TWI826686B - 荷重感測器的電壓調整方法 - Google Patents

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Abstract

[課題]利用荷重感測器來適當地測定荷重。 [解決手段]在對工作夾台中的第1感測器、第2感測器、及第3感測器的任一個感測器的附近施加有荷重的情況下，仍然將電壓調整部調整成在測定器中所計算的電壓值成為相同值(第1~第3調整步驟)。並且，在重複步驟中，重複像這樣的第1~第3調整步驟。藉由像這樣調整電壓調整部，由於可以在各感測器承受了預定之荷重時，亦即在工作夾台中的各感測器的附近承受了預定之荷重時，讓藉由測定器所計算的合計電壓變得相等，因此可以讓測定器中的荷重的測定值變得相等。

Description

荷重感測器的電壓調整方法
本發明是有關於一種荷重感測器的電壓調整方法。
為了強化晶圓的抗折強度，可藉由例如由研磨墊所進行之研磨步驟來將藉由磨削磨石所進行之磨削而形成於晶圓的磨削痕跡去除。研磨加工是以預定之荷重將研磨墊按壓於晶圓來實施。亦即，研磨去除量是因應於荷重的大小而改變。在複數個研磨裝置中，也可以藉由以相同的荷重來研磨，來讓研磨去除量變得同樣。
晶圓從研磨墊承受的荷重是如例如專利文獻1所示地以如下的方式進行偵測。將以壓電元件所構成的荷重感測器配設在以工作夾台的中心作為重心之正三角形的頂點的各個頂點。取得使用此等3個荷重感測器所測定出的荷重的總和值，並且將其設為晶圓承受的荷重。 荷重感測器是以已對壓電元件賦與預定的壓縮壓力(增壓)而某種程度上被壓縮的狀態，配設在工作夾台或研磨機構。又，關於荷重感測器的輸出值，會進行零位調整以在無荷重時成為零。並且，當承受荷重而壓縮荷重感測器時，會產生正的電壓。藉由將此電壓轉換成荷重，可測定對工作夾台上之晶圓所施加的荷重。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開2015-036166號公報
發明欲解決之課題
如上所述，對3個荷重感測器施加有預定的增壓。在此，若增壓按每個荷重感測器而不同時，即使承受相同的荷重，從各荷重感測器所產生的電壓也會產生差異。為了防止像這樣的差異的產生，必須將施加於3個荷重感測器的增壓設為均等。但是，要對3個荷重感測器均等地施加增壓是困難的。 本發明的目的在於使用像這樣的荷重感測器來適當地測定荷重。 用以解決課題之手段
本發明之荷重感測器的電壓調整方法(本調整方法)是將用以產生因應於所承受之荷重的至少3個荷重感測器配設在三角形的頂點，而藉由該至少3個荷重感測器來支撐荷重承受部，且基於從該至少3個荷重感測器所產生的電壓，在藉由測定器測定施加於該荷重承受部的荷重時，藉由配設在該各荷重感測器與該測定器之間的電壓調整部來調整該測定器所接收之來自各荷重感測器的電壓，以在該各荷重感測器承受了預定之荷重時讓該測定器接收相同的電壓，前述荷重感測器的電壓調整方法具備以下步驟： 準備步驟，準備荷重賦與機構與該測定器，前述荷重賦與機構是將預定之荷重施加於該荷重承受部，前述測定器是接收從作為該至少3個荷重感測器之第1感測器、第2感測器及第3感測器的每一個感測器所產生的電壓並計算該等電壓的合計電壓，而依據此合計電壓測定施加於該荷重承受部的荷重；及 重複步驟，包含第1調整步驟、第2調整步驟以及第3調整步驟，並重複進行這些第1調整步驟、第2調整步驟及第3調整步驟，前述第1調整步驟會藉由該荷重賦與機構對該荷重承受部中的該第1感測器的附近賦與該預定之荷重，並將該第1感測器用的電壓調整部調整成：藉由該測定器所計算的該合計電壓成為對應於該預定之荷重之電壓，前述第2調整步驟會藉由該荷重賦與機構對該荷重承受部中的該第2感測器的附近賦與該預定之荷重，並將該第2感測器用的電壓調整部調整成：藉由該測定器所計算的該合計電壓成為對應於該預定之荷重之電壓，前述第3調整步驟會藉由該荷重賦與機構對該荷重承受部中的該第3感測器的附近賦與該預定之荷重，並將該第3感測器用的電壓調整部調整成：藉由該測定器所計算的該合計電壓成為對應於該預定之荷重之電壓， 又，藉由實施該重複步驟，可以在該各荷重感測器承受了預定之荷重時讓該測定器接收相同的電壓。 在本調整方法中，亦可為：該至少3個荷重感測器是配設在正三角形的頂點，且將正三角形的重心與該荷重承受部的中心設為一致。 發明效果
