TWI470646B - 載物台機構 - Google Patents

Description

載物台機構

本發明係有關小型且構造簡單，僅精密設備等的安裝有工件之活動載物台相對於固定載物台容易且穩定的滑動，並且固定活動載物台時之間隙、活動載物台固定後之移動少的載物台機構。

以往，提出有各種在使用進行切削、磨削、研磨等的加工機、顯微鏡等時，用於設置工件之載物台機構、此種載物台機構所包括的載物台之固定裝置。

亦即，公知的載物台機構，基本上具備固定載物台以及活動載物台，例如將與進給螺絲、進給棘爪、活動軸呈一體的測微計頭等安裝於固定載物台側，且於活動載物台側安裝限位器。

進而，於載物台機構中，活動軸與活動載物台側之限位器經常處於由拉伸彈簧拉合的關係，由此抑制間隙之產生。

並且，作為此種手動載物台之一，例如提出有可簡易的設置滑動組件相對於固定組件之限位機構以及滑動程度之調整機構，以能高精度的進行調整，且容易讀取刻度之手動載物台(例如，參照專利文獻1)。

較具體而言，如第14圖所示，一種手動載物台200，其特徵在於，介經緊固件安裝有精密設備之滑動組件204與介經緊固件及底座連接的固定組件205經由滑動機構連結，通過手柄219之操作使滑動組件204滑動，以進行所安裝的精密設備之位置調整，固定組件205係由樹脂形成，於該固定組件205之兩側的壁部以形成倒三角形之突出部231的方式分別沿縱向設置槽232。

於是，使滑動固定螺釘210貫通入壁部設置的滑動固定螺釘用孔216進而抵靠於突出部231，使突出部231向內側傾斜而壓入滑動組件204，由此固定滑動組件204相對於固定組件205之位置，並且使多個滑動調節螺釘(未予圖示)貫通入固定組件205的兩側之壁部設置的多個滑動調節螺釘用孔215進而抵靠於突出部231，使突出部231向內側傾斜而壓住滑動組件204，從而對固定組件205與滑動組件204之間的滑動之程度進行微調。

並且，提出著有用於高精度且牢固的固定高精度載物台之載物台固定裝置(例如，參照專利文獻2)。

較具體而言，如第15圖所示，公開著一種載物台固定裝置300，其特徵在於，將用於固定工件之載物台303設置於加工機之加工軸304，調整該載物台303之位置而將其固定於規定位置，該載物台固定裝置300具備：設置於上述載物台303並沿與其移動方向相同的方向延伸的棒狀構件306；以及自與載物台303之移動方向正交的方向以面接觸的方式固定該棒狀構件306之固定構件307。

[專利文獻1]日本特開2010-223611號公報(申請專利範圍)

[專利文獻2]日本特開2003-48129號公報(申請專利範圍等)

然而，專利文獻1所公開的手動載物台存在下述問題：以燕尾槽滑軌為首，需要滑動固定螺釘、多個滑動調節螺釘等，導致組件數量變多、構造變複雜，進一步，使於固定手動載物台之際，會產生大的間隙，或使手動載物台之固定性不足。

並且，專利文獻2所公開的載物台固定裝置存在下述問題：由於需要突出設置於規定的載物台之外部(外周)，故當為包括該載物台固定裝置之載物台的情況下，載物台整體大型化，並且在固定載物台時，會產生大的間隙，或者是手動載物台之固定性不足。

因此，本發明人經精心檢討的研究，結果發現藉由於規定位置設置規定的間隙吸收構件，能夠形成為小型且廉價的簡易構造，而且能夠分別獲得優異的活動載物台之移動性、間隙防止性、以及固定性，以至完成本發明。

亦即，本發明之目的在於提供一種雖為小型且廉價的簡易構造卻能使活動載物台容易且穩定的滑動，並且固定活動載物台時的間隙、活動載物台固定後之移動少的載物台機構。

若依本發明時，提供一種載物台機構，包括固定載物台及沿該固定載物台之表面滑動的活動載物台，該載物台機構之特徵在於，在形成於固定載物台之鍃孔部設置有進給螺絲及一個或者兩個以上的間隙吸收構件，並且設置有連結構件，該連結構件用於使活動載物台與進給螺絲之進給同步的滑動，由此能夠解決上述的問題。

如此，介經於載物台機構之規定位置，藉由形成有螺紋槽之鍃孔部設置規定的間隙吸收構件，能夠獲得小型且廉價的簡易構造，而且僅使進給螺絲旋轉即可得優異的載物台之移動性。

並且，藉由以此種方式構成，能夠提供固定活動載物台時之間隙、固定後之移動少的載物台機構。

並且，當構成本發明之載物台機構時，以間隙吸收構件為具有進給螺絲之通過孔的圓筒狀的樹脂構件較宜。

藉由以此種方式構成間隙吸收構件，使得間隙吸收構件相對於規定位置的安裝變得容易，並且使基於該間隙吸收構件之應力吸收變得容易，能夠穫得更為優異的載物台之移動性、固定性。

並且，當構成本發明之載物台機構時，以間隙吸收構件於其周圍具有金屬保護罩為宜。

藉由以此種方式構成間隙吸收構件，使得間隙吸收構件相對於規定位置之安裝、固定性變得容易，並且提高該間隙吸收構件之耐久性，能夠長期穫得優異的活動載物台之移動性、固定性。

