TWI471272B - 玻璃板的製造方法以及製造設備 - Google Patents

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Noritomo Nishiura
Koki Ueda
Hidetaka Oda
Tomonori Kano
Daisuke Nagata
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Nippon Electric Glass Co
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Description

玻璃板的製造方法以及製造設備
本發明是有關於一種使熔融玻璃從成形體流下並沿著鉛直方向延伸形成玻璃帶之玻璃板的製造方法以及其製造設備。
作為各種電子機器、特別是液晶顯示器等的平板顯示器用板玻璃的製造方法,已知有一種藉由使熔融玻璃從成形體流下並沿著鉛直方向延伸形成玻璃帶而得到玻璃板之下拉(download)法。
下拉法有溢流(overflow)下拉法和開口(slot)下拉法這兩種方法,特別是溢流下拉法,作為可得到表面的起伏或粗度非常小且表面品位優良的玻璃板之方法而廣為人知。
所說的溢流下拉法是一種這樣的方法,亦即,藉由使連續供給到具有楔形斷面形狀的成形體頂部的熔融玻璃,從成形體的頂部沿著兩側面流下,並在成形體的下端部進行熔合,從而形成板狀的玻璃帶,且將該玻璃帶的兩邊部利用多個拉伸輥(roller)進行夾持,並在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑中流下而延伸形成玻璃帶。藉此,玻璃帶依次固化而形成具有規定寬度和厚度的玻璃板。而且,搬運路徑內的環境溫度受到嚴格的管理,藉此而使玻璃板的內應變(熱應變)充分減少後再冷卻到室溫附近。
特別是在液晶顯示器用玻璃板的情況下,在玻璃板的內部即使殘留有細小的內應變,也會因為雙折射而無法得到均勻的圖像,所以在習知技術中提出有各種各樣的按照規定的溫度梯度(gradient)來對玻璃帶盡可能均勻地進行冷卻之方法。
例如,在日本專利早期公開之特開平5-124826號公報中,揭示有為了防止因輥軸的冷卻的影響而使玻璃板產生內應變並變形,而懸壁把持輥子的方法,或為了防止因玻璃帶的搬運路徑內產生的熱對流所形成的內應變,而將搬運路徑內水平地進行間隔之防對流板。
而且,在日本專利早期公開之特開平10-53427號公報中揭示有這樣的方法,藉由將成形爐或退火爐的內部水平地進行多次分割而形成多個室,並使各個室具有室溫調節機能而進行充分的緩冷,以製造內應變少的玻璃板。
另外,在日本專利早期公開之特開2001-31435號公報中,揭示有也沿著玻璃帶的寬度方向形成退火爐的溫度分佈,以抑制微小的內應變或變形之技術。
[專利文獻1]日本專利早期公開之特開平5-124826號公報
[專利文獻2]日本專利早期公開之特開平10-53426號公報
[專利文獻3]日本專利早期公開之特開2001-31435號公報
近年來,液晶顯示器越來越要求高精細且高畫質,其使用的玻璃板要求內應變的最大值小於等於1.0MPa。而且,液晶顯示用玻璃板急速地向大板化發展,例如,可形成最終變成玻璃製品的部位的寬度尺寸(有效寬度)大於等於2000mm之玻璃帶。但是,隨著所生產的玻璃板的尺寸增大,玻璃板的內應變也呈增大的傾向,難以使內應變小於等於1.0MPa。
作為玻璃板的內應變的一個原因,是因為存在著沿著玻璃帶的表面上升之空氣的流動(以下稱作低溫空氣流)。亦即,在玻璃帶的搬運路徑內,總是有低溫空氣流沿著玻璃帶的表面而上升,由此而使退火爐內的環境溫度容易變動。在日本專利早期公開之特開平5-139766號公報中,揭示有在退火爐內形成防對流板的技術,但低溫空氣流在玻璃帶的表面附近上升,所以利用防對流板無法充分地隔斷。而且,如要利用防對流板完全地防止低溫空氣流,則需要使玻璃帶和防對流板的間隔非常小,但玻璃帶有可能會接觸防對流板,而使其表面形成傷痕。
本發明的目的是提供一種鑒於上述事情而形成的方法來作為技術上的課題,回避伴隨玻璃板的大板化而增大的內應變的問題,以得到生產性良好且高品質的玻璃板。
本發明者等為了解決上述課題而進行了各種各樣的研討,結果發現以下情況而提出本發明,亦即,藉由使通過玻璃帶的搬運路徑而從冷卻室或隔斷室上升到退火爐內的低溫空氣流,在退火爐內被加熱後,通過成形爐或退火爐的爐壁的間隙而向外部環境露出,而且抑制成形爐或退火爐的內部空氣的漏出,從而可抑制玻璃帶的搬運路徑內之低溫空氣流的上升。
