TWI469249B - 夾持裝置及其系統 - Google Patents

Description

夾持裝置及其系統

本發明係關於一種夾持裝置及夾持系統，特別是關於一種用來夾持晶圓承載座之夾持裝置及夾持系統。

在半導體元件的製造過程中，通常需要透過機械手臂來進行晶圓的夾持與搬運作業，然而當機械手臂或其他夾持裝置與晶圓接觸時，常常會因為撞擊或夾持力量過大而導致晶圓剝落(buckling)，其所產生的微粒(particle)更可能造成製程中的污染而影響產品的良率。有鑑於此，如何有效防止機械手臂在夾持晶圓的過程中造成晶圓剝落或損壞始成為一重要之課題。

本發明之一目的係提供一種夾持裝置及夾持系統，其具有一契塊，契塊之接觸面平滑地接觸搖臂之接觸部。待契塊移動後，藉由接觸面與接觸部的相對滑動進而驅動搖臂轉動，而使夾持臂夾持晶圓承載座。

為達上述目的，本發明揭示一種一種夾持裝置，其包含一夾持臂、一契塊以及一搖臂。該契塊包含一接觸面，該接觸面包含一導槽，該導槽具有一第一端及一第二端。而該搖臂包含一接觸部、一本體部及一連接部。該接觸部連接該本體部，該本體部連接該連接部，該接觸部設置一滾輪。該滾輪滑動於該導槽，因此該接觸部與該接觸面可滑動地連接而不會相互分離。該連接部連接該夾持臂，當該契塊移動並驅動該滾輪自該第一端移動至該第二端後， 該搖臂旋轉而驅動該夾持臂夾持。

本發明另揭露一種夾持裝置包含具有第一支撐軸之一第一夾持臂、具有第二支撐軸之一第二夾持臂、含有接觸面之一契塊、一第一搖臂、一第二搖臂及一彈性體。該契塊之接觸面為平滑表面。該第一搖臂包含第一接觸部、第一本體部及第一連接部，其中第一接觸部、第一本體部及第一連接部相互連接。第一接觸部設置滑動於該接觸面之第一滾輪，而第一連接部連接該第一夾持臂。同時，第二搖臂包含一第二接觸部、一第二本體部及一第二連接部。該第二接觸部、該第二本體部及該第二連接部相互連接。第二接觸部設置一第二滾輪，該第二滾輪接觸並滑動於該接觸面，且第二連接部連接該第二夾持臂，因此第二連接部可驅動第二夾持臂轉動。該彈性體兩端分別連接第一搖臂及第二搖臂，因此彈性體可維持第一滾輪及第二滾輪可滑動地接觸該平滑表面。當契塊移動並驅動該第一滾輪及該第二滾輪，進而分別驅動該第一支撐軸及該第二支撐軸進行徑向的角速度運動後，該第一搖臂及該第二搖臂旋轉而分別驅動該第一夾持臂及該第二夾持臂進行夾持。

本發明另揭露一種夾持系統包含一夾持裝置、一驅動裝置以及一基板。該夾持裝置包含一第一夾持臂、一契塊、一第一搖臂、一第二搖臂及一彈性體。第一夾持臂包含第一支撐軸。該契塊包含一接觸面。第一搖臂包含第一接觸部、第一本體部及第一連接部，其中該第一接觸部連接該第一本體部，該第一本體部連接該第一連接部，該第一接觸部設置滑動於該接觸面之一第一滾輪，該第一連接部連接該第一夾持臂。彈性體兩端分別連接第一搖臂及第二搖臂，當該驅動裝置驅動該契塊移動後，該契塊驅動該第一滾輪，進而驅動該第一支撐軸進行徑向的角速度運動後，該第一搖臂旋轉而分別驅動該第一夾持臂。由於基板固定該第一夾持臂，因此第一夾持臂受到第一搖臂的驅動只能轉動而夾持晶圓承 載座。

上文已相當廣泛地概述本發明之技術特徵，俾使下文之本發明詳細描述得以獲得較佳瞭解。構成本發明之申請專利範圍標的之其他技術特徵將描述於下文。本發明所屬技術領域中具有通常知識者應瞭解，可相當容易地利用下文揭示之概念與特定實施例可作為修改或設計其他結構或製程而實現與本發明相同之目的。本發明所屬技術領域中具有通常知識者亦應瞭解，這類等效建構無法脫離後附之申請專利範圍所界定之本發明的精神和範圍。

