TWI775548B

TWI775548B - 電漿活化液的製造方法

Info

Publication number: TWI775548B
Application number: TW110127995A
Authority: TW
Inventors: 林春宏; 陳懿恩
Original assignee: 雪曼電漿科技有限公司
Priority date: 2021-07-30
Filing date: 2021-07-30
Publication date: 2022-08-21
Also published as: TW202305849A

Abstract

一種電漿活化液的製造方法，包含：（a）提供變頻式電漿製備電源；（b）提供電漿產生器；（c）將反應氣體引入該電漿產生器並使該變頻式電漿製備電源對應於所需電漿頻率而供電至該電漿產生器；以及，（d）將工作電漿施加至工作液體而使該工作液體轉變為電漿活化液。

Description

電漿活化液的製造方法

本發明相關於一種抗菌活化液的製造方法，特別是相關於一種電漿活化液的製造方法。本發明係一種變頻式噴射大氣電漿（DC PLASMA JET）備製電漿活化液之方法，特別是引用本變頻式噴射大氣電漿系統，即可達到各類型大氣電漿，諸如：介電層放電式（DBD）、電暈式（CORONA）、電漿火炬式（TOURCH）等各類型大氣電漿型式所能製造出之電漿活化液之功效。

引用大氣電漿在材料進行表面化學改質的製程早已行之有年，但以氣相的電漿與液體接觸，則會在液體中產生更多種化學作用。根據激發電漿放電的類型，其能量以及周圍環境（氣相和液相）的化學組成，可引發各種類型的電漿化學反應，並且通過這些反應可以形成許多主要和次要物種在氣體中。並且，將電漿在氣、液界面處排放，這些氣體會滲透或溶解到液體中，並引發液體中的化學和生物殺滅過程。電漿活化液也稱為電漿酸液、電漿活化水（Plasma Activated Water，PAW）等。上述電漿活化後的液體，能夠應用在農業、食品、生物與醫學應用的用途上。

由現有技術的公開內容可知，根據激發電漿的方式、以及通入反應氣體的不同，其所生成的電漿活化液之反應性物種的類型和濃度各有不同。但總體而言，電漿活化液會包含活性氧物質（ROS，Reactive Oxygen Species）和活性氮物質（RNS，Reactive Nitrogen Species）。活性氧物質（ROS）是生物有氧代謝過程中的一種副產品，包括氧離子、過氧化物和含氧自由基，如OH ⁻等；活性氮物質（RNS）係指NO ⁻與包括活性氧在内的化合物相互作用，衍生出一系列包括過氧亞硝酸（HOONO ⁻）等，具有高度氧化活性的自由基與硝基類化合物。此乃導致具有抗菌活性的電漿活化液中，活性氧物質（ROS）與活性氮物質（RNS）形成的主要化學反應。

表1（總結部分現有技術，資料來源：Thirumdas et al， review paper，2018）顯示，除了電漿激發機制外，處理時間和所用氣體、液體、以及電漿流是否深入水中等特性，都是形成電漿活化水的重要因素。舉例而言，使用氧氣、氦氣為工作氣體以活化水，將導致形成許多主要產物，包括：原子氧、單線態氧、超氧化物、臭氧、羥基（-OH）和原子氮；然後，將繼續反應形成次要產物，包括：過氧化氫（H ₂O ₂）、過氧亞硝酸根（ONOO ⁻）、一氧化氮（NO）、硝酸根（NO ₃ ⁻）和亞硝酸根（NO ₂ ⁻）離子。活性氧物質（ROS）與活性氮物質（RNS）的濃度，可以通過測量導電度與氧化還原電位（ORP，mV）的變化來檢測。導電度（EC，μs/cm）越高，反應出過氧亞硝酸根離子濃度相對越高；氧化還原電位（ORP，mV）越高，反應出過氧化氫與羥基相對濃度越高（Lukes et al.，2012）。過氧亞硝酸鹽的半衰期很短，隨著電漿水靜置時間加長，NO ₂ ⁻逐漸轉換成NO ₃ ⁻，導電度（EC）逐漸下降，pH值也緩慢升高。過氧化氫與羥基的半衰期長，氧化還原電位（ORP）下降較慢，可保存時間較長。更有現有技術（交大碩士論文，指導教授：廖英皓，2019）指出，電漿水保存7天後，滅菌率將大幅率退，甚至無法殺菌。也就是說，電漿活化水有其時效性，保存不易，也意指，施作上不會有殘留的問題發生。 [表1]

