TWI435230B - 使用已知最佳方法來建立製作法之方法及配置 - Google Patents

使用已知最佳方法來建立製作法之方法及配置 Download PDF

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TWI435230B
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Description

使用已知最佳方法來建立製作法之方法及配置
本發明係有關使用已知最佳方法來建立製作法之方法及配置。
電漿與清潔處理方面的進步有助於半導體工業的成長。在電漿處理中，可以使用不同的製作法來實施基板處理。製作法通常係複雜且需要使用者(諸如，製程工程師)不僅具備有關於該製作法的知識，還要瞭解有關於執行該製作法之處理系統硬體。如同在本文中所討論者，處理系統可包括(但不限於)電漿處理系統與清潔處理系統。
通常可被用來建立製作法的方法為在表格式文件上以人工方式輸入值的程序，例如，大型單張試算表(LMS)102。LMS讓使用者能夠靈活地輸入及改變值。不過，從可被收集之值之數量的觀點來看，LMS可能過度地大。典型上，製作法可包括大約50個步驟。每一個步驟可能大約要定義250個參數(例如，偏壓功率、頂部功率、處理室壓力、氣體的類型等等)。此外，使用者可能需為每一個參數輸入3個值：設定點、軟性公差、及硬性公差。因此，對一典型的製作法而言，使用者可能必須以人工方式輸入大約30,000至40,000個值。
為有助於討論，圖1顯示一利用人工表格製作法文件之生產環境的簡化圖。在將製作法輸入到LMS 102上之後，LMS 102經由路徑108而被上載到可控制處理系統硬體106的製程控制模組(PCM)104(諸如，電腦)上。PCM 104可經由路徑110而從LMS 102將各步驟用的參數送到處理系統硬體106。處理系統硬體106可利用來自LMS 102的參數來處理基板。當完成一製作法步驟時，電漿處理硬體106可經由路徑112而送出資料請求至PCM 104，以提取該製作法中的下一個步驟。
由於LMS 102上的資料係藉由使用者以人工方式來予以輸入，因此，該程序很容易有人為的錯誤。為了使使用者確保供應正確的值，使用者必須具有關於該製作法及處理系統硬體的技術及知識。而且，在製作法的建立中，使用者必須供給數量極大的值，這可能提供了錯誤值被輸入的機會。此外，LMS 102可能未受到保護，而致使使用者或其他人能夠加入或刪除參數。因此，使用者可能輸入錯誤的資料而造成代價高的基板浪費。熟悉此方面技術之人士知道，在某些生產環境中，"不良的製作法"(諸如，具有參數的資料之製作法)對於代價高的基板浪費要負一半以上的責任。
此外，將資料輸入於LMS 102中的程序可能無法與處理系統硬體106整合在一起。因此，通常即使是可能精通於建立製作法之使用者也可能難以決定被輸入於LMS 102上的值是否可與處理系統硬體106的組態設定相容。結果，與處理系統硬體106之組態設定不相容的製作法可能會對昂貴的硬體造成嚴重的損害。
為了使人為錯誤的風險降至最低，某些基板製造業者會使用硬編碼(hard－coding)製作法的方法。不過，此方法使得使用者法改變製作法的彈性變小或沒有彈性。反而是，對製作法的更新可能通常需要耗時及/或代價高的軟體碼改變。
還有一些與建立製作法之習知方法相關的缺點。例如，經過硬編碼的製作法需要軟體支援，其使得更新及調整製作法成為繁重的程序。另一方面，人工LSM雖提供使用者輸入資料的彈性，但仍存在許多錯誤之資料登錄的機會。
在一實施例中，本發明係有關於一影響在處理系統中用來處理基板之製作法之建立的方法。該方法包括提供一由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器。該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器結合諸已知最佳方法(BKMs)，該等BKMs為用於該製作法的最佳實施規格。該方法也包括根據用於該製作法的該等BKMs而建立複數個BKM模組。該方法另包括為該複數個BKM模組中的參數定義規則。該等規則係藉由該等BKMs來予以傳播。該方法另再包括藉由使用該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器來建立由BKM所驅動的製作法，以在該等BKM規則的指導方針內輸入用於該等參數之值。
