TWM576495U - High efficiency volatile organic waste gas treatment improvement system - Google Patents

Abstract

本創作為一種高效率揮發有機廢氣處理改良系統，主要係透過一焚燒爐、一第一吸附轉輪及一第二吸附轉輪之組合設計，且透過該第二吸附轉輪的第二脫附濃縮氣體管路連接到該第一吸附轉輪之冷卻區的第一冷卻氣進氣管路，以能將該第二脫附濃縮氣體管路內的脫附濃縮氣體用來供給該第一吸附轉輪之冷卻區使用，使能增加揮發有機廢氣的處理效能。

Description

高效率揮發有機廢氣處理改良系統

本創作係有關於一種高效率揮發有機廢氣處理改良系統，尤指一種使增加有機廢氣處理效能，且節省能耗，而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業之廠房的廢氣處理。

習知的揮發有機廢氣處理系統的沸石轉輪與一焚燒爐及一次熱交換器與一二次熱交換器與一三次熱交換器所組成，並應用如半導體產業，且通常整體處理效率約在90%~95%。

而當環保觀念愈來愈受重視，目前的產業在新設廠時會遇到總量管制，以現有的排放量為基準，要求不要再增加排放量，所以過去的處理效率面臨需要增加，以減少揮發性有機廢氣排放量，這成為一個選項。

因為近年的環保意識提升，增加處理效率，也會增加能源消耗，例如燃料費，對安裝設備的廠商來說是一筆不小的開銷及負擔。

因此，本創作人有鑑於上述缺失，期能提出一種具有較高的處理效率且節能之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，由於處理效率提高使排氣的VOC揮發有氣氣體總量減少，又具節能工效令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組製，以提供使用者便利性，為本創作人所欲研創之創作動機者。

本創作之主要目的，在於提供一種高效率揮發有機廢氣處理改良系統，主要係透過一焚燒爐、一第一吸附轉輪及一第二吸附轉輪之組合設計，且透過該第二吸附轉輪的第二脫附濃縮氣體管路連接到該第一吸附轉輪之冷卻區的第一冷卻氣進氣管路，以能將該第二脫附濃縮氣體管路內的脫附濃縮氣體用來供給該第一吸附轉輪之冷卻區使用，使能增加揮發有機廢氣的處理效能，進而增加整體之實用性者。

本創作之另一目的，在於提供一種高效率揮發有機廢氣處理改良系統，透過該第一冷卻氣輸送管路與該第一熱氣輸送管路之間係設有一第一連通管路，而該第一連通管路係設有一第一連通控制閥門，該第二熱交換器之第二冷側管路係設有一第二冷側控制閥門，以透過該第一連通控制閥門及第二冷側控制閥門來形成比例風門，而該第二冷側控制閥門係設於該第二熱交換器之第二冷側管路的一側與另一側之其中一者，另該第二冷卻氣輸送管路與該第二熱氣輸送管路之間係設有一第二連通管路，而該第二連通管路係設有一第二連通控制閥門，該第三熱交換器之第三冷側管路係設有一第三冷側控制閥門，以透過該第二連通控制閥門及第三冷側控制閥門來形成比例風門，另該第三冷側控制閥門係設於該第三熱交換器之第三冷側管路的一側與另一側之其中一者，藉此，透過閥門之設計來形成具有比例風門之效能，以能調整控制風力之大小，讓該第一吸附轉輪之第一熱氣輸送管路內的溫度及該第二吸附轉輪之第二熱氣輸送管路內的溫度能進行加熱來產生高溫，以便於作為脫附使用，並具有節省能源，進而增加整體之使用性者。

