WO2000060662A1 - Method of producing a device for electrically connecting a semiconductor component to a mounting surface, and corresponding device - Google Patents

Method of producing a device for electrically connecting a semiconductor component to a mounting surface, and corresponding device Download PDF

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Definitions

  • the invention relates to a method for producing a device for connecting at least one electrical contact of a semiconductor component, in particular a semiconductor diode, to an electrical contact on a mounting surface, and to such a device.
  • each component must be connectable laterally on a mounting surface.
  • a device for connecting an electrical contact of a semiconductor component to an electrical contact on a mounting surface which has, for example, a cuboid body made of essentially electrically insulating material.
  • An electrical contact to be connected to the contact of the component is arranged on a surface section of the body and an electrical contact to be connected to the contact of the mounting surface is arranged on a surface section remote from this surface section.
  • An electrical conductor connects the contacts arranged on the two surface sections to one another via a side surface section of the body which connects the two surface sections.
  • a semiconductor component usually has two or more electrical contacts, each of which has an electrical contact. electrical contact on a mounting surface.
  • one electrical contact of the body to be connected to this contact is arranged on the one surface section per contact of the component, which is provided by an electrical conductor via a side surface section of the body, each with one arranged on the other surface section and with one each Contact on the mounting surface is connected to the body's electrical contact.
  • the object of the invention is to provide a method for producing a device for connecting at least one electrical contact of a semiconductor component, in particular a semiconductor diode, to an electrical contact on a mounting surface, which is simple and suitable for producing such devices in large numbers.
  • a through hole is created in the body that connects the two surface sections to one another.
  • the electrical contacts of the body applied to the two surface sections are connected to one another by means of an electrical conductor via at least one wall section of an inner side wall of the through hole.
  • the connecting electrical conductor is preferably applied to the inner side wall of the through hole, preferably so that it covers the entire inner side wall.
  • the through hole can be easily by etching the
  • the through hole is preferably produced by etching the body with an etching agent which acts in such an anisotropic manner that the through hole produced is delimited by four adjoining trapezoidal inner side wall sections which together define a truncated pyramid.
  • a known anisotropically etchable material is silicon, for example, which can be used very well for the body as a material in the present invention.
  • the inner side wall sections of the through hole defining the truncated pyramid are arranged obliquely at an angle to a surface section of the body in such a way that they are visible when viewed from above on this surface section. This offers the advantage that the electrical contact on this surface section and at least part of the connecting conductor can be produced very easily at the same time in such a way that this contact is connected to the conductor.
  • this contact and this conductor can be produced by simultaneous vapor deposition or sputtering of the surface section and a visible side wall section of the through hole with metal.
  • the entire inner side wall of the through hole, which consists of all side wall sections, can be metal-coated without additional measures.
  • the contact on the other surface section can advantageously be produced in such a way that this contact is connected to the electrical conductor.
  • the other surface section vapor-coated or sputtered with metal, it only being necessary to ensure that the metal layer applied in this way and a metal layer already applied to the inner side wall of the through hole come into contact with one another, for example simply by growing together.
  • the method for simultaneously making an electrical contact on a surface section and the connecting conductor is not restricted to truncated pyramid-shaped through holes, but can in principle be used with any through hole.
  • the body is severed in the direction from one surface section to the other surface section.
  • a larger body for example a wafer made of silicon or another semiconductor material, in which a multiplicity of through-holes have been produced
  • a wafer made of silicon or another semiconductor material in which a multiplicity of through-holes have been produced
  • the semiconductor components which are to be electrically connected to mounting surfaces via individual devices, can be connected to the associated contacts of this body even before the larger body is separated to separate the devices on this body, so that a large number of contacts are already made after the severed body Components are available, each of which can be directly electrically connected to a mounting surface. Additional work steps after severing the body into the individual devices or contactable components are advantageously not required.
  • an electrical conductor covers the entire inner side wall of a through hole, and the body is severed in such a way that this through hole is also severed at least once, two or more conductors can advantageously be produced from an electrical conductor, each of which connects two contacts of a single device to one another .
  • the invention generally provides a novel device for connecting at least one electrical contact of a semiconductor component to an electrical contact on a mounting surface, which has: a body made of essentially electrically insulating material with
  • an electrical conductor which connects the electrical contacts applied to the two surface sections of the body to one another via at least one side wall section of an inner side wall of the through hole.
  • the electrical conductor is preferably attached to an inner side wall of the through hole.
  • the through hole is delimited by four adjoining trapezoidal side wall sections, which together define a truncated pyramid.
  • the invention also provides a novel device for connecting at least one electrical contact of a semiconductor component to an electrical contact on a mounting surface, which has: a body made of essentially electrically insulating material with
  • a substantially trapezoidal side surface section which connects the two surface sections (12) to one another and is arranged obliquely at an angle both to a surface section and to each of these edge edges between two mutually perpendicular edge edges of each surface section, and
  • An advantageous application of the invention lies, for example, in semiconductor components in the form of light-emitting diodes.
  • FIG. 1 shows a plan view of a surface section of an exemplary embodiment of a device according to the invention
  • FIG. 2 shows the view of the lower side of the example in FIG. 1, as well as a semiconductor component arranged above the example and a mounting surface arranged below the example, and
  • FIG. 3 shows a plan view of a cut-out surface section of a larger body, in which through holes are formed and from which the example according to FIG. 1 can be cut out.
  • the exemplary embodiment of the device according to the invention shown in FIGS. 1 and 2 serves to connect a semiconductor component, for example having two electrical contacts, to electrical contacts on a mounting surface such that each contact of the component is connected to one contact of the mounting surface.
  • the example has a body 1 made of essentially electrically insulating material, for example semi-insulating silicon, and two surface sections 11 and 12 facing away from one another, of which only the surface section 11 can be seen in FIG. 1 and is shown in plan view.
  • the two flat surface sections 11 and 12, for example, are arranged parallel to the drawing plane in FIG. 1, extend horizontally and vertically and to the drawing plane in FIG. 2, and are essentially of four side surfaces perpendicular to one another and to the drawing plane of FIG. 1 13, 14, 15 and 16 of the body 1 surrounded and limited.
  • FIG. 2 shows the horizontal side surface 16 lying at the bottom in FIG. 1 in a top view.
  • Each side surface 13, 14, 15 and 16 defines with the one surface section 11 four edge edges 113, 114, 115 and 116 of the body 1 which run at an angle to one another. Similarly, each side surface 13, 14, 15 and 16 defines the other
  • Surface section 12 four edge edges of body 1 which run at an angle to one another, of which only the edges 123, 125 and 126 defined by side surfaces 13, 15 and 16 can be seen in FIGS. 1 and 2.
  • Two separate electrical contacts 111 and 112 are arranged on the surface section 11, each of which is to be connected to one of the two contacts 21 and 22 of the component 2 seen in FIG. 2 above the section 11.
  • the contact 111 of the body 1 is to be connected to the contact 21 of the component 2 and the contact 112 of the body 1 is to be connected to the contact 22 of the component 2.
  • two separate electrical contacts 121 and 122 Arranged on the other surface section 12 facing away from the surface section 11 are two separate electrical contacts 121 and 122, each of which is to be connected to one of the two contacts 31 and 32 on the mounting surface 3 shown in FIG. 2 under section 12.
  • the body 1 has, for example, two substantially trapezoidal side surface sections, each of which connects the two surface sections 11 and 12 to one another and between two of the angled edge edges of each surface section 11 and 12 both at an angle to each surface section 11 and 12 as well as to each of these marginal edges is arranged.
  • a trapezoidal side surface section in FIG. 1 is at the top left between the edge edges 113 and 114 which run at an angle of, for example, 90 ° to one another and delimit the surface section 11 of the body 1, and between the edge sections 113 and 114 parallel to these edge edges and the other surface section 12 of the body 1 boundary edges arranged, of which only the edge 123 (see Figure 2), but not the other is visible.
  • the other trapezoidal side surface section is in the
  • FIG. 2 shows a certain lateral edge edge, designated 103 and 102, of the side surface section arranged at the bottom right in FIG. 1.
  • the two side surface sections themselves cannot otherwise be seen in FIGS. 1 and 2 because they are each covered with an electrical conductor 19, for example a metal layer, one of which covers the trapezoidal side surface section arranged at the top left and the contacts 111 and 121 are electrically connected to one another connects and the other the right covered trapezoidal side surface portion below and electrically connects the contacts 112 and 122.
  • FIG. 3 shows a plan view of, for example, a flat surface section 11 ⁇ of a body 1 which is significantly larger than the body 1 according to FIGS. 1 and 2, which is only shown in detail and from which several bodies 1 according to FIGS. 1 and 2 can be separated.
  • the larger body 1 has a ⁇ of the past, for example, in the drawing plane of figure 3 the surface portion 11 facing away from and not visible in the figure 3 the other surface portion, wherein a distance between the one surface portion 11 ⁇ and said other surface portion t the distance ( see Figure 2) between the surface section 11 and other surface section 12 each of the larger body 1 ⁇ isolated body 1 according to Figures 1 and 2 determined.
  • the separation is carried out, for example, by severing the larger body 1 x perpendicular to the surface section 11 ⁇ along straight lines 51 and 52 running parallel to the surface section 11, which intersect and enclose quadrilaterals between them.
  • Each quadrilateral bordered by four sections of lines 51 and 52 defines a body 1 to be separated according to FIGS. 1 and 2, these sections simultaneously defining both the surface section 11 of this body 1 and seen in FIGS. 1 and 2 Edge 113,
  • edge edges of which only the edges 123, 125 and 126 are visible in FIGS. 1 and 2.
