TWI705248B - 探針驅動方法及裝置 - Google Patents

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TWI705248B
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Abstract

本發明提供一種探針驅動方法及裝置，該驅動方法係：提供一第一座架，其上設有一微動機構，該微動機構設有一固定件固設於該第一座架，一第一簧片及一第二簧片一端固設於該固定件，該微動機構設有一聯結件被該第一簧片及一第二簧片另一端所固設；提供一探針機構，該探針機構設有探針在一探針座上，並被該聯結件連動；該聯結件被驅動以連動該探針機構的該探針位移；藉此使高頻率的檢測作業可以被執行。

Description

探針驅動方法及裝置
本發明係有關於一種驅動方法及裝置，尤指一種對電子元件進行測試或分選時，用以對電子元件電性接觸之探針進行驅動的探針驅動方法及裝置。
按，一般對例如LED發光二極體的電子元件進行測試，常使用探針接觸電子元件的正負極，以進行電性導通與否來判定該電子元件的搬送方向是否正確，或用以作電流導通來進行該電子元件的例如光譜等之物理特性量測，此類測試基於效率的需求，常被要求以高速的搬送配合高頻率的往復探針接觸來進行；先前技術在對探針的驅動上常採用使一槓桿一端連動探針，該槓桿的另一端被樞設固定作為支點，並以電磁體驅動該槓桿朝一方向位移，另配合一彈性件作反向回復彈回，如此來使往復的驅動被不斷的進行，使探針不斷地作上、下往復接觸或鬆離電子元件的電極，以達成測試的目地。
該先前技術雖為一般慣用的探針驅動手法，但由於單純的電磁鐵驅動槓桿的方式，其反應的靈敏度仍不足以達成目前要求的高速、高頻率操作，探求其因乃槓桿一端連動探針，另一端被樞設作為支點，該槓桿一端樞設而造成的可旋擺之自由度使另一端承載的探針重量及槓桿本身的重量變成是電磁鐵驅動時的負荷，讓電磁鐵驅動上因負荷較重而無法作出靈敏的反應，尤其在因應產品多元的屬性下，探針的種類亦變得多種， 在遇到探針的體積及重量都較大時，電磁鐵驅動時所承受的負荷更使探針無法作出靈敏的反應，故在被要求往更高速、高頻率操作時，維持該先前技術的驅動方法實欠缺可以提昇高速、高頻率操作的空間。
爰是，本發明的目的，在於提供一種可以增加探針驅動之靈敏度的探針驅動方法。
本發明的另一目的，在於提供一種可以增加探針驅動之靈敏度的探針驅動裝置
本發明的又一目的，在於提供一種使用如所述探針驅動方法之裝置。
依據本發明目的之探針驅動方法，包括：提供一第一座架，其上設有一微動機構，該微動機構設有一固定件固設於該第一座架，一第一簧片及一第二簧片一端固設於該固定件，該微動機構設有一聯結件被該第一簧片及一第二簧片另一端所固設；提供一探針機構，該探針機構設有探針在一探針座上，並被該聯結件連動；該聯結件被驅動以連動該探針機構的該探針位移。
依據本發明另一目的之探針驅動裝置，包括：一座架，設有一第一座架及一第二座架；一微動機構，設有一第一簧片及一第二簧片；該第一簧片一端的一第一固定部與該第二簧片相對應一端的一第二固定部分別各固設於一固定件的上、下兩端；該第一簧片另一端的一第一微動部與該第二簧片另一端相對應的一第二微動部分別各固設於一聯結件的上、下兩端；該微動機構以該固定件固設於該第一座架上；一驅動機構，設於該第二座架上，該驅動機構設有一電磁鐵，該電磁鐵中設有一軸桿，該軸桿可受該電磁鐵作用連動該微動機構的該聯結件；一探針機構，設有與該微動機構的該聯結件連動的探針座，複數支的探針設於該探針座。
依據本發明又一目的之探針驅動裝置，包括
Figure 108105188-A0305-02-0005-1
