WO2003069391A1 - Vorrichtung zur konfokalen optischen mikroanalyse - Google Patents

Vorrichtung zur konfokalen optischen mikroanalyse Download PDF

Info

Publication number
WO2003069391A1
WO2003069391A1 PCT/EP2003/000765 EP0300765W WO03069391A1 WO 2003069391 A1 WO2003069391 A1 WO 2003069391A1 EP 0300765 W EP0300765 W EP 0300765W WO 03069391 A1 WO03069391 A1 WO 03069391A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
array
optical
illumination
elements
light
Prior art date
Application number
PCT/EP2003/000765
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Norbert Czarnetzki
Original Assignee
Carl Zeiss Microelectronic Systems Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Microelectronic Systems Gmbh filed Critical Carl Zeiss Microelectronic Systems Gmbh
Publication of WO2003069391A1 publication Critical patent/WO2003069391A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6452—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
    • G01N21/6458—Fluorescence microscopy
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
    • G02B21/004—Scanning details, e.g. scanning stages fixed arrays, e.g. switchable aperture arrays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052—Optical details of the image generation
    • G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence

Definitions

  • the invention relates to a device for confocal optical microanalysis, comprising an object table for receiving an object to be examined, which can be moved for optical scanning of the object in an XY plane, an illumination device with one or more light sources for illuminating an object on the object table - Conceivable object, a lighting optics arranged between the lighting device and the object table with an array of a plurality of grid-shaped, optically - namely refractive, diffractive and / or reflective - effective micro-elements for generating a grid from a multiplicity of lighting points the object to be examined, and a receiving device with a plurality of receiver cells for receiving the light coming back from the object in an individual assignment to the individual lighting points.
  • Such a device is known from DE 40 35 799 C2.
  • the object is illuminated with light points arranged in a grid.
  • the light point structure is predetermined by an aperture provided in the illumination beam path with a plurality of openings arranged in a grid.
  • the illumination grid is imaged with a grid dimension on a receiving device, namely a CCD receiver, which corresponds to the grid dimension of the light-sensitive areas of the CCD receiver or is an integral multiple thereof.
  • DE 40 35 799 C2 discloses the possibility of generating the illumination grid by means of an array from a multiplicity of lenses, which generates small light spots by means of sufficiently good imaging properties from an almost punctiform light source.
  • the object of the invention is to further improve a device of the type mentioned at the outset.
  • a device for fast analysis methods is to be made available, in which on the one hand a high efficiency of the lighting is to be ensured and on the other hand an evaluation with electronic methods is possible with a differentiated transformation of the image information from the object to be examined into an image plane.
  • a second array is assigned from a plurality of optical micro-elements arranged in a grid, which direct the light coming back from the illumination points on the object onto the receiver cells of the receiving device.
  • the optical microelements of the first array rhombically.
  • the rhombic arrangement of the optical micro-elements also favors a high luminous efficacy when lighting.
  • the proportion of the optical microelements in the area of the respective array is preferably 80% or more.
  • the receiving device is a surface camera or line camera, the object table being movable synchronously with the reading of the receiving device.
  • an area camera in the form of a structured TDI camera (TDI: Time Delayed Integration) is preferably used, the line scan rate of which is coordinated with the travel speed of the object table and which then provides a continuous, digitized image of the object to be examined. delivers the object from a large number of drawing files or single lines.
  • TDI Time Delayed Integration
  • the optical microelements of the first array can be designed, for example, as spherical or aspherical micromirrors.
  • a color-correct image of the light source (s) eg several lasers
  • the spherical aberration is smaller in the case of openings of the illuminating beam bundles that are not so large in comparison with refractive microelements of the same refractive power.
  • a vertical incidence of the illuminating beams which is advantageous for images with shaped micromirrors, can be achieved, for example, by suitable polarization-optical or dichroic splitter elements.
  • a polarizer is preferably provided in order to utilize the effect of a polarization-optical divider element.
  • one or more lasers as the light source in the lighting device, in which an intrinsic linear polarization is possible without additional loss of light output.
  • the laser light is preferably coupled into the illumination beam path via polarization-maintaining optical fibers.
  • the illumination side is preferably dimensioned such that the illumination points on the object do not exceed the size of the object structures to be resolved thereon and the illumination cones illuminate the aperture of the optical microelements of the second array that can be recorded on the image side.
  • the free diameter of the micromirrors is primarily adapted to the needs of a high area coverage, the distance between the micromirrors, however, having to take into account the requirements for confocality.
  • the ratio of the mirror diameter to the mean radius of curvature is very small for the practical applications of interest, so that the imaging via the mirror takes place in the para-axial space.
  • refractive or diffractive microelements can of course also be used, these being preferably optimized for several wavelengths (fluorescence excitation). Holographic micro-elements are also to be counted for this.
  • a color correction for imaging light sources in the image plane for two wavelengths is achieved by taking into account dispersive properties of the lens material and diffractive effects of the lens edges.
  • pinhole array between the first array and the object table, which has a large number of pinholes arranged in a grid.
  • the grid of the pinholes corresponds to the grid of the micro elements of the first array and is conjugated to it. Above all, false pin effects can be kept low by the pin holy array.
  • the neutral, optically ineffective zones between the micro-elements can be blackened or made of light-absorbing material in order to avoid reflections and to prevent an illumination background.
  • an illuminance of almost 100% can even be achieved.
  • polarization splitters or dichroic splitters in the form of preferably optical cubes are provided.
  • a ⁇ / 4 plate allows a good separation of illuminating and imaging light in the direction of illumination.
  • a steep-edged formation of the spectral separating edge of the polarization splitter layer or of the dichroic splitter layer is advantageous. This can be supplemented by suitable excitation edge filters on the part of the lighting device.
  • the lighting device generates monochromatic light or else light of defined but different wavelengths. If a white light source is used, the excitation wavelengths are fixed by suitable band filters. However, it is also possible the use of laser light sources or arc lamps with extracted lines of different wavelengths. Longitudinal color errors that may occur for different excitation waves are eliminated by focusing the object to be examined, eg. B. compensated by focusing the object table. A correction by focusing the two arrays is also possible.
  • the ends of one or more illumination fibers can also be used as point light sources, which are achromatically collimated.
  • the device explained above is particularly suitable for the optical analysis of substances arranged in an object plane which are only present in small quantities there.
  • the light in interaction with these substances is converted into light with other properties, for example changed polarization state o 'of the changed wavelength, if certain substance properties are present (eg fluorescence label).
  • the multiple illumination and imaging beam paths enable, for example, individual examinations on a large number of sample containers which are arranged on a sample carrier at a relatively large distance. The sample carrier and the sample containers then together form the imaging object to be arranged on the object table.
  • FIG.l shows a first embodiment of the inventive apparatus as' using a first array of micro-mirrors
  • Figure 2 shows a second embodiment of the inventive device with a first array of re- frepten or diffractive optical micro-elements
  • FIG. 3 shows a third exemplary embodiment of a device according to the invention with a telecentric device
  • FIG. 4 shows a fourth exemplary embodiment of a device according to the invention with a pinhole array
  • FIG. 5 shows an example of a rhombic grid of microelements in the illumination beam path
  • FIG. 6 shows an example of a rhombic grid of receiver elements in the imaging beam path.
  • FIG. 1 shows a device for optical microanalysis with confocal illumination and imaging.
  • This comprises an object table 1 for holding an object to be examined, for example a carrier with a large number of substances to be analyzed.
  • the object table 1 can be moved in the coordinates X, Y (meandering) of a coordinate system X, Y, Z, so that the object or the individual samples can be scanned point by point and can be optically scanned.
  • the device comprises an illumination device 2 with which monochromatic light is generated.
  • the lighting device 2 has a white light source 3, which is followed by a collimator 4, a polarizer 5 and a wavelength-selective filter ⁇ in the direction of illumination towards the object table 1.
  • the illuminating beam path between the illuminating device 2 and the object table 1 there is an illuminating optic with which the light from the illuminating source 2 is confocally directed onto the object table 1 in the form of a plurality of illuminating light beams running side by side, so that there is a grid in an object plane from a variety of lighting points.
  • illuminating optic with which the light from the illuminating source 2 is confocally directed onto the object table 1 in the form of a plurality of illuminating light beams running side by side, so that there is a grid in an object plane from a variety of lighting points.
  • Fig.l only a single illumination beam path and the associated imaging beam path is shown as an example.
  • the illumination optics comprises a first array 10 made up of a multiplicity of optical microelements 7 in the form of micromirrors which are arranged in a grid-like manner on a carrier plate 8.
  • all the micromirrors 7 are of the same design and are arranged rhombically to one another. Examples of rhombic structures are shown in Fig.5 and Fig.6. With such arrangements, there is a high use of space and thus a good light yield in the lighting.
  • the carrier plate 8 with the micromirrors 7 is arranged opposite the lighting device 2.
  • a polarization splitter 9 ensures the confocal illumination of the object field on the object table 1.
  • the lighting device device 2 illuminates with a collimated beam through the preferably narrow-band polarization splitter 9 through the first array 10 of micromirrors ⁇ 1, which image the light source 3 in parallel in the object plane.
  • the light reflected by the " micromirrors" 7 is deflected via the polarization splitter 9 onto the object table 1.
  • a ⁇ / 4 plate 11 is arranged between the polarization splitter 9 and the array 10 in order to achieve the 180 °.
  • the individual micromirrors 7 have a light-concentrating effect and are dimensioned such that the images of the light source 3 lie within the desired analysis volumes on the object to be examined.
  • the light of the individual illumination points reflected by the object again through the polarization splitter 9, reaches a receiving device 12 with a multiplicity of receiver cells 13 arranged in a raster pattern that individual or groups of receiver cells 13 are each assigned to an illumination point.
  • the reflected light passes through a second array 14 made up of a plurality of optical micro-elements 15 arranged in a grid.
  • the micro-elements 15 of the second array 14 are here as refractive or diffractive optical ones Elements formed and concentrate that from the lighting points' on the object emitting light onto the respectively assigned receiver cells 13 on the receiving device 12.
  • the raster of the optical microelements 15 on the second array 14 is also conjugated to the raster of the picture elements or that of the first array 10.
  • the rhombic basic arrangement is aligned in mirror image to the first array 10. Again, all the micro elements 15 are of the same design.
  • each micro-element 15 of the second array 14 transforms the fluorescent light from the assigned illumination point into the image plane of the receiving device 12 in accordance with its receiving aperture.
  • the imaging effect of the microelements 15 Due to the imaging effect of the microelements 15, only the 'illumination points of the object plane is transmitted into conjugated halftone dots of the image plane.
  • the effect is a confocal transmission, which cuts out defined thin layers from the depth and width of the transformable object space and only allows them to contribute to the composition of the image.
  • the overall picture of a certain object field is obtained by moving the object table 1 in the XY plane achieved.
  • the rhombically structured raster images are combined to form an overall image or can also be strengthened in the sum formation.
  • the complete object field is detected by the object table 1 continuing to scan in a meandering manner.
  • the step speed of the displacement of the object that can be achieved and the image formation that occurs synchronously with this by reading out the respective receiver cells depends, inter alia, on the sensitivity of the receiving device 12 or camera used, the brightness of the fluorescent examination object and the spacing of the illumination points.
  • a TDI camera is used as the receiving device 12, the receiver surface of which is rhombically structured, the structure being oriented in mirror image to the first array 10.
  • the diameters of the “light-sensitive islands” of the receiver surface preferably correspond to the Airy discs that can be focused by the microelements 15 of the array 14.
  • the image of the object runs transversely to the line direction of the TDI camera, the optoelectrically generated ones Charges of the object points are pushed across the lines at the same speed as the scanning object points, thus increasing the sensitivity of the line camera by increasing the exposure time of each image point, ie the length of time it stays on the receiving device 12.
  • a correspondingly quick image build-up follows from the current one Composition of each because completely exposed end line of the TDI camera to a picture format of virtually any length.
  • a dichroic divider in the form of a divider cube can also be provided instead of the polarization divider 9.
  • the broadband, longer-wave fluorescence radiation is transmitted by a suitable choice of the bandwidth of the polarization splitter 9 or the long-pass reflection edge of the dichroic splitter, so that a corresponding image of the longer-wave pixels is obtained at the receiving device 12.
  • a second exemplary embodiment shows in FIG. 2 a device for confocal optical microanalysis which differs from that of the first exemplary embodiment by the illumination optics.
  • the object table 1, the lighting device 2 and the receiving device 12 can be designed as in the first exemplary embodiment, so that only the differences in the lighting optics need to be explained in more detail here.
  • This in turn comprises a first array 17 for generating an illumination point grid in an object field.
  • this first array 17 has a plurality of refractive or diffractive optical microelements 18 instead of micromirrors.
  • holographic micro-elements 18 are also possible.
  • the optical micro-elements 18 are configured in a rhombic arrangement with respect to one another on a carrier plate, the distance and aperture being selected such that the light from the illuminating device 2 is multiplied directly into the object plane.
  • a divider element 19 is provided for this purpose, which directs the light coming from the lighting device 2 and passing through the first array 17 onto the object table 1. The light reflected by the object is reflected by the divider element 19 onto the receiving device 12 without being deflected.
  • the divider element 19 is followed by a second array 20 made up of a large number of optical microelements 21 which act refractive or also diffractive.
  • the optical microelements 21 in the imaging beam path are in turn formed on a carrier plate 22 and have a mirror-image rhombic basic arrangement to the first array 17. All micro-elements 21 are designed in the same way. In particular, they all have the same focal length and the same specific diameter.
  • the divider element 19 can also be designed as a narrow-band polarization splitter, in particular for fluorescence applications, as a result of which the illumination beam path and the imaging beam path can be separated well. Alternatively, the use of a dichroic divider is also possible. In connection with a polarization divider, a ⁇ / 4 plate 27 can again be provided between the divider element 19 and the object table 1.
  • the third exemplary embodiment shows in FIG. 3 a further device for confocal optical microanalysis in the form of a confocal microanalysis device with telecentric partial beam paths.
  • the object table 1, the lighting device 2 and the receiving device 12 can be designed in the same way as in the first two exemplary embodiments. However, there are deviations for the lighting optics.
  • the collimated light coming from the lighting device 2 is directed onto the object table 1 via a divider element 23.
  • the divider element 23 is provided with a first array 24 ′′ in the direction of the object table 1 with a multiplicity of optical microelements 25, in particular refractive or diffractive micro- elements downstream.
  • These micro-elements 25 are formed on a carrier plate 26 which is adjustable in the direction of the optical axis for the purpose of focusing. If necessary, depending on the purpose of the analysis, a ⁇ / 4 plate 27 is again provided in the illumination beam path between the dividing element 23 and the object table 1.
  • the second array 28 in turn comprises a multiplicity of optical microelements 29 which are formed on a carrier plate 30.
  • This carrier plate is arranged between the divider element 23 and the receiving device 12.
  • the microelements 25 and 29 can in turn be arranged rhombically, with the receiving device 12 then likewise structuring the receiver cells 13 accordingly.
  • the telecentric arrangement enables simple adjustment of the two arrays 24 and 28, which can be moved in the direction of the optical axis for the purpose of focusing.
  • the image scale can be easily changed.
  • the illumination is carried out with a white light source, this can be designed as a modified Köhler illumination, so that a large number of images of a uniformly illuminated light field diaphragm through the optical micro elements 25 of the first array 24 in the object plane arise.
  • An achromatic correction for two lines is achieved by a suitable choice of the dispersive properties of the material of the refractive optical microelements 25 in relation to their diffractive lens edges.
  • the object plane or the object table 1 is preferably focused in the direction of the optical axis, ie. H. here in the Z direction.
  • the imaging beams which arise at the rear pass through the optical microelements 25 of the first array 24 and are approximately collimated in the process.
  • the telecentric imaging beam is imaged onto the receiving device 12 via this.
  • the second array 28 is finely focused in the direction of the optical axis by moving the second array 28 relative to the receiving device 12. A movement of the arrays 24 and 28 transversely to the optical axis for the purpose of scanning different pixels is not provided. Rather, the scanning is carried out solely by moving the object table 1 and the synchronous reading of the receiver cells assigned to the object points.
  • the two arrays 24 and 28 are firmly connected to the divider element 23, so that these components together form an advantageous technical unit.
  • the stage 1, illumination device 2 and receive device 12 may be formed as already explained above.
  • the parallel confocal illumination beam path is generated before the divider element 31.
  • a collimated illuminated first array 32 with a large number of refractive or diffractive optical microelements 33 generates a rhombically screened confocal bundle, which is sharply confocally imaged onto a pinhole array 34 similarly screened to the first array 33.
  • the illuminating light passes through a second array 36 with a large number of optical microelements 37 to the object table 1.
  • the second array 36 has a dual task here, namely the task of mapping the pinhole array 34 into the object plane and further the task of the lighting points to be analyzed on the object in to map a receiver level, ie on the receiving device 12.
  • Axial color aberrations occurring for different illumination wavelengths are compensated for by focusing the receiving device 12 relative to the object table 1.
  • An overall image is then generated from a multiplicity of raster images as already described above.
  • FIG. 5 shows an example of a pinhole array 34 with a plurality of pinholes 35.
  • Their rhombic arrangement is based on a right-sided displacement of the confocal pinhole rows by one pinhole radius each.
  • the displacement of the object table 1 takes place in adaptation to these distances, so that after such a length, ie a scanning period, the scanning of the line-shaped object has been carried out completely once in the example on which this is based.
  • the 10 * 10 rhombic pinhole grid can be periodically multiplied in length and width in order to dimension the desired object scanning width or length and the number of scanning processes.
  • n 10 is chosen, which corresponds to a degree of coverage with pinhole areas of approx. 3%.
  • FIG. 6 shows the associated second array 36 with the micro-elements 37.
  • the rhombic grid structure of the micro-elements 37 is a mirror image of that of the pinholes 35.
  • R radius of a 'micro-element
  • the devices described are particularly suitable for examining fluorescence properties. By dividing the illuminating light into a large number of independent analysis beam paths, a large number of samples can be examined simultaneously. Besugsseichenliste
  • optical micro elements 30 carrier plate 31 divider elements 32 first array 33 optical micro-elements 34 pinhole array 35 pinhole 36 second array 37 optical micro-elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