亦即,用於解決上述課題的本發明的第1形態提供一種玻璃板的製造方法,包括:成形過程,其對成形爐內所設置的成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下,而延伸形成板狀的玻璃帶;退火過程,其在退火爐內除去該玻璃帶的內應變;冷卻過程,其將該玻璃帶冷卻到室溫附近;以及切斷過程,其將該玻璃帶切斷為規定尺寸;該玻璃板的製造方法的特徵在於,對前述成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓進行加壓。
用於解決上述課題的本發明的第2形態提供一種玻璃板的製造方法,包括:成形過程,其對成形爐內所設置的成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下,而延伸形成板狀的玻璃帶;退火過程,其在退火爐內除去該玻璃帶的內應變;冷卻過程,其將該玻璃帶冷卻到室溫附近;以及切斷過程,其將該玻璃帶切斷為規定尺寸;該玻璃板的製造方法的特徵在於,前述成形爐內的環境的氣壓調整成較冷卻過程的環境的氣壓還高。
用於解決上述課題的本發明的第3形態提供一種玻璃板的製造方法,其特徵在於,從外部導入空氣,並對成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓進行加壓。
用於解決上述課題的本發明的第4形態提供一種玻璃板的製造方法,其特徵在於,成形過程是利用溢流下拉法或開口下拉法而形成玻璃帶的過程。
用於解決上述課題的本發明的第5形態提供一種玻璃板的製造方法,其特徵在於,玻璃板的短邊的長度大於等於2000mm。
用於解決上述課題的本發明的第6形態提供一種玻璃板的製造方法,其特徵在於,玻璃板的內應變的最大值小於等於1.0MPa。
用於解決上述課題的本發明的第7形態提供一種玻璃板的製造方法,其特徵在於,玻璃板所包含的組成按質量百分率為SiO2 40~70%、Al2 O3 2~25%、B2 O3 0~20%、MgO 0~10%、CaO 0~15%、SrO 0~10%、BaO 0~15%、ZnO 0~10%、ZrO2 0~10%和澄清劑0~2%。
用於解決上述課題的本發明的第8形態提供一種玻璃板的製造設備,包括:成形爐,其用於對成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下而延伸形成板狀的玻璃帶;退火爐,其用於除去該玻璃帶的內應變;冷卻室,其用於將該玻璃帶冷卻到室溫附近;以及切斷室,其用於將該玻璃帶切斷為規定尺寸;該玻璃板的製造設備的特徵在於,設置有加壓裝置,用於提高前述成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓。
用於解決上述課題的本發明的第9形態提供一種玻璃板的製造設備,其特徵在於,加壓裝置為送風機。
如利用第1形態的本發明,則玻璃板的製造方法包括:成形過程,其對成形爐內所設置的成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下,而延伸形成板狀的玻璃帶;退火過程,其在退火爐內除去該玻璃帶的內應變;冷卻過程,其將該玻璃帶冷卻到室溫附近;以及切斷過程,其將該玻璃帶切斷為規定尺寸;而且,對前述成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓進行加壓;所以,成形爐或退火爐的內部空氣難以通過爐壁的間隙而向爐外的外部環境漏出,藉此,可抑制玻璃帶的搬運路徑內之低溫空氣流的上升。結果,能夠將退火爐內的環境溫度的變動抑制在最小限度,即使玻璃板的尺寸增大,也可充分地減輕其內應變。
這裏所說的對成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓進行加壓,是指利用加壓裝置使包圍成形爐或退火爐中的某一個或兩者之外部空間(室)的氣壓提高。亦即,進行壓力調整,以與不利用加壓裝置時的氣壓相比可形成高氣壓。加壓的程度只要適當地進行設定,以使成形爐或退火爐的內部空氣向爐外的露出量減少即可。
而且,包圍該成形爐和退火爐的外部空間也可由1個室構成,也可區分為2個室,但需要能夠維持氣密狀態。在區分為2個室的情況下,例如成形爐由成形室包圍,退火爐由退火室包圍的情況下,則可對成形室和退火室的氣壓獨立地進行調整。