9‧‧‧夾持系統

10‧‧‧夾持裝置

10b‧‧‧夾持裝置

101‧‧‧夾持臂

101b‧‧‧第一夾持臂

101c‧‧‧第二夾持臂

1011‧‧‧支撐軸

1011b‧‧‧第一支撐軸

1011c‧‧‧第二支撐軸

102‧‧‧契塊

102a‧‧‧契塊

102b‧‧‧契塊

1021‧‧‧接觸面

1021a‧‧‧接觸面

1021b‧‧‧接觸面

1021c‧‧‧第一接觸面

1021d‧‧‧第二接觸面

1022‧‧‧導槽

1023‧‧‧第一端

1023a‧‧‧第一端

1024‧‧‧第二端

1024a‧‧‧第二端

1025‧‧‧彈性卡榫

1026‧‧‧卡件

1027‧‧‧彈簧

1028b‧‧‧第一邊

1029b‧‧‧第二邊

1030b‧‧‧止擋面

103‧‧‧搖臂

103b‧‧‧第一搖臂

103c‧‧‧第二搖臂

1031‧‧‧接觸部

1031a‧‧‧接觸部

1031b‧‧‧第一接觸部

1031c‧‧‧第二接觸部

1031d‧‧‧第一接觸部

1031e‧‧‧第二接觸部

1032‧‧‧本體部

1032b‧‧‧第一本體部

1032c‧‧‧第二本體部

1033‧‧‧連接部

1033b‧‧‧第一連接部

1033c‧‧‧第二連接部

1034‧‧‧滾輪

1034b‧‧‧第一滾輪

1034c‧‧‧第二滾輪

1034d‧‧‧第一滾輪

1034e‧‧‧第二滾輪

1035‧‧‧滾珠

1036‧‧‧凸肋

1036b‧‧‧第一凸肋

1036c‧‧‧第二凸肋

1037‧‧‧底面

1037c‧‧‧第二底面

1038b‧‧‧絕緣牙套

1039b‧‧‧固定柱

104b‧‧‧彈性體

11‧‧‧基板

111‧‧‧固定件

112‧‧‧固定孔

113‧‧‧滾珠軸承

12‧‧‧晶圓承載座

13‧‧‧第一側壁

14‧‧‧第二側壁

15‧‧‧驅動裝置

α‧‧‧傾斜角

β‧‧‧傾斜角

a‧‧‧箭頭

b‧‧‧箭頭

圖1顯示為本發明之一實施例之夾持裝置之分解示意圖；圖2顯示為本發明之一實施例之夾持裝置之組合示意圖；圖3顯示為本發明之一實施例之契塊位於起始處之剖面圖；圖4顯示為本發明之一實施例之契塊位於終止處之剖面圖；圖5顯示為本發明之一實施例之契塊驅動搖臂及夾持臂之示意圖；圖6顯示為本發明之一實施例之契塊之上視圖；圖7顯示為本發明之變化實施例之契塊之剖面圖；圖8顯示為本發明之一實施例之彈性卡榫之示意圖；圖9顯示為本發明之一實施例之彈性卡榫固定契塊之示意圖；圖10顯示為本發明之一實施例之夾持系統之分解示意圖；圖11顯示為本發明之一實施例之夾持系統之組合示意圖；圖12顯示為本發明之一實施例之契塊週邊之局部放大圖；圖13顯示為本發明之一實施例之夾持系統之上視圖；圖14顯示為本發明之一實施例之滾輪位於第一邊之剖面圖；圖15顯示為本發明之一實施例之滾輪位於第二邊之剖面圖；以及圖16係本發明另一實施例之契塊週邊之局部放大圖。

本發明在此所探討的方向為夾持裝置及夾持系統。為了能徹底地瞭解本發明，將在下列的描述中提出詳盡的步驟及結構。顯 然地，本發明的施行並未限定於相關領域之技藝者所熟習的特殊細節。另一方面，眾所周知的結構或步驟並未描述於細節中，以避免造成本發明不必要之限制。本發明的較佳實施例會詳細描述如下，然而除了這些詳細描述之外，本發明還可以廣泛地施行在其他的實施例中，且本發明的範圍不受限定，其以之後的專利範圍為準。

