TWI390102B - 真空閘 - Google Patents

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Description

真空閘
本發明涉及一種真空閘，其配置在真空室上且具有一垂直配置之位於一平面中的門口，該門口能以門來關閉。本發明另涉及一種使基板引入真空室中所用的方法。
在自動化的真空處理設備中，使用真空閘或真空閥使待加工的基板由一種大氣到達另一種大氣中，其中此種系統通常以氣動或電動方式來操作。多種上述之系統使用各種門，其形成一種滑門，其可沿著一種配置在門口周圍之真空密封件而移動且然後受到按壓以進行密封。當滑門打開時，基板或具有基板的整個匣(其例如具有半導體晶圓)可置放在真空室中。此種將基板經由閘門口而導入至真空室中時通常以手來進行，此時人員例如會將其手臂通過門配置的開口平面中。閘門之隨後所需的關閉過程對此種由人員所進行的操作而言會造成一種巨大的損傷可能性，這特別是因為相關的操作人員必須利用其手(hand)在短時間內通過相關的門口所造成。此種關閉系統之錯誤或操作人員的錯誤行為都可造成危險的情況且可能造成很大的損傷。依據先前技術，此種閘配置可藉助於電子系統來監視和控制。一般之方式是在門的區域中偵測一種阻礙之存在且隨後即停止該門的移動。此種系統通常是昂貴的且通常未具有所期望之高的安全性，此乃因電子系統本身亦容易發生錯誤。在各主要工業國家中會注意此種安全問題，且藉由各種解法(其比複雜的電子監視系統更可靠)使安全上的危險性最小化時是適當的。
本發明的目的是消除上述先前技術之缺點。本發明的目的特別是提供一種能以經濟方式製成的真空閘，其具有一種垂直配置之滑門，該滑門在人員無意中抓握在門口時會對該人員提供一種高的保護作用和安全性。
本發明的目的是藉由具有申請專利範圍第1和8項之特徵的配置和方法來達成。申請專利範圍各附屬項界定本發明其它有利的實施形式。
本發明的目的以下述方式來達成：配置在真空室上的真空閘設有一種垂直配置的位於一平面中之門口，此門口能以一種門來關閉。此門以一種板形的滑門來形成，其配置成可平行於該平面而相對於門口而打開或關閉且可與該門口相隔一間距而移動。該門是與一驅動桿互相作用且與該門之較遠的此側上的驅動器針對該門口而互相作用。驅動桿定位在移動方向中且相對於該門口而定位在一預定的距離處。此驅動桿經由轉向機構(例如，短桿)而與門相連接，轉向機構可使門之移動方向改變，使得關閉過程由於門之區域中之障礙及/或限制而發生阻礙時門在一圍繞該門口之密封件上可在垂直於門口平面之方向中橫向地按壓。驅動桿須與門相連接及/或與驅動桿側之轉向機構以彈簧元件而相連接，使彈簧幾乎可補償或承載門的重量。此門以此種方式而彈性地以可移動的方式配置在驅動桿上且可在垂直方向中圍繞彈簧路徑(其由彈簧元件所決定)而相對於該驅動桿而移動。
因此，門藉由驅動桿以線性移動方式(例如，經由氣動或液動之衝程活塞)或藉由一電動之線性驅動以經由門口而移動。只要板形的門(其通常由金屬構成)來到其終端位置且覆蓋該門口，則門之平移式移動會受到終端止動件所阻礙。此種阻礙會在垂直於門口之方向中觸發一種進一步之橫向移動，其藉由一種轉向機構(例如，一種桿機構)來達成。因此，門按壓在圍繞門口之密封件上且真空室因此相對於另一側上的大氣而被密封。在關門時若一種阻礙物(例如，一種物件或人類身體，例如，手)存在於門口中，則門以彈性方式撞擊此阻礙物且本發明中在到達一種所能允許之最大之關閉力(100牛頓)時門會由於現有的構造而停止，這是以下述方式來達成：以轉向機構和彈簧配置來設定該驅動器之尺寸，使門可針對該密封件而按壓且藉由密封件與門表面之摩擦使門止動及/或立即停止。只要一種阻礙物阻礙門之移動，則只有在密封件之方向中仍會發生橫向移動且門仍會按壓在密封件上。須形成整個機構，使彈簧元件基本上可吸收門的重量以及在必要時可吸收某些摩擦力，且另外最多可使關閉力剩下100牛頓。
因此，須形成上述之彈簧元件，使整個轉向過程中(即，橫向按壓式移動之整個路段中)都可存在一種彈簧作用。因此可獲致此種彈簧作用，直至此門按壓在密封件上而被停止時為止。因此，在關閉過程中由於人類身體(例如，手)而造成一種阻礙時，可確保一種可靠之預設的彈簧力可作用在該阻礙物上且能可靠地防止人類身體受傷。
