TWI556979B - 轉印裝置及轉印方法 - Google Patents

Description

轉印裝置及轉印方法

本發明係關於一種將擔載於擔載體之被轉印物轉印至轉印媒體之轉印裝置及轉印方法。

作為於玻璃基板或半導體基板等基板形成薄膜或圖案(以下，稱為「圖案等」)之技術，有使擔載圖案等之擔載體密接於轉印媒體而轉印圖案等之技術(例如，參照日本專利特開2002-036499號公報)。又，為了完成圖案等之轉印，必需將如上所述般密接之擔載體與轉印媒體剝離而使其等再次分離。作為以此種剝離為目的之技術，有例如日本專利特開2008-287949號公報中記載之技術。

如上述先前技術所示，迄今為止，係對用以使擔載體與轉印媒體密接而轉印圖案等之製程技術、與使轉印後之擔載體與轉印媒體剝離之製程技術相互獨立地進行研究。

於實際之圖案形成製程中，當然需要轉印製程與剝離製程之兩者。然而，於如上所述轉印製程與剝離製程分別於不同之處理裝置執行之情形時，必需於處理裝置間搬送處理對象物，而且有當正於一處理裝置執行處理中，另一處理裝置成為等待狀態之情況，故而迄今為止並未效率良好地執行自轉印至剝離為止之一連串之製程。又，由於需要設置2個處理裝置，故而亦留下裝置成本及設置空間變大之問 題。

本發明係鑒於上述問題而完成者，其目的在於提供一種可連續地效率良好地執行被轉印物自擔載體向轉印媒體之轉印、及轉印後之擔載體與轉印媒體之剝離的技術。

為達成上述目的，本發明之轉印裝置包含：擔載體保持器件，其具有複數個保持部，該複數個保持部分別抵接於將被轉印物擔載於擔載面之平板狀之擔載體之與上述擔載面相反之另一面而保持上述擔載體；保持部驅動機構，其使上述複數個保持部個別地相對於上述另一面向接近之方向及分離之方向移動；轉印媒體保持器件，其將具有要轉印上述被轉印物之轉印面之轉印媒體以使上述轉印面接近對向於上述擔載面地加以保持；及輥構件，其具有以與上述擔載面平行之第1方向作為軸方向之輥形狀，一邊藉由抵接於上述另一面使上述擔載體向上述轉印媒體側局部性地移位而使上述被轉印物抵接於上述轉印面，一邊向與上述擔載面平行且與上述第1方向正交之第2方向移動；且上述複數個保持部沿上述第2方向排列，於上述複數個保持部之各者設置有吸附上述另一面之吸附部，上述保持部之各者對應於上述輥構件之移動而依序自上述擔載體分離並移動至不與上述輥構件干擾之退避位置，於上述輥構件通過後再次抵接於上述擔載體之上述另一面，一邊藉由上述吸附部吸附上述擔載體一邊向自上述擔載體分離之方向移動。

又，為達成上述目的，本發明之轉印方法包括：第1步驟，使複數個保持部分別抵接於將被轉印物擔載於擔載面之平板狀之擔載體之與上述擔載面相反之另一面而保持上述擔載體；第2步驟，將具有轉印上述被轉印物之轉印面之轉印媒體以使上述轉印面接近對向於上述擔載面地加以保持；第3步驟，藉由使形成為以與上述擔載面平行之第1方向作為軸方向之輥狀之輥構件抵接於上述另一面且使上述擔載 體向上述轉印媒體側局部性地移位而使上述被轉印物抵接於上述轉印面；第4步驟，使上述輥構件一邊抵接於上述另一面一邊向與上述擔載面平行且與上述第1方向正交之第2方向移動，並且對應於上述輥構件之移動而使上述複數個保持部依序自上述擔載體分離並移動至不與上述輥構件干擾之退避位置，於上述輥構件通過後使該保持部再次抵接於上述擔載體之上述另一面；及第5步驟，一邊藉由抵接於上述另一面之上述保持部保持上述擔載體，一邊使上述保持部向自上述擔載體分離之方向移動。

該等發明中，擔載被轉印物之擔載體、與轉印被轉印物之轉印媒體接近對向配置，利用輥構件使擔載體向轉印媒體側局部性地移位而使被轉印物抵接於轉印媒體，並且輥構件自該狀態沿擔載體移動。藉此，可使被擔載於擔載體之被轉印物之整體密接於轉印媒體。

擔載體藉由複數個保持部保持，並且使保持部對應於輥構件之移動而依序移動至退避位置，藉此避免抵接於擔載體之另一面之保持部、與一邊抵接於擔載體之另一面一邊向第2方向行進之輥構件之干擾。

另一方面，於輥構件之移動方向上較輥構件更上游側，即於藉由輥構件之通過而使擔載體與轉印媒體經由被轉印物密接之側，再次抵接之保持部一邊保持擔載體一邊向分離方向移動。因此，擔載體向自轉印媒體分離之方向移動，從而兩者被剝離。藉由使輥構件一邊抵接於擔載體一邊自轉印媒體分離，藉此可控制剝離之進展。

如此，本發明之保持部具有維持被轉印物抵接於轉印媒體之前之擔載體之姿勢之功能，並且具有於抵接後使擔載體自轉印媒體分離之功能。另一方面，輥構件兼具使被轉印物抵接於轉印媒體之功能、及控制剝離之進展之功能。根據具有此種構成之本發明，可於一體之裝置連續地效率良好地執行被轉印物自擔載體向轉印媒體之轉印及轉 印後之擔載體與轉印媒體之剝離。

該等發明例如亦可為如下之構成：於第2方向上在輥構件之下游側抵接於另一面之保持部中之最上游側者自擔載體分離並移動至退避位置，於輥構件通過後該保持部再次抵接於另一面，另一方面，於第2方向上在輥構件之上游側抵接於另一面之保持部自上游側依序一邊維持另一面之吸附，一邊向自擔載體分離之方向移動。

為了使輥構件通過，而使輥構件之移動方向(第2方向)下游側之保持部移動至退避位置，但此時僅使位於輥構件之下游側之保持部中之最上游側者分離。藉此，可維持受到輥構件之抵接前之擔載體之姿勢，因此可防止在被轉印物抵接於轉印媒體之前於擔載體與轉印媒體之間產生位置偏移。

