WO2001060534A1 - Vorrichtung und verfahren zur präzisionsreinigung von stücken - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur präzisionsreinigung von stücken Download PDF

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WO2001060534A1
WO2001060534A1 PCT/IB2001/000148 IB0100148W WO0160534A1 WO 2001060534 A1 WO2001060534 A1 WO 2001060534A1 IB 0100148 W IB0100148 W IB 0100148W WO 0160534 A1 WO0160534 A1 WO 0160534A1
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solvent
pieces
container
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Philipp Widmer
Carlo Devittori
Original Assignee
Eco2 Sa
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0021—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by liquid gases or supercritical fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/06—Cleaning involving contact with liquid using perforated drums in which the article or material is placed
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations

Definitions

  • the present invention relates to the precision cleaning of high-tech products of precision, micro and nano mechanics, electronics, the ceramic industry, cermets, polymers, textile fibers, etc.
  • the precision cleaning process nowadays use organic solvents, especially chlorinated organic solvents such as trichlorethylene and perchlorethylene, chlorofluorocarbides or detergents or surfactants in the water phase.
  • chlorinated organic solvents and freons has recently been criticized, if not prohibited, because they have been classified as harmful to health and the stratospheric ozone layer is destructive.
  • the water phases pose serious problems in terms of final quality because they are difficult to completely eliminate, especially from capillary lines and holes, due to the low vapor pressure of the water and its relatively high viscosity in the liquid state. They also create dirty waters that require complex and costly cleaning processes.
  • all of these methods hardly allow the recovery of contaminating substances that could be reused, in particular like the cutting oils used in mechanical processing.
  • This solvent as well as nitrogen protoxide, ethane, etc., can have a good dissolving action in the liquid phase, but they increase their dissolving action in the vapor phase, especially in areas which are difficult to access, owing to the greater diffusibility and lower viscosity that they reach in the gas state.
  • the supercritical state temperature higher than the critical one and pressure also higher than the critical one
  • the combination of both properties (low viscosity and high density) makes them ideal solvents for precision cleaning processes, which must guarantee a high degree of cleaning in every point of the surface and in the hard-to-reach areas.
  • solvents have proven to be particularly effective for non-polar or slightly polar contaminants; polar organic substances such as additives to cutting oils, salts, abrasives and metals are not noticeably soluble in solvents that are suitable for cleaning in the supercritical phase. Such residues remaining in the solid phase on the surfaces to be cleaned by adhesion or adsorption must be removed from them by physical means: for this purpose, the effectiveness of the cavitation is recognized, which occurs over the surfaces immersed in a liquid through which ultrasound waves propagate.
  • the propagation of the ultrasonic waves in the autoclave is effected by generators located inside the chamber.
  • the mechanical removal of the solid particles and liquids is accomplished by valves located at the entrance of the solvent to create turbulence, or by creating bubbles such that the solvent is kept at a temperature near the boiling point, or by another movement of the liquid solvent caused by propellers or solid elements.
  • fixed or movable brushes are still used for the load.
  • Fig. 1 is a schematic representation of an embodiment of the invention.
  • the invention relates to an apparatus and a method for the precision cleaning of surfaces with complex shapes by using inert liquid or supercritical fluids as solvents, namely supported by irradiation of the surfaces to be cleaned with ultrasonic waves and by the resulting cavitation in a programmed movement of the pieces to be cleaned.
  • the dissolving action of the liquid and / or supercritical fluid removes the soluble or solid contaminating substances from the surfaces.
  • the cavitation effect separates the solid, insoluble particles, such as adhesive metallic particles, dust resulting from the abrasives, the organic and inorganic additives, etc., from the surface and then removes them in suspension by the fluid flow.
  • This drum may or may not be provided with central axes. In it the pieces are free to move with respect to the wall of the drum.
