TWI821596B - 氣體容器緊固連接裝置 - Google Patents

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Abstract

公開了一種氣體容器緊固連接裝置。根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置可包括：緊固連接模組，其配置於氣體容器的上側，在相對於所述氣體容器對齊的狀態下，緊固連接於所述氣體容器的閥門，從而用於獲得氣體的供給；對齊模組，其與所述緊固連接模組相連接，對所述緊固連接模組相對於所述氣體容器的位置進行對齊；以及位置檢測部，其用於感知所述緊固連接模組相對於所述氣體容器的對齊狀態。

Description

氣體容器緊固連接裝置
下面的說明關於一種氣體容器緊固連接裝置，尤其，關於一種用於緊固連接大容量氣體容器的裝置。
通常，利用氣體的製程，例如，如半導體製造製程一樣，進行精密作業的製程的情況，要求適合各個製程目的的種類的氣體在滿足一定濃度及壓力後供給。
在製程過程中，為了有效的氣體供給，各種種類的氣體以高壓的狀態保管在氣體容器中，在嚴格的管理下，在無人狀態下對用於保管含有對人體有害的成分的氣體的氣體容器進行保管。
保管氣體的氣體容器與氣體供給裝置相連接，如果氣體容器內部的氣體全部消耗掉，則將與氣體供給裝置相連接的連接配管從氣體容器的閥門分離出來並去除氣體容器，進行將新的氣體容器緊固連接於氣體供給裝置的替換過程。
為了使得氣體容器連接於氣體供給裝置，需要將氣體容器的閥門連接器連接於氣體供給裝置的連接器，為了這樣的連接過程，氣體容器的閥門連接器和氣體供給裝置的連接器需要以對齊的狀態設置。在習知技術中，作業者通過手動進行了氣體容器的位置對齊，但是氣體容器的情況，大部分具有高重量，並且在內部保管有害氣體，因此，存在的問題在於，難以通過手動進行氣體容器的對齊作業。
此外，在將氣體容器連接於氣體供給裝置的過程中，當氣體容器或者氣體供給裝置的對齊狀態錯位時，打開了閥門的氣體容器內部的高壓氣體向外部噴出，從而存在造成事故隱患的問題。
由此，實情是要求相對於氣體容器對齊氣體供給裝置的同時進行安全的緊固連接的裝置。
前述的作為背景技術進行說明的內容是發明人在本發明的導出過程中掌握或者習得的，並不一定是在本發明的申請之前向一般公眾公開的習知技術。
實施例的目的在於，提供一種氣體容器緊固連接裝置，相對於大容量氣體容器可安全地對配管進行緊固連接。
實施例的目的在於，提供一種氣體容器緊固連接裝置，相對於大容量氣體容器的閥門連接器可精密地對齊連接配置。
在實施例中想要解決的課題並非限於以上提及的課題，從業者可以從下面的記載明確地理解未提及的其他的課題。
根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置，可包括：緊固連接模組，其包括連接器緊固連接部，所述連接器緊固連接部配置於氣體容器的上部，緊固連接於所述氣體容器的閥門連接器，從而獲得氣體的供給；對齊模組，其與所述緊固連接模組連接，調節所述緊固連接模組的位置，相對於所述閥門連接器進行對齊；以及位置檢測部，其感知所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的對齊狀態。
作為一個側面，所述對齊模組調節所述連接器緊固連接部的中心軸相對於所述閥門連接器的中心軸所形成的角度及所述連接器緊固連接部相對於所述閥門連接器的中心軸的距離，從而使得所述緊固連接模組對齊。
作為一個側面，在所述緊固連接模組與所述閥門連接器對齊的狀態下，所述對齊模組可使得所述緊固連接模組沿著所述閥門連接器的中心軸方向移動，以便使得所述連接器緊固連接部緊固連接於所述閥門連接器。
作為一個側面，所述對齊模組包括：傾擺部，其使得所述緊固連接模組以與地面平行的旋轉軸為中心旋轉；水平移動部，其使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述旋轉軸的第一方向移動；以及豎直移動部，其使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述旋轉軸及第一方向的第二方向移動。
作為一個側面，所述傾擺部可對所述緊固連接模組的旋轉角度進行對齊，以便使得所述閥門連接器的中心軸及連接器緊固連接部的中心軸相互平行。
作為一個側面，以所述緊固連接模組的旋轉角度對齊的狀態為基準，所述第一方向可垂直於所述閥門連接器的中心軸，所述第二方向與所述閥門連接器的中心軸平行。
作為一個側面，所述對齊模組可包括：固定板，其在與所述閥門連接器的中心軸平行的平面上配置；水平移動部，其相對於所述固定板沿著第一方向可移動地連接；以及豎直移動部，其連接所述水平移動部及所述緊固連接模組，相對於所述水平移動部沿著垂直於所述第一方向的第二方向可移動地連接。
作為一個側面，所述對齊模組還可包括：傾擺部，其連接所述固定板及水平移動部，使得所述水平移動部以垂直於所述第一方向及第二方向的旋轉軸為中心旋轉。
作為一個側面，所述對齊模組還可包括：一個以上的致動器，其用於使得所述傾擺部、水平移動部及豎直移動部移動。
作為一個側面，所述緊固連接模組還可包括：端蓋分離部，其與所述閥門連接器相連接，用於分離端蓋；以及緊固連接致動器，其用於使得所述端蓋分離部或者連接器緊固連接部運轉。
