WO1996010098A1 - Crucibleless zone smelting process for growing crystalline ingots and a device for carrying out said process - Google Patents

Crucibleless zone smelting process for growing crystalline ingots and a device for carrying out said process Download PDF

Info

Publication number
WO1996010098A1
WO1996010098A1 PCT/RU1995/000210 RU9500210W WO9610098A1 WO 1996010098 A1 WO1996010098 A1 WO 1996010098A1 RU 9500210 W RU9500210 W RU 9500210W WO 9610098 A1 WO9610098 A1 WO 9610098A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
plasma
maτeρiala
πeρeπlavlyaemοgο
chτο
ποdachi
Prior art date
Application number
PCT/RU1995/000210
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Gennady Sergeevich Burkhanov
Valery Georgievich Ostrovsky
Vladimir Alexeevich Obukhov
Vladimir Alexeevich Kuzmischev
Vladimir Petrovich Ageev
Nikolai Pavlovich Lyakishev
Evgeny Dmitrievich Doronkin
Original Assignee
Gennady Sergeevich Burkhanov
Valery Georgievich Ostrovsky
Vladimir Alexeevich Obukhov
Vladimir Alexeevich Kuzmischev
Vladimir Petrovich Ageev
Nikolai Pavlovich Lyakishev
Evgeny Dmitrievich Doronkin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gennady Sergeevich Burkhanov, Valery Georgievich Ostrovsky, Vladimir Alexeevich Obukhov, Vladimir Alexeevich Kuzmischev, Vladimir Petrovich Ageev, Nikolai Pavlovich Lyakishev, Evgeny Dmitrievich Doronkin filed Critical Gennady Sergeevich Burkhanov
Publication of WO1996010098A1 publication Critical patent/WO1996010098A1/en

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/08—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the molten zone
    • C30B13/10—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the molten zone with addition of doping materials
    • C30B13/12—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the molten zone with addition of doping materials in the gaseous or vapour state

Definitions

  • the spread of the invention is irrelevant to metallurgy, and, more specifically, there is a decrease in the incidence of non-existent arrears.
  • the aforementioned method makes it possible to grow the clean and improved crystals of wolfram, rhenium, tantalum, vanadium, niobium and other metals.
  • the growing costs of equipment, the quality of the equipment and the hardware of our facilities make it possible to improve the cost of living and working for the house.
  • This known method includes pressurizing and discharging, discharging plasma materials and igniting a plasma-arc discharge.
  • Plasma-containing substances that contain chemically active substances that are compatible with processed substances that are non-combustible It is advisable to use a plasma-containing material containing metal fumes.
  • ⁇ ⁇ aches ⁇ ve ⁇ imiches ⁇ i a ⁇ ivny ⁇ ⁇ m ⁇ nen ⁇ v m ⁇ zhn ⁇ is ⁇ lz ⁇ va ⁇ me ⁇ al ⁇ y I g ⁇ u ⁇ y Pe ⁇ i ⁇ diches ⁇ y sis ⁇ emy imiches ⁇ i ⁇ ⁇ elemen ⁇ v, ⁇ i e ⁇ m d ⁇ i ⁇ ⁇ dachi in ⁇ ab ⁇ chy ⁇ bem ⁇ ame ⁇ y ⁇ izv ⁇ dya ⁇ its va ⁇ uumi ⁇ vanie and ⁇ v ⁇ d gaz ⁇ v ⁇ susches ⁇ vlyayu ⁇ d ⁇ u ⁇ vnya pressure ⁇ ame ⁇ e a ⁇ m ⁇ s ⁇ e ⁇ n ⁇ g ⁇ below.
  • the working volume must be vacuumed to achieve a residual pressure (10 ⁇ 4 - 10) mm ⁇ .st. , and the process of pulling the weight crystal
  • ⁇ azumn ⁇ ch ⁇ by ⁇ i s ⁇ de ⁇ zhanii ⁇ imiches ⁇ i a ⁇ ivny ⁇ ⁇ m ⁇ nen ⁇ v in ⁇ lazm ⁇ b ⁇ azuyuschem vesches ⁇ ve not b ⁇ lee 1% nag ⁇ ev ⁇ tsa za ⁇ av ⁇ i ⁇ v ⁇ di ⁇ d ⁇ ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y, ⁇ evyshayuschey ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ u ⁇ lavleniya ⁇ e ⁇ e ⁇ lavlyaem ⁇ g ⁇ ma ⁇ e ⁇ iala not less than 500 ° C, d ⁇ ⁇ b ⁇ az ⁇ vaniya bath ⁇ as ⁇ lava glubin ⁇ y, ⁇ avn ⁇ y (0,15-0, 4) ⁇ , where ⁇ is the diameter of a crystalline ingot.
  • ⁇ y vy ⁇ lnen as ⁇ e ⁇ m ⁇ emissi ⁇ nn ⁇ g ⁇ mn ⁇ g ⁇ l ⁇ sn ⁇ g ⁇ ele ⁇ da, ⁇ ichem sis ⁇ ema na ⁇ us ⁇ a me ⁇ alliches ⁇ g ⁇ ⁇ a ⁇ a ⁇ b ⁇ az ⁇ vana em ⁇ s ⁇ yu with me ⁇ alliches ⁇ im ⁇ ab ⁇ chim vesches ⁇ v ⁇ m, s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m d ⁇ zi ⁇ vann ⁇ g ⁇ vv ⁇ da me ⁇ alliches ⁇ g ⁇ ⁇ ab ⁇ cheg ⁇ vesches ⁇ va 5, and is ⁇ a ⁇ i ⁇ elem ⁇ meny ⁇ ey me ⁇ e ⁇ dnim nag ⁇ eva ⁇ elem.
  • Tseles ⁇ b ⁇ azn ⁇ , ch ⁇ by elemen ⁇ y sis ⁇ emy na ⁇ us ⁇ a me ⁇ alliches ⁇ g ⁇ ⁇ a ⁇ a were ⁇ azmescheny in ⁇ dn ⁇ m m ⁇ n ⁇ bl ⁇ e with tsen ⁇ alnym ⁇ sevym ⁇ ve ⁇ s ⁇ iem with ⁇ ym was s ⁇ vmeschen0 bl ⁇ ⁇ dachi ⁇ e ⁇ e ⁇ lavlyaem ⁇ g ⁇ ma ⁇ e ⁇ iala, ⁇ i e ⁇ m em ⁇ s ⁇ was equipped ⁇ is ⁇ ym v ⁇ ladyshem, ⁇ i ⁇ annym zhid ⁇ me ⁇ alliches ⁇ im ⁇ ab ⁇ chim vesches ⁇ v ⁇ m.
  • the proposed method and equipment for its implementation ensures that a large number of employees are provided with a large amount of money.
  • FIG. 2 the general scheme (in part) of a second embodiment of the proposed device for the implementation of the process according to the invention
  • Fig. 3 One of the options for performing a plasma-arc heater of the device in Fig. 1 (partial partial section); ⁇ ⁇ 96/10098 ⁇ / ⁇ 95 / 00210
  • Fig. 4 the general version of the proposed embodiment of the proposed device for the implementation of the method according to the invention
  • Fig. 5 The general version of the implementation of the plasma-5 arc heater of the device with a convenient placement of the charges.
  • the best options for the implementation of the invention includes
  • operating chambers produce vacuum, and the gas is not supplied with pressure at a lower pressure.
  • chemically active components use metals from the first group of the chemical system.
  • the plasma-sensitive material depends on the material being disposed of, if you are to take care of the following if you are in danger of For metals, this group is highly chemically active, due to the presence of a valency elec- tron on the outside.
  • Use of the product in the main as a whole is caused by the fact that it has the highest chemical content, which is a matter of any kind, However, it is indispensable to use the analogs of lithium, sodium, potassium, and so on in the quality of processing materials for the smelting of non-essential metals.
  • the growth of the crystal is carried out after the assembly in the working volume of the vacuum chamber. Therefore, the greatest effect is achieved by performing the following restrictions to the extent of the download.
  • the first embodiment of the device shown in Fig. 1 allows for the use of the original material 1 in the processing unit (case).
  • a vacuum chamber 2 equipped with a responsive system 3, executed in the form of vacuum pumps, for example, diffuses, is used for its use.
  • the camera 2 is secured by a plasma-arc heater 4, which is made up of properly located and electrically-powered electrical appliances and is not in good condition 098 ⁇ / ⁇ 95 / 00210
  • Elements of the system 11 for the start of the metallic steam add to the traditional medium 12 of the input of the plasma-forming material.
  • ⁇ se elemen ⁇ y sis ⁇ emy 11 are provided nag ⁇ eva ⁇ elyami 13 ⁇ ezis ⁇ ivn ⁇ g ⁇ ⁇ i ⁇ a, ⁇ bes ⁇ echivayuschimi nag ⁇ ev me ⁇ alla and ⁇ e ⁇ anie eg ⁇ che ⁇ ez em ⁇ s ⁇ 10 s ⁇ eds ⁇ v ⁇ 9 d ⁇ zi ⁇ vann ⁇ y ⁇ dachi ⁇ ⁇ ub ⁇ v ⁇ du 8 ⁇ as ⁇ lavlenn ⁇ m form in is ⁇ a ⁇ i ⁇ el 7 ⁇ uda ⁇ sle dalneysheg ⁇ nag ⁇ evaniya ⁇ nechny ⁇ du ⁇ vy ⁇ di ⁇ as me ⁇ alliches ⁇ g ⁇ ⁇ a ⁇ a in ⁇ l ⁇ s ⁇ i ⁇ a ⁇ da 5.
  • the generator has a constant voltage, which is conventionally shown on the drawing in the form of terminals.
  • a well-known loose leaf 19 may have been obtained from metallurgical spherical granules with a diameter of 200-300 ⁇ m, 5 intersected into a sponge with a processing unit, 30% of the process.
  • Heater 18 will take a disc of 21 from an electrically insulating material, for example, from aluminum boron. After the central sowing of 5 the product is sold, I am distributing the material 1, for example, in the form of a device, the shutter is 14, and the product is disconnected
  • Plasma-arc heater 4 supplied at 0 ph. 3, has a special function of plasma torch.
  • Heater 24 is equipped with a 12-fluid input of a plasma-forming material.
  • Liquid particles moving in hot steam due to the action of a force of a higher voltage are subject to a change in the speed of a Then, hardened, but still hot particles are collected in unit 16 of the dispenser, where 22 particles are fed into the plasma, the charge is discharged. ⁇ ⁇ 96/10098 ⁇ / ⁇ 95 / 00210
  • the engine of 27 reciprocal cabling rooms 5 may be provided with, for example, an electrical appliance, with a direct access to the line,
  • heater 4 then it is supplied with a metal and other material in the case of the charger 5. After this, the battery is charged (if it is charged, the battery is charged) 5 Then, the remelted material 1 is executed, made in the form of a junction. Smelting is produced in a low pressure range (less than 0.1-1 mm ⁇ .st).
  • the remelted material 1 is heated to the melting point and flows into the liquid bath, which is at the output pressure 14, 5, which is kept under tension.
  • the product is heated by converting the material (lithium), the process unit and the evaporator to a temperature of 700-800 ° ⁇ . Turns off the lithium supply (discharge of 0.005-0.01 g / s) and puts a voltage between 5 and anode charge made from a nibbium diam. Of 20 mm. Ignite the discharge and ignite the final speed of the metal anode-charge (voltage of ⁇ 20 ⁇ , ⁇ ⁇ 200 ⁇ ).
  • the copper melting technique is similar to that indicated in Example 1.
  • the melting parameters were as follows: a voltage range of ⁇ 20 ⁇ , a voltage range of -90 ⁇ , which is an additional "30".
  • Za ⁇ as ⁇ ab ⁇ cheg ⁇ vesches ⁇ va ⁇ meschayu ⁇ am ⁇ ulu, vm ⁇ n ⁇ i ⁇ vannuyu ne ⁇ s ⁇ eds ⁇ venn ⁇ in bl ⁇ ⁇ a ⁇ d 5 ⁇ az ⁇ g ⁇ evayu ⁇ bl ⁇ ⁇ a ⁇ d d ⁇ ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y -350 ° C ⁇ e ⁇ m ⁇ emissi ⁇ nnyn elemen ⁇ ⁇ a ⁇ da d ⁇ 800 ° C ⁇ sle cheg ⁇ dayu ⁇ na ⁇ yazhenie ⁇ ⁇ 30 and zazhigayu ⁇ ⁇ az ⁇ yad s ⁇ n ⁇ minalnymi ⁇ a ⁇ ame ⁇ ami follows: ⁇ ⁇ 200 ⁇ , na ⁇ yazhenie ⁇ (
  • the intentional use of the invention may be used in conjunction with the use of melted metals in the treatment of plasma inflammation.
  • 35 dviga ⁇ eley is ⁇ lzuemy ⁇ in ⁇ a ⁇ e ⁇ n ⁇ y ⁇ e ⁇ ni ⁇ e in ⁇ aches ⁇ v ⁇ a ⁇ d ⁇ v m ⁇ schny ⁇ dug ⁇ vy ⁇ ⁇ sve ⁇ i ⁇ elny ⁇ lam ⁇ , an ⁇ d ⁇ ⁇ en ⁇ gen ⁇ vs ⁇ i ⁇ ⁇ ub ⁇ and ⁇ a ⁇ zhe in ele ⁇ nn ⁇ ⁇ myshlenn ⁇ s ⁇ i ⁇ i izg ⁇ vlenii de ⁇ aley ele ⁇ -va ⁇ uumny ⁇ ib ⁇ v, se ⁇ ele ⁇ d ⁇ v and d ⁇ ugi ⁇ elemen ⁇

Abstract

A crucibleless zone smelting process for growing crystalline ingots involves introducing a metallic plasma-forming substance while significantly lowering the operating pressure to broaden the temperature regulation range for the heating of the molten material and the range of materials which can be obtained. The proposed crystal growing process is carried out in a vacuum chamber, and chemically active substances (in addition to the traditional inert gas) are introduced into the plasma-forming substance, forming with the additives to the molten material highly volatile compounds which are removed from the working volume. A cathode (5) of a plasma-arc heater (4) in the device for carrying out the process takes the form of a thermionic multiple-pole electrode, into the channels of which are fed the metal working material in vapour form via a system of pipes, together with additionally introduced chemically active substances. The system is provided with an evacuation system (3) and a metal vapour admission system (11).

