 0 8の板面に直角に延び出させられるとともに、延出端部が互いに接近する向きに曲げられて本体部 3 0 8に平行とされた一対の板状の係合部 3 1 0 ， 3 1 2とを含み、横断面形状が概して C字形を成す。係合部 3 1 0， 3 1 2は、ピン部材 2 7 4の軸方向において同じ位置に位置する。 C形部材 3 0 4は溝 2 8 8内に、係合部 3 1 0 , 3 1 2が溝 2 8 8に平行に延びる姿勢で収容され、 C字の開放部が下方を向いた状態でポルト等、適宜の固定手段 3 1 6により着脱可能に第二部材 3 0 2に固定されており、係合部 3 1 0， 3 1 2は本体部 3 0 8の両端部から下方へ突出させられている。ピン部材 2 7 4の基台 2 7 2側への移動限度は、天壁 3 1 4が C形部材 3 0 4に係合することにより規定され、天壁 3 1 4が移動限度規定部を構成している。第一，第二部材 3 0 0， 3 0 2， C形部材 3 0 4は、本実施例では、アルミニウム合金等の非磁性材料製とされている。 [0032] As shown in FIGS. 11 and 12, the pin member 274 includes a first member 300 and a second member 302, each of which has a shaft shape. The second member 300 is fitted to the ceiling wall 314 constituting the bottom of the groove 288 of the base 272 so as to be relatively movable in the axial direction, and is held by the base 272. The lower end is positioned inside the inner space 290 to form a base end, and the C-shaped member 304 is fixed. The C-shaped member 304 is composed of a main body portion 308 having a rectangular cross-sectional shape, and a main body portion 308 at both ends in the longitudinal direction of the main body portion 308, respectively, from the center in the width direction. A pair of plate-shaped engaging portions 3 1 0, 3 1 2 which are made to extend at right angles to the plate surface and whose extending end portions are bent so as to approach each other to be parallel to the main body 3 08. And the cross-sectional shape is generally C-shaped. The engaging portions 310 and 312 are located at the same position in the axial direction of the pin member 274. The C-shaped member 304 is accommodated in the groove 288 with the engaging portions 310 and 318 extending in parallel with the groove 288, with the C-shaped opening facing downward. It is detachably fixed to the second member 302 by an appropriate fixing means 310, such as a port. Reference numeral 12 protrudes downward from both ends of the main body portion 108. The limit of the movement of the pin member 274 to the base 272 is defined by the top wall 314 engaging the C-shaped member 304, and the top wall 314 defines the movement limit stipulation portion. Make up. The first and second members 300, 302, and the C-shaped member 304 are made of a nonmagnetic material such as an aluminum alloy in the present embodiment.

[0033] 第二部材 3 0 2の基台 2 7 2から外へ、すなわち内側空間 2 9 0とは反対側突出した突出部に前記第一部材 3 0 0が螺合等、適宜の固定手段により着脱可能かつ軸方向の位置調節可能に固定されている。その突出部の先端は、支持ピン 2 5 0の軸線と直交する一平面状を成し、支持面 3 2 4を構成し、基板 5 0を支持する。第一部材 3 0 0の螺合量の調節により、支持面 3 2 4 の軸方向ないし高さ方向の位置が調節可能である。また、第一部材 3 0 0の軸方向の中間部には環状の溝 3 2 6が設けられ、横断面形状が円形を成す被把持部 3 2 8および環状の係合部 3 2 9が設けられている。 [0033] The first member 300 is screwed into a protrusion protruding from the base 272 of the second member 302, that is, the side protruding from the opposite side to the inner space 290. It is fixed so that it can be attached and detached and its axial position can be adjusted. The tip of the protruding portion forms a plane orthogonal to the axis of the support pin 250, forms a support surface 324, and supports the substrate 50. By adjusting the screwing amount of the first member 300, the position of the support surface 324 in the axial direction or the height direction can be adjusted. Further, an annular groove 326 is provided at an intermediate portion in the axial direction of the first member 300, and a gripped portion 328 and a circular engagement portion 329 having a circular cross section are provided. Have been.

[0034] 前記永久磁石 2 7 0は、本実施例においては、図 1 3に示すように、横断面形状が円形を成し、磁石保持部材 3 3 0により保持されている。磁石保持部材 3 3 0は、その底面に開口する凹部 3 3 2を備えて容器状を成し、凹部 3 3 2内に永久磁石 2 7 0が接着等、適宜の固定手段により固定され、永久磁石 2 7 0と一体とされており、永久磁石 2 7 0および磁石保持部材 3 3 0 が永久磁石部 3 3 4を構成している。磁石保持部材 3 3 0は、鋼等、磁性材料により作られている。永久磁石 2 7 0は、磁石保持部材 3 3 0の底面 3 3 5から僅かに凹部 3 3 2内に引っ込んだ状態で固定されており、それにより、永久磁石 2 7 0の保護および磁性材料製のピン支持台 2 5 4に生じさせられる磁気吸引力の強化が図られている。 In the present embodiment, as shown in FIG. 13, the cross section of the permanent magnet 270 is circular, and the permanent magnet 270 is held by a magnet holding member 330. The magnet holding member 330 has a concave shape provided with a concave portion 332 opened on the bottom surface thereof, and a permanent magnet 270 is fixed in the concave portion 332 by an appropriate fixing means such as bonding, and the permanent magnet is permanently fixed. It is integrated with the magnet 270, and the permanent magnet 270 and the magnet holding member 330 constitute a permanent magnet section 334. The magnet holding member 330 is made of a magnetic material such as steel. The permanent magnet 270 is fixed in a state of being slightly retracted from the bottom surface 335 of the magnet holding member 330 into the concave portion 332, thereby protecting the permanent magnet 270 and forming a magnetic material. The magnetic attraction generated by the pin support 254 is strengthened.

[0035] 磁石保持部材 3 3 0には、図 1 1および図 1 3に示すように、その側方へ互いに逆向きに突出した一対の突部 3 3 6， 3 3 8が設けられている。磁石保持部材 3 3 0は、図 1 1および図 1 2に示すように、凹部 3 3 2の開口を下向きにして、突部 3 3 6， 3 3 8が係合部 3 1 0， 3 1 2内に位置させられ、 C形部材 3 0 4の係合部 3 1 0 , 3 1 2の並び方向に平行な方向および本体部 3 0 8に直角な方向においてそれぞれ、 C形部材 3 0 4との間に隙間を有し、係合部 3 1 0 , 3 1 2の並び方向と本体部 3 0 8との両方に直角な方向において基台 2 7 2との間に僅かに隙間を有し、前記基台 2 7 2と C形部材 3 0 4とにより四方をほぼ囲まれた空間内に、相対移動は自在であるが、その空間内からの離脱は防止された状態で配設されている。突部 3 3 6， 3 3 8は、図 1 1に示すように、厚さが異ならされ、それぞれ、ピン部材 2 7 4の軸方向における位置を互いに異にする係合面 3 4 0， 3 4 2を有する。磁石保持部材 3 3 0全体が底板 2 9 2に当接した状態において、突部 3 3 6のピン部材 2 7 4の軸線に直角な一平面であって、下向きの面により構成される係合面 3 4 0は、突部 3 3 8の係合面 3 4 2より下方に位置し、ピン部材 2 7 4の軸方向における位置を異にするのである。本実施例では、係合部 3 1 0， 3 1 2がー対の第一係合部を構成し、突部 3 3 6， 3 3 8がー対の第二係合部を構成し、これらが力伝達装置を構成している。 As shown in FIGS. 11 and 13, the magnet holding member 33 is provided with a pair of protrusions 33 36 and 33 38 that project in opposite directions to the sides. . As shown in FIGS. 11 and 12, the magnet holding member 330 has the recessed portion 3332 opening downward, and the projections 33, 36, 38 are engaged with the engaging portions 310, 31. 2 in the direction parallel to the direction in which the engaging portions 3110 and 3112 of the C-shaped member 304 are arranged. There is a gap between each of the C-shaped members 304 in a direction perpendicular to the main body portion 308, and the gap is provided in both the alignment direction of the engaging portions 310 and 318 and the main body portion 308. There is a slight gap between the base 272 and the base 272 in the right angle direction, and the relative movement is free in a space substantially surrounded by the base 272 and the C-shaped member 304. However, it is arranged in a state where it is prevented from leaving the space. As shown in FIG. 11, the projections 336 and 338 have different thicknesses, and the engagement surfaces 3400 and 3 have different axial positions of the pin members 274, respectively. With 4 2. When the entire magnet holding member 330 is in contact with the bottom plate 292, the engagement is constituted by a downward surface that is a plane perpendicular to the axis of the pin member 274 of the projection 336. The surface 340 is located lower than the engagement surface 342 of the projection 338, and the pin member 274 has a different position in the axial direction. In this embodiment, the engaging portions 310 and 312 constitute the first engaging portion of the pair, and the projections 336 and 338 constitute the second engaging portion of the pair, These constitute a force transmission device.

[0036] 図 1 1に示すように、支持ピン 2 5 0がピン支持台 2 5 4上に載置され、ピン支持面 2 7 6により支持されて基板 5 0を支持する状態では、基台 2 7 2がピン支持面 2 7 6上に載置されるとともに、磁石保持部材 3 3 0の底面 3 3 5全体が底板 2 9 2の上面 2 9 3に当接し、永久磁石部 3 3 4がピン支持台 2 5 4に最も接近した状態となる。この状態では、永久磁石部 3 3 4およびピン支持台 2 5 4間に磁界が生じ、永久磁石部 3 3 4がピン支持台 2 5 4に磁気的に吸引され、その磁気吸引力に基づいて磁石保持部材 3 3 0が底板 2 9 2を介して基台 2 7 2に、その基台 2 7 2をピン支持台 2 5 4に押し付ける力を加え、支持ピン 2 5 0がピン支持台 2 5 4上に固定され、支持される。本実施例では、磁石保持部材 3 3 0の底面 3 3 5と底板 2 9 2の上面 2 9 3とが力伝達部を構成している。ピン部材 2 7 4は、ピン支持台 2 5 4 に固定された基台 2 7 2により支持されるとともに、 C形部材 3 0 4および磁石保持部材 3 3 0を介してピン支持台 2 5 4により下方から支持され、基板 5 0を支持する。 As shown in FIG. 11, in a state where the support pins 250 are placed on the pin support 254 and supported by the pin support surface 276 to support the substrate 50, 2 7 2 is placed on the pin support surface 2 7 6, and the entire bottom surface 3 3 5 of the magnet holding member 3 3 0 contacts the top surface 2 9 3 of the bottom plate 2 9 2, and the permanent magnet section 3 3 4 Is closest to the pin support 2 54. In this state, a magnetic field is generated between the permanent magnet section 334 and the pin support 254, and the permanent magnet section 334 is magnetically attracted to the pin support 254, and based on the magnetic attractive force. The magnet holding member 330 applies a force to the base 272 via the bottom plate 292 and presses the base 272 against the pin support 2524, and the support pin 250 becomes a pin. It is fixed on the support stand 25 and is supported. In the present embodiment, the bottom surface 335 of the magnet holding member 330 and the upper surface 293 of the bottom plate 292 constitute a force transmitting section. The pin member 274 is supported by a base 272 fixed to the pin support 254, and the pin support 254 via a C-shaped member 304 and a magnet holding member 330. , Which supports the substrate 50 from below.

[0037] 支持ピン把持装置 2 5 2を説明する。支持ピン把持装置 2 5 2は、図 1 4 および図 1 5に示すように、前記保持体 1 2 6により保持され、ノズル保持へッド 4 0と共に前記へッド移動装置 4 2の第二 X軸スライド 9 8に装着され、ヘッド移動装置 4 2により水平面内の任意の位置へ移動させられる。保持体 1 2 6の支持ピン把持装置 2 5 2を保持する部分が、支持ピン把持装置 2 5 2を保持する保持装置を構成し、本実施例においては、ノズル保持へッド 4 0と支持ピン把持装置 2 5 2とが別個の保持装置により保持されるとともに、それら保持装置が一体に設けられ、ノズル保持ヘッド 4 0，支持ピン把持装置 2 5 2および保持体 1 2 6が保持部を構成している。支持ピン把持装置 2 5 2は前記複数種類のノズル保持へッド 4 0の各々について設けられ、複数の保持部がへッド移動装置 4 2に択一的に装着される。 [0037] The support pin gripping device 252 will be described. Fig. 14 As shown in FIG. 15 and shown in FIG. 15, it is held by the holder 126 and is attached to the second X-axis slide 98 of the head moving device 42 together with the nozzle holding head 40 to move the head. It is moved to any position in the horizontal plane by the device 42. The portion of the holding body 1 26 holding the support pin gripping device 25 2 constitutes a holding device holding the support pin gripping device 25 2, and in this embodiment, the nozzle holding head 40 The support pin holding device 25 2 is held by a separate holding device, and the holding devices are integrally provided. The nozzle holding head 40, the support pin holding device 25 2, and the holding body 1 26 Constitute a holding unit. A support pin gripping device 25 2 is provided for each of the plurality of types of nozzle holding heads 40, and a plurality of holding portions are selectively mounted on the head moving device 42.

[0038] 支持ピン把持装置 2 5 2は、図 1 6に示すように把持装置本体 3 6 0，把持爪群 3 6 2，作動部材としての進退部材 3 6 4および切換装置 3 6 6を含む。把持装置本体 3 6 0は、横断面形状が概して円形であって、底部ないし下方に開口させられた有底の中空筒状を成す。進退部材 3 6 4は把持爪群保持部 3 7 0と被係止部材部 3 7 2とを含む。把持爪群保持部 3 7 0は横断面形状が小判形を成し、図 1 6および図 1 9に示すように、把持装置本体 3 6 0内に同軸に、かつその軸に沿って軸方向に進退可能であって昇降可能に嵌合されている。 [0038] As shown in Fig. 16, the support pin gripping device 252 includes a gripping device main body 360, a gripping claw group 362, an advancing / retreating member 3664 as an operating member, and a switching device 3666. Include. The gripping device body 360 has a generally circular cross-sectional shape, and has a bottomed hollow cylindrical shape that is open at the bottom or downward. The reciprocating member 365 includes a gripping claw group holding portion 370 and a locked member portion 372. The gripping claw group holding portion 370 has an oval cross section and, as shown in FIGS. 16 and 19, is coaxial with the gripping device main body 360 and axially along its axis. And can be moved up and down.

