TWI421660B - 具非污染性主體之化學惰性流量控制器 - Google Patents

Description

具非污染性主體之化學惰性流量控制器

本發明係關於流體流量控制器；特別是關於一種化學惰性流體流量控制器模組，其可內嵌連接於一輸送液態或氣態之化學腐蝕性流體物流迴路。

在敏感材料之高純度製程中(例如半導體之製造)，避免污染物之影響乃為製造商所必須面對的重要課題。由於敏感材料之製程常需直接接觸處理流體，如何將處理流體以無污染狀態、且無外來微粒的情況下，輸送至處理地點就變得重要。因此，便設計出各式各樣的製造系統，來減少製程中產生的外來之微粒及蒸氣對於敏感材料之污染。

製程設備通常包含運送處理流體之流體傳輸系統，這些通常具有腐蝕性或是危險性的處理流體，係從供應槽、再經由汲取調節站、再經製程設備本身。此流體化學傳輸系統包含導管、管路、監控裝置、感測裝置、閥組、接頭及相關的裝置，並且當長期暴露於腐蝕性環境下，一般係使用敏感性高的金屬零件。因此，監控及感測裝置通常會結合其他替代材料，例如具抗化學腐蝕性或可隔離腐蝕性流體之塑膠材料。

半導體製程中，流體排放量需要非常精確的控制，常常使用一個或更多個監控裝置、閥組、及感測裝置，並以閉迴路回饋關係連接，以監控及控制此種高敏感性之製程，而這些監控及感測裝置也必須被設計成可以排除任何可能被引入的污染物。為了控制流體傳輸系統內的物流或壓力，傳輸設備可利用每個監控裝置、閥組、及感測裝置所得到的資訊，而每個裝置所得資訊之精確性則可能會因為系統內熱量的變化而受到影響。進一步來說，一個裝置所得之不精確性資訊會影響其它裝置之資訊，導致其不 精確，該等不精確資訊亦會互相混合，故經常性的獨立校準是必需的，以保持每個裝置的精確性。然而，各裝置的個別校準是難以檢驗且浪費時間的。

這些監控及感測裝置通常藉由量測流經一狹縮區域或孔洞之壓力差來控制流體傳輸系統內之物流或壓力。經過一段時間之後，孔洞終會被腐蝕或堵塞，進而需要更換整個監控及感測裝置。並且，亦可能需要增加或減少流體物流迴路內之孔洞的狹縮區域，來控制相同或不同流體之物流或壓力。

因此，需要一種可以內嵌裝設於輸送腐蝕性材料之流體物流迴路且非污染之流體流量控制模組，其中該模組能夠基於流體物流迴路內所量得之一壓力差值來測定物流之速率，且物流之速率的測定值不會因為流體物流迴路內之熱量的變化而造成不良的影響，而流體流量控制模組之壓力感測器與各閥組的校準亦不需相關連。另外，流體流量控制模組也必須避免微粒、不必要的離子、或蒸氣被引入物流迴路，或者具有可移動或是可更換之孔洞，以排除整個模組的更換，或是為了不同類型流體或黏滯性之可選擇區段的校準。再者，減小流體流量控制模組之尺寸及重量，以維持處理系統中的空間亦是必需的。因此，本發明之實施例即是為了尋求可以克服該等先前技術既有之限制的流體流量控制模組。

本發明提供一種可內嵌連接於一輸送腐蝕性流體之流體物流迴路的流體流量控制模組，該流體流量控制模組可以測定壓力、物流速率及溫度，亦可控制流體物流迴路內之壓力、物流或流量。物流速率可藉由物流迴路內所測得之壓力差來測定，而且較佳是藉由穿過一個位於流體流量控制模組之二壓力傳感器之間的流體物流導管或孔洞之狹縮區域所測得之壓力差。

在一實施例中，一流量控制器包含一被化學惰性流體導管穿 過之單一控制器主體(其間可供腐蝕性流體流通)、一可調整控制閥連接至該導管、壓力感測器或傳感器連接至該導管、一設置於導管內之可嵌入之壓縮物或孔洞(其具有一漸縮之截面區域，以此限制該導管內流體之流動並用以提供可靠的流通測量)、一積體電路或控制器(藉由具有被法拉第盒環繞之訊號導體的導線結構，與該控制閥及該等壓力感測器相連接)、以及一化學惰性外殼(連接至該環繞該控制閥及該等壓力感測器之單一控制器主體)。