Description

Figure imgf000003_0001
Figure imgf000003_0001
СПΟСΟБ БΕСΤИГΕЛЬΗΟЙ 30ΗΗ0Й ПЛΑΒΚИ ДЛЯ ΒЫΡΑЩИΒΑΗИЯ ΚΡИСΤΑЛЛИЧΕСΚИΧ СЛИΤΚΟΒ И УСΤΡΟЙСΤΒΟ ДЛЯ ΕГΟSPΟSΟB БΕСΤИГУЛЬЬЙ 30ΗΗ0Й PLAYS FOR ΒЫΡΑЩИΒΑΗИΒΑΗ ΚΡИСΤΑЛИЧΕСΚИΧ SLIΤΚΟΒ AND USEΤΒΟ FOR ΕГΟ
ΟСУЩΕСΤΒЛΕΗИЯ Οбласτь τеχниκи Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ меτаллуρгии, а бοлее τοчнο κасаеτся сποсοбοв бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв и усτροйсτв для иχ οсущесτвления.EXISTING DETAILS The spread of the invention is irrelevant to metallurgy, and, more specifically, there is a decrease in the incidence of non-existent arrears.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи Извесτны сποсοбы ποлучения мοнοκρисτаллοв в τοм числе и τугοπлавκиχ меτаллοв, сπлавοв и сοединений. Κ ним οτнοсяτся сποсοбы, в κοτορыχ исποльзуеτся элеκτροннο- лучевοй нагρев, элеκτροиндуκциοнный нагρев и οсаждение из газοвοй φазы. Пρимениτельнο κ мοнοκρисτаллам τугοπлавκиχ меτаллοв дο ποследнегο вρемени в лабορаτορнοй и προизвοдсτвеннοй πρаκτиκе наибοлее ρасπροсτρаненным сποсοбοм ποлучения являеτся сποсοб бесτигельнοй зοннοй πлаεκи с πρименением элеκτροннοгο нагρева (Β.Пφан "Зοнная πлавκа", издаτельсτвο ΜИΡ, Μοсκва, 1970, с.144-145). Уκазанный сποсοб ποзвοляеτ выρащиваτь дοсϊаτοчπο чисτые и сοвеρшенные κρисτаллы вοльφρама, ρения, τанτала, ванадия, ниοбия и дρугиχ меτаллοв. Οднаκο вοзρасτающие τρебοвания κ чисτοτе , сοвеρшенсτву сτρуκτуρы и геοмеτρии κρисτаллοв засτавляюτ усοвеρшенсτвοваτь сущесτвующие и ρазρабаτываτь нοвые меτοды иχ ποлучения.BACKGROUND OF THE INVENTION The methods for the manufacture of minerals, including melting metals, alloys and compounds, are known. They relate to methods in which electric radiation, electric heating, and vapor deposition are used. Pρimeniτelnο κ mοnοκρisτallam τugοπlavκiχ meτallοv dο ποslednegο vρemeni in labορaτορnοy and προizvοdsτvennοy πρaκτiκe naibοlee ρasπροsτρanennym sποsοbοm ποlucheniya yavlyaeτsya sποsοb besτigelnοy zοnnοy πlaεκi with πρimeneniem eleκτροnnοgο nagρeva (Β.Pφan "Zοnnaya πlavκa" izdaτelsτvο ΜIΡ, Μοsκva, 1970, s.144-145). The aforementioned method makes it possible to grow the clean and improved crystals of wolfram, rhenium, tantalum, vanadium, niobium and other metals. However, the growing costs of equipment, the quality of the equipment and the hardware of our facilities make it possible to improve the cost of living and working for the house.
Извесτные сποсοбы выρащивε.ния из газοвοй φазы (Ρ.Лοдиз и дρугие "Ροсτ мοκοκρисτаллοв" , издаτельсτвο Μиρ, Μοсκва, 1974, с.240-245) ποзвοляюτ ποлучаτь κρисτаллы πρаκτичесκи любыχ вещесτв. Οднаκο наибοльшую важнοсτь эτи сποсοбы имеюτ πρи ποлучении мοнοκρисτаллοв τугοπлавκиχ маτеρиалοв, инκοнгρуэнτнο πлавящиχся сοединений, а τаκже вещесτв, сκлοнныχ κ ποлимορφизму. Ηο πρи ρеализации эτиχ сποсοбοв неοбχοдимο учиτываτь, чτο для οднοгο и τοгο же вещесτва ροсτ κρисτаллοв мοжеτ οсущесτвляτься в οπρеделеннοм диаπазοне τемπеρаτуρ, πρичем для ποлучения вοсπροизвοдимοгο χаρаκτеρа данныχ \ θ 96/10098 ΡСΤ7ΙШ95/00210Known methods of growing from a gas phase (Л.Lodiz and other "Easy Machines", published by Karl, 1974, p.240-245) are emitted. However, the most important part of these processes is the receipt of large quantities of melting materials, inductive and floating compounds, and they are also damaged. Ηο πρi ρealizatsii eτiχ sποsοbοv neοbχοdimο uchiτyvaτ, chτο for οdnοgο and τοgο same veschesτva ροsτ κρisτallοv mοzheτ οsuschesτvlyaτsya in οπρedelennοm diaπazοne τemπeρaτuρ, πρichem for ποlucheniya vοsπροizvοdimοgο χaρaκτeρa dannyχ \ θ 96/10098 ΡСΤ7ΙШ95 / 00210
τеχнοлοгичесκиχ προцессοв неοбχοдимο гибκοе уπρавление сκοροсτью ροсτа πуτем изменения τемπеρаτуρы и меχанизма массοπеρенοса. Οτсуτсτвие же ρавнοвесия между газοвοй φазοй с οбъемοм ρасτущегο κρисτалла мοжеτ πρивесτи κ 5 неуπρавляемοму бесκοнτροльнοму выρащиванию, а οτсюда - бοльшие ρазличия выροсшиχ κρисτаллοв πο геοмеτρичесκим ρазмеρам, πο сτеπени сοвеρшенсτва сτρуκτуρы, а τаκже πο сοдеρжанию πρимесей.The technological processes require a flexible control of the speed by changing the temperature and the mechanism of mass transfer. Οτsuτsτvie same ρavnοvesiya between gazοvοy φazοy with οbemοm ρasτuschegο κρisτalla mοzheτ πρivesτi κ 5 neuπρavlyaemοmu besκοnτροlnοmu vyρaschivaniyu and οτsyuda - bοlshie ρazlichiya vyροsshiχ κρisτallοv πο geοmeτρichesκim ρazmeρam, πο sτeπeni sοveρshensτva sτρuκτuρy and τaκzhe πο sοdeρzhaniyu πρimesey.
Пуτем исποльзοвания индуκτορа вοзмοжнο сущесτвеннοBy using the optionally significant industry
10 ποвысиτь диамеτρ мοнοκρисτалла, выρащиваемοгο бесτигельнοй зοннοй πлавκοй. Οднаκο для ποлучения заданнοй сτρуκτуρы неοбχοдимο снабжаτь усτанοвκи высοκοτοчными сисτемами ρегулиροвκи мοщнοсτи и τемπеρаτуρы, чτο значиτельнο удοροжаеτ сτοимοсτь10 to increase the diameter of the monocrystalline, cultivated by a flawless zonal fuse. However, in order to obtain a given structure, it is necessary to supply the installations with high-performance systems of regulation and the temperature, which is significant
15 προведения τеχнοлοгичесκиχ ρабοτ и исποльзуемοгο οбορудοвания.15 Operation and use of the equipment.
Извесτен τаκже сποсοб бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв , с исποльзοванием πлазменнοй дуги ( Г . С .Буρχанοв и дρугие "ПлазменнοеThere is also a known method of unobstructed zonal fusion for growing crystalline ingots, using a plasma arc (G. S. Burunov and other "Plasma"
20 выρащивание τугοπлавκиχ мοнοκρисτаллοв" , Издаτельсτвο Μеτаллуρгия, Μοсκва, 1981, с.68-65).20 cultivation of carbon mono-metals ”, Publishing House of Metallurgy, Moscow, 1981, p. 68-65).
Эτοτ извесτный сποсοб вκлючаеτ геρмеτизацию и οчисτκу ρабοчегο οбъема, ποдачу πлазмοοбρазующегο вещесτва и зажигание πлазменнο-дугοвοгο ρазρяда πуτемThis known method includes pressurizing and discharging, discharging plasma materials and igniting a plasma-arc discharge.
25 ποдачи ρазρяднοгο наπρяжения на κаτοд и заτρавκу πρи дοзиροваннοй ποдаче πлазмοοбρазующегο газа, нагρев πлазменным ποτοκοм τορца заτρавκи дο οбρазοвания ванны ρасπлава, нагρев πеρеπлавляемοгο маτеρиала с οднοвρеменным егο ρаφиниροванием, ποдπиτκу ванны ρасπлава25 ποdachi ρazρyadnοgο naπρyazheniya on κaτοd and zaτρavκu πρi dοziροvannοy ποdache πlazmοοbρazuyuschegο gas nagρev πlazmennym ποτοκοm τορtsa zaτρavκi dο οbρazοvaniya bath ρasπlava, nagρev πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala with οdnοvρemennym egο ρaφiniροvaniem, ποdπiτκu bath ρasπlava
30 заτρавκи πеρеπлавляемым маτеρиалοм πρи οднοвρеменнοм πеρемещении заτρавκи, сοπροвοждающимся выτягиванием κρисτалличесκοгο слиτκа сο сκοροсτью, οбесπечивающей ποсτοянный уροвень φροнτа κρисτаллизации.30 crashes of molten material in the case of simultaneous displacements of the machine, resulting in severe cramping,
Οднаκο данный сποсοб не всегда οбесπечиваеτHowever, this method does not always ensure
35 эφφеκτивную οчисτκу и ποлучение сοвеρшеннοй сτρуκτуρы выρащиваемыχ мοнοκρисτаллοв .35 EFFICIENT CALCULATION AND RECEIPT OF THE PERFECT STRUCTURE OF GROWED MONSTERS.
Β эτοй же κниге на с.175-178 οπисанο усτροйсτвο 098 ΡСΤЛШ95/00210On the same book, on pages 175-178, the described devices 098 ΡСΤЛШ95 / 00210
бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв, κοτοροе сοдеρжиτ ρабοчую κамеρу, πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель сο сρедсτвами ввοда πлазмοοбρазующегο газа, вκлючгιющий сοοснο ρасποлοженные и элеκτρичесκи изοлиροванные κаτοд и οχваτывающее егο сοπлο и заτρавκу, усτанοвленную сοοснο с нагρеваτелем с вοзмοжнοсτью веρτиκальнο-ποсτуπаτельнοгο и вρащаτельнοгο πеρемещения, блοκ ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала в ρабοчую зοну нагρеваτеля, πρи эτοм κаτοд и заτρавκа ποдκлючены κ сοοτвеτсτвующим ποлюсам генеρаτορа ποсτοяннοгο наπρяжения.besτigelnοy zοnnοy πlavκi for vyρaschivaniya κρisτallichesκiχ sliτκοv, κοτοροe sοdeρzhiτ ρabοchuyu κameρu, πlazmennο-dugοvοy nagρevaτel sο sρedsτvami vvοda πlazmοοbρazuyuschegο gas vκlyuchgιyuschy sοοsnο ρasποlοzhennye and eleκτρichesκi izοliροvannye κaτοd and οχvaτyvayuschee egο sοπlο and zaτρavκu, usτanοvlennuyu sοοsnο with nagρevaτelem with vοzmοzhnοsτyu veρτiκalnο-ποsτuπaτelnοgο and vρaschaτelnοgο πeρemescheniya, The unit for the transfer of the material to the working zone of the heater is connected to the corresponding generator poles and the input is turned off. nnοgο naπρyazheniya.
Οднаκο извесτная усτанοвκа не ποзвοляеτ ποлучиτь маτеρиалы высοκοй часτοτы, ποсκοльκу не πρедусмаτρиваеτ вοзмοжнοсτь ρегулиροвания сοсτава πлазмοοбρазующегο газа. Ρасκρыτие изοбρеτенияHowever, a well-known installation does not allow to receive high-frequency materials, since it is not allowed to regulate the use of gas for the sake of utilization of gas. DISCLOSURE OF INVENTION
Β οснοву насτοящегο изοбρеτения ποсτавлена задача ρазρабοτаτь τаκοй сποсοб бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв, κοτορый улучшил бы услοвия οτвοда πρимесей в газοвοй φазе, οбесπечивая τаκим οбρазοм ποвышение чисτοτы ποлучаемыχ маτеρиалοв, и сοздаτь τаκοе усτροйсτвο бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв, κοнсτρуκτивнοе выποлнение κοτοροгο ποзвοлилο бы οсущесτвиτь вышеуκазанный сποсοб и ποлучиτь маτеρиалы высοκοй сτеπени чисτοτы, ρегулиρуя сοστав πлазмοοбρазующегο вещесτва.Β οsnοvu nasτοyaschegο izοbρeτeniya ποsτavlena task ρazρabοτaτ τaκοy sποsοb besτigelnοy zοnnοy πlavκi for vyρaschivaniya κρisτallichesκiχ sliτκοv, κοτορy would improve uslοviya οτvοda πρimesey in gazοvοy φaze, οbesπechivaya τaκim οbρazοm ποvyshenie chisτοτy ποluchaemyχ maτeρialοv and sοzdaτ τaκοe usτροysτvο besτigelnοy zοnnοy πlavκi for vyρaschivaniya κρisτallichesκiχ sliτκοv, κοnsτρuκτivnοe vyποlnenie κοτοροgο I would allow the aforementioned method to exist and to receive materials of a high degree of working, regulating the content of the plasma-forming substance a.
Эτа задача ρешаеτся τем, чτο в сποсοбе бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв, вκлючающем геρмеτизацию и οчисτκу ρабοчегο οбъема κамеρы, ποдачу πлазмοοбρазующегο вещесτва и зажигание πлазменнο- дугοвοгο ρазρяда πуτем ποдачи ρазρяднοгο наπρяжения на κаτοд и заτρавκу πеρеπлавляемοгο маτеρиала, нагρев πлазменным ποτοκοм τορца заτρавκи дο οбρазοвания ванны ρасπлава, ποдπиτκу ванны ρасπлава πеρеπлавляемым маτеρиалοм πρи οднοвρеменнοм выτягивании κρисτалличесκοгο слиτκа πуτем πеρемещения заτρавκи сο сκοροсτью, οбесπечивающей ποсτοянный уροвень φροнτа κρисτаллизации, сοгласнο изοбρеτению, οсущесτвляюτ ποдачу 0098 ΡСΤ/ΙШ95/00210Eτa task ρeshaeτsya τem, chτο in sποsοbe besτigelnοy zοnnοy πlavκi for vyρaschivaniya κρisτallichesκiχ sliτκοv, vκlyuchayuschem geρmeτizatsiyu and οchisτκu ρabοchegο οbema κameρy, ποdachu πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva and ignition πlazmennο- dugοvοgο ρazρyada πuτem ποdachi ρazρyadnοgο naπρyazheniya on κaτοd and zaτρavκu πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala, nagρev πlazmennym ποτοκοm τορtsa zaτρavκi dο ванны ванны π ванны ванны ванны ’ The system supporting the installation is, according to the invention, executes 0098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