電漿激發機制	電漿操作模式	工作氣體	處理水類別	處理量	反應時間	酸度pH	氧化還原電位 ORP mV	導電度 EC µS/cm	參考文獻
DC噴射式電漿	深入水中	空氣	去離子水	10cc	20分鐘	2.3	540		Shen et al. 2016
DC噴射式電漿	水表面	氦	去離子水	1cc	5分鐘	4.2			Ikawa et al. 2016
DC噴射式電漿	水表面	氦	去離子水	0.5cc	5分鐘	4.2			Xu et al. 2016
DC噴射式電漿	水表面	氦/氧	去離子水	80cc	15分鐘	3	550	450	Ma et al. 2015
介電層放電	深入水中	空氣	去離子水	1.6公升	25分鐘	3.53	125	511	Ma et al. 2016
介電層放電	水表面	空氣	去離子水	1cc	15分鐘	2.7		1028	Traylor et al. 2011

表2（Lukes et al.，2014）比較各種電漿激發機制所生成之電漿水的化學特性。現有技術亦指出，介電層放電（DBD）的電漿激發機制，將產生較高的活性氮（RNS）的反應性物種，NO ₂ ⁻/NO ₃ ⁻濃度約3.5與3.86 mM/L；DC噴射式電漿，則可產生較高的活性氧（ROS）的反應性物種，H ₂O ₂濃度遠高於其他激發機制，約2.4 mM/L。由於不同的電漿激發機制會產生不同濃度的活性氧物質（ROS）與活性氮物質（RNS）反應性物種，故它們會通過不同的化學反應滅菌機制，導致不同的抗菌效率與其他次要目的。因此，不同的應用需求，將會需要相對應的電漿激發機制，例如：醫療用途，期望活性氧物質的過氧化氫（H ₂O ₂）較高，以達到消毒殺菌之目的；以及，農業用途則期望活性氮物質的過氧亞硝酸/亞硝酸根較高，除殺菌沙微生物外，還能同時賦予植物生長與發芽之用途。 [表2]

電漿激發機制	處理水類別	酸度pH	H ₂O ₂	NO ₂ ^-	NO ₃ ^-	參考文獻
介電層放電	去離子水	2.7	0.9	3.5	3.86	Traylor et al. 2011
DC噴射式電漿	去離子水	3.2	2.4	0.65	0.25	Liu et al. 2010
DC噴射式電漿	鹽水	4.1	0.6	0.01	0.1	Gils et al. 2013
DC噴射式電漿	去離子水	3.3	0.7	0.2	1	Machala et al. 2013

由於電漿活化水富含帶電荷的活性氧物質（ROS）與活性氮物質（RNS）反應性物種，可以做為食品、農作物與醫療消毒殺菌等的替代方案，以及促進農作物生長、發芽與養殖業氮肥之來源。當前使用高氧化還原電位（ORP）的消毒溶液，洗滌未加工的農產品和新鮮水果，藉以延長保質期。但是，更重要的是，電漿活化水僅取自大自然的空氣與水，可替代傳統因添加化學藥品所產生高氧化還原電位（ORP）的消毒溶液。相關文獻：

（1）Rohit Thirumdas, Anjinelyulu Kothakota, Uday Annapure, Kaliramesh Siliveru, Renald Blundell, Ruben Gatt, Vasilis P Valdramidis, (2018), Trends in food science & technology 77, 21-31；

（2）P Lukes, E Dolezalova, I Sisrova, M Clupek, (2014), Aqueous-phase chemistry and bactericidal effects from an air discharge plasma in contact with water: evidence for the formation of peroxynitrite through a pseudo-second-order post-discharge reaction of H2O2 and HNO2, Plasma Sources Science and Technology 23 (1), 015019；

（3）Shen, J., Tian, Y., Li, Y., Ma, R., Zhang, Q., Zhang, J., et al. (2016). Bactericidal eﬀects against S. aureus and physicochemical properties of plasma activated water stored at different temperatures. Scientiﬁc Reports, 6；

（4）Ikawa, S., Kitano, K., & Hamaguchi, S. (2010). Effects of pH on bacterial inactivation in aqueous solutions due to low-temperature atmospheric pressure plasma application. Plasma Processes and Polymers, 7(1), 33–42；

（5）Xu, Y., Tian, Y., Ma, R., Liu, Q., & Zhang, J. (2016). Effect of plasma activated water on the postharvest quality of button mushrooms, Agaricus bisporus. Food Chemistry, 197, 436–444；

（6）Ma, R., Wang, G., Tian, Y., Wang, K., Zhang, J., & Fang, J. (2015). Non-thermal plasma- activated water inactivation of food-borne pathogen on fresh produce. Journal of Hazardous Materials, 300, 643–651；

