TWI526683B - Method of setting parameters for common setting between optical inspection units - Google Patents
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Description
本發明係關於一種光學檢測機台的設定方法,更特別的是關於一種光學檢測機台間共用設定參數的設定方法。
自動光學檢測(AOI)在軟式或硬式電路板上的檢測係扮演著舉足輕重的腳色。舉例來說,在液晶顯示器、半導體積體電路之晶片以及相關電路的製造過程中皆須經過精密的自動光學檢測。
自動光學檢測係由光學檢測機台來進行,在檢測過程中,係以光線照射至電路板上,再透過取像裝置擷取電路板被照射後的圖像來進行瑕疵的判斷,也因此,光學檢測機台上之照明裝置所提供的光源品質在檢測上就具有著相當的影響力,一旦光源品質不佳,檢測過程即可能出現誤判,造成出貨的產品品質不穩定。
傳統上,光學檢測機台上的光源裝置皆是由人工逐一根據實際檢測結果來調整各光學檢測機台之光源裝置的光源輸出設定值,該光源輸出設定值即為驅動光源裝置之光源驅動器的驅動值,透過人工調整來將單一機台上之光源裝置設定為符合測試規格所需的光輸出值。然而,一旦機台數量眾多時,無論是在裝機設定階段或是日後機台維護階段,透過人工的逐一設定調整不但
費時且亦無法使各機台間之檢測標準均一化,這樣的缺點往往造成通過檢測的產品無法維持穩定的產品品質。
本發明之一目的在於使各個光學檢測機台間的檢測條件均一化。
本發明之另一目的在於使複數光學檢測機台的參數設定得以快速完成且達到相同的設定目標。
為達上述目的及其他目的,本發明提出一種光學檢測機台間共用設定參數的設定方法,用以將一基準光學檢測機台的基準光源輸出設定值對應移轉至其他光學檢測機台,包含:一基準灰階值取得步驟、一測試灰階值取得步驟、一光源裝置調整步驟及一光源裝置設定步驟。其中,該基準灰階值取得步驟係提供一標準片至該基準光學檢測機台中,透過該基準光學檢測機台之光源裝置照射該標準片以藉由該基準光學檢測機台之取像裝置取得該標準片於照射下的基準圖像,自該基準圖像取得對應的一基準灰階值;該測試灰階值取得步驟係提供該標準片至該其他光學檢測機台中,透過該其他光學檢測機台之光源裝置照射該標準片以藉由該其他光學檢測機台之取像裝置取得該標準片於照射下的測試圖像,自該測試圖像取得對應的一測試灰階值;該光源裝置調整步驟係根據該測試灰階值與該基準灰階值的比較對應調整該其他光學檢測機台之光源裝置的輸出光強度,直至該測試灰階值與該基準灰階值的差值滿足一預設條件;及該光源裝置設定步驟,係根據該光源裝置調整步驟中之滿足該預設
條件下的輸出光強度,紀錄該其他光學檢測機台之光源裝置的光源輸出設定值以作為對應之該其他光學檢測機台的一校正參數。
於本發明之一實施例中,於該光源裝置設定步驟完成後係以該標準片對待調整之另一其他光學檢測機台再次進行該測試灰階值取得步驟、該光源裝置調整步驟及該光源裝置設定步驟,以完成所有待調整之其他光學檢測機台的校正參數之設定。
於本發明之一實施例中,於該基準光學檢測機台及該其他光學檢測機台具有複數光源裝置時,係針對單一光源裝置依序取得該基準光學檢測機台之光源裝置於該標準片下之各別的基準灰階值,以供該其他光學檢測機台對應之光源裝置依序地對應設定。
於本發明之一實施例中,於該光源裝置調整步驟中,該預設條件係為該測試灰階值與該基準灰階值之差值的絕對值必須小於一預定值,且於未小於該預定值時係進一步判斷該測試灰階值是否大於該基準灰階值,於該測試灰階值大於該基準灰階值時降低該其他光學檢測機台對應之光源裝置的光源輸出設定值,以及於該測試灰階值小於該基準灰階值時增加該其他光學檢測機台對應之光源裝置的光源輸出設定值。
於本發明之一實施例中,該基準光源輸出設定值的取得係藉由提供一電路板至該基準光學檢測機台中,並基於取得正確之該電路板的影像的條件下,對該基準光學檢測機台之光源裝置所設定的輸出光強度,以作為該基準光源輸出設定值。
藉此,透過一標準片作為多機台之間的校準目標物,使得多機台之間可依循一準則規範自動地將各機台的實際照射條件均一化,進一步地,本
案可使所有光學檢測機台的檢測標準趨於一致,進而使通過檢測的所有產品具有均一化的品質標準。
111‧‧‧第一光源裝置
112‧‧‧第二光源裝置
120‧‧‧取像裝置
130‧‧‧運算主機
140‧‧‧承載台
200‧‧‧待測目標物
S100~S430‧‧‧步驟
