TWI469939B - 劃線頭及劃線裝置 - Google Patents

Description

劃線頭及劃線裝置

本發明係有關於一種劃線頭及使用此劃線頭之劃線裝置。

先前，眾所周知有利用劃線輪於基板(例如，玻璃基板)之表面上形成切割線之劃線頭、及使用該劃線頭之劃線裝置(例如，專利文獻1)。

又，先前亦眾所周知有如下技術：藉由使劃線輪擺動之第1軸、以及使劃線輪及第1軸擺動之第2軸(與第1軸大致平行)來確保劃線輪之平移性(例如，專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2005/063459號

如上所述，專利文獻1之技術係藉由2個軸(第1及第2軸)來調節劃線輪之姿勢。即，當於基板上形成切割線時，劃線頭之各軸並不固定。

藉此，因劃線輪、以及第1及第2軸之位置關係不同，切割線於劃線輪之行進方向以及與第1及第2軸大致垂直之方向(以下，亦簡稱為「波動方向」)起伏變化。其結果，於相較玻璃基板要求更高精度切割線之半導體基板之情形時，則會產生波動方向上之切割線之擺幅(以下，亦簡稱為「切割線之形成寬度」)達到容許值以上之問題。

因此，本發明之目的在於提供一種可形成良好之切割線之劃線頭、及劃線裝置。

為解決上述課題，技術方案1之發明係一種劃線頭，其特徵在於，其係藉由相對於脆性材料基板進退，而於上述脆性材料基板上形成沿著劃線輪之行進方向之切割線者，且包括：輪架，其係以與上述行進方向大致垂直之第1轉軸為中心，可旋轉地支撐上述劃線輪；輪架安裝塊，其設置於上述輪架上方；以及，輪架接頭，其係於下部安裝上述輪架，並且藉由以與上述行進方向及上述第1轉軸各自大致垂直之第2轉軸為中心進行旋轉，而對上述輪架安裝塊可擺動地受到支撐；上述第1轉軸係自上述第2轉軸之正下方沿著上述劃線輪之行進方向錯開地配置；於上述輪架安裝塊中，藉由產生與上述第2轉軸大致平行之方向之固定力，而使上述輪架接頭對上述輪架安裝塊固定。

又，技術方案2之發明係如技術方案1之劃線頭，其中上述輪架接頭包括對於上述輪架安裝塊可旋轉地受到支撐之回轉部；上述輪架安裝塊包含：筒夾，其具有沿著上述第2轉軸延伸之中空狀筒體；套爪環，其具有與上述筒體呈同心狀，且自上述筒夾之上方朝向上述筒夾延伸之圓環狀之壁部；以及壓入部，其設置於上述套爪環之上方，且產生大致平行於上述第2轉軸地將上述套爪環壓入之壓入力作為上述固定力；上述輪架接頭之上述回轉部係於***至上述筒夾之上述筒體之狀態下，可相對於上述輪架安裝塊進行旋轉；藉由來自上述壓入部之上述壓入力被賦予至上述套爪環，而於由上述壁部包圍之包圍空間中，使上述筒體抵接於上述壁部與上述回轉部，藉此將上述輪架接頭之上述回轉部固定於上述筒夾。

又，技術方案3之發明係如技術方案1之劃線頭，其中上述劃線頭包含：實施用以使上述輪架接頭對上述輪架安裝塊固定之固定動作之固定部，且上述固定部係產生上述固定力。

又，技術方案4之發明係如技術方案3之劃線頭，其中上述輪架接頭包含：對上述輪架安裝塊可旋轉地受到支撐之回轉部；上述輪架安裝塊包括：筒夾，其具有沿著上述第2轉軸延伸之中空狀筒體；套爪環，其具有與上述筒體呈同心狀且自上述筒夾之上方朝向上述筒夾延伸之圓環狀壁部；以及壓入部，其係設置於上述套爪環之上方，且與上述第2轉軸大致平行地將上述套爪環壓入；上述輪架接頭之上述回轉部係於***至上述筒夾之上述筒體之狀態下，可相對於上述輪架安裝塊進行旋轉；並且，上述固定部係藉由使上述壓入部進行壓入動作，而使上述壓入部產生與上述第2轉軸大致平行地將上述套爪環壓入之壓入力作為上述固定力；藉由來自上述壓入部之上述壓入力被賦予至上述套爪環，而於由上述壁部包圍之包圍空間中，使上述筒體抵接於上述壁部與上述回轉部，藉此將上述輪架接頭之上述回轉部固定於上述筒夾上。

又，技術方案5之發明係如技術方案4之劃線頭，其中於上述壓入部之外周形成有外螺紋；於上述輪架安裝塊之上部，設置有與上述外螺紋對應之螺紋孔；上述固定部係藉由使上述壓入部旋轉，將上述壓入部之前端旋入至上述輪架安裝塊內，而將上述壓入力賦予至上述套爪環。

又，技術方案6之發明係如技術方案5之劃線頭，其中上述劃線頭係更包括升降部，其藉由使上述輪架安裝塊上下方向移動，而自受上述輪架支撐之上述劃線輪對上述脆性材料基板賦予壓緊力；上述升降部包含：驅動力供給源，其配置於上述輪架安裝塊之上方，且供給上述上下方向之驅動力；傳遞部，其設置於沿著上述上下方向配置之上述輪架安裝塊以及上述驅動力供給源之間，將上述驅動力賦予至上述輪架安裝塊；以及導引機構，其係以沿著上述上下方向移動之方式，導引上述輪架安裝塊；上述固定部包括：第1旋轉元件，其配置於上述壓入部之上方，且使上述壓入部進行旋轉；第2旋轉元件，其係配置於上述第1旋轉元件之側方，且與上述第1旋轉元件聯動連結；以及旋轉力供給源，其係藉由使上述第2旋轉元件旋轉，而自上述第2旋轉元件將旋轉力賦予至上述第1旋轉元件；上述傳遞部係以橫跨沿著上述上下方向配置之上述壓入部以及上述第1旋轉元件之方式設置。

又，技術方案7之發明係如技術方案1至6中任一項之劃線頭，其中上述筒夾更包括圓環板，其係設置於上述筒體之下部，並且於中心附近形成有與上述筒體內之中空空間連通之貫通孔；上述輪架安裝塊更包含軸承，其配置於上述圓環板之下，且樞轉支承上述回轉部；上述軸承係夾於上述輪架安裝塊之底部與上述圓環板之間。