在一實施例中，該外殼包含一提供氣體(而非液體)之通道的排氣栓塞，在限制液體流入外殼之內部區域的同時，為了得到準確的大氣壓力參考值，該排氣栓塞提供外殼之內部區域一排氣效果。各壓力感測器亦包含一排氣管，其開孔至可排氣之外殼之內部區域，以提供準確的大氣壓力參考值。

根據本發明一實施例之一流體處理裝置可以包含一由化學惰性材料所形成之主體(其定義一流量通道)、一具有組合控制邏輯之處理器、以及與流量通道流通連接之至少一感測器，其中該感測器選擇性地傳送一訊號，用以指示流體於該流量通道中之一狀態。電性連接該處理器及該至少一感測器之導線結構，用以將該訊號由該至少一感測器傳輸至該處理器，該導線結構包含一追蹤層，其具有一遮蔽導體，實質上係為至少一訊號導體，該追蹤層呈現一對相對應之表面，以及包含一對由導電材料形成之遮蔽層，各遮蔽層分別面對該追蹤層之其中一表面，該等遮蔽層電性連接至追蹤層之遮蔽導體，藉此，該等遮蔽層及該追蹤層之遮蔽導體界定出環繞於該至少一訊號導體之法拉第盒，用以將該至少一訊號導體隔離於電磁干擾(electromagnetic interference，EMI)之外。

根據本發明一實施例之一流量控制器，其包含一由化學惰性材料形成之主體，並貫穿定義一流量通道，該流量通道具有一壁面及二相對端部，該流量通道之壁面於該等相對端部之間定義一 阻擋結構，將該流量通道區分為：由該等端部中之第一端部延伸至阻擋結構之一第一部分，以及由該等端部中之另一端部延伸至阻擋結構之一第二部分；一嵌入件用以定義一孔洞，以壓縮流經流量通道之流體物流，該嵌入件設置於鄰接該阻擋結構之流量通道之第一部分，且經由流量通道之第一端部可被選擇性地移除。該流量控制器更包含與流量通道之第一部份流通連接之一第一壓力感測器、與流量通道之第二部份流通連接之一第二壓力感測器、與流量通道流通連接之控制閥，其可操作以調整流經流量通道之流體物流、以及一處理器及其組合控制邏輯，與第一壓力感測器、第二壓力感測器及控制閥連接，其中該處理器基於第一壓力感測器及第二壓力感測器之訊號，自動地操作控制閥，以調整流經流量通道之流體物流。

前述實施例之一目的及特徵在於提供一種節省成本的方法，藉由更換使用超過一段時間之後，可能被腐蝕或堵塞之孔洞，來延長物流控制模組之使用壽命。

本發明實施例之另一目的及特徵在於利用一種設置於流體物流導管內且可更換的孔洞，使得控制器主體可以由一單一構件所構成。

本發明實施例之另一目的及特徵為一種設置於流體物流導管內且可更換之孔洞，用以提供所需之狹縮區域，當面對不同流體可提供相容之材料，來針對不同流體及流速，之取得壓力差測量值，。

本發明實施例之另一目的及特徵為一種導線結構，包含藉由一法拉第盒環繞之訊號導體，將處理器及其組合控制邏輯連接至壓力感測器，用以抑制隨著訊號而產生的電磁干擾，並提供一更小、更輕且更節省成本的物流控制模組。

