TWI664135B - 撕膜裝置 - Google Patents

Abstract

撕膜裝置適於在真空環境下撕除連續式卷材上的覆蓋膜片。覆蓋膜片包括相連接之膜體與耳部。撕膜裝置包括垂直下拉機構及水平後拉機構。垂直下拉機構包括耳部夾持組件及下拉組件。耳部夾持組件用以夾持耳部。下拉組件用以將覆蓋膜片沿垂直方向下拉。水平後拉機構包括膜片夾持組件及後拉組件。膜片夾持組件用以夾持膜體。後拉組件用以沿水平方向拉動膜體，以將覆蓋膜片自連續式卷材撕除。

Description

撕膜裝置

本發明是有關於一種撕膜裝置，且特別是有關於一種可沿二方向撕膜的撕膜裝置。

傳統有機發光二極體的製程係在大氣環境下於一載板上形成有機發光二極體的數個半導體結構層。然後，同樣在大氣環境下以覆蓋膜片密封包覆此些半導體結構層。然而，在大氣環境下撕膜容易導致此些半導體結構層損壞。因此，本技術領域業者有必要提出一種可改善前述問題的新技術。

因此，本發明提出一種撕膜裝置，可改善前述習知問題。

根據本發明之一實施例，提出一種撕膜裝置。撕膜裝置適於在真空環境下撕除一連續式卷材上的一覆蓋膜片。覆蓋膜片包括相連接之一膜體與一耳部。撕膜裝置包括一垂直下拉機構及一水平後拉機構。垂直下拉機構包括一耳部夾持組件及一下 拉組件。耳部夾持組件用以夾持耳部。下拉組件用以將覆蓋膜片沿一垂直方向下拉。水平後拉機構包括一膜片夾持組件及一後拉組件。膜片夾持組件用以夾持膜體。後拉組件用以沿一第一水平方向拉動膜體，以將覆蓋膜片自連續式卷材撕除。

