TWI578409B - A pressing device, a substrate bonding device and a superimposing substrate - Google Patents

A pressing device, a substrate bonding device and a superimposing substrate Download PDF

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TWI578409B
TWI578409B TW101146308A TW101146308A TWI578409B TW I578409 B TWI578409 B TW I578409B TW 101146308 A TW101146308 A TW 101146308A TW 101146308 A TW101146308 A TW 101146308A TW I578409 B TWI578409 B TW I578409B
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泉重人
高橋聡志
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Description

加壓裝置、基板貼合裝置及重合基板
本發明係關於一種加壓裝置、基板貼合裝置及重合基板。
習知有用於將半導體裝置之基板等上下移動或加壓的加壓裝置(例如參照專利文獻1)。
【先前技術文獻】
【專利文獻】
[專利文獻1]日本特開2005-302858號公報
但是，有使一對基板等上下移動而將一對基板加壓之情況。該情況下，存在著在基板移動階段須加快移動速度，並在基板加壓階段須增大壓力之問題。
本發明第一種樣態提供一種加壓裝置，其為了接合彼此重合之複數個半導體基板而加壓，且其特徵為：具備：第一載台，其係支撐前述複數個半導體基板；第二載台，其係可在與前述第一載台之間夾持前述複數個半導體基板；驅動部，其係為了前述複數個半導體基板之前述夾持，使前述第一載台向前述第二載台移動；及加壓部，其係在前述第一載台藉由前述驅動部到達預定之位置時，對前述第一載台賦予擠壓力，而在前述第一載台與前述第二載台之間對前述複數個半導體基板加壓；前述驅動部及前述加壓部在前述第一載台下之空間，至少一部分彼此重疊地並列於前 述移動方向。
本發明第二種樣態提供一種加壓裝置，其為了接合彼此重合之複數個半導體基板而加壓，且具備：第一載台，其係支撐前述複數個半導體基板；第二載台，其係可在與前述第一載台之間夾持前述複數個半導體基板；驅動部，其係為了前述複數個半導體基板之前述夾持，使前述第一載台向前述第二載台移動；加壓部，其係在前述第一載台藉由前述驅動部到達預定之位置時，對前述第一載台賦予擠壓力，而在前述第一載台與前述第二載台之間對前述複數個半導體基板加壓；及控制部，其係控制前述驅動部之驅動；前述控制部於前述加壓部加壓時，以前述第一載台及前述第二載台中之至少一方的壓力分布形成預定之分布的方式，控制從前述驅動部作用於前述第一載台之擠壓力。
本發明第三種樣態提供一種加壓裝置，其為了接合彼此重合之複數個半導體基板而加壓，且具備：活動部，其係包含支撐前述複數個半導體基板之第一載台；第二載台，其係可在與前述第一載台之間夾持前述複數個半導體基板；驅動部，其係為了前述複數個半導體基板之前述夾持，使前述第一載台向前述第二載台移動；加壓部，其係在前述第一載台藉由前述驅動部到達預定之位置時，對前述第一載台賦予擠壓力，而在前述第一載台與前述第二載台之間對前述複數個半導體基板加壓；及擠壓部件，其係連結於前述第一載台，藉由從前述驅動部接受之擠壓力而擠壓前述第一載台；前述擠壓部件擠壓前述活動部之重心。
本發明第四種樣態提供一種基板貼合裝置，其具備：位置對準部，其係使前述複數個半導體基板彼此位置對準；及上述之加壓裝置，其係為了將位置對準之前述複數個半導體基板彼此接合而加壓。
本發明第五種樣態提供一種重合基板，係在被載台支撐的狀態下，被以下部件加壓貼合而成：第一擠壓部件，其係與前述載台連結，並藉由第一汽缸而往返移動；及第二擠壓部件，其係與前述載台連結，以與前述第一汽缸擠壓前述第一擠壓部件之面積不同的面積，從包圍前述第一汽缸外周而配置之第二汽缸擠壓而往返移動。
本發明第六種樣態提供一種加壓裝置，其具備：固定部；活 動部，其係可對前述固定部往返移動，且在與前述固定部之間形成流體流出流入之空間；及傾斜抑制部，其係抑制前述流體流入造成前述活動部之傾斜。
本發明第七種樣態提供一種基板貼合裝置，其具備：上述加壓裝置；活動載台，其係保持疊層之複數個基板，並且藉由前述加壓裝置往返移動；及相對載台，其係配置於與前述活動載台相對之位置，藉由與前述活動載台一起對前述複數個基板加壓。
本發明第八種樣態提供一種重合基板，係藉由上述基板貼合裝置貼合而成。
另外，上述發明之概要並非列舉本發明必要之全部特徵者。此外，此等特徵群之子結合亦可成為發明。
10‧‧‧基板貼合裝置
12‧‧‧環境室
14‧‧‧大氣環境部
16‧‧‧真空環境部
18‧‧‧控制部
20‧‧‧基板匣盒
22‧‧‧基板保持架
24‧‧‧機器人手臂
26‧‧‧預對準器
28‧‧‧暫時接合部
30‧‧‧機器人手臂
34‧‧‧框體
36‧‧‧固定載台
38‧‧‧移動載台
40‧‧‧擋門
42‧‧‧擋門
48‧‧‧加載互鎖真空室
50‧‧‧進入門
52‧‧‧閘閥
53‧‧‧機器人處理室
54‧‧‧機器人手臂
55‧‧‧收容室
56‧‧‧加熱加壓裝置
57‧‧‧閘閥
58‧‧‧機器人手臂
59‧‧‧冷卻室
60‧‧‧下部模組
62‧‧‧上部模組
66‧‧‧昇降部
70‧‧‧下部加熱模組
72‧‧‧下部頂板
73‧‧‧上推銷
80‧‧‧上部加熱模組
82‧‧‧上部頂板
90‧‧‧基板
92‧‧‧重合基板
94‧‧‧基板保持器
116‧‧‧外周框體
118‧‧‧內部框體
120‧‧‧汽缸蓋
122‧‧‧第二活塞下部
124‧‧‧移動載台部件
126‧‧‧上部密封部件
128‧‧‧驅動力傳達部
130‧‧‧導引桿
134‧‧‧第二工作油A端口
136‧‧‧第一工作油A端口
137‧‧‧開口
138‧‧‧第一工作油B端口
140‧‧‧主排氣部
142‧‧‧空氣排出口
146‧‧‧第二汽缸
148‧‧‧外周底部
150‧‧‧第一汽缸
152‧‧‧上圓板部
154‧‧‧下環狀板部
156‧‧‧活塞桿孔
158‧‧‧引導凹部
160‧‧‧引導部件
162‧‧‧引導孔
164‧‧‧底圓板部
166‧‧‧立設環部
168‧‧‧下部O形環
170‧‧‧下部板狀環
172‧‧‧下部減阻密封件
174‧‧‧凹部
176‧‧‧第二中空部
178‧‧‧第二活塞桿
180‧‧‧第二活塞上部
182‧‧‧第二上擠壓面
188‧‧‧上部O形環
190‧‧‧上部板狀環
192‧‧‧上部減阻密封件
194‧‧‧凹部
196‧‧‧氣體室
198‧‧‧輔助密封件
200‧‧‧輔助凹部
202‧‧‧活塞桿
204‧‧‧第一活塞
206‧‧‧公螺紋部
208‧‧‧螺帽
210‧‧‧階
212‧‧‧孔
214‧‧‧第一下中空部
216‧‧‧第一上中空部
218‧‧‧第一下擠壓面
220‧‧‧第一上擠壓面
222‧‧‧O形環
224‧‧‧密封環
226‧‧‧減阻密封件
227‧‧‧凹部
228‧‧‧排氣路
230‧‧‧排氣口
232‧‧‧上部氣體除去路
234‧‧‧下部氣體除去路
368‧‧‧唇形密封圈
370‧‧‧板狀環
372‧‧‧密閉部件
468‧‧‧唇形密封圈
470‧‧‧板狀環
472‧‧‧密閉部件
1066‧‧‧昇降部
1102‧‧‧基座部件
1104‧‧‧外側框體
1106‧‧‧內側框體
1108‧‧‧底部件
1110‧‧‧活動部
1112‧‧‧流出流入管
1114‧‧‧流出流入管
1120‧‧‧上密封部件
1122‧‧‧外周壁部
1124‧‧‧下環狀部
1126‧‧‧流體蓄積處
1128‧‧‧開口
1129‧‧‧阻力流路
1130‧‧‧錐形面
1134‧‧‧上圓板部
1136‧‧‧內周壁部
1138‧‧‧下外周部
1139‧‧‧流出流入口
1141‧‧‧流出流入口
1142‧‧‧軸孔
1144‧‧‧流路
1146‧‧‧下副中空部
1147‧‧‧上副中空部
1148‧‧‧載台部
1150‧‧‧圓筒腳部
1152‧‧‧下密封部件
1154‧‧‧被引導部
1156‧‧‧活塞部
1158‧‧‧主中空部
1160‧‧‧引導孔
1162‧‧‧圓柱部
1164‧‧‧分離部
1170‧‧‧衝孔件
1178‧‧‧開口
1180‧‧‧多孔質部件
1188‧‧‧連通孔
1224‧‧‧下環狀部
1228‧‧‧開口
1312‧‧‧流出流入管
1319‧‧‧流出流入口
1328‧‧‧開口
1445‧‧‧溝
1528‧‧‧開口
1530‧‧‧錐形面
1545‧‧‧溝
1604‧‧‧框體
1610‧‧‧活動部
1612‧‧‧流出流入管
1628‧‧‧分散板
1629‧‧‧連通管
1639‧‧‧流出流入口
1644‧‧‧流路
1658‧‧‧主中空部
1666‧‧‧昇降部
1710‧‧‧活動部
1766‧‧‧昇降部
F1、F4‧‧‧合力
F2‧‧‧力
F3‧‧‧分力
P1、P2‧‧‧壓力
第一圖係基板貼合裝置10之全體構成圖。
第二圖係藉由基板貼合裝置10實施重合基板之貼合工序的說明圖。
第三圖係藉由基板貼合裝置10實施重合基板之貼合工序的說明圖。
第四圖係藉由基板貼合裝置10實施重合基板之貼合工序的說明圖。
第五圖係藉由基板貼合裝置10實施重合基板之貼合工序的說明圖。
第六圖係藉由基板貼合裝置10實施重合基板之貼合工序的說明圖。
第七圖係藉由基板貼合裝置10實施重合基板之貼合工序的說明圖。
第八圖係顯示加熱加壓裝置56之全體構造的前視圖。
第九圖係昇降部66之縱剖面圖。
第十圖係昇降部66之縱剖面圖。
第十一圖係昇降部66之縱剖面圖。
第十二圖係昇降部66之平面圖。
第十三圖顯示移動載台部件124傾斜狀態下，作用於移動載台部件124之力。
第十四圖顯示移動載台部件124傾斜狀態下，作用於移動載台部件 124之力。
第十五圖係移動載台部件124到達最上階之狀態圖。
第十六圖係變更密閉部件之例的說明圖。
第十七圖係變更密閉部件之例的說明圖。
第十八圖係昇降部1066之縱剖面圖。
第十九圖係說明流出流入管1112近旁之開口1128的縱剖面圖。