[0039] 被係止部材部 3 7 2は、横断面形状が円形を成し、把持爪群保持部 3 7 0 から同心にかつ上方へ延び出させられ、把持装置本体 3 6 0と同軸であり、進退部材 3 6 4は把持装置本体 3 6 0との間に設けられた付勢手段の一種である弾性部材としての圧縮コイルスプリング 3 7 4により把持装置本体 3 6 0から突出する向きに付勢されている。スプリング 3 7 4の付勢による進退部材 3 6 4の移動限度は、図 1 9に示すように、進退部材 3 6 4に設けられ、軸方向に延びる凹部 3 7 6の端面に、把持装置本体 3 6 0に設けられた突部 3 7 8が係合することにより規定され、図 1 6に示すように、把持爪群保持部 3 7 0の大部分が把持装置本体 3 6 0から外方であって下方へ突出させられた状態となる。この位置が進退部材 3 6 4の非作用位置であり、それぞれ係合部を構成する凹部 3 7 6および突部 3 7 8が非作用位置規定装置，非作用位置係止装置ないし非作用位置維持装置を構成している。進退部材 3 6 4は、この非作用位置から作用位置に向かって進められる。作用位置は、図 1 8に示すように、把持装置本体 3 6 0に対して相対的に、非作用位置より把持装置本体 3 6 0の内側であって上側に位置し、把持爪群 3 6 2を閉状態に保ち、支持ピン 2 5 0を把持する状態に保つ位置であり、スプリング 3 7 4は進退部材 3 6 4を作用位置から非作用位置に向かう向きに付勢している。進退部材 3 6 4の把持装置本体 3 6 0に対する進退は、把持装置本体 3 6 0の内周面および把持装置本体 3 6 0に設けられた案内面 3 8 2を含む案内装置により案内される。 The locked member portion 372 has a circular cross-sectional shape, is extended concentrically and upward from the gripping claw group holding portion 370, and is coaxial with the gripping device main body 360. The reciprocating member 364 is oriented in a direction to protrude from the gripping device main body 360 by a compression coil spring 374 as an elastic member which is a kind of biasing means provided between the gripping device main body 360 and the gripping device main body 360. Being energized. As shown in FIG. 19, the movement limit of the advance / retreat member 364 by the bias of the spring 374 is provided on the advance / retreat member 364, and the end face of the concave portion 376 extending in the axial direction is provided on the gripping device main body. It is defined by the engagement of the projections 378 provided on the 360, and as shown in Fig. 16, most of the gripping claw group holding section 370 is outside the gripping device main body 360. And is projected downward. This position is the inoperative position of the reciprocating member 3 6 4 The concave portion 376 and the projection 378 forming the engaging portion constitute a non-operating position defining device, a non-operating position locking device or a non-operating position maintaining device. The reciprocating member 364 is advanced from the non-operating position toward the operating position. As shown in FIG. 18, the working position is located inside and above the gripping device main body 360 from the non-working position relative to the gripping device main body 360, and the gripping claw group 36 This is a position where the support pin 2 50 is held in a state where the support pin 2 50 is held and the support pin 2 50 is held, and the spring 37 4 urges the advance / retreat member 36 4 in a direction from the working position to the non-working position. The advance / retreat of the advance / retreat member 364 with respect to the gripping device main body 360 is guided by a guiding device including an inner peripheral surface of the gripping device main body 360 and a guide surface 382 provided on the gripping device main body 360. .

[0040] 把持爪群保持部 3 7 0には、その軸線上に、下面に開口し、軸方向に延び、底面 3 8 4を有する有底の嵌合穴 3 8 6が設けられている。この嵌合穴 3 8 6は、把持装置本体 3 6 0の軸線上に位置しており、前記支持ピン 2 5 0 の先端部、本実施例では第一部材 3 0 0の係合部 3 2 8より支持面 3 2 4側の部分が嵌合され、実質的に支持ピン 2 5 0の傾きを防止し、把持装置本体 3 6 0と同軸に位置決めするように形成されている。 The gripping claw group holding portion 370 is provided with a bottomed fitting hole 386 having an opening on the lower surface, extending in the axial direction, and having a bottom surface 384 on the axis thereof. The fitting hole 3886 is located on the axis of the gripping device main body 360, and the distal end of the support pin 250, in this embodiment, the engaging portion 32 of the first member 300 The portion closer to the support surface 32 4 than 8 is fitted so as to substantially prevent the support pin 250 from tilting and to be positioned coaxially with the gripping device main body 360.

[0041 ] 把持爪群保持部 3 7 0にはまた、図 1 6に示すように、その被係止部材部 As shown in FIG. 16, the gripping claw group holding portion 370 also has

3 7 2から半径方向外向きに突出した 2箇所であって、把持装置本体 3 6 0 および進退部材 3 6 4の軸線に対して軸対称となる部分にそれぞれ、その外面に開口する凹部 3 9 0， 3 9 2が軸方向に貫通して設けられ、把持爪群 3 6 2の複数、本実施例では 2つの支持ピン把持部材としてのピン把持爪（以後、把持爪と略称する） 3 9 4， 3 9 6が回動可能に嵌合されている。把持爪 3 9 4， 3 9 6は長手形状を成し、その長手方向の一端部である上端部において把持爪群保持部 3 7 0に軸 3 9 8， 4 0 0により、進退部材 3 6 4の軸線と直角に立体交差する軸線であって、互いに平行な軸線まわりに回動可能に取り付けられ、開閉可能であり、把持装置本体 3 6 0の軸線に対して軸対称に設けられている。 3 7 Two concave portions that protrude outward in the radial direction and that are axially symmetric with respect to the axis of the gripping device main body 360 and the reciprocating member 365, respectively, and have recesses 3 that open on the outer surface thereof. 90 and 392 are provided to penetrate in the axial direction, and a plurality of gripping claws 36 2, in this embodiment, two pin gripping claws as support pin gripping members (hereinafter abbreviated as gripping claws) 394 and 396 are rotatably fitted. The gripping claws 3 94, 3 96 are formed in a longitudinal shape, and at the upper end, which is one end in the longitudinal direction, the gripping claw group holding section 3 70 is moved forward and backward by the shafts 3 98, 4 00. An axis that crosses the axis of 364 at right angles to the axis, and is rotatably mounted about axes parallel to each other, can be opened and closed, and is provided axially symmetrically with respect to the axis of the gripper main body 360. Have been.

[0042] 把持爪 3 9 4， 3 9 6の他端部である下端部ないし自由端部はそれぞれ、図 1 6および図 1 8に示すように、互いに接近する向きに屈曲させられ、把持部たる爪部 4 1 0， 4 1 2が設けられている。爪部 4 1 0， 4 1 2の互いに対向する面は、部分円筒面状の把持面 4 1 3 , 4 1 4とされている。把持爪 3 9 4， 3 9 6の自由端部にはまた、爪部 4 1 0， 4 1 2とは逆向きに突出する突部 4 1 5， 4 1 6が設けられ、遮蔽部として機能するようにされている。突部 4 1 5， 4 1 6の用途は後に説明する。また、把持爪 3 9 4， 3 9 6の下端面は、例えば、黒染め処理が施され、光を反射しないようにされている。さらに、把持爪 3 9 4， 3 9 6は、その長手方向の中間部において付勢手段の一種である弾性部材としての圧縮コイルスプリング 4 1 8， 4 2 0により、爪部 4 1 0， 4 1 2が把持部材保持部 3 7 0の軸線から離間し、互いに離間する向きであって開方向に付勢されている。スプリング 4 1 8， 4 2 0の付勢による把持爪 3 9 4， 3 9 6の回動限度は、把持爪 3 9 4， 3 9 6が凹部 3 9 0， 3 9 2の底面に当接することにより規定される。 [0042] The lower end or the free end, which is the other end of the gripping claws 394, 3966, is As shown in FIG. 16 and FIG. 18, claws 4 10 and 4 12 which are bent so as to approach each other and are holding portions are provided. The surfaces of the claws 4 10 and 4 12 facing each other are partially cylindrical gripping surfaces 4 13 and 4 14. The free ends of the gripping claws 3 94 and 3 96 are also provided with projections 4 15 and 4 16 protruding in the opposite direction to the claws 4 10 and 4 12, respectively. It works. The use of the protrusions 415 and 416 will be described later. Further, the lower end surfaces of the gripping claws 394, 3966 are, for example, subjected to a black dyeing treatment so as not to reflect light. Further, the gripping claws 3 94, 3 96 are formed at their middle portions in the longitudinal direction by the compression coil springs 4 18, 4 20 as elastic members, which are a kind of urging means, to form the claw portions 4 10, 4. Numeral 12 is separated from the axis of the gripping member holding portion 370, and is biased in the direction of separating from each other and in the opening direction. The rotation limit of the gripping claws 394, 396 due to the biasing of the springs 418, 4200 is such that the gripping claws 394, 396 abut the bottom surfaces of the recesses 390, 392. It is defined by

[0043] また、把持爪 3 9 4， 3 9 6の互いに反対向きの面であって外面は、把持爪 3 9 4， 3 9 6の長手方向に延びる被作用面 4 2 2， 4 2 4とされている。これら被作用面 4 2 2， 4 2 4の回動軸線側の部分は、回動軸線から離れるほど（下方ほど）外方（把持装置本体 3 6 0の外周面側）へ向かう向きに傾斜させられた傾斜面 4 2 6， 4 2 8とされている。 [0043] In addition, the outer surfaces of the gripping claws 394, 396 which are opposite to each other, and the outer surfaces of the gripping claws 394, 396 extend in the longitudinal direction of the gripping claws 394, 396. It has been. The portions on the rotation axis side of these actuated surfaces 4 2 2 and 4 2 4 4 are tilted outward (toward the outer peripheral surface side of the gripping device body 360) in a direction away from the rotation axis (downward). The inclined surfaces 4 26 and 4 28 are set.

[0044] 前記切換装置 3 6 6は、図 1 6に示すように、運動変換機構 4 3 0および係止装置 4 3 2を含む。運動変換機構 4 3 0は、一対の連結リンク（以後、リンクと略称する） 4 3 4， 4 3 6 , 案内装置 4 3 8および可動作用部材としての作用レバー 4 4 0を含む。リンク 4 3 4， 4 3 6の各一端部はそれぞれ、把持爪 3 9 4， 3 9 6に軸 4 4 4， 4 4 6により、把持爪 3 9 4， 3 9 6の回動軸線と平行な軸線まわリに相対回動可能に連結されるとともに、他端部同士が軸 4 4 8により、一端部の回動軸線と平行な軸線まわリに互いに相対回動可能に連結されている。 As shown in FIG. 16, the switching device 366 includes a motion conversion mechanism 430 and a locking device 432. The motion conversion mechanism 430 includes a pair of connecting links (hereinafter abbreviated as links) 434, 436, a guide device 438, and a working lever 440 as a movable working member. One end of each of the links 4 3 4 and 4 3 6 are respectively connected to the gripping claws 3 9 4 and 3 9 6 by the axes 4 4 4 and 4 4 6. The other end is connected to an axis line parallel to the rotation axis of one end by a shaft 448 so as to be relatively rotatable relative to each other. I have.

[0045] 図 1 9に示すように、軸 4 4 8は把持爪群保持部 3 7 0から外へ突出させられ、把持装置本体 3 6 0に設けられた切欠 4 5 2に、把持装置本体 3 6 0 の軸線に平行な方向であって、進退部材 3 6 4の進退方向には移動可能であるが、その進退方向と直角な方向であって、把持爪 3 9 4， 3 9 6の開閉方向に平行な方向には移動不能に嵌合されている。切欠 4 5 2は、把持装置本体 3 6 0の軸線を含む一平面内に設けられており、軸 4 4 8はその平面内を移動し、リンク 4 3 6， 4 3 8は把持装置本体 3 6 0の軸線に対して軸対称に構成されている。したがって、一対の把持爪 3 9 4， 3 9 6は一斉に、かつ把持装置本体 3 6 0の軸線を対称軸として軸対称に回動させられ、把持爪群 3 6 2が軸対称に開閉させられるとともに、一方の把持爪が回動させられれば他方も連動して回動させられる。本実施例では、軸 4 4 8および切欠 4 5 2が案内装置 4 3 8を構成している。また、本実施例では、把持装置本体As shown in FIG. 19, the shaft 4 448 is projected out of the gripping claw group holding portion 3700, and the notch 4 52 provided in the gripping device main body 360, 3 6 0 Is movable in the direction of movement of the reciprocating member 36 4, but perpendicular to the direction of movement of the reciprocating member 36 4, and the direction of opening and closing of the gripping claws 3 94, 3 96. Are fitted so as not to move in a direction parallel to the direction. The notch 452 is provided in one plane including the axis of the gripper body 360, the axis 448 moves in that plane, and the links 436, 438 are in the gripper body. It is configured to be axially symmetric with respect to the 360 axis. Therefore, the pair of gripping claws 394, 3966 are simultaneously rotated and axially symmetric about the axis of the gripping device main body 360, and the gripping claw group 362 is opened and closed axially symmetrically. When one of the gripping claws is rotated, the other is also rotated in conjunction with it. In the present embodiment, the shaft 4448 and the notch 452 constitute the guide device 438. In this embodiment, the gripping device main body is used.

3 6 0に同軸上に嵌合され、把持爪群 3 6 2を同軸に保持する進退部材 3 6 4は、把持爪群 3 6 2の対称軸上に配設されるとともに、その中央奥に設けられ、把持爪群 3 6 2の対称軸に沿って進退する。進退部材 3 6 4に設けられた前記嵌合穴 3 8 4は把持爪群 3 6 2の対称軸上に位置し、その底面 3 8 4は把持爪群 3 6 2の中央奥に位置する。 The reciprocating member 364, which is coaxially fitted with 360 and holds the gripping claw group 362 coaxially, is disposed on the axis of symmetry of the gripping claw group 362, and Provided to advance and retreat along the symmetry axis of the gripping claw group 36 2. The fitting hole 384 provided in the reciprocating member 364 is located on the axis of symmetry of the group of gripping claws 362, and the bottom surface 384 thereof is located at the center back of the group of gripping nails 362. .

[0046] 前記作用レバー 4 4 0は長手形状を成し、図 1 6に示すように、把持装置本体 3 6 0の一対の把持爪 3 9 4， 3 9 6のうちの一方、例えば、把持爪 3 9 4に対応する位置に、軸 4 5 6により把持爪 3 9 4の回動軸線と平行な軸線まわりに回動可能に設けられ、把持爪 3 9 4の進退方向と交差する方向に移動可能に設けられている。作用レバー 4 4 0はその一端部である上端部において回動可能に取リ付けられるとともに、把持装置本体 3 6 0の外側に巻き付けられた付勢手段の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング The action lever 4440 has a longitudinal shape, and as shown in FIG. 16, one of a pair of gripping claws 394, 396 of the gripping device body 360, for example, gripping At a position corresponding to the claw 3 94, a shaft 4 56 6 is provided so as to be rotatable around an axis parallel to the rotation axis of the grasping claw 3 94, and a direction intersecting the advancing and retreating direction of the grasping claw 3 94. It is provided to be movable. The operating lever 440 is rotatably mounted at an upper end portion which is one end portion thereof, and serves as an elastic member which is a kind of biasing means wound around the outside of the gripping device main body 360. Tension coil spring

4 5 8により把持爪 3 9 6に接近する向きに付勢されている。作用レバー 4 4 0の他端部である下端部にはローラ 4 6 0が回転可能に取り付けられ、回転係合部を構成している。 It is urged by 4 58 in the direction approaching the gripping claw 3 96. A roller 460 is rotatably attached to a lower end portion, which is the other end portion of the action lever 440, and forms a rotation engagement portion.

[0047] 上記スプリング 4 5 8の付勢による作用レバー 4 4 0の回動限度は、把持装置本体 3 6 0に設けられた規定面 4 6 2 (図 1 6参照）に作用レバー 4 4 0が当接することにより規定される。この状態において作用レバー 4 4 0は、図 1 6に示すように、作用開始位置に位置する。作用開始位置は、ローラ[0047] The rotation limit of the operation lever 4400 by the bias of the spring 458 is set on the specified surface 462 (see Fig. 16) provided on the gripping device body 360. Is defined by contact. In this state, the action lever 4 4 0 As shown in FIG. 16, it is located at the operation start position. The operation start position is the roller

4 6 0の一部が把持爪 3 9 4が嵌合された凹部 3 9 0内に嵌入させられるとともに、図 1 7に示すように、把持爪 3 9 4が支持ピン 2 5 0を把持した状態における被作用面 4 2 2の位置より把持装置本体 3 6 0の軸線側（把持爪群 3 6 2の開閉軸線側）に位置する位置である。 A part of 4 60 is fitted into the recess 3 9 in which the gripping claw 3 94 is fitted, and the gripping claw 3 94 grips the support pin 2 50 as shown in FIG. This is a position located on the axis side of the gripping device main body 360 (opening / closing axis side of the gripping claw group 362) from the position of the affected surface 422 in the state in which the gripper is held.