如利用第2形態的發明,則玻璃板的製造方法包括:成形過程,其對成形爐內所設置的成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下,而延伸形成板狀的玻璃帶;退火過程,其在退火爐內除去該玻璃帶的內應變;冷卻過程,其將該玻璃帶冷卻到室溫附近;以及切斷過程,其將該玻璃帶切斷為規定尺寸;而且,該玻璃板的製造方法的特徵在於,進行調整以使前述成形爐內的環境的氣壓較冷卻過程的環境的氣壓還高,所以,能夠抑制玻璃帶的搬運路徑內之低溫空氣流的上升。結果,可將退火爐內的環境溫度的變動抑制在最小限度,即使玻璃板的尺寸增大,也可充分地減輕其內應變。作為進行調整以使成形爐內的環境的氣壓較其下方的冷卻過程的環境的氣壓還高之方法,可使用對成形爐的外部環境的氣壓進行加壓,或抑制空氣從成形爐內向外部環境的洩漏,並使冷卻過程的環境向外部排氣,減少從退火爐在搬運路徑內所上升的空氣的量之方法等。而且,成形爐內的環境的氣壓和冷卻過程的環境的氣壓之差,根據設備的大小或溫度條件而適當地進行選擇即可,例如可藉由設置大於等於0.001氣壓(較佳為大於等於0.01氣壓)的差而得到規定的效果。
如利用第3形態的發明,則是從外部導入空氣,對成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓進行加壓,所以可藉由使用送風機等而容易地對外部環境的氣壓進行加壓。亦即,藉由在包圍成形爐或退火爐的室的外部設置送風機,並利用該送風機而從室外導入空氣,可容易地增高成形爐或退火爐的外部環境的氣壓。
如利用第4形態的發明,則成形過程是利用溢流下拉法或開口下拉法而形成玻璃帶的過程,所以可效率良好地形成薄板玻璃。特別是在得到表面品位良好的玻璃板的情況下,與開口下拉法相比,最好是採用溢流下拉法。另外,所說的開口下拉法,是在對具有長孔狀(縫隙狀)的開口部之成形體供給熔融玻璃後,從成形體的開口部拉出熔融玻璃而形成板狀的玻璃帶,並使該玻璃帶沿著鉛直方向延伸成形而製造玻璃板之方法。
而且,在本發明中,如將玻璃帶切斷為規定長度,則可將從冷卻過程沿著鉛直方向流下的玻璃帶,在其寬度方向(與玻璃帶的流下方向直交的方向)上進行切斷,也可將玻璃帶從鉛直方向朝向水平方向彎曲,並在水平方向上移動且沿著寬度方向進行切斷。
如利用第5形態的發明,則玻璃板的短邊的長度大於等於2000mm,所以可從一片玻璃板(原板)切出多片顯示器面板用玻璃板,能夠提高生產效率。呈玻璃板的尺寸越大,其內應變也越大的傾向,其理由之一被認為是,當玻璃板的尺寸增大時,其製造設備大型化,低溫空氣容易流入玻璃帶的搬運路徑內,使退火爐內的環境溫度容易變動。因此,本發明在製造特別大型的玻璃板,具體地說,在製造短邊大於等於2000mm,較佳大於等於2500mm,更佳大於等於3000mm的玻璃板時有用。
如利用第6形態的發明,則玻璃板的內應變的最大值小於等於1.0MPa,所以能夠防止液晶顯示器的圖像因雙折射而變得不均勻。如利用本發明,則可將退火爐內的環境溫度的變動抑制在最小限度,所以即使玻璃板的尺寸變大,也可抑制內應變的產生。具體地說,可使內應變的最大值小於等於1.0MPa、小於等於0.8MPa,還可小於等於0.7MPa。
如利用第7形態的發明,則玻璃板所包含的組成按質量百分率為SiO2 40~70%、Al2 O3 2~25%、B2 O3 0~20%、MgO 0~10%、CaO 0~15%、SrO 0~10%、BaO 0~15%、ZnO 0~10%、ZrO2 0~10%和澄清劑0~2%,所以可滿足耐藥性(良好的耐酸性、耐鹼性和耐氟酸緩衝液性)、耐熱性(歪點大於等於630℃)、熔融性(小於等於相當於102.5 泊(poise)粘度的溫度1600℃)、成形性(小於等於液相溫度1150℃)和熱膨脹係數(在30~380℃溫度下為25~45×10-7 /℃)等特性,得到容易抑制成形後的內應變之液晶顯示器用玻璃板。
上述的玻璃組成較佳之理由如下。
SiO2 為形成玻璃的網絡的成分,具有使玻璃的熱膨脹係數下降,又使內應變減小,又使玻璃的耐酸性提高,以提高玻璃的歪點並減小玻璃板的熱收縮之效果。但是,如SiO2 的含有量增多,則呈玻璃的高溫粘度增高,熔融性惡化,且方晶石的失透物容易析出之傾向。因此,SiO2 的含有量為40~70%,較佳為50~67%,更佳為57~64%。
AL2 O3 是使玻璃的熱膨脹係數下降,又可減小玻璃板的內應變之成分。而且,還具有使玻璃的歪點上升,又可抑制方晶石的失透物的析出之效果。但是,如Al2 O3 的含量增多,則玻璃的耐氟酸緩衝液性惡化,又使液相溫度上升而難以成形。因此,AlO2 O3 的含有量為2~25%,較佳為10~20%,更佳為14~17%。
B2 O3 起到作為融劑的作用,是使玻璃的粘性下降而改善熔融性的成分。而且,亦是使玻璃的熱膨脹係數下降,又減小玻璃板的內應變的成分。但是,如B2 O3的含量增多,則玻璃的歪點下降,又使耐酸性容易惡化。因此,B2 O3 的含量為0~20%,較佳為5~15%,更佳為7.5~12%。