第二十圖係說明從流出流入管1112離開之區域的開口1128之縱剖面圖。
第二十一圖係說明開口1128之概略平面圖。
第二十二圖係昇降部1066之活動部1110向上方移動之圖。
第二十三圖係說明將開口加以變形之實施形態的概略平面圖。
第二十四圖係說明將開口加以變形之實施形態的概略平面圖。
第二十五圖係用於說明將開口加以變形之實施形態的開口近旁之縱剖面圖。
第二十六圖係用於說明將開口加以變形之實施形態的開口近旁之縱剖面圖。
第二十七圖係用於說明將開口加以變形之實施形態的概略平面圖。
第二十八圖係說明形成輔助流路之實施形態的縱剖面圖。
第二十九圖係說明形成輔助流路之實施形態的縱剖面圖。
第三十圖係說明形成輔助流路之實施形態的縱剖面圖。
第三十一圖係說明變更錐形面之實施形態的縱剖面圖。
第三十二圖係說明變更錐形面之實施形態的縱剖面圖。
第三十三圖係說明昇降部之另外實施形態的概略構成圖。
第三十四圖係說明昇降部之另外實施形態的概略構成圖。
以下，通過發明之實施形態說明本發明，不過以下之實施形態並非限定關於申請專利範圍之發明者。此外，實施形態中說明之特徵的全部組合，在發明之解決手段中不限定為必須。
第一圖係基板貼合裝置之全體構成圖。基板貼合裝置10貼 合2片基板90、90而製造重合基板92。另外，基板貼合裝置10亦可構成貼合3片以上之基板90而製造重合基板92。
如第一圖所示，基板貼合裝置10具備大氣環境部14、真空環境部16及控制部18。
大氣環境部14具有環境室12、複數個基板匣盒20、20、20、基板保持架22、機器人手臂24、預對準器26、暫時接合部28及機器人手臂30。環境室12包圍大氣環境部14而形成。
基板匣盒20、20、20收容在基板貼合裝置10中結合而貼合之基板90。此外，基板匣盒20、20、20收容在基板貼合裝置10中結合而貼合之重合基板92。基板匣盒20、20、20可裝卸地裝設於環境室12之外面。藉此，可將複數個基板90一起裝填於基板貼合裝置10。此外，可一起回收複數組之重合基板92。藉由基板貼合裝置10而貼合之基板90除了為單體之矽晶圓、化合物半導體晶圓、玻璃基板等之外，亦可在此等中形成有元件、電路、端子等。此外，所裝填之基板90亦可為複數個晶圓已經疊層之重合基板92。
基板保持架22收容從上下方向保持一對基板90重合而成之重合基板92的基板保持器94。基板保持器94藉由靜電吸著而保持各組之重合基板92的2片基板90。
機器人手臂24在環境室12之內部，且配置於基板匣盒20、20、20近旁。機器人手臂24將裝填於基板匣盒20、20、20之基板90搬運至預對準器26。機器人手臂24將預對準器26之基板90向基板保持器94搬運，該基板保持器94搭載於後述之暫時接合部28的移動載台38上。機器人手臂24將結合後搬運至移動載台38之重合基板92搬運至基板匣盒20、20、20的其中之一。
預對準器26在環境室12之內部，且配置於機器人手臂24近旁。預對準器26在暫時接合部28中裝填基板90時，因為是高精度，為了在狹窄之暫時接合部28的調整範圍內可裝填各個基板90，而暫時對準各個基板90之位置。藉此，基板90可在暫時接合部28中迅速且正確定位。
暫時接合部28係位置對準部之一例。暫時接合部28配置於 機器人手臂24與機器人手臂30之間。暫時接合部28具有框體34、固定載台36、移動載台38、一對擋門(shutter)40及擋門42。
框體34包圍固定載台36及移動載台38而形成。框體34之基板匣盒20、20、20側的面及真空環境部16側之面形成有開口，可搬入及搬出基板90及重合基板92。
固定載台36在框體34之內側，且固定於基板匣盒20、20、20近旁。固定載台36之下面在保持基板90狀態下，真空吸著被機器人手臂30從移動載台38搬運之基板保持器94。
移動載台38在框體34之內側，且配置於真空環境部16側。移動載台38之上面真空吸著基板90及基板保持器94。移動載台38在框體34內部於水平方向及垂直方向移動。藉此，藉由移動載台38移動，將保持於固定載台36之基板90及基板保持器94、與保持於移動載台38之基板90及基板保持器94位置對準並暫時接合。基板90與基板90亦可藉由接著劑暫時接合，亦可藉由電漿暫時接合。
擋門40開關框體34之基板匣盒20側的開口。擋門42開關框體34之真空環境部16側的開口。被框體34及擋門40、42包圍之區域連通於空氣調整機等實施溫度管理。藉此，基板90與基板90之位置對準精度提高。
機器人手臂30在環境室12之內部，且配置於真空環境部16與暫時接合部28之間。機器人手臂30將收容於基板保持架22之基板保持器94向移動載台38搬運。搭載於移動載台38之基板保持器94藉由靜電吸著而保持藉由機器人手臂24從預對準器26搬運之基板90。機器人手臂30將搭載於移動載台38上而保持基板90之基板保持器94顛倒，而向固定載台36搬運。固定載台36之下面，與基板90一起真空吸著藉由機器人手臂30而搬運之基板保持器94。機器人手臂30真空吸著藉由移動載台38而位置對準之包含一對基板90的重合基板92及基板保持器94，並向真空環境部16搬運。機器人手臂30在真空環境部16中，將結合而貼合之重合基板92從真空環境部16向移動載台38搬運。
真空環境部16在基板貼合裝置10之貼合工序中，設定成高 溫且真空狀態。真空環境部16具備加載互鎖真空室(load lock chamber)48、一對進入門(access door)50及閘閥52、機器人手臂54、3個收容室55、3個加熱加壓裝置56、機器人手臂58及冷卻室59。另外，加熱加壓裝置56數量不限定於3個，亦可適切變更。
加載互鎖真空室48連結大氣環境部14與真空環境部16。加載互鎖真空室48可設定成真空狀態及大氣壓。加載互鎖真空室48之大氣環境部14側及真空環境部16側形成有開口，可搬運包含保持於一對基板保持器94之一對基板90的重合基板92。
進入門50開關加載互鎖真空室48之大氣環境部14側的開口。進入門50經由無圖示之端口(port)導入空氣於加載互鎖真空室48，亦即開放大氣，並藉由壓力計確認大氣壓與加載互鎖真空室48之氣壓相等後開啟。藉此，加載互鎖真空室48與大氣環境部14連通。該狀態下，機器人手臂30在加載互鎖真空室48與暫時接合部28之間搬運重合基板92。
閘閥52開關加載互鎖真空室48之真空環境部16側的開口。閘閥52經由端口從加載互鎖真空室48排出空氣，亦即抽成真空，形成與機器人處理室53概略相同氣壓之真空狀態時開啟。藉此，加載互鎖真空室48與真空環境部16連通。另外，在貼合工序中，進入門50及閘閥52兩者不形成開啟狀態。
機器人手臂54收容於機器人處理室53之內部。機器人手臂54將藉由機器人手臂30而搬入加載互鎖真空室48之重合基板92向其中一個加熱加壓裝置56搬入，並且關閉閘閥52。
收容室55形成中空狀。收容室55經由閘閥57而與機器人處理室53連結。閘閥57於維修時密封恢復為大氣壓之收容室55。收容室55收容並包圍加熱加壓裝置56之主要部分。收容室55為了搬入及搬出重合基板92而開關閘閥57。收容室55在搬入重合基板92後，為了抑制加熱所發生之氣體洩漏於機器人處理室53，關閉閘閥57加以密閉。重合基板92之加熱狀態係將收容室55設定成真空狀態，隔絕加熱產生之熱。
3個加熱加壓裝置56以使機器人手臂54達到各加熱加壓裝置56為目的，而以機器人手臂54為中心放射狀配置。加熱加壓裝置56以 藉由接合並加壓從加載互鎖真空室48搬入而包含彼此重合的複數個半導體基板之重合基板92，來實現貼合功能為目的，構成可對重合基板92加熱及加壓。
機器人手臂58以實現將重合基板92從加熱加壓裝置56向冷卻室59搬運之功能，以及將重合基板92從冷卻室59向加載互鎖真空室48搬運之功能為目的，可轉動地配置於機器人處理室53之中心。
冷卻室59以實現將藉由機器人手臂58而結合之高溫重合基板92冷卻的功能為目的，而具有冷卻功能。冷卻室59構成可設定成真空狀態。冷卻室59經由閘閥57而與機器人處理室53連結。
控制部18控制基板貼合裝置10全體之動作。控制部18在對基板貼合裝置10開啟電源及實施各種設定等時，具有使用者從外部操作之操作部。再者，控制部18以管理半導體工廠之主電腦的處理程式、工序進度為目的，而連線連接。
從第二圖至第七圖係貼合裝置實施重合基板之貼合工序的說明圖。貼合工序係首先由機器人手臂24將基板90從基板匣盒20之其中一個向預對準器26搬運。其次，如第二圖所示，機器人手臂30將基板保持器94從基板保持架22向移動載台38搬運。移動載台38真空吸著基板保持器94。機器人手臂24將藉由預對準器26調整位置後之基板90向搭載於移動載台38的基板保持器94上方搬運。
其次，如第三圖所示，機器人手臂24在基板保持器94上搭載基板90。基板保持器94靜電吸著搭載之基板90。機器人手臂30將保持基板90之基板保持器94從移動載台38向固定載台36顛倒而搬運。如第四圖所示，固定載台36與基板90一起從機器人手臂30接收基板保持器94之後，藉由真空吸著保持基板保持器94。
其次，藉由同樣之動作，機器人手臂30搬運基板保持器94至移動載台38後，機器人手臂24搬運基板90至移動載台38上之基板保持器94。藉此，如第五圖所示，移動載台38將基板90在上側而保持基板90及基板保持器94，並且固定載台36將基板90為下側而保持基板90及基板保持器94。擋門40、42成為關閉狀態後，移動載台38保持基板90及 基板保持器94，而向保持基板90及基板保持器94之固定載台36的下方移動。藉此，對準移動載台38之基板90與固定載台36之基板90的位置。
其次，如第六圖所示，移動載台38向上方移動，移動載台38之基板90上面與固定載台36之上面合而為一。固定載台36解除基板保持器94之真空吸著之後，移動載台38在真空吸著保持重合基板92之基板保持器94的狀態下，向機器人手臂30之方向移動。
其次，進入門50成為開啟狀態，加載互鎖真空室48與大氣環境部14連通。另外，閘閥52係關閉狀態，且維持機器人處理室53、收容室55、冷卻室59之真空狀態。該狀態下，機器人手臂30將移動載台38上之重合基板92向加載互鎖真空室48搬運。之後，進入門50形成關閉狀態，將加載互鎖真空室48抽成真空之後，閘閥52形成開啟狀態，將加載互鎖真空室48與大氣環境部14遮斷，並且與真空環境部16連通。該狀態下，機器人手臂54將重合基板92從加載互鎖真空室48向加熱加壓裝置56搬運，並且關閉閘閥52。
