TWI767556B - 載具機構及其應用之作業設備 - Google Patents
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Abstract
一種載具機構,包含至少一轉動器、承載單元及驅動單元,轉動器設有漸開凸輪曲線,並繞軸線旋轉,承載單元設有至少一載具,載具設有第一連動部件及第二連動部件,第一連動部件及第二連動部件貼接於轉動器之兩側,驅動單元設有至少一驅動器,以驅動轉動器繞該軸線轉動,令轉動器頂推載具之第一連動部件或第二連動部件位移,使載具作線性方向之自由度位移,進而精確微調載具之擺置位置。
Description
本發明提供一種輕量化、可微調載具之擺置位置或角度,進而提高作業品質之載具機構。
在現今,作業裝置(如輸送裝置或測試裝置)以載具機構帶動作業件(如壓移件或載台)對電子元件執行預設作業(如壓移作業或輸送作業);例如輸送裝置以一為載台之作業件承置及載送電子元件,例如測試裝置以一為壓移件之作業件移載且壓接電子元件;然不論是何種裝置,在電子元件日益輕薄且體積精小的趨勢下,對於作業件之作業精準度要求相當高。以測試裝置為例,其載具機構之壓移件以吸嘴吸附電子元件,再作Y-Z方向位移將電子元件移入測試座,由於電子元件之複數個微小接點必須精準對位測試座之複數個探針,方可使電子元件於測試座準確執行測試作業,一旦壓移件將電子元件移入測試座之精準度稍有偏差,電子元件之接點即無法確實接觸測試座之探針,以致影響測試品質;因此,載具機構除了利用壓移件將電子元件移入測試座外,亦必須使壓移件可帶動電子元件作X方向、Y方向或θ水平旋轉角度之自由度位移調整著實重要。
本發明之目的一,提供一種載具機構,包含至少一轉動器、承載單元及驅動單元,轉動器設有漸開凸輪曲線,並繞軸線旋轉,承載單元設有至少一載具,載具設有第一連動部件及第二連動部件,第一連動部件及第二連動部件貼接轉動器,驅動單元設有至少一驅動器,以驅動轉動器繞該軸線轉動,令轉動器頂推載具之第一連動部件或第二連動部件位移,使載具作線性方向之自由度位移,進而精確微調載具之擺置位置。
本發明之目的二,提供一種載具機構,其至少一轉動器包含複數個轉輪,載具之第一連動部件及第二連動部件分別貼接不同轉輪,於複數個轉輪繞同一軸線轉動時,利用複數個轉輪分別頂推載具之第一連動部件或第二連動部件,使載具作正向或反向之線性位移。
本發明之目的三,提供一種載具機構,其轉動器之外環面設有凸輪曲線,並繞軸線旋轉,載具之第一連動部件外環面及第二連動部件外環面保持貼接轉動器,以有效消除背隙,使載具平穩位移微調位置。
本發明之目的四,提供一種載具機構,其至少一轉輪包含第一轉動器及第二轉動器,第一轉動器可繞第一軸線旋轉,第二轉動器可繞第二軸線旋轉;承載單元之至少一載具包含第一載具及第二載具,第一載具設有第一連動部件及第二連動部件,第一連動部件及第二連動部件貼接第一轉動器,第二載具可移動地裝配於第一載具,並設有第三連動部件及第四連動部件,第三連動部件及第四連動部件貼接第二轉動器,驅動單元之至少一驅動器包含第一驅動器及第二驅動器,以分別驅動第一轉動器及第二轉動器旋轉,第一轉動器及第二轉動器分別帶動第一載具及第二載具作不同線性方向之複數個自由度調整。
本發明之目的五,提供一種載具機構,其第一轉動器包含第一轉輪及第二轉輪,第一轉輪及第二轉輪供分別貼接第一載具之第一連動部件及第二連動部件,第二轉動器包含第三轉輪及第四轉輪,第三轉輪及第四轉輪供分別貼接第二載具之第三連動部件及第四連動部件,於第一轉動器及第二轉動器旋轉時,不僅可消除背隙,並可分別帶動第一載具及第二載具作不同線性方向之複數個自由度調整。
本發明之目的六,提供一種載具機構,其承載單元更設有第三載具,第三載具裝配於第一載具,並設有第五連動部件,驅動單元更設有第三驅動器,第三驅動器以偏心軸驅動第三載具之第五連動部件,使第三載具作水平角度旋轉之自由度調整,進而精確微調第一載具、第二載具及第三載具之擺置角度,以提高使用效能。
本發明之目的七,提供一種載具機構,更包含至少一承裝具,承裝具可移動地配置於第一載具,第二載具以第三連動部件或第四連動部件傳動承裝具同步位移,承裝具供裝配作業件,以調整作業件之擺置位置或角度。
