TWI552966B - Excess sludge reduction device - Google Patents

Description

剩餘污泥減量化裝置

本發明係關於剩餘污泥減量化裝置。

以往，水的淨化法之一已知有活性污泥法。其淨化原理係藉由微生物代謝處理對象之水所含的有機物，將有機物分解或去除。使用活性污泥法的水處理裝置，具備收容活性污泥的生物反應槽、及用於固液分離的沉澱池。該裝置由於處理性能高，因此在公共下水處理或工廠的排水處理等各領域被廣泛利用。

在活性污泥法中，微生物會隨著水處理而繁衍。繁衍至超過水處理所需要量的微生物即被稱為剩餘污泥，其係作為產業廢棄物被處分。為了處分大量剩餘污泥，必須確保具有充分處理能力的最終處分場，並且會產生對應於處分量的成本負擔。因而，希望儘量減少剩餘污泥的產生量。專利文獻1~3揭示有利用臭氧使污泥減量化的技術。

〔專利文獻1〕日本特開平6-206088號公報

〔專利文獻2〕日本特開2001-191097號公報

〔專利文獻3〕日本特開2008-221114號公報

用以將剩餘污泥減量化的以往之裝置具有注入臭氧之機構，該機構係對收容來自生物反應槽的污泥之槽或移送污泥的配管注入臭氧。污泥和臭氧氣體一接觸，構成污泥的微生物之細胞壁即被破壞，藉此使污泥可溶化。此外，藉由使污泥可溶化，使得蓄積在微生物體內之成分(溶解性有機物)因為細胞壁的破壞而釋出到外部。將該成分供給到生物反應槽能使剩餘污泥減量化。

隨著含有污泥的被處理水和臭氧氣體之混合而產生泡。該泡中含有污泥的可溶化處理所使用之臭氧氣體。由於臭氧具有強氧化力，含有臭氧之氣體的泡到達泵等機器時，會有機器的零件腐蝕之虞。

本發明之目的在於提供剩餘污泥減量化裝置，其能充分有效率地處理因為被處理水和臭氧氣體之混合所產生的泡，藉此能充分地抑制含有臭氧氣體的泡造成的不良情況。

本發明的一態樣之剩餘污泥減量化裝置，係具備：一邊讓含有生物系污泥的被處理水和臭氧氣體接觸一邊移送的流路、係為流路的一部分且流路剖面積擴張的擴張部、以及設置在擴張部的消泡裝置。

根據本發明，能充分有效率地處理因為被處 理水和臭氧氣體之混合所產生的泡，藉此能充分地抑制含有臭氧氣體的泡造成的不良情況(例如，附加的裝置和周邊設備之腐蝕及功能降低)。

L7‧‧‧循環線路(循環路)

10‧‧‧剩餘污泥減量化裝置

13‧‧‧流路

13a‧‧‧第1路徑(第1部分)

13b‧‧‧第2路徑(第2部分)

13c‧‧‧折返部(彎曲部)

13d‧‧‧第1路徑

13e‧‧‧第2路徑

13f‧‧‧第3路徑

13g‧‧‧第4路徑

19‧‧‧排出口

20‧‧‧消泡裝置

21‧‧‧主體部(擴張部)

25‧‧‧葉輪

28‧‧‧電動機

圖1係本發明的一態樣之具備剩餘污泥減量化裝置的排水處理系統之模型示意之構造圖。

圖2係圖1所示之剩餘污泥減量化裝置的模型示意之構造圖。

圖3係設置在流路的出口附近之消泡裝置的一例之模型示意之剖視圖。

圖4係流路中設置有消泡裝置的部位之模型示意之剖視圖。

圖5係消泡裝置的構造之分解狀態的模型示意之立體圖。

圖6係消泡裝置的底面之模型示意之剖視圖。

圖7係剩餘污泥減量化裝置具有的流路之另一例之模型示意之立體圖。

圖8係剩餘污泥減量化裝置具有的流路之另一例之模型示意之立體圖。

圖9係剩餘污泥減量化裝置具有的流路之另一例之模型示意之立體圖。

圖10係剩餘污泥減量化裝置具有的流路之另一例之 模型示意之縱剖視圖。

圖11係在污泥返送線路設置有剩餘污泥減量化裝置的情形之構造的模型示意之圖。

以下，一邊參照圖式一邊說明本發明的複數個實施形態。此外，對圖式的說明中之同一要素附加同一符號而省略重複說明。圖式及關連之記述係用於說明本發明之實施形態，並非限定本發明之範圍。