作為一個側面，在所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的中心軸的角度對齊的狀態下，所述對齊模組可調節所述緊固連接模組的位置，以便使得所述端蓋分離部或者連接器緊固連接部選擇性地緊固連接於所述閥門連接器。
作為一個側面，所述位置檢測部可包括：感測器，其對所述閥門連接器及所述緊固連接模組的相對位置信息進行檢測。
作為一個側面，所述氣體容器緊固連接裝置還包括：控制部，其控制所述對齊模組的運轉，所述控制部可基於通過所述位置檢測部檢測到的信息對所述對齊模組的運轉進行控制，以便使得所述緊固連接模組位於相對於所述氣體容器設定的對齊位置。
作為一個側面，所述位置檢測部可包括：對準元件，其與所述氣體容器相連接的同時，引導所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的位置對齊，在所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器對齊的狀態下，固定於所述氣體容器。
根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置，可包括：滑行架，其以安放的狀態支撐氣體容器；移送模組，其使得所述滑行架沿著與地面平行的前後方向移動，對所述氣體容器的閥門連接器的前後方向上的位置進行對齊；緊固連接模組，其配置於所述氣體容器的上側，緊固連接於所述閥門連接器，用於獲得氣體的供給；對齊模組，其與所述緊固連接模組相連接，對所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的相對位置進行對齊；以及位置監測部，其用於對所述閥門連接器及所述緊固連接模組的對齊狀態進行檢測。
作為一個側面，所述對齊模組可包括：傾擺部，其用於使得所述緊固連接模組以與所述前後方向平行的軸為中心旋轉；水平移動部，其用於使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述前後方向的第一方向移動；以及豎直移動部，其用於使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述前後方向及第一方向的第二方向移動。
作為一個側面，所述水平移動部可包括：底板，其沿著第一方向配置有水平導軌；水平引導元件，其連接所述底板及所述緊固連接模組，可移動地連接於所述水平導軌；以及水平致動器，其用於使得所述水平引導元件移動。
作為一個側面，所述豎直移動部可包括：豎直導軌，其沿著垂直於所述第一方向的第二方向配置於所述水平引導元件；豎直引導元件，其可移動地連接於所述豎直導軌，配置有所述緊固連接模組；以及豎直致動器，其用於使得所述豎直引導元件移動。
作為一個側面，所述傾擺部可包括：固定板，其相對於所述底板平行地配置；旋轉元件，其連接所述固定板及所述底板，相對於所述固定板以與所述前後方向平行的軸為中心進行旋轉；以及旋轉致動器，其用於使得所述旋轉元件旋轉。
作為一個側面，所述緊固連接模組可包括：緊固連接框架，其與所述對齊模組相連接；端蓋分離部，其以朝向所述氣體容器的形式配置於所述緊固連接框架的下側，與所述氣體容器的閥門連接器相連接，用於去除端蓋；以及連接器緊固連接部，其以朝向所述氣體容器的形式配置於所述緊固連接框架的下側，緊固連接於去除所述端蓋的所述閥門連接器，從而用於獲得氣體的供給。
作為一個側面，所述端蓋分離部的中心軸及連接器緊固連接部的中心軸在所述前後方向上的位置可以相同。
作為一個側面，所述位置檢測部可包括：視覺感測器，其識別所述氣體容器的閥門連接器。
作為一個側面，所述移送模組可包括：移送導軌，其沿著所述前後方向配置於地面； 移送引導元件，其可移動地連接於所述移送導軌，可固定地連接於所述滑行架；以及移送致動器，其用於移送所述移送引導元件。
作為一個側面，所述移送模組還可包括：導輪，其接觸地配置於所述滑行架的兩側，引導所述滑行架在前後方向上的移送。
作為一個側面，所述移送模組還可包括：滑行架固定元件，其在所述滑行架沿著所述前後方向移動的過程中，對所述滑行架的外側進行加壓，以便防止所述滑行架向左右方向移動。
作為一個側面，還包括：控制部，其控制所述移送模組及對齊模組的運轉，所述位置檢測部感知所述氣體容器的閥門連接器的位置，所述控制部可基於所述位置檢測部感知到的信息控制所述緊固連接模組相對於氣體容器對齊。
作為一個側面，所述控制部控制所述移送模組的運轉，以便使得所述閥門連接器及連接器緊固連接部的中心軸的前後方向位置位於同一線上，在使得所述連接器緊固連接部的中心軸相對於所述閥門連接器的中心軸平行地設置後，可控制所述對齊模組的運轉，以便使得所述連接器緊固連接部的中心軸與所述閥門連接器的中心軸一致。
作為一個側面，在所述緊固連接模組相對於所述氣體容器對齊的狀態下，所述控制部可控制所述緊固連接模組的豎直方向上的位置，以便使得所述緊固連接模組緊固連接於所述氣體容器。
根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置，可包括：緊固連接模組，其包括連接器緊固連接部，在連接器緊固連接部的位置相對於氣體容器的閥門連接器對齊的狀態下，連接器緊固連接部與所述閥門連接器相連接，從而獲得氣體的供給；對齊模組，其與所述緊固連接模組相連接，調節緊固連接模組相對於所述閥門連接器的相對位置；以及對準元件，其引導所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的位置對齊，在所述緊固連接模組的位置對齊的狀態下，與所述氣體容器相結合。