須設計上述之驅動器，使其最多可產生上述之力且在到達這些力的和(sum)時自動停止。因此，在關閉過程中由於不小心而向內抓握時，可確保人類身體之部份(例如，手或臂)最多承受100牛頓之力。為了進一步使上述之力和受傷危險性最小化，則可使用另外的電子元件(例如，感測器)以永久地偵測該門的位置或對各種與門之驅動器之相對應的移動控制器相耦合的力進行測量。
使門之移動方向由垂直方向轉向至水平方向(或橫向)中所用的轉向機構例如可藉由一種轉向驅動器，桿機構或一種斜面配置來達成。較佳是形成桿機構且特別是形成斜面配置，此乃因其能特別可靠且經濟地形成。
本發明以下將依據圖式來說明。
各圖式中顯示本發明的閘配置。第1a圖顯示一種具有滑門1之閘室5，滑門1在打開狀態中。室5具有一個開口10，開口10和一種密封件4配置在室5之外表面上，以便在關閉狀態時針對內部區而封閉該室之外部區。真空室和所屬的閘門在真空應用中通常由金屬(例如，鋁或不銹鋼)所構成。門1由板所構成，板可平行於門口10之面而移動且在每一位置中都可針對密封件在垂直於門口10之橫向中移動，因此可對該密封件進行按壓。門1相對於室壁或門口10之表面之距離通常是數毫米，使門在平行移動時不會與室壁或密封件4相接觸。本發明的配置涉及一種垂直之可移動的門1。
門之驅動器在移動時由下方開始，此驅動器因此可對抗門1之重量。門1經由一驅動桿2而與一驅動器(例如，氣動式－，液壓式－或電動式線性驅動器)相耦接。驅動桿2定位在導引件14中，使其在至門口10之一定距離中可在縱向中移動(較佳是平行於門口10之表面而移動)以關閉或打開該門。當然，該驅動桿2亦能以非桿形之機械連接件來形成。
門1位於門口之面和驅動桿2之間。驅動桿2形成在門1之遠離門口之此側上且由短桿3所構成，此驅動桿2經由旋轉點9或旋轉軸9而可移動地與門1相連接。在旋轉點9下方一種彈簧元件8配置在門1上且受應力地與桿3之驅動側相連接或較佳是位於驅動桿2之區域中，使彈簧元件8至少可承載該門1之重量且此門可相對於該桿3和該驅動桿2而停止在桿配置之上方位置中。因此，門1可相對於該門口而隔開數毫米，使門1在正常狀態中經由門口10而移動時不會與密封件4相接觸。在門1垂直移動時，門1會在終端位置(其是一種關閉位置)中觸及一種限制件6，如第1b圖所示。現在，一關閉驅動器以一種力(其大於門重量和摩擦力)試圖繼續針對該限制器6來撞擊該門。因此，桿3受到應力而由彈簧元件8所移動，使門1垂直於門口而橫向地移動且針對門口10和密封件4而擠壓，如第1c圖所示。當門1撞擊在阻礙物7上或限制器6上時，則在將門1壓向密封件4時可經由轉向機構而形成橫向之轉向力，這些轉向力由驅動桿2之導引件14所吸收。
如第2a圖所示，若一種阻礙物7(特別是手)進入閘室之開口中，則在該門1不注意而關閉時會有危險性發生(例如，操作人員受傷)。在此種情況下，門1依據第2b圖而針對阻礙物7(例如，手)關閉時開始運行且對該阻礙物造成擠壓。
本發明中具有彈簧元件8之該桿機構3是與驅動器一起操作，使阻礙物7不會承載超過100牛頓之力。須設計彈簧元件8，使其在該桿3在可能有阻礙物7出現而動作時幾乎可承載該門1之重量及其它可能的摩擦力。如第2c圖所示，此門1藉由阻礙物而在橫向中壓向室壁之密封件，該密封件和門1之間所產生的摩擦因此可另外受到止動且停止。
本實施例中彈簧元件8顯示成一種以拉力來形成負載的元件。此配置亦能以壓力來形成負載之彈簧元件所構成。因此，唯一方式是在驅動桿2和門1之間使該固定配置適當地變換位置，以便又能以彈性方式來承載該門的重量。彈簧元件8能以不同的形式來製成，例如：螺旋彈簧，碟形彈簧，片簧，氣動彈簧或橡膠彈性元件。
一種特別有利的實施形式顯示在第3圖中。轉向機構(如第3a圖所示)由一種垂直地配置在門背面上第一斜面13’和一種配置在驅動桿上的第二斜面13”所構成，其具有一種配置在此二個斜面之間的滾動元件11，其形成一種軸承形式且當彈性之門1藉由阻礙物7或限制件6以對抗該驅動桿2而移動時該滾動元件11會在斜面之間滾動。在移動過程中，如第3b,3c圖所示，力經由斜面13而橫向地轉向且門1針對門口10而被按壓，如前所述。當該滾動元件在一軸上固定在一斜面之相面對的一側上時，則此種配置亦能只以斜面13’或13”來驅動。在以斜面而形成的轉向機構中，各種不同的其它機械形式亦屬於本發明的範圍。
整體上須藉由彈簧元件配置8之適當的尺寸和密封件及驅動器之摩擦以共同確保：作用在阻礙物7上的壓力可不超過100牛頓。在設定該驅動功率之大小時，同樣須注意：驅動力在驅動側不是經由相對應的力而發出且此驅動力可停止或空轉。其它較佳且較精細的形式亦可藉由使用額外之電子元件來達成，各電子元件可測定該門之位置和所作用的力且相對應地對驅動器進行控制。
