TWM580457U - Direct combustion reflux heat recovery high efficiency organic waste gas treatment system - Google Patents

Abstract

本創作為一種直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，主要係將直燃式焚燒爐的排氣能經由至少三個以上的熱交換器來進行熱回收，並將該直燃式焚燒爐的排氣再經由一個冷卻器來進行熱交換，而得以進行冷卻後再輸送到該除塵設備中，以進行粉塵或二氧化矽(SiO₂)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。

Description

直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統

本創作係有關於一種直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，尤指一種用來將燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，且不經過該煙囪來進行排放，使有機廢氣的處理效率能提升，而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的有機廢氣處理系統或類似設備。

按，目前在半導體產業或光電產業的製造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOC)，因此，在各廠區都會安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備，以避免揮發性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。而目前經由該處理設備所脫附的濃縮氣體大都是輸送到該焚燒爐來進行燃燒，再將燃燒後的氣體來輸送到煙囪來進行排放。

但是近年來，不管是中央政府或是各地方政府都對空氣汙染非常重視，也因此在煙囪的排放標準上訂定了有關懸浮微粒(PM₁₀)及細懸浮微粒(PM_2.5)空氣品質標準，並依據其國內健康影響研究結果，以健康影響為優先考量，將「細懸浮微粒(PM_2.5)」24小時值訂為35μg/m³、年平均值訂為15μg/m³。且環保署初步訂於民國109(2020)年達成全國細懸浮微粒濃度年平均值15μg/m³的目標，同時將依國際管制趨勢發展，逐期檢討其細懸浮微粒(PM_2.5)空氣品質標準，並朝達成WHO提出之空氣品質準則 值(24小時值訂為25μg/m³、年平均值訂為10μg/m³)為空氣品質改善目標。

因此，本創作人有鑑於上述缺失，期能提出一種具有提升有機廢氣處理效率的直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組製，以提供使用者便利性，為本創作人所欲研發之創作動機者。

本創作之主要目的，在於提供一種直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，主要係將直燃式焚燒爐的排氣能經由至少三個以上的熱交換器來進行熱回收，並將該直燃式焚燒爐的排氣再經由一個冷卻器來進行熱交換，而得以進行冷卻後再輸送到該除塵設備中，以進行粉塵或二氧化矽(SiO₂)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升，進而增加整體之實用性。

本創作之另一目的，在於提供一種直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，透過該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間設有一連通管路，且該連通管路係設有一連通控制閥門，而該熱氣輸送管路係設有一熱氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該熱氣控制閥門來形成比例風門，藉此，透過該連通控制閥門及該熱氣控制閥門之設計來形成具有比例風門之效能，以能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪之脫附區使用，並具有節省能源之效能，進而增加整體之使用性。

本創作之另一目的，在於提供一種直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統及其方法，透過該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間設有一連通管路，且該連通管路係設有一連通控制閥門，而該冷卻氣輸送管路係設有一冷卻氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門來形成比例風門，藉此，透過該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門之設計來形成具有比例風門之效能，以能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪之脫附區使用，並具有節省能源之效能，進而增加整體之操作性。

為了能夠更進一步瞭解本創作之特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本創作之詳細說明與附圖，惟所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本創作。

