TWI457503B - 一種渦輪真空泵浦結構改良 - Google Patents

Description

一種渦輪真空泵浦結構改良

本發明係關於一種渦輪真空泵浦，尤指一種可替換葉片，並同時保有壓縮效率，且葉片間可利用簡單結構進行固定的一種渦輪真空泵浦結構改良。

在近年來由於半導體產業蓬勃發展，因而造成半導體前段製程之相關設備需求量大增，其中高真空系統中的心臟元件-渦輪真空泵浦更成為需求量極大之高真空系統元件，故渦輪真空泵浦大量被應用於高精密度之研究或產業中，因此其抽氣效能便非常被重視。

然而，習知技術中的渦輪真空泵浦在使用的時候，仍然會有下列的缺陷：

(1)當渦輪真空泵浦轉子進行高速旋轉以達到抽真空的過程中，轉子葉片會因為承受相當大的壓力而產生變形，嚴重的話更會造成葉片的斷裂，影響抽氣的效能，在此情況下，由於轉子是一體成形製成，所以就必須將整體真空泵浦進行替換，如此一來，就會造成相當巨大的成本花費。

(2)渦輪真空泵浦轉子必須進行動平衡的調整，以維持之後轉子運轉時的穩定，在習知技術中，動平衡的調整 必須在組裝過程中逐步進行，若轉子運轉出了問題，則必須重新調整，不僅在使用上相當不便，在時間的花費上亦相當巨大。

有鑑於此，本案之發明人依據多年研究之經驗累積，並搭配自身的創意及不斷的嘗試下，進而提供一種渦輪真空泵浦結構改良，藉由其結構上之優化設計，使轉子葉片組可單獨替換，並且可在組裝完成後直接進行動平衡的調整，以減少因維修所耗費的時間及物料成本及組裝時的不便利性，而且本發明具有綠色製造、綠色組裝、綠色修整、綠色生產等優勢。

本發明之第一目的，在於提供一種渦輪真空泵浦結構改良，係將轉子葉片組設計為可替換式之結構，並且在各轉子葉片組上設計有公母模斜錐，使轉子葉片組在相互組合時能確實而簡單的進行對位。

本發明之第二目的，在於提供一種渦輪真空泵浦結構改良，係於其上設計有複數個螺旋孔，藉由利用將螺絲鎖入的方式調整轉子的鬆緊以及動平衡的調整。

該渦輪真空泵浦結構改良係包含：一中心軸座，係具有：一軸座母模斜錐，係環設形成於該中心軸座上；及複數個軸座螺旋孔，亦係形成於中心軸座上；一底盤，係套接於中心軸座上，並具有：一底盤母模斜錐，係形成於該 底盤之頂面；一底盤公模斜錐，係形成於該底盤之底面，並可限位於軸座母模斜錐內；及複數個底盤螺旋孔，係形成於該底盤之側面；複數個轉子葉片組，係套接於中心軸座上，並都具有：一葉片母模斜錐，係形成於該轉子葉片組之頂面；及一葉片公模斜錐，係形成於轉子葉片組之底面，並可限位於另一轉子葉片組之該葉片母模斜錐及該底盤母模斜錐之其中一種內；及一蓋板，係連接於中心軸座之一端，並在與該底盤之間，將複數個轉子葉片組鎖定，且其上係形成有複數個對應於軸座螺旋孔之孔洞，藉由將螺絲從孔洞鎖入軸座螺旋孔內，可將蓋板固定於中心軸座上。

