TWI315168B - Spray etching device for etching printed circuit board - Google Patents
Spray etching device for etching printed circuit board Download PDFInfo
- Publication number
- TWI315168B TWI315168B TW95127755A TW95127755A TWI315168B TW I315168 B TWI315168 B TW I315168B TW 95127755 A TW95127755 A TW 95127755A TW 95127755 A TW95127755 A TW 95127755A TW I315168 B TWI315168 B TW I315168B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- nozzle
- printed circuit
- circuit board
- etching
- segment
- Prior art date
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
1315168 九、發明說明: '【發明所屬之技術領域】 - 本發明關於一種用於印刷電路板蝕刻之裝置,尤其涉 及一種用於向印刷電路板喷灑蝕刻液之噴敍裝置。 【先前技術】 颠刻過程係印刷電路板生産過程中基本步驟之一,係 使印刷電路板基板上沒有被抗钱層保護之銅與钱刻液發生 鲁反應而被蝕刻掉,最終形成設計線路圖形之過程。 印刷電路板於進行蝕刻時,蝕刻液由基板上方之嘴银 裝置喷射到基板表面。一般印刷電路板蝕刻所用噴蝕裝置 包括複數根等長平行排列設置之直線形喷管,每根喷管上 設有複數個喷嘴,通過喷嘴可朝印刷電路板表面喷灑钱刻 液’以银刻印刷電路板基板,將印刷電路板基板上未被抗 蝕層保護之銅去除。 馨 惟’使用直線形喷管之喷蝕裝置進行印刷電路板蝕刻 時’由於各個喷嘴之喷壓一致,會使印刷電路板上靠近邊 緣部分’蝕刻液更容易流出板外,而於印刷電路板*** 位置’比較容易積留較多蝕刻液,形成“水池”,從而産 生“水池效應”。印刷電路板蝕刻過程中出現“水池效 應”會使印刷電路板中央區域之蝕刻液更新較慢,積留之 餘刻液膜會降低對線路之咬蝕量,容易發生線路蝕刻不 足’而印刷電路板靠近邊緣部分之蝕刻液流動速度快,更 新較快’容易發生線路過蝕。因此,“水池效應”最終會 1315168 導致印刷電路板上蝕刻不均勻,特別容易使印刷電路板中 央區域之線路連線,從而造成短路。 有鑑於此,提供一種用於印刷電路板蝕刻之喷蝕裝 置’以有效減少、“水池效應”之影響,改善噴钕裝置茲刻 之均勻性實屬必要。 / 【發明内容】 以下以實施例說明一種用於印刷電路板蝕刻之噴蝕裝 置。 、 所述用於印刷電路板蝕刻之喷蝕裝置,包括複數根喷 管'。每根噴管包括兩個第—噴管段、—個第二噴管段及兩 個過渡噴官段。該兩個第—喷管段分別位於嘴管兩端,該 第二噴管段位於兩個第一噴管段之間,該兩個過渡喷管^ 用於連接第-噴管段與第二喷管段。該第二嘴管段位置之 口又置低於該第一喷管段。辞笛ΊΖ ^ * ^ 该第一喷官段及第二喷管段上設 有複數個喷頭。 ,总,述用於印刷電路板钱刻之喷钱裝置,包括複數根哨 括兩個第—噴管段、—個第二喷管段及兩 ^ °該兩個第-喷管段分職於喷管兩端,該 兩個第一噴管段之間,該兩個過渡喷管段 電路板仙矣喷官&與第二。該第二喷Μ到印刷 ㈣表面之距離小於該第—喷管㈣㈣電路板姓 it離。該第—噴管段及第二喷管段上設有複數個 朝向印刷電路板之喷頭。 ^對於先别技術,通過改變喷管結構來調整餘刻液喷 .1315168 灑到印刷電路板蝕表面之壓力,從而調整喷灑到印刷電路 板蝕表面之蝕刻液量,使喷射到印刷電路板中央區域之流 •量大於喷射到邊緣部分之流量,加速印刷電路板中央區域 -蝕刻液更新,使印刷電路板表面形成厚度均勻之蝕刻液, 有效減少水池效應發生,改善印刷電路板蝕刻之均勻性。 【實施方式】 以下將實施例說明一種用於印刷電路板蝕刻之喷蝕裝 置。 _ 請參閱圖1與圖2,實施例一提供之用於印刷電路板蝕 刻之喷蝕裝置100,其包括複數根喷管40。 該複數根喷管40呈平行排列。每根喷管40包括兩個第 一喷管段401、一個第二喷管段402及兩個過渡喷管段403。 '該兩個第一喷管段401分別位於喷管40之兩端,該第二喷管 段402位於兩個第一喷管段401之間,位於喷管40中央部 分。該第二喷管段402位置之設置低於該兩個第一喷管段 401。