TWI680087B - 物品搬送設備 - Google Patents

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和田吉成
Yoshinari Wada
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日商大福股份有限公司
Daifuku Co., Ltd.
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Abstract

本發明提供一種物品搬送設備。在對搬送車供給行走用電力之屬於第1行走路徑的搬送對象位置、與不對搬送車供給行走用電力之屬於第2行走路徑的搬送對象位置之間搬送物品的情況下，管理部會將第1搬送車的行走管理成使第1搬送車只行走在第1行走路徑上，且將第2搬送車的行走管理成使第2搬送車涵蓋第1行走路徑及第2行走路徑雙方而行走。

Description

物品搬送設備 發明領域
本發明是有關於一種物品搬送設備，其具備：第1搬送車，是藉由從行走路徑供給的電力而行走；及第2搬送車，其搭載蓄電裝置且藉由該蓄電裝置供給的電力而行走。
發明背景
例如，在日本發明專利第5229363號公報中，已揭示了一種物品搬送設備，其中分別設置有：第1行走路徑(軌道(6))，其上僅有藉由沿著行走路徑設置的供電線供給的電力而作動之第1搬送車(天花板行走車(2))在行走；及第2行走路徑(軌道(8))，其上僅有藉由本身具備的蓄電池供給的電力而作動之第2搬送車(區間台車(4))在行走。在此種物品搬送設備中，設置有物品保持部(緩衝部(10))，使第1搬送車與第2搬送車雙方能交接物品。
在此種物品搬送設備中，是將只能在與第1搬送車之間進行物品之交接的處理裝置當作搬送起點，且將只能在與第2搬送車之間進行物品之移載的處理裝置當作搬 送目的地之物品的搬送、或者搬送起點與搬送目的地與前述相反的物品的搬送，利用物品保持部(緩衝部(10))而以下列的方式進行。也就是說，藉由在第1搬送車與緩衝部(10)之間進行物品的移載，而且，在緩衝部(10)與第2搬送車之間進行物品的移載，即可在第1搬送車與第2搬送車之間移交物品，使物品從搬送起點搬送至搬送目的地。
也就是說，在此種物品搬送設備中，在進行將只能在與第1搬送車之間進行物品之交接的處理裝置當作搬送起點，且將只能在與第2搬送車之間進行物品之移載的處理裝置當作搬送目的地之物品的搬送、或者搬送起點與搬送目的地與前述相反的物品的搬送之情況下，只藉由第1搬送車或只藉由第2搬送車，並不能完成從搬送起點到搬送目的地之物品的搬送。在此種搬送中，如上所述，由於變得必定會發生透過緩衝部(10)在第1搬送車與第2搬送車之間的物品之移交，故造成物品的搬送效率降低。
發明概要
在此，所期待的是，將在對搬送車供給行走用的電力之屬於第1行走路徑的搬送對象位置、與不對搬送車供給行走用電力之屬於第2行走路徑的搬送對象位置之間搬送物品時的搬送效率之降低予以抑制。
作為1個較佳的態樣，物品搬送設備具備：行走路徑，設置成可連結複數個處理裝置；搬送車， 行走於前述行走路徑且搬送藉由前述處理裝置處理的物品；及管理部，管理前述搬送車的行走，在此，前述行走路徑包含：第1行走路徑，對前述搬送車供給電力；及第2行走路徑，不對前述搬送車供給電力，前述搬送車包含：第1搬送車，藉由前述第1行走路徑供給的電力而行走；及第2搬送車，搭載蓄電裝置且藉由從該蓄電裝置所供給的電力而行走，前述第1行走路徑與前述第2行走路徑會相互連接，前述管理部將前述第1搬送車的行走管理成使前述第1搬送車在前述第1行走路徑及前述第2行走路徑當中，只行走在前述第1行走路徑上，且將前述第2搬送車的行走管理成使前述第2搬送車涵蓋前述第1行走路徑及前述第2行走路徑雙方而行走。
藉由此構成，當物品的搬送起點與搬送目的地雙方是沿著第1行走路徑而存在的情況下，藉由使第1搬送車及第2搬送車的任一個搬送物品，即能使其以1台搬送車完成物品的搬送。又，當物品的搬送起點與搬送目的地雙方是沿著第2行走路徑而存在的情況下，藉由使第2搬送車搬送物品，即能使其以1台搬送車完成物品的搬送。此外，第2搬送車能行走在相互連接的第1行走路徑與第2行走路徑雙方上。因此，在第1行走路徑及第2行走路徑的其中一個上存在物品的搬送起點，而在另一個上存在搬送目的地的情況下，可以藉由使第2搬送車搬送物品，使其以1台搬送 車完成從搬送起點到搬送目的地之物品的搬送。也就是說，根據本構成，可以在對搬送車供給行走用電力之屬於第1行走路徑的搬送對象位置、與不對搬送車供給行走用電力之屬於第2行走路徑的搬送對象位置之間，抑制搬送物品時的搬送效率之降低。
又，當搬送起點與搬送目的地的其中之一屬於供電停止狀態之供電區間的情況下、或者即使搬送起點與搬送目的地雙方都是在供電狀態之供電區間，但在這之間必須通過供電停止狀態之供電區間的情況下，只藉由第1搬送車並無法完成物品的搬送。但是，即便是在這種情況下，藉由利用第2搬送車，即使從搬送起點到搬送目的地之間包含有供電停止狀態的供電區間，也可以在不在途中進行物品的轉接的情形下，藉由單一個第2搬送車來進行物品的搬送。也就是說，即使從搬送起點到搬送目的地之間包含有供電停止狀態的供電區間，也能夠抑制物品的搬送效率的降低。如此，藉由本構成，可以抑制設備的運作效率之降低以及搬送效率之降低。
物品搬送設備的進一步的特徵及優點，透過以下之參照圖式來說明的實施形態之記載將變得明確。
11‧‧‧行走部
12‧‧‧本體部
13‧‧‧升降部
12C‧‧‧蓋部
A‧‧‧區域
A1‧‧‧第1區域
A2‧‧‧第2區域
A3‧‧‧第3區域
A4‧‧‧第4區域
B‧‧‧物品
CH‧‧‧充電站
H‧‧‧控制部
H1‧‧‧第1控制部
H2‧‧‧第2控制部
K‧‧‧管理裝置(管理部)
K1‧‧‧容許區間定義資料保持部
K2‧‧‧資料更新判別部
M1‧‧‧行走驅動部
M2‧‧‧轉向驅動部
M3‧‧‧升降驅動部
R、Ra‧‧‧行走軌道
RH‧‧‧供電線(供電部)
RT0‧‧‧路徑
STk‧‧‧半導體容器保管裝置(處 理裝置)
STp‧‧‧半導體處理裝置(處理裝置)
STp1‧‧‧第1半導體處理裝置(處理裝置、搬送起點)
STp2‧‧‧第2半導體處理裝置(處理裝置、搬送目的地)
T‧‧‧行走路徑
T1‧‧‧第1行走路徑
T2‧‧‧第2行走路徑
V‧‧‧搬送車
V1‧‧‧供電驅動搬送車(第1搬送車)
V2‧‧‧電池驅動搬送車(第2搬送車)
VB‧‧‧蓄電裝置
VE‧‧‧感應線圈
W1‧‧‧行走車輪
W2‧‧‧轉向引導輪
X‧‧‧區域供電狀態切換裝置
ZF‧‧‧物品保持部