又，例如亦可為如下之構成：輥構件於第2方向上之另一面之較上游側端部更下游之抵接開始位置抵接於擔載體，且移動至第2方向上之另一面之較下游側端部更上游且較抵接開始位置更下游之抵接結束位置，於自抵接開始位置至抵接結束位置之間設置複數個保持部，進而，於第2方向上，於抵接開始位置之上游側及抵接結束位置之下游側之各者，設置至少1個保持部。

為了維持經由被轉印物而與轉印媒體抵接之前之擔載體之姿勢並且將抵接後之擔載體自轉印媒體分離，於輥構件之移動範圍，即於自抵接開始位置至抵接結束位置之間需要複數個保持部。另一方面，為了即便於輥構件之移動範圍外亦保持擔載體之姿勢，且確實地進行自轉印媒體之剝離，較理想為於輥構件之移動範圍之上游側及下游側分別配置至少1個保持部。

又，例如亦可為如下之構成：保持部之各者於自擔載體分離移動之前解除吸附，且於再次抵接後重新進行吸附。由於解除吸附後使保持部分離移動，故而可避免擔載體追隨於保持部之分離移動。該情 形時，例如亦可為如下之構成：於再次抵接後以較解除前更強之吸附力吸附擔載體。對於經由被轉印物而與轉印媒體抵接之前之擔載體，只要可維持擔載體之姿勢便足夠。另一方面，為了將擔載體自轉印媒體分離而需要較強之吸附保持力，故而較理想為使再次抵接後之吸附力大於吸附解除前。

為使以上成為可能，例如亦可為如下之構成：保持部具有向第1方向延伸設置且抵接於另一面之抵接面，並且於該抵接面設置有用以配設作為吸附部之吸附墊之凹部，吸附墊可於後退至較抵接面更靠凹部內之後退位置、與前進至與抵接面為同一平面或超出抵接面之吸附位置之間進退。藉由使前進至吸附位置之吸附墊抵接於擔載體之另一面，而可以較強之吸附力吸附保持擔載體。另一方面，使吸附墊後退至後退位置且自擔載體分離，藉此避免因較強之吸附力而導致擔載體局部性地變形。

又，例如，於保持部之各者，亦可沿第1方向置設置有複數個吸附部。又，吸附部亦可為以第1方向作為長度方向之細長之形狀。該等構成中，可使自轉印媒體分離擔載體時之吸附力於第1方向分散，從而可防止第1方向上之擔載體之彎曲。

又，例如，關於較輥構件更上游側之剝離，於輥構件之移動中亦可與此並行地進行。即，本發明之轉印方法中，亦可為於第4步驟之執行中執行第5步驟之構成。此種構成中，於較輥構件更下游側進行被轉印物向轉印媒體之抵接，另一方面，與此並行地，於上游側進行擔載體自轉印媒體之剝離。因此，可連續地於短時間進行擔載體與轉印媒體之抵接及其等之剝離。又，輥構件對於剝離之進展之控制最有效地發揮作用。

又，亦可為如下之構成：使擔載體與轉印媒體對向配置之後，使複數個保持部一體地向與擔載面平行之方向移動而進行擔載體與轉 印媒體之位置對準。此種構成中，可提高被轉印物向轉印媒體之轉印位置精度，從而可將被轉印物轉印至轉印媒體之恰當位置。

根據本發明，一邊藉由保持部維持擔載體之姿勢一邊使輥構件抵接，藉此使被擔載於擔載體之轉印物抵接於轉印媒體，於輥構件通過後保持構件將擔載體自轉印媒體分離以此進行剝離。因此，可於一體之裝置連續地效率良好地執行被轉印物自擔載體向轉印媒體之轉印及轉印後之擔載體與轉印媒體之剝離。

1‧‧‧轉印裝置

3‧‧‧橡皮布保持塊體

5‧‧‧轉印輥塊體

7‧‧‧基板保持塊體

9‧‧‧控制塊體

11‧‧‧基座部

30‧‧‧對準載台

31~36‧‧‧手單元對

37‧‧‧對準機構

50‧‧‧輥單元

51‧‧‧導軌

71‧‧‧上載台(轉印媒體保持器件)

72‧‧‧載台升降機構

91‧‧‧上載台控制部

92‧‧‧負壓供給部

93‧‧‧輥驅動部

94‧‧‧手升降控制部(保持部驅動機構)

95‧‧‧對準控制部

201‧‧‧導軌

202‧‧‧轉印輥

203、221‧‧‧支持構件

211~216、311、316、321、326、331、336、341、346、351、356、361、366‧‧‧手

222、313‧‧‧吸附墊(吸附部)

300‧‧‧橡皮布保持機構(擔載體保持器件)

301~306‧‧‧手對(保持部)

310、315、320、325、330、335、340、345、350、355、 360、365‧‧‧升降手單元

311a‧‧‧(手311之)上表面(抵接面)

311b‧‧‧貫通孔(凹部)

311c‧‧‧貫通孔(吸附部)

312、317、322、327、332、337、342、347、352、357、362、367‧‧‧升降機構(保持部驅動機構)

313a‧‧‧(吸附墊313之)上端

381、382‧‧‧對準相機

501‧‧‧轉印輥(輥構件)

502‧‧‧支持框架

503‧‧‧支持腿

504‧‧‧基座部

921、922、923‧‧‧控制閥

BL‧‧‧橡皮布(擔載體)

G‧‧‧間隙

S101、S103‧‧‧第2步驟

S102‧‧‧第1步驟

S104‧‧‧第6步驟

S106‧‧‧第3步驟

S107、S108、S110‧‧‧第4步驟

S111‧‧‧第5步驟

S105、S109、S112~S115‧‧‧步驟

SB‧‧‧基板(轉印媒體)