第1圖係為本發明一實施例中之光學檢測機台的示意圖。
第2圖係為本發明一實施例中之光學檢測機台間共用設定參數的設定方法流程圖。
第3圖係為本發明一實施例中之光學檢測機台間共用設定參數的設定方法細部流程圖。
為充分瞭解本發明之目的、特徵及功效,茲藉由下述具體之實施例,並配合所附之圖式,對本發明做一詳細說明,說明如後:首先請參閱第1圖,係為本發明一實施例中之光學檢測機台的示意圖。進行各種電路板檢測的光學檢測機台上包含:至少一光源裝置(第1圖係示例出第一光源裝置111及第二光源裝置112)、取像裝置120、運算主機130及承載台140。該承載台140上係用於置放待測目標物200,透過該第一光源裝置111及該第二光源裝置112的光線照射來使該待測目標物200對應地產生反射光或散射光等光線並由該取像裝置120取得該待測目標物200的圖像,以供該運算主機130處理並辨識是否具有缺陷。其中該第一光源裝置111及第二光源裝置112通常係由運算主機130做統一的照射強度設定與管理。
本發明係藉由提供一電路板(作為該待測目標物200)至基準光學檢測機台中,並基於取得正確之該電路板的影像的條件下取得此時之光源裝置所設定的輸出光強度,做為後續其他光學檢測機台的設定範本(作為一基準光源輸出設定值),亦即,本發明透過將一光學檢測機台選擇為該基準光學檢測機台,並於該基準光學檢測機台中對此次量產之待測目標物200設定適當之照射光強的條件,在以此條件下之對應光源裝置的輸出光強度設定值作為一基準光源輸出設定值,供後續其他光學檢測機台的設定。
接著請參閱第2圖,係為本發明一實施例中之光學檢測機台間共用設定參數的設定方法流程圖。本發明之光學檢測機台間共用設定參數的設定方法,係用以將一基準光學檢測機台的基準光源輸出設定值對應移轉至其他光學檢測機台,包含:一基準灰階值取得步驟S100、一測試灰階值取得步驟S200、一光源裝置調整步驟S300及一光源裝置設定步驟S400。此外,於該光源裝置設定步驟S400結束後欲設定另一光學檢測機台時則可再回到該測試灰階值取得步驟S200來執行另一光學檢測機台的基準光源輸出設定值移轉程序。
該基準灰階值取得步驟S100係提供一標準片至該基準光學檢測機台中,透過該基準光學檢測機台之光源裝置照射該標準片以藉由該基準光學檢測機台之取像裝置取得該標準片於照射下的基準圖像,自該基準圖像取得對應的一基準灰階值。
該測試灰階值取得步驟S200係提供該標準片至該其他光學檢測機台中,透過該其他光學檢測機台之光源裝置照射該標準片以藉由該其他光學檢測機台之取像裝置取得該標準片於照射下的測試圖像,自該測試圖像取得對應的一測試灰階值。
該光源裝置調整步驟S300係根據該測試灰階值與該基準灰階值的比較對應調整該其他光學檢測機台之光源裝置的輸出光強度,直至該測試灰階值與該基準灰階值的差值滿足一預設條件。
該光源裝置設定步驟S400係根據該光源裝置調整步驟中之滿足該預設條件下的輸出光強度,紀錄該其他光學檢測機台之光源裝置的光源輸出設定值以作為對應之該其他光學檢測機台的一校正參數。
接著請參閱第3圖,係為本發明一實施例中之光學檢測機台間共用設定參數的設定方法細部流程圖。其中,該第一機台即為該基準光學檢測機台,該第二機台即為該其他光學檢測機台。
第3圖中,步驟S110~S160係屬於該基準灰階值取得步驟S100,而如前所述,於該基準灰階值取得步驟S100前係藉由提供一電路板至該基準光學檢測機台中,並基於取得正確之該電路板的影像的條件下,對該基準光學檢測機台之光源裝置所設定的輸出光強度,以作為該基準光源輸出設定值(即光源驅動器數值Di)。第3圖中係加入該基準光學檢測機台及該其他光學檢測機台具有複數光源裝置時的設定方式,該基準光學檢測機台與該其他光學檢測機台間的光源裝置係互相對應,舉例來說,當光學檢測機台具有UV光產生裝置及可見光產生裝置時,UV光產生裝置的設定值就只對應至其他機台之UV光產生裝置,據此,於該基準光學檢測機台及該其他光學檢測機台具有複數光源裝置時,係針對單一光源裝置依序取得該基準光學檢測機台之光源裝置於該標準片下之各別的基準灰階值Gi,以供該其他光學檢測機台對應之光源裝置依序地對應設定(亦即取得各個光源裝置的光源驅動器數值Di,各個光源驅動器數值Di各有對應之基準灰階值Gi)。
第3圖中,步驟S210~S230係屬於該測試灰階值取得步驟S200;步驟S310~S340係屬於該光源裝置調整步驟S300;步驟S410~S430係屬於該光源裝置設定步驟S400。
