TWI601567B - 過濾濾材及過濾單元 - Google Patents

Description

過濾濾材及過濾單元 技術領域

本發明是有關於一種捕集包含於被過濾氣體之粒子的過濾濾材及使用該過濾濾材之過濾單元，特別是有關於一種構成為將可捕集該粒子之濾材原料褶襉加工者。

背景技術

迄今，作為於製造半導體或液晶之工廠之無塵室等使用的過濾濾材，已知的是如圖6所示之過濾濾材100。該過濾濾材100構成為：構成為可捕集包含於被過濾氣體之粒子的濾材原料200於複數處彎折而形成為褶狀。

前述過濾濾材100具備：彎折部100a，是濾材原料200彎折而形成；複數個平板部100b，是濾材原料200中除了彎折部100a以外之領域配置成對向而形成；及複數個間隔保持部300，是保持相鄰之平板部100b、100b彼此之間隔。

該間隔保持部300是藉由於濾材原料200之兩面隔著間隔塗布接著劑(熱熔膠等)而形成的複數個卷邊部300a所形成。具體而言，間隔保持部300是藉由於濾材原料 200之一面側及他面側中的各平板部100b間分別接合一面側及他面側之卷邊部300a、300a而形成。即，間隔保持部300形成於濾材原料200之一面側及他面側中的各平板部100b間。

如圖7(a)所示，如前述般構成的過濾濾材100會收納於構成為可收納過濾濾材之框體A內而構成過濾單元110。該框體A具備：一對對向壁A1、A1，其配置成隔著間隔對向；及連結壁A2，其連結該一對對向壁A1、A1之外周部彼此。又，構成為可將過濾濾材1收納於藉由一對對向壁A1、A1與連結壁A2所包圍的空間(以下亦記作內部空間)AR。一對對向壁A1、A1具備與內部空間AR連通之開口部A3、A3。藉此，框體A會構成為被過濾氣體可自一開口部A3側朝另一開口部A3側通過內部空間AR。

收納於框體A之過濾濾材100配置於內部空間AR中的一對向壁A1側，且外周部固定於框體A。藉此，於過濾濾材100與另一對向壁A1間形成間隔。

如前述般構成的過濾單元110配置成過濾濾材100之長度L1方向與被過濾氣體之流通方向F交叉(具體而言為略呈正交)。即，過濾單元110配置成被過濾氣體自過濾濾材100之高度L3方向與過濾濾材100接觸。藉此，自框體A之一開口部A3流入過濾單元110之內部的被過濾氣體會在內部空間AR透過過濾濾材100而自框體A之另一開口部A3排出。

故，若使被過濾氣體於過濾單元110流通，則因 被過濾氣體之風壓或過濾濾材100之壓力損失之上升，如圖7(b)所示，過濾濾材100之中央部會朝被過濾氣體之流通方向F之下游側膨出，並有過濾濾材100構成彎曲狀態之虞。

此種過濾濾材100之彎曲會成為使過濾單元之壓力損失增加或使過濾效率降低之主要原因。又，若過濾濾材100之彎曲過大，則亦會有過濾單元110產生破損之情形。

作為防止如前述過濾濾材之彎曲之方法，目前揭示有各種方法。舉例言之，目前揭示有一種方法，其藉由減低構成過濾濾材之過濾原料之初期之壓力損失，或使過濾濾材之有效面積增加，減低過濾濾材經久之壓力損失之上升，並抑制因風壓而產生的過濾濾材之彎曲(參照專利文獻1)。又，目前揭示有一種方法，其將剛性高於過濾濾材之構件(以下亦記作剛性構件)安裝於過濾濾材，並藉由該剛性構件，抑制過濾濾材之彎曲(參照專利文獻2及3)。

然而，在如前述般減低過濾濾材經久之壓力損失之上升之方法中，會有來自被過濾氣體之粒子之捕集性能降低之虞。又，在如前述般使用剛性構件之方法中，耗費用以準備剛性構件之成本，同時製作過濾濾材或過濾單元時費事，並成為生產效率降低之主要原因。

先行技術文獻 專利文獻

[專利文獻1]日本專利公開公報特開2002-292215號公報

[專利文獻2]特開平11-42410號公報

[專利文獻3]國際公開第2005/077492號說明書

發明概要

故，本發明之課題在提供一種可防止因被過濾氣體之風壓而無意地變形之過濾濾材及使用該過濾濾材之過濾單元。

有關本發明之過濾濾材具備：複數個彎折部，是可捕集包含於被過濾氣體之粒子的濾材原料彎折成褶狀而形成；複數個平板部，是濾材原料中除了彎折部以外之領域配置成對向而形成；及複數個間隔保持部，是形成於濾材原料之一面側及他面側中的各平板部間而保持相鄰之彎折部彼此之間隔；又，前述過濾濾材構成為在形成於前述濾材原料之兩面的間隔保持部中，形成於濾材原料之他面側的他面側間隔保持部之厚度比形成於濾材原料之一面側的一面側間隔保持部之厚度薄。