Eine Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse umfasst einen Objekttisch (1), der zur optischen Abtastung eines Objekts in einer X-Y-Ebene bewegbar ist, eine Beleuchtungseinrichtung (2) zur Beleuchtung des Objektes, eine zwischen dem Objekttisch (1) und der Beleuchtungseinrichtung (2) angeordnete Beleuchtungsoptik mit einem ersten Array (10) aus einer Vielzahl von optischen Mikroelementen (7) zur Erzeugung eines Rasters aus einer Vielzahl von Beleuchtungspunkten an dem zu untersuchenden Objekt und eine Empfangseinrichtung (12) mit einer Vielzahl von Empfängerzellen (13) zur Aufnahme des von dem Objekt nach Wechselwirkung abgegebenen Lichts in Zuordnung zu den einzelnen Beleuchtungspunkten. Der Empfangseinrichtung (12) ist zweites Array (14) aus rasterförmig angeordneten optischen Mikroelementen (15) zugeordnet, welche das an dem Objekt reflektierte Licht auf die Emfängerzellen (13) richten. Die Vorrichtung ermöglicht die Erfassung grosser Objektfelder bei Optimierung der Seiten- und Tiefenauflösung. Sie eignet sich insbesondere zur Analyse fluoreszierender Substanzen, wobei eine Vielzahl von Proben gleichzeitig untersucht werden können.