用以執行如所述探針驅動方法的裝置，該裝置包括：供該微動機構固設的該第一座架、設有與該微動機構連動之該探針座的該探針機構。
本發明實施例之探針驅動方法及裝置，由於該聯結件被固設於該固定件的該第一簧片及該第二簧片一端所固設，並以該聯結件被該驅動機構所驅動，及使該探針機構的該探針在該探針座上，被以該固定件固設於該第一座架上的該微動機構的該聯結件連動；藉此該探針、探針座、及該聯結件加於該第二簧片之重量的力矩被該第一簧片所形成拉持的力矩所平衡，該驅動機構可在無須過度承擔該探針、探針座、及該聯結件重量下，僅藉由些微的施力即可驅動該聯結件連動該探針座、探針上下位移，使高頻率的檢測作業可以被執行。
A:作業台
A1:輸送槽道
B:第一載盤
B1:載槽
B2:限位件
C:入料工作站
D:量測工作站
E:轉接工作站
F:第一排料工作站
G:第二載盤
G1:載槽
G2:限位件
H:第二排料工作站
K:探針驅動裝置
K1:座架
K11:第一座架
K111:側座架
K1111:第一凸肋
K1112:第二凸肋
K112:臥座架
K1121:操作端
K1122:探針位移區間
K1123:止動部
K12:第二座架
K121:固定架
K1211:第二嵌槽
K1212:第三嵌槽
K122:上固定架
K1221:固定部
K1222:壓夾部
K1223:第三凸肋
K123:下固定架
K1231:第二微調件
K124:第一微調件
K13:微動區間
K2:微動機構
K21:第一簧片
K211:第一固定部
K212:第一微動部
K213:第一鏤孔
K22:第二簧片
K221:第二固定部
K222:第二微動部
K223:第二鏤孔
K23:固定件
K231:第一握臂
K232:第一間距
K233:第一定位
K234:第二定位
K235:第一嵌槽
K24:聯結件
K241:第二握臂
K242:第二間距
K243:連動部
K244:擋抵部
K2441:頂部表面
K2442:墊件
K245:第三間距
K246:第四間距
K247:第一聯結部
K248:第二聯結部
K25:操作區間
K26:彈性件
K27:圍座
K3:驅動機構
K31:電磁鐵
K32:軸桿
K321:樞設端
K322:連動端
K33:磁動部
K34:緩衝墊
K35:微動間距
K4:探針機構
K41:探針座
K42:連接件
K421:上限位間距
K422:扶持座
K423:剖槽
K43:鉆座
K431:樞設端
K432:鏤空孔
K433:凹槽
K434:鉆塊
K435:針孔
K44:探針
K441:針部
K5:感測件
K51:感測器
K6:探針機構
K61:探針座
K611:軌座
K62:探針
K621:探針桿
K622:探針片
K623:針部
K63:桿架
K631:探針微調件
K64:鉆塊
K641:針槽
K642:第一鉆部
K643:第二鉆部
K65:感測件
K66:感應器
W:電子元件
d1:第一隔距
d2:第二隔距
d3:第三隔距
L1:第一軸線
L2:第二軸線
圖1係該探針驅動裝置第一實施例中該分選機之部份機構立體示意圖。
圖2係該探針驅動裝置第一實施例中該探針驅動裝置之立體示意圖。
圖3係該探針驅動裝置第一實施例中該探針驅動裝置一側面之示意圖。
圖4係該探針驅動裝置第一實施例中該探針驅動裝置另一側面之示意圖。
圖5係該探針驅動裝置第一實施例中該微動機構一側面之示意圖。
圖6係該探針驅動裝置第一實施例中該微動機構、該第二座架與該第一座架之側架間組裝之立體分解示意圖。
圖7係該探針驅動裝置第一實施例中該微動機構之第一簧片與其他構件之立體分解示意圖。
圖8係該探針驅動裝置第一實施例中之驅動裝置安裝於該載盤下方之示意圖。
圖9係該探針驅動裝置第二實施例中該探針驅動裝置之立體示意圖。
圖10係該探針驅動裝置第二實施例中該探針驅動裝置一側面之示意圖。