其次，加熱加壓裝置56將重合基板92、92加熱至結合溫度後，維持結合溫度，並從上下方向對重合基板92加壓。藉此，結合而貼合重合基板92之基板90、90。之後，機器人手臂58將貼合後之重合基板92搬入冷卻室59。冷卻室59冷卻重合基板92。
其次，將加載互鎖真空室48之內部抽成真空後，打開閘閥52。機器人手臂58將冷卻後之重合基板92與基板保持器94一起從冷卻室59向加載互鎖真空室48搬運。
其次，將加載互鎖真空室48開放於大氣後，打開進入門50。該狀態下，機器人手臂30將重合基板92從加載互鎖真空室48向移動載台38搬運。如第七圖所示，在移動載台38上，重合基板92藉由機器人手臂30而從基板保持器94分離。之後，機器人手臂24將重合基板92搬出至基板匣盒20、20、20之其中一個。藉此，基板貼合裝置10實施之重合基板92的貼合工序結束，重合基板92完成。
第八圖係顯示加壓裝置之全體構造的前視圖。如第八圖所示，加熱加壓裝置56具有配置於地板側之下部模組60、與配置於天花板側 之上部模組62。
下部模組60具有活動裝置之一例的昇降部66、下部加熱模組70、下部頂板72及上推銷73。
昇降部66為了夾持一對基板90，而使下部加熱模組70及下部頂板72朝向後述之上部頂板82移動而升降。此外，昇降部66在下部頂板72到達預定位置時之上部模組62的下面接觸基板90後，對下部頂板72賦予擠壓力，而在下部頂板72及上部頂板82之間加壓一對基板90。
下部加熱模組70配置於昇降部66之上部。下部加熱模組70構成可將一對基板90加熱或冷卻。另外，不將基板90加熱而貼合時，亦可省略下部加熱模組70。
下部頂板72係第一載台及活動載台之一例。下部頂板72配置於下部加熱模組70之上面。下部頂板72形成直徑比基板90大之圓板狀。在下部頂板72之上面支撐疊層之一對基板90。下部頂板72藉由昇降部66而往返移動。
上推銷73係搭載部之一例，在與機器人手臂54交接基板90時，比下部頂板72突出於上方而保持基板90。
上部模組62具有上部加熱模組80與上部頂板82。上部加熱模組80為與下部加熱模組70概略同樣之構成。上部加熱模組80固定於上部頂板82之上面。上部加熱模組80具有將重合基板92加熱之加熱器。上部頂板82固定於收容室55之上部。上部頂板82配置於與下部頂板72相對之位置，並在與下部頂板72之間夾持一對基板90而加壓。上部頂板82之下面發揮藉由上部加熱模組80之熱將重合基板92加熱，並且在重合基板92之上面加壓的加壓面之功能。
第九圖、第十圖、第十一圖係加熱加壓裝置之縱剖面圖。第十二圖係載台裝置之平面圖。第九圖係沿著第十二圖之VIII-VIII線的縱剖面圖。第十圖係沿著第十二圖之IX-IX線的縱剖面圖。第十一圖係沿著第十二圖之X-X線的縱剖面圖。另外，在第九圖至第十一圖之剖面中，為了方便說明而在空間中圖示陰影線。此外，第十二圖係將與第九圖至第十一圖相同方向之陰影線圖示於相同空間。
如第九圖至第十二圖所示，昇降部66具備外周框體116、內部框體118、汽缸蓋120、第二活塞下部122、移動載台部件124、上部密封部件126、驅動力傳達部128、導引桿130、下部加熱模組70、一對第二工作油A端口134、134、一對第一工作油A端口136、136、一對第一工作油B端口138、138、主排氣部140及空氣排出口142。
外周框體116以覆蓋昇降部66之外周的方式配置。外周框體116具備第二汽缸146與外周底部148。第二汽缸146形成上下方向延伸之圓筒形狀。藉此，第二汽缸146之內側形成中空狀。外周底部148與第二汽缸146一體形成。外周底部148從第二汽缸146之下端延伸於內側而形成環狀。
內部框體118之概略全體配置於外周框體116之內側。內部框體118具備第一汽缸150、上圓板部152及下環狀板部154。
第一汽缸150形成上下方向延伸之圓筒形狀。藉此，第一汽缸150之內側形成中空狀。第一汽缸150之外面與第二汽缸146之內周面相對。由於第一汽缸150之外徑比第二汽缸146之內徑小，因此在第一汽缸150之外面與第二汽缸146之內面之間形成收容第二活塞桿178之空間。
上圓板部152與第一汽缸150一體形成。上圓板部152形成從第一汽缸150之上端延伸於內側的圓板狀。上圓板部152覆蓋第一汽缸150內側之中空部的上面。供驅動力傳達部128插通之活塞桿孔156貫穿於上圓板部152的中心部。形成有從上圓板部152之上面貫穿至第一汽缸150中途部的3支引導凹部158。在引導凹部158之內部設有圓筒狀之引導部件160。在引導部件160之中央部形成有上下方向延伸之引導孔162。
下環狀板部154與第一汽缸150一體形成。下環狀板部154從第一汽缸150之下端延伸於外側。藉此，在第一汽缸150之下側形成有開口。下環狀板部154形成環形板狀。下環狀板部154之內徑與第一汽缸150之內徑概略相等。下環狀板部154外側之上面與外周框體116之外周底部148的下面相對。下環狀板部154之外周部藉由螺栓固定於外周框體116之外周底部148的下面。在下環狀板部154外側之上面與外周底部148的下面之間設有2個O形環。藉此密封形成於內部框體118外周面與外周框 體116內周面之間的空間下部。
汽缸蓋120設置成堵塞第一汽缸150下側之開口。汽缸蓋120具有底圓板部164與立設環部166。
底圓板部164形成圓板狀。底圓板部164之外周比第一汽缸150之內周大。汽缸蓋120外周部之上面與內部框體118之下環狀板部154內周部的下面接觸。藉此，底圓板部164堵塞內部框體118內側之中空部下面。另外，底圓板部164藉由無圖示之螺栓等固定件固定於內部框體118。
立設環部166立設於底圓板部164之上面。立設環部166形成延伸於上下方向之圓筒形狀。立設環部166之外徑與第一汽缸150及下環狀板部154之內徑概略相等。藉此，立設環部166***第一汽缸150及下環狀板部154之內側時，立設環部166之外周面與第一汽缸150及下環狀板部154之內周面輕輕接觸。在立設環部166之外周面設置在上下方向離開之2個O形環，用於密封內部框體118之中空部，抑制工作油之洩漏。
第二活塞下部122固定於移動載台部件124之下端部。第二活塞下部122形成環狀。第二活塞下部122之外徑與第二汽缸146之內徑概略相等。第二活塞下部122密封形成於內部框體118外周面與移動載台部件124內周面之間的中空部外周。藉此，形成藉由第二活塞下部122、內部框體118之外周面、移動載台部件124、第二汽缸146之內周面所包圍的第二中空部176。在第二中空部176中填充供移動載台部件124上下方向移動之工作油。供給於第二中空部176之工作油主要具有經由下部頂板72對基板加壓之功能。工作油之一例為包含油、乙二醇系液體、防腐蝕材料之水。第二活塞下部122具有包含均由樹脂所形成之下部O形環168與下部板狀環170的下部減阻密封件(減阻密封件：slipper seal)172。下部減阻密封件172係第一密閉部件之一例。下部減阻密封件172設於形成在第二活塞下部122外周部之凹部174。下部板狀環170設於下部O形環168之內周，並與第二汽缸146之內周接觸。藉此，第二活塞下部122密封形成於第一汽缸150與移動載台部件124之間的中空部之下端部。另外，第二活塞下部122與第二汽缸146之間隔為0.4mm時，下部板狀環170之厚度的一例 為1.5mm。
移動載台部件124具有第二活塞桿178及第二活塞上部180。藉由第二活塞上部180與第二活塞下部122形成第二活塞。
第二活塞桿178形成延伸於上下方向之圓筒形狀。藉此，在第二活塞桿178之內側形成中空狀。第二活塞桿178之外徑比第二汽缸146之內徑小。第二活塞桿178之內徑比第一汽缸150之外徑大。第二活塞桿178***第二汽缸146之內周面與第一汽缸150之間。
第二活塞上部180與下部頂板72間接連結。第二活塞上部180一體連結於第二活塞桿178之上端部。第二活塞上部180形成圓板狀。第二活塞上部180之上面形成平坦。藉此，第二活塞上部180發揮支撐對象物之一例的重合基板92，並且經由下部加熱模組70擠壓基板保持器94之加壓部的功能。第二活塞上部180之下面藉由填充於第二中空部176之工作油擠壓，發揮第二上擠壓面182之功能。第二活塞上部180藉由填充於第二中空部176之工作油擠壓而擠壓下部頂板72。
內部框體118之外周部及移動載台部件124之內周部的至少一部分包圍第一汽缸150之外周而配置。此外，引導部件160配置於第一汽缸150與第二汽缸146之間。下部減阻密封件172配置於形成於第二汽缸146內側之第二中空部176與外部之間。
上部密封部件126固定於外周框體116之上端部。上部密封部件126形成環狀。上部密封部件126之內徑與第二活塞桿178之外徑概略相等。上部密封部件126具有包含均由樹脂形成環狀之上部O形環188與上部板狀環190的上部減阻密封件192。上部減阻密封件192係第二密閉部件之一例。上部減阻密封件192設於包含上部密封部件126內周部全周所形成的凹部194。藉此，上部減阻密封件192配置於第二汽缸146內側之第二中空部176與外部之間，且比下部減阻密封件172更靠外部側。上部板狀環190設於上部O形環188之內周，並與第二活塞桿178之外周接觸。上部密封部件126密封形成於第二汽缸146與第二活塞桿178之間的中空部之上端部。另外，上部密封部件126與第二活塞桿178之間隔為0.4mm時，上部板狀環190之厚度的一例係1.5mm。藉由第二活塞下部122、第二 汽缸146之內周、移動載台部件124之外周、及上部密封部件126所包圍之氣體室196，形成於第二活塞下部122與上部密封部件126之間。在氣體室196中填充空氣等氣體。上部密封部件126具有由樹脂所形成之海綿狀的輔助密封件198。輔助密封件198設於上部密封部件126之內周部，且設於形成在凹部194上方之輔助凹部200中。
驅動力傳達部128具備活塞桿202、第一活塞204、及裝卸部件之一例的螺帽208。
活塞桿202係用於傳達第一活塞204之推力的圓柱軸(亦即桿)，且連接於第二活塞上部180。活塞桿202插通於上圓板部152之活塞桿孔156。活塞桿202之上端部連結於第二活塞上部180下面之中央部。藉此，活塞桿202擠壓移動載台部件124之重心。活塞桿202之下端係附階210之圓柱軸，且在螺帽208與階210之間緊固第一活塞204。階210之面積配合螺帽208之緊固力設計成適切之面積。階210管制第一活塞204向上方移動。