<排水處理系統>

圖1係具備使污泥和臭氧氣體接觸的剩餘污泥減量化裝置10之排水處理系統100的模型示意之構造圖。排水處理系統100具備：配合必要而設置之最初沉澱池1、配置在其下游側之生物反應槽2、設置在其下游側之最終沉澱池3、用以將從最終沉澱池3排出的污泥之至少一部分送回生物反應槽2之污泥送回線路L5a、以及設置在污泥送回線路L5a之剩餘污泥減量化裝置10。以下，說明各構造。此外，此處所謂的「線路」意思是用以移送流體之配管。在線路的途中適當設置有不圖示之泵、閥、壓力計、溫度計、流量計及水位計等。

最初沉澱池1係用於藉由使通過線路L1而供給之排水中所含的小垃圾等沉澱而從排水去除垃圾者。此外，於處理對象的排水中含有大垃圾及砂等之情形，在比 最初沉澱池1更上游側設置沉砂池(不圖示)，在沉砂池去除該等為佳。

生物反應槽2具備：讓活性污泥(生物系污泥)滯留既定時間之槽主體2a、在槽主體2a內讓空氣通氣之散氣裝置2b、以及將空氣供給到散氣裝置2b之鼓風機2c。通過線路L2從最初沉澱池1將上清水供給到生物反應槽2。該上清水的BOD(Biochemical oxygen demand)為100~1000mg/L左右較佳，100~3000mg/L左右亦可。藉由收容在槽主體2a的活性污泥之代謝，上清液所含的有機物及氮化合物(例如氨)等，被分解成二氧化碳、水、氮氣等。

通過線路L3從生物反應槽2將處理水和活性污泥之混合液供給到最終沉澱池3。最終沉澱池3係用於分離處理水和活性污泥者。最終沉澱池3的上清水是通過線路L4排出，流放到河川或海等。該上清水的BOD(Biochemical oxygen demand)為1~160mg/L左右較佳，1~2000mg/L左右亦可。此外，流放之前亦有配合需要例如實施氯之處理的情形。

在最終沉澱池3的底部連接有線路L5。在最終沉澱池3內，沉降的活性污泥是通過線路L5排出。線路L5在途中分歧，分歧的一方之線路為上述污泥送回線路L5a。從最終沉澱池3排出的活性污泥之至少一部分係通過污泥送回線路L5a而返回生物反應槽2。另一方面，分歧的另一方之線路為剩餘污泥排出線路L5b。剩餘污泥 施行脫水處理等之後，被運送到例如處分場。

剩餘污泥減量化裝置10(以下，有時僅稱之「裝置10」)，係用於讓藉由污泥送回線路L5a移送的活性污泥與臭氧接觸，促進活性污泥的可溶化，再將其供給至生物反應槽2，藉此使剩餘污泥減量化(使剩餘污泥的產生量減少化)者。若在不運轉裝置10、使排水處理系統100作業的情況下，將產生的剩餘污泥量設為100質量份，則藉由運轉裝置10，較佳能將100質量份以上的活性污泥導入裝置10，更佳能將300質量份以上的活性污泥導入裝置10。藉此，能充分地減少剩餘污泥(藉由線路L5b移送的活性污泥)之量。

如圖2所示，裝置10係設置在從污泥送回線路L5a分歧的分歧線路L6之途中。裝置10具備：使活性污泥和臭氧氣體接觸之處理部12、循環線路(循環路)L7、以及設置在處理部12的下游側(處理部12的出口附近)之消泡裝置20。循環線路L7係從處理部12的出口15的上游側附近分歧，且連接在比分歧線路L6的處理部12更靠上游側之位置。進一步，裝置10係於循環線路L7的途中，從上游側依序具備空穴產生器16和臭氧氣體注入用之噴射器(氣體注入器)18。此外，循環線路L7亦可從比處理部12的出口15更靠下游側的分歧線路L6分歧，亦可連接在處理部12的入口14的下游側附近。

裝置10亦可至少將處理部12和循環線路L7配置在共通的空間(不圖示)而構成，處理部12包含流 路13及消泡裝置20，循環線路L7包含噴射器(氣體注入器)18。藉此，由於裝置之小型化而能更有助益。圖2中的虛線之四隅角係圍繞著必須配置在共通的空間之構造。此外，臭氧氣體(含有臭氧之氣體)例如藉由將空氣或氧氣供給到放電式之臭氧產生器(不圖示)而生成。