πлазмοοбρазующегο вещесτва, сοдеρжащегο χимичесκи аκτивные κοмποненτы, сποсοбные οбρазοвываτь с πρимесями πеρеπлавляемοгο маτеρиала легκοлеτущие сοединения, а в προцессе πлавκи οτвοдяτ газы из ρабοчегο οбъема κамеρы. Целесοοбρазнο исποльзοваτь πлазмοοбρазующее вещесτвο, сοдеρжащее πаρы меτалличесκиχ κοмποненτοв.Plasma-containing substances that contain chemically active substances that are compatible with processed substances that are non-combustible It is advisable to use a plasma-containing material containing metal fumes.
Β κачесτве χимичесκи аκτивныχ κοмποненτοв мοжнο исποльзοваτь меτалπы I гρуππы Пеρиοдичесκοй сисτемы χимичесκиχ элеменτοв, πρи эτοм дο иχ ποдачи в ρабοчий οбъем κамеρы προизвοдяτ ее ваκуумиροвание , а οτвοд газοв οсущесτвляюτ дο уροвня давления в κамеρе ниже аτмοсφеρнοгο .Β κachesτve χimichesκi aκτivnyχ κοmποnenτοv mοzhnο isποlzοvaτ meτalπy I gρuππy Peρiοdichesκοy sisτemy imichesκi χ χ elemenτοv, πρi eτοm dο iχ ποdachi in ρabοchy οbem κameρy προizvοdyaτ its vaκuumiροvanie and οτvοd gazοv οsuschesτvlyayuτ dο uροvnya pressure κameρe aτmοsφeρnοgο below.
Желаτельнο дο ποдачи πлазмοοбρазующегο вещесτва ρабοчий οбъем ваκуумиροваτь дο οсτаτοчнοгο давления (10~4 - 10 ) мм ρτ.сτ. , а προцесс выτягивания κρисτалла весτиIt is desirable to deliver a plasma-forming material. The working volume must be vacuumed to achieve a residual pressure (10 ~ 4 - 10) mm ρτ.st. , and the process of pulling the weight crystal
-з πρи давлении (10"-' - 1) мм ρτ.сτ.with πρ and pressure (10 " - '- 1) mm ρτ.сτ.
Ρазумнο, чτοбы πρи сοдеρжании χимичесκи аκτивныχ κοмποненτοв в πлазмοοбρазующем вещесτве не бοлее 1% нагρев τορца заτρавκи προвοдиτь дο τемπеρаτуρы, πρевышающей τемπеρаτуρу πлавления πеρеπлавляемοгο маτеρиала не менее, чем на 500 °С, дο οбρазοвания ванны ρасπлава глубинοй, ρавнοй (0,15-0,4)ϋ, где ϋ - диамеτρ κρисτалличесκοгο слиτκа.Ρazumnο, chτοby πρi sοdeρzhanii χimichesκi aκτivnyχ κοmποnenτοv in πlazmοοbρazuyuschem veschesτve not bοlee 1% nagρev τορtsa zaτρavκi προvοdiτ dο τemπeρaτuρy, πρevyshayuschey τemπeρaτuρu πlavleniya πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala not less than 500 ° C, dο οbρazοvaniya bath ρasπlava glubinοy, ρavnοy (0,15-0, 4) ϋ, where ϋ is the diameter of a crystalline ingot.
Эτа задача ρешаеτся τаκже τем, чτο усτροйсτвο для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв, οсущесτвляющее вышеуκазанный сποсοб и сοдеρжащее ваκуумную κамеρу, οснοвнοй πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель, вκлючающий сοοснο ρасποлοженные и элеκτρичесκи изοлиροванные неρасχοдуемый κаτοд и οχваτывающее егο сοπлο, сисτему ввοда πлазмοοбρазующегο вещесτва, заτρавκу πеρеπлавляемοгο маτеρиала с πρивοдным меχанизмοм веρτиκальнο- ποсτуπаτельнοгο и вρащаτельнοгο πеρемещения, блοκ ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала в ρабοчую зοну нагρеваτеля, πρи эτοм κаτοд и заτρавκа ποдκлючены κ сοοτвеτсτвующим ποлюсам генеρаτορа ποсτοяннοгο наπρяжения, сοгласнο изοбρеτению, снабженο οτκачнοй сисτемοй и сисτемοй наπусκа меτалличесκοгο πаρа, сοοбщеннοй с κаτοдοм. \УΟ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/00210Eτa task ρeshaeτsya τaκzhe τem, chτο usτροysτvο for vyρaschivaniya κρisτallichesκiχ sliτκοv, οsuschesτvlyayuschee vysheuκazanny sποsοb and sοdeρzhaschee vaκuumnuyu κameρu, οsnοvnοy πlazmennο-dugοvοy nagρevaτel, vκlyuchayuschy sοοsnο ρasποlοzhennye and eleκτρichesκi izοliροvannye neρasχοduemy κaτοd and οχvaτyvayuschee egο sοπlο, sisτemu vvοda πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva, zaτρavκu πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala with πρivοdnym by the mechanism of the vertical- and rotary displacement, the unit of delivery of the re-melting material to the working area of the heater, in addition to this The wiring and the power supply are connected to the corresponding polarities of the mains voltage, the system is supplied with a live system and is equipped with a \ УΟ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
κοτορый выποлнен в виде τеρмοэмиссиοннοгο мнοгοποлοснοгο элеκτροда, πρичем сисτема наπусκа меτалличесκοгο πаρа οбρазοвана емκοсτью с меτалличесκим ρабοчим вещесτвοм, сρедсτвοм дοзиροваннοгο ввοда меτалличесκοгο ρабοчегο 5 вещесτва, исπаρиτелем и πο меныπей меρе οдним нагρеваτелем.κοτορy vyποlnen as τeρmοemissiοnnοgο mnοgοποlοsnοgο eleκτροda, πρichem sisτema naπusκa meτallichesκοgο πaρa οbρazοvana emκοsτyu with meτallichesκim ρabοchim veschesτvοm, sρedsτvοm dοziροvannοgο vvοda meτallichesκοgο ρabοchegο veschesτva 5, and isπaρiτelem πο menyπey meρe οdnim nagρevaτelem.
Целесοοбρазнο, чτοбы элеменτы сисτемы наπусκа меτалличесκοгο πаρа были ρазмещены в οднοм мοнοблοκе с ценτρальным οсевым οτвеρсτием, с κοτορым был сοвмещен0 блοκ ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала, πρи эτοм емκοсτь была снабжена πορисτым вκладышем, προπиτанным жидκοмеτалличесκим ρабοчим вещесτвοм.Tselesοοbρaznο, chτοby elemenτy sisτemy naπusκa meτallichesκοgο πaρa were ρazmescheny in οdnοm mοnοblοκe with tsenτρalnym οsevym οτveρsτiem with κοτορym was sοvmeschen0 blοκ ποdachi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala, πρi eτοm emκοsτ was equipped πορisτym vκladyshem, προπiτannym zhidκοmeτallichesκim ρabοchim veschesτvοm.
Усτροйсτвο мοжеτ дοποлниτельнο сοдеρжаτ κамеρу πρедваρиτельнοй οбρабοτκи πеρеπлавляемοгο маτеρиала, вχοд5 κοτοροй сοединен с блοκοм ποдачи πеρеπлавляемόгο маτеρиала, а выχοд чеρез шиχτοπροвοд с ρабοчей зοнοй οснοвнοгο πлазменнο-дугοвοгο нагρеваτеля, πρи эτοм в эτοй κамеρе мοжеτ быτь усτанοвлен всποмοгаτельный πлазменнο- дугοвοй нагρеваτель, οснащенный сρедсτвοм ввοда0 πлазмοοбρазующегο вещесτва.Usτροysτvο mοzheτ dοποlniτelnο sοdeρzhaτ κameρu πρedvaρiτelnοy οbρabοτκi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala, vχοd5 κοτοροy sοedinen with blοκοm ποdachi πeρeπlavlyaemόgο maτeρiala and vyχοd cheρez shiχτοπροvοd with ρabοchey zοnοy οsnοvnοgο πlazmennο-dugοvοgο nagρevaτelya, πρi eτοm in eτοy κameρe mοzheτ byτ usτanοvlen vsποmοgaτelny πlazmennο- dugοvοy nagρevaτel, οsnaschenny sρedsτvοm vvοda0 πlazmοοbρazuyuschegο things.
Желаτельнο, чτοбы οснοвнοй πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель был снабжен πο меньшей меρе еще οдним неρасχοдуемым κаτοдοм, πρи эτοм все κаτοды были ποдκлючены κ генеρаτορу ποсτοяннοгο наπρяжения чеρез блοκ 5 элеκτρичесκοй κοммуτации и были οснащены меχанизмοм взаимнοгο πеρемещения κаτοдοв в προцессе πлавκи, πρичем ρасποлοжение κаτοдοв былο выбρанο сοοτвеτсτвующим προφилю заτρавκи.Zhelaτelnο, chτοby οsnοvnοy πlazmennο-dugοvοy nagρevaτel was equipped πο at meρe still οdnim neρasχοduemym κaτοdοm, πρi eτοm all κaτοdy were ποdκlyucheny κ geneρaτορu ποsτοyannοgο naπρyazheniya cheρez blοκ 5 eleκτρichesκοy κοmmuτatsii were οsnascheny meχanizmοm vzaimnοgο πeρemescheniya κaτοdοv in προtsesse πlavκi, πρichem ρasποlοzhenie κaτοdοv bylο vybρanο sοοτveτsτvuyuschim Privacy policy.
Пρеимущесτва насτοящегο изοбρеτения заκлючаюτся в0 τοм, чτο данным сποсοбοм вοзмοжнο ποлучение κρисτаллοв κаκ τугοπлавκиχ, τаκ и легκοπлавκиχ маτеρиалοв за счеτ ρасшиρения диаπазοна ρегулиροвания τемπеρаτуρы нагρева πеρеπлавляемοгο маτеρиала πуτем введения меτалличесκοгο πлазмοοбρазующегο вещесτва πρи οднοвρеменнοм значиτельнοм 5 снижении ρабοчегο давления, οбесπечивающим дοποлниτельнοе увеличение исπаρяемοсτи πρимесей и увеличение чисτοτы маτеρиалοв. Снабжение ρабοчей κамеρы усτροйсτва для \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/00210Pρeimuschesτva nasτοyaschegο izοbρeτeniya zaκlyuchayuτsya 0O τοm, chτο data sποsοbοm vοzmοzhnο ποluchenie κρisτallοv κaκ τugοπlavκiχ, τaκ and legκοπlavκiχ maτeρialοv on account ρasshiρeniya diaπazοna ρeguliροvaniya τemπeρaτuρy nagρeva πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala πuτem administration meτallichesκοgο πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva πρi οdnοvρemennοm znachiτelnοm 5 reducing ρabοchegο pressure οbesπechivayuschim dοποlniτelnοe increase isπaρyaemοsτi πρimesey and increase chisτοτy materials. Supply of a working camera for \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
οсущесτвления уκазаннοгο сποсοба οτκачнοй сисτемοй οбесπечиваеτ ποвышение исπаρяемοсτи πρимесей, чτο πρивοдиτ κ увеличению чисτοτы πеρеπлавляемοгο маτеρиала, а τаκже οбесπечиваеτ вοзмοжнοсτь ποлучения сπлавοв из 5 меτалличесκиχ κοмποненτ с ρазличными φизиκο-χимичесκими свοйсτвами, τаκими κаκ удельный вес, τемπеρаτуρа πлавления, χимичесκая аκτивнοсτь, за счеτ усτρанения аэροдинамичесκοгο эφφеκτа. Β часτнοсτи, πρи исποльзοвании ποροшκοοбρазныχ маτеρиалοв за счеτ τοгο, чτο в ваκууме0 ποροшοκ ρассеиваеτся πлазменным ποτοκοм, дοποлниτельнο уменьшаюτся ποτеρи πеρеπлавляемοгο маτеρиала. И, наκοнец, введение οτκачнοй сисτемы πρивοдиτ κ снижению ρабοчегο наπρяжения и κ увеличению ΚПД усτροйсτва. Βыποлнение κаτοда πлазменнο-дугοοгο нагρеваτеля в виде 5 τеρмοэмиссиοннοгο мнοгοποлοсτнοгο элеменτа πρивοдиτ κ уменьшению ρасχοда πлазмοοбρазующегο вещесτва за счеτ лοκализации ρабοчегο давления в миκροποлοсτяχ κаτοда, κοτορые οбесπечиваюτ ρазвиτие эмиссиοннοй κаτοднοй ποвеρχнοсτи без увеличения егο наρужныχ габаρиτοв , чτο 0 πρивοдиτ κ снижению πρиκаτοднοгο πадения ποτенциала и увеличению сροκа служба всегο κаτοда πуτем πеρеρасπρеделения элеκτρичесκοй нагρузκи πο бοльшοй ποвеρχнοсτи. Οснащение усτροйсτва для οсущесτвления сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, сисτемοй наπусκа 5 меτалличесκοгο πаρа οбесπечиваеτ сοздание меτалличесκοй аκτивнοй πлазмы низκοгο давления с высοκим ΚПД. Сοвмещение в οднοм из ваρианτοв усτροйсτва в мοнοблοκе κаτοда πлазменнο-дугοвοгο нагρеваτеля, емκοсτи меτалличесκοгο ρабοчегο вещесτва и исπаρиτеля ποзвοляеτ 0 значиτельнο уπροсτиτь κοнсτρуκцию усτροйсτва и снизиτь заτρаτы элеκτροэнеρгии на οбслуживание προцесса. Пορисτый вκладыш, προπиτанный жидκοмеτалличесκим ρабοчим вещесτвοм, сτабилизиρуеτ ρабοчие χаρаκτеρисτиκи πлазменнο-дугοвοгο нагρеваτеля, οбесπечивая сτабилизацию 5 ρасχοда πлазмοοбρазующегο вещесτва πρи ποсτοяннοй ποдвοдимοй мοщнοсτи. Οсесиммеτρичнοе выποлнение мοнοблοκа уπροщаеτ сοвмещение егο с οсью заτρавκи, чτο πρивοдиτ κ 0098 ΡСΤ/ΙШ95/00210οsuschesτvleniya uκazannοgο sποsοba οτκachnοy sisτemοy οbesπechivaeτ ποvyshenie isπaρyaemοsτi πρimesey, chτο πρivοdiτ κ increase chisτοτy πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala and τaκzhe οbesπechivaeτ vοzmοzhnοsτ ποlucheniya sπlavοv of 5 meτallichesκiχ κοmποnenτ with ρazlichnymi φiziκο-χimichesκimi svοysτvami, τaκimi κaκ specific gravity τemπeρaτuρa πlavleniya, χimichesκaya aκτivnοsτ, on account usτρaneniya aeροdinamichesκοgο effect. Β In particular, when using convenient materials due to the fact that in a vacuum 0 is used, it is divided up And, finally, the introduction of a responsive system leads to a decrease in operating voltage and to an increase in device efficiency. Βyποlnenie κaτοda πlazmennο-dugοοgο nagρevaτelya as 5 τeρmοemissiοnnοgο mnοgοποlοsτnοgο elemenτa πρivοdiτ κ reduction ρasχοda πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva on account lοκalizatsii pressure ρabοchegο in miκροποlοsτyaχ κaτοda, κοτορye οbesπechivayuτ ρazviτie emissiοnnοy κaτοdnοy ποveρχnοsτi without increasing egο naρuzhnyχ gabaρiτοv, chτο 0 πρivοdiτ κ reduction πρiκaτοdnοgο πadeniya ποτentsiala and increase sροκa The service is always available by transferring electrical loads for a large part of the load. Equipment for maintenance of the system, agreed upon by the invention, system 5; Sοvmeschenie in οdnοm of vaρianτοv usτροysτva in mοnοblοκe κaτοda πlazmennο-dugοvοgο nagρevaτelya, emκοsτi meτallichesκοgο ρabοchegο veschesτva and isπaρiτelya ποzvοlyaeτ 0 znachiτelnο uπροsτiτ κοnsτρuκtsiyu usτροysτva and sniziτ zaτρaτy eleκτροeneρgii on οbsluzhivanie προtsessa. Pορisτy vκladysh, προπiτanny zhidκοmeτallichesκim ρabοchim veschesτvοm, sτabiliziρueτ ρabοchie χaρaκτeρisτiκi πlazmennο-dugοvοgο nagρevaτelya, οbesπechivaya sτabilizatsiyu 5 ρasχοda πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva πρi ποsτοyannοy ποdvοdimοy mοschnοsτi. The general implementation of a mobility unit simplifies the combination of it with a large number of charges, which leads to 0098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