為達上述目的，本創作為一種高效率揮發有機廢氣處理改良系統，係包括：一焚燒爐、一第一吸附轉輪及一第二吸附轉輪；該焚燒爐內係設有一爐膛、一第一熱交換器、一第二熱交換器、一第三熱交換器及一第四熱交換器，該爐膛係設有爐膛入口及爐膛出口，該第一熱交換器係設有第一冷側管路及第一熱側管路，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第三熱交換器係設有第三冷側管路及第三熱側管路，該第四熱交換器係設有第四冷側管路及第四熱側管路；該第一吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該第一吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一第一淨氣排放管路、一第一冷卻氣進氣管路、一第一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路係連接至該第一吸附轉輪之吸附區，該第一淨氣排放管路之一端係與該第一吸附轉輪之吸附區連接，該第一吸附轉輪之冷卻區的一側係連接該第一冷卻氣進氣管路，該第一吸附轉輪之冷卻區的另一側係連接該第一冷卻氣輸送管路，該第一冷卻氣輸送管路的另一端則連接該第二熱交換器之第二冷側管路的一端，該第二熱交換器之第二冷側管路的另一端係連接該第一熱氣輸送管路，該第一熱氣輸送管路的另一端係連接該第一吸附轉輪之脫附區的一側，該第一吸附轉輪之脫附區的另一側係連接該第一脫附濃縮氣體管路，該第一脫附濃縮氣體管路的另一端係連接到該第四熱交換器之第四冷側管路的一端，該第四熱交換器之第四冷側管路的另一端係連接到該第一熱交換器之第一冷側管路的一端，該第一熱交換器之第一冷側管路的另一端係連接該爐膛的爐膛入口；以及該第二吸附轉輪內係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該第二吸附轉輪係連接有一第二淨氣排放管路、一第二冷卻 氣進氣管路、一第二冷卻氣輸送管路、一第二熱氣輸送管路、一第二脫附濃縮氣體管路，該第一吸附轉輪之第一淨氣排放管路係連接該第二吸附轉輪之吸附區，該第二吸附轉輪之吸附區的另一側係連接該第二淨氣排放管路，該第二吸附轉輪之冷卻區的一側係連接該第二冷卻氣進氣管路，該第二吸附轉輪之冷卻區的另一側係連接該第二冷卻氣輸送管路，該第二冷卻氣輸送管路的另一端則連接該第三熱交換器之第三冷側管路的一端，該第三熱交換器之第三冷側管路的另一端係連接該第二熱氣輸送管路，該第二熱氣輸送管路的另一端係連接該第二吸附轉輪之脫附區的一側，該第二吸附轉輪之脫附區的另一側係連接該第二脫附濃縮氣體管路，該第二脫附濃縮氣體管路係連接到該第一吸附轉輪之冷卻區的第一冷卻氣進氣管路。

為了能夠更進一步瞭解本創作之特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本創作之詳細說明與附圖，惟所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本創作。