圖1係表示本發明之一實施形態之轉印裝置之概略構成之圖。

圖2係表示圖1之轉印裝置之主要部分之圖。

圖3A至3C係更詳細地表示手前端之構造之放大圖。

圖4係表示本實施形態之轉印處理之流程圖。

圖5A至5C、6A至6C、7A至7C係模式性表示轉印處理中之裝置各部之位置關係之圖。

圖8A及8B係表示本發明之轉印裝置之其他構成例之圖。

圖1係表示本發明之一實施形態之轉印裝置之概略構成之圖。又，圖2係表示圖1之轉印裝置之主要部分之圖。為統一地表示以下各圖中之方向，如圖1所示設定XYZ正交座標軸。此處，XY平面表示水平面，Z軸表示鉛垂軸。更詳細而言，(+Z)方向表示鉛垂上方。

該轉印裝置1係用以使於相互分離之狀態下搬入之2塊板狀體密接，其後再次使其等分離之裝置。其被應用於例如於玻璃基板或半導體基板等基板之表面形成特定之圖案之圖案形成製程之一部分。更具體而言，於該圖案形成製程中，對作為暫時擔載應轉印至被轉印體即基板上之圖案之擔載體之橡皮布表面均勻地塗佈圖案形成材料(塗佈步驟)，藉由將根據圖案形狀而進行了表面加工之版抵壓於橡皮布上 之塗佈層而使塗佈層圖案化(圖案化步驟)，如此般使形成有圖案之橡皮布密接於基板(轉印步驟)，以此將圖案自橡皮布最終轉印至基板。

此時，圖案化步驟中存在使版與橡皮布密接後剝離之製程，又，轉印步驟中存在使基板與橡皮布密接後剝離之製程。為實現該等目的，可適當地應用本裝置。當然既可應用於該等兩者，亦可應用於除此以外之用途。例如亦可應用於將擔載於擔載體之薄膜轉印至基板之轉印製程中。

以下，以將該轉印裝置1應用於上述轉印步驟、亦即將形成於橡皮布上之圖案轉印至基板之製程作為前提進行說明。然而，即便於應用於圖案化步驟之情形時，裝置構成及動作亦基本相同，故而亦可將以下說明中之「基板」替換稱為「版」。

該轉印裝置1包含：橡皮布保持塊體3，其安裝於基座部11上且保持橡皮布BL，該基座部11安裝於框體；轉印輥塊體5，其安裝於基座部11；及基板保持塊體7，其配置於該等塊體之上部且保持基板SB。圖1中，為了表示裝置之內部構造而省略框體之圖示。又，除該等各塊體之外，該轉印裝置1還包含控制各塊體之控制塊體9。

橡皮布保持塊體3具有於對準載台30上沿X方向及Y方向排列有複數個升降手單元之構造。更具體而言，複數個(本例中為6個)升降手單元310、320、330、340、350、360沿對準載台30之(+X)側端部排列於Y方向。又，與其相同數目之升降手單元315、325、335、345、355、365沿對準載台30之(-X)側端部排列於Y方向。

各升降手單元具有相同構造。例如，升降手單元310包含：手311，其上部向水平方向(X方向)延伸且其上表面抵接於橡皮布BL之下表面，藉此自下方支持橡皮布BL；及手升降機構312，其支持該手311並且向上下方向(Z方向)升降。手升降機構312根據來自設置於控制塊體9之手升降控制部94之控制信號而使手311升降。

其他升降手單元亦相同，此處，對升降手單元315、320、325、330、335、340、345、350、355、360、365中所具備之手分別標註符號316、321、326、331、336、341、346、351、356、361、366。又，對升降手單元315、320、325、330、335、340、345、350、355、360、365中所具備之手升降機構分別標註符號317、322、327、332、337、342、347、352、357、362、367。

配置於對準載台30之(+X)側端部之升降手單元310、320、330、340、350、360係使各者之手之前端朝(-X)側而設置，又，配置於對準載台30之(-X)側端部之升降手單元315、325、335、345、355、365係使各者之手之前端朝(+X)側而設置。即，配置於(+X)側端部之升降手單元、與配置於(-X)側端部之升降手單元係使手朝內相互對向地配置。

配置於對準載台30之(+X)側端部及(-X)側端部之各者之最靠(-Y)側之升降手單元310、315於Y方向上配置於同一位置。因此，升降手單元310之手311與升降手單元315之手316於Y方向上位於同一位置。又，該等手311、316始終被定位於彼此相同之高度(Z方向位置)，藉由來自手升降控制部94之控制信號而一體地升降。即，Y方向之位置相同之1對升降手單元310、315構成手單元對(第1手單元對)31。

同樣地，Y方向位置彼此相同之升降手單元320、325構成第2手單元對32，升降手單元330、335構成第3手單元對33，升降手單元340、345構成第4手單元對34，升降手單元350、355構成第5手單元對35，升降手單元360、365構成第6手單元對36。

藉由將設置於各升降手單元310~365之手311~366定位於同一高度，該等手311~366可將橡皮布BL一體地保持為水平姿勢。再者，包含於各手單元對之1對手(例如手單元對31之1對手311、316)始終被設為相同高度，另一方面，於不同之手單元對間，手升降控制部94可 相互獨立地控制包含於其等之手之高度。圖2中，作為一例，表示第2手單元對32之手321、326位於較其他手更下方之狀態。

於以下之說明中，將第N手單元對(N=1~6)中包含之手之對稱為「第N手對」。即，將第1手單元對31中包含之1對手311、316稱為「第1手對」，且標註符號301。同樣地，將第2手單元對32中包含之1對手321、326稱為第2手對302，將第3手單元對33中包含之1對手331、336稱為第3手對303，將第4手單元對34中包含之1對手341、346稱為第4手對304，將第5手單元對35中包含之1對手351、356稱為第5手對305，將第6手對單元36中包含之1對手361、366稱為第6手對306。又，將該等手對301~306之集合體總稱為「橡皮布保持機構」，且標註符號300。

如圖2所示，6對手單元對31~36中除位於Y方向之兩端部者以外之中央部之手單元對32~35，係設為該等手單元對中包含之手321~356分散配置於與基板SB之平面尺寸對應之區域般之配置。另一方面，位於Y方向之兩端部之手單元對31、36，係該等手單元對中包含之手311、316、361、366配置於與橡皮布BL之Y方向之端部附近之下表面抵接之位置。