MgO是不使玻璃的歪點下降而只使高溫粘性下降,改善玻璃的熔融性的成分。但是,如MgO的含量增多,則失透物容易析出到玻璃中。而且,耐氟酸緩衝液性下降,當利用氟酸緩衝液來處理玻璃板時,表面會被侵蝕而附著反應生成物,容易變得白濁。因此,MgO的含量為0~10%,較佳為0~5%,更佳為0~3.5%。
CaO是不使玻璃的歪點下降而只使高溫粘性下降,改善玻璃的熔融性的成分。但是,如CaO的含量增多,則耐氟酸緩衝液性容易惡化。因此,CaO的含量為0~15%,較佳為0~12%,更佳為3.5~9%。
SrO是使玻璃的耐藥性和耐失透性提高的成分。但是,如SrO的含量增多,則玻璃的熱膨脹係數容易增大,玻璃板的內應變呈增大的傾向。因此,SrO的含量為0~10%,較佳為0~8%,更佳為0.5(超過)~8%。
BaO與SrO同樣地是使玻璃的耐藥性和耐失透性提高的成分。但是,如BaO的含量增多,則玻璃的密度或熱膨脹係數增大,呈熔融性顯著惡化的傾向。因此,BaO的含量為0~15%,較佳為0~10%,更佳為0~8%。
ZnO是改善玻璃的耐氟酸緩衝液性或熔融性的成分,但如其含量增多,則玻璃的耐失透性或歪點容易低下。因此,ZnO的含量為0~10%,較佳為0~5%,更佳為0~1%。
ZrO2 是提高玻璃歪點的成分,但如其含量增多,則玻璃的密度會顯著上升,因ZrO2 所引起的失透物容易析出。因此,ZrO2 的含量為0~10%,較佳為0~7%,更佳為0~5%。
作為澄清劑,可使用達到2%的As2 O3 、Sb2 O3 、SnO2 、SO3 、F、Cl等。但是,As2 O3 和Sb2 O3 是形成環境負擔的物質,所以應避免使用,在這種情況下,含有SnO2 0.01~2%較佳。
而且,在本發明中,除了上述成分以外,為了例如使玻璃的液相溫度下降而提高成形性,也可分別含有可到3%的Y2 O3 、La2 O3 、Nb2 O3 、P2 O5 等。但如含有Na2 O、K2 O、Li2 O等的鹼性金屬氧化物(R2 O),則有可能使液晶顯示器玻璃板上所形成的各種膜或TFT元件的特性劣化,因此應避免含有這些成分。具體地說,R2 O的含量應限制在小於等於0.1%。
如利用第8形態的發明,則所提供的玻璃板的製造設備包括:成形爐,其用於對成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下而延伸形成板狀的玻璃帶;退火爐,其用於除去該玻璃帶的熱歪;冷卻室,其用於將該玻璃帶冷卻到室溫附近;以及切斷室,其用於將該玻璃帶切斷為規定尺寸;而且,設置有加壓裝置,用於提高前述成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓,所以,可藉由對成形爐或退火爐的外部環境的氣壓進行加壓,使成形爐或退火爐的內部空氣難以向外部環境漏出,從而抑制搬運路徑內的低溫空氣流的上升。結果,可將退火爐內的環境溫度的變動抑制在最小限度,即使玻璃板的尺寸增大,也可充分地減低其內應變。
如利用第9形態的發明,則加壓裝置為送風機,所以藉由在包圍該成形爐或退火爐的室的外部設置送風機,並利用該送風機從室外導入空氣,可使成形爐或退火爐的外部環境的氣壓容易地上升。
以下參照圖示來對本發明的實施形態詳細地進行說明。
圖1所示為本發明的玻璃板之製造設備的概略正面圖。該製造設備利用溢流下拉法來製造液晶顯示器用的玻璃板(玻璃基板),包括:成形爐11,其藉由使從上方依次供給到具有楔形狀斷面形狀的成形體10之熔融玻璃A由頂部溢出,且在其下端部進行融合,從而形成玻璃帶B;退火爐12,其用於將玻璃帶B徐徐冷卻並除去其內應變;冷卻室13,其將徐徐冷卻的玻璃帶B充分地進行冷卻;以及切斷室14,其將冷卻的玻璃帶B切斷為規定尺寸。而且,成形爐11和退火爐12是由成形室15包圍著,且在成形室15的外部設置有送風機16。這些上下方向鄰接的冷卻室13、切斷室14及成形室15,是由具有氣密性的周壁部17包圍著,而成形爐11、退火爐12、冷卻室13及切斷室14是由玻璃帶B所流下的搬運路徑18來連通。而且,在切斷室14中,還另外設置有用於向圖外的後續過程(例如端面研磨過程等)搬運玻璃板C的搬運路徑。
下面,對利用上述玻璃板的製造設備所進行之玻璃板的製造過程進行說明。
該製造設備首先是對成形爐11內所設置的成形體10的頂部供給熔融玻璃A,並使該熔融玻璃A從成形體10的頂部溢出且在其下端部融合,以形成板狀的玻璃帶B。在成形體10的附近設置一對冷卻輥(捲邊輥)19,且玻璃帶B由該冷卻輥19來挾持兩邊部,並使寬度方向的收縮抑制在最小限度。
下面,藉由利用退火爐12而將該成形的玻璃帶B徐徐地冷卻而除去內應變。在退火爐12中,沿著鉛直方向而配置多對拉伸輥(退火輥)20,並利用拉伸輥20而沿著寬度方向拉伸且向下方牽引,以免使玻璃帶B因表面張力等而沿著寬度方向收縮。而且,在退火爐12內進行設定,以利用加熱器(省略圖示)來形成規定的溫度梯度,且藉由使玻璃帶B隨著在退火爐12內的流下而將溫度徐徐地下降,從而除去內部產生的內應變。