該兩個過渡喷管段403用於連接第一喷管段401與第二 ®喷管段402。過渡喷管段403與第一喷管段401與第二喷管段 402垂直連接。 該第一喷管段401及第二喷管段402上設有複數個朝向 印刷電路板30之喷頭45。該設于第一喷管段401及第二喷管 段402上複數個喷頭45爲等間距排列,該喷頭45之喷孔爲圓 形或橢圓形。爲更好提高蝕刻均勻性,減少水池效應,可 選地,設于第二喷管段402上之複數個喷頭45之間距小於設 于第一喷管段401上之複數個喷頭45之間距。 1315168 每根喷管40兩端之兩個第一喷管段401分別與導液管 48相連通,以形成钱刻液通路。钱刻液通過導液管48進入 -導複數根喷管40中,再由各個喷管段上之喷頭45喷灑出來。 喷蝕裝置100用於印刷電路板30蝕刻時,該複數根喷管 40之排列方向與印刷電路板30之行進方向A—致,該兩個 第一喷管段401到印刷電路板30蝕刻表面301之距離較遠。 優選地,該兩個第一喷管段401與印刷電路板30蝕刻表面 301之距離可以相等。該第二喷管段402到印刷電路板30蝕 ❿刻表面301距離較近,且小於該第一喷管段401到印刷電路 板30蝕刻表面301之距離。第二喷管段402到印刷電路板30 蝕刻表面301距離約爲第一喷管段401到印刷電路板30蝕刻 表面301距離之30%〜50%。 ' 由於喷管40各處之壓力一致,而位於中央部分之第二 ~喷管段402到印刷電路板30蝕刻表面301距離較近,因此, 蝕刻液喷灑到印刷電路板30蝕刻表面301之壓力較大,喷灑 到印刷電路板30蝕刻表面301中央之蝕刻液量亦相應較 *大,這樣,蝕刻表面301中央區域之蝕刻液之更新速度加 快,從而減少蝕刻液於蝕刻表面301中央區域之蓄積,使蝕 刻表面301中央區域與邊緣區域形成之蝕刻液膜厚度均 勻,以增強對印刷電路板30中央區域線路之蝕刻能力,減 少水池效應之影響。另外,由於位於中央部分之第二喷管 段402上之喷頭45間距較小,個數較多,就可增加喷射到印 刷電路板30蝕刻表面301中央之蝕刻液量,進一步加速蝕刻 表面301中央區域之蝕刻液更新速度,增加蝕刻液之喷灑到 1315168 ‘印刷電路板30蝕刻表面301之壓力,使蝕刻表面301中央區 域與邊緣區域形成之蝕刻液膜厚度均勻,以增強對印刷電 '路板30中央區域線路之蝕刻能力,減少水池效應之影響。 - 請參閱圖3與圖4,實施例二提供之用於印刷電路板蝕 刻之喷蝕裝置200,其包括複數根喷管50。 用於印刷電路板蝕刻之喷蝕裝置200與用於印刷電路 板蝕刻之喷蝕裝置100之結構大致相同。 該複數根喷管50呈平行排列。每根喷管50包括兩個第 φ —喷管段501、一個第二喷管段502及兩個過渡喷管段503。 該兩個第一喷管段501分別位於喷管50之兩端,該第二喷管 段502位於兩個第一喷管段501之間,位於喷管50中央部 分。該第二喷管段502位置之設置低於該兩個第一喷管段 、501。該兩個過渡喷管段503用於連接第一喷管段501與第二 '喷管段502。 與第一實施例相比,區別在於該過渡喷管段503係傾斜 之與第一喷管段501與第二喷管段502連接,過渡喷管段503 *與第一喷管段501與第二喷管段502延長線之夾角爲銳角, 夾角之角度可爲45〜60度。另外,該過渡喷管段503上亦可 進一步設有複數個朝向印刷電路板30之喷頭55,該複數個 喷頭55到印刷電路板30蝕刻表面301之距離從靠近第一喷 管段501—端到靠近第二喷管段502—端逐漸減小。 每根喷管50兩端之兩個第一喷管段501分別與導液管 58相連通,以形成蝕刻液通路。蝕刻液通過導液管58進入 導複數根喷管50中,再由各個喷管段上之喷頭55喷灑出來。 1315168 喷餘裴置200在用於印刷電路板30蝕刻時,該複數根喷 管50之排列方向與印刷電路板30之行進方向A—致,該兩 '摘第一噴管段501到印刷電路板30蝕刻表面301之距離較 运。優選地’該兩個第一喷管段501與印刷電路板30#刻表 面301之距離可以相等。該第二喷管段502其到印刷電路板 30蝕刻表面301距離較近,且小於該第一噴管段501到印刷 電路板30蝕刻表面3〇1之距離。第二噴管段5〇2到印刷電路 板30蝕刻表面3〇1距離約爲第一喷管段5〇1到印刷電路板如 ’银刻表面3〇1距離之30%〜50%。 上述噴蝕裝置之優點在於:通過改變喷管处槿 嫌喷麗到印刷電路板钱表面之壓力,從 ^刷電路板钱表面之㈣液量’使嘴射到印刷電路板中央 .