又，對準載台30藉由安裝於基座部11之複數個對準機構37支持。對準機構37係例如包含交叉輥子軸承之可動機構。複數個對準機構37根據來自控制塊體9之對準控制部95之控制信號而聯動，藉此可使對準載台30於XY平面(水平面)內及繞Z軸(鉛垂軸)於特定範圍移動。

於對準載台30上，進而設置有安裝於自基座部11立設之柱構件(圖示省略)上之2台對準相機381、382。對準相機381、382係朝向上方設置，其拍攝預先形成於橡皮布BL之對準標記。對準控制部95根據該等對準相機381、382之拍攝結果而進行橡皮布BL之位置檢測，且視需要使對準機構37作動，藉此於裝置內進行橡皮布BL之位置調 整。

又，於基座部11上進而設置有轉印輥塊體5。轉印輥塊體5包含：導軌51，其固定於基座部11上且向Y方向延伸設置；及輥單元50，其沿導軌51向Y方向移動自如地構成。

輥單元50包含轉印輥501、支持框架502、支持腿503、及基座部504。轉印輥501係向X方向延伸設置且以X方向作為軸方向之圓柱形狀之輥構件。支持框架502係旋轉自如地支持轉印輥501之X方向兩端部。支持腿503將支持框架502加以支持且於其之X方向大致中央部向下方延伸。基座部504將支持框架503加以支持並且卡合於導軌51而向Y方向移動。支持腿503之X方向之尺寸小於構成各手對之手之前端間之間隔。雖省略圖示，但基座部504包含使支持腿503升降之升降機構。藉由支持腿503之升降，使由其支持之轉印輥501向Z方向移動，且相對於保持於橡皮布保持機構300之橡皮布BL接近、分離移動。基座部504沿導軌51朝Y方向之移動及由基座部504所致之支持腿503之升降，係藉由設置於控制塊體9之輥驅動部93而控制。

另一方面，基板保持塊體7包含：上載台71，其下表面成為與基板SB大致相同之平面尺寸之保持平面；及載台升降機構72，其使上載台71向上下方向(Z方向)升降。雖省略圖示，但於上載台71之下表面設置有吸附孔、吸附槽及吸附墊之至少1者作為用以吸附保持基板SB之機構，經由控制閥921對該吸附機構賦予自設置於控制塊體9之負壓供給部92供給之負壓。因此，上載台71可將基板SB之上表面吸附保持於其下表面。

載台升降機構72根據來自控制塊體9之上載台控制部91之控制信號而使上載台71升降。藉此，使保持於上載台71之基板SB於與由橡皮布保持機構300保持之橡皮布BL之上表面接近對向之接近位置、與自橡皮布BL向上方較大地分離之分離位置之間移動。

圖3A至3C係更詳細地表示近前端之構造之放大圖。此處代表性地說明手311之構造，如上所述各手311~366之構造相同。如圖3A所示，於沿X方向延伸之手311之前端部，其上表面311a被加工成平坦且成為與橡皮布BL下表面抵接之抵接面，並且穿設有開口徑不同之2種貫通孔。更詳細而言，於手311上，於X方向以固定之間隔設置有開口徑較大之複數個第1貫通孔311b。於各貫通孔311b中，插通有上端313a由例如矽橡膠般之彈性構件所形成之吸附墊313。各吸附墊313經由控制塊體9之控制閥922而連接於負壓供給部92。

各吸附墊313藉由未圖示之驅動機構而可一體地升降，其可於如圖3B所示般吸附墊313之上端313a後退至較手311之上表面(抵接面)311a更下方之後退位置、與如圖3C所示般吸附墊313之上端313a前進至較手311之上表面311a更上方之吸附位置之間移動。於將吸附墊313定位於吸附位置時，可藉由自負壓供給部92供給之負壓，利用吸附墊313強力地吸附保持橡皮布BL。

另一方面，另一貫通孔311c係較貫通孔311b之開口徑小之貫通孔，其設置於如上所述以等間隔排列於X方向之貫通孔311b之間。貫通孔311c經由控制塊體9之控制閥923而連接於負壓供給部92。因此，作為藉由對各貫通孔311c供給負壓而吸附橡皮布BL之下表面之吸附孔發揮功能。吸附橡皮布BL之力較吸附墊313弱。

如此，於手311上一併設置有作為吸附孔發揮功能之貫通孔311c與吸附墊313，藉由獨立地進行對各者之負壓供給，可將手311對橡皮布BL之吸附力設定為多階段。

其次，對如上所述構成之轉印裝置1之動作進行說明。如上所述，該轉印裝置1使擔載圖案之橡皮布BL、與該欲轉印圖案之基板SB密接之後，將該等剝離，藉此將圖案自橡皮布BL轉印至基板SB。以下，對該轉印處理進行說明，但使用圖案形成材料使擔載薄膜之橡皮 布BL藉由版而圖案化時之動作亦基本相同。

圖4係表示本實施形態之轉印處理之流程圖。又，圖5A至5C、圖6A至6C、圖7A至7C係模式性表示轉印處理之各階段之裝置各部之位置關係之圖。再者，圖5A至圖7C中，為了明示各部之位置關係，局部性地誇大表示各部之尺寸或間隔，該等並非表示實際之尺寸關係。

首先，將作為轉印圖案之轉印媒體之基板SB搬入至裝置，使轉印圖案之轉印面朝下載入至上載台71(步驟S101)。其次，將擔載應轉印至基板SB之圖案之橡皮布BL使擔載圖案之擔載面朝上載入至橡皮布保持機構300(步驟S102)。此時，各手之吸附墊313位於圖3B所示之後退位置，橡皮布BL藉由對貫通孔311c賦予之負壓而被吸附保持。再者，載入之順序亦可與上述相反，但藉由使於上表面擔載圖案之橡皮布BL之搬入在後，可避免載入基板SB時橡皮布BL上之圖案受損或異物下落之不良。

圖5A表示將基板SB及橡皮布BL搬入至裝置之後之狀態。於該等搬入時，上載台71被定位於自橡皮布保持機構300向上方較大地分離之位置，藉此可經由上載台71與橡皮布保持機構300之間較大地空開之空間而搬入基板SB。另一方面，於搬入橡皮布BL時，藉由將各手對301~306定位於上升之位置，可利用支持橡皮布BL之下表面之搬送用手進行搬入。又，藉由使各手對處於同一高度，可將橡皮布BL保持為水平姿勢。