本發明之目的八,提供一種載具機構,其第一載具與承裝具之間配置滑軌組,承裝具於至少一側設有防壓損結構,防壓損結構於承裝具一側相對滑軌組之位置設有具適當間距之第一板體及第二板體,於相鄰另一側延伸有立板,承裝具於承受作用力時,以立板傳導作用力至第一載具,而避免滑軌組受力過當損害,進而延長滑軌組的使用壽命及節省成本。
本發明之目的九,提供一種作業設備,包含機台、供料裝置、收料裝置、具本發明載具機構之作業裝置及中央控制裝置;供料裝置配置於機台
,並設有至少一容納待作業電子元件之供料承置器;收料裝置配置於機台,並設有至少一容納已作業電子元件之收料承置器;作業裝置配置於機台,並設有至少一作業件及本發明載具機構,作業件裝配於載具機構,以供對電子元件執行預設作業;中央控制裝置以供控制及整合各裝置作動,而執行自動化作業,達到提升作業效能之實用效益。
為使 貴審查委員對本發明作更進一步之瞭解,茲舉一較佳實施例並配合圖式,詳述如後:
請參閱圖1~7,本發明載具機構包含至少一轉動器、承載單元及驅動單元,更包含承裝具及至少一滑軌組。
至少一轉動器可繞軸線轉動;更進一步,轉動器設有至少一轉輪
,轉輪為凸輪,轉輪之數量依作業需求而增減,舉例轉動器設有一轉輪而帶動承載單元之複數個連動部件位移,舉例轉動器設有複數個轉輪,以分別帶動承載單元之複數個連動部件位移。
於本實施例,至少一轉動器包含第一轉動器及第二轉動器,第一轉動器設有第一轉輪11及第二轉輪12,第一轉輪11及第二轉輪12繞第一軸線L1轉動地裝配於第一座體151,第一轉輪11及第二轉輪12為凸輪,其外環面具有漸開凸輪曲線;第二轉輪12位於第一轉輪11下方,第二轉輪12之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段及較低點曲弧段相異於第一轉輪11之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段及較低點曲弧段;又第一轉輪11與第二轉輪12可為一體成型或為二獨立元件
,於本實施例,第一轉輪11與第二轉輪12為一體成型。
第二轉動器設有第三轉輪13及第四轉輪14,第三轉輪13及第四轉輪14繞第二軸線L2轉動地裝配於第二座體152,第三轉輪13及第四轉輪14為凸輪
,其外環面具有漸開凸輪曲線;第四轉輪14位於第三轉輪13下方,第四轉輪14之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段及較低點曲弧段相異於第三轉輪13之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段及較低點曲弧段;又第三轉輪13與第四轉輪14可為一體成型或為二獨立元件,於本實施例,第三轉輪13與第四轉輪14為一體成型。然,第一轉動器及第二轉動器亦可不裝配於第一座體151或第二座體152,僅需連結驅動單元。
承載單元設有至少一載具,載具設有第一連動部件及第二連動部件,第一連動部件及第二連動部件由轉動器驅動位移;更進一步,載具之第一連動部件及第二連動部件貼接轉動器,以消除背隙;舉例第一連動部件及第二連動部件可貼接於轉動器之一轉輪的兩側,舉例第一連動部件貼接於轉動器之一轉輪,第二連動部件貼接於同一轉動器之另一轉輪;又承載單元可依作業需求而增減載具數量,舉例承載單元之至少一載具包含第一載具21,第一載具21作一線性方向(如X方向或Y方向)之自由度調整;舉例承載單元之至少一載具包含第一載具21及第二載具22,第一載具21及第二載具22作不同線性方向(如X方向及Y方向)之複數個自由度調整;舉例承載單元之至少一載具包含第一載具21
、第二載具22及第三載具23,第一載具21及第二載具22作不同線性方向(如X方向及Y方向)之複數個自由度調整,以及第三載具23作水平角度旋轉(如θ角度)之自由度調整。
第一連動部件及第二連動部件可為滾輪、凸塊、壁面、桿體或彈性元件;又第一連動部件及第二連動部件亦可具有可受壓變形之外環面,舉例滾輪之外部包覆軟性材質,使滾輪之外環面受力時而可內凹變形。舉例第二連動部件為彈性元件,彈性元件以供拉動載具反向位移。
