TWM574678U - 可撓性液體檢測裝置 - Google Patents

Abstract

本創作提供一種可撓性液體檢測裝置，包含有具可撓性的薄膜條，二金屬條平行設置在薄膜條上，金屬條及薄膜條經外力作用會產生形變，感測控制器電性連接二金屬條一端，當外部裝置滲漏產生液體存在於二金屬條之間時，會改變電流迴路的阻抗，以使感測控制器得知二金屬條之間存有液體，本創作藉由提供可撓性改善習知液體檢測裝置之使用不便。

Description

可撓性液體檢測裝置

本創作係關於一種用於液體檢測裝置，特別係一種具可撓性液體檢測裝置。

在許多製程中，例如半導體製程，無論是生產端或是廠務端，都會需要使用各種不同的製造設備或供給設備等，其中皆會使用到溶液，例如使用清水做清潔，甚或是蝕刻機台需要使用大量的化學液體，例如具有高腐蝕性的酸液，以流動於這些機台中。

一般而言，機台管線或廠務管線只是漏水，頂多為使用者帶來些許的不便，例如需要花時間進行清理，倘若滲漏的液體是化學液體，就可能會對使用者帶來安全上的疑慮，因此在這些機台中，皆會裝設有液體檢測裝置，以裝設在一些管路連接處或是重要的地方。一旦管路發生滲漏時，液體流經液體檢測裝置，會對感測裝置上的感測帶形成短路或是開路(異於一般條件)之偵測，並提供警示訊息，告誡使用者，帶有危險性之液體產生滲漏的疑慮，以讓使用者即時進行故障排除(Trouble Shooting)。

習知的液體檢測裝置，受限於安裝條件，例如可撓性差，僅能安裝在機台中具有平面的環境下，例如機台管路最底端的集水盤內。除非管路滲漏的初始點剛好在液體檢測裝置正上方，否則，液體檢測裝置要偵測到滲漏的液體，需要等這些液體累積了相當的容量，才能流經液體檢測裝置。另外，若因為事故導致液體並未流經液體檢測裝置，使用者就不能馬上得知機台具有滲漏，此時可能會危害機台的繼續運轉或是具有危險性的液體自機台端流到外部環境，而有機會危害到其他人。

因此，本創作鑑於習知技術的缺失，提出一種可撓性液體檢測裝置，以改善機台漏水偵測的能力。

本創作的主要目的係在提供一種可撓性液體檢測裝置，其中主要用於感測及承載感測之薄膜條及金屬條係具有可撓性，可以依照外力作用以及裝置所增設的位置，而產生形變，藉此可以應用在各種不同的環境下，例如可以裝設在具有液體的管線外，一旦管線發生滲漏，即可即時得知，以利使用者能夠即時查覺。

本創作的另一目的係在提供一種可撓性液體檢測裝置，即時提醒使用者機台之管線具有滲漏，可以減少清理的時間，並且避免持續滲漏出大量具有危害人體的液體，可能會對環境中的各個使用者產生直接或間接(例如氣化成具腐蝕性的氣體)的影響。

為了達成上述的目的，本創作提供一種可撓性液體檢測裝置，包含有一薄膜條具有可撓性，二金屬條平行設置在薄膜條上，二金屬條及薄膜條可經外力作用產生形變，一感測控制器電性連接二金屬條一端，當外部裝置滲漏產生液體以存在於二金屬條之間時，會改變電流迴路的阻抗值，以使感測控制器得知二金屬條之間存有液體。

在本創作中，薄膜條未設置二金屬條之一面還可設有一黏接元件，以與外部裝置進行黏接，黏接元件係可為背膠。

在本創作中，二金屬條係為不鏽鋼材質或其它具導電性且特性適用之材質，薄膜條係為聚醯亞胺膜或其它特性適用於製作薄膜之材質。

在本創作中，外部裝置係可為可撓管，以使薄膜條設置在可撓管上，並可隨可撓管進行形變，薄膜條及金屬條的形變係可為彎曲狀。

在本創作中，感測控制器得知二金屬條之間存有液體時，可產生警報訊息。

底下藉由具體實施例詳加說明，當更容易瞭解本創作之目的、技術內容、特點及其所達成之功效。

隨著使用者的需求，除了應用在平面進行測漏感測外，搭配許多彎曲的管線，為了能夠即時得知是否會有滲漏現象，因此本創作提出一種可以依彎曲管線變化的可撓性液體檢測裝置，具有高度的可撓性，並帶來更完善的測漏感應，避免外部裝置滲漏出具有危害的液體，影響在此環境工作的每一使用者。

首先，請參照本創作第一圖所示，一種可撓性液體檢測裝置10包含一薄膜條12、二金屬條14以及一感測控制器16，二金屬條14平行設置在薄膜條12上，感測控制器16電性連接二金屬條14之一端。在本實施例中，二金屬條14係可為不鏽鋼材質或其它具導電性且特性適用之材質，薄膜條12係可為聚醯亞胺膜(Polyimide Film) 或其它特性適用於製作薄膜之材質，而金屬條14的厚度係為10µm~100µm，薄膜條12的厚度係為7µm~200µm，但本創作不以上述的厚度及材質為限制。