為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解，下文特舉實施例，並配合所附圖式詳細說明如下：

10‧‧‧卷對卷連續製程設備

11‧‧‧放卷箱

11a‧‧‧放卷腔體

12‧‧‧滾輪

13‧‧‧密封蓋

20‧‧‧連續式卷材

21‧‧‧半導體結構

22‧‧‧覆蓋膜片

221‧‧‧膜體

222‧‧‧第一耳部

223‧‧‧第二耳部

100‧‧‧撕膜裝置

13‧‧‧密封蓋

110‧‧‧垂直下拉機構

110A‧‧‧波紋管

111‧‧‧耳部夾持組件

1111‧‧‧第一載台

1112‧‧‧第一夾爪組

1112a‧‧‧第一夾爪

1112b‧‧‧第二夾爪

1112c‧‧‧第一齒輪

1112d‧‧‧第二齒輪

1112e‧‧‧推桿

1112e1‧‧‧第一端

1112e2‧‧‧第二端

1112f‧‧‧推動件

1112g‧‧‧連接板

1112h‧‧‧擋塊

1112j‧‧‧第一樞軸

1112k‧‧‧第二樞軸

1112s‧‧‧斜面

1113‧‧‧第二夾爪組

1114‧‧‧第一齒條

1115‧‧‧第二齒條

1116‧‧‧驅動齒輪

1112n‧‧‧第一彈性元件

1112m‧‧‧第二彈性元件

1112p‧‧‧止擋部

1118‧‧‧第一驅動器

1119‧‧‧磁流體器

1120a‧‧‧垂直轉軸

1120b‧‧‧支撐桿

112‧‧‧下拉組件

1121‧‧‧第一支撐件

1122‧‧‧第一導螺母

1123‧‧‧第一垂直導螺桿

1124‧‧‧第二驅動器

1125‧‧‧齒輪組

120‧‧‧水平後拉機構

120A、120B‧‧‧引導桿

121‧‧‧膜片夾持組件

1211a‧‧‧第一夾座

1211b‧‧‧第二夾座

1212a‧‧‧第一夾桿

1212b‧‧‧第二夾桿

1213‧‧‧傳動組

1214‧‧‧第一水平轉軸

1215a‧‧‧第二導螺母

1215b‧‧‧第三導螺母

1215c‧‧‧第四導螺母

1215d‧‧‧第五導螺母

1216a‧‧‧第一水平導螺桿

1216b‧‧‧第二水平導螺桿

1217‧‧‧第三驅動器

1218‧‧‧載座

1219‧‧‧滑座

1220‧‧‧緩衝件

125‧‧‧後拉組件

1251‧‧‧第二支撐件

1252‧‧‧第六導螺母

1253‧‧‧第三水平導螺桿

1254‧‧‧第四驅動器

D1‧‧‧垂直方向

D21‧‧‧第一水平方向

D22‧‧‧第二水平方向

D23‧‧‧第三水平方向

V1‧‧‧視角

第1A圖繪示依照本發明一實施例之卷對卷連續製程設備的示意圖。

第1B圖繪示第1圖之撕膜裝置的示意圖(未繪示連續式卷材)。

第1C圖繪示往第1A圖之視角V1觀看連續式卷材及黏貼於其上的覆蓋膜片的示意圖。

第1D圖繪示第1A圖之垂直下拉機構110的示意圖。

第1E及1F圖繪示第1D圖之第一夾爪組的放大圖。

第1G圖繪示第1D圖之垂直下拉機構的俯視圖。

第2A圖繪示第1G圖之連接板受到擋塊止擋的示意圖。

第2B圖繪示第2A圖之第一夾爪組及第二夾爪組移動至夾持位置的示意圖

第3A圖繪示第2A圖之第推動件繼續往第二水平方向移動的示意圖。

第3B圖繪示第1F圖之第一夾爪與第二夾爪對夾的示意圖。

第3C~3E圖繪示第2B圖之第一夾爪與第二夾爪對夾的示意圖。

第4圖繪示第3E圖之下拉組件沿垂直方向移動的示意圖。

第5A~5D圖繪示第1A圖之水平後拉機構的示意圖。

第6A~6B圖繪示第5D圖之第一夾桿與第二夾桿夾持住覆蓋膜片之膜體的示意圖。

第7圖繪示第6B圖之覆蓋膜片被後拉組件往第一水平方向後拉的示意圖。

請參照第1A~1C圖，第1A圖繪示依照本發明一實施例之卷對卷連續製程設備10的示意圖，第1B圖繪示第1圖之撕膜裝置100的示意圖(未繪示連續式卷材20)，而第1C圖繪示往第1A圖之視角V1觀看連續式卷材20及黏貼於其上的覆蓋膜片22的示意圖。為了避免圖式線條過於複雜，本申請的圖式並非每張圖都繪製有連續式卷材20及覆蓋膜片22。

卷對卷連續製程設備10可應用於一連續式產線(roll-to-roll,R2R)中，做為一半導體元件(如有機發光二極體)的其中一製程。在本實施例中，卷對卷連續製程設備10可應用在 電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)製程的放卷步驟。在放卷步驟中，卷對卷連續製程設備10可將覆蓋膜片22自連續式卷材20撕除，以露出形成在連續式卷材20上的半導體結構21，以便於進行下個步驟，如電漿輔助化學氣相沈積。此處的覆蓋膜片22例如是TD膜。

如第1A圖所示，卷對卷連續製程設備10包括一放卷箱11、滾輪12、至少一密封蓋13及撕膜裝置100，其中放卷箱11具有一放卷腔體11a，撕膜裝置100部分配置在放卷腔體11a內。滾輪12可引導連續式卷材20經過撕膜裝置100。如第1C圖所示，連續式卷材20的一側形成有數個半導體結構21，如有機發光二極體的層結構。覆蓋膜片22黏貼在連續式卷材20的同一側，以覆蓋且密封此些半導體結構21。如此，可避免此些半導體結構21在放卷腔體11a的外部時，因為外露而受到環境的傷害。在一實施例中，覆蓋膜片22可達到阻水氣率小於5×10^-6 g/m ²/day的規格，以維持此些半導體結構21的可靠度。當連續式卷材20進入放卷腔體11a內時，撕膜裝置100可將撕除覆蓋膜片22自連續式卷材20撕除，讓半導體結構21露出，以便進行下個步驟的半導體製程。為了避免下一個製程前接觸水氣及/或氧氣而造成產品損壞，在撕膜過程中，放卷腔體11a維持在一真空狀態。