在本調整方法中的重複步驟中，在實施第1~第3調整步驟而對荷重承受部中的第1~第3感測器的任一個感測器的附近施加有荷重的情況下，仍然將電壓調整部調整成使得在測定器中所計算的合計電壓成為相同值。並且，在重複步驟中，重複像這樣的第1~第3調整步驟。 由於可以藉由像這樣調整電壓調整部，而在各荷重感測器承受了預定之荷重時(亦即在荷重承受部中的各荷重感測器之附近承受了預定之荷重時)，讓藉由測定器所計算之合計電壓變得相等，因此可以讓測定器中的荷重的測定值變得相等。
在此，荷重承受部是例如研磨裝置中的工作夾台、或者使研磨墊單元旋轉的主軸。從而，藉由本調整方法來調整研磨裝置，變得可在對晶圓進行研磨加工時，更高精度地控制施加於晶圓的荷重。其結果，可以提高研磨去除量的精度。
又，藉由以本調整方法調整複數個研磨裝置，可以在對這些複數個研磨裝置的荷重承受部施加相同的荷重的情況下，仍然讓測定器中的荷重的測定值變得相等。藉此，即使在利用複數個研磨裝置來研磨加工晶圓的情況下，仍然可以將每個研磨裝置的加工結果形成為大致均一。
用以實施發明之形態
1 關於研磨裝置 圖1所示的研磨裝置1是使研磨構件341抵接於已保持於工作夾台2之晶圓W並研磨晶圓W的研磨裝置。以下，說明研磨裝置1。
如圖1所示，研磨裝置1具備在Y軸方向上延伸設置的基座10、及於基座10上的+Y方向側豎立設置的支柱11。
在研磨裝置1的基座10上，具備有工作夾台2。工作夾台2是保持晶圓W的圓板形狀的工作台，並且具備有具有保持面20a的吸引部20、與支撐吸引部20的框體21。在已將晶圓W載置於保持面20a的狀態下，將藉由未圖示之吸引源所發揮的吸引力傳達至保持面20a，藉此，可以藉由保持面20a來吸引保持晶圓W。
在工作夾台2的周圍配設有罩蓋12。在罩蓋12伸縮自如地連結有蛇腹13。罩蓋12與工作夾台2是在晶圓W的研磨加工時，藉由配設在基座10的內部之往Y軸方向的移動機構，而在Y軸方向上一體地往返移動。蛇腹13是伴隨於此罩蓋12之Y軸方向的移動而伸縮。
於支柱11的-Y方向側的側面具備有使研磨機構3升降移動的研磨進給機構4。 研磨進給機構4具備有：具有Z軸方向之旋轉軸的滾珠螺桿40、相對於滾珠螺桿40平行地配設的一對導軌41、使滾珠螺桿40旋動的馬達42、滑接於導軌41之升降板43、及連結於升降板43的支持器44。
在升降板43的背面形成有螺合於滾珠螺桿40的螺帽部45(參照圖2)。當藉由馬達42使滾珠螺桿40旋轉時，升降板43即被導軌41所引導而在Z軸方向上升降移動。並且，已連結於升降板43的支持器44朝Z軸方向升降移動。 研磨機構3被支持器44所支撐，並且與支持器44一起朝Z軸方向升降移動。
研磨機構3具備有主軸30、支撐主軸30的殼體31、及以Z軸方向的旋轉軸為中心來使主軸30旋轉的馬達32。於主軸30的下端連結有安裝座33。在安裝座33的下表面固定有研磨墊單元34。研磨墊單元34包含有連結於安裝座33的下表面的圓板340、及配設於圓板340的下端的研磨構件341。研磨構件341是由例如毛氈(felt)等的不織布所構成。
在研磨加工時，是如圖2所示，隔著保護膠帶T來將晶圓W吸引保持於工作夾台2的保持面20a。並且，使主軸30以Z軸方向的旋轉軸為中心旋轉，伴隨於此，使安裝座33及研磨墊單元34旋轉。藉由旋轉的研磨墊單元34的研磨構件341抵接於晶圓W的正面Wa，可研磨晶圓W的正面Wa。