並且，當構成本發明之載物台機構時，優選間隙吸收構件由醯胺樹脂、聚胺酯樹脂以及橡膠類樹脂中的至少一種構成。

通過以此種方式構成間隙吸收構件，能夠提高間隙吸收構件之成形性、間隙吸收性等，可得更優異的活動載物台之移動性、固定性。

並且，當構成本發明之載物台機構時，以於固定載物台與活動載物台之間具備作為引導構件之金屬片較宜。

通過以此種方式設置作為引導構件之金屬片，可於固定載物台與活動載物台之間發揮作為導軌之功能，可得更優異的活動載物台之移動性、固定性，可獲得更良好的耐久性。

並且，當構成本發明之載物台機構時，宜為具備螺釘構件，該螺釘構件用於在上下方向連結固定載物台與活動載物台，並調整固定載物台與活動載物台之間的滑動接觸力。

藉由以此種方式設置螺釘構件，能夠在固定載物台與活動載物台之間穫得更優異的移動性、固定性，或者優異的耐久性。

並且，當構成本發明之載物台機構時，以固定載物台及活動載物台分別形成為平板狀較宜。

藉由形成此種固定載物台及活動載物台，可提供即使安裝於活動載物台之工件等較大、重量較重，亦可得優異的移動性、固定性，並且小型且廉價的載物台機構。

並且，本發明之另一發明，提供一種載物台機構，包括長方體狀的固定載物台、經予收納於固定載物台之內部的圓柱狀構件、及沿固定載物台之表面滑動的活動載物台，該載物台機構之特徵在於，於圓柱狀構件之內部裝配有一個或者兩個以上的間隙吸收構件，並且利用連結構件連結裝配有間隙吸收構件之圓柱狀構件與上述活動載物台，並且，利用安裝於固定載物台之進給螺絲並借助間隙吸收構件以使圓柱狀構件滑動，由此使活動載物台同步的滑動。

如此，規定形狀的固定載物台與活動載物台經由規定的圓柱狀構件使連結構件實質的連結，並且藉由固定載物台之進給螺絲間接的使活動載物台同步的滑動，因此能夠提供不僅可獲得優異的移動性、固定性，而且能夠獲得優異的安裝性等，並且小型並且廉價的載物台機構。

[第1實施方式]

對於第1實施方式，如第1a~b圖例示，載物台機構10包括固定載物台11及沿該固定載物台11之表面滑動的活動載物台12，該載物台機構10之特徵在於，在形成於固定載物台11之鍃孔部13設置進給螺絲15及一個或者兩個以上的間隙吸收構件16，並且設置連結構件18，該連結構件18與進給螺絲15之進給同步的使活動載物台12滑動。

於是，第1實施方式係固定載物台11及活動載物台12分別呈平板狀的載物台機構10。

以下，適當的參照附圖對第1實施方式之載物台機構10進行具體說明。

1.固定載物台 (1)形態

關於第1a~b圖所示的固定載物台11之形態，於第1實施方式之載物台機構10中，若為平板狀即可，並未予特別的限制。

亦即，通常較宜為，將固定載物台11之平面形狀形成為四邊形(包括正方形)，並且作為其尺寸，將縱寬形成為2～10cm之範圍內的值，將橫寬形成為2～10cm之範圍內的值，並且將厚度形成為1～10mm之範圍內的值。

此乃因：若採用此種平面形狀及尺寸之固定載物台11時，不僅操作方便及製造容易，且即使在介經工件固定用貫通孔12b等與安裝有規定的工件(未予圖示)之活動載物台12組合的情況下，亦可穩定的進行保持，且可容易的使其滑動所致。

並且，關於固定載物台之形態，如第2a~b圖所示，宜為在俯視四邊形狀的固定載物台11、11’之情況下，在其一邊設置著供形成規定空間而用的缺口11c。

此乃因：利用該缺口11c之空間予以形成進給螺絲15之移動空間，該進給螺絲15具備沿規定方向移動而用於推壓活動載物台12之連結構件18，能使該等沿規定方向旋轉移動所致。

因此，具有具備連結構件18之進給螺絲15的固定載物台11、11’經由利用多個連結構件用固定件19(19a、19b)平衡良好且予以牢固安裝的連結構件18與活動載物台12連結，因此能與由進給螺絲15之旋轉移動引起的進給對應的僅使活動載物台12同步滑動。

亦即，藉由形成此種缺口11c，能於固定載物台11、11’停止的狀態下，僅使活動載物台12沿規定方向滑動。

在此，至於設置於固定載物台11、11’之缺口11c的平面形狀，並無特別限定，但以採用例如矩形狀、槽狀、半圓形狀、半橢圓形狀、倒三角形狀、異形狀等為宜。

於是，雖然亦取決於固定載物台11、11’之大小，固定載物台11、11’之自一邊至缺口11c之最深部的距離，亦即第2a~b圖中以標號L1表示的距離通常以形成為1～15mm之範圍內的值為宜，形成為3～12mm之範圍內的值為較宜，形成為5～10mm之範圍內的值為尤宜。

並且，第2a~b圖中以標號L2表示的缺口11c之面寬長度通常以形成5～30mm之範圍內的值為宜，形成8～25mm之範圍內的值為較宜，形成10～20mm之範圍內的值為尤宜。

於是，至於固定載物台11之構成材料並無特別限定，但通常宜為鋁(包括陽極氧化處理鋁)、銅、黃銅、鐵、鎳、鎂、鎢、陶瓷、高分子樹脂材料等中的至少一種。

尤其，若為陽極氧化處理鋁時，由於涉及輕量性、耐腐蝕性、耐久性、加工性、熱傳導性、裝飾性及經濟性等，故作為固定載物台11之構成材料係合適的。

此外，至於固定載物台11之形態，如第1a~b圖所示，固定載物台11較宜為於其側面、背面等設置有一個或兩個以上的安裝孔、潤滑脂注入孔11a、11b之小孔。

亦即，若上述小孔為安裝孔時，即可利用該安裝孔與其他組件進行固定，或者，若該小孔為潤滑脂注入孔時，即可藉由向固定載物台11與活動載物台12之間的邊界面等供給規定的潤滑脂、潤滑油而使活動載物台12更順暢的滑動。

(2)進給螺絲

並且，第1b圖所示的進給螺絲15及墊圈15’共同安裝在形成於固定載物台11之鍃孔部13，並且在上述進給螺絲15之端部設置有具有連結構件用固定件19之連結構件18。