如第1A圖所示，密封蓋13配置在放卷箱11上，以維持放卷腔體11a的真空度。

此外，如第1C圖所示，覆蓋膜片22包括相連接之膜體221及相對的第一耳部222與第二耳部223。當覆蓋膜片22黏貼在連續式卷材20上時，覆蓋膜片22的第一耳部222及第二耳部223突出於連續式卷材20的側邊，以允許撕膜裝置100夾持。由於第一耳部222及第二耳部223突出於連續式卷材20的側邊，使撕膜裝置100在夾持耳部時不會夾持到連續式卷材20。

如第1A圖所示，撕膜裝置100包括垂直下拉機構110及水平後拉機構120。垂直下拉機構110可夾持第一耳部222及第二耳部223，將覆蓋膜片22沿垂直方向D1拉動，然後水平後拉機構120可夾持覆蓋膜片22的膜體221，然後沿第一水平方向D21拉動膜體221，以將覆蓋膜片22自連續式卷材20撕除。如此，撕膜裝置100可沿二彼此垂直方向將覆蓋膜片22自連續式卷材20上撕除。

請參照第1D~1G及2A及2B圖，第1D圖繪示第1A圖之垂直下拉機構110的示意圖，第1E及1F圖繪示第1D圖之第一夾爪組1112的放大圖，而第1G圖繪示第1D圖之垂直下拉機構110的俯視圖。第1F圖與第1E圖的差異僅在於，第1F圖未繪示連接板1112g，以顯示出推動件1112f的斜面1112s及第二彈性元件1112m。第2A圖繪示第1G圖之連接板1112g受到擋塊1112h止擋的示意圖，而第2B圖繪示第2A圖之第一夾爪組1112及第二夾爪組1113移動至夾持位置的示意圖。

如的1D圖所示，垂直下拉機構110包括耳部夾持 組件111及下拉組件112，其中耳部夾持組件111用以夾持第一耳部222(繪示於第1C圖)及第二耳部223(繪示於第1C圖)，而下拉組件112用以將覆蓋膜片22(未繪示)沿垂直方向D1拉動。

如第1D圖所示，耳部夾持組件111包括第一載台1111、第一夾爪組1112、第二夾爪組1113、第一齒條1114、第二齒條1115及驅動齒輪1116。第一夾爪組1112、第二夾爪組1113、第一齒條1114、第二齒條1115及驅動齒輪1116可配置在第一載台1111上，以隨第一載台1111沿垂直方向D1移動(繪示於第1A圖)。

如第1D圖所示，第一齒條1114連接第一夾爪組1112且沿第二水平方向D22延伸，第二水平方向D22與第一水平方向D21(繪示於第1A圖)及垂直方向D1(繪示於第1A圖)大致垂直。第二齒條1115連接第二夾爪組1113且沿第三水平方向D23延伸，第三水平方向D23與第二水平方向D22大致平行但反向。驅動齒輪1116位於第一齒條1114與第二齒條1115之間，且與第一齒條1114及第二齒條1115嚙合。如此，當驅動齒輪1116轉動時，可同時帶動第一齒條1114沿第二水平方向D22移動(平移)及第二齒條1115沿第三水平方向D23移動，進而同時帶動第一夾爪組1112沿第二水平方向D22移動及第二夾爪組1113沿第三水平方向D23移動，直到第一夾爪組1112及第二夾爪組1113移動至一可分別夾持第一耳部222及第二耳部223的夾持位置。

如第1E及1F圖所示，第一夾爪組1112包括第一夾爪1112a、第二夾爪1112b、第一齒輪1112c、第二齒輪1112d、推桿1112e、推動件1112f、連接板1112g、擋塊1112h、第一彈性元件1112n(繪示於第1D圖)、第二彈性元件1112m及止擋部1112p(繪示於第1D圖)。第一夾爪1112a、第二夾爪1112b、第一齒輪1112c及第二齒輪1112d樞接在連接板1112g上。