又，技術方案8之發明係一種劃線裝置，其特徵在於：其係於如技術方案1至6中任一項之劃線頭中，包括：保持單元，其係一面保持上述脆性材料基板，一面使所保持之上述脆性材料基板對於上述劃線頭相對移動。

根據技術方案1至8中任一項之發明，劃線輪之第1轉軸係自輪架接頭之第2轉軸之正下方，沿著劃線輪之行進方向錯開。藉此，於劃線輪中產生後傾轉向效應。

又，根據技術方案1至8中任一項之發明，藉由賦予與第2轉軸大致平行之固定力，而使可相對輪架安裝塊擺動之輪架接頭相對輪架安裝塊固定。於此情形時，輪架接頭不會受到與劃線輪之行進方向大致同一方向之力、及與劃線輪之轉軸方向大致同一方向之力，作為固定力。而且，藉由該固定，而使切割線形成時之後傾轉向效應失效。

藉此，於必需使輪架接頭相對輪架安裝塊擺動，以進行劃線輪對脆性材料基板之姿勢調節之情形時，可使劃線輪中產生後傾轉向效應。

另一方面，於使輪架接頭相對輪架安裝塊固定，使後傾轉向效應失效之情形時，可使切割線之形成寬度，變得小於未將輪架接頭固定之情形。此外，由於提供與第2轉軸大致平行之壓入力作為固定力，因此，例如於進行姿勢調節之後，將輪架接頭固定時，可抑制因固定力造成輪架接頭之固定位置錯開。即，可良好地完成姿勢調節。

藉此，於劃線輪之姿勢調節時，可易於變更輪架接頭相對輪架安裝塊之旋轉位置，從而於切割線之形成時，可有效地抑制切割線之形成寬度增大。

尤其，根據技術方案2之發明，藉由將與第2轉軸大致平行之壓入力賦予至套爪環，而於筒夾之筒體***至套爪環之包圍空間之狀態下，將輪架接頭之回轉部固定於筒夾中。即，可利用套爪環及筒夾，良好地固定輪架接頭之回轉部。

尤其，根據技術方案3至6中任一項之發明，藉由利用固定部之作用，提供與第2轉軸大致平行之固定力，而使可相對輪架安裝塊擺動之輪架接頭相對輪架安裝塊固定。

尤其，根據技術方案4至6中任一項之發明，藉由固定部之作用，而自壓入部將壓入力賦予至套爪環。藉此，於筒夾之筒體***至套爪環之包圍空間之狀態下，將輪架接頭之回轉部固定於筒夾。即，藉由套爪環及筒夾，而良好地固定輪架接頭之回轉部。

尤其，根據技術方案5及6之發明，若使壓入部旋轉，將壓入部之前端旋入至輪架安裝塊內，則壓入部將壓入力持續地賦予至套爪環。因此，可良好地維持將壓入力賦予至套爪環之狀態，其結果，可良好地維持輪架接頭之回轉部相對筒夾固定之狀態。

尤其，根據技術方案6之發明，傳遞部係設置成跨越固定部之第1旋轉元件與輪架安裝塊之壓入部。藉此，可以自劃線輪賦予至脆性材料基板之壓緊力、及將壓入部向下壓入之壓入力作用於大致同一直線上之方式，配置第1旋轉元件及壓入部。藉此，便可於切割線之形成時，一面更良好地維持使後傾轉向效應失效之狀態，一面更有效地抑制切割線之形成寬度增大。

尤其，根據技術方案7之發明，若將壓入力賦予至套爪環，則筒夾之圓環部被向下壓緊。藉此，便將壓縮力賦予至配置於輪架安裝塊之底部與圓環板之間之軸承，從而阻礙軸承之旋轉。因此，可使輪架接頭更良好地相對輪架安裝塊固定。

<第1實施形態>

以下，一面參照圖式，一面對本發明之實施形態進行詳細說明。

<1.劃線裝置之構成>

圖1及圖2係分別表示劃線裝置1之一整體構成例之正視圖及側視圖。圖3係表示劃線輪60附近之一構成例之正視圖。

劃線裝置1係例如玻璃基板或陶瓷基板等，於由脆性材料形成之基板(以下，亦簡稱為「脆性材料基板」)4之表面劃有切割線(切割紋路：縱向裂紋)之裝置。

如圖1及圖2所示，劃線裝置1係主要包括保持單元10、劃線單元20、攝像部單元70、以及控制單元90。再者，於圖1及圖1以後之各圖中，為明確其等之方向關係，而視需要，適當地標註有將Z軸方向設為鉛垂方向且將XY平面設為水平面之XYZ正交座標系。

此處，如圖3所示，若藉由劃線裝置1而於脆性材料基板4之表面上形成切割線SL，則於脆性材料基板4上，產生沿著垂直方向(Z軸方向)延伸之垂直裂紋K(劃線步驟)。

將如下方法稱為「斷裂」，即，藉由對產生有該垂直裂紋K之脆性材料基板4賦予應力(斷裂步驟)，而使垂直裂紋K自形成有切割線SL一側之主面成長至其相反側之主面為止，從而切斷脆性材料基板4。

另一方面，將如下方法稱為「***」，即，僅藉由劃線步驟(即，不執行斷裂步驟)，而使垂直裂紋K自形成有切割線SL一側之主面伸展至相反側之主面為止，從而切斷脆性材料基板4。

該等斷裂及***係如下切斷方法，即，用於切斷之本質性要素為垂直裂紋之伸展，且就不產生切屑方面而言，優於產生切屑為用以切斷之本質性要素且使用鑽石切割機(或者磨輪)、或者鑽石劃片機之研磨切割。

作為可藉由本實施形態之劃線方法而斷裂或***之脆性材料基板4之材質例，可列舉玻璃、陶瓷、矽、或藍寶石等。尤其近年來，作為用於與通信機器相關之高頻模組之基板，正在自HTCC(High Temperature Co-fired Ceramics，高溫共燒陶瓷)朝著相對易於加工之LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic，低溫共燒陶瓷)加速轉移。因此，將越來越有效地利用本實施形態之劃線方法。

保持單元10係保持脆性材料基板4，並且使所保持之脆性材料基板4對於劃線單元20進行相對性移動。如圖1所示，保持單元10係設置於基部10a上，且主要包括載置台11、滾珠螺桿機構12、及電動機13。

