TWI472467B - 玻璃片運送之液體射出軸承 - Google Patents
玻璃片運送之液體射出軸承 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI472467B TWI472467B TW101129567A TW101129567A TWI472467B TW I472467 B TWI472467 B TW I472467B TW 101129567 A TW101129567 A TW 101129567A TW 101129567 A TW101129567 A TW 101129567A TW I472467 B TWI472467 B TW I472467B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- bearing
- glass sheet
- average
- orifice
- liquid
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本發明係關於運送玻璃片之方法以及裝置,該玻璃片例如使用作為液晶顯示器(LCD)製造中之基板。更特別地,本發明係關於運送玻璃片而不會機械接觸玻璃片之主要表面。
製造液晶顯示器基板的處理過程包括數個步驟,在這期間玻璃片必須在不會傷害到玻璃片主表面的條件下被支撐和運送,尤其不會損傷到顯示器元件譬如薄膜電晶體和色彩濾波器形成其上的玻璃片品質表面。例如,在基板製造處理期間,玻璃片需要切割成適當大小,邊緣研磨,沖洗,和包裝運送,或者提供到顯示器製造商。在執行這些步驟時,不只玻璃片需要在站之間運送,在有些情況下在一個步驟期間玻璃片也需要轉動(旋轉)。
當玻璃片的大小從1公尺長度成長到大於2公尺,而沒有相對應的厚度增加時,玻璃片的橫向堅硬度也明顯減低。同時,傳輸速度需求不是維持固定就是增加。因此,傳輸液晶顯示器玻璃基板目前存在的問題可描述為試著以高速且不觸碰玻璃片主表面移動機械性質不像衛生紙的大型玻璃片。
本發明藉由提供非接觸的軸承對至少一個有圖樣的玻
璃片主表面射出液體(譬如水),在傳輸期間以穩定玻璃片的速率以減少玻璃片橫向運動亦即玻璃片和傳輸方向正交的方向移動而解決這個問題。以此種方式,可以高速安全地傳輸大而薄的玻璃片。
依據第一項,本發明提供以實質上垂直的方向運送玻璃片(13)的方法,該方法包括:(a)提供可移動的運送帶(2)設計用來接觸玻璃片(13)的邊緣並以運送速度移動玻璃片(13);(b)提供非接觸的軸承(3)設計用來射出液體(40)到玻璃片(13)主表面的一部份;和(c)以移動的運送帶(2)接觸玻璃片(13)的邊緣以運送速度移動玻璃片(13),一方面從非接觸的軸承(3)射出液體(40)到玻璃片(13)主表面的一部份;其中非接觸的軸承(3)包括多個流孔(22),射出液體(40)到玻璃片(13)主表面的一部份,而此方法至少具有下列一種特性:(i)從非接觸的軸承(3)射出液體(40)的速度,在流孔(22)上的平均值範圍是100-800毫升/分鐘/流孔;或(ii)流孔(22)的平均水平間距範圍是20-25公釐;或(iii)流孔(22)的平均尺寸(D0)在1.0-4.5公釐範圍。
依據本發明第二項,本發明提供以實質上垂直的方向運送玻璃片(13)的方法,其包括:(a)提供可移動的運送帶(2),設計用來接觸玻璃片(13)的邊緣以及以運送速度移動玻璃片(13);(b)射出液體(40)到玻璃片(13)主表面的
上端部份;和(c)射出液體(40)到玻璃片(13)主表面的下端部份;以及其中:(i)上端部份為垂直地位於下端部份上方;和(ii)每單位時間射出到上端部份的液體(40)量超過每單位時間射出到下端部份的液體(40)量。
依據本發明第三項,本發明提供非接觸軸承(3)以使用於運送玻璃片(13),軸承(3)具有多個流孔(22)之前端表面(20),前端表面(20)面對玻璃片(13)以及流孔(22)射出液體(40)朝向玻璃片(13)之主要表面於使用軸承(3)期間,其中:(a)流孔(22)分佈於前端表面(20)上以形成至少一列(23,24,25),其在軸承(3)使用期間方向為水平地;以及(b)流孔(22)具有平均水平間距P,其滿足下列關係:20≦P≦55,其中P單位為mm。