#11~#14‧‧‧步驟
#21~#31‧‧‧步驟
圖1是一般搬送車及行走軌道的概要側視圖。
圖2是一般搬送車及行走軌道的概要正面圖。
圖3是電池搭載搬送車之概要側視圖。
圖4是顯示行走軌道及供電區域的概要平面圖。
圖5是顯示伴隨行走軌道鋪設施工之供電停止區域的圖。
圖6是控制方塊圖。
圖7是顯示將表示容許行走的區間之容許區間定義資料更新之控制的流程圖。
圖8是顯示管理裝置進行的搬送指令之指令態樣的流程圖。
用以實施發明之形態
以下，根據圖式說明將本發明之物品搬送設備應用在設有複數個天花板搬送車之半導體處理設備的實施形態。天花板搬送車是構成為涵蓋沿著行走路徑而設置的複數個處理裝置來搬送物品。在本實施形態中，是舉例出半導體基板、及收容複數片半導體基板的FOUP(Front Opening Unified Pod)作為物品。此外，搬送FOUP之情況與搬送半導體基板之情況是相等的，「搬送物品」中包含FOUP的搬送、以及半導體基板的搬送雙方的意義。又，「處理物品」中包含對FOUP的作業(移載、半導體基板的收容、取出等)、以及對半導體基板的作業(半導體製造程序)雙方的意義。
適用本實施形態之物品搬送設備的半導體處理設備，如圖1~圖3所示，具備有：搬送車V，其保持作為物品B的FOUP且可行走；行走軌道R，其沿著行走路徑T配設，且從天花板懸吊而受到支持。又，如圖4所示，沿著行走路徑T分別設置有複數個半導體處理裝置STp，其進行對 收容於物品B的半導體基板的處理；以及複數個半導體容器保管裝置STk，其可保管複數個物品B。搬送車V是構成為為了在複數個半導體處理裝置STp當中不同的半導體處理裝置STp彼此之間、複數個半導體容器保管裝置STk當中不同的半導體容器保管裝置STk之間、或者半導體處理裝置STp與半導體容器保管裝置STk之間等搬送物品B，而在將從搬送起點的半導體處理裝置STp或半導體容器保管裝置STk接收到的物品B保持住的狀態下，在行走軌道R上行走並搬送至搬送目的地之半導體處理裝置STp或半導體容器保管裝置STk。半導體處理裝置STp及半導體容器保管裝置STk相當於成為搬送起點及搬送目的地之處理裝置。
搬送車V上設置有指令接收部(圖示省略)，其接收半導體處理設備中的物品B的處理排程、或管理半導體處理裝置STp或半導體容器保管裝置STk之間的物品B之搬送的管理裝置K(圖6)傳來的指令。再者，在本說明書中，管理裝置K(管理部)及其他控制器可以是微電腦或半導體積體電路，其具有記憶體、通訊電路或儲存有實現本說明書中說明的各種處理或機能的演算法之記憶體。在本實施形態中，半導體容器保管裝置STk及半導體處理裝置STp相當於處理裝置，管理裝置K相當於管理部。也就是說，半導體處理裝置(物品搬送設備)具備：行走路徑T，設置成可連結複數個處理裝置；搬送車V，行走於行走路徑T且搬送藉由處理裝置處理的物品B；及管理部K，管理搬送車V的行走。在此，「行走路徑T，設置成可連結複數個處理裝置」的文 字描述，是意味著以可沿著行走路徑T將物體/物品從複數個處理裝置之內的其中一個處理裝置向其他處理裝置搬送的狀態設置有至少一個行走路徑T。
如圖2所示，對搬送車V供給驅動電力的供電線RH(供電部)，是沿著行走軌道R而設置。供電線RH是透過以絕緣性材料構成的支持體，而受到行走軌道R支持。又，搬送車V上安裝有感應線圈VE，其是藉由供電線RH周圍的磁場之變動使感應電流發生。感應線圈VE是在非接觸狀態下從供電線RH取得搬送車V的行走等搬送車V的動作用之電力。以下，在本實施形態中，將感應線圈VE藉由供電線RH的磁場變動而得到感應電流之情形，以文字表現為「從供電線RH接受供電」。
在本實施形態中，作為搬送車V，具備有：供電驅動搬送車V1(參照圖1及圖2)，藉由從上述之供電線RH接受供電而作動；及電池驅動搬送車V2(參照圖3)，不從供電線RH接受供電，而是藉由本身(搬送車V)搭載的蓄電裝置VB而作動。
如圖1及圖2所示，供電驅動搬送車V1具備有：行走部11，具備在行走軌道R上行走的行走車輪W1；及本體部12，在懸吊狀態下受行走部11支持。行走部11更具備有轉向引導輪W2，可在行走軌道R的分歧部分切換該行走部11的行進方向。轉向引導輪W2是抵接在沿著行走軌道R而設置的引導軌道(圖示省略)的一對側面的其中之一上，藉由在行走軌道R的分歧部分上切換抵接的側面，以切換行走 部11的行進方向。又，行走部11具備有：行走驅動部M1，旋轉驅動上述之行走車輪W1；及轉向驅動部M2，切換上述之轉向引導輪W2的位置。
本體部12具備有蓋部12C、及藉由受蓋部12C支持的升降驅動部M3而升降移動之升降部13。雖省略圖示，但升降部13具備有把持設置在作為物品B的FOUP之上端的凸緣的把持部。把持部是構成為可切換至把持凸緣的把持狀態、以及解除凸緣之把持的把持解除狀態。行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3具備有電動馬達等圖中未示的電動致動器，且藉由電力而驅動。又，在供電驅動搬送車V1上，如圖6所示，搭載有第1控制部H1，該第1控制部H1是作為控制行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3的作動之控制部H。再者，供電驅動搬送車V1是被第1控制部H1控制成可進行自主行走。
圖3所示之電池驅動搬送車V2是利用供電驅動搬送車V1的基本構造而構成。電池驅動搬送車V2搭載有蓄電裝置VB，並取代感應線圈VE取得的電力而改藉由從蓄電裝置VB供給的電力來使行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3等作動。再者，電池驅動搬送車V2上雖然也搭載有感應線圈VE，但這是在後述的充電站CH(參照圖5)中用來對蓄電裝置VB充電而使用的。也就是說，感應線圈VE是從充電站CH的供電線RH取得對蓄電裝置VB供給的電力。電池驅動搬送車V2在使電池驅動搬送車V2的行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3作動時，不是使 用感應線圈VE取得的電力，而是使用蓄電裝置VB的電力。又，在電池驅動搬送車V2上，如圖6所示，搭載有第2控制部H2，該第2控制部H2是作為控制行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3的作動之控制部H。再者，電池驅動搬送車V2是被第2控制部H2控制為可進行自主行走。