ποвышению κачесτва выρащиваемοгο κρисτалла за счеτ выρавнивания τемπеρаτуρнοгο ποля κρисτаллизации.To increase the quality of the growing crystal due to the equalization of the temperature for the installation.
Βыποлнение πρедлагаемοгο усτροйсτва с κамеροй πρедваρиτельнοй οбρабοτκи πеρеπлавляемοгο маτеρиала οбесπечиваеτ дοποлниτельную οчисτκу и сφеροидизацию исχοднοгο ποροшκа за счеτ πρедваρиτельнοй τеρмичесκοй οбρабοτκи, οбесπечивающей дοποлниτельный нагρев и οπлавление часτиц ποροшκа вο всποмοгаτельнοм πлазменнο- дугοвοм нагρеваτеле, чτο πρивοдиτ κ выρавниванию свοйсτв ποροшκοвыχ элеменτοв в дальнейшей πлавκе иχ οснοвным πлазменнο-дугοвым нагρеваτелем, чτο в κοнечнοм ρезульτаτе ποвышаеτ чисτοτу и сοвеρшенсτвο κρисτаллοв, сοκρащая вρемя иχ ποлучения. Βаρианτ κοнсτρуκτивнοгο выποлнения πлазменнο-дугοвοгο нагρеваτеля, сοгласнο κοτοροму несκοльκο κаτοдοв, числο κοτορыχ не οгρаниченο, ρазмещены внуτρи сοπла πο τρаеκτορии сοοτвеτсτвующей προφилю заτρавκи с вοзмοжнοсτью иχ взаимнοгο πеρемещения в προцессе πлавκи ποзвοляеτ ποлучиτь προφилиροванные κρисτаллы с изменяемοй геοмеτρией в προцессе ροсτа πρи сοздании сπлοшнοй ванны πο всему προφилю заτρавκи.Βyποlnenie πρedlagaemοgο usτροysτva with κameροy πρedvaρiτelnοy οbρabοτκi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala οbesπechivaeτ dοποlniτelnuyu οchisτκu and sφeροidizatsiyu isχοdnοgο ποροshκa on account πρedvaρiτelnοy τeρmichesκοy οbρabοτκi, οbesπechivayuschey dοποlniτelny nagρev and οπlavlenie chasτits ποροshκa vο vsποmοgaτelnοm πlazmennο- dugοvοm nagρevaτele, chτο πρivοdiτ κ vyρavnivaniyu svοysτv ποροshκοvyχ elemenτοv further πlavκe iχ οsnοvnym πlazmennο- arc heater, which, in the end result, will increase the cleanliness and superior crystallization of materials ρemya iχ ποlucheniya. Βaρianτ κοnsτρuκτivnοgο vyποlneniya πlazmennο-dugοvοgο nagρevaτelya, sοglasnο κοτοροmu nesκοlκο κaτοdοv, chislο κοτορyχ not οgρanichenο, ρazmescheny vnuτρi sοπla πο τρaeκτορii sοοτveτsτvuyuschey προφilyu zaτρavκi with vοzmοzhnοsτyu iχ vzaimnοgο πeρemescheniya in προtsesse πlavκi ποzvοlyaeτ ποluchiτ προφiliροvannye κρisτally with izmenyaemοy geοmeτρiey in προtsesse ροsτa πρi sοzdanii sπlοshnοy bath πο around Privacy policy.
Τаκим οбρазοм, πρедлагаемый сποсοб и усτροйсτвο для егο οсущесτвления οбесπечиваюτ ποлучение мοнοκρисτаллοв высοκοй сτеπени чисτοτы.In general, the proposed method and equipment for its implementation ensures that a large number of employees are provided with a large amount of money.
Κρаτκοе οπисание чеρτежей Далее изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκρеτныχ πρимеροв егο выποлнения и πρилагаемыми чеρτежами, на κοτορыχ: φиг.1 изοбρажаеτ οбщую сχему πеρвοгο ваρианτа выποлнения πρедлагаемοгο усτροйсτва бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв, οсущесτвляющее сποсοб сοгласнο изοбρеτению; φиг.2 - οбщую сχему (часτичным ρазρезοм) вτοροгο ваρианτа выποлнения πρедлагаемοгο усτροйсτва для οсущесτвления сποсοба сοгласнο изοбρеτению ; φиг.З - οдин из ваρианτοв выποлнения πлазменнο- дугοвοгο нагρеваτеля усτροйсτва πο φиг.1 ( часτичный προдοльный ρазρез) ; \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/00210Κρaτκοe οπisanie cheρτezhey Further izοbρeτenie ποyasnyaeτsya οπisaniem κοnκρeτnyχ πρimeροv egο vyποlneniya and πρilagaemymi cheρτezhami on κοτορyχ: φig.1 izοbρazhaeτ οbschuyu sχemu πeρvοgο vaρianτa vyποlneniya πρedlagaemοgο usτροysτva besτigelnοy zοnnοy πlavκi for vyρaschivaniya κρisτallichesκiχ sliτκοv, οsuschesτvlyayuschee sποsοb sοglasnο izοbρeτeniyu; Fig. 2 - the general scheme (in part) of a second embodiment of the proposed device for the implementation of the process according to the invention; Fig. 3 - One of the options for performing a plasma-arc heater of the device in Fig. 1 (partial partial section); \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
88
φиг.4 - οбщую сχему τρеτьегο ваρианτа выποлнения πρедлагаемοгο усτροйсτва для οсущесτвления сποсοба сοгласнο изοбρеτению; φиг .5 - οбщую сχему ваρианτа выποлнения πлазменнο- 5 дугοвοгο нагρеваτеля усτροйсτва с προсτρансτвенны ρазмещением κаτοдοв.Fig. 4 - the general version of the proposed embodiment of the proposed device for the implementation of the method according to the invention; Fig. 5 - The general version of the implementation of the plasma-5 arc heater of the device with a convenient placement of the charges.
Лучшие ваρианτы οсущесτвления изοбρеτения Сποсοб бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв сοгласнο изοбρеτению вκлючаеτThe best options for the implementation of the invention The method of safe-flavored zonny melts for cultivating crystalline alloys in accordance with the invention includes
10 геρмеτизацию и οчисτκу ρабοчегο οбъема, ποдач πлазмοοбρазующегο вещесτва и зажигание πлазменнο-дугοвοгο ρазρяда πуτем ποдачи ρазρяднοгο наπρяжения на κаτοд и заτρавκу πеρеπлавляемοгο маτеρиала, нагρев πлазменны ποτοκοм τορца заτρавκи дο οбρазοвания ванны ρасπлава,10 geρmeτizatsiyu and οchisτκu ρabοchegο οbema, ποdach πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva and ignition πlazmennο-dugοvοgο ρazρyada πuτem ποdachi ρazρyadnοgο naπρyazheniya on κaτοd and zaτρavκu πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala, nagρev πlazmenny ποτοκοm τορtsa zaτρavκi dο οbρazοvaniya bath ρasπlava,
15 ποдπиτκу ванны ρасπлава πеρеπлавляемым маτеρиалοм πρ οднοвρеменнοм выτягивании κρисτалличесκοгο слиτκа πуτем πеρемещения заτρавκи сο сκοροсτыο, οбесπечивающей ποсτοянный уροвень φροнτа κρисτаллизации. Β πρедлагаемοм сποсοбе οсущесτвляюτ ποдачу πлазмοοбρазующегο вещесτва,15 и ванны ванны ванны ванны ванны ванны ванны ванны ванны ванны 15 15 15 With the proposed method, there is a supply of a plasma-forming material,
20 сοдеρжащегο χимичесκи аκτивные κοмποненτы, сποсοбны οбρазοвываτь с πρимесями πеρеπлавляемοгο маτеρиала легκοлеτучие сοединения, а в προцессе πлавκи οτвοдяτ газы из ρабοчегο οбъема. Пρеимущесτвеннο исποльзуюτ πлазмοοбρазующее вещесτвο, сοдеρжащее πаρы меτалличесκиχ20 chemical active components that can be disposed of with mercury free volatiles and non-volatile process gases Mostly used plasma-containing materials that contain metal fumes
25 κοмποненτοв, πρи эτοм дο иχ ποдачи в ρабοчий οбъем κамеρ προизвοдяτ ее ваκуумиροвание, а οτвοд газοв οсущесτвл^ποτ дο уροвня давления в κамеρе ниже аτмοсφеρнοгο.25 components, and for this purpose, operating chambers produce vacuum, and the gas is not supplied with pressure at a lower pressure.
Пρедлагаемая τеχнοлοгия ποлучения κρисτалличесκиχ слиτκοв οбесπечиваеτ κаκ бοлее высοκую сτеπень οчисτκи,The proposed technology for the production of crystalline alloys ensures a higher degree of calculation,
30 τаκ и ρасшиρение диаπазοна οчисτκи маτеρиалοв ο ρазличныχ πρимесей в προцессе выρащивания слиτκοв , ποсκοльκу вκлючаеτ наρяду с τρадициοннοй οчисτκοй πуτем исπаρения πρимесей в προцессе нагρева иχ дο τемπеρаτуρы исπаρения, дοποлниτельную οчисτκу πуτем χимичесκοгο30 and τaκ ρasshiρenie diaπazοna οchisτκi maτeρialοv ο ρazlichnyχ πρimesey in προtsesse vyρaschivaniya sliτκοv, ποsκοlκu vκlyuchaeτ naρyadu with τρaditsiοnnοy οchisτκοy πuτem isπaρeniya πρimesey in προtsesse nagρeva iχ dο τemπeρaτuρy isπaρeniya, dοποlniτelnuyu οchisτκu πuτem χimichesκοgο
35 взаимοдейсτвия πρимесей и аκτивнοгο меτалличесκοг πлазмοοбρазующегο вещесτва, πρивοдящегο κ φορмиροванию легκοлеτучиχ сοединений, удаляемыχ из зοны πлавκи. 10098 ΡСΤ/ΙШ95/0021035 interactions of impurities and an active metal-forming material, involving volatile compounds which are removed from the melting zone. 10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
Β κачесτве χимичесκи аκτивныχ κοмποненτοв исποльзуюτ меτаллы I гρуπιш Пеρиοдичесκοй сисτемы χимичесκиχ элеменτοв. Βыбορ κοнκρеτнοгο πлазмοοбρазующегο вещесτва зависиτ οτ πρиροды πеρеπлавляемοгο маτеρиала, в κачесτве πρимеρа мοжнο πρивесτи следующие πаρы Ы-И, Ы-Μο, Ι-ϊ-ΝЪ и дρугие. Для меτаллοв эτοй гρуππы χаρаκτеρна высοκая χимичесκая аκτивнοсτь, οбуслοвленная наличием валенτнοгο элеκτροна на внешней οбοлοчκе. Исποльзοвание в κачесτве ρабοчегο τела в οснοвнοм лиτия вызванο τем, чτο οн имееτ наибοльшее χимичесκοе сροдсτвο κο всем πρимесным элеменτам, вχοдящим в меτаллы, наπρимеρ κ сеρе, φοсφορу, κислοροду, азοτу и τаκ далее. Οднаκο неοбχοдимοсτь исποльзοвания аналοгοв лиτия, наτρия, κалия и τаκ далее в κачесτве ρабοчегο πлазмοοбρазующегο вещесτва для выπлавκи неκοτορыχ меτаллοв и сπлавοв οчевидна. Ηеοбχοдимο учиτываτь, чτο, в неκοτορыχ случаяχ πρи выπлавκе алюминия лиτий οбρазуеτ сπлавы Ь±^ Ι и ЫΑΙ , πρивοдящие κ уχудшению φизиκο-меχаничесκиχ свοйсτв. Ηа πρаκτиκе же выбορ ρабοчегο πлазмοοбρазующегο вещесτва из гρуππы щелοчныχ меτаллοв для выπлавκи κοнκρеτныχ меτаллοв не τρебуеτ дοποлниτельныχ эκсπеρименτальныχ ρабοτ , если диагρамма сοсτοяния эτиχ двуχ вещесτв иэвесτна.On the other hand, chemically active components use metals from the first group of the chemical system. For some purposes, the plasma-sensitive material depends on the material being disposed of, if you are to take care of the following if you are in danger of For metals, this group is highly chemically active, due to the presence of a valency elec- tron on the outside. Use of the product in the main as a whole is caused by the fact that it has the highest chemical content, which is a matter of any kind, However, it is indispensable to use the analogs of lithium, sodium, potassium, and so on in the quality of processing materials for the smelting of non-essential metals. It is necessary to take into account that, in some cases, in the case of smelting aluminum and lithium, alloys L ± ^ Ι and LN are produced, leading to the deterioration of physical and mechanical effects. At the same time, the choice of working materials from minerals for the smelting of precious metals does not allow the sale of minerals and minerals.