此處，基部10a係由例如大致立方體狀之石板形成，且其上表面(與保持單元10對向之面)經平坦加工。藉此，可降低基部10a之熱膨脹，使由保持單元10保持之脆性材料基板4良好地移動。

載置台11係吸附保持所載置之脆性材料基板4。又，載置台11使所保持之脆性材料基板4沿著箭頭AR1方向(X軸正或負方向：以下，亦簡稱為「進退方向」)進退移動，並且沿著箭頭R1方向(環繞Z軸之方向)旋轉。如圖1及圖2所示，載置台11係主要包括吸附部11a、旋轉台11b、及移動台11c。

吸附部11a係設置於旋轉台11b之上側。如圖1及圖2所示，於吸附部11a之上表面，可載置脆性材料基板4。又，於吸附部11a之上表面，柵格狀地配置有複數個吸附槽(省略圖示)。因此，於載置著脆性材料基板4之狀態下，藉由將各吸附槽內之環境氣體進行排氣(吸引)，而將脆性材料基板4吸附於吸附部11a。

旋轉台11b係設置於吸附部11a之下側，且以與Z軸大致平行之轉軸11d為中心，使吸附部11a旋轉。又，移動台11c係設置於旋轉台11b之下側，且沿著進退方向，使吸附部11a及旋轉台11b移動。

因此，由載置台11吸附保持之脆性材料基板4係沿著箭頭AR1方向進退移動，並且以隨著吸附部11a之進退動作而移動之轉軸11d為中心進行旋轉。

滾珠螺桿機構12係配置於載置台11之下側，且使載置台11沿著箭頭AR1方向進退移動。如圖1及圖2所示，滾珠螺桿機構12係主要包括進給螺桿12a、及螺母12b。

進給螺桿12a係沿著載置台11之進退方向延伸之桿體。於進給螺桿12a之外周面，設置有螺旋狀之槽(省略圖示)。又，進給螺桿12a之一端係由支撐部14a可旋轉地支撐，進給螺桿12a之另一端係由支撐部14b可旋轉地支撐。進而，進給螺桿12a係與電動機13聯動連結，且若電動機13進行旋轉，則沿著電動機13之旋轉方向進行旋轉。

螺母12b係隨著進給螺桿12a之旋轉，而利用未圖示之滾珠之滾動，沿著箭頭AR1方向進退移動。如圖1及圖2所示，螺母12b係固定於移動台11c之下部。

因此，若將電動機13驅動，將電動機13之旋轉力傳遞至進給螺桿12a，則螺母12b沿著箭頭AR1方向進退移動。其結果，固定著螺母12b之載置台11，與螺母12b同樣地沿著箭頭AR1方向進退移動。

一對導軌15、16係約束載置台11於行進方向上之移動。如圖2所示，一對導軌15、16係於基部10a上，隔開特定距離固定於箭頭AR2方向上。

複數個(本實施形態中為2個)滑動部17(17a、17b)係沿著導軌15於箭頭AR1方向上自如滑動。如圖1及圖2所示，滑動部17(17a、17b)係於移動台11c之下部，隔開特定距離固定於箭頭AR1方向上。

複數個(本實施形態中為2個)滑動部18係沿著導軌16於箭頭AR1方向上自如滑動。然而，圖示為方便起見，而於圖2中僅表示一個滑動部18a。滑動部18係與滑動部17同樣地，於移動台11c之下部，隔開特定距離固定於進退方向上。

於具有如此構成之保持單元10中，若將電動機13之旋轉力賦予至滾珠螺桿機構12，則載置台11沿著一對導軌15、16移動。藉此，確保載置台11於進退方向上之平移性。

劃線單元20係藉由使劃線輪60(參照圖3)對由保持單元10保持之脆性材料基板4進行壓接滾動，而於脆性材料基板4之表面上形成切割線SL。如圖1及圖2所示，劃線單元20係主要包括保持劃線輪60之劃線頭30及驅動部50。

劃線頭30係保持劃線輪60。又，於劃線頭30中，藉由未圖示之升降‧加壓機構之作用，而調節使所保持之劃線輪60壓接於脆性材料基板4之表面時之壓緊力(以下，亦簡稱為「劃線負荷」)。再者，關於劃線頭30之詳細構成，將於下文中進行描述。

驅動部50係使設置有劃線輪60之劃線頭30，於箭頭AR2方向(Y軸正或負方向：以下，亦簡稱為「往復方向」)往復移動。如圖2所示，驅動部50係主要包括複數個(本實施形態中為2個)支柱51(51a、51b)、複數個(本實施形態中為2個)導軌52、及電動機53。

支柱51(51a、51b)係自基部10a沿上下方向(Z軸方向)延伸。如圖2所示，導軌52係於夾隔於支柱51a、51b之間之狀態下，相對該等支柱51a、51b固定。

導軌52係約束劃線頭30於往復方向上之移動。如圖2所示，導軌52係隔開特定距離固定於上下方向。

電動機53係與未圖示之進給機構(例如，滾珠螺桿機構)聯動連結。藉此，若電動機53進行旋轉，則劃線頭30沿著導軌52於箭頭AR2方向上往復移動。

劃線輪60係使鑽石含有物成形所得者。此處，作為該鑽石含有物之一例，可列舉燒結鑽石(Polycrystalline diamond(聚晶鑽石)：亦簡稱為「PCD」)、多晶鑽石、天然單晶鑽石、及合成單晶鑽石。

攝像部單元70係對由保持單元10保持之脆性材料基板4進行攝像。如圖2所示，攝像部單元70係包含複數個(本實施形態中為2台)攝像機75(75a、75b)。

攝像機75(75a、75b)，如圖1及圖2所示，配置於保持單元10之上方。攝像機75(75a、75b)係拍攝形成於脆性材料基板4上之特徵性部分(例如，對準標記(省略圖示))之圖像。而且，基於由攝像機75(75a、75b)拍攝之圖像，求出脆性材料基板4之位置及姿勢。

此處，所謂脆性材料基板4之「位置」係指絕對座標系中之脆性材料基板4上之任意位置。又，所謂脆性材料基板4之「姿勢」係指脆性材料基板4之基準線(例如，脆性材料基板4為方形時4邊中之1邊)相對於劃線頭30之往復方向之傾斜度。