  • the bases and the outer surface of the drum are designed in the form of gratings that allow the passage of the ultrasonic waves and at the same time the solid heavy particles that separate from the surface of the pieces.
  • the return of the pieces is also facilitated by the fact that they are located inside a drum which is inserted into the chamber at the beginning and removed at the end.
  • the removal of the solid parts in suspension is also facilitated by the movement which frees them.
  • the possibility of modulating the speed of rotation of the drum allows the mechanical friction between the pieces to be metered in order to avoid damage.
  • rotation speeds of 1 to 100 revolutions per minute can be provided for 10 to 20 minutes with 1 or 2 changes of rotation.
  • the power provided is generally of the order of 1000 W and the frequency between 10 and 2000 kHz depending on the dimensions of the solid particles to be rubbed off the surface of the pieces.
  • the device consists of an autoclave 1, in which the drum 2 is inserted, in which the pieces 3 are located, which are to be subjected to the precision cleaning process.
  • the drum is driven by the motor 4 via an axis 5.
  • Ultrasonic transducers 6 are arranged on the outer cylindrical surface 11 of the autoclave 1, one over the entire inside of the wall
  • the fluid can be transported in the autoclave 1 after preheating or at room temperature via the inlet 7 and can also be cooled by evaporation via the outlet 8 and 9. Excessive cooling of the chamber during the depression phase can be avoided by introducing an inert gas at a suitable pressure through the inlet 10.
  • Temperatures, alternation and duration of the cleaning cycles in the liquid and supercritical phase, the movements of the drum 2 with the pieces to be cleaned 3 (sense of rotation, change of direction, times and speed), pressure and amount of the solvent are by a computer (not in 1) and regulates a specific program.
  • Both the detached substances in the liquid or mainly supercritical phase, as well as the solid particles in suspension are conveyed out of the chamber by a fluid flow.
  • Another embodiment of the invention is characterized in that the container 2 is rotatable in both directions of rotation, and that the possibility consists of changing the direction of rotation and / or the speed of rotation. This is preferably done in a programmed form.
  • the device according to the invention can also be provided with blades arranged on the inner wall of the container 2 or on an axis in order to enable a guided movement of the pieces 3.
  • the ultrasonic transducers 6 can be arranged on the outer wall 11 of the chamber 1, preferably on the one with the larger extension.
  • the inlet 7 for the solvent can be at the lowest point inside the chamber 1 and the outlet 9 at the highest point. Furthermore, an outlet 8 for the solvent can be located in the lowest point of the chamber 1, this preferably being in a position opposite the inlet 7. At the highest point of the chamber 1, preferably in an area opposite the outlet 9, there can be another inlet 10 which is provided for a gas, preferably an inert gas such as nitrogen, argon or helium.
  • a gas preferably an inert gas such as nitrogen, argon or helium.
  • the method for precision cleaning with the aid of the described device is characterized in that the pieces 3 to be cleaned are exposed to a preferably continuous flow of a fluidic solvent and / or an ultrasound energy from a stationary source 6, the pieces 3 being characterized by Movement of the container 2 can be moved.
  • a further embodiment of the method is characterized in that a solvent at a critical temperature between -70 ° and 700 ° and a critical pressure between 1 and 700 bar, preferably carbon dioxide, propane, ethane, water or nitrogen protoxide, optionally supported by a co-solvent, preferably water or an organic solvent such as preferably an alcohol, an ester, an ether or a surfactant is used, which can be pure or dissolved in said co-solvent.
  • a solvent at a critical temperature between -70 ° and 700 ° and a critical pressure between 1 and 700 bar preferably carbon dioxide, propane, ethane, water or nitrogen protoxide, optionally supported by a co-solvent, preferably water or an organic solvent such as preferably an alcohol, an ester, an ether or a surfactant is used, which can be pure or dissolved in said co-solvent.