又，在上述中，雖然說明了電池驅動搬送車V2是取代感應線圈VE取得的電力，而改藉由從蓄電裝置VB供給的電力來使行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3作動，但也可以藉由蓄電裝置VB供給的電力及感應線圈VE取得的電力來使這些驅動部作動。例如，在電池驅動搬送車V2行走於第1行走路徑T1的情況下，可以做成藉由感應線圈VE取得的電力來使行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3作動。又，電池驅動搬送車V2行走於第1行走路徑T1的情況下，也可以做成一邊藉由感應線圈VE取得的電力來使行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3作動，一邊以剩餘電力對蓄電裝置VB充電。或者是，電池驅動搬送車V2行走於第1行走路徑T1的情況下，也可以一邊藉由蓄電裝置VB供給的電力來使行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3等作動，一邊以感應線圈VE取得的電力對蓄電裝置VB充電。
在本實施形態中，行走軌道R如圖4所示地連續設置。因此，搬送車V能夠在此行走軌道R上連續地行走。又，供電線RH(供電部)是沿著行走軌道R而設置。藉此，例如，將物品B從圖4所示之第1半導體處理裝置STp1搬送至 第2半導體處理裝置STp2的情況下，可以使保持物品B的供電驅動搬送車V1行走在例如以RT0表示的路徑上。也就是說，能夠只利用供電驅動搬送車V1，進行從搬送起點(第1半導體處理裝置STp1)至搬送目的地(第2半導體處理裝置STp2)的物品B之搬送。
另外，對於如本實施形態之供電線RH，是由將電壓或頻率控制在供電用之適當的輸出的整流裝置來供給電力。在此，供電線RH的線長變長的話，會使因線路電阻造成的損失等變大，使供電效率變差。因此，在本實施形態中，是將供電線RH對應於複數個區域A(在圖4及圖5所示的例子中，是第1區域A1、第2區域A2、第3區域A3、第4區域A4之4個)而分割，以使供電線RH的線路長度變得在一定的長度以下。整流裝置是對應於區域A的每一個而分別另外設置。又，區域供電狀態切換裝置X(圖6)是藉由整流裝置的切換，而按每個區域A切換對供電線RH供給電力之供給狀態、以及停止電力供給之供給停止狀態。
例如，在圖5所示的例子中，第2區域A2、第3區域A3、第4區域A4為供給狀態的區域A(供電區間)，第1區域A1為供給停止狀態的區域A(供電區間)。在行走路徑T內，將沿著行走軌道R設置的供電線RH(供電部)為屬於供給狀態的區域A(供電區間)之路徑，稱為第1行走路徑T1。又，在行走路徑T內，將沿著行走軌道R設置的供電線RH為屬於供給停止狀態的區域A(供電區間)之路徑，稱為第2行走路徑T2(圖5中以反白的虛線表示的行走路徑T)。換言之，在 第1行走路徑T1中的供電線RH(供電部)是由供給狀態的供電區間所構成，在第2行走路徑T2中的供電線RH是由前停止狀態的前述供電區間所構成。又，詳細內容將在後面描述，供電驅動搬送車V1相當於第1搬送車，電池驅動搬送車V2相當於第2搬送車。
也就是說，行走路徑T包含對搬送車V供給電力的第1行走路徑T1、以及不對搬送車V供給電力的第2行走路徑T2。供電線RH是沿著行走路徑T延伸的長度方向涵蓋第1行走路徑T1及第2行走路徑T2的整體範圍而設置。而且，第1行走路徑T1與第2行走路徑T2會相互連接。又，作為搬送車V，半導體處理設備(物品搬送設備)具備有藉由從第1行走路徑T1供給的電力而行走的供電驅動搬送車V1、及搭載蓄電裝置VB且藉由該蓄電裝置VB供給的電力而行走的電池驅動搬送車V2。再者，對行走在行走路徑T上的搬送車V供給電力的供電線RH是沿著行走路徑T延伸的長度方向涵蓋第1行走路徑T1及第2行走路徑T2的整體範圍而設置。又，供電線RH是以供給電力之供給狀態以及停止電力供給之供給停止狀態為供電區間單位而切換自如地構成。
接著，說明管理裝置K實行的控制。管理裝置K是構成為根據搬送排程，選擇供電驅動搬送車V1或電池驅動搬送車V2來作為負責搬送的搬送車V、且對該被選擇的搬送車V(稱為負責搬送車)發出搬送指令。又，所謂搬送指令是指對搬送車V的指令，該搬送車V是用於將物品B從物 品B之搬送起點的處理裝置(半導體處理裝置STp或半導體容器保管裝置STk)搬送到該物品B之搬送目的地的處理裝置(半導體處理裝置STp或半導體容器保管裝置STk)。
管理裝置K具備有儲存容許區間定義資料的容許區間定義資料保持部K1，該容許區間定義資料是對每個搬送車V規定在行走路徑T上，容許該搬送車V行走之區間(行走容許區間)的資料。如後面所述，容許區間定義資料是在管理裝置K決定負責搬送車時使用。容許區間定義資料保持部K1是作為儲存裝置(例如硬碟)中的資料夾而構成，在該資料夾中，將針對各個搬送車V的容許區間定義資料各自分別地作為檔案而保持。又，搬送車V也將對應於本身的容許區間定義資料保持在控制部H。各搬送車V是根據本身保持的容許區間定義資料，判斷在行走路徑T上容許本身行走的區間，並藉由控制部H來進行自主行走控制，以在該區間中行走。此外，管理裝置K以程式形式設置有資料更新判別部K2，該資料更新判別部K2是根據最終更新時刻資訊來判別容許區間定義資料已被更新。
另外，由於供電線RH是沿著行走軌道R而設置，因此在例如進行對行走軌道R的作業(更換施工或新設施工等，在行走路徑T上的作業。)的情況下，宜在對應於進行作業的該位置及周邊位置之供電區間中，將供電線RH設為供給停止狀態。具體而言，例如圖5所示，會在進行像是新設置接續於複數個區域A當中的屬於第1區域A1之行走軌道R的新的行走軌道Ra、或更換屬於第1區域A1的行走軌道 R的作業時，停止對該作業位置之供電線RH的電力供給。也就是說，圖5所示的4個區域A當中，第1區域A1是供電區間成為供給停止狀態之區域。以下，參照圖7，說明在將第1區域A1的供電線RH切換為供給停止狀態的狀態下，將物品B從第1半導體處理裝置STp1搬送至第2半導體處理裝置STp2時的控制。
容許區間定義資料保持部K1儲存有第1容許區間定義資料及第2容許區間定義資料，以作為容許區間定義資料。第1容許區間定義資料是規定第1行走容許區間的資料，該第1行走容許區間是在行走路徑T上容許供電驅動搬送車V1之行走的區間。第2容許區間定義資料是規定第2行走容許區間的資料，該第2行走容許區間是在行走路徑T上容許電池驅動搬送車V2之行走的區間。