於將方形脆性材料基板4斷裂或***時，於脆性材料基板4之4個角中相鄰之2個角中形成對準標記。各對準標記係由對應之攝像機75a、75b進行拍攝，並基於該等拍攝之圖像，求出絕對座標系中之各對準標記之位置。繼而，基於該等對準標記之位置，運算脆性材料基板4之位置及姿勢。

控制單元90係實現劃線裝置1之各元件之動作控制、以及資料運算。如圖1及圖2所示，控制單元90係主要包括ROM(Read-Only Memory，唯讀記憶體)91、RAM(Random Access Memory，隨機記憶記憶體)92、及CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)93。

ROM(Read Only Memory)91係各種非揮發性記憶部，且記憶有例如程式91a。再者，作為ROM91，亦可使用讀寫自如之非揮發性記憶體即快閃記憶體。RAM(Random Access Memory)92係揮發性之記憶部，且記憶有例如CPU93運算中使用之資料。

CPU(Central Processing Unit)93係執行遵循ROM91之程式91a之控制(保持單元10之進退‧旋轉動作、及驅動部50使劃線頭30進行之往復動作等之控制)、以及脆性材料基板4之位置運算等之資料處理。

<2.劃線頭之構成>

圖4係表示輪架安裝塊40附近之一構成例之側視圖。圖5係表示劃線輪60附近之一構成例之仰視圖。圖6係用以說明後傾轉向效應之仰視圖。圖7係表示輪架接頭35固定於輪架安裝塊40之後之情況之側視圖。圖8係自圖7之V-V線觀察之輪架安裝塊40附近之剖面圖。

劃線頭30係藉由相對脆性材料基板4進退移動，而於脆性材料基板4上形成沿著劃線輪60之行進方向(箭頭AR2方向：參照圖2)之切割線SL(參照圖3)。如圖4所示，劃線頭30係主要含有輪架31、輪架接頭35、及輪架安裝塊40。

輪架31係如圖4所示，以與劃線輪60之行進方向大致垂直之第1轉軸32a為中心，可旋轉地支撐劃線輪60。輪架31係如圖4所示，安裝於輪架接頭35之下部，且如圖3至圖8所示，主要包含銷32、及支撐框體33。

銷32係貫通劃線輪60之桿體。藉由將銷32***至劃線輪60之貫通孔60a(參照圖3)，而使銷32相對劃線輪60固定。如圖3及圖5所示，貫通孔60a係沿著與X軸大致平行之第1轉軸32a延伸。

如圖3所示，支撐框體33係以覆蓋貫通孔60a之兩開口(兩端)之方式配置之構造物。自貫通孔60a之兩端突出之銷32係可旋轉地設置於支撐框體33。因此，劃線輪60可相對支撐框體33自如旋轉。

輪架接頭35除了下述固定時外，可以與劃線輪60之行進方向及第1轉軸32a各自大致垂直之第2轉軸38a為中心進行旋轉，且對輪架安裝塊40可擺動地受到支撐。如圖4所示，輪架接頭35主要包含安裝片36、及回轉部38。

安裝片36係用於將輪架31安裝於輪架接頭35之下部之安裝元件。如圖4所示，安裝片36係設置於輪架接頭35之下端，且安裝片36之形狀係朝向劃線輪60之行進方向呈大致L字狀(參照圖8)。

如圖4所示，回轉部38係插嵌於軸承46、47之內徑面，進而***至筒夾44之筒體44b所形成之中空空間44d。藉此，回轉部38除了下述固定時外，可以第2轉軸38a為中心，對輪架安裝塊40可擺動地受到支撐。

又，如圖5所示，仰視觀察之回轉部38之轉軸38a之位置、與脆性材料基板4中之劃線輪60之接觸位置60c係於XY平面內錯開。即，如圖5所示，劃線輪60之第1轉軸32a係自轉軸38a之正下方沿著劃線輪60之行進方向(Y軸方向)錯開。

因此，除了下述固定時外，若劃線輪60之行進方向如圖6所示自箭頭AR3(2點鏈線)方向變成箭頭AR4(實線)方向時，則藉由後傾轉向效應，會使環繞轉軸38a之扭矩作用於劃線輪60。藉此，劃線輪60沿箭頭R2方向轉動，劃線輪60之位置由2點鏈線位置變為實線位置。

即，於輪架接頭35未固定於輪架安裝塊40之情形時，即便劃線輪60之行進方向自劃線輪60之姿勢與行進方向大致平行之狀態起發生變化，使得劃線輪60之姿勢相對於行進方向錯開角度θ1，但藉由箭頭R2方向之扭矩作用使劃線輪60回轉，會使劃線輪60之姿勢再次變得與劃線輪60之行進方向大致平行。

輪架安裝塊40係如圖4、圖7及圖8所示，設置於輪架接頭35之安裝片36之上方、及輪架31之上方，且主要包含套爪環42、筒夾44、軸承46、47、及壓入螺栓48。壓入螺栓48、套爪環42、筒夾44、及軸承46、47係自Z軸正側以此順序配置。輪架安裝塊40亦可構成為如上所述可擺動地支撐輪架接頭35，而另一方面，如下所示，亦可採用藉由壓入螺栓48、套爪環42、筒夾44等之作用將輪架接頭35固定，而可使後傾轉向效應失效之構成。

壓入螺栓48(壓入部)係如圖4、圖7及圖8所示，設置於套爪環42之上方。壓入螺栓48係於安裝塊本體40a之上部由螺母49螺合緊固，且可藉由使該螺合緊固位置不同，而上下地調節壓入螺栓48之前端48a。若以使前端48a抵接於套爪環42之上表面之方式調節壓入螺栓48，則壓入螺栓48會賦予將套爪環42向下壓入之壓入力，作為與第2轉軸38a大致平行之固定力。壓入螺栓48之螺合緊固可於進行劃線時，由作業者直接地或者使用某種夾具等實現。

再者，如圖4、圖7及圖8所示，壓入螺栓48之前端48a係呈現大致球狀，因此，壓入螺栓48可對套爪環42以點接觸狀態賦予壓入力。藉此，便可使輪架接頭35更良好地相對輪架安裝塊40固定。

