TWI788149B - 探針卡 - Google Patents

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徐文元
陳銘賢
呂佳霖
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Abstract

本發明提供一種探針卡，其利用探針蓋的滑槽，以可拆卸的方式安裝探針模組，再將探針蓋固定於探針卡的固定座上。此設計可簡化更換探針模組的操作以及降低人為誤差。

Description

探針卡
本發明涉及一種探針卡，特別是具易於拆裝結構之探針卡。
探針卡乘載探針，用以與晶圓上半導體的電極相接觸，裝置在針測機中，以掃描方式逐區(檢測區)檢測，以檢查晶圓上元件的電性品質。請參閱圖1A及圖1B，探針卡是將一探針模組固定在一基板上。基板上具有通孔，探針模組的探針頭能通過通孔與半導體待測物接觸。
更換探針模組時，定位及水平面極為重要，需仰賴操作者精準度，難度較高，容易產生誤差。
本發明所提供的探針卡結構，可簡化更換探針模組的操作，降低人為誤差，並提高精準度。
本發明提供一種探針卡，包含：一基板，具有一通孔；一固定座，設置於該基板的表面上；以及一探針蓋，連接於該固定座，其中該探針蓋具有至少一滑槽，使一探針模組可拆卸地安裝至該探針蓋，以及當該探針蓋蓋合於該基板，該探針模組通過該通孔。
10:探針卡
11:基板
12:通孔
21:固定座
22:探針蓋
23:鎖固件
24:滑槽
25:卡榫結構
30:探針模組
31:探針頭基座
32:導電連接器
33:探針頭
34:護蓋
圖1A及圖1B分別為先前技術探針卡之上下視圖。
圖2A及圖2B分別為本發明探針模組之上下視圖。
圖3A~3E為本發明探針卡之設置流程結構圖。
以下各實施例配合圖式，用以說明本發明之精神，讓本技術領域之人士能清楚理解本發明之技術，但非用以限制本發明的範圍，本發明之專利權範圍應由請求項界定。特別強調，圖式僅為示意之用，並非代表元件實際之尺寸或數量，部份細節可能也不完全繪出，以求圖式之簡潔。
圖2A及圖2B為本發明探針卡10可拆換的探針模組30之上下視圖。探針模組30包含探針頭基座31、探針頭33以及護蓋34，探針頭基座31用以承載探針頭33，探針頭基座31具有導電連接器32，導電連接器32可為彈簧針、伸縮導電銷或其他可撓性導體等。探針頭33具有至少一探針(圖未示)，用以與晶圓表面針測區電性接觸進行檢測。導電連接器32與探針頭33電性連接，並可與基板11上之電路接觸。於一實施例中，探針頭33具有滑槽，使護蓋34可拆卸地安裝固定至探針頭33上，以防止探針頭33的探針受潮及粉塵汙染。
於其他實施例中，探針頭基座31上具有至少一水平調整元件(圖未示)，較佳地為三個水平調整元件，平均分配於探針頭基座31的三個邊緣位置，用以確保探針頭在重複更換探針模組的過程中，仍能保持水平。
圖3A~3E為本發明探針模組之安裝流程結構圖，其中圖3A顯示本發明探針卡10在探針蓋22呈開蓋狀態之示意圖。探針卡10包含具通孔12的基板11，設置於基板11表面上的固定座21，以及可蓋合於基板11上之探針蓋22，其中探針蓋22的一側與固定座21樞轉地且可拆卸地連接，探針蓋22與基板11的開合角度為0~90°。
固定座21以及探針蓋22可為金屬材料，固定座21可通過複數個螺栓固定於基板11之上表面。探針蓋22的其他側可選擇地設置鎖固件23，以磁吸、卡扣或螺旋方式固定於設置在基板11上的卡榫結構25。
參閱圖3B、圖3C及圖3D，探針蓋22的下表面相對兩側具有滑槽24，探針模組30的探針頭基座31可***兩側的滑槽24，使探針模組30可拆卸地安裝至探針蓋22。於一實施例中，探針頭基座31與滑槽24可分別設置鎖固件及卡榫結構(圖未示)，使探針頭基座31與滑槽24彼此固定，隨後即可將探針模組30的護蓋34拆下露出探針頭33。
於一實施例中，探針頭基座31之形狀為方形，滑槽24則為與之對應之結構，使探針頭基座31可緊密、不晃動的***滑槽24中。操作人員可利用滑槽便利地為探針模組30進行更換以及定位，此方式可避免人為操作造成的位置誤差。
最後參閱圖3E，當探針蓋22蓋合於基板11上時，探針模組30的探針頭33可通過通孔12，並突出於基板11之下表面，可理解的，於檢測時，探針頭33上之探針可與探針卡下方之晶圓表面針測區電性接觸，最後以探針蓋22的鎖固件23與基板11的卡榫結構25鎖固，完成探針卡10的設置，即可進行後續電性檢測。
檢測完成後，相反於安裝步驟，將探針模組30拆卸，並將護蓋34安裝至探針頭33上即可存放備用。
10:探針卡
11:基板
12:通孔
21:固定座
22:探針蓋
23:鎖固件
24:滑槽
25:卡榫結構
30:探針模組
31:探針頭基座
32:導電連接器
33:探針頭
34:護蓋

Claims (7)

  1. 一種探針卡，包含：一基板，具有一通孔；一固定座，設置於該基板的表面上；一探針蓋，連接於該固定座，該探針蓋具有至少一滑槽；以及一探針模組，包含承載一探針頭的一探針頭基座，其中透過該探針頭基座***該至少一滑槽使該探針模組可拆卸地安裝至該探針蓋，以及當該探針蓋蓋合於該基板，該探針頭通過該通孔。
  2. 如請求項1所述之探針卡，其中該探針模組更包含一護蓋，可拆卸地安裝至該探針頭。
  3. 如請求項1所述之探針卡，其中該探針頭基座具有至少一導電連接器，該導電連接器與該探針頭電性連接。
  4. 如請求項1所述之探針卡，其中該探針頭基座具有一鎖固件，用以固定於該滑槽的一卡榫結構。
  5. 如請求項2所述之探針卡，其中該探針頭具有至少一滑槽，使該護蓋可拆卸地安裝至該探針頭。
  6. 如請求項1所述之探針卡，其中該探針蓋樞轉地連接於該固定座，使該探針蓋與該基板的開合角度為0~90°。
  7. 如請求項1所述之探針卡，其中該探針蓋具一鎖固件，當該探針蓋蓋合於該基板，該探針蓋透過該鎖固件固定於該基板上的一卡榫結構。
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