本發明實施例之再一目的及特徵包含提供控制模組外殼之一化學保護的內部區域，同時於該外殼之內部區域提供一真實的大 氣壓力參考值。

本發明實施例之再一目的及特徵在於提供一可以供應溫度、壓力及物流輸出之物流控制模組。

本發明實施例之再一目的及特徵在於提供一物流控制模組，其可以提供不同流體類型或黏滯性之可選擇性校準。

本發明實施例之再一目的及特徵包含提供一流體流量控制模組，可用於避免微粒、多餘之離子或蒸氣被引入至物流迴路。

在參閱圖式及隨後描述之實施方式後，該技術領域具有通常知識者便可瞭解本發明之其他目的，以及本發明之技術手段及實施態樣。

第1圖至第4圖所示係一種流體流量控制模組10，用以輸送所需之流體流量，該流體可能具腐蝕性，可能是液態或是氣態。流體流量控制模組10一般來說包含一控制器主體12、一外殼14、一底板16、多個壓力進出口接頭18、多個壓力傳感器或感測器20、一控制閥22、以及一積體電路或控制器60。控制器主體12及外殼14較佳係由化學惰性材料、且非污染性的聚合物所製成，例如聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene，PTFE)，亦可以使用其它具有與化學惰性相似特質的材料。外殼14及控制器主體12藉由延伸穿過孔26之固定件24而固定在一起。較佳地，墊片28適以設置於外殼14及控制器主體12之間，以提供一密封效果。控制器主體12及底板16藉由固定件25更佳地緊固在一起。前述部分元件及其變化皆已詳細揭露於相同申請人之美國第6,578,453號專利案中，在此可作為本案之參考。

參閱第3A圖，流量通道30大約由控制器主體12之近端部13延伸至控制閥之近端進出孔32。流量通道30亦自控制器主體 12之末端部15延伸至控制閥之末端進出孔34。如第3A圖所示，流量通道30在平面P上並沒有由近端部13延伸過整個控制器主體12至末端部15，反而是以一控制器主體插栓35分隔流量通道30，導致任何流體物流轉經進出孔32、34。當控制閥22被***對應之位置(隨後將詳細敘述)，流量通道30及進出孔32、34便於流體物流迴路中扮演流量通道之角色。在一實施例中，在流體物流迴路內的流體流量控制模組10之方向可以被反轉，並且不會影響其功效。

如第1圖及第3A圖所示，圓筒狀之凹洞36、38、40由控制器主體12之外表面延伸至流量通道30。熟悉此技術者可瞭解到，凹洞36、38、40可由控制器主體12之不同側壁，延伸進入控制器主體12。凹洞36、38藉由分隔壁37分開一預定之距離，且凹洞38、40則藉由分隔壁39分開一預定之距離。

控制器主體12內，且於凹洞36、38與流量通道30交叉之區域附近，形成一環狀之周緣42。周緣42自流量通道30環設且針對各凹洞36、38更定義出開口。各壓力感測器20藉由墊圈44以及外螺紋壓制環46分別保持其位置於凹洞中。壓力感測器20藉由化學惰性O型密封墊47，被密封在控制器主體12之中。一多餘的密封墊可能由於O型密封墊48之設置而產生。密封墊47、48係可容易取得，且其結構係為熟悉此領域之技術者可瞭解。

在多個壓力感測器20之間的流量通道30中，一嵌入件50定義一壓縮區51，用以在流體物流穿過化學惰性之壓縮區51時形成一壓力降。嵌入件50可以由聚四氟乙烯(PTFE)或其他化學惰性聚合物材料來製成，亦可考慮使用其他化學惰性聚合物材料，例如可以抵抗腐蝕性流體侵蝕的藍寶石。嵌入件50亦可以分別依據流經流體流量控制模組10流量通道30及壓縮區51之流體，由其它可相容之材料所構成。在前述的實施例中，嵌入件50係可移除的，使得受到腐蝕或堵塞的壓縮區51可以被置換，或者是可以使 用具有不同尺寸之壓縮區域的嵌入件50。為了使嵌入件50可被移除，由端部13延伸至二壓力感測器20之間的流量通道30之截面區域，會稍稍大於由二壓力感測器20之間延伸至控制器主體插栓35的流量通道30之截面區域，流量通道30之此二部分截面區域的差異，會在環狀周緣52內形成一阻擋結構，該環狀周緣52可防止嵌入件50被***流量通道30時超過預期的位置。一可***/可移除之嵌入件50也可以使控制器主體12組成一單一構件。在前述的實施例中，一種包含多個壓縮區51的可旋轉歧管可形成於分隔壁37之區域中，在可旋轉歧管中的壓縮區51可以具有相同或是不同的壓縮區域尺寸，可旋轉壓縮歧管亦能夠讓使用者很容易地改變物流速率及/或置換已經被腐蝕或堵塞的壓縮區。