（7）Ma, R., Yu, S., Tian, Y., Wang, K., Sun, C., Li, X., et al. (2016). Effect of non-thermal plasma-activated water on fruit decay and quality in postharvest Chinese bayberries. Food and Bioprocess Technology, 9(11), 1825–1834；

（8）Traylor, M. J., Pavlovich, M. J., Karim, S., Hait, P., Sakiyama, Y., Clark, D. S., et al. (2011). Long-term antibacterial efficacy of air plasma-activated water. Journal of Physics D: Applied Physics, 44(47), 472001；

（9）Liu, Y., Ye, N., Liu, R., Chen, M., & Zhang, J. (2010). H2O2 mediates the regulation of ABA catabolism and GA biosynthesis in Arabidopsis seed dormancy and germination. Journal of Experimental Botany, 61(11), 2979–2990；

（10）van Gils, C. A. J., Hofmann, S., Boekema, B. K. H. L., Brandenburg, R., & Bruggeman, P. J. (2013). Mechanisms of bacterial inactivation in the liquid phase induced by a remote RF cold atmospheric pressure plasma jet. Journal of Physics D: Applied Physics, 46(17), 175203；

（11）Machala Z, Tarabova B, Hensel K, Spetlikova E, Sikurova L and Lukes P. (2013). Formation of ROS and RNS in Water Electro‐S prayed through Transient Spark Discharge in Air and their Bactericidal Effects, Plasma Process. Polym. 10 649–59；

（12）Mcferson, L. L. (1993). Understanding ORP's role in the disinfection process, Water Engineering and Management, 140,29–31；

（13）賴成春碩士論文，指導教授廖英皓博士，工作與腔體氣體成分對電漿水特徵之影響，2019。

因此，本發明的目的即在提供一種電漿活化液的製造方法，藉此，可藉由變頻大氣電漿的特性，解離空氣中不同比例的氮氣與氧氣，製造出指定的極性官能基團（polar-functional group，例如：-OH，-CH，-NH，-COOH…），再與水進行電漿化學反應。無須各種樣式的電漿機制，即可製造出富含各種活性氧物質（ROS）和活性氮物質（RNS），尤其是可大量製造的方法，滿足各種產業需求之電漿活化液。

本發明為解決習知技術之問題所採用之技術手段係提供一種電漿活化液的製造方法，包含：（a）提供變頻式電漿製備電源，其工作電壓大於6仟伏特且工作電流小於1安培；（b）提供電漿產生器，其具有絕緣套件、內核體、噴嘴、以及渦流產生結構，該絕緣套件圍出反應氣體容置空間，該內核體設置在該反應氣體容置空間中且電連接至該變頻式電漿製備電源的其中一極，該噴嘴設置在該反應氣體容置空間的導出端且電連接至該變頻式電漿製備電源的另外一極，而在該噴嘴與該內核體之間形成電漿產生空間，該渦流產生結構設置對應於該內核體而用於自該反應氣體容置空間引導氣流通過該內核體而至該電漿產生空間，並使該氣流於該電漿產生空間形成低於標準大氣壓的渦旋流區域；（c）將反應氣體引入該電漿產生器並使該變頻式電漿製備電源對應於所需電漿頻率而供電至該電漿產生器，其中引入該電漿產生器的該反應氣體係自該反應氣體容置空間經該渦流產生結構引導而以渦旋流動的方式流經並冷卻該內核體且於該電漿產生空間形成該渦旋流區域，該渦旋流區域用於加長電子平均自由路徑，以利於該反應氣體之解離，該反應氣體於該電漿產生空間被解離為氣體離子與電子而形成工作電漿；以及（d）將該工作電漿施加至工作液體而使該工作液體轉變為電漿活化液。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中步驟（c）中，在供電時，該變頻式電漿製備電源的操作功率為300瓦特至1仟瓦特，該變頻式電漿製備電源的工作頻率為15仟赫茲至40仟赫茲，以及該變頻式電漿製備電源的工作電流為0.3安培至0.7安培。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中步驟（b）中，該電漿產生器的噴嘴為陰極，且該內核體為陽極。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中步驟（c）中，該反應氣體為空氣，在其中一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體經解離氧分子為氧離子以成為氧氣的該工作電漿，以及步驟（d）中，氧氣的該工作電漿使得該工作液體轉變為具有活性氧物質的該電漿活化液；或者，步驟（c）中，該反應氣體為空氣，在另一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體經解離氮分子為氮離子以成為氮氣的該工作電漿，以及步驟（d）中，氮氣的該工作電漿使得該工作液體轉變為具有活性氮物質的該電漿活化液。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中步驟（c）中，該反應氣體為空氣，在其中一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體經解離氧分子為氧離子以成為氧氣的該工作電漿，並且，在另一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體經解離氮分子為氮離子以成為氮氣的該工作電漿，以及步驟（d）中，氧氣的該工作電漿以及氮氣的該工作電漿使得該工作液體轉變為具有活性氧物質以及活性氮物質的該電漿活化液。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中步驟（d）中，該工作液體為自來水、經過濾的水、去離子水、逆滲透水、井水、食鹽水、食用油、菁華液、精油、化妝水或純露。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中步驟（c）之前，更包括：提供文氏管，分別連接於該電漿產生器的出口端以及該工作液體的流體源，以及步驟（d）中，使該工作電漿自該電漿產生器連續地流入該文氏管，並在該工作電漿經過該文氏管之喉頸部時，藉由壓力變化牽引該工作液體連續地進入該文氏管而施加至該工作液體，以連續地輸出該電漿活化液。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中步驟（d）中，係以該電漿產生器的該噴嘴沉浸於該工作液體的方式將該工作電漿施加至該工作液體，或者係以該電漿產生器的該噴嘴與該工作液體的液面相間隔的非接觸方式，將該工作電漿施加至該工作液體。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中步驟（b）中，更包括在該電漿產生器的該噴嘴設置旁通道，在步驟（c）中，將添加液體經由該旁通道注入該電漿產生器，該添加液體於該電漿產生空間中解離，該添加液體為水或該電漿活化液，以及在步驟（d）中，將經解離的該添加液體配合該工作電漿施加至該工作液體。