Description

Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse, umfassend einen Objekttisch zur Aufnahme eines zu untersuchenden Objekts, der zur optischen Abtastung des Objekts in einer X-Y-Ebene bewegbar ist, eine Beleuchtungseinrichtung mit einer oder mehreren Lichtquellen zur Beleuchtung eines an dem Objekttisch anor- denbaren Objektes, eine zwischen der Beleuchtungseinrich- tung und dem Objekttisch angeordnete Beleuchtungsoptik mit einem Array aus einer Vielzahl von rasterförmig angeordneten, optisch - nämlich refraktiv, diffraktiv und/oder re- flektiv - wirksamen Mikroelementen zur Erzeugung eines Rasters aus einer Vielzahl von Beleuchtungspunkten an dem zu untersuchenden Objekt, und eine Empfangseinrichtung mit einer Vielzahl von Empfängerzellen zur Aufnahme des von dem Objekt zurück kommenden Lichts in individueller Zuordnung zu den einzelnen Beleuchtungspunkten.
Eine derartige Vorrichtung ist aus DE 40 35 799 C2 bekannt. Mit der dort beschriebenen Vorrichtung können in relativ kurzer Zeit Oberflächenprofile eines mikroskopisch zu untersuchenden Objektes aufgenommen werden. Dazu wird das Objekt mit rasterförmig angeordneten Lichtpunkten beleuch- tet. Die Lichtpunktstruktur ist durch eine im Beleuchtungsstrahlengang vorgesehene Blende mit einer Vielzahl von rasterförmig angeordneten Öffnungen vorgegeben. Das Beleuchtungsraster wird mit einem Rastermaß auf eine Empfangseinrichtung, nämlich einen CCD-Empfänger abgebildet, das dem Rastermaß der lichtempfindlichen Bereiche des CCD- Empfängers entspricht oder ein ganzzahliges Vielfaches davon ist. Weiterhin offenbart die DE 40 35 799 C2 die Möglichkeit, das Beleuchtungsraster mittels eines Arrays aus einer Vielzahl von Linsen zu erzeugen, welches- durch hinreichend gute Abbildungseigenschaften von einer nahezu punktförmigen Lichtquelle kleine Lichtpunkte erzeugt.
Zur Erzielung einer hohen Lichtausbeute ist bei dieser Vorrichtung jedoch eine sehr genaue Abstimmung des Linsen- arrays in bezug auf die Positionen der Empfängerzellen der Empfangseinrichtung notwendig, was unerwünschte Einschränkungen der Gestaltungsfreiheit zur Folge hat.
Von diesem Stand der Technik ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art weiter zu verbessern. Insbesondere soll eine Vorrichtung für schnelle Analyseverfahren zur Verfügung gestellt werden, bei der einerseits eine hohe Effizienz der Beleuchtung zu gewährleisten ist, andererseits mit einer differenzierten Transformation der Bildinformationen von dem zu untersuchenden Objekt in eine Bildebene eine Auswertung mit elektronischen Methoden möglich ist.
Erfindungsgemäß ist bei einer Vorrichtung der eingangs be- schriebenen Art der Empfangseinrichtung ein zweites Array aus einer Vielzahl von rasterförmig angeordneten optischen Mikroelementen zugeordnet, welche das von den Beleuchtungspunkten an dem Objekt zurück kommende Licht auf die Empfängerzellen der Empfangseinrichtung richten.
Durch eine Verschiebung des Objekttisches und damit eines auf den Objekttisch aufgelegten Objektes wird dieses bei feststehender Beleuchtungsoptik zellenförmig abgescannt. Die während eines Scannvorgangs synchron zur Bewegung des Objekttisches an den Empfängerzeiten der Empfangseinrichtung einzeln ausgelesenen Bildinformationen können auf elektronischem Wege zu einem Gesamtbild zusammengesetzt werden. Eine Bewegung der Arrays ist hierbei nicht erforderlich. Vielmehr bleiben diese während eines Scannvorgangs stationär.
In diesem Zusammenhang ist es vorteilhaft, die optischen Mikroelemente des ersten Arrays rhombisch anzuordnen. Entsprechendes gilt für die Mikroelemente des zweiten Arrays. Bei einer Verschiebung des zu untersuchenden Objektes wird so ein kontinuierliches Führen der konfokalen Lichtbündel über das Objekt erreicht und ein komplettes Bild des zu untersuchenden Objektes nach einem bestimmten Verschiebeweg aufgebaut .
Die rhombische Anordnung der optischen Mikroelemente begün- stigt überdies eine hohe Lichtausbeute bei der Beleuchtung. Vorzugsweise beträgt der Anteil der optischen Mikroelemente an der Fläche des jeweiligen Arrays 80% oder mehr.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Vorrichtung ist die Empfangseinrichtung eine Flächenkamera oder Zeilenkamera, wobei der Objekttisch synchron zur Auslesung der Empfangseinrichtung bewegbar ist. Bei größeren Beobachtungsobjekten wird vorzugsweise eine Flächenkamera in Form einer strukturierten TDI-Kamera (TDI: Time Delayed Integration) verwendet, deren Zeilenabtastrate mit der Verfahrgeschwin- digkeit des Objekttisches abgestimmt wird und die dann ein kontinuierliches, digitalisiertes Bild des zu untersuchen- den Objektes aus einer Vielzahl von Teilbildern bzw. Einzelzeilen liefert. Die hohe Sensitivität von TDI-Ka eras erlaubt es, über die Anzahl der Integrationslevel die Belichtungszeit für die einzelnen Bildpunkte zu vergrößern, womit sich auch lichtschwache (fluoreszierende) Objektpunkte nachweisen lassen.
Die optischen Mikroelemente des ersten Arrays können beispielsweise als sphärische oder asphärische Mikrospiegel ausgebildet werden. Hierdurch läßt sich insbesondere eine farbrichtige Abbildung der Lichtquelle (n) (z. B. mehrere Laser) gewährleisten. Überdies ist der sphärische Abbildungsfehler bei nicht so großen Öffnungen der Beleuchtungsstrahlenbündel im Vergleich zu refraktiven Mikroelementen gleicher Brechkraft geringer. Ein für Abbildungen mit geformten Mikrospiegeln vorteilhafter senkrechter Einfall der Beleuchtungsstrahlenbündel läßt sich beispielsweise durch geeignete polarisationsoptische oder dichroitische Teilerelemente erreichen.
Bei der Verwendung von unpolarisierten Weißlichtquellen in der Beleuchtungseinrichtung wird vorzugsweise ein Polarisator vorgesehen, um die Wirkung eines polarisationsoptischen Teilerelements nutzbar zu machen. Es ist jedoch auch mög- lieh, als Lichtquelle in der Beleuchtungseinrichtung einen oder mehrere Laser zu verwenden, bei denen eine intrinsi- sche lineare Polarisierung ohne zusätzlichen Verlust an Lichtleistung möglich ist. Die Einkopplung des Laserlichts in den Beleuchtungsstrahlengang erfolgt bevorzugt über po- larisationserhaltende Lichtleitfasern. Bei einer Verwendung von asphärischen Mikrospiegeln wird beleuchtungsseitig vorzugsweise so dimensioniert, daß die Beleuchtungspunkte an dem Objekt die Größe der aufzulösenden Objektstrukturen an demselben nicht überschreiten und die Beleuchtungskegel die bildseitig aufnehmbare Apertur der optischen Mikroelemente des zweiten Arrays jeweils ausleuchtet.
Der freie Durchmesser der Mikrospiegel wird vor allem den Bedürfnissen einer hohen Flächenabdeckung angepaßt, wobei der Abstand zwischen den Mikrospiegeln jedoch den Anforderungen an die Konfokalität Rechnung tragen muß . Das Verhältnis der Spiegeldurchmesser zum mittleren Krümmungsradius ist für die praktisch interessanten Anwendungsfälle sehr klein, so daß die Abbildung über die Spiegel im paraaxialen Raum stattfindet.
Anstelle von reflektiven Mikroelementen können selbstverständlich auch refraktive oder diffraktive Mikroelemente eingesetzt werden, wobei diese vorzugsweise für mehrere Wellenlängen (Fluoreszenz-Anregung) optimiert sind. Dazu sind auch holographische Mikroelemente zu rechnen.
Für Anordnungen mit refraktiven Arrays aus Einzellinsen ge- lingt eine farbliche Korrektur für die Abbildung von Lichtquellen in die Bildebene für zwei Wellenlängen durch Berücksichtigung von dispersiven Eigenschaften des Linsenmaterials sowie diffraktive Effekte der Linsenränder.
Weiterhin ist es möglich,, zwischen dem ersten Array und dem Objekttisch ein Pinholearray vorzusehen, das eine Vielzahl von rasterförmig angeordneten Pinholes aufweist. Das Raster der Pinholes entspricht dabei dem Raster der Mikroelemente des ersten Arrays und ist dazu konjugiert. Durch das Pinho- learray lassen sich vor allem Falschlichteinflüsse gering halten.