1‧‧‧滑門
2‧‧‧驅動桿
3‧‧‧桿
4‧‧‧密封件
5‧‧‧室
6‧‧‧限制件
7‧‧‧阻礙物
8‧‧‧彈簧元件
9‧‧‧旋轉軸
10‧‧‧門口
11‧‧‧滾動元件
13‧‧‧斜面
14‧‧‧導引件
第1a圖 具有一種閘之真空室，其門是以轉向機構(桿機構)打開。
第1b圖 一在終端止動件上具有閘門之真空室，終端止動件覆蓋該閘之開口。
第1c圖 具有閘門之真空室，閘門覆蓋該閘之開口且按壓在密封件上，使閘以密封方式關閉著。
第2a圖 係對應於第1a圖之在打開狀態中的配置，其中阻礙物(例如，手)位於閘之開口中。
第2b圖 門關閉時的閘配置，其藉由人的手來針對該阻礙物而起動。
第2c圖 具有門之閘配置，其針對阻礙物而起動，其中此門藉由桿機構自動地壓在密封件上而停止。
第3a圖 另一種形式的閘，其中轉向機構以斜面配置來形成，其在打開狀態時對應於第1a圖。
第3b圖 係第3a圖中在終端止動件上具有閘門時之配置。
第3c圖 係第3a和3b圖中在終端止動件上具有閘門時之配置，在該門口上進行按壓，因此是在關閉狀態中。
1．．．滑門
2．．．驅動桿
3．．．桿
4．．．密封件
5．．．室
6．．．限制件
8．．．彈簧元件
9．．．旋轉軸
10．．．門口
14．．．導引件

Claims (14)

  1. 一種配置在真空室(5)上的真空閘，其具有一垂直配置並位於一平面且帶有一門(1)的可關閉的門口(10)，其特徵為：a)門(1)形成板形的滑門，其平行於門口(10)之面而配置著且與該門口相隔開而可移動以使門口(10)打開或關閉；b)門(1)與一位於門(1)背對門口(10)的那一個面上的驅動桿(2)連動，並在拉動方向上被支撐在與門口(10)相隔一給定之距離的位置，其中該驅動桿(2)是與一驅動器相連接；c)門(1)經由轉向機構而與驅動桿(2)相連接，使得在移動過程中由於門口(10)之區域中阻礙物(7)及/或限制件(6)而發生阻礙時，此門(1)在垂直於門口(10)之面的方向中可橫向地按壓在一種圍繞該門口(10)之密封件(4)上；d)驅動桿(2)在門(1)背對門口的那一個面上透過較驅動桿(2)短的桿(3)構成的轉向機構與門(1)連接，此連接是一可相對於旋轉點或轉軸(9)移動的可動連接，其中在旋轉點(9)下方有一設置在門(1)上的彈簧元件(8)，該彈簧元件(8)與桿(3)的傳動側預力連接；e)門(1)是與驅動桿(2)相連接及/或利用彈簧元件(8)而與驅動桿側之轉向機構(3，13’,13”,11)相連接，使其幾乎可補償門(1)之重量。
  2. 如申請專利範圍第1項之真空閘，其中密封件(4)在與門(1) 之表面相接觸時具有一種摩擦力，因此形成一種衰減元素以使門之移動受制及/或停止，且只有橫向的移動仍可藉由密封件(4)的按壓來進行。
  3. 如申請專利範圍第1項之真空閘，其中該驅動器和彈簧元件(8)吸收一種力，其至少承載門之重量且在門(1)之關閉過程中，該力在扣除承擔門之重量所需的力後所剩下的力不超過100牛頓。
  4. 如申請專利範圍第3項之真空閘，其中閘配置另外具有電子元件，其用來測定該門(1)之位置及/或作移動的控制。
  5. 如申請專利範圍第1項之真空閘，其中轉向機構的桿(3)以可移動方式連接著門(1)和該驅動桿(2)。
  6. 如申請專利範圍第1項之真空閘，其中轉向機構(3,13’,13”,11)包含至少一斜面13，且此斜面配置在門(1)上或驅動桿(2)上，一滾動元件(11)以可滾動方式配置在該斜面(13)上，使得門(1)在彈性地相對於驅動桿(2)而移動時門(1)可橫向地壓在門口(10)上。
  7. 如申請專利範圍第1項之真空閘，其中閘配置形成個人保護用的安全裝置。