於本實施例,承載單元之至少一載具包含第一載具21、第二載具22及第三載具23;第一載具21設有第一容置空間211,供穿置第一轉動器之第一轉輪11及第二轉輪12,第一容置空間211之二側沿第一方向(如Y方向)分別設有第一座塊212及第二座塊213,第一座塊212裝配一為滾輪之第一連動部件214,第一連動部件214位於第一轉輪11之一側,且第一連動部件214之外環面保持貼接第一轉輪11之外環面;第二座塊213裝配一為滾輪之第二連動部件215,第二連動部件215與第一連動部件214位於第一轉動器之不同側(如兩側),第二連動部件215位於第二轉輪12之一側,且第二連動部件215之外環面保持貼接第二轉輪12之外環面。又第一載具21設有第一通孔216,以供穿伸出第二轉動器之第三轉輪13及第四轉輪14;第一載具21於二側面設有讓位部217。然第一容置空間211沿第二方向(如X方向)設有第一座塊212及第二座塊213,亦無不可,僅是改變第一載具21之線性位移方向。
第二載具22可移動地裝配於第一載具21,並設有第三連動部件及第四連動部件,第三連動部件及第四連動部件由第二轉動器驅動位移;於本實施例,第二載具22與第一載具21下方之間設有呈第二方向(如X方向)配置之第一滑軌組221,第一滑軌組221之第一滑軌裝配於第一載具21,而第一滑座裝配於第二載具22,第二載具22利用第一滑軌組221於第一載具21下方作X方向位移;第二載具22設有第二容置空間222,供穿置第二轉動器之第三轉輪13及第四轉輪14,第二容置空間222之二側沿第二方向(如X方向)分別設有第三座塊223及第四座塊224,第三座塊223裝配一為滾輪之第三連動部件225,第三連動部件225位於第三轉輪13之一側,且第三連動部件225之外環面貼接第三轉輪13之外環面;另於第三座塊223遠離第二容置空間222之一側設有第一中介件226。然,第三連動部件225與第一中介件226依作業需求裝配於不同座塊,亦無不可。第四座塊224裝配一為滾輪之第四連動部件227,第四連動部件227與第三連動部件225位於第二轉動器之不同側,第四連動部件227貼接第四轉輪14;另於第四座塊224設有第二中介件228。
第三載具23裝配於第一載具21,並設有第五連動部件;於本實施例,第三載具23設有一為凹槽231之第五連動部件,第三載具23裝配於第一載具21之上方,並供裝配第一座體151及第二座體152,第三載具23與第一載具21之間設有呈第一方向(如Y方向)配置之第二滑軌組232,第二滑軌組232之第二滑軌裝配於第三載具23,而第二滑座裝配於第一載具21,使得第一載具21利用第二滑軌組232於第三載具23下方作Y方向位移;第三載具23於相對應第一載具21之第一容置空間211位置設有第二通孔233,以及於相對應第一載具21之第一通孔216位置設有第三通孔234;第三載具23於相對應第一載具21之讓位部217位置設有作第三方向(如Z方向)向下延伸之連接板235。
驅動單元設有至少一驅動器,以驅動該轉動器繞該軸線旋轉,令轉動器頂推載具之第一連動部件或第二連動部件位移,使載具作線性方向之自由度位移;更進一步,驅動器為壓電元件、馬達或包含馬達及諧波減速機,不受限於本實施例。再者,驅動單元可依作業需求而增減驅動器數量。
於本實施例,驅動單元包含承架31及至少一驅動器,至少一驅動器包含第一驅動器32、第二驅動器33及第三驅動器34;承架31可為機架或移動架,而作固定式或活動式配置;於本實施例,承架31為移動架,而作至少一方向位移;第一驅動器32裝配於承架31,並以第一轉軸321穿伸出第三載具23之第二通孔233,以連結驅動第一驅動器之第一轉輪11及第二轉輪12同步旋轉,第一轉輪11及第二轉輪12分別帶動第一載具21作Y方向正向位移及反向位移之自由度調整。
第二驅動器33裝配於承架31,並以第二轉軸331穿伸出第三載具23之第三通孔234及第一載具21之第一通孔216,以連結驅動第二驅動器之第三轉輪13及第四轉輪14同步旋轉,第三轉輪13及第四轉輪14分別帶動第二載具22作X方向正向位移及反向位移之自由度調整。