若如此般搬入基板SB及橡皮布BL，則上載台71下降，使基板SB與橡皮布BL隔開特定之間隙而接近對向(步驟S103)。為實現該目的，較理想為於搬入之前計測基板SB及橡皮布BL之厚度。如圖5B所示，此時調整後之基板SB與橡皮布BL之間隙G例如為數百μm左右。

繼而，執行用以將基板SB與橡皮布BL位置對準之對準調整(步驟S104)。對準調整例如可以如下方式進行。於基板SB及橡皮布BL之相 互對向之2處以上之位置分別預先形成對準標記，利用對準相機381、382分別拍攝形成於被搬入至裝置且接近配置之基板SB與橡皮布BL之各者之對準標記。藉此掌握基板SB與橡皮布BL之相對位置關係，故而以使該位置關係與預先設定者一致之方式利用對準機構37使對準載台30移動，藉此調整基板SB與橡皮布BL之相對位置。

為了將形成於橡皮布BL之圖案轉印至基板SB之恰當位置，只要進行基板SB與橡皮布BL之位置對準，更具體而言進行基板SB與橡皮布BL上之圖案之相對性之位置對準便足夠。又，於2處以上設置對準標記，且利用複數個對準相機拍攝各者以供對準調整，藉此可進行更高精度之位置對準。尤其對於繞Z軸之旋轉方向之位置偏移，例如於基板SB上分開較遠之2點，使用例如設置於對角附近之2個對準標記進行對準調整較為有效。

其次，將轉印輥塊體5之轉印輥501定位於特定之初始位置(步驟S105)。如圖5B所示，轉印輥501之初始位置於上下方向係自橡皮布BL向下方分離之位置，且於Y方向上為在第1手對301與第2手對302之間之基板SB之(-Y)側端部之正下方位置。再者，轉印輥501可自最初起便位於該位置，又，亦可為如下之構成：於橡皮布BL等之搬入時自橡皮布保持機構300退避，於搬入後移動至初始位置。

繼而，轉印輥501向上方移動而抵接於橡皮布BL之下表面(步驟S106)，如圖5C所示，將橡皮布BL上推使其抵接於基板SB。將橡皮布BL下表面中之此時轉印輥501所抵接之位置稱為「抵接開始位置」。於橡皮布BL上擔載有圖案時，圖案密接於基板SB。其次，轉印輥501在維持抵接於橡皮布BL之狀態下，開始向(+Y)方向移動(步驟S107)，其後以固定速度朝(+Y)方向行進。藉此，橡皮布BL與基板SB抵接之區域朝(+Y)方向擴展。

將自轉印輥501觀察之(+Y)側稱為轉印輥501行進之行進方向之前 方或下游側。又，將自轉印輥501觀察之(-Y)側稱為轉印輥501之行進方向之後方或上游側。

繼而，使位於轉印輥501之上游側之第1手對301之吸附墊上升至圖3C所示之吸附位置，供給來自負壓供給部92之負壓而開始利用吸附墊進行吸附，並且開始第1手對301之下降(步驟S108)。一邊藉由吸附墊強力地吸附橡皮布BL並且手對301下降，藉此如圖6A所示，將橡皮布BL之(-Y)側端部向下方下拉。藉此，橡皮布BL與基板SB之間自基板SB之(-Y)側端部逐漸分離，開始兩者之剝離。

以後，轉印輥501朝(+Y)方向行進，但於其前方各手對302~306支持橡皮布BL之下表面，從而會與轉印輥501之行進產生干擾。為避免此情況，各手對配合轉印輥501之行進而下降，向不與轉印輥501干擾之退避位置退避。具體而言如下所述。

與第N手對(N=2~5)之各者對應地預先設定規定該手對應該開始下降之時序之轉印輥501之位置作為下降開始位置。該下降開始位置之含意為，只要於朝(+Y)方向行進之轉印輥501到達該下降開始位置時第N手對開始下降，則於轉印輥501到達之前第N手對可退避至不與轉印輥501干擾之退避位置。

各手對具有如下之功能：藉由自下方抵接橡皮布BL而將橡皮布BL保持為水平姿勢，並且將與基板SB之間隙G保持為固定。因此，使手對下降之時序若過早，則橡皮布BL彎曲而產生間隙變動。為避免此現象，較理想為下降開始位置係在轉印輥501與手對不產生干擾之範圍內儘可能靠近手對之位置。

若轉印輥501到達如此設定之下降開始位置(步驟S109)，則使對應於該下降開始位置之第N手對開始下降(步驟S110)。關於以設置於該手對之吸附孔進行之吸附，於即將開始下降之前被解除。藉此，可防止橡皮布BL跟隨手對之下降而彎曲。於以使用有彈性構件之吸附 墊進行吸附時，自負壓供給停止起至吸附完全被解除為止存在時間延誤之情況，藉此，可能存在手對在維持吸附橡皮布BL之狀態下下降之情況，但若以吸附孔進行吸附則可避免該問題。

圖6A表示第2手對302下降至退避位置之狀態。退避位置係手上表面成為較轉印輥501之支持框架502之下表面更下方之手之Z方向位置。構成第2手對302之手321、326之前端部彼此於X方向隔離而配置，故而轉印輥501之支持腿503可通過手間之間隙而移動。繼而，轉印輥501及其支持框架502通過手之上方。因此，可避免轉印輥501與第2手對302之干擾。

藉由如此般第2手對302退避，轉印輥501可進一步朝(+Y)方向移動。於轉印輥501通過後，第2手對302再次上升，且再次抵接於橡皮布BL之下表面(步驟S111)。伴隨上升，第2手對302之手321、326之吸附墊前進至吸附位置，開始進行來自負壓供給部92之負壓供給。藉此，再次抵接於橡皮布BL之下表面之第2手對302藉由吸附墊以較分離前更強之力吸附橡皮布BL。於以吸附墊進行之吸附開始後，第2手對302再次轉變為下降。藉此，於轉印輥501之上游側將橡皮布BL進一步向下方下拉，進行自基板SB之進一步剝離。