若藉由前述構造，則濾材原料之他面側中的平板部彼此之間隔會比濾材原料之一面側中的平板部彼此之間隔窄。故，相較於過濾濾材之長度方向之兩端部，中央側之領域容易朝濾材原料之一面側膨出，且容易使過濾濾材彎曲。依此，藉由於彎曲狀態下使用過濾濾材，可抑制過濾濾材因被過濾氣體之風壓而變形。

具體而言，藉由使過濾濾材如前述般彎曲，相對 於自過濾濾材之中央側之領域膨出側施加於過濾濾材之風壓，過濾濾材之剛性會提高。故，可抑制因風壓所造成的過濾濾材之變形。

又，前述間隔保持部宜藉由於濾材原料之一面配置接著劑而形成的一面側卷邊部及於濾材原料之他面配置接著劑而形成的他面側卷邊部各自於平板部間接合而形成，並構成為他面側卷邊部中形成間隔保持部之部位之厚度比前述一面側卷邊部中形成間隔保持部之部位之厚度薄。

若藉由前述構造，則形成為他面側間隔保持部之厚度比一面側間隔保持部之厚度薄。藉此，容易使過濾濾材如前述般彎曲而使用，且可抑制過濾濾材因風壓所造成的變形。

又，前述一面側卷邊部中形成間隔保持部之部位之厚度宜為他面側卷邊部中形成間隔保持部之部位之厚度之20%以上、80%以下。

有關本發明之過濾單元是構成為於收納如前述中任一者之過濾濾材之框體收納該過濾濾材，又，前述框體具備使被過濾氣體流入內部之開口部，且前述過濾濾材彎曲成相較於長向之兩端部，中央側之領域會位於前述開口部側而收納於框體。

如前述，若藉由本發明，則可防止因被過濾氣體之風壓而無意地變形。

1，100‧‧‧過濾濾材

1a，100a‧‧‧彎折部

1b，100b‧‧‧平板部

2，200‧‧‧濾材原料

2a‧‧‧多孔質層

2b‧‧‧基材層

3A‧‧‧一面側間隔保持部

3B‧‧‧他面側間隔保持部

3a‧‧‧一面側卷邊部

3a’，3b’，300a‧‧‧卷邊部

3b‧‧‧他面側卷邊部

10，110‧‧‧過濾單元

300‧‧‧間隔保持部

A，X‧‧‧框體

A1‧‧‧彎折預定領域

A1(習知)，X1‧‧‧對向壁

A2‧‧‧平板部預定領域

A2(習知)，X2‧‧‧連結壁

A3，X3‧‧‧開口部

AR，XR‧‧‧內部空間

F‧‧‧流通方向

L1‧‧‧長度

L2‧‧‧寬度

L3‧‧‧高度

XL1‧‧‧間隔

圖1是顯示有關本實施形態之過濾濾材之透視圖。

圖2是顯示有關同實施形態之過濾濾材之濾材原料之透視圖及其局部放大圖。

圖3(a)是將同實施形態之過濾濾材沿著高度方向在與平板部交叉之面切斷之截面圖，(b)是將過濾濾材在沿著長度方向及寬度方向之面切斷之截面圖。

圖4是使用有關同實施形態之過濾濾材而構成的過濾單元之截面圖。

圖5是顯示有關其他實施形態之過濾濾材之間隔保持部之截面圖。

圖6是顯示習知過濾濾材之透視圖。

圖7(a)是構成為於框體收納圖6之過濾濾材之過濾單元之截面圖，(b)是顯示被過濾氣體之風壓施加於(a)之過濾單元且過濾濾材彎曲之狀態之截面圖。

用以實施發明之形態

以下，參照圖1~4，說明本發明之實施形態。另，於以下之圖式中，相同或相當之部分會附上相同之參照符號且不重複其說明。

如圖1所示，有關本實施形態之過濾濾材1具備：複數個彎折部1a，是構成為可捕集包含於被過濾氣體之粒子的濾材原料2彎折成褶狀(以下亦記作褶襉加工)而形成； 複數個平板部1b，是濾材原料2中除了彎折部1a以外之領域配置成對向而形成；及複數個間隔保持部3A、3B，是形成於濾材原料2之一面側及他面側中的各平板部1b間而保持相鄰之彎折部1a、1a彼此之間隔。

