TWI848187B

TWI848187B - 堆高式起重機

Info

Publication number: TWI848187B
Application number: TW109141070A
Authority: TW
Inventors: 崔昀; 石川和広
Original assignee: 日商村田機械股份有限公司
Priority date: 2019-11-25
Filing date: 2020-11-24
Publication date: 2024-07-11

Abstract

堆高式起重機(7)，覆蓋昇降部(74)的昇降區域(80E)的蓋單元(83)可一體安裝地被設置於柱(80)的側面部(80C)。堆高式起重機(7)的柱(80)，具有：補強部(80D)，配置於Y方向上的一對側面部(80C、80C)之間，面向昇降面形成部(80A)之昇降面(80B)的相反側延伸並且剛性比側面部(80C)更高；以及調整構件(90)，可朝Y方向伸縮，與昇降面形成部(80A)保持間隔配置在正交於Z方向以及Y方向的X方向，以兩端接觸於補強部(80D)和側面部(80C)的方式設置。

Description

堆高式起重機

本發明的一個方面是有關於堆高式起重機。

例如，已知有如專利文獻1記載般，移載物品的昇降部(昇降台)沿著朝單一方向延伸的柱昇降的堆高式起重機。要求如此般的堆高式起重機，在例如清淨室等使用的情況下，在昇降部沿著柱昇降時所產生的粉塵等不會散佈出去。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2004-91157號公報

作為解決如此般課題的手段，設想到在由以腹板部作為昇降面，且以一對凸緣部作為側面的C型槽形構件所構成的柱上，將覆蓋沿著昇降面昇降的昇降部的昇降區域的蓋構件，一體地安裝於凸緣部。在此情況下，必須將蓋構件安裝成：蓋構件不干涉昇降部，而且儘量使蓋構件和昇降部之間的間隙變窄。然而，卻有因柱本身的歪斜或組立時所產生的誤差等而蓋構件干涉到昇降部，或成為蓋構件和昇降部的間隙變寬的安裝狀態的情形。因此，尋求可以容易調整蓋構件相對於昇降部的位置的柱。

因此，本發明的一個方面之目地在於提供：在設置具有一對側面部的柱的堆高式起重機中，可以容易調整一體地安裝於側面部的蓋構件相對於昇降部之相對位置的堆高式起重機。

本發明的一個方面所涉及之堆高式起重機，具備柱，該柱，具有：昇降面形成部，具有朝昇降部昇降的第一方向和正交於第一方向的第二方向延伸的昇降面；以及一對側面部，從昇降面形成部的第二方向之兩端部面向配置昇降部側的相反側沿著正交於第一方向以及第二方向的第三方向延伸，覆蓋昇降部的昇降區域的蓋構件可一體地安裝於側面部，其中，該柱，具有：補強部，配置於第二方向上的一對側面部之間，從昇降面形成部，面向配置昇降部側的相反側，朝第三方向延伸，並且剛性比側面部更高；以及調整構件，可朝第二方向伸縮，與昇降面形成部保持間隔配置在第三方向，以兩端接觸於補強部和側面部的方式設置。

在此構造的堆高式起重機，藉由將設置於側面部和比側面部剛性更高的補強部之間的伸縮構件亦即調整構件伸展來推開柱的側面部，並藉由收縮調整構件來拉近柱的側面部。在如此般的柱，藉由側面部的推開或拉近，以調整側面部相對於昇降面形成部的交叉角度。因此，一體地安裝於側面部之蓋構件的狀態(位置以及姿勢)，也依據上述的交叉角度進行變動(移動)。此結果，在設置具有一對側面部的柱之堆高式起重機中，可以容易調整一體地安裝於側面部的蓋構件相對於昇降部的相對位置。

在本發明的一個方面所涉及之堆高式起重機中，也可以在柱中由昇降面形成部和一對側面部以及補強部所構成的部分，在從第一方向觀看的俯視下形成為E字形。

在本發明的一個方面所涉及之堆高式起重機中，也可以柱藉由將具有腹板部和從腹板部的兩端豎立設置的一對凸緣部之兩個槽形構件的凸緣部彼此接合所形成。藉此，可以容易形成由昇降面形成部和一對側面部以及補強部所構成的柱。