10‧‧‧直燃式焚燒爐

11‧‧‧進氣口

12‧‧‧出氣口

20‧‧‧吸附轉輪

201‧‧‧吸附區

202‧‧‧冷卻區

203‧‧‧脫附區

21‧‧‧廢氣進氣管路

22‧‧‧淨氣排放管路

221‧‧‧風車

23‧‧‧冷卻氣進氣管路

231‧‧‧氣體旁通管路

24‧‧‧冷卻氣輸送管路

241‧‧‧冷卻氣控制閥門

25‧‧‧熱氣輸送管路

251‧‧‧熱氣控制閥門

26‧‧‧脫附濃縮廢氣管路

27‧‧‧連通管路

271‧‧‧連通控制閥門

30‧‧‧第一熱交換器

301‧‧‧第一冷側管路

302‧‧‧第一熱側管路

31‧‧‧第一熱氣回收管路

32‧‧‧第一焚燒熱氣回收管路

33‧‧‧第一脫附濃縮氣體輸送管路

40‧‧‧第二熱交換器

401‧‧‧第二冷側管路

402‧‧‧第二熱側管路

50‧‧‧第三熱交換器

501‧‧‧第三冷側管路

502‧‧‧第三熱側管路

51‧‧‧第三脫附濃縮氣體輸送管路

52‧‧‧第三熱氣回收管路

60‧‧‧第四熱交換器

601‧‧‧第四冷側管路

602‧‧‧第四熱側管路

61‧‧‧第四脫附濃縮氣體輸送管路

62‧‧‧第四熱氣回收管路

70‧‧‧冷卻器

71‧‧‧冷卻水管路

72‧‧‧冷卻熱氣回收管路

80‧‧‧除塵設備

81‧‧‧除塵進氣管路

82‧‧‧除塵出氣管路

821‧‧‧風車

90‧‧‧煙囪

第1圖係為本創作第一種實施方式的主要架構示意圖。

第2圖係為本創作第一種實施方式的第一種比例風門的架構示意圖。

第3圖係為本創作第一種實施方式的第二種比例風門的架構示意圖。

第4圖係為本創作第二種實施方式的主要架構示意圖。

第5圖係為本創作第二種實施方式的第一種比例風門的架構示意圖。

第6圖係為本創作第二種實施方式的第二種比例風門的架構示意圖。

請參閱第1圖至第6圖，係為本創作實施例之示意圖。而本創作之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統的最佳實施方式係運用於 半導體產業、光電產業或化學相關產業的揮發有機廢氣處理系統或類似設備，主要是將燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，且不經過該煙囪來進行排放，使有機廢氣的處理效率能提升。

而本發明第一種實施方式的直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，主要係設有一直燃式焚燒爐10、一吸附轉輪20、一第一熱交換器30、一第二熱交換器40、一第三熱交換器50、一冷卻器70、一除塵設備80及一煙囪90(如第1圖至第3圖所示)，其中該第一熱交換器30係設有第一冷側管路301及第一熱側管路302，該第二熱交換器40係設有第二冷側管路401及第二熱側管路402，該第三熱交換器50係設有第三冷側管路501及第三熱側管路502，而該除塵設備80係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，另該直燃式焚燒爐(TO)10係設有一進氣口11及一出氣口12，且該直燃式焚燒爐(TO)10內係設有爐頭及爐膛，使該有機廢氣能由該進氣口11來進入該爐頭進行燃燒，再讓經過燃燒後之氣體能穿過該爐膛並由該出氣口12來排出。

而該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪20內係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區 203，該吸附轉輪20係設有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一熱氣輸送管路25及一脫附濃縮廢氣管路26(如第1圖至第3圖所示)，而該廢氣進氣管路21的另一端係連接至該吸附轉輪20之吸附區201的一側，以使該吸附轉輪20之吸附區201能吸附該廢氣進氣管路21內的廢氣，且該淨氣排放管路22之一端係與該吸附轉輪20之吸附區201的另一側連接，讓該廢氣經該吸附轉輪20之吸附區201淨化後再由該淨氣排放管路22來輸送。

另該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入(如第2圖及第3圖所示)，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231(如第3圖所示)，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區203內提供降溫使用。

另該冷卻氣輸送管路24的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區203的另一側連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端係與該第二熱交換器40之第二冷側管路401的一端連接，以能將該冷卻氣輸送管路24內的冷卻氣輸送到該第二熱交換器40內進行熱交換(如第1圖至第3圖所示)，另該第二熱交換器40之第二冷側管路401的另一端係 與該熱氣輸送管路25的另一端連接，而該熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側連接，且該吸附轉輪20之脫附區203的一側係與該脫附濃縮氣體管路26的一端連接，使將經由該第二熱交換器50所提升之熱氣能透過該熱氣輸送管路25來傳輸到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該脫附濃縮氣體管路26來傳輸運送。

另本發明第一種實施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251(如第2圖所示)，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門25來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241(如第3圖所示)，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251之設計的比例風門或是透過該該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路25內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。

