WO1995035580A1 - Device and process for removing particles from objects - Google Patents

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WO1995035580A1
WO1995035580A1 PCT/EP1995/001937 EP9501937W WO9535580A1 WO 1995035580 A1 WO1995035580 A1 WO 1995035580A1 EP 9501937 W EP9501937 W EP 9501937W WO 9535580 A1 WO9535580 A1 WO 9535580A1
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objects
vacuum
moistening
particles
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PCT/EP1995/001937
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Jürgen Sykora
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International Business Machines Corporation
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    • H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern

Definitions

  • the present invention relates to an apparatus and a method for detaching particles from objects.
  • Particles on the surfaces of objects can trigger a variety of technical problems.
  • particles can lead to short circuits, contact faults and exposure problems when applying further layers.
  • a cleaning process for detaching particles is basically carried out after each process step.
  • ultrasonic cleaning One of the best known cleaning methods is ultrasonic cleaning.
  • the objects to be cleaned are placed in a water bath.
  • An ultrasonic vibrator vibrates the water. This creates gas bubbles that implode when touched by the object, causing the particles to detach from the surface.
  • Another method is cleaning with chemicals. However, this method has the consequence that large amounts of chemicals are produced which then have to be disposed of again. It is an object of the present invention to develop a method and a device for detaching particles which avoids disadvantages of the known methods and devices.
  • the advantages achieved by the invention are to be seen essentially in the fact that the device and the method are very simple to use in practice. In addition, there are no chemicals to be disposed of in the process according to the invention. Highly sensitive objects can also be cleaned with the method according to the invention.
  • a particular advantage of the method can be seen in the fact that the particles are changed from the surface of the object in the simplest way by changing the aggregate state ice - liquid, liquid - ice and at the same time are dissolved in the liquid.
  • FIG. 1 shows a sectional view of the cleaning device according to the invention with the associated drying device
  • FIG. 2 shows a sectional illustration of the device according to the invention in the direction of arrow A.
  • Fig. 1 the cleaning device according to the invention is shown with a drying device.
  • a drying device is described in European Application No. 89 117 081.3.
  • the device for detaching particles contains a housing 12 which comprises a process chamber 14 and a vacuum accumulator 16.
  • the process chamber 14 is located above the vacuum accumulator 16 and contains the objects 18 to be cleaned, which are inserted through the loading opening 22 into the interior of the chamber 14.
  • the loading opening 22 is preferably closed by a displaceable plate 24, which has three working positions, as shown in FIG. 2 and described in more detail below.
  • a moistening device 42 which preferably consists of two rotating spray arms 46, which are rotatably arranged on the inner wall of the process chamber 14.
  • the structure and operation of the spray arms are well known in the industry.
  • the vacuum accumulator 16 is connected to a vacuum pump 50. In the lower area of the vacuum accumulator 16 there is a drain valve 52 for the removal of the liquid with the particles dissolved therein.
  • a poppet valve 28 which is located in the vacuum accumulator 16 and is pneumatically actuated by a method known in the art.
  • the poppet valve 28 can also be operated hydraulically, electrically or manually.
  • the three working positions of the plate 24 are shown in FIG. 2.
  • the plate 24 enables automation of the cleaning and drying process.
  • the plate 24 has three working positions I, II and III.
  • position I the loading opening 22 is not closed by the plate, so that the objects to be cleaned can be introduced into or removed from the process chamber 14.
  • Position II the plate 24 closes the process chamber 14 tightly from the outside, so that a vacuum 16 in the process chamber 14 can be generated via the vacuum.
  • position III there are air inlet openings 34 in the plate 24, through which the sucked-in air is passed as compressed air via the objects 18 into the process chamber 14.
  • the plate 24 consists of two separate parts. A part of the plate 24 contains no air inlet openings, so that this part serves to seal the process chamber 14 during cleaning. The other plate part contains air inlet openings so that this part comes into engagement during the drying process.
  • the entire loading, cleaning and drying process can be automated.
  • the plate 24 is in position I, so that the objects 18 to be cleaned can be introduced into the process chamber 14.
  • the plate 24 is brought into position II, whereby the process chamber 14 is sealed from the outside.