  • the lines 51 run horizontally and are cut vertically by the lines 52, as a result of which these lines 51 and 52 enclose rectangles, especially squares 150, each of which defines a body 1 according to FIGS. 1 and 2.
  • the square 150 shown is surrounded by sections 511 and 512 of adjacent horizontal lines 51 and sections 521 and 522 of adjacent vertical lines 52.
  • edge edges 113, 114, 115 and 116 which delimit the surface section 11 of the body 1 according to FIGS. 1 and 2, in this square 150 shown completely, for example the section 511 of the line 51 defines the edge edge 113, the section 521 of the line 52 the edge 114, the section 512 of the line 51 the edge 115 and the section 522 of the line 52 the edge 116.
  • the larger ⁇ body 1 consists for example of a silicon wafer having a crystal orientation such that, for example, the surface portion 11 of this body can be l x v etched anisotropically.
  • the surface portion 11 with an unillustrated ⁇ etching mask is covered, for example, having openings such that diagonally countertransference lying corners of each square 150 defined by lines 51 to 52 or generally quadrilaterals in each case in the center of such an opening, at these corners during rectangular anisotropic etching even rectangular or square holes in the surface section 11x , which are perpendicular to it Extend surface section 11 x in the direction of the other surface section of the larger body 1 x truncated pyramid-shaped in depth.
  • a through hole 100 which extends continuously from one surface section 11 ⁇ to the other surface section of the larger body 1, has formed at each of these corners, which has a square hole opening 110 with four opening sides 101 in one surface section 11 and a relative one in the other surface section to this hole opening 110 has other smaller square hole openings 120 with four opening sides 102 and an inner side wall 130 connecting the two hole openings 110 and 120.
  • each through hole 100 has four at an angle to each other and obliquely to a surface portion 11 x and other surface portion of the larger body 1 ⁇ standing trapezoidal side wall portions 131 on each of which each have an opening side 101 of the hole opening 110 in a surface portion 11 and each have a Connects opening side 102 of the hole opening 120 in the other surface section of the larger body l x .
  • These two opening sides 101 and 102 form the mutually parallel sides of the trapezoidal shape, the opening side 102 being shorter than the opening side 101.
  • Each trapezoidal side wall section 131 abut along each line 103 connecting a corner of the hole opening 110 and a corner of the hole opening 120.
  • Each trapezoidal side wall section 131 is characterized by two such lines 103 borders, which form the two mutually oblique sides of the trapezoidal shape.
  • such a through hole 100 is formed at the upper left corner and at the lower right corner of this square 150, respectively.
  • Each of these two through holes 100 each has an opening side 101 of the square hole opening 110 of the one surface section 11 ⁇ lying in square 150, which extends obliquely at an angle of 45 ° to each of the two lines 51 and 52 and connects these two lines 51 and 52 to one another , and an opening side 102 of the square hole opening 120 of the other surface section which is also located in square 150 and which is parallel to this opening side 101.
  • a trapezoidal side wall section 131 which is arranged obliquely to the lines 51 and 52 and obliquely at an angle both to the one surface section 11 and to another surface section. If the larger body 1 ⁇ is cut along the lines 51 and 52 vertically to the surface section 11 ⁇ , a separate body is created for each square 150, which has a trapezoidal side wall section 131 on diagonally opposite corners of the square 150, which is oblique to the edges of this body and is arranged obliquely at an angle to surface portions of this body facing away from one another.
  • the central square 150 shown in FIG. 3 results in the body 1 shown in FIGS. 1 and 2 without contacts 111, 112, 121 and 122 and the conductor 19 in which the left upper trapezoidal side surface section in FIG the trapezoidal side wall section 131 in the upper left corner of the square 150 and the lower right trapezoidal side surface section in FIG. 1 is formed by the trapezoidal side wall section 131 in the lower right corner of the square 150.
  • the opening side 101 of the trapezoidal side wall section 131 in the upper left corner of the square 150 forms between the two mutually perpendicular edge edges 113 and 114 of the surface section 11 of this body 1, at an angle of 45 ° to these edges 113 and 114 and these two edges 113 and 114 connecting edge of surface section 11.
  • the opening side 102 of the trapezoidal side wall section 131 in the upper left corner of the square 150 forms between the edge 123 and the non-visible edge edge of the other surface section 12 of this body 1, which runs obliquely at an angle of 45 ° to these edges and these two edges interconnecting edge of the other surface section 12.
  • the opening side 101 of the trapezoidal side wall section 131 in the lower right corner of the square 150 forms between the two mutually perpendicular edge edges 115 and 116 of the surface section 11 of this body 1, and these two edges extend obliquely at an angle of 45 ° to these edges 115 and 116 115 and 116 connecting edge of surface section 11.
  • the opening side 102 of the trapezoidal side wall section 131 in the lower right corner of the square 150 forms one between the two mutually perpendicular edge edges 125 and 126 of the other surface section 12 of this body 1, which extends at an angle of 45 ° to these edges 125 and 126 and these two Edges 125 and 126 connecting edge of the other surface section 12.
  • the surface section 11 of the body 1 according to FIG. 1 is surrounded and delimited in a clockwise direction by the edge edges 113, 101, 114, 115, 101 and 116.
  • the other surface section 12 of this body 1 is surrounded and bounded in a clockwise direction by the edge edges 123 and 102, the invisible, unmarked edge edge and the edge edges 115, 101 and 116.
  • the contacts 111, 112, 121 and 122 and the conductor 19 can be applied before or even the separation of the bodies.
  • two separate contacts 111 and 112 are generated in each square 150 on the surface section 11 ⁇ of the larger body 1, one of which adjoins a trapezoidal side wall section 131 and the other borders another trapezoidal side wall section 131 of this square 150.
  • two separate contacts 111 and 112 are produced in each square 150, one of which adjoins a trapezoidal side wall section 131 and the other another trapezoidal side wall portion 131 of this square 150 borders
  • a contact-connecting electrical conductor 19 is applied to each of the two side wall sections 131 of each square 150.
  • Head 19 of several different individual bodies advantageously arise simultaneously.
  • the coating of the inner side wall 130 of each transit hole 100 may advantageously be carried out v on the surface portion 11 simultaneously with the formation of contacts 111 and 112, for example, in a single process step in which, using a mask, the contacts 111 and 112 and at the same time the metal layer are produced on the inner side wall 130 of a through hole 100 by vapor deposition or sputtering on of metal.
  • the separation can also be carried out in such a way that isolated bodies are formed which have entire through holes, for example holes 100 according to FIG. 3, through which electrical conductors connect the contacts on mutually facing surface sections of the separated bodies.

Abstract

A method according to which a through hole (100) is made in a body (1) consisting of an electrically insulating material such that said hole connects two surface regions (11, 12) of the body which face in opposite directions. Via at least one section of the side wall (131) of the through hole an electric conductor (19) links an electric contact (111) which is to be connected to a component (2) and situated on a surface region (11) to an electric contact (121) which is to be connected to the mounting surface (3) and situated on the other surface region (12). The invention also relates to novel devices produced by means of the above method.

Description

Beschreibungdescription
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zum elektrischen Anschließen eines Halbleiterbauelements an eine Montageober- fläche und derartige VorrichtungMethod for producing a device for electrically connecting a semiconductor component to a mounting surface and device of this type
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zum Anschließen wenigstens eines elektrischen Kontakts eines Halbleiterbauelements, insbesondere einer Halbleiterdiode an einen elektrischen Kontakt auf einer Montageoberfläche und eine derartige Vorrichtung.The invention relates to a method for producing a device for connecting at least one electrical contact of a semiconductor component, in particular a semiconductor diode, to an electrical contact on a mounting surface, and to such a device.
Halbleiterbauelemente, insbesondere moderne Halbleiterdioden sollen sich zur Oberflächenmontage eignen. Zu diesem Zweck muß jedes Bauelements auf einer Montageoberfläche seitlich anschließbar sein.Semiconductor components, in particular modern semiconductor diodes, are said to be suitable for surface mounting. For this purpose, each component must be connectable laterally on a mounting surface.
Um dies zu ermöglichen, ist beispielsweise eine Vorrichtung zum Anschließen eines elektrischen Kontakts eines Halbleiter- bauelements an einen elektrischen Kontakt auf einer Montageoberfläche vorgeschlagen, die einen beispielsweise quaderför- migen Körper aus im wesentlichen elektrisch isolierendem Material aufweist.In order to make this possible, a device for connecting an electrical contact of a semiconductor component to an electrical contact on a mounting surface is proposed, for example, which has, for example, a cuboid body made of essentially electrically insulating material.
Auf einem Oberflächenabschnitt des Körpers ist ein mit dem Kontakt des Bauelements zu verbindende elektrischer Kontakt angeordnet und auf einem von diesem Oberflächenabschnitt abgekehrten Oberflächenabschnitt ein mit dem Kontakt der Monta- geoberflächezu verbindender elektrischer Kontakte angeordnet.An electrical contact to be connected to the contact of the component is arranged on a surface section of the body and an electrical contact to be connected to the contact of the mounting surface is arranged on a surface section remote from this surface section.
Ein elektrischer Leiter verbindet die auf den beiden Oberflächenabschnitten angeordneten Kontakte über einen die beiden Oberflächenabschnitte miteinander verbindenden Seitenflächen- abschnitt des Körpers miteinander.An electrical conductor connects the contacts arranged on the two surface sections to one another via a side surface section of the body which connects the two surface sections.
