TWI643657B - 廢溶劑處理系統及方法 - Google Patents

Abstract

廢溶劑處理系統包括分壁式蒸餾塔、第一入口、蒸發加熱裝置、第一幫浦、第二幫浦、第一再沸器、第三幫浦及第一冷凝器。分隔板將分壁式蒸餾塔分成第一空間、第二空間及第三空間。第一入口連接於第一空間以接受包含高沸點物質、中沸點物質及低沸點物質的混合物。第一幫浦連接於蒸發加熱裝置以抽出高沸點物質。第二幫浦連接於第一空間以將高沸點物質與中沸點物質抽出至蒸發加熱裝置中。第三幫浦連接於第二空間以抽出中沸點物質。第一冷凝器連接於第三空間以冷凝由第三空間所排出之低沸點物質。

Description

廢溶劑處理系統及方法

本發明是有關於一種廢溶劑處理系統及其之方法，且特別是有關於一種可分離出多種沸點物質的廢溶劑處理系統及其之方法。

隨著人類對電子產品的需求愈趨增加，電子產品之製造過程所衍生之資源浪費及環境的問題亦日趨嚴重。目前雖然有一些關於電子產品之廢溶液的處理方式，但是仍未能有效率地處理廢溶液。

因此，現今對於廢溶劑處理技術的研究仍為刻不容緩的問題。

本發明之實施例提供廢溶劑處理系統及其之方法。由於本發明之廢溶劑處理系統及其之方法是使用分壁式蒸餾塔，能夠不使用多個蒸餾塔，而是藉由此單一的分壁式蒸餾塔分離出高沸點、中沸點及低沸點之物質，並進一步回收中沸點物質，以供再利用。因此，本發明之廢溶劑處理系統及其之方法可達到節省硬體投資與操作成本的目的。

根據本發明之一實施例，提出一種廢溶劑處理系統。廢溶劑處理系統包括一分壁式蒸餾塔、一第一入口、一蒸發加熱裝置、一第一幫浦、一第二幫浦、一第一再沸器、一第三幫浦、一第一冷凝器、一儲存槽、以及一第四幫浦。分壁式蒸餾塔包括一填充床及一分隔板。分隔板將分壁式蒸餾塔的內部區分成一第一空間、一第二空間及一第三空間。第一入口直接或間接連接於第一空間，且用以接受一混合物。混合物包含一高沸點物質、一中沸點物質及一低沸點物質。蒸發加熱裝置用以接收混合物並進行高沸點物質濃縮。第一幫浦連接於蒸發加熱裝置的一第一底部，以抽出蒸發加熱裝置內之高沸點物質。第二幫浦連接於第一空間的一第二底部，以將第一空間內之高沸點物質與中沸點物質抽出至蒸發加熱裝置中。第一再沸器提供熱量給第二空間。第三幫浦連接於第二空間的一第三底部，且用以抽出第二空間內之中沸點物質。第一冷凝器連接於第三空間，且用以冷凝由第三空間所排出之低沸點物質。儲存槽連接於第一冷凝器，以儲存第一冷凝器所排出的低沸點物質。第四幫浦連接於儲存槽，以將儲存槽內之一部分的低沸點物質抽出，並將另一部分的低沸點物質抽回至第三空間中。

根據本發明之又一實施例，提出根據本發明之一實施例之廢溶劑處理的方法。方法包括下列步驟。首先，提供混合物於如上述之廢溶劑處理系統中，使混合物經由第一入口進入第一空間。其次，提供熱量給第一空間，使混合物由第一空間往第二空間及第三空間分布。藉由蒸發加熱裝置接收混合物，並進行高沸點物質濃縮。藉由連接於蒸發加熱裝置的第一底部的第一幫 浦，抽出蒸發加熱裝置之高沸點物質。藉由連接於第一空間的第二底部的第二幫浦，以將第一空間內之高沸點物質與中沸點物質抽出至蒸發加熱裝置中。藉由第一再沸器，提供熱量給第二空間。藉由連接於第二空間的第三底部的第三幫浦，抽出第二空間內之中沸點物質。藉由連接於第三空間的第一冷凝器，冷凝第三空間所排出之低沸點物質。藉由連接於第一冷凝器的儲存槽，儲存第一冷凝器所排出的低沸點物質。藉由連接於儲存槽的第四幫浦，將儲存槽內之一部分的低沸點物質抽出，並將另一部分的低沸點物質抽回至第三空間中。