本發明的一個方面所涉及之堆高式起重機，也可以進一步具備蓋構件，該蓋構件以覆蓋昇降部的昇降區域之方式設置，並且一體地安裝於側面部。在此構造中，由於蓋構件覆蓋昇降部的昇降區域，因而可以抑制在昇降部昇降時產生的粉塵散佈的情形。

在本發明的一個方面所涉及之堆高式起重機中，也可以在從第一方向觀看的俯視下，風扇過濾單元配置在由昇降面形成部和側面部以及補強部所形成的凹部空間。在此構造中，由於可以將風扇過濾單元配置在構成柱的構件之間，因而可以將柱整體的尺寸予以緊緻化。

依據本發明的一個方面，在設置具有一對側面部之柱的堆高式起重機中，可以容易調整一體地安裝於側面部的蓋構件相對於昇降部的相對位置。

以下，參照圖面，針對本發明的一個方面之適合的一個實施方式進行詳細說明。此外，在圖式的說明中，對於相同元件給予相同符號，省略重複說明。「上」以及「下」的謂詞，分別對應於鉛直方向的上方向以及下方向。

針對一個實施方式所涉及之具備堆高式起重機7的貯藏庫1進行說明。如圖1所示般，貯藏庫1具有作為保管存放容器F的保管庫的功能，該存放容器F係用來存放半導體晶圓以及玻璃基板等之被收納物的前開式晶圓傳送盒(FOUP：Front Opening Unified Pod)等。貯藏庫1，例如設置於清淨室。貯藏庫1，主要具備：貯藏庫本體3、載架4、堆高式起重機7、以及控制器(未圖示)。

貯藏庫本體3是將貯藏庫1的內部空間A區劃成的部分，由複數個分區所形成。載架4是保管存放容器F的部分，通常設置1至2列(此處為2列)。各載架4朝X方向(寬邊方向)延伸，且大致平行地配置成相鄰之兩個載架4、4相對向。各載架4具有載置並保管存放容器F的複數個收納棚架50。收納棚架50，沿著X方向以及Z方向(鉛直方向)排列。

堆高式起重機7是將存放容器F進出於收納棚架50，並且使存放容器F在未圖示的入庫埠以及出庫埠與收納棚架50之間，或收納棚架50間移動的機構。堆高式起重機7配置在介於相對向的載架4、4之區域。堆高式起重機7，可以沿著載架4的延伸方向(X方向)行走於配置在地面的軌道(未圖示)，沿著載架4朝X方向移動。

如圖1以及圖2所示般，堆高式起重機7，具備：行走部71、柱80、昇降部74、回旋部75、手臂79、蓋單元(蓋構件)83、以及FFU(風扇過濾單元)96。行走部71藉由馬達等的行走驅動部可沿著軌道朝X方向行走地設置。昇降部74沿著柱80的昇降面80B昇降。柱80是設置於行走部71，朝Z方向(第一方向)延伸的構件。昇降部74藉由馬達等的昇降驅動部，可沿著柱80昇降地設置。回旋部75使搭載於該回旋部75上的手臂79等，繞沿著Z方向的軸且朝旋轉方向旋轉。

手臂79將存放容器F予以載置。手臂79設置於昇降部74。手臂79，藉由移載裝置(不圖示)進退(在俯視下進出於昇降部74的外側以及退入於昇降部74的內側)，並將存放容器F進行移載。此外，關於行走部71、昇降部74、回旋部75以及手臂79的構造，機構或配置，未特別限定。作為行走部71、昇降部74、回旋部75以及手臂79，可以採用公知的各種機構或裝置。

控制器控制堆高式起重機7之各部。控制器，例如配置於貯藏庫本體3的內部。控制器，具有：CPU (Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)以及ROM(Read Only Memory)等。在控制器中，藉由CPU、RAM以及ROM等的硬體和程式等的軟體進行協同動作，以執行各種控制。

如圖2所示般，柱80，具備：兩個槽形構件81、82；滑軌87；背面蓋88；以及兩個調整構件90、90。柱80藉由兩個槽形構件81、82，以形成昇降面形成部80A；一對側面部80C、80C；以及補強部80D。