第一活塞204經由活塞桿202及移動載台部件124等而與下部頂板72間接連結。第一活塞204形成圓盤狀。在第一活塞204之中央部形成有活塞桿202嵌合之孔212。由於第一活塞204對第一汽缸150之內徑具有概略一致之外徑，因此第一汽缸150之內部空間分離成第一下中空部214及第一上中空部216。第一下中空部214及第一上中空部216在下部頂板72下之空間，並在下部頂板72之移動方向，以與第二中空部176至少一部分重疊之方式配置於第二中空部176之內側。第一上中空部216之活塞桿孔156藉由填料密封，以保持氣密性，第一下中空部214之下方側藉由上述之汽缸蓋120密閉，因此同樣地保持氣密性。第一下中空部214及第一上中空部216係彼此分離之第一中空部及第二中空部的一例。第一下中空部214與第一上中空部216中填充經由驅動力傳達部128使移動載台部件124上下方向往返移動用之液體的一例之工作油。供給於第一下中空部214及第一上中空部216之工作油主要具有使下部頂板72升降之功能。
在第一下中空部214中供給工作油時，藉由工作油擠壓第一活塞204之第一下擠壓面218，而驅動力傳達部128向上方移動。在第一上 中空部216中供給工作油時，藉由工作油擠壓第一活塞204之第一上擠壓面220，驅動力傳達部128向下方移動。結果，驅動力傳達部128藉由第一汽缸150而在上下方向往返移動。此時，即使為第一活塞204移動至最下端之狀態，為了抑制後述之減阻密封件226的破損，形成於第一活塞204外周之凹部227比與第一下中空部214連結之第一工作油A端口136的開口137位於上方。此時，在驅動力傳達部128中，藉由第二中空部176之工作油而擠壓於垂直上方的面積，比藉由第一下中空部214及第一上中空部216之工作油而擠壓於垂直上方的面積大。再者，第九圖至第十二圖所示之實施形態中，被第二中空部176之工作油而擠壓之第二上擠壓面182的面積，比被第一下中空部214及第一上中空部216之工作油而擠壓的第一下擠壓面218及第一上擠壓面220之面積大。藉此，第二活塞上部180賦予下部頂板72之擠壓力比活塞桿202賦予下部頂板72之擠壓力大。
第一活塞204具有減阻密封件226，其具有O形環222及密封環224。減阻密封件226設於凹部227中。密封環224比O形環222設於外周。藉此，密封環224與內部框體118之第一汽缸150的內周面接觸。
第十三圖、第十四圖係於移動載台部件傾斜狀態下作用之力的說明圖。藉由第二汽缸146擠壓之移動載台部件124的第二上擠壓面182，比藉由第一汽缸150之工作油而擠壓之第一活塞204的第一下擠壓面218靠近第二活塞上部180。此時如第十三圖所示，欲以施加於第一下擠壓面218之壓力P1擠壓移動載台部件124時，當移動載台部件124傾斜時，藉由壓力P1之合力F1不通過移動載台部件124之重心，且產生移動載台部件124面方向之分力F3，實際上擠壓對象物之力F2可能變小。反之如第十四圖所示，藉由移動載台部件124之第二上擠壓面182以壓力P2擠壓移動載台部件124，合力F4通過移動載台部件124之重心，且依傾斜度可垂直地擠壓移動載台部件124之面方向。此外，第二上擠壓面182以比被活塞桿202擠壓之區域大的區域擠壓移動載台部件124。因此，使大之驅動力作用於僅擠壓移動載台部件124中心近旁的活塞桿202時，雖然移動載台部件124之中央部可能會形成突狀，但是藉由使大之驅動力作用於擠壓區域大之第二上擠壓面182，可將移動載台部件124保持平面狀同時擠壓基板 90。
公螺紋部206形成於活塞桿202之第二活塞上部180的相反側端部。
螺帽208與形成於活塞桿202下端部之公螺紋部206螺合。藉此，第一活塞204藉由階210與螺帽208而上下固定。螺帽208之下端從汽缸蓋120之上面離開容許距離以上。容許距離之一例為即使螺帽208旋鬆而向下方移動，不致影響移動載台部件124之往返移動的距離。因此，在螺帽208旋鬆向下方移動狀態下，移動載台部件124移動至最下端，螺帽208之下面或第一活塞204之下面與汽缸蓋120接觸時，判定為異常。這是依據移動載台部件124無法移動至最下端而判定為異常。
導引桿130與下部頂板72間接地連結。3支導引桿130以120°間隔配置於第二活塞上部180之中心周圍。另外，導引桿130數量可適切變更，不過宜以等角度間隔配置於第二活塞上部180之中心周圍。導引桿130形成概略圓柱形狀。導引桿130之上端部連結於第二活塞上部180之下面。導引桿130***形成於引導部件160之引導孔162中。藉此，導引桿130配置於第一下中空部214及第一上中空部216與第二中空部176之間。導引桿130之外徑與引導孔162之內徑概略相等。藉此，導引桿130與移動載台部件124一起在上下方向往返移動時，導引桿130藉由引導部件160隨往返移動而引導於上下方向。此外，第二上擠壓面182比引導部件160引導導引桿130之位置靠近第二活塞上部180。藉此，如使用第十三圖及第十四圖之說明，可使大之合力作用於移動載台部件124之面方向。
下部加熱模組70固定於移動載台部件124之上面。下部加熱模組70具有將重合基板92加熱之加熱器。下部加熱模組70之上面發揮將重合基板92加熱，並且對重合基板92之下面加壓的加壓面之功能。
一對第二工作油A端口134、134連接第二中空部176與外部。第二工作油A端口134、134供給工作油至第二中空部176，或是從第二中空部176排出工作油。藉此，移動載台部件124伴隨工作油之供給及排出而移動於上下方向。一對第二工作油A端口134及第二工作油A端口134夾著移動載台部件124之中心而配置於相反側。
一對第一工作油A端口136、136連接第一下中空部214與外部。第一工作油A端口136、136供給工作油至第一下中空部214，或是從第一下中空部214排出工作油。一對第一工作油B端口138、138連接第一上中空部216與外部。第一工作油B端口138、138供給工作油至第一上中空部216，或是從第一上中空部216排出工作油。藉此，驅動力傳達部128與移動載台部件124一起移動於上下方向。此時，一對第一工作油A端口136、136及一對第一工作油B端口138、138係第一排出部的一例，分別設於第一下中空部214及第一上中空部216，將混入填充於第一下中空部214及第一上中空部216之工作油的氣體排出到外部。例如經由一方第一工作油A端口136將工作油供給至第一下中空部214，並且經由另一方第一工作油A端口136而從第一下中空部214排出有氣體混入之工作油。同樣地，藉由一對第一工作油B端口138、138排出混入第一上中空部216之工作油的氣體。
主排氣部140具有排氣路228及排氣口230。排氣路228形成於上部密封部件126之內部，排氣路228連接形成於第二汽缸146與第二活塞桿178之間的氣體室196與外部。排氣口230設於排氣路228外部側之端部。排氣口230連接於無圖示之泵。藉此，主排氣部140排出氣體室196之氣體，並且排出從第二中空部176洩漏於氣體室196之工作油。
空氣排出口142係第二排出部之一例。空氣排出口142具有上部氣體除去路232及下部氣體除去路234。上部氣體除去路232從第二活塞上部180之外周部下面形成至側面。藉此，上部氣體除去路232連接第二中空部176與外部。上部氣體除去路232將混入填充於第二中空部176之工作油而蓄積在上部的氣體向外部排出。下部氣體除去路234從上圓板部152之外周部上面形成至下環狀板部154之下面。藉此，下部氣體除去路234經過比上部氣體除去路232更下方處。下部氣體除去路234連接於無圖示之泵。藉此，下部氣體除去路234將混入填充於第二中空部176之工作油而蓄積於上部的氣體排出到外部。上部氣體除去路232使用於在組合完成昇降部66之前，首先已供給工作油至第二中空部176狀態下的排氣。另外，下部氣體除去路234使用於組合加熱加壓裝置56，不易從上部 氣體除去路232排氣的情況。另外，在第一上中空部216及第一下中空部214中亦分別設有排氣口，不過無圖示。
基板貼合裝置10之控制部18控制昇降部66。換言之，昇降部66具備控制部18。例如控制部18在藉由第二活塞上部180擠壓時，控制第二活塞上部180之擠壓力，使下部頂板72及上部頂板82中之至少一方的壓力分布成為預定之分布。此外，控制部18在下部頂板72從上推銷73取出搭載於上推銷73之一對基板90時，降低下部頂板72之速度作控制。控制部18在支撐於下部頂板72之一對基板90夾持在下部頂板72與上部頂板82之間之前，降低下部頂板72之速度作控制。控制部18係第一洩漏檢測部、第二洩漏檢測部、異常判定部之一例。
控制部18檢測供給至第二中空部176、第一下中空部214及第一上中空部216的工作油之量。控制部18檢測移動載台部件124及驅動力傳達部128在上下方向之移動量。而後，控制部18比較供給之工作油的量與移動載台部件124及驅動力傳達部128的移動量，當工作油之量與移動量不對應時，判定為從第二中空部176、第一下中空部214或第一上中空部216洩漏工作油作檢測。此外，控制部18在不供給及排出工作油之狀態下，當移動載台部件124移動於上下方向時，判定為在第一下中空部214及第一上中空部216之間有工作油洩漏流出。藉此檢測減阻密封件226之破損。
此外，控制部18藉由螺帽208或第一活塞204與汽缸蓋120接觸，檢測螺帽208之旋鬆，判定為螺帽208之位置異常。例如控制部18在供給或排出將移動載台部件124向最下端移動的工作油之量時，於移動載台部件124不移動至最下端的情況，判定為螺帽208異常。此因，螺帽208旋鬆，螺帽208對活塞桿202係向下方移動容許距離以上，因此螺帽208或第一活塞204與汽缸蓋120接觸，而管制向下方之移動。
其次，說明上述加熱加壓裝置56之加熱加壓動作。首先，保持於基板保持器94、94之重合基板92藉由機器人手臂54而搬入下部加熱模組70之上面。之後，機器人手臂54返回，重合基板92經由下部加熱模組70而支撐於第二活塞上部180。