作為一個側面，所述氣體容器緊固連接裝置還包括：對準塊，其安裝於所述氣體容器，與所述對準元件相連接，所述對準元件緊固連接於所述對準塊的同時，引導所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的位置對齊，在所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器對齊的狀態下，可固定於所述對準塊。
根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置，針對大容量氣體容器自動地對連接配管進行緊固連接，從而可防止作業者暴露在危險中。
根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置，針對大容量氣體容器精密地對連接配管進行對齊，從而可防止在氣體容器更換過程中可能發生的氣體洩漏。
根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置的效果並非限於以上提及的，一般的技術人員可從下面的記載明確地理解未提及的其他效果。
下面，通過示例性的圖對實施例進行詳細說明。值得注意的是，在對各個圖的構成要素附加參照標號時，即使在不同的圖式上示出，相同的構成要素也盡可能地具有相同的標號。另外，在說明實施例時，認為對相關習知構成或功能的具體說明妨礙了對實施例的理解時，省略其詳細說明。
此外，在說明實施例的構成要素時，可以使用諸如第一、第二、A、B、（a）和（b）之類的術語。這些術語僅用於將該構成要素與其他構成要素區分開，並且相關構成要素的本質或次序或順序等不受這些術語的限制。在提及某種構成要素“連接”、“結合”或“接入”至另一構成要素時，應理解為既可以是該構成要素直接連接於或接入於另一構成要素，也可以在各構成要素之間“連接”、“結合”或“接入”其他構成要素。
對於在任何一個實施例中包括的構成要素和包括共同性能的構成要素，可以在其他實施例中使用相同的名稱加以說明。除非有相反的說明，否則任何一個實施例中記載的說明均可以適用於其他實施例，並且在重複範圍內將省略具體說明。
第1圖是根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置的立體圖。
參照第1圖，根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置1可用於將氣體容器G，即重量大的大容量氣體容器G緊固連接於連接配管H。在針對氣體容器G緊固連接連接配管H的過程中，氣體容器緊固連接裝置1可將連接配管H的位置安全地對齊氣體容器G。
氣體容器G在內部可存儲並保管製程氣體。在氣體容器G的內部保管的氣體可用於半導體製造製程等各種需要氣體的地方。氣體容器G可包括用於排出保管在內部的氣體的閥門V。閥門V可約束容器內部的氣體供給。在閥門V的一側可包括：閥門連接器C，其以朝向側面凸出的形式連接，用於排出容器內部的氣體；閥門擋板，其設置於閥門V內部，選擇性地切斷閥門連接器C的氣體流動；閥門手柄，其配置於閥門V的端部，根據旋轉運轉使得所述閥門擋板移動，從而開閉閥門連接器C。用於防止氣體洩漏的端蓋可安裝於閥門連接器C。例如，在閥門連接器C的外面形成有螺紋，端蓋可螺旋結合於閥門連接器C。
另外，大容量氣體容器G的情況，與一般的氣體容器G相比，具有較高的重量，因此為了穩定的支撐狀態，如第1圖所示，可以以相對於地面平放的狀態緊固連接於連接配管H。此時，閥門連接器C可以以朝向上部的形式配置，以便氣體容器G能夠緊固連接於連接配管H。下面，通過假設氣體容器G的閥門連接器C朝向上部的情況來對氣體容器緊固連接裝置1的構成進行說明。
根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置1可包括滑行架10、移送模組11、緊固連接模組14、對齊模組13、位置檢測部15、導軌17、滑行架固定元件16及控制部（未示出）。
第2圖是示出根據一個實施例的滑行架的立體圖。
參照第2圖，滑行架10可以以支撐氣體容器G的狀態移動。氣體容器G可安裝在滑行架10上。此時，氣體容器G可以以平放的狀態安裝於滑行架10。滑行架10可以以支撐氣體容器G的下側的狀態移動。在滑行架10的下側可連接有用於移動的滾動元件101。例如，滾動元件101可包括如輪子、滾珠軸承一樣使得相對於地面的摩擦力減少的元件。
第3圖是示出根據一個實施例的移送模組的立體圖。
參照第3圖，移送模組11可使得滑行架10沿著與地面平行的前後方向D1移動。為了使得氣體容器G緊固連接於連接配管H，需要***至後述的緊固連接模組14所在的罩箱B內部。移送模組11沿著前後方向D1移送滑行架10，從而能夠使得氣體容器G位於罩箱B內部，即緊固連接模組14的下側。在氣體容器G安裝於滑行架10的狀態下，閥門連接器C中心軸A1可相對於前後方向垂直。
移送模組11可通過滑行架10的移送對閥門連接器C的前後方向D1上的位置進行對齊。當閥門連接器C的前後方向D1上的位置對齊時，後述的連接器緊固連接部142的中心軸A2和閥門連接器C的中心軸A1在前後方向D1上的位置可以相同。