在控制器主體12的凹洞40與流量通道30互相連接之區域內，一閥座53係形成於流體導管中。雖然第3A圖繪示一具有隔板54之控制閥22，其包含一圓錐形構件56用以開啟或關閉流過流量通道30之物流，任何熟悉此領域之技術者可輕易地以各種不同之結構來控制流過流量通道30之物流。更進一步地說，閥門在開啟或關閉位置之間的動作皆可以由任何已知之適合各種機構、電氣或是氣動的驅動器來達成。

控制器60可以有各種不同的種類，例如一專用的固態元件或是一具有組合控制邏輯之處理器，並且可包含用以儲存程式以供處理器執行之唯讀記憶體(read only memory，ROM)以及用以儲存處理器已計算完成的運算結果之隨機存取記憶體(random access memory，RAM)。控制器60電性連接至一電源供應器，並運用電路系統來感測壓力及控制控制閥之作動，其中物流、壓力及/或流量是可以被控制的。在前述的實施例中，控制器60設置於外殼14內之頂端部分。

控制器60用來將二壓力感測器20讀取之壓力值，轉換成一物流之類比或數位表示值，或者是下游壓力傳感器之一壓力讀取 值。由上游傳感器產生之未經處理的類比訊號被提供給一輸入終端，同樣地，由下游傳感器產生之未經處理的類比訊號被提供給一輸入終端。控制器60計算由上游及下游傳感器所獲取之即時的壓力差異值，並完成任何必須的歸零調整及度量，控制器60亦可以接收一關於流經流量通道30的流體溫度之訊號，該訊號可藉由一溫度感測器所量測，該溫度感測器位於壓力感測器20、控制閥22之隔板54中，或是一獨立的溫度感測器，例如設置於一位於分隔壁39的孔內。此種測量方法具有在一流體流量控制模組10中同時達成溫度量測、壓力及物流輸出的可能性。此外，此資訊也可以針對不同流體類型或黏滯性之校準而提供可選擇的區段。

在前述的實施例中，導線結構62從壓力感測器20路由傳遞低電壓且易受電磁干擾的訊號至控制器60，導線結構62係由形成一撓性法拉第盒之複合層所構成，若能針對電磁干擾提供足夠的遮蔽，導線結構62亦可以消除外殼的遮蔽材料，以使得物流控制模組10更小、更輕且更節省成本。

如第5A圖至第5G圖所示，導線結構62一般來說包含外部聚合物層70、第一遮蔽層72、追蹤層(包含在二任一端部74上具有接地線)、一第二遮蔽層76、一硬化層78、及一第二外部聚合物層80。導線結構62之小端部120定義出複數孔洞122，該等孔洞122用以容納並電性連接由控制器60延伸出來的複數連接銷(圖未示)。以相同的方式，各連接墊124、126定義出複數孔洞128，該等孔洞128用以容納並電性連接自各壓力感測器20延伸出來的複數連接銷(圖未示)。導線結構62較佳係具有足夠的撓性及彈性，以便於能夠更容易地摺疊於外殼內。一般來說，收縮區域中厚度較佳為0.020。在一實施例中，聚合物層70、80係為聚亞醯胺(Polyimide，PI)。

遮蔽層72、76一般來說包含形成於絕緣聚合物基板132上之一金屬材料薄層130，較佳為銅，而追蹤層74一般來說包含一聚 合物基板133，該聚合物基板133具有外導電條134，以定義出一或多個訊號導體136，當遮蔽層72、76與追蹤層74之二相對應之表面138、140結合時，外導電條134電性導接至各遮蔽層72、76中之金屬材料薄層130，並藉此以一法拉第盒環繞訊號導體136。

硬化層78一般來說包含一層聚合物材料，相較於其它層稍微較厚且更沒有彈性，以增加導線結構62之強度及硬度，而為了保護性及耐久性，外部聚合物層70、80被應用以形成導線結構62之外表面。