如圖2所示，在工作夾台2的下方，配設有支撐工作夾台2的基台22。並且，在工作夾台2與基台22之間配設有作為荷重感測器的第1感測器71、第2感測器72(參照圖3)、及第3感測器73。
如圖3所示，將感測器71~73各自配置在對應於工作夾台2的圓形的保持面20a的外周部分之位置。藉由連結感測器71~73的配置位置所形成的三角形是具有與保持面20a的中心O1一致的重心之正三角形。
如圖2所示，這些感測器71~73是藉由螺絲74而被螺鎖固定於工作夾台2與基台22之間。從而，感測器71~73是支撐工作夾台2，且承受施加於作為荷重承受部的工作夾台2之荷重。
又，感測器71~73具有壓電元件，且產生因應於所承受的荷重之電壓。也就是說，各感測器71~73承受的荷重越大，就產生越大的電壓。從而，在例如已對工作夾台2中的第1感測器71的附近施加荷重之時，會使從第1感測器71產生的電壓變得比從第2感測器72及第3感測器73產生的電壓更大。
如圖3所示，第1感測器71、第2感測器72及第3感測器73是透過電壓調整部9而連接於測定器8。 測定器8是在藉由將荷重施加於工作夾台2使感測器71~73承受荷重，而從各感測器71~73產生有電壓的情況下，接收來自各感測器71~73的電壓。此外，測定器8是合計所接收之電壓來計算合計電壓，並依據所計算出的合計電壓來測定(計算)施加於工作夾台2的荷重。又，測定器8也可以將所測定的荷重值顯示於未圖示之監視器。
電壓調整部9具備有第1感測器71用的電壓調整部即第1電壓調整器91、第2感測器72用的電壓調整部即第2電壓調整器92、及第3感測器73用的電壓調整部即第3電壓調整器93。 第1電壓調整器91是介於第1感測器71與測定器8之間，並調整從第1感測器71所產生且被測定器8所接收的電壓。第2電壓調整器92是介於第2感測器72與測定器8之間，並調整從第2感測器72所產生且被測定器8所接收的電壓。第3電壓調整器93是介於第3感測器73與測定器8之間，並調整從第3感測器73所產生且被測定器8所接收的電壓。
並且，在本實施形態中，是在各感測器71~73承受了預定之相同的荷重時，亦即在工作夾台2中的各感測器71~73的附近承受了預定之相同的荷重時，實施藉由電壓調整器91~93所進行之電壓調整，以使測定器8從各感測器71~73接收相同的電壓。
2 荷重感測器的電壓調整方法 接著，說明研磨裝置1中的荷重感測器即第1感測器71、第2感測器72及第3感測器73的電壓調整方法(本調整方法)。 在本調整方法中，是在工作夾台2中的各感測器71~73的附近承受了預定之相同的荷重時，將電壓調整器91~93(具體而言是電壓調整器91~93的放大率)調整成使測定器8從各感測器71~73接收相同的電壓。在本調整方法中，可以將電壓調整器91~93的放大率設為1倍以上之值，也可以設為1倍以下之值。
[準備步驟] 在本調整方法中，首先是準備上述之測定器8與圖4所示之荷重賦與機構6。荷重賦與機構6是用於對作為荷重承受部的工作夾台2賦與荷重之機構，並且在工作夾台2與研磨墊單元34的研磨構件341之間以可裝卸的方式配設。
荷重賦與機構6是具有活塞61、以及容置活塞61的缸筒60的氣缸。缸筒60的內部的空間是連接於空氣源62。
在荷重賦與機構6中，可以藉由從空氣源62將空氣供給到缸筒60的內部，而從下方對活塞61賦與勢能，並使其朝+Z方向上升。伴隨於活塞61的上升，活塞61往上方按壓研磨構件341，並且缸筒60往下方按壓工作夾台2，而可以對工作夾台2中的荷重賦與機構6的設置部位賦與荷重。 再者，亦可藉由將錘載置於工作夾台2之上，而對工作夾台2中的感測器71~73賦與預定之荷重。
[第1次之重複步驟] (第1調整步驟) 在第1調整步驟中，是利用荷重賦與機構6，來對工作夾台2中的第1感測器71的附近賦與預定之荷重。具體而言，如圖4所示，首先是將研磨墊單元34的研磨構件341配置成在工作夾台2的上方且距離工作夾台2相當於預定的距離。