圖11係該探針驅動裝置第二實施例中該探針驅動裝置另一側面之示意圖。
請參閱圖1，本發明實施例以如圖所示進行LED發光二極體之電子元件分選機為例，該分選機設有包括：一作業台A，設有一輸送槽道A1輸送由振動送料機(圖未示)整列傳送的電子元件之待測物W；一第一載盤B，設於該作業台A上，並以一第一間歇性旋轉流路進行待測物W搬送，該第一載盤B周緣環列佈設等間距且設有朝外開口之鏤空的載槽B1，該環列佈設之載槽B1外周設有一限位件B2，以防止被旋轉搬送的待測物W受離心力拋出；該第一載盤B形成順時針之第一間歇性旋轉流路並承收自該輸送槽道A1輸入之待測物W，該第一間歇性旋轉流路上依旋轉方向依序設有一入料工作站C、一量測工作站D、一轉接工作站E與一第一排料工作站F；一第二載盤G，設於該作業台A上，並以一第二間歇性旋轉流路進行搬送，該第二載盤G周緣環列佈設等間距且設有朝外開口之鏤空的載槽G1，該環列佈設之載槽B1外周設有一限位件G2，以防止被旋轉搬送的電子元件受離心力拋出；該第二載盤G與該第一載盤B鄰近，並形成順時針之第二間歇性旋轉流路以進行待測物W搬送；該第二間歇性旋轉流路上設有複數個第二排料工作站H各自對應各載槽G1(在本發明實施例中設有二十個第二排料工作站H對應二十個載槽G1，圖式僅以一個第二排料工作站H示意)；該第一載盤B、該第二載盤G間以該轉接工作站E形成搬送流路的連接，其可為一通道或以吸附搬送方式傳遞待測物W於該第一載盤B之載槽B1及該 第二載盤G之載槽G1間的傳送機構；該第一間歇性旋轉流路以該轉接工作站E為界分成前段與後段，該第一排料工作站F設於該第一間歇性旋轉流路之後段，如此可避開該第一間歇性旋轉流路前段上各工作站之干涉；該第一載盤B之第一間歇性旋轉流路在該轉接工作站E處形成二個相分叉的流路，當待測物W經該量測工作站D進行量測的結果為屬於落料頻率較高的待測物W時，該待測物W被搬送到達該轉接工作站E處時，將由該第一載盤B的第一間歇性旋轉流路自水平徑向排出，並經該轉接工作站E，再以水平徑向進入該第二載盤G的第二間歇性旋轉流路的該載槽G1被搬送，並依量測結果由該載槽G1預設之該第二排料工作站H排出該第二載盤G的第二間歇性旋轉流路；當電子元件經該量測工作站D進行量測之結果為屬於落料頻率較低的待測物W時，該待測物W被搬送到達該轉接工作站E處時，將續循該第一載盤B的第一間歇性旋轉流路被搬送越過該轉接工作站E，而到達該第一排料工作站F，並由該第一排料工作站F排出該第一載盤B的第一間歇性旋轉流路。
請參閱圖1、2，本發明實施例之探針驅動裝置K設於該量測工作站D處，並位於該第一載盤B之該載槽B1下方，用以對該載槽B1中的待測物W進行檢測。
請參閱圖2、3，該探針驅動裝置K之第一實施例設有：一座架K1，設有可作上、下相對位移的一第一座架K11及一第二座架K12，該第一座架K11設有位於Y軸向立設的一側座架K111及位於水平X軸向的一臥座架K112，二者各以對應的一端相固設呈一"﹁"狀，該臥座架K112相對於與該側座架K111固設的另一操作端K1121向一側凹設一鏤空之探針位移區間K1122；該第二座架K12設有位於Y軸向立設的一固定架K121及相對位於上方呈水平X軸向的一上固定架K122、相對位於下方呈水 