當控制器主體12及外殼14被密封起來時，如第3A圖及第4圖所示之控制閥22、壓力感測器20、控制器60及可撓性電路62被包圍起來，進而形成一不受外部嚴酷環境影響之內部區域。為了與該內部區域電性連接，外殼14包含一孔洞82，密封於孔洞密封件85中，以容許電連接器84可通過電連接器孔洞86，電連接器密封件88可***電連接器孔洞86內，並環繞於電連接器84保有密封的環境，使得外部的流體無法進入。孔洞密封件85也可以容納一排氣孔90，其可與有孔塑膠排氣插栓92相結合，排氣插栓92允許氣體通過，因此當限制之後的液體物流流入外殼14之內部區域時，外殼14之內部區域可以排出氣體以維持準確的大氣壓力參考值。此種有孔的塑膠材料可以由Porex公司取得。壓力感測器20也容納排氣管93，提供給外殼14之內部區域的孔洞排氣以提供準確的大氣壓力參考值。

在前述的實施例中，壓力感測器20、控制閥22、積體電路或控制器60、及其它必要或預期的電子元件被放在經過環氧化物處理的容器中，或者，也可將這些元件嵌入並模製成一具有非污染性材料之化學惰性的單一組件。在本實施例中，壓力感測器20仍然可以藉由延伸至外部大氣之排氣管93，來提供準確的大氣壓力參考值，然後排氣插栓90可***排氣管93之端部，使得當限制液體物流流入壓力感測器20時允許氣體通過。

上述較佳或其它實施例僅用來示出以及闡釋本發明之詳細說明，並非用來限制本發明之範疇，並考慮到其均等性之安排。

10‧‧‧流體流量控制模組

12‧‧‧控制器主體

13‧‧‧近端部

14‧‧‧外殼

15‧‧‧末端部

16‧‧‧底板

18‧‧‧壓力進出口接頭

20‧‧‧壓力感測器

22‧‧‧控制閥

24‧‧‧固定件

25‧‧‧固定件

26‧‧‧孔

28‧‧‧墊片

30‧‧‧流量通道

32‧‧‧近端進出孔

34‧‧‧末端進出孔

35‧‧‧控制器主體插栓

36‧‧‧凹洞

37‧‧‧分隔壁

38‧‧‧凹洞

39‧‧‧分隔壁

40‧‧‧凹洞

42‧‧‧環狀周緣

44‧‧‧墊圈

46‧‧‧外螺紋壓制環

47‧‧‧O型密封墊

48‧‧‧O型密封墊

50‧‧‧嵌入件

51‧‧‧壓縮區

52‧‧‧環狀周緣

53‧‧‧閥座

54‧‧‧隔板

56‧‧‧圓錐形構件

60‧‧‧控制器

62‧‧‧導線結構

70‧‧‧外部聚合物層

72‧‧‧第一遮蔽層

74‧‧‧端部

76‧‧‧第二遮蔽層

78‧‧‧硬化層

80‧‧‧第二外部聚合物層

82‧‧‧孔洞

84‧‧‧電連接器

85‧‧‧孔洞密封件

86‧‧‧電連接器孔洞

88‧‧‧電連接器密封件

90‧‧‧排氣孔

92‧‧‧排氣插栓

93‧‧‧排氣管

120‧‧‧小端部

122‧‧‧孔洞

124‧‧‧連接墊

126‧‧‧連接墊

128‧‧‧孔洞

130‧‧‧金屬材料薄層

132‧‧‧絕緣聚合物基板

133‧‧‧聚合物基板

134‧‧‧外導電條

136‧‧‧訊號導體

138‧‧‧表面

140‧‧‧表面

第1圖為本發明一實施例之流量控制器之分解立體圖；第2圖為本發明一實施例之流量控制器外殼部份之分解立體圖；第2A圖為第1圖及第2圖所示之流量控制器之電性連接器部份之部分立體圖；第3A圖為第1圖所示之本發明一實施例之流量控制器沿3A-3A之剖面圖；第3B圖為第3A圖所示之流量控制器之端視圖；第3C圖為第3A圖所示之流量控制器之沿3C-3C之剖面圖；第4圖為本發明一實施例之流量控制器之側視圖；第5A圖為本發明一實施例之導線結構之分解圖；第5B圖為第5A圖所示之導線結構之外部聚合物層之平面圖；第5C圖為第5A圖所示之導線結構之銅層之平面圖；第5D圖為第5A圖所示之導線結構之追蹤層之平面圖；第5E圖為第5A圖所示之導線結構之第二銅層之平面圖；第5F圖為第5A圖所示之導線結構之硬化層之平面圖；以及第5G圖為第5A圖繪示之導線結構之第二外部聚合物層之平面圖。