如第1G圖所示，前述第一齒條1114連接於推動件1112f，使第一齒條1114沿第二水平方向D22移動時，可帶動推動件1112f同時沿第二水平方向D22移動。第一彈性元件1112n連接推動件1112f的前端與連接板1112g，如此，當推動件1112f沿第二水平方向D22移動時，第一彈性元件1112n可拉著連接板1112g同時往第二水平方向D22移動，進而使樞接在連接板1112g上的第一夾爪1112a、第二夾爪1112b、第一齒輪1112c及第二齒輪1112d一起往第二水平方向D22移動至如第2A及2B圖所示的夾持位置。此外，第1G圖的第一彈性元件1112n可以是初始狀態(自由長度狀態)或處於預拉狀態。

如第2A及2B圖所示，擋塊1112h配置在第一載台1111上且位於連接板1112g之移動路徑，可將連接板1112g止擋在夾持位置，即如第2B圖所示的位置，以止擋連接板1112g繼續往第二水平方向D22前進。

請參照第3A~3E圖，第3A圖繪示第2A圖之第推動件1112f繼續往第二水平方向D22移動的示意圖，第3B圖繪 示第1F圖之第一夾爪1112a與第二夾爪1112b對夾的示意圖，而第3C~3E圖繪示第2B圖之第一夾爪1112a與第二夾爪1112b對夾的示意圖。

如第3A圖所示，第一齒條1114連接於推動件1112f，如此，即使連接板1112g受到擋塊1112h的止擋，在驅動齒輪1116的繼續驅動下，第一齒條1114繼續帶動推動件1112f往第二水平方向D22移動，直到受到止擋部1112p的止擋。止擋部1112p配置在第一載台1111上，且位於推動件1112f的移動路徑上，因此能止擋推動件1112f。

如3B圖所示，推桿1112e包括第一端1121e1及第二端1121e2。第一端1121e1樞接於第一夾爪1112a。推動件1112f具有楔形結構。例如，推動件1112f具有一斜面1112s(繪示於第1F圖)。當推動件1112f沿第二水平方向D22繼續移動時，斜面1112s推動推桿1112e的第二端1121e2往上移動，進而帶動第一夾爪1112a轉動，直到第一夾爪1112a與第二夾爪1112b對夾。當第一夾爪1112a與第二夾爪1112b對夾時，第一耳部222(未繪示)被夾持在第一夾爪1112a與第二夾爪1112b之間。

第二彈性元件1112m連接推桿1112e的第二端1112e2與第一夾爪1112a。當推桿1112e的第二端1112e2往上移動時，第二彈性元件1112m受壓縮而形變，而儲存彈性位能。當推桿1112e復位時(例如驅動器反轉)，第二彈性元件1112m釋放彈性位能，以幫助推桿1112e復位。

如第3B及3C圖所示，第一夾爪1112a與第二夾爪1112b樞接於連接板1112g(連接板1112g繪示於第1E圖)的相異二樞接點。例如，第一夾爪1112a及第二夾爪1112b分別包括第一樞軸1112j及第二樞軸1112k，其中第一樞軸1112j及第二樞軸1112k分別樞接於連接板1112g的相異二點。第一齒輪1112c的軸心固定於第一樞軸1112j，使第一齒輪1112c與第一夾爪1112a可同心轉動。而第二齒輪1112d的軸心固定於第二樞軸1112k，使第二齒輪1112d與第二夾爪1112b可同心轉動。此外，第一齒輪1112c與第二齒輪1112d嚙合，如此，當第一齒輪1112c轉動時，可帶動第二齒輪1112d轉動，進而使第一夾爪1112a與第二夾爪1112b同時轉動而能對夾。如第3C圖所示，當第一夾爪組1111的第一夾爪1112a與第二夾爪1112b對夾以及第二夾爪組1113的第一夾爪1112a與第二夾爪1112b對夾時，可分別夾住覆蓋膜片22的第一耳部222與第二耳部223。