第三驅動器34裝配於承架31,並以偏心軸341驅動第三載具23之第五連動部件,使第三載具23作水平角度旋轉之自由度調整,而精確微調第一載具21、第二載具22及第三載具23之擺置角度;於本實施例,第三驅動器34之偏心軸341可旋轉地配置於第三載具23之凹槽231,利用偏心軸341之旋轉運動轉為帶動第三載具23、第一載具21及第二載具22作水平角度旋轉(如θ角度)之自由度調整。
至少一承裝具41,可移動地配置於載具;更進一步,承裝具41可移動地配置於第一載具21,第二載具22以第三連動部件225及第四連動部件227傳動承裝具41作同步位移,承裝具41供裝配作業件(圖未示出),以調整作業件之擺置位置及角度;於本實施例,承裝具41設有第三容置空間411,以供容置第二載具22,第三容置空間411於相對第一中介件226之一側面設有第一承推部4121,第一承推部4121貼接第一中介件226,另於第三容置空間411內且遠離第一承推部4121之相對另一側面設有第二承推部4122;又承裝具41與第一載具21之間配置呈第二方向(如X方向)之第三滑軌組413,第三滑軌組413之第三滑軌裝配於第一載具21,而第三滑座裝配於承裝具41,使得承裝具41利用第三滑軌組413於第一載具21下方作X方向位移。
再者,承裝具41於至少一側設有防壓損結構,防壓損結構於承裝具41之至少一側相對滑軌組之位置設有具適當間距之第一板體及第二板體,承裝具41於相鄰另一側延伸有立板,以傳導作用力,而避免滑軌組受力過當損害
,進而延長滑軌組的使用壽命及節省成本;舉例當立板連接第一載具21,承裝具41於承受作用力時,以立板將作用力傳導至第一載具21;當承裝具41之立板連接第三載具23時,亦可將作用力傳導至第三載具23。
於本實施例,承裝具41於二側設有防壓損結構,以一側之防壓損結構為例,防壓損結構於承裝具41相對第三滑軌組413之一側設有具適當間距之第一板體414及第二板體415,並以第一板體414連接第三滑軌組413,承裝具41於相鄰另一側延伸設有呈Z方向配置之立板416,立板416穿置於第一載具21之讓位部217,並貼接第三載具23之連接板235,由於第一板體414與第二板體415間具有間距而未作剛性連接,承裝具41於承受作用力時,可防止作用力直接傳導至第三滑軌組413,承裝具41以立板416將作用力傳導至第三載具23之連接板235
,以避免第三滑軌組413受力過當損害,進而延長第三滑軌組413的使用壽命及節省成本。
然,承裝具41之第一承推部4121依作業需求亦可直接貼接第二載具22之第三連動部件225,承裝具41之第二承推部4122依作業需求亦可直接貼接第二載具22之第四連動部件227,亦無不可。
請參閱圖6、8、9,欲微調承裝具41之Y方向擺置位置時,驅動單元以第一驅動器32之第一轉軸321驅動第一轉動器之第一轉輪11及第二轉輪12同步繞第一軸線L1旋轉,第一轉輪11以外環面之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段頂推第一載具21之第一連動部件214,將旋轉運動轉為線性位移,令第一連動部件214帶動第一載具21作Y方向位移,由於第二轉輪12外環面之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段及較低點曲弧段相異於第一轉輪11外環面之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段及較低點曲弧段,使得第二轉輪12以外環面之較低點曲弧段貼接第二連動部件215,並不會頂推第一載具21反向位移;第一載具21位移時,第二連動部件215與第一連動部件214分別保持貼接第二轉輪12及第一轉輪11,以消除背隙
,而提高第一載具21移動平穩性,第一載具21帶動第二載具22及承裝具41同步作Y方向正向位移之自由度調整,進而微調承裝具41之Y方向擺置位置。