再者，該第三熱交換器50係連接有一第三脫附濃縮氣體輸 送管路51及一第三熱氣回收管路52，該第三熱交換器50之第三冷側管路51的一端係與該脫附濃縮氣體管路26的另一端連接(如第1圖至第3圖所示)，該第三脫附濃縮氣體輸送管路51的一端係與該第三熱交換器50之第三冷側管路501的另一端連接，該第三脫附濃縮氣體輸送管路51的另一端係與該第一熱交換器30之第一冷側管路301的一端連接，該第三熱氣回收管路52的一端係與該第三熱交換器50之第三熱側管路502的一端連接，該第三熱氣回收管路52的另一端係與該第二熱交換器40之第二熱側管路402的另一端連接。藉此，讓該吸附轉輪20之脫附區203所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該脫附濃縮氣體管路26來傳輸到該第三熱交換器50之第三冷側管路502來進行熱交換，並再透過該第三脫附濃縮氣體輸送管路51來傳輸到該第一熱交換器30之第一冷側管路301來進行熱交換。

另該第一熱交換器30係連接有一第一熱氣回收管路31、一第一焚燒熱氣回收管路32及一第一脫附濃縮氣體輸送管路33，其中該第一焚燒熱氣回收管路32的一端係與該第一熱交換器30之第一熱側管路302的一端連接，該第一焚燒熱氣回收管路32的另一端係與該直燃式焚燒爐10之出氣口12連接(如第1圖至第3圖所示)，該第一熱氣回收管路31的一端係與該第一熱交換器30之第一熱側管路302的另一端連接，該第一熱氣回收管路31的另一端係與該第二熱交換器40之第二熱側管路402的一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路33的一端係與該第一熱交換器30之第一冷側管路301的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路33的另一端係與該直燃式焚燒爐10之進 氣口11連接。藉此，讓經由該第一熱交換器30之第一冷側管路301所輸送的脫附濃縮氣體能透過該第一脫附濃縮氣體輸送管路33來輸送到該直燃式焚燒爐10的進氣口11，再將經過該直燃式焚燒爐10所燃燒後之氣體能由該出氣口12來透過該第一焚燒熱氣回收管路32來輸送到該第一熱交換器30之第一熱側管路302內進行熱回收，並經由該第一熱氣回收管路31來輸送到該第二熱交換器40之第二熱側管路402內進行熱回收，且再經由該第三熱氣回收管路52來輸送到該第三熱交換器50之第三熱側管路502內進行熱回收。

另該冷卻器70內係設有冷卻水管路71，以一進一出的方式來將流經該冷卻器70的高溫熱氣進行降溫，且該冷卻器70係為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一，而該冷卻器連接有一冷卻熱氣回收管路72，該冷卻熱氣回收管路72係與該第三熱交換器50之第三熱側管路502的另一端連接(如第1圖至第3圖所示)。而該除塵設備80係連接有一除塵進氣管路81及一除塵出氣管路82，該除塵進氣管路81的一端係與該除塵設備連80接，該除塵進氣管路80的另一端係與該冷卻器70連接，該除塵出氣管路82的一端係與該除塵設備80連接，該除塵出氣管路82的另一端係與該廢氣進氣管路21連接。另該除塵出氣管路82係設有一風車821，以能將該除塵出氣管路82內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。藉此，將經過該直燃式焚燒爐10所燃燒後之氣體能由該第三熱交換器50之第三熱側管路502來透過該冷卻熱氣回收管路72輸送到該冷卻器70進行熱交換，而該冷卻器70再透過該除塵進氣管路81來輸送到該除塵設備80內以進 行粉塵或二氧化矽(SiO₂)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備80所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪90來進行排放，讓該煙囪90的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。

最後，該淨氣排放管路22的另一端係連接該煙囪90，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體能輸送到煙囪90來進行排放(如第1圖至第3圖所示)。另該淨氣排放管路22係設有一風車221，以能將該淨氣排放管路22內的氣體推向該煙囪90。