而且,使成形室15的外部所設置的送風機16轉動,並通過周壁部上所安裝的過濾器21而從室外向成形室15內導入空氣。藉此,可對成形室15的氣壓,亦即對成形爐11及退火爐12的外部環境的氣壓進行加壓,減少從成形爐11和退火爐12的爐壁11a、12a的間隙所漏出之內部空氣的量。結果,可使成形爐11內的環境的氣壓較冷卻過程的環境的氣壓,亦即較冷卻室13內的氣壓高出0.001氣壓以上。
在退火爐12下方的冷卻室13中,配置有多對支持輥22,將固化為規定的寬度和厚度的玻璃帶B向下方進行牽引。玻璃帶B在冷卻室13內被大致冷卻到室溫。由冷卻室13冷卻到室溫附近的玻璃帶,由切斷室14切斷為規定尺寸的玻璃板C後,搬運到後續過程。
使用上述的玻璃板的製造設備,形成具有SiO2 60%、AL2 O3 15%、B2 O3 10%、CaO 6%、SrO 6%、BaO 2%和澄清劑1%的質量%組成之液晶顯示器用玻璃板(日本電氣玻璃株式會社製OA-10)。
所得到的玻璃板的尺寸為2360×2030×0.7mm,當測定該玻璃板的最大歪斜時所得的值為0.8MPa。
而且,比較例子使用與上述實施形態同樣的設備,除了不使送風機16動作以外,利用完全相同的條件來製作玻璃板,當測定該玻璃板的最大歪斜時所得的值為1.1MPa。
由以上說明可知,實施形態的玻璃板與比較例的玻璃板相比,最大歪斜較小,因此可理解為本發明中減輕玻璃板的內應變之效果大。
在這裏,玻璃板的最大歪斜是利用UNIOPT公司制的歪度藉由採用光外差干涉法,從玻璃板的雙折射量來測定歪應力而求取。求取玻璃板的最大歪斜的理由是,在玻璃板中即使存在1處強的歪斜,也無法滿足液晶顯示器用玻璃板的製品規格。
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作些許之更動與潤飾,故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
例如,在上述實施形態中,所說明的是在利用溢流下拉法的玻璃板的製造中應用本發明的情況,但除此以外,在例如利用開口下拉法的玻璃板的製造中,也同樣可應用本發明。
而且,在實施形態中所說明的是成形爐和退火爐由一個室(成形室)包圍的情況,但成形爐和退火爐也可分別由不同的室(例如成形室和退火室)來包圍。在這種情況下,可只在一個室或在兩個室的外部設置送風機,以獨立地對氣壓進行調整。
[產業上的可利用性]
本發明的玻璃板的製造方法及製造設備可用於以液晶顯示器用玻璃板為代表的、電漿顯示器、有機EL等的電致發光顯示器、場致發射顯示器等各種平板顯示器用的玻璃板,或作為用於形成各種電子顯示機能元件或薄膜的基材而使用之玻璃板的製造。
10‧‧‧測試裝置
11‧‧‧成形爐
11a、12a‧‧‧爐壁
12‧‧‧退火爐
13‧‧‧冷卻室
14‧‧‧切斷室
15‧‧‧成形室
16‧‧‧送風機
17‧‧‧周壁部
18‧‧‧搬運路徑
19‧‧‧冷卻輥
20‧‧‧拉伸輥
21‧‧‧過濾器
22‧‧‧支持輥
200‧‧‧被測試元件
A‧‧‧熔融玻璃
B‧‧‧玻璃帶
C‧‧‧玻璃板
圖1所示為本發明的玻璃板的製造設備之概略正面圖。
10...測試裝置
11...成形爐
11a、12a...爐壁
12...退火爐
13...冷卻室
14...切斷室
15...成形室
16...送風機
17...周壁部
18...搬運路徑
19...冷卻輥
20...拉伸輥
21...過濾器
22...支持輥
A...熔融玻璃
B...玻璃帶
C...玻璃板

Claims (9)

  1. 一種玻璃板的製造方法,包括:成形過程,對成形爐內所設置的成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下,而延伸形成板狀的玻璃帶;退火過程,在退火爐內除去該玻璃帶的內應變;冷卻過程,將該玻璃帶冷卻到室溫附近;以及切斷過程,將該玻璃帶切斷為規定尺寸;該玻璃板的製造方法的特徵在於,進行前述冷卻過程的冷卻室設置在前述退火爐的下方,從而前述冷卻室通過前述搬運路徑與前述退火爐連通;對前述成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓進行加壓,從而前述成形爐的環境內的氣壓高於前述冷卻室的環境內的氣壓。