其次，連接於第二工作油A端口134與無圖示之裝置內槽之間的路徑之閥門開啟。另外，裝置內槽設定於昇降部66之正下方，貯存工作油。藉此，成為裝置內槽之工作油可在裝置內槽與第二中空部176之間自由流通的狀態。在該狀態下，對第一工作油A端口136、136施加壓力導入工作油，而將工作油供給至第一下中空部214，並且經由第一工作油B端口138、138從第一上中空部216排出工作油。藉此，驅動力傳達部128向上方移動。隨之，移動載台部件124與驅動力傳達部128一起向上方移動。同時工作油經由第二工作油A端口134而從裝置內槽流入第二中空部176。另外，藉由調整第一工作油A端口136、136之工作油的導入壓力及流量，可控制移動載台部件124之上升速度。
第十五圖係移動載台部件到達最上階的狀態圖。如第十五圖所示，移動載台部件124到達最上階時，上側之基板保持器94的上面與上部加熱模組80之下面接觸。該狀態下，下部加熱模組70及上部加熱模組80開始重合基板92之加熱。而後，下部加熱模組70及上部加熱模組80使重合基板92昇溫至重合基板92之各個基板90、90可結合的結合溫度後加以保溫。此外，關閉第二工作油A端口134與裝置內槽之間的路徑上之閥門。藉此，成為第二中空部176之工作油被密閉的狀態。在該狀態下，從設於上述路徑之分歧管，經由另外之油壓供給源的減壓閥施加指定之壓力。藉此，移動載台部件124使面壓作用於基板保持器94、94之全體，對加熱之重合基板92實施主要加壓。藉由持續該加熱加壓狀態，而結合重合基板92之各基板90、90。
之後，結束主要加壓時，使減壓閥之壓力減少，開放作用於重合基板92之壓力。當第二汽缸146之壓力全部開放後，打開第二工作油A端口134與裝置內槽之間的路徑上之閥門，形成第二中空部176之工作油可向裝置內槽自由流通的狀態。其後，向第一工作油B端口138施加壓力，導入工作油，並且從第一工作油A端口136排出工作油。藉此，移動載台部件124向下方移動。移動載台部件124移動至第九圖所示之初期位置時，機器人手臂58將重合基板92與基板保持器94一起向冷卻室59搬運。
其次，說明昇降部66之保養方法。另外，此處所謂保養方法，係指排出混入第二中空部176、第一下中空部214及第一上中空部216之工作油的氣體，及排出混入氣體室196之工作油。
氣體混入第二中空部176時，準備工作為經由配管將排出用容器連接於空氣排出口142。氣體藉由空氣排出口142排出。例如在昇降部66組合完成之前，氣體經由空氣排出口142之上部氣體除去路232，向排氣用容器排氣。此時，第一下中空部214中供給工作油，在使移動載台部件124移動至最上階而固定之狀態下排出氣體。由於氣體滯留於工作油之上部，因此排氣容易且確實。另外，昇降部66組合完成時，氣體經由上部氣體除去路232排出氣體困難。此時，堵塞上部氣體除去路232，並且在第一上中空部216中供給工作油，使移動載台部件124移動至最下階並固定。在該狀態下，經由第二工作油A端口134供給工作油，同時從下部氣體除去路234排出工作油。藉此，混入工作油之氣體與從下部氣體除去路234排出之工作油一起排出。
氣體混入第一下中空部214時，準備工作為經由配管將排出用容器連接於第一工作油A端口136。經由第一工作油B端口138供給工作油至第一下中空部214，使壓力作用。藉此，壓力未作用之低壓的工作油經由第一工作油A端口136而從第一下中空部214排出。藉此，混入工作油之氣體經由另一方之第一工作油A端口136，與工作油一起向排出用容器排出。排出之工作油中無氣體，而僅為工作油時，結束排氣。之後，從第一工作油A端口136取出排出用容器及配管後結束。同樣地，氣體混入第一上中空部216之工作油時，經由第一工作油B端口138、138排出氣體。
工作油混入氣體室196時，藉由從主排氣部140排出氣體，而與氣體一起排出工作油。此時，氣體室196於加熱加壓等動作時，密閉主排氣部140之路徑以外之處。藉此，混入氣體室196之工作油排出到昇降部66之外部，抑制污染基板貼合裝置10之內部。
其次，說明昇降部66之異常檢測。另外，此時所謂異常檢測包含螺帽208之旋鬆、工作油之洩漏。
螺帽208旋鬆時，螺帽208對活塞桿202向下方移動。螺帽 208對活塞桿202之移動距離在容許距離之範圍內時，即使移動載台部件124移動至最下端，螺帽208之下端仍不致與汽缸蓋120之上面接觸。該狀態下，控制部18不檢測螺帽208之旋鬆。另外，當螺帽208之移動距離超過容許距離之範圍時，在移動載台部件124移動至最下端之前，螺帽208之下端與汽缸蓋120之上面接觸。藉此，即使從第二中空部176及第一下中空部214排出工作油，由於管制移動載台部件124向下方之移動，因此控制部18判斷為因螺帽208旋鬆造成異常。
使移動載台部件124向上方移動時，與對第一下中空部214之工作油的供給量比較，移動載台部件124之移動量小時，由於工作油通過減阻密封件226等部件而洩漏，因此控制部18判定為減阻密封件226破損。此外，在該狀態下，工作油經由第二工作油A端口134而供給至第二中空部176。此時，與對第二中空部176之工作油的供給量比較，移動載台部件124之移動量小時，由於工作油通過下部減阻密封件172洩漏，因此控制部18判定為下部減阻密封件172等之某處破損。
使移動載台部件124向下方移動時，與對第一上中空部216之工作油的供給量比較，移動載台部件124之移動量小時，由於工作油通過減阻密封件226等洩漏，因此控制部18判定為減阻密封件226等之某處破損。
第一下中空部214及第一上中空部216中蓄積工作油後，關閉第一工作油A端口136、136及第一工作油B端口138、138，停止供給工作油。該狀態下，控制部18檢測出移動載台部件124之移動時，判定為減阻密封件226破損。此因減阻密封件226破損，工作油流入第一下中空部214與第一上中空部216之間而造成移動載台部件124的移動。
如上述，本實施形態之基板貼合裝置10的昇降部66具備驅動力傳達部128，其具有與移動載台部件124之第二上擠壓面182的面積不同之第一下擠壓面218及第一上擠壓面220。藉此，藉由具有面積小之第一下擠壓面218及第一上擠壓面220的驅動力傳達部128，可使移動載台部件124之移動速度加快，並且藉由具有面積大之第二上擠壓面182的移動載台部件124以高壓力對重合基板92加壓。
昇降部66由於將具有面積大之第二上擠壓面182的移動載台部件124之第二活塞桿178配置於驅動力傳達部128之外側，因此比將配置於內側之驅動力傳達部128的第一下擠壓面218及第一上擠壓面220增大時，更可實現昇降部66之小型化。此外，昇降部66藉由重疊第二上擠壓面182與第一下擠壓面218及第一上擠壓面220，可進一步實現小型化。
昇降部66係將移動載台部件124之第二上擠壓面182配置於比驅動力傳達部128之第一下擠壓面218及第一上擠壓面220更接近第二活塞上部180的位置。藉此，即使第二活塞上部180傾斜，與驅動力傳達部128之傾斜比較，可減少重合基板92之傾斜。結果，由於可減少壓力大之加壓時的傾斜之影響，因此可使對重合基板92作用之壓力的面內均勻化提高，並減低重合基板92之結合不良。
昇降部66係將移動載台部件124之第二上擠壓面182配置於比引導部件160引導導引桿130之位置更接近第二活塞上部180的位置。藉此，即使第二活塞上部180傾斜，與導引桿130之傾斜比較，可減少重合基板92之傾斜。結果可減低重合基板92之結合不良。
昇降部66係在第二中空部176與外部之間設有下部減阻密封件172及上部減阻密封件192。藉此，可減低第二中空部176之工作油向外部洩漏。此時，下部減阻密封件172及上部減阻密封件192之不良率分別為1×10-4。此時，第二中空部176之工作油通過2個下部減阻密封件172及上部減阻密封件192而流出外部的可能性為1×10-8。藉此，可減低第二中空部176之工作油污染外部。此外，藉由形成在下部減阻密封件172及上部減阻密封件192之間填充空氣的氣體室196，可暫時蓄積從第二中空部176洩漏之工作油。藉此，由於可從氣體室196除去洩漏之工作油，因此更可減低工作油向外部洩漏。
昇降部66係藉由具有下部板狀環170及上部板狀環190之下部減阻密封件172及上部減阻密封件192密閉第二中空部176。藉此，即使移動載台部件124對外周框體116移動，仍可藉由面接觸而耐滑動之下部板狀環170及上部板狀環190，抑制下部減阻密封件172及上部減阻密封件192之破損。
昇降部66具有分別在第二中空部176、第一下中空部214及第一上中空部216中排出混入工作油之氣體的一對第一工作油A端口136、136、一對第一工作油B端口138、138及空氣排出口142。藉此，由於可排出混入工作油之氣體，因此可減低混入工作油之氣體造成工作油之供給量或排出量與移動載台部件124之移動量的誤差。結果可使移動載台部件124之移動量及加壓力的精度提高。
昇降部66係控制部18可比較移動載台部件124之移動量與工作油之供給量，來檢測工作油之洩漏。藉此，昇降部66可早期且在運轉中檢測第二中空部176、第一下中空部214及第一上中空部216之工作油的洩漏。
昇降部66於公螺紋部206旋鬆，而對活塞桿202向下方移動容許距離以上而與汽缸蓋120接觸時，控制部18可檢測公螺紋部206與汽缸蓋120之接觸，而判定為異常。藉此，可早期檢測配置於內部而異常檢測困難之驅動力傳達部128的異常，預防驅動力傳達部128之第一活塞204脫離等重大事故。
就變更上述實施形態之一部分的實施形態作說明。第十六圖及第十七圖係變更密閉部件之例的說明圖。例如，亦可取代減阻密封件，而如第十六圖及第十七圖所示，採用具有板狀環370及U字狀之唇形密封圈(lip packing)368的密閉部件372，或是具有板狀環470及X字狀之唇形密封圈468的密閉部件472。板狀環370配置於比唇形密封圈368、468外側。板狀環370與其他部件一起滑動而移動。亦可採用該密閉部件372來取代下部減阻密封件172、上部減阻密封件192及減阻密封件226之任何一個。
此外，亦可在擠壓部之一例的第一汽缸150之汽缸蓋120上面設置擠壓檢測部之一例的壓力檢測感測器。藉此，控制部18可檢測公螺紋部206之下端部對汽缸蓋120的擠壓量。此時所謂擠壓量包含壓力及距離。
亦可設置：第一控制閥，其係使流體出入藉由活塞桿202與第一汽缸150而形成之第一上中空部216或第一下中空部214中的一方；及第二控制閥，其係使流體出入藉由第二活塞上部180與第二汽缸146而 形成之第二中空部176。第二中空部176亦可比第一上中空部216或第一下中空部214中之一方大。