前述濾材原料2在彎折成褶狀前之狀態下，如圖2所示，形成為一方向構成長方形之片狀。另，濾材原料2亦可形成為長條狀而一方向構成長方形，並構成為藉由自捲繞狀態開捲而構成片狀，且亦可為形成為片狀而一方向構成長方形之單片體。

又，濾材原料2具備：多孔質層2a，其捕集包含於被過濾氣體之粒子；及基材層2b，其具有通氣性，並積層於該多孔質層2a。於本實施形態中，濾材原料2具備複數個(具體而言為2層)多孔質層2a，且於多孔質層2a彼此間配置基材層2b。依此，藉由使用複數個多孔質層2a而形成濾材原料2，相較於由單一之多孔質層2a形成濾材原料2之情形，可抑制壓力損失或捕集效率產生誤差。又，由於可抑制形成像是貫通濾材原料2之針孔，因此，可獲得不滲漏之結構之濾材原料2。

前述多孔質層2a是使用可捕集前述粒子之多孔質之片材(以下亦記作多孔質片)而形成。該多孔質片並無特殊之限制，可按照過濾濾材1之用途適當地選擇。舉例言之，該多孔質片可列舉如：將聚四氟乙烯(PTFE)形成為片狀之PTFE片；或熔噴不織布、靜電濾網或玻璃纖維等。於本實施形態中，使用PTFE片作為多孔質片。形成PTFE片之 方法例如可採用下述方法。

具體而言，於PTFE細粉添加液狀潤滑劑而形成糊狀混合物。PTFE細粉並無特殊之限制，舉例言之，可列舉如：Polyflon F-104(大金工業公司製)、Fluon CD-123(旭．ICI氟聚合物公司製)、Teflon 6J(三井．杜邦氟化學公司製)等。液狀潤滑劑並無特殊之限制，只要是可賦予混合物表面適度之潤濕性者即可，若為可藉由萃取處理或加熱處理除去者，則特別理想。舉例言之，除了液態石蠟、石腦油、白油、甲苯、二甲苯等之烴油外，液狀潤滑劑可列舉如：醇類、酮類、酯類及該等之2種以上之混合物等。液狀潤滑劑之添加量並無特殊之限制，可依照PTFE細粉及液狀潤滑劑之種類、獲得PTFE片時之成形方法適當地調整。具體而言，液狀潤滑劑之添加量宜相對於PTFE細粉100質量份而為5質量份以上、50質量份以下。

又，由PTFE細粉及液狀潤滑劑所構成的前述混合物會預備成形而製作預備成形體。具體而言，藉由使前述混合物押出成形為棒狀，製作預備成形體。前述預備成形宜藉由液狀潤滑劑不會自混合物分離之程度之壓力進行。

其次，所獲得之預備成形體會藉由押出成形或壓延成形而成形為片狀。舉例言之，該預備成形體成形為片狀之方法可列舉如：藉由使預備成形體供給至一對輥構件間並壓延，使預備成形體形成為片狀之方法；預備成形體押出成形為片狀之方法；或藉由使業已押出成形為片狀之 預備成形體進一步地供給至一對輥間並壓延，使預備成形體形成為片狀之方法等。所獲得之片狀成形體之厚度並無特殊之限制，舉例言之，宜為0.05mm以上、0.5mm以下。

其次，所獲得之片狀成形體會藉由單軸延伸或雙軸延伸而多孔質化，並形成PTFE片。於本實施形態中，片狀成形體會沿著長向延伸，同時亦沿著與長向呈正交之寬度方向延伸(雙軸延伸)。另，於片狀成形體延伸前，宜自該成形體除去液狀潤滑劑。液狀潤滑劑之除去可採用加熱該成形體之方法(加熱法)，或使該成形體浸漬於溶劑中而萃取液狀潤滑劑之方法(萃取法)等。

片狀成形體沿著長向延伸時，延伸倍率較大者會促進該成形體之纖絲化而容易多孔質化。故，舉例言之，延伸倍率宜為10倍以上、30倍以下。又，該成形體延伸時之溫度條件並無特殊之限制，舉例言之，宜為150℃以上、小於327℃。