  • the objects 18 are moistened by the rotating spray arms 46 in the next process step.
  • the poppet valve 28 is opened and the vacuum pump 50 pumps the process chamber 14 to a negative pressure between 10-40 mbar, so that the surface of the objects 18 cools and the moisture on the surface of the objects 18 solidifies in ice.
  • a vacuum accumulator is technically not required for cleaning. It is also technically possible to connect the process chamber 14 directly to a vacuum pump 50 in order to generate the required negative pressure in the process chamber 14.
  • a vacuum accumulator to the process chamber 14, which is kept in a vacuum range between 10 and 30 mbar for process economy reasons by a vacuum pump 50.
  • a vacuum pump 50 When the poppet valve 28 is opened between the vacuum accumulator 16 and the process chamber 14, a negative pressure suddenly arises in the process chamber 14, as a result of which the moisture is suddenly converted into ice.
  • the lowering of the negative pressure in the process chamber 14 is preferably carried out via a ventilation valve 48 which is arranged in the process chamber. The lowering of the negative pressure in the process chamber 14 leads to the fact that the ice layer on the surface of the objects is liquefied again. This change of
  • the state of aggregation from liquid to ice and from ice to liquid leads to tensile and compressive forces which cause the particles to detach from the surface of the objects.
  • the creation of a vacuum and the lowering of the vacuum must be carried out several times until all particles are detached from the surface of the objects 18.
  • the objects are sprayed off. This can be done via an additional spraying device, which is arranged in the process chamber 14, or also via the already existing moistening device 42.
  • the spray liquid in which the particles are dissolved is collected and removed in the vacuum accumulator 16. If there is no vacuum accumulator 16, the spray liquid must be collected in the lower area of the process chamber 14 and removed.
  • the drying process can now be carried out.
  • the plate 24 is brought into position III.
  • a vacuum pump pumps the vacuum accumulator 16 to, for example, 0.3 bar or a pressure difference of 0.7 bar compared to the ambient pressure.
  • the poppet valve 28 opens pneumatically within 0.1 sec. And air flows from the outside environment via the air inlet openings 34 of the plate 24 along the objects 18 to be dried into the vacuum accumulator 16.
  • the moisture of the objects 18 is caused by that which is guided past them Airflow added. Details of the Drying processes are disclosed in European Application No. 89 117 081.3.

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Abstract

The present invention describes a process and a device for removing particles from objects, especially as an alternative to ultrasonic or chemical cleaning. The objects to be cleaned are inserted in a process chamber (14) which is closed by a plate (24). The objects (18) are then moistened by a wetting device (42). The process chamber is then evacuated until the moisture on the objects has become ice. The ice coating is liquefied again by repressurising the chamber. The particles are easily removed from the surface of the objects by this step in the process. This process for removing particles optionally comprises a subsequent drying process. It is environment-friendly and suitable in particular for highly sensitive objects.

Description

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B E S C H R E I B U N GDESCRIPTION
Vorrichtung und Verfahren zum Ablösen von Partikeln auf GegenständenDevice and method for detaching particles from objects
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ablösen von Partikeln auf Gegenständen.The present invention relates to an apparatus and a method for detaching particles from objects.
Partikel auf Oberflächen von Gegenständen können vielfältige technische Probleme auslösen. Insbesondere bei der Herstellung von Halbleiterchips, Leiterplatten und Schaltkarten können Partikel beim Auftragen von weiteren Schichten zu Kurzschlüssen, Kontaktstörungen und Belichtungsproblemen führen.Particles on the surfaces of objects can trigger a variety of technical problems. In particular in the production of semiconductor chips, printed circuit boards and circuit cards, particles can lead to short circuits, contact faults and exposure problems when applying further layers.
Um die Oberflächen solcher Gegenstände relativ partikelfrei zu halten, wird grundsätzlich nach jedem Prozeßschritt ein Reinigungsvorgang zum Ablösen von Partikeln durchgeführt.In order to keep the surfaces of such objects relatively particle-free, a cleaning process for detaching particles is basically carried out after each process step.