Alternativ oder ergänzend können die neutralen, optisch unwirksamen Zonen zwischen den Mikroelementen geschwärzt oder aus lichtabsorbierendem Material ausgebildet sein, um Re- flexionen zu vermeiden und einen Beleuchtungshintergrund zu unterbinden. Bei rhombischer Grundform der Mikroelemente läßt sich sogar ein Beleuchtungsgrad von nahe 100% erreichen.
Zur Trennung der Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlenbündel werden beispielsweise Polarisationsteiler oder auch dichro- itische Teiler in Form von vorzugsweise optischen Würfeln vorgesehen. In Verbindung mit Polarisationsteilern ermöglicht eine λ/4-Platte in Beleuchtungsrichtung eine gute Trennung von Beleuchtungs- und Abbildungslicht. In diesem Zusammenhang ist eine steilkantige Ausbildung der spektralen Trennungskante der Polarisationsteilerschicht bzw. der dichroitschen Teilerschicht vorteilhaft. Dies kann ergänzt werden durch geeignete Anregungskantenfilter auf Seiten der Beleuchtungseinrichtung.
Wie bereits erwähnt, wird mittels der Beleuchtungseinrichtung monochromatisches Licht oder aber Licht definierter, jedoch unterschiedlicher Wellenlängen erzeugt. Bei Verwen- düng einer Weißlichtquelle werden die Anregungswellenlängen durch geeignete Bandfilter fixiert. Möglich ist jedoch auch die Verwendung von Laserlichtquellen oder von Bogenlampen mit extrahierten Linien unterschiedlicher Wellenlänge. Gegebenenfalls auftretende Farblängsfehler für verschiedene Anregungswellen werden durch wellenlängenabhängige Fokus- sierung- des zu untersuchenden Objekts, z. B. durch Fokus- sierung des Objekttisches ausgeglichen. Möglich ist auch eine Korrektur durch eine Fokussierung der beiden Arrays.
Alternativ oder ergänzend zu den vorgenannten Lichtquellen können auch die Enden einer oder mehrerer Beleuchtungsfa- sern als Punktlichtquellen eingesetzt werden, die achromatisch kollimiert sind.
Die vorstehend erläuterte Vorrichtung eignet sich insbeson- dere zur optischen Analyse von in einer Objektebene angeordneten Substanzen, die dort lediglich in geringen Mengen vorliegen. Im Hauptstrahlengang der Vorrichtung wird das Licht in Wechselwirkung mit diesen Substanzen in Licht mit anderen Eigenschaften, beispielsweise verändertem Polarisa- tionszustand o'der veränderter Wellenlänge, umgewandelt, wenn bestimmte Substanzeigenschaften vorliegen (z. B. Fluoreszenzlabel) . Die multiplen Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlengänge ermöglichen beispielsweise Einzeluntersuchungen an einer Vielzahl von Probenbehältnissen, die an einem Probenträger in verhältnismäßig großem Abstand angeordnet sind. Der Probenträger und die Probenbehältnisse bilden dann gemeinsam das auf dem Objekttisch ■ anzuordnende Abbildungsobjekt.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen in Verbindung mit Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in: Fig.l ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung unter 'Verwendung eines ersten Arrays aus Mikrospiegeln, Fig.2 ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem ersten Array aus re- fraktiven oder diffraktiven optischen Mikroelementen,
Fig.3 ein drittes Ausführungsbeispiel für eine erfin- dungsgemäße Vorrichtung mit einer telezentrischen
Mikrolinsenpaarung der Arrays,
Fig.4 ein viertes Ausführungsbeispiel für eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit einem Pinholearray,
Fig.5 ein Beispiel für ein rhombisches Raster von Mi- kroelementen im Beleuchtungsstrahlengang, und in
Fig.6 ein Beispiel für ein rhombisches Raster von Empfängerelementen im Abbildungsstrahlengang.
Fig.l zeigt in einem ersten Ausführungsbeispiel eine Vor- richtung zur optischen Mikroanalyse mit konfokaler Beleuchtung und Abbildung. Diese umfaßt einen Objekttisch 1 zur Halterung eines zu untersuchenden Objektes, beispielsweise einen Träger mit einer Vielzahl von zu analysierenden Substanzen. Der Objekttisch 1 ist in den Koordinaten X, Y (mä- anderförmig) eines Koordinatensystems X, Y, Z bewegbar, so daß das Objekt bzw. die einzelnen Proben punktweise abgetastet und dabei optisch gescannt werden können. Im Hinblick auf den Ausgleich von Farblängsfehlern ist überdies die Möglichkeit vorgesehen, den Objekttisch 1 senkrecht zu der X-Y-Ebene, d. h. in Z-Richtung zu fokussieren. Weiterhin umfaßt die Vorrichtung eine Beleuchtungseinrichtung 2, mit welcher monochromatisches Licht erzeugt wird. Die Beleuchtungseinrichtung 2 weist eine Weißlichtquelle 3 auf, der in Beleuchtungsrichtung auf den Objekttisch 1 hin ein Kollimator 4, ein Polarisator 5 und ein wellenlängenselektiver Filter β nachgeschaltet sind.
In dem Beleuchtungsstrahlengang zwischen der Beleuchtungseinrichtung 2 und dem Objekttisch 1 befindet sich eine Be- leuchtungsoptik, mit welcher das Licht der Beleuchtungsquelle 2 in Form einer Vielzahl von nebeneinander verlaufenden Beleuchtungsstrahlenbündeln konfokal auf den Objekttisch 1 gerichtet wird, so daß sich dort in einer Objektebene ein Raster aus einer Vielzahl von Beleuchtungspunkten einstellt. In Fig.l ist beispielhaft lediglich ein einziger Beleuchtungsstrahlengang und der zugehörige Abbildungsstrahlengang dargestellt.
Die Beleuchtungsoptik umfaßt ein erstes Array 10 aus einer Vielzahl von optischen Mikroelementen 7 in Form von Mikrospiegeln, die an einer Trägerplatte 8 rasterförmig angeordnet sind. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind sämtliche Mikrospiegel 7 gleichartig ausgebildet und rhombisch zueinander angeordnet. Beispiele für rhombische Strukturen sind in Fig.5 und Fig.6 gezeigt. Bei derartigen Anordnungen ergibt sich eine hohe Flächenausnutzung und damit eine gute Lichtausbeute bei der Beleuchtung.
Die Trägerplatte 8 mit den Mikrospiegeln 7 ist der Beleuch- tungseinrichtung 2 gegenüberliegend angeordnet. Ein Polarisationsteiler 9 sorgt für die konfokale Beleuchtung des Objektfeldes an dem Objekttisch 1. Die Beleuchtungseinrich- tung 2 beleuchtet mit einem kollimierten Strahlenbündel durch den vorzugsweise schmalbandigen Polarisätionsteiler 9 hindurch das erste Array 10 aus Mikrospiegeln \ 1 , welche die Lichtquelle 3 vielfach parallelisiert in die Objektebene abbilden. Dazu wird das von den 'Mikrospiegeln" 7 reflektierte Licht über den Polarisationsteiler 9 auf den Objekttisch 1 umgelenkt. Zur Erzielung der 180°. Phasenverschiebung ist zwischen dem Polarisationsteiler 9 und dem Array 10 eine λ/4-Platte 11 angeordnet.
Die einzelnen Mikrospiegel 7 weisen eine lichtkonzentrierende Wirkung auf und sind derart dimensioniert, daß die Bilder der Lichtquelle 3 innerhalb der gewünschten Analysevolumina an dem zu untersuchenden Objekt liegen.
Das von dem Objekt reflektierte Licht der einzelnen Beleuchtungspunkte gelangt, wiederum durch den Polarisationsteiler 9 hindurch, zu einer Empfangseinrichtung 12 mit einer Vielzahl von rasterförmig angeordneten Empfängerzel- len 13. Das Raster der Empfängerzellen 13 ist dabei dem Raster des ersten Arrays 10 spiegelbildlich konjugiert, so daß einzelne oder Gruppen von Empfängerzellen 13 jeweils einem Beleuchtungspunkt zugeordnet sind.
Auf dem Weg zu der Empfangseinrichtung 12, die beispielsweise eine CCD-Kamera ist, durchtritt das reflektierte Licht ein zweites Array 14 aus einer Vielzahl von rasterförmig angeordneten optischen Mikroelementen 15. Die Mikroelemente 15 des zweiten Arrays 14 sind hier, .als refraktive oder diffraktive optische Elemente ausgebildet und konzentrieren das von den Beleuchtungspunkten' an dem Objekt kom- mende Licht auf die jeweils zugeordneten Empfängerzellen 13 an der Empfangseinrichtung 12. Zu diesem Zwecke ist auch das Raster der optischen Mikroelemente 15 an dem zweiten Array 14 zu dem Raster der Bildpunkte bzw. demjenigen des ersten Arrays 10 konjugiert zugeordnet. Allerdings ist die rhombische Grundanordnung spiegelbildlich zu dem ersten Array 10 ausgerichtet. Wiederum sind sämtliche Mikroelemente 15 gleichartig ausgebildet. Sie weisen hier alle die gleiche Brennweite sowie den gleichen Durchmesser auf und sind gleichmäßig an einer Trägerplatte 16 ausgebildet. Infolge der guten Flächenausnutzung an den beiden Arrays 10 und 14 entsteht eine parallele konfokale Beleuchtung und Abbildung, die bis zu 75% der Leuchtenergie der Beleuchtungsquelle 2 ausnutzt.