為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下，但不以此為限。

10、20、30、40‧‧‧廢溶劑處理系統

100‧‧‧分壁式蒸餾塔

100A‧‧‧第一空間

100B‧‧‧第二空間

100C‧‧‧第三空間

101‧‧‧填充床

103、1031、1032、1033‧‧‧第一入口

107‧‧‧頂部

105‧‧‧分隔板

110‧‧‧蒸發加熱裝置

121‧‧‧第一再沸器

122‧‧‧第二再沸器

131‧‧‧第一冷凝器

132‧‧‧第二冷凝器

133‧‧‧第三冷凝器

134‧‧‧第四冷凝器

135‧‧‧第五冷凝器

141‧‧‧儲存槽

151‧‧‧第一幫浦

152‧‧‧第二幫浦

153‧‧‧第三幫浦

154‧‧‧第四幫浦

155‧‧‧第五幫浦

156‧‧‧第六幫浦

157‧‧‧第七幫浦

161‧‧‧預熱器

b1‧‧‧第一底部

b2‧‧‧第二底部

b3‧‧‧第三底部

G‧‧‧廢氣

M‧‧‧混合物

MH‧‧‧高沸點物質

MM‧‧‧中沸點物質

ML‧‧‧低沸點物質

第1圖繪示依照本發明一實施例之廢溶劑處理系統的示意圖。

第2圖繪示依照本發明一實施例之廢溶劑處理系統的示意圖。

第3圖繪示依照本發明一實施例之廢溶劑處理系統的示意圖。

第4圖繪示依照本發明一實施例之廢溶劑處理系統的示意圖。

以下係參照所附圖式敘述本發明提出之其中多個實施態樣，以描述相關系統與方法。然而，本發明並非僅限於所述態樣，並未顯示出所有可能的實施例。實施例中相同或類似的標號係用以標示相同或類似之部分。再者，未於本發明提出的其他實施態樣也可能可以應用。相關領域者可在不脫離本發明之精神和範圍內對實施例之結構加以變化與修飾，以符合實際應用所需。而圖式係已簡化以利清楚說明實施例之內容，圖式上的尺寸比例並非按照實際產品等比例繪製。因此，說明書和圖式內容僅作敘述實施例之用，而非作為限縮本發明保護範圍之用。

再者，說明書與請求項中所使用的序數例如「第一」、「第二」等之用詞，係用以修飾請求項之元件，其本身並不意含及代表該請求元件有任何之前的序數，也不代表某一請求元件與另一請求元件的順序、或是製造方法上的順序，該些序數的使用僅用來使具有某命名的一請求元件得以和另一具有相同命名的請求元件能作出清楚區分。

第1圖繪示依照本發明一實施例之廢溶劑處理系統10的示意圖。

廢溶劑處理系統10包括分壁式蒸餾塔100、蒸發加熱裝置110、第一幫浦151、第二幫浦152、第一再沸器121、第三幫浦153、第一冷凝器131、儲存槽141、第四幫浦154、第二冷凝器132及第五幫浦155。此些元件之二者之間可由實體管路連接，以傳輸之間的流體。

分壁式蒸餾塔100包括填充床101、第一入口103及一分隔板105。分隔板105將分壁式蒸餾塔100的內部區分成 第一空間100A、第二空間100B及第三空間100C。其中，第一空間100A及第二空間100B位於分壁式蒸餾塔110的下部，而第三空間100C位於分壁式蒸餾塔100的上部。分隔板105可包括一直立式的分隔板，將第一空間100A及第二空間100B在水平方向上分隔。分隔板105可位於分壁式蒸餾塔100的下半段，分隔板105之高度為分壁式蒸餾塔100之總高度的10%至90%，分隔板105在分壁式蒸餾塔100中所劃分的第一空間100A或第二空間100B的截面積為分壁式蒸餾塔100之總截面積的20%至80%。

第一入口103可直接或間接連接於第一空間100A。第一入口103可以是單一個入口或多個入口，可設置於分壁式蒸餾塔100之第一空間100A的一外側上的任何一個位置、蒸發加熱裝置110的入口處，或是其組合的位置。在本實施例中，第一入口103包括設置於第一空間之外側上的第一入口1031及設置於蒸發加熱裝置之入口處的第一入口1032。