在另一實施例中，本發明係有關於一影響在處理系統中用來處理基板之製作法之建立的配置。該配置包括由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器，該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器結合諸已知最佳方法(BKMs)，該等BKMs為用於該製作法的最佳實施規格。該配置也包括用於該製作法之根據該等BKMs的複數個BKM模組。該配置另包括用以定義該複數個BKM模組中之參數的規則，該等規則係藉由該等BKMs來予以傳播。
在又一實施例中，本發明係有關於一種製造物件，其包含具有電腦可讀取碼被具體化於其中的程式儲存媒體。該電腦可讀取碼被組構來建立用以在處理系統中處理基板的製作法。該製造物件也包括用以建立由已知最佳方法所驅動之製作法編輯器的電腦可讀取碼。該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器結合諸已知最佳方法(BKMs)，該等BKMs為用於該製作法的最佳實施規格。該製造物件另包括用以根據該等BKMs而為該製作法建立複數個BKM模組的電腦可讀取碼。該製造物件另包括用以應用規則來定義該複數個BKM模組中之參數的電腦可讀取碼，該等規則係藉由該等BKMs來予以傳播。
在以下對本發明的詳細描述中將結合附圖更詳細描述本發明這些及其它特徵。
現將參照附圖中所例舉的幾個實施例來詳細描述本發明。在以下的描述中，為了提供對本發明的徹底瞭解，提出了許多特定的細節。不過，熟悉此方面技術之人士將可明瞭，沒有某些或所有的這些特定細節，本發明仍可實施。在其它例子中，不再詳細描述習知的製程步驟及/或結構，以免不必要地糢糊了本發明。
在下文中將描述各種實施例，包括方法及技術。須記住，本發明也可涵蓋製造物件，其包括其上儲存有用以實施本發明之技術之實施例的電腦可讀取媒體。電腦可讀取媒體例如可包括半導體、磁性、光－磁、光學、或其它形式之用以儲存電腦可讀取碼的電腦可讀取媒體。此外，本發明也涵蓋用以實施本發明之實施例的設備。這些設備可包括用以實施關於本發明之實施例之工作的專用及/或可程式的電路。這類設備的例子包括通用電腦及/或當經過適當程式化時的專用計算裝置，及可包括電腦/計算裝置的組合，及適合關於本發明之實施例之各種工作的專用/可程式電路。
按照本發明的實施例，提供有一由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器，其被設計用來結合已知最佳方法(BKMs)，而同時提供使用者為某一製作法輸入及調整值的彈性。如同在本文中所討論者，BKMs係指為處理系統硬體建立製作法的最佳實施。如同在本文中所討論者，處理系統可包括(但不限於)電漿處理系統及清潔處理系統。在本發明的實施例中，每一製作法的BKMs可包在一或多個BKM模組內。本發明的實施例另提供給專業人士經由BKM所驅動的製作法編輯器以修改現有BKM模組及建立新BKM模組的方法及配置。如本文中的討論，專業人士指的是被給予建立新BKM模組及修改現有BKM模組之編輯器特權的人士。
在此文件中，使用電漿處理系統來討論各種的實施。不過，本發明並不限於電漿處理系統，且可包括清潔系統。反而是，該等討論意味當作例子，且本發明並不受所提出之該等例子的限制。
在一實施例中，每一個BKM模組都與特定的處理階段相關，且可能包括製作法的一或多個步驟。在一例中，具有50個步驟的製作法現可被模組化成為功能方塊，且與10個BKM模組相關聯，每一個BKM模組與至少一步驟相關聯。
在建立製作法中，使用者可利用由BKM所驅動的製作法編輯器來喚起一或多個BKM模組。在一實施例中，BKM模組可為每一個參數的許可值指定規則。此外，規則可被用來定義各參數之間的相依性。在一例中，可以為壓力參數而被輸入的值可以決定可為偏壓功率參數而被輸入的範圍。此外，為製作法而對最佳實施的更新，可經由經更新的BKMs來予以傳播，且可被轉譯成用於BKM模組之參數的新規則。在一實施例中，當該等BKMs被更新時，該等規則可被自動更新。因此，在建立製作法時，使用者可輸入或改變值，但使用者可能不具有改變規則的許可。
在本發明的實施例中，由BKM所驅動的製作法編輯器可在製作法的建立中結合用於該處理系統硬體之所建議的組態設定。此外，在執行製作法之前，使用者為了處理系統硬體所提供的組態設定可與由BKM所驅動的製作法對照比較以決定相容性，藉以避免對硬體的昂貴損壞。