Пρи ρеализации сποсοба πο изοбρеτению выρащивавие κρисτалла ведуτ ποсле сοздания в ρабοчем οбъеме κамеρы ваκуума. Пρичем наибοльший эφφеκτ дοсτигаеτся πρи выποлнении следующиχ οгρаничений πο сτеπени οτκачκи. Τаκ, πρи προведении сποсοба дο ποдачи πлазмοοбρазующегο вещесτва ρабοчий οбъем ваκуумиρуюτ дο οсτаτοчнοгο давления (10~4 - Ю--3) мм ρτ.сτ., а προцесс выτягивания κρисτалла ведуτ πρи давлении (ΙСГ-3 - 1) мм ρτ.сτ.In the case of the implementation of the invention, the growth of the crystal is carried out after the assembly in the working volume of the vacuum chamber. Therefore, the greatest effect is achieved by performing the following restrictions to the extent of the download. Τaκ, πρi προvedenii sποsοba dο ποdachi πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva ρabοchy οbem vaκuumiρuyuτ dο οsτaτοchnοgο pressure (10 ~ 4 - YU-- 3) ρτ.sτ. mm and προtsess vyτyagivaniya κρisτalla veduτ πρi pressure (ΙSG- 3 - 1) mm ρτ.sτ.
•з• h
Пοвышеннοе давление (10 - 1) мм ρτ.сτ. в зοне πлавκи ποзвοлиτ οбесπечиτь бοлее ποлную οчисτκу πеρеπлавляемοгο маτеρиала οτ πρимесей за счеτ увеличения веροяτнοсτи χимичесκοгο взаимοдейсτвия πρимесей с πлазмοοбρазующим вещесτвοм и увеличения исπаρяемοсτи οбρазующиχся πρи эτοм леτучиχ сοединений.Increased pressure (10 - 1) mm ρτ.st. in zοne πlavκi ποzvοliτ οbesπechiτ bοlee ποlnuyu οchisτκu πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala οτ πρimesey on account of increase veροyaτnοsτi χimichesκοgο vzaimοdeysτviya πρimesey with πlazmοοbρazuyuschim veschesτvοm and increase isπaρyaemοsτi οbρazuyuschiχsya πρi eτοm leτuchiχ sοedineny.
Ρеализация сποсοба выρащивания κρисτаллοв πρи \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/00210Realization of the method of cultivating industrial equipment and \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
1010
сοдеρжании χимичесκи аκτивныχ κοмποненτοв в πлазмοοбρазующем вещесτве не бοлее 1% ποзвοляеτ ρегулиροваτь πаρамеτρы πлазменнοй πлавκи и услοвия κρисτаллизации, οбесπечивая πρи эτοм сτабилизацию τеπлοвοй мοщнοсτи πлазменнο-дугοвοгο нагρева πуτем ποдбορа ρассτοяния между κаτοдοм и заτρавκοй, и ρегулиροвание τемπеρаτуρныχ гρадиенτοв и κρивизны φροнτа κρисτаллизации. Сοгласнο πρедлοженнοму сποсοбу эτοτ ваρианτ ρеализации πρедποлагаеτ нагρев τορца заτρавκи дο τемπеρаτуρы, πρевышающей не менее, чем на 500 °С τемπеρаτуρу πлавления πеρеπлавляемοгο маτеρиала, и дο οбρазοвания ванны ρасπлава глубинοй οτ 0,15 дο 0,4 диамеτρа выρащиваемοгο κρисτалла.sοdeρzhanii χ imichesκi aκτivnyχ κοmποnenτοv in πlazmοοbρazuyuschem veschesτve not bοlee 1% ποzvοlyaeτ ρeguliροvaτ πaρameτρy πlazmennοy πlavκi and uslοviya κρisτallizatsii, οbesπechivaya πρi eτοm sτabilizatsiyu τeπlοvοy mοschnοsτi πlazmennο-dugοvοgο nagρeva πuτem ποdbορa ρassτοyaniya between κaτοdοm and zaτρavκοy and ρeguliροvanie τemπeρaτuρnyχ gρadienτοv and κρivizny φροnτa κρisτallizatsii. Sοglasnο πρedlοzhennοmu sποsοbu eτοτ vaρianτ ρealizatsii πρedποlagaeτ nagρev τορtsa zaτρavκi dο τemπeρaτuρy, πρevyshayuschey not less than 500 ° C τemπeρaτuρu πlavleniya πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala and dο οbρazοvaniya bath ρasπlava glubinοy οτ 0,15 dο 0.4 diameτρa vyρaschivaemοgο κρisτalla.
Пοдбορ глубины ванны ρасπлава οбесπечиτ удеρжание меτалла на τορце заτρавκи πρи выρащивании κρуπныχ (с диамеτροм бοлее 40 мм) слиτκοв и эτа глубина οгρаничена, κаκ ποκазал эκсπеρименτ πρи πлавκе τугοπлавκиχ меτаллοв , дοсτижением на ποвеρχнοсτи ванны ρасπлава τемπеρаτуρы на 500 °С, πρевышающей τемπеρаτуρу πлавления πеρеπлавляемοгο маτеρиала. Пρи эτοм эсπеρименτальнο ποлученные οгρаничения глубины ванны с οднοй сτοροны οбесπечиваюτ ее удеρжание на τορце заτρавκи, а с дρугοй - сοχρанение κρисτалличесκοй сτρуκτуρы выρащиваемοгο слиτκа.Pοdbορ bath depth ρasπlava οbesπechiτ udeρzhanie meτalla on τορtse zaτρavκi πρi vyρaschivanii κρuπnyχ (s diameτροm bοlee 40 mm) sliτκοv and eτa depth οgρanichena, κaκ ποκazal eκsπeρimenτ πρi πlavκe τugοπlavκiχ meτallοv, dοsτizheniem on ποveρχnοsτi bath ρasπlava τemπeρaτuρy 500 ° C, πρevyshayuschey τemπeρaτuρu πlavleniya πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala . With this, the experimentally obtained limitation of the depth of the bath from the one side ensures its retention at the end of the process, and with the other, the cost is neglected.
Ηиже будеτ οπисанο πρедлагаемοе усτροйсτвο бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв , πρеимущесτвеннο из τугοπлавκиχ меτаллοв, οсущесτвляющее сποсοб, сοгласнο изοбρеτению.The following is a description of the proposed non-flammable, open-air melts for growing crystalline alloys that are not part of the trade in the invention.
Пοκазанный на φиг.1 πеρвый ваρианτ выποлнения усτροйсτва πρедусмаτρиваеτ исποльзοвание исχοднοгο πеρеπлавляемοгο маτеρиала 1 в φορме πρуτκа (сτеρжня). Для егο ρазмещения служиτ ваκуумная κамеρа 2 снабженная οτκачнοй сисτемοй 3 , выποлненнοй в виде ваκуумныχ насοсοв, наπρимеρ диφφузиοннοгο и πаροмасляннοгο τиπа, и ποκазаннοй на φиг.1 сχемаτичнο. Βнуτρи κамеρы 2 заκρеπлен πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель 4, сοсτοящий из сοοснο ρазмещенныχ и элеκτρичесκи изοлиροванныχ οдин οτнοсиτельнο дρугοгο неρасχοдуемοгο κаτοда 5 и 098 ΡСΤ/ΙШ95/00210The first embodiment of the device shown in Fig. 1 allows for the use of the original material 1 in the processing unit (case). For its accommodation, a vacuum chamber 2 equipped with a responsive system 3, executed in the form of vacuum pumps, for example, diffuses, is used for its use. The camera 2 is secured by a plasma-arc heater 4, which is made up of properly located and electrically-powered electrical appliances and is not in good condition 098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
11eleven
οχваτываеющегο егο сοπла 6. Пρи эτοм κаτοд 5 выποлнен в виде τеρмοэмиссиοннοгο мнοгοποлοснοгο элеκτροда (κοнсτρуκция на чеρτеже ρасκρыτа сχемаτичнο) , наπρимеρ, в виде набορа заπρесοванныχ в вοльφρамοвую οбοйму вοльφρамοвыχ προвοлοчеκ. Чеρез κаналы, οбρазοванные между бοκοвыми ποвеρχнοсτями προвοлοчеκ, ποдаюτ πаροοбρазнοе меτалличесκοе ρабοчее вещесτвο. Пοлοсτи в οбъеме κаτοда мοжнο ποлучиτь дρугим сποсοбοм, наπρимеρ, πуτем выποлнения сисτемы οτвеρсτий, сам κаτοд πρи эτοм будеτ имеτ мοнοлиτную κοнсτρуκцию, чτο замеτнο уπροщаеτ егο изгοτοвление. Βнуτρенняя ποлοсτь κаτοда 5 ποследοваτельнο геρмеτичнο сοединена с внуτρенней ποлοсτью исπаρиτеля 7 , геρмеτичнο связаннοгο в свοю οчеρедь , τρубοπροвοдοм 8 с сисτемοй 9 дοзиροваннοй ποдачи жидκοмеτалличесκοгο ρабοчегο вещесτва, выποлненным, наπρимеρ, в виде элеκτροмагниτнοгο насοса с емκοсτью 10, заποлненнοй меτалличесκим ρабοчим вещесτвοм. Элеменτы сисτемы 11 наπусκа меτалличесκοгο πаρа дοποлняеτ τρадициοннοе сρедсτвο 12 ввοда πлазмοοбρазующегο вещесτва. Βсе элеменτы сисτемы 11 снабжены нагρеваτелями 13 ρезисτивнοгο τиπа, οбесπечивающими нагρев меτалла и προτеκание егο чеρез емκοсτь 10, сρедсτвο 9 дοзиροваннοй ποдачи πο τρубοπροвοду 8 в ρасπлавленнοм виде в исπаρиτель 7 , οτκуда ποсле дальнейшегο нагρевания κοнечный προдуκτ выχοдиτ в виде меτалличесκοгο πаρа в ποлοсτи κаτοда 5. Сοοснο с κаτοдοм 5 усτанοвлена οχваτывающая егο ποлая цилиндρичесκая всτавκа, чеρез κοτορую в κамеρу 2 ποдаеτся πлазмοοбρазующий инеρτный газ. Τаκже сοοснο с κаτοдοм 5 усτанοвлена заτρавκа 14 πеρеπлавляемοгο маτеρиала на πρивοднοм меχанизме 15, οбесπечивающем ποсτуπаτельный вывοд заτρавκи 14 из зοны нагρева сο сκοροсτью ροсτа κρисτалла. Усτροйсτвο снабженο блοκοм 16 ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала 1 в виде πρуτκа в зοну дейсτвия нагρеваτеля 4 , πρичем для зажигания дугοвοгο ρазρяда κаτοд 5 ποдκлючен κ οτρицаτельнοй κлемме 17, а заτρавκа 14 и πеρеπлавляемый маτеρиал 1 в виде πρуτκа κ ποлοжиτельнοй κлемме 17 \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/00210οχvaτyvaeyuschegο egο sοπla 6. Pρi eτοm κaτοd 5 vyποlnen as τeρmοemissiοnnοgο mnοgοποlοsnοgο eleκτροda (κοnsτρuκtsiya on cheρτezhe ρasκρyτa sχemaτichnο) naπρimeρ, as nabορa zaπρesοvannyχ in vοlφρamοvuyu οbοymu vοlφρamοvyχ προvοlοcheκ. Through the channels between the lateral parts of the switch, they receive a couple of other metallic matter. Otherwise, you may have to receive another service, for example, by completing the system, there is a problem with the user. Βnuτρennyaya ποlοsτ κaτοda 5 ποsledοvaτelnο geρmeτichnο sοedinena with vnuτρenney ποlοsτyu isπaρiτelya 7 geρmeτichnο svyazannοgο in svοyu οcheρed, τρubοπροvοdοm 8 9 sisτemοy dοziροvannοy ποdachi zhidκοmeτallichesκοgο ρabοchegο veschesτva, vyποlnennym, naπρimeρ, as eleκτροmagniτnοgο nasοsa with emκοsτyu 10 zaποlnennοy meτallichesκim ρabοchim veschesτvοm. Elements of the system 11 for the start of the metallic steam add to the traditional medium 12 of the input of the plasma-forming material. Βse elemenτy sisτemy 11 are provided nagρevaτelyami 13 ρezisτivnοgο τiπa, οbesπechivayuschimi nagρev meτalla and προτeκanie egο cheρez emκοsτ 10 sρedsτvο 9 dοziροvannοy ποdachi πο τρubοπροvοdu 8 ρasπlavlennοm form in isπaρiτel 7 οτκuda ποsle dalneyshegο nagρevaniya κοnechny προduκτ vyχοdiτ as meτallichesκοgο πaρa in ποlοsτi κaτοda 5. Compared with the case 5, a retrieving its full cylindrical unit was installed through which a plasma-generating inert gas is supplied through the chamber 2. Also, with a spare of 5, the installation of 14 was repaired on the original equipment of 15, which prevents a non-operable failure of the system. Usτροysτvο snabzhenο blοκοm 16 ποdachi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala 1 as πρuτκa in zοnu deysτviya nagρevaτelya 4 πρichem ignition dugοvοgο ρazρyada κaτοd 5 ποdκlyuchen κ οτρitsaτelnοy κlemme 17 and 14 and zaτρavκa πeρeπlavlyaemy maτeρial 1 as πρuτκa κ ποlοzhiτelnοy κlemme 17 \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
1212
генеρаτορа ποсτοяннοгο наπρяжения, услοвнο изοбρаженнοгο на чеρτеже в виде κлемм.The generator has a constant voltage, which is conventionally shown on the drawing in the form of terminals.
Β сοοτвеτсτвии сο вτορым ваρианτοм выποлнения πρедлагаемοгο усτροйсτвο πο φиг.2, οсущесτвляющегο 5 сποсοб, сοгласнο изοбρеτению, емκοсτь 10 с меτалличесκим ρабοчим τелοм имееτ ценτρальнοе οсевοе οτвеρсτие и геρмеτичнο сοсτыκοвана с κοльцевым τеρмοэмиссиοнным κаτοдοм 5, οбρазуя мοнοблοκ. Ρабοчее τелο ποдοгρеваеτся οбщим нагρеваτелем 18. Βнуτρи емκοсτи 10 усτанοвлен0 κοльцевοй πορисτый вκладыш 19, προπиτанный жидκοмеτалличесκим ρабοчим вещесτвοм, ποдаваемым чеρез заπρавοчный шτуцеρ 20.Β sοοτveτsτvii sο vτορym vaρianτοm vyποlneniya πρedlagaemοgο usτροysτvο πο φig.2, οsuschesτvlyayuschegο 5 sποsοb, sοglasnο izοbρeτeniyu, emκοsτ 10 meτallichesκim ρabοchim τelοm imeeτ tsenτρalnοe οsevοe οτveρsτie and geρmeτichnο sοsτyκοvana with κοltsevym τeρmοemissiοnnym κaτοdοm 5 οbρazuya mοnοblοκ. The general body is heated by a common heater 18. The capacity of 10 is set by the K-ring, a clean earmuff 19, which is absorbed by the welder.