在本實施形態中，是將行走路徑T在沿著路徑的延伸方向之長度方向上區分為複數個區間，且分別對其賦予識別ID。這些區間在物理上並不需要是分離的，在物理上也可以是連續的。容許區間定義資料是作為對應於每一個搬送車V來列舉容許行走的區間之識別ID的資料而構成。也就是說，在對應於某個供電驅動搬送車V1的第1容許區間定義資料中，列舉有在第1行走路徑T1上容許該供電驅動搬送車V1行走的區間之識別ID。又，在對應於某個電池驅動搬送車V2的第2容許區間定義資料中，列舉有在第1行走路徑T1上容許該電池驅動搬送車V2行走的區間之識別ID、以及在第2行走路徑T2上容許該電池驅動搬送車V2行 走的區間之識別ID。
再者，管理裝置K儲存有：對應於第1行走路徑T1的區間之區間ID與對應於該區間之處理裝置(半導體處理裝置STp或半導體容器保管裝置STk)的配置資訊、以及對應於第2行走路徑T2的區間之區間ID與對應於該區間之處理裝置(半導體處理裝置STp或半導體容器保管裝置STk)的配置資訊。在本實施形態中，第1容許區間定義資料是列舉了對應於圖5中的第2區域A2~第4區域A4之區間ID的資料，第2容許區間定義資料是列舉了對應於第1區域A1~第4區域A4之全部的區間ID的資料。
也就是說，管理裝置K是構成為儲存下列資料：第1容許區間定義資料，其規定在行走路徑T上容許供電驅動搬送車V1之行走的區間之第1行走容許區間；以及第2容許區間定義資料，其規定在行走路徑T上容許電池驅動搬送車V2之行走的區間之第2行走容許區間。又，第1行走容許區間中只包含第1行走路徑，第2行走容許區間中包含有第2行走路徑與第1行走路徑雙方。又，管理裝置K儲存有：在複數個處理裝置(半導體處理裝置STp或半導體容器保管裝置STk)當中，針對對應於第1行走路徑T1者之配置資訊、以及針對對應於第2行走路徑T2者之配置資訊。
作業者會在藉由區域供電狀態切換裝置X將包含進行施工的區間之第1區域A1的供電線RH切換為供給停止狀態之前，將第1容許區間定義資料及第2容許區間定義資料保存在作為容許區間定義資料保持部K1的資料夾中。 此時，當資料夾中已經存在有容許區間定義資料時，是使新的容許區間定義資料覆寫來保存。
如圖7所示，資料更新判別部K2會在根據第1容許區間定義資料的最終更新時刻資訊判別第1容許區間定義資料已更新時(#11：是)，將新的第1容許區間定義資料傳送至供電驅動搬送車V1(#12)。接收到第1容許區間定義資料的供電驅動搬送車V1之第1控制部H1，會根據從管理裝置K傳送來的第1容許區間定義資料，控制供電驅動搬送車V1，以使供電驅動搬送車V1在第1行走容許區間內行走。
又，資料更新判別部K2會在根據第2容許區間定義資料的最終更新時刻資訊判別第2容許區間定義資料已更新時(#13：是)，將新的第1容許區間定義資料傳送至電池驅動搬送車V2(#14)。接收到第2容許區間定義資料的電池驅動搬送車V2之第2控制部H2，會根據從管理裝置K傳送來的第2容許區間定義資料，控制電池驅動搬送車V2，以使電池驅動搬送車V2在第2行走容許區間內行走。
再者，如圖5的虛線所示，使供電驅動搬送車V1及電池驅動搬送車V2分別可移載物品B之物品保持部ZF也是沿著第1行走路徑T1而設置。此物品保持部ZF也可以是在施工期間暫時設置之裝卸式或暫設式的保持部。物品保持部ZF是設置在使與作為天花板搬送車之搬送車V的升降部13上所設置的把持部之間的物品B之可進行移交的位置(例如，行走軌道R的正下方)上。再者，在將搬送車V的把持部構成為在平面視角下(沿著鉛直方向的方向視角下)，可在與 行走軌道R正交的側面上滑行移動的情況下，將物品保持部ZF配置在行走軌道R的側面亦可。
如上所述，供電驅動搬送車V1並無法在第2行走路徑T2上行走。因此，將第1行走路徑T1內的第1半導體處理裝置STp1作為搬送起點，且將第2行走路徑T2內的第2半導體處理裝置STp2作為搬送目的地來搬送物品B時，選擇供電驅動搬送車V1作為負責搬送車的情況下，必須將搬送對象之物品B從供電驅動搬送車V1交付至電池驅動搬送車V2。因此，管理裝置K會將搬送指令分解為前半搬送指令與後半搬送指令，對供電驅動搬送車V1輸出前半搬送指令，且對電池驅動搬送車V2輸出後半搬送指令。以下，參照圖8說明此情況下之以管理裝置K進行的控制例。
首先，管理裝置K會生成搬送指令，該搬送指令是從物品B的搬送起點之處理裝置(第1半導體處理裝置STp1)至物品B的搬送目的地之處理裝置(第2半導體處理裝置STp2)的物品B之搬送的指令(#21：指令生成處理)。接著，判別搬送起點(第1半導體處理裝置STp1)是否屬於第1行走路徑T1(#22)，且當判別搬送起點(第1半導體處理裝置STp1)屬於第1行走路徑T1時(#22-是)，便選擇供電驅動搬送車V1作為負責搬送車(#23：選擇處理)。
接著，管理裝置K會判別搬送目的地之處理裝置(第2半導體處理裝置STp2)是否屬於第2行走路徑T2(#24)。當例如管理裝置K判別搬送目的地不屬於第2行走路徑T2，也就是說，搬送目的地屬於第1行走路徑T1時(#24-否)， 便將步驟#21所生成的搬送指令輸出至負責搬送車(在此情況下為供電驅動搬送車V1)(#31：指令輸出處理)。供電驅動搬送車V1會將物品B從搬送起點搬送至搬送目的地。
本實施形態之搬送目的地是屬於第2行走路徑T2之第2半導體處理裝置STp2。管理裝置K在步驟#24中，判別搬送目的地(第2半導體處理裝置STp2)屬於第2行走路徑T2時(#24-是)，便判斷需要轉接並設定轉接用之搬送目的地(前半搬送目的地)。也就是說，管理裝置K會將前半搬送目的地設定在物品保持部ZF(#25：轉接點設定處理)。然後，管理裝置K會生成前半搬送指令，且將該前半搬送指令輸出至供電驅動搬送車V1的第1控制部H1，該前半搬送指令是使供電驅動搬送車V1作動，以將物品B從搬送起點(第1半導體處理裝置STp1)搬送至物品保持部ZF，並移載至該物品保持部ZF的指令(#26：指令生成處理、指令輸出處理)。
供電驅動搬送車V1的第1控制部H1在物品B的往物品保持部ZF之搬送完成時，會將該要旨通知管理裝置K。管理裝置K會根據此通知判定供電驅動搬送車V1往物品保持部ZF之物品B的搬送是否已完成(#27)。管理裝置K在判定對物品保持部ZF之物品B的搬送已完成時(#27-是)，便選擇電池驅動搬送車V2作為負責該物品B之搬送的負責搬送車(#28：選擇處理)。接著，管理裝置K會生成後半搬送指令，且將該後半搬送指令輸出至電池驅動搬送車V2的第2控制部H2，該後半搬送指令是將物品B從物品保持部ZF移載並搬送至搬送目的地之處理裝置(第2半導體處理裝置 STp2)的指令(#29指令產生處理、指令輸出處理)。