本發明上述各項簡單說明所使用之參考數目只作為方便讀者以及並不預期以及並不應該視為限制本發明之範圍。更特別地,人們了解先前一般說明以及下列詳細說明只是本發明之範例以及預期提供概念或架構以了解本發明之原理以及特性。
本發明其他特性及優點揭示於下列說明,以及部份可由說明清楚瞭解,或藉由實施下列說明以及申請專利範圍以及附圖而明瞭。所包含附圖在於提供更進一步瞭解本發明,以及在此加入作為發明說明書之一部份。附圖顯示出本發明不同的實施例及隨同詳細說明以解釋本發明之原理及操作。
如以上所討論的,本發明提供以垂直或接近垂直方向運送玻璃片的非接觸,可用來射出液體的軸承。軸承射出(分配)液體(譬如水)到玻璃片主表面的一部份。射出的液體最好是水,雖然如果需要的話也可使用其他液體。液體可包括一種或以上的添加劑譬如殺生物劑以避免在使用回收水的情況下細菌孳生。
玻璃片最好可適合用在平板顯示器譬如液晶顯示器的基板製造上。目前,平板顯示器製造商可提供的最大基板是Gen 10基板,尺寸是2850mmx3050mmx0.7mm。
這裡描述的非接觸軸承可以和這種基板一起使用,也可以和未來發展的更大型基板,以及過去發展的較小型基板一起使用。
圖1顯示的是使用非接觸可用來射出液體的軸承3來運送玻璃片13的裝置10代表性實施範例。如圖中所示,軸承3陣列是由支撐31支撐。接著支撐再由平台49支撐,此平台包括腳輪7用來輸送裝置到製造工廠的不同定點。
在任何特定應用使用的非接觸軸承個數以及各個軸承的長度都是根據所要運送玻璃片的大小而定,譬如在Gen 10基板的例子較佳的實施範例使用大約10個軸承,每個軸承長度約1.5公尺。當然也可依需要使用較多或較少的軸承,以及較長和較短的軸承。例如,假使
要運送的玻璃片是相對於橫向的直式定向就可使用較多的軸承。一般而言,當使用軸承陣列時,軸承最好有範圍在50-150公釐範圍的垂直高度,而軸承間垂直間隔最好在200-400公釐範圍。
如圖1所示,支撐31可以在垂直方向固定軸承,或離垂直的某一角度譬如離垂直1-20度範圍的角度(如這裡使用的,"實質上垂直定位"一詞是指離垂直0到20度範圍之間的定位)。一般最好是垂直定位。
如圖1所示,平台49包括像是V型或U型皮帶的運送帶2以嚙合玻璃片13的底部邊緣。例如,運送帶利用電動馬達(未顯示出)以所需的運送速度驅動玻璃片。運送速度是根據特定的應用而定。運送速度最好是等於或大於15公尺/分鐘。例如,運送速度可以是在15到22公尺/分鐘的範圍,雖說如果需要的話也可使用較慢的速度譬如降到7公尺/分鐘的速度。
圖10顯示代表液體射出軸承3的前表面20(面對玻璃片的面)。如同圖中看到的,前表面包括多個流孔22在這個例子安排成三列23,24,25,每一列有相同數目的流孔,而且相鄰列的流孔是垂直對齊。而且在這個圖中,流孔有均勻的大小(即均勻的直徑D0)。這種安排在執行上是很成功的,但如果需要的話也可以使用很多種變化的安排。作為代表性的例子,液體射出軸承可包括大約三列的流孔,各個不同的列可以有不同個數的流孔,相鄰列的流孔可交錯排列而不是垂直對齊,因此流孔的大
小和有些或所有流孔間的水平間隔(間距)可以有不同的值。或者,流孔不一定需要是圓形的,在那種情況下流孔的大小不再是流孔的直徑,而是其最大橫截面的尺寸。
在使用期間,軸承3的流孔連接到加壓的液體來源。例如可使用幫浦讓加壓液體從貯存器到充氣部將液體分配到各個流孔,譬如透過彈性管道連接到軸承背面流孔的入口端。各式各樣業界可取得的裝備是熟悉此項技術的人所知的可用來提供加壓的液體。或者,如果需要的話也可建構專屬的裝置。
可以只在玻璃片的一面使用非接觸的軸承(請見圖2的實線),也可以置放在玻璃片的兩面(請見圖2的實線和虛線),根據玻璃片所要執行的運作而定。在基板製造處理期間譬如切割成適當大小,玻璃片旋轉,玻璃片運送,玻璃片研磨和玻璃片沖洗步驟可使用軸承來支撐和運送玻璃片。這些使用軸承的例子和其他應用可在美國專利申請案公告US2007/0271756號看到,其內容在這裡也全部併入參考。