因此，與該進給螺絲15之進給對應的，上述連結構件18呈直線狀移動，由此可使活動載物台12穩定的滑動。

並且，如第1b圖所示，進給螺絲15宜為形成為包括具有與螺絲起子等卡合的凹部之頭部15a、及具有螺紋槽之螺紋部15b的結構。

進而，進給螺絲15宜為使用馬達等利用機械式的驅動或者電驅動力予以進行旋轉動作，但為使結構更為簡易，宜為使用螺絲起子或六角扳手等予以手動的使其旋轉動作。

此外，若為可發揮與上述進給螺絲15相同的作用效果之構件即可，亦可適當更換或改變規定形態，例如，亦可使用由經過防銹處理的金屬材料形成的棒狀物、棱柱物、線狀物等。

(3)間隙吸收構件

並且，第1b圖所示的間隙吸收構件16係確保活動載物台12之良好移動性，並且吸收在活動載物台12等產生的應力，從而抑制間隙之產生並牢固的保持固定狀態之構件。

亦即，若依上述間隙吸收構件16時，在活動載物台12滑動的期間，可發揮規定的滑動性，不會阻礙該活動載物台12之滑動，並能夠防止其出現橫擺或扭轉等。

進而，能夠在固定活動載物台12時適度變形，從而減少活動載物台12之間隙，並且在固定後充分硬化，同樣能夠吸收在活動載物台12等產生的應力，能夠牢固的保持固定狀態。

因此，關於間隙吸收構件16之形態，如第3a圖所示，宜為具有用於使進給螺絲15通過的通過孔16a之圓筒狀的緩衝樹脂構件16b。

亦即，藉由以此種方式構成間隙吸收構件16，使得間隙吸收構件16相對於進給螺絲15之規定位置的安裝變容易，並且基於該間隙吸收構件16之應力吸收變容易，進一步，可獲得優異的活動載物台12之移動性、固定性。

並且，雖然未對間隙吸收構件16之緩衝樹脂構件16b的構成材料進行特殊限定，但宜為例如由下述樹脂中的至少一種樹脂材料構成：醯胺樹脂(尼龍樹脂)，聚胺酯樹脂，酯化樹脂、碳酸酯樹脂、丙烯樹脂、烯樹脂、橡膠類樹脂(天然橡膠、苯乙烯橡膠、丁二烯橡膠、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SBS)、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SIS)、苯乙烯-乙烯丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SEBS)等)、醯亞胺樹脂、醯胺-醯亞胺樹脂、苯氧基樹脂、聚醚碸樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚矽氧烷樹脂、環氧樹脂、氰酸酯樹脂、胍胺樹脂、尿素樹脂、及苯酚樹脂。

此乃因：若為由此種熱塑性樹脂材料、熱固性樹脂材料構成的間隙吸收構件16時，則間隙吸收構件16之成形性、間隙吸收性等可予提高，進一步，可得優異的活動載物台12之移動性、固定性。

於是，尤其，若為醯胺樹脂(尼龍樹脂)、聚胺酯樹脂以及橡膠類樹脂中的至少一種時，則活動載物台12之移動性與固定性之間的平衡更好，耐久性等更為優異，因此係較合適的樹脂材料。

並且，通常，以間隙吸收構件16之緩衝樹脂構件16b的構成材料(樹脂材料)之玻璃轉化溫度或者熔點為30～250℃之範圍內的值較宜。

此乃因：當上述構成材料之玻璃轉化溫度或者熔點為未滿30℃之值時，耐熱性、機械強度不足，存在間隙吸收性、活動載物台12之固定性下降的情況所致。

另一方面，當上述構成材料之玻璃轉化溫度或者熔點為超過250℃的值時，存在可使用的樹脂材料之種類過度受限，間隙吸收性顯著降低的情況所致。

因此，較宜為間隙吸收構件16之構成材料的玻璃轉化溫度或者熔點為50～200℃之範圍內的值，尤宜為80～180℃之範圍內的值。

另外，間隙吸收構件16之構成材料的玻璃轉化溫度能夠作為DSC測定中的比熱之變化點進行測定，若為具有熔點之構成材料時，則能夠以JISK7121為基準作為DSC融化熱峰值溫度進行測定。

並且，如第3a圖以及第3b圖所示，宜為間隙吸收構件16在其周圍具有規定形態之金屬保護罩16c。

亦即，宜為以下述方式構成間隙吸收構件16：具有金屬保護罩16c，通過沿第3a圖以及第3b圖中的箭頭方向將緩衝樹脂構件16b***該金屬保護罩16c而構成間隙吸收構件16，其中，金屬保護罩16c一體的包括用於收容緩衝樹脂構件16b之帽狀的收容部16d及具有螺紋槽之螺紋部16e。

此乃因：藉由以此種方式設置金屬保護罩16c，使得間隙吸收構件16相對於進給螺絲15之規定位置的安裝、固定性變得容易，並且該間隙吸收構件16的耐久性提高，能長期間獲得優異的活動載物台12之移動性、固定性所致。

於是，如第4a圖及第4b圖所示，亦宜為在將緩衝樹脂構件16b***至金屬保護罩16c後，將帽狀的收容部16d之前端部折彎。

此乃因：藉由以此種方式進行折彎，可防止緩衝樹脂構件16b之脫落，並且間隙吸收構件16於進給螺絲15之移動性、間隙吸收構件16之應力吸收性變得更好所致。

另外，雖然未對上述金屬保護罩16c之構成材料進行特別限定，但自輕量、廉價且可得規定的變形性及耐久性之觀點出發，宜為鋁、銅、鎳、鐵等的至少一種。

在此，參考第4a~c圖對基於間隙吸收構件16之應力吸收的作用效果進行說明。

亦即，第4a圖係用於對基於間隙吸收構件16之作用效果進行說明的圖，示出在形成於固定載物台11之鍃孔部13安裝有進給螺絲15及兩個間隙吸收構件16(具有金屬保護罩16c之緩衝樹脂構件16b)的狀態。

並且，第4b圖係第4a圖所示的兩個間隙吸收構件16之局部放大圖，示出以各個金屬保護罩16c之收容部16d彼此對置、重合的方式配置的狀態。

再者，第4c圖示出以金屬保護罩16c相對於進給螺絲15朝向同一方向(圖中為分別向右)之方式配置兩個間隙吸收構件16的狀態。

因此，設置一個間隙吸收構件16之情況自不必說，如第4a~c圖所示，即便係在設置兩個間隙吸收構件16之情況下，在進給螺絲15朝規定方向旋轉移動的期間，緩衝樹脂構件16b等亦可發揮規定的滑動性，不會阻礙同步滑動的活動載物台12之動作，能有效的防止其橫擺或扭轉等。