[0048] 前記係止装置 4 3 2は、図 1 6に示すように、進退部材 3 6 4の被係止部材部 3 7 2に設けられた被係止部材 4 7 0および把持装置本体 3 6 0に設けられた係止部材としての回動係止部材 4 7 2を含む。本実施例においては、被係止部材 4 7 0が進退部材 3 6 4と一体に設けられ、進退部材 3 6 4に設けられているのである。被係止部材は作動部材とは別体に設け、作動部材に固定して一体的に作動するようにしてもよい。回動係止部材 4 7 2は、本実施例では、鋼線が曲げられることにより設けられ、一体の回動軸部 4 7 6と、回動軸部 4 7 6からほぼ直角方向に延び出た一対のアーム部 4 7 8， 4 8 0と、アーム部 4 7 8， 4 8 0の自由端部に互いに接近する向きに設けられた一対の係合部 4 8 2， 4 8 4とを有し、回動軸部 4 7 6において把持装置本体 3 6 0により、その軸線と直交する軸線まわリに回動可能に保持されている。回動係止部材 4 7 2は弾性変形可能である。 As shown in FIG. 16, the locking device 4 32 includes, as shown in FIG. 16, a locked member 4 70 provided on the locked member portion 3 72 of the reciprocating member 3 64 and a gripping device main body. A rotation locking member 472 as a locking member provided in the 360 is included. In this embodiment, the locked member 470 is provided integrally with the advance / retreat member 364, and is provided on the advance / retreat member 364. The locked member may be provided separately from the operating member, and may be fixed to the operating member to operate integrally. In this embodiment, the rotation locking member 472 is provided by bending a steel wire, and extends in a direction substantially perpendicular to the integral rotation shaft 476 and the rotation shaft 476. And a pair of engaging portions 482, 484 provided at the free ends of the arms 4778, 480 so as to approach each other. And held by a gripping device main body 360 at a rotating shaft portion 476 so as to be rotatable around an axis orthogonal to the axis thereof. The rotation locking member 472 is elastically deformable.

[0049] 被係止部材部 3 7 2には、回動軸部 4 7 6の回動軸線に平行な方向に隔たつた 2箇所にそれぞれ溝 4 8 6， 4 8 8が設けられており、それにより、図 2 2 (a)に示すように、一対ずつの案内部 4 9 0， 4 9 2および被係止部 4 9 4， 4 9 6が設けられ、溝 4 8 6， 4 8 8に嵌入させられた係合部 4 8 2， 4 8 4を案内し、係止される。溝 4 8 6は、一対の溝側面の一方が案内面として機能する部分と、両方が案内面ないし拘束面として機能して係合部 4 8 2を自由状態にならないように拘束し、移動経路を決めて案内する案内溝部とを含み、案内部 4 9 0は、図 2 2 (a)に示すように、一方の溝側面により構成される第一，第二，第三，第四，第五案内面 5 0 0， 5 0 2， 5 0 4， 5 0 6 , 5 0 8，第一案内溝部 5 1 2および第二案内面 5 0 2と第三案内面 5 0 4との間に設けられた被係止面 5 1 0を含む。 [0050] 溝 4 8 8も同様であり、案内部 4 9 2は、一方の溝側面により構成される第六，第七案内面 5 1 6， 5 1 8，第二，第三，第四，第五案内溝部 5 2 4 ， 5 2 6 , 5 2 7 , 5 2 8の各両溝側面および被係止面 5 3 0を含む。被係止面 5 1 0， 5 3 0はそれぞれ、下向きに凹であって、係合部 4 8 2， 4 8 4が係合可能な面とされており、被係止部材 4 7 0の被係止面 5 1 0， 5 3 0が設けられた部分が被係止部 4 9 4， 4 9 6を構成し、回動係止部材 4 7 2の係合部 4 8 2， 4 8 4が被係止面 5 1 0， 5 3 0に係合する位置が係止位置である。 [0049] The locked member portion 3772 is provided with grooves 486, 488 at two positions separated in a direction parallel to the rotation axis of the rotation shaft portion 476, respectively. As a result, as shown in FIG. 22 (a), a pair of guide portions 49, 492 and locked portions 49, 46 are provided, and the grooves 48, 48 are provided. The engaging portions 482, 484 fitted in 8 are guided and locked. The groove 486 has a portion in which one of the pair of groove side surfaces functions as a guide surface, and both functions as a guide surface or a restraining surface to restrain the engaging portion 482 from being in a free state, The guide portion 490 includes a guide groove portion for determining and guiding a moving route, and the guide portion 490 is formed by one of the groove side surfaces as shown in FIG. 22 (a). Fourth and fifth guideways 500, 520, 504, 506, 508, first guide groove 51, second guideway 502, and third guideway 504 And a locked surface 5110 provided therebetween. The same applies to the groove 488, and the guide portion 492 is provided with a sixth, seventh guide surface 5 16, 5 18, a second, a third, and a fourth guide surface constituted by one of the groove side surfaces. , Fifth guide groove portions 5 24, 5 26, 5 27, and 5 28 include both groove side surfaces and locked surfaces 5 30. The engaged surfaces 5110 and 5330 are concave downwards, respectively, so that the engaging portions 482 and 484 can engage with each other. The portions provided with the locked surfaces 5 10 and 5 30 constitute the locked portions 4 94 and 4 96, and the engaging portions 4 82 and 4 8 of the rotation locking member 4 72. The position where 4 engages with the locked surfaces 5 10 and 5 30 is the locking position.

[0051 ] 支持ピン把持装置 2 5 2は、図 1 4および図 1 5に示すように、前記保持体 1 2 6に設けられた支持ピン把持装置昇降装置（以後、昇降装置と略称する） 5 4 0により昇降させられ、ピン支持台 2 5 4に接近，離間させられる。昇降装置 5 4 0は、本実施例においてはエアシリンダ 5 4 2を駆動源として構成されており、支持ピン把持装置 2 5 2はガイドロッド 5 4 4を含む案内装置 5 4 6により案内されつつ、予め設定された上昇端位置と下降端位置とに移動させられる。昇降装置 5 4 0は接近■離間装置であり、前記ヘッド移動装置 4 2と共に相対移動装置を構成しており、相対移動装置は、その一部がノズル保持へッド 4 0を基板 5 0に対して相対移動させる相対移動装置の一部を兼ねている。 As shown in FIGS. 14 and 15, the support pin gripping device 25 2 is a support pin gripping device elevating device (hereinafter, abbreviated as an elevating device) provided on the holding body 126. It is moved up and down by 540, and is moved closer to and away from the pin support 254. In this embodiment, the lifting device 540 is configured by using an air cylinder 542 as a drive source, and the support pin gripping device 252 is guided by a planning device 546 including a guide rod 544. While being moved to the preset rising end position and falling end position. The lifting / lowering device 540 is an approach / separation device, and constitutes a relative moving device together with the head moving device 42. A part of the relative moving device includes a nozzle holding head 40 and a substrate 50. It also serves as a part of the relative movement device that moves the object relatively.

[0052] 支持ピン収納装置 2 5 6を説明する。支持ピン収納装置 2 5 6は、本実施例においては、図 7に示すように、可動レール 2 1 2， 2 1 6の外側、すなわち固定レール 2 1 0側および可動レール 2 1 4側とは反対側の位置において、可動レール 2 1 2 , 2 1 6に、それと共に移動可能に取り付けられている。可動レール 2 1 6についても、固定レール 2 1 0側とは反対側に支持ピン収納装置 2 5 6が取り付けられていると考えてもよい。 [0052] The support pin storage device 256 will be described. In this embodiment, as shown in FIG. 7, the support pin storage device 256 is provided outside the movable rails 2 12 and 2 16, that is, the fixed rail 2 10 side and the movable rail 2 14. At the position opposite to the side, it is movably mounted on the movable rails 2 1 2 and 2 16. Regarding the movable rail 2 16, it may be considered that the support pin storage device 256 is attached to the opposite side to the fixed rail 210 side.

[0053] 可動レール 2 1 2に取り付けられた支持ピン収納装置 2 5 6を代表的に説明する。支持ピン収納装置 2 5 6の収納体 6 0 0は、図 1 0に示すように、長手形状を成し、可動レール 2 1 2に、基板搬送方向（図 1 0においては左右方向）に平行な姿勢で着脱可能に固定されている。収納体 6 0 0には、図 1 0に示すように、横断面形状が円形を成し、上方に開口するピン収納穴 6The support pin storage device 256 attached to the movable rail 211 will be described as a representative. The storage body 600 of the support pin storage device 256 has a longitudinal shape as shown in FIG. 10, and is mounted on the movable rails 212 in the substrate transfer direction (left and right directions in FIG. 10). It is detachably fixed in a parallel posture. The container 600 As shown in Fig. 10, the cross-sectional shape is circular and the pin storage hole that opens upward

0 2が複数、収納体 6 0 0ないし可動レール 1 2 2の長手方向に沿って距離を隔てて、例えば、等間隔で 1列、設けられている。複数のピン収納穴 6 0 2はそれぞれ、支持ピン 2 5 0の基台 2 7 2が嵌合されて半径方向において位置決めする大きさを備え、それぞれ支持ピン 2 5 0と嵌合して支持ピン 2 5 0を同心に位置決めする位置決め部を備えた収納部を構成している。ピン収納穴 6 0 2の開口端部には、開口縁側ほど直径が増大するテーパ面が形成され、支持ピン 2 5 0の嵌合を案内する案内面 6 0 6が設けられ、ピン案内部を構成している。収納体 6 0 0は、本実施例では、ピン収納穴 6 0 2の底面 6 0 8を構成する部分が磁性材料によリ作られ、それ以外の部分は非磁性材料製とされている。また、収納体 6 0 0の上面の長手方向に隔たった両端部にそれぞれ、基準マーク 6 1 0 , 6 1 2が設けられている。 A plurality of O2s are provided at a distance along the longitudinal direction of the storage body 600 or the movable rails 122, for example, in a row at equal intervals. Each of the plurality of pin storage holes 602 has a size to which the base 272 of the support pin 250 is fitted and positioned in the radial direction, and each of the plurality of pin storage holes is fitted to the support pin 250 to support the support pin. The storage section includes a positioning section for concentrically positioning the 250. At the open end of the pin storage hole 602, a tapered surface whose diameter increases toward the opening edge is formed, and a guide surface 606 for guiding the fitting of the support pin 250 is provided. Make up. In the present embodiment, in the present embodiment, the portion constituting the bottom surface 608 of the pin storage hole 602 is made of a magnetic material, and the other portions are made of a non-magnetic material. . Further, reference marks 610 and 612 are provided at both ends of the upper surface of the housing 600 separated in the longitudinal direction.

[0054] なお、支持ピン収納装置 2 5 6は、その下面が、上昇端位置に位置する状態でのピン支持台 2 5 4のピン支持面 2 7 6よりやや上に位置するように設けられている。そのため、支持ピン収納装置 2 5 6は可動レール 2 1 2と共に移動するが、上昇端位置へ移動させられたピン支持台 2 5 4と干渉することがない。支持ピン 2 5 0は支持ピン収納装置 2 5 6に収納された状態では、図 9に示すように支持面 3 2 4が可動レール 2 1 2の上面とほぼ同じ高さに位置させられ、支持ピン収納装置 2 5 6とピン支持台 2 5 4との干渉を回避しつつ、支持ピン 2 5 0が可動レール上面から大きく突出して邪魔になることがないようにされている。また、ピン支持台 2 5 4に対する支持ピン 2 5 0の取付け，取外し時と、支持ピン収納装置 2 5 6に対する支持ピン 2 5 0の収納，取出し時とにおいて、昇降装置 5 4 0は同じ設定の昇降ストロークで支持ピン把持装置 2 5 2を昇降させることができる。 The support pin storage device 256 is provided such that the lower surface thereof is located slightly above the pin support surface 276 of the pin support base 254 in a state of being located at the rising end position. Have been killed. Therefore, the support pin storage device 256 moves together with the movable rail 212, but does not interfere with the pin support 254 moved to the rising end position. When the support pin 250 is stored in the support pin storage device 256, the support surface 324 is positioned at substantially the same height as the upper surface of the movable rail 212 as shown in FIG. While avoiding the interference between the pin storage device 256 and the pin support 254, the support pin 250 is prevented from protruding significantly from the upper surface of the movable rail to be in the way. The lifting and lowering device 540 is set the same when attaching and detaching the support pin 250 to and from the pin support base 254 and when storing and removing the support pin 250 to and from the support pin storage device 256. The support pin gripping device 255 can be moved up and down by the up and down strokes.

[0055] 本システムにおいては複数の装着モジュール 1 2の各々に制御装置 6 5 0 In the present system, each of the plurality of mounting modules 12 is provided with a control device 65 0.

(図 2 4参照）が設けられ、基板 5 0の回路部品の装着作業等を制御する。制御装置 6 5 0は C P U 6 5 2， R O M 6 5 4 , R A M 6 5 6およびそれらを接続するバス 6 5 8を含むコンピュータ 6 6 0を主体とする。バス 6 5 8 には入出力インタフェース 6 6 2が接続されるとともに、駆動回路 6 6 4を介して基板搬送装置 2 4等の各種装置，駆動源や、部品撮像装置 1 7 0等によつて得られた画像データを処理する画像処理ュニッ卜 6 7 0，複数の作業モジュール 1 2の全部を統括して制御するシステム制御装置 6 8 0，他の作業モジュール 1 2の制御装置 6 5 0等が接続されている。 R O M 6 5 4および R A M 6 5 6には、部品装着プログラム，支持ピン自動段取替えプロダラム等の種々のプログラムおよびデータ等が記憶されており、制御装置 6 5 0 はそれらプログラムを実行し、相対移動装置の制御による支持ピン 2 5 0の自動段取替え等を行わせる。制御装置 6 5 0のへッド移動装置 4 2等を制御してピン支持台 2 5 4と支持ピン収納装置 2 5 6との間における支持ピン 2 5 0の取付け，取外しおよび収納を行わせる部分が基板支持装置 2 8の制御装置を構成している。 (See FIG. 24) is provided to control the work of mounting circuit components on the substrate 50 and the like. The control device 650 is mainly composed of a computer 660 including a CPU 652, a ROM 654, a RAM 656 and a bus 658 connecting them. Bus 6 5 8 An input / output interface 662 is connected to the controller, and various devices such as a substrate transfer device 24, a drive source, and an image obtained by a component imaging device 170 via a drive circuit 664 are connected. The image processing unit 670 that processes data, the system controller 680 that controls and controls all of the multiple work modules 12, and the controller 650 of other work modules 12 are connected. ing. The ROM 654 and the RAM 656 store various programs and data, such as a component mounting program and a support pin automatic setup change program, and the control unit 650 executes these programs. The automatic setting change of the support pin 250 under the control of the relative moving device is performed. By controlling the head moving device 42 of the control device 650, etc., the mounting, dismounting, and storing of the support pin 250 between the pin support base 254 and the support pin storage device 256 are performed. The part constitutes a control device of the substrate support device 28.