Eines der bekanntesten Reinigungsverfahren ist die Ultra¬ schallreinigung. Die zu reinigenden Gegenstände werden in ein Wasserbad gebracht. Ein Ultraschallschwinger versetzt das Wasser in Schwingung. Dadurch bilden sich Gasbläschen, die beim Berühren mit dem Gegenstand implodieren, wodurch sich die Partikel von der Oberfläche lösen.One of the best known cleaning methods is ultrasonic cleaning. The objects to be cleaned are placed in a water bath. An ultrasonic vibrator vibrates the water. This creates gas bubbles that implode when touched by the object, causing the particles to detach from the surface.
Dieses Verfahren ist sehr teuer und seine Anwendung ist sehr aufwendig. Im übrigen kann die Ultraschallreinigung nicht bei hochempfindlichen Teilen angewandt werden.This process is very expensive and its use is very complex. Incidentally, ultrasonic cleaning cannot be used on highly sensitive parts.
Ein weiteres Verfahren ist die Reinigung mit Chemikalien. Dieses Verfahren hat jedoch zur Folge, daß hohe Mengen an Chemikalien anfallen, die dann wieder entsorgt werden müssen. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ablösen von Partikeln zu entwickeln, das Nachteile der bekannten Verfahren und Vorrichtungen vermeidet.Another method is cleaning with chemicals. However, this method has the consequence that large amounts of chemicals are produced which then have to be disposed of again. It is an object of the present invention to develop a method and a device for detaching particles which avoids disadvantages of the known methods and devices.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen An¬ sprüche gelöst.This object is achieved by the features of the independent claims.
Weitere vorteilhafte Ausführungen der vorliegenden Erfindung sind in den Unteransprüchen niedergelegt.Further advantageous embodiments of the present invention are laid down in the subclaims.
Die durch die Erfindung erreichten Vorteile sind im wesentli¬ chen darin zu sehen, daß die Vorrichtung als auch das Ver¬ fahren in seiner praktischen Anwendung sehr einfach sind. Außerdem fallen bei dem erfindungsgemäßen Verfahren keine zu entsorgenden Chemikalien an. Mit dem erfindungsgemäßen Ver¬ fahren können auch hochempfindliche Gegenstände gereinigt werden. Ein besonderer Vorteil des Verfahrens ist darin zu sehen, daß die Partikel durch die Änderung des Aggregatszu¬ standes Eis - flüssig, flüssig - Eis auf einfachste Weise von der Oberfläche des Gegenstandes abgelöst werden und gleichzeitig in der Flüssigkeit aufgelöst werden.The advantages achieved by the invention are to be seen essentially in the fact that the device and the method are very simple to use in practice. In addition, there are no chemicals to be disposed of in the process according to the invention. Highly sensitive objects can also be cleaned with the method according to the invention. A particular advantage of the method can be seen in the fact that the particles are changed from the surface of the object in the simplest way by changing the aggregate state ice - liquid, liquid - ice and at the same time are dissolved in the liquid.
Im folgendem wird die Erfindung an Hand eines bevorzugten Ausführungswegs mit den dazugehörigen Zeichnungen näher erläutert, wobeiIn the following the invention is explained in more detail using a preferred embodiment with the associated drawings, wherein
Fig. 1 eine Schnittdarstellung der erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung mit der dazugehörigen Trocknungsvorrichtung zeigt,1 shows a sectional view of the cleaning device according to the invention with the associated drying device,
Fig. 2 eine Schnittdarstellung der erfindungsgemäßen Vor¬ richtung in Pfeilrichtung A zeigt.2 shows a sectional illustration of the device according to the invention in the direction of arrow A.
In Fig. 1 ist die erfindungsgemäße Reinigungsvorrichtung mit einer Trocknungsvorrichtung dargestellt. Eine derartige Trocknungsvorrichtung ist in der europäischen Anmeldung Nr. 89 117 081.3 beschrieben.In Fig. 1, the cleaning device according to the invention is shown with a drying device. Such Drying device is described in European Application No. 89 117 081.3.