在使用期間,從軸承射出的液體形成支撐玻璃片的薄膜,使其不會接觸軸承的正表面。更特別的是,軸承利用局部的加速流產生負壓,因而是一股吸力,在運送期間針對觸軸固定玻璃片。圖3到7說明了這個現象。
在這些圖中,100是高正壓地區(液體注入點),110是局部加速液體正切於玻璃表面產生的負壓地區,而120是周邊的低正壓地區。為了說明的目的,圖中顯示的正
負壓地區是以單一個流孔計算出而不含周圍的流孔。圖3到7每塊圖中顯示的區域是50mmx50mm。所執行的計算是使用業界可取得的流體動力學程式,售自ANSYS,Inc.(Canonsburg,PA)公司,商標為FLUENT。當然,也可使用其他非商業的程式來執行圖3到7的計算,以及這裡討論的其他計算。
圖3到7顯示正負壓分佈的各種組合:1)流孔的流出端和基板表面之間的間隔,和2)通過流孔的流速。表1提出所用的特定值,以及基板表面上的總整體壓力(總力)。正的總力意味著玻璃片被推離流孔(從軸承推開),而負的總力意味著玻璃片被推向流孔(吸引到軸承)。
如圖3到7和表1所示,各種流孔到基板間隔和流速的組合可達到正負淨力。尤其,這些資料顯示縮小的間隔可達到正力(推開力),而較大的間隔可達到負力(吸引力)。於是,在沒有被拖進或推離流孔的玻璃片可以找到一平衡點(平衡間隔)。如果流孔到玻璃片之間的間隔小於平衡間隔,玻璃片就會被推離流孔朝向平衡點。如果流孔到玻璃片之間的間隔大於平衡間隔,玻璃片就會被拖回流孔,朝向平衡點。以這種方式流孔到玻璃片之間的間隔就會在平衡間隔附近徘迴。
尤其,當玻璃片運送越過流孔時,流孔到玻璃片之間的間隔就會徘迴在平衡間隔附近。這種運送會導致玻璃片和流孔之間的間隔隨著時間改變,這是由於1)移動玻璃片的振動,及/或2)玻璃片彎曲,波浪,翹曲,或其他
玻璃片的非平坦表面特性。因為藉由從流孔射出液體所施加到玻璃片的淨力會改變平衡點的符號,而流孔到玻璃片間隔的這些變化可藉由設定流孔參數來提供,包括液體的流速,產生平衡點的值以及平衡點兩邊的吸引/推離力,儘管流孔到玻璃片之間間隔不可避免的變化,可在軸承上固定玻璃片。
圖3到7顯示單一流孔的資料。事實上,單一流孔不會產生足夠的力量在射出液體的軸承上固定移動的玻璃片。因而,可使用流孔陣列。大致而言,一般用在運送玻璃片的是射出液體的軸承的陣列,譬如彼此互相放置(請見圖1和圖2)的兩個或以上射出液體的軸承,尤其當玻璃片的大小增加時。每個射出液體的軸承有自己的流孔陣列,如果想要的話可以所有軸承都相同,也可以軸承之間不相同。
我們發現玻璃片上流孔陣列的效應是實質上比單一流孔的效應複雜。同樣地,我們也發現射出液體的軸承陣列顯示比單一射出液體的軸承更複雜的行為。為了研究這些效應,我們使用圖8和圖9顯示的裝置型態來執行實驗。在這些圖中,13是玻璃片,2是玻璃片運送帶,3是射出液體的軸承,14是力量轉換器,15是位置感測器,18是轉換器/感測器支撐,17是轉換器和感測器的引線,而16是紀錄轉換器和感測器輸出的裝置。
圖10顯示用來實驗的代表性射出液體的軸承3。除了軸承的結構,圖中也顯示在實驗期間改變的參數,亦即
平均間距參數P,在玻璃移動方向流孔之間圓心到圓心的平均間隔,和平均流孔大小參數,在這個例子,特別是流孔的平均直徑D0。
圖11是施加到玻璃片以千帕(kPa)為單位的平均壓力圖以軸承流孔陣列的一個流孔對射出液體的軸承前表面和玻璃片之間以公釐(mm)為單位的間隔(或者說在流孔出口端和玻璃片之間,因為流孔出口端通常和軸承表面齊平)。在這個圖中以及圖12到14,正壓代表軸承和玻璃片之間的推離力,而負壓代表吸引力。這個圖的陰影線部分表示軸承的運作視窗,亦即使用軸承可以可靠執行玻璃片高速運送的壓力對間隔曲線部分。