另外，伴隨著進給螺絲15之旋轉移動，有時會產生發熱現象，但兩個間隙吸收構件16能有效的吸收由於發熱現象所產生的熱。

亦即，雖然吸收的熱會導致間隙吸收構件16局部可塑化，但仍能保持原樣的發揮規定的滑動特性。

若再提及時，由於在構成間隙吸收構件16之圓筒狀的緩衝樹脂構件16b之周圍設置有規定的金屬保護罩16c，故無需擔心緩衝樹脂構件16b過度變形、或自規定位置流出。

另一方面，如第4a~c圖所示，在設置兩個間隙吸收構件16之情況下，當進給螺絲15之旋轉移動停止、與進給螺絲15同步的活動載物台12之位置經予固定時，兩個間隙吸收構件16適度變形，可減少活動載物台12之間隙。

亦即，作為緣於進給螺絲15之旋轉移動的推壓力之反作用，產生活動載物台12倒轉的排斥應力，但間隙吸收構件16適度變形，可有效的吸收上述排斥應力，能夠減少活動載物台12之間隙。

於是，進一步，在活動載物台12經予固定於規定位置後，兩個間隙吸收構件16所含的圓筒狀之緩衝樹脂構件16b成為充分固化的狀態。

因此，在第4a~c圖所示的間隙吸收構件16之情況下，左方的間隙吸收構件16能夠有效的吸收從進給螺絲15之頭部15a一側施加的外部應力，右方之間隙吸收構件16能夠有效的吸收從進給螺絲15之與頭部15a相反的一側施加的外部應力。

另外，即使在作用有兩個間隙吸收構件16中之某一個產生鬆弛的應力的情況下，亦會發揮所謂的雙螺母效應。

因此，能夠有效的防止產生基於兩個間隙吸收構件16的樹脂構件16b之鬆弛，並且，即使自外部施加意欲使活動載物台12移動的應力，亦可有效的吸收該應力，能夠牢固的保持固定狀態。

(4)引導構件

並且，如第2a~b圖、或第5圖～第6圖所示，宜為於載物台機構10之規定位置設置有由金屬片20a及引導槽20b構成的一個或者兩個以上之引導構件20。

亦即，上述引導構件20係用於使活動載物台12無左右晃動的僅沿規定方向穩定滑動的構件。

因此，雖然對引導構件20之構成材料、形態未予特別限定，但宜為形成為如下的結構：例如如第1圖所示的載物台機構10之B-B剖視圖，亦即第6圖所示，於大致四邊形狀之活動載物台12的左右之兩邊附近分別形成引導槽20b’，並將規定長度之金屬片20a壓入引導槽20b’內，由此，金屬片20a在活動載物台12之表面突出。

進而，如後所述，於固定載物台11中，在與活動載物台12之引導槽20b’對置的位置形成同樣的引導槽20b。

因此，利用經予分別壓入上下方向的引導槽20b、20b’之棒狀(圓柱狀或者多棱柱狀)的金屬片20a構成引導構件20，活動載物台12能夠沿著引導構件20相對於固定載物台11順暢的滑動。

另外，如第2b圖所示，自操作性良好的觀點出發，宜為金屬片20a呈直線狀，但如第2a圖所示，使兩端部帶有圓角之(曲率)棒狀的金屬片20a向規定方向彎曲、從而使其平面形狀描繪平緩的圓弧之情況亦較宜。

此乃因：通過使金屬片20a描繪此種彎曲狀，能容易地將金屬片20a壓入引導槽20a’中，並且壓入後維持規定的彎曲狀態，因此能夠更為牢固的進行保持。

進一步，如第2a圖所示，宜為準備兩個以各自之彎曲方向一致的方式彎曲的金屬片20a，並分別壓入引導槽20a’內。

此乃因：若以此種方式構成時，則在使活動載物台12滑動時，由於金屬片20a朝同一方向彎曲，故其所提供的引導性更好。

接著，參考第7圖對構成引導構件20之一部分的金屬片20a之長度與固定載物台11之引導槽20b的長度之間的關係進行說明。

另外，由於固定載物台11之引導槽20b的長度與活動載物台12之引導槽20b’的長度實質上相等，故後述的關係不僅適用於固定載物台11之引導槽20b，亦適用於活動載物台12之引導槽20b’。

首先，金屬片20a之長度(L3)雖然為比引導槽20b之長度(L4)較短的值，但通常宜為引導槽20b之長度(L4)的50～90%之範圍內的值，較具體而言，設定成1.5～8cm之範圍內的值。

此乃因：若上述金屬片20a之長度(L3)為未滿1.5cm的值時，會出現構成引導構件20的情況下之引導效果顯著降低的情況所致。

另一方面，若上述金屬片20a之長度(L3)為超過8cm的值時，會出現載物台機構10之重量過重，或很難與進給螺絲15之進給同步的僅使活動載物台12順暢的滑動之情況所致。

因此，較宜為將上述金屬片20a之長度(L3)形成為2～7cm之範圍內的值，尤宜為設定成3～5cm之範圍內的值。

並且，關於金屬片20a之厚度(t1)，雖然為引導槽20b之厚度(t2)的大致2倍的值，但通常宜為設定成0.5～8mm之範圍內的值。

此乃因：若該金屬片20a之厚度(t1)為未滿0.5mm之值時，會出現構成引導構件20之情況下的引導效果顯著降低的情況所致。

另一方面，若上述金屬片20a之厚度(t1)為超出8mm之值時，會出現載物台機構10之重量過重，或很難與進給螺絲15之進給同步的僅使活動載物台12順暢的滑動之情況所致。

因此，較宜為將上述金屬片20a之厚度(t1)設定成1～7mm之範圍內的值，尤宜為設定成2～6mm之範圍內的值。

與此相對，構成引導構件20之一部分的引導槽20b之長度(L4)可考慮上述的金屬片20a之長度(L3)、厚度(t1)或者金屬片20a之彎曲程度等確定，但通常宜為設定成1.8～9cm之範圍內的值。

此乃因：若上述引導槽20b之長度(L4)為不足1.8cm之值時，會出現構成引導構件20之情況下的引導效果顯著降低，或金屬片20a之壓入變得困難的情況所致。

另一方面，若上述引導槽20b之長度(L4)為超出9cm之值時，會出現金屬片20a之固定性降低，或難以與進給螺絲15之進給同步的僅使活動載物台12順暢的滑動的情況所致。