10‧‧‧焚燒爐

11‧‧‧爐膛

111‧‧‧爐膛入口

112‧‧‧爐膛出口

12‧‧‧第一熱交換器

121‧‧‧第一冷側管路

122‧‧‧第一熱側管路

13‧‧‧第二熱交換器

131‧‧‧第二冷側管路

132‧‧‧第二熱側管路

1311‧‧‧第二冷側控制閥門

14‧‧‧第三熱交換器

141‧‧‧第三冷側管路

142‧‧‧第三熱側管路

1411‧‧‧第三冷側控制閥門

15‧‧‧第四熱交換器

151‧‧‧第四冷側管路

152‧‧‧第四熱側管路

20‧‧‧第一吸附轉輪

201‧‧‧吸附區

202‧‧‧冷卻區

203‧‧‧脫附區

21‧‧‧廢氣進氣管路

22‧‧‧第一淨氣排放管路

23‧‧‧第一冷卻氣進氣管路

24‧‧‧第一冷卻氣輸送管路

25‧‧‧第一熱氣輸送管路

26‧‧‧第一脫附濃縮氣體管路

261‧‧‧風機

27‧‧‧第一連通管路

271‧‧‧第一連通控制閥門

28‧‧‧第一旁通管路

30‧‧‧第二吸附轉輪

301‧‧‧吸附區

302‧‧‧冷卻區

303‧‧‧脫附區

31‧‧‧第二淨氣排放管路

311‧‧‧風機

32‧‧‧第二冷卻氣進氣管路

33‧‧‧第二冷卻氣輸送管路

34‧‧‧第二熱氣輸送管路

35‧‧‧第二脫附濃縮氣體管路

351‧‧‧風機

36‧‧‧第二連通管路

361‧‧‧第二連通控制閥門

37‧‧‧第二旁通管路

40‧‧‧煙囪

第1圖係為本創作之主要系統架構示意圖。

第2圖係為本創作之具比例風門的系統架構示意圖。

第3圖係為本創作之具比例風門的另一系統架構示意圖。

第4圖係為本創作之具第一旁通管路及第二旁通管路的系統架構示意圖。

請參閱第1圖至第4圖，係為本創作實施例之示意圖。而本創作之高效率揮發有機廢氣處理改良系統的最佳實施方式係運用於半導體 產業、光電產業或化學相關產業之廠房的廢氣處理，透過本創作之設計，能增加有機廢氣的處理效能，並提升處理效率由以往的95%提昇至97%以上，且能大幅減少運轉能源的消耗，並能充份回收熱能，來作為脫附的使用。

而本創作之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，主要係透過一焚燒爐10、一第一吸附轉輪20及一第二吸附轉輪30之組合設計(如第1圖至第3圖所示)，其中該焚燒爐10係為直燃式焚燒爐(TO)或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一者，而本創作之圖示係以直燃式焚燒爐(TO)為例，且下面說明的焚燒爐10乃是為直燃式焚化爐(TO)，但本創作不以直燃式焚燒爐(TO)為限，也可以是蓄熱式焚燒爐(RTO)。

而當焚燒爐10係為直燃式焚燒爐(TO)，該直燃式焚燒爐(TO)內係設有一爐膛11、一第一熱交換器12、一第二熱交換器13、一第三熱交換器14及一第四熱交換器15(如第1圖至第3圖所示)，該爐膛11係設有爐膛入口111及爐膛出口112，該第一熱交換器12係設有第一冷側管路121及第一熱側管路122，該第二熱交換器13係設有第二冷側管路131及第二熱側管路132，該第三熱交換器14係設有第三冷側管路141及第三熱側管路142，該第四熱交換器15係設有第四冷側管路151及第四熱側管路152，其中上述之焚燒爐10可以設有一外殼來包覆上述的零組件，包括該爐膛11、一第一熱交換器12、一第二熱交換器13、一第三熱交換器14及一第四熱交換器15等(如第1圖至第3圖所示)。另外，上述零組件亦可採用分離式單獨設立並以風管相連接，使上述零組件不包括在同一個外殼內(圖未示)，亦可 達到相同目的功能及效果，亦屬於本案所揭示。

另該第一吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該第一吸附轉輪20內係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203，而一廢氣進氣管路21係連接至該第一吸附轉輪20之吸附區201，以使該第一吸附轉輪20之吸附區201能吸附該廢氣進氣管路21內的廢氣(如第1圖至第4圖所示)，而該第一吸附轉輪20之吸附區21的另一側係與該一第一淨氣排放管路22之一端連接，讓該廢氣經第一吸附轉輪20之吸附區201淨化後再由該第一淨氣排放管路22來輸送。

另該第一吸附轉輪20之冷卻區202的一側係連接一第一冷卻氣進氣管路23，而該第一吸附轉輪20之冷卻區202的另一側係連接一第一冷卻氣輸送管路24(如第1圖至第4圖所示)，該第一冷卻氣輸送管路24的另一端則連接到該第二熱交換器13之第二冷側管路131的一端，且該第二熱交換器13之第二冷側管路131的另一端則連接該第一吸附轉輪20的第一熱氣輸送管路25(如第1圖至第4圖所示)。

另該第二吸附轉輪30係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該第二吸附轉輪30內係設有吸附區301、冷卻區302及脫附區303，而該第二吸附轉輪30之吸附區301係與該第一吸附轉輪20之第一淨氣排放管路22的另一端相連接，使該第一吸附轉輪20之第一淨氣排放管路22內的氣體能直接再輸送到第二吸附轉輪30之吸附區301內進行吸附，另該第二吸附轉輪30之吸附區301的另一 側係連接一第二淨氣排放管路31，而該第二淨氣排放管路31之另一端則與一煙囪40連接(如第1圖至第4圖所示)，以方便將經由第一吸附轉輪20之吸附區201及第二吸附轉輪30之吸附區301所吸附過的乾淨之氣體，透過該煙囪40來進行排放，其中該第二吸附轉輪30之第二淨氣排放管路31係設有一風機311(如第2圖至第4圖所示)，以增加氣體之流速。