處理部12係將含有通過分歧線路L6供給的活性污泥之懸濁水(被處理水)進行臭氧處理。如圖2所示，處理部12具有迂迴的流路13，進一步可具有不圖示之水位計、壓力計等。藉由讓活性污泥和臭氧氣體之混合流體在流路13內流動，使構成活性污泥的微生物之細胞壁因為臭氧的氧化力而被破壞。藉此進行活性污泥的可溶化。流路13具有入口14和位於比入口14高的位置之出口15。且，流路13具有朝橫向(較佳為大致水平方向)延伸的路徑13a、13b且從入口14經由迂迴的路徑到達出口15。流路13具有朝大致水平方向延伸的路徑13a、13b，因此在該等路徑能使活性污泥和臭氧氣體之混合流體產生擠壓流。此外，能充分地抑制流路13內的氣體及泡之滯留，因此能充分提升活性污泥和臭氧氣體之接觸效率。此外，本發明中所謂的「大致水平方向」的意思是與水平方向形成的角度為10°以下，在此範圍內，流路13可以向上傾斜或向下傾斜。流路13可藉由筒狀的管(例如圓筒管)構成。筒狀的管可使用市售之配管。配管亦可使用金屬製或樹脂製之配管。

流路13具有複數個第1路徑(第1部分) 13a、第2路徑(第2部分)13b、以及折返部(彎曲部)13c之組合，第1路徑(第1部分)13a係朝大致水平方向延伸，第2路徑(第2部分)13b係朝與第1路徑13a不同的方向延伸，折返部(彎曲部)13c係連結第1路徑13a和第2路徑13b。在一個組合中，第2路徑13b係設置在比第1路徑13a高的位置且相對於第1路徑13a大致平行地延伸。混合流體係在第1路徑13a朝圖2所示之向左的箭頭方向流動，其方向在折返部13c反轉，在第2路徑13b朝圖2所示之向右的箭頭方向流動。混合流體通過流路13內，藉此從位於下方之入口14被移送到位於上方之出口15。在折返部13c使流動的方向反轉，藉此能充分地混合活性污泥和臭氧。根據本實施形態，能使臭氧充分地溶解在含有活性污泥的被處理水，因此有能夠不在流路13內導入過剩量的臭氧氣體之優點。此外，本發明中的上方之意思是鉛垂方向的上方，下方的意思是鉛垂方向的下方。

在以往使用臭氧氣體的污泥減量化技術中，由於對活性污泥注入臭氧氣體時會產生大量的泡，因此對泡之處理必須講求充分之對策。相對於此，本實施形態中，能在流路13內形成混合流體的擠壓流。因此，在流路13內即使一時產生泡，泡和活性污泥(包含微生物的懸濁液)會一起在迂迴的流路13內混合流動某種程度的的時間，因此在到達出口15時泡之量已充分地降低。本發明人等已在製作的實驗計畫中以目視確認這種情形。根 據本實施形態可充分地抑制隨著臭氧處理而來的泡之產生量，而能讓用於泡之處理的機構(消泡裝置20)成為簡易的機構(參照圖3)。且，也能充分地減少因為泡之處理而產生的排臭氧氣體散播到大氣中的量，因此也能讓用於使排臭氧氣體無害化的機構成為簡易的機構。

在流路13中，從入口14到出口15的鉛垂方向之距離(入口14和出口15的高低差)為1.0~1.5m左右較佳，0.5~3.0m左右亦佳。流路13的流路剖面積為6.0×10^-4~7.3×10^-2m²左右較佳，3.8×10^-4~2.0×10^-1m²左右亦佳。第1路徑13a及第2路徑13b的長度皆為1.5~3.0m左右較佳，1.0~4.0m左右亦佳。構成處理部12的流路13的流路剖面比後述之循環線路L7的流路剖面積更大且流路13比循環線路L7更長為佳。流路13中的混合流體的線路速度，從讓活性污泥和臭氧氣體的接觸及反應充分地進行之觀點而言，較佳為0.05~0.2m/秒，更佳為0.07~0.15m/秒。此外，流路13內之混合流體的pH，從抑制臭氧的自己分解之觀點而言，較佳為3~8，更佳為3~6。