In Fig. 1 enthält die Vorrichtung zum Ablösen von Partikeln ein Gehäuse 12, das eine Prozeßkammer 14 und einen Vakuum¬ speicher 16 umfaßt. Die Prozeßkammer 14 befindet sich oberhalb des Vakuumspeichers 16 und enthält die zu reinigenden Gegenstände 18, die durch die Ladeöffnung 22 in das Innere der Kammer 14 eingelegt werden. Die Ladeöffnung 22 wird vorzugsweise durch eine verschiebbare Platte 24 geschlossen, die drei Arbeitspositionen aufweist, wie in Fig. 2 dargestellt und nachfolgend näher beschrieben ist.In Fig. 1, the device for detaching particles contains a housing 12 which comprises a process chamber 14 and a vacuum accumulator 16. The process chamber 14 is located above the vacuum accumulator 16 and contains the objects 18 to be cleaned, which are inserted through the loading opening 22 into the interior of the chamber 14. The loading opening 22 is preferably closed by a displaceable plate 24, which has three working positions, as shown in FIG. 2 and described in more detail below.
Innerhalb der Prozeßkammer 14 befindet sich eine Befeuchtungsvorrichtung 42, die vorzugsweise aus zwei rotierenden Sprüharmen 46 besteht, die an der Innenwand der Prozeßkammer 14 drehbar angeordnet sind. Der Aufbau und die Funktionsweise der Sprüharme sind in der Industrie gemeinhin bekannt. Der Vakuumspeicher 16 ist mit einer Vakuumpumpe 50 verbunden. Im unteren Bereich des Vakuumspeichers 16 befindet sich ein Abflußventil 52 für den Abtransport der Flüssigkeit mit den darin gelösten Partikeln.Within the process chamber 14 is a moistening device 42, which preferably consists of two rotating spray arms 46, which are rotatably arranged on the inner wall of the process chamber 14. The structure and operation of the spray arms are well known in the industry. The vacuum accumulator 16 is connected to a vacuum pump 50. In the lower area of the vacuum accumulator 16 there is a drain valve 52 for the removal of the liquid with the particles dissolved therein.
Auf der Unterseite der Prozeßkammer 14 befindet sich eine Luftauslaßöffnung 26, die mit einem Tellerventil 28 verschlossen ist, das sich im Vakuumspeicher 16 befindet und durch ein in der Technik bekanntes Verfahren pneumatisch betätigt wird. Das Tellerventil 28 kann auch hydraulisch, elektrisch oder manuell betätigt werden.On the underside of the process chamber 14 there is an air outlet opening 26 which is closed with a poppet valve 28 which is located in the vacuum accumulator 16 and is pneumatically actuated by a method known in the art. The poppet valve 28 can also be operated hydraulically, electrically or manually.
Die drei Arbeitspositionen der Platte 24 werden in Fig. 2 dargestellt. Die Platte 24 ermöglicht eine Automatisierung des Reinigungs- und Trocknungsvorgangs. Die Platte 24 besitzt drei Arbeitspositionen I, II und III. In der Position I wird die Ladeöffnung 22 nicht durch die Platte verschlossen, so daß die zu reinigenden Gegenstände in die Prozeßkammer 14 eingebracht oder herausgenommen werden können. In der Position II schließt die Platte 24 die Prozeßkammer 14 nach außen hin dicht ab, so daß über den Vakuu speicher 16 ein Unterdruck in der Prozeßkammer 14 erzeugt werden kann. In der Position III befinden sich in der Platte 24 Lufteinlaßöffnungen 34, durch die die eingesaugte Luft als Druckluft über die Gegenstände 18 in die Prozeßkammer 14 geleitet wird.The three working positions of the plate 24 are shown in FIG. 2. The plate 24 enables automation of the cleaning and drying process. The plate 24 has three working positions I, II and III. In position I, the loading opening 22 is not closed by the plate, so that the objects to be cleaned can be introduced into or removed from the process chamber 14. In the Position II, the plate 24 closes the process chamber 14 tightly from the outside, so that a vacuum 16 in the process chamber 14 can be generated via the vacuum. In position III there are air inlet openings 34 in the plate 24, through which the sucked-in air is passed as compressed air via the objects 18 into the process chamber 14.