使用圖8和圖9顯示的裝置型態和圖10顯示的軸承型態可以廣泛範圍的參數決定壓力對間隔曲線。從這些實驗的結果,我們發現關鍵參數是:1)流孔之間的平均水平間距,2)平均流孔的大小,3)通過流孔的平均流速,在每一種情況,平均是指軸承所有流孔的平均。我們更進一步發現,這些參數特定範圍的值產生圖11中顯示的實際運作視窗型態。圖12,13,14分別顯示出說明此範圍平均水平間距,平均流孔大小,和平均流速的代表性資料。
如圖12所示的15公釐平均水平間距(實心三角形資料點),在玻璃片驅近軸承表面時,在玻璃片上產生令人無法接受的大推離力。因此,由於吸引力不足以限制住玻璃片,玻璃片會容易飛離軸承。換句話說,65公釐的平
均水平節距(x資料點)會產生不足的推離力,在使用期間由於和軸承接觸,無法保證玻璃片不會受到傷害。
43公釐的平均水平間距(空心正方形資料點)和30毫米的平均水平間距(空心菱形資料點)都可產生所需的壓力對間隔曲線,30公釐的平均水平間距又比43公釐的好一些,這是因為30公釐間距推離壓力和至少一些吸引壓力的量比43公釐間距的還大。根據這些和類似的資料,決定了平均水平間距應該在20到55公釐的範圍,最好在25到50公釐的範圍,更好在30到40公釐的範圍(譬如大約35公釐),在每一種情況,端點的值也包括在範圍內。
圖13顯示的是平均流孔大小的參數。在這例子中,我們發現5公釐的平均流孔大小(實心三角形資料點)在小的軸承對玻璃片間隔產生太小的推離壓力,而0.5公釐的平均流孔大小(x資料點)則產生太大的推離壓力。
3公釐的平均流孔大小(空心正方形資料點)和1.4公釐的平均流孔大小(空心菱形資料點)都可產生所需的壓力對間隔曲線,1.4公釐的平均流孔大小又比3公釐大小的好一些,這是因為1.4公釐的平均流孔大小推離壓力和吸引壓力的量比3公釐大小的還大。根據這些和類似的資料,決定了平均流孔大小應該在1.0到4.5公釐的範圍,最好在1.0到3.5公釐的範圍,更好在1.25到2.25公釐的範圍,在每一種情況,端點的值也包括在範圍內
圖14顯示的是平均流速。在這例子中,我們發現900
公釐/分鐘/流孔的平均流速(實心三角形資料點,14.3)在小的軸承對玻璃間隔產生太大的推離壓力,而80公釐/分鐘/流孔的平均流速(x資料點,14.4)則產生太小的推離壓力。
350公釐/分鐘/流孔的平均流速(空心正方形資料點,14.2)和190公釐/分鐘/流孔的平均流速(空心菱形資料點,14.1)比350公釐/分鐘/流孔的平均流速好,這是因為較低的平均流速意味著較少的液體消耗,因此也意味著需要較小較便宜的裝置來供應液體。根據這些和類似的資料決定了平均流速應該在100到800公釐/分鐘/流孔平均流速的範圍,最好在125到300的範圍,更好在150到190的範圍,在每一種情況,端點的值也包括在範圍內。
每種關鍵參數亦即平均水平間距,平均流孔大小,和平均流速都對系統提供有益於系統以及因而對一些應用,只有一種或兩種參數在以上的討論範圍。大致而言,平均流速參數是最重要的,接下來依序是水平間距,流孔大小之參數。
在很多應用上,平均水平間距,平均流孔大小和平均流速最好都在以上指定的範圍,更好是在以上最好的範圍,再更好是在以上更好的範圍。在保持這種方式時,圖12,13,和14顯示的資料是其他兩個圖形"空心菱形"的參數值。因此,就圖12而言,平均流孔大小是1.4公釐,平均流速是190公釐/分鐘/流孔,而就圖13而言平
均水平間距是30公釐,平均流速是190公釐/分鐘/流孔,至於圖14平均水平間距是30公釐,平均流孔大小是1.4公釐。
除了平均水平間距,平均流孔大小和平均流速的參數,施加到玻璃片主表面的總力,亦即在整個主表面的壓力最好是在-0.6牛頓到+0.6牛頓的範圍內,這裡端點的值也包括在範圍內。當玻璃片和軸承之間的距離改變時,總力量也會隨時間改變,但最好保持在以上的範圍。總力量最好是一個測得的值,但也可以是使用流體動態學軟體做系統模擬所計算的值,譬如以上討論的FLUENT程式。總力量的範圍可以用來做為選擇流孔個數,大小,和流速時有用的參考。尤其當選擇流孔流速時,最好是選擇產生負壓但以系統其他參數(譬如總流孔個數,流孔間隔和流孔大小)來看,不會過度的速率,亦即最好是總力量小於或等於上述範圍的上限。