在本發明的一實施例中係提供一種電漿活化液的製造方法，其中在步驟（d）中，該工作液體為在電漿反應槽內轉變為該電漿活化液，工作液體輸入裝置連接於該電漿反應槽以輸入該工作液體，且該電漿反應槽的排氣管道聯通於該工作液體輸入裝置而導引該工作電漿中的氣體離子進入該工作液體輸入裝置以在該工作液體進入該電漿反應槽之前預先施加該氣體離子以縮短由該工作液體轉變為該電漿活化液的所需時間，以及該電漿反應槽連接於電漿活化液的輸出管道而提供該電漿活化液的輸出。

本發明藉由高電壓加速電子，以及改變電漿頻率的激發機制，解離空氣中不同比例的氮氣分子（N2）與氧氣分子（O2），製造出指定的極性官能基團（polar-functional group），例如：OH-，CH-，NH-，COOH-，O-……等.）。不用蠻力加大瓦數與安培數來斷鍵，而是找到分子間的震動頻率，藉由共振效應來協助斷鍵，選擇性地製造各種化學自由基（radical）。本發明的電漿操作功率為350至1仟瓦特，電流不超過1安培（Amp），電壓大於6仟伏。並且，本發明的工作電漿不是火花放電（ARCING FREE），且直接沉浸入工作液體中製造電漿活化液，並不會有電擊的工安疑慮（此為現有的大氣電漿技術無法將電漿產生器直接***水中，或者僅能以實驗室等級的10cc水進行電漿液製造的考量點）。

以下根據第1圖至第19圖，而說明本發明的實施方式。該說明並非為限制本發明的實施方式，而為本發明之實施例的一種。

如第1圖至第3圖所示，依據本發明的一實施例的一種電漿活化液的製造方法100，包含：（a）提供變頻式電漿製備電源1；（b）提供電漿產生器2；（c）將反應氣體A引入該電漿產生器2並使該變頻式電漿製備電源1對應於所需電漿頻率而供電至該電漿產生器2；以及，（d）將該工作電漿P施加至工作液體F而使該工作液體F轉變為電漿活化液L。下方的表3，為本發明的製造電漿活化液的實施例的特點歸納，其僅係用於幫助瞭解本發明的技術內容而非用於限制本發明的申請專利範圍。 [表3]

電漿激發機制	電漿操作模式	工作氣體	處理水類別	處理量	反應時間	酸度pH	氧化還原電位 ORP mV	導電度 EC µS/cm
DC噴射式電漿	深入水中	空氣	逆滲透水/過濾水/自來水	3公升	2/3.5/14分鐘	＜2.6	540
DC噴射式電漿	深入水中	空氣	過濾水	1公升	50秒	＜2.6	643
DC噴射式電漿	深入水中	空氣	過濾水	1公升	6分13秒	＜2.6		1024
DC噴射式電漿	深入水中	空氣	逆滲透水	1公升	6秒/30秒	＜2.0	601/646
DC噴射式電漿	深入水中	空氣	逆滲透水	1公升	30秒	＜2.0		1030