第一入口103可用以接受一混合物M。混合物M可包括高沸點物質MH、中沸點物質MM及低沸點物質ML。高沸點物質MH、中沸點物質MM及低沸點物質ML可分別包括多種沸點不同的物質。混合物M可來自液晶顯示面板或半導體製造工廠所排放使用過之光阻剝離劑、光阻稀釋劑或晶圓清洗劑，或各式化學材料生產製程排放之有機或無機混合廢液。

中沸點物質MM可為回收之標的，可為單一物質或混合物質，例如是選自於由單甲基醚丙二醇(Propylene glycol methyl ether,PGME)、乙酸丙二醇單甲基醚酯(Propylene Glycol methyl ether Acetate,PGMEA)、3-乙氧基丙酸乙酯(Ethyl 3-ethoxypropionate,EEP)、單乙醇胺(Ethanolamine,MEA)、二甲基亞碸(Dimethyl sulfoxide,DMSO)、二乙二醇單丁醚(Diethylene glycol monobutyl ether,BDG)、N甲基吡咯酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone,NMP)、環己酮(Cyclohexone)、環戊酮(Cyclopentanone)、乳酸乙酯(Ethyl Lactate)、二甲基乙醯胺(N,N-Dimethylacetamide,DMAc)、三乙醇胺(Triethanolamine,TEA)、二乙二醇單甲基醚(Diethylene glycol methyl ether)、N-甲基甲醯胺(N-Methylformamide)及其任意組合所組成之群組。在常壓之下，中沸點物質MM的沸點可大於100℃，且小於250℃。

高沸點物質MH可為沸點高於中沸點物質MM之單一或混合物質。例如，高沸點物質MH可包含可被中沸點物質MM溶解的高分子樹脂物質、以及無法被溶劑溶解的固體物質。在常壓之下，高沸點物質MH的沸點可等於或大於250℃。

低沸點物質ML可為沸點低於中沸點物質MM之單一或混合物質，例如是水。在常壓之下，低沸點物質ML的沸點可等於或小於100℃。

透過本發明實施例之廢溶劑處理系統100，可將混合物M內不同沸點的組成分別分離出來，其中混合物M的固含量介於0wt%至60wt%之間。以下將說明如何將混合物M之不同沸點的組成分別分離出來。在本實施例中，混合物M例如是包含數種不同沸點的物質，如高沸點物質MH、中沸點物質MM及低沸點物質ML。

蒸發加熱裝置110一方面可接收混合物M並進行高沸點物質MH濃縮。在一實施例中，蒸發加熱裝置110可同時提 供熱量給第一空間100A，使混合物M由第一空間100A往第二空間100B及第三空間100C分布。例如，蒸發加熱裝置110從分壁式蒸餾塔100之填充床101的下方處提供熱量給第一空間100A。第一幫浦151連接蒸發加熱裝置110的第一底部b1，以抽出位於蒸發加熱裝置110內之高沸點物質MH，而抽出的高沸點物質MH降至室溫時幾乎呈現半固態型態，不太會流動。蒸發加熱裝置110可為蒸發器或乾燥器，使得加熱之後的高沸點物質MH能進一步移除中沸點物質MM及低沸點物質ML。

此外，蒸發加熱裝置110的加熱溫度可高於中沸點物質MM的沸點，使中沸點物質MM及低沸點物質ML可蒸發成汽態，而往上分布於第一空間100A、第二空間100B及第三空間100C。第一空間100A與第二空間100B的上方是與第三空間100C連通，但第一空間100A與第二空間100B之間由於具有直立的分隔板105隔開，第一空間100A中的中沸點物質MM及低沸點物質ML僅能透過第一空間100A的頂部往第二空間100B或第三空間100C移動。

第二幫浦152連接第一空間100A的第二底部b2，可將高沸點物質MH及部分的中沸點物質MM由第一空間100A的第二底部b2抽出後，提供至蒸發加熱裝置110，讓蒸發加熱裝置110可進一步將存在其中的中沸點物質MM汽化返回第一空間100A，而剩餘之高沸點物質MH則由第一幫浦151抽出，其中抽出之高沸點物質MH的固含量介於20wt%至70wt%之間。