微調承裝具41作Y方向反向位移時,驅動單元以第一驅動器32之第一轉軸321驅動第一轉輪11及第二轉輪12同步反向旋轉,第二轉輪12以外環面之較高點曲弧段頂推第二連動部件215,第二連動部件215帶動第一載具21作Y方向反向位移,由於第一轉輪11以外環面之較低點曲弧段貼接第一連動部件214,並不會頂推第一載具21正向位移,第一載具21帶動第二載具22及承裝具41同步作Y方向反向位移之自由度調整,進而微調承裝具41之Y方向擺置位置。
請參閱圖7、10、11,欲微調承裝具41之X方向擺置位置時,驅動單元以第二驅動器33之第二轉軸331驅動第二轉動器之第三轉輪13及第四轉輪14同步繞第二軸線L2旋轉,第三轉輪13以外環面之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段頂推第二載具22之第三連動部件225,將旋轉運動轉為線性位移,帶動第二載具22作X方向正向位移,第二載具22以第一中介件226頂推承裝具41之第一承推部4121,由於第四轉輪14之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段及較低點曲弧段相異於第三轉輪13之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段及較低點曲弧段,使得第四轉輪14以凸輪面之較低點曲弧段貼接第四連動部件227,並不會頂推第二載具22反向位移;第二載具22位移時,第四連動部件227與第三連動部件225分別保持貼接第四轉輪14及第三轉輪13,以消除背隙,而提高第二載具22移動平穩性,第二載具22帶動承裝具41同步作X方向正向位移之自由度調整,進而微調承裝具41之X方向擺置位置。
於微調承裝具41作X方向反向位移時,驅動單元以第二驅動器33之第二轉軸331驅動第二轉動器之第三轉輪13及第四轉輪14同步反向旋轉,第四轉輪14以外環面之漸開凸輪曲線的較高點曲弧段頂推第四連動部件227,第四連動部件227帶動第二載具22作X方向反向位移,第二載具22以第二中介件228頂推承裝具41之第二承推部4122,由於第三轉輪13之外環面以較低點曲弧段貼接第三連動部件225,並不會頂推第二載具22正向位移,第二載具22帶動承裝具41同步作X方向反向位移之自由度調整,進而微調承裝具41之X方向擺置位置。
請參閱圖2、12,欲微調承裝具41之水平角度(如θ角度)時,驅動單元以第三驅動器34驅動偏心軸341旋轉運動,偏心軸341於第三載具23之凹槽231作旋轉運動,並將旋轉運動轉為水平角度旋轉,以頂推帶動第三載具23作θ角度水平角度旋轉,由於第一載具21、第二載具22及承裝具41連結裝配於第三載具23之下方,使得第三載具23帶動第一載具21、第二載具22及承裝具41同步作θ角度水平角度旋轉之自由度調整,進而微調承裝具41之擺置角度。
載具機構可應用於作業設備,並依作業需求,而於承載單元之載具或承裝具41裝配至少一作業件,作業件可為拾取器、下壓治具、壓移件、載台或預溫盤等,不受限於本實施例;載具機構可微調作業件之擺置位置或角度
。以圖13為例,載具機構於承裝具41裝配一為拾取器51之作業件,使拾取器51作X-Y方向位移及θ角度水平角度旋轉之複數個自由度調整,使拾取器51移載之電子元件(圖未示出)的接點精確對位測試座(圖未示出)之探針,進而提高作業品質。再者,以圖14為例,載具機構可整組向上翻轉,以承裝具41供裝配一為載台52之作業件,使載台52作X-Y方向位移及θ角度水平角度旋轉之複數個自由度調整,以供另一為吸嘴之作業件(圖未示出)準確取放電子元件。
請參閱圖1~12、15,本發明應用於電子元件作業設備,作業設備包含機台61、供料裝置62、收料裝置63、具本發明載具機構之作業裝置64及中央控制裝置(圖未示出),更包含輸送裝置65;供料裝置62裝配於機台61,並設有至少一供料承置器621,以容納至少一待作業之電子元件;收料裝置63裝配於機台61,並設有至少一收料承置器631,以容納至少一已作業之電子元件;作業裝置64裝配於機台61,並包含至少一作業件及本發明載具機構,作業件裝配於載具機構,以供對電子元件執行預設作業(如壓移作業或載送作業等);於本實施例,作業裝置64為測試裝置,更包含測試器,以供承置及測試電子元件,測試器包含電性連接之電路板641及具探針之測試座642,測試座642以供測試電子元件,本發明載具機構裝配於搬運器643,搬運器643帶動整組載具機構作Y-Z方向位移,載具機構之承裝具41供裝配為壓移件644之作業件,以供執行移載及壓接電子元件之作業;又作業裝置64更包含溫控機構及測試室645,溫控機構於作業件設置至少一溫控件,測試室645罩置於測試器之外部;於本實施例,作業裝置64於測試座642之外部設置測試室645,於冷測作業時,以流體輸送管輸送乾燥空氣至測試室645,溫控機構於壓移器644設有溫控件,以供溫控電子元件