控制部18亦可控制第一控制閥，藉由使活塞桿202移動，而使下部頂板72移動時開放第二控制閥。控制部18亦可控制第二控制閥，使第二活塞上部180移動時開放第一控制閥。控制部18亦可使第二活塞上部180以預定之速度以上的速度移動時，控制第一控制閥，以未達預定之速度的速度移動時，控制第二控制閥。
亦可進一步設置壓力感測器，其係檢測施加於即是下部頂板72上面之擠壓面或移動載台部件124上面的壓力。控制部18亦可在藉由壓力感測器檢測出預定壓力以上之壓力時，控制第二控制閥。設有壓力感測器時，例如亦可以壓力感測器檢測作用於下部頂板72上面之壓力分布，依據其檢測值，控制流體向第一上中空部216及第一下中空部214之流入流出，使下部頂板72中央部分之壓力接近其以外區域的壓力。藉此，藉由第二汽缸146之驅動，可藉由第二汽缸146修正產生於上面之加壓分布。此時，亦可依據壓力感測器之值與第一上中空部216及第一下中空部214之內壓的關係，以及第一上中空部216及第一下中空部214之內壓檢測值作控制。此外，設有壓力感測器時，亦可預先準備第二汽缸146內之內壓與第一汽缸150內之內壓的關係，分別檢測第二汽缸146及第一汽缸150之內壓，來控制第一汽缸150內之內壓接近第二汽缸146內之內壓。再者，設有壓力感測器時，亦可依據壓力感測器之值檢測上側的基板保持器94之上面已藉由移動載台部件124之移動而與上部加熱模組80之下面接觸，檢測後，將第一汽缸150之控制從速度及位置控制切換為壓力控制。此時，亦可將切換控制之時序(timing)定為上側之基板保持器94的上面已接近上部加熱模組80之下面時。
亦可在第一汽缸150內進一步設置第三控制閥，其係將第一上中空部216或第一下中空部214中之另一方作為第三空間，與第一控制閥一起協調控制，使流體出入第一上中空部216或第一下中空部214中之另一方。第二中空部176宜比合併第一上中空部216與第一下中空部214之空間大。
控制部18在使第二活塞上部180移動時，至少控制第一控制閥，接合複數個半導體基板時，至少控制第二控制閥。預定位置亦可為支撐於下部頂板72之一對基板90夾持於下部頂板72與上部頂板82之間的位置。預定位置亦可為支撐於下部頂板72之一對基板即將夾持於上部頂板82的位置。
第十八圖係昇降部1066之縱剖面圖。如第十八圖所示，昇降部1066具備基座部件1102、外側框體1104、內側框體1106、底部件1108、活動部1110、及一對流出流入管1112、1114。外側框體1104及內側框體1106係固定部之一例。
基座部件1102固定於地板等。基座部件1102直接或間接地保持外側框體1104、內側框體1106、底部件1108、活動部1110及一對流出流入管1112、1114而固定。
外側框體1104設置成覆蓋昇降部1066之外周。外側框體1104固定於基座部件1102。外側框體1104具備上密封部件1120、外周壁部1122及下環狀部1124。
上密封部件1120形成環狀。上密封部件1120固定於外周壁部1122之上端。上密封部件1120密封形成於外周壁部1122內側之流體蓄積處1126的上側。
外周壁部1122形成延伸於上下方向之圓筒狀。外周壁部1122之直徑與上密封部件1120之直徑概略相等。
下環狀部1124係流動阻力部件之一例。下環狀部1124形成環狀。下環狀部1124從外周壁部1122下端之內周向內側突出。下環狀部1124之內周面與後述內側框體1106的內周壁部1136之外周面之間，形成使阻力作用於流體之環狀的阻力流路1129。在阻力流路1129之上端形成有連通後述主中空部1158與流路1144的開口1128。開口1128包含下環狀部1124內周面之全周而形成。開口1128形成環狀。在下環狀部1124內端部之下面形成有錐形面1130。錐形面1130從上下方向傾斜。錐形面1130朝向上方變窄。阻力流路1129從開口1128之上端形成至錐形面1130之下端。
內側框體1106嵌入於外側框體1104之內側。內側框體1106 固定於基座部件1102。內側框體1106具有上圓板部1134、內周壁部1136及下外周部1138。
上圓板部1134形成圓板狀。在上圓板部1134之中心形成有軸孔1142。軸孔1142在上下方向貫穿上圓板部1134。
內周壁部1136從上圓板部1134外周部之下面向下方延伸。內周壁部1136與上圓板部1134一體形成。內周壁部1136形成圓筒形狀。內周壁部1136之外徑比外周壁部1122之內徑小。藉此，在內周壁部1136與外周壁部1122之間形成空間。
下外周部1138包圍內周壁部1136之外周而包含全周形成。此外，下外周部1138形成內周側開口之中空狀。藉此，在下外周部1138之內周與內周壁部1136的外周之間形成流路1144。流路1144在下外周部1138之全周形成。藉此，流路1144在全周流動流體。在下外周部1138內端部之上面在全周形成開口。藉此，下外周部1138之流路1144經由阻力流路1129，而與下環狀部1124內周面與內周壁部1136外周面之間的開口1128連通。下外周部1138外周之一部分形成有使流體經由流出流入管1112、1114而從外部流出流入的2個流出流入口1139、1141。一方之流出流入口1139夾著上圓板部1134之中心，而配置於與另一方流出流入口1141相反側。流出流入口1139、1141形成在水平方向延伸之圓柱狀。流出流入口1139、1141之外端部形成開口。
底部件1108從平面觀看係形成圓板狀。底部件1108堵塞內側框體1106之內周壁部1136下端的開口。藉此，在底部件1108、內周壁部1136及上圓板部1134的內側形成下副中空部1146及上副中空部1147。使活動部1110往返移動之流體在下副中空部1146及上副中空部1147中流出流入。
活動部1110設置成可對外側框體1104及內側框體1106在上下方向往返移動。活動部1110具備載台部1148、圓筒腳部1150、下密封部件1152、複數個被引導部1154、及活塞部1156。
載台部1148形成圓板狀。載台部1148覆蓋內側框體1106之上圓板部1134。在載台部1148與上圓板部1134之間形成空間。
圓筒腳部1150從載台部1148之下面向下方延伸。圓筒腳部1150嵌入外周壁部1122與內周壁部1136之間。圓筒腳部1150之內徑比內周壁部1136的外徑大。藉此，在內周壁部1136與外周壁部1122之間形成空間。結果，上圓板部1134與載台部1148間之空間，經由內周壁部1136與圓筒腳部1150及下環狀部1124間之空間以及阻力流路1129，而向流路1144連通。在活動部1110之載台部1148及圓筒腳部1150、與內側框體1106之上圓板部1134及內周壁部1136、以及外側框體1104之外周壁部1122及下環狀部1124之間，形成使活動部1110往返移動之流體流出流入的主中空部1158。主中空部1158係流體流出流入之空間的一例。主中空部1158與下副中空部1146及上副中空部1147彼此絕緣。亦即，流體不在主中空部1158與下副中空部1146及上副中空部1147之間流通。此時，主中空部1158之容量比下副中空部1146及上副中空部1147之容量大。因此，使活動部1110以高速移動時，主要控制下副中空部1146及上副中空部1147之流體。另外，使活動部1110以高壓動作時，主要控制主中空部1158之流體。
圓筒腳部1150之外徑與上密封部件1120之內徑概略相等。藉此，圓筒腳部1150之外周面可滑動地與上密封部件1120之內周面接觸。圓筒腳部1150之外徑比外周壁部1122之內徑小。藉此，在圓筒腳部1150之外周與外周壁部1122的內周之間形成發揮流體蓄積處1126之功能的空間。流體蓄積處1126之上部藉由上密封部件1120密封。
下密封部件1152固定於圓筒腳部1150之下端部。下密封部件1152形成環狀。下密封部件1152之外徑與外周壁部1122之內徑概略相等。藉此，下密封部件1152之外周面可滑動地與外周壁部1122之內周面接觸。此外，下密封部件1152密封藉由上圓板部1134、內周壁部1136、載台部1148及圓筒腳部1150所包圍之主中空部1158。藉此，下密封部件1152抑制填充於主中空部1158之流體的洩漏。另外，通過下密封部件1152與外周壁部1122之間而洩漏的流體到達流體蓄積處1126。此時，流體蓄積處1126藉由上密封部件1120密封。因此，上密封部件1120抑制從主中空部1158洩漏之流體洩漏到昇降部1066的外部。
被引導部1154固定於載台部1148之下面。被引導部1154 形成延伸於上下方向之圓柱形狀。被引導部1154可滑動地嵌入形成於圓筒腳部1150而延伸於上下方向的引導孔1160。藉此，被引導部1154藉由引導孔1160而引導於上下方向。
活塞部1156具有圓柱部1162及分離部1164。
圓柱部1162固定於載台部1148之下面中心。圓柱部1162形成延伸於上下方向之圓柱形狀。圓柱部1162可滑動地嵌入上圓板部1134的軸孔1142。圓柱部1162與軸孔1142之間被密封。圓柱部1162之下端到達下副中空部1146及上副中空部1147。
分離部1164固定於圓柱部1162之中途部的外周。分離部1164之外徑與圓筒腳部1150之內徑概略相等。分離部1164設置成可對圓筒腳部1150滑動。此外，分離部1164將下副中空部1146及上副中空部1147上下分離。藉此，在下副中空部1146中供給流體時，分離部1164從流體接受向上方之擠壓力。結果，活塞部1156與活動部1110一起向上方移動。另外，在上副中空部1147中供給流體時，分離部1164從流體接受向下方之擠壓力。藉此，活塞部1156與活動部1110一起向下方移動。結果，活動部1110對外側框體1104及內側框體1106往返移動。
一對流出流入管1112、1114經由流路1144及開口1128，將流體供給至主中空部1158，並從主中空部1158排出流體。流出流入管1112、1114連結於下外周部1138中形成的流出流入口1139、1141。
第十九圖係說明流出流入管1112近旁之開口1128的縱剖面圖。第二十圖係說明從流出流入管1112離開之區域的開口1128之縱剖面圖。第二十一圖係說明開口1128之概略平面圖。第十九圖係沿著第二十一圖之A-A線的縱剖面圖。第二十圖係沿著第二十一圖之B-B線的縱剖面圖。