平X軸向的一下固定架K123；該上固定架K122呈一"﹁"狀並設有位於Y軸向立設的一固定部K1221及位於水平X軸向的一壓夾部K1222，並以該固定部K1221可上下滑動位移地設於該固定架K121一側上，該下固定架K123則以一側固設於該固定架K121下端；整體該第二座架K12並以該固定架K121固定於該第一座架K11的該側座架K111一側上，該第二座架K12的該上固定架K122與該第一座架K11的該臥座架K112間保持一間距並形成一微動區間K13；一微動機構K2，設於該微動區間K13之該第一座架K11的該側座架K111上；該微動機構K2設有水平設置並相隔間距、相互平行的一第一簧片K21及一第二簧片K22；該第一簧片K21一端的一第一固定部K211與該第二簧片K22相對應一端的一第二固定部K221分別各固設於一固定件K23的上、下兩端；該第一簧片K21另一端的一第一微動部K212與該第二簧片K22另一端相對應的一第二微動部K222分別各固設於一聯結件K24的上、下兩端，該第一簧片K21、第二簧片K22、固定件K23、聯結件K24間圍設出一矩形的操作區間K25；該固定件K23由該操作區間K25的一側朝該聯結件K24水平伸設相對位於上方的一第一握臂K231，該第一握臂K231上方與該第一簧片K21間保持一第一間距K232，該聯結件K24由該操作區間K25的一側朝該固定件K23水平伸設相對位於該第一握臂K231下方的一第二握臂K241，該第二握臂K241下方與該第二簧片K22保持一第二間距K242；該操作區間K25中設有一彈簧構成的彈性件K26，該彈性件K26以Y軸向撐設於該第一握臂K231與該第二握臂K241間；該聯結件K24於相對該操作區間K25的另一側水平伸設一連動部K243；該聯結件K24於由該操作區間K25的一側朝該固定件K23水平伸設位於該第一簧片K21下方的一擋抵部K244，該擋抵部K244之頂部表面K2441與該第一簧片K21保持一第三間距K245， 該臥座架K112下方設有一止動部K1123，該止動部K1123下伸經該第一簧片K21而其底端與該擋抵部K244之頂部表面K2441保持一第四間距K246；其中，該第一間距K232、第二間距K242、第三間距K245用以避免該第一簧片K21或第二簧片K22碰撞而提供該第一簧片K21或第二簧片K22之該第一微動部K212或該第二微動部K222彈性上、下擺移之空間；該第四間距K246用以擋抵該擋抵部K244以防止該聯結件K24在故障時被過度上推；一驅動機構K3，設於該第二座架K12上的該上固定架K122之該壓夾部K1222與該下固定架K123間，並固設於該壓夾部K1222上，本發明實施例中，該驅動機構K3設有一電磁鐵K31，該電磁鐵K31中設有一Z軸向的軸桿K32，該軸桿K32上設有一可受的該電磁鐵K31電磁吸附作向上並連動該軸桿K32位移的盤狀之磁動部K33，該軸桿K32位於靠近該磁動部K33的一樞設端K321其朝下穿經該下固定架K123，該軸桿K32位於相對該磁動部K33相反的另一連動端K322朝上穿經該上固定架K122之該壓夾部K1222，且同時穿經該微動機構K2的該第二簧片K22，並上頂觸及該第二握臂K241下底部，而與該第二握臂K241及聯結件K24上、下連動；該磁動部K33與該下固定架K123間設有撓性體構成的一緩衝墊K34，可降低該磁動部K33與該下固定架K123間碰撞之噪音；該磁動部K33與該驅動機構K3的該電磁鐵K31底部間設有一微動間距K35，該微動間距K35藉該上固定架K122的該固定部K1221與該固定架K121間螺設的一第一微調件K124，以調整該壓夾部K1222下抵程度而行微調；一探針機構K4，設有與該微動機構K2之聯結件K24的連動部K241相固設連動的水平設置之探針座K41，該臥座架K112的該操作端K1121以Z軸向向下設有一連接件K42，該連接件K42底端與該探針座K41一側保持一上限位間距K421，該連接件K42朝該聯結件K24的一側設有一扶持座K422，該 