接著，將荷重賦與機構6定位於工作夾台2中的第1感測器71的附近。之後，藉由從空氣源62將空氣供給至缸筒60的內部，而使活塞61上升。藉此，活塞61往上方按壓研磨構件341，且缸筒60往下方按壓工作夾台2。其結果，對工作夾台2中的第1感測器71的附近賦與荷重。
再者，在本調整方法中從荷重賦與機構6對工作夾台2所賦與的荷重是事先規定之預定之荷重，在本實施形態所示之例中為300N。 並且，在已對工作夾台2中的任1個感測器(在第1調整步驟中為第1感測器71)的附近賦與300N之荷重的情況下，施加於此感測器的真實的荷重值是200N，施加於其他的2個感測器(在第1調整步驟中為第2感測器72及第3感測器73)的真實的荷重值則是200N的1/4之50N。
伴隨荷重的賦與，而從第1感測器71、第2感測器72及第3感測器73的每一個感測器產生電壓，並可藉由測定器8來計算電壓的合計值。測定器8是依據所計算出的合計電壓來測定施加於工作夾台2的荷重值，並顯示於未圖示之監視器。
在圖5顯示有荷重值的測定結果之例。在此例中，前提如下：如圖5(a)所示，在「第1次之重複步驟」中的第1調整步驟中，相對於調整前第1感測器71、第2感測器72及第3感測器73所承受之荷重，測定器8測定1.1倍的荷重值。藉此，相對於所賦與的荷重(300N)，藉由測定器8所測定到的3個感測器71~73的總和值之荷重值是330N。因此，測定值(330N)與真實的荷重值(300N)之間有30N之差(第1調整前)。 例如，若對第1感測器71的正上方賦與300N的荷重，且將第1感測器71、第2感測器72與第3感測器73配置在正三角形的頂點的話，有關於第1感測器71的荷重(因應於從第1感測器71產生的電壓之荷重)為220N(200N的1.1倍)，有關於第2感測器72及第3感測器73的荷重為55N(50N的1.1倍)。 再者，若未將第1感測器71、第2感測器72與第3感測器73配置於正三角形的頂點的話，測定器8是顯示雖然與上述之數值不同的荷重但為各感測器71~73所承受之荷重的1.1倍之荷重，且總和值是顯示330N。
在第1調整步驟中，是將第1電壓調整器91調整成：藉由測定器8所計算之合計電壓成為對應於預定之荷重(300N)的電壓。具體而言，是以將從第1感測器71所產生的電壓之值降低相當於30N之量的方式，來實施第1電壓調整器91的調整(第1電壓調整器91的放大率的變更)。藉此，可將藉由測定器8所測定的荷重值調整成300N(第1調整後)。 藉由此調整，例如有關於第1感測器71的荷重即為190N(200N的0.95倍)，有關於第2感測器72及第3感測器73的荷重是55N(照樣為50N的1.1倍)。
(第2調整步驟) 在第2調整步驟中，是利用荷重賦與機構6，來對工作夾台2中的第2感測器72的附近賦與預定之荷重(300N)。在圖5(b)所示之例中，在此第2調整步驟中藉由測定器8所測定出的荷重值是322.5N。因此，在測定值與真實的荷重值(300N)之間有22.5N之差(第2調整前)。 又，若考慮已在第1調整步驟中調整第1電壓調整器91之情形，則有關於第1感測器71的荷重是47.5N(50N的0.95倍)。又，有關於第2感測器72的荷重是220N(200N的1.1倍)，有關於第3感測器73的荷重為55N(50N的1.1倍)。
在第2調整步驟中，是將第2電壓調整器92調整成：藉由測定器8所計算之合計電壓成為對應於預定之荷重(300N)的電壓。具體而言，是以將從第2感測器72所產生的電壓之值降低相當於22.5N之量的方式，來實施第2電壓調整器92的調整。藉此，可將藉由測定器8所測定的荷重值調整成300N(第2調整後)。 藉由此調整，有關於第2感測器72之荷重即成為197.5N(200N的0.988倍)。