如第十九圖及第二十圖所示，下環狀部1124配置於主中空部1158與流出流入口1139、1141之間。阻力流路1129形成於下環狀部1124之內周面與內周壁部1136的外周面之間。阻力流路1129使即是對流體之阻力的流動阻力作用，該流體從供從流出流入口1139、1141流入之流體流動的流路1144，流入主中空部1158。流出流入口1139、1141近旁之開口 1128的徑方向寬度，比從流出流入口1139、1141離開之開口1128的徑方向寬度小。此外，如第二十一圖所示，開口1128之徑方向的寬度，沿著流路1144，隨著從流出流入口1139、1141遠離而逐漸變大。藉此，下環狀部1124發揮調節流入之流體流量，抑制活動部1110之傾斜的流量控制部之功能。例如下環狀部1124將與活動部1110往返移動方向正交之主中空部1158每單位剖面積的流體流量均勻化，抑制活動部1110之傾斜。
第二十二圖係昇降部1066之活動部1110向上方移動之圖。參照第十八圖至第二十二圖，說明活動部1110之往返移動。
首先，在第十八圖的狀態下，流體供給至容量比主中空部1158小之下副中空部1146，並且排出上副中空部1147之流體。藉此，活動部1110之分離部1164從流體接受向上方之壓力，如第二十二圖所示，活動部1110向上方移動。藉由該上方之移動，主中空部1158之容量增加，因此，流體經由開口1128，從流路1144及流出流入管1112、1114引入。此時，如第十九圖至第二十一圖所示，開口1128隨著從流出流入口1139、1141遠離而逐漸變大。藉此，流出流入口1139、1141近旁之開口1128比從流出流入口1139、1141離開之開口1128，對流體之流動阻力大。換言之，流經流出流入口1139、1141近旁之開口1128的流體之壓力損失，比流經從流出流入口1139、1141離開之開口1128的流體之壓力損失大。
因此，在流出流入口1139、1141近旁之區域，沿著環形狀之流路1144在周方向流動之流體流量，比在從流出流入口1139、1141離開之區域於周方向流動的流體之流量多。藉此，流出流入口1139、1141近旁之區域，通過開口1128引入之流體的流量，與在從流出流入口1139、1141離開之區域通過開口1128而引入的流體之流量均勻化。結果，與活動部1110上下移動方向正交之主中空部1158每單位剖面積的流體流量均勻化，從主中空部1158之流體作用於圓筒腳部1150之底面的壓力在周方向均勻化。因而，載台部1148保持水平狀態同時向上方移動。之後，下部頂板72保持之一對基板90與上部頂板82接觸時，在容量大之主中空部1158中供給流體，載台部1148經由下部頂板72，藉由大的加壓力擠壓基板90。
使活動部1110移動於下方時，在上副中空部1147中供給流 體，並且從下副中空部1146排出流體。藉由活動部1110移動於下方，從主中空部1158排出流體。此時如上述，開口1128隨著從流出流入口1139、1141遠離而逐漸變大。因此，流體之排出在流路之周方向概略均勻。藉此，載台部1148保持水平狀態同時向下方移動。此外，即使流出流入口1139及流出流入口1141之流入量產生差異，仍可縮小在流出流入口1139附近之流路1144與在流出流入口1141附近之流路1144之間產生的負壓力之差。藉此，可防止因負壓力之差亦即流入量之差造成活動部1110傾斜。
如上述，昇降部1066係開口1128隨著從流出流入口1139、1141遠離而逐漸變大。藉此昇降部1066可使與活動部1110之上下移動方向正交的主中空部1158每單位剖面積之流體流量均勻化。結果，昇降部1066可使載台部1148水平地保持並在上下往返移動。
第二十三圖係說明將開口變形之實施形態的概略平面圖。第二十三圖所示之實施形態，係在下環狀部1124與內周壁部1136之間埋入流動阻力部件之一例的衝孔件1170。衝孔件1170之外周，包含全周與下環狀部1124之內周接觸。衝孔件1170之內周，在全周與內周壁部1136之外周接觸。另外，衝孔件1170亦可與下環狀部1124或內周壁部1136一體化。衝孔件1170形成環板狀。衝孔件1170中形成有圓形狀之複數個開口1178。各開口1178具有相同的開口面積。開口1178在上下方向貫穿衝孔件1170。藉此，開口1178連通流路1144與主中空部1158。複數個開口1178彼此分割。換言之，開口1178係形成與鄰接之開口1178彼此不連續。此時，開口1178之每單位面積的數量，隨著從流出流入口1139、1141遠離而增加。換言之。鄰接之開口1178與開口1178的距離隨著從流出流入口1139、1141遠離而縮短。因此，每單位面積之開口1178的開口面積，隨著從流出流入口1139、1141遠離而變大。藉此，本實施形態可獲得與上述實施形態同樣之效果。另外，本實施形態係使各開口1178之開口面積相等，依開口1178數量設定每單位面積之開口面積，不過，亦可藉由將各開口1178之開口面積隨著從流出流入口1139、1141遠離而變大，如上述地設定每單位面積之開口面積。
第二十四圖係說明將開口變形之實施形態的概略平面圖。第 二十四圖所示之實施形態，係在下環狀部1124與內周壁部1136之間埋入流動阻力部件之一例的多孔質部件1180。多孔質部件1180之外周，在全周與下環狀部1124之內周接觸。多孔質部件1180之內周，包含全周與內周壁部1136之外周接觸。另外，多孔質部件1180亦可與下環狀部1124或內周壁部1136一體化。在多孔質部件1180中形成有複數個連通孔1188。多孔質部件1180藉由複數個連通孔1188而貫穿於上下方向。藉此，複數個連通孔1188連通流路1144與主中空部1158。此時連通孔1188之密度沿著流路1144，並隨著從流出流入口1139、1141遠離而增加。藉此，本實施形態可獲得與上述實施形態同樣之效果。
第二十五圖及第二十六圖係用於說明將開口變形之實施形態的開口近旁之縱剖面圖。另外，第二十五圖係與第十九圖相同位置之縱剖面圖，第二十六圖係與第二十圖相同位置之縱剖面圖。
如第二十五圖及第二十六圖所示，在下環狀部1124之內周面與內側框體1106之內周壁部1136的外周面之間形成有開口1228。開口1228在內周壁部1136外周的全周連續而形成。開口1228從平面觀看係形成環狀。開口1228之內周及外周係正圓，且彼此同心地形成。因此，開口1228之徑方向寬度，在全周均為一定。在活動部1110之移動方向，下環狀部1224平行於阻力流路1129的厚度，沿著流路1144並隨著從流出流入口1139、1141遠離而逐漸變小。換言之，沿著流經阻力流路1129之流體的流動之長度，沿著流路1144並隨著從流出流入口1139、1141遠離而逐漸縮短。藉此，藉由開口1228形成之阻力流路1129.的長度，隨著從流出流入口1139、1141遠離而逐漸縮短。結果，由於隨著從流出流入口1139、1141遠離而對流體之阻力變小，因此，本實施形態可獲得與上述實施形態同樣之效果。另外，亦可同樣地設定上述衝孔件1170及多孔質部件1180之厚度。
第二十七圖係用於說明將開口變形之實施形態的概略平面圖。第二十七圖所示之實施形態，流出流入管1312係與流經流出流入口1319之流體的流動方向平行地連結。此時開口1328隨著從流出流入口1319至中途部沿著流體之流路1144遠離，而徑方向寬度變大，隨著從中途部至流出流入口1319而沿著流體之流路1144遠離，徑方向寬度變小。因此，開 口1328之徑方向寬度在中途部最大。藉此，本實施形態可獲得與上述實施形態同樣之效果。
第二十八圖及第二十九圖係說明形成輔助流路之實施形態的縱剖面圖。另外，第二十八圖係與第十九圖相同位置之縱剖面圖，第二十九圖係與第二十圖相同位置之縱剖面圖。如第二十八圖及第二十九圖所示，在流路1144內端部之下面形成有輔助流路之一例的溝1445。溝1445夾著流路1144而配置於與主中空部1158相反側。溝1445與流路1144相連形成。溝1445形成與流路1144同心之環狀。溝1445沿著流路1144，在流路1144之全周而連續形成。溝1445之縱剖面積，在流出流入口1139、1141近旁隨著遠離而變小。另外，此時所謂溝1445之縱剖面積，係與周方向正交之剖面。藉此，流體從溝1445接受之流動阻力，在流出流入口1139、1141近旁小，並隨著遠離變大。因而，在流出流入口1139、1141近旁，促進周方向之流體的流動，並妨礙垂直方向之流動。另外，具有隨著從流出流入口1139、1141遠離，妨礙周方向之流體的流動，而促進垂直方向之流動的效果。結果，本實施形態可獲得與上述實施形態同樣之效果。另外，昇降部1066外部之大氣壓、開口1128之壓力、作用於活動部1110之壓力、溝1445之壓力的關係，宜為「昇降部1066外部之大氣壓>>開口1128之壓力≧作用於活動部1110之壓力≧溝1445之壓力」。此外，本實施形態中，開口1128徑方向之寬度係隨著從流出流入口1139、1141遠離而變大，不過亦可與流出流入口1139、1141之距離無關，而將開口1128徑方向之寬度保持一定。此外，亦可將溝1445之縱剖面積與流出流入口1139、1141之距離無關而保持一定。
第三十圖係說明將輔助流路變形之實施形態的縱剖面圖。第三十圖所示之實施形態，係輔助流路之一例的溝1545形成於流路1144的內端部。溝1545配置於從流出流入管1112、1114流入之流體的流入方向之延長線上。溝1545之縱剖面積宜隨著從流出流入口1139、1141遠離而變小，不過亦可保持一定。
第三十一圖及第三十二圖係說明將錐形面變更之實施形態的縱剖面圖。另外，第三十一圖係與第十九圖相同位置之縱剖面圖，第三 十二圖係與第二十圖相同位置之縱剖面圖。第三十一圖及第三十二圖所示之實施形態，係下環狀部1124具有配置於主中空部1158與流出流入口1139、1141之間的環狀錐形面1530。錐形面1530之主中空部1158側的開口面積比錐形面1530之流出流入口1139、1141側的開口面積小。錐形面1530之傾斜係隨著沿著流路1144遠離流出流入口1139、1141而變大。此時所謂錐形面1530之傾斜，係指從活動部1110之移動方向的上下方向之傾斜。藉此，流體從錐形面1530接受之流動阻力隨著從流出流入口1139、1141遠離而變小，結果，本實施形態可獲得與上述實施形態同樣之效果。另外，本實施形態之開口1528徑方向的寬度亦可隨著從流出流入口1139、1141遠離而變大，亦可保持一定。