移送模組11可包括移送導軌111、移送引導元件112、移送致動器113。
移送導軌111可沿著前後方向D1配置於地面。移送引導元件112可移動地連接於移送導軌111，固定於滑行架10，從而可引導滑行架10的移動。移送引導元件112可固定地連接於滑行架10。例如，在滑行架10形成有固定孔，在移送引導元件112可設置有***固定於所述固定孔的固定銷。在滑行架10相對於移送引導元件112對齊的狀態下，移送引導元件112的固定銷可***滑行架10的固定孔。
移送致動器113與移送引導元件112相連接，並可提供驅動力，以便移送引導元件112沿著移送導軌111移動。隨著移送致動器113的運轉，移送引導元件112沿著移送導軌111在前後方向D1上進行並進移動的同時，可對閥門連接器C的前後方向D1上的位置進行對齊。
下面，如果沒有特別提及的話，則以通過移送模組11使得閥門連接器C的前後方向D1上的位置對齊的狀態為基準，對緊固連接模組14及對齊模組13的構成進行說明。
第4圖及第5圖是示出根據一個實施例的緊固連接模組14及對齊模組13的立體圖。
參照第4圖及第5圖，緊固連接模組14配置於氣體容器G的上側，緊固連接於閥門連接器C，從而可獲得氣體的供給。緊固連接模組14配置於罩箱B內，與連接配管H相連接，從而可向連接配管H供給氣體容器G內部的氣體。緊固連接模組14可包括緊固連接框架141、連接器緊固連接部142、端蓋分離部143及緊固連接致動器144。
緊固連接框架141可與對齊模組13相連接。此時，連接器緊固連接部142及端蓋分離部143可以以朝向氣體容器G的形式配置於緊固連接框架141的下側。
在去除閥門連接器C的端蓋的狀態下，連接器緊固連接部142可緊固連接於閥門連接器C。連接器緊固連接部142與連接配管H相連接，在連接器緊固連接部142緊固連接於閥門連接器C的狀態下，連接器緊固連接部142使得閥門連接器C及連接配管H連通，從而向連接配管H供給氣體容器G內部的氣體。連接器緊固連接部142可通過形成於閥門連接器C的外面的螺紋緊固連接於閥門連接器C。
為了使得連接器緊固連接部142及閥門連接器C相互緊固連接，需要對齊連接器緊固連接部142及閥門連接器C的相對位置。連接器緊固連接部142及閥門連接器C可在相互面對的狀態，即連接器緊固連接部142及閥門連接器C的中心軸A1相互一致的狀態下實現緊固連接。由此，為了連接器緊固連接部及閥門連接器C的緊固連接，要求調節各個中心軸所形成的角度和各個中心軸之間的距離的對齊過程。
端蓋分離部143相對於閥門連接器C對齊的狀態下，與閥門連接器C相連接，從而可去除端蓋。如果端蓋分離部143與閥門連接器C相連接，則安裝於閥門連接器C的端蓋可***端蓋分離部143。此時，端蓋分離部143以解除端蓋相對於閥門連接器C的螺旋結合的形式進行旋轉運轉，從而可從閥門連接器C去除端蓋。
端蓋分離部143需要對齊相對於閥門連接器C的位置，以便連接於閥門連接器C。具體地，端蓋分離部143可在中心軸與閥門連接器C中心軸A1一致的狀態下緊固連接於閥門連接器C。
端蓋分離部143的中心軸A3可與連接器緊固連接部142的中心軸A2平行。此時，如果端蓋分離部143的中心軸A3相對於閥門連接器C中心軸A1所形成的角度對齊，則可省略連接器緊固連接部142的中心軸A2相對於閥門連接器C中心軸A1的角度對齊過程。
另外，端蓋分離部143及連接器緊固連接部142各自的中心軸在前後方向D1上的位置可以相同。根據如上所述的結構，通過移送模組11對閥門連接器C的前後方向D1的位置進行對齊，因此當通過移送模組11使得閥門連接器C的前後方向D1的位置對齊時，端蓋分離部143及連接器緊固連接部142的前後方向D1上的位置可相對於閥門連接器C自動對齊。
緊固連接致動器144可提供驅動力，以便使得連接器緊固連接部142或端蓋分離部143運轉。
對齊模組13與緊固連接模組14相連接，可調節緊固連接模組14的位置，以便緊固連接模組14相對於閥門連接器C進行對齊。以閥門連接器C的前後方向D1位置對齊的狀態為基準，對齊模組13可對緊固連接模組14相對於閥門連接器C中心軸A1的角度進行對齊。對齊模組13可調節緊固連接模組14的位置，以便能夠使得端蓋分離部143或者連接器緊固連接部142選擇性地緊固連接於閥門連接器C。
例如，當對齊模組13相對於閥門連接器C緊固連接連接器緊固連接部142時，對齊模組13調節連接器緊固連接部142的中心軸A2相對於閥門連接器C中心軸A1所形成的角度及連接器緊固連接部142相對於閥門連接器C中心軸A1的距離，從而能夠使得緊固連接模組14相對於閥門連接器C對齊。此時，在緊固連接模組14相對於閥門連接器C對齊的狀態下，對齊模組13可執行使得連接器緊固連接部142沿著閥門連接器C中心軸A1方向移動的緊固連接動作，以便連接器緊固連接部142緊固連接於閥門連接器C。
對齊模組13可包括固定板131、傾擺部132、水平移動部133、豎直移動部134。
固定板131可以以位於氣體容器G的上側的形式固定設置於罩箱B（未示出）。固定板131可在垂直於前後方向D1的平面上配置。此時，固定板131可相對於閥門連接器C中心軸A1平行。
傾擺部132可以使得緊固連接模組14以與地面平行的旋轉軸，例如與前後方向D1平行的旋轉軸為中心旋轉。此時，隨著傾擺部132的運轉，緊固連接模組14可沿著氣體容器G的左右方向進行傾擺運動。傾擺部132可調節連接器緊固連接部142的中心軸A2相對於閥門連接器C中心軸A1所形成的角度。在對齊的狀態下，閥門連接器C中心軸A1及連接器緊固連接部142的中心軸A2可相互平行。