如圖1所示為夾持裝置10之分解示意圖，夾持裝置10包含夾持臂101、契塊102及搖臂103。如圖1及圖2所示，夾持裝置10設置於基板11上。具體而言，一固定件111設置於基板11之一端，此處所言之設置包含但不限於螺絲鎖固、焊接及一體成型。固定件111包含一固定孔112，以供容置滾珠軸承113。該滾珠軸承113可固定夾持臂101之支撐軸1011，使支撐軸1011無法於X-Y平面上移動，但仍可允許支撐軸1011轉動。

如圖2所示，搖臂103設置於夾持臂101之支撐軸1011，此處所言之設置包含但不限於螺絲鎖固、焊接及一體成型。搖臂103包含一接觸部1031、一本體部1032及一連接部1033。接觸部1031連接本體部1032，本體部1032連接連接部1033，此處所言之連接包含但不限於螺絲鎖固、焊接及一體成型。如圖1至圖3所示，接觸部1031設置一滾輪1034，此處所言之設置包含但不限於卡合、螺絲鎖固、焊接及一體成型。如圖1及圖3所示之實施例中滾輪1034之本體嵌入接觸部1031之底部而露出滾輪1034所包含之滾珠1035。在此實施例中，滾珠1035嵌入契塊102包含之導槽1022中，因此滾輪1034可滑動於導槽1022而不至於與契塊102分離，同時使滾輪1034穩定地設置於契塊102之導槽1022上。此處的設置係指可滑動地嵌合。具體而言，接觸部1031包含一凸肋1036，該凸肋1036包含一底面1037，該滾輪1034設置於該凸肋1036內並突出於該底面1037，該底面1037近似平行於該接觸面1021。因為該滾輪1034突出於該底面1037之該滾輪突出部分 (如滾珠1035突出於底面1037之部分)接觸該導槽1022，因此該導槽1022可容置上述所舉例之滾輪突出部分，以避免該滾輪1034與該導槽1022分離，同時避免底面1037接觸接觸面1021而造成摩擦力上升。

如圖1至圖3所示之實施例中，契塊102包含一接觸面1021，接觸面1021包含一導槽1022。導槽1022具有第一端1023及第二端1024。由於連接部1033連接夾持臂101，因此當契塊102沿X軸移動時(如圖3及圖4所示)，契塊102將驅動滾輪1034自第一端1023移動至第二端1024。此處所言之第一端1023及第二端1024包含但不限於導槽1022的兩端。具體而言，導槽1022的兩端為滾輪1034之滾珠1035的活動限制範圍，然而滾輪1034並不限於設置於導槽1022的兩端，亦可因應不同的設計而變化使滾輪1034設置於導槽1022的一處(或稱為起始處)，此時契塊102並無受到外力驅動而沿X軸移動，而該起始處則為此實施例之第一端1023。相對地，當契塊102受到外力驅動而沿X軸移動後(如圖4所示)，滾輪1034將滑動至導槽1022之另一處(或稱為終止處)，此終止處包含但不限於導槽1022之一端，此終止處則為此實施例之第二端1024。然而，在其他實施例中，契塊102往返的起始處及終止處亦可因應往返的方向而對調。如圖4所示，由於接觸面1021與接觸部1031近似於平行的設計，且接觸面1021與X軸具有一傾斜角α。如圖5所示，當契塊102沿X軸箭頭方向a驅動滾輪1034滑動於導槽1022時，契塊102將使接觸部1031的水平位置沿Z軸上升，同時連接部1033將沿Z軸下降，因此契塊102將使搖臂103逆時鐘旋轉，進而驅動夾持臂101進行向內而沿Y軸位移。具體而言，因為連接部1033連接夾持臂101之支撐軸1011，當契塊102驅動滾輪1034沿X軸移動(相對於契塊102)的同時，滾輪1034同時沿Z軸(相對於支撐軸1011)移動，將X軸及Z軸的移動向量結合，可知契塊102可驅動滾輪1034，進而驅動 支撐軸1011進行徑向的角速度運動。