藉由使業已沿著長向延伸後的片狀成形體沿著寬度方向延伸，該成形體會有效地纖絲化，且可獲得孔徑之誤差少的PTFE片。片狀成形體沿著寬度方向延伸之條件並無特殊之限制，舉例言之，延伸倍率宜為20倍以上、100倍以下。又，片狀成形體宜沿著寬度方向延伸成藉由與先前長向延伸時之延伸倍率之積所表示的面積延伸倍率構成450倍以上。面積延伸倍率越大，越會更進一步地促進纖絲化，且可獲得PF值大的多孔質PTFE片。又，延伸溫度並無特殊之限制，舉例言之，宜為40℃以上、100℃以下。

如前述般形成的PTFE片具有壓力損失為50mmH₂O以下且捕集效率為99.9%以上之優異特性。特別是面積延伸倍率為450倍以上時，捕集效率不會大幅地降低，且壓力損失降低至小於20mmH₂O，同時PF值構成22以上。藉此，可獲得極為優異之性能的多孔質PTFE片。又，所獲得之每片PTFE片之壓力損失之誤差亦會減小。故，可構成作業成本低並顯示極為優異之除塵性能的多孔質PTFE片。

另，在強度提升或獲得尺寸安定性之目的下，依前述作成而獲得之PTFE片亦可進一步地進行熱處理(焙燒處理)。一般而言，PTFE片之熱處理會藉由PTFE焙燒體之熔點以上之溫度固定尺寸來進行。又，藉由前述熱處理，可降低壓力損失。故，在顯示PTFE片之PF值為22以上且壓力損失為20mmH₂O以上時，可藉由該熱處理，使壓力損失降低至小於20mmH₂O。

前述基材層2b是使用具有通氣性之片材(以下亦記作通氣性片)而形成。通氣性片並無特殊之限制，舉例言之，可列舉如：不織布、織布、網眼、高分子纖維等。特別是在使多孔質層2a(多孔質層片)與基材層2b(通氣性片)熱熔接(熱層合)時，宜使用由具有熱可塑性之素材所構成的通氣性片。

舉例言之，通氣性片之材質可列舉如：聚乙烯或聚丙烯等之聚烯烴、耐綸、聚酯、聚芳醯胺(具體而言為芳族系聚醯胺等)或複合該等者(舉例言之，由芯/鞘結構之纖 維所構成的不織布；或低熔點材料與高熔點材料之雙層不織布等)。除此之外，舉例言之，通氣性片之材質可列舉如：PFA(四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物)、FEP(四氟乙烯/六氟丙烯共聚物)、PTFE之多孔質膜等之氟系多孔膜。

特別是適合使用由下述所構成的通氣性片，即：由屬於芯鞘結構之複合纖維且芯成分相較於鞘成分熔點相對高之合成纖維所構成的不織布；或由低熔點材料與高熔點材料之二層所構成的不織布等。藉由使用此種不織布，在多孔質層2a(多孔質層片)與基材層2b(通氣性片)熱層合時，可抑制於基材層2b所產生的收縮。又，藉由使用前述不織布，濾材原料2褶襉加工時之加工性會變得良好，且可增加濾材原料2之彎折處(折疊間距)。

形成如前述之濾材原料2之方法並無特殊之限制，舉例言之，可採用以下方法，即：於形成多孔質層2a之多孔質片與形成基材層2b之通氣性片間配置熱熔膠或感壓型接著劑，並壓接多孔質片與通氣性片。或，可採用加熱而軟化之通氣性片與多孔質片壓接(熱層合)之方法。

於如前述般構成的濾材原料2形成構成間隔保持部3A、3B之卷邊部3a、3b。該卷邊部3a、3b是在濾材原料2褶襉加工後形成。具體而言，濾材原料2沿著與一方向(長向)呈正交之寬度方向於複數處彎折而褶襉加工後，伸展成褶襉加工前之平坦狀態，並藉由於濾材原料2之兩面塗布接著劑，形成卷邊部3a、3b。卷邊部3a、3b之形狀並無特殊之限制，於本實施形態中，沿著濾材原料2之一方向(長向) 形成為線狀。

形成於濾材原料2之一面側的卷邊部(以下亦記作一面側卷邊部)3a及形成於濾材原料2之他面側的卷邊部(以下亦記作他面側卷邊部)3b會形成於濾材原料2之複數處。具體而言，一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b會沿著濾材原料2之一方向(長向)隔著間隔形成複數個。又，一面側卷邊部3a與他面側卷邊部3b會沿著濾材原料2之一方向(長向)交互(再者，不會透過濾材原料2而重疊)排列。又，一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b會沿著濾材原料2之寬度方向隔著間隔排列複數個(於本實施形態中為3個)。