關於配置於更下游側之手對亦相同。即，轉印輥501在到達設定於較基板SB之(+Y)側端部更靠(+Y)側之結束位置之前反覆執行步驟S109~S111之處理(步驟S112)，藉此，各手對303~305在轉印輥501接近至對應於該手對而設定之下降開始位置之時序自橡皮布BL下表面分離而下降至退避位置。繼而，於轉印輥501通過後再次上升而吸附橡皮布BL之後，再次向下方移動。關於下降後之手對，自基板SB向下方到達充分分離之位置，且由位於更下游側之手對開始進行橡皮布BL之剝離後可停留於該位置。

圖6B表示於轉印輥501通過後第2手對302朝橡皮布BL上升，另一 方面第3手對303因轉印輥501之接近而下降至退避位置之狀態。又，圖6C表示轉印輥501通過第3手對303之位置，第3手對303朝橡皮布BL上升，另一方面位於轉印輥501之前方之第4手對304開始進行朝退避位置之下降之狀態。

又，圖7A表示於轉印輥501通過後之第4手對304轉變為上升，另一方面，第5手對305朝退避位置下降，且第3手對303吸附橡皮布BL並下降之狀態。進而，圖7B表示轉印輥501通過第5手對305之位置後到達基板SB之(+Y)側端部附近之狀態。該狀態下，自橡皮布BL向基板SB之圖案轉印大致結束。

如圖7C所示，若轉印輥501到達基板SB之(+Y)側端部或較其更靠(+Y)側之結束位置，則對於基板SB之整體，橡皮布BL之抵接及剝離完成。為了在轉印輥501到達基板SB之(+Y)側端部之前維持橡皮布BL之姿勢，需要於較基板SB之(+Y)側端部更靠(+Y)側支持橡皮布BL之第6手對306。

若轉印輥501到達結束位置(步驟S112)，則轉印輥501之移動停止(步驟S113)，並且轉印輥501向下方移動而自橡皮布BL分離。此處，將橡皮布BL之下表面中的轉印輥501最後抵接之位置稱為「抵接結束位置」。進而，將各手對301~306定位於相同高度。

於該時間點，橡皮布BL為如下之狀態：自基板SB完全分離，藉由橡皮布保持機構300之各手對301~306而支持。若剝離結束，則解除手對之吸附墊之吸附，吸附墊後退至後退位置(步驟S114)。繼而，上載台71向上方分離，將圖案轉印後之基板SB及橡皮布BL分別搬出(步驟S115)，藉此完成轉印處理。

若自轉印輥501側觀察轉印處理中之各手對移動，則為如下。於轉印輥501之行進方向前方側，位於最近前、亦即最上游側之手對在轉印輥501接近至特定距離時下降，從而形成轉印輥501之行進路徑。 另一方面，於轉印輥501之後方、亦即行進方向之上游側，下降至退避位置之手對上升而再次抵接於橡皮布BL，吸附橡皮布BL並將其下拉，藉此使橡皮布BL自基板SB剝離。

如此，伴隨轉印輥501之行進，於轉印輥501之行進方向前方(下游側)手對依序下降，從而確保轉印輥501之行進路徑。又，於轉印輥501與橡皮布BL抵接之抵接位置，擔載於橡皮布BL之上表面之圖案壓抵於基板SB，從而將圖案轉印至基板SB。另一方面，於轉印輥501之行進方向後方(上游側)，藉由手對吸附保持密接於基板SB之橡皮布BL並將其向下方下拉，從而自基板SB剝離。如此般於轉印輥501之上游側及下游側，各手對與其行進同步地上下移動，藉此，於本實施形態中，可使自橡皮布BL向基板SB之圖案轉印、與橡皮布BL自基板SB之剝離同時進行。

於此期間，於轉印輥501之行進方向下游側，於轉印輥501即將到達之前手對支持橡皮布BL，以此將橡皮布BL與基板SB之間隙恰當地維持。因此，可防止藉由因間隙變動所導致之橡皮布BL之上推量之變化而產生圖案之轉印位置偏移。即，該轉印裝置1可不對圖案造成損傷地良好地執行自橡皮布BL向基板SB之圖案轉印。

又，於轉印輥501之行進方向上游側，自位於上游側之手對依序吸附保持橡皮布BL並下降，藉此將橡皮布BL自基板SB剝離。橡皮布BL自上游側向下游側朝一方向剝離，又，剝離之進展速度藉由手對下降速度而控制，故而可良好地執行基板SB與橡皮布BL之剝離，從而防止因剝離之進展速度之變動而導致之圖案損傷。因此，該轉印裝置1可不對圖案造成損傷地良好地執行圖案轉印後之橡皮布BL與基板SB之剝離。

尤其根據轉印輥501之行進，於轉印輥501之上游側以最靠近轉印輥501之手對吸附橡皮布BL而使其自基板SB剝離，因此於轉印輥 501與橡皮布BL抵接之抵接區域之上游側端部，亦即於已剝離區域與未剝離區域之邊界可使基板SB與橡皮布BL所成之角(例如圖6C中之角θ)大致固定。藉此，可一邊將使兩者分離之剝離力保持為大致固定一邊進行剝離。藉此防止因剝離力之變動導致局部之應力集中作用於圖案，從而可更佳地進行剝離。

即，於本實施形態中，手311~366兼具於轉印輥501之行進方向前方(下游)側維持橡皮布BL之姿勢及與基板SB之間隙之功能、及於轉印輥501之行進方向後方(上游)側將橡皮布BL自基板SB剝離之作為剝離器件之功能。又，轉印輥501兼具使橡皮布BL抵壓於基板SB而使圖案轉印之作為原本之轉印輥之功能、及控制於其行進方向上游側執行之基板SB與橡皮布BL之剝離之進展的作為剝離控制輥之功能。

而且，於本實施形態中，同時進行自橡皮布BL向基板SB之圖案轉印、與轉印後兩者之剝離。藉此，可使自轉印至剝離之一連串之圖案形成製程短時間且連續地效率良好地結束，從而可提高圖案形成之產能。又，可利用一體之裝置執行轉印與剝離，從而與利用個別之裝置執行該等2個處理之先前之裝置相比，可大幅減小裝置之佔據面積。尤其手及轉印輥分別兼具用於轉印之功能與用於剝離之功能，故而可以與執行轉印或剝離之僅單一功能之裝置相同程度之尺寸而實現兩功能。