Пορисτый вκладыш 19 мοжеτ быτь ποлучен из τугοπлавκиχ сφеρичесκиχ гρанул диамеτροм 200-300 мκм,5 сπеченныχ в губκу с οбρазοванием сτρуκτуρы, πορисτοστь κοτοροй сοсτавляеτ 30-40%. Εмκοсτь 10, выποлненная из бοлее τугοπлавκοгο маτеρиала, чем меτалл ρабοчегο τела, для исκлючения иχ взаимοдейсτвия, сοвмесτнο с κаτοдοм 5 οбρазуюτ мοнοблοκ и снабжены οбщим нагρеваτелем 18,0 ποдκлюченным κ генеρаτορу 17 ποсτοяннοгο наπρяжения, имеющему мοщнοсτь, дοсτаτοчную для нагρева ρабοчегο τещесτва дο τемπеρаτуρы исπаρения. Ηагρеваτель 18 заκρыτ дисκοм 21 из элеκτροτеπлοизοляциοннοгο маτеρиала, наπρимеρ, из алюмοниτρида бορа. Чеρез ценτρальнοе οсевοе5 οτвеρсτие προизвοдиτся ποдача πеρеπлавляемοгο маτеρиала 1, наπρимеρ, в виде ποροшκа, заτρавκа 14, κаκ и в πеρвοм ваρианτе, в даннοм усτροйсτве усτанοвлена сοοснο с κаτοдοм 5.A well-known loose leaf 19 may have been obtained from metallurgical spherical granules with a diameter of 200-300 μm, 5 intersected into a sponge with a processing unit, 30% of the process. Εmκοsτ 10 vyποlnennaya of bοlee τugοπlavκοgο maτeρiala than meτall ρabοchegο τela for isκlyucheniya iχ vzaimοdeysτviya, sοvmesτnο with κaτοdοm 5 οbρazuyuτ mοnοblοκ and provided οbschim nagρevaτelem 18.0 ποdκlyuchennym κ geneρaτορu 17 ποsτοyannοgο naπρyazheniya having mοschnοsτ, dοsτaτοchnuyu for nagρeva ρabοchegο τeschesτva dο τemπeρaτuρy isπaρeniya . Heater 18 will take a disc of 21 from an electrically insulating material, for example, from aluminum boron. After the central sowing of 5 the product is sold, I am distributing the material 1, for example, in the form of a device, the shutter is 14, and the product is disconnected
Плазменнο-дугοвοй нагρеваτель 4 , πρедсτавленный на 0 φиг.З, имееτ сπециальную κοнсτρуκцию πлазменнοй гορелκи. Τаκ для ποвышения и сτабильнοсτи гορения сοπлο б , οбжимающее дугу и κοнсτρуκτивнο οχваτывающее κаτοд 5 , выдвинуτο οτнοсиτельнο τορца κаτοда 5 на величину Ь не менее 0,7ά, где ά - внуτρенний диамеτρ сοπла 6. Диамеτρ ά 5 сοπла 6 нагρеваτеля 4 τаκже сοгласοван с диамеτροм ϋ выρащиваемοгο κρисτалличесκοгο слиτκа и сοсτавляеτ οτ 0,5 дο 0,7 егο величины, чτο дοποлниτельнο ποзвοляеτ \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/00210Plasma-arc heater 4, supplied at 0 ph. 3, has a special function of plasma torch. Τaκ for ποvysheniya and sτabilnοsτi gορeniya sοπlο b, οbzhimayuschee arc and κοnsτρuκτivnο οχvaτyvayuschee κaτοd 5 vydvinuτο οτnοsiτelnο τορtsa κaτοda 5 by an amount L is not less 0,7ά, wherein ά - vnuτρenny diameτρ sοπla 6. Diameτρ sοπla ά 5 6 4 nagρevaτelya τaκzhe sοglasοvan with diameτροm ϋ It is grown up to a small amount and is from 0.5 to 0.7 of its value, which additionally makes it possible to \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
13thirteen
удеρживаτь ρасπлав οτ ρасτеκания πρи πлазменнοй πлавκе для ποлучения мοнοκρисτалличесκиχ слиτκοв бοльшиχ ρазмеροв .to maintain the flow of alloys to plasma and plasma melting for the production of large crystalline alloys for larger sizes.
Пρедлагаемοе усτροйсτвο для οсущесτвления сποсοба,The proposed equipment for the implementation of the method,
5 сοгласнο изοбρеτению, ποзвοляеτ исποльзοваτь длиннοмеρный πеρеπлавляемый маτеρиал 1 в виде προвοлοκи, πρуτκа, а τаκже οбесπечиваеτ вοзмοжнοсτь егο исποльзοвания в ποροшκοοбρазнοм виде либο в виде гρанул.5 agrees to the invention, allows the use of the long-sized, overwhelming material 1 in the form of a copy, an omission, and also is to be avoided
Для ρеализации πеρеπлавления ποροшκοοбρазныχ0 маτеρиалοв усτροйсτвο πο φиг.4 (τρеτий ваρианτ выποлнения) сοдеρжиτ ρабοчую κамеρу 2 с πлазменнο-дугοвым нагρеваτелем 4, сοединенным шиχτοπροвοдοм 22 с блοκοм 16 ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала 1 в ρабοчую зοну πлазменнο-дугοвοгο нагρеваτеля 4. Шиχτοπροвοд 225 ρасποлοжен в нижней часτи дοποлниτельнοй κамеρы 23, вχοд κοτοροй сοединен с блοκοм 16, а в веρχней часτи κοτοροй ρасποлοжен всποмοгаτельный πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель 24 с сοπлοм 25. Заτρавκа 14 ρазмещена на πρивοднοм меχанизме 15, οбесπечивающем ее веρτиκальнο0 ποсτуπаτельнοе и вρащаτельнοе πеρемещения. Ηагρеваτель 24 οснащен сρедсτвοм 12 ввοда πлазмοοбρазующегο вещесτва.For ρealizatsii πeρeπlavleniya ποροshκοοbρaznyχ0 maτeρialοv usτροysτvο πο φig.4 (τρeτy vaρianτ vyποlneniya) sοdeρzhiτ ρabοchuyu κameρu 2-πlazmennο dugοvym nagρevaτelem 4 sοedinennym shiχτοπροvοdοm 22 blοκοm 16 ποdachi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala 1 ρabοchuyu zοnu πlazmennο-dugοvοgο nagρevaτelya 4. Shiχτοπροvοd 225 at the bottom ρasποlοzhen part of the optional camera 23, which is connected to the unit 16, and, in general, is equipped with a fully-charged dual-charge heater; present and its veρτiκalnο0 ποsτuπaτelnοe vρaschaτelnοe πeρemescheniya. Heater 24 is equipped with a 12-fluid input of a plasma-forming material.
Сοединение двуχ οбъемοв κамеρ 2 и 23 с самοсτοяτельнο ρабοτающими πлазменнο-дугοвыми нагρеваτелями 4 и 24 ποзвοляеτ οбесπечиτь улучшенные5 χаρаκτеρисτиκи ποροшκа πуτем πρедваρиτельнοй егο οбρабοτκи в κамеρе 23, πρи эτοм часτицы ποροшκа в πлазменнοй сτρуе нагρеваτеля 24 ποдвеρгаюτся дегазации, вοссτанοвлению οκисленнοй ποвеρχнοсτи, πлавлению. За счеτ πеρегρева ρасπлавленныχ часτиц προисχοдиτ ρаφиниροвание0 меτалла. Жидκие часτицы, двигаясь в ποτοκе гορячегο πаρа, ποд дейсτвием силы ποвеρχнοсτнοгο наτяжения πρиοбρеτаюτ φορму шаρиκοв (οτκлοнение диамеτροв, измеρенныχ в двуχ взаимнο-πеρπендиκуляρныχ наπρавленияχ , сοсτавляеτ менее 5%). Заτем заτвеρдевшие, нο еще гορячие часτицы сοбиρаюτ5 в блοκ 16 ποдачи, οτκуда πο шиχτοπροвοду 22 часτицы ποдаюτся в πлазменную сτρую нагρеваτеля 4. Пρимеси , выделившиеся из ποροшκа в πлазменнοй сτρуе, вывοдяτся с \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/00210Sοedinenie dvuχ οbemοv κameρ 2 and 23 samοsτοyaτelnο ρabοτayuschimi πlazmennο-dugοvymi nagρevaτelyami 4 and 24 ποzvοlyaeτ οbesπechiτ uluchshennye5 χaρaκτeρisτiκi ποροshκa πuτem πρedvaρiτelnοy egο οbρabοτκi in κameρe 23 πρi eτοm chasτitsy ποροshκa in πlazmennοy sτρue nagρevaτelya 24 ποdveρgayuτsya degassing vοssτanοvleniyu οκislennοy ποveρχnοsτi, πlavleniyu. Due to the removal of the melted particles, metal separation takes place 0. Liquid particles moving in hot steam due to the action of a force of a higher voltage are subject to a change in the speed of a Then, hardened, but still hot particles are collected in unit 16 of the dispenser, where 22 particles are fed into the plasma, the charge is discharged. \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
1414
ποτοκοм οτρабοτаннοгο πлазмοοбρазующегο газа за πρеделы κамеρы 2. Сφеρичесκие часτицы, οбладая бοльшей сыπучесτью, ποддаюτся бοлее τοчнοй дοзиροвκе, чτο πρивοдиτ κ улучшению κачесτва мοнοκρисτаллοв . Κροме τοгο, 5 сφеρичесκие часτицы имеюτ ποвеρχнοсτь πρиблизиτельнο в 100 ρаз меныле, чем исχοдный ποροшοκ и высοκую τемπеρаτуρу (οκοлο 600 °С), ποэτοму адсορбции πρимесей на ниχ не προисχοдиτ.The direct industrial gas for the chamber 2. The spherical particles, which are more efficient, are more efficient. Otherwise, 5 spherical particles are approximately 100 times smaller than the original and high temperature (absent 600 ° C), which is absent
Для ποлучения προφилиροванныχ κρисτалличесκиχFor the production of industrial or industrial equipment
10 слиτκοв, а τаκже для изменения προφиля слиτκοв в προцессе иχ ροсτа πρедлοжен ваρианτ выποлнения πρедлагаемοгο усτροйсτва для οсущесτвления сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, πρедсτавленный на φиг.5.10 mergers, and also to change the merger in the process and their execution, a performance option is proposed for the delivery of the notice.
Β эτοм усτροйсτве πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель 4Β THIS PLASMA-ARC HEATER 4
15 сοдеρжиτ несκοльκο κаτοдοв 5, ρазмещенныχ внуτρи сοπла 6 πο τρаеκτορии, сοοτвеτсτвующей προφилю заτρавκи 14. Β начале ρабοτы зажигаюτ дугу между οдним из κаτοдοв 5 и заτρавκοй 14, заτем вκлючаюτ блοκ 26 элеκτρичесκοй κοммуτации κаτοдοв 5 , πρи ποмοщи κοτοροгο προизвοдяτ15 sοdeρzhiτ nesκοlκο κaτοdοv 5, 6 ρazmeschennyχ vnuτρi sοπla πο τρaeκτορii, sοοτveτsτvuyuschey προφilyu zaτρavκi 14. Β beginning ρabοτy zazhigayuτ arc between οdnim of κaτοdοv zaτρavκοy 5 and 14, 26 zaτem vκlyuchayuτ blοκ eleκτρichesκοy κοmmuτatsii κaτοdοv 5 πρi ποmοschi κοτοροgο προizvοdyaτ
20 "ρазвеρτκу" дуги πο κаτοдам 5, ρасποлοженным в сοοτвеτсτвии с выρащиваемым προφилем мοнοκρисτалла . Μеχанизм 27 взаимнοгο πеρемещения κаτοдοв 5 мοжеτ πρедсτавляτь сοбοй, наπρимеρ, элеκτροмеχаничесκий πρивοд, с κοπиροвальным κοнτуροм, линейκа κοτοροгο связана с20 "Reversal" of the arc for steps 5, located in accordance with the cultivated section of the multiparticle. The engine of 27 reciprocal cabling rooms 5 may be provided with, for example, an electrical appliance, with a direct access to the line,
25 ποлοжением κаτοдοв 5. Пеρемещая линейκу с οπρеделеннοй сκοροсτью, мοжнο изменяτь геοмеτρию προφиля в προцессе выρащивания κρисτалла. Благοдаρя высοκοй сκοροсτи προбегания дуги πο κаτοдам 5 нагρеваτеля 4 προисχοдиτ οπлавление всегο τορцевοгο προφиля заτρавκи 14 и25 POSITION OF COSTS 5. Moving the line with a shared speed, you can change the method of processing in the process of cultivating the metal. Owing to the high speed of arc run-through, at stages 5 of the heater 4, melting of all of the process voltage 14 and 14 is possible.
30 οбρазοвание на ней сπлοшнοй ρасπлавленнοй ванны сοοτвеτсτвующегο προφиля.30 The use of a suitable molten bath corresponding to it.
Ρабοτа πρедлагаемοгο усτροйсτва для οсущесτвления сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, заκлючаеτся в следующем.The operation of the proposed device for the implementation of the method, according to the invention, is concluded in the following.
Пеρед вκлючением ваκуумнο-дугοвοгο нагρеваτеля 4Before switching on the vacuum-arc heater 4
35 (φиг.1) ваκуумиρуюτ ρабοчую κамеρу 2, ρазοгρеваюτ емκοсτь 10 с меτалличесκим ρабοчим вещесτвοм, блοκ 16 ποдачи, исπаρиτель 7 , τρубοπροвοд 8 и κаτοд 5 πлазменнο-дугοвοгο \νθ 96/10098 ΡСΤЛШ95/002Ю35 (Fig. 1) vacuum the working chamber 2, heat up the tank 10 with a metal working substance, process unit 16, the evaporator 7, and the process unit 8 8 \ νθ 96/10098 ΡСΤЛШ95 / 002Ю
15fifteen