Üblicherweise weist ein Halbleiterbauelement zwei oder mehrere elektrische Kontakte auf, deren jeder mit je einem elek- trischen Kontakt auf einer montagefläche zu verbinden ist. Dementsprechend ist bei der vorgeschlagenen Vorrichtung auf dem einen Oberflächenabschnitt pro Kontakt des Bauelements je ein mit diesem Kontakt zu verbindender elektrischer Kontakt des Körpers angeordnet, der durch je einen elektrischen Leiter über einen Seitenflächenabschnitt des Körpers mit je einem auf dem anderen Oberflächenabschnitt angeordneten und mit je einem Kontakt auf der Montageoberfläche zu verbindenden elektrischen Kontakt des Körpers verbunden ist.A semiconductor component usually has two or more electrical contacts, each of which has an electrical contact. electrical contact on a mounting surface. Correspondingly, in the proposed device, one electrical contact of the body to be connected to this contact is arranged on the one surface section per contact of the component, which is provided by an electrical conductor via a side surface section of the body, each with one arranged on the other surface section and with one each Contact on the mounting surface is connected to the body's electrical contact.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zum Anschließen wenigstens eines elektrischen Kontakts eines Halbleiterbauelements, insbesondere einer Halbleiterdiode an einen elektrischen Kontakt auf einer Montageoberfläche bereitzustellen, das einfach und zur Herstellung derartiger Vorrichtungen in großer Stückzahl geeignet ist.The object of the invention is to provide a method for producing a device for connecting at least one electrical contact of a semiconductor component, in particular a semiconductor diode, to an electrical contact on a mounting surface, which is simple and suitable for producing such devices in large numbers.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gelöst, das die im An- spruch 1 angegebenen Merkmale aufweist.This object is achieved by a method which has the features specified in claim 1.
Gemäß dieser Lösung wird ein Körper aus im wesentlichen elektrisch isolierendem Material mit einem Oberflächenabschnitt zum Aufbringen eines mit dem Kontakt des Bauelements zu ver- bindenden elektrischen Kontakts und einem von diesem Oberflächenabschnitt abgekehrten anderen Oberflächenabschnitt zum Aufbringen eines mit dem Kontakt auf der Montageoberfläche zu verbindenden elektrischen Kontakts verwendet. Im Körper wird ein Durchgangsloch erzeugt, das die beiden Oberflächenab- schnitte miteinander verbindet. Mit einem elektrischen Leiter werden über zumindest einen Wandabschnitt einer inneren Seitenwand des Durchgangslochs die auf den beiden Oberflächenabschnitten aufgebrachten elektrischen Kontakte des Körpers miteinander verbunden. Der verbindende elektrische Leiter wird vorzugsweise auf der inneren Seitenwand des Durchgangslochs aufgebracht, vorzugsweise so, daß er die ganze innere Seitenwand bedeckt. .According to this solution, a body of essentially electrically insulating material with a surface section for applying an electrical contact to be connected to the contact of the component and another surface section remote from this surface section for applying an electrical contact to be connected to the contact on the mounting surface used. A through hole is created in the body that connects the two surface sections to one another. The electrical contacts of the body applied to the two surface sections are connected to one another by means of an electrical conductor via at least one wall section of an inner side wall of the through hole. The connecting electrical conductor is preferably applied to the inner side wall of the through hole, preferably so that it covers the entire inner side wall. ,
Das Durchgangsloch kann auf einfache Weise durch Ätzen desThe through hole can be easily by etching the
Körpers hergestellt werden. Vorzugsweise wird das Durchgangsloch durch Ätzen des Körpers mit einem derart anisotrop wirkenden Ätzmittel erzeugt, daß das erzeugte Durchgangsloch von vier aneinandergrenzenden trapezförmigen inneren Seiten- wandabschnitten begrenzt ist, die gemeinsam einen Pyramidenstumpf definieren.Body are made. The through hole is preferably produced by etching the body with an etching agent which acts in such an anisotropic manner that the through hole produced is delimited by four adjoining trapezoidal inner side wall sections which together define a truncated pyramid.
Ein bekanntes anisotrop ätzbares Material ist beispielsweise Silizium, das bei der vorliegenden Erfindung sehr gut für den Körper als Material verwendet werden kann.A known anisotropically etchable material is silicon, for example, which can be used very well for the body as a material in the present invention.
Die den Pyramidenstumpf definierenden inneren Seitenwandab- schnitte des Durchgangslochs sind schräg in einem Winkel zu einem Oberflächenabschnitt des Körpers derart angeordnet, daß sie bei Draufsicht auf diesen Oberflächenabschnitt sichtbar sind. Dies bietet den Vorteil, daß der elektrische Kontakt auf diesem Oberflächenabschnitt und zumindest ein Teil des verbindenden Leiters sehr leicht gleichzeitig derart erzeugt werden können, daß dieser Kontakt mit dem Leiter verbunden ist.The inner side wall sections of the through hole defining the truncated pyramid are arranged obliquely at an angle to a surface section of the body in such a way that they are visible when viewed from above on this surface section. This offers the advantage that the electrical contact on this surface section and at least part of the connecting conductor can be produced very easily at the same time in such a way that this contact is connected to the conductor.
Beispielsweise können dieser Kontakt und dieser Leiter durch gleichzeitiges Bedampfen oder Besputtern des Oberflächenab- schnitts und eines sichtbaren Seitenwandabschnitts des Durch- gangslochs mit Metall hergestellt werden. Dabei kann ohne zusätzliche Maßnahmen die aus allen Seitenwandabschnitten bestehende ganze innere Seitenwand des Durchgangslochs metallbeschichtet werden.For example, this contact and this conductor can be produced by simultaneous vapor deposition or sputtering of the surface section and a visible side wall section of the through hole with metal. The entire inner side wall of the through hole, which consists of all side wall sections, can be metal-coated without additional measures.
Der Kontakt auf dem anderen Oberflächenabschnitt kann vorteilhafterweise so erzeugt werden, daß dieser Kontakt mit dem elektrischen Leiter verbunden ist. Beispielsweise wird der andere Oberflächenabschnitt mit Metall bedampft oder besput- tert, wobei lediglich darauf zu achten ist, daß die so aufgebrachte Metallschicht und eine auf eine die innere Seitenwand des Durchgangslochs bereits aufgebrachte Metallschicht in Kontakt miteinander kommen, beispielsweise einfach durch Zusammenwachsen.The contact on the other surface section can advantageously be produced in such a way that this contact is connected to the electrical conductor. For example, the other surface section vapor-coated or sputtered with metal, it only being necessary to ensure that the metal layer applied in this way and a metal layer already applied to the inner side wall of the through hole come into contact with one another, for example simply by growing together.
Das Verfahren zur gleichzeitigen Herstellung eines elektrischen Kontakts auf einem Oberflächenabschnitt und des verbin- denden Leiters ist nicht auf pyramidenstumpfförmige Durch- gangslöcher beschränkt, sondern prinzipiell bei jedem beliebigen Durchgangsloch anwendbar.The method for simultaneously making an electrical contact on a surface section and the connecting conductor is not restricted to truncated pyramid-shaped through holes, but can in principle be used with any through hole.
Gemäß einer besonders vorteilhaften Weiterbildung des erfin- dungsgemäßen Verfahrens werden der Körper in Richtung von einem Oberflächenabschnitt zum anderen Oberflächenabschnitt durchtrennt.According to a particularly advantageous development of the method according to the invention, the body is severed in the direction from one surface section to the other surface section.
Diese Weiterbildung ist die Grundlage für die Herstellung nicht nur einer Vorrichtung zum Anschließen eines Kontakts eines Halbleiterbauelements an einen Kontakt einer Montageoberfläche, sondern für die im wesentlichen gleichzeitige parallele Herstellung solcher Vorrichtungen in großen Stückzahlen, wobei darüberhinaus der Vorteil besteht, daß diese Vor- richtungen die Halbleitebauelemente in einem Parallelprozeß aufgesetzt bekommen können.This development is the basis for the production not only of a device for connecting a contact of a semiconductor component to a contact of a mounting surface, but for the essentially simultaneous parallel production of such devices in large quantities, with the additional advantage that these devices are the Can get semiconductor devices placed in a parallel process.
So können beispielsweise von einem größeren Körper, beispielsweise eine Scheibe aus Silizium oder einem anderen Halbleitermaterial, in welchem eine Vielzahl von Durchgangslöchern erzeugt worden sind, durch mehrfaches Durchtrennen dieses Körpers in Richtung von einem Oberflächenabschnitt zum anderen Oberflächenabschnitt dieses Körpers im wesentlichen gleichzeitig viele einzelne Vorrichtungen erzeugt werden, de- ren jede zumindest ein Durchgangsloch oder einen innerenFor example, from a larger body, for example a wafer made of silicon or another semiconductor material, in which a multiplicity of through-holes have been produced, by severing this body several times in the direction from one surface section to the other surface section of this body, essentially many individual devices can be produced at the same time each with at least one through hole or an inner one
Wandabschnitt eines solchen Lochs aufweist, in oder über dem ein elektrischer Leiter angeordnet ist, der zwei elektrische Kontakte miteinander verbindet, die auf voneinander abgekehrten Oberflächenabschnitten dieser Vorrichtung angeordnet sind.Wall portion of such a hole, in or above which an electrical conductor is arranged, the two electrical Connects contacts that are arranged on mutually facing surface portions of this device.