套爪環42以及筒夾44係使輪架接頭35相對輪架安裝塊40固定之固定元件。

如圖4、圖7及圖8所示，筒夾44係主要包括圓環板44a及筒體44b。

筒體44b係沿著第2轉軸38a延伸之中空狀部件。如圖4、圖7及圖8所示，筒體44b係形成為與圓環板44a呈同心狀。如上所述，於筒體44b所形成之中空空間44d，***有輪架接頭35之回轉部38。筒體44b係構成為其內徑D11(參照圖8)於Z軸方向上保持相同值，同時可進行調節。另一方面，筒體44b之外徑D12(參照圖8)係隨著自上方(套爪環42側)朝向下方(軸承46側)而逐漸變寬，此後成為固定寬度。

圓環板44a係設置於筒體44b之下部之板體。於平面視圖中之(自Z軸正側觀察)圓環板44a之中心附近，形成有與筒體44b內之中空空間44d連通之貫通孔44c。

又，如圖4、圖7及圖8所示，套爪環42係主要包括圓盤體42a、外壁42b、及內壁42c。

圓盤體42a係設置於套爪環42之上部之板體。外壁42b係沿著圓盤體42a之外周形成之圓環狀壁部。內壁42c係設置於外壁42b之內側，且與筒夾44之筒體44b呈同心狀之圓環狀壁部。如圖4、圖7及圖8所示，外壁42b以及內壁42c係自筒夾44之上方，朝向筒夾44延伸。此處，內壁42c之內徑D21係隨著自下方(筒夾44側)朝向上方(壓入螺栓48側)而逐漸變窄，此後成為固定寬度。

壓縮彈簧45係由彈性部件形成之施力部件。如圖8所示，壓縮彈簧45之上端係固定於套爪環42，壓縮彈簧45之下端係固定於筒夾44。藉此，利用壓入螺栓48將套爪環42朝下方按下。此時，套爪環42受到壓縮彈簧45朝向上方施力。

若於圖4所示之回轉部38可相對輪架安裝塊40擺動之狀態下，將來自壓入螺栓48之壓入力賦予至套爪環42，將套爪環42按下，則筒夾44之筒體44b將於由內壁42c包圍之包圍空間中抵接於內壁42c。進而，因受到壓入力，筒體44b之內徑D11跟隨內壁42c之形狀逐漸變小。最終，如圖7及圖8所示，輪架接頭35之回轉部38抵接於筒夾44之筒體44b。藉此，實現由套爪環42及筒夾44固定輪架接頭35之回轉部38之狀態。即，藉由賦予壓入力，而使輪架接頭35相對輪架安裝塊40固定。

若將來自壓入螺栓48之壓入力解除，則套爪環42因自壓縮彈簧45所受之施力，而返回至筒夾44之上方之初始位置。再者，因套爪環42之內壁42c及筒夾44之筒體44b之形狀(均為錐形)以及材質不同，有時套爪環42於未受到來自壓縮彈簧45之施力時，亦返回至筒夾44之上方之初始位置。於如此之情形時，不需要壓縮彈簧45。

軸承46係配置於筒夾44之下，且樞轉支承輪架接頭35之回轉部38。另一方面，軸承47係配置於軸承46之下，且與軸承46同樣地樞轉支承回轉部38。如圖4、圖7及圖8所示，軸承46、47係夾隔於設置於輪架安裝塊40之底部之底板40b與筒夾44之圓環板44a之間。

若將來自壓入螺栓48之壓入力賦予至套爪環42，則配置於輪架安裝塊40之底板40b與筒夾44之圓環板44a之間之軸承46、47受到壓縮力，從而阻礙軸承46、47之旋轉。藉此，便可使輪架接頭35更良好地相對輪架安裝塊40固定。

再者，本實施形態係使用2個軸承46、47進行說明，但軸承之個數不僅限於此，例如，軸承個數既可為1個，亦可以為3個以上。

<3.第1實施形態之劃線頭以及劃線裝置之優點>

如上所述，於本實施形態之劃線頭30、以及包含該劃線頭30之劃線裝置1中，劃線輪60之第1轉軸32a係設置於自輪架接頭35之第2轉軸38a之正下方位置起沿著劃線輪60之行進方向偏移之位置上。藉此，於劃線裝置1中，可使劃線輪60具備後傾轉向效應。

另一方面，於劃線裝置1中，若對套爪環42，賦予與第2轉軸38a大致平行之壓入力(固定力)，則使可相對輪架安裝塊40擺動之輪架接頭35相對輪架安裝塊40固定。於此情形時，使切割線SL形成時之後傾轉向效應失效。

於如此之劃線裝置1中，例如，當必需使輪架接頭35相對輪架安裝塊40擺動，以進行劃線輪60相對脆性材料基板4之姿勢調節時，可使劃線輪60中產生後傾轉向效應。並且，當為了完成姿勢調節而將輪架接頭35固定時，僅賦予與第2轉軸38a大致平行之壓入力(固定力)，因此，因壓入力造成輪架接頭35之固定位置錯位之情況得到抑制。即，可良好地完成姿勢調節。

又，於藉由使輪架接頭35相對輪架安裝塊40固定，而使後傾轉向效應失效時，可使切割線之形成寬度，變得小於未將輪架接頭35固定時。於此情形時，輪架接頭35不會受到與劃線輪60之行進方向大致同一方向之力、及與劃線磨輪60之第1轉軸32a方向大致同一方向之力，作為壓入力(固定力)。

因此，根據本實施形態之劃線裝置1，於劃線輪60之姿勢調節時，可易於變更輪架接頭35相對輪架安裝塊40之旋轉位置，從而於切割線SL之形成時，可較佳地抑制切割線之形成寬度之增大。

<第2實施形態>

劃線裝置1中所具備之用以使劃線磨輪60之後傾轉向效應失效之構成，不僅限於第1實施形態所示之情況。於本實施形態中，將對藉由與第1實施形態不同之構成而使劃線磨輪60之後傾轉向效應失效之態樣進行說明。其中，對於與第1實施形態共通之劃線裝置1之構成元件，標註相同符號且省略其說明。

具體而言，於本實施形態中，劃線頭30之構成不同於第1實施形態。

<4.劃線頭之構成>

圖9係表示輪架安裝塊140附近之一構成例之側視圖。圖10係表示將輪架接頭35固定於輪架安裝塊140之後之情況之側視圖。圖11係自圖10之V-V線觀察之輪架安裝塊140附近之剖面圖。圖12及圖13係表示劃線頭30附近之一構成例之側視圖及正視圖。