一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b形成為與濾材原料2褶襉加工時構成彎折部1a之領域(以下亦記作彎折預定領域)A1交叉(略呈正交)。具體而言，構成為於相鄰之彎折預定領域A1、A1中，一彎折預定領域A1與一面側卷邊部3a交叉，同時另一彎折預定領域A1與他面側卷邊部3b交叉。又，一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b形成於各彎折預定領域A1中構成彎折部1a之突起側之面上。

又，一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b形成於濾材原料2褶襉加工時構成平板部1b之領域(以下亦記作平板部預定領域)A2之兩面。具體而言，一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b會自與彎折預定領域A1之交叉位置遍及平板部預定領域A2之大略中央部而形成。

又，如前述般形成的一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b會構成為他面側卷邊部3b(詳而言之為形成間隔保 持部3B之部位)之厚度比一面側卷邊部3a(詳而言之為形成間隔保持部3A之部位)之厚度薄。具體而言，藉由使塗布於濾材原料2之他面側的接著劑之塗布量比塗布於一面側的接著劑之塗布量少，構成為他面側卷邊部3b之厚度比一面側卷邊部3a之厚度薄。相對於一面側卷邊部3a之厚度的他面側卷邊部3b之厚度之比例宜為20%以上、80%以下，且更宜為40%以上、60%以下。另，所謂各卷邊部3a、3b之厚度是指配置於濾材原料2之兩面的各卷邊部3a、3b中相當於濾材原料2之厚度方向的方向之厚度。

構成一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b之接著劑並無特殊之限制，舉例言之，可使用熱熔膠。將熱熔膠塗布於濾材原料2時之溫度會依照熱熔膠之成分而不同，然而，舉例言之，宜為100℃以上、250℃以下，且更宜為140℃以上、230℃以下。

如前述般形成卷邊部3a、3b的濾材原料2於各彎折預定領域A1再度彎折而形成為褶狀。藉此，如圖3(a)所示，形成複數個彎折部1a及複數個平板部1b。又，各卷邊部3a、3b是藉由接合濾材原料2之兩面中位於各平板部1b間之部位彼此，形成間隔保持部3A、3B。藉此，形成過濾濾材1。另，構成卷邊部3a、3b之接著劑使用熱熔膠時，宜於軟化成熱熔膠彼此可接合之程度時(開放時間內)，使濾材原料2再度形成為褶狀。

另，於以下說明中，過濾濾材1中相當於濾材原料2之一方向(長向)的方向是過濾濾材1之長度L1。又，過 濾濾材1中相當於濾材原料2之另一方向(寬度方向)的方向是過濾濾材1之寬度L2。又，形成為濾材原料2之一面側構成突起側的彎折部1a與形成為濾材原料2之他面側構成突起側的彎折部1a間之間隔是過濾濾材1之高度L3。

於如前述般形成的過濾濾材1中，於濾材原料2之一面側及他面側分別形成間隔保持部3A、3B。又，各間隔保持部3A、3B會沿著過濾濾材1之高度L3方向形成為直線狀。又，如圖3(a)(b)所示，過濾濾材1之一面側之各間隔保持部(以下亦記作一面側間隔保持部)3A及他面側之各間隔保持部(以下亦記作他面側間隔保持部)3B會沿著過濾濾材1之長度L1方向(具體而言為沿著長度L1方向之直線上)交互排列。

又，一面側間隔保持部3A與他面側間隔保持部3B形成為厚度不同。具體而言，形成為他面側間隔保持部3B之厚度比一面側間隔保持部3A之厚度薄。更詳而言之，藉由接合厚度比一面側卷邊部3a薄之他面側卷邊部3b中位於平板部1b間之部位彼此，形成厚度比一面側間隔保持部3A薄之他面側間隔保持部3B。相對於一面側間隔保持部3A之厚度的他面側間隔保持部3B之厚度之比例宜為20%以上、80%以下，且更宜為40%以上、60%以下。另，所謂各間隔保持部3A、3B之厚度是相當於相鄰之平板部彼此對向之方向的方向之厚度。

依此，藉由構成為他面側間隔保持部3B之厚度比一面側間隔保持部3A之厚度薄，如圖3(a)、(b)所示，濾 材原料2之他面側之各平板部1b間之間隔會比濾材原料2之一面側之各平板部1b間之間隔窄。