,使電子元件於模擬日後使用環境溫度下執行測試作業。然依作業需求,於熱測作業時,測試室645內可配置鼓風機,以供吹送熱風,使測試室645之內部升溫,亦無不可。輸送裝置65裝配於機台61,並設有至少一輸送器,以輸送電子元件,於本實施例,輸送裝置65設有第一輸送器651,以於供料裝置62之供料承置器621取出待測之電子元件,並移載至一為入料載台652之第二輸送器,入料載台652將待測之電子元件載送至作業裝置64之側方;然依作業需求,於不同實施例,入料載台652可搭配壓移器644之作動路徑,將待測之電子元件載送至壓移器644之下方,亦無不可。作業裝置64以搬運器643驅動本發明載具機構及壓移件644作Y-Z方向位移,令壓移件644於入料載台652取出待測之電子元件,並以本發明載具機構微調壓移件644之擺置位移及角度,使壓移件644準確將電子元件移入測試座642,並令電子元件之接點精準對位測試座642之探針而執行測試作業,以及搬運器643驅動壓移件644將已測電子元件移載至一為出料載台653之第三輸送器,出料載台653載出已測之電子元件,輸送裝置65之第四輸送器654於出料載台653取出已測之電子元件,並依據測試結果,將已測之電子元件輸送至收料裝置63之收料承置器631處而分類收置;中央控制裝置係用以控制及整合各裝置作動,以執行自動化作業,達到提升作業效能之實用效益。
11:第一轉輪
12:第二轉輪
13:第三轉輪
14:第四轉輪
151:第一座體
152:第二座體
L1:第一軸線
L2:第二軸線
21:第一載具
211:第一容置空間
212:第一座塊
213:第二座塊
214:第一連動部件
215:第二連動部件
216:第一通孔
217:讓位部
22:第二載具
221:第一滑軌組
222:第二容置空間
223:第三座塊
224:第四座塊
225:第三連動部件
226:第一中介件
227:第四連動部件
228:第二中介件
23:第三載具
231:凹槽
232:第二滑軌組
233:第二通孔
234:第三通孔
235:連接板
31:承架
32:第一驅動器
321:第一轉軸
33:第二驅動器
331:第二轉軸
34:第三驅動器
341:偏心軸
41:承裝具
411:第三容置空間
4121:第一承推部
4122:第二承推部
413:第三滑軌組
414:第一板體
415:第二板體
416:立板
51:拾取器
52:載台
61:機台
62:供料裝置
621:供料承置器
63:收料裝置
631:收料承置器
64:作業裝置
641:電路板
642:測試座
643:搬運器
644:壓移件
645:測試室
65:輸送裝置
651:第一輸送器
652:入料載台
653:出料載台
654:第四輸送器
圖1:本發明載具機構之外觀圖。
圖2:本發明載具機構之零件分解圖。
圖3:係圖2之局部示意圖。
圖4:本發明載具機構之局部俯視圖。
圖5:本發明載具機構之另一局部俯視圖。
圖6:本發明載具機構之組裝剖視圖。
圖7:本發明載具機構之另一方向組裝剖視圖。
圖8:本發明載具機構作第一方向位移調整之使用示意圖。
圖9:本發明載具機構作第一方向反向位移調整之使用示意圖。
圖10:本發明載具機構作第二方向位移調整之使用示意圖。
圖11:本發明載具機構作第二方向反向位移調整之使用示意圖。
圖12:本發明載具機構作水平角度調整之使用示意圖。
圖13:本發明載具機構裝配吸嘴之使用示意圖。
圖14:本發明載具機構裝配載台之使用示意圖。
圖15:本發明載具機構應用於作業設備之示意圖。
11:第一轉輪
12:第二轉輪
13:第三轉輪
14:第四轉輪
21:第一載具