因此，較宜為將上述引導槽20b之長度(L4)設定成2.2～7.5cm之範圍內的值，尤宜為設定成3.5～5.5cm之範圍內的值。

進一步，關於構成引導構件20之一部分的引導槽20b之深度(t2)，雖然取決於金屬片20a之厚度(t1)，但通常宜為設定成0.1～8mm之範圍內的值。

此乃因：若上述引導槽20b之深度(t1)未滿0.1mm之值時，會出現構成引導構件20之情況下的引導效果顯著降低，或金屬片20a之固定性降低的情況所致。

另一方面，若上述引導槽20b之深度(t1)為超出8mm之值時，會出現固定載物台11之強度、穩定性降低，或很難與進給螺絲15之進給同步的僅使活動載物台12順暢的滑動的情況所致。

因此，較宜為將上述引導槽20b之深度(t1)設定成0.5～6mm之範圍內的值，尤宜為設定成1～4mm之範圍內的值。

另外，代替上述的引導構件20或與上述的引導組件20，亦宜為同時採用滾珠導軌(ball guide)或交叉滾子導軌(cross roller guide)等的情況。

亦即，雖然並未圖示，但是，藉由於固定載物台及活動載物台之各自的規定場所、且為平行位置設置二條V槽軌道，並於其中排列多個滾珠或者滾柱，形成為此等滾珠或者滾柱沿V槽軌道一邊滾動一邊移動的結構，由此發揮規定的引導效果，此種情況亦較宜。

2.活動載物台 (1)形態

關於第1圖所示的活動載物台12之形態的特徵，與固定載物台11之形態同樣，並未受特別的限定，大致呈平板狀。

亦即，如第5圖的分解圖所示，宜為，通常將活動載物台12之平面形狀形成為四邊形(包括正方形)，並且，作為其尺寸，與固定載物台11同樣，將縱寬形成為2～10cm之範圍內的值，橫寬形成為2～10cm之範圍內的值，且厚度形成為1～10mm之範圍內的值。

此乃因：若為具有此種平面形狀及尺寸之活動載物台12時，則具有與固定載物台11同樣的尺寸，比較緊湊，並且利用與進給螺絲15之進給對應的連結構件18之動作僅推壓活動載物台12之端部，能夠僅使活動載物台12朝規定方向滑動。

由此，作為載物台機構10之整體，不僅便於使用、製造容易，而且即使在與安裝有規定的工件之活動載物台12進行組合的情況下，仍可穩定的保持活動載物台12，並能夠容易的使之滑動。

另外，如第1a圖所示宜為活動載物台12在其表面側設置有一個或兩個以上的小孔亦即潤滑脂注入孔12a。使用該小孔注入規定的潤滑脂，能夠進一步提高固定載物台11與活動載物台12之間的滑動性。

並且，如第1a圖所示，宜為活動載物台12於其表面側設置有一個或者兩個以上的例如直徑1～5mm之工件固定用貫通孔12b。能夠使用該工件固定用貫通孔12b將規定的工件牢固的安裝於載物台機構10。

進一步，如第1a圖所示，宜為活動載物台12在其表面側設置有一個或者兩個以上的例如直徑1～3mm之推壓構件用貫通孔12c。使用該推壓構件用貫通孔12c***推壓構件17，能夠將固定載物台11與活動載物台12維持在規定推壓狀態。

(2)構成材料

並且，對於活動載物台12之構成材料亦未予特別限定，與固定載物台同樣，通常宜為採用鋁(包括陽極氧化處理鋁)、銅、黃銅、鐵、鎳、鎂、鎢、陶瓷、高分子樹脂材料等中的至少一種。

(3)引導構件

另外，如第5圖以及第6圖所示，宜為不僅於固定載物台11，亦於上下方向與其對置的位置、且於活動載物台12上亦設置有一個或者兩個以上的引導槽20b’，將金屬片20a壓入其中，從而形成引導構件20。

此乃因：藉由設置此種引導構件20，於將固定載物台11與活動載物台12以對置狀態配置後，能夠利用與進給螺絲15之進給對應的連結構件18之的推壓動作，僅使活動載物台12於固定載物台11之表面上沿引導構件20向規定方向穩定的滑動。

3.連結構件

並且，如第1a~b圖所示，連結構件18藉由多個連結構件用固定件19(19a、19b)平衡性良好的且牢固的安裝於活動載物台12，並且為用於與被安裝於形成在固定載物台11之鍃孔部13的進給螺絲15之動作(旋轉直進運動)同步的使活動載物台12滑動的構件。

因此，如第1a~b圖所示，連結構件18宜為板狀或長方體狀，至於其平面形狀，可為半圓狀、橢圓狀、矩形狀、異形狀等任一種形狀。

於是，至於上述連結構件18之構成材料，與活動載物台12之構成材料同樣，宜為鋁(包括陽極氧化處理鋁)、銅、黃銅、鐵、鎳、鎂、鎢、陶瓷、高分子樹脂材料等中的至少一種。

另外，如第1b圖所示，宜為設置有預壓構件22，以便能夠進行預壓調整而使進給螺絲15相對於該連結構件18成為規定壓力。

亦即，宜為利用進給螺絲15之頭部15a及預壓構件22夾入連結構件18，並且預壓構件22使用預壓螺紋22b對進給螺絲15進行推壓調整。

此乃因：藉由以此種方式設置預壓構件22，能夠在不阻礙進給螺絲15之規定方向的進給之狀態下，使連結構件18甚至固定於連結構件18之活動載物台12順暢的滑動。

4.推壓構件

並且，宜為設置有規定的推壓構件17，以於上下方向推壓固定載物台11與活動載物台12，並利用進給螺絲15之進給使兩者一邊滑移一邊順暢的滑動。

較具體而言，如作為第1a~b圖所示的載物台機構10之C-C剖視圖的第8圖所示，宜為於固定載物台11之下表面的一部分設置鍃孔部17c，隔著壓縮彈簧17a及墊圈17b將作為推壓構件17之螺栓自下方旋入，使固定載物台11與活動載物台12於上下方向上壓接。

亦即，調節推壓構件17之旋入量，將作為推壓構件17之螺栓與壓縮彈簧17a之間的距離形成為規定範圍內的值。

但是，至於推壓構件17之結構，並不局限於此種螺栓，亦可為板簧或壓板等。

[第2實施方式]