  • a solvent at a critical temperature between -70 ° and 700 ° and a critical pressure between 1 and 700 bar preferably carbon dioxide
  • the use of ultrasound waves programmed with regard to duration, intensity and / or frequency causes a cavitation effect on the surfaces of the pieces 3 to be cleaned.

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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

Die Vorrichtung und das Verfahren dienen zur Präzisionsreinigung von Flächen von Stücken (3) aus Metall, Keramik oder einem Polymer durch Aussetzung der Stücke, die durch eine programmierte Bewegung bewegt werden, der lösenden Wirkung einer sich alternierend in flüssigem und in superkritischem Zustand befindenden Fluidströmung, wobei durch Wirkung von Ultraschallwellen, die von im äusseren Bereich der Reinigungskammer (1) angeordneten Wandlern (6) generiert werden, Kavitation erzeugt wird.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Präzisionsreinigung von Stücken
Technisches Gebiet
[0001] Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Präzisionsreinigung von hochtechnologischen Produkten der Präzisions-, Mikro- und Nanomechanik, der Elektronik, der keramischen Industrie, der Cermets, Polymeren, Textilfasern usw.
Stand der Technik
[0002] Die Präzisionsreinigungsverfahren verwenden heutzutage organische Lösungsmittel, insbesondere chlorierte organische Lösungsmittel wie Trichlorethylen und Perchlorethylen, Chlorfluorcarbide oder auch Detergentien bzw. Tenside in Wasserphase. [0003] Die Verwendung von chlorierten organischen Lösungsmitteln und Freonen wurde in letzter Zeit streng beanstandet, wenn nicht sogar verboten, da sie als gesundheitsschädlich und die stratosphärische Ozonschicht zerstörend eingestuft wurden. Die Wasserphasen stellen ernsthafte Probleme bezüglich der Endqualität dar, da sie sich schwer vollständig eliminieren lassen, insbesondere aus kapillaren Leitungen und Löchern, infolge des geringen Dampfdrucks des Wassers und seiner relativ hohen Viskosität im flüssigen Zustand. Zudem erzeugen sie schmutzige Gewässer, die komplexe und kostspielige Reinigungsverfahren erforderlich machen. Schliesslich erlauben all diese Verfahren schwerlich eine Rückgewinnung von verunreinigenden Substanzen, die wieder benutzt werden könnten, insbesondere wie die bei der mechanischen Bearbeitung verwendeten Schneidöle.
[0004] Aus diesen Gründen wurden seit langem mit inerten, ungiftigen Fluiden, ins- besondere mit Kohlendioxid sowohl in flüssigem als auch in superkritischem Zustand, arbeitende Präzisionsreinigungsverfahren vorgeschlagen.
[0005] Dieses Lösungsmittel, wie auch Stickstoff-Protoxid, Ethan usw. können eine gute Lösungswirkung in flüssiger Phase haben, aber sie erhöhen ihre Lösungswir- kung in Dampfphase, vor allem bei schwer erreichbaren Flächen, dank der grösse- ren Diffusionsfähigkeit und kleineren Viskosität, die sie im Gaszustand erreichen. Im superkritischen Zustand (Temperatur höherer als die kritische und Druck ebenfalls höher als der kritische) erreichen sie eine hohe Dichte mit nahe den für Flüssigkeiten wie das Wasser typischen Werten. Die Verbindung beider Eigenschaften (nied- rige Viskosität und hohe Dichte) macht aus ihnen ideale Lösungsmittel für Präzisionsreinigungsverfahren, die einen hohen Reinigungsgrad in jedem Punkt der Oberfläche und in den schwer erreichbaren Partien garantieren müssen.