在某些情況中，基板製造業者可能具有獨家的製作法，其可能不適用於所提供的BKM模組。如在本文中所討論者，所謂獨家的製作法係指可能具有與此領域中的許多人所採用的最佳實施偏離的步驟或參數。在一實施例中，可准許與希望保留其製作法之獨家特性之工具擁有者相關的專家使用由BKM所驅動的製作法編輯器來修改或建立BKM模組。因此，這些BKMs只專屬於該工具，且不被傳播給其他的工具擁有者(例如，晶片製造者的競爭對手)。
參照以下的附圖及討論，將可更加瞭解本發明之實施例的特徵及優點。圖2顯示在一實施例中，與複數個BKM模組相關聯之製作法的簡示圖。多步驟單張的製作法202可被模組化成複數個功能方塊，這些功能方塊可與複數個BKM模組(210、220、及230)相關聯。每一個BKM模組可具有複數個參數(212－218、222－228、及232－238)。在一實施例中，每一個參數可藉由規則來予以控制，而該等規則可定義可為每一個單元格而被輸入的許可值。此外，每一個單元格可具有內定值建議。此外，每一個BKM模組可具有為處理系統硬體所建議的組態設定。
如前所述，每一個BKM模組可包括最佳實用規格。此外，每一個BKM模組可與一處理階段相關聯，且可包括至少一個製作法步驟。在建立製作法時，使用者可利用由BKM所驅動的製作法編輯器來呼叫複數個BKM模組。圖3、4及5例舉由BKM所驅動之製作法編輯器的之介面例子。
圖3顯示在一實施例中由BKM所驅動之製作法編輯器之介面的主畫面(main－view)例。在此主畫面中，介面302顯示具有3個BKM模組(304、306、及308)的製作法。在一實施例中，處理系統硬體的製造業者可決定BKM模組的數目，以及用於每一個製作法之BKM模組的順序。因此，如果製造業者的BKM被採用，則確保參數值登錄符合該BKM。藉由在BKM模組上點選，諸如BKM模組304，及點選"打開"按鈕350，使用者可喚起用於BKM模組304的參數。
圖4顯示在一實施例中由BKM所驅動之製作法編輯器的值畫面例。在此值畫面中，使用者將可用於每一個參數之值輸入該等BKM規則的指導方針內。介面402顯示圖3之BKM模組304的值畫面。BKM模組304可具有複數個欄，其包括參數描述欄404、設定點欄408、軟公差欄410、及硬公差欄412。每一個單元格的值可在該等規則之指導方針的範圍內(可適用於該等單元格，且在圖4中並未顯示出)被改變。欄408、410、及412的每一個單元格可包括規則，其限制了可為每一單元格而被輸入的許可值。(參考下文之表1中的規則例)。在一例中，對於參數單元格420(Head Pair 1 Top DIW Flow)而言，用於設定點格422的內定值被設定為"off"。當使用者點選設定點單元格422時，該使用者可改變該單元格的值。不過，可為每一個單元格所接受的值可能受可為每一個參數所設定之規則所限制。
圖5顯示在一實施例中由BKM所驅動之製作法編輯器的規則畫面例。在該規則畫面中，專家可為每一參數單元格修改規則以客製化一BKM模組。如前文中所討論者，專家指的是已允許編輯器建立新的BKM模組或修改目前的BKM模組的人士。在一實施例中，對建立及/或修改BKM的特權只被保留給由工具製造業者所授權的人士。介面502顯示BKM模組304的規則畫面。BKM模組304可具有複數個欄，包括參數描述欄504、設定點欄508、軟公差欄510、及硬公差欄512。欄504中所顯示的每一個參數可能無法由使用者來予以增加或移除。不過，如果專家被適當地授權，則可以為欄508、510、及512修改規則。現請參考以下的表1，其為規則的例子。在一例中，對參數單元格520(HeadPairlTopDIWFlow)而言，設定點單元格522的規則被設定為內定值。當使用者點選設定點單元格522時會出現對話方塊524，以提供使用者關於內定值的資訊，並允許使用者改變設定點單元格522的值。
在一實施例中，由BKM所驅動的製作法編輯器可能有能力取得可由製造工程師或者與工具製造業者相關之專家所傳播的BKMs(亦即，新的最佳實行)，並將該BKM轉譯成可應用於BKM模組之受影響參數之該等單元格的規則。因此，製作法可以用經更新的BKMs來予以建立及/或修改，而不需要使用者知道關於該等改變的知識。