扶持座K422並設有一側呈開槽狀的複數個剖槽K423；一鉆座K43設於該第一座架K11之該臥座架K112的上方，該鉆座K43一樞設端K431伸設並懸空地位於該探針位移區間K1122上方，該樞設端K431由下側往上凹設，並設有一鏤空孔K432，該鏤空孔K432上方設有一由上往下凹設之一凹槽K433，該凹槽K433底部與該鏤空孔K432相通，該凹槽K433中設有一鉆塊K434，該鉆塊K434設有複數個與該鏤空孔K432相通相通之針孔K435；複數支的探針K44設於該探針座K41，各探針K44各以其針部K441樞經該扶持座K422上的該剖槽K423，並伸經該探針K44位移區間K1122而穿樞於該鉆塊K434上所分別各自對應的該針孔K435中；該上限位間距K421限制該探針座K41載置複數支的該探針K44上頂的行程。
請參閱圖3、4，與該第二簧片K22之第二微動部K222固設的該聯結件K24下端同時固設有片狀的一感測件K5，該感測件K5與該聯結件K24連動，該感測件K5的上下位移受一感應器K51所感應，以依據該探針K44上下位移所感應的資訊傳遞一執行下一程序的控制訊號。
請參閱圖5，該微動機構K2的該第一簧片K21，呈長方形薄片狀，為金屬材質且具有彈性，其片狀表面設有在X軸向分設兩側而相隔一第一隔距d1的該第一固定部K211及該第一微動部K212；該第二簧片K22，呈長方形薄片狀，為金屬材質且具有彈性，其片狀表面設有在X軸向分設兩側而相隔一第二隔距d2的該第二固定部K221及該第二微動部K222；該第一簧片K21的第一隔距d1與該第二簧片K22的第二隔距d2約略相等；該第一簧片K21、第二簧片K22的厚度及材質、彈性係數相同；該固定件K23，設有在Z軸向上、下相隔一第三隔距d3並位於上方的一第一定位K233及位於下方的一第二定位K234，該第一簧片K21以該第一固定部K211固設於該固定件K23的該第一定位K233，該第二簧片K22以該第二固定部K221固 設於該固定件K23的該第二定位K234，固設於該固定件K23上的該第一簧片K21與該第二簧片K22相互平行；該聯結件K24，設有在Z軸向上、下相隔一第四隔距d4的一第一聯結部K247及一第二聯結部K248，該第一簧片K21以該第一微動部K212與該聯結件K24的該第一聯結部K247聯結固定，該第二簧片K22以該第二微動部A2122與該聯結件K24的該第二聯結部K248聯結固定，該固定件K23的第一定位K233及一第二定位K234連成的第一軸線L1與該聯結件K24上的該第一聯結部K247及一第二聯結部K248連成的第二軸線L2相互平行；該固定件K23的該第三隔距d3與該聯結件K24的該第四隔距d4約略相等；該第一簧片K21、第二簧片K22與該第一軸線L1、第二軸線L2呈垂直；該第一簧片K21、第二簧片K22、固定件K23、聯結件K24圍設形成一矩形的框體；該框體以固定件K23作為固定側，該聯結件K24所形成的另一側藉由該第一簧片K21、第二簧片K22的彈性而可在受力後進行上、下微動。
請參閱圖3、6，該微動機構K2的該第一簧片K21於對應該擋抵部K244之頂部表面K2441處設有一第一鏤孔K213，該第一鏤孔K213供該止動部K1123穿經；該第二簧片K22於對應該第二握臂K241之底面處設有一第二鏤孔K223，該第二鏤孔K223供該驅動機構K3的軸桿K32穿經；第二座架K12之該側座架K111一側設有位於上方呈Z軸向長條凸設狀之一第一凸肋K1111及位於下方與該第一凸肋K1111相隔間距的一第二凸肋K1112；該微動機構K2的該固定件K23一側設有一Z軸向的長條凹設狀之第一嵌槽K235，該第一嵌槽K235在該微動機構K2以該固定件K23與該側座架K111固設時供該第一凸肋K1111嵌設其中以進行定位；該第二座架K12的該固定架K121側設有一Z軸向的長條凹設狀之第二嵌槽K1211，該第一嵌槽K1211在該第二座架K12以該固定架K121與該側座架K111固設時供該第二凸肋K1112嵌設其中以進行定位； 該固定架K121用以與該上固定架K122固設的一側設有一Z軸向長條凹設狀之第三嵌槽K1212，該上固定架K122之固定部K1221與該第三嵌槽K1212對應處設有Z軸向長條凸設狀之一第三凸肋K1223；該第二座架K12之下固定架K123一端設有一微調件K1231朝該側座架K111底部螺設，該第二微調件1231微調該第二座架K12整體可作上下位移。