另該第二吸附轉輪30之冷卻區302的一側係連接一第二冷卻氣進氣管路32，而該第二吸附轉輪30之冷卻區302的另一側係連接一第二冷卻氣輸送管路33(如第1圖至第4圖所示)，該第二冷卻氣輸送管路33的另一端則連接到該第三熱交換器14之第三冷側管路141的一端，且該第三熱交換器14之第三冷側管路141的另一端則連接該第二吸附轉輪30的第二熱氣輸送管路34(如第1圖至第4圖所示)。

另該第一吸附轉輪20之脫附區203的另一側係設有一第一脫附濃縮氣體管路26，而該第一脫附濃縮氣體管路26的另一端則連接到該第四熱交換器15之第四冷側管路151的一端，讓經由高溫所脫附之濃縮廢氣，能經由該第一脫附濃縮氣體管路26來輸送到第四熱交換器15之第四冷側管路151內(如第1圖至第4圖所示)，且該第一吸附轉輪20的第一脫附濃縮氣體管路26係設有一風機261(如第2圖至第4圖所示)，透過該風機261來將該第一脫附濃縮氣體管路26內的氣體推進到該第四熱交換器15之第四冷側管路151中，其中該第四熱交換器15之第四冷側管路151的另一端係連接到該第一熱交換器12 之第一冷側管路121的一端，而該第一熱交換器12之第一冷側管路121的另一端則連接該爐膛11的爐膛入口111，使所脫附之濃縮廢氣再經由該第四熱交換器15之第四冷側管路151的另一端來輸送到該第一熱交換器12之第一冷側管路121的一端，再透過該第一熱交換器12之第一冷側管路121的另一端來輸送到該爐膛11的爐膛入口111以進行高溫燒裂。

而該爐膛11的爐膛入口111係將經過焚燒之高溫氣體輸送到該第一熱交換器12之第一熱側管路122的一側，以供第一熱交換器12進行熱交換，而該第一熱交換器12之第一熱側管路122的另一側再將經過焚燒之高溫氣體輸送到該第二熱交換器13之第二熱側管路132的一側，以供第二熱交換器13進行熱交換，且該第二熱交換器13之第二熱側管路132的另一側再將經過焚燒之高溫氣體輸送到該第三熱交換器14之第三熱側管路142的一側，以供第三熱交換器14進行熱交換，另該第三熱交換器14之第三熱側管路142的另一側再將經過焚燒之高溫氣體輸送到該第四熱交換器15之第四熱側管路152的一側，以供第四熱交換器15進行熱交換，之後再透過該第四熱交換器15之第四熱側管路152的另一側及爐膛11之爐膛出口112來輸送到一煙囪40(如第1圖至第4圖所示)，以將經該爐膛11燒裂後之乾淨之氣體，能透過該煙囪40來進行排放。

而本創作主要的實施方式乃是該第二吸附轉輪30之脫附區303的另一側係連接一第二脫附濃縮氣體管路35，透過該第二脫附濃縮氣體管路35來連接到該第一吸附轉輪20之冷卻區202的第一冷 卻氣進氣管路23(如第1圖所示)，使能將該第二脫附濃縮氣體管路35內的氣體用來供給該第一吸附轉輪20之冷卻區202使用，使能增加揮發有機廢氣的處理效能，其中該第二吸附轉輪30的第二脫附濃縮氣體管路35係設有一風機351(如第2圖至第4圖所示)，以能將該第二脫附濃縮氣體管路35內的氣體推進到該第一冷卻氣進氣管路23中。

另該第一冷卻氣進氣管路23係與該廢氣進氣管路21之間透過一第一旁通管路28來連接(如第4圖所示)，讓能將該廢氣進氣管路21內的廢氣用來提供給該第一吸附轉輪20之冷卻區202進行降溫使用。