Die Halbleiterbauelemente, die über einzelne Vorrichtungen elektrisch an Montageoberflächen anzuschließen sind, können bereits vor der Durchtrennung des größeren Körpers zur Vereinzelung der Vorrichtungen auf diesem Körper an die zugeordneten Kontakte dieses Körpers angeschlossen werden, so daß nach der Durchtrennung des so bestückten Körpers eine Vielzahl bereits kontaktfähiger Bauelemente zur Verfügung steht, deren jedes unmittelbar elektrisch an eine Montageoberfläche angeschlossen werden kann. Zusätzliche Arbeitsschritte nach dem Durchtrennen des Körpers in die einzelnen Vorrichtungen oder kontaktfähigen Bauelemente sind vorteilhafterweise nicht erforderlich.The semiconductor components, which are to be electrically connected to mounting surfaces via individual devices, can be connected to the associated contacts of this body even before the larger body is separated to separate the devices on this body, so that a large number of contacts are already made after the severed body Components are available, each of which can be directly electrically connected to a mounting surface. Additional work steps after severing the body into the individual devices or contactable components are advantageously not required.
Bedeckt ein elektrischer Leiter die ganze innere Seitenwand eines Durchgangslochs, und wird der Körper so durchtrennt, daß auch dieses Durchgangsloch zumindest einmal durchtrennt wird, so können vorteilhafterweise aus einem elektrischen Leiter zwei oder mehr Leiter erzeugt werden, deren jeder zwei Kontakte einer vereinzelten Vorrichtung miteinander verbindet.If an electrical conductor covers the entire inner side wall of a through hole, and the body is severed in such a way that this through hole is also severed at least once, two or more conductors can advantageously be produced from an electrical conductor, each of which connects two contacts of a single device to one another .
Durch die Erfindung ist generell eine neuartige Vorrichtung zum Anschließen wenigstens eines elektrischen Kontakts eines Halbleiterbauelements an einen elektrischen Kontakt auf einer Montageoberfläche bereitgestellt, die aufweist: einen Körper aus im wesentlichen elektrisch isolierendem Material mitThe invention generally provides a novel device for connecting at least one electrical contact of a semiconductor component to an electrical contact on a mounting surface, which has: a body made of essentially electrically insulating material with
- einem Oberflächenabschnitt, auf dem ein mit dem Kontakt des Bauelements zu verbindender elektrischer Kontakt angeordnet ist, - einem von diesem Oberflächenabschnitt abgekehrten Oberflächenabschnitt, auf dem ein mit dem Kontakt der Montageoberfläche zu verbindender elektrischer Kontakt angeordnet ist, - einem Durchgangsloch, das die beiden Oberflächenabschnitte miteinander verbindet, unda surface section on which an electrical contact to be connected to the contact of the component is arranged, a surface section remote from this surface section on which an electrical contact to be connected to the contact of the mounting surface is arranged, a through hole which connects the two surface sections to one another, and
- einem elektrischen Leiter, der über zumindest einen Seiten- wandabschnitt einer inneren Seitenwand des Durchgangslochs die auf den beiden Oberflächenabschnitten des Körpers aufgebrachten elektrischen Kontakte miteinander verbindet.an electrical conductor which connects the electrical contacts applied to the two surface sections of the body to one another via at least one side wall section of an inner side wall of the through hole.
Der elektrische Leiter ist vorzugsweise an einer inneren Seitenwand des Durchgangslochs befestigt.The electrical conductor is preferably attached to an inner side wall of the through hole.
Bei einer bevorzugten und vorteilhaften Ausgestaltung der Vorrichtung ist das Durchgangsloch von vier aneinandergren- zenden trapezförmigen Seitenwandabschnitten begrenzt, die gemeinsam einen Pyramidenstumpf definieren.In a preferred and advantageous embodiment of the device, the through hole is delimited by four adjoining trapezoidal side wall sections, which together define a truncated pyramid.
Auch ist durch die Erfindung eine neuartige Vorrichtung zum Anschließen wenigstens eines elektrischen Kontakts eines Halbleiterbauelements an einen elektrischen Kontakt auf einer Montageoberfläche geschaffen, die aufweist: einen Körper aus im wesentlichen elektrisch isolierendem Material mitThe invention also provides a novel device for connecting at least one electrical contact of a semiconductor component to an electrical contact on a mounting surface, which has: a body made of essentially electrically insulating material with
- einem Oberflächenabschnitt, auf dem ein mit dem Kontakt des Bauelements zu verbindender Kontakt angeordnet ist,a surface section on which a contact to be connected to the contact of the component is arranged,
- einem von diesem Oberflächenabschnitt abgekehrten Oberflä- chenabschnitt, auf dem ein mit dem Kontakt der Montageoberfläche zu verbindender Kontakt angeordnet ist,a surface section facing away from this surface section, on which a contact to be connected to the contact of the mounting surface is arranged,
- einem im wesentlichen trapezförmigen Seitenflächenabschnitt, der die beiden Oberflächenabschnitte () miteinander verbindet und zwischen zwei zueinander senkrecht verlaufenden Randkanten jedes Oberflächenabschnitts schräg in einem Winkel sowohl zu einem Oberflächenabschnitt als auch zu jeder dieser Randkanten angeordnet ist, unda substantially trapezoidal side surface section which connects the two surface sections (12) to one another and is arranged obliquely at an angle both to a surface section and to each of these edge edges between two mutually perpendicular edge edges of each surface section, and
- einem elektrischen Leiter, der die auf den beiden Oberflächenabschnitten angeordneten Kontakte über den Seitenflächen- abschnitt miteinander verbindet. Eine vorteilhafte Anwendung der Erfindung liegt z.B. bei Halbleiterbauelementen in Form von Leuchtdioden.- An electrical conductor that connects the contacts arranged on the two surface sections to one another via the side surface section. An advantageous application of the invention lies, for example, in semiconductor components in the form of light-emitting diodes.
Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen in der nachfolgen- den Beschreibung beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:The invention is explained in more detail by way of example with reference to the drawings in the following description. Show it:
Figur 1 eine Draufsicht auf einen Oberflächenabschnitt eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,FIG. 1 shows a plan view of a surface section of an exemplary embodiment of a device according to the invention,
Figur 2 die Ansicht der in Figur 1 unteren Seite des Beispiels sowie ein über dem Beispiel angeordnetes Halbleiterbauelement und eine unter dem Beispiel angeordnete Montageoberfläche, undFIG. 2 shows the view of the lower side of the example in FIG. 1, as well as a semiconductor component arranged above the example and a mounting surface arranged below the example, and
Figur 3 eine Draufsicht auf einen ausschnitthaften Oberflächenabschnitt eines größeren Körpers, in welchem Durchgangslöcher ausgebildet sind und aus welchem das Beispiel nach Figur 1 herausgeschnitten werden kann.3 shows a plan view of a cut-out surface section of a larger body, in which through holes are formed and from which the example according to FIG. 1 can be cut out.
Die Figuren sind schematisch und nicht maßstäblich.The figures are schematic and not to scale.
Das in den Figuren 1 und 2 dargestellte Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung dient zum Anschließen eines beispielsweise zwei elektrische Kontakte aufweisenden Halbleiterbauelements an elektrische Kontakte auf einer Montageoberfläche derart, daß jeder Kontakt des Bauelements mitje einem Kontakt der Montageoberfläche verbunden ist.The exemplary embodiment of the device according to the invention shown in FIGS. 1 and 2 serves to connect a semiconductor component, for example having two electrical contacts, to electrical contacts on a mounting surface such that each contact of the component is connected to one contact of the mounting surface.
Das Beispiel weist einen Körper 1 aus im wesentlichen elektrisch isolierendem Material, beispielsweise semiisolierendes Silizium, und zwei voneinander abgekehrte Oberflächenabschnitte 11 und 12 auf, von denen in der Figur 1 nur der Oberflächenabschnitt 11 zu sehen und in Draufsicht darge- stellt ist. Die beiden beispielsweise ebenen Oberflächenabschnitte 11 und 12 sind in der Figur 1 beispielsweise parallel zur Zeichenebene angeordnet, erstrecken sich in der Figur 2 horizontal und senkrecht und zur Zeichenebene und sind im wesentlichen von vier in einem Winkel zueinander und zur Zeichenebene der Figur 1 senkrecht stehenden Seitenflächen 13, 14, 15 und 16 des Körpers 1 umgeben und begrenzt.The example has a body 1 made of essentially electrically insulating material, for example semi-insulating silicon, and two surface sections 11 and 12 facing away from one another, of which only the surface section 11 can be seen in FIG. 1 and is shown in plan view. The two flat surface sections 11 and 12, for example, are arranged parallel to the drawing plane in FIG. 1, extend horizontally and vertically and to the drawing plane in FIG. 2, and are essentially of four side surfaces perpendicular to one another and to the drawing plane of FIG. 1 13, 14, 15 and 16 of the body 1 surrounded and limited.
In der Figur 2 ist die in der Figur 1 unten liegende horizon- tale Seitenfläche 16 in Draufsicht dargestellt.FIG. 2 shows the horizontal side surface 16 lying at the bottom in FIG. 1 in a top view.
Jede Seitenfläche 13, 14, 15 und 16 definiert mit dem einen Oberflächenabschnitt 11 vier im Winkel zueinander verlaufende Randkanten 113, 114, 115 bzw. 116 des Körpers 1. Ähnlich de- finiert jede Seitenfläche 13, 14, 15 und 16 mit dem anderenEach side surface 13, 14, 15 and 16 defines with the one surface section 11 four edge edges 113, 114, 115 and 116 of the body 1 which run at an angle to one another. Similarly, each side surface 13, 14, 15 and 16 defines the other
Oberflächenabschnitt 12 vier im Winkel zueinander verlaufende Randkanten des Körpers 1, von denen in den Figuren 1 und 2 nur die von den Seitenflächen 13, 15 und 16 definierten Kanten 123, 125 und 126 zu sehen sind.Surface section 12 four edge edges of body 1 which run at an angle to one another, of which only the edges 123, 125 and 126 defined by side surfaces 13, 15 and 16 can be seen in FIGS. 1 and 2.