另外，從搬送起點到搬送目的地的路徑上，存在複數個物品保持部ZF的情況下，會形成為將未保持有物品B的任一個物品保持部ZF選擇作為前半搬送指令中的搬送目的地。例如，較佳的是在空著的物品保持部ZF當中選擇到最終的搬送目的地(處理裝置)最近的物品保持部ZF。也就是說，較佳的是藉由行走中可供電的供電驅動搬送車V1，將物品B搬送到盡可能遠的位置(最終的搬送目的地(處理裝置)的附近)。此種物品保持部ZF的選擇，可以是管理裝置K指定作為前半搬送指令中的搬送目的地，也可以是委託給供電驅動搬送車V1的第1控制部H1之自主控制。由於各自的搬送車V是根據自主控制來搬送物品B，因此在管理裝置K生成前半搬送指令的時間點下未空著的物品保持部ZF，在供電驅動搬送車V1開始搬送之後也有變得可利用的情況。藉由以供電驅動搬送車V1的自主控制來選擇成為搬送目的地之物品保持部ZF，有可達成更合適的選擇之可能性。供電驅動搬送車V1選擇物品保持部ZF時，較佳的是第1控制部H1將移載物品B的物品保持部ZF之識別資訊傳送至管理裝置K。管理裝置K會生成相對於電池驅動搬送車V2將對應於該識別資訊的物品保持部ZF設為搬送起點的後半搬送指令，且輸出至電池驅動搬送車V2。
管理裝置K在步驟#22中，當判別為搬送起點的處理裝置不屬於第1行走路徑T1，也就是說，搬送起點的處理裝置屬於第2行走路徑T2時(#22-否)，會選擇電池驅動搬 送車V2作為負責搬送車(#30：選擇處理)。管理裝置K會對電池驅動搬送車V2的第2控制部H2輸出在步驟#21所生成的搬送指令(#31：指令輸出處理)。也就是說，管理裝置K會以下列方式進行控制：以電池驅動搬送車V2單獨將物品B從搬送起點的處理裝置搬送到搬送目的地的處理裝置。在此，在搬送目的地的處理裝置屬於第1行走路徑T1的情況下，會利用在物品保持部ZF進行轉接，以將搬送形成使其藉由供電驅動搬送車V1將物品B往搬送目的地搬送之情形。但是，在圖8的流程圖中，所例示的是，當搬送起點屬於第2行走路徑T2的情況下，為了抑制因轉接造成的搬送效率的降低，而不進行搬送目的地是否屬於第1行走路徑T1的判定之形態。
如此，管理裝置K是構成為：將供電驅動搬送車V1的行走管理成使供電驅動搬送車V1只在第1行走路徑T1及第2行走路徑T2當中的第1行走路徑T1行走，且將電池驅動搬送車V2的行走管理成使電池驅動搬送車V2涵蓋第1行走路徑T1及第2行走路徑T2雙方而行走。
又，在本實施形態中，尤其是圖8的流程圖中的步驟#21、步驟#26、步驟#29的處理相當於指令生成處理，步驟#23、步驟#28、步驟#30的處理相當於選擇處理，步驟#26、步驟#29、步驟#31的處理相當於指令輸出處理。如上所述，管理裝置K(管理部)會儲存對應於第1行走路徑T1的處理裝置之配置資訊、以及對應於第2行走路徑T2的處理裝置之配置資訊，並且實行指令生成處理、選擇處理、與指 令輸出處理。意即，管理裝置K會實行下列處理：指令生成處理，生成搬送指令，該搬送指令是從物品B的搬送起點之處理裝置到該物品B的搬送目的地之處理裝置的物品B的搬送之指令；選擇處理，從複數個搬送車V當中選擇負責搬送車，該負責搬送車是負責與搬送指令相關的物品B之搬送；及指令輸出處理，對由選擇處理所選擇的搬送車V輸出搬送指令。管理裝置K在選擇處理中，會根據處理裝置的配置資訊，當搬送指令的搬送起點之處理裝置是沿著第1行走路徑T1配置的情況下，則選擇供電驅動搬送車V1及電池驅動搬送車V2的任一個作為負責搬送車，而當搬送指令的搬送起點之處理裝置是沿著第2行走路徑T2配置的情況下，則選擇電池驅動搬送車V2作為負責搬送車。
再者，管理裝置K是構成為：針對將沿著第1行走路徑T1而配置的處理裝置作為搬送起點，且將沿著第2行走路徑T2而配置的處理裝置作為搬送目的地之物品B的搬送，將使供電驅動搬送車V1作動的前半搬送指令輸出至第1控制部H1，以將物品B從搬送起點的處理裝置搬送到物品保持部ZF並移載至該物品保持部ZF，並且，將使電池驅動搬送車V2作動的後半搬送指令輸出至第2控制部H2，以將物品B從物品保持部ZF移載並搬送至搬送目的地的處理裝置。
在參照圖8所說明的上述形態中，所顯示的是下列的例子：當搬送起點的處理裝置是沿著第1行走路徑T1而配置的情況下，可僅將供電驅動搬送車V1、或者將供電 驅動搬送車V1及電池驅動搬送車V2雙方選擇作為負責搬送車，而當搬送起點的處理裝置是沿著第2行走路徑T2而配置的情況下，僅將電池驅動搬送車V2選擇作為負責搬送車。具體而言，所顯示的是下列的例子：當搬送起點的處理裝置是沿著第1行走路徑T1而配置的情況下，因應搬送目的地的處理裝置的配置位置，可僅將供電驅動搬送車V1、或者將供電驅動搬送車V1及電池驅動搬送車V2雙方選擇為作負責搬送車，而當搬送起點的處理裝置是沿著第2行走路徑T2配置的情況下，不論搬送目的地的處理裝置的配置位置如何，均僅將電池驅動搬送車V2選擇為負責搬送車。再者，作為搬送起點的處理裝置是沿著第1行走路徑T1而配置的情況之因應搬送目的地的處理裝置之配置位置的具體例，所顯示的態樣為：當搬送目的地的處理裝置是沿著第1行走路徑T1而配置的情況下，僅將供電驅動搬送車V1選擇作為負責搬送車，而當搬送目的地的處理裝置是沿著第2行走路徑T2而配置的情況下，將供電驅動搬送車V1及電池驅動搬送車V2選擇作為負責搬送車。
但是，搬送起點的處理裝置是沿著第1行走路徑T1而配置的情況中的負責搬送車的選擇並不限於根據搬送目的地的處理裝置之配置位置的形態，也可以是根據各搬送車V及搬送起點的處理裝置之間的沿著行走路徑之距離、或電池驅動搬送車V2的蓄電裝置VB之剩餘電量等的形態。例如，在半導體處理設備等的物品搬送設備中，會有藉由縮短搬送車V的行走時間而使搬送效率提高的情況。也 就是說，會有可以利用將管理裝置K控制成使位於接近搬送起點的處理裝置之場所之搬送車V迅速地對搬送對象之物品B進行到接收，以提高設備整體的搬送效率的情況。因此，在搬送起點的處理裝置為沿著第1行走路徑T1而配置的情況下，根據搬送車V和搬送起點的處理裝置之間的沿著行走路徑之距離來選擇負責搬送車之形態也是較佳的。具體而言，較佳的是將搬送車V和搬送起點的處理裝置之間的沿著行走路徑之距離為最近的搬送車V選擇作為負責搬送車。
由於電池驅動搬送車V2可以行走在第1行走路徑及第2行走路徑雙方，故不論搬送目的地的處理裝置的配置位置如何，被選擇為負責搬送車都不會有問題。再者，供電驅動搬送車V1被選擇為負責搬送車，且搬送目的地是沿著第2行走路徑T2的處理裝置之情況下，是如參照圖8所說明地，於物品保持部ZF轉接來搬送物品B。雖然搬送效率會因轉接而降低，但到接收物品B為止的搬送效率會提升，又，如後面所述，可能與防止電池驅動搬送車V2的蓄電裝置VB的消耗，還有對因充電而造成的脫離時間的抑制也有關聯。