如圖6所示之契塊102之上視圖，契塊102之接觸面1021之導槽1022可為直線凹槽或非直線凹槽，在本發明之實施例中，導槽1022較佳為一曲線凹槽以供配合當接觸部1031沿Z軸上升時搖臂103旋轉所造成的滾輪1034滑動軌跡。如圖6所示，滾輪1034滑動之第二端1024較第一端1023在Y軸上更靠近搖臂103之本體部1032。雖然滾輪1034的滑動軌跡沿導槽1022滑動而為一曲線軌跡，然而滾輪1034沿X軸之水平位移向量平行於契塊102之移動方向，是故滾輪1034與契塊102係於X軸上往返移動。參照圖3及圖4，接觸面1021與接觸部1031近似相互平行，且接觸面1021之第二端1024沿Z軸之垂直位置高於第一端1023沿Z軸之垂直位置。然而如圖7所示之其他實施例中，契塊102a之接觸面1021a雖與接觸部1031a相互平行，但契塊102a結構已經不同，因此該接觸面1021a之該第一端1023a沿Z軸之垂直位置高於該第二端1024a沿Z軸之垂直位置，換言之，第一端與第二端沿Z軸之垂直位置會因為不同的實施例而互有高低之分。

此外，如圖8及圖9所示，契塊102另包含一彈性卡榫1025，彈性卡榫1025包含卡件1026及彈簧1027。當滾輪1034位於第一端1023時，卡件1026仍然維持於彈性卡榫1025內，然而當契塊102沿X軸移動後，彈性卡榫1025之卡件1026將受到彈簧1027的彈力而彈出，進而固定該滾輪1034於該第二端1024。如圖1至圖6、圖8至圖9之實施例所示，夾持裝置10為單邊設置，然而依所屬該領域具有通常技術者可以依上述所揭露的實施例而變化設計出雙邊設置的夾持裝置。

本發明另提供一種雙邊設置的夾持裝置。如圖10所示，夾持裝置10b包含具有一第一支撐軸1011b之一第一夾持臂101b、具有一第二支撐軸1011c之一第二夾持臂101c、一契塊102b、一第一搖臂103b、一第二搖臂103c以及彈性體104b。契塊102b包含 一接觸面1021b，此接觸面1021b為一平滑表面，該平滑表面係經過一次或多次精密車、銑、磨光、搪光、研光、擦光、拋光、或刮、紋、搪等切削加工法，所得之表面幾乎無法以觸覺或視覺分辨出加工之刀痕，故較細切面光滑，其表面粗糙度介於0.25a至1.60a之間。

如圖10所示，第一搖臂103b包含一第一接觸部1031b、一第一本體部1032b及一第一連接部1033b。該第一接觸部1031b連接該第一本體部1032b，該第一本體部1032b連接該第一連接部1033b。此處所言之連接包含但不限於螺絲鎖固、焊接及一體成型。該第一接觸部1031b設置一第一滾輪1034b，此處所言之設置包含但不限於卡合、螺絲鎖固、焊接及一體成型。如圖10至圖12所示，該第一滾輪1034b接觸並滑動於該接觸面1021b，該第一連接部1033b連接該第一夾持臂101b，此處所言之連接包含但不限於螺絲鎖固、焊接及一體成型。而第二搖臂103c，包含一第二接觸部1031c、一第二本體部1032c及一第二連接部1033c，其中該第二接觸部1031c連接該第二本體部1032c，該第二本體部1032c連接該第二連接部1033c，此處所言之連接包含但不限於螺絲鎖固、焊接及一體成型。該第二接觸部1031c設置一第二滾輪1034c，此處所言之設置包含但不限於卡合、螺絲鎖固、焊接及一體成型。

如圖10至圖12所示，該第二滾輪1034c接觸並滑動於該接觸面1021b，該第二連接部1033c連接該第二夾持臂101c，此處所言之連接包含但不限於螺絲鎖固、焊接及一體成型。如圖10至圖12所示，第一滾輪1034b及第二滾輪1034c分別包含兩組滾輪，然而亦可因應不同的設計需求而將第一滾輪1034b及第二滾輪1034c設計成單一滾輪或多組滾輪。