如圖2所示，循環線路L7係從處理部12的出口15的上游側附近分歧，連接在比分歧線路L6的處理部12更靠上游側之位置。由於混合流體反覆通過循環線路L7，而能在空穴產生器16及噴射器18對活性污泥反覆施加衝撃力。此外，即使對可藉由不圖示之臭氧產生器製造的含有臭氧之氣體的臭氧濃度有限制之情形，仍能藉 由採用循環線路L7而充分提高對混合流體的臭氧注入量。此外，從對活性污泥施加充分強度的衝撃力之觀點而言，循環線路L7中的混合流體的線路速度較佳為0.5~2.0m/秒，更佳為0.8~1.8m/秒。

空穴產生器16是用於對活性污泥施加衝撃力者。藉由將循環線路L7的流路剖面局部地縮窄而利用文丘里效應形成減壓部位。藉此，能在循環線路L7內產生空穴。例舉孔口作為空穴產生器16之一例。只要藉由使用後述之噴射器18能對活性污泥充分地施加衝撃力，則亦可不採用空穴產生器16。

噴射器18係利用循環線路L7內的流體之流動者，藉由文丘里效應製造減壓狀態，藉此在循環線路L7內注入臭氧氣體。為了製造減壓狀態，例如可使用孔口將循環線路L7的流路剖面局部地縮窄。在循環線路L7內供給臭氧氣體的機構不限定於噴射器18，例如亦可使用通常的配管及在其途中設置的氣體流量控制器，將臭氧氣體注入循環線路L7內。

排出管L6a的最下游側係連接在污泥送回線路L5a(圖1及圖2)。排出管L6a內的處理液係豐富地含有蓄積在微生物的體內之成分(溶解性有機物)。該處理液係通過污泥送回線路L5a供給到生物反應槽2。藉由生物反應槽2內的活性污泥分解該處理液所含的溶解性有機物，使剩餘污泥減量化。此外，亦可將排出管L6a的前端側連接在生物反應槽2以取代連接在污泥送回線路 L5a。

消泡裝置20係用於對流路13內流動的流體實施消泡處理者。消泡裝置20設置在流路13的最上段之路徑。即，消泡裝置20設置在出口15的附近，與循環線路L7的連接部相同之位置或者比連接部更靠近上游側。此處所謂「附近」的意思是距離出口15在2m以內之位置。藉由在流路13的這種位置設置消泡裝置20，能在該位置充分地減少含有臭氧氣體的泡F。藉此，能更進一步確實地抑制在循環線路L7混入泡F。且，能充分地防止在比流路13更靠下游側的流路(例如排出管L6a)產生泡F造成的堵塞、或產生臭氧氣體造成的腐蝕。以下，一邊參照圖3~6，一邊說明消泡裝置20。

如圖3所示，消泡裝置20設置在流路13的上側。另一方面，循環線路L7係於比消泡裝置20更靠下游側，從流路13的下側分歧。此外，循環線路L7亦可從排出管L6a的下側分歧。如圖3所示，循環線路L7的基端側位於消泡裝置20的下游。循環線路L7的基端側連接在排出口19，該排出口19係設置成從流路13下側的內面貫通到外面。即，循環線路L7的基端側連接在流路13且從流路13的下側分歧。藉由通過設置在流路13下側的排出口19使混合流體流入循環線路L7，能確實地抑制在循環線路L7混入泡F。本發明人等已在製作的實驗計畫中以目視確認這種情形。

消泡裝置20具備：連結在流路13上側的主 體部(擴張部)21、配置在主體部21內的葉輪25、以及用於使葉輪25旋轉的電動機28。本實施形態中，藉由葉輪25和電動機28構成消泡裝置。在主體部21內形成有水平方向的剖面形狀為圓形的空間21s。如圖4所示，主體部21的上端側係藉由板件22關閉，另一方面，主體部21的下端側與流路13連通。板件22相對於設置在主體部21上端側的凸緣21a，可裝卸自如，且藉由螺栓23裝設在凸緣21a。板件22具有：用以通過葉輪25的軸25a之開口22a、及用以排出藉由消泡處理而從液體分離的含有臭氧之氣體的開口22b(參照圖3及圖5)。此外，開口22a被密封，以免含有臭氧之氣體從其內面和軸25a的外面之間漏出。

藉由讓主體部21連結在流路13，使流體流動的空間局部地擴張。因此在設置有主體部21的部位，混合流體的流速下降，而能更確實地將泡F取入主體部21內。而且，在主體部21內可藉由讓葉輪25旋轉而消泡。消泡裝置20的內容積V1和設置有消泡裝置20的部位之流路13的內容積V2之合計容積、與該部位的流路13的內容積V2之比(V1+V2)/V2為1.1~2.0左右為佳，1.2~1.8左右也可以。若該比值為1.1以上則能充分確實地將泡F取入消泡裝置20內，另一方面，若為2.0以下則能抑制消泡裝置20的大小變得過度地大。