如第2圖所示，在步驟（a），該變頻式電漿製備電源1的工作電壓大於6仟伏特且工作電流小於1安培。

如第2圖以及第3圖所示，在步驟（b），該電漿產生器2具有絕緣套件21、內核體22、噴嘴23、以及渦流產生結構24。該絕緣套件21圍出反應氣體容置空間210。該內核體22設置在該反應氣體容置空間210中且電連接至該變頻式電漿製備電源1的其中一極。該噴嘴23設置在該反應氣體容置空間210的導出端且電連接至該變頻式電漿製備電源1的另外一極，而在該噴嘴23與該內核體22之間形成電漿產生空間230。該渦流產生結構24設置對應於該內核體22而用於自該反應氣體容置空間210引導氣流通過該內核體22而至該電漿產生空間230，並使該氣流於該電漿產生空間230形成低於標準大氣壓的渦旋流區域。

進一步而言，如第3圖所示，依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中步驟（b）中，該電漿產生器2的噴嘴23為陰極，且該內核體22為陽極。

如第2圖以及第3圖所示，在步驟（c），引入該電漿產生器2的該反應氣體A係自該反應氣體容置空間210經該渦流產生結構24引導而以渦旋流動的方式流經並冷卻該內核體22，且於該電漿產生空間230形成該渦旋流區域。該渦旋流區域用於加長電子平均自由路徑，以利於該反應氣體A之解離，該反應氣體A於該電漿產生空間230被解離為氣體離子與電子而形成工作電漿P。

如第2圖所示，依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中步驟（c）中，在供電時，該變頻式電漿製備電源1的操作功率為300瓦特至1仟瓦特。並且，該變頻式電漿製備電源1的工作頻率為15仟赫茲至40仟赫茲，以及該變頻式電漿製備電源1的工作電流為0.3安培至0.7安培。

具體而言，如第3圖所示，依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中步驟（c）中，該反應氣體A為空氣，在其中一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體A經解離氧分子為氧離子以成為氧氣的該工作電漿P；以及步驟（d）中，氧氣的該工作電漿P使得該工作液體F轉變為具有活性氧物質（ROS）的該電漿活化液L。或者，在步驟（c）中，該反應氣體A為空氣，在另一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體A經解離氮分子為氮離子以成為氮氣的該工作電漿P；以及步驟（d）中，氮氣的該工作電漿P使得該工作液體F轉變為具有活性氮物質（RNS）的該電漿活化液L。

該電漿活化液L的製造方式並不以上述為限。依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中步驟（c）中，該反應氣體A為空氣，在其中一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體A經解離氧分子為氧離子以成為氧氣的該工作電漿P；並且，在另一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體A經解離氮分子為氮離子以成為氮氣的該工作電漿P。並且，在步驟（d）中，氧氣的該工作電漿P以及氮氣的該工作電漿P使得該工作液體F轉變為具有活性氧物質以及活性氮物質的該電漿活化液L。當然，本發明並不以該反應氣體A是空氣為限，該反應氣體A亦可為氬氣。

如第1圖以及第2圖所示，依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中步驟（d）中，該工作液體F為自來水、經過濾的水、去離子水、逆滲透水、井水、食鹽水、食用油、菁華液、精油、化妝水或純露。

詳細而言，如第1圖以及第2圖所示，本發明之電漿活化液的製造設備的主要配置為：工作液體輸入裝置R連接於電漿反應槽S以輸入該工作液體F；該電漿反應槽S具有排氣管道V以排出氣體，且該電漿反應槽S具有高水位感測器HS、低水位感測器LS以及溢流控制裝置K；以及，電漿活化液的輸出管道T連接於該電漿反應槽S。

如第4圖所示，依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中步驟（c）之前，更包括：提供文氏管3，分別連接於該電漿產生器2的出口端以及該工作液體F的流體源；以及，在步驟（d）中，使該工作電漿P自該電漿產生器2連續地流入該文氏管3，其中在該工作電漿P經過該文氏管3之喉頸部31時，藉由壓力變化牽引該工作液體F連續地進入該文氏管3而施加至該工作液體F，以連續地輸出該電漿活化液L。

如第2圖以及第5圖所示，依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中步驟（d）中，係該電漿產生器2的該噴嘴23與該工作液體F的液面相間隔的非接觸方式，將該工作電漿P施加至該工作液體F。或者，如第2圖以及第6圖所示，在步驟（d）中，係以該電漿產生器2的該噴嘴23沉浸於該工作液體F的方式將該工作電漿P施加至該工作液體F。

如第5圖以及第6圖所示，依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中步驟（b）中，更包括在該電漿產生器2的該噴嘴23設置旁通道23B。在步驟（c）中，將添加液體D經由該旁通道23B注入該電漿產生器2，該添加液體D於該電漿產生空間230中解離，且該添加液體D為水或該電漿活化液L。以及，在步驟（d）中，將經解離的該添加液體D配合該工作電漿P施加至該工作液體F。