我們發現上述範圍的平均水平間距,平均流孔大小,和平均流速在玻璃片和軸承前表面之間的間隔中以控制的變化量提供有效的玻璃片運送。尤其,當非接觸射出液體的軸承有100-800毫升/分鐘流孔範圍的平均流速,1.0-4.5毫米範圍的平均流孔大小,和20到55公釐範圍的平均水平間距,以15公尺/分鐘的運送速度來測試,使用的玻璃模數是73GPa為度是2公尺長,2公尺高,0.7公釐厚,在軸承前表面上的所有點,玻璃片和軸承前表面之間的時間平均間隔範圍是在500-1000微米,而軸
承前表面上的所有點,時間平均尖峰到尖峰間隔的變化不超過100微米。這種相對於平均間隔的小變化意味著不可忽略在玻璃運送期間,玻璃片任何部份接觸軸承的可能性。也意味著不可忽略玻璃片變成和軸承脫離的可能性。
如以上註明的,當使用越多流孔時,情況會變的越複雜,而且當使用流孔陣列時,情況也會變的越複雜。圖15和16顯示我們發現的軸承之間交互作用。
在圖15中,3個軸承3U,3M和3L對著玻璃片13射出液體40。如箭頭41所示,事實上從軸承3U射出的液體,會和從軸承3M射出的液體交互作用,而從軸承3M射出的液體(以及一些從軸承3U射出的液體)會和從軸承3L射出的液體交互作用。尤其,我們發現當這3個軸承是相同的流速時,玻璃片13和軸承前表面之間的間隔在軸承3M和軸承3L中是大於軸承3U,其中軸承3L的間隔是最大的。(請記得因為玻璃片13很薄,因此是高彈性的,所以雖然軸承3U,3M和3L可垂直對齊,但玻璃片的下方部分還是可能屈曲離開軸承3M和軸承3L產生較大的間隔)。
圖16是量化兩個軸承的系統,譬如圖15的軸承3M和3L。圖16的水平軸顯示通過軸承3L的平均流速,而垂直軸則畫出軸承3L前表面和玻璃片之間的間隔。實心菱形資料點顯示流經軸承3L的零間隔,也就是說F M=0。如圖所示,到玻璃片的間隔會隨著通過軸承3L的平
均流速增加而增加。
空心菱形資料點顯示通過軸承3M的200公釐/分鐘/流孔的平均流速效應。更者,軸承3L和玻璃片之間的間隔會隨著通過軸承3L的平均流速而增加,但所有的值現在則是向上移到較大的間隔。據此,為了維持玻璃片和軸承陣列中所有軸承之間相等的間隔,軸承的運作參數及/或物理性質就必須是不同的。尤其,軸承的運作參數及/或物理性質就必須是不同的,以使下方軸承射出液體的量小於上方軸承射出液體的量。這可以各種方式達成。
例如,可降低下方軸承的平均液體流速。舉例而言,通過軸承3M的200公釐/分鐘/流孔的平均流速,和通過軸承3L的150公釐/分鐘/流孔的平均流速加起來就可在軸承3L和玻璃片之間產生實質上相同的間隔作為單獨通過軸承3L的250公釐/分鐘/流孔的平均流速。同樣的資料也可在3個或以上使用的軸承中產生,降低通過下方軸承的平均流速,在所有軸承中產生軸承到玻璃片相當均勻的間隔。(請注意,在有些應用中,最好是有不相同的間隔,依據本項說明,這可藉由調整不同軸承的平均流速來達成。)
作為使用不同流速的另一種選擇,軸承的物理性質可以是不同的。例如,下方軸承的平均水平間距可以做的比上方軸承的大,及/或平均流孔大小可以做的比較小。
在很多應用中,物理性質的方式比流速的方式好,因為可避免透過各個軸承個別控制/監控液體流的需要。
從以上我們可看到,所提供射出液體的軸承可成功地以高速,譬如15公尺/分鐘和以上的速度,運送彈性玻璃片,譬如LCD基板。為了達成這個結果,軸承的運作參數和物理性質要滿足一項,最好是全部下列的條件:(a)軸承流孔的平均流速是在100-800公釐/分鐘/流孔的範圍;(b)流孔的平均水平間距是在20-55公釐的範圍;(c)流孔的平均尺寸是在1.0-4.5公釐的範圍。藉由這些條件,在以15公尺/分鐘速度通過的LCD基板和射出液體的軸承面之間間隔的時間平均尖峰到尖峰的變化就可減少到小於100微米,因此降低軸承無法控制基板或基板撞到軸承的機會。
本發明上述所說明實施例能夠作許多變化及改變而並不會脫離本發明之精神及原理。預期所有這些改變及變化包含於所揭示範圍內以及本發明受到下列申請專利範圍保護。
例如下列各項之任何一項或多項可具體實施於本發明
之中。