[0056] 次に作動を説明する。 Next, the operation will be described.

基板 5 0への回路部品の装着時には、基板 5 0は基板搬送装置 2 4により搬送され、予め設定された装着位置において停止させられる。そして、ピン支持台 2 5 4が上昇させられ、ピン支持台 2 5 4上に固定された支持ピン 2 5 0が基板 5 0の裏面に接触し、下方から支持する。この際、ピン支持台 2 5 4は押上部材 2 4 2を押し上げて基板 5 0を保持させる。支持ピン 2 5 0 は、基板 5 0の裏面の予め設定された部分を支持するようにピン支持台 2 5 4上に配置されている。例えば、基板 5 0の一方の面に既に回路部品が装着されている場合、それらを避けて支持することが必要であり、ピン支持台 2 5 4上の、基板 5 0の種類に応じて予め設定された位置に支持ピン 2 5 0が載置されているのである。このように基板 5 0が保持されるとともに、支持ピン 2 5 0により支持された状態でノズル保持へッド 4 0がへッド移動装置 When the circuit component is mounted on the substrate 50, the substrate 50 is transported by the substrate transport device 24 and stopped at a preset mounting position. Then, the pin support 254 is raised, and the support pins 250 fixed on the pin support 254 come into contact with the back surface of the substrate 50 and are supported from below. At this time, the pin support 254 pushes up the push-up member 242 to hold the substrate 50. The support pins 250 are arranged on the pin support 254 so as to support a preset portion on the back surface of the substrate 50. For example, if circuit components have already been mounted on one side of the board 50, it is necessary to avoid them and support them. The support pin 250 is placed at the set position. While holding the substrate 50 in this manner and supporting the substrate 50 by the support pins 250, the nozzle holding head 40 is moved by the head moving device.

4 2により移動させられ、部品供給装置 2 2から回路部品を受け取って基板4 Moved by 2 and receive circuit components from component supply device 2 2

5 0に装着する。部品装着作業はよく知られており、説明を省略する。 Attach to 50. Component mounting work is well known and will not be described.

[0057] 回路部品が装着される基板 5 0の種類が変わり、段取替えが行われるときWhen the type of the substrate 50 on which the circuit components are mounted changes and the setup is changed

、支持ピン 2 5 0のピン支持台 2 5 4に対する配置が自動で変更される。以下、支持ピン 2 5 0の自動段取替えを説明する。 The arrangement of the support pins 250 with respect to the pin support 254 is automatically changed. Less than Below, the automatic setup change of the support pin 250 will be described.

段取替えは、例えば、現にピン支持台 2 5 4に固定されている支持ピン 2 5 0の位置を、次に回路部品が装着される基板 5 0の支持位置に合わせて変更したり、不要な支持ピン 2 5 0を支持ピン収納装置 2 5 6に戻したり、支持ピン収納装置 2 5 6から支持ピン 2 5 0を取り出してピン支持台 2 5 4に取り付けたりすることによリ行われる。基板 5 0の種類に応じてピン配置デ一タが作成されてコンピュータに記憶されており、相前後して回路部品が装着される 2種類の基板 5 0の各々について作成されたピン配置データに基づいて段取替えが行われる。ここでは、支持ピン 2 5 0のピン支持台 2 5 4からの取外しおよび支持ピン収納装置 2 5 6への収納を説明する。 For the setup change, for example, it is not necessary to change the position of the support pins 250 currently fixed to the pin support bases 254 to the support position of the substrate 50 on which the circuit components are to be mounted next, and it is unnecessary. The support pins 250 are returned to the support pin storage device 256, or the support pins 250 are removed from the support pin storage device 256 and attached to the pin support bases 250. Is Pin arrangement data is created and stored in the computer in accordance with the type of the board 50, and pin arrangement data created for each of the two types of boards 50 on which circuit components are mounted one after another. The setup is changed based on the requirements. Here, the removal of the support pin 250 from the pin support base 254 and the storage in the support pin storage device 256 will be described.

[0058] 支持ピン 2 5 0のピン支持台 2 5 4からの取外し時には、支持ピン把持装置 2 5 2がへッド移動装置 4 2によりピン配置データに従って移動させられ、ピン支持台 2 5 4上に固定された支持ピン 2 5 0の上方へ移動させられる。支持ピン把持装置 2 5 2においては、図 1 6および図 1 9に示すように、進退部材 3 6 4が非作用位置にあり、回動係止部材 4 7 2は原位置に位置し、把持爪群 3 6 2が開状態にあり、把持爪 3 9 4， 3 9 6は開き、作用レバ一 4 4 0は作用開始位置に位置する。また、ピン支持台 2 5 4は上昇端位置へ上昇させられている。支持ピン把持装置 2 5 2は、把持装置本体 3 6 0の軸線が支持ピン 2 5 0の軸線と一致する位置へ移動させられるとともに、昇降装置 5 4 0により上昇端位置から下降端位置へ下降させられる。なお、図 1 6 図 1 9，図 2 1においては、支持ピン 2 5 0の永久磁石部 3 3 4の状態を示すために、支持ピン 2 5 0を、その軸線に直角な方向において同じ方向から見た状態が図示されている。 When the support pins 250 are removed from the pin support 25 4, the support pin gripping device 25 2 is moved by the head moving device 42 according to the pin arrangement data, and the pin support 25 is moved. It is moved above the support pin 250 fixed on the 4. In the support pin gripping device 25 2, as shown in FIGS. 16 and 19, the reciprocating member 36 4 is in the non-operating position, the rotation locking member 4 72 is located in the original position, and grips. The pawl group 362 is in the open state, the gripping pawls 394 and 396 are open, and the operating lever 440 is located at the operation starting position. Further, the pin support 254 is raised to the rising end position. The support pin gripping device 255 is moved to a position where the axis of the gripping device body 360 coincides with the axis of the support pin 250, and is moved from the rising end position to the falling end position by the lifting device 540. Can be lowered. In FIG. 16 and FIG. 19, the support pin 250 is the same in a direction perpendicular to its axis to show the state of the permanent magnet portion 334 of the support pin 250. The state viewed from the direction is illustrated.

[0059] 支持ピン把持装置 2 5 2の下降に伴って、支持ピン 2 5 0のピン部材 2 7 4の先端部が嵌合穴 3 8 6に嵌合され、把持爪群 3 6 2の中央奥に進入し、図 1 6に示すように、支持面 3 2 4が嵌合穴 3 8 6の底面 3 8 4に当接する。その状態から更に支持ピン把持装置 2 5 2が下降させられるのであるが、進退部材 3 6 4は支持ピン 2 5 0に当接し、下降を阻止されるため、把持装置本体 3 6 0のみがスプリング 3 7 4を圧縮しつつ下降させられる。進退部材 3 6 4が支持ピン 2 5 0の先端部により押され、把持装置本体 3 6 0に対して相対的に上昇させられるのに等しく、非作用位置から作用位置に向かつて進められる。本実施例では、底面 3 8 4が被作動面ないし被係合面を構成し、進退部材 3 6 4の底面 3 8 4が設けられた部分が被作動部ないし被係合部を構成している。進退部材 3 6 4と共に把持爪群 3 6 2が把持装置本体 3 6 0に対して上昇し、作用レバー 4 4 0のローラ 4 6 0が把持爪 3 9 4の被作用面 4 2 2に係合し、把持爪 3 9 4をスプリング 4 1 8の付勢力に抗して閉方向に回動させる。それによリ把持爪 3 9 6も対称に閉方向に回動させられ、爪部 4 1 5 , 4 1 6が支持ピン 2 5 0の溝 3 2 6に嵌入する。 With the lowering of the support pin gripping device 25 2, the tip of the pin member 27 4 of the support pin 250 is fitted into the fitting hole 3886, and the center of the gripping claw group 36 2 It goes into the back, and as shown in FIG. 16, the support surface 3 24 contacts the bottom surface 3 84 of the fitting hole 386. From this state, the support pin gripping device 255 is further lowered. However, the advancing / retreating member 365 touches the support pin 250 and is prevented from lowering. Only the main body 360 is lowered while compressing the spring 374. It is equivalent to the advancing / retreating member 364 being pushed by the tip of the support pin 250 and being relatively raised with respect to the gripping device body 360, and is advanced from the non-operation position to the operation position. Can be In this embodiment, the bottom surface 384 constitutes an actuated surface or an engaged surface, and the portion of the reciprocating member 364 provided with the bottom surface 384 constitutes an actuated portion or an engaged portion. I have. The gripping claw group 3 62 together with the reciprocating member 3 64 rises with respect to the gripping device body 360, and the roller 460 of the operating lever 440 is engaged with the work surface 422 of the gripping nail 394. Then, the gripping claw 3 94 is rotated in the closing direction against the urging force of the spring 4 18. As a result, the gripping claws 396 are also symmetrically rotated in the closing direction, and the claws 4 15 and 4 16 are fitted into the grooves 3 26 of the support pins 250.

作用レバー 4 4 0は、作用開始位置において、ローラ 4 6 0の一部が把持爪 3 9 4が嵌合された凹部 3 9 0内に嵌入させられるとともに、図 1 7に示すように、把持爪 3 9 4が支持ピン 2 5 0を把持した状態における被作用面 At the operation start position, the operation lever 4400 is such that a part of the roller 4600 is fitted into the concave portion 3900 in which the gripping claw 394 is fitted, and as shown in FIG. Affected surface when gripping claw 3 94 grips support pin 250

4 2 2の位置より、把持爪 3 9 4の開閉軸線側に位置するが、把持爪 3 9 4 と作用レバー 4 4 0とは傾斜面 4 2 6 , ローラ 4 6 0により案内されてスム一ズに係合し、作用レバー 4 4 0は把持爪 3 9 4を確実に閉方向に回動させるとともに、支持ピン 2 5 0を確実に把持させる。支持ピン把持装置 2 5 2 の下降の途中において把持爪 3 9 4， 3 9 6は把持面 4 1 3， 4 1 4が被把持部 3 2 8に係合し、支持ピン 2 5 0を把持する。支持ピン把持装置 2 5 2 は把持爪 3 9 4 , 3 9 6が支持ピン 2 5 0を把持した状態から更に下降させられ、下降端位置に到達するが、この間、作用レバー 4 4 0はスプリング 4Although it is located on the opening / closing axis side of the gripping claw 3 94 from the position of 4 2 2, the gripping claw 3 94 and the action lever 4 40 are guided by the inclined surface 4 2 6 and the roller 4 6 The operating lever 440 securely rotates the gripping claw 394 in the closing direction and securely grips the support pin 250. In the course of the lowering of the support pin gripping device 2 52, the gripping claws 3 94, 3 96 engage the gripping surfaces 4 13, 4 14 with the gripped portion 3 28, and the support pin 2 50 Hold. The support pin gripping device 2 52 is further lowered from the state where the gripping claws 3 94 and 3 96 grip the support pin 250 and reaches the lower end position, during which the operating lever 4 40 is spring-loaded. Four

5 8の付勢力に抗して把持爪 3 9 4， 3 9 6の対称軸から離れる方向に回動し、把持爪 3 9 4 , 3 9 6が被把持部 3 2 8に接触した状態から更に閉方向に回動させられて支持ピン 2 5 0，把持爪 3 9 4， 3 9 6 , 作用レバー 4 4 0，ローラ 4 6 0等を破損することを回避しつつ、把持爪 3 9 4， 3 9 6に支持ピン 2 5 0を確実に把持させる。支持ピン把持装置 2 5 2が下降端位置まで下降させられた状態では、把持爪 3 9 4， 3 9 6は閉状態に切り換えられ（図 1 7参照）、把持面 4 1 3， 4 1 4が被把持部 3 2 8に係合し、支持ピン 2 5 0を把持する。また、進退部材 3 6 4は、把持装置本体 3 6 0に対して作用位置より上方の後退端位置である作用位置近傍位置に位置する。 Rotate in the direction away from the axis of symmetry of the gripping claws 3 94, 3 96 against the biasing force of 58, and from the state where the gripping claws 3 94, 3 96 Further, it is possible to prevent the supporting pin 250, the gripping claws 394, 396, the operating lever 44, the roller 46, and the like from being damaged by being rotated in the closing direction. , 39 6 securely grip the support pin 250. When the support pin gripping device 25 2 is lowered to the lower end position, the gripping claws 3 94, 3 96 are switched to the closed state (see FIG. 17), and the gripping surfaces 4 1 3, 4 1 4 is engaged with the gripping part 3 2 8 and supported Hold pin 250. Further, the reciprocating member 364 is located at a position near the operation position, which is a retreat end position above the operation position with respect to the gripping device main body 360.

[0061 ] このように把持装置本体 3 6 0が下降させられ、進退部材 3 6 4が非作用位置から作用位置へ移動するのに並行して、係止装置 4 3 2の回動係止部材 4 7 2が原位置から係止位置に向かって移動させられる。把持装置本体 3 6 0が上昇端位置に位置する状態では、回動係止部材 4 7 2は、図 2 2 (a)に示すように、係合部 4 8 2， 4 8 4が溝 4 8 6， 4 8 8の上端部内に位置し、係合部 4 8 4が第二案内溝部 5 2 4の上端部に嵌入している。この位置が回動係止部材 4 7 2の原位置であり、進退部材 3 6 4の作用位置への移動に伴つて、図 2 2 (b)に示すように、係合部 4 8 4が第二案内溝部 5 2 4により案内されて、回動係止部材 4 7 2が進退部材 3 6 4に対して、その軸線に平行な方向に相対移動する。そして、まず、係合部 4 8 2が第一案内面 5 0 0に当接し、それに案内されて、回動係止部材 4 7 2は、進退部材 3 6 4の進退方向においては被係止面 5 1 0へ導かれつつ、その進退方向と直角な方向においては被係止面 5 1 0から離れる方向に回動させられる。回動係止部材 4 7 2の回動軌跡を二点鎖線で示す。 [0061] In this way, the gripping device main body 360 is lowered, and in parallel with the movement of the advance / retreat member 365 from the non-operation position to the operation position, the rotation locking member of the locking device 432 is rotated. 4 7 2 is moved from the original position toward the locking position. When the gripping device main body 360 is located at the rising end position, as shown in FIG. 22 (a), the rotation locking member 472 is formed with the engaging portions 482, 484 in the grooves. The engaging portion 484 is located in the upper end portion of the second guide groove portion 524. This position is the original position of the rotation locking member 472, and with the movement of the reciprocating member 364 to the operating position, as shown in FIG. The rotation guide member 472 is relatively moved with respect to the advance / retreat member 364 in a direction parallel to the axis of the advance / retreat member 364, which is provided by the second guide groove portion 524. Then, first, the engaging portion 482 contacts the first guide surface 500, and is guided by the first guide surface 500, so that the rotation locking member 472 is locked in the moving direction of the moving member 364. While being guided to the surface 5 10 0, it is turned in a direction away from the locked surface 5 10 0 in a direction perpendicular to the advance / retreat direction. The rotation locus of the rotation locking member 472 is shown by a two-dot chain line.