Auf dem Oberflächenabschnitt 11 sind zwei voneinander getrennte elektrische Kontakte 111 und 112 angeordnet, deren jeder mit je einem der beiden Kontakte 21 und 22 des in Figur 2 über dem Abschnitt 11 zu sehenden Bauelements 2 zu verbin- den ist. Beispielsweise ist der Kontakt 111 des Körpers 1 mit dem Kontakt 21 des Bauelements 2 und der Kontakt 112 des Körpers 1 mit dem Kontakt 22 des Bauelements 2 zu verbinden.Two separate electrical contacts 111 and 112 are arranged on the surface section 11, each of which is to be connected to one of the two contacts 21 and 22 of the component 2 seen in FIG. 2 above the section 11. For example, the contact 111 of the body 1 is to be connected to the contact 21 of the component 2 and the contact 112 of the body 1 is to be connected to the contact 22 of the component 2.
Auf dem vom Oberflächenabschnitt 11 abgekehrten anderen Ober- flächenabschnitt 12 sind zwei voneinander getrennte elektrische Kontakte 121 und 122 angeordnet, deren jeder mit je einem der beiden Kontakte 31 und 32 auf der in Figur 2 unter dem Abschnitt 12 zu sehenden Montageoberfläche 3 zu verbinden ist. Beispielsweise ist der Kontakt 121 des Körpers 1 mit dem Kontakt 31 der Montageoberfläche 3 und der Kontakt 122 desArranged on the other surface section 12 facing away from the surface section 11 are two separate electrical contacts 121 and 122, each of which is to be connected to one of the two contacts 31 and 32 on the mounting surface 3 shown in FIG. 2 under section 12. For example, the contact 121 of the body 1 with the contact 31 of the mounting surface 3 and the contact 122 of the
Körpers 1 mit dem Kontakt 32 der Montageoberfläche 3 zu verbinden. Der Körper 1 nach den Figuren 1 und 2 weist beispielsweise zwei im wesentlichen trapezförmige Seitenflächenabschnitte auf, deren jeder die beiden Oberflächenabschnitte 11 und 12 miteinander verbindet und zwischen zwei der im Winkel zueinander verlaufenden Randkanten jedes Oberflächenabschnitts 11 und 12 sowohl schräg in einem Winkel zu jedem Oberflächenabschnitt 11 und 12 als auch zu jeder dieser Randkanten angeordnet ist.To connect body 1 with the contact 32 of the mounting surface 3. The body 1 according to FIGS. 1 and 2 has, for example, two substantially trapezoidal side surface sections, each of which connects the two surface sections 11 and 12 to one another and between two of the angled edge edges of each surface section 11 and 12 both at an angle to each surface section 11 and 12 as well as to each of these marginal edges is arranged.
Ein trapezförmiger Seitenflächenabschnitt ist in der Figur 1 links oben zwischen den im Winkel von beispielsweise 90° zueinander verlaufenden und den Oberflächenabschnitt 11 des Körpers 1 begrenzenden Randkanten 113 und 114 sowie zwischen den zu diesen Randkanten 113 und 114 parallelen und den anderen Oberflächenabschnitt 12 des Körpers 1 begrenzenden Randkanten angeordnet, von denen nur die Randkante 123 (siehe Figur 2), nicht aber die andere sichtbar ist.A trapezoidal side surface section in FIG. 1 is at the top left between the edge edges 113 and 114 which run at an angle of, for example, 90 ° to one another and delimit the surface section 11 of the body 1, and between the edge sections 113 and 114 parallel to these edge edges and the other surface section 12 of the body 1 boundary edges arranged, of which only the edge 123 (see Figure 2), but not the other is visible.
Der andere trapezförmige Seitenflächenabschnitt ist in derThe other trapezoidal side surface section is in the
Figur 1 rechts unten zwischen den im Winkel von beispielsweise 90° zueinander verlaufenden und den Oberflächenabschnitt 11 des Körpers 1 begrenzenden Randkanten 115 und 116 sowie zwischen den zu diesen Randkanten 115 und 116 parallelen und den anderen Oberflächenabschnitt 12 des Körpers 1 begrenzenden Randkanten 125 und 126 angeordnet, die in der Figur 2 sichtbar sind.1 at the bottom right between the edge edges 115 and 116 which run at an angle of, for example, 90 ° to one another and delimit the surface section 11 of the body 1 and between the edge edges 125 and 126 which are parallel to these edge edges 115 and 116 and delimit the other surface section 12 of the body 1 , which are visible in Figure 2.
In der Figur 2 ist eine mit 103 und eine mit 102 bezeichnete bestimmte seitliche Randkante des in der Figur 1 rechts unten angeordneten Seitenflächenabschnitts zu sehen. Die beiden Seitenflächenabschnitte selbst sind sonst in den Figuren 1 und 2 nicht zu sehen, weil sie jeweils mit einem elektrischen Leiter 19, beispielsweise eine Metallschicht, bedeckt sind, von denen einer den links oben angeordneten trapezförmigen Seitenflächenabschnitt bedeckt und die Kontakte 111 und 121 elektrisch miteinander verbindet und der andere den rechts unten angeordneten trapezförmigen Seitenflächenabschnitt bedeckt und die Kontakte 112 und 122 elektrisch miteinander verbindet.FIG. 2 shows a certain lateral edge edge, designated 103 and 102, of the side surface section arranged at the bottom right in FIG. 1. The two side surface sections themselves cannot otherwise be seen in FIGS. 1 and 2 because they are each covered with an electrical conductor 19, for example a metal layer, one of which covers the trapezoidal side surface section arranged at the top left and the contacts 111 and 121 are electrically connected to one another connects and the other the right covered trapezoidal side surface portion below and electrically connects the contacts 112 and 122.
Eine beispielhafte Herstellung des Körpers 1 mit den trapezförmigen Seitenflächenabschnitten sei anhand der Figur 3 beispielhaft näher erläutert.An example of the manufacture of the body 1 with the trapezoidal side surface sections will be explained in more detail with reference to FIG. 3.
Die Figur 3 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielsweise ebenen Oberflächenabschnitt 11 λ eines im Vergleich zum Körper 1 nach den Figuren 1 und 2 bedeutend größeren Körpers 1 der nur ausschnitthaft dargestellt ist und aus dem mehrere Körper 1 nach den Figuren 1 und 2 vereinzelt werden können.FIG. 3 shows a plan view of, for example, a flat surface section 11λ of a body 1 which is significantly larger than the body 1 according to FIGS. 1 and 2, which is only shown in detail and from which several bodies 1 according to FIGS. 1 and 2 can be separated.
Der größere Körper 1 weist einen von dem beispielsweise in der Zeichenebene der Figur 3 liegenden Oberflächenabschnitt 11 λ abgekehrten und in der Figur 3 nicht sichtbaren anderen Oberflächenabschnitt auf, wobei ein Abstand zwischen dem einen Oberflächenabschnitt 11 Λ und diesem anderen Oberflächen- abschnitt den Abstand t (siehe Figur 2) zwischen dem Oberflächenabschnitt 11 und anderen Oberflächenabschnitt 12 jedes aus dem größeren Körper 1 λ vereinzelten Körpers 1 nach den Figuren 1 und 2 bestimmt.The larger body 1 has a λ of the past, for example, in the drawing plane of figure 3 the surface portion 11 facing away from and not visible in the figure 3 the other surface portion, wherein a distance between the one surface portion 11 Λ and said other surface portion t the distance ( see Figure 2) between the surface section 11 and other surface section 12 each of the larger body 1 λ isolated body 1 according to Figures 1 and 2 determined.
Das Vereinzeln erfolge beispielsweise durch eine Durchtrennung des größeren Körpers 1 x senkrecht zum Oberflächenabschnitt 11 Λ entlang parallel zum Oberflächenabschnitt 11 verlaufender gerader Linien 51 und 52, die sich schneiden und Vierecke zwischen sich einschließen.The separation is carried out, for example, by severing the larger body 1 x perpendicular to the surface section 11 Λ along straight lines 51 and 52 running parallel to the surface section 11, which intersect and enclose quadrilaterals between them.
Jedes von vier Abschnitten der Linien 51 und 52 umrandete Viereck definiert je einen zu vereinzelnden Körper 1 nach den Figuren 1 und 2, wobei diese Abschnitte zugleich sowohl die den einen Oberflächenabschnitt 11 dieses Körpers 1 begrenzen- den und in den Figuren 1 und 2 zu sehenden Randkanten 113,Each quadrilateral bordered by four sections of lines 51 and 52 defines a body 1 to be separated according to FIGS. 1 and 2, these sections simultaneously defining both the surface section 11 of this body 1 and seen in FIGS. 1 and 2 Edge 113,
114, 115 und 116 als auch die zu diesen Randkanten parallelen und den anderen Oberflächenabschnitt 12 des Körpers 1 begren- zenden Randkanten definieren, von denen in den Figuren 1 und 2 nur die Kanten 123, 125 und 126 sichtbar sind.114, 115 and 116 as well as the parallel to these marginal edges and the other surface section 12 of the body 1 Define edge edges, of which only the edges 123, 125 and 126 are visible in FIGS. 1 and 2.
Beispielsweise verlaufen in der Figur 3 die Linien 51 hori- zontal und werden von den Linien 52 vertikal geschnitten, wodurch diese Linien 51 und 52 Rechtecke, speziell Quadrate 150 einschließen, deren jedes je einen Körper 1 nach den Figuren 1 und 2 definiert.For example, in FIG. 3 the lines 51 run horizontally and are cut vertically by the lines 52, as a result of which these lines 51 and 52 enclose rectangles, especially squares 150, each of which defines a body 1 according to FIGS. 1 and 2.