如第7圖所示，在本發明的實施例中，該電漿產生器2亦可以相對於該電漿反應槽S的工作液體F的液面呈傾斜且沉浸於該工作液體F的方式，而將該工作電漿施加至該工作液體F。

如第8圖所示，本發明之電漿活化液的另一製造設備的配置為：工作液體輸入裝置R連接至暫存槽，且於該暫存槽設置有高水位感測器HS以及低水位感測器LS；排氣管道V設置於該暫存槽與電漿反應槽S之間，且工作液體F由該暫存槽通過該排氣管道V以及連接管道輸入該電漿反應槽S；該電漿產生器2設置於該連接管道，且在工作液體F通過連接管道時，工作電漿施加至該工作液體F而製造出電漿活化液L；以及，該電漿活化液L匯集於該電漿反應槽S，且該電漿活化液L由連接於該電漿反應槽S的輸出管道T輸出。

依據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法100，其中在步驟（d）中，該工作液體F為在電漿反應槽S內轉變為該電漿活化液L。工作液體輸入裝置R連接於該電漿反應槽S以輸入該工作液體F，且該電漿反應槽S的排氣管道V聯通於該工作液體輸入裝置R（本發明的圖式未示）而導引該工作電漿P中的氣體離子進入該工作液體輸入裝置R以在該工作液體F進入該電漿反應槽S之前預先施加該氣體離子，以縮短由該工作液體F轉變為該電漿活化液L的所需時間。並且，該電漿反應槽S連接於電漿活化液的輸出管道T而提供該電漿活化液L的輸出。

如第9圖至第11圖所示，酸度（pH）、氧化還原電位（ORP）、溫度以及導電度（EC）隨電漿活化液生成時間的變化。電漿形成的化學物質與水之間發生的反應導致酸化，pH值是溶液中氫離子濃度的量度。隨著處理時間的增加，電漿活化液的pH值迅速下降，隨後達到穩定範圍。氧化還原電位（ORP）乃衡量溶液氧化或還原另一種物質的能力，並且取決於氧化劑的濃度及其強度。氧化還原電位被認為是影響微生物滅活的重要因素，其破壞微生物的細胞膜和防禦機制（Mcferson，1993）。氧化還原電位（ORP）隨著pH值下隆至5.5時，會急速的增加，然後趨於穩定。導電度是水中電解質含量的量度，在電漿活化液處理過程中產生的反應性物質ROS和RNS，容易溶解在水中，大大提高電漿活化液的導電度。導電度隨著時間成正比增加，其與電漿激發機制有絕對的關係。如同現有技術的表2所提及，DC噴射式電漿產生之H ₂O ₂較高，因此氧化還原電位（ORP）上升快速；DBD介電層電漿產生NOx ^-的濃度較高，導電度較容易上升。本發明屬於DC噴射式電漿，因此不管處理哪種水質，產生NOx-機制較差，僅能隨時間增加而呈直線增加。這是傳統DC噴射式電漿的宿命。如第9圖至第11圖顯示，水質越純淨，達到氧化還原電位（ORP）最大值也越迅速。本發明之方法，即使使用3公升的容量，逆滲透水（第9圖）在2分鐘內、經過濾的水（第10圖）在3.5分鐘內、自來水（第11圖）在14分鐘內可達到ORP最大值的90%，這些結果都遠比現有技術（表1，容量小、且處理時間長）有效率。

如第12圖所示，以氧化還原電位（ORP）為指標，處理液體（例如：為自來水）之體積越大，處理時間越長。但是，所處理3種體積（1公升、2公升以及3公升）的工作液體，都可達到約每五分種處理1公升的效率，也遠比現有技術的表1所示皆具備進步性。

如第13圖至第15圖所示，本發明的特點在變頻式電漿技術，以處理液體為1公升的逆滲透水為例：調整電漿頻率為解離空氣中氧氣較多時（氧氣的工作電漿），氧化還原電位（ORP）可在30秒內達到90%最大值586mV（第14圖），最大值則發生在50秒時的643mV。在形成氧化還原電位上，氧氣的工作電漿相較於解離空氣中的氮氣（氮氣的工作電漿，在165秒後，始達到584mV）快上4倍的速率，如第14圖之ORP變化所示。當調整電漿頻率為解離空氣中的氮分子較多的氮氣的工作電漿時，氮氣的工作電漿確實在EC的表現較佳，導電度斜率確實上升較快，兩者達到最大值1024us/cm的時間相差30%，如第15圖所示。因此，在不同應用上所需的指標也不盡相同，但都可藉由改變電漿頻率，來加速生成ORP或EC值。