傾擺部132可包括：旋轉元件1321，其可旋轉地連接於固定板131；旋轉致動器1322，其使得所述旋轉元件1321旋轉。旋轉元件1321的旋轉軸可相對於固定板131垂直。
水平移動部133可使得緊固連接模組14沿著垂直於前後方向D1的第一方向D2移動。以緊固連接模組14的旋轉角度對齊的狀態為基準，第一方向D2可以是垂直於閥門連接器C中心軸A1的方向。水平移動部133可包括固定連接於旋轉元件1321的底板1331、水平導軌1332、水平引導元件1333及水平致動器1334。
底板1331可相對於固定板131平行地配置。底板1331可藉助於旋轉元件1321以旋轉軸為中心進行旋轉。
水平導軌1332可沿著第一方向D2配置於底板1331上，水平引導元件1333以沿著第一方向D2移動的形式連接於水平導軌1332。
水平致動器1334可提供用於使得水平引導元件1333移動的驅動力。
豎直移動部134可使得緊固連接模組14沿著垂直於前後方向D1及第一方向D2的第二方向D3移動。以緊固連接模組14的旋轉角度對齊的狀態為準，第二方向D3可與閥門連接器C中心軸A1平行。豎直移動部134可包括豎直導軌1341、豎直引導元件1342及豎直致動器1343。
豎直導軌1341可沿著垂直於第一方向D2的第二方向D3配置於水平引導元件1333，豎直引導元件1342可以以沿著第二方向D2移動的形式連接於豎直導軌1341。此時，在豎直引導元件1342可配置有緊固連接模組14的緊固連接框架141。
豎直致動器1343可提供用於使得豎直導軌1341移動的驅動力。
水平移動部133及豎直移動部134可使得緊固連接模組14的位置沿著垂直於前後方向D1的第一方向D2及第二方向D3移動。此時，通過水平移動部133及豎直移動部134產生的緊固連接模組14的移動方向向量可從屬於傾擺部132的旋轉而變化。但是因為第一方向D2及第二方向D3相互垂直，所以與傾擺部132的運轉無關地，可根據第一方向D2及第二方向D3的移動自由地調節垂直於前後方向D1的平面上的緊固連接模組14的位置。當通過移送模組11使得緊固連接模組14及閥門連接器C的前後方向D1位置對齊時，通過水平移動部133及豎直移動部134調節垂直於前後方向D1的平面上的緊固連接模組14的位置，因此能夠使得緊固連接模組14及閥門連接器C的三維位置對齊。
位置檢測部15可引導緊固連接模組14相對於閥門連接器C的位置對齊。例如，位置檢測部感知緊固連接模組14相對於閥門連接器C的相對位置信息，從而可檢測緊固連接模組14是否相對於閥門連接器C對齊。位置檢測部15可包括識別閥門連接器C的位置的感測器。例如，感測器可以是視覺感測器。但是，感測器的種類並非限於此，位置檢測部15可包括能夠檢測閥門連接器及緊固連接模組14的相對位置的各種種類的感測器。
位置檢測部15可配置於緊固連接模組14。例如，位置檢測部15可固定設置於緊固連接框架141的一側。此時，位置檢測部15的感測區域對應於緊固連接模組14的位置變化而變化，因此可進行更加有效的對齊狀態感測。
另外，位置檢測部15也可以物理地引導緊固連接模組14相對於閥門連接器C的位置對齊。例如，位置檢測器15可包括對準元件（未示出），對準元件與氣體容器G相連接的同時，引導閥門連接器C及緊固連接模組14的相對位置對齊。此時，在氣體容器可安裝有能夠與對準元件緊固連接的對準塊。對準元件及對準塊可以在使得緊固連接模組及閥門連接器的相對位置對齊的狀態下相互緊固連接。由此，對準元件相對於對準塊緊固連接的同時，可物理地引導緊固連接模組相對於閥門連接器的位置對齊。例如，對準元件可包括以銷形態凸出的導銷，對準塊可包括供所述導銷***的導孔。
在緊固連接模組相對於閥門連接器對齊的狀態下，對準元件固定連接於對準塊，可對緊固連接模組相對於氣體容器的對齊位置進行固定。
再次參照第1圖，導輪17及滑行架固定元件16可引導滑行架10的前後方向D1上的移動。
導輪17接觸地配置於滑行架10的兩側，當滑行架10借助於移送模組11沿著前後方向D1移動時，可以以支撐滑行架10的兩側的狀態引導滑行架10的移動。
在滑行架10與移送模組11相連接的狀態下，滑行架固定元件16可加壓滑行架10的兩外側。滑行架固定元件16防止滑行架10向左右方向移動，從而可在滑行架10的移動過程中防止滑行架10的位置錯開。
控制部可控制移送模組11及對齊模組13的運轉。基於位置檢測部15感知到的信息，控制部可對緊固連接模組14及閥門連接器C的相對位置進行對齊。
控制部可通過移送模組11的運轉對閥門連接器C相對於緊固連接模組14的前後方向D1上的位置進行對齊，通過對齊模組13的運轉對緊固連接模組14相對於閥門連接器C的角度及位置進行對齊。
例如，當連接器緊固連接部142與閥門連接器C對齊時，控制部可控制移送模組11，以便使得閥門連接器C及連接器緊固連接部142的中心軸A2的前後方向D1位置相同。之後，通過旋轉緊固連接模組14而使得連接器緊固連接部142的中心軸A2相對於閥門連接器C中心軸A1以平行的形式對齊後，控制部可控制對齊模組13的運轉，以便使得連接器緊固連接部142的中心軸A2與閥門連接器C中心軸A1一致。
之後，控制部可沿著閥門連接器C中心軸A1調節緊固連接模組14的位置，以便使得緊固連接模組14的連接器連接部緊固連接於氣體容器G的閥門連接器C。