In der Figur 3 ist der besseren Übersichtlichkeit der Darstellung wegen nur ein solches Quadrat 150 ganz dargestellt. An dieses Quadrat 150 angrenzende Quadrate 150 sind in der Figur 3 nur noch bruchstückhaft dargestellt. Das ganz dargestellte Quadrat 150 steht auch stellvertretend für alle übri- gen etwaigen Quadrate, die nicht dargestellt sind.For the sake of clarity of illustration, only one such square 150 is shown in full in FIG. Squares 150 adjacent to this square 150 are only shown in fragments in FIG. The square 150 shown completely also represents all other possible squares that are not shown.
Das ganz dargestellte Quadrat 150 ist ähnlich wie die übrigen Quadrate von Abschnitten 511 und 512 benachbarter horizontaler Linien 51 und Abschnitten 521 und 522 benachbarter verti- kaier Linien 52 umrandet.Similar to the other squares, the square 150 shown is surrounded by sections 511 and 512 of adjacent horizontal lines 51 and sections 521 and 522 of adjacent vertical lines 52.
Von den Randkanten 113, 114, 115 und 116, die den Oberflächenabschnitt 11 des Körpers 1 nach den Figuren 1 und 2 begrenzen, definiert bei diesem ganz dargestellten Quadrat 150 beispielsweise der Abschnitt 511 der Linie 51 die Randkante 113, der Abschnitt 521 der Linie 52 die Randkante 114, der Abschnitt 512 der Linie 51 die Randkante 115 und der Abschnitt 522 der Linie 52 die Randkante 116.Of the edge edges 113, 114, 115 and 116, which delimit the surface section 11 of the body 1 according to FIGS. 1 and 2, in this square 150 shown completely, for example the section 511 of the line 51 defines the edge edge 113, the section 521 of the line 52 the edge 114, the section 512 of the line 51 the edge 115 and the section 522 of the line 52 the edge 116.
Der größere Körper 1 λ bestehe beispielsweise aus einer Siliziumscheibe mit einer Kristallorientierung derart, daß beispielsweise der Oberflächenabschnitt 11 x dieses Körpers lv anisotrop geätzt werden kann.The larger λ body 1 consists for example of a silicon wafer having a crystal orientation such that, for example, the surface portion 11 of this body can be l x v etched anisotropically.
Wird beispielsweise der Oberflächenabschnitt 11 λ mit einer nicht dargestellten Ätzmaske abgedeckt, die beispielsweise Öffnungen derart aufweist, daß einander diagonal gegenüber- liegende Ecken jedes von den Linien 51 bis 52 definierten Quadrats 150 oder generell Vierecks jeweils in einem Zentrum je einer solchen Öffnung liegen, entstehen an diesen Ecken beim anisotropen Ätzen von selbst rechteckige oder quadrati- sehe Löcher im Oberflächenabschnitt 11 x, die sich senkrecht von diesem Oberflächenabschnitt 11 x in Richtung zum anderen Oberflächenabschnitt des größeren Körpers 1 x pyramidenstumpf- förmig verjüngend in die Tiefe erstrecken.For example, if the surface portion 11 with an unillustrated λ etching mask is covered, for example, having openings such that diagonally countertransference lying corners of each square 150 defined by lines 51 to 52 or generally quadrilaterals in each case in the center of such an opening, at these corners during rectangular anisotropic etching even rectangular or square holes in the surface section 11x , which are perpendicular to it Extend surface section 11 x in the direction of the other surface section of the larger body 1 x truncated pyramid-shaped in depth.
Nach ausreichend langem Ätzvorgang ist an jeder dieser Ecken je ein sich durchgehend vom einen Oberflächenabschnitt 11 Λ bis zum anderen Oberflächenabschnitt des größeren Körpers 1 erstreckendes Durchgangsloch 100 entstanden, das im einen Oberflächenabschnitt 11 eine viereckige Lochöffnung 110 mit vier Öffnungsseiten 101, im anderen Oberflächenabschnitt eine relativ zu dieser Lochöffnung 110 kleinere andere viereckige Lochöffnung 120 mit vier Öffnungsseiten 102 und eine die beiden Lochöffnungen 110 und 120 miteinander verbindende innere Seitenwand 130 aufweist.After a sufficiently long etching process, a through hole 100, which extends continuously from one surface section 11 Λ to the other surface section of the larger body 1, has formed at each of these corners, which has a square hole opening 110 with four opening sides 101 in one surface section 11 and a relative one in the other surface section to this hole opening 110 has other smaller square hole openings 120 with four opening sides 102 and an inner side wall 130 connecting the two hole openings 110 and 120.
Die innere Seitenwand 130 jedes Durchgangslochs 100 weist vier in einem Winkel zueinander und schräg zum einen Oberflächenabschnitt 11 x und anderen Oberflächenabschnitt des größeren Körpers 1 λ stehende trapezförmige Seitenwandabschnitte 131 auf, deren jeder je eine Öffnungsseite 101 der Lochöffnung 110 im einen Oberflächenabschnitt 11 und je eine Öffnungsseite 102 der Lochöffnung 120 im anderen Oberflächenabschnitt des größeren Körpers lx miteinander verbindet. Diese beiden Öffnungsseiten 101 und 102 bilden die zueinander pa- rallelen Seiten der Trapezform, wobei die Öffnungsseite 102 kürzer als die Öffnungsseite 101 ist.The inner side wall 130 of each through hole 100 has four at an angle to each other and obliquely to a surface portion 11 x and other surface portion of the larger body 1 λ standing trapezoidal side wall portions 131 on each of which each have an opening side 101 of the hole opening 110 in a surface portion 11 and each have a Connects opening side 102 of the hole opening 120 in the other surface section of the larger body l x . These two opening sides 101 and 102 form the mutually parallel sides of the trapezoidal shape, the opening side 102 being shorter than the opening side 101.
Entlang jeder eine Ecke der Lochöffnung 110 und eine Ecke der Lochöffnung 120 verbindenden Linie 103 stoßen zwei trapezför- mige Seitenwandabschnitte 131 aneinander. Jeder trapezförmige Seitenwandabschnitt 131 ist von zwei solchen Linien 103 be- grenzt, welche die beiden zueinander schrägen Seiten der Trapezform bilden.Two trapezoidal side wall sections 131 abut along each line 103 connecting a corner of the hole opening 110 and a corner of the hole opening 120. Each trapezoidal side wall section 131 is characterized by two such lines 103 borders, which form the two mutually oblique sides of the trapezoidal shape.
Für die Herstellung vereinzelter Körper 1 nach den Figuren 1 und 2 ist es zweckmäßig, Durchgangslöcher 100 mit jeweils quadratischen Lochöffnungen 110 und 120 herzustellen, und diese quadratischen Lochöffnungen 110 und 120 und die Linien 51 und 52 auf dem Oberflächenabschnitt 11 x relativ zueinander so anzuordnen, daß eine der beiden Linien 51 und 52, bei- spielsweise die horizontale Linie 51, zwei Ecken der quadratischen Lochöffnung 110 im Oberflächenabschnitt 11 v diagonal verbindet und die andere Linie, im Beispiel die vertikale Linie 52, die beiden übrigen Ecken dieser Lochöffnung 110 diagonal verbindet.For the production of individual bodies 1 according to FIGS. 1 and 2, it is expedient to produce through holes 100 each with square hole openings 110 and 120, and to arrange these square hole openings 110 and 120 and the lines 51 and 52 on the surface section 11 x relative to one another, that one of the two lines 51 and 52, for example the horizontal line 51, connects two corners of the square hole opening 110 in the surface section 11 v diagonally and the other line, in the example the vertical line 52, connects the two other corners of this hole opening 110 diagonally .
In bezug auf das ganz dargestellte Quadrat 150 ist ein derartiges Durchgangsloch 100 jeweils an der linken oberen Ecke und an der rechten unteren Ecke dieses Quadrats 150 ausgebildet.With respect to the square 150 shown, such a through hole 100 is formed at the upper left corner and at the lower right corner of this square 150, respectively.
Jedes dieser beiden Durchgangslöcher 100 weist je eine im Quadrat 150 liegende Öffnungsseite 101 der quadratischen Lochöffnung 110 des einen Oberflächenabschnitts 11 λ auf, die schräg im Winkel von 45° zu jeder der beiden Linien 51 und 52 verläuft und diese beiden Linien 51 und 52 miteinander verbindet, und eine ebenfalls im Quadrat 150 liegende Öffnungsseite 102 der quadratischen Lochöffnung 120 des anderen Oberflächenabschnitts auf, die parallel zu dieser Öffnungsseite 101 ist.Each of these two through holes 100 each has an opening side 101 of the square hole opening 110 of the one surface section 11 λ lying in square 150, which extends obliquely at an angle of 45 ° to each of the two lines 51 and 52 and connects these two lines 51 and 52 to one another , and an opening side 102 of the square hole opening 120 of the other surface section which is also located in square 150 and which is parallel to this opening side 101.