第三十三圖係說明昇降部另外實施形態之概略構成圖。第三十三圖所示之昇降部1666具有固定部之一例的框體1604、活動部1610、流出流入管1612、及分散部件之一例的分散板1628。
在框體1604上部之中央部形成有主中空部1658。在主中空部1658中填充使活動部1610往返移動之流體。在框體1604之下部形成有發揮使流體流動同時蓄積流體之流路1644的功能之中空部。在流路1644之一部分形成有發揮流出流入口1639之功能的開口。流路1644形成於主中空部1658與流出流入口1639之間。主中空部1658與流路1644藉由連通管1629連通。流出流入管1612連接於流出流入口1639之外端。
分散板1628配置於流出流入口1639內側之延長線上。分散板1628從流出流入口1639之端部隔開間隔而配置。分散板1628之平面積比流出流入口1639大，比流路1644之縱剖面積小。藉此，在分散板1628與流路1644的內面之間形成間隔。藉此，分散板1628遮斷從流出流入口1639引入之流體及流入之流體，改變流體之流動朝向自己之外周側。因此分散板1628使流路1644之流體分散流經流路1644之內部。因而，流體經由連通管1629，在橫剖面概略均勻地引入或流入主中空部1658。結果，昇降部1066可獲得與上述實施形態同樣之效果。
第三十四圖係說明昇降部之另外實施形態的概略構成圖。第三十四圖所示之昇降部1766具有在中心部之下部形成有中空部的活動部 1710。伴隨活動部1710形狀之變更，主中空部1658比第三十三圖之實施形態大。本實施形態中，藉由設置分散板1628，亦可獲得與上述實施形態同樣之效果。
就變更上述實施形態之一部分的實施形態作說明。上述各種實施形態中，各構成之形狀、數量及配置等可適當變更。此外，亦可組合上述之實施形態。
例如，輸入輸出管之數量亦可為3支以上。輸入輸出管之配置與數量無關，宜在流路中心之周圍點對稱地配置。
上述實施形態係就開口1128不變形之例作說明，不過亦可設置藉由馬達等開關開口1128之開關部。開關部伴隨活動部1110之移動來開關開口1128，而使開口1128徑方向之寬度及開口面積變動。可提出一例為當活動部1110之上升速度變大時，由於流體之流量變大，因此可縮小開口1128。有關使開口1128變動之結構，可提出下環狀部1124之直徑為可變動的結構。
上述實施形態係就溝1445、1545不變形之例作說明，不過亦可構成溝1445、1545可變形。例如亦可對應於活動部1110之速度形成溝1445、1545之縱剖面積。
開口1128徑方向之寬度並非特別限定者。一例為為了流量控制而設定之開口1128徑方向的寬度，宜比公差大，亦即比主中空部1158之中心與活動部1110的中心之間的偏差量大。藉此，可吸收偏心。開口1128徑方向之寬度亦可對應於活動部1110之上升速度為最大的狀態來設定。
流出流入管1112、1114中流出流入之流體的流量彼此不同時，宜依據流量之差形成開口及溝。例如流量多之流出流入管近旁的開口宜小，或溝宜小。當流出流入管為3支以上時，此種情況亦同。
以上，係使用實施形態說明本發明，不過本發明之技術性範圍不限定於上述實施形態中記載之範圍。本發明所屬技術領域中具有通常知識者明瞭可對上述實施形態施以多樣的變更或改良。從申請專利範圍之記載明瞭，施以此種變更或改良所得之形態亦可包含於本發明之技術性範圍內。
應留意申請專利範圍、說明書及圖式中顯示之裝置、系統、程式及方法中的動作、程序、步驟及階段等各處理的執行順序，只要沒有特別明示為「更前」、「之前」等，或在後處理使用前處理之輸出者，就可以任意順序實現。關於申請專利範圍、說明書及圖式中之動作流程，即使權宜上使用「首先」、「其次」等作說明，並非意味必須以該順序實施者。
66‧‧‧昇降部
118‧‧‧內部框體
120‧‧‧汽缸蓋
122‧‧‧第二活塞下部
124‧‧‧移動載台部件
126‧‧‧上部密封部件
128‧‧‧驅動力傳達部
130‧‧‧導引桿
134‧‧‧第二工作油A端口
140‧‧‧主排氣部
146‧‧‧第二汽缸
148‧‧‧外周底部
150‧‧‧第一汽缸
152‧‧‧上圓板部
154‧‧‧下環狀板部
156‧‧‧活塞桿孔
158‧‧‧引導凹部
160‧‧‧引導部件
162‧‧‧引導孔
164‧‧‧底圓板部
166‧‧‧立設環部
168‧‧‧下部O形環
170‧‧‧下部板狀環
172‧‧‧下部減阻密封件
174‧‧‧凹部
176‧‧‧第二中空部
178‧‧‧第二活塞桿
180‧‧‧第二活塞上部
182‧‧‧第二上擠壓面
188‧‧‧上部O形環
190‧‧‧上部板狀環
192‧‧‧上部減阻密封件
196‧‧‧氣體室
198‧‧‧輔助密封件
200‧‧‧輔助凹部
202‧‧‧活塞桿
204‧‧‧第一活塞
206‧‧‧公螺紋部
208‧‧‧螺帽
210‧‧‧階
212‧‧‧孔
214‧‧‧第一下中空部
216‧‧‧第一上中空部
218‧‧‧第一下擠壓面
220‧‧‧第一上擠壓面
222‧‧‧O形環
224‧‧‧密封環
226‧‧‧減阻密封件
227‧‧‧凹部
228‧‧‧排氣路
230‧‧‧排氣口

Claims (20)

  1. 一種加壓裝置，其將複數個基板加壓，其特徵為具備：第一載台；第二載台，其係可在與前述第一載台之間夾持前述複數個基板；第一汽缸；第一擠壓部件，其係連結於前述第一載台，藉由從前述第一汽缸內的流體接受之力擠壓前述第一載台；第二汽缸，其係至少一部分被配置於前述第一汽缸的內部；及第二擠壓部件，其係連結於前述第一載台、藉由從前述第二汽缸內的流體接受之力擠壓前述第一載台。
  2. 如申請專利範圍第1項之加壓裝置，其中前述第二擠壓部件從流入到前述第一汽缸與前述第二汽缸之間的空間的流體接受力。
  3. 如申請專利範圍第1項之加壓裝置，其中前述第二擠壓部件在前述第二汽缸內藉由前述流體被擠壓的面積比前述第一擠壓部件在前述第一汽缸內藉由前述流體被擠壓的面積更小。
  4. 如申請專利範圍第1項之加壓裝置，其中擠壓前述第一載台的前述第一擠壓部件的第一擠壓面比擠壓前述第一載台的前述第二擠壓部件的第二擠壓面更大。
  5. 如申請專利範圍第1項之加壓裝置，其中前述第一擠壓部件的第一擠壓面比前述第二擠壓部件的第二擠壓面更接近於前述第一載台。
  6. 如申請專利範圍第1項之加壓裝置，其中具備：第一控制部，其係使流體在由前述第一擠壓部件和前述第一汽缸形成的第一空間中出入；及第二控制部，其係使流體在由前述第二擠壓部件和前述第二汽缸形成的第二空間中出入。
  7. 如申請專利範圍第6項之加壓裝置，其中前述第一空間比前述 第二空間更大。
  8. 如申請專利範圍第6項之加壓裝置，其中具備：搭載部，其係配置於前述第一載台與前述第二載台之間，搭載前述複數個基板；前述第二控制部在前述第一載台從前述搭載部取出搭載於前述搭載部之前述複數個基板時，控制前述第一載台之速度降低。
  9. 如申請專利範圍第7項之加壓裝置，其中前述第二控制部，在支撐於前述第一載台之前述複數個基板夾持在前述第一載台與前述第二載台之間之前，控制前述第一載台之速度降低。
  10. 如申請專利範圍第6項之加壓裝置，其中藉由控制前述第一控制部使前述第一擠壓部件移動，而使前述第一載台移動時，開放藉由前述第二控制部之控制。
  11. 如申請專利範圍第6項之加壓裝置，其中控制前述第二控制部使前述第二擠壓部件移動時，開放藉由前述第一控制部的控制。
  12. 如申請專利範圍第6項之加壓裝置，其中使前述第二擠壓部件以預定速度以上之速度移動時，控制前述第二控制部，以未達前述預定速度之速度移動時，控制前述第一控制部。
  13. 如申請專利範圍第6項之加壓裝置，其中在前述第二汽缸內具有前述第二空間以外之第三空間；進一步具備第三控制部，其係與前述第二控制部一起協調控制，而使流體出入前述第三空間。
  14. 如申請專利範圍第13項之加壓裝置，其中前述第一空間比合併前述第二空間與前述第三空間之空間更大。
  15. 如申請專利範圍第6項之加壓裝置，其中使前述第二擠壓部件移動時，至少控制前述第二控制部，加壓前述複數個基板時，至少控制前述第一控制部。
  16. 如申請專利範圍第1項之加壓裝置，其中藉由從前述第二汽缸內的前述流體接受之力對前述第二擠壓部賦予擠壓力，使前述 第一載台向前述第二載台移動到預定位置，前述預定位置，係支撐於前述第一載台之前述基板被夾持在前述第一載台與前述第二載台之間的位置。
  17. 如申請專利範圍第1項之加壓裝置，其中藉由從前述第二汽缸內的前述流體接受之力對前述第二擠壓部賦予擠壓力，使前述第一載台向前述第二載台移動到預定位置；前述預定位置，係支撐於前述第一載台之前述複數個基板即將被夾持在前述第二載台的位置。
  18. 一種加壓裝置，其將彼此重合之複數個基板加壓，且具備：第一載台，其係支撐前述複數個基板；第三載台，其係可在與前述第一載台之間夾持前述複數個基板；驅動部，其係為了前述複數個基板之前述夾持，使前述第一載台向前述第二載台移動；加壓部，其係在前述第一載台藉由前述驅動部到達預定之位置時，對前述第一載台賦予擠壓力，而在前述第一載台與前述第二載台之間對前述複數個基板加壓；及控制部，其係控制前述驅動部之驅動；前述控制部於前述加壓部加壓時，以前述第一載台及前述第二載台中之至少一方的壓力分布形成預定之分布的方式，控制從前述驅動部作用於前述第一載台之擠壓力。
  19. 一種加壓裝置，其將彼此重合之複數個基板而加壓，且具備：活動部，其係包含支撐前述複數個基板之第一載台；第二載台，其係可在與前述第一載台之間夾持前述複數個基板；驅動部，其係為了前述複數個基板之前述夾持，使前述第一載台向前述第二載台移動；加壓部，其係在前述第一載台籍由前述驅動部到達預定之位置時，對前述第一載台賦予擠壓力，而在前述第一載台與前述第二載台之間對前述複數個基板加壓；及 擠壓部件，其係連結於前述第一載台，籍由從前述驅動部接受之擠壓力而擠壓前述第一載台；前述擠壓部件擠壓前述活動部之重心。
  20. 一種基板貼合裝置，其具備：位置對準部，其係使前述複數個基板彼此位置對準；及申請專利範圍第1至19項中任一項之加壓裝置，其係將位置對準之前述複數個基板彼此加壓。
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