再者，本創作的另一種實施方式之結構於上述內容相同，不在此贅述，而本創作的另一種實施方式與主要實施方式的差異在於，該第一冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間係設有一第一連通管路27，而該第一連通管路27係設有一第一連通控制閥門271，且該第二熱交換器13之第二冷側管路131係設有一第二冷側控制閥門1311(如第2圖至第4圖所示)，其中該第二冷側控制閥門1311係設於該第二熱交換器13之第二冷側管路131的一側(如第2圖所示)，也就是靠近該第一冷卻氣輸送管路24或是設在該第一冷卻氣輸送管路24上，另外也可以將該第二冷側控制閥門1311設在該第二熱交換器13之第二冷側管路131的另一側(如第3圖所示)，也就是靠近該第一熱氣輸送管路25或是第一熱氣輸送管路25上，藉此，透過該第一連通控制閥門271及第二冷側控制閥門1311之設計來形成具有比例風門之效能，以能調整控制風力之大小，讓透過該第二熱交換器13於平常時能將 該第二冷側管路131的另一側所連接的第一熱氣輸送管路25之溫度控制在200℃上下，以方便對該第一吸附轉輪20之脫附區203進行脫附加熱使用。

另該第二冷卻氣輸送管路32與該第二熱氣輸送管路34之間係設有一第二連通管路36，而該第二連通管路36係設有一第二連通控制閥門361，且該第三熱交換器14之第三冷側管路141係設有一第三冷側控制閥門1411(如第2圖至第4圖所示)，其中該第三冷側控制閥門1411係設於該第三熱交換器14之第三冷側管路141的一側(如第2圖所示)，也就是靠近該第二冷卻氣輸送管路33或是設在該第二冷卻氣輸送管路33上，另外也可以將該第三冷側控制閥門1411設在該第三熱交換器14之第二冷側管路141的另一側(如第3圖所示)，也就是靠近該第二熱氣輸送管路34或是第二熱氣輸送管路34上，藉此，透過該第二連通控制閥門361及第三冷側控制閥門1411之設計來形成具有比例風門之效能，以能調整控制風力之大小，讓透過該第三熱交換器14於平常時能將該第三冷側管路141的另一側所連接的第二熱氣輸送管路34之溫度控制在200℃上下，以方便對該第二吸附轉輪30之脫附區303進行脫附加熱使用。

另該第二冷卻氣進氣管路32係連接該第二吸附轉輪30之冷卻區302，而該第二冷卻氣進氣管路32係有兩種實施方式，其中第一種實施方式為該第二冷卻氣進氣管路32乃是供新鮮空氣進入(如第1圖及第2圖所示)，透過該新鮮空氣來提供該第二吸附轉輪30之冷卻區302降溫用，另第二種實施方式係該第二冷卻氣進氣管路32與該第一 淨氣排放管路22之間透過一第二旁通管路37來連接(如第3圖及第4圖所示)，讓能透過該第一淨氣排放管路22來提供給該第二吸附轉輪30之冷卻區302進行降溫使用。

藉由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本創作的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出專利申請。

惟以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，當不能以此限定本創作實施之範圍；故，凡依本創作申請專利範圍及創作說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本創作專利涵蓋之範圍內。

Claims (10)