第6圖至第10圖是示出根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置的運轉過程的運轉圖。
參照第6圖至第10圖，對氣體容器緊固連接裝置1的運轉過程進行說明。
如第6圖所示，當借助於移送模組11使得氣體容器G的閥門V***罩箱B（未示出）時，位置檢測部15可檢測閥門連接器C的位置。當閥門連接器C的前後方向D1上的位置未對齊時，控制部可通過移送模組11的運轉而調節滑行架10的前後方向D1的位置，從而對閥門連接器C的前後方向D1位置進行對齊。
在閥門連接器C的前後方向D1位置對齊的狀態下，對齊模組13可對緊固連接模組14的位置進行對齊。如第7圖所示，位置檢測部15可檢測緊固連接模組14相對於閥門連接器C中心軸A1的角度。當檢測到緊固連接模組14及閥門連接器C的角度未對齊時，對齊模組13可使得緊固連接模組14旋轉，以便連接器緊固連接部142的中心軸A2相對於閥門連接器C中心軸A1平行。此時，緊固連接模組14可以以與前後方向D1平行的軸為中心旋轉。
在以使得閥門連接器C中心軸A1及連接器緊固連接部142的中心軸A2平行的形式對齊的狀態下，如第8圖所示，緊固連接模組14可使得緊固連接模組14的位置沿著垂直於閥門連接器C中心軸A1的方向，例如第一方向D2移動。可根據連接器緊固連接部142或者端蓋分離部142的緊固連接與否，選擇性地使得連接器緊固連接部142的中心軸A2或者端蓋分離部143的中心軸A3相對於閥門連接器C中心軸A1一致。
第9圖示出連接器緊固連接部142的中心軸A2相對於閥門連接器C的中心軸A1一致的狀態。如第9圖所示，在閥門連接器C及連接器緊固連接部142的中心軸A1、A2一致的狀態下，連接器緊固連接部142與閥門連接器C相面對。
此時，如第10圖所示，對齊模組13使得緊固連接模組14沿著閥門連接器C的中心軸A1方向，即第二方向D3移動，從而可以連接閥門連接器C及連接器緊固連接部142。第9圖及第10圖示出了連接器緊固連接部142連接於閥門連接器C的過程，但是當將端蓋分離部143連接於閥門連接器C時，在使得端蓋分離部143的中心軸A3相對於閥門連接器C的中心軸A1一致的狀態下，對齊模組13使得緊固連接模組14朝向閥門連接器C沿著第二方向D3移動，從而可將端蓋分離部143緊固連接於閥門連接器C。
由此，連接器緊固連接部142或者端蓋分離部143可選擇性地連接於閥門連接器C。
如上所述，雖然根據限定的圖對實施例進行了說明，但是如果是在所屬技術領域中具有通常知識者，則可以從上述記載進行各種修改及變形。例如，即使按照與所說明的方法不同的順序執行所說明的技術，及/或以與所說明的方法不同的形態結合或者組合所說明的結構、裝置等構成要素，或通過其他構成要素或者均等物進行代替或者置換，也可以實現適當的結果。
G:氣體容器 C:閥門連接器 V:閥門 B:罩箱 H:連接配管 A1:閥門連接器的中心軸 A2:連接器緊固連接部的中心軸 A3:端蓋分離部的中心軸 D1:前後方向 D2:第一方向 D3:第二方向 1:氣體容器緊固連接裝置 10:滑行架 101:滾動元件 11:移送模組 111:移送導軌 112:引導元件 113:移送致動器 13:對齊模組 131:固定板 132:傾擺部 1321:旋轉元件 1322:旋轉致動器 133:水平移動部 1331:底板 1332:水平導軌 1333:水平引導元件 1334:水平致動器 134:豎直移動部 1341:豎直導軌 1342:豎直引導元件 1343:豎直致動器 14:緊固連接模組 141:緊固連接框架 142:連接器緊固連接部 143:端蓋分離部 144:緊固連接致動器 15:位置檢測部 16:滑行架固定元件 17:導輪
本說明書中所附的下面的圖例示了本發明的較佳的一個實施例，與發明的詳細說明一起起到了進一步理解本發明的技術思想的作用，因此不應解釋為本發明僅限於這些圖式中記載的事項。 [第1圖]是根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置的立體圖。 [第2圖]是示出根據一個實施例的滑行架的立體圖。 [第3圖]是示出根據一個實施例的移送模組的立體圖。 [第4圖]及[第5圖]是示出根據一個實施例的對齊模組及緊固連接模組的立體圖。 [第6圖]至[第10圖]是示出根據一個實施例的氣體容器緊固連接裝置的運轉過程的運轉圖。
G:氣體容器
V:閥門
B:罩箱
D1:前後方向
1:氣體容器緊固連接裝置
10:滑行架
11:移送模組
13:對齊模組
14:緊固連接模組
16:滑行架固定元件
17:導輪

Claims (25)

  1. 一種氣體容器緊固連接裝置，包括：滑行架，其以安放的狀態支撐氣體容器；移送模組，其使得所述滑行架沿著與地面平行的前後方向移動，對所述氣體容器的閥門連接器的前後方向上的位置進行對齊；緊固連接模組，其包括連接器緊固連接部，所述連接器緊固連接部緊固連接於氣體容器的閥門連接器，用於獲得氣體的供給；對齊模組，其與所述緊固連接模組相連接，調節所述緊固連接模組的位置，從而相對於所述閥門連接器進行對齊；所述對齊模組包括：固定板，其在與所述閥門連接器的中心軸平行的平面上配置；傾擺部，其使得所述緊固連接模組以與地面平行的旋轉軸為中心旋轉；水平移動部，其使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述旋轉軸的第一方向移動並且相對於所述固定板沿著第一方向可移動地連接；以及豎直移動部，其使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述旋轉軸及第一方向的第二方向移動並且連接所述水平移動部及所述緊固連接模組，相對於所述水平移動部沿著垂直於所述第一方向的第二方向可移動地連接；以及位置檢測部，其用於引導所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的位置對齊。