(第3調整步驟) 在第3調整步驟中，是利用荷重賦與機構6，來對工作夾台2中的第3感測器73的附近賦與預定之荷重(300N)。在圖5(c)所示之例中，在此第3調整步驟中藉由測定器8所測定出的荷重值是316.875N。因此，在測定值與真實的荷重值(300N)之間有16.875N之差(第3調整前)。 又，若考慮已在第2調整步驟中調整第2電壓調整器92之情形，則有關於第2感測器72的荷重是49.375N(50N的0.988倍)。又，有關於第1感測器71的荷重是47.5N(50N的0.95倍)，有關於第3感測器73的荷重是220N(200N的1.1倍)。
在第3調整步驟中，是將第3電壓調整器93調整成：藉由測定器8所計算之合計電壓成為對應於預定之荷重(300N)的電壓。具體而言，是以將從第3感測器73所產生的電壓之值降低相當於16.875N之量的方式，來實施第3電壓調整器93的調整。藉此，可將藉由測定器8所測定的荷重值調整成300N(第3調整後)。 藉由此調整，有關於第3感測器73之荷重即成為203.125N(200N的1.016倍)。
[第2次之重複步驟] (第1調整步驟) 在「第2次之重複步驟」中，依序進行了「第1次之重複步驟」中的第1調整步驟、第2調整步驟及第3調整步驟之後，再次同樣地依序進行第1調整步驟、第2調整步驟及第3調整步驟。 在此第1調整步驟中，也是與在前的第1調整步驟同樣地進行，並利用荷重賦與機構6來對工作夾台2中的第1感測器71的附近賦與預定之荷重(300N)。在圖5(d)所示之例中，在此第1調整步驟中藉由測定器8所測定出的荷重值是290.156N。因此，測定值與真實荷重值(300N)之間有9.844N之差(第1調整前)。 又，若考慮已在「第1次之重複步驟」中調整電壓調整器91~93之情形，則有關於第1感測器71的荷重是190N(200N的0.95倍)，有關於第2感測器72的荷重是49.375N(50N的0.988倍)，有關於第3感測器73的荷重是50.781N(50N的1.016倍)。
在此第1調整步驟中，也是將第1電壓調整器91調整成：藉由測定器8所計算之合計電壓成為對應於預定之荷重(300N)的電壓。具體而言，是以將從第1感測器71所產生的電壓之值提升相當於9.844N之量的方式，來實施第1電壓調整器91的調整。藉此，可將藉由測定器8所測定的荷重值調整成300N(第1調整後)。 藉由此調整，有關於第1感測器71的荷重即成為199.844N(200N的0.999倍)。
(第2調整步驟) 在此第2調整步驟中，也是與在前的第2調整步驟同樣地進行，並利用荷重賦與機構6來對工作夾台2中的第2感測器72的附近賦與預定之荷重(300N)。在圖5(e)所示之例中，在此第2調整步驟中藉由測定器8所測定出的荷重值是298.242N。因此，在測定值與真實的荷重值(300N)之間有1.758N之差(第2調整前)。 又，若考慮已在第1調整步驟中調整第1電壓調整器91之情形，則有關於第1感測器71的荷重是49.961N(50N的0.999倍)。又，有關於第2感測器72的荷重是197.500N(200N的0.988倍)，有關於第3感測器73的荷重是50.781N(50N的1.016倍)。
在此第2調整步驟中，也是將第2電壓調整器92調整成：藉由測定器8所計算之合計電壓成為對應於預定之荷重(300N)的電壓。具體而言，是以將從第2感測器72所產生的電壓之值提升相當於1.758N之量的方式，來實施第2電壓調整器92的調整。藉此，可將藉由測定器8所測定的荷重值調整成300N(第2調整後)。 藉由此調整，有關於第2感測器72的荷重即成為199.258N(200N的0.996倍)。