請參閱圖5、7，該微動機構K2供該第一簧片K21的該第一固定部K211固設的該固定件K23之該第一定位K233外周圍、供該第二簧片K22的該第二固定部K221固設的該固定件K23之該第二定位K234外周圍、供該第一簧片K21的該第一微動部K212固設的該聯結件K24的該第一聯結部K247外周圍、供該第二簧片K22的該第二微動部K222固設的該聯結件K24的該第二聯結部K248外周圍等，分別各受一凸設於第一簧片K21或該第二簧片K22水平高度的圍座K27所圍設。
請參閱圖4、8，本發明實施例中，該探針驅動裝置K被安裝時，該鉆座K43被對應設於該量測工作站D之該第一載盤B下方，在進行檢測時，該第一載盤B間歇停止，使該鉆座K43的該樞設端K431上的該鉆塊K434中之各針孔K435位於對應於該載槽B1下方，用以對該載槽B1中的待測物W進行檢測；檢測時，該第二座架K12中的該驅動機構K3的該電磁鐵K31以電磁感應吸附該磁動部K33，以連動該軸桿K32上頂該微動機構K2的該聯結件K24伸設的該第二握臂K241，藉以連動該聯結件K24、連動部K243，該電磁鐵K31之該軸桿K32作用力使該第一簧片K21的該第一微動部K212及該第二簧片K22的該第二微動部K222克服彈性呈朝上弧彎，並蓄積回復力，並且使該彈性件K26被壓縮也同時蓄積回復力，同時使該探針機構K4的該探針座K41被連動而載置複數支的該探針K44同步上頂，並以各針部K441樞經分別各自對應的該鉆塊K434中之各針孔K435，以對載槽B1中的待測物W進行 檢測；該上限位間距K421限定了該探針K44上頂的行程長度，該探針K44在該探針座K41上移觸及該連接件K42時完成檢測，此時該感測件K5同時受該感應器K51所感應，並傳遞一訊號使該驅動機構K3的該電磁鐵K31的電磁感應取消吸附該磁動部K33，使該軸桿K32被該第一簧片K21的該第一微動部K212及該第二簧片K22的該第二微動部K222蓄積的回復力以及該彈性件K26蓄積回復力所作用而朝下位移，該電磁鐵K31之該軸桿K32反向之作用力將使該聯結件K24、連動部K243連動該探針機構K4的該探針座K41下移，而讓該探針K44離對該待測物W的接觸，並在該感測件K5再受該感應器K51所感應時，並傳遞一訊號使該驅動機構K3的該電磁鐵K31的電磁感應再次吸附該磁動部K33；藉由上述反覆的進行而執行檢測作業。
在檢測進行前，該探針座K41必須保持一定高度的水平定位，該水平定位可藉由調整該微調件K1231對該側座架K111底部螺設的深淺，使該第二座架K12整體作上下位移，而連動該驅動機構K3中的該軸桿K32頂抵該第二握臂K241，使該聯結件K24被連動而連帶使該連動部K243連動該探針座K41的該水平定位被調整。
本發明實施例之探針驅動方法及裝置，由於該聯結件K24被固設於該固定件的該第一簧片K21及該第二簧片K22一端所固設，並以該聯結件K24被該驅動機構K3所驅動，及使該探針機構K4的該探針K44在該探針座K41上，被以該固定件K23固設於該第一座架K11上的該微動機構K2的該聯結件連動；藉此該探針K44、探針座K41、及該聯結件K24加於該第二簧片K22之重量的力矩被該第一簧片K21所形成拉持的力矩所平衡，該驅動機構K3可在無須過度承擔該探針K44、探針座K41、及該聯結件K24重量下，僅藉由些微的施力即可驅動該聯結件K24連動該探針座K41、探針K44上下位移，使高頻率的檢測作業可以被執行。