  2. 根據請求項1所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述對齊模組調節所述連接器緊固連接部的中心軸相對於所述閥門連接器的中心軸所形成的角度及所述連接器緊固連接部相對於所述閥門連接器的中心軸的距離，從而使得所述緊固連接模組對齊。
  3. 根據請求項2所述之氣體容器緊固連接裝置，其中在所述緊固連接模組與所述閥門連接器對齊的狀態下，所述對齊模組使得所述緊固連接模組 沿著所述閥門連接器的中心軸方向移動，以便使得所述連接器緊固連接部緊固連接於所述閥門連接器。
  4. 根據請求項1所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述傾擺部對所述緊固連接模組的旋轉角度進行對齊，以便使得所述閥門連接器的中心軸及連接器緊固連接部的中心軸相互平行。
  5. 根據請求項4所述之氣體容器緊固連接裝置，其中以所述緊固連接模組的旋轉角度對齊的狀態為基準，所述第一方向垂直於所述閥門連接器的中心軸，所述第二方向與所述閥門連接器的中心軸平行。
  6. 根據請求項1所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述傾擺部連接所述固定板及水平移動部，使得所述水平移動部以垂直於所述第一方向及第二方向的旋轉軸為中心旋轉。
  7. 根據請求項6所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述對齊模組還包括：一個以上的致動器，其用於使得所述傾擺部、水平移動部及豎直移動部移動。
  8. 根據請求項1所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述緊固連接模組還包括：端蓋分離部，其與所述閥門連接器相連接，用於分離端蓋；以及緊固連接致動器，其用於使得所述端蓋分離部或者連接器緊固連接部運轉。
  9. 根據請求項8所述之氣體容器緊固連接裝置，其中在所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的中心軸的角度對齊的狀態下，所述對齊模組調節所述緊固連接模組的位置，以便使得所述端蓋分離部或者連接器緊固連接部選擇性地緊固連接於所述閥門連接器。
  10. 根據請求項1所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述位置檢測部包括：感測器，其對所述閥門連接器及所述緊固連接模組的相對位置信息進行檢測。
  11. 根據請求項10所述之氣體容器緊固連接裝置，還包括：控制部，其控制所述對齊模組的運轉，所述控制部基於通過所述位置檢測部檢測到的信息對所述對齊模組的運轉進行控制，以便使得所述緊固連接模組位於相對於所述閥門連接器設定的對齊位置。
  12. 根據請求項1所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述位置檢測部包括：對準元件，其與所述氣體容器相連接的同時，引導所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的位置對齊，在所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器對齊的狀態下，固定於所述氣體容器。
  13. 一種氣體容器緊固連接裝置，包括：滑行架，其以安放的狀態支撐氣體容器；移送模組，其使得所述滑行架沿著與地面平行的前後方向移動，對所述氣體容器的閥門連接器的前後方向上的位置進行對齊；緊固連接模組，其緊固連接於所述閥門連接器，用於獲得氣體的供給；對齊模組，其與所述緊固連接模組相連接，對所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的相對位置進行對齊，所述對齊模組包括：固定板，其在與所述閥門連接器的中心軸平行的平面上配置；傾擺部，其使得所述緊固連接模組以與地面平行的旋轉軸為中心旋轉；水平移動部，其使得所述緊固連接模組沿著垂 直於所述旋轉軸的第一方向移動並且相對於所述固定板沿著第一方向可移動地連接，其中所述水平移動部包括：底板，其沿著所述第一方向配置有水平導軌；水平引導元件，其連接所述底板及所述緊固連接模組，可移動地連接於所述水平導軌；以及水平致動器，其用於使得所述水平引導元件移動；以及豎直移動部，其使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述旋轉軸及第一方向的第二方向移動並且連接所述水平移動部及所述緊固連接模組，相對於所述水平移動部沿著垂直於所述第一方向的第二方向可移動地連接；以及位置檢測部，其用於對所述閥門連接器及所述緊固連接模組的對齊狀態進行檢測。