如第3A圖所示，第一彈性元件1112n連接推動件1112f與連接板1112g。當第一齒條1114繼續帶動推動件1112f往第二水平方向D22移動時，由於連接板1112g受到擋塊1112h止擋而不動，因此推動件1112f拉長第一彈性元件1112n。第一彈性元件1112n形變而儲存彈性位能。當耳部夾持組件111復歸(當驅動齒輪1116反轉時)到初始位置(如第1G圖所示的位置)時，第一彈性元件1112n釋放彈性位能，幫助推動件1112f回到如第1G圖所示的初始位置。

此外，第二夾爪組1113的結構及作動原理與第一夾爪組1112相同或相似，於此不再贅述。

如第3D及3E圖所示，耳部夾持組件111更包括第一驅動器1118、磁流體器1119、垂直轉軸1120a及至少一支撐桿1120b。垂直轉軸1120a連接於驅動齒輪1116。第一驅動器1118可驅動垂直轉軸1120a轉動，以驅動驅動齒輪1116轉動。第一驅動器1118例如是馬達。支撐桿1120b連接第一載台1111與下拉組件112，使第一載台1111可藉由支撐桿1120b被下拉組件112下拉。垂直轉軸1120a穿設於磁流體器1119，可維持放卷腔體11a的真空性。

如第3D圖所示，垂直下拉機構110更包括至少一波紋管110A。數個波紋管110A套設在垂直轉軸1120a及支撐桿1120b。波紋管110A連接密封蓋13及下拉組件112的第一支撐件1121。波紋管110A具有可伸縮性，以容許密封蓋13與第一支撐件1121的相對移動量。

請參照第4圖，其繪示第3E圖之下拉組件112沿垂直方向D1移動的示意圖。當第一耳部222及第二耳部223分別被第一夾爪組1112及第二夾爪組1113夾持時，下拉組件112可往垂直方向D1移動，以帶動耳部夾持組件111沿垂直方向D1移動，以將部分覆蓋膜片22自連續式卷材20撕除，如第4圖所示。

如第4及3D圖所示，下拉組件112包括第一支撐件1121、第一導螺母1122、第一垂直導螺桿1123及第二驅動器 1124。第一支撐件1121透過支撐桿1120b連接耳部夾持組件111的第一載台1111。第一導螺母1122固定在第一支撐件1121上。第一垂直導螺桿1123沿垂直方向D1於兩端處被樞接，且螺合於第一導螺母1122，以在第二驅動器1124的驅動下轉動並帶動第一載台1111沿垂直方向D1上下移動。第二驅動器1124例如是馬達。

詳細來說，第二驅動器1124可透過一齒輪組1125(繪示於第3E圖)驅動第一垂直導螺桿1123轉動。齒輪組1125例如是斜齒輪組。當第一垂直導螺桿1123在原地轉動時，由於第一導螺母1122被固定在第一支撐件1121上，且第一支撐件1121的轉動受到拘束，因此第一支撐件1121被第一導螺母1122驅動沿垂直方向D1上下移動。由於前述第一載台1111連接耳部夾持組件111與第一支撐件1121，因此當第一支撐件1121沿垂直方向D1往下方移動時，耳部夾持組件111隨之沿垂直方向D1往下方移動，以將部分覆蓋膜片22往垂直方向D1往下方撕除，如第4圖所示。

請參照第5A~5D及6A~6B圖，第5A~5D圖繪示第1A圖之水平後拉機構120的示意圖，而第6A~6B圖繪示第5D圖之第一夾桿1212a與第二夾桿1212b夾持住覆蓋膜片22之膜體221的示意圖。

水平後拉機構120包括膜片夾持組件121及後拉組件125，其中膜片夾持組件121用以夾持覆蓋膜片22的膜體221， 而後拉組件125用以沿第一水平方向D21拉動膜體221，以將覆蓋膜片22自連續式卷材20完全撕除。

如第5A~5C圖所示，膜片夾持組件121包括第一夾座1211aa、第二夾座1211b、第一夾桿1212a、第二夾桿1212b、傳動組1213、第一水平轉軸1214、第二導螺母1215a、第三導螺母1215b、第四導螺母1215c、第五導螺母1215d、第一水平導螺桿1216a、第二水平導螺桿1216b、第三驅動器1217、載座1218及滑座1219。