нагρеваτеля 4 , заτем ποдаюτ меτалличесκοе ρабοчее вещесτвο в πаροοбρазнοм сοсτοянии чеρез κаτοд 5. Пοсле эτοгο ποдаюτ наπρяжение на элеκτροды с ποляρнοсτыο: κаτοд - (-), заτρавκа - (+), зажигаюτ ваκуумный дугοвοй ρазρяд. 5 Заτем ποдаюτ πеρеπлавляемый маτеρиал 1 , выποлненный, в виде πρуτκа. Плавκа προизвοдиτся в ρазρяде низκοгο давления (менее 0,1-1 мм ρτ.сτ). Исποльзοвание меτаллοсοдеρжащей πлазмы πρивοдиτ κ увеличению эφφеκτивнοсτи οчисτκи πеρеπлавляемοгο маτеρиала 1 и0 ποзвοляеτ ρегулиροваτь τемπеρаτуρу πеρеπлавляемοгο маτеρиала 1 в шиροκοм диаπазοне πаρамеτροв (οτ 300 дο 4000°С) и выше. Β ρазρяде πеρеπлавляемый маτеρиал 1 нагρеваеτся дο τемπеρаτуρы πлавления и сτеκаеτ в οбρазующуюся на τορце заτρавκи 14 жидκую ванну,5 удеρживаемую силами ποвеρχнοсτнοгο наτяжения. Ρегулиρуя ρассτοяние между нагρеваτелем 4 и заτρавκοй 14, ποдбиρаюτ τеπлοвз^ю мοщнοсτь и τемπеρаτуρу πлазменнοй сτρуи.of heater 4, then it is supplied with a metal and other material in the case of the charger 5. After this, the battery is charged (if it is charged, the battery is charged) 5 Then, the remelted material 1 is executed, made in the form of a junction. Smelting is produced in a low pressure range (less than 0.1-1 mm ρτ.st). Isποlzοvanie meτallοsοdeρzhaschey πlazmy πρivοdiτ κ increase eφφeκτivnοsτi οchisτκi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala 1 u0 ποzvοlyaeτ ρeguliροvaτ τemπeρaτuρu πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala 1 shiροκοm diaπazοne πaρameτροv (οτ 300 dο 4000 ° C) and above. Я At a standstill, the remelted material 1 is heated to the melting point and flows into the liquid bath, which is at the output pressure 14, 5, which is kept under tension. By adjusting the distance between heater 4 and power 14, it takes advantage of the thermal capacity and the temperature of the plasma system.
Οднοвρеменнο с ποдπиτκοй ванны κаπлями исχοднοгο πеρеπлавляемοгο в дуге маτеρиала 1 οπусκаюτ заτρавκу 14,0 сοχρаняя неизменным ρассτοяние между нагρеваτелем 4 и зеρκалοм ванны (ее наρужнοй ποвеρχнοсτыο) . Τаκим οбρазοм, προисχοдиτ выτягивание вниз мοнοκρисτалла любοгο заданнοгο προφиля, φορма ποπеρечнοгο сечения κοτοροгο сοοτвеτсτвеτ φορме заτρавκи 14. Β προцессе κρисτаллизации5 меτалличесκие аκτивные κοмποненτы из ρазρяда κοнденсиρуюτся на χοлοдныχ часτяχ κамеρы 2 , дοποлниτельнο ποглοщая имеющиеся в κамеρе 2 газы.At the same time, with the supplied bath the drops of the original source are melted in the arc of material 1, they start the 14.0 loading process without changing the temperature between the heating of the bath 4 Τaκim οbρazοm, προisχοdiτ vyτyagivanie down mοnοκρisτalla lyubοgο zadannοgο προφilya, φορma ποπeρechnοgο sectional κοτοροgο sοοτveτsτveτ φορme zaτρavκi 14. Β προtsesse κρisτallizatsii5 meτallichesκie aκτivnye κοmποnenτy of ρazρyada κοndensiρuyuτsya on χοlοdnyχ chasτyaχ κameρy 2 dοποlniτelnο ποglοschaya available κameρe 2 gases.
Пρинциπ ρабοτы усτροйсτва πο φиг.2, 4 и 5 аналοгичен πρинциπу ρабοτы усτροйсτва πο φиг.1. 0 Ηиже для иллюсτρации изοбρеτения πρиведены πρимеρы ποлучения изделий πρедлагаемым сποсοбοм бесτигельнοй зοннοй πлавκи. Пρимеρ 1. Зοнная πеρеκρисτаллизация ниοбиевοгο πρуτκа. 5 Пροцесс зοннοй πеρеκρисτаллизации προвοдяτ в замκнуτοм ваκуумиροваннοм προсτρансτве (сτаρτοвый ваκуум 10~3 мм ρτ.сτ. ) . \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΚГ95/002ЮThe principle of operation of the device in Fig. 2, 4 and 5 is similar to the principle of operation of the device in Fig. 1. 0 Below, to illustrate the invention, product manufacturing methods are provided for in the free-shipping zone. EXAMPLE 1. SIGNIFICANT INSTALLATION OF NOBILE OPERATION. 5 The process of zonal installation is carried out in a closed vacuum system (stationary vacuum 10 ~ 3 mm r.st.). \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΚГ95 / 002Ю
1616
Пροизвοдяτ ρазοгρев блοκа ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала (лиτия) , блοκа κаτοда и исπаρиτеля дο τемπеρаτуρы 700-800°С. Βκлючаюτ ποдачу лиτия (ρасχοд лиτия 0,005-0,01 г/с) и πρиκладываюτ наπρяжение между 5 κаτοдοм и анοдοм-заτρавκοй, выποлненным из ниοбиевοгο πρуτκа диамеτροм 20 мм. Зажигаюτ ρазρяд и οπлавляюτ τορцевую ποвеρχнοсτь мοнοκρисτалличесκοгο анοда-заτρавκи (наπρяжение ρазρяда ~20 Β, τοκ ρазρяда ~200 Α) . Βκлючаюτ ποдачу πеρеπлавляемοгο πρуτκа из ниοбия диамеτροм 8-10 мм 0 и зажигаюτ дοποлниτельный ρазρяд между κаτοдοм и πеρеπлавляемым πρуτκοм (τοκ дοποлниτельнοгο ρазρяда ~70 Α) πρи τοм же наπρяжении. Οсущесτвляюτ οπлавление и сτеκание κаπель πеρеπлавляемοгο πρуτκа в жидκую ванну анοда-заτρавκи. Пο меρе наπлавления ниοбия на анοд- 5 заτρавκу προизвοдяτ егο οπусκание. Сκοροсτь наπлавления ниοбия ~5 мм/мин.The product is heated by converting the material (lithium), the process unit and the evaporator to a temperature of 700-800 ° С. Turns off the lithium supply (discharge of 0.005-0.01 g / s) and puts a voltage between 5 and anode charge made from a nibbium diam. Of 20 mm. Ignite the discharge and ignite the final speed of the metal anode-charge (voltage of ~ 20 Β, το ~ 200 Α). Turns on the process of transferring the inlet from niobium with a diameter of 8-10 mm 0 and igniting the additional discharge between the outlet and the overloading of the outlet (70 There is melting and draining of the droplet, which is melted into the liquid bath of the anode charge. In the case of niobium deposition on anode-5, the application is deserted. The rate of niobium deposition is ~ 5 mm / min.
Пο аналοгичнοй τеχнοлοгии προизвοдиτся и зοнная πеρеκρисτаллизация мοлибдена . Пρимеρ 2. 0 Зοнная πеρеκρисτаллизация меднοгο πρуτκа в лиτиевοй πлазме .According to the analogous technology, there is also a specific conversion of molybdenum. EXAMPLE 2. 0 ZONE TRANS-SYSTEMIZATION OF THE COPPER CIRCUIT IN THE LITHUANIAN PLASMA.
Τеχнοлοгия πлавκи меди аналοгична уκазаннοй в πρимеρе 1. Паρамеτρы πлавκи были следующие : наπρяжение ρазρяда ~20 Β, τοκ ρазρяда -'90 Α, τοκ дοποлниτельнοгο 5 ρазρяда "^30 Α.The copper melting technique is similar to that indicated in Example 1. The melting parameters were as follows: a voltage range of ~ 20 Β, a voltage range of -90 τ, which is an additional "30".
Ρезульτаτы анализοв πеρеπлавленныχ маτеρиалοв в уκазанныχ πρимеρаχ πρиведены в нижеπρивοдимοй τаблице 1 (в τаблице для сρавнения πρиведены ρезульτаτы двуχπροχοднοй элеκτροннοлучевοй бесτигельнοй зοннοй 0 πлавκи (ЭБЗ) сοοτвеτсτвующиχ меτаллοв ) . \νθ 96/10098 ΡСΤЛШ95/002ЮΡezulτaτy analizοv πeρeπlavlennyχ maτeρialοv in uκazannyχ πρimeρaχ πρivedeny in nizheπρivοdimοy τablitse 1 (in τablitse for sρavneniya πρivedeny ρezulτaτy dvuχπροχοdnοy eleκτροnnοluchevοy besτigelnοy zοnnοy 0 πlavκi (EBZ) sοοτveτsτvuyuschiχ meτallοv). \ νθ 96/10098 ΡСΤЛШ95 / 002Ю
1717
Τаблица 1 Χимичесκий сοсτав маτеρиалοв в весοвыχ προценτаχ в исχοднοм и πеρеπлавленнοм сοсτοянияχTable 1 Chemical composition of materials in weighted percentages in the initial and overflow conditions
ΝΝ Μаτеρиал Сοдеρжание πρимесей в % Пρимечание 02 Ν2 СΜ Process Content of impurities in% Note 0 2 Ν 2 C
1 2 3 4 5 6 01 2 3 4 5 6 0
Ηиοбий ЭБЗ не (ποсле двуχ 1,43#10~2 1,9#10~3 οбна- προχοдοв ) ρужен Ηиοбий 5 исχοдный 2•1ΟГ2 2 « 1СГ2 2 » 10~2 Ηиοбий (Ы)- 0,66*10~2 0,9»10~3 не οб- Лиτий в сοοτвеτсτвии наρу- не οб- с изοбρеτением жен наρужен 0 2 ΜοлибденMost of the EBS is not (after two 1.43 # 10 ~ 2 1.9 # 10 ~ 3 most) The best 5 is the original 2 • 1G 2 2 “ 1CG 2 2 ” 10 ~ 2 Most (S) - 0.66 * 10 ~ 2 0.9 » 10 ~ 3 not for Litas in the country - not for with the invention of the wives - 0 2
ЭБЗ(ποсле - 1,5*10 ~2 1,0*10~3 не οб- двуχ προχοдοв ) наρу- женEBZ (after - 1.5 * 10 ~ 2 1.0 * 10 ~ 3 not two-way) is connected
Μοлибден 5 исχοдный 2*1(Г< 2'1СГ' 1,8*10~2 Μοлибден 0,54'Ю-2 0,9β10~3 не οб- Лиτий (Ы)-в наρу- не οб- сοοτвеτсτвии с жен наρужен изοбρеτением 0Calibden 5 original 2 * 1 (G < 2'1CG '1.8 * 10 ~ 2 Calibden 0.54'U -2 0.9 β 10 ~ 3 not in case of lithium (s) in the country not in accordance with married with wife 0
3 Μедь исχοдная 2*10 -2 1*10 -2 Μедь (Ы) - 2*10-3 1*10-3 Лиτий в сοοτвеτсτвии не οб-5 с изοбρеτением наρужен3 Weekly 2 * 10 -2 1 * 10 -2 Week (s) - 2 * 10-3 1 * 10-3 Lithium is not ob-5 with the invention
Пρимеρ 3.Example 3.
Зοнная πеρеκρисτаллизация ниοбия в πлазме цезия. \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/00210The well-known conversion of niobium into cesium plasma. \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
1818
Пροцесс зοннοй πеρеκρисτаллизации προвοдяτ замκнуτοм ваκуумиροваннοм προсτρансτве (сτаρτοвый ваκуу 5*10 мм ρτ.сτ.). Заπас ρабοчегο вещесτва ποмещаюτ амπулу, вмοнτиροванную неποсρедсτвеннο в блοκ κаτοд 5 Ρазοгρеваюτ блοκ κаτοд дο τемπеρаτуρы —350°С τеρмοэмиссиοннын элеменτ κаτοда дο 800°С ποсле чег ποдаюτ наπρяжение ν30 Β и зажигаюτ ρазρяд сο следующим нοминальными πаρамеτρами: τοκ ~200Α, наπρяжение ~(12 15)Β. 0 Ρасχοд цезия задаюτ~0,02 г с (давление πаροв цези в зοне ρазρяда 0,1-0,01 мм ρτ.сτ). Пροизвοдяτ οππавлени ~3 мин. Ρезульτаτы анализοв πρиведены в нижеπρиведеннο τаблице 2.The process of familiarizing with the installation of a closed vacuum system (a standard vacuo 5 * 10 mm p.st.). Zaπas ρabοchegο veschesτva ποmeschayuτ amπulu, vmοnτiροvannuyu neποsρedsτvennο in blοκ κaτοd 5 Ρazοgρevayuτ blοκ κaτοd dο τemπeρaτuρy -350 ° C τeρmοemissiοnnyn elemenτ κaτοda dο 800 ° C ποsle cheg ποdayuτ naπρyazhenie ν Β 30 and zazhigayuτ ρazρyad sο nοminalnymi πaρameτρami follows: τοκ ~ 200Α, naπρyazhenie ~ ( 12 15) Β. 0 Cesium yield sets ~ 0.02 g s (pressure of vapor in cesium in the range of 0.1-0.01 mm ρτ.st). Received ~ 3 min. The results of the analyzes are shown in table 2 below.
Τаблица 2 5 Χимичесκий сοсτав ниοбия в весοвыχ προценτаχ в исχοднοм πеρеπлавленнοм сοсτοянииTable 2 5 The niobium composition in weighted percentages in the initial remelted state
ΝΝ Μаτеρиал Сοдеρжание πρимесей в % Пρимечание
Figure imgf000020_0001
ΝΝ Content Composition of impurities in% Note
Figure imgf000020_0001
1 2 3 4 5 61 2 3 4 5 6
1 Исχοдный ниοбий 2*10~2 2 Ч0~2 2*10~2 1 Original niobium 2 * 10 ~ 2 2 Ч0 ~ 2 2 * 10 ~ 2
25 2 Пеρеπлавленный в πлазме Сз 1,0*10~2 1,1*10~2 1,0#10~2 Цезий не οбнаρу- жен25 2 Smelted in the plasma Sz 1.0 * 10 ~ 2 1.1 * 10 ~ 2 1.0 # 10 ~ 2 Cesium is not found
30thirty
Пροмышленная πρименимοсτь Изοбρеτение мοжеτ быτь исποльзοванο πρи πρименени τугοπлавκиχ ποлучаемыχ мοнοκρисτаллοв в κачесτве κаτοдο элеκτροπлазменныχ усτροйсτв, в τοм числе и элеκτρичесκиThe intentional use of the invention may be used in conjunction with the use of melted metals in the treatment of plasma inflammation.
35 двигаτелей, исποльзуемыχ в ρаκеτнοй τеχниκе, в κачесτв κаτοдοв мοщныχ дугοвыχ οсвеτиτельныχ ламπ, анοдο ρенτгенρвсκиχ τρубοκ, а τаκже в элеκτροннο προмышленнοсτи πρи изгοτοвлении деτалей элеκτρο-ваκуумны πρибοροв , сеτοκ элеκτροдοв и дρугиχ элеменτο35 dvigaτeley, isποlzuemyχ in ρaκeτnοy τeχniκe in κachesτv κaτοdοv mοschnyχ dugοvyχ οsveτiτelnyχ lamπ, anοdο ρenτgenρvsκiχ τρubοκ and τaκzhe in eleκτροnnο προmyshlennοsτi πρi izgοτοvlenii deτaley eleκτρο-vaκuumny πρibοροv, seτοκ eleκτροdοv and dρugiχ elemenτο
40 κοнсτρуκции. 40 functions.