Bei der Untersuchung fluoreszierender Substanzen entsteht das eigentliche Bild des zu analysierenden Objektes bzw. der zu analysierenden Proben vorrangig als Fluoreszenzbild in Reflexion, d.h. die Beleuchtungspunkte fluoreszieren in den Raum zurück. Jedes Mikroelement 15 des zweiten Arrays 14 transformiert entsprechend seiner aufnehmenden Apertur das Fluoreszenzlicht vom zugeordneten Beleuchtungspunkt in die Bildebene der Empfangseinrichtung 12.
Durch die abbildende Wirkung der Mikroelemente 15 werden lediglich die' Beleuchtungspunkte der Objektebene in konjugierte Rasterpunkte der Bildebene übertragen. In der Wirkung ergibt sich eine konfokale Übertragung, die definierte dünne Schichten aus der Tiefe und Breite des transformier- baren Objektraums ausschneidet und nur diese zum Bildaufbau beitragen läßt. Das Gesamtbild eines bestimmten Objektfeldes wird durch Bewegen des Objekttisches 1 in der XY-Ebene erzielt. Mittels bekannter Methoden der Bilddatenverarbeitung werden die rhombisch strukturierten Rasterbilder zu einem Gesamtbild zusammengefügt bzw. können in der Summenbildung auch verstärkt werden.
Bei ausgedehnten Objekten wird das vollständige Objektfeld dadurch erfaßt, daß der Objekttisch 1 mäanderför ig das Scannen fortsetzt. Die hierbei erreichbare Stepgeschwindigkeit der Verschiebung des Objektes sowie der synchron dazu durch Auslesen der jeweiligen Empfängerzellen erfolgenden Bildentstehung hängt u. a. von der Empfindlichkeit der verwendeten Empfangseinrichtung 12 bzw. Kamera, der Helligkeit des fluoreszierenden Untersuchungsob ektes sowie der Abstände der Beleuchtungspunkte ab. In einer besonders vor- teilhaften Variante der Empfangseinrichtung 12 wird als Empfangseinrichtung 12 eine TDI-Kamera verwendet, deren Empfängerfläche rhombisch strukturiert ist, wobei die Struktur zu dem ersten Array 10 spiegelbildlich ausgerichtet ist. Vorzugsweise entsprechen dabei die Durchmesser der „lichtempfindlichen Inseln" der Empfängerfläche den durch die Mikroelemente 15 des Arrays 14 fokussierbaren Airy- scheibchen. Durch die Verschiebung des Objekttisches 1 läuft das Bild des Objektes quer zur Zeilenrichtung der TDI-Kamera, wobei die opto-elektrisch erzeugten Ladungen der Objektpunkte mit gleicher Geschwindigkeit wie die scannenden Objektpunkte quer zu den Zeilen durchgeschoben werden. Eine Steigerung der Sensitivität der Zeilenkamera ergibt sich somit durch Verlängerung der Belichtungszeit eines jeden Bildpunktes, d. h. dessen Aufenthaltsdauer auf der Empfangseinrichtung 12. Ein entsprechend schneller Bildaufbau folgt aus der laufenden Zusammensetzung der je- weils komplett ausbelichteten Endzeile der TDI-Kamera zu einem quasi beliebig langen Bildformat.
In einer weiteren Variante dieses Ausführungsbeispiels kann anstelle des Polarisationsteilers 9 auch ein dichroitischer Teiler in Form eines Teilerwürfels vorgesehen werden. In jedem Fall wird die breitbandige, langwelligere Fluoreszenzstrahlung durch eine geeignete Wahl der Bandbreite des Polarisationsteilers 9 bzw. der Langpaß-Reflexionskante des dichroitischen Teilers transmittiert, so daß eine entsprechende Abbildung der langwelligeren Bildpunkte an der Empfangseinrichtung 12 erhalten wird.
Ein zweites Ausführungsbeispiel zeigt in Fig.2 eine Vor- richtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse, die sich von derjenigen des ersten Ausführungsbeispiels durch die Beleuchtungsoptik unterscheidet. Der Objekttisch 1, die Beleuchtungseinrichtung 2 sowie die Empfangseinrichtung 12 können wie in dem ersten Ausführungsbeispiel ausgebildet sein, so daß hier lediglich die Unterschiede der Beleuchtungsoptik näher erläutert werden müssen. Diese umfaßt wiederum ein erstes Array 17 zur Erzeugung eines Beleuchtungspunktrasters in einem Objektfeld. Im Unterschied zu dem ersten Ausführungsbeispiel weist dieses erste Array 17 an- stelle von Mikrospiegeln eine Vielzahl von refraktiven oder diffraktiven optischen Mikroelementen 18 auf. Möglich sind insbesondere auch holographische Mikroelemente 18. Die optischen Mikroelemente 18 sind in rhombischer Anordnung zueinander an einer Trägerplatte ausgebildet, wobei Abstand und Apertur derart gewählt sind, daß das Licht der Beleuchtungseinrichtung 2 vervielfacht direkt in die Objektebene fokussiert wird. Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel ist zu diesem Zweck ein Teilerelement 19 vorgesehen, welches das von der Beleuchtungseinrichtung 2 kommende und durch das erste Array 17 hindurchtretende Licht auf den Objekttisch 1 lenkt. Das von dem Objekt reflektierte Licht wird durch das Teilerelement 19 ohne Ablenkung hindurch auf die Empfangseinrichtung 12 reflektiert. Zur Konzentration der einzelnen Abbildungsstrahlen der Beleuchtungspunkte auf die Empfängerzel- len 13 der Empfangseinrichtung 12 ist dem Teilerelement 19 ein zweites Array 20 aus einer Vielzahl von optischen Mikroelementen 21, die refraktiv oder auch diffraktiv wirken, nachgeschaltet. Die optischen Mikroelemente 21 im Abbildungsstrahlengang sind wiederum an einer Trägerplatte 22 ausgebildet und weisen eine spiegelbildlich rhombisch Grundanordnung zu dem ersten Array 17 auf. Dabei -sind sämtliche Mikroelemente 21 gleichartig ausgebildet. Insbesondere weisen diese alle die gleiche Brennweite sowie den gleichen spezifischen Durchmesser auf.
Damit wird sowohl eine konfokale Beleuchtung als auch eine konfokale Abbildung gewährleistet. Jedem Beleuchtungspunkt an dem Objekt ist genau ein Mikroelement 18 des ersten Arrays 17 und genau ein Mikroelement 21 des zweiten Arrays 20 zugeordnet. Wechselwirkungen zwischen den Strahlenbündeln der einzelnen Beleuchtungspunkte sind dabei wei- testgehend ausgeschaltet. Falls erforderlich, werden die nicht für die optische Wirkung benötigten Zonen zwischen den Mikroelementen an den Arrays 17 und 20 geschwärzt • bzw. mit einer lichtabsorbierenden Schicht versehen. Insbesondere für Fluoreszenzapplikationen kann auch in dem zweiten Ausführungsbeispiel das Teilerelement 19 wiederum als schmalbandiger Polarisationsteiler ausgeführt sein, wodurch sich der Beleuchtungsstrahlengang und der Abbildungs- strahlengang gut trennen lassen. Alternativ ist auch die Verwendung eines dichroitischen Teilers möglich. Im Zusammenhang mit einem Polarisationsteiler kann wiederum eine λ/4-Platte 27 zwischen dem Teilerelement 19 und dem Objekttisch 1 vorgesehen sein.
Die Generierung eines Gesamtbildes aus einer Vielzahl von Rasterbildern erfolgt analog zu dem ersten Ausführungsbeispiel .
Das dritte Ausführungsbeispiel zeigt in Fig.3 eine weitere Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse in Form eines konfokalen Mikroanalysegerätes mit telezentrischen Teilstrahlengängen. Der Objekttisch 1, die Beleuchtungseinrichtung 2 sowie die Empfangseinrichtung 12 können ebenso wie in den ersten beiden Ausführungsbeispielen ausgebildet sein. Abweichungen ergeben sich jedoch für die Beleuchtungsoptik.
Bei diesem dritten Ausführungsbeispiel wird das von der Be- leuchtungseinrichtung 2 kommende, kollimierte Licht über ein Teilerelement 23 auf den Objekttisch 1 gelenkt. Zur Aufteilung des Beleuchtungslichtes in eine Vielzahl von rasterförmig angeordneten Beleuchtungspunkten ist dem Teilerelement 23 in Richtung auf den Objekttisch 1 ein erstes Array 24" mit einer Vielzahl von optischen Mikroelementen 25, insbesondere refraktiven oder diffraktiven Mikro- elementen nachgeschaltet. Diese Mikroelemente 25 sind an einer Trägerplatte 26 ausgebildet, die zwecks Fokussierung in Richtung der optischen Achse verstellbar ist. Gegebenenfalls wird, je nach Zweck der Analyse, wiederum eine λ/4- Platte 27 in dem Beleuchtungsstrahlengang zwischen dem Teilerelement 23 und dem Objekttisch 1 vorgesehen.