葉輪25係具有葉片且構成為將該葉片旋轉驅動者。更具體而言，葉輪25具備軸25a、朝與軸25a正交 的方向擴展的圓板25b、以及設置在圓板25b下面側的六片之葉片25c。軸25a係藉由電動機28的動力而旋轉。圓板25b係隨著軸25a的旋轉而旋轉。葉輪25的旋轉數為2000~5000旋轉/分鐘左右為佳。

圓板25b的周緣和主體部21的內壁之間隙(圖6中的幅Wb)為1~5mm左右較佳，1~3mm左右亦佳。若該間隙(幅Wb)為1mm以上，則能充分地防止圓板25b的周緣接觸於主體部21的內壁，另一方面，若為5mm以下則能充分地抑制泡F通過該間隙到達開口22b。

六片之葉片25c是從圓板25b的中心側以放射狀延伸到外側。葉片25c的前端和主體部21的內壁之間隙(圖6中的寬Wc)為2~5mm左右較佳，2~4mm左右亦佳。若該間隙(寬Wc)為2mm以上，則能充分地防止葉片25c的前端接觸在主體部21的內壁，另一方面，若為5mm以下則能藉由葉片25c的旋轉充分確實地消泡。葉片25c的高度為10~50mm左右較佳，15~35mm左右亦佳。此外，葉片25c的片數並不限定於六片。

本實施形態中，例示具備葉輪25的消泡裝置，但亦可取代之而採用具備化學性手段的消泡裝置。例如，亦可採用在擴張部具備添加消泡劑的機構之裝置作為消泡裝置。此外，藉由消泡處理而從流路13內的流體分離的臭氧氣體，被移送到用以使臭氧氣體無害化的設備、或再利用於污泥的處理為佳。

藉由剩餘污泥減量化裝置10，可利用設置在流路13的消泡裝置20對流動在流路13的流體實施消泡處理。特別是，流路13的空間因為消泡裝置20的主體部21，而朝與流體流動的方向正交的方向擴張(流路剖面局部地擴張)。藉由這樣的構造，通過擴張部(主體部21)附近的流體之流速變慢，藉由促進含有臭氧氣體的泡和被處理水之分離(氣液分離)，能對泡確實地實施消泡處理。例如，若是藉由泵移送大量殘留有含有臭氧氣體的泡之液體，則有泵產生空轉、或泵的零件被臭氧氣體腐蝕之虞。相對於此，在藉由泵移送液體之前，對流路13內的流體實施消泡處理，則能藉此充分地抑制該等不良情況。

以上，已詳細說明本發明之實施形態，但本發明並不必須限定於上述實施形態，可在不超出其要旨之範圍內進行各種變形。例如，上述實施形態中，例示具有圖2所示之構造的流路13之裝置10，但流路13的態樣只要是具有朝與鉛垂方向交叉的方向延伸之路徑且從入口14迂迴至出口15者，則不受此限定。例如，流路13如圖7~10所示之態樣亦佳。若是該等態樣，能謀求裝置全體充分的精簡化。

圖7所示之態樣係大致矩形的流路13A朝鉛垂方向設置成多段狀。即，圖7所示之流路13具有：第1路徑13d，朝大致水平方向延伸；第2路徑13e，與第1路徑13d設置在大致相同的高度且朝對於第1路徑13d大 致正交的方向延伸；第3路徑13f，與第2路徑13e設置在大致相同的高度且朝對於第2路徑13e大致正交的方向延伸；及第4路徑13g，與第3路徑13f設置在大致相同的高度且朝對於第3路徑13f大致正交的方向延伸；藉由將該等直列地連結，使第1~第4路徑13d~13g在平面觀察為配置成呈大致矩形。而且，圖7所示之流路13係於上下方向多段狀地具有如流路13A之大致矩形的流路。圖7所示之態樣係具有四段之流路13A。圖7中的箭頭係指示混合流體的流動方向。如該等箭頭所示，在上下方向相鄰的流路13A中的混合流體之流動方向是構成為逆向。藉由採用該構造，具有能使裝置全體精簡之優點。另外，此處就容易製造的觀點，例示了構成大致矩形的流路13A，但流路13A的形狀也可以不是大致矩形，例如平面觀察為大致三角形、角度不是大致直角的四角形(例如平行四邊形(包含菱形)及梯形)，或五角形以上的多角形亦佳。