在一實施例中，由BKM所驅動之對現有製作法的修改可以由工具製造者而被遠端地觸發，並將對於該等參數的改變結果傳遞給工具使用者以供認可，及/或做為禮貌性的告知。在一實施例中，當BKMs被改變時，新的BKM可經由電腦網路(例如，網際網路)而被傳送給要用來對照現有製作法的工具使用者(或直接傳送給工具)。經更新的BKM可指定現有製作法可能需要包括的新參數，或現有參數之不同的允許值範圍。此"BKM審核"可提供關於由於該經改變的BKM，與現有製作法相關之一或多個參數值是否需要修改的資訊給工具使用者(或工具製造者，如果該工具使用者允許存取)。按此方式，由某工廠之專家或工具製造者之專家所獲得到的知識，可以用能夠使所有工具使用者受惠但不會威脅到任何特定工具使用者之製作法機密的方式而被有利地傳播。
在另一實施例中，由BKM所驅動的製作法編輯器可被利用來適應基板製造者的"獨家製作法"。由於獨家製作法具有超越競爭對手的獨特優點，因此被其擁有者嚴密地保護。藉由使用由BKM所驅動的製作法編輯器，專家們可建立新的BKM模組及/或可操作目前的BKM模組以適應獨家的製作法。
圖6顯示一實施例的流程圖，其例舉如何使用BKM來建立由BKM所驅動之製作法的例子。在第一步驟602中，與工具擁有者相關聯的專家可啟動由BKM所驅動的製作法編輯器。在一實施例中，該由BKM所驅動的製作法編輯器可包括多個BKMs，該些BKMs可包括製作法的最佳實行規格。對每一個製作法而言，該等BKMs可被包裝在複數個BKM模組內。
在次一步驟604中，如果BKM模組包括足以建立一製作法的BKMs，則可能不需要改變該BKM模組，且在次一步驟614中，操作人員可藉由使用由BKM所驅動的製作法編輯器來建立新的製作法，以將用於該等參數之值輸入該等BKM規則的指導方針內。在一例中，用於BKM模組之參數的規則包括最佳實行規格。如果操作人員能夠不改變一或多個BKM模組之參數的規則而建立新的由BKM所驅動之製作法，則該等BKM模組可能是足夠的。不過，如果在次一步驟604時的BKM模組不夠，則BKM模組必須被修改，或可能必須建立新的BKM模組。在一例中，如果專家希望實施獨家的製作法，則具有最佳實行規格的BKM模組可能不夠，且可能需要改變一或多個BKM模組之參數的規則。
在接下來的步驟606中，專家可選擇修改現有的BKM模組。如果專家選擇修改一或多個現有的BKM模組，則在次一步驟608中，專家可為現有BKM模組中之參數的規則(例如許可值、參數之間的相依性等)修改規則，以適應其獨家的製作法。不過，如果在接下來的步驟606中，專家並不選擇修改現有的BKM模組，則專家可在次一步驟610選擇建立新的BKM模組。在接下來的步驟612中，專家可為新建立之BKM模組中的參數定義規則。新BKM模組可根據其規則適合獨家製作法之目前的BKM模組。一旦BKM模組具有用以建立一製作法之所有正確的參數及規則，則在步驟614，操作人員可使用由BKM所驅動的編輯器來輸入用於每一個參數的值，以建立一由BKM所驅動的製作法。
圖7顯示在一實施例中，例舉將由BKM所驅動之製作法應用於處理系統硬體之演算法的簡化方塊圖。PCM702可具有被上載到PCM 702之由BKM所驅動的製作法604。由BKM所驅動的製作法604可藉由BKM所驅動的製作法編輯器來予以產生。在一實施例中，由BKM所驅動的製作法編輯器可位於PCM 702中。在另一實施例中，由BKM所驅動的製作法編輯器可位於PCM 702的外部。由BKM所驅動的製作法編輯器可經由路徑710而從處理系統硬體708請求關於實際組態設定的資料。處理系統硬體708可經由路徑710送出被請求的組態資料給PCM 702。有了此組態資料，PCM 702可決定由BKM所驅動的製作法704與處理系統硬體708是否相容。如果該製作法與組態設定不相容，則會提供警告706，以致能使用者修改由BKM所驅動的製作法704或修改硬體組態設定。不過，如果該資料係相容的，則PCM 702可藉由將該製作法送出給處理系統硬體708以執行該製作法。
如同能夠從本發明的實施例得知，由BKM所驅動的製作法編輯器藉由免除使用者需具有製作法及處理系統硬體之組態設定的專業知識而令使用者"去技能化(de－skill)"，致使製造業者的勞動及材料成本大幅減輕。特別是，隨著規則被結合入由BKM所驅動的製作法編輯器以拒絕或接受使用者的登錄，製造業者不再易受由使用者輸入錯誤資料的影響；因此，當"被去技能化"之使用者被限制只能對一特定參數輸入有效資料時，大量高價基板被浪費的情況可減少。
雖然已從數個實施例的角度描述了本發明，但這些的改變、變更、及相等物，都落在本發明的範圍內。此外，本文所提供的標題、概述、及摘要是為了方便，且不能用其解釋成本文主張的範圍。此外，在本申請案中，一組"n"意指在該組中有一或多個"n"。須注意，本發明之實施方法及設備有很多選擇。因此，以下所附的申請專利範圍意欲解釋成包括所有在本發明之真正精相與範圍內的這類改變、變更、及相等物。