Von einem Objekt reflektiertes Licht gelangt durch das erste Array 24, das Teilerelement 23 sowie eine zweites Array 28 auf die Empfangseinrichtung 12. Das zweite Array 28 umfaßt wiederum eine Vielzahl von optischen Mikroelementen 29, die an einer Trägerplatte 30 ausgebildet sind. Diese Trägerplatte ist zwischen dem Teilerelement 23 und der Empfangseinrichtung 12 angeordnet. Auch hier ist eine eindeutige Zuordnung der Mikroelemente 25 bzw. 29 zu jeweils einem Beleuchtungspunkt gewährleistet. Die Mikroelemente 25 und 29 können wiederum rhombisch angeordnet werden, wobei an der Empfangseinrichtung 12 dann ebenfalls eine entsprechende Strukturierung der Empfängerzellen 13 vorgenommen ist.
Die telezentrische Anordnung ermöglicht eine einfache Justierung der beiden Arrays 24 und 28,- die in Richtung der optischen Achse zum Zweck der Fokussierung bewegbar sind. Zudem kann der Abbildungsmaßstab leicht verändert werden.
Erfolgt die Beleuchtung mit einer Weißlichtquelle, kann diese als eine modifizierte Köhlersche Beleuchtung ausgelegt werden, so daß eine Vielzahl von Bildern einer gleich- mäßig ausgeleuchteten Leuchtfeldblende durch die optischen Mikroelemente 25 des ersten Array 24 in der Objektebene entstehen. Eine achromatische Korrektur für zwei Linien wird durch eine geeignete Wahl der dispersiven Eigenschaften des Materials der refraktiven optischen Mikroelemente 25 in Relation zu deren diffraktiv wirkenden Linsen- berandungen erzielt.
Bei Verwendung von Beleuchtungslicht mit nicht-achromati- sierten Wellenlängen wird zur Fokussierung vorzugsweise die Objektebene bzw. der Objekttisch 1 in Richtung der opti- sehen Achse, d. h. hier in Richtung Z, verstellt. Die rückwärtig entstehenden Abbildungsstrahlenbündel laufen durch die optischen Mikroelemente 25 des ersten Arrays 24 und werden dabei annähernd kollimiert. Infolge der an dem Objekt auftretenden sprektralen Veränderungen des Beleuch- tungslichts wird dieses an dem Teilerelement 23 nun nicht mehr abgelenkt, sondern tritt vielmehr durch dieses hindurch und fällt auf das zweite Array 28. Über dieses wird das telezentrische Abbildungsstrahlenbündel auf die Empfangseinrichtung 12 abgebildet. Erforderlichenfalls wird hierzu an dem zweiten Array 28 eine Feinfokussierung in Richtung der optischen Achse durch eine Bewegung des zweiten Arrays 28 relativ zu der Empfangseinrichtung 12 vorgenommen. Eine Bewegung der Arrays 24 und 28 quer zur optischen Achse zum Zwecke des Scannens unterschiedlicher Bild- punkte ist jedoch nicht vorgesehen. Vielmehr wird das Scannen allein durch eine Bewegung des Objekttisches 1 und die synchrone Auslesung der den Objektpunkten zugeordneten Empfängerzellen verwirklicht.
Bei Verwendung festgelegter Anregungs- und Analysewellenlängen können in einer Variante des dritten Ausführungsbeispiels zur Gewährleistung der Konjugation der Konfokalab- bildung die beiden Arrays 24 und 28 fest mit dem Teilerelement 23 verbunden werden, so daß diese Bauelemente zusammen eine vorteilhafte gerätetechnische Einheit bilden.
Die Generierung eines Gesamtbildes aus einer Vielzahl von Rasterbildern erfolgt dann wiederum entsprechend den beiden vorstehend erläuterten Ausführungsbeispielen.
Ein weiteres Beispiel für eine Beleuchtungsoptik ist in dem vierten Ausführungsbeispiel' dargestellt, dessen Objekttisch 1, Beleuchtungseinrichtung 2 und Empfangseinrichtung 12 wie oben bereits erläutert ausgebildet werden können. Bei der Beleuchtungsoptik nach dem vierten Ausfüh- rungsbeispiel wird der parallel konfokale Beleuchtungs- strahlengang bereits vor dem Teilerelement 31 erzeugt. Ein kollimiert beleuchtetes erstes Array 32 mit einer Vielzahl von refraktiven bzw. diffraktiven optischen Mikroelementen 33 erzeugt ein rhombisch gerastertes Konfokalbündel, das auf ein zu dem ersten Array 33 ähnlich gerastertes Pin- holearray 34 scharf konfokal abgebildet wird. Durch das Pinholearray 34, eine Platte mit einer Vielzahl von Pinholeöffnungen 35, werden Falsch- und Streulichteffekte minimiert.
Nach der U lenkung an dem Teilerelement 31 gelangt das Beleuchtungslicht durch ein zweites Array 36 mit einer Vielzahl von optischen Mikroelementen 37 hindurch zu dem Objekttisch 1. Das zweite Array 36 besitzt hier eine Doppelaufgabe, nämlich einmal die Aufgabe, das Pinholearray 34 in die Objektebene abzubilden und weiterhin die Aufgabe, die zu analysierenden Beleuchtungspunkte an dem Objekt in eine Empfängerebene, d. h. auf die Empfangseinrichtung 12 abzubilden.
Für unterschiedliche -Beleuchtungswellenlängen auftretende axiale Farbaberrationen werden durch eine Fokussierung der Empfangseinrichtung 12 relativ zu dem Objekttisch 1 kompensiert. Die Erzeugung eines Gesamtbildes aus einer Vielzahl von Rasterbildern erfolgt dann wie bereits oben beschrieben.
In Fig.5 ist ein Beispiel für ein Pinholearray 34 mit einer Vielzahl von Pinholes 35 dargestellt. Deren rhombische Anordnung beruht auf einer rechtsseitigen Versetzung der konfokalen Pinholezeilen um jeweils einen Pinholeradius. In dem dargestellten Beispiel wird nach zehn Pinholezeilen wieder eine der Ausgangszeile vollständig entsprechende Pinholeanordnung erreicht, die bei Bewegung eines zu untersuchenden Objektes eine Scannperiode, 'die einen Weg im Bildraum entspricht von 10*n*r (r: Pinholeradius; n*r: Ab- stand zwischen benachbarten Pinholes in ganzzahligen Vielfachen des Pinholeradius) , nämlich den zehnfachen Zeilenabstand, jeden Objektpunkt eines linienartig gedachten Objektes mindestens einmal beleuchtet hat. Die Verschiebung des Objekttisches 1 erfolgt in Anpassung an diese Abstände, so daß nach einer solchen Länge, d. h. einer Scanperiode, in dem hier zugrundeliegenden Beispiel das Abscannen des lini- enförmig gedachten Objektes einmal vollständig erfolgt ist. Das 10*10er rhombische Pinholeraster kann periodisch in Länge und Breite vervielfacht werden, um die gewünschte Ob- jektscannbreite bzw. -länge und die Anzahl der Scannvorgänge zu dimensionieren. In dem Beispiel ist n=10 gewählt, was einem Bedeckungsgrad mit Pinholeflächen von ca. 3% entspricht .
Fig.6 zeigt das zugehörige zweite Array 36 mit den Mikro- elementen 37. Aufgrund der in Fig.4 gewählten Anordnung ist die rhombische Rasterstruktur der Mikroelemente 37 zu derjenigen der Pinholes 35 spiegelbildlich. Im Beispielfall entsteht nach zehn Zeilen aus optischen Mikroelementen 37 wiederum eine der Ausgangszeile entsprechende Anordnung. Bei Bewegung des zu untersuchenden Objektes um 10*2*R (R: Radius eines 'Mikroelementes) , nämlich dem zehnfachen Durchmesser der Mikroelemente 37, ist jeder Objektpunkt in einer gedachten Objektlinie mindestens einmal abgebildet worden. Im Beispielfall wird bei R*10 = 2R ein Bedeckungsgrad mit abbildender Fläche der Mikroelemente 37 von ca. 75% erreicht.
Vorteil aller hier beschriebenen Vorrichtungen ist die Möglichkeit der Erfassung großer, zu analysierender Objektfel- der bei Anwendung eines parallel-konfokalen Beleuchtungsund Abbildungsverfahrens unter Optimierung der erforderlichen lateralen Auflösung und notwendiger Tiefendiskriminierung. Anstelle der oben erläuterten Beleuchtungseinrichtung mit einer Weißlichtquelle können alternativ auch eine oder mehrere Laserlichtquellen oder Entladungslampen zur konfokalen Beleuchtung eingesetzt werden.
Die beschriebenen Vorrichtungen eignen sich insbesondere zur Untersuchung von Fluoreszenzeigenschaften. Durch die Aufteilung des Beleuchtungslichts in eine Vielzahl von unabhängigen Analysestrahlengängen können gleichzeitig eine Vielzahl von Proben untersucht werden. Besugsseichenliste
1 Objekttisch
2 Beleuchtungseinrichtung
3 Lichtquelle
4 Kollimator
5 Polarisator
6 Filter
7 optische Mikroelemente
8 Trägerplatte
9 Teilerelement
10 erstes Array
11 λ/4-Platte
12 Empfangseinrichtung
13 Empfängerzellen
14 zweites Array
15 optische Mikroelemente
16 Trägerplatte
17 erstes Array
18 optische Mikroelemente
19 Teilerelement
20 zweites Array
21 optische Mikroelemente
22 Trägerplatte
23 Teilerelement
24 erstes Array
25 optische Mikroelemente
26 Trägerplatte
27 λj./4-Platte
28 zweites Array
29 optische Mikroelemente 30 Trägerplatte 31 Teilerelemente 32 erstes Array 33 optische Mikroelemente 34 Pinholearray 35 Pinhole 36 zweites Array 37 optische Mikroelemente
10