圖8所示之態樣係U字狀的路徑在鉛垂方向設置成多段狀(三段)。即，圖8所示之流路13具有：配置在大致水平方向的第一段U字狀之路徑13h、在其上方且配置在大致水平方向的第二段U字狀之路徑13i、以及其上方且配置在大致水平方向的第三段U字狀之路徑13j，該等係藉由向上管13k、13l直列地連結。圖8中的箭頭指示混合流體的流動方向。如該等箭頭所示，在上下方向相鄰的U字狀路徑中的混合流體之流動方向構成為逆 向。藉由採用該構成，具有能使裝置全體精簡之優點。

圖9所示之態樣係螺旋狀的流路13從下方朝向上方延伸者。螺旋狀的流路13的切線方向和水平方向構成的角(圖9中的角度α)較佳為10°以下，更佳為0~3°。若角度α為10°以下，能使流路13內充分地產生混合流體的擠壓流，而能抑制混合流體所含的氣體或泡比液相更顯著地提早到達出口15。圖9中的箭頭係指示混合流體的流動方向。

圖10所示之態樣係由容器12a和複數之間隔板12d、12e構成流路13，容器12a係大致直方體形狀，複數之間隔板12d、12e係將容器12a彼此對向的內側面12b、12c分別作為基端。間隔板12d、12e係從下方向上方交替地設置。於此情形，流路13的流路剖面形狀典型為矩形。圖10中的箭頭係指示混合流體的流動方向。如圖10所示，流路13係由第1路徑13a、第2路徑13b、以及折返部13c構成。

上記實施形態中，例示在從污泥送回線路L5a分歧的分歧線路L6之途中設置處理部12的情形，但亦可不採用分歧線路L6，而如圖11所示在污泥送回線路L5a設置處理部12。或亦可構成為將生物反應槽2內的水直接導入裝置10。配合供給到裝置10的被處理水之性狀(例如BOD、活性污泥濃度等)，適當設定其供給量等的條件為佳。

上述實施形態中，例示以公共下水或工場排 水作為處理對象且以剩餘污泥的減量化為目的之水處理裝置(裝置10)，但本發明之水處理裝置的處理對象及目的皆不受限於此。其處理對象只要是含有必須分解處理的有機物之水即可，作為具體例可舉出下水處理水(所謂的中水)、工場排水的處理水及水道水等。而且，本發明之水處理裝置亦可以下水處理水或工場排水的處理水之脫色、脫臭及消毒等為目的，亦可以消除霉臭味為目的。

本發明係提供剩餘污泥減量化裝置，其能充分有效率地處理因為被處理水和臭氧氣體之混合而產生的泡，藉此能充分地抑制源自含有臭氧氣體的泡之不良情況。

13‧‧‧流路

19‧‧‧排出口

20‧‧‧消泡裝置

21‧‧‧主體部(擴張部)

21s‧‧‧圓形的空間

22‧‧‧板件

22b‧‧‧氣體的開口

25‧‧‧葉輪

28‧‧‧電動機

F‧‧‧泡

L7‧‧‧循環線路(循環路)

V1、V2‧‧‧容積

Claims (6)

1. 一種剩餘污泥減量化裝置，具備：一邊讓含有生物系污泥的被處理水和臭氧氣體接觸一邊移送的流路、係為流路的一部分且流路剖面積擴張的擴張部、以及設置在擴張部的消泡裝置。
2. 如請求項1之裝置，其中，前述流路具有：朝橫向延伸的第1部分、朝橫向延伸且朝與前述第1部分不同的方向延伸的第2部分、以及連結前述第1部分和前述第2部分的彎曲部。
3. 如請求項2之裝置，其中，從前述流路的上游側朝向下游側，按照前述第1部分、前述彎曲部及前述第2部分之順序配置，前述第2部分位於比前述第1部分高的位置。
4. 如請求項1至3中任一項之裝置，其中，進一步具備：讓施行前述臭氧氣體之處理後的處理水之至少一部分從前述流路流出之排出口、及讓來自前述排出口的前述處理水回到前述流路的上游側之循環路，前述排出口係形成在前述流路中形成有前述擴張部的位置或比該位置更靠下游側。
5. 如請求項4之裝置，其中，前述排出口為前述流 路的下側。
6. 如請求項1至3項中任一項之裝置，其中，前述消泡裝置為葉輪。