Diese beiden Öffnungsseiten 101 und 102 bilden zusammen mit zwei Linien 103, zwischen denen diese beiden ÖffnungsseitenThese two opening sides 101 and 102 form together with two lines 103, between which these two opening sides
101 und 102 liegen und welche diese Öffnungsseiten 101 und101 and 102 and which these opening sides 101 and
102 miteinander verbinden einen trapezförmigen Seitenwandab- schnitt 131, der schräg zu den Linien 51 und 52 und schräg in einem Winkel sowohl zum einen Oberflächenabschnitt 11 als auch anderen Oberflächenabschnitt angeordnet ist. Wird der größere Körper 1 λ entlang der Linien 51 und 52 vertikal zum Oberflächenabschnitt 11 λ durchtrennt, entsteht pro Quadrat 150 je ein vereinzelter Körper, der auf einander diagonal gegenüberliegenden Ecken des Quadrats 150 je einen trapezförmigen Seitenwandabschnitt 131 aufweist, der schräg zu Randkanten dieses Körpers und schräg in einem Winkel zu voneinander abgekehrten Oberflächenabschnitten dieses Körpers angeordnet ist.102 interconnect a trapezoidal side wall section 131, which is arranged obliquely to the lines 51 and 52 and obliquely at an angle both to the one surface section 11 and to another surface section. If the larger body 1 λ is cut along the lines 51 and 52 vertically to the surface section 11 λ , a separate body is created for each square 150, which has a trapezoidal side wall section 131 on diagonally opposite corners of the square 150, which is oblique to the edges of this body and is arranged obliquely at an angle to surface portions of this body facing away from one another.
Insbesondere entsteht aus dem in der Figur 3 ganz dargestellten zentralen Quadrat 150 der in den Figuren 1 und 2 dargestellte Körper 1 ohne Kontakte 111, 112, 121 und 122 und die Leiter 19, bei dem der linke obere trapezförmige Seitenflä- chenabschnitt in Figur 1 durch den trapezförmigen Seitenwandabschnitt 131 in der linken oberen Ecke des Quadrats 150 und der rechte untere trapezförmige Seitenflächenabschnitt in Figur 1 durch den trapezförmigen Seitenwandabschnitt 131 in der rechten unteren Ecke des Quadrats 150 gebildet ist.In particular, the central square 150 shown in FIG. 3 results in the body 1 shown in FIGS. 1 and 2 without contacts 111, 112, 121 and 122 and the conductor 19 in which the left upper trapezoidal side surface section in FIG the trapezoidal side wall section 131 in the upper left corner of the square 150 and the lower right trapezoidal side surface section in FIG. 1 is formed by the trapezoidal side wall section 131 in the lower right corner of the square 150.
Die Öffnungsseite 101 des trapezförmigen Seitenwandabschnitts 131 in der linken oberen Ecke des Quadrats 150 bildet eine zwischen den zwei zueinander senkrecht verlaufenden Randkanten 113 und 114 des Oberflächenabschnitts 11 dieses Körpers 1 schräg im Winkel von 45° verlaufende zu diesen Kanten 113 und 114 und diese beiden Kanten 113 und 114 miteinander verbindende Randkante des Oberflächenabschnitts 11.The opening side 101 of the trapezoidal side wall section 131 in the upper left corner of the square 150 forms between the two mutually perpendicular edge edges 113 and 114 of the surface section 11 of this body 1, at an angle of 45 ° to these edges 113 and 114 and these two edges 113 and 114 connecting edge of surface section 11.
Die Öffnungsseite 102 des trapezförmigen Seitenwandabschnitts 131 in der linken oberen Ecke des Quadrats 150 bildet eine zwischen der Randkante 123 und der dazu senkrecht verlaufenden nicht sichtbaren Randkante des anderen Oberflächenabschnitts 12 dieses Körpers 1 schräg im Winkel von 45° zu diesen Kanten verlaufende und diese beiden Kanten miteinander verbindende Randkante des anderen Oberflächenabschnitts 12. Die Öffnungsseite 101 des trapezförmigen Seitenwandabschnitts 131 in der rechten unteren Ecke des Quadrats 150 bildet eine zwischen den zwei zueinander senkrecht verlaufenden Randkanten 115 und 116 des Oberflächenabschnitts 11 dieses Körpers 1 schräg im Winkel von 45° zu diesen Kanten 115 und 116 verlaufende und diese beiden Kanten 115 und 116 miteinander verbindende Randkante des Oberflächenabschnitts 11.The opening side 102 of the trapezoidal side wall section 131 in the upper left corner of the square 150 forms between the edge 123 and the non-visible edge edge of the other surface section 12 of this body 1, which runs obliquely at an angle of 45 ° to these edges and these two edges interconnecting edge of the other surface section 12. The opening side 101 of the trapezoidal side wall section 131 in the lower right corner of the square 150 forms between the two mutually perpendicular edge edges 115 and 116 of the surface section 11 of this body 1, and these two edges extend obliquely at an angle of 45 ° to these edges 115 and 116 115 and 116 connecting edge of surface section 11.
Die Öffnungsseite 102 des trapezförmigen Seitenwandabschnitts 131 in der rechten unteren Ecke des Quadrats 150 bildet eine zwischen den zwei zueinander senkrecht verlaufenden Randkanten 125 und 126 des anderen Oberflächenabschnitts 12 dieses Körpers 1 schräg im Winkel von 45° zu diesen Kanten 125 und 126 verlaufende und diese beiden Kanten 125 und 126 miteinan- der verbindende Randkante des anderen Oberflächenabschnitts 12.The opening side 102 of the trapezoidal side wall section 131 in the lower right corner of the square 150 forms one between the two mutually perpendicular edge edges 125 and 126 of the other surface section 12 of this body 1, which extends at an angle of 45 ° to these edges 125 and 126 and these two Edges 125 and 126 connecting edge of the other surface section 12.
Demgemäß ist der Oberflächenabschnitt 11 des Körpers 1 nach Figur 1 im Uhrzeigersinn von den Randkanten 113, 101, 114, 115, 101 und 116 umgeben und begrenzt. Der andere Oberflächenabschnitt 12 diese Körpers 1 ist im Uhrzeigersinn von den Randkanten 123 und 102, der nicht sichtbaren unbezeichneten Randkante und den Randkanten 115, 101 und 116 umgeben und begrenzt .Accordingly, the surface section 11 of the body 1 according to FIG. 1 is surrounded and delimited in a clockwise direction by the edge edges 113, 101, 114, 115, 101 and 116. The other surface section 12 of this body 1 is surrounded and bounded in a clockwise direction by the edge edges 123 and 102, the invisible, unmarked edge edge and the edge edges 115, 101 and 116.
Das Aufbringen der Kontakte 111, 112, 121 und 122 und der Leiter 19 kann vor oder auch der Vereinzelung der Körper erfolgen.The contacts 111, 112, 121 and 122 and the conductor 19 can be applied before or even the separation of the bodies.
Beispielsweise werden auf dem Oberflächenabschnitt 11 λ des größeren Körpers l in jedem Quadrat 150 je zwei voneinander getrennte Kontakte 111 und 112 erzeugt, von denen einer an einen trapezförmigen Seitenwandabschnitt 131 und der andere an einen anderen trapezförmigen Seitenwandabschnitt 131 die- ses Quadrats 150 grenzt. Ebenso werden vor oder nach der Erzeugung der Kontakte 111 und 112 auf dem Oberflächenabschnitt 11 x des größeren Körpers lλ in jedem Quadrat 150 je zwei voneinander getrennte Kontakte 111 und 112 erzeugt, von denen einer an einen trapezförmi- gen Seitenwandabschnitt 131 und der andere an einen anderen trapezförmigen Seitenwandabschnitt 131 dieses Quadrats 150 grenztFor example, two separate contacts 111 and 112 are generated in each square 150 on the surface section 11λ of the larger body 1, one of which adjoins a trapezoidal side wall section 131 and the other borders another trapezoidal side wall section 131 of this square 150. Likewise, before or after the creation of the contacts 111 and 112 on the surface section 11 x of the larger body l λ , two separate contacts 111 and 112 are produced in each square 150, one of which adjoins a trapezoidal side wall section 131 and the other another trapezoidal side wall portion 131 of this square 150 borders
Auf die beiden Seitenwandabschnitte 131 jedes Quadrats 150 wird je ein kontakteverbindender elektrischer Leiter 19 aufgebracht.A contact-connecting electrical conductor 19 is applied to each of the two side wall sections 131 of each square 150.
Es ist vorteilhaft, zum Aufbringen der Leiter 19 die innere Seitenwand 130 jedes Durchgangslochs 100 ganz mit einer Me- tallschicht zu bedecken, da dann bei der Vereinzelung dieTo apply the conductors 19, it is advantageous to completely cover the inner side wall 130 of each through hole 100 with a metal layer, since then the individual layers are separated
Leiter 19 mehrerer verschiedener vereinzelter Körper vorteilhafterweise gleichzeitig entstehen.Head 19 of several different individual bodies advantageously arise simultaneously.
Das Beschichten der inneren Seitenwand 130 jedes Durchgangs- lochs 100 kann vorteilhafterweise gleichzeitig mit der Erzeugung der Kontakte 111 und 112 auf dem Oberflächenabschnitt 11 v erfolgen, beispielsweise in einem einzigen Verfahrensschritt, bei dem unter Verwendung einer Maske die Kontakte 111 und 112 und gleichzeitig die Metallschicht auf der inne- ren Seitenwand 130 eines Durchgangslochs 100 durch Aufdampfen oder Aufsputtern von Metall erzeugt werden.The coating of the inner side wall 130 of each transit hole 100 may advantageously be carried out v on the surface portion 11 simultaneously with the formation of contacts 111 and 112, for example, in a single process step in which, using a mask, the contacts 111 and 112 and at the same time the metal layer are produced on the inner side wall 130 of a through hole 100 by vapor deposition or sputtering on of metal.
Das Vereinzeln kann auch so vorgenommen werden, daß vereinzelte Körper entstehen, die ganze Durchgangslöcher, bei- spielsweise Löcher 100 nach Figur 3 aufweisen, durch die elektrische Leiter führen, die Kontakte auf voneinander abgekehrten Oberflächenabschnitten der vereinzelten Körper miteinander verbinden. The separation can also be carried out in such a way that isolated bodies are formed which have entire through holes, for example holes 100 according to FIG. 3, through which electrical conductors connect the contacts on mutually facing surface sections of the separated bodies.