如第16圖以及第17圖所示，為了兼顧ORP最大值，以及加速EC值，本發明的特點在變頻式電漿技術。當ORP達到最大值時，改變電漿頻率為解離氮分子較多的氮氣電漿。當改變電漿頻率後，可維持ORP最大值，並加速EC值的生成。EC值仍呈現與施加電漿的時間成正比關係，相較於現有技術的DBD介電層電漿生成時間要短。

如第18圖所示，在注入流量為2至10 ml/sec之菁華液（或純露）的工作條件下（菁華液或純露藉由如第5圖或第6圖所示的該噴嘴23的旁通道23B注入），氮氣的工作電漿（N1至N3）可立即產出較高EC值的電漿活化液；氧氣的工作電漿（O1至O3）則ORP值較高。但總體而言，所有電漿活化液的指標之ORP、pH值、EC值，雖無法立即達到前述電漿活化液的最佳指標值，但都在瞬間達到最大值的90%。

如第19圖所示，在注入流量為2至10 ml/sec的工作條件下，將電漿產生器直接浸入具有1公升逆滲透水的反應槽（具體而言，逆滲透水經由如第5圖或第6圖所示的該噴嘴23的旁通道23B注入），並將該反應槽的出氣孔導入進水槽，以預先備置儲備水。工作時間僅需30秒即可使三個指標（也就是，ORP、pH值以及EC值）皆達標，其中ORP僅需6秒，即可達到600mV以上，且反應槽的溫度也只有38度C。以如此複合式變頻電漿製造電漿活化液，始能符合工業或農業，甚至醫療使用。

以上之敘述以及說明僅為本發明之較佳實施例之說明，對於此項技術具有通常知識者當可依據以下所界定申請專利範圍以及上述之說明而作其他之修改，惟此些修改仍應是為本發明之發明精神而在本發明之權利範圍中。

100:電漿活化液的製造方法 1:變頻式電漿製備電源 2:電漿產生器 21:絕緣套件 210:反應氣體容置空間 22:內核體 23:噴嘴 230:電漿產生空間 23B:旁通道 24:渦流產生結構 3:文氏管 31:喉頸部 A:反應氣體 D:添加液體 F:工作液體 HS:高水位感測器 K:溢流控制裝置 L:電漿活化液 LS:低水位感測器 P:工作電漿 R:工作液體輸入裝置 S:電漿反應槽 T:電漿活化液的輸出管道 V:排氣管道（a）:步驟（b）:步驟（c）:步驟（d）:步驟

［第1圖］為顯示根據本發明的一實施例的電漿活化液的製造方法的流程示意圖；［第2圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液的製造設備的示意圖；［第3圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液的製造設備中電漿產生器的剖視示意圖；［第4圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液的製造設備中電漿產生器裝配文氏管的剖視示意圖；［第5圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液的製造設備中設置有旁通道之電漿產生器的剖視示意圖；［第6圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液的製造設備中設置有旁通道之電漿產生器的另一剖視示意圖；［第7圖］為顯示製造本發明實施例的電漿活化液的設備中電漿產生器以斜插方式沉浸於工作液體的示意圖；［第8圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液的另一製造設備的示意圖；［第9圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（工作液體為3公升的逆滲透水）的指標隨時間生成的示意圖；［第10圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（工作液體為3公升的經過濾的水）的指標隨時間生成的示意圖；［第11圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（工作液體為3公升的自來水）的指標隨時間生成的示意圖；［第12圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（3種體積的工作液體，1公升、2公升以及3公升）的指標隨時間生成的示意圖；［第13圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（不同電漿頻率）的指標隨時間生成的總合示意圖；［第14圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（不同電漿頻率）的指標隨時間生成的示意圖之其一；［第15圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（不同電漿頻率）的指標隨時間生成的示意圖之其二；［第16圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（不同電漿頻率）的指標隨時間生成的示意圖之其三；［第17圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（不同電漿頻率）的指標隨時間生成的示意圖之其四；［第18圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液（工作液體為化妝品的菁華液）與電漿頻率關係的示意圖；以及［第19圖］為顯示本發明實施例的電漿活化液生成的示意圖。