於本實施形態中，劃線頭30係主要包括輪架31、輪架接頭35、輪架安裝塊140、升降部150、及固定部155。再者，於圖12中，為便於圖示，而將固定部155之一部分(旋轉致動器155a、轉軸156a、及驅動側齒輪156a)省略。

輪架31與輪架接頭35之構成係與第1實施形態相同。其中，於本實施形態中，輪架接頭35係對於輪架安裝塊140可擺動地受到支撐。具體而言，回轉部38係除了下述固定時，以第2轉軸38a為中心，對於輪架安裝塊140可旋轉地受到支撐。

亦於本實施形態中，當輪架接頭35未固定於輪架安裝塊140時，如圖6所示，即便自劃線輪60之姿勢與行進方向大致平行之狀態起，劃線輪60之行進方向發生變化，劃線輪60之姿勢相對行進方向錯開角度θ1，亦因箭頭R2方向之扭矩作用，使劃線輪60回轉，而使劃線輪60之姿勢再次變得與劃線輪60之行進方向大致平行。

輪架安裝塊140係如圖9至圖11所示，設置於輪架接頭35之安裝片36之上方、及輪架31之上方，且主要包含套爪環42、筒夾44、軸承46、47、及壓入螺栓148。壓入螺栓148、套爪環42、筒夾44、及軸承46、47係自Z軸正側以此順序配置。輪架安裝塊140亦可如上所述構成為可擺動地支撐輪架接頭35，而另一方面，如下所示，亦可採用藉由壓入螺栓148、套爪環42、筒夾44、及固定部155等之作用將輪架接頭35固定，而可使後傾轉向效應失效之構成。

壓入螺栓148(壓入部)係如圖9至圖11所示，設置於套爪環42之上方。壓入螺栓148具有圓盤狀旋轉板148a、及自旋轉板148a之中心附近延伸至下側之圓柱體148b。

於圓柱體148b之外周形成有外螺紋，且於安裝塊本體140a之上部，形成有與外螺紋對應之螺紋孔140b。又，若於圓柱體148b***至螺紋孔140b之狀態下，使旋轉板148a旋轉，則圓柱體148b會被螺入螺紋孔140b中。即，壓入螺栓148係螺合緊固於安裝塊本體140a之上部，且可藉由使該旋入之程度不同，而使壓入螺栓148之前端148c可於上下方向移動。

若將壓入螺栓148之圓柱體148b螺入輪架安裝塊本體140a內，使壓入螺栓148之前端148c抵接於套爪環42之上表面，則壓入螺栓148賦予將套爪環42向下壓入之壓入力，作為與第2轉軸38a大致平行之固定力。壓入螺栓148之螺入係藉由固定部155使壓入螺栓148旋轉而實現。固定部155之詳細情形於下文描述。

再者，如圖9至圖11所示，由於壓入螺栓148之前端148c為大致球狀，因此，可使壓入螺栓148之前端148c與套爪環42點接觸。藉此，可使輪架接頭35更良好地對輪架安裝塊140固定。

於本實施形態中，套爪環42以及筒夾44係使輪架接頭35對輪架安裝塊140固定之固定元件。

若於圖9所示之回轉部38可對輪架安裝塊140擺動之狀態下，將來自壓入螺栓148之壓入力賦予至套爪環42，使套爪環42被下壓，則筒夾44之筒體44b將於由內壁42c包圍之包圍空間內抵接於內壁42c。進而，藉由壓入力之賦予，筒體44b之內徑D11跟隨內壁42c之形狀而逐漸變小。最終，如圖10及圖11所示，輪架接頭35之回轉部38抵接於筒夾44之筒體44b。藉此，實現由套爪環42及筒夾44固定輪架接頭35之回轉部38之狀態。即，藉由壓入力之賦予，而使輪架接頭35對輪架安裝塊140固定。

若將來自壓入螺栓148之壓入力解除，則套爪環42因受到來自壓縮彈簧45之施力，而返回至筒夾44之上方之初始位置。

又，如圖9至圖11所示，於本實施形態中，軸承46、47係夾於設置於輪架安裝塊140之底部之底板140c與筒夾44之圓環板44a之間。

若將來自壓入螺栓148之壓入力賦予至套爪環42，則配置於輪架安裝塊140之底板140c與筒夾44之圓環板44a之間之軸承46、47被賦予壓縮力，從而阻礙軸承46、47旋轉。藉此，便可使輪架接頭35更良好地對輪架安裝塊140固定。

升降部150係藉由使輪架安裝塊140上下方向移動，而自由輪架31支撐之劃線輪60，對由保持單元10保持之脆性材料基板4(參照圖1及圖2)賦予壓緊力。如圖12及圖13所示，升降部150係主要包括氣缸151、傳遞部152、導引機構153、及安裝板154。

氣缸151係用以使輪架安裝塊140沿上下方向(Z軸正或負方向)移動之驅動力供給源。如圖12及圖13所示，氣缸151係配置於輪架安裝塊140之上方，且主要包括本體部151a、及桿151b。

桿151b可相對本體部151a進退移動。如圖12及圖13所示，桿151b之下端係與傳遞部152對向。因此，可驅動氣缸151，使桿151b自本體部151a中進出，藉由桿151b之下端將傳遞部152朝向下方按下。

傳遞部152係設置於氣缸151與輪架安裝塊140之間，且將來自氣缸151之驅動力傳遞至輪架安裝塊140。如圖12及圖13所示，傳遞部152係主要包括底座部件152a與門形托架152b。

底座部件152a係設置於與氣缸151之桿151b對向之位置。底座部件152a係包括設置於上部之圓盤體152a1、及自圓盤體152a1延伸至下方之桿體152a2。圓盤體152a1係如圖12及圖13所示，以與桿151b之下端對向之方式配置，且若桿151b沿著下方向進出，則使桿151b之下端抵接於圓盤體152a1之上表面。又，桿體152a2係嵌設於門形托架152b之上部(樑部件152d)。

門形托架152b係設置於輪架安裝塊140之上部之架橋構造體。如圖12及圖13所示，門形托架152b係包括上下方向延伸之2個支柱部件152c、及架設於兩支柱部件152c之上部之樑部件152d。

導引機構153係如圖13所示，主要包括導軌153a、及沿著導軌153a於上下方向上自如滑動之導塊153b。又，安裝板154係夾隔於導引機構153與輪架安裝塊140之間之板材。輪架安裝塊140係隔著安裝板154固定於導塊153b上。