第一再沸器121提供熱量給該第二空間。第三幫浦153連接第二空間100B的第三底部b3，以抽出第二空間100B內 的中沸點物質MM及部分的低沸點物質ML。第一再沸器121進一步將第三幫浦153所抽出之低沸點物質ML汽化返回分壁式蒸餾塔100，往第三空間100C移動。在一實施例中，第二空間100B可能亦存在有高沸點物質MH，第三幫浦153亦可將第二空間100B中的高沸點物質MH抽出。

呈汽態的低沸點物質ML可從分壁式蒸餾塔100的頂部107往外排出。第一冷凝器131可冷凝從第三空間100C排出之呈汽態的低沸點物質ML。儲存槽141儲存第一冷凝器131所排出的低沸點物質ML。第四幫浦154連接儲存槽141，以將儲存槽141內之一部分的低沸點物質ML抽出離開此系統，並將儲存槽141內之另一部分的低沸點物質ML抽回至第三空間100C中。由於被抽回至第三空間100C的低沸點物質ML為液態，會往下方流動，可流至第一空間100A及第二空間100B中，使中沸點物質MM不會向上往第三空間100C移動。第二冷凝器132連接於儲存槽141，且用以冷卻該儲存槽141所排出之低沸點物質ML。第五幫浦155連接於第二冷凝器132，以進行抽氣(例如是抽出廢氣G)並維持廢溶劑處理系統之操作壓力。第五幫浦155可以是一真空幫浦，操作壓力例如是小於1大氣壓。第二冷凝器132可用以降低第五幫浦155抽氣時的溫度，以確保通過之流體蒸汽壓低於或等於操作壓力。

第2圖繪示依照本發明一實施例之廢溶劑處理系統20的示意圖，與第1圖之廢溶劑處理系統的不同之處在於，還可選擇性增加第二再沸器122、第五冷凝器135、第七幫浦157、預熱器161或其任意之組合。亦即，在一實施例中，廢溶劑處理系 統20是將廢溶劑處理系統10增加一第二再沸器122，而不具有第五冷凝器135。在一實施例中，廢溶劑處理系統20是將廢溶劑處理系統10增加一第五冷凝器135，而不具有第二再沸器122。

請參照第2圖，第二再沸器122提供熱量給第一空間100A，並將混合物M以及第二幫浦152所抽出之中沸點物質MM進行汽化，提供給第一空間100A。由於第二再沸器122亦可提供熱量給第一空間100A，相較於僅使用蒸發加熱裝置110提供熱能給第一空間100A的比較例而言，能夠減輕蒸發加熱裝置110的負擔，使得蒸發加熱裝置110的使用期限能夠延長，較易節省硬體設備的成本。在本實施例中，可以藉由蒸發加熱裝置110及第二再沸器122同時提供熱量給第一空間100A，使混合物M由第一空間100A往第二空間100B及第三空間100C分布。在其他實施例中，也可以僅採用蒸發加熱裝置110或第二再沸器122提供熱量給第一空間100A，例如蒸發加熱裝置110可以只進行高沸點物質MH濃縮(即汽化移除或分離出中沸點物質MM及低沸點物質ML)，並不提供熱量給第一空間100A。

在一實施例中，第一入口103可設置於分壁式蒸餾塔100之第一空間100A的一外側上的任何一個位置、第二再沸器122的入口處、蒸發加熱裝置110的入口處，或是上述任意組合的位置。在本實施例中，第一入口103包括設置於第一空間之外側上的第一入口1031、設置於蒸發加熱裝置110之入口處的第一入口1032、以及設置於第二再沸器122的入口處的第一入口1033。

預熱器161連接於第三幫浦153，用以將第三幫浦 153所抽取出的中沸點物質MM與欲提供至廢溶劑處理系統中的供應物(例如是廢溶劑之混合物M)進行一熱交換。其中，供應物(混合物M)進行熱交換之後，經由第一入口(例如是1031、1032與1033)提供至廢溶劑處理系統20。第三幫浦153所抽取出的中沸點物質MM經過熱交換之後可回收，以供再利用，其中此處中沸點物質MM的純度為90wt%至100wt%。第五冷凝器135可連接於蒸發加熱裝置110，用以冷凝蒸發加熱裝置110汽化出不含固形物的中沸點物質MM，其中此處中沸點物質MM的純度為50wt%至99wt%。由於本發明之實施例的預熱器161能夠直接利用第三幫浦153所抽取出的中沸點物質MM的熱能，將此股物流與要進到廢溶劑處理系統中的供應物(混合物M)進行熱交換，故相較於不具有預熱器的比較例而言，本發明的實施例可具有較低之能耗。