  8. 一種將基板載入真空室(5)中所用的方法，真空室(5)具有一垂直配置並位於一平面且帶有一門(1)的可關閉的門口(10)，其特徵為：a)門(1)形成板形的滑門，其平行於門口(10)之面而配置著且與該門口相隔開而可移動以使門口(10)打開或關閉；b)門(1)與一位於門(1)背對門口(10)的那一個面上的驅動 桿(2)連動，並在拉動方向上被支撐在與門口(10)相隔一給定之距離的位置，其中該驅動桿(2)是與一驅動器相連接；c)門(1)經由一較驅動桿(2)短的桿(3)而與驅動桿(2)相連接，使得在移動過程中於門口(10)之區域因阻礙物(7)及/或限制件(6)而發生阻礙時，此門(1)在垂直方向朝門口(10)所在的平面可橫向地按壓在一種圍繞該門口(10)之密封件(4)上；d)驅動桿(2)在門(1)背對門口的那一個面上透過桿(3)構成的轉向機構與門(1)連接，此連接是一可相對於旋轉點或轉軸(9)移動的可動連接，其中在旋轉點(9)下方有一設置在門(1)上的彈簧元件(8)，該彈簧元件(8)與桿(3)的傳動側預力連接；e)門(1)是與驅動桿(2)相連接及/或利用彈簧元件(8)而與驅動桿側之桿(3)相連接，使其在關閉時幾乎可補償門(1)之重量。
  9. 如申請專利範圍第8項之方法，其中密封件(4)在與門(1)之表面相接觸時所形成的摩擦力形成一種衰減因素以使門之移動受制及/或停止，且只有橫向的移動仍可藉由密封件(4)的按壓來進行。
  10. 如申請專利範圍第8項之方法，其中該驅動器和彈簧元件(8)吸收一種力，其至少承載門之重量且在門(1)之關閉過程中，該力在扣除承擔門之重量所需的力後所剩下的力不超過100牛頓。
  11. 如申請專利範圍第10項之方法，其中閘配置另外具有電 子元件，其用來測定該門(1)之位置及/或具有門(1)之移動控制器，以在移動過程中控制個各種力的作用。
  12. 如申請專利範圍第8項之方法，其中轉向機構(3,13’,13”,11)的桿(3)以可移動方式連接著門(1)和該驅動桿(2)。
  13. 如申請專利範圍第8項之方法，其中轉向機構(3,13’,13”,11)以至少一斜面(13)來驅動，且此斜面配置在門(1)上或驅動桿(2)上，一滾動元件(11)以可滾動方式配置在該斜面(13)上，使得此門(1)在彈性地相對於驅動桿(2)而移動時門(1)可橫向地壓在門口(10)上。
  14. 如申請專利範圍第8項之方法，其中閘配置用作個人保護用的安全裝置。
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2420711B (en) * 2004-11-11 2008-04-30 Brian John Wilson An autoclave and a latching and locking device therefor
WO2008084475A2 (en) * 2007-01-08 2008-07-17 Baromedi Ltd. Hyperbaric chamber
CN102537389B (zh) * 2007-12-11 2014-06-11 等熵有限公司 阀
KR100978831B1 (ko) * 2008-08-20 2010-08-30 (주)에이알텍 환경시험기용 챔버의 슬라이딩 도어 구조
KR101096132B1 (ko) 2010-02-18 2011-12-20 세메스 주식회사 진공 챔버의 도어 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치
US20120042828A1 (en) * 2010-08-17 2012-02-23 Primestar Solar, Inc. Slit valve for vacuum chamber module
KR101019270B1 (ko) * 2010-11-15 2011-03-07 김준범 작업성이 양호한 진공성형장치
CN104421437B (zh) * 2013-08-20 2017-10-17 中微半导体设备(上海)有限公司 活动阀门、活动屏蔽门及真空处理***
JP2017520015A (ja) * 2014-05-07 2017-07-20 マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ． ターゲット処理マシン用囲い
CN104441914A (zh) * 2014-12-22 2015-03-25 中国电子科技集团公司第二研究所 矩形薄壳除泡腔体的密封机构
EP3239567A1 (de) * 2016-04-27 2017-11-01 VAT Holding AG Torventil mit kurvenführung
HK1216973A2 (zh) * 2016-06-03 2016-12-09 香港中華煤氣有限公司 管道關閉裝置