昇降面形成部80A，具有昇降部74所昇降之朝Z方向以及Y方向(第二方向)延伸的昇降面80B。換句話說，昇降面80B正交於X方向。一對側面部80C、80C，從昇降面形成部80A的Y方向之兩端部面向配置昇降部74側的相反側朝X方向延伸。補強部80D，配置於Y方向上的一對側面部80C、80C之間，從昇降面形成部80A之昇降面80B相反側的面，面向配置昇降部74側之相反側沿著X方向延伸。補強部80D，形成為比側面部80C、80C各自的剛性更高。

昇降面形成部80A、一對側面部80C、80C以及補強部80D，由兩個槽形構件81、82所形成。槽形構件81，具有：腹板部81A和從腹板部81A的Y方向之兩端朝X方向延伸(豎立設置)的一對凸緣部81B、81B。槽形構件82，具有：腹板部82A和從腹板部82A的Y方向之兩端朝X方向延伸(豎立設置)的一對凸緣部82B、82B。槽形構件81和槽形構件81是相同尺寸以及相同形狀。換言之，腹板部81A以及腹板部82A的厚度相同，凸緣部81B以及凸緣部82B的厚度相同。

槽形構件81以及槽形構件82，以例如剛性高且低成本的金屬材料亦即不銹鋼來形成。槽形構件81以及槽形構件82，以槽形構件81的腹板部81A與槽形構件82的腹板部82A成為相同平面之方式，接合凸緣部81B、82B彼此。形成為相同平面之槽形構件81的腹板部81A以及槽形構件82的腹板部82A，則形成柱80的昇降面80B。槽形構件81其中一個凸緣部81B，形成柱80其中一個側面部80C，槽形構件82其中一個凸緣部82B，形成柱80的另一個側面部80C。槽形構件81的另一個凸緣部81B和槽形構件82的另一個凸緣部81B之接合部分，形成柱80的補強部80D。

在柱80中由昇降面形成部80A和一對側面部80C、80C以及補強部80D所構成的部分，在從Z方向觀看的俯視下形成為E字形。

朝Z方向延伸之昇降部74用的滑軌87，固定在昇降面形成部80A的昇降面80B。

蓋單元83是覆蓋昇降部74的昇降區域80E的構件。蓋單元83，具有：兩個垂釣構件84、85；以及蓋86、86。蓋單元83，藉由未圖示的連結構件來分別一體地安裝於一對側面部80C、80C。更詳細來說，垂釣構件84被一體地安裝於槽形構件81，垂釣構件85被一體地安裝於槽形構件82。

垂釣構件84以及垂釣構件85，以例如剛性高且低成本的金屬材料亦即不銹鋼來形成。垂釣構件84，具有：第一面84A、以及正交於第一面84A的第二面84B。第一面84A一體地安裝於槽形構件81的凸緣部81B。蓋86安裝於第二面84B的前端。垂釣構件85，具有：第一面85A、以及正交於第一面85A的第二面85B。第一面85A一體地安裝於槽形構件82的凸緣部82B。蓋86安裝於第二面85B的前端。蓋86藉由例如鋁板等的材料所形成。

在Y方向，在安裝於垂釣構件84之蓋86的前端86A和安裝於垂釣構件85之蓋86的前端86A之間，設有間隙G。回旋部75以及手臂79，從昇降區域80E的昇降部74經由該間隙G突出於外部空間。在本實施方式中，蓋86的前端86A設置成不接觸於昇降部74、回旋部75以及手臂79。

背面蓋88設置在柱80的背面。背面蓋88，被安裝於槽形構件81之一對凸緣部81B、81B的前端以及槽形構件82之一對凸緣部82B、82B的前端。由腹板部81A；一對凸緣部81B、81B；以及背面蓋88，形成凹部空間80F。同樣地，由腹板部82A；一對凸緣部82B、82B；以及背面蓋88，形成凹部空間80F。