如第9a~b圖例示，第2實施方式之載物台機構100包括：長方體狀之固定載物台111；收納於該固定載物台111之內部的圓柱狀構件117；及沿固定載物台111之表面滑動的活動載物台112。

進而，載物台機構100之特徵在於，於圓柱狀構件117之內部裝配有一個或者兩個以上的間隙吸收構件116，並且，利用連結構件118予以連結裝配間隙吸收構件116之圓柱狀構件117與活動載物台112，並且，利用安裝於固定載物台111之進給螺絲115借助間隙吸收構件116使圓柱狀構件117滑動，由此使活動載物台112同步滑動。

以下，適當參照附圖以與第1實施方式之載物台機構10的不同點為中心，對第2實施方式之載物台機構100進行具體說明。

1.固定載物台 (1)形態

於第2實施方式之載物台機構100的情況下，如第9a圖所示，其特徵在於固定載物台111呈長方體狀。

亦即，通常以平面尺寸為0.8～5cm×1～10cm之四邊形(包括正方形)，並且厚度形成為1～10mm之範圍內的值較宜。

此乃因：若為此種尺寸之固定載物台111時，不僅便於使用、製造容易，而且即使於與安裝有規定的工件之活動載物台112進行組合的情況下，仍能夠穩定的保持活動載物台112，並能夠容易的僅使活動載物台112滑動。

(2)構成材料

並且，作為固定載物台111之構成材料，從自分別獲得優異的輕量性、耐久性、尺寸穩定性、加工性等角度出發，宜為鋁(包括陽極氧化處理鋁)、銅、黃銅、鐵、鎳、鎂、鎢、陶瓷、高分子樹脂材料等中的至少一種。

(3)進給螺絲

並且，於第2實施方式之載物台機構100中，進給螺絲115於其螺紋部115b之規定位置具備後述的間隙吸收構件116，進一步，該進給螺絲115與後述的圓柱狀構件117卡合，係供使活動載物台112同步滑動而用的構件。

在此，參照第10a~c圖對將進給螺絲115所具備的間隙吸收構件116安裝於圓柱狀構件117之端部的方法進行說明。

首先，如第10a圖所示，準備具備間隙吸收構件116之進給螺絲115。

接著，如第10b圖所示，使進給螺絲115沿箭頭方向旋轉，向前方送出，從而使其與於端部具有凹部的圓筒狀構件117接觸。

最後，如第10c圖所示，使進給螺絲115進一步沿箭頭方向旋轉，向前方送出，從而***設置於圓筒狀構件117之端部的凹部內。

亦即，如此能夠將進給螺絲115所具備的間隙吸收構件116容易且正確的裝配於圓柱狀構件117之端部。

進而，利用間隙吸收構件116與進給螺絲115之螺紋部115b之間的關係，能夠容易的發揮雙螺母效應，亦即，由此能夠有效地防止間隙吸收構件116產生鬆弛等。

另外，如第9b圖所示，宜為於上述進給螺絲115亦設置有預壓構件122，以賦與規定壓力。

亦即，利用進給螺絲115與預壓構件122夾入固定載物台111之一部分，於該狀態下，使用預壓螺紋122b相對於進給螺絲115推壓預壓構件122，由此能夠於不至於過度防止進給螺絲115之進給動作的狀態下進行預壓調整並固定預壓構件122。

(4)間隙吸收構件

並且，關於第2實施方式之載物台機構100的間隙吸收構件116，能夠形成為與第1實施方式之間隙吸收構件16(具有金屬保護罩16c的緩衝樹脂構件16b)基本上相同的內容。

亦即，如第9b圖所示，於進給螺絲115之中途設置有規定構造之

間隙吸收構件16。

較具體而言，如第10c圖所示，準備經予裝配於具有螺紋部116e之金屬保護罩16c的收容部之緩衝樹脂構件116b，將包括該緩衝樹脂構件116b之間隙吸收構件116設置於進給螺絲115之中途。

因此，於進給螺絲115沿規定方向進給，而使活動載物台112滑動的期間，間隙吸收構件116發揮規定的滑動性，以不致阻礙該活動載物台112的滑動之方式發揮功能。

進而，當固定活動載物台112時，間隙吸收構件116適度變形，減少活動載物台112之間隙，並且於固定活動載物台112後充分固化，同樣能夠吸收於活動載物台112等產生的應力，能夠牢固的保持固定狀態。

另外，第10c圖中示出設置一個間隙吸收構件116之例子，亦可以基於第4a~c圖排列兩個以上之上述間隙吸收構件116。

(5)移動孔

並且，載物台機構100之特徵在於，於固定載物台111之內部設置有截面形狀呈大致圓柱狀之移動孔117b，後述的圓筒狀構件117能夠於移動孔117b內滑動。

較具體而言，如第11圖所示，宜為於固定載物台111之內部設置有移動孔117b，該移動孔117b呈大致圓筒狀，並且具有向上方開口的四邊形狀之開口部117c。

亦即，於拆除活動載物台112之情況下，圓筒狀構件117之平坦部117a經由移動孔117b之的開口部117c露出，並且該圓筒狀構件117之平坦部117a與固定載物台111之上表面側的平坦面111a之面位置一致，形成同一平面之結構。

此乃因：藉以以此種方式利用移動孔117b，能夠使後述的圓筒狀構件117順暢的滑動，並且，即使於圓筒狀構件117之上表面安裝平板狀的活動載物台112之情況下，亦不致阻礙圓筒狀構件117之順暢的滑動。

2.活動載物台

並且，活動載物台112係利用後述的連結構件118與再後述的圓筒狀構件117連結的平板狀組件，與安裝於固定載物台111之進給螺絲115同步的於設置有工件(未予圖示)之狀態下沿規定方向滑動。

亦即，於上述平板狀的活動載物台112之表面側設置有作為加工機、顯微鏡等的對象物之工件(未予圖示)的狀態下，能夠利用進給螺絲115對該活動載物台112之位置進行微調。