102．．．大型單張試算表
104．．．處理控制模組
108．．．路徑
106．．．處理系統硬體
112．．．路徑
202．．．製作法
210、220、230．．．BKM模組
304、306、308．．．BKM模組
402．．．介面
404．．．參數描述欄
408．．．設定點欄
410．．．軟公差欄
412．．．硬公差欄
502．．．介面
504．．．參數描述欄
508．．．設定點欄
510．．．軟公差欄
512．．．硬公差欄
702．．．處理控制模組
710．．．路徑
704．．．BKM所驅動的製作法
706．．．警告
708．．．處理系統硬體
本發明藉由附圖之圖示中的例子來說明(並非限制)，且圖中相同的參考編號指示類似的元件，其中：圖1顯示利用人工表格之製作法文件之製造環境的簡示圖。
圖2顯示在一實施例中，具有複數個BKM模組之製作法的簡圖。
圖3顯示在一實施例中，由BKM所驅動之製作法編輯器介面之主畫面的例子。
圖4顯示在一實施例中，由BKM所驅動之製作法編輯器介面之值畫面的例子。
圖5顯示在一實施例中，由BKM所驅動之製作法編輯器之規則畫面的例子。
圖6顯示在一實施例中，說明BKM如何被用來建立BKM所驅動之製作法之例子的流程圖。
圖7顯示在一實施例中，說明將由BKM所驅動之製作法應用至處理系統硬體之演算法的簡化方塊圖。
202．．．製作法
204．．．建議的組態設定
210．．．BKM1
212．．．BKM1 －P1
214．．．BKM1 －P2
216．．．BKM1 －P3
218．．．BKM1 －PN
220．．．BKM2
222．．．BKM2 －P1
224．．．BKM2 －P2
226．．．BKM2 －P3
228．．．BKM2 －PN
230．．．BKMN
232．．．BKMN －P1
234．．．BKMN －P2
236．．．BKMN －P3
238．．．BKMN －PN

Claims (29)

  1. 一種影響在處理系統中用來處理基板之製作法之建立的方法，包含：提供一由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器，該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器結合諸已知最佳方法(BKMs)，該等BKMs為用於該製作法的最佳實施規格；根據用於該製作法的該等BKMs來建立複數個BKM模組；為該複數個BKM模組中的參數定義規則，該等規則係藉由該等BKMs來予以傳播；藉由使用該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器來建立由BKM所驅動的製作法，以在該等BKM規則的指導方針內輸入用於該等參數之值。
  2. 如申請專利範圍第1項的方法，其中該複數個BKM模組包括第一BKM模組，該第一BKM模組包括來自該製作法的至少一個步驟。
  3. 如申請專利範圍第2項的方法，其中該複數個BKM模組包括第二BKM模組，該第二BKM模組包括來自該製作法的至少一個步驟，該第二BKM模組包括並未結合到該第一BKM模組內的步驟。
  4. 如申請專利範圍第1項的方法，其中該等規則定義用於該等參數之可允許的值。
  5. 如申請專利範圍第4項的方法，其中該等規則定義該等參數之間的相依性。
  6. 如申請專利範圍第4項的方法，其中該等規則係藉由該等BKMs來予以自動更新。
  7. 如申請專利範圍第1項的方法，其中該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器包括用於該處理系統之所建議的組態設定。
  8. 如申請專利範圍第1項的方法，其中該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器在執行該由BKM所驅動的製作法之前，先請求該處理系統的實際組態設定，其中實施該等實際組態設定與該由BKM所驅動之製作法間的比較。
  9. 如申請專利範圍第8項的方法，其中當該比較指示該等實際組態設定與該由BKM所驅動之製作法間的不相容時，該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器發出警告。