為了能夠更清楚地描述本發明所提出之一種渦輪真空泵浦結構改良，以下將配合圖式，詳盡說明本發明之較佳實施例。

請參閱第一圖、第二圖及第三圖，係本發明之渦輪真空泵浦結構改良之立體示意圖、側剖面示意圖及***示意圖，係包含：一中心軸座11，其上形成有八個軸座螺旋孔112，成一正八邊形；一底盤21，係套接於該中心軸座11上，其側面係形成有八個底盤螺旋孔213，成一正八邊形，其中，藉由從該八個底盤螺旋孔213鎖入螺絲可調整該底盤21套接於中心軸座11之鬆緊度，另一方面，也可藉由 組裝完成時調整螺絲的位置，直接對轉子本體進行動平衡的調整；一第五轉子葉片組35，係套接於中心軸座11上並連接於該底盤21；一第四轉子葉片組34係套接於中心軸座11上並連接於該第五轉子葉片組35；一第三轉子葉片組33係套接於中心軸座11上並連接於該第四轉子葉片組34；一第二轉子葉片組32，係套接於中心軸座11上並連接於該第三轉子葉片組33；一第一轉子葉片組31，係套接於中心軸座11上並連接於該第二轉子葉片組32；及一蓋板41，係套接於中心軸座11上並連接於該第一轉子葉片組31，並在其上形成有八個對應於軸座螺旋孔112之孔洞411，成一正八邊形，其中，藉由將螺絲從孔洞411鎖入軸座螺旋孔112內，可將蓋板41固定於中心軸座11上；上述已對本發明之元件組合順序做一詳細的說明，接下來要針對元件間的連接結構及連接方式做更一步的闡述，請繼續參閱第四A圖及第四B圖，係本發明之渦輪真空泵浦結構改良之側剖面***示意圖及公母模斜錐組合示意圖，如圖所示，中心軸座11上更設有一軸座母模斜錐111，係環繞形成於該中心軸座11上；底盤21上亦設置有一形成於底盤21頂面之底盤母模斜錐211及一形成於底盤21底面的底盤公模斜錐212，其中，當底盤21套接於中心軸座11時，該底盤公模斜錐212會限位於該軸座母模斜錐111內； 該第五轉子葉片組35之頂面形成有一第五葉片母模斜錐351，及於底面形成一第五葉片公模斜錐352，其中，當第五轉子葉片組35套接於中心軸座11時，該第五葉片公模斜錐352係可限位組合於該底盤母模斜錐211內；該第四轉子葉片組34之頂面形成有一第四葉片母模斜錐341，及於底面形成一第四葉片公模斜錐342，其中，當第四轉子葉片組34套接於中心軸座11時，該第四葉片公模斜錐342係可限位組合於該第五葉片母模斜錐351內；該第三轉子葉片組33之頂面形成有一第三葉片母模斜錐331，及於底面形成一第三葉片公模斜錐332，其中，當第三轉子葉片組33套接於中心軸座11時，該第三葉片公模斜錐332係可限位組合於該第四葉片母模斜錐341內；該第二轉子葉片組32之頂面形成有一第二葉片母模斜錐321，及於底面形成一第二葉片公模斜錐322，其中，當第二轉子葉片組32套接於中心軸座11時，該第二葉片公模斜錐322係可限位組合於該第三葉片母模斜錐331內；該第一轉子葉片組31之底面形成一第一葉片公模斜錐312，其中，當第一轉子葉片組31套接於中心軸座11時，該第一葉片公模斜錐312係可限位組合於該第二葉片母模斜錐321內；及一蓋板41，係連接於中心軸座11之一端，並在與該底盤21之間，將第五轉子葉片組35、第四轉子葉片組34、第三轉子葉片組33、第二轉子葉片組32及第一轉子葉片 組31鎖定，且其上係形成有複數個對應於軸座螺旋孔112之孔洞411，藉由將螺絲從孔洞411鎖入軸座螺旋孔112內，可將蓋板41固定於中心軸座11上。

上述已經對本發明做了相當完整之揭露，綜合上述，可以得知本發明係具有下列之優點：

1.各轉子葉片組係為各自獨立的結構，當其中有一組轉子葉片組損壞時，可直接替換該組的轉子葉片組，大大降低習知技術中，只要損壞就要整組轉子替換之情事，可有效降低元件成本的支出，整修時間的花費。

2.在底盤上設置有底盤螺旋孔，其功能除了可以鎖入螺絲調整底盤與中心軸座的鬆緊外，更可藉由鎖入螺絲進而調整轉子整體的動平衡。

3.在各轉子葉片組及底盤上都設置有公母模斜錐，使元件間在組裝時，能更輕易的進行對位組合。

然而，上述之詳細說明係針對本發明可行實施例之具體說明，惟該實施例並非用以限制本發明之專利範圍，凡未脫離本發明技藝精神所為之等效實施或變更，均應包含於本案之專利範圍中。

11‧‧‧中心軸座

111‧‧‧軸座母模斜錐

112‧‧‧軸座螺旋孔

21‧‧‧底盤

211‧‧‧底盤母模斜錐

212‧‧‧底盤公模斜錐

213‧‧‧底盤螺旋孔

31‧‧‧第一轉子葉片組

312‧‧‧第一葉片公模斜錐

32‧‧‧第二轉子葉片組

321‧‧‧第二葉片母模斜錐

322‧‧‧第二葉片公模斜錐

33‧‧‧第三轉子葉片組

331‧‧‧第三葉片母模斜錐

332‧‧‧第三葉片公模斜錐

34‧‧‧第四轉子葉片組

341‧‧‧第四葉片母模斜錐

342‧‧‧第四葉片公模斜錐

35‧‧‧第五轉子葉片組

351‧‧‧第五葉片母模斜錐

352‧‧‧第五葉片公模斜錐

41‧‧‧蓋板

411‧‧‧孔洞

第一圖係本發明之一種渦輪真空泵浦結構改良之立體示意圖； 第二圖係本發明之渦輪真空泵浦結構改良之側剖面示意圖；及第三圖係本發明之渦輪真空泵浦結構改良之***示意圖；第四A圖係本發明之渦輪真空泵浦結構改良之側剖面***示意圖；及第四B圖係本發明之渦輪真空泵浦結構改良之公母模斜錐組合示意圖。