[0006] Diese Lösungsmittel erweisen sich als besonders wirksam für unpolare oder wenig polare verunreinigende Substanzen; polare organische Substanzen wie Zusätze zu Schneidölen, Salzen, Schleifmitteln und Metallen sind nicht merklich lösbar in den Lösungsmitteln, die zur Reinigung in der superkritischen Phase geeignet sind. Solche in der festen Phase an den zu reinigenden Flächen durch Adhäsion oder Adsorption zurückgebliebenen Resten müssen mit physischen Mitteln aus denselben entfernt werden: Zu diesem Zweck wird die Wirksamkeit der Kavitation er- kannt, die über die Flächen zustande kommt, die in einer Flüssigkeit eingetaucht sind, durch die sich Ultraschallwellen fortpflanzen.
[0007] In den Vereinigten Staaten von Amerika wurden Pionierarbeiten über Präzisionsreinigungsverfahren durch Verwendung von flüssigem und superkritischem Kohlendioxid vom National Laboratory, Los Alamos, von Autociaves Engineering und von Hughes Aircraft angebahnt und durchgeführt, in Frankreich von CEA, Se- parex. Seit 1986 sind zahlreiche Patentanmeldungen eingereicht worden.
[0008] Nach diesen Patenten wird die Fortpflanzung der Ultraschallwellen im Auto- klav durch sich im Innern der Kammer selbst befindende Generatoren bewirkt. Nach anderen Patenten erfolgt die mechanische Entfernung der festen Teilchen und der Flüssigkeiten durch am Eingang des Lösungsmittels angeordnete Ventile, um Turbulenzen zu erzeugen, oder durch Erzeugung von Blasen, derart, dass das Lösungsmittel bei einer dem Siedepunkt nahen Temperatur gehalten wird, oder noch durch eine mittels Propellern oder festen Elementen bewirkte Bewegung des flüssigen Lösungsmittels. In anderen Fällen werden noch bezüglich der Ladung feste oder bewegliche Bürsten verwendet.
Zeichnung
[0009] Weitere Eigenschaften und Vorteile der Erfindung werden im folgenden anhand der Beschreibung und mit Bezug auf die Zeichnung ausführlich beschrieben. Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der Erfindung.
Detaillierte Beschreibung der Erfindung
[0010] Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Präzisionsreinigung von Flächen mit komplexen Formen durch Verwendung von inerten flüssigen oder superkritischen Fluiden als Lösungsmitteln, und zwar unterstützt durch Bestrahlung der zu reinigenden Flächen mit Ultraschallwellen und durch die sich daraus ergebende Kavitation bei einer programmierten Bewegung der zu reinigenden Stücke.
[0011] Bei geeigneten Bedingungen bezüglich Temperatur, Druck und Menge des Fluids werden durch die lösende Wirkung des flüssigen und/oder superkritischen Fluids die in ihm lösbaren flüssigen oder festen verunreinigenden Substanzen aus den Oberflächen entfernt. Durch den Kavitationseffekt werden hingegen die festen unlösbaren Teilchen, wie klebende metallische Teilchen, sich aus den Schleifmitteln, den organischen und anorganischen Zusätzen usw. ergebender Staub, von der Oberfläche abgetrennt und danach in Suspension durch die Fluidstromung entfernt. Für die industriellen Anwendungen der Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung, sowohl im kontinuierlichen als auch im diskontinuierlichen oder halbkontinuierlichen Betrieb ist davon auszugehen, dass in der Reinigungskammer eine varia- ble Anzahl Stücke vorhanden ist, deren Oberflächen genau und regelmässig gereinigt werden sollen: Dies bedeutet, dass solche Teile derart bewegt werden, dass sie früher oder später direkt der Aktion der Ultraschallwellen ausgesetzt sind. Dies wird in einer vorzugsweise zylindrischen Kammer realisiert, die mit an der äusseren Fläche derselben Kammer angeordneten Ultraschallgeneratoren versehen ist, die sich durch die gesamte Längsfläche im Innern der Kammer fortpflanzende Ultraschallwellen erzeugen, so dass ein Kavitationseffekt im die Kammer durchfliessenden oder sich dort in flüssiger oder superkritischer Phase befindenden Fluid bewirkt wird. In der Kammer wird ein Behälter in Form einer Trommel mit den Stücken gestellt, der mit Hilfe eines äusseren Elektromotors drehbar ist. Diese Trommel kann mit mit- tigen Achsen versehen sein oder nicht. Darin sind die Stücke frei, sich bezüglich der Wand der Trommel zu bewegen. Die Basen und die Mantelfläche der Trommel sind in Form von Gittern ausgebildet, die den Durchgang der Ultraschallwellen und zugleich ein Ausscheiden der festen schweren Teilchen erlauben, die sich von der Fläche der Stücke ablösen.