如圖10及圖11所示當契塊102b受到驅動裝置(圖未示)驅動而沿X軸向箭頭方向b移動時，契塊102b將驅動該第一滾輪1034b及該第二滾輪1034c，進而分別驅動該第一支撐軸1011b及該第二 支撐軸1011c進行徑向的角速度運動。此時該第一搖臂103b及該第二搖臂103c旋轉而分別驅動該第一夾持臂101b(逆時鐘旋轉)及該第二夾持臂101c(順時鐘旋轉)，進而夾持晶圓承載座12。

如圖10至圖12所示，彈性體104b兩端分別連接該第一搖臂103b及該第二搖臂103c。具體而言，彈性體104b係分別連接第一搖臂103b之第一本體部1032b及第二搖臂103c之第二本體部1032c。第一本體部1032b及第二本體部1032c另包含絕緣牙套1038b及固定柱1039b。彈性體104b可導電並固定於固定柱1039b上，由於絕緣牙套1038b可供絕緣，因此彈性體104b之電訊號並不會經由第一本體部1032b及第二本體部1032c導引至夾持裝置10b上。由於彈性體104b及固定柱1039b可供導電，因此電訊號可經由彈性體104b傳輸於兩固定柱1039b之間，一旦訊號無法傳遞時，則可判定彈性體104b可能失去傳輸電訊號的能力。此外，彈性體104b可限制第一搖臂103b及第二搖臂103c角位移的活動空間，因此第一搖臂103b及第二搖臂103c不會因為角位移過大或旋轉過大而導致無法回復原狀的情況發生。此外，彈性體104b的材質可選自含有金屬纖維之聚合物、彈簧、波形彈片及碟形彈片。

如圖13所示之契塊102b之上視圖。具體而言，該接觸面1021b沿該契塊102b移動方向(X軸)包含一第一邊1028b及相對於該第一邊1028b之一第二邊1029b，該契塊102b另包含一止擋面1030b，該止擋面1030b連接該第二邊1029b，該契塊102b沿X軸移動並驅動該第一滾輪1034b及該第二滾輪1034c自該第一邊1028b移動至該第二邊1029b後，該第一搖臂103b及該第二搖臂103c旋轉而驅動該第一夾持臂101b及該第二夾持臂101c夾持。此處所言之第一邊1028b及第二邊1029b包含但不限於接觸面1021b的兩端邊。圖14為圖13之剖面線E-E之示意圖。具體而言，接觸面1021b的兩端邊為第一滾輪1034b及該第二滾輪1034c的 活動限制範圍，然而第一滾輪1034b及該第二滾輪1034c並不限於設置於接觸面1021b的兩端邊，亦可因應不同的設計而變化使第一滾輪1034b及第二滾輪1034c設置於接觸面1021b的一處(或稱為起始處)，此時契塊102b並無受到外力驅動而沿X軸移動，而該起始處則為此實施例之第一邊1028b。相對地，當契塊102b受到外力驅動而沿X軸移動後(如圖15所示)，第一滾輪1034b及第二滾輪1034c將滑動至接觸面1021b之另一處(或稱為終止處)，此終止處包含但不限於接觸面1021b之一端，此終止處則為此實施例之第二邊1029b。然而，在其他實施例中，契塊102b往返的起始處及終止處亦可因應往返的方向而對調。如圖15所示，由於接觸面1021b分別與第一接觸部1031b及第二接觸部1031c具有近似於平行的設計，且接觸面1021b與X軸具有一傾斜角β，因此第一滾輪1034b及第二滾輪1034c之XY平面之水平位移向量平行於該契塊102b沿X軸之移動方向。

如圖10及圖11所示，當契塊102b沿X軸往箭頭方向b驅動第一滾輪1034b及第二滾輪1034c滑動於接觸面1021b時，契塊102b將使第一接觸部1031b及第二接觸部1031c的水平位置沿Z軸上升，因此契塊102b將使第一搖臂103b逆時鐘旋轉並使第二搖臂103c順時鐘旋轉，進而驅動第一夾持臂101b及第二夾持臂101c進行向內(沿Y軸)夾持的動作。具體而言，因為第一連接部1033b連接第一夾持臂101b之第一支撐軸1011b，當契塊102b驅動第一滾輪1034b沿X軸移動(相對於契塊102b)的同時，第一滾輪1034b同時沿Z軸(相對於第一支撐軸1011b)移動，將X軸及Z軸的移動向量結合，可知契塊102b可驅動第一滾輪1034b，進而驅動第一支撐軸1011b進行徑向的角速度運動。契塊102b可同此理驅動第二滾輪1034c，進而驅動第二支撐軸1011c進行徑向的角速度運動。