  2. 一種玻璃板的製造方法,包括:成形過程,對成形爐內所設置的成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下,而延伸形成板狀的玻璃帶;退火過程,在退火爐內除去該玻璃帶的內應變;冷卻過程,將該玻璃帶冷卻到室溫附近;以及切斷過程,將該玻璃帶切斷為規定尺寸;該玻璃板的製造方法的特徵在於,前述成形爐內的環境的氣壓調整成較冷卻過程的環境的氣壓還高。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃板的製造方法,其中,從外部導入空氣,並對成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓進行加壓。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述之玻璃板的製造方 法,其中,成形過程是利用溢流下拉法或開口下拉法而形成玻璃帶的過程。
  5. 如申請專利範圍第1或2項所述之玻璃板的製造方法,其中,玻璃板的短邊的長度大於等於2000mm。
  6. 如申請專利範圍第1或2項所述之玻璃板的製造方法,其中,玻璃板的內應變的最大值小於等於1.0MPa。
  7. 如申請專利範圍第1或2項所述之玻璃板的製造方法,其中,玻璃板所包含的組成按質量百分率為SiO2 40~70%、Al2 O3 2~25%、B2 O3 0~20%、MgO 0~10%、CaO 0~15%、SrO 0~10%、BaO 0~15%、ZnO 0~10%、ZrO2 0~10%和澄清劑0~2%。
  8. 一種玻璃板的製造設備,包括:成形爐,用於對成形體供給熔融玻璃,且從該成形體使熔融玻璃在沿著鉛直方向延伸的搬運路徑內流下而延伸形成板狀的玻璃帶;退火爐,用於除去該玻璃帶的內應變,該退火爐以包含前述搬運路徑的方式而設置在前述成形爐的下方;冷卻室,用於將該玻璃帶冷卻到室溫附近,該冷卻室設置在前述退火爐的下方,從而前述冷卻室通過前述搬運路徑與前述退火爐連通;以及切斷室,用於將該玻璃帶切斷為規定尺寸;該玻璃板的製造設備的特徵在於,該切斷室設置在前述冷卻室的下方,從而該切斷室通過前述搬運路徑與前述冷卻室連通;提供加壓裝置,用於提高前述成形爐及/或退火爐的外部環境的氣壓,從而前述成形爐的環境內的氣壓高於前述冷卻室的環境內的氣壓。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的玻璃板的製造設備,其中,加壓裝置為送風機。
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Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008070173A1 (en) 2006-12-06 2008-06-12 Fusion Multisystems, Inc. (Dba Fusion-Io) Apparatus, system, and method for solid-state storage as cache for high-capacity, non-volatile storage
JP4621996B2 (ja) * 2007-04-24 2011-02-02 日本電気硝子株式会社 ガラス板製造方法およびガラス板製造設備
US8113015B2 (en) * 2009-06-17 2012-02-14 Corning Incorporated Control of the bow of a glass ribbon
US8146388B2 (en) * 2009-10-29 2012-04-03 Corning Incorporated Low friction edge roll to minimize force cycling
JP5471353B2 (ja) * 2009-11-24 2014-04-16 旭硝子株式会社 情報記録媒体用ガラス基板および磁気ディスク
US8707737B2 (en) * 2009-11-30 2014-04-29 Corning Incorporated Method and apparatus for pressure control of glass-making thickness-control zone
CN101913764A (zh) * 2010-07-23 2010-12-15 北京工业大学 一种高应变点无碱铝硅酸盐玻璃
JP5614171B2 (ja) 2010-08-23 2014-10-29 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法