調整構件90，例如是沿著Y方向延伸，並且可朝Y方向伸縮的鬆緊螺套構件。調整構件90配置於凹部空間80F。更詳細來說，調整構件90被與昇降面形成部80A保持間隔配置在X方向(第三方向)。調整構件90在Y方向排列兩個。其中一個調整構件90，以其兩端接觸於形成補強部80D的凸緣部81B和形成側面部80C的凸緣部81B之方式設置，另一個調整構件90，以其兩端接觸於形成補強部80D的凸緣部82B和形成側面部80C的凸緣部82B之方式設置。調整構件90，在將X方向之槽形構件81(82)的全長設為D，並將離背面蓋88的距離設為D1時，配置成為D1≦1/2D。此外，在不設置背面蓋88的情況下，調整構件90也可以設置成一對凸緣部81B、81B(82B、82B)的前端彼此接觸。

如圖3所示般，調整構件90，具有：本體部91A、91B；第一螺栓92A，與形成於本體部91A之孔部的螺紋槽螺合；第二螺栓92B，與形成於本體部91B之孔部的螺紋槽螺合；固定器93，設置於第一螺栓92A的前端；以及固定器94，設置於第二螺栓92B的前端。用來固定於凸緣部81B的螺栓93B(94B)，設置在固定器93(94)。

調整構件90、90，藉由使分別螺合於本體部91A、91B的第一螺栓92A以及第二螺栓92B滾動，可以調整一對側面部80C、80C相對於昇降面形成部80A的交叉角度α(參照圖2)。以下，使用圖3以及圖4(A)至圖4(C)，針對調整一對側面部80C、80C相對於昇降面形成部80A的交叉角度α之方法進行詳細說明。

調整構件90，藉著使第一螺栓92A的前端(固定器93)朝遠離本體部91A的方向滾動，並且使第二螺栓92B的前端(固定器94)朝遠離本體部91B的方向滾動，作用成使其中一個凸緣部81B以及凸緣部82B(相當於側面部80C)朝遠離另一個凸緣部81B以及凸緣部82B(相當於補強部80D)的方向推開。垂釣構件84的第一面84A，位置和姿勢變化成為與其中一個凸緣部81B相同平面，垂釣構件85的第一面85A，位置和姿勢變化成為與其中一個凸緣部82B相同平面。藉此，一對側面部80C、80C，從圖4(A)所示的狀態變化成圖4(B)所示的狀態。換言之，一對側面部80C、80C，變形成柱80的背面側張開(彼此遠離)。藉由如此般之柱80的變形，蓋單元83的位置和姿勢變化。換言之，若調整第一螺栓92A以及第二螺栓92B的話，其中一個凸緣部81B以及凸緣部82B、垂釣構件84的第一面84A以及第二面84B、以及垂釣構件85的第一面85A以及第二面85B的位置和姿勢產生變化，其結果，蓋86的前端彼此的間隙G，變成比原本的狀態窄。

另外，調整構件90，藉著使第一螺栓92A的前端(固定器93)朝接近本體部91A的方向滾動，並且使第二螺栓92B的前端(固定器94)朝接近本體部91B的方向滾動，作用成使其中一個凸緣部81B以及凸緣部82B(相當於側面部80C)朝接近另一個凸緣部81B以及凸緣部82B(相當於補強部80D)的方向拉近。垂釣構件84的第一面84A，位置和姿勢變化成為與其中一個凸緣部81B相同平面，垂釣構件85的第一面85A，位置和姿勢變化成為與其中一個凸緣部82B相同平面。藉此，一對側面部80C、80C，從圖4(A)所示的狀態變化成如圖4(C)所示般的狀態。換言之，一對側面部80C、80C，變形成柱80的昇降面80B側閉合(彼此接近)。藉由如此般之柱80的變形，蓋單元83的位置和姿勢變化。換言之，若調整第一螺栓92A以及第二螺栓92B的話，其中一個凸緣部81B以及凸緣部82B、垂釣構件84的第一面84A以及第二面84B、以及垂釣構件85的第一面85A以及第二面85B的位置和姿勢產生變化，其結果，蓋86的前端彼此的間隙G，變成比原本的狀態寬。