[0062] それにより他方の係合部 4 8 4は第六案内面 5 1 6に係合し、それに沿つて移動する。第六案内面 5 1 6の、回動係止部材 4 7 2の回動軸線からの距離は、第一案内面 5 0 0のその回動軸線からの距離とほぼ同じであるが、第一案内面 5 0 0とは逆の側から係合部 4 8 4に接触するため、係合部 4 8 4 の方が係合部 4 8 2より回動角度が小さく、回動係止部材 4 7 2が弾性変形させられ、アーム部 4 7 8がアーム部 4 8 0に対して図 2 2 (b)において時計方向に相対回動する向きにねじられる。便宜上、このねじり方向を正方向とする。ねじりがない場合の係合部 4 8 4の位置を図 2 2 (C)に二点鎖線の円のみで示す。そして、係合部 4 8 4は、図 2 2 (C)に示すように、係合部 4 8 2 が第一案内面 5 0 0に案内されている状態において第三案内溝部 5 2 6に嵌入し、第三案内溝部 5 2 6に案内され、回動を規制されつつ被係止部材 4 7 0に対して相対移動させられる。そのため、係合部 4 8 2は第一案内面 5 0 0の端まで移動したとき、回動係止部材 4 7 2の弾性復元力により逆方向に回動させられて第四案内面 5 0 6に係合し、第二案内面 5 0 2の真下に位置させられる。支持ピン把持装置 2 5 2が下降端位置へ下降させられた状態では、図 2 2 (C)に示すように、係合部 4 8 2は第四案内面 5 0 6に係合し、係合部 4 8 4は第三案内溝部 5 2 6の下部に嵌入した状態となる。なお、案内部 4 9 0， 4 9 2は互いに背中合わせに設けられているが、図 2 2，図 2 3 では、それらが並んだ状態で図示されており、回動係止部材 4 7 2の回動方向は逆向きに図示される。 [0062] Thereby, the other engaging portion 484 is engaged with the sixth guide surface 5 16 and moves along the sixth guide surface 5 16. The distance of the sixth guide surface 5 16 from the rotation axis of the rotation locking member 472 is substantially the same as the distance of the first guide surface 500 from the rotation axis. Since the engaging portion 484 is contacted from the side opposite to the one guide surface 500, the engaging portion 484 has a smaller rotation angle than the engaging portion 482, and the rotation locking member The arm portion 472 is elastically deformed, and the arm portion 478 is twisted in a direction to rotate clockwise relative to the arm portion 480 in FIG. 22B. For convenience, this torsion direction is defined as the forward direction. The position of the engagement portion 484 when there is no torsion is shown in FIG. Then, as shown in FIG. 22 (C), the engaging portion 484 is formed in the third guide groove portion 526 in a state where the engaging portion 482 is guided by the first guide surface 500. It is guided by the third guide groove portion 526, and is relatively moved with respect to the locked member 470 while its rotation is restricted. Therefore, the engaging portion 4 82 is the first guide surface 50 When it has moved to the end of 0, it is rotated in the opposite direction by the elastic restoring force of the rotation locking member 472 and engages with the fourth guide surface 506, and directly below the second guide surface 502. Is located at In a state where the support pin gripping device 25 2 is lowered to the lower end position, as shown in FIG. 22 (C), the engaging portion 48 2 is engaged with the fourth guide surface 50 6, The engaging portion 484 is fitted into the lower portion of the third guide groove portion 526. Although the guide portions 49 0 and 49 2 are provided back to back with each other, they are shown side by side in FIGS. 22 and 23, and the rotation locking members 47 2 The direction of rotation is illustrated in the opposite direction.

支持ピン把持装置 2 5 2は、把持装置本体 3 6 0が下降端位置へ下降させられた後、上昇端位置に向かって上昇させられる。この際、進退部材 3 6 4 はスプリング 3 7 4の付勢によリ支持ピン 2 5 0の先端部と係合する状態に保たれ、スプリング 3 7 4が伸長しつつ、把持装置本体 3 6 0が進退部材 3 6 4に対して上昇し、図 2 2 (d)に示すように、回動係止部材 4 7 2が上昇させられ、一対の係合部 4 8 2， 4 8 4がそれぞれ、第四案内面 5 0 6および第三案内溝部 5 2 6により案内されて被係止面 5 1 0， 5 3 0側へ移動させられる。そして、係合部 4 8 2が第二案内面 5 0 2に係合し、案内され、やがて図 2 2 (e)に示すように、被係止面 5 1 0に係合する。この際、係合部 4 8 2は、係合部 4 8 4が第三案内溝部 5 2 6内に嵌入している状態において第二案内面 5 0 2に係合する。そのため、係合後は回動係止部材 4 7 2が弾性変形させられて逆方向にねじられ、係合部 4 8 4が第三案内溝部 5 2 6から抜け出したとき、回動係止部材 4 7 2の弾性復元力によって被係止面 5 3 0側へ移動させられて被係止面 5 3 0のほぼ真下に位置する。この時期には、係合部 4 8 2も被係止面 5 1 0のほぼ真下に位置している。したがって、その状態から支持ピン把持装置 2 5 2がさらに上昇させられ、進退部材 3 6 4が相対的に下降させられれば、係合部 4 8 2， 4 8 4それぞれ被係止面 5 1 0， 5 3 0に係合する。すなわち、進退部材 3 6 4が回動係止部材 4 7 2 を介して把持装置本体 3 6 0に係止され、図 1 8に示すように作用位置に保持され、把持爪群 3 6 2は作用レバー 4 4 0が把持爪 3 9 4に係合し、閉状態に保たれて支持ピン 2 5 0を把持し続ける。 The support pin gripping device 255 is raised toward the rising end position after the gripping device main body 360 is lowered to the lower end position. At this time, the advancing / retreating member 365 is held in a state of being engaged with the distal end of the support pin 250 by the bias of the spring 374, and the spring 374 expands while the gripping device main body 356 is held. 0 rises with respect to the advance / retreat member 364, and as shown in FIG. 22 (d), the rotation locking member 472 is raised, and the pair of engaging portions 4882, 4884 Are guided by the fourth guide surface 506 and the third guide groove portion 526, respectively, and are moved to the locked surfaces 5110 and 530, respectively. Then, the engaging portion 482 is engaged with and guided by the second guide surface 502, and is eventually engaged with the locked surface 5110 as shown in FIG. 22 (e). At this time, the engaging portion 482 is engaged with the second guide surface 502 while the engaging portion 484 is fitted in the third guide groove portion 526. Therefore, after the engagement, the rotation locking member 472 is elastically deformed and twisted in the opposite direction, and when the engagement portion 484 comes out of the third guide groove portion 526, The locking member 472 is moved toward the locked surface 5300 by the elastic restoring force of the locking member 472, and is located almost directly below the locked surface 5330. At this time, the engaging portion 482 is also located almost directly below the locked surface 5110. Therefore, from this state, if the support pin gripping device 25 2 is further raised and the advance / retreat member 36 4 is relatively lowered, the engagement surfaces 48 2 and 48 4 are respectively engaged with the locked surfaces 5 10 , 530. That is, the advancing / retreating member 365 is locked to the gripping device main body 360 via the rotation locking member 472, and is held in the operating position as shown in FIG. Is closed when the action lever 4 40 engages the gripper claw 3 94 The support pin 250 is kept being held in the state.

支持ピン把持装置 2 5 2は、この状態から更に上昇させられるが、進退部材 3 6 4が把持装置本体 3 6 0と共に上昇させられ、把持爪群 3 6 2および支持ピン 2 5 0が上昇させられる。把持爪 3 9 4 , 3 9 6は、爪部 4 1 0， 4 1 2が環状の係合部 3 2 9に係合してピン部材 2 7 4に引張力を加え、基台 2 7 2に対して上昇させる。その上昇途中に、まず、 C形部材 3 0 4の係合部 3 1 0が突部 3 3 6に係合する。そのため、図 2 1 (a)に示すように、磁石保持部材 3 3 0が、底面 3 3 5の突部 3 3 8側の部分と底板 2 9 2との当接部を中心とし、磁気吸引力に杭して傾けられ、ピン支持台 2 5 4に対して斜めに離間させられて磁気吸引力が減少させられる。ピン部材 2 7 4に加えられる引張力が永久磁石部 3 3 4に、永久磁石部 3 3 4を傾動させる力として伝達されるのである。この際、永久磁石部 3 3 4の中央に集中的に作用すると考えることができる磁気吸引力の合力に、係合部 3 1 0が突部 3 3 6に加える力と、底板 2 9 2が磁石保持部材 3 3 0の底面 3 3 5の突部 3 3 8側の部分に加える力とで対抗すればよいのであり、しかも、磁気吸引力の合力から、係合部 3 1 0と突部 3 3 8との接触点までの水平距離（底板 2 9 2に平行な方向の距離）が、底面 3 3 5の突部 3 3 8側の部分と底板 2 9 2との接触点までの水平距離の 2倍弱であるため、係合部 3 1 0が突部 3 3 6に加えるべき力は、磁気吸引力の 1 Z 3強でよいこととなる。磁石保持部材 3 3 0の傾動に要する力は、磁石保持部材 3 3 0全体をピン支持台 2 5 4に対して直角に離間させる場合に要する力（磁気吸引力の合力に等しい）に比較して小さくて済むのであり、ピン部材 2 7 4が更に上昇させられることにより係合部 3 1 2が突部 3 3 8に係合し、永久磁石部 3 3 4全体がピン支持台 2 5 4から離間させられれば、磁気吸引力が消滅させられる。永久磁石部 3 3 4がピン支持台 2 5 4に最も接近して基台 2 7 2に磁気吸引力を加える状態において、係合面 3 4 0は係合面 3 4 2より下側に位置し、係合面 3 4 0の方が係合面 3 4 2より係合部 3 1 0に近く、初めに係合し、次に係合面 3 4 2が係合部 3 1 2に係合し、係合部 3 1 0， 3 1 2と突部 3 3 6， 3 3 8とが、ピン部材 2 7 4の軸方向において互いに異なる 2つの位置において、時期をずらして係合し、永久磁石部 3 3 4を傾動させる。ピン部材 2 7 4が更に上昇させられれば、図 2 1 (b)に示すように C形部材 3 0 4が基台 2 7 2の天壁 3 1 4に係合し、基台 2 7 2がピン支持台 2 5 4から持ち上げられ、支持ピン 2 5 0全体がピン支持台 2 5 4から簡単に持ち上げられる。 The support pin gripping device 2 52 is further raised from this state, but the advancing / retreating member 3 64 is raised together with the gripping device body 360, and the gripping claw group 36 2 and the support pin 250 are raised. Let me do. The gripping claws 3 94, 3 96 are configured such that the claws 4 10, 4 12 engage with the annular engaging portion 3 29 to apply a tensile force to the pin member 2 7 4, and the base 2 7 2 To raise against. During the ascent, first, the engaging portion 310 of the C-shaped member 304 engages with the protrusion 336. Therefore, as shown in FIG. 21 (a), the magnet holding member 330 is formed around the contact portion between the protrusion 338 side of the bottom surface 335 and the bottom plate 292, The magnetic attraction force is reduced by being piled up and inclined at the attraction force, and being obliquely separated from the pin support 254. The tensile force applied to the pin member 274 is transmitted to the permanent magnet portion 334 as a force for tilting the permanent magnet portion 334. At this time, the combined force of the magnetic attraction force, which can be considered to act intensively at the center of the permanent magnet part 3 34, the force applied by the engaging part 3 10 to the protrusion 3 36, and the bottom plate 2 9 2 can be countered by the force applied to the protrusion 3 3 8 side of the bottom surface 3 3 5 of the magnet holding member 3 3 0.Moreover, from the resultant force of the magnetic attractive force, the engaging portion 3 10 The horizontal distance (the distance in the direction parallel to the bottom plate 292) to the point of contact with the protrusion 338 is from the point of contact between the protrusion 338 side of the bottom surface 335 and the bottom plate 292. Since the horizontal distance is slightly less than twice the horizontal distance, the force that the engaging portion 310 should apply to the protrusion 336 may be a little more than 1 Z3 of the magnetic attraction force. The force required to tilt the magnet holding member 330 is compared to the force required to separate the entire magnet holding member 330 at right angles to the pin support 254 (equivalent to the resultant force of the magnetic attraction force). When the pin member 27 is further raised, the engaging portion 312 engages with the projection 338, and the entire permanent magnet portion 334 is pin-supported. If it is separated from, the magnetic attraction will disappear. When the permanent magnet section 3 3 4 is closest to the pin support 2 5 4 and applies magnetic attraction to the base 2 7 2, the engaging surface 3 4 0 is located below the engaging surface 3 4 2. The engaging surface 340 is closer to the engaging portion 310 than the engaging surface 342, and is engaged first, and then the engaging surface 342 is engaged with the engaging portion 314. And the engaging portions 310, 312 and the protrusions 336, 338 However, at the two positions different from each other in the axial direction of the pin member 274, they are engaged at different times to tilt the permanent magnet portion 334. When the pin member 274 is further raised, the C-shaped member 304 engages with the top wall 314 of the base 272 as shown in FIG. 2 is lifted from the pin support 25 4 and the entire support pin 250 is easily lifted from the pin support 2 54.

[0065] 互いに対称に開閉する把持爪 3 9 4， 3 9 6は、嵌合穴 3 8 2に嵌合された支持ピン 2 5 0に接触して把持するが、それらは軸対称に開閉させられるとともに、把持面 4 1 3 , 4 1 4の長さ、すなわち支持ピン 2 5 0を把持した際にその軸線に沿った状態となる方向の長さが短く、支持ピン 2 5 0の相対的な傾きを許容する状態で係合し、嵌合穴 3 8 6による支持ピン 2 5 0の心出しを妨げることはなく、支持ピン 2 5 0はその軸線が鉛直となる姿勢で搬送される。 [0065] The gripping claws 394, 3966, which open and close symmetrically with each other, contact and grip the support pins 250 fitted in the fitting holes 382, but they are opened and closed axially symmetrically. And the length of the gripping surfaces 4 13 and 4 14, that is, the length in the direction along the axis when gripping the support pin 250 is short, and the phase of the support pin 250 is small. It engages in a state that allows a counter tilt, does not prevent the centering of the support pin 250 by the fitting hole 386, and the support pin 250 is transported in a posture where the axis is vertical You.

[0066] 支持ピン把持装置 2 5 2は、上昇端位置へ移動させられるとともに、へッド移動装置 4 2により可動レール 2 1 2あるいは 2 1 6を越えて支持ピン収納装置 2 5 6へ移動させられ、支持ピン 2 5 0を図 2 1 (b)に示す状態で搬送する。支持ピン把持装置 2 5 2は支持ピン収納装置 2 5 6の複数のピン収納穴 6 0 2のうち、空いているピン収納穴 6 0 2の上方へ移動させられた後、下降させられて支持ピン 2 5 0を収納する。なお、支持ピン収納装置 2 5 6 に対する支持ピン 2 5 0の収納，取出しに先立って基準マーク 6 1 0， 6 1 2がマーク撮像装置 1 6 4により撮像され、ピン収納穴 6 0 2に収納された支持ピン 2 5 0の基板搬送装置 2 4の幅方向の位置が検出されている。 The support pin gripping device 25 2 is moved to the rising end position, and crosses the movable rail 21 2 or 21 6 by the head moving device 42 to the support pin storage device 25 6. It is moved and the support pins 250 are transported in the state shown in FIG. 21 (b). The support pin gripping device 25 2 is moved above the empty pin storage hole 62 out of the plurality of pin storage holes 62 of the support pin storage device 256, and then lowered and supported. Holds pin 250. Prior to the storage and removal of the support pin 250 from the support pin storage device 256, the reference marks 610 and 612 are imaged by the mark imaging device 164 and stored in the pin storage hole 602. The position of the support pin 250 in the width direction of the substrate transfer device 24 is detected.