211:第一容置空間
214:第一連動部件
215:第二連動部件
216:第一通孔
217:讓位部
22:第二載具
222:第二容置空間
223:第三座塊
224:第四座塊
225:第三連動部件
226:第一中介件
227:第四連動部件
228:第二中介件
321:第一轉軸
331:第二轉軸
41:承裝具
411:第三容置空間
4121:第一承推部
4122:第二承推部
Claims (21)
- 一種載具機構,包含:至少一轉動器:設有可繞軸線旋轉之至少一轉輪;承載單元:設有至少一載具,該載具設有第一連動部件及第二連動部件,該第一連動部件及該第二連動部件以供該轉動器之該至少一轉輪帶動位移;驅動單元:設有至少一驅動器,以驅動該轉動器繞該軸線轉動,而供該轉動器帶動該載具作至少一方向之自由度調整。
- 如請求項1所述之載具機構,其該至少一轉輪包含複數個轉輪,該載具的該第一連動部件及該第二連動部件以供該複數個轉輪帶動位移。
- 如請求項1所述之載具機構,其中:該至少一轉動器:包含第一轉動器,該第一轉動器設有可繞第一軸線旋轉之該至少一轉輪;該承載單元:該至少一載具包含第一載具,該第一載具設有該第一連動部件及該第二連動部件,該第一連動部件及該第二連動部件以供該第一轉動器之該至少一轉輪帶動位移;該驅動單元:該至少一驅動器包含第一驅動器,而驅動該第一轉動器轉動,以供該第一轉動器傳動該第一載具作一自由度之調整。
- 如請求項3所述之載具機構,其該第一連動部件之外環面及該第二連動部件之外環面貼接該第一轉動器之該至少一轉輪的外環面。
- 如請求項3所述之載具機構,其該承載單元設有第三載具,該第三載具裝配於該第一載具,並設有第五連動部件,該驅動單元設有第三驅動器, 該第三驅動器以偏心軸驅動該第三載具之該第五連動部件轉動,以供帶動該第三載具作水平角度旋轉之自由度調整。
- 如請求項3所述之載具機構,其中:該至少一轉動器:包含該第一轉動器及第二轉動器,該第一轉動器設有可繞該第一軸線旋轉之該至少一轉輪,該第二轉動器設有可繞第二軸線旋轉之至少另一轉輪;該承載單元:該至少一載具包含該第一載具及第二載具,該第一載具設有該第一連動部件及該第二連動部件,該第一連動部件及該第二連動部件以供該第一轉動器之該至少一轉輪帶動位移,該第二載具可移動地裝配於該第一載具,並設有第三連動部件及第四連動部件,該第三連動部件及該第四連動部件以供該第二轉動器之該至少另一轉輪帶動位移;該驅動單元:該至少一驅動器包含該第一驅動器及第二驅動器,而分別驅動該第一轉動器及該第二轉動器轉動,以供該第一轉動器及該第二轉動器帶動該第一載具及該第二載具作複數個自由度之調整。
- 如請求項6所述之載具機構,其該第一轉動器之該至少一轉輪包含第一轉輪及第二轉輪,該第一轉輪及該第二轉輪繞該第一軸線轉動,該第二轉動器之該至少另一轉輪包含第三轉輪及第四轉輪,該第三轉輪及該第四轉輪繞該第二軸線轉動,該第一載具之該第一連動部件位於該第一轉輪之一側,以及該第二連動部件位於該第二轉輪之另一側,該第二載具之該第三連動部件位於該第三轉輪之一側,以及該第四連動部件位於該第四轉輪之另一側。
- 如請求項7所述之載具機構,其該第一連動部件之外環面貼接該第一轉輪之外環面,以及該第二連動部件之外環面貼接該第二轉輪之外環面,該 第三連動部件之外環面貼接該第三轉輪之外環面,以及該第四連動部件之外環面貼接該第四轉輪之外環面。
- 如請求項6所述之載具機構,其該第一載具設有第一容置空間,供穿置該第一轉動器,該第一容置空間之二側裝配該第一連動部件及該第二連動部件,該第一載具另設有第一通孔,供穿伸出該第二轉動器。
- 如請求項6所述之載具機構,其該第一載具與該第二載具之間設有呈第二方向配置之第一滑軌組,該第二載具設有第二容置空間,供穿置該第二轉動器,該第二容置空間之二側裝配該第三連動部件及該第四連動部件。
- 如請求項6所述之載具機構,其該驅動單元設有承架,該承架供裝配該第一驅動器及該第二驅動器。
- 如請求項6所述之載具機構,其該承載單元設有第三載具,該第三載具裝配於該第一載具,並設有第五連動部件,該驅動單元設有第三驅動器,該第三驅動器以偏心軸驅動該第三載具之該第五連動部件轉動,以供帶動該第三載具作水平角度旋轉之自由度調整。