此外，在本實施方式中，雖舉出藉著使第一螺栓92A的前端(固定器93)朝遠離本體部91A的方向滾動，並且使第二螺栓92B的前端(固定器94)朝遠離本體部91B的方向滾動，蓋86的前端彼此的間隙G，變成比原本的狀態窄，使藉著第一螺栓92A的前端(固定器93)朝接近本體部91A的方向滾動，並且使第二螺栓92B的前端(固定器94)朝接近本體部91B的方向滾動，蓋86的前端彼此的間隙G，變成比原本的狀態寬的例子來進行說明，但藉由安裝於垂釣構件84的第二面84B以及垂釣構件85的第二面85B的蓋86的形狀，仍有蓋86的前端彼此之間隙G從原本的狀態變窄或變寬之關係變化的情況。

另外，在圖4(B)以及圖4(C)，雖舉出第一螺栓92A的前端以及第二螺栓92B的前端之雙方，朝分別遠離本體部91A、91B的方向或分別接近於本體部91A、91B的方向移動之例來進行說明，但也可以僅使第一螺栓92A的前端以及第二螺栓92B的前端其中一個，朝遠離本體部91A或本體部91B，或接近於本體部91A或本體部91B的方向移動。另外，也可以將第一螺栓92A的前端以及第二螺栓92B的前端之其中一個，從本體部91A或本體部91B遠離，或使第一螺栓92A的前端以及第二螺栓92B的前端之另一個，朝接近於本體部91A或本體部91B的方向移動。藉由如此般之調整構件90的調整，可以調整蓋86相對於昇降部74的相對位置。

如此般，調整構件90、90具有調整一對側面部80C、80C相對於昇降面形成部80A的交叉角度α之調整功能。調整構件90、90，進一步具有提高柱80整體的剛性之補強功能。調整構件90、90朝柱80的延伸方向以即定間隔來配置。調整構件90、90的配置數量，依據構成柱80的構件之一對側面部80C、80C的變形容易度來適當設定。

如圖2所示般，FFU96配置於凹部空間80F。更詳細來說，FFU96在從Z方向觀看的俯視下，配置於由昇降面形成部80A和側面部80C以及補強部80D所形成的凹部空間80F。FFU96是具備風扇和過濾器的空氣淨化功能裝置，吸入周圍的空氣並排出清淨空氣。

針對上述實施方式的堆高式起重機7之作用效果進行說明。在上述實施方式的堆高式起重機7中，由於在側面部80C和比側面部80C剛性更高的補強部80D之間，設置伸縮構件亦即調整構件90，因而柱80的側面部80C藉由將調整構件90伸展被朝遠離補強部80D的方向推開，另外，柱80的側面部80C藉由將調整構件90縮小被朝接近於補強部80D的方向拉近。在如此般的柱80，藉由側面部80C的推開或拉近，以調整側面部80C相對於昇降面形成部80A的交叉角度α。因此，一體地安裝於側面部之蓋單元83的狀態(位置以及姿勢)，也依據上述的交叉角度α進行變動(移動)。此結果，在設置具有一對側面部80C、80C之柱80的堆高式起重機7中，可以容易調整一體地安裝於側面部80C的蓋單元83相對於昇降部74之相對位置。

另外，在上述實施方式的堆高式起重機7中，由於可以容易調整蓋單元83相對於昇降部74的相對位置，因而可以將蓋86配置於不干涉進行昇降運動的昇降部74般之極限位置。藉此，可以抑制因昇降部74和蓋86的接觸所產生之粉塵的發生，並且還可以抑制在昇降區域80E發生的粉塵流出於貯藏庫1的內部空間A的情形。

另外，在上述實施方式的堆高式起重機7中，藉由設置調整構件90，柱80整體的剛性提高。另外，由於可以藉由設置調整構件90提高剛性，因而在形成相同性能之柱80的情況下，可將柱80整體的尺寸縮小。

在上述實施方式的堆高式起重機7中，柱80藉由將具有腹板部81A(82A)和從腹板部81A(82A)的兩端豎立設置的一對凸緣部81B、81B(82B、82B)的兩個槽形構件81、82的凸緣部81B、82B彼此接合所形成。藉此，可以容易形成由昇降面形成部80A和一對側面部80C、80C以及補強部80D所構成的柱80。

在上述實施方式的堆高式起重機7中，由於設有覆蓋昇降部74之昇降區域80E的蓋單元83，因而可以抑制在昇降部74昇降時產生的粉塵散佈在貯藏庫1之內部空間A的情形。

在上述實施方式的堆高式起重機7中，在從Z方向觀看的俯視下，FFU96配置於由昇降面形成部80A和側面部80C以及補強部80D所形成的凹部空間80F。藉此，由於可以將FFU96配置於構成柱80的構件之間，因而可以將柱80整體的尺寸予以緊緻化。

