TWI681180B - 偏振測量裝置、偏振測量方法及光配向方法 - Google Patents

偏振測量裝置、偏振測量方法及光配向方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI681180B
TWI681180B TW108102598A TW108102598A TWI681180B TW I681180 B TWI681180 B TW I681180B TW 108102598 A TW108102598 A TW 108102598A TW 108102598 A TW108102598 A TW 108102598A TW I681180 B TWI681180 B TW I681180B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
polarizer
light
polarization
angle
image sensor
Prior art date
Application number
TW108102598A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
TW201934983A (zh
Inventor
張一志
王帆
李玉龍
Original Assignee
大陸商上海微電子裝備（集團）股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 大陸商上海微電子裝備（集團）股份有限公司 filed Critical 大陸商上海微電子裝備（集團）股份有限公司
Publication of TW201934983A publication Critical patent/TW201934983A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI681180B publication Critical patent/TWI681180B/zh

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J4/00—Measuring polarisation of light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J4/00—Measuring polarisation of light
    • G01J4/04—Polarimeters using electric detection means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/44—Electric circuits
    • G01J2001/4446—Type of detector
    • G01J2001/448—Array [CCD]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
TW108102598A 2018-02-09 2019-01-23 偏振測量裝置、偏振測量方法及光配向方法 TWI681180B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810135372.3A CN110132420B (zh) 2018-02-09 2018-02-09 偏振测量装置、偏振测量方法及光配向方法
??201810135372.3 2018-02-09
CN201810135372.3 2018-02-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201934983A TW201934983A (zh) 2019-09-01
TWI681180B true TWI681180B (zh) 2020-01-01

Family

ID=67567970

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108102598A TWI681180B (zh) 2018-02-09 2019-01-23 偏振測量裝置、偏振測量方法及光配向方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7033093B2 (ko)
KR (1) KR102132762B1 (ko)
CN (1) CN110132420B (ko)
TW (1) TWI681180B (ko)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112577716B (zh) * 2019-09-30 2022-06-28 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种偏振测量装置与方法
CN110687586B (zh) * 2019-11-05 2021-02-09 中国计量科学研究院 一种基于czt探测器的偏振度测量方法及装置
TWI731658B (zh) * 2020-04-23 2021-06-21 友達光電股份有限公司 金屬線柵偏光片之影像式判定裝置
CN111562091A (zh) * 2020-06-23 2020-08-21 昆山鸿仕达智能科技有限公司 一种偏光轴方位角度测定方法及测定装置
CN111964605B (zh) * 2020-07-22 2024-07-02 深圳市联赢激光股份有限公司 一种工件三维面型检测方法
CN112184668B (zh) * 2020-09-29 2022-11-08 河海大学 一种PVC-gel材料偏转角度测量方法
CN112379391B (zh) * 2020-09-30 2022-11-08 西安电子科技大学 一种水下偏振成像方法及其装置
CN113933024B (zh) * 2021-08-31 2023-05-02 中国科学院合肥物质科学研究院 一种光学遥感器中检偏器绝对偏振方位角的测量方法
CN114047190A (zh) * 2021-11-08 2022-02-15 上海御微半导体技术有限公司 一种表面缺陷的检测装置及检测方法
CN114324185A (zh) * 2022-01-04 2022-04-12 浙江大学 一种基于Stokes矢量的水下偏振探测装置
CN114500771B (zh) * 2022-01-25 2024-01-30 北京经纬恒润科技股份有限公司 车载成像***
CN115201117B (zh) * 2022-07-11 2024-07-02 北京环境特性研究所 一种超高温材料红外偏振特性测量装置及方法
CN115060292B (zh) * 2022-08-05 2022-11-11 中国人民解放军国防科技大学 一种基于正弦拟合的仿生导航视觉传感器消光比测评方法
CN115508058B (zh) * 2022-11-22 2023-03-31 杭州微纳智感光电科技有限公司 一种显示屏用偏光膜片光轴角度的检测装置及方法
TWI839979B (zh) * 2022-11-30 2024-04-21 安可光電股份有限公司 用以量測晶粒級偏光片的量測系統及量測方法
CN117498136B (zh) * 2024-01-02 2024-03-15 北京镭宝光电技术有限公司 光参量振荡器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06221993A (ja) * 1993-01-27 1994-08-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 偏光子の消光比測定方法及び測定装置
CN201795784U (zh) * 2010-09-03 2011-04-13 无锡市奥达光电子有限责任公司 一种偏振特性元器件的光轴角度检测装置
CN102073324A (zh) * 2010-12-29 2011-05-25 哈尔滨工业大学 一种基于线性偏振光的偏振跟踪***及方法
TW201544801A (zh) * 2014-05-27 2015-12-01 Ushio Electric Inc 偏光軸檢測器、偏光測定裝置、偏光測定方法及偏光光線照射裝置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0752153B2 (ja) * 1987-11-09 1995-06-05 株式会社日立製作所 偏光解析法
US5257092A (en) * 1990-06-27 1993-10-26 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Apparatus for measuring polarization and birefringence
DE69226514T2 (de) * 1991-01-11 1999-04-08 Rudolph Res Corp Gleichzeitiges vielfach-winkel/vielfach-wellenlängen ellipsometer und methode
JPH0694515A (ja) * 1992-09-11 1994-04-05 Olympus Optical Co Ltd 光発散特性測定装置
AU6623000A (en) * 1999-08-06 2001-03-05 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Instruments for analyzing binding assays based on attenuation of light by thin films
JP2003185569A (ja) * 2001-12-14 2003-07-03 Mitsubishi Chemicals Corp 表面プラズモン共鳴を利用した試料の分析装置及び表面プラズモン共鳴分析用センサチップ
JP4568064B2 (ja) * 2004-09-28 2010-10-27 株式会社 日立ディスプレイズ 光学異方軸測定装置
CN2798070Y (zh) * 2005-06-22 2006-07-19 中国科学院上海光学精密机械研究所 偏振分光薄膜消光比的精确测量装置
JP5254323B2 (ja) * 2008-05-10 2013-08-07 株式会社フォトニックラティス 光学歪み計測装置
CN101915661A (zh) * 2010-09-03 2010-12-15 无锡市奥达光电子有限责任公司 一种偏振特性元器件的光轴角度检测方法和装置
JP2012104586A (ja) * 2010-11-09 2012-05-31 Elpida Memory Inc 半導体計測装置
CN102466560A (zh) * 2010-11-11 2012-05-23 北京国科世纪激光技术有限公司 一种光学参数测量装置
TWI585387B (zh) * 2012-07-18 2017-06-01 岩崎電氣股份有限公司 偏光測定方法，偏光測定裝置，偏光測定系統及光配向照射裝置
US9464938B2 (en) * 2014-02-06 2016-10-11 The Boeing Company Systems and methods for measuring polarization of light in images
CN105758625B (zh) * 2016-04-15 2018-10-19 中国科学院上海技术物理研究所 一种测量遥感仪器的线偏振灵敏度的装置及方法
CN106124415A (zh) * 2016-06-03 2016-11-16 中国科学技术大学 基于像素偏光相机的旋光度实时测量方法及测量装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06221993A (ja) * 1993-01-27 1994-08-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 偏光子の消光比測定方法及び測定装置
CN201795784U (zh) * 2010-09-03 2011-04-13 无锡市奥达光电子有限责任公司 一种偏振特性元器件的光轴角度检测装置
CN102073324A (zh) * 2010-12-29 2011-05-25 哈尔滨工业大学 一种基于线性偏振光的偏振跟踪***及方法
TW201544801A (zh) * 2014-05-27 2015-12-01 Ushio Electric Inc 偏光軸檢測器、偏光測定裝置、偏光測定方法及偏光光線照射裝置