區域之流量大於噴射到邊緣部分之流量,加速印刷電路板 中央區域钱刻液之更新,使印刷電路板表面形成厚度均勻 有效減少水池效應發生’改善印刷電路板蝕刻 刹申^ 2述、’本發明符合發明專利要件,爰依法提出專 I明I ’卩上料者僅為本發%之較佳實施方式,本 發2範圍並不以上述實施方式為限,舉凡熟悉本案㈣ ί包含於2依本案發明精神所作之等效修飾或變化,皆 應已3於Μ下之申請專利範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1係實施例一喷蝕裝置之示意圖。 圖2係實施例一喷钱裝置之噴管相對於印刷電路板韻刻 11 1315168 表面之結構示意圖。 ' 圖3係實施例二喷蝕裝置之示意圖。 ' 圖4係實施例二喷蝕裝置之喷管相對於印刷電路板蝕刻 表面之結構示意圖。 【主要元件符號說明】 喷蝕裝置 100 ' 200 喷管 40、50 第一喷管段 401 > 501 第二喷管段 402 ' 502 過渡噴管段 403 > 503 喷頭 45 ' 55 導液管 48 > 58 印刷電路板 30 钱刻表面 301
12
Claims (1)
1315168 十、申請專利範圍 ί·-種用於印刷電路㈣刻之喷贿置,包括複數根喷管, 其中’每根噴管包括_第_喷管段、—個第二嘴管段及 ?固過渡喷管段,該兩個第一喷管段分別位於噴管之兩 端,該第二喷管段位於兩個第一喷管段之間,其位置之設 置低於該第-喷管段,該兩個過渡喷管段用於連接第一^ 管段與第二喷管段,該第一噴管段及第二喷管段上設有複 數個喷頭。 2.如專射請第i項所述之詩印刷電路板㈣之喷钱 裝置,其中,所述過渡喷管段分別與第一喷管段盘 管段垂直。 一胃 —3.如專利申請範圍第1項所述之用於印刷電路板蝕刻之噴蝕 •裝置,其中,所述過渡喷管段分別與第一喷管段與第二喷 管段延長線之夾角爲銳角。 4.如專利申請範圍第3項所述之用於印刷電路板蝕刻之喷蝕 >裝置,其中,所述過渡喷管段與第一噴管段與第二喷管段 延長線之夾角爲45〜60度。 5·如專利申請範圍第4項所述之用於印刷電路板蝕刻之噴蝕 裝置’其中,所述過渡喷管段上設有複數個噴頭。 6. 如專利申請範圍第1項所述之用於印刷電路板蝕刻之噴蝕 裝置,其中,所述設于第一噴管段及第二噴管段上複數個 嗔頭爲等間距排列。 7. 如專利申請範圍第1項所述之用於印刷電路板蝕刻之嘴蝕 裝置,其中,所述設于第二噴管段上複數個喷頭之間距小 13 .1315168 ' 於設于第一喷管段上複數個喷頭之間距。 έ. 一種用於印刷電路板蝕刻之喷蝕裝置,包括複數根喷管, '其中,每根喷管包括兩個第一喷管段、一個第二噴管段及 - 兩個過渡喷管段,該兩個第一喷管段分別位於喷管之兩 端,該第二喷管段位於兩個第一喷管段之間,該兩個過渡 喷管段用於連接第一喷管段與第二喷管段,該第二喷管段 到印刷電路板蝕刻表面之距離小於該第一喷管段到印刷 電路板蝕刻表面之距離,該第一喷管段及第二喷管段上設 • 有複數個朝向印刷電路板之喷頭。 9.如專利申請範圍第8項所述之用於印刷電路板蝕刻之喷蝕 裝置,其中,所述兩個第一喷管段到印刷電路板蝕刻表面 之距離相等。 Γ .10.如專利申請範圍第8項所述之用於印刷電路板蝕刻之喷 蝕裝置,其中,所述第二喷管段到印刷電路板蝕刻表面距 離爲所述第一喷管段到印刷電路板蝕刻表面距離之 I 30%〜50%。 11. 如專利申請範圍第8項所述之用於印刷電路板蝕刻之喷 蝕裝置,其中,所述複數根喷管平行排列,其排列方向與 印刷電路板之行進方向一致。 12. 如專利申請範圍第8項所述之用於印刷電路板蝕刻之喷 蝕裝置,其中,所述過渡喷管段分別與第一喷管段與第二 喷管段垂直。 13. 如專利申請範圍第8項所述之用於印刷電路板蝕刻之喷 蝕裝置,其中,所述過渡喷管段分別與第一喷管段與第二 14 1315168 喷管段延長線之夾角爲銳角。 1‘4.如專利申請範圍第13項所述之用於印刷電路板蝕刻之喷 ' v蝕裝置,其中,所述過渡喷管段與第一喷管段與第二喷管 -段延長線之夾角爲45〜60度。 15.如專利申請範圍第13項所述之用於印刷電路板蝕刻之喷 蝕裝置,其中,所述過渡喷管段上設有複數個喷頭。
15
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW95127755A TWI315168B (en) | 2006-07-28 | 2006-07-28 | Spray etching device for etching printed circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW95127755A TWI315168B (en) | 2006-07-28 | 2006-07-28 | Spray etching device for etching printed circuit board |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200808141A TW200808141A (en) | 2008-02-01 |