Ein anderes Ausführungsbeispiel für die Platte 24 besteht darin, daß die Platte 24 aus zwei separaten Teilen besteht. Ein Teil der Platte 24 enthält keine Lufteinlaßöffnungen, so daß dieser Teil zur Abdichtung der Prozeßkammer 14 bei der Reinigung dient. Das andere Plattenteil enthält Lufteinlaßöffnungen, so daß dieses Teil beim Trocknungsvorgang zum Eingriff kommt.Another embodiment of the plate 24 is that the plate 24 consists of two separate parts. A part of the plate 24 contains no air inlet openings, so that this part serves to seal the process chamber 14 during cleaning. The other plate part contains air inlet openings so that this part comes into engagement during the drying process.
Der gesamte Lade-, Reinigungs- und Trocknungsvorgang kann automatisiert werden. Beim Ladevorgang befindet sich die Platte 24 in Position I, so daß die zu reinigenden Gegenstände 18 in die Prozeßkammer 14 eingebracht werden können. Danach wird die Platte 24 in Position II gebracht, wodurch die Prozeßkammer 14 nach außen hin abgedichtet wird. Die Gegenstände 18 werden im nächsten Prozeßschritt durch die rotierenden Sprüharme 46 befeuchtet. Anschließend wird das Tellerventil 28 geöffnet und die Vakuumpumpe 50 pumpt die Prozeßkammer 14 auf einen Unterdruck zwischen 10 - 40 mbar, so daß die Oberfläche der Gegenstände 18 abkühlt und die Feuchtigkeit auf der Oberfläche der Gegenstände 18 in Eis erstarrt. Ein Vakuumspeicher ist zur Reinigung technisch nicht erforderlich. Es ist auch technisch möglich, die Prozeßkammer 14 direkt mit einer Vakuumpumpe 50 zu verbinden, um den erforderlichen Unterdruck in der Prozeßkammer 14 zu erzeugen. Soweit neben der Reinigung auch eine Trocknung der Gegenstände 18 erforderlich ist, empfiehlt es sich einen Vakuumspeicher zu der Prozeßkammer 14 anzuordnen, der über eine Vakuumpumpe 50 aus prozeßökonomischen Gründen ständig in einem Unterdruckbereich zwischen 10 - 30 mbar gehalten wird. Beim öffnen des Tellerventils 28 zwischen Vakuumspeicher 16 und Prozeßkammer 14 entsteht schlagartig Unterdruck in der Prozeßkammer 14, wodurch die Feuchtigkeit schlagartig in Eis umgewandelt wird. Das Absenken des Unterdrucks in der Prozeßkammer 14 erfolgt vorzugsweise über ein Belüftungsventil 48, das in der Prozeßkammer angeordnet ist. Das Absenken des Unterdrucks in der Prozeßkammer 14 führt dazu, daß die Eisschicht auf der Oberfläche der Gegenstände wieder verflüssigt wird. Diese Änderung desThe entire loading, cleaning and drying process can be automated. During the loading process, the plate 24 is in position I, so that the objects 18 to be cleaned can be introduced into the process chamber 14. Thereafter, the plate 24 is brought into position II, whereby the process chamber 14 is sealed from the outside. The objects 18 are moistened by the rotating spray arms 46 in the next process step. Subsequently, the poppet valve 28 is opened and the vacuum pump 50 pumps the process chamber 14 to a negative pressure between 10-40 mbar, so that the surface of the objects 18 cools and the moisture on the surface of the objects 18 solidifies in ice. A vacuum accumulator is technically not required for cleaning. It is also technically possible to connect the process chamber 14 directly to a vacuum pump 50 in order to generate the required negative pressure in the process chamber 14. If, in addition to cleaning, it is also necessary to dry the objects 18, it is advisable to arrange a vacuum accumulator to the process chamber 14, which is kept in a vacuum range between 10 and 30 mbar for process economy reasons by a vacuum pump 50. When the poppet valve 28 is opened between the vacuum accumulator 16 and the process chamber 14, a negative pressure suddenly arises in the process chamber 14, as a result of which the moisture is suddenly converted into ice. The lowering of the negative pressure in the process chamber 14 is preferably carried out via a ventilation valve 48 which is arranged in the process chamber. The lowering of the negative pressure in the process chamber 14 leads to the fact that the ice layer on the surface of the objects is liquefied again. This change of