JP5669006B2 (ja) 2010-10-19 2015-02-12 日本電気硝子株式会社 帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置
US20120239860A1 (en) 2010-12-17 2012-09-20 Fusion-Io, Inc. Apparatus, system, and method for persistent data management on a non-volatile storage media
US9676650B2 (en) 2011-03-28 2017-06-13 Avanstrate Inc. Method and apparatus for making glass sheet
KR101497251B1 (ko) * 2011-03-30 2015-02-27 아반스트레이트 가부시키가이샤 유리판의 제조 방법 및 유리판 제조 장치
CN103108840B (zh) * 2011-06-30 2015-02-25 安瀚视特控股株式会社 玻璃板的制造方法及玻璃板的制造装置
TWI600622B (zh) * 2011-09-21 2017-10-01 Avanstrate Inc Method of manufacturing glass plate and glass plate manufacturing apparatus
WO2013046683A1 (ja) * 2011-09-29 2013-04-04 AvanStrate株式会社 ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置
DE102011084129A1 (de) * 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Glasfolie mit speziell ausgebildeter Kante
US9598301B2 (en) * 2011-11-29 2017-03-21 Corning Incorporated Temperature control of glass ribbons during forming
JP5752787B2 (ja) * 2012-01-13 2015-07-22 AvanStrate株式会社 ガラス基板の製造方法及び成形装置
US20130255314A1 (en) * 2012-03-27 2013-10-03 Douglas C. Allan Method for fusion drawing ion-exchangeable glass
US9216924B2 (en) 2012-11-09 2015-12-22 Corning Incorporated Methods of processing a glass ribbon
JP6623836B2 (ja) * 2016-02-29 2019-12-25 日本電気硝子株式会社 ガラス板製造設備およびガラス板の製造方法
US9758418B1 (en) * 2016-04-06 2017-09-12 Corning Incorporated Methods of producing glass ribbon
CN108658454A (zh) * 2018-07-31 2018-10-16 中南大学 一种低热膨胀系数无碱高铝硼硅酸盐玻璃及其制备方法
EP3656744A1 (en) * 2018-11-23 2020-05-27 Heraeus Conamic UK Limited On-line annealing of large fused quartz ingots
JP7144750B2 (ja) * 2019-06-07 2022-09-30 日本電気硝子株式会社 ガラス板製造装置及びガラス板製造方法
WO2021124801A1 (ja) * 2019-12-18 2021-06-24 日本電気硝子株式会社 ガラス物品の製造方法及びガラス物品の製造装置
CN112340965A (zh) * 2020-12-08 2021-02-09 河北省沙河玻璃技术研究院 一种柔性玻璃的生产装置及生产方法
CN114394736B (zh) * 2021-12-20 2023-12-12 彩虹显示器件股份有限公司 一种基板玻璃成型弯曲度控制装置及方法