[0012] Eine in Sinn und Geschwindigkeit geeignete, hauptsächlich während der Bestrahlung mit Ultraschall bewirkte Drehung der Trommel ermöglicht eine Aussetzung der Stücke der Bestrahlung der Ultraschallwellen und eine sich über die Oberfläche der Gesamtheit aller Stücke ausbreitende Kavitation. Dies erweist sich als besonders vorteilhaft bei einer umfangreichen Belastung mit Stücken, wie Schrau- ben, Kugeln, Körpern mit unregelmässiger Geometrie, da sie sich während der Bewegung gegenseitig reiben. Die Rücknahme der Stücke wird zudem dadurch erleichtert, dass sie sich im Innern einer Trommel befinden, die zu Beginn in die Kammer eingeführt und am Ende herausgenommen wird. Auch die Entfernung der festen Teile in Suspension wird durch die eine Befreiung derselben bewirkende Be- wegung erleichtert. Die Möglichkeit, die Rotationsgeschwindigkeit der Trommel zu modulieren, erlaubt eine Dosierung der mechanischen Reibung zwischen den Stük- ken, um Schäden zu vermeiden. Bei normalen Betriebsbedingungen mit Ladungen von 40 bis 80 Kg in einer 10-Liter-Kammer können Rotationsgeschwindigkeiten von 1 bis 100 Umdrehungen pro Minute während 10 bis 20 Minuten mit 1 bis 2 Drehsin- nänderungen vorgesehen werden. Die vorgesehene Leistung liegt im allgemeinen in der Grössenordnung von 1000 W und die Frequenz zwischen 10 und 2000 kHz in Abhängigkeit von den Abmessungen der von der Oberfläche der Stücke abzureibenden festen Teilchen.
[0013] Die technische Beschreibung der Erfindung ergibt sich an Hand der Fig. 1. Die Einrichtung besteht aus einem Autoklav 1 , in welchen die Trommel 2 eingeführt wird, in der sich die Stücke 3 befinden, die dem Präzisionsreinigungsprozess unterworfen werden sollen. Die Trommel wird durch den Motor 4 über eine Achse 5 angetrieben. An der äusseren zylindrischen Fläche 11 des Autoklavs 1 sind Ultra- schallwandler 6 angeordnet, die über die gesamte Innenseite der Wand eine
Grossteil der Stücke 3 radial bestrahlen. Im Innern 12 des Autoklavs 1 erfolgt daher der Präzisionsreinigungsprozess durch die Wirkung des Lösungsmittels im flüssigen und/oder superkritischen Zustand, oder abwechslungsweise im flüssigen und superkritischen Zustand.
[0014] Das Fluid kann im Autoklav 1 nach Vorwärmung oder bei Raumtemperatur über den Eingang 7 befördert und zudem durch Verdampfung über die Ausgänge 8 und 9 gekühlt werden. Eine übermässige Abkühlung der Kammer während der Depressionsphase kann durch Einführung eines inerten Gases mit geeignetem Druck durch den Eingang 10 vermieden werden.
[0015] Temperaturen, Abwechslung und Dauer der Reinigungszyklen in der flüssigen und superkritischen Phase, die Bewegungen der Trommel 2 mit den zu reinigenden Stücken 3 (Drehsinn, Drehsinnwechsel, Zeiten und Geschwindigkeit), Druck und Menge des Lösungsmittel werden durch einen Computer (nicht in Fig. 1 darge- stellt) und ein spezifisches Programm geregelt.