以上，雖針對一個實施方式進行說明，但本發明的一個方面不限於上述實施方式。在不脫離發明之宗旨的範圍內可進行各種變更。

在上述實施方式的堆高式起重機7中，雖舉出藉由將兩個槽形構件81以及槽形構件82連接，以形成在從Z方向觀看的俯視下形成為E字形之柱80的例子來進行說明，但不限於此。例如，也可以使用藉由一個構件所形成的剖面E型形狀之構件，或將成為補強部80D的構件藉由焊接等，與形成為剖面C字形的構件成為一體化而作為E型形狀。

在上述實施方式中，雖舉出表面形成為平板狀的槽形構件81、82；垂釣構件84、85為例來進行說明，但也可以在各個構件的表面形成溝槽等。

1:貯藏庫 7:堆高式起重機 74:昇降部 80:柱 80A:昇降面形成部 80B:昇降面 80C:側面部 80D:補強部 80E:昇降區域 80F:凹部空間 81:槽形構件 81A:腹板部 81B:凸緣部 82:槽形構件 82A:腹板部 82B:凸緣部 83:蓋單元(蓋構件) 84:垂釣構件 85:垂釣構件 90:調整構件 96:FFU(風扇過濾單元)

[圖1]是表示具備實施方式所涉及之堆高式起重機的貯藏庫之剖面圖。 [圖2]是表示圖1的堆高式起重機的柱以及蓋單元之剖面圖。 [圖3]是表示圖2的柱的調整構件之立體圖。 [圖4(A)]、[圖4(B)]以及[圖4(C)]是表示調整構件的調整所導致之柱的側面部以及蓋單元的狀態變化之圖。

74:昇降部

75:回旋部

79:手臂

80:柱

80A:昇降面形成部

80B:昇降面

80C:側面部

80D:補強部

80E:昇降區域

80F:凹部空間

81:槽形構件

81A:腹板部

81B:凸緣部

82:槽形構件

82A:腹板部

82B:凸緣部

83:蓋單元(蓋構件)

84:垂釣構件

84A:第一面

84B:第二面

85:垂釣構件

85A:第一面

85B:第二面

86:蓋

86A:前端

87:滑軌

88:背面蓋

90:調整構件

96:FFU(風扇過濾單元)

G:間隙

Claims

一種堆高式起重機，具備柱，該柱，具有：昇降面形成部，具有朝昇降部昇降的第一方向和正交於前述第一方向的第二方向延伸的昇降面；以及一對側面部，從前述昇降面形成部的前述第二方向之兩端部面向配置前述昇降部側的相反側沿著正交於前述第一方向以及前述第二方向的第三方向延伸，覆蓋前述昇降部的昇降區域的蓋構件可一體地安裝於前述側面部，其中，前述柱，具有：補強部，配置於前述第二方向上的前述一對側面部之間，從前述昇降面形成部，面向配置前述昇降部側的相反側，朝前述第三方向延伸，並且剛性比前述側面部更高；以及調整構件，可朝前述第二方向伸縮，與前述昇降面形成部保持間隔配置在前述第三方向，以兩端接觸於前述補強部和前述側面部的方式設置。
如請求項1的堆高式起重機，其中，在前述柱中由前述昇降面形成部和前述一對側面部以及前述補強部所構成的部分，在從前述第一方向觀看的俯視下形成為E字形。
如請求項1或2的堆高式起重機，其中，前述柱藉由將具有腹板部和從前述腹板部的兩端豎立設置的一對凸緣部之兩個槽形構件的前述凸緣部彼此接合所形成。
如請求項1或2的堆高式起重機，其中，進一步具備蓋構件，該蓋構件以覆蓋前述昇降部的昇降區域的方式設置，並且一體地安裝於前述側面部。
如請求項1或2的堆高式起重機，其中，在從前述第一方向觀看的俯視下，風扇過濾單元配置在由前述昇降面形成部和前述側面部以及前述補強部所形成的凹部空間。