如圖10、圖14及圖15所示，該接觸面1021b與該第一接觸 部1031b及該第二接觸部1031c相互平行，且該第二邊1029b之垂直位置高於該第一邊1028b之垂直位置。然而在其他實施例(圖未示)中，該接觸面與該第一接觸部及該第二接觸部相互平行，且該第一邊之垂直位置高於該第二邊之垂直位置。此外，該契塊102b亦可包含如圖8所示之彈性卡榫1025。

參照圖10、圖11及圖12，第一接觸部1031b包含一第一凸肋1036b，該第一凸肋1036b包含一第一底面(圖未示)。第二接觸部1031c包含一第二凸肋1036c，該第二凸肋1036c包含一第二底面1037c(參見圖14)。該第一滾輪1034b設置於第一凸肋1036b內並突出於該第一底面，該第一底面以近似平行於該接觸面1021b。該第二滾輪1034c設置於第二凸肋1036c內並突出於該第二底面1037c，該第二底面1037c以近似平行於該接觸面1021b。該第二滾輪1034c突出於第二底面1037c之該滾輪突出部分接觸該接觸面1021b。由於無法限制第一滾輪1034b及第二滾輪1034c不與接觸面1021b分離，因此彈性體104b則可協助該第一滾輪1034b及該第二滾輪1034c持續地與接觸面1021b接觸，同時第一滾輪1034b及第二滾輪1034c可分別避免第一底面及第二底面1037c接觸接觸面1021b而造成摩擦力上升。

再者，如圖16所示之其他變化實施例中，接觸面另包含一第一接觸面1021c及一第二接觸面1021d。在此實施例中，該第一接觸部1031d包含一第一側壁13，該第一滾輪1034d設置於該第一側壁13並突出於該第一側壁13，該第一側壁13平行於該第一接觸面1021c。該第二接觸部1031e包含一第二側壁14，該第二滾輪1034e設置於該第二側壁14並突出於該第二側壁14，該第二側壁14平行於該第二接觸面1021d。在此實施例中，第一接觸面1021c不平行於該第二接觸面1021d，且第一接觸面1021c與該第一接觸部1031d相互平行，且該第二接觸面1021d與該第二接觸部1031e相互平行。在此實施例中，無法限制第一滾輪1034d及 第二滾輪1034e不與第一接觸面1021c及第二接觸面1021d分離，因此分別連接該第一搖臂103b及該第二搖臂103c之彈性體104b(參照圖10)則可協助第一滾輪1034d及第二滾輪1034e持續地與第一接觸面1021c及第二接觸面1021d接觸，此時，該第一側壁13不接觸該第一接觸面1021c，該第二側壁14不接觸該第二接觸面1021d。

另，本發明亦提供一種夾持系統。參照圖1至圖16，夾持系統9包含一夾持裝置其選自圖1至圖16所述之夾持裝置10、10b、一驅動裝置15以及基板11。驅動裝置15(如氣壓缸或液壓缸)可驅動契塊102,102b沿X軸移動，而基板11可固定夾持臂101,101b,101c。此外，夾持系統9進一步包含一感測器(圖未示)，感測器電性耦合彈性體104b並感測彈性體104b經由固定柱1039b傳遞於兩搖臂103b,103c之間的訊號。如圖10所示，該固定柱1039b連接該彈性體104b並可傳輸傳遞於兩搖臂103b,103c之間的訊號。彈性體104b可導電並固定於固定柱1039b上，由於設置於固定柱1039b與該第一本體部1032b之間的絕緣牙套1038b可供絕緣，因此彈性體104b之電訊號並不會經由第一本體部1032b及第二本體部1032c導引至夾持裝置10b上。一旦訊號無法傳遞時，則可判定彈性體104b可能失去傳輸電訊號的能力。再者，該驅動裝置15設置於該基板11上，該契塊102b另包含一底部(圖未示)，該底部具有一凹口(圖未示)，該驅動裝置15驅動一固定栓(圖未示)***該凹口，進而固定該契塊102b於特定位置(如第一端、第二端、第一邊、第二邊)。