如以上說明般，於本實施形態中，橡皮布BL相當於本發明之「擔載體」，擔載作為「被轉印物」之圖案之橡皮布BL之上表面相當於「擔載面」，下表面相當於「另一面」。而且，基板SB相當於本發明之「轉印媒體」，其下表面相當於「轉印面」。又，於本實施形態中，一方面X方向相當於本發明之「第1方向」，另一方面Y方向相當於「第2方向」。

又，上述實施形態中，各手對301~306分別作為本發明之「保 持部」發揮功能，該等集合體即橡皮布保持機構300相當於本發明之「擔載體保持器件」。又，升降機構312、317、322、327、332、337、342、347、352、357、362、367及手升降控制部94形成一體且作為本發明之「保持部驅動機構」發揮功能。而且，手311之上表面311a相當於本發明之「抵接面」，貫通孔311b作為本發明之「凹部」發揮功能，又，貫通孔311c及吸附墊313作為本發明之「吸附部」發揮功能。又，於上述實施形態中，轉印輥501作為本發明之「輥構件」發揮功能。

又，於上述實施形態中，圖4之步驟S102相當於本發明之「第1步驟」，步驟S101、S103相當於本發明之「第2步驟」。又，步驟S106相當於本發明之「第3步驟」。又，一方面步驟S107、步驟S108、S110相當於本發明之「第4步驟」，另一方面S111相當於本發明之「第5步驟」。進而，步驟S104相當於本發明之「第6步驟」。

再者，本發明並不限定於上述實施形態，於不脫離其宗旨之範圍內除上述者以外可進行各種變更。例如，上述實施形態中，於Y方向排列有複數對之包含排列配置於X方向之1對升降手單元之手單元對。此係因必需使轉印輥501之支持腿503通過而產生之構成，並不限定於此種構成。例如亦可為如下之構成。

圖8A及8B係表示本發明之轉印裝置之其他構成例之圖。於圖8A所示之例中，將向Y方向延伸之導軌201、201以於X方向位置不同地設置2根，分別支持轉印輥202之兩端部之支持構件203分別卡合於導軌201。藉由此種機構，轉印輥202可向Y方向移動。該情形時，於手之間無需用於使轉印輥之支持腿通過之空間。因此，藉由連續地向X方向延伸設置之手211~216而可支持橡皮布BL。而且，排列於Y方向之複數個手211~216根據轉印輥202之行進而升降，以此可與上述實施形態同樣地執行轉印處理。

又，圖8B之例中，包含與上述實施形態同樣之輥單元50，但代替向X方向延伸設置之手，藉由於X方向排列配設複數個支持構件221而支持橡皮布BL。各支持構件221在設置於上表面之凹部具有吸附墊222。將排列於X方向之複數個支持構件221維持同一高度，並且排列於Y方向之各支持構件221依序升降，以此可與上述實施形態同樣地執行轉印處理。如此，保持橡皮布BL之保持部不僅由向X方向延伸設置之構件實現，亦可藉由排列於X方向之複數個構件實現。

又，例如，上述實施形態中，於朝向基板SB上推橡皮布BL之前執行對準調整，但亦可省略該處理。即，於搬入基板SB及橡皮布BL時可確保充分之位置精度之情形時、或不要求較高之位置對準精度之情形時亦可省略對準調整。又，於圖案化步驟中使用本裝置之情形時，形成於橡皮布BL之對準標記只要係藉由與圖案相同之材料、且與圖案同時圖案化者，則應轉印至基板SB之圖案與對準標記之間不會產生位置偏移。因此，於圖案化步驟中無需使版與橡皮布精密地位置對準，從而可省略對準調整。

又，例如，於上述實施形態中，於剝離後將橡皮布BL與基板SB一併搬出，但亦有將橡皮布BL殘置於裝置內之有效的情況。即，藉由版將橡皮布BL上之圖案形成材料圖案化之圖案化步驟、與將圖案化之圖案自橡皮布BL轉印至基板SB之轉印步驟之任一者均於本轉印裝置1中執行之情形時，只要於殘置有圖案化之橡皮布BL之狀態下搬出版，其次搬入基板SB進行轉印，則於此期間無需搬出橡皮布BL。

又，例如圖6B所示，於上述實施形態中，於暫時自橡皮布分離之手對再次抵接之前，與該手對之下游側鄰接之手對開始下降。另一方面，代替此，亦考慮暫時下降之手對再次抵接於橡皮布之後下一手對開始下降之態樣。該等主要應根據裝置之機構上之制約，例如手之升降速度或其衝程、排列間距、轉印輥之尺寸或移動速度等而適當選 擇，本發明並不限定於任一態樣。

又，例如，於上述實施形態中，設置有共計6對手對作為本發明之保持部，但保持部之數目並不限定於此，可根據橡皮布(擔載體)之尺寸或其剛性而適當增減。但，為了保持轉印輥未抵接之擔載體之兩端部之姿勢，較理想為於較轉印輥之移動範圍更上游側及更下游側分別各設置最低1個保持部。又，為了順利地進行轉印輥移動中之橡皮布之姿勢維持及自基板之剝離，較理想為於轉印輥之移動範圍內至少設置2個保持部。當然，藉由增多保持部之數目而可進行更細微之姿勢控制及剝離控制，但保持部之排列間距變小。因此，必需使幾個保持部同時下降，從而有可能導致增多數目之意義減弱，又，當然控制變得複雜。

又，例如，於上述實施形態中，將作為用於以較弱之吸附力吸附保持所搬入之橡皮布BL之吸附孔發揮功能之貫通孔311c設置於手311等上。亦可代替此，例如藉由使吸附墊313後退至貫通孔311b內之後退位置且於自橡皮布BL下表面分離之狀態下賦予負壓，而使貫通孔311b作為吸附孔發揮功能。

又，上述實施形態之控制塊體9包含負壓供給部92，但於可利用例如工廠效用等自外部供給之負壓之情形時，控制塊體9亦可不包含負壓供給部。

本發明可應用於自擔載有被轉印物之擔載體將該被轉印物轉印至轉印媒體之技術。尤其可以良好之品質且短時間進行藉由使擔載體與轉印媒體密接之後將擔載體剝離而執行之被轉印物之轉印，又，亦可謀求裝置之小型化。再者，被轉印物並不限於圖案，亦可為例如保護膜或抗蝕膜般之薄膜。