如上所述，電池驅動搬送車V2不論搬送起點的處理裝置之配置位置如何，都能夠得到彈性地利用，但另一方面，蓄電裝置VB的電力容量是有限的。因此，在搬送起點的處理裝置是沿著第1行走路徑T1而配置的情況之負責搬送車的選擇之時，較佳的是也考量到可選擇的電池驅動搬送車V2之蓄電裝置VB的剩餘電量。也就是說，搬送起 點的處理裝置是沿著第1行走路徑T1而配置的情況下，將搬送車V和搬送起點的處理裝置之間的沿著行走路徑之距離為最近的搬送車V選擇為負責搬送車的候補，當該候補之搬送車V是電池驅動搬送車V2時，較佳的是在蓄電裝置VB的剩餘電量為預先規定的閾值電力以上之情況下，選擇該電池驅動搬送車V2作為負責搬送車。
又，較佳的是，在電池驅動搬送車V2的蓄電裝置VB之蓄電容量較大的情況下、或者在可以於電池驅動搬送車V2在第1行走路徑T1行走之時對蓄電裝置VB充電的情況下，也積極地利用電池驅動搬送車V2。例如，電池驅動搬送車V2藉由行走在第1行走路徑T1，只要可充電到蓄電裝置VB的消耗的電力以上的電量的話，也可以做到積極地利用電池驅動搬送車V2，藉此來抑制電池驅動搬送車V2為了充電而脫離的時間。在此種情況下，較佳的是，在選擇處理中，管理裝置K會根據處理裝置的配置資訊，當搬送指令中的搬送起點之處理裝置、以及搬送指令中的搬送目的地之處理裝置的至少一個為沿著第2行走路徑T2而配置的情況下，選擇電池驅動搬送車V2作為負責搬送車。藉由形成此種構成，在從搬送起點到搬送目的地之搬送路徑的一部分中，包含供電驅動搬送車V1不能行走的路徑時，會成為電池驅動搬送車V2單獨搬送物品B之情形。因此，變得無需在複數個搬送車V之間轉接物品B，因而使搬送效率提升。
如以上所說明地，可以提供一種物品搬送設備， 其可將在涵蓋對搬送車V供給電力之第沿著1行走路徑T1而配置的搬送對象位置、以及不對搬送車V供給電力之沿著第2行走路徑T2而配置的搬送對象位置來搬送物品B時的搬送效率之降低儘可能地抑制。
[其他實施形態]
(1)在上述中，雖然顯示將物品搬送設備適用在半導體處理設備之例子，但是只要是設置有沿著行走路徑而行走且藉由電力而受到行走驅動的搬送車之設備的話，對於半導體處理設備以外的設備也可適用。
(2)在上述中，雖然顯示將行走路徑T區分為對應於第1區域A1~第4區域A4的每一個的4個供電區間之例子，但供電區間也可以是3個以下、或5個以上。又，在上述實施形態中，雖然顯示將供電區間對應於第1區域A1~第4區域A4的每一個而設置之例子，但是供電區間的設置形態可適當變更。
(3)在上述中，雖然是做成設置藉由供電線RH周圍的磁場之變動而使感應線圈VE產生感應電流之非接觸式之供電部，但也可以做成從接觸於供電線RH的集電器接受電力之供給的供電部。
(4)在上述中，雖然顯示將第2行走路徑T2設為對應於已將供電線RH切換至供電停止狀態之供電區間的行走路徑T之構成，但也可以取代此種構成，改將第2行走路徑T2設為不具備供電線RH的區間。
[實施形態的概要]
以下，簡單地說明在上述所說明之物品搬送設備的概要。
作為1個較佳的態樣，物品搬送設備具備：行走路徑，設置成可連結複數個處理裝置；搬送車，行走於前述行走路徑且搬送藉由前述處理裝置處理的物品；及管理部，管理前述搬送車的行走，在此，前述行走路徑包含：第1行走路徑，對前述搬送車供給電力；及第2行走路徑，不對前述搬送車供給電力，前述搬送車包含：第1搬送車，藉由前述第1行走路徑供給的電力而行走；及第2搬送車，搭載蓄電裝置且藉由從該蓄電裝置所供給的電力而行走，前述第1行走路徑與前述第2行走路徑是相互連接，前述管理部將前述第1搬送車的行走管理成使前述第1搬送車在前述第1行走路徑及前述第2行走路徑當中，只行走在前述第1行走路徑上，且將前述第2搬送車的行走管理成使前述第2搬送車涵蓋前述第1行走路徑及前述第2行走路徑雙方而行走。
藉由此構成，當物品的搬送起點與搬送目的地雙方是沿著第1行走路徑而存在的情況下，藉由使第1搬送車及第2搬送車的任一個搬送物品，即能使其以1台搬送車完成物品的搬送。又，當物品的搬送起點與搬送目的地雙方是沿著第2行走路徑而存在的情況下，藉由使第2搬送車搬送物品，即能使其以1台搬送車完成物品的搬送。此外，第 2搬送車能行走在相互連接的第1行走路徑與第2行走路徑雙方上。因此，當在第1行走路徑及第2行走路徑的其中一個上存在物品的搬送起點，而在另一個上存在搬送目的地的情況下，可以藉由使第2搬送車搬送物品，使其以1台搬送車完成從搬送起點到搬送目的地之物品搬送。也就是說，根據本構成，可以在對搬送車供給行走用電力之屬於第1行走路徑的搬送對象位置、與不對搬送車供給行走用電力之屬於第2行走路徑的搬送對象位置之間，抑制搬送物品時的搬送效率之降低。
又，當搬送起點與搬送目的地的其中之一屬於供電停止狀態之供電區間的情況下、或者即使搬送起點與搬送目的地雙方都是在供電狀態之供電區間，但在這之間必須通過供電停止狀態之供電區間的情況下，只藉由第1搬送車並無法完成物品的搬送。但是，即便是在這種情況下，藉由利用第2搬送車，即使從搬送起點到搬送目的地之間包含有供電停止狀態的供電區間，也可以在不在途中進行物品的轉接之情形下，藉由單一個第2搬送車來進行物品的搬送。也就是說，即使從搬送起點到搬送目的地之間包含有供電停止狀態的供電區間，也能夠抑制物品的搬送效率的降低。如此，藉由本構成，可以抑制設備的運作效率之降低以及搬送效率之降低。
在此，較佳的是，物品搬送設備是使前述管理部儲存對應於前述第1行走路徑之前述處理裝置的配置資訊、以及對應於前述第2行走路徑之前述處理裝置的配置資 訊，並且實行以下的處理：指令生成處理，生成搬送指令，該搬送指令是從物品的搬送起點之前述處理裝置到該物品的搬送目的地之前述處理裝置的物品之搬送的指令；選擇處理，從複數個前述搬送車當中選擇負責搬送車，該負責搬送車是負責與前述搬送指令相關的物品之搬送；及指令輸出處理，對由前述選擇處理所選擇的前述搬送車輸出前述搬送指令，在前述選擇處理中，前述管理部會根據前述處理裝置的配置資訊，在前述搬送指令中的搬送起點之前述處理裝置、以及前述搬送指令中的搬送目的地之前述處理裝置的至少一個是沿著前述第2行走路徑配置的情況下，選擇前述第2搬送車作為前述負責搬送車。
搬送起點及搬送目的地的處理裝置內，任一個處理裝置皆是沿著第2行走路徑而配置的情況下，則無法僅藉由第1搬送車來使其完成物品的搬送。在使用第1搬送車來搬送物品的情況下，必須在途中進行物品的轉接而也利用到第2搬送車。但是，藉由選擇第2搬送車作為負責搬送者，即可以在不進行此種轉接的情形下，將物品從搬送起點搬送至搬送目的地。因此，可以抑制物品的搬送效率之降低。再者，若考慮到搭載於第2搬送車的蓄電裝置的消耗，宜將物品搬送設備進一步構成為以下所述的形式。較佳的是，前述管理部在搬送指令中的搬送起點之前述處理裝置、以 及前述搬送指令中的搬送目的地之前述處理裝置雙方為沿著前述第1行走路徑配置的情況下，選擇前述第1搬送車作為前述負責搬送車。藉由如此選擇負責搬送車，即可適當地運用第2搬送車，且可以使第2搬送車為了對蓄電裝置充電而脫離的時間縮短，而可以抑制搬送效率的降低。