說明完本創作的各元件的連接關係後，接著先說明本創作的作動方式並請同時參照第一圖，在一般情況下，感測控制器16會提供電能至任一金屬條14。當外部裝置滲漏產生液體以存在於二金屬條14之間時，會改變電流迴路L的阻抗值，以使感測控制器16得知二金屬條14之間存有液體，本創作之感測控制器16感測液體存在的方式，相同於一般的測漏感測，本創作在此不對感測方式多作限制。

承接上段，接著請參照第二圖所示，並請同時參照第一圖，本創作的可撓性液體檢測裝置10可以透過具有可撓性的薄膜條12設置在一外部裝置20容易滲漏的地方，例如外部裝置20的表面，外部裝置20可以是一可撓管，因為使用者需求，必須對此一管路進行形狀變化，但本創作不以此為創作的限制，但在可撓管進行形變的時候，薄膜條12以及其上的二金屬條14也可隨可撓管進行形變，在此外部裝置20先以一般管路形狀(尚未變形時)為實施例說明。當外部裝置20發生滲漏現象時，會有液體22自外部裝置20中流出，當流到薄膜條12上的二金屬條14之間時，會改變電流迴路L的阻抗值，以使感測控制器16得知二金屬條14上存有液體22。感測控制器16可以產生警報訊息讓使用者即時得知，此一薄膜條12及其上的二金屬條14所覆蓋之處具有滲漏的現象，警報訊息可以是燈光或是聲音方式，或是透過其它裝置連接以告之使用者，本創作則不多做限制。

另外，請參照本創作第三圖所示，薄膜條12未設置金屬條14之一面，可以設有一黏接元件24，例如是背膠，使用者就可以利用此一黏接元件24將薄膜條12黏接在外部裝置20上，以方便使用者安裝可撓性液體檢測裝置10，但本創作不以此黏接方式為限制。

上述的可撓性液體檢測裝置係先以管路為一般狀況下為例說明，因為外部裝置是一可撓管，或是可以是各種形狀的管路，例如彎曲狀，使得薄膜條及金屬條的形變也可以成為彎曲狀，如本創作第四a圖及第四b圖所示，薄膜條12及金屬條14會隨著外部裝置20的形狀而定，但本創作不以圖示所揭露的形狀為限制，本創作可以隨著各種可彎曲外部裝置之形狀而改變。

再者，除了上述的設置方式外，請參照本創作第五圖所示，本創作可撓性測漏感應裝置10的另一特點，係以螺旋方式設置在如第五圖之彎曲的外部裝置20，使得本創作的可撓性測漏感應裝置10應用於如可撓管之外部裝置20為移動件時，可以這種螺旋方式進行設置，因為可撓性測漏感應裝置10具有彈性，不會因為可撓管之彎折移動而產生裂解的現象。

並且，本創作亦可如一般液體檢測器，設置在各種環境下，例如平面、凹面或凸面，只是最佳的實施方是，係為貼附於管路表面，就可以即時得知是否會有滲漏現象。一旦發生滲漏，使用者就能即時進行故障排除，保護此環境中的其他人，並且為機台的運作損失降到最小，也能進一步節省生產成本。

以上所述之實施例僅係為說明本創作之技術思想及特點，其目的在使熟習此項技藝之人士能夠瞭解本創作之內容並據以實施，當不能以之限定本創作之專利範圍，即大凡依本創作所揭示之精神所作之均等變化或修飾，仍應涵蓋在本創作之專利範圍。

10‧‧‧可撓性液體檢測裝置

12‧‧‧薄膜條

14‧‧‧金屬條

16‧‧‧感測控制器

20‧‧‧外部裝置

22‧‧‧液體

24‧‧‧黏接元件

L‧‧‧電流迴路

第一圖為本創作的平面示意圖。 第二圖為本創作設置於外部裝置及其滲漏產生液體的示意圖。 第三圖為本創作藉由黏接元件欲貼附於外部裝置的示意圖。 第四a圖及第四b圖係為本創作設置於彎曲之外部裝置的示意圖。 第五圖係為本創作纏繞於彎曲之外部裝置的示意圖。

Claims (10)

1. 一種可撓性液體檢測裝置，包含： 一薄膜條，其具有可撓性； 二金屬條，其係平行設置於該薄膜條上，該二金屬條及該薄膜條可配合外力作用產生形變；以及 一感測控制器，其係電性連接該二金屬條之一端，當外部裝置滲漏產生液體存在於該二金屬條時，會改變該二金屬條之間電流迴路的該阻抗值，以使該感測控制器得知該二金屬條之間存有該液體。
2. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該薄膜條未設置該二金屬條之一面更可設有一黏接元件，其係可與該外部裝置進行黏接。
3. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該黏接元件係為背膠。
4. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該二金屬條係可為不鏽鋼材質或其它具導電性且特性適用之材質。
5. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該外部裝置係可為可撓管，以使該薄膜條設置於該可撓管上，並可隨該可撓管進行形變。
6. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該薄膜條係為聚醯亞胺膜(Polyimide Film)或其它特性適用於製作薄膜之材質。
7. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該薄膜條及該二金屬條的該形變係可為彎曲狀或螺旋狀。
8. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該薄膜條之厚度係為7µm~200µm。
9. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該金屬條之厚度係為10µm~100µm。
10. 如請求項1所述之可撓性液體檢測裝置，其中該感測控制器得知該二金屬條之間存有該液體時，可產生警報訊息。