- 如請求項12所述之載具機構,其該第三載具與該第一載具之間設有呈第一方向配置之第二滑軌組。
- 如請求項6或請求項12所述之載具機構,更包含至少一承裝具,該承裝具可移動地配置於該第一載具,該第二載具以該第三連動部件及該第四連動部件傳動該承裝具作同步位移。
- 如請求項14所述之載具機構,其該第一載具與該承裝具之間配置有第三滑軌組,該承裝具於至少一側設有防壓損結構,該防壓損結構於該承裝具一側相對該第三滑軌組之位置設有具適當間距之第一板體及第二板體,該承裝具於相鄰另一側延伸有立板。
- 如請求項14所述之載具機構,其該第二載具之該第三連動部件與該承裝具之間設有第一中介件。
- 如請求項14所述之載具機構,其該第二載具之該第四連動部件與該承裝具之間設有第二中介件。
- 如請求項1至13中任一項所述之載具機構,其該第一連動部件及該第二連動部件具有可受壓變形之外環面。
- 一種作業設備,包含:機台;供料裝置:配置於該機台,並設有至少一容納待作業電子元件之供料承置器;收料裝置:配置於該機台,並設有至少一容納已作業電子元件之收料承置器;作業裝置:配置於該機台,並設有至少一作業件及至少一如請求項1至13中任一項所述之載具機構,該作業件裝配於該載具機構,以供對電子元件執行預設作業;輸送裝置:配置於該機台,並設有至少一輸送器,以輸送電子元件;中央控制裝置:以供控制及整合各裝置作動。
- 如請求項19所述之作業設備,其該作業裝置更包含溫控機構,該溫控機構於該作業件設置至少一溫控件。
- 如請求項19所述之作業設備,其該作業裝置更包含至少一測試器及測試室,該測試器以供測試電子元件,該測試室罩置於測試器之外部。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW110104731A TWI767556B (zh) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 載具機構及其應用之作業設備 |
US17/382,490 US11988705B2 (en) | 2021-02-08 | 2021-07-22 | Carrier mechanism and processing equipment including the carrier mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW110104731A TWI767556B (zh) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 載具機構及其應用之作業設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWI767556B true TWI767556B (zh) | 2022-06-11 |
TW202231557A TW202231557A (zh) | 2022-08-16 |
Family
ID=82704535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW110104731A TWI767556B (zh) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 載具機構及其應用之作業設備 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11988705B2 (zh) |
TW (1) | TWI767556B (zh) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
US11988705B2 (en) | 2024-05-21 |
US20220252659A1 (en) | 2022-08-11 |
TW202231557A (zh) | 2022-08-16 |
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