另外，關於活動載物台112之形態，除平面形狀採用規定尺寸之長方形以進一步實現輕量化、小型化等外，形成為與第1實施方式之活動載物台12相同的內容。

3.連結構件

並且，連結構件118係直接連結活動載物台112與裝配有間隙吸收構件116之圓筒狀構件117的固定構件，且與安裝在形成於固定載物台111之鍃孔部113的進給螺絲115同步的借助間隙吸收構件116以使圓筒狀構件117滑動，進而使活動載物台112沿同向滑動的固定構件。

因此，連結構件118既可為第9b圖所示的螺釘構件118，或亦可為其他的形態。

進而，在第2實施方式之載物台機構100中，上述連結構件118亦發揮作為第1實施方式之載物台機構10的推壓構件之作用。

亦即，連結構件118於上下方向推壓固定載物台111與活動載物台112，且發揮作為規定的推壓構件之作用以使兩者一邊滑移一邊順暢的滑動。

接著，參照第12a~b圖對裝配有間隙吸收構件116之圓筒狀構件117與活動載物台112之間的基於連結構件118之連結方法的一例進行說明。

首先，如第12a圖所示，於固定載物台111之移動孔117b內***包括研磨前的間隙吸收構件116之圓筒狀構件117，並且利用研磨構件(未予圖示)對包括自固定載物台111之上表面向上側露出的間隙吸收構件16之圓筒狀構件117研磨規定厚度量，於此形成平坦部117a。

此時，圓筒狀構件117為相對於移動孔117b滑動接合之狀態，但為消除其後的晃動，形成為於固定載物台111之移動孔117b的表面Z與圓筒狀構件117的表面之間幾乎無間隙的狀態。

接著，如第12b圖所示，於圓筒狀構件117之平坦部117a及固定載物台111之平坦面形成同一面的狀態下，在將固定載物台111載置於規定位置後，利用螺釘等連結構件118牢固的連結包括間隙吸收構件16之圓筒狀構件117與活動載物台112。

亦即，如此可利用連結構件118以未有所謂的晃動之方式牢固的連結包括間隙吸收構件16之圓筒狀構件117與活動載物台112之間，此外能夠維持圓筒狀構件117於移動孔117b內部之順暢的滑動。

另外，如第12a圖所示，宜為於將圓筒狀構件117***至固定載物台111之移動孔117b之前，藉由研磨或切削等對與圓筒狀構件117相當的位置之圓筒狀構件117進行粗加工予預先除去一部分。

此乃因：藉由於固定載物台111的移動孔117b之外，預先對一部分進行平坦化處理，能夠顯著縮短將圓筒狀構件117***至固定載物台111之移動孔117b的狀態下之精密的研磨作業、研磨時間。

4.圓柱狀構件

於第2實施方式之載物台機構100的情況下，如第9b圖所示，其特徵在於：設置有在形成於固定載物台111之內部的移動孔117b內滑動的、截面形狀實質上為圓狀之圓柱狀構件117。

亦即，圓柱狀構件117具備與固定載物台111之上表面側的平坦部111a共同於面位置之關係上形成同一平面的平坦部117a，且該圓柱狀構件117與上述的活動載物台112通過連結構件118連結，進一步，利用安裝於固定載物台111之進給螺絲115使圓柱狀構件117滑動，由此間接的使該活動載物台112滑動。

藉由以此種方式設置一個或兩個以上的圓柱狀構件117，將連結構件(連結螺釘)118設置於載物台機構100之內部，能夠間接的連結固定載物台111與活動載物台112，使載物台機構100更加小型化且輕量化。

另外，關於該圓柱狀構件117之構成材料雖未予特別限定，但與固定載物台111同樣的，宜為由在輕量性、機械特性、耐久性等方面優異的鋁、鋁合金等構成。

進一步，至於圓柱狀構件117之變形例，亦可使用包括四棱柱狀構件之多棱柱狀構件、橢圓柱狀構件及倒三棱柱狀構件等。

5.側面罩

並且，於第2實施方式之載物台機構100內，如第9b圖所示，宜為藉由固定構件(固定螺釘等)119a將側面罩119牢固的安裝於固定載物台111之移動孔117b的端部，以隱蔽該移動孔117b。

亦即，藉由利用上述側面罩119隱蔽移動孔117b，防止水分、灰塵成分等的侵入，提高載物台機構100之耐久性。

另外，至於該側面罩119之形態、構成材料亦未予特別限定，但與固定載物台111同樣的，宜為由在輕量性、機械特性、耐久性等方面優異的鋁、鋁合金等構成的矩形狀物。

產業上的可利用性

如上所述，若依據本發明之載物台機構時，藉由在規定位置設置規定的間隙吸收構件，可得該載物台機構具有小型且廉價的簡易構造，並且活動載物台具有良好的移動性，而且固定活動載物台時之間隙、固定活動載物台後的移動亦少。

尤其，於第1實施方式之載物台機構或第2實施方式之載物台機構中，即使分別於省略燕尾槽滑軌等的情況下，亦可獲得優異的活動載物台之移動性、固定性，故能夠提供更為小型且廉價之可進行高精細對位的載物台機構。

並且，若依據本發明之載物台機構時，藉由適當組合多個載物台機構(單軸載物台機構)，可提供分別能夠向XY方向或XYZ方向移動的二軸載物台機構及三軸載物台機構。

例如，將一個單軸載物台機構與另一單軸載物台機構於上下方向重疊，從而能夠構成於固定沿XY(水平方向)方向移動的活動載物台時之間隙、固定活動載物台後之移動少的二軸載物台機構。

較具體而言，如第13a圖所示，以由固定載物台11、活動載物台12、進給螺絲15、連結組件18及連結組件用固定件19等構成的第1單軸載物台機構10中虛擬的中心軸與同一結構之第2單軸載物台機構50’中虛擬的中心軸呈直角的交叉之方式，將第1單軸載物台機構10與第2單軸載物台機構50’於上下方向重疊並固定配置，由此能夠構成可於XY方向移動的二軸載物台機構50。

並且，藉由將一個單軸載物台機構與另一單軸載物台機構於上下方向重疊，並且，進一步於垂直方向固定配置其他的單軸載物台機構，能夠構成固定於XYZ方向(三維方向)移動的活動載物台時之間隙、固定活動載物台後之移動少的三軸載物台機構。