  10. 一種影響在處理系統中用來處理基板之製作法之建立的配置，包含：由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器，該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器結合諸已知最佳方法(BKMs)，該等BKMs為用於該製作法的最佳實施規格；用於該製作法之根據該等BKMs的複數個BKM模組；用以定義該複數個BKM模組中之參數的規則，該等規則係藉由該等BKMs來予以傳播。
  11. 如申請專利範圍第10項的配置，其中該複數個BKM模組包括第一BKM模組，該第一BKM模組包括來自該製作法的至少一個步驟。
  12. 如申請專利範圍第11項的配置，其中該複數個BKM模組包括第二BKM模組，該第二BKM模組包括來自該製作法的至少一個步驟，該第二BKM模組包括並未結合到該第一BKM模組內的步驟。
  13. 如申請專利範圍第10項的配置，其中該等規則定義用於該等參數之可允許的值。
  14. 如申請專利範圍第13項的配置，其中該等規則定義該等參數之間的相依性。
  15. 如申請專利範圍第13項的配置，其中該等規則係藉由該等BKM來予以自動更新。
  16. 如申請專利範圍第10項的配置，其中該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器包括用於該處理系統之所建議的組態設定。
  17. 如申請專利範圍第10項的配置，其中該已知最佳方法製作法編輯器被使用來在接收到用於該等參數的值輸入之後，建立由BKM所驅動的製作法。
  18. 如申請專利範圍第17項的配置，其中該已知最佳方法製作法編輯器在執行該由BKM所驅動的製作法之前，先請求該處理系統的實際組態設定，其中實施該等實際組態設定與該由BKM所驅動之製作法間的比較。
  19. 如申請專利範圍第18項的配置，其中當該比較指示該等實際組態設定與該由BKM所驅動之製作法間的不相容時，該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器發出警告。
  20. 一種製造物件，其包含具有電腦可讀取碼被具體化於其中的程式儲存媒體，該電腦可讀取碼被組構來建立用以在處理系統中處理基板的製作法，包含：用以建立由已知最佳方法所驅動之製作法編輯器的電腦可讀取碼，該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器結合諸已知最佳方法(BKMs)，該等BKMs為用於該製作法的最佳實施規格；用以根據該等BKM而為該製作法建立複數個BKM模組的電腦可讀取碼；用以應用規則來定義該複數個BKM模組中之參數的電腦可讀取碼，該等規則係藉由該等BKMs來予以傳播。
  21. 如申請專利範圍第20項的製造物件，其中該複數個BKM模組包括第一BKM模組，該第一BKM模組包括來自該製作法的至少一個步驟。
  22. 如申請專利範圍第21項的物品，其中該複數個BKM模組包括第二BKM模組，該第二BKM模組包括有來自該製作法的至少一個步驟，該第二BKM模組包括並未結合到該第一BKM模組內的步驟。
  23. 如申請專利範圍第20項的製造物件，其中該等規則定義用於該等參數之可允許的值。
  24. 如申請專利範圍第23項的製造物件，其中該等規則定義該等參數之間的相依性。
  25. 如申請專利範圍第20項的製造物件，其中該等規則係藉由該等BKM來予以自動更新。
  26. 如申請專利範圍第20項的製造物件，其中該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器包括用於該處理系統之所建議的組態設定。
  27. 如申請專利範圍第20項的製造物件，其中該已知最佳方法製作法編輯器被使用來在接收到用於該等參數的值輸入之後，建立由BKM所驅動的製作法。
  28. 如申請專利範圍第20項的製造物件，其中該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器在執行該由BKM所驅動的製作法之前，先請求該處理系統的實際組態設定，其中實施該等實際組態設定與該由BKM所驅動之製作法間的比較。
  29. 如申請專利範圍第27項的製造物件，其中當該比較指示該等實際組態設定與該由BKM所驅動之製作法間的不相容時，該由已知最佳方法所驅動的製作法編輯器發出警告。
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