  14. 根據請求項13所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述豎直移動部包括：豎直導軌，其沿著垂直於所述第一方向的所述第二方向配置於所述水平引導元件；豎直引導元件，其可移動地連接於所述豎直導軌，配置有所述緊固連接模組；以及豎直致動器，其用於使得所述豎直引導元件移動。
  15. 根據請求項13所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述固定板相對於所述底板平行地配置，所述傾擺部包括：旋轉元件，其連接所述固定板及所述底板，相對於所述固定板以與所述前後方向平行的軸為中心進行旋轉；以及旋轉致動器，其用於使得所述旋轉元件旋轉。
  16. 根據請求項13所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述緊固連接模組包括：緊固連接框架，其與所述對齊模組相連接；端蓋分離部，其以朝向所述氣體容器的形式配置於所述緊固連接框架的下側，與所述氣體容器的閥門連接器相連接，用於去除端蓋；以及連接器緊固連接部，其以朝向所述氣體容器的形式配置於所述緊固連接框架的下側，緊固連接於去除所述端蓋的所述閥門連接器，用於獲得氣體的供給。
  17. 根據請求項16所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述端蓋分離部的中心軸及連接器緊固連接部的中心軸在所述前後方向上的位置相同。
  18. 根據請求項13所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述位置檢測部包括：感測器，其用於識別所述氣體容器的閥門連接器的位置。
  19. 根據請求項13所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述移送模組包括：移送導軌，其沿著所述前後方向配置於地面；移送引導元件，其可移動地連接於所述移送導軌，可固定地連接於所述滑行架；以及移送致動器，其用於移送所述移送引導元件。
  20. 根據請求項13所述之氣體容器緊固連接裝置，還包括：導輪，其接觸地配置於所述滑行架的兩側，引導所述滑行架在前後方向上的移送。
  21. 根據請求項13所述之氣體容器緊固連接裝置，還包括： 滑行架固定元件，其在所述滑行架沿著所述前後方向移動的過程中，對所述滑行架的外側進行加壓，以便防止所述滑行架向左右方向移動。
  22. 根據請求項13所述之氣體容器緊固連接裝置，還包括：控制部，其控制所述移送模組及對齊模組的運轉，所述位置檢測部感知所述氣體容器的閥門連接器的位置，所述控制部基於所述位置檢測部感知到的信息控制所述緊固連接模組相對於氣體容器對齊。
  23. 根據請求項22所述之氣體容器緊固連接裝置，其中所述控制部控制所述移送模組的運轉，以便使得所述閥門連接器及連接器緊固連接部的中心軸的前後方向位置位於同一線上，在使得所述連接器緊固連接部的中心軸相對於所述閥門連接器的中心軸平行地設置後，控制所述對齊模組的運轉，以便使得所述連接器緊固連接部的中心軸與所述閥門連接器的中心軸一致。
  24. 根據請求項23所述之氣體容器緊固連接裝置，其中在所述緊固連接模組相對於所述氣體容器對齊的狀態下，所述控制部沿著所述閥門連接器的中心軸調節所述緊固連接模組的位置，以便使得所述緊固連接模組緊固連接於所述氣體容器。
  25. 一種氣體容器緊固連接裝置，包括：滑行架，其以安放的狀態支撐氣體容器；移送模組，其使得所述滑行架沿著與地面平行的前後方向移動，對所述氣體容器的閥門連接器的前後方向上的位置進行對齊；緊固連接模組，其包括連接器緊固連接部，在連接器緊固連接部的位置相對於氣體容器的閥門連接器對齊的狀態下，連接器緊固連接部與所述閥門連接器相連接，從而獲得氣體的供給； 對齊模組，其與所述緊固連接模組相連接，調節緊固連接模組相對於所述閥門連接器的相對位置，所述對齊模組包括：固定板，其在與所述閥門連接器的中心軸平行的平面上配置；傾擺部，其使得所述緊固連接模組以與地面平行的旋轉軸為中心旋轉；水平移動部，其使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述旋轉軸的第一方向移動並且相對於所述固定板沿著第一方向可移動地連接；以及豎直移動部，其使得所述緊固連接模組沿著垂直於所述旋轉軸及第一方向的第二方向移動並且連接所述水平移動部及所述緊固連接模組，相對於所述水平移動部沿著垂直於所述第一方向的第二方向可移動地連接；對準元件，其引導所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的位置對齊，在所述緊固連接模組的位置對齊的狀態下，與所述氣體容器相結合；以及對準塊，其安裝於所述氣體容器，與所述對準元件相連接，所述對準元件緊固連接於所述對準塊的同時，引導所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器的位置對齊，在所述緊固連接模組相對於所述閥門連接器對齊的狀態下，固定於所述對準塊。
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