如第5A圖所示，第一夾桿1212a及第二夾桿1212b分別配置在第一夾座1211a及第二夾座1211b上，以隨第一夾座1211a及第二夾座1211b移動。第一夾桿1212a及第二夾桿1212b係相對配置，因此能分別夾持住覆蓋膜片22的膜體221的相對二面。傳動組1213配置在載座1218上。載座1218固定在滑座1219上，以隨滑座1219沿第一水平方向D21前後移動。第一水平轉軸1214之兩端處沿第一水平方向D21，分別連接於第三驅動器1217與傳動組1213，使在第三驅動器1217的驅動下，第一水平轉軸1214可帶動傳動組1213運轉。第三驅動器1217例如是馬達。當傳動組1213運轉時，可帶動第一夾座1211a與第二夾座1211b彼此接近。

第一夾座1211a與第二夾座1211b可透過第一水平導螺桿1216a及第二水平導螺桿1216b連接。如第5A圖所示，第二導螺母1215a及第四導螺母1215c配置在第一夾座1211a， 第一水平導螺桿1216a螺合於第二導螺母1215a及第四導螺母1215c，以連接第一夾座1211a與第二夾座1211b。如第5B圖所示，第三導螺母1215b及第五導螺母1215d配置在第二夾座1211b，第二水平導螺桿1216b螺合於第三導螺母1215b及第五導螺母1215d，以連接第一夾座1211a與第二夾座1211b。

當第一水平轉軸1214轉動時，可驅動傳動組1213帶動第一水平導螺桿1216a及第二水平導螺桿1216b同時轉動，由於導螺母(第二導螺母1215a、第三導螺母1215b、第三導螺母1215b及第四導螺母1215c)不移動，因此驅使第一夾座1211a與第二夾座1211b往彼此接近的方向移動(平移)，直到配置於其上的第一夾桿1212a與第二夾桿1212b夾持住膜體221，如第6A及6B圖所示。

如第6B圖所示，膜片夾持組件121更包括二緩衝件1220。二緩衝件1220分別配置在第一水平導螺桿1216a及第二水平導螺桿1216b，並位於第一夾座1211a與第二夾座1211b之間。如此，當第一夾座1211a與第二夾座1211b彼此接近直到第一夾桿1212a與第二夾桿1212b對夾時，第一夾座1211a與第二夾座1211b擠壓緩衝件1220。緩衝件1220可緩衝第一夾桿1212a與第二夾桿1212b的對夾力，避免第一夾桿1212a與第二夾桿1212b過度施壓在覆蓋膜片22上。

如第5A圖所示，水平後拉機構120更包括至少一引導桿120A。第一夾座1211a與滑座1218可滑動地配置在引導 桿120A上，使第一夾座1211a與連接於滑座1218的第二夾座1211b低阻力地相對引導桿120A滑動。

此外，如第5A及5B圖所示，傳動組1213例如是齒輪鍊條傳動組件，其配置在載座1218上。傳動組1213包括數個鍊輪及鍊條，其以可同時驅動第一水平導螺桿1216a及第二水平導螺桿1216b轉動的方式配置。載座1218固定在滑座1219上，以隨滑座1219移動。載座1218與第一夾座1211a之間並未固定，因此可相對運動，如此一來，當第一夾座1211a往第二夾座1211b方向移動時，第一夾座1211a不會受到滑座1219的拘束，而能順利接近第二夾座1211b，使第一夾桿1212a與第二夾桿1212b可順利對夾。

在第一夾桿1212a與第二夾桿1212b夾持住膜體221後，水平後拉機構120的後拉組件125可沿第一水平方向D21往後拉膜體221，以將覆蓋膜片22自連續式卷材20上完全撕離。

請參照第5A及7圖，第7圖繪示第6B圖之覆蓋膜片22被後拉組件125往第一水平方向D21後拉的示意圖。後拉組件125包括第二支撐件1251、第六導螺母1252、第三水平導螺桿1253及第四驅動器1254。