10‧‧‧流體流量控制模組

12‧‧‧控制器主體

14‧‧‧外殼

16‧‧‧底板

18‧‧‧壓力進出口接頭

20‧‧‧壓力感測器

22‧‧‧控制閥

24‧‧‧固定件

25‧‧‧固定件

26‧‧‧孔

36‧‧‧凹洞

38‧‧‧凹洞

40‧‧‧凹洞

44‧‧‧墊圈

46‧‧‧外螺紋壓制環

47‧‧‧O型密封墊

48‧‧‧O型密封墊

50‧‧‧嵌入件

84‧‧‧電連接器

85‧‧‧孔洞密封件

90‧‧‧排氣孔

92‧‧‧排氣插栓

93‧‧‧排氣管

Claims (19)

1. 一種流體處理裝置，包含：一主體，係由化學惰性材料形成，並貫穿定義一流量通道；一具有組合控制邏輯之處理器；至少一感測器，與該流量通道流通連接，其中該感測器選擇性地傳送一訊號，用以指示該流量通道中之一流體狀態；一外殼，實質地包覆該處理器與該至少一感測器；以及一具有撓性及彈性的導線結構，折疊於該外殼內且電性連接該處理器及該至少一感測器，以自該至少一感測器傳輸該訊號至該處理器，該導線結構包含：一追蹤層，呈現一第一相對應表面及一第二相對應表面，該追蹤層包含設置於該第一相對應表面之至少一訊號導體及設置於該第一相對應表面並鄰設於該至少一訊號導體之一遮蔽導體，並具有一金屬材料的連續條帶以定義該至少一訊號導體；及一第一及一第二遮蔽層，各該遮蔽層具有設置於一絕緣聚合物基板上的導電材料，該第一遮蔽層面對該追蹤層之該第一相對應表面且該第二遮蔽層面對該追蹤層之該第二相對應表面，該第一及該第二遮蔽層與該追蹤層之遮蔽導體電性連接，其中，該第一及該第二遮蔽層與該追蹤層之遮蔽導體界定出一環繞於該至少一訊號導體之法拉第盒，用以將該至少一訊號導體隔離於電磁干擾(electromagnetic interference；EMI)之外。
2. 如請求項1所述之流體處理裝置，其中各該遮蔽層呈現一外表面，且其中該導線結構更包含一對絕緣層，各該絕緣層分別面對且實質上覆蓋該等遮蔽層之其中一外表面。
3. 如請求項2所述之流體處理裝置，其中該等絕緣層係由聚合物 材料所製成。
4. 如請求項1所述之流體處理裝置，其中該導線結構更包含一硬化層。
5. 如請求項1所述之流體處理裝置，其中該裝置更包含一第二感測器，與該流量通道流通連接，其中該第二感測器選擇性地傳送一訊號，用以指示該流量通道中之一流體狀態，且該第二感測器經由該導線結構與該處理器電性連接。
6. 如請求項5所述之流體處理裝置，其中該裝置更包含一控制閥，與該流量通道之流通連接，且該控制閥可操作以調整流經該流量通道之流體物流，該第一感測器及該第二感測器係為壓力感測器，分別傳送一訊號，以指示該流量通道中分段之流體壓力，該處理器及其組合控制邏輯基於該第一感測器及該第二感測器之該等訊號自動地操作該控制閥，以調整流經該流量通道之流體物流。
7. 一種流量控制器，包含：一單一主體，係由化學惰性材料形成，並貫穿定義一流量通道，該流量通道具有一壁面及二相對端部，該流量通道之壁面於該等相對端部之間定義一阻擋結構，將該流量通道區分為一第一部分及一第二部分，該第一部分係由該等端部之其中一端部延伸至該阻擋結構，而該第二部分係由該等端部中之另一端部延伸至該阻擋結構；一嵌入件，定義一孔洞以壓縮流經該流量通道之流體物流，該嵌入件設置於鄰接該阻擋結構之該流量通道之第一部分，且經由該流量通道之第一端部可選擇性地移除；一第一壓力感測器，與該流量通道之第一部份流通連接；一第二壓力感測器，與該流量通道之第二部份流通連接；一控制閥，與該流量通道流通連接，且可操作以調整流經 