第3圖繪示依照本發明一實施例之廢溶劑處理系統30的示意圖，與第1圖之廢溶劑處理系統的不同之處在於，還具備第三冷凝器133、第四冷凝器134及第六幫浦156。

請參照第3圖，第三冷凝器133連接於第二空間100B，且用以冷卻第二空間100B中汽相之中沸點物質MM，亦即是將第二空間100B所抽出之汽相的中沸點物質MM與欲進入廢溶劑處理系統的供應物(例如是混合物M)進行一熱交換。第四冷凝器134連接於第三冷凝器133，且用以冷凝第三冷凝器133冷卻後(經過熱交換之後)之中沸點物質MM。第六幫浦156連接於第四冷凝器134，以抽出第四冷凝器134所冷凝之後的中沸點物質MM。此處第三幫浦153所抽取出之液相的中沸點物質MM 與經熱交換後的供應物(例如是混合物M)一起經由第一入口(例如是1031與1032)提供至廢溶劑處理系統30。進一步地說，當混合物M含有金屬離子時，金屬離子通常會存在於液體，而不存在於汽體，因此冷凝後的汽態之中沸點物質MM可回收再利用於對於金屬離子規格要求較高的產業。在本實施例中，冷凝後的汽態之中沸點物質MM的純度是介於90wt%至100wt%之間。並且，由於第三冷凝器133可先將第二空間100B所抽出之汽相的中沸點物質MM與欲進入廢溶劑處理系統的供應物(例如是混合物M)進行一熱交換，本實施例相較於不具有第三冷凝器的比較例而言更能節省能耗。在其他實施例中，也可以直接採用第四冷凝器134連接於第二空間100B，且用以冷凝第二空間100B中汽相之中沸點物質MM，再利用連接第四冷凝器134的第六幫浦156抽出第四冷凝器134所冷凝之後的中沸點物質MM。

第4圖繪示依照本發明一實施例之廢溶劑處理系統40的示意圖，與第3圖之廢溶劑處理系統的不同之處在於，還可選擇性增加第二再沸器122及第五冷凝器135。亦即，在一實施例中，廢溶劑處理系統40是將廢溶劑處理系統30增加一第二再沸器122，而不具有第五冷凝器135。在一實施例中，廢溶劑處理系統40是將廢溶劑處理系統30增加一第五冷凝器135，而不具有第二再沸器122。第4圖之第二再沸器122及第五冷凝器135係相同或類似於第2圖第二再沸器122及第五冷凝器135。

請參照第4圖，從蒸發裝置110汽化出不含固形物的中沸點物質MM在第五冷凝器135冷凝後，經第七幫浦157抽出而回收，以供再利用，其中此處中沸點物質MM的純度為50 wt%至99wt%。

下列表一分別將使用本發明之第1圖之實施例的廢溶劑處理系統10的實驗例1、使用本發明之第3圖之實施例的廢溶劑處理系統30的實驗例2以及使用2個蒸餾塔並包括1個蒸發加熱裝置、2個再沸器及2個冷凝器的比較例1，進行廢溶劑處理性能的評估。實驗例1、實驗例2及比較例1的進料條件為1000kg/h之混合物，混合物包括5wt%水、總合為90wt%的MEA與DMSO、及5wt%光阻劑樹脂。在經過廢溶劑處理之後的所得成品中，含有溶劑(MEA及DMSO)之水是小於500ppm，含有水之回收標的(MEA及DMSO)是小於100ppm，剩餘底渣之光阻劑樹脂為30wt%。

本發明之實驗例1及實驗例2是使用單一的分壁式蒸餾塔進行混合物中的低沸點物質、中沸點物質及高沸點物質的分離，而比較例1卻需要使用2個蒸餾塔進行分離，故相較於比較例1而言，使用本發明之系統及方法所得的實驗例1及2在硬體設備上較可節省成本，且可減少使用上的空間。