而本發明第二種實施方式的直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，主要係設有一直燃式焚燒爐10、一吸附轉輪20、一第一熱交換器30、一第二熱交換器40、一第三熱交換器50、第四熱交換器60、一冷卻器70、一除塵設備80及煙囪90(如第4圖至第6圖所示)，其中該第一熱交換器30係設有第一冷側管路301及第一熱側管路302，該第二熱交換器40係設有第二冷側管路401及第二熱側管路402，該第三熱交換器50係設有第三冷側管501路及第三熱側管路502，該第四熱交換器60係設有第四冷側管路601及第四熱側管路602，而該除塵設備80係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器 之其中任一，另該直燃式焚燒爐(TO)10係設有一進氣口11及一出氣口12，且該直燃式焚燒爐(TO)10內係設有爐頭及爐膛，使該有機廢氣能由該進氣口11來進入該爐頭進行燃燒，再讓經過燃燒後之氣體能穿過該爐膛並由該出氣口12來排出。

而該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪20內係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203，該吸附轉輪20係設有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一熱氣輸送管路25及一脫附濃縮廢氣管路26(如第4圖至第6圖所示)，而該廢氣進氣管路21的另一端係連接至該吸附轉輪20之吸附區201的一側，以使該吸附轉輪20之吸附區201能吸附該廢氣進氣管路21內的廢氣，且該淨氣排放管路22之一端係與該吸附轉輪20之吸附區201的另一側連接，讓該廢氣經該吸附轉輪20之吸附區201淨化後再由該淨氣排放管路22來輸送。

另該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入(如第4圖及第5圖所示)，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231(如第6圖所示)，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路21來將部 份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。

另該冷卻氣輸送管路24的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的另一側連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端係與該第二熱交換器40之第二冷側管路401的一端連接，以能將該冷卻氣輸送管路24內的冷卻氣輸送到該第二熱交換器40內進行熱交換(如第4圖至第6圖所示)，另該第二熱交換器40之第二冷側管路401的另一端係與該熱氣輸送管路25的另一端連接，而該熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側連接，且該吸附轉輪20之脫附區203的一側係與該脫附濃縮氣體管路26的一端連接，使將經由該第二熱交換器40所提升之熱氣能透過該熱氣輸送管路25來傳輸到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該脫附濃縮氣體管路26來傳輸運送。

另本發明第一種實施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251(如第5圖所示)，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241(如第6圖所示)，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比 例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路25內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。

再者，該第四熱交換器60連接有一第四脫附濃縮氣體輸送管路61及一第四熱氣回收管路62，該第四冷側管路601的一端係與該脫附濃縮氣體管路26的另一端連接，該第四脫附濃縮氣體輸送管路61的一端係與該第四冷側管路601的另一端連接(如第4圖至第6圖所示)，該第四脫附濃縮氣體輸送管路61的另一端係與該第三熱交換器50之第三冷側管路501的一端連接，該第四熱氣回收管路62的一端係與該第四熱交換器60之第四熱側管路602的一端連接，該第四熱氣回收管路62的另一端係與該第三熱交換器50之第三熱側管路502的另一端連接。藉此，讓該吸附轉輪20之脫附區203所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該脫附濃縮氣體管路26來傳輸到該第四熱交換器60之第四冷側管路601來進行熱交換，並再透過該第四脫附濃縮氣體輸送管路61來傳輸到該第三熱交換器50之第三冷側管路501來進行熱交換。

另該第三熱交換器50係連接有一第三脫附濃縮氣體輸送管路51及一第三熱氣回收管路52，該第三脫附濃縮氣體輸送管路51的一端係與該第三熱交換器50之第三冷側管路501的另一端連接(如第4圖至第6圖所示)，該第三脫附濃縮氣體輸送管路51的另一端係與該第一熱交換器30之第一冷側管路301的一端連接，該第三熱氣回收 管路52的一端係與該第三熱交換器50之第三熱側管路502的一端連接，該第三熱氣回收管路52的另一端係與該第二熱交換器40之第二熱側管路402的另一端連接。藉此，將該脫附濃縮氣體再透過該第三脫附濃縮氣體輸送管路51來傳輸到該第一熱交換器30之第一冷側管路301來進行熱交換。