[0067] 支持ピン収納装置 2 5 6は可動レール 2 1 2， 2 1 6と共に移動し、可動レール 2 1 2， 2 1 6の移動に伴って、基板搬送装置 2 4の幅方向における位置が変化し、収納された支持ピン 2 5 0の位置が変化する。そのため、支持ピン 2 5 0の位置は、可動レール 2 1 2， 2 1 6が移動させられて搬送幅が変更され、支持ピン収納装置 2 5 6の位置が変わったとき検出される。可動レール 2 1 2， 2 1 6の Y軸方向の位置は、基板 5 0の種類に応じて予め設定されており、マーク撮像時には、可動レール 2 1 2 , 2 1 6の位置に基づいて、基準マーク 61 0， 61 2が位置することが予定されている位置へマーク撮像装置 1 64が移動させられて基準マーク 61 0, 61 2を真上から、すなわち基準マーク 61 0, 61 2と対向する位置から撮像する。マーク撮像装置 1 64は第二 X軸スライド 98に搭載されており、ヘッド移動装置 42により移動させられる。 [0067] The support pin storage device 25 6 moves together with the movable rails 2 12 and 2 16, and with the movement of the movable rails 2 12 and 2 16, the position of the substrate transfer device 24 in the width direction is changed. The position of the stored support pin 250 changes. Therefore, the position of the support pin 250 is detected when the movable rails 212 and 216 are moved to change the conveyance width, and the position of the support pin storage device 256 is changed. The positions of the movable rails 2 1 2 and 2 16 in the Y-axis direction are set in advance according to the type of the substrate 50, and at the time of mark imaging, are based on the positions of the movable rails 2 1 2 and 2 16. Then, the mark image pickup device 164 is moved to a position where the reference marks 61 0 and 612 are expected to be located, and the reference marks 61 0 and 612 are directly above, that is, the reference marks 610 and 612. Take an image from the position facing 612. The mark imaging device 164 is mounted on the second X-axis slide 98 and is moved by the head moving device.

[0068] そして、マーク撮像装置 1 64の位置と、その位置において撮像された画像内における基準マーク 61 0， 61 2の位置とに基づいて、基準マーク 6 1 0, 61 2の実際の位置が取得され、それら位置と、支持ピン収納装置 2Then, based on the position of the mark imaging device 164 and the positions of the reference marks 610 and 612 in the image captured at that position, the actual positions of the reference marks 610 and 612 are determined. And their positions and the support pin storage device 2

56の複数のピン収納穴 602と基準マーク 61 0， 61 2との相対位置情報とに基づいて、ピン収納穴 602の各中心位置が演算され、支持ピン 25 0の各位置が取得される。本実施例では、支持ピン 250はピン収納穴 60 2に嵌合されて同心に位置決めされるようにされており、ピン収納穴 602 の位置の検出により支持ピン 250の位置が検出される。これら位置は、複数のピン収納穴 602の各々を特定するデータと対応付けてコンピュータ 6Based on the relative position information between the 56 pin storage holes 602 and the reference marks 610, 612, the respective center positions of the pin storage holes 602 are calculated, and the respective positions of the support pins 250 are obtained. . In the present embodiment, the support pins 250 are fitted in the pin storage holes 602 and are positioned concentrically, and the position of the support pins 250 is detected by detecting the position of the pin storage holes 602. These positions are associated with data identifying each of the plurality of pin storage holes 602, and

60の RAM656に記憶される。本実施例では、マーク撮像装置 1 64が支持ピン収納装置 256の被撮像部たる基準マーク 61 0, 61 2を撮像装置を兼ね、へッド移動装置 42が撮像装置移動装置を兼ね、制御装置 650 の支持ピンの位置を検出する部分により構成される位置演算装置と共に支持ピン位置検出装置を構成している。支持ピン 250をピン収納穴 602に戻す際には、そのピン収納穴 602に対応付けて記憶された位置が読み出され、支持ピン把持装置 252が正確にピン収納穴 602上へ移動させられ、支持ピン 250を正確にピン収納穴 602に収納する。 It is stored in 60 RAM656. In the present embodiment, the mark imaging device 1 64 also serves as the imaging device for the reference marks 610 and 612 that are the imaging target portions of the support pin storage device 256, and the head moving device 42 also serves as the imaging device moving device. A support pin position detecting device is constituted together with a position calculating device constituted by a portion for detecting the position of the supporting pin of the device 650. When the support pin 250 is returned to the pin storage hole 602, the position stored in association with the pin storage hole 602 is read out, and the support pin gripping device 252 is accurately moved onto the pin storage hole 602. The support pin 250 is accurately stored in the pin storage hole 602.

[0069] 支持ピン把持装置 252の下降により、基台 272が案内面 606により案内されつつピン収納穴 602に嵌合されて位置決めされるとともに、底面 608に到達して着座させられる。支持ピン把持装置 252の更なる下降により、ピン部材 274が基台 272に対して下降し、磁石保持部材 330の底面 335全体が底板 292に当接させられるとともに、ピン収納穴 602 の磁性材料製の底面 608により磁気的に吸引され、その磁気吸引力に基づいて基台 2 7 2を底面 6 0 8に押し付け、固定する。底面 6 0 8および永久磁石部 3 3 4が支持ピン固定装置を構成し、支持ピン 2 5 0はピン収納穴 6 0 2に位置決めされた状態で固定される。支持ピン把持装置 2 5 2は、この状態から更に下降させられるが、進退部材 3 6 4は、ピン収納穴 6 0 2に固定された支持ピン 2 5 0により下降を阻止され、把持装置本体 3 6 0がスプリング 3 7 4を圧縮しつつ進退部材 3 6 4に対して下降する。進退部材 3 6 4が支持ピン 2 5 0の先端部により押され、把持装置本体 3 6 0に対して相対的に上昇させられて非作用位置から作用位置に向かう向きに移動させられ、後退端位置へ移動させられるのである。 When the support pin gripping device 252 is lowered, the base 272 is fitted and positioned in the pin storage hole 602 while being guided by the guide surface 606, and reaches the bottom surface 608 to be seated. By further lowering the support pin gripping device 252, the pin member 274 is lowered with respect to the base 272, the entire bottom surface 335 of the magnet holding member 330 is brought into contact with the bottom plate 292, and the magnetic material in the pin storage hole 602 is formed. Magnetically attracted by the bottom surface 608 made of Press the base 2 7 2 against the bottom 6 08 to fix it. The bottom surface 608 and the permanent magnet portion 334 constitute a support pin fixing device, and the support pin 250 is fixed while being positioned in the pin storage hole 602. The support pin gripping device 255 is further lowered from this state, but the reciprocating member 365 is prevented from lowering by the support pin 250 fixed to the pin storage hole 62, and the gripping device main body is moved. The 360 moves down with respect to the advance / retreat member 365 while compressing the spring 37 4. The advancing / retreating member 365 is pushed by the tip of the support pin 250, is relatively raised with respect to the gripping device body 360, is moved from the non-working position toward the working position, and is retracted. It is moved to the end position.

それにより、係止装置 4 3 2においては、図 2 3 (a)に示す状態から、図 2 3 (b)に示すように、回動係止部材 4 7 2の係合部 4 8 2， 4 8 4が被係止面 5 1 0， 5 3 0から離間させられ、係止が解除される。この際、回動係止部材 4 7 2は鉛直の姿勢を保って案内部 4 9 0， 4 9 2に対して相対的に下降する。やがて、図 2 3 (b)に示すように、係合部 4 8 4が第七案内面 5 1 8に係合し、それ以後は図において左方へ移動させられるのに対し、係合部 4 8 2の右方への移動は第三案内面 5 0 4により阻止されるため、回動係止部材 4 7 2が逆方向にねじられる。係合部 4 8 4は、第七案内面 5 1 8の案内により、図 2 3 (b)に二点鎖線の円のみで示す位置より左方に位置させられるのである。係合部 4 8 4が第四案内溝部 5 2 7に嵌入した後、図 2 3 (C)に示すように、係合部 4 8 2全体が第三案内面 5 0 4から外れ、回動係止部材 4 7 2の弾性復元力により図において右方へ移動させられ、第一案内溝部 5 1 2 の真下へ移動する。したがって、支持ピン把持装置 2 5 2が下降端位置へ下降させられた後、上昇を開始すれば、係合部 4 8 2が第一案内溝部 5 1 2に嵌入する。支持ピン把持装置 2 5 2が上昇させられるときには、係合部 4 8 2， 4 8 4と被係止面 5 1 0， 5 3 0との係止が解除されるとともに、進退部材 3 6 4はスプリング 3 7 4の付勢により支持ピン 2 5 0に押し付けられており、把持装置本体 3 6 0のみが上昇させられる。換言すれば、回動係止部材 4 7 2が被係止部材 4 7 0に対して相対的に上昇するのであり、第一，第五案内溝部 5 1 2 , 5 2 8および第五案内面 5 0 8に案内される図 2 3 (d) に示す状態を経て、図 2 3 (e)に示す原位置へ復帰する。 As a result, in the locking device 43, from the state shown in FIG. 23 (a), as shown in FIG. 23 (b), the engaging portions 482, 484 is separated from the locked surfaces 5110 and 5330, and the lock is released. At this time, the rotation locking member 472 descends relatively to the guide portions 490, 492 while maintaining the vertical posture. Eventually, as shown in FIG. 23 (b), the engaging portion 484 is engaged with the seventh guide surface 518, and thereafter moved to the left in the figure, The rightward movement of 482 is prevented by the third guide surface 504, so that the rotation locking member 472 is twisted in the opposite direction. The engagement portion 484 is positioned leftward from the position indicated by only the two-dot chain line circle in FIG. 23 (b) by the guide of the seventh guide surface 518. After the engagement portion 484 is fitted into the fourth guide groove portion 527, as shown in FIG. 23 (C), the entire engagement portion 482 is disengaged from the third guide surface 504, and is rotated. It is moved rightward in the figure by the elastic restoring force of the locking member 472, and moves right below the first guide groove portion 512. Therefore, if the support pin gripping device 25 2 is moved down after being lowered to the lower end position, the engaging portion 48 2 is fitted into the first guide groove portion 5 12. When the support pin gripping device 25 is raised, the engagement between the engaging portions 482, 484 and the locked surfaces 510, 530 is released, and the advancing / retracting member 364 is provided. Is pressed against the support pin 250 by the bias of the spring 374, and only the gripping device main body 360 is raised. In other words, the rotation locking member 472 rises relatively with respect to the locked member 470. The state returns to the original position shown in FIG. 23 (e) through the state shown in FIG. 23 (d) guided by the fifth guide groove portions 512, 528 and the fifth guide surface 508.

[0071 ] 係合部 4 8 2が第一案内溝部 5 1 2および第五案内面 5 0 8により案内され、係合部 4 8 4が第五案内溝部 5 2 8により案内されるとき、アーム部 4 7 8， 4 8 0は互いに逆向きにねじられる。ねじりがない場合の係合部 4 8 2， 4 8 4の位置を図 2 3 (d)に二点鎖線の円で示すように、第一，第五案内溝部 5 1 2， 5 2 8および第五案内面 5 0 8により案内されない場合より、係合部 4 8 2は回動角度が大きく、係合部 4 8 4は回動角度が小さく、ァーム部 4 7 8， 4 8 0が互いに逆向きにねじられるのである。そして、係合部 4 8 2は第五案内面 5 0 8から外れれば、回動係止部材 4 7 2の弾性復元力により、回動係止部材 4 7 2の回動軸線側へ回動させられ、係合部 4 8 4も第二案内溝部 5 2 4に進入する位置へ回動させられ、回動係止部材 4 7 2が原位置へ復帰する。 [0071] When the engaging portion 482 is guided by the first guide groove portion 512 and the fifth guide surface 508, and the engaging portion 484 is guided by the fifth guide groove portion 528, The arms 478 and 480 are twisted in opposite directions. As shown by the two-dot chain line in FIG. 23 (d), the positions of the engaging portions 482, 484 when there is no torsion are indicated by the first and fifth guide grooves 51, 52, 58 and The engaging portion 482 has a larger turning angle, the engaging portion 484 has a smaller turning angle, and the arm portions 478, 480 than when not guided by the fifth guide surface 508. Are twisted in opposite directions. Then, when the engagement portion 482 is disengaged from the fifth guide surface 508, the engagement portion 482 is rotated toward the rotation axis of the rotation locking member 472 by the elastic restoring force of the rotation locking member 472. As a result, the engaging portion 484 is also rotated to a position where it enters the second guide groove portion 524, and the rotation locking member 472 returns to the original position.

[0072] 回動係止部材 4 7 2の原位置への移動と並行して進退部材 3 6 4が把持装置本体 3 6 0に対して相対的に下降して非作用位置へ移動し、図 1 6に示すように把持爪群保持部 3 7 0が把持装置本体 3 6 0から離脱させられ、把持爪 3 9 4， 3 9 6がスプリング 4 1 8， 4 2 0の付勢により開方向へ回動させられ、支持ピン 2 5 0を開放する。そのため支持ピン把持装置 2 5 2は、回動係止部材 4 7 2が原位置に到達し、進退部材 3 6 4が非作用位置へ復帰した後、更に上昇させられるが、その際、突部 3 7 8と凹部 3 7 6の端面との係合により進退部材 3 6 4が把持装置本体 3 6 0と共に上昇させられ、支持ピン 2 5 0が嵌合穴 3 8 6から抜け出させられ、支持ピン収納装置 2 5 6 に収納された状態に保たれる。 In parallel with the movement of the rotation locking member 4 72 to the original position, the advancing / retreating member 365 descends relatively to the gripping device main body 360 and moves to the non-operating position, As shown in Fig. 16, the gripper claw group holder 370 is disengaged from the gripper body 360, and the grippers 394, 396 are opened by the bias of the springs 418, 420. The support pin 250 is opened. Therefore, the support pin gripping device 255 is further raised after the rotation locking member 472 has reached the original position and the reciprocating member 364 has returned to the non-operating position. By the engagement of the 378 with the end face of the concave portion 376, the reciprocating member 364 is raised together with the gripping device main body 360, and the support pin 250 is disengaged from the fitting hole 386. It is kept in the state of being stored in the support pin storage device 256.