如圖4所示，如前述般構成的過濾濾材1會收納於構成為可收納過濾濾材1之框體X而使用作為過濾單元10。該框體X具備：一對對向壁X1、X1，其配置成隔著間隔對向；及連結壁X2，其連結該一對對向壁X1、X1之外周部彼此。又，構成為可將過濾濾材1收納於藉由一對對向壁X1、X1與連結壁X2所包圍的空間(以下亦記作內部空間)XR。一對對向壁X1、X1具備與內部空間XR連通之開口部X3、X3。藉此，框體X會構成為被過濾氣體可自一開口部X3側朝另一開口部X3側通過內部空間XR。

框體X之形狀只要是可收納過濾濾材1之形狀，則無特殊之限制，舉例言之，可列舉如：內部尺寸1180mm×1180mm、外部尺寸1220mm×1220mm、厚度75mm之長方體狀，或具有預定內徑之圓形狀等。又，框體X之材質並無特殊之限制，可使用鋁製者。

過濾濾材1會調節成長度L1構成預定長度而收納於框體X。具體而言，調節(切斷)成過濾濾材1之長度L1比框體X中收納過濾濾材1之方向(具體而言為沿著過濾濾材1之長度L1方向之方向)的連結壁X2之內面間之間隔XL1長。

又，過濾濾材1於收納於框體X之狀態下，構成於框體X內彎曲之狀態。具體而言，過濾濾材1於收納於框體X之狀態下，長度L1方向之兩端部抵接於框體X之內面(更詳而言之為連結壁X2之內面)，同時相較於長度L1方向 之兩端部，中央側之領域會比該兩端部位於一開口部X3側而構成沿著寬度L2方向彎曲之狀態。

另，連結形成為過濾濾材1之一面側構成突起側的各彎折部1a(換言之，形成於各平板部1b之間隔變寬側之各彎折部1a)之頂點部彼此而形成的圓弧之半徑(彎曲半徑)並無特殊之限制，舉例言之，宜為250mm以上、1500mm以下，且更宜為290mm以上、1200mm以下。

於過濾濾材1與框體X間填充填縫劑。舉例言之，該填縫劑可列舉如：雙液環氧填縫劑(具體而言，以3：1之比率混合漢高(Henkel)公司製Macroplast 8104MC-18與Macroplast UK5400者)等。

前述過濾單元10適合使用作為無塵室等之HEPA(High Efficiency Particulate Air，高效率粒子空氣)過濾器及ULPA(Ultra Low Penetration Air，超低滲透空氣)過濾器。

如前述般構成的過濾單元10配置成過濾濾材1之長度L1方向相對於被過濾氣體之流通方向F而交叉(具體而言為略呈正交)。即，過濾單元10配置成被過濾氣體自過濾濾材1之高度L3方向與過濾濾材1接觸。又，過濾單元10配置成相較於過濾濾材1之長度L1方向之兩端部，中央側之領域會比該兩端部位於被過濾氣體之流通方向F之上游側。藉此，構成為自框體X之一開口部X3流入過濾單元10之內部的被過濾氣體會在內部空間XR透過過濾濾材1而自框體x之另一開口部X3排出。

如前述，若藉由有關本發明之過濾濾材及過濾單元，則可防止因被過濾氣體之風壓而無意地變形。

即，前述過濾濾材1構成為他面側間隔保持部3B之厚度比一面側間隔保持部3A之厚度薄，藉此，濾材原料2之他面側中的平板部1b彼此之間隔會比濾材原料2之一面側中的平板部1b彼此之間隔窄。故，相較於過濾濾材1之長度方向之兩端部，中央側之領域會比該兩端部更容易朝濾材原料2之一面側膨出，且容易使過濾濾材1彎曲。依此，藉由於彎曲狀態下使用過濾濾材1，可抑制過濾濾材1因被過濾氣體之風壓而變形。

具體而言，藉由使過濾濾材1如前述般彎曲，相對於自過濾濾材1之中央側之領域膨出側施加於過濾濾材1之風壓，過濾濾材1之剛性會提高。故，可抑制因風壓所造成的過濾濾材1之變形。

又，藉由構成為他面側卷邊部3b中形成他面側間隔保持部3B之部位之厚度比一面側卷邊部3a中形成一面側間隔保持部3A之部位之厚度薄，形成為他面側間隔保持部3B之厚度比一面側間隔保持部3A之厚度薄。藉此，容易使過濾濾材1如前述般彎曲而使用，且可抑制過濾濾材1因風壓所造成的變形。

另，有關本發明之過濾濾材及過濾單元並不限於前述實施形態，可於未脫離本發明之要旨之範圍進行各種變更。又，亦可任意地採用、組合前述複數個實施形態之構造或方法等(亦可將有關一實施形態之構造或方法等應 用在有關其他實施形態之構造或方法等)，再者，當然亦可任意地選擇有關下述各種變更例之構造或方法等，並於有關前述實施形態之構造或方法等中採用。