DE102019001115A1 (de) 2019-02-15 2020-08-20 Vat Holding Ag Torventil mit Kulissenführung
CN110131456B (zh) * 2019-05-23 2020-06-23 华霆（合肥）动力技术有限公司 阀门、电池包及电动车
GB2586047B (en) * 2019-07-31 2022-05-25 Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh A sliding door assembly for an ICP torch box
CN113457753B (zh) * 2021-06-29 2022-07-05 中国人民解放军陆军军医大学第一附属医院 一种便移生物安全柜

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1172058B (de) * 1962-05-02 1964-06-11 Teves Kg Alfred Klimapruefschrank
CH420758A (de) * 1963-04-02 1966-09-15 Schertler Siegfried Absperrschieber
GB1089272A (en) * 1964-06-08 1967-11-01 Edwards High Vacuum Int Ltd Improvements in or relating to gate valves
CH420759A (de) * 1965-03-03 1966-09-15 Schertler Siegfried Absperrschieber, insbesondere für Gas- und Vakuumleitungen
US4535967A (en) * 1984-01-05 1985-08-20 Joy Manufacturing Company Expanding gate valve with fluid-powered actuator
US4694390A (en) * 1985-06-28 1987-09-15 Electric Power Research Institute, Inc. Microprocessor-based control and diagnostic system for motor operated valves
US5186594A (en) * 1990-04-19 1993-02-16 Applied Materials, Inc. Dual cassette load lock
FR2672099B1 (fr) * 1991-01-25 1993-04-09 Cit Alcatel Vanne.
US5667197A (en) * 1996-07-09 1997-09-16 Lam Research Corporation Vacuum chamber gate valve and method for making same
US6056267A (en) * 1998-05-19 2000-05-02 Applied Materials, Inc. Isolation valve with extended seal life
US6214292B1 (en) * 1998-07-01 2001-04-10 Jose Maria Las Navas Garcia Sample auto-loader for use with an analytical combustion furnace
US7147424B2 (en) * 2000-07-07 2006-12-12 Applied Materials, Inc. Automatic door opener
DE10144955B4 (de) * 2001-09-12 2006-06-29 Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Beschicken von Mikrosystemen

Also Published As

Publication number Publication date
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