[0016] Sowohl die losgelösten Substanzen in der flüssigen oder hauptsächlich superkritischen Phase, als auch die festen Teilchen in Suspension werden von der Kammer durch eine Fluidstromung heraus befördert.
[0017] Die Rückgewinnung der Flüssigkeiten und der von der Oberfläche der Stük- ke 3 abgeriebenen festen Teile, wie auch ein Rezyklieren des Lösungsmittels erfolgen durch Druckverminderung, Filtrierung und Adsorption und Umpumpen gemäss bekannter Technologie.
[0018] Für den Fall, dass sich die Lösungsfähigkeit des inerten Fluids als ungenügend erweisen sollte, kann die Möglichkeit der Verwendung eines Mitlösungsmittels vorgesehen werden.
[0019] Eine weitere Ausführungsform der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass der Behälter 2 in beiden Drehrichtungen drehbar ist, und dass die Möglichkeit besteht, den Drehsinn und/oder die Drehgeschwindigkeit zu ändern. Dies geschieht vorzugsweise in programmierter Form.
[0020] Die erfindungsgemässe Vorrichtung kann auch mit an der inneren Wand des Behälters 2 oder an einer Achse angeordneten Schaufeln versehen sein, um eine geführte Bewegung der Stücke 3 zu ermöglichen. Die Ultraschallwandler 6 können an der äusseren Wand 11 der Kammer 1 angeordnet sein, vorzugsweise an jener mit der grösseren Ausdehnung.
[0021] Bei einer Vorrichtung gemäss der Erfindung dadurch kann sich der Eingang 7 für das Lösungsmittel im tiefsten Punkt im Innern der Kammer 1 befinden und der Ausgang 9 im höchsten Punkt. Des Weiteren kann sich im tiefsten Punkt der Kammer 1 ein Ausgang 8 für das Lösungsmittel befinden, wobei dieser sich vorzugsweise in einer dem Eingang 7 gegenüberliegenden Lage befindet. Im höchsten Punkt der Kammer 1 , vorzugsweise in einem dem Ausgang 9 gegenüberliegenden Bereich, kann ein weiterer Eingang 10 vorhanden sein, der für ein Gas, vorzugsweise ein inertes Gas, wie Stickstoff, Argon oder Helium vorgesehen ist.
[0022] Das Verfahren zur Präzisionsreinigung mit Hilfe der beschriebenen Vorrich- tung zeichnet sich dadurch aus, dass die zu reinigenden Stücke 3 einem vorzugsweise kontinuierlichen Fluss eines fluidischen Lösungsmittels und/oder einer Ultraschallenergie aus einer stationären Quelle 6 ausgesetzt wird, wobei die Stücke 3 durch Bewegung des Behälters 2 bewegt werden.
[0023] Eine weitere Ausführungsform der Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, dass ein Lösungsmittel bei einer kritischen Temperatur zwischen -70° und 700° und einem kritischen Druck zwischen 1 und 700 bar, vorzugsweise Kohlendioxid, Pro- pan, Ethan, Wasser oder Stickstoffprotoxid, gegebenenfalls durch ein Mitlösungsmittel unterstützt, vorzugsweise Wasser oder ein organisches Lösungsmittel wie vorzugsweise ein Alkohol, ein Ester, ein Ether oder ein Tensid verwendet wird, das rein oder im besagten Mitlösungsmittel gelöst sein kann. [0024] Reinigungszyklen können mit dem Lösungsmittel in flüssiger Phase bzw. in superkritischer Phase alterniert werden.
[0025] Bei einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemässen Verfahrens wird durch die Verwendung von bezüglich Dauer, Intensität und/oder Frequenz programmierten Ultraschallwellen ein Kavitationseffekt auf den Flächen der zu reinigenden Stücke 3 bewirkt.