項目1:一種以實質上垂直的方向運送玻璃片的方法,該方法包括:(a)提供可移動的運送帶,其設計用來接觸玻璃片的邊緣並以運送速度移動玻璃片;(b)提供非接觸的軸承,其設計用來射出液體到玻璃片主表面的一部份;和(c)以移動的運送帶接觸玻璃片的邊緣以運送速度移動玻璃片,一方面從非接觸的軸承射出液體到玻璃片主表面的一部份;其中非接觸的軸承包括多個流孔,射出液體到玻璃片主表面的一部份,而此方法至少具有下列一種特性:(i)從非接觸的軸承射出液體的速度在流孔上的平均值範圍是100-800毫升/分鐘/流孔;或(ii)流孔的平均水平間距範圍是20-25公釐;或(iii)流孔的平均尺寸在1.0-4.5公釐範圍。
項目2:項目1之方法,其中方法具有特徵(i)。
項目3:項目2之方法,其中液體由非接觸軸承射出於流孔上平均流量在125-300毫升/分鐘/流孔。
項目4:項目2之方法,其中液體由非接觸軸承射出於流孔上平均流量在150-190毫升/分鐘/流孔。
項目5:項目1-4之任何一項方法,其中方法具有特徵(ii)。
項目6:項目5之方法,其中流孔平均水平間距在25-50毫米範圍內。
項目7:項目5之方法,其中流孔平均水平間距在30-40毫米範圍內。
項目8:項目1-7之任何一項方法,其中方法具有特徵(iii)。
項目9:項目8之方法,其中流孔平均尺寸在1.0-3.5毫米範圍內。
項目10:項目8之方法,其中流孔平均尺寸在1.25-2.25毫米範圍內。
項目11:項目1-10之任何一項方法,其中方法具有特徵(i)及(ii)。
項目12:項目1-10之任何一項方法,其中方法具有特徵(i)及(iii)。
項目13:項目1-10之任何一項方法,其中方法具有特徵(i),(ii)及(iii)。
項目14:項目1-13之任何一項方法,其中方法更進一步具有下列特徵:施加於片狀物主要表面之總力量在-0.6牛頓至+0.6牛頓範圍內。
項目15:項目1-14之任何一項方法,其中方法更進一步具有下列特徵:當運送模數為73GPa以及尺寸為2米長,2米高,及0.7mm厚之玻璃片時,對於運送速度等於15米/分鐘在前端面上所有點處軸承前端面與運送玻璃片間之時間平均間隔為500-1000微米以及在前端面上所有點處間隔之時間平均尖峰至尖峰變化並不大於100微米。
項目16:以實質上垂直的方向運送玻璃片的方法,其包括:(a)提供可移動的運送帶,設計用來接觸玻璃片的
邊緣以及以運送速度移動玻璃片;(b)射出液體到玻璃片主表面的上端部份;和(c)射出液體到玻璃片主表面的下端部份;以及其中:(i)上端部份為垂直地位於下端部份上方;和(ii)每單位時間射出到上端部份的液體量超過每單位時間射出到下端部份的液體量。
項目17:項目16之方法,其中:(a)液體使用上端非接觸軸承射出到上端部份,其包含平均水平間距P U多個流孔;(b)液體使用下端非接觸軸承射出到下端部份,其包含平均水平間距P L多個流孔;以及(c)P U及P L滿足下列關係:P L>P U。
項目18:項目17之方法,其中:上端非接觸軸承以及下端非接觸軸承為非接觸軸承陣列之任何兩個相鄰構件。
項目19:一種使用於運送玻璃片之非接觸軸承,其具有多個流孔之前端表面,前端表面面對玻璃片以及流孔射出液體朝向玻璃片之主要表面於使用軸承期間,其中:(a)流孔分佈於前端表面上以形成至少一列,其在軸承使用期間方向為水平地;以及(b)流孔具有平均水平間距P,其滿足下列關係:20≦P≦55,其中P單位為mm。
項目20:項目19之非接觸軸承,其中流孔具有平均尺寸在1.0-4.5mm範圍內。
2‧‧‧運送帶
3‧‧‧軸承
7‧‧‧腳輪
10‧‧‧裝置
13‧‧‧玻璃片
14‧‧‧力量轉換器
15‧‧‧位置感測器
16‧‧‧輸出裝置
17‧‧‧引線
18‧‧‧支撐
20‧‧‧前表面
22‧‧‧流孔
23,24,25‧‧‧流孔列
31‧‧‧支撐
40‧‧‧液體
41‧‧‧箭頭
49‧‧‧平台
100‧‧‧高正壓地區
110‧‧‧負壓地區
120‧‧‧低正壓地區
圖1及2為玻璃片傳送裝置之示意圖,其採用一個陣列非接觸射出液體軸承。圖1為前視圖以及圖2為側視圖。