該流量通道之流體物流；以及一處理器及其組合控制邏輯，與該第一壓力感測器、該第二壓力感測器及該控制閥連接，其中該處理器基於該第一壓力感測器及該第二壓力感測器之訊號，自動地操作該控制閥，以調整流經該流量通道之流體物流，且其中該處理器與該第一壓力感測器及該第二壓力感測器至少其中之一與一具有撓性及彈性的導線結構電性連接，該導線結構包含：一追蹤層，包含一遮蔽導體，具有一金屬材料的連續條帶以實質定義至少一訊號導體，該追蹤層呈現一對相對應之表面；及一對遮蔽層，各該遮蔽層具有設置於一絕緣聚合物基板上的導電材料，各該遮蔽層分別面對該追蹤層之其中一表面，該等遮蔽層與該追蹤層之該遮蔽導體電性連接，其中該等遮蔽層及該追蹤層之遮蔽導體界定出一環繞於該至少一訊號導體之法拉第盒，用以將該至少一訊號導體隔離於電磁干擾之外。
8. 如請求項7所述之流量控制器，其中該流量通道之第一部份呈現一第一截面區域，而該流量通道之第二部份呈現一第二截面區域。
9. 如請求項7所述之流量控制器，其中該阻擋結構係為該流量通道內部之一環狀周緣。
10. 如請求項7所述之流量控制器，其中該嵌入件實質上係為化學惰性聚合物材料。
11. 如請求項10所述之流量控制器，其中該化學惰性聚合物材料係為聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene，PTFE)。
12. 如請求項7所述之流量控制器，其中該嵌入件實質上係為藍寶 石。
13. 一種流量控制器，包含：一主體，係由化學惰性材料形成，並貫穿定義一流量通道；一具有組合控制邏輯之處理器；一對壓力感測器，與該流量通道流通連接，其中各該壓力感測器選擇性地傳送一訊號，用以指示該流量通道中之一流體狀態；一具有撓性及彈性的導線結構，電性連接該處理器及該對壓力感測器，該導線結構包含：一追蹤層，呈現一第一相對應表面及一第二相對應表面，該追蹤層包含設置於該第一相對應表面之複數訊號導體，及具有一金屬材料的連續條帶的一遮蔽導體以定義該等訊號導體；及一第一及一第二遮蔽層，各該遮蔽層具有設置於一絕緣聚合物基板上的導電材料，該第一遮蔽層面對該追蹤層之該第一相對應表面且該第二遮蔽層面對該追蹤層之該第二相對應表面，該第一及該第二遮蔽層與該追蹤層之遮蔽導體電性連接，其中，該第一及該第二遮蔽層與該追蹤層之遮蔽導體界定出一環繞於該等訊號導體之法拉第盒，用以將該等訊號導體隔離於電磁干擾之外。
14. 如請求項13所述之流量控制器，其中各該遮蔽層呈現一外表面，且其中該導線結構更包含一對絕緣層，各該絕緣層分別面對且實質上覆蓋該等遮蔽層之其中一外表面。
15. 如請求項14所述之流量控制器，其中該等絕緣層係由聚合物材料所製成。
16. 如請求項13所述之流量控制器，其中該導線結構更包含一硬化層。
17. 如請求項13所述之流量控制器，其中該裝置更包含一控制閥，與該流量通道流通連接，且可操作以調整流經該流量通道之流體物流，該處理器及其組合控制邏輯基於該等壓力感測器之訊號自動地操作該控制閥，以調整流經該流量通道之流體物流。
18. 如請求項13所述之流量控制器，其中該流量通道具有一壁面及二相對之端部，該流量通道之壁面於該等相對端部之間定義一阻擋結構，將該流量通道區分為一第一部分及一第二部分，該第一部分係由該等端部之其中一端部延伸至該阻擋結構，而該第二部分係由該等端部中之另一端部延伸至該阻擋結構；該流量控制器更包含一嵌入件，定義一孔洞以壓縮流經該流量通道之流體物流，該嵌入件設置於鄰接該阻擋結構之該流量通道之第一部分，且經由該流量通道之第一端部可選擇性地移除。
19. 如請求項18所述之流量控制器，其中該阻擋結構係為該流量通道內部之一環狀周緣。