Aggregatszustandes von flüssig zu Eis und von Eis zu'flüssig führt aufgrund der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten der verschiedenen Materialien (Flüssigkeit, Gegenstände, Partikel) zu Zug- und Druckkräften, die ein Ablösen der Partikel von der Oberfläche der Gegenstände bewirken. Falls es erforderlich ist, muß das Erzeugen eines Unterdrucks und das Absenken des Unterdrucks mehrmals durchgeführt werden, bis alle Partikel von der Oberfläche der Gegenstände 18 gelöst sind. Sind alle Partikel von der Oberfläche gelöst, werden die Gegenstände abgesprüht. Dies kann über eine zusätzliche Absprühvorrichtung erfolgen, die in der Prozeßkammer 14 angeordnet ist oder auch über die bereits vorhandene Befeuchtungsvorrichtung 42 erfolgen. Die Absprüh¬ flüssigkeit, in der die Partikel gelöst sind, wird im Vakuum¬ speicher 16 aufgefangen und abgeführt. Falls kein Vakuumspei¬ cher 16 vorhanden ist, muß die Absprühflüssigkeit im unteren Bereich der Prozeßkammer 14 aufgefangen und abgeführt werden. Jetzt kann der Trocknungsprozeß durchgeführt werden. Die Platte 24 wird in Position III gebracht. Eine Vakuumpumpe pumpt den Vakuumspeicher 16 auf beispielsweise 0,3 bar oder eine Druckdifferenz von 0,7 bar gegenüber dem Umgebungsdruck. Dann öffnet das Tellerventil 28 pneumatisch innerhalb von 0,1 sec. und Luft strömt von der Außenumgebung über die Luft¬ einlaßöffnungen 34 der Platte 24 entlang der zu trocknenden Gegenstände 18 in den Vakuumspeicher 16. Die Feuchtigkeit der Gegenstände 18 wird durch den an ihr vorbeigeführten Luftstrom aufgenommen. Nähere Einzelheiten des Trocknungsverfahrens sind in der europäischen Anmeldung Nr. 89 117 081.3 offenbart. Due to the different expansion coefficients of the different materials (liquid, objects, particles), the state of aggregation from liquid to ice and from ice to liquid leads to tensile and compressive forces which cause the particles to detach from the surface of the objects. If necessary, the creation of a vacuum and the lowering of the vacuum must be carried out several times until all particles are detached from the surface of the objects 18. When all particles are detached from the surface, the objects are sprayed off. This can be done via an additional spraying device, which is arranged in the process chamber 14, or also via the already existing moistening device 42. The spray liquid in which the particles are dissolved is collected and removed in the vacuum accumulator 16. If there is no vacuum accumulator 16, the spray liquid must be collected in the lower area of the process chamber 14 and removed. The drying process can now be carried out. The plate 24 is brought into position III. A vacuum pump pumps the vacuum accumulator 16 to, for example, 0.3 bar or a pressure difference of 0.7 bar compared to the ambient pressure. Then the poppet valve 28 opens pneumatically within 0.1 sec. And air flows from the outside environment via the air inlet openings 34 of the plate 24 along the objects 18 to be dried into the vacuum accumulator 16. The moisture of the objects 18 is caused by that which is guided past them Airflow added. Details of the Drying processes are disclosed in European Application No. 89 117 081.3.

Claims

P A T E N T A N S P R Ü C H E PATENT CLAIMS
1. Verfahren zum Ablösen von Partikeln auf Gegenständen, enthaltend folgende Schritte:1. A method for detaching particles from objects, comprising the following steps:
a) Einbringen von Gegenständen (18) in die Prozeßkammer (14),a) introducing objects (18) into the process chamber (14),
b) Befeuchten der Gegenstände (18) mittels eines Befeuchtungsmittels,b) moistening the objects (18) by means of a moistening agent,
c) Erzeugen eines Unterdrucks in der Prozeßkammer derart, daß das Befeuchtungsmittel auf den Gegenständen in Eis umgewandelt wird,c) generating a vacuum in the process chamber such that the moistening agent on the objects is converted into ice,
d) Absenken des Unterdruckε in der Prozeßkammer derart, daß das vereiste Befeuchtungsmittel wieder verflüssigt wird,d) lowering the vacuum in the process chamber in such a way that the icy moistening agent is liquefied again,
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,2. The method according to claim 1, characterized in that
falls erforderlich, Wiederholung der Schritte c) und d) bis die gewünschte Oberflächenreinheit erreicht ist und die Partikel in der Flüssigkeit aufgelöst sind.if necessary, repeating steps c) and d) until the desired surface cleanliness is achieved and the particles are dissolved in the liquid.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstände mittels eines rotierenden Sprüharms (46), der innerhalb der Prozeßkammer (14) angeordnet ist, befeuchtet werden.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the objects are moistened by means of a rotating spray arm (46) which is arranged within the process chamber (14).