另該第一熱交換器30係連接有一第一熱氣回收管路31、一第一焚燒熱氣回收管路32及一第一脫附濃縮氣體輸送管路33，其中該第一焚燒熱氣回收管路32的一端係與該第一熱交換器30之第一熱側管路302的一端連接，該第一焚燒熱氣回收管路32的另一端係與該直燃式焚燒爐10之出氣口11連接(如第4圖至第6圖所示)，該第一熱氣回收管路31的一端係與該第一熱交換器30之第一熱側管路302的另一端連接，該第一熱氣回收管路31的另一端係與該第二熱交換器40之第二熱側管路402的一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路33的一端係與該第一熱交換器30之第一冷側管路301的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路33的另一端係與該直燃式焚燒爐10之進氣口12連接。藉此，讓經由該第一熱交換器30之第一冷側管路301所輸送的脫附濃縮氣體能透過該第一脫附濃縮氣體輸送管路33來輸送到該直燃式焚燒爐10的進氣口11，再將經過該直燃式焚燒爐10所燃燒後之氣體能由該出氣口12來透過該第一焚燒熱氣回收管路32來輸送到該第一熱交換器30之第一熱側管路302內進行熱回收，並經由該第一熱氣回收管路31來輸送到該第二熱交換器40之第二熱側管路402內進行熱回收，且再經由該第三熱氣回收管路52來輸送到該第三熱交換器 50之第三熱側管路502內進行熱回收，再經由該第四熱氣回收管路62來輸送到該第四熱交換器60之第四熱側管路602內進行熱回收。

另該冷卻器70內係設有冷卻水管路71，以一進一出的方式來將流經該冷卻器70的高溫熱氣進行降溫，且該冷卻器70係為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一，而該冷卻器連接有一冷卻熱氣回收管路72，該冷卻熱氣回收管路72係與該第四熱交換器60之第四熱側管路602的另一端連接(如第4圖至第6圖所示)。而該除塵設備80係連接有一除塵進氣管路81及一除塵出氣管路82，該除塵進氣管路81的一端係與該除塵設備80連接，該除塵進氣管路81的另一端係與該冷卻器70連接，該除塵出氣管路82的一端係與該除塵設備80連接，該除塵出氣管路82的另一端係與該廢氣進氣管路21連接。另該除塵出氣管路82係設有一風車821，以能將該除塵出氣管路82內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。藉此，將經過該直燃式焚燒爐10所燃燒後之氣體能由該第四熱交換器60之第四熱側管路602來透過該冷卻熱氣回收管路72輸送到該冷卻器70進行熱交換，而該冷卻器70再透過該除塵進氣管路81來輸送到該除塵設備80內以進行粉塵或二氧化矽(SiO₂)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備80所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪90來進行排放，讓該煙囪90的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。

最後，該淨氣排放管路22的另一端係連接該煙囪90，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體能輸送到煙囪90來進行排放 (如第4圖至第6圖所示)。另該淨氣排放管路22係設有一風車221，以能將該淨氣排放管路22內的氣體推向該煙囪90。

藉由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本創作的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出專利申請。

惟以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，當不能以此限定本創作實施之範圍；故，凡依本創作申請專利範圍及創作說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本創作專利涵蓋之範圍內。

Claims (10)