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse, umfassend - einen Objekttisch (1) , der in Richtung der Koordinaten X,Y verstellbar ist, eine Beleuchtungseinrichtung (2) mit einer oder mehreren Lichtquellen (3) zur Beleuchtung eines auf dem Objekttisch (1) abgelegten Objektes, - eine zwischen dem Objekttisch (1) und der Beleuchtungseinrichtung (2) angeordnete Beleuchtungsoptik mit einem ersten rasterförmigen Array (10; 17; 24; 32) aus einer Vielzahl optisch refraktiv, diffraktiv und/oder reflek- tiv wirksamer Mikroelemente (7; 18; 25; 33) zur Erzeu- gung eines Rasters von Beleuchtungspunkten an dem Objekt und eine Empfangseinrichtung (12) mit einer ' Vielzahl von Empfängerzellen (13) zur Aufnahme des von dem Objekt zurück kommenden Lichts in Zuordnung zu den einzelnen Beleuchtungspunkten, dadurch gekennzeichnet, daß' der Empfangseinrichtung (12) ein zweites rasterförmiges Array (14; 20; 28; 36) aus einer Vielzahl von optischen Mikroelementen (15; 21; 29; 37) zugeordnet ist, durch welche das von den Beleuchtungspunkten an dem Objekt reflektierte Licht auf die Empfängerzellen (13) der Empfangseinrichtung (12) gerichtet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikroelemente (7; 18; 25; 33) des ersten
Arrays (10; 17; 24; 32) rhombisch angeordnet sind und die Mikroelemente (15; 21; 29; 37) des zweiten Arrays (14; 20; 28; 36) rhombisch spiegelbildlich zu dem ersten Array (10; 17; 24; 32) angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn- zeichnet, daß der Anteil der optischen Mikroelemente an der Fläche des ersten Arrays (10; 17; 24; 32) 75% oder größer ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3', dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangseinrichtung (12) als
Flächenkamera oder Zeilenkamera ausgebildet und der Objekttisch (1) synchron zur Auswertung der Empfängerzellen (13) der Empfangseinrichtung (12) bewegbar ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Mikroelemente (7) des ersten Arrays (10) als sphärische oder asphärische Mi- krospiegel ausgebildet sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Mikroelemente (18; 25; 33) des ersten Arrays (17; 24; 32) als für mehrere Wellenlängen optimierte refraktive oder diffraktive optische Elemente ausgebildet sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine räumlich parallele und zeitgleiche Abbildung der Lichtquelle bzw. Lichtquellen (3) in eine Ebene an dem Objekt über ein rhombisch angeordnetes Array aus refraktiven Mikrolinsen mit achromatisierter Wirkung unter Berücksichtigung diffraktiver Wirkungen durch die Linsenberandung erfolgt.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem ersten Array (32) und dem Objekttisch (1) ein Pinholearray (34) vorgesehen ist, das eine Vielzahl von rasterförmig angeordneten Pinholes (35) aufweist, wobei das Raster der Pinholes (.35) dem Raster der Mikroelemente (33) des ersten Arrays (32) entspricht.
,
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die 'neutralen Zonen zwischen den optischen Mikroelementen (7, 15; 18, 21; 25, 29; 32, 37) geschwärzt sind oder aus lichtabsorbierendem Material bestehen.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Trennung von Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlenbündeln ein Polarisationsteiler (9; 19; 23; 31) vorgesehen ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Trennung von Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlenbündeln ein dichroitischer Teiler in Form eines optischen Würfels vorgesehen ist.
12. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Beleuchtungseinrichtung (2) und dem Objekttisch (1) in dem Beleuchtungsstrahlengang eine λi/4-Platte (11; 27) für die Be- leuchtungswellenlängen vorgesehen ist.
13. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (2) monochromatisches Licht oder Licht mehrerer, definierter Wellenlängen λi abgibt.
14. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Lichtquellen (3) in der Beleuchtungseinrichtung (2) mehrere Laser oder Multili- nienlaser mit fester, jedoch untereinander verschiede- ner Wellenlänge λi vorhanden sind.
15. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (2) Bogenlampen mit extrahierten Linien unter- schiedlicher Wellenlänge umfaßt.
16. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Lichtquellen (3) durch die Enden einer oder mehrerer Beleuchtungsfasern gebildet werden, welche als Punktlichtquellen achromatisch kol- limiert sind.
PCT/EP2003/000765 2002-02-14 2003-01-25 Vorrichtung zur konfokalen optischen mikroanalyse WO2003069391A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10206004.5 2002-02-14
DE2002106004 DE10206004A1 (de) 2002-02-14 2002-02-14 Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2003069391A1 true WO2003069391A1 (de) 2003-08-21