51‧‧‧導軌

71‧‧‧上載台

301~306‧‧‧手對

501‧‧‧轉印輥

502‧‧‧支持框架

BL‧‧‧橡皮布

SB‧‧‧基板

Claims (13)

1. 一種轉印裝置，其特徵在於包含：擔載體保持器件，其具有複數個保持部，該複數個保持部分別抵接於將被轉印物擔載於擔載面之平板狀之擔載體之與上述擔載面相反之另一面而保持上述擔載體；保持部驅動機構，其使上述複數個保持部個別地相對於上述另一面向接近之方向及分離之方向移動；轉印媒體保持器件，其將具有要轉印上述被轉印物之轉印面之轉印媒體以使上述轉印面接近對向於上述擔載面地加以保持；及輥構件，其具有以與上述擔載面平行之第1方向作為軸方向之輥形狀，藉由抵接於上述另一面且使上述擔載體向上述轉印媒體側局部性地移位而使上述被轉印物一邊抵接於上述轉印面，一邊向與上述擔載面平行且與上述第1方向正交之第2方向移動；且上述複數個保持部沿上述第2方向排列，於上述複數個保持部之各者設置有吸附上述另一面之吸附部，上述保持部之各者對應於上述輥構件之移動而依序自上述擔載體分離並移動至不與上述輥構件干擾之退避位置，於上述輥構件通過後，再次抵接於上述擔載體之上述另一面直到上述輥構件向上述另一面之抵接結束，再一邊藉由上述吸附部吸附上述擔載體一邊向自上述擔載體分離之方向移動。
2. 如請求項1之轉印裝置，其中上述保持部驅動機構使於上述第2方向上在上述輥構件之下游側抵接於上述另一面之上述保持部中最上游側之上述保持部，自上述擔載體分離並移動至上述退 避位置，於上述輥構件通過後使該保持部再次抵接於上述另一面，另一方面，使於上述第2方向上在上述輥構件之上游側抵接於上述另一面之上述保持部自上游側依序一邊維持利用上述吸附部對上述另一面之吸附，一邊向自上述擔載體分離之方向移動。
3. 如請求項1或2之轉印裝置，其中上述輥構件於上述第2方向上之上述另一面之較上游側端部更下游之抵接開始位置抵接於上述擔載體，且移動至上述第2方向上之上述另一面之較下游側端部更上游且較上述抵接開始位置更下游之抵接結束位置，於自上述抵接開始位置至上述抵接結束位置之間設置複數個上述保持部，進而，於上述第2方向上在上述抵接開始位置之上游側及上述抵接結束位置之下游側之各者，設置至少1個上述保持部。
4. 如請求項1或2之轉印裝置，其中於上述保持部之各者中，上述吸附部於利用上述保持部驅動機構使上述保持部自上述擔載體分離移動之前解除吸附，且於再次抵接後重新進行吸附。
5. 如請求項4之轉印裝置，其中上述吸附部於再次抵接後以較解除前更強之吸附力吸附上述另一面。
6. 如請求項5之轉印裝置，其中上述保持部之各者具有向上述第1方向延伸設置且抵接於上述另一面之抵接面，並且於該抵接面設置有用以配設作為上述吸附部之吸附墊之凹部，上述吸附墊可於後退至較上述抵接面更靠上述凹部內之後退位置、與前進至與上述抵接面為同一平面或超出上述抵接面之吸附位置之間進退。
7. 如請求項1或2之轉印裝置，其中於上述保持部之各者，上述吸附部沿上述第1方向設置有複數個。
8. 一種轉印方法，其包括：第1步驟，使複數個保持部分別抵接於將被轉印物擔載於擔載面之平板狀之擔載體之與上述擔載面相反之另一面而保持上述擔載體；第2步驟，將具有轉印上述被轉印物之轉印面之轉印媒體以使上述轉印面接近對向於上述擔載面地加以保持；第3步驟，藉由使形成為以與上述擔載面平行之第1方向作為軸方向之輥狀之輥構件抵接於上述另一面、且使上述擔載體向上述轉印媒體側局部性地移位，而使上述被轉印物抵接於上述轉印面；第4步驟，使上述輥構件一邊抵接於上述另一面，一邊向與上述擔載面平行且與上述第1方向正交之第2方向移動，並且對應於上述輥構件之移動而使上述複數個保持部依序自上述擔載體分離並移動至不與上述輥構件干擾之退避位置，且於上述輥構件通過後，使該保持部再次抵接於上述擔載體之上述另一面直到上述輥構件向上述另一面之抵接結束；及第5步驟，一邊藉由抵接於上述另一面之上述保持部保持上述擔載體，一邊使上述保持部向自上述擔載體分離之方向移動。
9. 如請求項8之轉印方法，其中於上述第4步驟中，使於上述第2方向上在上述輥構件之下游側抵接於上述另一面之上述保持部中最上游側之上述保持部，自上述擔載體分離而移動至上述退避位置，且於上述輥構件通過後使該保持部再次抵接於上述另一面，另一方面，使於上述第2方向上在上述輥構件之上游側抵接於上述另一面之上述保持部自上游側依序一邊保持上述擔載體，一邊向自上述擔載體分離之方向移動。
10. 如請求項8或9之轉印方法，其中於上述第4步驟之執行中執行上 述第5步驟。
11. 如請求項8或9之轉印方法，其中上述保持部之各者藉由吸附而保持上述另一面，且於上述第4步驟中，於自上述擔載體分離移動之前解除吸附，於再次抵接後重新進行吸附。
12. 如請求項11之轉印方法，其中上述保持部之各者於再次抵接後以較解除前更強之吸附力吸附上述擔載體之上述另一面。
13. 如請求項8或9之轉印方法，其中於上述第2步驟與上述第3步驟之間更包括第6步驟，該第6步驟係使上述複數個保持部一體地向與上述擔載面平行之方向移動而進行上述擔載體與上述轉印媒體之位置對準。