(a):步驟

(b):步驟

(c):步驟

(d):步驟

Claims

一種電漿活化液的製造方法，包含：(a)提供變頻式電漿製備電源，其工作電壓大於6仟伏特且工作電流小於1安培；(b)提供電漿產生器，其具有絕緣套件、內核體、噴嘴、以及渦流產生結構，該絕緣套件圍出反應氣體容置空間，該內核體設置在該反應氣體容置空間中且電連接至該變頻式電漿製備電源的其中一極，該噴嘴設置在該反應氣體容置空間的導出端且電連接至該變頻式電漿製備電源的另外一極，而在該噴嘴與該內核體之間形成電漿產生空間，該渦流產生結構設置對應於該內核體而用於自該反應氣體容置空間引導氣流通過該內核體而至該電漿產生空間，並使該氣流於該電漿產生空間形成低於標準大氣壓的渦旋流區域；(c)將反應氣體引入該電漿產生器並使該變頻式電漿製備電源對應於所需電漿頻率而供電至該電漿產生器，其中引入該電漿產生器的該反應氣體係自該反應氣體容置空間經該渦流產生結構引導而以渦旋流動的方式流經並冷卻該內核體且於該電漿產生空間形成該渦旋流區域，該渦旋流區域用於加長電子平均自由路徑，以利於該反應氣體之解離，該反應氣體於該電漿產生空間被解離為氣體離子與電子而形成工作電漿；以及(d)將該工作電漿施加至工作液體而使該工作液體轉變為電漿活化液，其中在步驟(d)中，該工作液體為在電漿反應槽內轉變為該電漿活化液，工作液體輸入裝置連接於該電漿反應槽以輸入該工作液體，且該電漿反應槽的排氣管道聯通於該工作液體輸入裝置而導引該工作電漿中的氣體離子進入該工作液體輸入裝置以在該工作液體進入該電漿反應槽之前預先施加該氣體離子以縮短由該工作液體轉變為該電漿活化液的所需時間，以及該電漿反應槽連接於電漿活化液的輸出管道而提供該電漿活化液的輸出。
如請求項1所述之電漿活化液的製造方法，其中步驟(c)中，在供電時，該變頻式電漿製備電源的操作功率為300瓦特至1仟瓦特，該變頻式電漿製備電源的工作頻率為15仟赫茲至40仟赫茲，以及該變頻式電漿製備電源的工作電流為0.3安培至0.7安培。
如請求項1所述之電漿活化液的製造方法，其中步驟(b)中，該電漿產生器的噴嘴為陰極，且該內核體為陽極。
如請求項1所述之電漿活化液的製造方法，其中步驟(c)中，該反應氣體為空氣，在其中一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體經解離氧分子為氧離子以成為氧氣的該工作電漿，以及步驟(d)中，氧氣的該工作電漿使得該工作液體轉變為具有活性氧物質的該電漿活化液；或者，步驟(c)中，該反應氣體為空氣，在另一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體經解離氮分子為氮離子以成為氮氣的該工作電漿，以及步驟(d)中，氮氣的該工作電漿使得該工作液體轉變為具有活性氮物質的該電漿活化液。
如請求項1所述之電漿活化液的製造方法，其中步驟(c)中，該反應氣體為空氣，在其中一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體經解離氧分子為氧離子以成為氧氣的該工作電漿，並且，在另一個該所需電漿頻率的供電條件下，該反應氣體經解離氮分子為氮離子以成為氮氣的該工作電漿，以及步驟(d)中，氧氣的該工作電漿以及氮氣的該工作電漿使得該工作液體轉變為具有活性氧物質以及活性氮物質的該電漿活化液。
如請求項1所述之電漿活化液的製造方法，其中步驟(d)中，該工作液體為自來水、經過濾的水、去離子水、逆滲透水、井水、食鹽水、食用油、菁華液、精油、化妝水或純露。
如請求項1所述之電漿活化液的製造方法，其中步驟(c)之前，更包括：提供文氏管，分別連接於該電漿產生器的出口端以及該工作液體的流體源，以及步驟(d)中，使該工作電漿自該電漿產生器連續地流入該文氏管，並在該工作電漿經過該文氏管之喉頸部時，藉由壓力變化牽引該工作液體連續地進入該文氏管而施加至該工作液體，以連續地輸出該電漿活化液。
如請求項1所述之電漿活化液的製造方法，其中步驟(d)中，係以該電漿產生器的該噴嘴沉浸於該工作液體的方式將該工作電漿施加至該工作液體，或者係以該電漿產生器的該噴嘴與該工作液體的液面相間隔的非接觸方式，將該工作電漿施加至該工作液體。
如請求項1所述之電漿活化液的製造方法，其中步驟(b)中，更包括在該電漿產生器的該噴嘴設置旁通道，在步驟(c)中，將添加液體經由該旁通道注入該電漿產生器，該添加液體於該電漿產生空間中解離，該添加液體為水或該電漿活化液，以及在步驟(d)中，將經解離的該添加液體配合該工作電漿施加至該工作液體。