由於具有以上構成，故於升降部150中，自氣缸151經由傳遞部152受到驅動力之輪架安裝塊140將由導引機構153導引著上下方向移動。可藉由調節氣缸151之驅動力，而較佳地設定輪架安裝塊140之下方所具備之劃線輪60之劃線負荷。

固定部155係於使輪架接頭35相對輪架安裝塊140固定時，使壓入螺栓148中產生將套爪環42向下壓入之壓入力。

如圖13所示，固定部155係主要包括旋轉致動器155a、複數個(本實施形態為2個)齒輪156(驅動側齒輪156a、被動側齒輪156b)。

旋轉致動器155a係按照壓縮空氣之供給狀態使軸157a進行旋轉之旋轉力供給源。如圖13所示，於軸157a之下端設置有驅動側齒輪156a(第2旋轉元件)，且該驅動側齒輪156a根據旋轉致動器155a之旋轉狀態進行旋轉。

被動側齒輪156b(第1旋轉元件)係配置於壓入螺栓148之上方。如圖12及圖13所示，被動側齒輪156b係固定於軸157b上。又，如圖12所示，軸157b之上端及下端附近分別受到軸承158a、158b樞轉支承。進而，軸承158a、158b係分別隔著對應之上側及下側軸承座159a、159b固定於基板150c上。

被動側齒輪156b係與驅動側齒輪156a聯動連結。因此，藉由旋轉致動器155a使驅動側齒輪156a進行旋轉，而自驅動側齒輪156a將旋轉力賦予至被動側齒輪156b。

又，如圖12及圖13所示，於被動側齒輪156b與壓入螺栓148之間，設置有用以使此兩者同步旋轉之銷157c。銷157c係***至分別設置於被動側齒輪156b與壓入螺栓148(更具體而言為旋轉板148a)之孔中。藉此，被動側齒輪156b所受之旋轉力經由銷157c傳遞到壓入螺栓148，從而使壓入螺栓148進行旋轉。

由於具有以上構成，故於固定部155中，可藉由使氣缸151旋轉，而使壓入螺栓148旋轉，從而使該前端148c於上下方向上進行移動。藉由以將壓入螺栓148旋入至安裝塊本體140a之方式，使氣缸151進行旋轉，而如上所述，使壓入螺栓148之前端148c抵接於套爪環42之上表面，進而，可賦予將套爪環42向下壓入之壓入力，作為與第2轉軸38a大致平行之固定力。其結果，將輪架接頭35固定於輪架安裝塊140上。勿庸置疑，可藉由對氣缸151提供反向旋轉，而將來自作用於套爪環42之壓入螺栓148之壓入力解除。

再者，於本實施形態之劃線裝置1中，傳遞部152係設置成橫跨固定部155之被動側齒輪156b與輪架安裝塊140之壓入螺栓148。而且，以自劃線輪60賦予至脆性材料基板4之壓緊力、與將壓入螺栓148向下壓入之壓入力作用於大致同一直線之方式，配置被動側齒輪156b與壓入螺栓148。藉此，便可於切割線SL(參照圖3)之形成時，一面更良好地維持使後傾轉向效應失效之狀態，一面更有效地抑制切割線之形成寬度增大。

<5.第2實施形態之劃線頭及劃線裝置之優點>

於本實施形態之劃線裝置1中，若藉由固定部155之作用，對套爪環42賦予與第2轉軸38a大致平行之壓入力(固定力)，則可使可相對輪架安裝塊140擺動之輪架接頭35相對輪架安裝塊140固定。於此情形時，使使切割線SL之形成時之後傾轉向效應失效。

於如此之劃線裝置1中，例如，當必需使輪架接頭35相對輪架安裝塊140擺動，以進行劃線輪60對脆性材料基板4之姿勢調節時，可解除固定部155之作用下之固定，使劃線輪60中產生後傾轉向效應。並且，當為了完成姿勢調節而將輪架接頭35固定時，僅賦予與第2轉軸38a大致平行之壓入力(固定力)，因此，因壓入力造成輪架接頭35之固定位置錯位之情況得到抑制。

又，當藉由利用固定部155之作用，使輪架接頭35相對輪架安裝塊140固定，而使後傾轉向效應失效時，可使切割線之形成寬度，變得小於未將輪架接頭35固定之情形。於此情形時，輪架接頭35，不會受到與劃線輪60之行進方向大致同一方向之力、及與劃線磨輪60之第1轉軸32a方向大致同一方向之力，作為壓入力(固定力)。

因此，根據本實施形態之劃線裝置1，於劃線輪60之姿勢調節時，可易於變更輪架接頭35對於輪架安裝塊140之旋轉位置，從而於切割線SL之形成時，可較佳地抑制切割線之形成寬度增大。

1．．．劃線裝置

4．．．脆性材料基板

10．．．保持單元

20．．．劃線單元

30．．．劃線頭

31．．．輪架

32a．．．第1轉軸

35．．．輪架接頭

38．．．回轉部

38a．．．第2轉軸

40．．．輪架安裝塊

42．．．套爪環

42c．．．內壁

44．．．筒夾

44a．．．圓環板

44b．．．筒體

44c．．．貫通孔

45．．．壓縮彈簧

46、47．．．軸承

48、148．．．壓入螺栓(壓入部)

50．．．驅動部

60．．．劃線輪

150．．．升降部

151．．．氣缸(驅動力供給源)

152．．．傳遞部

153．．．導引機構

155．．．固定部

155a．．．旋轉致動器(旋轉力供給源)

156a．．．驅動側齒輪(第2旋轉元件)

156b．．．被動側齒輪(第1旋轉元件)