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zum Anschließen wenigstens eines elektrischen Kontakts (21, 22) eines Halbleiterbauelements (2), insbesondere einer Halbleiterdiode an einen elektrischen Kontakt (31, 32) auf einer Montageoberfläche (3), mit den Schritten:1. A method for producing a device for connecting at least one electrical contact (21, 22) of a semiconductor component (2), in particular a semiconductor diode, to an electrical contact (31, 32) on a mounting surface (3), comprising the steps:
- Verwendung eines Körpers (1) aus im wesentlichen elektrisch isolierendem Material mit - einem Oberflächenabschnitt (11) zum Aufbringen eines mit dem Kontakt (21, 22) des Bauelements (2) zu verbindenden elektrischen Kontakts (111, 112) und- Use of a body (1) made of essentially electrically insulating material with - a surface section (11) for applying an electrical contact (111, 112) to be connected to the contact (21, 22) of the component (2) and
- einem von diesem Oberflächenabschnitt (11) abgekehrten anderen Oberflächenabschnitt (12) zum Aufbringen eines mit dem Kontakt (31, 32) auf der Montageoberfläche (3) zu verbindenden elektrischen Kontakts (121, 122) ,- Another surface section (12) facing away from this surface section (11) for applying an electrical contact (121, 122) to be connected to the contact (31, 32) on the mounting surface (3),
- Erzeugen im Körper (1),- produce in the body (1),
- ein Durchgangsloch (100), das die beiden Oberflächenabschnitte (11, 12) miteinander verbindet und - Verbinden mit einem elektrischen Leiter (19)- a through hole (100) which connects the two surface sections (11, 12) to each other and - connecting to an electrical conductor (19)
- über zumindest einen Seitenwandabschnitt (131) einer inneren Seitenwand (130) des Durchgangslochs (100)- via at least one side wall section (131) of an inner side wall (130) of the through hole (100)
- die auf den beiden Oberflächenabschnitten (11, 12) des Körpers (1) aufgebrachten elektrischen Kontakte (111, 121; 112, 122) .- The electrical contacts (111, 121; 112, 122) applied to the two surface sections (11, 12) of the body (1).
2. Verfahren nach Anspruch 1, mit dem Schritt:2. The method according to claim 1, comprising the step:
- Aufbringen des verbindenden elektrischen Leiters (19) auf der inneren Seitenwand (130) des Durchgangslochs (100) .- Applying the connecting electrical conductor (19) on the inner side wall (130) of the through hole (100).
3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Durchgangsloch (100) durch Ätzen des Körpers (1) mit einem derart anisotrop wirkenden Ätzmittel erzeugt wird, daß das erzeugte Durchgangsloch (100) von vier aneinandergrenzenden trapezförmigen Sei- tenwandabschnitten (131) begrenzt ist, die gemeinsam einen Pyramidenstumpf definieren. 3. The method of claim 2, wherein the through hole (100) is produced by etching the body (1) with an anisotropically acting etchant such that the through hole (100) is delimited by four adjoining trapezoidal side wall sections (131) which together define a truncated pyramid.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Kontakt (111, 112; 121, 122) auf einem der beiden Oberflächenabschnitte (11, 12) und zumindest ein Teil des verbindenden Leiters (19) gleichzeitig derart erzeugt werden, daß dieser Kontakt (111, 112; 121, 122) mit dem Leiter (19) verbunden ist, und wobei danach der Kontakt (112, 122; 122, 121) auf dem anderen Oberflächenabschnitt (12, 11) so erzeugt wird, daß dieser Kontakt (112, 122; 122, 121) mit dem Leiter (19) verbunden ist.4. The method according to any one of the preceding claims, wherein the contact (111, 112; 121, 122) on one of the two surface sections (11, 12) and at least part of the connecting conductor (19) are simultaneously produced in such a way that this contact ( 111, 112; 121, 122) is connected to the conductor (19), and the contact (112, 122; 122, 121) is then produced on the other surface section (12, 11) such that this contact (112, 122; 122, 121) is connected to the conductor (19).
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Körper (1) zusammen mit dem Durchgangsloch (100) in Richtung von einem Oberflächenabschnitt (11, 12) zum anderen Oberflächenabschnitt (12, 11) durchtrennt wird.5. The method according to any one of the preceding claims, wherein the body (1) is severed together with the through hole (100) in the direction from one surface section (11, 12) to the other surface section (12, 11).
6. Vorrichtung zum Anschließen wenigstens eines elektrischen Kontakts (21, 22) eines Halbleiterbauelements (2) an einen elektrischen Kontakt (31, 32) auf einer Montageoberfläche (3) , mit einem Körper (1) aus im wesentlichen elektrisch isolierendem Material, der6. Device for connecting at least one electrical contact (21, 22) of a semiconductor component (2) to an electrical contact (31, 32) on a mounting surface (3), with a body (1) made of essentially electrically insulating material, the
- einen Oberflächenabschnitt (11) aufweist, auf dem ein mit dem Kontakt (21, 22) des Bauelements (2) zu verbindender elektrischer Kontakt (111, 112) angeordnet ist, - einen von diesem Oberflächenabschnitt (11) abgekehrten- has a surface section (11) on which an electrical contact (111, 112) to be connected to the contact (21, 22) of the component (2) is arranged, - one facing away from this surface section (11)
Oberflächenabschnitt (12) aufweist, auf dem ein mit dem Kontakt (31, 32) der Montageoberfläche (3) zu verbindender elektrischer Kontakt (121, 122) angeordnet ist,Surface section (12) on which an electrical contact (121, 122) to be connected to the contact (31, 32) of the mounting surface (3) is arranged,
- ein Durchgangsloch (100) aufweist, das die beiden Oberflä- chenabschnitte (11, 12) miteinander verbindet, und- has a through hole (100) which connects the two surface sections (11, 12) to one another, and
- einen elektrischen Leiter (19) aufweist, der die auf den beiden Oberflächenabschnitten (11, 12) des Körpers (1) angeordneten elektrischen Kontakte (111, 121; 112, 122) über zumindest einen Seitenwandabschnitt (131) einer inneren Seiten- wand (130) des Durchgangslochs (100) miteinander verbindet. - has an electrical conductor (19) which has the electrical contacts (111, 121; 112, 122) arranged on the two surface sections (11, 12) of the body (1) via at least one side wall section (131) of an inner side wall ( 130) of the through hole (100).
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei der elektrische Leiter (19) an der inneren Seitenwand (130) des Durchgangslochs (100) befestigt ist.7. The apparatus of claim 6, wherein the electrical conductor (19) on the inner side wall (130) of the through hole (100) is fixed.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, wobei das Durchgangsloch (100) von vier aneinandergrenzenden trapezförmigen Sei- tenwandabschnitten (131) begrenzt ist, die gemeinsam einen Pyramidenstumpf definieren.8. The device according to claim 6 or 7, wherein the through hole (100) is delimited by four adjoining trapezoidal side wall sections (131) which together define a truncated pyramid.
9. Vorrichtung zum Anschließen wenigstens eines elektrischen Kontakts (21, 22) eines Halbleiterbauelements (2) an einen elektrischen Kontakt (31, 32) auf einer Montageoberfläche (3) , mit einem Körper (1) aus im wesentlichen elektrisch isolierendem Material, der9. Device for connecting at least one electrical contact (21, 22) of a semiconductor component (2) to an electrical contact (31, 32) on a mounting surface (3), with a body (1) made of essentially electrically insulating material, the
- einen Oberflächenabschnitt (11) aufweist, auf dem ein mit dem Kontakt (21, 22) des Bauelements (2) zu verbindender Kontakt (111, 112) angeordnet ist,has a surface section (11) on which a contact (111, 112) to be connected to the contact (21, 22) of the component (2) is arranged,
- einen von diesem Oberflächenabschnitt (11) abgekehrten Oberflächenabschnitt (12) aufweist, auf dem ein mit dem Kontakt (31, 32) der Montageoberfläche (3) zu verbindender Kontakt (121, 122) angeordnet ist,has a surface section (12) facing away from this surface section (11), on which a contact (121, 122) to be connected to the contact (31, 32) of the mounting surface (3) is arranged,
- einen im wesentlichen trapezförmigen Seitenflächenabschnitt (131) aufweist, der die beiden Oberflächenabschnitte (11, 12) miteinander verbindet und zwischen zwei zueinander senkrecht verlaufenden Randkanten (113, 114; 115, 116; 123; 125, 126) jedes Oberflächenabschnitts (11, 12) schräg in einem Winkel sowohl zu einem Oberflächenabschnitt (11, 12) als auch zu jeder dieser Randkanten (113, 114; 115, 116; 123; 125, 126) an- geordnet ist, und- has a substantially trapezoidal side surface section (131) which connects the two surface sections (11, 12) to one another and between two mutually perpendicular edge edges (113, 114; 115, 116; 123; 125, 126) of each surface section (11, 12 ) is arranged obliquely at an angle both to a surface section (11, 12) and to each of these peripheral edges (113, 114; 115, 116; 123; 125, 126), and
- einen elektrischen Leiter (19) aufweist, der die auf den beiden Oberflächenabschnitten (11, 12) angeordneten Kontakte- An electrical conductor (19) having the contacts arranged on the two surface sections (11, 12)
(111, 121; 112, 122) über den Seitenflächenabschnitt (131) miteinander verbindet. (111, 121; 112, 122) via the side surface section (131).
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