簡言之，本發明之夾持裝置可藉由契塊驅動搖臂旋轉，進而導致夾持臂旋轉而夾持晶圓承載座。而契塊的實施方式已經如上述圖1至圖16所述之各種實施例所揭露。

本發明之技術內容及技術特點已揭示如上，然而本發明所屬技術領域中具有通常知識者應瞭解，在不背離後附申請專利範圍 所界定之本發明精神和範圍內，本發明之教示及揭示可作種種之替換及修飾。例如，上文揭示之許多裝置或結構或方法步驟可以不同之方法實施或以其他結構予以取代，或者採用上述二種方式之組合。

本案之權利範圍並不侷限於上文揭示之特定實施例的製程、機台、製造、物質之成份、裝置、方法或步驟。本發明所屬技術領域中具有通常知識者應瞭解，基於本發明教示及揭示製程、機台、製造、物質之成份、裝置、方法或步驟，無論現在已存在或日後開發者，其與本案實施例揭示者係以實質相同的方式執行實質相同的功能，而達到實質相同的結果，亦可使用於本發明。因此，以下之申請專利範圍係用以涵蓋用以此類製程、機台、製造、物質之成份、裝置、方法或步驟。

103b‧‧‧第一搖臂

103c‧‧‧第二搖臂

1032b‧‧‧第一本體部

1032c‧‧‧第二本體部

1036b‧‧‧第一凸肋

1036c‧‧‧第二凸肋

1038b‧‧‧絕緣牙套

1039b‧‧‧固定柱

104b‧‧‧彈性體

Claims (19)