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterdruck in der Prozeßkammer mittels einer Vakuumpumpe (50) erzeugt wird.4. The method according to claim 1, 2 or 3, characterized in that the negative pressure in the process chamber is generated by means of a vacuum pump (50).
5. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß das Absenken des Unterdrucks über ein Lüf- tungsventil (48) erfolgt, das in der Prozeßkammer ange¬ ordnet ist.5. The method according to claim 1, 2, 3 or 4, characterized gekenn¬ characterized in that the lowering of the negative pressure via a ventilation tion valve (48), which is arranged in the process chamber.
Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4 oder 5, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß der Unterdruck vorzugsweise im Bereich zwischen 10 bis 40 mbar liegt.Method according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, characterized in that the negative pressure is preferably in the range between 10 to 40 mbar.
Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Abtransport der gelösten Partikel durch Absprühen der Gegenstände (18) erfolgt, wobei das Absprühen vorzugsweise über die Sprüharme (46) erfolgt.Method according to claim 1, 2, 3, 4, 5 or 6, characterized in that the removal of the dissolved particles takes place by spraying the objects (18), the spraying preferably taking place via the spray arms (46).
Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4, 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß dem Reinigungsverfahren ein zusätzliches Trocknungsverfahren nachgeschaltet ist, wobei das Trocknungsverfahren folgende Schritte aufweist: Erzeugung eines Teilvakuums in einem geschlossenen Vakuumspeicher (16), unverzügliche Verbindung des Vakuums mit der Prozeßkammer, wodurch ein Luftzug entlang der Gegenstände erzeugt wird; und falls erforderlich, Wiederholung der vorigen Schritte zur Erzeugung des Teilvakuums und unverzügliche Verbindung des Vakuums mit der Prozeßkammer bis die gewünschte Trockenheit eintritt.Method according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6 or 7, characterized in that the cleaning method is followed by an additional drying method, the drying method comprising the following steps: generation of a partial vacuum in a closed vacuum accumulator (16), immediate connection of the Vacuum with the process chamber, creating a draft along the objects; and if necessary, repeating the previous steps for generating the partial vacuum and immediately connecting the vacuum to the process chamber until the desired dryness occurs.
Vorrichtung zum Ablösen von Partikeln enthaltend zumin¬ dest eine Prozeßkammer, in der die zu reinigenden Gegen¬ stände eingebracht sind, dadurch gekennzeichnet,Device for detaching particles containing at least one process chamber in which the objects to be cleaned are introduced, characterized in that
daß eine Befeuchtungsvorrichtung (42) in der Prozeßkammer zum Befeuchten der Gegenstände angeordnet ist,that a moistening device (42) is arranged in the process chamber for moistening the objects,
daß eine Vakuumvorrichtung (50) mit der Prozeßkammer zur Erzeugung der Eisbildung des Befeuchtungsmittels verbunden ist, daß eine Vorrichtung (48) zum Absenken des Unterdrucks an der Prozeßkammer angeordnet ist.that a vacuum device (50) is connected to the process chamber for producing the ice formation of the moistening agent, that a device (48) for lowering the negative pressure is arranged on the process chamber.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Befeuchtungsvorrichtung (42) aus mindestens einem rotierbar angeordneten Sprüharm (46) besteht.10. The device according to claim 9, characterized in that the moistening device (42) consists of at least one rotatably arranged spray arm (46).