CN115286241A (zh) * 2022-08-09 2022-11-04 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 一种高断裂韧性的超薄柔性玻璃及其制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4525193A (en) * 1983-11-14 1985-06-25 Glasstech, Inc. Method and apparatus for supplying cooling air in a glass sheet quench
US6990834B2 (en) * 2002-08-08 2006-01-31 Bruce Technology, Llc Overflow downdraw glass forming method and apparatus
WO2007138832A1 (ja) * 2006-05-25 2007-12-06 Nippon Electric Glass Co., Ltd. 無アルカリガラスおよび無アルカリガラス基板

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02149438A (ja) * 1988-11-30 1990-06-08 Hoya Corp ガラス板の製造装置
JP3093000B2 (ja) 1991-10-31 2000-09-25 ホーヤ株式会社 ガラス板の製造装置
JP2604080B2 (ja) * 1991-12-10 1997-04-23 ホーヤ株式会社 ガラス板の製造装置
JP3875748B2 (ja) 1996-08-02 2007-01-31 Hoya株式会社 ガラス板の製造方法及び製造装置
JP3586142B2 (ja) 1999-07-22 2004-11-10 エヌエッチ・テクノグラス株式会社 ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイス
CN100534938C (zh) 2001-08-08 2009-09-02 布鲁斯科技公司 玻璃板成形装置
JP2004091244A (ja) * 2002-08-30 2004-03-25 Nippon Electric Glass Co Ltd 無アルカリガラス基板及びその製造方法
US20060042314A1 (en) * 2004-08-27 2006-03-02 Abbott John S Iii Noncontact glass sheet stabilization device used in fusion forming of a glass sheet
US20060236722A1 (en) 2005-04-26 2006-10-26 Robert Delia Forming apparatus with extensions attached thereto used in a glass manufacturing system
US7475568B2 (en) * 2005-04-27 2009-01-13 Corning Incorporated Method of fining glass

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4525193A (en) * 1983-11-14 1985-06-25 Glasstech, Inc. Method and apparatus for supplying cooling air in a glass sheet quench
US6990834B2 (en) * 2002-08-08 2006-01-31 Bruce Technology, Llc Overflow downdraw glass forming method and apparatus
WO2007138832A1 (ja) * 2006-05-25 2007-12-06 Nippon Electric Glass Co., Ltd. 無アルカリガラスおよび無アルカリガラス基板

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Publication number Publication date
KR20100100744A (ko) 2010-09-15
KR101521138B1 (ko) 2015-05-18
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CN101821209A (zh) 2010-09-01

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