1. 一種夾持裝置，包含：一夾持臂；一契塊，包含一接觸面，該接觸面包含一導槽，該導槽具有一第一端及一第二端；以及一搖臂，包含一接觸部、一本體部及一連接部，其中該接觸部連接該本體部，該本體部連接該連接部，該接觸部設置一滾輪，該滾輪滑動於該導槽，該連接部連接該夾持臂，該契塊係建構供驅動該滾輪自該第一端移動至該第二端後，該搖臂係建構供驅動該夾持臂夾持，且該連接部連接該夾持臂之一支撐軸，該契塊係建構供驅動該支撐軸進行徑向角速度運動。
2. 根據請求項1所述之夾持裝置，其中該第二端較該第一端靠近該本體部，該滾輪之水平位移向量平行於該契塊移動方向。
3. 根據請求項1所述之夾持裝置，其中該接觸面與該接觸部相互平行，且該接觸面之該第二端之垂直位置高於或低於該第一端之垂直位置。
4. 根據請求項1所述之夾持裝置，其中該接觸部包含一凸肋，該凸肋包含一底面，該滾輪設置於該凸肋並突出於該底面，該底面平行於該接觸面，其中該滾輪突出於該底面之該滾輪突出部分接觸該導槽，該導槽容置該滾輪突出部分，以避免該滾輪與該導槽分離。
5. 一種夾持裝置，包含：一第一夾持臂，包含一第一支撐軸；一第二夾持臂，包含一第二支撐軸；一契塊，包含一接觸面，該接觸面為一平滑表面；一第一搖臂，包含一第一接觸部、一第一本體部及一第一連接 部，其中該第一接觸部連接該第一本體部，該第一本體部連接該第一連接部，該第一接觸部設置一第一滾輪，該第一滾輪係建構供滑動於該接觸面，該第一連接部連接該第一夾持臂；一第二搖臂，包含一第二接觸部、一第二本體部及一第二連接部，其中該第二接觸部連接該第二本體部，該第二本體部連接該第二連接部，該第二接觸部設置一第二滾輪，該第二滾輪係建構供滑動於該接觸面，該第二連接部連接該第二夾持臂；以及一彈性體，該彈性體兩端分別連接該第一搖臂及該第二搖臂；其中該契塊係建構供驅動該第一滾輪及該第二滾輪，進而分別驅動該第一支撐軸及該第二支撐軸進行徑向的角速度運動後，該第一搖臂及該第二搖臂係建構供旋轉而分別驅動該第一夾持臂及該第二夾持臂夾持。
6. 根據請求項5所述之夾持裝置，其中該接觸面沿該契塊移動方向包含一第一邊及相對於該第一邊之一第二邊，該契塊另包含一止擋面，該止擋面連接該第二邊，該契塊係建構供驅動該第一滾輪及該第二滾輪自該第一邊移動至該第二邊後，該第一搖臂及該第二搖臂係建構供旋轉而驅動該第一夾持臂及該第二夾持臂夾持。
7. 根據請求項6所述之夾持裝置，其中該接觸面與該第一接觸部及該第二接觸部相互平行，且該第二邊之垂直位置高於或低於該第一邊之垂直位置。
8. 根據請求項5所述之夾持裝置，其中該第一接觸部包含一第一凸肋，該第一凸肋包含一第一底面，該第一滾輪設置於該第一凸肋並突出於該第一底面。
9. 根據請求項8所述之夾持裝置，其中該第一滾輪突出於該第一底面之該第一滾輪突出部分接觸該接觸面，該彈性體分別連接該第一搖臂及該第二搖臂，以避免該第一滾輪與該接觸面分離。
10. 根據請求項5所述之夾持裝置，其中該接觸面包含一第一接觸面及一第二接觸面，該第一滾輪係建構供滑動於該第一接觸面，該第二滾輪係建構供滑動於該第二接觸面。
11. 根據請求項10所述之夾持裝置，其中該第一接觸部包含一第一側壁，該第一滾輪設置於該第一側壁並突出於該第一側壁。
12. 根據請求項10所述之夾持裝置，其中該彈性體分別連接該第一搖臂及該第二搖臂，以避免該第一滾輪與該第一接觸面分離並避免該第二滾輪與該第二接觸面分離。
13. 一種夾持系統，包含：一夾持裝置，包含：一第一夾持臂，包含一第一支撐軸；一契塊，包含一接觸面；一第一搖臂，包含一第一接觸部、一第一本體部及一第一連接部，其中該第一接觸部連接該第一本體部，該第一本體部連接該第一連接部，該第一接觸部設置一第一滾輪，該第一滾輪係建構供滑動於該接觸面，該第一連接部連接該第一夾持臂；一第二搖臂；及一彈性體，該彈性體兩端分別連接該第一搖臂及該第二搖臂，其中該契塊係建構供驅動該第一滾輪，進而驅動該第一支撐軸進行徑向的角速度運動後，該第一搖臂係建構供旋轉而分別驅動該第一夾持臂夾持；一驅動裝置，係建構供驅動該契塊移動；以及一基板，係建構供固定該第一夾持臂。
14. 根據請求項13所述之夾持系統，另包含一感測器，該感測器電性耦合於該彈性體並感測該彈性體所傳遞之訊號。
15. 根據請求項14所述之夾持系統，其中該第一本體部設置一固定柱，該固定柱連接該彈性體並傳輸該訊號，該固定柱與該第一本體部之間設置一絕緣牙套。
16. 根據請求項13所述之夾持系統，其中該驅動裝置設置於該基板上，該契塊另包含一底部，該底部具有一凹口，該驅動裝置驅動一固定栓***該凹口而固定該契塊。
17. 根據請求項13所述之夾持系統，其中該第二搖臂，包含一第二接觸部、一第二本體部及一第二連接部，其中該第二接觸部連接該第二本體部，該第二本體部連接該第二連接部，該第二接觸部設置一第二滾輪，該第二滾輪係建構供滑動於該接觸面，該第二連接部連接該第二夾持臂之一第二支撐軸，該契塊係建構供驅動該第二滾輪，進而驅動該第二支撐軸進行徑向的角速度運動後，該第二搖臂係建構供旋轉而驅動該第二夾持臂夾持。
18. 根據請求項13所述之夾持系統，其中該接觸面沿該契塊移動方向包含一第一邊及相對於該第一邊之一第二邊，該契塊另包含一止擋面，該止擋面連接該第二邊，該契塊係建構供驅動該第一滾輪自該第一邊移動至該第二邊後，該第一搖臂及該第二搖臂係建構供旋轉而驅動該第一夾持臂夾持。
19. 根據請求項17所述之夾持系統，其中該接觸面包含一第一接觸面及一第二接觸面，該第一滾輪係建構供滑動於該第一接觸面，該第二滾輪係建構供滑動於該第二接觸面。