圖1係表示本發明實施形態中之劃線裝置之一整體構成例之正視圖。

圖2係表示本發明實施形態中之劃線裝置之一整體構成例之側視圖。

圖3係表示劃線輪附近之一構成例之正視圖。

圖4係表示輪架安裝塊附近之一構成例之側視圖。

圖5係表示劃線輪附近之一構成例之仰視圖。

圖6係用以說明後傾轉向效應之仰視圖。

圖7係表示輪架接頭35固定於輪架安裝塊40之後之情況之側視圖。

圖8係自圖7之V-V線觀察之輪架安裝塊附近之剖面圖。

圖9係表示輪架安裝塊附近之一構成例之側視圖。

圖10係表示輪架接頭35固定於輪架安裝塊140之後之情況之側視圖。

圖11係自圖10之V-V線觀察之輪架安裝塊附近之剖面圖。

圖12係表示劃線頭附近之一構成例之側視圖。

圖13係表示劃線頭附近之一構成例之正視圖。

30．．．劃線頭

31．．．輪架

32．．．銷

32a．．．第1轉軸

33．．．支撐框體

35．．．輪架接頭

36．．．安裝片

38．．．回轉部

38a．．．第2轉軸

40．．．輪架安裝塊

40a．．．安裝塊本體

40b．．．底板

42．．．套爪環

42a．．．圓盤體

42b．．．外壁

42c．．．內壁

44．．．筒夾

44a．．．圓環板

44b．．．筒體

44c．．．貫通孔

45．．．壓縮彈簧

46、47．．．軸承

48．．．壓入螺栓(壓入部)

48a．．．螺栓之前端

49．．．螺母

60．．．劃線輪

D11．．．筒體之內徑

D12．．．筒體之外徑

D21．．．內壁之內徑

Claims (7)

1. 一種劃線頭，其特徵在於：其係藉由相對於脆性材料基板進退，而於上述脆性材料基板上形成沿著劃線輪之行進方向之切割線者，且包括：(a)輪架，其以與上述行進方向大致垂直之第1轉軸為中心，可旋轉地支撐上述劃線輪；(b)輪架安裝塊，其設置於上述輪架上方；及(c)輪架接頭，其於下部安裝有上述輪架，並且藉由以分別與上述行進方向及上述第1轉軸大致垂直之第2轉軸為中心進行旋轉，而相對於上述輪架安裝塊可擺動地受到支撐；上述第1轉軸係自上述第2轉軸之正下方沿著上述劃線輪之行進方向錯開地配置；於上述輪架安裝塊中，藉由產生與上述第2轉軸大致平行之方向之固定力，而使上述輪架接頭相對上述輪架安裝塊被固定；其中上述輪架接頭包括：(c-1)回轉部，其相對於上述輪架安裝塊可旋轉地受到支撐；上述輪架安裝塊包含：(b-1)筒夾，其具有沿著上述第2轉軸延伸之中空狀筒體；(b-2)套爪環，其具有與上述筒體呈同心狀且自上述筒夾之上方朝向上述筒夾延伸之圓環狀壁部；及 (b-3)壓入部，其設置於上述套爪環上方，且產生大致平行於上述第2轉軸地將上述套爪環壓入之壓入力，上述壓入力作為上述固定力；上述輪架接頭之上述回轉部係於***至上述筒夾之上述筒體之狀態下，可相對於上述輪架安裝塊進行旋轉；藉由來自上述壓入部之上述壓入力被賦予至上述套爪環，而於由上述壁部包圍之包圍空間中，使上述筒體抵接於上述壁部與上述回轉部，藉此將上述輪架接頭之上述回轉部固定於上述筒夾。
2. 如請求項1之劃線頭，其中上述劃線頭包含：(d)固定部，其實施用以使上述輪架接頭相對上述輪架安裝塊被固定之固定動作；上述固定部係產生上述固定力。
3. 如請求項2之劃線頭，其中上述輪架接頭包含：(c-1)回轉部，其相對於上述輪架安裝塊可旋轉地受到支撐；上述輪架安裝塊包括：(b-1)筒夾，其具有沿著上述第2轉軸延伸之中空狀筒體；(b-2)套爪環，其具有與上述筒體呈同心狀且自上述筒夾上方朝向上述筒夾延伸之圓環狀壁部；及(b-3)壓入部，其設置於上述套爪環之上方，且與上述第2轉軸大致平行地將上述套爪環壓入；上述輪架接頭之上述回轉部係於***至上述筒夾之上 述筒體之狀態下，可相對於上述輪架安裝塊進行旋轉；且上述固定部係藉由使上述壓入部進行壓入動作，而使上述壓入部產生與上述第2轉軸大致平行地將上述套爪環壓入之壓入力作為上述固定力；藉由來自上述壓入部之上述壓入力被賦予至上述套爪環，而於由上述壁部包圍之包圍空間中，使上述筒體抵接於上述壁部與上述回轉部，藉此將上述輪架接頭之上述回轉部固定於上述筒夾。
4. 如請求項3之劃線頭，其中於上述壓入部之外周形成有外螺紋；於上述輪架安裝塊之上部，設置有與上述外螺紋對應之螺紋孔；上述固定部係藉由使上述壓入部旋轉，將上述壓入部之前端旋入至上述輪架安裝塊內，而將上述壓入力賦予至上述套爪環。
5. 如請求項4之劃線頭，其中更包括：(e)升降部，其藉由使上述輪架安裝塊上下方向移動，而自受上述輪架支撐之上述劃線輪對上述脆性材料基板賦予壓緊力；上述升降部包含：(e-1)驅動力供給源，其配置於上述輪架安裝塊之上方，且供給上述上下方向之驅動力；(e-2)傳遞部，其設置於沿著上述上下方向配置之 上述輪架安裝塊及上述驅動力供給源之間，將上述驅動力賦予至上述輪架安裝塊；及(e-3)導引機構，其以沿著上述上下方向移動之方式，導引上述輪架安裝塊；上述固定部包括：(c-1)第1旋轉元件，其配置於上述壓入部上方，且使上述壓入部進行旋轉；(c-2)第2旋轉元件，其配置於上述第1旋轉元件之側方，且與上述第1旋轉元件連動連結；及(c-3)旋轉力供給源，其藉由使上述第2旋轉元件旋轉，而自上述第2旋轉元件將旋轉力賦予至上述第1旋轉元件；上述傳遞部係以橫跨沿著上述上下方向配置之上述壓入部以及上述第1旋轉元件之方式設置。
6. 如請求項1至5中任一項之劃線頭，其中上述筒夾更包括：圓環板，其設置於上述筒體之下部，並且於中心附近形成有與上述筒體內之中空空間連通之貫通孔；上述輪架安裝塊更包含：(b-4)軸承，其配置於上述圓環板之下，且樞轉支承上述回轉部；上述軸承係夾於上述輪架安裝塊之底部與上述圓環板之間。
7. 一種劃線裝置，其特徵在於：其係於如請求項1至5中任 一項之劃線頭中，包括：一面保持上述脆性材料基板，一面使所保持之上述脆性材料基板對上述劃線頭相對移動之保持單元。