舉例言之，於前述實施形態中，卷邊部3a、3b形成為與彎折部1a交叉，然而，並不限於此，如圖5所示，亦可僅由形成間隔保持部3A、3B之部分構成卷邊部3a’、3b’。

又，於前述實施形態中，間隔保持部3沿著彎折部1a隔著間隔形成複數個，然而，並不限於此，亦可沿著彎折部1a一體地形成。

又，於前述實施形態中，使用由多孔質層2a與基材層2b所構成的濾材原料2來構成過濾濾材1，然而，並不限於此，舉例言之，亦可使用僅由多孔質層2a形成的濾材原料。又，於前述實施形態中，由複數個多孔質層2a形成濾材原料2，然而，並不限於此，亦可由單一之多孔質層2a與基材層2b形成濾材原料。

實施例

以下，說明本發明之實施例。

<過濾濾材之製作>

1.多孔質片

使用PTFE片作為多孔質片。具體而言，相對於PTFE細粉(旭．ICI氟聚合物公司製Fluon CD-123)100重量份，添加液狀潤滑劑(十二烷)20重量份而形成糊狀混合物。又，該混合物會預備成形為棒狀。然後，如前述實施形態，藉由 使預備成形體供給至一對輥構件間並壓延，製作長條片(厚度：200μm)。又，長條片會在200℃之環境下，沿著長向延伸為11倍，同時在80℃之環境下，沿著與長向呈正交之寬度方向延伸為25倍，藉此，獲得未焙燒之PTFE片。

所獲得之PTFE片會使用熱風產生爐以400℃焙燒。焙燒後之PTFE片之平均孔徑為0.6μm，厚度為16μm，平均纖維徑為0.08μm，捕集效率為99.999%，壓力損失為160Pa。壓力損失及捕集效率是藉由下述方法來求取。

2.通氣性片

使用形成為一方向構成長方形之通氣性片(Eleves S030WDO尤尼吉可(Unitika)公司製)。

3.濾材原料之製作

多孔質片是在通氣性片之兩面積層為前述多孔質片與通氣性片之長向略呈平行，並搬送至一對輥構件(前述熱輥與前述支持輥)間，且多孔質片與通氣性片會熱封而黏合。藉此，製作如圖2所示之濾材原料2(寬度L2：580mm)。該濾材原料2之壓力損失為170Pa，捕集效率為99.999%，厚度為0.32mm。

<壓力損失>

於氣體透過業已設置於圓環狀支架(有效面積：100cm²)之試驗樣本(所獲得之多孔質片或濾材原料2)時，藉由壓力計(氣壓計)，測定試驗樣本之一面側與他面側之氣壓差。另，透過流速為5.3cm/sec，且於試驗樣本之8處測定氣壓差。所獲得之測定結果之相加平均為前述壓力損失。

<捕集效率>

使含有多分散鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)約109個/L以上之氣體透過業已設置於圓環狀支架(有效面積：100cm²)之試驗樣本(所獲得之多孔質片或濾材原料2)。又，藉由粒子計數器，測定業已透過試驗樣本的氣體之DOP濃度。又，使用下述(1)式，算出捕集效率(%)。另，透過流速為5.3cm/sec。DOP粒子為0.1~0.2μm之範圍。

捕集效率(%)={1-(下游濃度/上游濃度)}×100…(1)

<實施例1及2>

=過濾濾材=

所獲得之濾材原料2褶襉加工後，如圖3所示，藉由形成一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b，製作過濾濾材1。所獲得之過濾濾材1之長度L1為580mm，寬度L2為580mm，高度L3為35mm，平均一吋之褶數為8個。形成各卷邊部3a、3b之接著劑(熱熔膠)是使用漢高公司製之Macromelt 6202(聚醯胺系)。另，相對於他面側卷邊部3b之質量的一面側卷邊部3a之質量之比率(卷邊表裡比率)顯示於下述表1。又，卷邊表裡比率之算出是藉由下述(2)式來進行。

卷邊表裡比率=一面側卷邊部3a之質量/他面側卷邊部3b之質量…(2)

另，一面側卷邊部3a及他面側卷邊部3b之質量如下述般測定。具體而言，首先，測定採取自過濾濾材1之試驗片(1.0m²)之質量。又，加熱試驗片，並測定業已除去一面側卷邊部3a(或他面側卷邊部3b)時之試驗片之質量。又， 自試驗片之加熱前後之質量差，算出一面側卷邊部3a(或他面側卷邊部3b)之質量。