圖3至圖7顯示出各種流孔至玻璃片間距以及液體流量藉由液體流出流孔玻璃片上產生壓力分佈之計算曲線圖。表1揭示出圖3至圖3使用特定參數。
圖8和圖9是使用非接觸射出液體的軸承來運送玻璃片的裝置示意圖用以測試各種參數的效應。圖8為前視圖以及圖9為側視圖。
圖10顯示出非接觸射出液體軸承之前表面。
圖11是在玻璃片和非接觸射出液體的軸承(x軸)前表面之間,玻璃片(y軸)表面以千帕(kPa)為單位的壓力/流孔對以公釐(mm)為單位的間隔圖。這個圖的陰影線部分顯示軸承的運作視窗。
圖12是在玻璃片和非接觸射出液體的軸承(x軸)前表面之間,玻璃片(y軸)表面以千帕(kPa)為單位的壓力/流孔對以公釐(mm)為單位的間隔圖表,平均水平間距是15,30,43和65公釐。
圖13是在玻璃片和非接觸射出液體的軸承(x軸)前表面之間,玻璃片(y軸)表面以千帕(kPa)為單位的壓力/流孔對以公釐(mm)為單位的間隔圖表,平均流孔尺寸是0.5,1.4,3.0以及5.0mm。
圖14是在玻璃片和非接觸射出液體的軸承(x軸)前表面之間,玻璃片(y軸)表面以千帕(kPa)為單位的壓力/流孔對以公釐(mm)為單位的間隔圖表,平均流速是80,190,350和900公釐/分鐘/流孔。
圖15是顯示非接觸射出液體的軸承陣列的各個軸承之間交互作用的示意圖。
圖16是以零和200公釐/分鐘/流孔通過兩個軸承上方軸承的平均流速,在玻璃片和非接觸射出液體的軸承(y軸)前表面之間以公釐(mm)為單位的間隔對通過兩個非接觸射出液體的軸承(x軸)的下方軸承以公釐/分鐘/流孔為單位平均流速的圖。
2‧‧‧運送帶
3‧‧‧軸承
13‧‧‧玻璃片
14‧‧‧力量轉換器
15‧‧‧位置感測器
16‧‧‧輸出裝置
17‧‧‧引線
18‧‧‧支撐
Claims (2)
- 一種用以運送一玻璃片之非接觸的軸承,包括一前端面,該前端面具有多個流孔,於使用該軸承期間,該前端面面向該玻璃片且該些流孔朝該玻璃面之一主表面射出液體,其中:(a)該些流孔係分布於該前端面上,以於使用該軸承期間形成水平取向之至少一排;以及(b)該些流孔具有一平均水平間距P,該平均水平間距P滿足下列關係:20≦P≦55,其中P之單位為mm。
- 依據申請專利範圍第1項之非接觸的軸承,其中該些流孔具有範圍為1.0-4.5 mm的一平均尺寸。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/428,672 US8047354B2 (en) | 2008-09-26 | 2009-04-23 | Liquid-ejecting bearings for transport of glass sheets |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201302587A TW201302587A (zh) | 2013-01-16 |
TWI472467B true TWI472467B (zh) | 2015-02-11 |
Family
ID=45000003
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW101129567A TWI472467B (zh) | 2009-04-23 | 2009-09-29 | 玻璃片運送之液體射出軸承 |
TW98133064A TWI385114B (zh) | 2009-04-23 | 2009-09-29 | 實質上以垂直的方向運送玻璃片的方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW98133064A TWI385114B (zh) | 2009-04-23 | 2009-09-29 | 實質上以垂直的方向運送玻璃片的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (2) | TWI472467B (zh) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3734567A (en) * | 1971-01-25 | 1973-05-22 | Bangor Punta Operations Inc | Air conveyor for flat thin articles |