又，較佳的是，物品搬送設備是使前述管理部儲存對應於前述第1行走路徑之前述處理裝置的配置資訊、以及對應於前述第2行走路徑之前述處理裝置的配置資訊，並且實行以下的處理：指令生成處理，生成搬送指令，該搬送指令是從物品的搬送起點之前述處理裝置到該物品的搬送目的地之前述處理裝置的物品之搬送的指令；選擇處理，從複數個前述搬送車當中選擇負責搬送車，該負責搬送車是負責與前述搬送指令相關的物品之搬送；及指令輸出處理，對前述選擇處理所選擇的前述搬送車輸出前述搬送指令，在前述選擇處理中，前述管理部會根據前述處理裝置的配置資訊，在前述搬送指令的搬送起點之前述處理裝置為沿著前述第1行走路徑配置的情況下，僅將前述第1搬送車、或者僅將前述第2搬送車、或者將前述第1搬送車及前述第2搬送車雙方選擇作為前述負責搬送車，在前述搬送指令的搬送起點之前述處理裝置為沿著前述第2行走路徑配置的情況下，僅將前述第2搬送車、或者將前述第2搬送車 及前述第1搬送車雙方選擇作為前述負責搬送車。
也就是說，搬送指令的搬送起點之處理裝置是沿著第1行走路徑而配置的情況下，第1搬送車及第2搬送車的任一個皆可以接收搬送對象之物品。在此，搬送目的地之處理裝置是沿著第1行走路徑而配置的情況下，由於可以藉由第1搬送車完成物品的搬送，故可以選擇第1搬送車作為負責搬送車。另一方面，搬送目的地之處理裝置是沿著第2行走路徑而配置的情況下，由於藉由第2搬送車進行的搬送也變得必要，故選擇第1搬送車及第2搬送車作為負責搬送車。由於第2搬送車可以行走在第1行走路徑及第2行走路徑雙方上，因此不論搬送目的地之處理裝置的配置位置為何，都可以選擇第2搬送車作為負責搬送車。在物品的搬送之時，為了縮短行走時間而使其提升搬送效率，會經常控制成令位於搬送起點的處理裝置附近之搬送車去接收物品。在搬送指令的搬送起點之處理裝置是沿著第1行走路徑而配置的情況下，由於像這樣地彈性的應對是可能的，故可抑制搬送效率的降低。
搬送指令的搬送起點之處理裝置為沿著第2行走路徑而配置的情況下，由於第1搬送車無法行走在第2行走路徑行走，故無法從搬送起點之處理裝置接收物品。於是，搬送指令的搬送起點之處理裝置為沿著第2行走路徑配置的情況下，可以藉由選擇第2搬送車作為負責搬送車，而從搬送起點之處理裝置接收物品。由於第2搬送車可以行走在第1行走路徑與第2行走路徑雙方上，所以即使搬送目的地 之處理裝置為沿著第1行走路徑而配置的情況下，也可以使第2搬送車行走在該第1行走路徑上而將物品搬送到搬送目的地。因此，變得可抑制物品之搬送效率的降低。再者，在搬送目的地之處理裝置是沿著第1搬送路徑而配置的情況下，當然也可以在途中將物品轉接到第1搬送車。因此，也可以選擇第2搬送車及第1搬送車雙方作為負責搬送車。例如，第2搬送車的蓄電裝置之蓄電量較少，而想要抑制電力消耗的情況下，宜轉接到第1搬送車。
在此，在前述選擇處理中，前述管理部根據前述處理裝置的配置資訊，在前述搬送指令的搬送起點之前述處理裝置為沿著前述第2行走路徑而配置的情況下，選擇前述第2搬送車作為前述負責搬送車亦可。
如上所述，由於第2搬送車可以行走在第1行走路徑與第2行走路徑的雙方，所以即便搬送目的地之處理裝置為沿著第1行走路徑而配置的情況下，也可以使第2搬送車行走在該第1行走路徑上來將物品搬送到搬送目的地。也就是說，由於不一定需要進行對第1搬送車之轉接，故在搬送起點之處理裝置為沿著第2行走路徑而配置的情況下，只選擇第2搬送車作為負責搬送車時，便可以抑制因轉接造成的物品的搬送效率的降低。
又，較佳的是，物品搬送設備更沿著前述第1行走路徑設置使前述第1搬送車及前述第2搬送車的每一個可移載物品之物品保持部，且前述第1搬送車具備控制前述第1搬送車的第1控制部，前述第2搬送車具備控制前述第2搬 送車的第2控制部，前述管理部會儲存：第1容許區間定義資料，是規定第1行走容許區間的資料，該第1行走容許區間是在前述行走路徑上容許前述第1搬送車的行走的區間；及第2容許區間定義資料，是規定第2行走容許區間的資料，該第2行走容許區間是在前述行走路徑上容許前述第2搬送車的行走的區間，在前述第1行走容許區間中只包含前述第1行走路徑，在前述第2行走容許區間中包含前述第2行走路徑及前述第1行走路徑雙方，前述第1控制部根據從前述管理部取得的前述第1容許區間定義資料，使前述第1搬送車在前述第1行走容許區間內行走，前述第2控制部根據從前述管理部取得的前述第2容許區間定義資料，使前述第2搬送車在前述第2行走容許區間內行走，前述管理部在將沿著前述第1行走路徑而配置的前述處理裝置作為搬送起點，且將沿著前述第2行走路徑而配置的前述處理裝置作為搬送目的地來搬送物品的情況下，會對前述第1控制部輸出使前述第1搬送車作動的前半搬送指令，以將物品從前述搬送起點之前述處理裝置搬送至前述物品保持部並移載至該物品保持部，並且，對前述第2控制部輸出使前述第2搬送車作動的後半搬送指令，以將物品從前述物品保持部移載並搬送至前述搬送目的地之前述處理裝置。
由於第1搬送車無法行走在第2行走路徑上，故針對將沿著第1行走路徑而配置的處理裝置作為搬送起點，且將沿著第2行走路徑而配置的處理裝置作為搬送目的地時的物品的搬送，必須使用第2搬送車。由於第1搬送車可以行走到沿著第1行走路徑的搬送起點，因此，首先可以使第1搬送車行走到搬送起點來接收物品。由於第1搬送車可以行走到物品保持部，因此可以將物品移載到物品保持部。由於第2搬送車也可以行走到物品保持部，因此可以接收保持在物品保持部上的物品，並沿著第2行走路徑行走而將物品搬送到搬送目的地。如此，可以藉由做成在不需要使第2搬送車行走的第1行走路徑上儘量不讓第2搬送車行走，而可以做到一邊抑制第2搬送車的蓄電裝置之消耗，一邊進行將沿著第1行走路徑配置的處理裝置作為搬送起點，且將沿著第2行走路徑配置的處理裝置作為搬送目的地的物品的搬送。
具體而言，作為1個態樣，較佳的是，物品搬送設備是使前述管理部在前述指令生成處理中，生成前述前半搬送指令及前述後半搬送指令作為前述搬送指令，在前述選擇處理中，選擇前述第1搬送車作為負責與前述前半搬送指令相關的物品之搬送的前述負責搬送車，並且，選擇前述第2搬送車作為負責與前述後半搬送指令相關的物品之搬送的前述負責搬送車，在前述指令輸出處理中，對具有前述第1控制部的前述第1搬送車輸出前述前半搬送指令，並且，對具有前述第2控制部的前述第2搬送車輸出前 述後半搬送指令。