請參閱圖9、10之本發明中探針驅動裝置之第二實施例，其中與第一實施例相同的部份，茲不贅述，本發明探針驅動裝置之第二實施例可使用如圖所示之另一種形式的探針機構K6，該探針機構K6的一探針座K61直接與該微動機構K2之該聯結件K24固設聯結並被其所連動，該探針機構K6的探針K62包括截面為矩形的探針桿K621及位於該探針桿K621上端的片狀之探針片K622；該探針桿K621以一桿架K63間接設於該探針座K61上；該桿架K63可在該探針座K61上橫向的軌座K611上作左右位移並定位，該桿架K63底端並設有一探針微調件K631可自該探針桿K621底部微調探針桿K621定位之高度；該探針片K622頂部末端設有由兩側向中央斜向伸設在呈垂直立設狀的針部K623，並且配合該探針片K622上該針部K623頂端矩行截面的使一鉆塊K64由在一側設有複數矩形凹設之針槽K641的一第一鉆部K642，配合一併靠在該第一鉆部K642之該針槽K641側邊開口處的一第二鉆部K643所構成；另該止動部K1123所對應的下方該擋抵部K244之頂部表面K2441處可設一撓性的墊件K2442，以降低磨損及噪音。
請參閱圖10、11，依據該探針K62上下位移所感應的資訊傳遞一執行下一程序的控制訊號的一感測件K65係設於該探針座K61背面上，該感測件K65與該聯結件K24連動，該感測件K65的上下位移受一感應器K66所感應。
惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
K1123:止動部
K124:第一微調件
K2:微動機構
K21:第一簧片
K211:第一固定部
K212:第一微動部
K22:第二簧片
K221:第二固定部
K222:第二微動部
K23:固定件
K231:第一握臂
K232:第一間距
K24:聯結件
K241:第二握臂
K242:第二間距
K243:連動部
K244:擋抵部
K2441:頂部表面
K245:第三間距
K246:第四間距
K25:操作區間
K26:彈性件
K3:驅動機構
K31:電磁鐵
K32:軸桿
K321:樞設端
K322:連動端
K33:磁動部
K34:緩衝墊
K35:微動間距
K421:上限位間距
K432:鏤空孔
K433:凹槽

Claims (20)

  1. 一種探針驅動方法，包括：提供一第一座架，其上設有一微動機構，該微動機構設有一固定件固設於該第一座架，一第一簧片及一第二簧片一端固設於該固定件，該微動機構設有一聯結件被該第一簧片及一第二簧片另一端所固設；提供一探針機構，該探針機構設有探針在一探針座上，並被該聯結件連動；該聯結件被驅動以連動該探針機構的該探針位移。
  2. 如申請專利範圍第1項所述驅動方法，其中，該聯結件被一驅動機構以一電磁鐵的電磁作用驅動一軸桿提供對該聯結件的作用力。
  3. 如申請專利範圍第1項所述驅動方法，其中，該微動機構的該第一簧片、第二簧片間提供由一彈性件所構成的相對該電磁鐵的反向作用力。
  4. 一種探針驅動裝置，包括：一座架，設有一第一座架及一第二座架；一微動機構，設有一第一簧片及一第二簧片；該第一簧片一端的一第一固定部與該第二簧片相對應一端的一第二固定部分別各固設於一固定件的上、下兩端；該第一簧片另一端的一第一微動部與該第二簧片另一端相對應的一第二微動部分別各固設於一聯結件的上、下兩端；該微動機構以該固定件固設於該第一座架上；一驅動機構，設於該第二座架上，該驅動機構設有一電磁鐵，該電磁鐵中設有一軸桿，該軸桿可受該電磁鐵作用連動該微動機構的該聯結件；一探針機構，設有與該微動機構的該聯結件連動的探針座，複數支的探針設於該探針座。