TWI315168B true TWI315168B (en) | 2009-09-21 |
Family
ID=44766825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW95127755A TWI315168B (en) | 2006-07-28 | 2006-07-28 | Spray etching device for etching printed circuit board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TWI315168B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107293475B (zh) * | 2016-04-01 | 2021-01-01 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 减少外延衬底缺陷的形成方法 |
-
2006
- 2006-07-28 TW TW95127755A patent/TWI315168B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200808141A (en) | 2008-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI315168B (en) | Spray etching device for etching printed circuit board | |
TWM464810U (zh) | 噴灑裝置 | |
JP2011200763A (ja) | 活性エネルギー線硬化型インクジェットインキによって、樹脂皮膜でマスクされた金属板を製造する方法 | |
JP2573396B2 (ja) | エッチング並びに現像方法 | |
KR101011182B1 (ko) | 비 전도성 핀이 삽입된 전기수력학적 분사노즐을 구비한 미세 전도성라인 패터닝 장치 및 이를 이용한 전기수력학적 패터닝 방법 | |
CN104846375A (zh) | 一种喷吹蚀刻装置 | |
TW200827034A (en) | Nozzle for jetting fluid | |
JP2006122834A (ja) | キャビテーション安定器 | |
CN208673045U (zh) | 一种阻焊显影喷嘴装置 | |
US20180108543A1 (en) | Nozzle and etching apparatus | |
JP2950463B2 (ja) | エッチング装置 | |
TWI293651B (en) | Apparatus for spraying etchant and etching method | |
JP4127231B2 (ja) | 半導体装置用テープキャリアの製造方法およびそのエッチング処理装置 | |
CN202730238U (zh) | 新型腐蚀机 | |
US6344106B1 (en) | Apparatus, and corresponding method, for chemically etching substrates | |
JP2009263761A (ja) | エッチング装置 | |
JP5591516B2 (ja) | 噴霧器用乱流発生部材 | |
CN215050777U (zh) | 电路板导向装置和电镀设备 | |
CN208424952U (zh) | Pcb板蚀刻装置 | |
TW201101949A (en) | Etching device and etching method | |
JP2743566B2 (ja) | エッチングにより微細パターンを形成する方法 | |
BR112014004234B1 (pt) | dispositivo de enxugar uma folha de aço e aparelho de revestimento por imersão a quente | |
JP3607666B2 (ja) | 薄膜塗工装置 | |
JP3654162B2 (ja) | エッチング装置及びそれを用いたエッチング方法 | |
JP6446879B2 (ja) | 金属基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |