TWI674231B - 基板貯送系統 - Google Patents

Abstract

本發明係關於一種基板貯送系統，包括一機體，該機體一側設有一預備輸送空間，該預備輸送空間一側與一直立之升降容室相鄰，該預備輸送空間與該升降容室相鄰處設一輸入部，該升降容室內部設一具複數容室空間之載框，該載框設有複數縱向承載部，且該載框由一升降機組共聯且令複數承載部一體升降，複數組基板載具分別由該輸入部裝載至該各承載部。如此即可以使得基板載具擺置所占之空間充分節省，且只需要配合該可供伸入輸送操作室之移動設備作為取件之工具，而能夠充分有效利用空間以及節省成本。

Description

基板貯送系統

本發明係關於一種貯運系統，尤指一種可供基板載具貯存進而使基板輸送移動之系統。

先前技術運用在基板製程，例如在半導體之晶圓製造，或者在IC封裝設備的操作，基板在製作過程或完成後在IC封裝設備操作，往往被放置於一基板載具內部，該基板載具包括一中空盒體，該盒體內部具有一容室，該盒體一側具有開口與該容室相通，該容室內部設有一隔層架，該隔層架設有複數層疊之層板。並且利用一組機械手臂對於該隔層架之各層板內之基板加以鉗夾，而移動至各不同的工序位置。

然而，先前技術在基板製程運用的基板載具，在配合基板的輸送，該基板載具的擺置是必須以並列的方式為擺置設計，例如平行排列或左右排列。但是在基板製程運用，無論是在半導體之晶圓製造或是在IC封裝設備的操作，若基板載具以先前技術之擺置設計作為基板的輸送，如此即會佔據相當大的擺置空間，亦或者在空間有限的基板製程區域所能擺置的基板載具亦會有限，亦會降低基板的輸送移動效率，進而大幅影響基板生產效率及成本。

此外，先前技術運用之基板載具，該基板載具之隔層架由於是由該基板載具之底部板開始連續設置，使得該基板載具內並無太多之操 作空間，該機械手臂只能在有限的空間內操作，而對於該基板之操作與移動方式形成限制，並無太多的空間可以採用別的型態移動該基板。且使用者在基板生產製程設備或是在IC封裝設備操作的運用亦會受到大幅限制，因以現有技術該隔層架是由該基板載具之底部開始連續設置，在對該基板之輸送方式就僅能以該機械手臂方式操作，因此使用者在興建製程或封裝工廠時即必須以機械手臂方式的輸送設備為設計，而一旦設計為機械手臂方式的輸送設備即無法再變更其他方式輸送基板，如此即造成使用者缺乏調變空間的配置，嗣後若有基板輸送方式的需求要改變其他方式進行輸送，例如以皮帶或滾輪輸送，使用者即必須拆除原先的設備及廠房，亦會因而增加製程的成本。

有鑒於先前技術之問題，本發明者認為應有一種改善之構造，除了解除在基板載具擺置佔據空間問題，同時在基板輸送的方式亦能夠有至少一種以上的選擇方式，並且能夠同時運用在基板製造，例如：半導體廠之晶圓製造，以及IC封裝設備的操作。

從而設計一種基板貯送系統，包括一機體，該機體一側設有一預備輸送空間，該預備輸送空間一側與一直立之升降容室相鄰，該預備輸送空間與該升降容室相鄰處設一輸入部，該升降容室內部設一具複數容室空間之載框，該載框設有複數縱向承載部，且該載框由一升降機組共聯且令複數承載部一體升降，複數組基板載具分別由該輸入部裝載至該載框之該各承載部。

而該各個基板載具由二側板、一底板、一後板與一頂板相互框圍而成，該各基板載具內部具有一容室，該各基板載具一側具有開口與該容室相通，該容室內部設有一隔層部，該隔層部之周邊設有複數間隔元件，以令中央為中空，以提供該基板能夠輸入及輸出該各基板載具之容室，例如：晶圓片、玻璃或薄板狀物品等基板，該隔層部下方設有一輸送操作室，以及設一可供伸入該輸送操作室之移動設備，藉以供該移動設備因應升降機組之升降動作而相對取出該隔層部之間隔元件內之基板而為輸送移動。

由於本發明係設計在該機體一側設有該升降容室，該升降容室提供設有複數容室空間之載框，該載框設有複數縱向承載部，該載框由一升降機組共聯且令各承載部一體升降，如此即可以使得該基板載具擺置所占之空間充分節省，且只需要配合該可供伸入該輸送操作室之移動設備作為輸送基板之工具，而能夠充分有效利用空間以及節省成本。

再者，本發明之基板載具於該隔層部下方設有一輸送操作室，該輸送操作室內可以供移動設備因應與配合基板載具內之基板之輸送移動，因此，使用者可以有更多輸送基板之移動方式選擇與製程彈性配置，同時在IC封裝設備的操作亦能運用本發明，例如使用者可以裝設伸縮滾輪組或以輸送帶的方式進行輸送基板移動，同時亦可以選擇以具有機械手臂之設備做輸送移動基板，如此本發明亦能夠提供使用者有更多操作基板輸送移動之選擇方式及生產製程與IC封裝設備操作之運用。

(1)‧‧‧基板載具

(10)‧‧‧容室

(11)‧‧‧側板

(12)‧‧‧底板

(13)‧‧‧後板

(14)‧‧‧頂板

(15)‧‧‧隔層部

(151)‧‧‧間隔元件

(152)‧‧‧輸送操作室

(18)‧‧‧開口

(2)‧‧‧基板

(3)‧‧‧移動設備

(3A)‧‧‧移動設備

(31)‧‧‧基座

(31A)‧‧‧基座

(32)‧‧‧伸縮滾輪組件

(32A)‧‧‧機械手臂

(4)‧‧‧機體

(40)‧‧‧預備輸送空間

(41)‧‧‧升降容室

(42)‧‧‧升降機組

(43)‧‧‧門板

(431)‧‧‧視窗

(44)‧‧‧預備輸送機台

(441)‧‧‧平台

(45)‧‧‧輸入部

(46)‧‧‧隔板

(47)‧‧‧載框

第一圖係本發明之立體圖

第二圖係本發明之門板分離狀態之示意圖

第三圖係本發明另一角度立體圖

第四圖係本發明配合設有預備輸送機台之立體示意圖

第五圖係本發明之基板載具立體圖

第六圖係本發明之基板載具分解圖

第七圖係本發明配合伸縮滾輪組件狀態示意圖

第八圖係本發明配合機械取料組狀態示意圖

以下藉由圖式之輔助，說明本發明之構造、內容與實施例，俾使 貴審查人員對於本發明有更進一步之瞭解。

請參閱第一圖並配合第二圖、第四圖所示，本發明係關於一種基板貯送系統，包括一機體(4)，該機體(4)一側設有一預備輸送空間(40)，該預備輸送空間(40)一側與一直立之升降容室(41)相鄰，該預備輸送空間(40)與該升降容室(41)相鄰處設一輸入部(45)以令該預備輸送空間(40)與該升降容室(41)相通，該升降容室(41)內部設一具複數容室空間之載框(47)，該載框(47)設有複數縱向之承載部，在本實施例中該各承載部係由隔板(46)形成隔層，以供各基板載具(1)穩固放置該各載框(47)之承載部。另，承載部亦能由網狀體形成隔層，亦或者能夠由框架框圍而成。該輸入部(45)為該預備輸送空間(40)與該升降容室(41)相通之穿孔，且該輸入部(45)與該複數容室空間之其中一容室空間相通，且其中一隔板(46)於升降狀態與該預備輸送空間(40)底部所設之一平台(441)銜接，而能順利提供一基板載具(1)順利銜接。

該預備輸送空間(40)設有一預備輸送機台(44)，該預備輸送機台(44)可以為具有高低與橫向推送之機械手臂，以增加自動化而達成一貫作業之便利。

該載框(47)由一升降機組(42)共聯且令複數承載部一體升降。而該各基板載具(1)分別放置於該預備輸送空間(40)，藉由該輸入部(45)輸入至該升降容室(41)之該各載框(47)並穩固於承載部上。配合第三圖所示，由另一角度觀之，該等縱向疊列之載框(47)由一升降機組(42)共聯且令各承載部能夠一體升降。

由於本發明係設計在該機體(4)一側設有該升降容室(41)，該升降容室(41)提供具有複數容室空間之載框(47)，該載框(47)由一升降機組(42)共聯且令其之複數承載部能夠一體升降，如此即可以使得基板載具(1)貯存之空間充分節省，而能夠充分有效降低成本。再則，當要運送時，也可以利用此一設備，無論人工或任何機械之操作均可以依序取得該基板載具(1)內之基板(2)。

配合第四圖所示，該機體(4)之該預備輸送空間(40)內設有一預備輸送機台(44)，在本實施例中該預備輸送機台(44)可以為具有高低與橫向推送之機械手臂，以增加自動化而達成一貫作業之便利，透過該預備輸送機台(44)得以將該各基板載具(1)輸送放置於該預備輸送空間(40)，並藉由與該升降容室(41)相通之該輸入部(45)(如第一圖所示)輸送至該各載框(47)並穩固於承載部上。當然，若使用者受工作空間之限制或裝備設置之成本因素無法設置輸送機台，亦能夠透過人工方式將該基板載具(1)搬至該預備輸送機台(44)。

又，該升降容室(41)由一門板(43)活動式啟閉，以便於進行設備之拆裝與維修。且該門板(43)設有一視窗(431)以供觀察。

配合第五圖及第六圖所示各基板載具(1)之立體示意圖及分解圖，該各基板載具(1)為二側板(11)、一底板(12)、一後板(13)與一頂板(14)相互框圍。

配合第五圖第六圖、與第七圖所示，該各基板載具(1)內部具有一容室(10)，該各基板載具(1)一側具有開口(18)與該容室(10)相通，該容室(10)內部設有一隔層部(15)，該隔層部(15)之周邊設有複數間隔元件(151)，以令中央為中空部位，以提供該基板(2)能夠輸入及輸出該各基板載具(1)之容室(10)，例如：晶圓片、玻璃或薄板狀物品等基板。

請參閱第五圖所示，該隔層部(15)下方設有一輸送操作室(152)，以及設一可供伸入該輸送操作室(152)之移動設備(3)(如第七圖所示)，藉以供該移動設備(3)因應與配合該隔層部(15)內之基板(2)輸送移動。因此，使用者可以有更多輸送該基板(2)之移動方式選擇與基板製程或IC封裝設備操作的運用。

請參閱第七圖所示，為配合伸縮滾輪組件狀態示意圖，其中該移動設備(3)為一伸縮滾輪組，該伸縮滾輪組包括一基座(31)，且該基座(31)設於該各基板載具(1)外側方，且該基座(31)延伸一伸縮滾輪組件(32)進入該輸送操作室(152)內部，該伸縮滾輪組件(32)相望於該各間隔元件(151)之中空部位，供輸送該基板載具(1)內之基板(2)。

且本發明利用該機體(4)一側所設之該升降容室(41)，由於該升降容室(41)設計有該複數縱向相隔疊列之載框(47)並與升降機組(42)共聯且令其一體升降，因此，本發明能夠將各基板載具(1)輸送擺置於該升降容室(41)之載框(47)之各承載部，如此即可以使得該基板載具(1)減少所占據之空間，又只需要配合該升降機組(42)使得該載框(47)進行上下線性運動，並配合該可供伸入該輸送操作室(152)之移動設備(3)作為輸送該基板(2)之工具，進而達到可以充分有效利用空間以及節省成本。