1. 一種高效率揮發有機廢氣處理改良系統，係包括：一焚燒爐，該焚燒爐內係設有一爐膛、一第一熱交換器、一第二熱交換器、一第三熱交換器及一第四熱交換器，該爐膛係設有爐膛入口及爐膛出口，該第一熱交換器係設有第一冷側管路及第一熱側管路，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第三熱交換器係設有第三冷側管路及第三熱側管路，該第四熱交換器係設有第四冷側管路及第四熱側管路；一第一吸附轉輪，該第一吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該第一吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一第一淨氣排放管路、一第一冷卻氣進氣管路、一第一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路係連接至該第一吸附轉輪之吸附區，該第一淨氣排放管路之一端係與該第一吸附轉輪之吸附區連接，該第一吸附轉輪之冷卻區的一側係連接該第一冷卻氣進氣管路，該第一吸附轉輪之冷卻區的另一側係連接該第一冷卻氣輸送管路，該第一冷卻氣輸送管路的另一端則連接該第二熱交換器之第二冷側管路的一端，該第二熱交換器之第二冷側管路的另一端係連接該第一熱氣輸送管路，該第一熱氣輸送管路的另一端係連接該第一吸附轉輪之脫附區的一側，該第一吸附轉輪之脫附區的另一側係連接該第一脫附濃縮氣體管路，該第一脫附濃縮氣體管路的另一端係連接到該第四熱交換器之第四冷側管路的一端，該第四熱交換器之第四冷側管路的另一端係連接到該第一熱交 換器之第一冷側管路的一端，該第一熱交換器之第一冷側管路的另一端係連接該爐膛的爐膛入口；以及一第二吸附轉輪，該第二吸附轉輪內係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該第二吸附轉輪係連接有一第二淨氣排放管路、一第二冷卻氣進氣管路、一第二冷卻氣輸送管路、一第二熱氣輸送管路、一第二脫附濃縮氣體管路，該第一吸附轉輪之第一淨氣排放管路係連接該第二吸附轉輪之吸附區，該第二吸附轉輪之吸附區的另一側係連接該第二淨氣排放管路，該第二吸附轉輪之冷卻區的一側係連接該第二冷卻氣進氣管路，該第二吸附轉輪之冷卻區的另一側係連接該第二冷卻氣輸送管路，該第二冷卻氣輸送管路的另一端則連接該第三熱交換器之第三冷側管路的一端，該第三熱交換器之第三冷側管路的另一端係連接該第二熱氣輸送管路，該第二熱氣輸送管路的另一端係連接該第二吸附轉輪之脫附區的一側，該第二吸附轉輪之脫附區的另一側係連接該第二脫附濃縮氣體管路，該第二脫附濃縮氣體管路係連接到該第一吸附轉輪之冷卻區的第一冷卻氣進氣管路。
2. 如申請專利範圍第1項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該第一冷卻氣輸送管路與該第一熱氣輸送管路之間係進一步設有一第一連通管路，而該第一連通管路係設有一第一連通控制閥門，該第二熱交換器之第二冷側管路係進一步設有一第二冷側控制閥門。
3. 如申請專利範圍第2項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該第二冷側控制閥門係設於該第二熱交換器之第二冷側管路的一側與另一側之其中一。
4. 如申請專利範圍第1項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該第二冷卻氣輸送管路與該第二熱氣輸送管路之間係進一步設有一第二連通管路，而該第二連通管路係設有一第二連通控制閥門，該第三熱交換器之第三冷側管路係設有一第三冷側控制閥門。
5. 如申請專利範圍第4項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該第三冷側控制閥門係進一步設於該第三熱交換器之第三冷側管路的一側與另一側之其中一。
6. 如申請專利範圍第1項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該焚燒爐之爐膛係進一步將經過焚燒之高溫氣體輸送到該第一熱交換器之第一熱側管路的一側，該第一熱交換器之第一熱側管路的另一側再將經過焚燒之高溫氣體輸送到該第二熱交換器之第二熱側管路的一側，該第二熱交換器之第二熱側管路的另一側再將經過焚燒之高溫氣體輸送到該第三熱交換器之第三熱側管路的一側，該第三熱交換器之第三熱側管路的另一側再將經過焚燒之高溫氣體輸送到該第四熱交換器之第四熱側管路的一側，之後再透過該第四熱交換器之第四熱側管路的另一側來輸送到一煙囪。
7. 如申請專利範圍第1項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該第一吸附轉輪的第一脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
8. 如申請專利範圍第1項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該第二吸附轉輪的第二淨氣排放管路係進一步設有一風機，該第二淨氣排放管路的另一端係進一步與一煙囪連接，該第二吸附轉輪的第二脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
9. 如申請專利範圍第1項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該廢氣進氣管路係進一步設有一第一旁通管路，該第一旁通管路係與該第一吸附轉輪的第一冷卻氣進氣管路連接。
10. 如申請專利範圍第1項所述之高效率揮發有機廢氣處理改良系統，其中該第一淨氣排放管路係進一步設有一第二旁通管路，該第二旁通管路係與該第二吸附轉輪的第二冷卻氣進氣管路連接。