[0073] このように被係止部材 4 7 0は一対の案内部 4 9 0， 4 9 2を有しているが、これら案内部 4 9 0， 4 9 2は、進退部材 3 6 4と把持装置本体 3 7 0 との軸方向の相対移動に伴って、原則として係合部 4 8 2， 4 8 4の少なくとも一方を拘束し、回動係止部材 4 7 2が自由に回動する状態になることがないように設けられている。一方の係合部が自由な状態になる場合、それに先立って他方の係合部が案内溝部によリ拘束されて、一方の係合部の移動方向が決まるようにされ、両方の係合部が共に案内溝部内に位置するようにされ、係合部 4 8 2， 4 8 4が、回動係止部材 4 7 2の回動方向において互いに逆の方向から案内面に係合して、移動方向が決まるようにされているのである。このように一対の案内部 4 9 0， 4 9 2が互いに共同することにより、進退部材 3 6 4の 2回の進退に伴って、係合部 4 8 2， 4 8 4が被係止部を含んで予め設定された周回運動を行わされるのであり、逆の作動である被係止面 5 1 0， 5 3 0との係合と、その係合の解除とが容易に行われ、進退部材 3 6 4が 2回、非作用位置から作用位置に向かって押されることにより、支持ピン 2 5 0の把持，把持状態の維持および開放が容易に行われる。 [0073] As described above, the locked member 470 has a pair of guide portions 490, 492, and these guide portions 490, 492 are formed by the reciprocating member 364, As a result of the relative movement in the axial direction with the gripping device main body 370, at least one of the engaging portions 482, 484 is restrained in principle, and the rotation locking member 472 freely rotates. It is provided so that it will not be in a state where If one of the engagement parts is free, Prior to this, the other engaging portion is restrained by the guide groove so that the moving direction of one of the engaging portions is determined, and both of the engaging portions are located in the guide groove. The engaging portions 482, 484 are engaged with the guide surfaces from opposite directions in the rotating direction of the rotation locking member 472, so that the moving direction is determined. . As described above, the pair of guide portions 490 and 492 cooperate with each other, so that the engaging portions 482 and 484 are locked by the forward and backward movement of the advance / retreat member 364 twice. A predetermined orbiting motion is performed including the following, and the engagement with the locked surfaces 5110 and 5330, which are the opposite operations, and the release of the engagement are easily performed. By pressing the reciprocating member 365 twice from the non-operating position toward the operating position, the holding of the support pin 250, the maintenance of the holding state, and the release are facilitated.

[0074] また、支持ピン把持装置 2 5 2が把持した支持ピン 2 5 0をピン支持台 2 5 4や支持ピン収納装置 2 5 6に置いたり、収納するためには、それらに対する接近，離間動作が必要である。支持ピン把持装置 2 5 2においては、この動作を利用して進退部材 3 6 4を進退させて把持爪群 3 6 2を開閉させるため、把持爪群開閉のために新たにァクチユエータを追加することなく、支持ピン 2 5 0を把持，開放することができる。 Further, in order to place or store the support pins 250 held by the support pin gripping device 25 2 on the pin support base 255 4 or the support pin storage device 256, it is necessary to approach the support pins 250. , Separation operation is required. In the support pin gripping device 2 52, a new actuator is added to open and close the gripping claw group 362 by using this operation to advance and retreat the advancing / retreating member 364 to open and close the gripping claw group 362. The support pin 250 can be gripped and released without any need.

[0075] なお、支持ピン 2 5 0を開放した把持爪群 3 6 2は常には開状態に切リ換えられており、把持爪 3 9 4の突部 4 1 5は作用レバー 4 4 0のローラ 4 6 0の下方に位置し、ローラ 4 6 0を覆っている。そのため、ノズル保持へッド 4 0が部品供給装置 2 2から回路部品を取り出した後、部品撮像装置 1 1 0により下方から撮像されるとき、ローラ 4 6 0が光つて回路部品の画像形成に悪影響を及ぼすことが回避される。 [0075] The gripping claw group 362 with the support pin 250 released is always switched to the open state, and the protrusion 415 of the gripping claw 394 is actuated by the operating lever 440. The roller is located below the roller 460 and covers the roller 460. Therefore, when the nozzle holding head 40 takes out the circuit component from the component supply device 22 and then the component imaging device 110 captures an image from below, the roller 460 is illuminated to form an image of the circuit component. Adverse effects are avoided.

[0076] 以上、支持ピン 2 5 0をピン支持台 2 5 4から取り外して支持ピン収納装置 2 5 6に収納する場合を説明したが、支持ピン収納装置 2 5 6から支持ピン 2 5 0を取り出してピン支持台 2 5 4に取リ付ける場合、ピン支持台 2 5 4上において支持ピン 2 5 0の位置を変える場合にも同様に、進退部材 3 6 4が 2回、作動させられて支持ピン 2 5 0の把持，搬送および載置後の開放が行われる。 [0077] 支持ピン位置検出装置の別の実施例を図 2 5に基づいて説明する。本実施例の支持ピン位置検出装置は、可動レールを移動させるレール移動装置 7 0 0のエンコーダ 7 0 2と位置演算装置 7 0 4とを含む。レール移動装置 7 0 0は、例えば、前記レール移動装置 2 2 6と同様に構成され、レール位置変更モータ 7 0 6について設けられたエンコーダ 7 0 2の出力は、可動レールの位置に対応する信号を出力し、制御装置 7 0 8に入力される。制御装置 7 0 8は前記制御装置 6 5 0と同様にコンピュータを主体として構成され、その位置演算装置 7 0 4を構成する部分においては、エンコーダ 7 0 2の出力と、予め設定されている可動レールとピン収納穴との相対位置の情報とに基づいて支持ピンの位置を演算する。この情報は、例えば可動レール上に設定された基準位置ないしレール位置取得位置箇所と複数のピン収納穴の各中心位置との X軸， Y軸方向における相対位置情報を含む。 The case where the support pins 250 are detached from the pin support pedestal 25 4 and stored in the support pin storage device 256 has been described above. When removing 0 and attaching it to the pin support 25 4, also when changing the position of the support pin 2 50 on the pin support 2 5 4, the reciprocating member 3 64 is operated twice as well. Then, the support pins 250 are gripped, transported, and released after being placed. Another embodiment of the support pin position detecting device will be described with reference to FIG. The support pin position detecting device of the present embodiment includes an encoder 720 of a rail moving device 700 for moving a movable rail and a position calculating device 704. The rail moving device 700 has, for example, the same configuration as that of the rail moving device 222, and the output of the encoder 720 provided for the rail position changing motor 706 corresponds to the position of the movable rail. A signal is output and input to the control device 708. The control device 7 08 is constituted mainly by a computer similarly to the control device 6 50, and in the portion constituting the position calculation device 7 04, the output of the encoder 7 0 2 is set in advance. The position of the support pin is calculated based on information on the relative position between the movable rail and the pin storage hole. This information includes, for example, relative position information in the X-axis and Y-axis directions between the reference position or the rail position acquisition position set on the movable rail and the center position of each of the plurality of pin storage holes.

[0078] 作動部材が係合する係合部材は、支持ピン以外の部材により構成してもよい。例えば、図 2 6に示す支持ピン把持装置 7 2 0においては、進退部材 7 2 2から突部 7 2 4が、その進退方向と交差する方向、本実施例においては直角に延び出させられ、係合部を構成するとともに、保持体 7 2 8に、突部 7 2 4と対向する上向きの係合面 7 3 0を備えた係合部材 7 3 2が設けられている。係合面 7 3 0は、支持ピン把持装置 7 2 0が昇降装置により下降させられ、把持爪群 3 6 2がちょうど支持ピン 2 5 0を把持する位置に至ったときに突部 7 2 4が係合する位置に設けられている。なお、支持ピン 2 5 0 が嵌合される嵌合穴 7 3 6は、底面 7 3 8が支持ピン 2 5 0が当たらない深さを有するものとされている。支持ピン把持装置 7 2 0が下降させられ、支持ピン 2 5 0の先端部が嵌合穴 7 3 6に嵌合されて、把持爪群 3 6 2が閉状態への切換えにより被把持部 3 2 8を把持する位置に至ったとき、突部 7 2 4と係合面 7 3 0との係合により進退部材 7 2 2の下降が止められ、その後の把持装置本体 3 6 0の下降時に進退部材 7 2 2が係合部材 7 3 2により押され、非作用位置から作用位置に向かう方向へ移動させられる。それにより把持爪群 3 6 2が閉じられて支持ピン 2 5 0を把持する。係合部材 7 3 2が進退部材 7 2 2に係合して、非作用位置から作用位置へ向かう向きに押すこと以外、支持ピン 2 5 0が進退部材に係合して作動させる場合と同様に支持ピン 2 5 0の把持，開放が行われる。 [0078] The engagement member with which the operating member engages may be configured by a member other than the support pin. For example, in the support pin gripping device 720 shown in FIG. 26, the projecting portion 724 from the reciprocating member 72 is extended in a direction intersecting the retreating direction, in this embodiment, at right angles, In addition to forming the engaging portion, the holding member 728 is provided with an engaging member 732 having an upward engaging surface 730 facing the projection 724. When the support pin gripping device 720 is lowered by the elevating device, the engaging surface 730 is projected when the gripping claw group 362 just reaches the position where the support pin 250 is gripped. 4 are provided at positions where they engage. Note that the fitting hole 736 into which the support pin 250 is fitted has a depth such that the bottom surface 738 does not touch the support pin 250. The support pin gripping device 720 is lowered, the tip of the support pin 250 is fitted into the fitting hole 736, and the gripping claw group 362 is switched to the closed state to be gripped. When the position for gripping the 328 is reached, the lowering of the advancing / retreating member 722 is stopped by the engagement of the projection 724 with the engagement surface 730, and the lowering of the gripping device body 360 thereafter. At this time, the reciprocating member 722 is pushed by the engaging member 7332, and is moved in the direction from the non-operating position to the operating position. As a result, the group of gripping claws 36 2 is closed to grip the support pin 250. Engaging member 7 3 2 Except for engaging with the reciprocating member 7 22 and pushing in the direction from the non-operating position to the operating position, the supporting pin 250 is similar to the case where the supporting pin 250 is engaged with the reciprocating member and operated. Is gripped and released.

[0079] ピン支持部材および支持ピン収納装置を係合部材として利用してもよい。 [0079] A pin support member and a support pin storage device may be used as an engagement member.

例えば、図 2 7に示す支持ピン把持装置 7 4 0のように、進退部材 7 4 2から下方へ、ピン支持台 2 5 4に向かって係合アーム 7 4 4を延び出させて係合部を設ける。係合アーム 7 4 4は、把持爪群 3 6 2がちょうど支持ピン 2 5 0を把持する位置に至ったときにピン支持面 2 7 6に当接するように設けられており、係合アーム 7 4 4とピン支持面 2 7 6との係合によリ進退部材 For example, as shown in a support pin gripping device 7400 shown in FIG. 27, the engagement arm 7444 is extended downward from the reciprocating member 7424 toward the pin support 254 to engage. Part is provided. The engagement arm 7 4 4 is provided so as to come into contact with the pin support surface 2 76 when the gripping claw group 3 6 2 has just reached the position where the support pin 2 50 is gripped. 4 4 and pin support surface 2 7 6

7 4 2の下降が止められ、把持装置本体 3 6 0に対して押し上げられることとなる。また、図示は省略するが、支持ピンの支持ピン収納装置への収納時には、係合アーム 7 4 4が支持ピン収納装置の構成要素、例えば、収納体に係合して進退部材 7 4 2の下降が止められるようにされる。 The lowering of the 742 is stopped, and it is pushed up against the gripper body 360. Also, although not shown, when the support pins are stored in the support pin storage device, the engaging arm 744 is engaged with a component of the support pin storage device, for example, the retractable member 74 by engaging with the storage body. The descent of 2 is stopped.

[0080] 支持ピンの力伝達装置は、永久磁石に回転モーメントを生じさせる装置としてもよい。例えば、図 2 8に示す支持ピン 7 7 0の永久磁石部 7 7 2は、永久磁石 7 7 4および磁石保持部材 7 7 6を含み、基台 7 7 8の内側空間 7 [0080] The force transmission device of the support pin may be a device that generates a rotational moment in the permanent magnet. For example, the permanent magnet portion 772 of the support pin 770 shown in FIG. 28 includes a permanent magnet 774 and a magnet holding member 776, and an inner space 7 of the base 778.

8 0内に配設されるとともに、磁石保持部材 7 7 6が、内側空間 7 8 0を構成する溝 7 8 2の長手方向に平行な方向において、永久磁石 7 7 4から外れた部分において軸 7 8 4により基台 7 7 8に回動可能に取り付けられている。磁石保持部材 7 7 6の自由端部には突部 7 9 0が突設されて第二係合部を構成している。ピン部材 7 9 4の基端部は内側空間 7 8 0内に位置させられるとともに、突部 7 9 0に下方から係合可能な係合部 7 9 6が設けられ、第一係合部を構成している。 The magnet holding member 776 is disposed in the inside of the groove 78, and the magnet holding member 776 is separated from the permanent magnet 774 in a direction parallel to the longitudinal direction of the groove 782 constituting the inner space 7800. It is rotatably attached to the base 7778 by a shaft 784. A projection 790 projects from a free end of the magnet holding member 776 to constitute a second engagement portion. The base end of the pin member 794 is located in the inner space 780, and the projection 790 is provided with an engagement portion 796 that can be engaged from below, and the first engagement portion Is composed.

[0081 ] ピン部材 7 9 4に引張力が加えられれば、係合部 7 9 6が突部 7 9 0に係合し、磁石保持部材 7 7 6を回動させ、永久磁石部 7 7 2を傾斜させつつピン支持台 2 5 4から離間させる。突部 7 9 0は永久磁石 7 7 4から外れた位置に設けられており、永久磁石部 7 7 2とピン支持台 2 5 4との間に作用する磁気吸引力の合力の作用線から外れた位置において突部 7 9 0と係合部 7 9 6とが互いに係合し、永久磁石部 7 7 2に回転モーメントを生じさせ、回動させるのである。この場合、係合部 7 9 6が突部 7 9 0に加える力と、軸 7 8 4が磁石保持部材 7 7 6に加える力とが、磁気吸引力の合力に対抗し、永久磁石部 7 7 2は小さい引張力で傾動させられ、磁気吸引力が減少させられる。 [0081] When a tensile force is applied to the pin member 794, the engaging portion 796 engages with the protruding portion 790, and the magnet holding member 770 is rotated, so that the permanent magnet portion 770 While tilting it away from the pin support 2 54. The protrusion 790 is provided at a position deviated from the permanent magnet 774, and is a line of action of the resultant force of the magnetic attraction acting between the permanent magnet 770 and the pin support 254. The protrusion 7 9 0 and the engagement 7 9 and 6 engage with each other to generate a rotational moment in the permanent magnet section 772 and rotate it. In this case, the force applied by the engaging portion 796 to the protrusion 790 and the force applied by the shaft 784 to the magnet holding member 770 oppose the resultant force of the magnetic attraction, and the permanent magnet portion 7 72 is tilted with a small pulling force, and the magnetic attraction force is reduced.

[0082] なお、支持ピンの C形部材は軟鉄等の磁性材料製としてもよい。 C形部材を非磁性材料製とすれば、 C形部材に磁気吸引力が作用せず、磁石保持部材をピン支持台に対して傾け易い。しかし、 C形部材を磁性材料製としても、ピン支持台の磁気吸引力が及ばないのであれば、磁石保持部材に係合して傾動させることができる。磁石保持部材は、基台の底板から離間させられた状態では、 C形部材により磁力により本体部に吸引され、真っ直ぐな状態で保持され得る。 [0082] The C-shaped member of the support pin may be made of a magnetic material such as soft iron. If the C-shaped member is made of a non-magnetic material, magnetic attraction does not act on the C-shaped member, and the magnet holding member is easily inclined with respect to the pin support. However, even if the C-shaped member is made of a magnetic material, it can be engaged with the magnet holding member and tilted as long as the magnetic attraction of the pin support does not reach. In a state where the magnet holding member is separated from the bottom plate of the base, the magnet holding member is attracted to the main body by the magnetic force by the C-shaped member, and can be held in a straight state.

[0083] また、基準マークを撮像し、支持ピン収納装置に収納された支持ピンの位置を検出する場合、基準マークは 1つ撮像するのみでもよい。基準マークの位置が得られれば、複数の支持ピン（収納部）と基準マークとの相対位置情報から、各支持ピンの位置を検出することができる。 [0083] In addition, when the reference mark is imaged and the position of the support pin stored in the support pin storage device is detected, only one reference mark may be imaged. If the position of the reference mark is obtained, the position of each support pin can be detected from the relative position information between the plurality of support pins (storage portions) and the reference mark.