第3圖中,如步驟S210~S230,第二機台一開始運作時係直接先取用第一機台的光源驅動器數值Di(於光學檢測機台具有複數光源裝置時係針對對應之光源裝置各別取用對應之Di值,例如第一機台之UV光產生裝置的設定值Di就只對應至第二機台之UV光產生裝置的設定值Di),再根據所取得之對應各光源裝置之灰階值Gj與第一機台(基準光學檢測機台)對應之光源裝置的基準灰階值Gi的比較來自動地設定第二機台(待調整之其他光學檢測機台)各個光源裝置自己的適當參數,即設定第二機台各光源裝置之光源驅動器數值Di,如後續步驟S310~S340。
第3圖中,如步驟S310~S340,隸屬於該光源裝置調整步驟S300,該預設條件係為該測試灰階值Gj與該基準灰階值Gi之差值的絕對值必須小於一預定值(步驟S310),且於未小於該預定值時係進一步判斷該測試灰階值是否大於該基準灰階值(步驟S320),於該測試灰階值大於該基準灰階值時降低該其他光學檢測機台對應之光源裝置的光源輸出設定值(步驟S330),以及於該測試灰階值小於該基準灰階值時增加該其他光學檢測機台對應之光源裝置的光源輸出設定值(步驟S340)。
綜合上述,本發明透過一標準片作為多機台之間的校準目標物,使得多機台之間可依循一準則規範自動地(第二機台的取像裝置可經由遠端連線直接讀取第一機台的取像裝置之光源驅動器參數與灰階值參數達到自動化,僅需人工或機械放置該標準片)將各機台的實際照射條件均一化(透過分別補償各
光源驅動器的參數值達到預計的灰階值),藉此,本案可使所有光學檢測機台的檢測標準趨於一致,進而使通過檢測的所有產品具有均一化的品質標準。
本發明在上文中已以較佳實施例揭露,然熟習本項技術者應理解的是,該實施例僅用於描繪本發明,而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是,舉凡與該實施例等效之變化與置換,均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此,本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。
111‧‧‧第一光源裝置
112‧‧‧第二光源裝置
120‧‧‧取像裝置
130‧‧‧運算主機
140‧‧‧承載台
200‧‧‧待測目標物
Claims (3)
- 一種光學檢測機台間共用設定參數的設定方法,用以將一基準光學檢測機台的複數基準光源輸出設定值對應移轉至其他光學檢測機台,包含:一基準灰階值取得步驟,係提供一標準片至設定有該等基準光源輸出設定值的該基準光學檢測機台中,透過該基準光學檢測機台之複數光源裝置,逐一照射該標準片以藉由該基準光學檢測機台之取像裝置取得該標準片於各個照射光源之照射下的對應基準圖像,自各該基準圖像取得對應各個照射光源的一基準灰階值;一測試灰階值取得步驟,係提供該標準片至該其他光學檢測機台中,該其他光學檢測機台之複數光源裝置係先被設定為對應該基準光學檢測機台之各該光源裝置的照射組態,透過該其他光學檢測機台之各該光源裝置照射該標準片以藉由該其他光學檢測機台之取像裝置取得該標準片於各個照射光源之照射下的對應測試圖像,自各該測試圖像取得對應各個照射光源的一測試灰階值;一光源裝置調整步驟,係根據各該測試灰階值與對應之各該基準灰階值的比較,對應地逐一調整該其他光學檢測機台之對應光源裝置的輸出光強度,直至各該測試灰階值與對應之各該基準灰階值的差值滿足一預設條件;及一光源裝置設定步驟,係根據該光源裝置調整步驟中之滿足該預設條件下的輸出光強度,紀錄該其他光學檢測機台之各該光源 裝置的光源輸出設定值以作為對應之該其他光學檢測機台的一校正參數來調整之,其中,該等基準光源輸出設定值係基於該基準光學檢測機台之該等光源裝置一同照射一待測目標物下,能呈現預設之擷取圖像效果之該等光源裝置對應的設定值。
- 如請求項第1項所述之設定方法,其中於該光源裝置設定步驟完成後係以該標準片對待調整之另一其他光學檢測機台再次進行該測試灰階值取得步驟、該光源裝置調整步驟及該光源裝置設定步驟,以完成所有待調整之其他光學檢測機台的校正參數之設定。
- 如請求項第1或2項所述之設定方法,其中於該光源裝置調整步驟中,該預設條件係為該測試灰階值與該基準灰階值之差值的絕對值必須小於一預定值,且於未小於該預定值時係進一步判斷該測試灰階值是否大於該基準灰階值,於該測試灰階值大於該基準灰階值時降低該其他光學檢測機台對應之光源裝置的光源輸出設定值,以及於該測試灰階值小於該基準灰階值時增加該其他光學檢測機台對應之光源裝置的光源輸出設定值。
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