膜片夾持組件121的第三驅動器1217固定在第二支撐件1251上。夾持組件121的第一水平轉軸1214穿過第二支撐件1251連接於第三驅動器1217。如此，當第二支撐件1251沿第一水平方向D21移動時，第三驅動器1217及第一水平轉軸 1214可隨第二支撐件1251沿第一水平方向D21移動。

如第5A圖所示，第六導螺母1252配置在第二支撐件1251。第三水平導螺桿1253螺合於第六導螺母1252，以帶動膜片夾持組件121往第一水平方向D21前後移動。詳言之，第四驅動器1254可驅動第三水平導螺桿1253轉動。第四驅動器1254例如是馬達。由於第六導螺母1252固定在第二支撐件1251不移動，因此驅使第二支撐件1251沿第一水平方向D21前後移動。由於膜片夾持組件121與第二支撐件1251彼此間無相對運動關係，因此當第二支撐件1251往第一水平方向D21往後移動時，可帶動膜片夾持組件121往第一水平方向D21往後移動，以將覆蓋膜片22自連續式卷材20上完全撕除，如第7圖所示。

綜上可知，本發明實施例之撕膜裝置100可提供依真空環境，撕膜動作可在真空環境下完成，可減少對形成在連續式卷材20上的半導體結構21的損害最小畫。此外，撕膜裝置100可沿二彼此垂直的方向將覆蓋膜片22自連續式卷材20上分段撕除，因此撕膜裝置100可適用在一空間有限或非狹長型的真空腔體內運作。

當覆蓋膜片22自連續式卷材20上完全撕除後，第一驅動器1118、第二驅動器1124、第三驅動器1217及第四驅動器1254可反轉，以回到初始位置(如第1A~1G圖所示的位置)。然後，黏貼在連續式卷材20上的下一片覆蓋膜片22被傳輸到撕除裝置100的垂直下拉機構110上方，接著重複上述步驟，以撕 除此下一片覆蓋膜片22。

如第5A圖所示，水平後拉機構120更包括至少一引導桿120B。第二支撐件1251可滑動地配置在引導桿120B上，使第二支撐件1251低阻力地相對引導桿120B滑動。

綜上所述，雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (20)

