WO2000016366A3 - Verfahren zum aufbringen von metallischen leiterbahnen als elektroden auf eine kanalplatte für grossflächige flachbildschirme - Google Patents

Verfahren zum aufbringen von metallischen leiterbahnen als elektroden auf eine kanalplatte für grossflächige flachbildschirme Download PDF

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Abstract

Moderne großflächige Flachbildschirme, bekannt als PDPs und PALCs, besitzen eine Glasplatte mit einer Mikro-Kanalstruktur und einer Adressierelektrode in jedem Kanal. Bislang wurden die Adressierelektroden mittels drucktechnischer Verfahren oder durch Sputtern direkt selektiv entsprechend der Kanalstruktur oder indirekt durch ein selektives Wegätzen von großflächig außenstromlos und/oder galvanisch abgeschiedenen Metallschichten unter Belassung der Leiterbahnstrukturen aufgebracht. Zur Vermeidung der Nachteile dieser bekannten Verfahren sieht die Erfindung vor, die metallischen Leiterbahnen der Adressierelektroden nur in den Elektrodenbereichen selektiv mittels der außenstromlosen und/oder galvanischen Abscheideverfahren aufzubringen.
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