再者，由表一之性能的比較結果可知，本發明之實驗例1及2相較於比較例1而言，能耗較低，具節能效果。

本發明之實施例提供廢溶劑處理系統及其之方法。由於本發明之廢溶劑處理系統及其之方法並非使用雙塔進行蒸餾，而是藉由此單一的分壁式蒸餾塔分離出高沸點、中沸點及低沸點之物質，並利用分壁式蒸餾塔所分離出之物質與欲提供至分壁式蒸餾塔之物質進行熱交換的方式減少能耗，進一步回收中沸點物質，以供再利用。因此，本發明之廢溶劑處理系統及其之方法可達到節省硬體投資與操作成本的目的。

綜上所述，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (20)

1. 一種廢溶劑處理系統，包括：一分壁式蒸餾塔，包括一填充床、一第一入口及一分隔板，該分隔板將該分壁式蒸餾塔的內部區分成一第一空間、一第二空間及一第三空間，該第一入口直接或間接連接於該第一空間，且用以接受一混合物，該混合物包含一高沸點物質、一中沸點物質及一低沸點物質；一蒸發加熱裝置，用以接收該混合物並進行該高沸點物質濃縮；一第一幫浦，連接於該蒸發加熱裝置的一第一底部，以抽出該蒸發加熱裝置內之該高沸點物質；一第二幫浦，連接於該第一空間的一第二底部，以將該第一空間內之該高沸點物質與該中沸點物質抽出至該蒸發加熱裝置中；一第一再沸器，提供熱量給該第二空間；一第三幫浦，連接於該第二空間的一第三底部，且用以抽出該第二空間內之該中沸點物質；一第一冷凝器，連接於該第三空間，且用以冷凝由該第三空間所排出之該低沸點物質；一儲存槽，連接於該第一冷凝器，以儲存該第一冷凝器所排出的該低沸點物質；以及一第四幫浦，連接於該儲存槽，以將該儲存槽內之一部分的該低沸點物質抽出，並將另一部分的該低沸點物質抽回至該第三空間中。
2. 如申請專利範圍第1項所述之廢溶劑處理系統，更包括：一預熱器，連接於該第三幫浦，用以將該第三幫浦所抽取出的該中沸點物質與該混合物進行一熱交換，其中該混合物進行該熱交換之後，經由該第一入口進入該廢溶劑處理系統。
3. 如申請專利範圍第1項所述之廢溶劑處理系統，更包括：一第三冷凝器，連接於該第二空間，且用以冷卻該第二空間中汽相之該中沸點物質，並將汽相之該中沸點物質與該混合物進行一熱交換，其中該混合物進行該熱交換之後，經由該第一入口進入該廢溶劑處理系統；一第四冷凝器，連接於該第三冷凝器，且用以冷凝該第三冷凝器冷卻後之該中沸點物質；以及一第六幫浦，連接於該第四冷凝器，以抽出該第四冷凝器所冷凝之後的該中沸點物質。
4. 如申請專利範圍第1項所述之廢溶劑處理系統，更包括：一第四冷凝器，連接於該第二空間，且用以冷凝該第二空間中汽相之該中沸點物質；以及一第六幫浦，連接於該第四冷凝器，以抽出該第四冷凝器所冷凝之後的該中沸點物質。
5. 如申請專利範圍第1或3項所述之廢溶劑處理系統，更包括：一第二再沸器，提供熱量給該第一空間，並將該第二幫浦所抽出之該中沸點物質進行汽化。
6. 如申請專利範圍第1或3項所述之廢溶劑處理系統，更包括：一第五冷凝器，連接於該蒸發加熱裝置，且用以冷凝該蒸發加熱裝置所汽化之該中沸點物質；以及一第七幫浦，連接該第五冷凝器，以抽出該第五冷凝器所冷凝的該中沸點物質。
7. 如申請專利範圍第1或3項所述之廢溶劑處理系統，更包括：一第二冷凝器，連接於該儲存槽，且用以冷卻該儲存槽所排出之該低沸點物質；以及一第五幫浦，連接於該第二冷凝器，以維持該廢溶劑處理系統之操作壓力。