Family

ID=27634920

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2003/000765 WO2003069391A1 (de) 2002-02-14 2003-01-25 Vorrichtung zur konfokalen optischen mikroanalyse

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE10206004A1 (de)
WO (1) WO2003069391A1 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7369227B2 (en) 2005-01-18 2008-05-06 Roche Diagnostics Operations, Inc. Imaging fluorescence signals using telecentricity
WO2008119964A1 (en) * 2007-03-30 2008-10-09 University Of Strathclyde A non-ionising imager
EP2148188A1 (de) 2008-07-25 2010-01-27 F. Hoffmann-Roche AG Anregungs- und Bildgebungsoptik zum Fluoreszenznachweis
US7687260B2 (en) 2005-01-18 2010-03-30 Roche Diagnostics Operations, Inc. Imaging fluorescence signals using telecentric optics
WO2013020663A1 (de) * 2011-08-06 2013-02-14 Carl Zeiss Microscopy Gmbh "laser-scanning-mikroskop mit einem beleuchtungsarray"
JP2020515828A (ja) * 2017-04-07 2020-05-28 ヴェリリー ライフ サイエンシズ エルエルシー 落射蛍光集光用のパターン形成光学系

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007009550B4 (de) 2007-02-27 2008-12-18 Ludwig-Maximilian-Universität Verfahren und Mikroskopvorrichtung zur Beobachtung einer bewegten Probe

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5248876A (en) * 1992-04-21 1993-09-28 International Business Machines Corporation Tandem linear scanning confocal imaging system with focal volumes at different heights
US5579157A (en) * 1991-10-31 1996-11-26 Yokogawa Electric Corporation Confocal optical scanner
DE19632594A1 (de) * 1996-08-13 1998-02-19 Johannes Prof Dr Schwider Konfokales Mikroskop unter Anwendung von refraktiven Mikrolinsen-Feldern
WO1998030889A1 (en) * 1997-01-13 1998-07-16 Medispectra, Inc. Spatially resolved optical measurements
WO2001001112A1 (en) * 1999-06-26 2001-01-04 Packard Instrument Company, Inc. Microplate reader

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19811202C2 (de) * 1998-03-09 2002-01-17 Gf Mestechnik Gmbh Konfokales Scanmikroskop
US6248988B1 (en) * 1998-05-05 2001-06-19 Kla-Tencor Corporation Conventional and confocal multi-spot scanning optical microscope

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5579157A (en) * 1991-10-31 1996-11-26 Yokogawa Electric Corporation Confocal optical scanner
US5248876A (en) * 1992-04-21 1993-09-28 International Business Machines Corporation Tandem linear scanning confocal imaging system with focal volumes at different heights
DE19632594A1 (de) * 1996-08-13 1998-02-19 Johannes Prof Dr Schwider Konfokales Mikroskop unter Anwendung von refraktiven Mikrolinsen-Feldern
WO1998030889A1 (en) * 1997-01-13 1998-07-16 Medispectra, Inc. Spatially resolved optical measurements
WO2001001112A1 (en) * 1999-06-26 2001-01-04 Packard Instrument Company, Inc. Microplate reader

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7369227B2 (en) 2005-01-18 2008-05-06 Roche Diagnostics Operations, Inc. Imaging fluorescence signals using telecentricity
US7687260B2 (en) 2005-01-18 2010-03-30 Roche Diagnostics Operations, Inc. Imaging fluorescence signals using telecentric optics
WO2008119964A1 (en) * 2007-03-30 2008-10-09 University Of Strathclyde A non-ionising imager
US9084535B2 (en) 2007-03-30 2015-07-21 King's College London Non-ionizing imager
EP2148188A1 (de) 2008-07-25 2010-01-27 F. Hoffmann-Roche AG Anregungs- und Bildgebungsoptik zum Fluoreszenznachweis
EP2148187A1 (de) 2008-07-25 2010-01-27 Roche Diagnostics GmbH Anregungs- und Abbildungsoptik für die Fluoreszenzdetektion
US7906767B2 (en) 2008-07-25 2011-03-15 Roche Molecular Systems, Inc. Excitation and imaging optics for fluorescence detection
WO2013020663A1 (de) * 2011-08-06 2013-02-14 Carl Zeiss Microscopy Gmbh "laser-scanning-mikroskop mit einem beleuchtungsarray"
DE102011109653B4 (de) 2011-08-06 2021-11-25 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop mit einem Beleuchtungsarray
JP2020515828A (ja) * 2017-04-07 2020-05-28 ヴェリリー ライフ サイエンシズ エルエルシー 落射蛍光集光用のパターン形成光学系

Also Published As

Publication number Publication date
DE10206004A1 (de) 2003-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2948810B1 (de) Lichtmikroskop und mikroskopieverfahren
DE10004191B4 (de) Fluoreszenz-Scanmikroskop
DE69728572T2 (de) Mikroabbildungssystem
EP2860566B1 (de) Hochauflösende Scanning-Mikroskopie
EP3033645B1 (de) Hochauflösende scanning-mikroskopie
EP3899629B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum punktförmigen beleuchten einer probe in einem mikroskop
EP2904442B1 (de) Konfokales mikroskop mit frei einstellbarer probenabtastung
DE69635628T2 (de) Konfokales Mikroskop
DE102011055294B4 (de) Mikroskopische Einrichtung und Verfahren zur dreidimensionalen Lokalisierung von punktförmigen Objekten in einer Probe
WO1998028775A2 (de) Rastermikroskop, bei dem eine probe in mehreren probenpunkten gleichzeitig optisch angeregt wird
WO2016020459A1 (de) Hochauflösende scanning-mikroskopie mit der unterscheidung mindestens zweier wellenlängenbereiche
WO1998038542A1 (de) Lichtabtastvorrichtung
DE102016119730A1 (de) Optikgruppe für Detektionslicht für ein Mikroskop, Verfahren zur Mikroskopie und Mikroskop
DE102011109653A1 (de) Laser-Scanning-Mikroskop mit einem Beleuchtungsarray
DE102006009831A1 (de) Verfahren und Mikroskop zur räumlich hochauflösenden Untersuchung von Proben
EP3283917B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum untersuchen einer probe
DE102020209889A1 (de) Mikroskop und Verfahren zur mikroskopischen Bildaufnahme mit variabler Beleuchtung
EP1927026B1 (de) Konfokalmikroskop und verfahren zur detektion mit einem konfokalmikroskop
WO2005033767A1 (de) Konfokales laser-scanning-mikroskop
DE102018127281A1 (de) Mikroskop und Verfahren zur Mikroskopie
WO2003069391A1 (de) Vorrichtung zur konfokalen optischen mikroanalyse
LU93022B1 (de) Verfahren und Mikroskop zum Untersuchen einer Probe
WO2024012878A1 (de) Vorrichtung zur chromatisch konfokalen messung von abständen
DE102006011277A1 (de) Laser-Scanning-Mikroskop und Laser-Scanning-Mikroskopierverfahren
WO2007121864A1 (de) Laser-scanning-mikroskop mit hauptstrahlteiler zur räumlichen trennung von beleuchtungs- und detektionsstrahlung

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT SE SI SK TR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
122 Ep: pct application non-entry in european phase
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Country of ref document: JP