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Präzisionsreinigung von Stücken (3) aller Arten und Stoffen mittels eines Lösungsmittels und Ultraschallenergie, dadurch gekennzeichnet, dass eine Ladungskammer (1 ) mit einem inneren durch einen Motor (4) bewegbaren Behälter (2) vorhanden ist, und dass an der Fläche dieser Kammer (1 ) Ultraschallwandler (6) angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Behälter (2) vorzugsweise extrahierbar und die Kammer (1 ) vorzugsweise ein zylindrischer Autoklav ist, und/oder dass dieser Behälter (2) mit Wänden in Form von Gittern versehen ist, um ein Transport von sich von den Stücken (3) ablösenden festen Teilchen aus der Kammer (1 ) heraus zu ermöglichen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Behälter (2) in beiden Drehrichtungen drehbar ist, und dass die Möglichkeit besteht, den Drehsinn und/oder die Drehgeschwindigkeit, vorzugsweise in programmierter Form, zu ändern.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Behälter (2) mit an seiner inneren Wand oder an einer Achse angeordneten Schaufeln versehen ist, um eine geführte Bewegung der Stücke (3) zu ermöglichen, und/oder dass die Ultraschallwandler (6) an der äusseren Wand (11 ) der Kammer (1 ) angeordnet sind, vorzugsweise an jener mit der grösseren Ausdehnung.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass im tiefsten Punkt im Innern der Kammer (1 ) ein Eingang (7) für das Lösungsmittel und im höchsten Punkt ein Ausgang (9) vorhanden sind, und/oder dass im tiefsten Punkt der Kammer (1 ) ein Ausgang (8) für das Lösungsmittel vorhanden ist, vorzugsweise in einer dem Eingang (7) gegenüberliegenden Lage.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass im höchsten Punkt der Kammer (1 ), vorzugsweise in einem dem Ausgang (9) gegenüberliegenden Bereich, ein weiterer Eingang (10) vorhanden ist, der für ein Gas, vorzugsweise ein inertes Gas, wie Stickstoff, Argon oder Helium vorgesehen ist.
7. Verfahren zur Präzisionsreinigung mit Hilfe der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Aussetzung der zu reinigenden Stücke (3) einem vorzugsweise kontinuierlichen Fluss eines fluidischen Lösungsmittels und/oder einer Ultraschallenergie aus einer stationären Quelle bewirkt wird, indem die Stücke durch Bewegung des Behälters (2) bewegt werden.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Lösungsmittel bei einer kritischen Temperatur zwischen -70° und 700° und einem kritischen Druck zwischen 1 und 700 bar, vorzugsweise Kohlendioxid, Propan, Ethan, Wasser oder Stickstoffprotoxid, gegebenenfalls durch ein Mitlösungsmittel unterstützt, vorzugs- weise Wasser oder ein organisches Lösungsmittel wie vorzugsweise ein Alkohol, ein Ester, ein Ether oder ein Tensid verwendet wird, das rein oder im besagten Mitlösungsmittel gelöst sein kann.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass Reini- gungszyklen mit dem Lösungsmittel in flüssiger Phase bzw. in superkritischer Phase alterniert werden, und/oder dass die Ladung gemäss einer programmierten Bewe- gung in Zyklen bewegt wird, die durch Sinn und/oder Drehgeschwindigkeit des Behälters (2), Dauer der Bewegungsphase in beiden Drehrichtungen, Abwechslung der Phasen und/oder der Anzahl Zyklen, oder durch Änderung des Drucks im Innern der Kammer charakterisiert sind.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass durch Verwendung von bezüglich Dauer, Intensität und/oder Frequenz programmierten Ultraschallwellen ein Kavitationseffekt auf die Flächen der zu reinigenden Stücke (3) bewirkt wird.
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