再者，該伸縮滾輪組件(32)外緣也可以套設一皮帶，以令該伸縮滾輪組為一輸送帶(圖未顯示)。

請參閱第八圖，係配合機械取料組狀態示意圖，基板製程系統與輸送型態之選項之一，其中移動設備(3A)亦可為一機械取料組，該機械取料組包括一基座(31A)，且該基座(31A)設於該各基板載具(1)外側方，且該基座(31A)操作性延伸一機械手臂(32A)進入該輸送操作室(152)內部，供輸送該間隔元件(151)內之基板(2)。該載框(47)共聯之該升降機組(42)令其進行上升與下降之線性動作，而令該各基板載具(1)遞升與遞降相對符合於該機械手臂(32A)之高度，以進行輸送該基板載具(1)之基板(2)。

綜上所述，本發明確實符合產業利用性，且未於申請前見於刊物或公開使用，亦未為公眾所知悉，且具有非顯而易知性，符合可專利之要件，爰依法提出專利申請。

惟上述所陳，為本發明產業上一較佳實施例，舉凡依本發明申請專利範圍所作之均等變化，皆屬本案訴求標的之範疇。

Claims (8)

1. 一種基板貯送系統，包括一機體，該機體一側設有一預備輸送空間，該預備輸送空間一側與一直立之升降容室相鄰，該預備輸送空間與該升降容室相鄰處設一輸入部，該升降容室內部設一複數容室空間之載框，該載框設有複數縱向承載部，且該載框由一升降機組共聯且令複數承載部一體升降，該輸入部為該預備輸送空間與該升降容室相通之穿孔，且該輸入部與該複數容室空間之其中一容室空間相通，複數組基板載具分別由該輸入部裝載至該載框之該各承載部，又，該升降容室由一門板活動式啟閉，且該門板設有一視窗，其中該各承載部由隔板而隔成，且其中一隔板於升降狀態與該預備輸送空間底部所設之一平台銜接。
2. 如申請專利範圍第1項所述之基板貯送系統，其中該預備輸送空間內設有一預備輸送機台，該預備輸送機台為具有高低與橫向推送之機械手臂。
3. 如申請專利範圍第1項所述之基板貯送系統，其中該各承載部由網狀體而隔成。
4. 如申請專利範圍第1項所述之基板貯送系統，其中該各承載部由框架框圍而成。
5. 如申請專利範圍第1項所述之基板貯送系統，其中該各個基板載具由二側板、一底板、一後板與一頂板相互框圍而成，該各基板載具內部具有一容室，該各基板載具一側具有開口與該容室相通，該容室內部設有一隔層部，該隔層部之周邊設有複數間隔元件，相對框圍而令中央為中空部位，該隔層部下方設有一輸送操作室，以及設一可供伸入該輸送操作室之移動設備，藉以供該移動設備因應該升降機組之升降動作而相對取出 該隔層部之間隔元件內之基板而為輸送移動。
6. 如申請專利範圍第5項所述之基板貯送系統，其中該移動設備為一伸縮滾輪組，該伸縮滾輪組包括一基座，且該基座設於該各基板載具之外側方，且該基座延伸一伸縮滾輪組件進入該基板載具之輸送操作室內部，該伸縮滾輪組件相望於該各間隔元件之中空部位，供承載該隔層部之間隔元件內之基板。
7. 如申請專利範圍第6項所述之基板貯送系統，其中該伸縮滾輪組件外緣套設一皮帶，以令該伸縮滾輪組為一輸送帶。
8. 如申請專利範圍第5項所述之基板貯送系統，其中該移動設備為一機械取料組，該機械取料組包括一基座，且該基座設於該各基板載具之外側方，且該基座延伸一機械手臂進入該基板載具之輸送操作室內部，供輸送該隔層部之間隔元件內之基板。