1. 一種直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，係包括：一直燃式焚燒爐，該直燃式焚燒爐係設有一進氣口及一出氣口；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接；一第一熱交換器，該第一熱交換器係設有第一冷側管路及第一熱側管路，該第一熱交換器係連接有一第一熱氣回收管路、一第一焚燒熱氣回收管路及一第一脫附濃縮氣體輸送管路，該第一焚燒熱氣回收管路的一端係與該第一熱側管路的一端連接，該第一焚燒熱氣回收管路的另一端係與該直燃式焚燒爐之出氣口連接，該第一熱氣回收管路的一端係與該第一熱側管路的另一端連接，該第一熱氣回收管路的另一端係與該第二熱側管路的一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第一冷側管路的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該直燃式焚燒爐之進氣口連接； 一第二熱交換器，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二冷側管路的一端係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第二冷側管路的另一端係與該熱氣輸送管路的另一端連接；一第三熱交換器，該第三熱交換器係設有第三冷側管路及第三熱側管路，該第三熱交換器係連接有一第三脫附濃縮氣體輸送管路及一第三熱氣回收管路，該第三冷側管路的一端係與該脫附濃縮氣體管路的另一端連接，該第三脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第三冷側管路的另一端連接，該第三脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該第一冷側管路的一端連接，該第三熱氣回收管路的一端係與該第三熱側管路的一端連接，該第三熱氣回收管路的另一端係與該第二熱側管路的另一端連接；一冷卻器，該冷卻器內係設有冷卻水管路，該冷卻器係連接有一冷卻熱氣回收管路，該冷卻熱氣回收管路的另一端係與該第三熱側管路的另一端連接；一除塵設備，該除塵設備係連接有一除塵進氣管路及一除塵出氣管路，該除塵進氣管路的一端係與該除塵設備連接，該除塵進氣管路的另一端係與該冷卻器連接，該除塵出氣管路的一端係與該除塵設備連接，該除塵出氣管路的另一端係與該廢氣進氣管路連接；以及一煙囪，該煙囪係與該吸附轉輪之淨氣排放管路的另一端連接。
2. 一種直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，係包括：一直燃式焚燒爐，該直燃式焚燒爐係設有一進氣口及一出氣口；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷 卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接；一第一熱交換器，該第一熱交換器係設有第一冷側管路及第一熱側管路，該第一熱交換器係連接有一第一熱氣回收管路、一第一焚燒熱氣回收管路及一第一脫附濃縮氣體輸送管路，該第一焚燒熱氣回收管路的一端係與該第一熱側管路的一端連接，該第一焚燒熱氣回收管路的另一端係與該直燃式焚燒爐之出氣口連接，該第一熱氣回收管路的一端係與該第一熱側管路的另一端連接，該第一熱氣回收管路的另一端係與該第二熱側管路的一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第一冷側管路的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該直燃式焚燒爐之進氣口連接；一第二熱交換器，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二冷側管路的一端係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第二冷側管路的另一端係與該熱氣輸送管路的另一端連接；一第三熱交換器，該第三熱交換器係設有第三冷側管路及第三熱側管路，該第三熱交換器係連接有一第三脫附濃縮氣體輸送管路及一第三熱氣回收管路，該第三脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第三冷側管路 的另一端連接，該第三脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該第一冷側管路的一端連接，該第三熱氣回收管路的一端係與該第三熱側管路的一端連接，該第三熱氣回收管路的另一端係與該第二熱側管路的另一端連接；一第四熱交換器，該第四熱交換器係設有第四冷側管路及第四熱側管路，該第四熱交換器連接有一第四脫附濃縮氣體輸送管路及一第四熱氣回收管路，該第四冷側管路的一端係與該脫附濃縮氣體管路的另一端連接，該第四脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第四冷側管路的另一端連接，該第四脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該第三冷側管路的一端連接，該第四熱氣回收管路的一端係與該第四熱側管路的一端連接，該第四熱氣回收管路的另一端係與該第三熱側管路的另一端連接；一冷卻器，該冷卻器內係設有冷卻水管路，該冷卻器係連接有一冷卻熱氣回收管路，該冷卻熱氣回收管路的另一端係與該第三熱側管路的另一端連接；一除塵設備，該除塵設備係連接有一除塵進氣管路及一除塵出氣管路，該除塵進氣管路的一端係與該除塵設備連接，該除塵進氣管路的另一端係與該冷卻器連接，該除塵出氣管路的一端係與該除塵設備連接，該除塵出氣管路的另一端係與該廢氣進氣管路連接；以及一煙囪，該煙囪係與該吸附轉輪之淨氣排放管路的另一端連接。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該熱氣輸送管路係設有 一熱氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該熱氣控制閥門來形成比例風門。
4. 如申請專利範圍第1或2項所述之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間係進一步設有一聯通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該冷卻氣輸送管路係設有一冷卻氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門來形成比例風門。
5. 如申請專利範圍第1或2項所述之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，其中該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
6. 如申請專利範圍第1或2項所述之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣進氣管路係進一步輸送外氣至該吸附轉輪之冷卻區，且該外氣係為新鮮空氣。
7. 如申請專利範圍第1或2項所述之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣進氣管路係進一步設有一氣體旁通管路，該氣體旁通管路之一端係與該冷卻氣進氣管路連接，該氣體旁通管路之另一端係與該廢氣進氣管路連接。
8. 如申請專利範圍第1或2項所述之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風車。
9. 如申請專利範圍第1或2項所述之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，其中該除塵出氣管路係進一步設有一風車。
10. 如申請專利範圍第1或2項所述之直燃回流熱回收高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻器係進一步為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一。