  5. 如申請專利範圍第4項所述探針驅動裝置，其中，該第二座架設有立設的一固定架及相對位於上方呈水平的一上固定架、相對位於下方呈水 平的一下固定架；該第二座架並以該固定架固定於該第一座架的該側座架一側上。
  6. 如申請專利範圍第5項所述探針驅動裝置，其中，該上固定架設有立設的一固定部及位於水平的一壓夾部，並以該固定部可上下滑動位移地設於該固定架一側上，該下固定架則以一側固設於該固定架下端。
  7. 如申請專利範圍第4項所述探針驅動裝置，其中，該聯結件設一擋抵部，該擋抵部之頂部表面與該第一簧片保持一第三間距；該第一座架設有設有一止動部，該止動部與該擋抵部保持一第四間距。
  8. 如申請專利範圍第7項所述探針驅動裝置，其中，該微動機構的該第一簧片於對應該擋抵部之頂部表面處設有一第一鏤孔，該第一鏤孔供該止動部穿經。
  9. 如申請專利範圍第4項所述探針驅動裝置，其中，該第一簧片、第二簧片、固定件、聯結件間圍設出一操作區間；該固定件由該操作區間的一側朝該聯結件伸設一第一握臂，該聯結件由該操作區間的一側朝該固定件伸設一第二握臂；一彈性件設於該第一握臂與該第二握臂間；該驅動機構之該軸桿的一連動端觸及該第二握臂部，而與該第二握臂及聯結件上、下連動。
  10. 如申請專利範圍第9項所述探針驅動裝置，其中，該第一握臂上方與該第一簧片間保持一第一間距，該第二握臂下方與該第二簧片保持一第二間距。
  11. 如申請專利範圍第9項所述探針驅動裝置，其中，該第二簧片於對應該第二握臂之底面處設有一第二鏤孔，該第二鏤孔供該驅動機構的軸桿穿經。
  12. 如申請專利範圍第4項所述探針驅動裝置，其中，該聯結件伸設一連動部，該探針機構之探針座與該連動部相固設連動。
  13. 如申請專利範圍第4項所述探針驅動裝置，其中，該微動機構的該第一簧片的該第一固定部及該第一微動部相隔一第一隔距；該第二簧片的該第二固定部及該第二微動部相隔一第二隔距；該第一簧片的第一隔距與該第二簧片的第二隔距約略相等。
  14. 如申請專利範圍第4項所述探針驅動裝置，其中，該固定件設有上、下相隔一第三隔距並位於上方的一第一定位及位於下方的一第二定位；該聯結件設有上、下相隔一第四隔距的一第一聯結部及一第二聯結部；該固定件的第一定位及一第二定位連成的第一軸線與該聯結件上的該第一聯結部及一第二聯結部連成的第二軸線相互平行；該固定件的該第三隔距與該聯結件的該第四隔距約略相等。
  15. 如申請專利範圍第4項所述探針驅動裝置，其中，該第一座架設有立設的一側座架及位於水平的一臥座架，該臥座架相對於與該側座架固設的另一操作端向一側凹設一鏤空之探針位移區間。
  16. 如申請專利範圍第15項所述探針驅動裝置，該臥座架的該操作端向下設有一連接件，該連接件底端與該探針座一側保持一上限位間距。
  17. 如申請專利範圍第16項所述探針驅動裝置，該連接件朝該聯結件的一側設有一扶持座，該扶持座設有一側呈開槽狀的複數個剖槽，各探針各以其針部樞經該扶持座上的該剖槽。
  18. 如申請專利範圍第16項所述探針驅動裝置，該第一座架之該臥座架的上方設有一鉆座，該鉆座一樞設端設有一鉆塊，該鉆塊設有針孔，該探針穿樞於該針孔中。
  19. 如申請專利範圍第18項所述探針驅動裝置，該鉆座被對應設於一分選機之一量測工作站之一第一載盤下方，該樞設端上的該鉆塊中之針孔位於對應於一載槽下方，用以對該載槽中的待測物進行檢測。
  20. 一種探針驅動裝置，包括用以執行如申請專利範圍第1至3項任一項所述探針驅動方法的裝置，該裝置包括：供該微動機構固設的該第一座架、設有與該微動機構連動之該探針座的該探針機構。
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