=過濾單元=

過濾濾材1會收納於框體X(內部尺寸為580mm×580mm、外部尺寸為610mm×610mm、厚度為80mm之鋁製)之內側，並藉由雙液環氧填縫材，密封框體X與過濾濾材1之間隙。藉此，製作如圖4所示之過濾單元10。另，雙液環氧填縫材是使用以3：1之比率混合漢高製Macroplast 8104MC-18與Macroplast UK5400者。

收納於框體X之過濾濾材1會構成彎曲成相較於長度L1方向之兩端部，中央側之領域會比該兩端部位於一開口部X3側之狀態。另，連結形成為過濾濾材1之一面側構成突起側的各彎折部1a之頂點部彼此而形成的圓弧之半徑(彎曲半徑)顯示於下述表1。

=耐壓性試驗=

於所獲得之過濾單元中的過濾濾材1之中央部，自相較於長度L1方向之兩端部膨出側施加負載。此時，測定過濾濾材1之中央部之位移量(負載方向之位移量)。施加負載之方法是使用於過濾濾材1之中央部載置1個以上之秤砣(□137mm、10kg)之方法。

<比較例1>

各卷邊部3a、3b形成為卷邊表裡比率構成0。又，除了使過濾濾材1收納於框體X而不會彎曲外，藉由與實施例1相同之條件，進行變形量之測定。變形量顯示於下述表1。

<歸納>

若比較各實施例與比較例1，則可看見各實施例相對於負載之變形量較小。即，如各實施例，藉由使過濾濾材1構成彎曲狀態，相對於來自過濾濾材1之中央側膨出側之負載，過濾濾材1之剛性會提升，因此，可看見抑制過濾濾材1之變形。

又，若比較實施例1與實施例2，則可看見藉由使卷邊表裡比率增大，彎曲半徑會減小。即，若卷邊表裡比率增大，則濾材原料2之一面側中的各平板部1b彼此之間隔與濾材原料2之他面側中的各平板部1b彼此之間隔之差會增大。故，可使過濾濾材1更容易彎曲，且可減小彎曲半徑。藉此，由於可提升如前述之過濾濾材1之剛性，因此，可看見更有效地抑制過濾濾材1之變形。

1‧‧‧過濾濾材

2‧‧‧濾材原料

3A‧‧‧一面側間隔保持部

3B‧‧‧他面側間隔保持部

10‧‧‧過濾單元

F‧‧‧流通方向

X‧‧‧框體

X1‧‧‧對向壁

X2‧‧‧連結壁

X3‧‧‧開口部

XL1‧‧‧間隔

XR‧‧‧內部空間

Claims (3)

1. 一種過濾濾材，具備：複數個彎折部，其是濾材原料彎折成褶狀而形成，該濾材原料可捕集被過濾氣體中所包含之粒子；複數個平板部，是濾材原料中除了彎折部以外之領域配置成對向而形成；及複數個間隔保持部，是形成於濾材原料之一面側及他面側中的各平板部間而保持相鄰之彎折部彼此之間隔；其中前述間隔保持部是藉由一面側卷邊部與他面側卷邊部各自在平板部之間接合而形成者，其中該一面側卷邊部是於濾材原料之一面塗布接著劑而形成，且該他面側卷邊部是於濾材原料之他面塗布接著劑而形成，前述一面側卷邊部及前述他面側卷邊部形成在前述濾材原料之彎折部的突起側之面上，藉由將他面側卷邊部中形成間隔保持部之部位的厚度構成為比起前述一面側卷邊部中形成間隔保持部之部位的厚度更薄，而使得該過濾濾材被構成為：在前述濾材原料之兩面上形成的間隔保持部之中，形成於濾材原料之他面側的他面側間隔保持部之厚度比形成於濾材原料之一面側的一面側間隔保持部之厚度更薄，該過濾濾材並被彎曲形成為彎曲半徑在290mm以上1200mm以下。
2. 如請求項1之過濾濾材，其中前述一面側卷邊部中形成間隔保持部之部位的厚度是他面側卷邊部中形成間隔保持部之部位之厚度之20%以上、80%以下。
3. 一種過濾單元，其構成為於收納如請求項1或2之過濾濾材之框體收納該過濾濾材，又，前述框體具備使被過濾氣體流入內部之開口部，且前述過濾濾材被彎曲而使得比長向之兩端部更為中央側之領域位於前述開口部側，並收納於框體。