(第3調整步驟) 在此第3調整步驟中，也是與在前的第3調整步驟同樣地進行，並利用荷重賦與機構6來對工作夾台2中的第3感測器73的附近賦與預定之荷重(300N)。在圖5(f)所示之例中，在此第3調整步驟中藉由測定器8所測定出的荷重值是302.900N。因此，在測定值與真實的荷重值(300N)之間有2.900N之差(第3調整前)。 又，若考慮已在第2調整步驟中調整第2電壓調整器92之情形，則有關於第2感測器72的荷重是49.814N(50N的0.996倍)。又，有關於第1感測器71的荷重是49.961N(50N的0.999倍)，有關於第3感測器73的荷重是203.125N(200N的1.016倍)。
在此第3調整步驟中，也是將第3電壓調整器93調整成：藉由測定器8所計算之合計電壓成為對應於預定之荷重(300N)的電壓。具體而言，是以將從第3感測器73所產生的電壓之值降低相當於2.900N之量的方式，來實施第3電壓調整器93的調整。藉此，可將藉由測定器8所測定的荷重值調整成300N(第3調整後)。 藉由此調整，有關於第3感測器73的荷重即成為200.225N(200N的1.001倍)。 此調整之後，因為第1感測器71是0.999倍，第2感測器72是0.996倍，第3感測器73是1.001倍，所以當例如利用荷重賦與機構6，對工作夾台2中的第1感測器71的附近賦與預定之荷重(300N)時，藉由測定器8所測定出的荷重值即為299.650N。 亦可具備控制部，前述控制部是先將實施重複步驟之基準設定成：若預定之荷重與測定器8所測定出的荷重值之差在1N以內即不實施重複步驟，且在比1N更大時實施重複步驟，而將重複步驟實施至達到該基準為止。 又，預定之荷重與測定器8所測定出的荷重值之差，亦可設為對預定之荷重所設定之比例，而非事先設定之值，例如，若事先設定的比例為0.2%，且預定之荷重為300N的話，控制部是將重複步驟實施到進入299.4N以上且300.6N以下的範圍。
如以上，在本調整方法中的重複步驟中，是依序實施第1~第3調整步驟，而在對工作夾台2中的第1感測器71、第2感測器72及第3感測器73的任一個感測器之附近施加有荷重的情況下，仍然將電壓調整部9(第1電壓調整器91、第2電壓調整器92及第3電壓調整器93)調整成使得在測定器8中所計算的電壓值成為相同值。並且，在重複步驟中，重複像這樣的第1~第3調整步驟。 藉由像這樣調整電壓調整部9，由於可以在各感測器71~73承受了預定之荷重時，亦即在工作夾台2中的各感測器71~73的附近承受了預定之荷重時，讓藉由測定器8所計算的合計電壓變得相等，因此可以讓測定器8中的荷重的測定值變得相等。 從而，藉由本調整方法來調整研磨裝置1的電壓調整部9，變得可在對晶圓W進行研磨加工時，更高精度地控制施加於晶圓W的荷重。其結果，可以提高研磨去除量的精度。 又，藉由以本調整方法調整複數個研磨裝置1，可以在對這些複數個研磨裝置1的工作夾台2施加相同的荷重的情況下，仍然讓測定器8中的荷重的測定值變得相等。藉此，即使在利用複數個研磨裝置1來研磨加工晶圓W的情況下，仍然可以將每個研磨裝置1的加工結果形成為大致均一。
再者，在本調整方法中，是將第1調整步驟、第2調整步驟及第3調整步驟之一連串的調整步驟重複至少2次。藉由將這一連串的調整步驟重複2次以上，可以提高測定器8中的荷重之測定值的精度。
又，在本實施形態中，是將測定器8中的測定值顯示於監視器。藉此，可以一邊監控(monitor)測定器8中的測定值一邊有效率地進行電壓調整部9的調整。因此，可以抑制調整所需要的成本。
又，亦可在研磨裝置1中，以不只3個感測器71~73，還有第4感測器、第5感測器的方式配設更多的荷重感測器。在此情況下，可在進行了有關於第3感測器73的第3調整步驟後，同樣地實施有關於第4感測器及第5感測器的調整步驟。
又，亦可將第1感測器71、第2感測器72及第3感測器73如圖6所示地配設在包圍主軸30之筒狀的支持器44、與在支持器44的底板支撐主軸30的環狀板44a之間，並藉由螺絲74來螺鎖固定，而取代配設在工作夾台2及基台22之間。在所述情況下，如圖7所示，感測器71~73是定位在具有與主軸30的中心O2一致的重心之正三角形的頂點。在此構成中，感測器71~73是測定施加於作為荷重承受部的主軸30之荷重。