又，較佳的是，物品搬送設備更具備供電部，該供電部對行走於前述行走路徑的前述搬送車供給電力，前述供電部是沿著前述行走路徑延伸的長度方向涵蓋前述第1行走路徑及前述第2行走路徑的整體範圍而設置，將前述供電部在前述長度方向上區分為複數個供電區間，並且使前述複數個供電區間的每一個在供給電力之供給狀態、與停止電力的供給之供給停止狀態各自分別地切換自如，前述第1行走路徑中的前述供電部是由前述供給狀態之前述供電區間所構成，前述第2行走路徑中的前述供電部是由前述供給停止狀態之前述供電區間所構成。
由於供電部是沿著行走路徑而設置，因此在例如進行對構成行走路徑之行走軌道的作業(更換施工或新設施工等。以下稱為行走路徑上的作業。)的情況下，在對應於進行作業的該位置及周邊位置之供電區間中，必須將供電部設為供給停止狀態。根據本構成，針對沿著行走路徑設置的複數個供電區間的每一個，可將供電部各個分別地切換為供給狀態及供給停止狀態。因此，進行如上述的作業時，可以只對作業對象的供電區間切換為供給停止狀態。因此，在進行行走路徑上的作業時，不需要連針對非作業對象之供電區間的供電都停止並使設備整體的搬送機能都停止。因此，可以抑制設備的運轉效率的降低。

Claims (5)

  1. 一種物品搬送設備，具備：行走路徑，設置成可連結複數個處理裝置；搬送車，行走於前述行走路徑且搬送藉由前述處理裝置處理的物品；及管理部，管理前述搬送車的行走，在此，前述行走路徑包含：第1行走路徑，對前述搬送車供給電力；及第2行走路徑，不對前述搬送車供給電力，前述搬送車包含：第1搬送車，藉由從前述第1行走路徑所供給的電力而行走；及第2搬送車，搭載蓄電裝置且藉由從該蓄電裝置所供給的電力而行走，該物品搬送設備具備以下之特徵：前述第1行走路徑與前述第2行走路徑相互連接，前述管理部將前述第1搬送車的行走管理成使前述第1搬送車僅在前述第1行走路徑及前述第2行走路徑當中的前述第1行走路徑上行走，且將前述第2搬送車的行走管理成使前述第2搬送車涵蓋前述第1行走路徑及前述第2行走路徑雙方而行走，前述管理部會儲存對應於前述第1行走路徑之前述處理裝置的配置資訊、以及對應於前述第2行走路徑之前述處理裝置的配置資訊，並且實行以下的處理：指令生成處理，生成搬送指令，該搬送指令是從物品的搬送起點之前述處理裝置到該物品的搬送目的地之前述處理裝置的物品之搬送的指令；選擇處理，從複數個前述搬送車當中選擇負責搬送車，該負責搬送車是負責與前述搬送指令相關的物品之搬送；及指令輸出處理，對由前述選擇處理所選擇的前述搬送車輸出前述搬送指令，在前述選擇處理中，前述管理部會根據前述處理裝置的配置資訊，在前述搬送指令的搬送起點之前述處理裝置為沿著前述第1行走路徑配置的情況下，僅將前述第1搬送車、或者僅將前述第2搬送車、或者將前述第1搬送車及前述第2搬送車雙方選擇作為前述負責搬送車，在前述搬送指令的搬送起點之前述處理裝置為沿著前述第2行走路徑配置的情況下，僅將前述第2搬送車、或者將前述第2搬送車及前述第1搬送車雙方選擇作為前述負責搬送車，在前述選擇處理中，前述管理部會根據前述處理裝置的配置資訊，在前述搬送指令的搬送起點之前述處理裝置為沿著前述第2行走路徑而配置，且前述搬送指令的搬送目的地之前述處理裝置為沿著前述第1行走路徑而配置的情況下，將前述第2搬送車選擇作為前述負責搬送車，其中更沿著前述第1行走路徑設置使前述第1搬送車及前述第2搬送車分別可移載物品之物品保持部，前述管理部在將沿著前述第1行走路徑而配置的前述處理裝置作為搬送起點，且將沿著前述第2行走路徑而配置的前述處理裝置作為搬送目的地來搬送物品的情況下，會對控制前述第1搬送車的第1控制部輸出使前述第1搬送車作動的前半搬送指令，以將物品從前述搬送起點之前述處理裝置搬送至前述物品保持部並移載至該物品保持部，並且，對控制前述第2搬送車的第2控制部輸出使前述第2搬送車作動的後半搬送指令，以將物品從前述物品保持部移載並搬送至前述搬送目的地之前述處理裝置。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中在前述選擇處理中，前述管理部會根據前述處理裝置的配置資訊，在前述搬送指令中的搬送起點之前述處理裝置、以及前述搬送指令中的搬送目的地之前述處理裝置的至少一個是沿著前述第2行走路徑配置的情況下，選擇前述第2搬送車作為前述負責搬送車。
  3. 如請求項1之物品搬送設備，其中前述第1搬送車具備控制前述第1搬送車的前述第1控制部，前述第2搬送車具備控制前述第2搬送車的前述第2控制部，前述管理部會儲存：第1容許區間定義資料，是規定第1行走容許區間的資料，該第1行走容許區間是在前述行走路徑上容許前述第1搬送車行走的區間；及第2容許區間定義資料，是規定第2行走容許區間的資料，該第2行走容許區間是在前述行走路徑上容許前述第2搬送車行走的區間，在前述第1行走容許區間中只包含前述第1行走路徑，在前述第2行走容許區間中包含前述第2行走路徑與前述第1行走路徑雙方，前述第1控制部根據從前述管理部取得的前述第1容許區間定義資料，使前述第1搬送車在前述第1行走容許區間內行走，前述第2控制部根據從前述管理部取得的前述第2容許區間定義資料，使前述第2搬送車在前述第2行走容許區間內行走。
  4. 如請求項3之物品搬送設備，其中前述管理部在前述指令生成處理中，是生成前述前半搬送指令及前述後半搬送指令作為前述搬送指令，在前述選擇處理中，是選擇前述第1搬送車作為負責與前述前半搬送指令相關的物品之搬送的前述負責搬送車，並且，選擇前述第2搬送車作為負責與前述後半搬送指令相關的物品之搬送的前述負責搬送車，在前述指令輸出處理中，是對具有前述第1控制部的前述第1搬送車輸出前述前半搬送指令，並且，對具有前述第2控制部的前述第2搬送車輸出前述後半搬送指令。
  5. 如請求項1~4中任一項之物品搬送設備，其更具備供電部，該供電部是對行走於前述行走路徑的前述搬送車供給電力，前述供電部是沿著前述行走路徑延伸的長度方向涵蓋前述第1行走路徑及前述第2行走路徑的整體範圍而設置，將前述供電部在前述長度方向上區分為複數個供電區間，並且使前述複數個供電區間的每一個在供給電力之供給狀態、與停止電力的供給之供給停止狀態各自分別地切換自如，前述第1行走路徑中的前述供電部是由前述供給狀態之前述供電區間所構成，前述第2行走路徑中的前述供電部是由前述供給停止狀態之前述供電區間所構成。
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