21‧‧‧底盤

31‧‧‧第一轉子葉片組

32‧‧‧第二轉子葉片組

33‧‧‧第三轉子葉片組

34‧‧‧第四轉子葉片組

35‧‧‧第五轉子葉片組

41‧‧‧蓋板

411‧‧‧孔洞

Claims (8)

1. 一種渦輪真空泵浦結構改良，係包括：一中心軸座，係具有：一軸座母模斜錐，係形成於該中心軸座上；及複數個軸座螺旋孔，亦係形成於中心軸座上；一底盤，係套接於中心軸座上，並具有：一底盤母模斜錐，係形成於該底盤之頂面；一底盤公模斜錐，係形成於該底盤之底面，並可限位於軸座母模斜錐內；及複數個底盤螺旋孔，係形成於該底盤之側面；複數個轉子葉片組，係套接於中心軸座上，並都具有：一葉片母模斜錐，係形成於該轉子葉片組之頂面；及一葉片公模斜錐，係形成於轉子葉片組之底面，並可限位於另一轉子葉片組之該葉片母模斜錐及該底盤母模斜錐之其中一種內；及一蓋板，係連接於中心軸座之一端，並在與該底盤之間，將複數個轉子葉片組鎖定，且其上係形成有複數個對應於軸座螺旋孔之孔洞，藉由將螺絲從孔洞鎖入軸座螺旋孔內，可將蓋板固定於中心軸座上。
2. 如申請專利範圍第1項所述之渦輪真空泵浦結構改良，其中，該軸座螺旋孔係有八個，並且其設置位置係都成一正八邊形。
3. 如申請專利範圍第1項所述之渦輪真空泵浦結構改良，其中，該底盤螺旋孔係有八個，並且其設置位置係都成一正八邊形，此外，藉由將調整螺絲鎖入底盤螺旋孔內，可調整底盤固定於中心軸座上之鬆緊及整體結構之動平衡進行微調。
4. 如申請專利範圍第1項所述之渦輪真空泵浦結構改良，其中，該孔洞係有八個，並且其設置位置係都成一正八邊形。
5. 一種渦輪真空泵浦結構改良，係包括：一中心軸座，係具有：一軸座母模斜錐，係形成於該中心軸座上；及複數個軸座螺旋孔，亦係形成於中心軸座上；一底盤，係套接於中心軸座上，並具有：一底盤母模斜錐，係形成於該底盤之頂面；一底盤公模斜錐，係形成於該底盤之底面，並限位於軸座母模斜錐內；及複數個底盤螺旋孔，係形成於該底盤之側面；一第五轉子葉片組，係套接於中心軸座上，並於頂面形成有一第五葉片母模斜錐，及於底面形成一第五葉片公模斜錐，其中，該第五葉片公模斜錐係可限位於該底盤母模斜錐內； 一第四轉子葉片組，係套接於中心軸座上，並於頂面形成有一第四葉片母模斜錐，及於底面形成一第四葉片公模斜錐，其中，該第四葉片公模斜錐係可限位於該第五葉片母模斜錐內；一第三轉子葉片組，係套接於中心軸座上，並於頂面形成有一第三葉片母模斜錐，及於底面形成一第三葉片公模斜錐，其中，該第三葉片公模斜錐係可限位於該第四葉片母模斜錐內；一第二轉子葉片組，係套接於中心軸座上，並於頂面形成有一第二葉片母模斜錐，及於底面形成一第二葉片公模斜錐，其中，該第二葉片公模斜錐係可限位於該第三葉片母模斜錐內；一第一轉子葉片組，係套接於中心軸座上，並於底面形成一第一葉片公模斜錐，係可限位於該第二葉片母模斜錐內；及一蓋板，係連接於中心軸座之一端，並在與該底盤之間，將該第一轉子葉片組、該第二轉子葉片組、該第三轉子葉片組、該第四轉子葉片組及該第五轉子葉片組鎖定，且其上係形成有複數個對應於軸座螺旋孔之孔洞，藉由將螺絲從孔洞鎖入軸座螺旋孔內，可將蓋板固定於中心軸座上。
6. 如申請專利範圍第5項所述之渦輪真空泵浦結構改良，其中，該軸座螺旋孔係有八個，並且其設置位置係都成一正八邊形。
7. 如申請專利範圍第5項所述之渦輪真空泵浦結構改良，其中，該底盤螺旋孔係有八個，並且其設置位置係都成一正八邊形，此外，藉由將調整螺絲鎖入底盤螺旋孔內，可調整底盤固定於中心軸座上之鬆緊及整體結構動平衡之微調。
8. 如申請專利範圍第5項所述之渦輪真空泵浦結構改良，其中，該孔洞係有八個，並且其設置位置係都成一正八邊形。