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumvorrichtung (50) eine Vakuumpumpe ist.11. The device according to claim 9 or 10, characterized in that the vacuum device (50) is a vacuum pump.
12. Vorrichtung nach Anspruch 9, 10 oder 11, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß die Vorrichtung (48) zum Absenken des Un¬ terdrucks ein Entlüftungsventil ist.12. The apparatus of claim 9, 10 or 11, characterized gekenn¬ characterized in that the device (48) for lowering the vacuum is a vent valve.
13. Vorrichtung nach Anspruch 9, 10, 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Befeuchtungsvorrichtung (42) und die Vakuumvorrichtung (50) über eine Steuervorrichtung gesteuert werden.13. The apparatus of claim 9, 10, 11 or 12, characterized in that the moistening device (42) and the vacuum device (50) are controlled by a control device.
14. Vorrichtung nach Anspruch 9, 10, 11, 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuervorrichtung ein Steuerpro¬ gramm enthält.14. The apparatus of claim 9, 10, 11, 12 or 13, characterized in that the control device contains a Steuerpro¬ program.
15. Vorrichtung nach Anspruch 9, 10, 11, 12, 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßkammer 14 zumindest eine Auslaßöffnung (26) aufweist, die den Vakuumspeicher (16) mit der Prozeßkammer verbindet, wobei die Auslaßöffnung durch ein Ventilmittel (28), insbesondere ein pneumatisch steuerbares Tellerventil absperrbar ist.15. The apparatus according to claim 9, 10, 11, 12, 13 or 14, characterized in that the process chamber 14 has at least one outlet opening (26) which connects the vacuum accumulator (16) with the process chamber, the outlet opening by a valve means ( 28), in particular a pneumatically controllable poppet valve can be shut off.
16. Vorrichtung nach Anspruch 9 bis 15, dadurch gekennzeich¬ net, daß die Prozeßkammer (14) mit einer beweglich gela¬ gerten Platte (24) verschlossen ist, wobei die Platte einen Bereich mit Lufteinlaßöffnungen (24) und einen Bereich ohne Lufteinlaßöffnungen aufweist, wobei die Bereiche wahlweise einstellbar sind oder wobei die Platte aus zwei getrennten unabhängig einstellbaren Teilen mit je einem Teil mit und ohne Lufteinlaßöffnungen besteht.16. The apparatus according to claim 9 to 15, characterized gekennzeich¬ net that the process chamber (14) with a movably gela¬ gered plate (24) is closed, the plate having an area with air inlet openings (24) and one Has area without air inlet openings, the areas being optionally adjustable or with the plate consisting of two separate, independently adjustable parts, each with a part with and without air inlet openings.
17. Vorrichtung nach Anspruch 9 bis 16, dadurch gekennzeich¬ net, daß zusätzlich eine Trocknungsvorrichtung zum Trocknen der Gegenstände angeordnet ist, wobei die Prozeßkammer (14) Lufteinlaßöffnungen (24) enthält, die über deren Querschnittsbereich angeordnet sind, und mindestens einer Auslaßöffnung, die gegenüber der genannten Einlaßöffnungen positioniert ist und ein Vakuumspeicher (16), der mit dem Innern der genannten Kammer über die genannte Auslaßöffnung verbunden ist, angeordnet ist und ein Ventilmittel (28), das die gesamte Auslaßöffnung verschließt und so ausgelegt ist, daß die gesamte Auslaßöffnung unverzüglich geöffnet werden kann.17. The apparatus according to claim 9 to 16, characterized gekennzeich¬ net that in addition a drying device for drying the objects is arranged, wherein the process chamber (14) contains air inlet openings (24) which are arranged over their cross-sectional area, and at least one outlet opening which positioned opposite said inlet ports and a vacuum accumulator (16) connected to the interior of said chamber via said outlet port and valve means (28) which closes the entire outlet port and is configured to cover the entire outlet port can be opened immediately.
18. Verwendung des Verfahrens und/oder der Vorrichtung nach einem der vorliegenden Ansprüche bei der Herstellung von Halbleiterchips, Leiterplatten und Schaltkarten. 18. Use of the method and / or the device according to one of the present claims in the manufacture of semiconductor chips, printed circuit boards and circuit boards.
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