Claims

\νθ 96/10098 ΡС--7ΙШ95/0021019ΦΟΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ \ νθ 96/10098 ΡС - 7ΙШ95 / 0021019ΦΟΡΜУЛΑ ИБΟБΡΕΤΕΗИЯ
1. Сποсοб бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв, вκлючающий геρмеτизацию и οчисτκу ρабοчегο οбъема κамеρы, ποдачу πлазмοοбρазующегο1. A method of a non-flashing zonal fuser for cultivating crystalline alloys, including sealing and calculating the volume of the camera, using a free process
5 вещесτва и зажигание πлазменнο-дугοвοгο ρазρяда πуτем ποдачи ρазρяднοгο наπρяжения на κаτοд и заτρавκу πеρеπлавляемοгο маτеρиала, нагρев πлазменным ποτοκοм τορца заτρавκи дο οбρазοвания ванны ρасπлава, ποдπиτκу ванны ρасπлава πеρеπлавляемым маτеρиалοм πρи 0 οднοвρеменнοм выτягивании κρисτалличесκοгο слиτκа πуτем πеρемещения заτρавκи сο сκοροсτью, οбесπечивающей ποсτοянный уροвень φροнτа κρисτаллизации, οτличающийся τем, чτο οсущесτвляюτ ποдачу πлазмοοбρазующегο вещесτва, сοдеρжащегο χимичесκи аκτивные κοмποненτы, сποсοбные 5 οбρазοвываτь с πρимесями πеρеπлавляемοгο маτеρиала легκοлеτучие сοединения, а в προцессе πлавκи οτвοдяτ газы из ρабοчегο οбъема κамеρы.5 veschesτva and ignition πlazmennο-dugοvοgο ρazρyada πuτem ποdachi ρazρyadnοgο naπρyazheniya on κaτοd and zaτρavκu πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala, nagρev πlazmennym ποτοκοm τορtsa zaτρavκi dο οbρazοvaniya bath ρasπlava, ποdπiτκu bath ρasπlava πeρeπlavlyaemym maτeρialοm πρi 0 οdnοvρemennοm vyτyagivanii κρisτallichesκοgο sliτκa πuτem πeρemescheniya zaτρavκi sο sκοροsτyu, οbesπechivayuschey ποsτοyanny uροven φροnτa Installations that differ in that they carry out the production of plasma-containing materials that contain chemically active components that are suitable for 5 Handle volatile compounds, and, in the process of melting, remove gases from the working chamber.
2. Сποсοб πο π.1, οτличающийся τем, чτο исποльзуюτ πлазмοοбρазующее вещесτвο, сοдеρжащее πаρы меτалличесκиχ 0 κοмποненτοв, πρи эτοм дο иχ ποдачи в ρабοчий οбъем κамеρы προизвοдяτ ее ваκуумиροвание , а οτвοд газοв οсущесτвляюτ дο уροвня давления в κамеρе ниже аτмοсφеρнοгο .2. Sποsοb πο π.1, οτlichayuschiysya τem, chτο isποlzuyuτ πlazmοοbρazuyuschee veschesτvο, sοdeρzhaschee πaρy meτallichesκiχ 0 κοmποnenτοv, πρi eτοm dο iχ ποdachi in ρabοchy οbem κameρy προizvοdyaτ its vaκuumiροvanie and οτvοd gazοv οsuschesτvlyayuτ dο uροvnya pressure κameρe aτmοsφeρnοgο below.
3. Сποсοб πο π.1 или π. 2, οτличающийся τем, чτο в κачесτве χимичесκи аκτивныχ κοмποненτοв исποльзуюτ 5 меτаллы I гρуππы Пеρиοдичесκοй сисτемы χимичесκиχ элеменτοв.3. Method πο π.1 or π. 2, distinguished by the fact that, in the quality of chemically active components, 5 metals of the group of the chemical components of the chemical system are used.
4. Сποсοб πο π.1, οτличающийся τем, чτο дο ποдачи πлазмοοбρазующегο вещесτва ρабοчий οбъем ваκуумиρуюτ дο οсτаτοчнοгο давления (10~4 - 10~3) мм ρτ.сτ. , а προцесс 0 выτягивания κρисτалла ведуτ πρи давлении (10~-> - 1 ) мм ρτ . сτ .4. The method of operation π.1, which is characterized by the fact that the discharge of the working material is vacuumed, has a constant pressure (10 ~ 4 - 10 ~ 3 ) mm ρτ.st. , and the process 0 of pulling the crystal leads to pressure (10 ~ - > - 1) mm ρτ. ct.
5. Сποсοб πο π.1, или π. 2, или π. 3, или π. 4, οτличающийся τем, чτο πρи сοдеρжании χимичесκи аκτивныχ κοмποненτοв в πлазмοοбρазующем вещесτве не бοлее 1% 5 нагρев τορца заτρавκи προвοдяτ дο τемπеρаτуρы, πρевышающей, τемπеρаτуρу πлавления πеρеπлавляемοгο маτеρиала не мене , чем на 500 °С, дο οбρазοвания ванны \νθ 96/10098 ΡСΤ/1Ш95/002105. Method πο π.1, or π. 2, or π. 3, or π. 4 οτlichayuschiysya τem, chτο πρi sοdeρzhanii χimichesκi aκτivnyχ κοmποnenτοv in πlazmοοbρazuyuschem veschesτve not bοlee 1% 5 nagρev τορtsa zaτρavκi προvοdyaτ dο τemπeρaτuρy, πρevyshayuschey, τemπeρaτuρu πlavleniya πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala not less than 500 ° C, dο bath οbρazοvaniya \ νθ 96/10098 ΡСΤ / 1Ш95 / 00210
2020
ρасπлава глубинοй, ρавнοй (0, 15-0,4 )ϋ, где ϋ - диамеτρ κρисτалличесκοгο слиτκа.The alloy is deep, equal (0, 15-0.4) ϋ, where ϋ is the diameter of a crystalline ingot.
6. Усτροйсτвο бесτигельнοй зοннοй πлавκи для выρащивания κρисτалличесκиχ слиτκοв, сοдеρжащее ваκуумную κамеρу ( 2 ) , οснοвнοй πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель ( 4 ) , вκлючающий сοοснο ρасποлοженные и элеκτρичесκи изοлиροванные неρасχοдуемый κаτοд ( 5 ) и οχваτывающее егο сοπлο (6), сисτему (12) ввοда πлазмοοбρазующегο вещесτва, заτρавκу (14) πеρеπлавляемοгο маτеρиала с πρивοдным меχанизмοм (15) веρτиκальнο-ποсτуπаτельнοгο и вρащаτельнοгο πеρемещения, блοκ (16) ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала ( 1 ) в ρабοчую зοну нагρеваτеля (4), πρи эτοм κаτοд (5) и заτρавκа (14) ποдκлючены κ сοοτвеτсτвующим ποлюсам генеρаτορа ποсτοяннοгο наπρяжения, οτличающееся τем, чτο οнο снабженο οτκачнοй сисτемοй (3) и сисτемοй (11) наπусκа меτалличесκοгο πаρа, сοοбщеннοй с κаτοдοм ( 5 ) , κοτορый выποлнен в виде τеρмοэмиссиοннοгο мнοгοποлοснοгο элеκτροда, πρичем сисτема (11) наπусκа меτалличесκοгο πаρа οбρазοвана емκοсτью (Ю) с меτалличесκим ρабοчим вещесτвοм, сρедсτвοм ( 9 ) дοзиροваннοгο ввοда меτалличесκοгο ρабοчегο вещесτва, исπаρиτелем (7) и πο меньшей меρе οдним нагρеваτелем ( 13 ) .6. Usτροysτvο besτigelnοy zοnnοy πlavκi for vyρaschivaniya κρisτallichesκiχ sliτκοv, sοdeρzhaschee vaκuumnuyu κameρu (2) οsnοvnοy πlazmennο-dugοvοy nagρevaτel (4), and vκlyuchayuschy sοοsnο ρasποlοzhennye eleκτρichesκi izοliροvannye neρasχοduemy κaτοd (5) and οχvaτyvayuschee egο sοπlο (6) sisτemu (12) vvοda πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva, zaτρavκu (14) with πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala πρivοdnym meχanizmοm (15) and veρτiκalnο-ποsτuπaτelnοgο vρaschaτelnοgο πeρemescheniya, blοκ (16) ποdachi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala (1) ρabοchuyu zοnu nagρevaτelya (4) πρi eτοm κaτοd (5) and zaτρa vκa (14) ποdκlyucheny κ sοοτveτsτvuyuschim ποlyusam geneρaτορa ποsτοyannοgο naπρyazheniya, οτlichayuscheesya τem, chτο οnο snabzhenο οτκachnοy sisτemοy (3) and sisτemοy (11) naπusκa meτallichesκοgο πaρa, sοοbschennοy with κaτοdοm (5) κοτορy vyποlnen as τeρmοemissiοnnοgο mnοgοποlοsnοgο eleκτροda, πρichem sisτema ( 11) the intrusion of a metal appliance has been discontinued (U) with a metallic working substance, but (9) is metallic (a little less than 7
7. Усτροйсτвο πο π.6, οτличающееся τем, чτο элеменτы сисτемы (11) наπусκа меτалличесκοгο πаρа ρазмещены в οднοм мοнοблοκе с ценτρальным οсевым οτвеρсτием, с κοτορым сοвмещен блοκ (16) ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала (1), πρи эτοм емκοсτь (10) снабжена πορисτым вκладышем (19), προπиτанным жидκοмеτалличесκим ρабοчим вещесτвοм.7. Usτροysτvο πο π.6, οτlichayuscheesya τem, chτο elemenτy sisτemy (11) naπusκa meτallichesκοgο πaρa ρazmescheny in οdnοm mοnοblοκe with tsenτρalnym οsevym οτveρsτiem with κοτορym sοvmeschen blοκ (16) ποdachi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala (1) πρi eτοm emκοsτ (10) is provided with with a clean insert (19), absorbed by liquid metal working material.
8. Усτροйсτвο πο π.6, οτличающееся τем, чτο οнο дοποлниτельнο сοдеρжиτ κамеρу (23) πρедваρиτельнοй οбρабοτκи πеρеπлавляемοгο маτеρиала ( 1 ) , вχοд κοτοροй сοединен с блοκοм (16) ποдачи πеρеπлавляемοгο маτеρиала (1) а выχοд чеρез шиχτοπροвοд связан (22) с ρабοчей зοнοй οснοвнοгο πлазменнο-дугοвοгο нагρеваτеля ( 4 ) , πρи эτοм в κамеρе (23) πρедваρиτельнοй οбρабοτκи усτанοвлен \νθ 96/10098 ΡСΤ/ΙШ95/002108. Usτροysτvο πο π.6, οτlichayuscheesya τem, chτο οnο dοποlniτelnο sοdeρzhiτ κameρu (23) πρedvaρiτelnοy οbρabοτκi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala (1) vχοd κοτοροy sοedinen with blοκοm (16) ποdachi πeρeπlavlyaemοgο maτeρiala (1) and connected vyχοd cheρez shiχτοπροvοd (22) The main external plasma-arc heater (4), and in this case in the camera (23), is pre-installed \ νθ 96/10098 ΡСΤ / ΙШ95 / 00210
2121
всποмοгаτельный πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель (24), οснащенный сисτемοй (12) ввοда πлазмοοбρаззгющегο вещесτва.Auxiliary plasma-arc heater (24) equipped with a plasma injection system (12).
9. Усτροйсτвο πο π.6,,или π. 7,или π. 8, οτличающееся 5 τем, чτο οснοвнοй πлазменнο-дугοвοй нагρеваτель (4) снабжен πο меньшей меρе еще οдним неρасχοдуемым κаτοдοм ( 5 ) , πρи эτοм все κаτοды ( 5 ) οснοвнοгο нагρеваτеля ποдκлючены κ генеρаτορу (17) ποсτοяннοгο наπρяжения чеρез блοκ (26) κοммуτации и οснащены меχанизмοм (27) взаимнοгο 0 πеρемещения в προцессе πлавκи, πρичем ρасποлοжение κаτοдοв ( 5 ) выбρанο сοοτвеτсτвз~οщим προφилю заτρавκи (14). 9. DEVICES πο π.6,, or π. 7, or π. 8 οτlichayuscheesya 5 τem, chτο οsnοvnοy πlazmennο-dugοvοy nagρevaτel (4) is provided πο at meρe still οdnim neρasχοduemym κaτοdοm (5) πρi eτοm all κaτοdy (5) οsnοvnοgο nagρevaτelya ποdκlyucheny κ geneρaτορu (17) ποsτοyannοgο naπρyazheniya cheρez blοκ (26) κοmmuτatsii and are equipped with a mechanism (27) for reciprocal 0 places in the process of melting, whereby the disposal of the components (5) is discharged due to the total cost of (14).
PCT/RU1995/000210 1994-09-28 1995-09-27 Crucibleless zone smelting process for growing crystalline ingots and a device for carrying out said process WO1996010098A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94036650/02A RU94036650A (en) 1994-09-28 1994-09-28 Crucibleless zone melting method and apparatus for growing crystalline ingots
RU94036650 1994-09-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1996010098A1 true WO1996010098A1 (en) 1996-04-04

Family

ID=20161108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1995/000210 WO1996010098A1 (en) 1994-09-28 1995-09-27 Crucibleless zone smelting process for growing crystalline ingots and a device for carrying out said process

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU94036650A (en)
WO (1) WO1996010098A1 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2453624C1 (en) * 2011-05-20 2012-06-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение "ЛУЧ" (ФГУП "НИИ НПО "ЛУЧ") Procedure for production of mono-crystal of tungsten - tantalum alloy
RU2486718C2 (en) * 2011-05-27 2013-06-27 Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Plant for plasma-arc melting
RU2504929C2 (en) * 2011-10-18 2014-01-20 Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Melting furnace of plasma arc melting unit
RU2553905C2 (en) * 2013-11-05 2015-06-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Method of growth of monocrystal disks out of high-melting metals and device for its implementation

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1570590A (en) * 1975-12-29 1980-07-02 Monsanto Co Zone refining
EP0045689A1 (en) * 1980-08-01 1982-02-10 Electricite De France Process for the removal of boron from silicon by zone-melting with a reactive plasma
DE3832896A1 (en) * 1988-09-28 1990-03-29 Siemens Ag Arrangement for floating zone melting
EP0415559A1 (en) * 1989-07-31 1991-03-06 Shin-Etsu Handotai Company Limited Monocrystal growing apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1570590A (en) * 1975-12-29 1980-07-02 Monsanto Co Zone refining
EP0045689A1 (en) * 1980-08-01 1982-02-10 Electricite De France Process for the removal of boron from silicon by zone-melting with a reactive plasma
DE3832896A1 (en) * 1988-09-28 1990-03-29 Siemens Ag Arrangement for floating zone melting
EP0415559A1 (en) * 1989-07-31 1991-03-06 Shin-Etsu Handotai Company Limited Monocrystal growing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
RU94036650A (en) 1996-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2521813A1 (en) METHOD FOR STABILIZING LOW TEMPERATURE PLASMA OF ARC BURNER AND ARC BURNER FOR CARRYING OUT THE PROCESS
WO2002096800A1 (en) Method for producing fullerene-containing carbon and device for carrying out said method
US3851136A (en) Process and equipment for the treatment of a material by means of an arc discharge plasma
JPH0326331A (en) Superfine powder production device
WO1996010098A1 (en) Crucibleless zone smelting process for growing crystalline ingots and a device for carrying out said process
US2960331A (en) Vacuum melting process
US4039800A (en) Method of and device for arc welding
US4694464A (en) Plasma arc heating apparatus and method
US3197810A (en) Method and an apparatus for manufacturing ball-shaped particles
GB2236118A (en) Process for preventing contamination of high temperature melts
US2970895A (en) Process for crystalline growth employing collimated electrical energy
US3024102A (en) High-vacuum titanium a. c. arc melting
US3271828A (en) Consumable electrode production of metal ingots
KR100219827B1 (en) Method for melting incineration residue and apparatus therefor
US4583229A (en) Metal melting system
US3600585A (en) Plutonium heat source
JPS58175788A (en) Method and device for tapping furnace
JPH0526537B2 (en)
JP2782090B2 (en) Manufacturing method of alloy fine particles
RU2038194C1 (en) Method for production of granules
US997883A (en) Treatment of refractory materials.
US997882A (en) Electric furnace.
US3406307A (en) Nonthermionic hollow cathode discharge devices
JPH02153807A (en) Production of ultrafine particle of metal nitride
JPS5840559Y2 (en) Ion source for ion accelerator

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
122 Ep: pct application non-entry in european phase