1. 一種撕膜裝置，包括：一垂直下拉機構，包括：一耳部夾持組件，用以夾持一覆蓋膜片之一耳部，該覆蓋膜片包括相連接之一膜體與該耳部；及一下拉組件，用以將該覆蓋膜片沿一垂直方向下拉；以及一水平後拉機構，包括：一膜片夾持組件，用以夾持該膜體；及一後拉組件，用以沿一第一水平方向拉動該覆蓋膜片，以將該覆蓋膜片自一連續式卷材撕除。
2. 如申請專利範圍第1項所述之撕膜裝置，適於在真空環境下撕除該連續式卷材上的該覆蓋膜片。
3. 如申請專利範圍第1項所述之撕膜裝置，其中該覆蓋膜片之該耳部相對該連續式卷材的邊緣往外突出。
4. 如申請專利範圍第1項所述之撕膜裝置，其中該耳部夾持組件包括：一第一夾爪組；一第一齒條，連接該第一夾爪組且沿一第二水平方向延伸，該第二水平方向與該第一水平方向垂直；一第二夾爪組；以及一第二齒條，連接該第二夾爪組且沿一第三水平方向延伸，該第三水平方向與該第二水平方向平行但反向；一驅動齒輪，分別與與該第一齒條及該第二齒條嚙合，以帶動該第一齒條沿該第二水平方向移動，進而帶動該第一夾爪組沿該第二水平方向移動，及帶動該第二齒條沿該第三水平方向移動，進而帶動該第二夾爪組沿該第三水平方向移動。
5. 如申請專利範圍第4項所述之撕膜裝置，其中該覆蓋膜片包括二該耳部，該二耳部分別相對該連續式卷材的相對二邊緣往外突出，該第一夾爪組與該第二夾爪組用以分別夾持該二耳部。
6. 如申請專利範圍第4項所述之撕膜裝置，其中該驅動齒輪位於該第一齒條與該第二齒條之間，以同時帶動該第一夾爪組沿該第二水平方向移動及該第二夾爪組沿該第三水平方向移動。
7. 如申請專利範圍第4項所述之撕膜裝置，其中該第一夾爪組包括：一第一夾爪；一第二夾爪；一推桿，包括一第一端及一第二端，該第一端樞接於該第一夾爪；以及一推動件，具有一斜面，該斜面用以推動該推桿之該第二端，使該推桿之該第一端推動該第一夾爪轉動，進而與該第二夾爪對夾。
8. 如申請專利範圍第4項所述之撕膜裝置，其中該第一夾爪組更包括：一連接板，該第一夾爪及該第二夾爪樞接於該連接板；一擋塊，位於該連接板之移動路徑上，以止擋該連接板。
9. 如申請專利範圍第8項所述之撕膜裝置，其中該第一夾爪與該第二夾爪樞接於該連接板的相異二樞接處。
10. 如申請專利範圍第8項所述之撕膜裝置，其中該第一夾爪組更包括：一第一彈性元件，連接該連接板與該推動件；一第二彈性元件，連接該第一夾爪與該推桿之該第二端；一第一齒輪，與該第一夾爪固定；以及一第二齒輪，與該第二夾爪固定，且嚙合於該第一齒輪。
11. 如申請專利範圍第4項所述之撕膜裝置，其中該耳部夾持組件包括一第一載台，該第一載台承載該第一夾爪組、該驅動齒輪及該第一齒條。
12. 如申請專利範圍第1項所述之撕膜裝置，其中該下拉組件包括：一第一支撐件，連接該第一載台；一第一導螺母，配置在該第一支撐件；以及一第一垂直導螺桿，沿該垂直方向在兩端處被固定，且螺合於該第一導螺母，以帶動該第一載台及該第一支撐件沿該垂直方向移動。
13. 如申請專利範圍第1項所述之撕膜裝置，其中該下拉組件包括一驅動器，該驅動器經由一齒輪組驅動第一垂直導螺桿。
14. 如申請專利範圍第1項所述之撕膜裝置，其中該膜片夾持組件包括：一第一夾座；一第一夾桿；配置在該第一夾座上；一滑座；一載座，固定於該滑座上，且與該第一夾座可相對運動地配置；一傳動組，配置在該載座上；一第二夾座；一第二夾桿；配置在該第二夾座上，且與該第一夾桿相對配置；以及一第一水平轉軸，沿該第一水平方向連接於該傳動組。
15. 如申請專利範圍第14項所述之撕膜裝置，其中膜片夾持組件包括一第二導螺母、一第三導螺母、一第四導螺母及一第五導螺母，該第二導螺母及該第三導螺母配置在該第一夾座，該第三導螺母及該第四導螺母配置在該第二夾座；該膜片夾持組件包括：一第一水平導螺桿，螺合於該第二導螺母與該第四導螺母；以及一第二水平導螺桿，螺合於該第三導螺母與該第五導螺母；其中，該傳動組用以驅動該第一水平導螺桿轉動及該第二水平導螺桿轉動，以帶動該第一夾座與該第二夾座彼此接近。
16. 如申請專利範圍第15項所述之撕膜裝置，其中該傳動組為齒輪鍊條傳動組件。
17. 如申請專利範圍第14項所述之撕膜裝置，更包括一驅動器，該驅動器用以驅動該第一水平轉軸帶動該傳動組運轉。
18. 如申請專利範圍第1項所述之撕膜裝置，其中該後拉組件包括：一第二支撐件，與該膜片夾持組件連接；一第六導螺母，配置在該第二支撐件；以及一第三水平導螺桿，螺合於第六導螺母，以帶動該膜片夾持組件往該第一水平方向移動。
19. 如申請專利範圍第18項所述之撕膜裝置，其中該後拉組件更包括一驅動器，該驅動器用以驅動該第三水平導螺桿轉動。
20. 如申請專利範圍第1項所述之撕膜裝置，其中該水平後拉機構更包括至少一引導桿。