1:研磨裝置 10:基座 11:支柱 12:罩蓋 13:蛇腹 2:工作夾台 20:吸引部 20a:保持面 21:框體 22:基台 3:研磨機構 30:主軸 31:殼體 32:馬達 33:安裝座 34:研磨墊單元 340:圓板 341:研磨構件 4:研磨進給機構 40:滾珠螺桿 41:導軌 42:馬達 43:升降板 44:支持器 44a:環狀板 45:螺帽部 6:荷重賦與機構 60:缸筒 61:活塞 62:空氣源 71:第1感測器 72:第2感測器 73:第3感測器 74:螺絲 8:測定器 9:電壓調整部 91:第1電壓調整器 92:第2電壓調整器 93:第3電壓調整器 O1,O2:中心 T:保護膠帶 W:晶圓 Wa:晶圓的正面 X,+X,-X,+Y,-Y,+Z,-Z:方向
圖1是顯示研磨裝置之構成的立體圖。 圖2是顯示工作夾台的附近之構成的說明圖。 圖3是顯示工作夾台的保持面與荷重感測器的位置關係的說明圖。 圖4是顯示在工作夾台載置有荷重賦與機構之狀態的說明圖。 圖5是顯示重複步驟中的第1~第3調整步驟之測定器中的荷重值的變化的說明圖。 圖6是顯示在殼體與支持器之間配設有荷重感測器之形態的截面圖。 圖7是顯示主軸與荷重感測器的位置關係的說明圖。
11:支柱
2:工作夾台
20:吸引部
20a:保持面
21:框體
22:基台
30:主軸
31:殼體
32:馬達
33:安裝座
34:研磨墊單元
340:圓板
341:研磨構件
40:滾珠螺桿
42:馬達
43:升降板
44:支持器
45:螺帽部
6:荷重賦與機構
60:缸筒
61:活塞
62:空氣源
71:第1感測器
73:第3感測器
74:螺絲
8:測定器
9:電壓調整部
X,+Y,-Y,+Z,-Z:方向

Claims (2)

  1. 一種荷重感測器的電壓調整方法，將用以產生因應於所承受之荷重的電壓的至少3個荷重感測器配設在三角形的頂點，而藉由該至少3個荷重感測器來支撐荷重承受部，且基於從該至少3個荷重感測器所產生的電壓，在藉由測定器測定施加於該荷重承受部的荷重時，藉由配設在該各荷重感測器與該測定器之間的電壓調整部來調整該測定器所接收之來自各荷重感測器的電壓，以在該各荷重感測器承受了預定之荷重時讓該測定器接收相同的電壓，前述荷重感測器的電壓調整方法具備以下步驟： 準備步驟，準備荷重賦與機構與該測定器，前述荷重賦與機構是將預定之荷重施加於該荷重承受部，前述測定器是接收從作為該至少3個荷重感測器之第1感測器、第2感測器及第3感測器的每一個感測器所產生的電壓並計算該等電壓的合計電壓，而依據此合計電壓測定施加於該荷重承受部的荷重；及 重複步驟，包含第1調整步驟、第2調整步驟以及第3調整步驟，並重複進行這些第1調整步驟、第2調整步驟及第3調整步驟，前述第1調整步驟會藉由該荷重賦與機構對該荷重承受部中的該第1感測器的附近賦與該預定之荷重，並將該第1感測器用的電壓調整部調整成：藉由該測定器所計算的該合計電壓成為對應於該預定之荷重之電壓，前述第2調整步驟會藉由該荷重賦與機構對該荷重承受部中的該第2感測器的附近賦與該預定之荷重，並將該第2感測器用的電壓調整部調整成：藉由該測定器所計算的該合計電壓成為對應於該預定之荷重之電壓，前述第3調整步驟會藉由該荷重賦與機構對該荷重承受部中的該第3感測器的附近賦與該預定之荷重，並將該第3感測器用的電壓調整部調整成：藉由該測定器所計算的該合計電壓成為對應於該預定之荷重之電壓， 又，藉由實施該重複步驟，可以在該各荷重感測器承受了預定之荷重時讓該測定器接收相同的電壓。
  2. 如請求項1之荷重感測器的電壓調整方法，其中該至少3個荷重感測器是配設在正三角形的頂點，且將該正三角形的重心與該荷重承受部的中心設為一致。
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