[0084] さらに、支持ピンの C形部材の一対の第一係合部をピン部材の軸方向において異なる位置に設けてもよく、それと共に永久磁石部の一対の第二係合部を、ピン部材の軸方向において異なる位置に設けてもよい。 Further, a pair of first engaging portions of the C-shaped member of the support pin may be provided at different positions in the axial direction of the pin member, and together with the pair of second engaging portions of the permanent magnet portion. The pin members may be provided at different positions in the axial direction.

[0085] また、ピン支持部材昇降装置や支持ピン把持装置昇降装置は、電動モータ、例えば、サーポモータを駆動源とし、ねじ軸およびナツ卜を有する運動変換装置を含む装置としてもよい。 [0085] The pin supporting member elevating device and the supporting pin gripping device elevating device may be a device that includes an electric motor, for example, a servo motor as a drive source, and includes a motion converter having a screw shaft and a nut.

[0086] さらに、請求可能発明は、モジュール型の部品装着システム以外の部品装着システム，ノズル保持ヘッドがヘッド移動装置によって X軸， Y軸方向に移動させられる部品装着機以外の部品装着機、例えば、複数のノズル保持へッドがー軸線まわりに旋回させられるインデックス型の部品装着機，部品装着システム以外の作業システム、例えば、スクリーン印刷機，接着剤塗布装置等の支持ピン，支持ピン把持装置，支持ピン収納装置，基板支持装置に適用することができる。 [0086] Further, the claimable invention is a component mounting system other than the module type component mounting system, a component mounting machine other than the component mounting machine in which the nozzle holding head is moved in the X-axis and Y-axis directions by the head moving device, For example, index-type component mounting machines in which a plurality of nozzle holding heads are swiveled around the axis, work systems other than the component mounting system, such as screen printing machines, support pins for adhesive coating devices, etc. Suitable for pin holding device, support pin storage device, substrate support device Can be used.

Claims

請求の範囲 The scope of the claims

[1 ] ピン支持部材に取り付けるべき支持ピンを把持する支持ピン把持装置であつて、 [1] A support pin holding device for holding a support pin to be attached to a pin support member,

把持装置本体と、 A gripping device main body;

前記把持装置本体によリ作動可能に保持され、前記把持装置本体と前記ピン支持部材との相対移動に伴ってその把持装置本体と相対移動する係合部材との係合により、非作用位置から作用位置に向かって作動させられる作動部材と、 The gripping device main body is operably held by the gripping device main body, and the non-operating position is established by the engagement between the gripping device main body and the engaging member that relatively moves with the relative movement of the pin supporting member. An actuating member that is actuated from

その作動部材と機械的に連動し、その作動部材が 1回作動させられる毎に Mechanically linked with the actuating member, each time the actuating member is actuated once

、前記把持部材群を開状態から閉状態へと閉状態から開状態へとに交互に切リ換える切換装置と A switching device that alternately switches the gripping member group from an open state to a closed state from a closed state to an open state;

を含む支持ピン把持装置。 And a support pin gripping device.

[2] 前記把持部材群と前記支持ピンとが、把持部材群による支持ピンの把持が可能な位置へ相対移動するのに伴い、支持ピンと係合し、支持ピンにより前記非作用位置から前記作用位置に向かって移動させられる位置に前記作動部材が設けられており、支持ピンが前記係合部材として機能する請求の範囲第 1 項に記載の支持ピン把持装置。 [2] As the gripping member group and the support pin relatively move to a position where the support pin can be gripped by the gripping member group, the gripping member group and the support pin engage with the support pin, and the support pin causes the action from the non-operation position to be performed. 2. The support pin holding device according to claim 1, wherein the operating member is provided at a position where the operating member is moved toward the position, and a support pin functions as the engaging member.

[3] 前記作動部材が前記把持部材群の中央部奥に設けられ、前記把持部材群内に進入した支持ピンの先端部により作動させられる位置に設けられた請求の範囲第 2項に記載の支持ピン把持装置。 [3] The range according to claim 2, wherein the actuating member is provided at the back of a central portion of the gripping member group, and is provided at a position where the operating member is operated by a tip end of a support pin which has entered the gripping member group. Support pin gripping device.

[4] 前記切換装置が、 [4] The switching device,

前記作動部材の運動を前記把持部材群の開閉運動に変換する運動変換機構前記作動部材が前記係合部材との係合により 1回作用位置の近傍へ押された際はその作動部材を前記作用位置に保持し、次にもう 1回押された際はその保持を解除して作動部材が非作用位置へ復帰することを許容する作動部材制御装置と A motion conversion mechanism that converts the motion of the operating member into the opening and closing motion of the gripping member group. When the operating member is pushed to the vicinity of the single-action position by engagement with the engaging member, the operating member is moved to the operation position. Actuating member that holds the actuator in position and then releases it again when pressed again to allow the actuating member to return to the non-operating position Control device and

を備えた請求の範囲第 1 3項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 14. The support pin gripping device according to claim 13, comprising:

[5] 前記作動部材制御装置が、前記装置本体と前記作動部材との一方に設けられた係止部材と他方に設けられた被係止部材とを含む係止装置であり、被係止部材が、係止部材によつて係止されることにより前記作動部材を前記作用位置に保持する被係止部と、係止部材を案内し、前記作動部材の 1回の作動に起因する係止部材と被係止部材との相対移動に伴つて係止部材を前記被係止部を係止する係止位置へ導き、次の 1回の相対移動に伴って係止部材による被係止部の係止を解除して係止部材を原位置へ導く案内部とを備えた請求の範囲第 4項に記載の支持ピン把持装置。 [5] The operating member control device is a locking device including a locking member provided on one of the device main body and the operating member, and a locked member provided on the other of the device main body and the operating member. Are locked by a locking member to hold the operating member in the operating position, and a guide that guides the locking member, and an engagement caused by one operation of the operating member. With the relative movement between the stop member and the locked member, the locking member is guided to the locking position for locking the locked portion, and locked by the locking member with the next relative movement. 5. The support pin gripping device according to claim 4, further comprising: a guide that releases the locking of the portion and guides the locking member to the original position.

[6] 前記係止部材が、回動軸部とその回動軸部からほぼ直角方向に延び出た一対のアーム部と、それらアーム部の自由端部に設けられた一対の係合部とを備え、回動軸部において前記把持装置本体と前記作動部材との一方に回動可能に保持された回動係止部材であり、前記被係止部材が、互いに共同して前記一対の係合部を案内する一対の案内部を備えた請求の範囲第 5項に記載の支持ピン把持装置。 [6] The locking member includes a rotating shaft, a pair of arms extending substantially perpendicularly from the rotating shaft, and a pair of engaging portions provided at free ends of the arms. A rotation locking member rotatably held at one of the gripping device main body and the operation member at a rotation shaft portion, wherein the locked members cooperate with each other to form the pair of the locking members. 6. The support pin gripping device according to claim 5, comprising a pair of guide portions for guiding the engagement portions.

[7] 前記一対の案内部が、前記作動部材の 2回の作動に伴って前記一対の係合部に前記被係止部を含んで予め設定された周回運動を行わせる形状を有する請求の範囲第 6項に記載の支持ピン把持装置。 [7] A request in which the pair of guide portions have a shape that causes the pair of engagement portions to perform a predetermined orbiting motion including the locked portions in accordance with two operations of the operation member. Item 7. The support pin holding device according to Item 6.

[8] 前記把持部材群が対称軸に対して軸対称に開閉するものである請求の範囲第 [8] The gripping member group may open and close axially symmetrically with respect to an axis of symmetry.

1 7項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 17. The support pin gripping device according to any one of the above items 17.

[9] 前記作動部材が軸方向に進退する進退部材である請求の範囲第 1 8項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 9. The support pin gripping device according to claim 18, wherein the operating member is a reciprocating member that reciprocates in an axial direction.

[10] 前記作動部材が、前記対称軸上に配設され、その対称軸に沿って進退する進退部材である請求の範囲第 8項に記載の支持ピン把持装置。 10. The support pin gripping device according to claim 8, wherein the operating member is an advancing / retreating member disposed on the axis of symmetry and advancing / retreating along the axis of symmetry.

[11] 前記作動部材を把持装置本体に対して前記作用位置から前記非作用位置に向かう向きに付勢する付勢手段を含む請求の範囲第 1 1 0項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 [11] The support according to any one of claims 110 to 110, further comprising an urging means for urging the operating member toward the non-operating position from the operation position to the gripping device main body. Pin gripping device.

[12] 前記付勢手段が、前記作動部材と前記把持装置本体との間に配設された弾性部材を含む請求の範囲第 1 1項に記載の支持ピン把持装置。 12. The support pin gripping device according to claim 11, wherein said urging means includes an elastic member disposed between said operating member and said gripping device main body.

[13] 前記運動変換機構が、前記複数の支持ピン把持部材のそれぞれに一端部が相対回動可能に連結されるとともに、他端部同士が互いに相対回動可能に連結された複数の連結リンクと、それら連結リンクの前記他端部を前記進退部材の進退方向には移動可能であるがその進退方向と交差する方向には移動不能に案内する案内手段とを含む請求の範囲第 9 1 2項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 [13] A plurality of connections, wherein the motion conversion mechanism has one end portion connected to each of the plurality of support pin gripping members so as to be relatively rotatable, and the other end portion connected to each other so as to be relatively rotatable with each other. And a guide means for guiding the other end of the connecting link in the moving direction of the moving member but not in a direction intersecting the moving direction. 3. The support pin gripping device according to any one of items 2.

[14] 支持ピンが前記係合部材として機能し、前記進退部材が前記支持ピンと嵌合して実質的に支持ピンの傾きを防止する嵌合穴を備え、前記複数の支持ピン把持部材が、それぞれの自由端部において前記支持ピンにその支持ピンの相対的な傾きを許容する状態で係合する請求の範囲第 9 1 3項のいずれかに記載の支持ピン把持装置。 [14] A support pin functions as the engagement member, and the advancing / retreating member includes a fitting hole that fits with the support pin to substantially prevent the support pin from being tilted. The support pin gripping device according to any one of claims 9 to 13, wherein the support pin is engaged with the support pin at each free end in a state where the support pin is allowed to tilt relative to the support pin.

[15] 前記作動部材が、前記把持装置本体に軸方向に進退可能に嵌合された進退部材であり、前記複数の支持ピン把持部材がその進退部材に相対移動可能に保持される一方、前記把持装置本体に、進退部材の後退に伴って前記複数の支持ピン把持部材の少なくとも 1つに係合することによりその少なくとも 1つを閉方向に移動させる作用部が設けられ、その作用部が前記運動変換機構の少なくとも一部を構成する請求の範囲第 4項に記載の支持ピン把持装置。 [15] The operating member is an advancing and retreating member fitted to the gripping device main body so as to be able to advance and retreat in the axial direction, and the plurality of support pin gripping members are held by the advancing and retreating member so as to be relatively movable. The gripping device main body is provided with an action portion for engaging at least one of the plurality of support pin gripping members with the retreating of the advance / retreat member to move at least one of the plurality of support pin gripping members in the closing direction. 5. The support pin gripping device according to claim 4, wherein a portion forms at least a part of the motion conversion mechanism.

[16] 前記作用部が、前記把持装置本体により前記進退部材の進退方向と交差する方向に移動可能に設けられ、かつ付勢手段により前記少なくとも 1つの支持ピン把持部材に接近する向きに付勢された可動作用部材により構成された請求の範囲第 1 5項に記載の支持ピン把持装置。 [16] The action section is provided so as to be movable by the gripping device main body in a direction intersecting the advance / retreat direction of the advance / retreat member, and is biased by a biasing means in a direction approaching the at least one support pin gripping member. Item 16. The support pin gripping device according to Item 15, wherein the movable pin is configured by the movable action member.

[17] 前記複数の支持ピン把持部材がそれぞれ一軸線まわりに回動可能な回動型把持部材である請求の範囲第 1 1 6項のいずれかに記載の支持ピン把持装置 17. The support pin gripping device according to claim 1, wherein the plurality of support pin gripping members are rotatable gripping members rotatable around one axis, respectively.

[18] 請求の範囲第 1 1 7項のいずれかに記載の支持ピン把持装置と、 [18] The support pin holding device according to any one of claims 1 to 17,

(a)内側に内側空間を有する基台と、（b)その基台に、基端部が前記内側空間内に位置するとともに軸方向に相対移動可能に保持され、基台から突出した突出部の先端でプリン卜基板を支持するピン部材と、（C)前記基台の前記内側空間内に少なくとも傾動可能に配設され、基台が磁性材料製のピン支持部材上に載置された状態で、そのピン支持部材に磁気的に吸引され、その磁気吸引力に基づいて基台にその基台をピン支持部材に押し付ける力を加える永久磁石部と、（d)前記ピン部材の前記内側空間内に位置する部分と前記永久磁石部との少なくとも一方に設けられ、ピン部材に引張力が加えられた場合に、その引張力を前記永久磁石部に、その永久磁石部を前記ピン支持部材に対して相対的に傾動させつつピン支持部材から離間させる力として伝達する力伝達装置とを含む支持ピンと、 (a) a base having an inner space on the inside; and (b) a base end of the base having the inner space. A pin member that is located in the gap and is held so as to be relatively movable in the axial direction, and that supports the print substrate at the tip of a protruding portion that protrudes from the base; In a state where the base is placed on a pin supporting member made of a magnetic material, the base is placed on the pin supporting member, and is magnetically attracted to the pin supporting member. A permanent magnet portion for applying a force for pressing the table against the pin supporting member; and (d) a permanent magnet portion provided on at least one of the portion of the pin member located in the inner space and the permanent magnet portion, wherein the pin member has a tensile force. And a force transmitting device for transmitting the tensile force to the permanent magnet portion as a force to separate the permanent magnet portion from the pin support member while tilting the permanent magnet portion relative to the pin support member. Including support pins,

その支持ピンを支持するピン支持部材と A pin support member for supporting the support pin;

を含む基板支持装置。 A substrate supporting device including:

[19] 前記支持ピンを収納する支持ピン収納装置と、 [19] A support pin storage device for storing the support pin,

を含み、自動段取替えが可能である請求の範囲第 1 8項に記載の基板支持装置。 19. The substrate supporting apparatus according to claim 18, wherein the substrate supporting apparatus includes an automatic setup changeover.

[20] 前記支持ピン収納装置が、一対のサイドフレームとそれらサイドフレームに支持された一対のコンペャベルトとを含み、前記一対のサイドフレームの一方が固定フレーム、他方がその固定フレームに接近，離間することによって搬送幅を変更する可動フレームである基板コンべャによリ搬送されるプリン卜基板を、下方から支持する支持ピンを収納する支持ピン収納装置であって、前記可動フレームに、その可動フレームと共に移動可能に取り付けられた請求の範囲第 1 9項に記載の基板支持装置。 [20] The support pin storage device includes a pair of side frames and a pair of conveyor belts supported by the side frames, one of the pair of side frames being a fixed frame, and the other being approaching or separating from the fixed frame. A support pin storage device for storing a support pin for supporting a print substrate conveyed by a substrate conveyer, which is a movable frame that changes the conveyance width, from below. 10. The substrate support device according to claim 19, wherein the substrate support device is movably mounted together with the movable frame.