US20050011229A1 (en) * | 2002-12-05 | 2005-01-20 | Peter Lisec | Device for securing material plates, such as glass sheets, during the working thereof |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7077019B2 (en) * | 2003-08-08 | 2006-07-18 | Photon Dynamics, Inc. | High precision gas bearing split-axis stage for transport and constraint of large flat flexible media during processing |
JP4629007B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2011-02-09 | 株式会社日本設計工業 | 薄板状材料搬送用エアテーブル及び薄板状材料搬送装置 |
JP4753313B2 (ja) * | 2006-12-27 | 2011-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
-
2009
- 2009-09-29 TW TW101129567A patent/TWI472467B/zh active
- 2009-09-29 TW TW98133064A patent/TWI385114B/zh active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3734567A (en) * | 1971-01-25 | 1973-05-22 | Bangor Punta Operations Inc | Air conveyor for flat thin articles |
US20050011229A1 (en) * | 2002-12-05 | 2005-01-20 | Peter Lisec | Device for securing material plates, such as glass sheets, during the working thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201302587A (zh) | 2013-01-16 |
TWI385114B (zh) | 2013-02-11 |
TW201038459A (en) | 2010-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5507217B2 (ja) | ガラスシート輸送のためのガス噴射ベアリング | |
JP6353483B2 (ja) | ガラスシートを搬送するための液体噴出ベアリング | |
KR101248534B1 (ko) | 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법 및 기판용 반송 제진장치 | |
JP6180486B2 (ja) | フュージョンガラス板 | |
TWI472467B (zh) | 玻璃片運送之液體射出軸承 | |
JP2004307152A (ja) | 起倒可能な非接触搬送装置 | |
TW201010921A (en) | Floating type conveying apparatus |