較具體而言，如第13b圖所示，以由固定載物台11、活動載物台12、進給螺絲15、連結組件18以及連結組件用固定件19等構成的第1單軸載物台機構10中虛擬的中心軸與同一結構之第2單軸載物台機構50’中虛擬的中心軸呈直角的交叉之方式，將第1單軸載物台機構10與第2單軸載物台機構50’於上下方向重疊並固定配置，並且，進一步將實質上形成為同一結構之第3單軸載物台機構70’相對於第2單軸載物台機構50’於垂直方向(重力方向)固定配置，由此能夠構成可於XYZ方向移動的三軸載物台機構70。

因此，若依據本發明之載物台機構時，無論單軸載物台機構、二軸載物台機構或三軸載物台機構，均可分別抑制間隙，使於將照相機、感測器、電極、燈等工件搭載於活動載物台時之微調極其容易，對於各種載物台機構之應用備受期待。

10．．．載物台機構

11 11’．．．固定載物台

11a．．．安裝孔

11b．．．潤滑脂注入孔

11c．．．缺口

12．．．活動載物台

12a．．．潤滑脂注入孔

12b．．．貫通孔

12c．．．貫通孔

13．．．鍃孔部

15．．．進給螺絲

15’．．．墊圈

15a．．．頭部

15b．．．螺紋部

16．．．間隙吸收構件

16a．．．通過孔

16b．．．緩衝樹脂構件

16c．．．金屬保護罩

16d．．．收容部

16e．．．螺紋部

18．．．連結構件

19、19a、19b．．．固定件

20．．．引導構件

20a．．．金屬片

20a’、20b、20b’．．．引導槽

50．．．二軸載物台機構

50’．．．第2單軸載物台機構

70．．．三軸載物台機構

70’．．．第3單軸載物台機構

100．．．載物台機構

111．．．固定載物台

111a．．．平坦面

112．．．活動載物台

115．．．進給螺絲

115b．．．螺紋部

116．．．間隙吸收構件

116b．．．緩衝樹脂構件

116e．．．螺紋部

117．．．圓柱狀構件

117a．．．平坦部

117b．．．移動孔

117c．．．開口部

118．．．連結構件

119．．．側面罩

119a．．．固定構件

122．．．預壓構件

200．．．手動載物台

204．．．滑動組件

205．．．固定組件

219．．．手柄

210．．．滑動固定螺釘

231．．．突出部

232．．．槽

303．．．載物台

304．．．加工軸

306．．．棒狀構件

307．．．固定構件

第1a圖係第1實施方式之載物台機構的立體圖。

第1b圖係第1a圖所示的載物台機構之A-A剖視圖。

第2a~b圖係供說明對第1實施方式之載物台機構中的固定載物台而用的圖。

第3a圖係供說明對間隙吸收構件(圓筒狀之樹脂構件)之安裝例而用的圖。

第3b圖係供說明對間隙吸收構件之金屬保護罩而用的圖。

第4a圖係供說明對間隙吸收構件之作用效果而用的圖。

第4b圖係第4a圖所示的附圖之局部放大圖。

第4c圖係其他的間隙吸收構件之組合的局部放大圖。

第5圖係第1a圖所示的載物台機構之分解圖。

第6圖係第1a圖所示的載物台機構之包含引導構件的部位之B-B剖視圖。

第7圖係供說明對載物台機構之引導構件的長度與引導構件之槽的長度之間的關係而用的圖。

第8圖係第1a圖所示的載物台機構之包含螺釘固定構造的部位之C-C剖視圖。

第9a圖係第2實施方式之載物台機構的立體圖。

第9b圖係第9a圖所示的載物台機構之D-D剖視圖。

第10a~c圖係供說明對具備間隙吸收構件之進給螺絲相對於圓筒狀構件之安裝方法而用的圖。

第11圖係自第2實施方式之載物台機構除去進給螺絲後的狀態之分解圖。

第12a~b圖係供說明對基於連結構件之圓筒狀構件與活動載物台之間的連結方法而用的圖。

第13a圖係供說明對能夠向XY方向移動之二軸載物台機構進行說明的圖。

第13b圖係供說明對能夠向XYZ方向移動的三軸載物台機構而用的圖。

第14圖係供說明對以往的手動載物台而用的立體圖。

第15圖係供說明對以往的載物台固定裝置而用的立體圖。

10．．．載物台機構

11．．．固定載物台

11a．．．安裝孔

12．．．活動載物台

12a．．．潤滑脂注入孔

12b．．．貫通孔

12c．．．貫通孔

13．．．鍃孔部

15．．．進給螺絲

18．．．連結構件

19、19a、19b．．．固定件

21

22

Claims (7)

1. 一種載物台機構，其係包括固定載物台及沿該固定載物台之表面滑動的活動載物台而成，其特徵在於：在形成於該固定載物台之鍃孔部設置有進給螺絲及一個或兩個以上的間隙吸收構件的同時，於前述間隙吸收構件於其周圍具有金屬保護罩，並且設置有連結構件，該連結構件用於使該活動載物台與該進給螺絲之進給同步的滑動。
2. 如申請專利範圍第1項所述的載物台機構，其中前述間隙吸收構件係具有該進給螺絲之通過孔的圓筒狀的樹脂構件。
3. 如申請專利範圍第1項所述的載物台機構，其中前述間隙吸收構件係由醯胺樹脂、聚胺酯樹脂及橡膠類樹脂中的至少一種構成。
4. 如申請專利範圍第1項所述的載物台機構，於其中前述固定載物台與活動載物台之間係具備作為引導構件之金屬片。
5. 如申請專利範圍第1項所述的載物台機構，其係具備螺釘構件使於上下方向連結前述固定載物台與活動載物台，並調整固定載物台與活動載物台之間的滑動接觸力。
6. 如申請專利範圍第1項所述的載物台機構，其中前述固定載物台及該活動載物台分別為平板狀。
7. 一種載物台機構，其係包括長方體狀的固定載物台、經予收納於該固定載物台之內部的圓柱狀構件、及沿該固定載物台之表面滑動的活動載物台而成，其特徵在於：該圓柱狀構件之內部裝配有一個或兩個以上的間隙吸收構件，利用連結構件連結裝配有該間隙吸收構件之圓柱狀構件與該活動載物台，且利用安裝於該固定載物台之進給螺絲並借助該間隙吸收構件以使該圓柱狀構件滑動，由此使該活動載物台同步的滑動。