Also Published As

Publication number Publication date
KR102132762B1 (ko) 2020-07-10
JP2019144237A (ja) 2019-08-29
CN110132420B (zh) 2020-11-27
CN110132420A (zh) 2019-08-16
TW201934983A (zh) 2019-09-01
JP7033093B2 (ja) 2022-03-09
KR20190096831A (ko) 2019-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI681180B (zh) 偏振測量裝置、偏振測量方法及光配向方法
CN101464256B (zh) 偏振光谱仪的偏振精度定标***
CN102621072B (zh) 一种偏振和双折射测量***
JP4921090B2 (ja) 光学異方性パラメータ測定方法及び測定装置
KR20090049226A (ko) 단일 편광자 초점 타원계측기
US7859653B2 (en) Detecting strain in birefringent materials using spectral polarimetry
CN102426058B (zh) 一种静态干涉成像偏振仪及获得目标的偏振信息的方法
CN108007574B (zh) 分辨率可调型快照式图像光谱线偏振探测装置及方法
CN104515748B (zh) 一种基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪
CN107941468A (zh) 一种光纤偏振态的可视化动态检测方法及装置
CN112285914B (zh) 一种透射式穆勒矩阵显微成像***及方法
CN106662485A (zh) 测量偏振
CN103424363B (zh) 非旋转式旋光溶液测量仪及采用该测量仪测量旋光溶液旋光率的方法
CN114136894B (zh) 一种基于涡旋波片的偏振检测***的误差校准方法及装置
CN105258801B (zh) 一种通过球形碱金属气室后偏振光偏振特性检测***
CN103234483B (zh) 一种相机芯片平行度的检测方法及装置
JP2006201152A (ja) 偏光板測定装置及び測定方法
CN106841013B (zh) 一种基于量子关联成像技术辨别微观生物体的方法
CN106769731A (zh) 颗粒物浓度的测量方法及装置
CN206411308U (zh) 一种多偏振片装校装置
CN206557092U (zh) 一种材料折射率的测量装置
JP3131242B2 (ja) 光ビーム入射角の測定方法、測定装置及び該装置を距離測定に使用する方法
CN107449740A (zh) 一种用于测量样品的衍射结构的装置及方法
CN112577716B (zh) 一种偏振测量装置与方法
CN106154593B (zh) 异向性量测***、异向性量测方法及其校正方法