8. 如申請專利範圍第1項所述之廢溶劑處理系統，其中該中沸點物質包括一材料，該材料係選自於由單甲基醚丙二醇、乙酸丙二醇單甲基醚酯、3-乙氧基丙酸乙酯、單乙醇胺、二甲基亞碸、二乙二醇單丁醚、N甲基吡咯酮、環己酮、環戊酮、乳酸乙酯、二甲基乙醯胺、三乙醇胺、二乙二醇單甲基醚、N-甲基甲醯胺及其任意組合所組成的群組。
9. 如申請專利範圍第1項所述之廢溶劑處理系統，其中該填充床是規則填充物、散裝填充物、塔板或其任意組合。
10. 如申請專利範圍第1項所述之廢溶劑處理系統，其中該蒸發加熱裝置提供熱量給該第一空間。
11. 如申請專利範圍第1項所述之廢溶劑處理系統，其中該混合物的固含量介於0wt%至60wt%之間。
12. 一種廢溶劑處理的方法，包括：提供一混合物於如申請專利範圍第1項所述之廢溶劑處理系統中，使該混合物經由該第一入口進入該第一空間；提供熱量給該第一空間，使該混合物由該第一空間往該第二空間及該第三空間分布；藉由該蒸發加熱裝置接收該混合物並進行該高沸點物質濃縮；藉由連接於該蒸發加熱裝置的該第一底部的該第一幫浦，抽出該蒸發加熱裝置內之該高沸點物質；藉由連接於該第一空間的該第二底部的該第二幫浦，以將該第一空間內之該高沸點物質與該中沸點物質抽出至該蒸發加熱裝置中；藉由該第一再沸器，提供熱量給該第二空間；藉由連接於該第二空間的該第三底部的該第三幫浦，抽出該第二空間內之該中沸點物質；藉由連接於該第三空間的該第一冷凝器，冷凝該第三空間所排出之該低沸點物質；藉由連接於該第一冷凝器的該儲存槽，儲存該第一冷凝器所排出的該低沸點物質；以及藉由連接於該儲存槽的該第四幫浦，將該儲存槽內之一部分的該低沸點物質抽出，並將另一部分的該低沸點物質抽回至該第三空間中。
13. 如申請專利範圍第12項所述之廢溶劑處理的方法，更包括：藉由連接於該第三幫浦的一預熱器，將該第三幫浦所抽取出的該中沸點物質與該混合物進行一熱交換，其中該混合物進行該熱交換之後，經由該第一入口進入該廢溶劑處理系統。
14. 如申請專利範圍第12項所述之廢溶劑處理的方法，更包括：藉由連接於該第二空間之一第三冷凝器，冷卻該第二空間中汽相之該中沸點物質，將該中沸點物質與該混合物進行一熱交換，其中該混合物進行該熱交換之後，經由該第一入口進入該廢溶劑處理系統；藉由連接於該第三冷凝器之一第四冷凝器，冷凝該第三冷凝器冷卻後之該中沸點物質；以及藉由連接於該第四冷凝器之一第六幫浦，抽出該第四冷凝器所冷凝之後的該中沸點物質。
15. 如申請專利範圍第12項所述之廢溶劑處理的方法，更包括：藉由連接於該第二空間的一第四冷凝器，冷凝該第二空間中汽相之該中沸點物質；以及藉由連接於該第四冷凝器之一第六幫浦，抽出該第四冷凝器所冷凝之後的該中沸點物質。
16. 如申請專利範圍第12或14項所述之廢溶劑處理的方法，更包括：藉由一第二再沸器提供熱量給該第一空間，並將該第二幫浦所抽出之該中沸點物質進行汽化。
17. 如申請專利範圍第12或14項所述之廢溶劑處理的方法，更包括：藉由連接於該蒸發加熱裝置的一第五冷凝器，冷凝該蒸發加熱裝置所汽化之該中沸點物質；以及藉由連接於該第五冷凝器的一第七幫浦，抽出該第五冷凝器所凝結而成的該中沸點物質。
18. 如申請專利範圍第12或14項項所述之廢溶劑處理的方法，更包括：藉由連接於該儲存槽的該第二冷凝器，冷卻由該儲存槽所排出之該低沸點物質；以及藉由連接於該第二冷凝器的該第五幫浦，維持該廢溶劑處理系統之操作壓力。
19. 如申請專利範圍第12項所述之廢溶劑處理的方法，更包括藉由該蒸發加熱器提供熱量給該第一空間。
20. 如申請專利範圍第12項所述之廢溶劑處理的方法，其中該混合物的固含量介於0wt%至60wt%之間。