TWI277091B - Method and device for fabricating optical recording medium - Google Patents

Description

(1) 1277091 % 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種光學記錄媒體的製造方法和裝置， 該光學記錄媒體包括第一層和第二記錄層，且藉由來自該 光學記錄媒體一側的光束的入射和反射而可記錄和再生。 【先前技術】 φ 近年來，雙層DVD-R已持續發展中，其爲包括一雙 層堆疊構造的寫一次DVD媒體，且可從一側記錄和再生 。例如，在日本記錄媒體工業協會於2004.2.27所舉辦的 會議中，在 ’’Toward Further Advances of Red laser Recording DVD”第 9頁由 H. Matsumura所揭示的雙層 DVD-R 〇 圖9A-9H爲在相關技藝中生產此雙層DVD-R的方法 的橫截面圖。 φ 首先，在圖9A和9B之步驟中，一基板受塗覆以第一 染料（染料塗覆），和因此所形成的層稱爲’’L0記錄層基 板’’。 其次，在圖9 C之步驟中，以濺鍍沉積一半透明反射 層，和以一軟沖壓模形成一中間層和凹槽。 而後，在圖9D所示的步驟中，移除該軟沖壓模 在圖9E和9F所示的步驟中，施加第二染料的塗覆， 和因此所形成的層稱爲’’L 1記錄層基板”。 其次，在圖9 G所示的步驟中’藉由縣鍍沉積一反射 -5- 1277091 (i) 層，和形成一記錄碟。 在圖9H所示的步驟中，提供一虛擬基板（蓋），和 完成一雙層堆疊記錄碟。 但是’上述方法需要一裝置以在軟沖壓模中形成該中 間層和凹槽’和一裝置以移除該軟沖壓模，且在此方法中 無法使用已存在的設備以製造此雙層堆疊記錄疊。此外， 因爲需要修改已存在的設備或投資以購買新的設備，因此 會增加製造成本。再者，當移除該軟沖壓模時，由於軟沖 壓模的損害，製造產能會因而降低。 【發明內容】 因此，本發明的一般目的乃在解決習知技藝的一或多 個問題。 本發明的一特別目的乃在提供一種用以製造一側雙層 光學記錄媒體的裝置和方法，其可增加產能，而無需修改 已存在的製造設備。 依照本發明的第一觀點，於此提供一種光學記錄媒體 的製造方法，該光學記錄媒體包括第一記錄層和第二記錄 層，且藉由來自該光學記錄媒體一側的光束的入射和反射 而可記錄和再生，該方法包含之步驟爲：藉由循序的執行 染料塗覆和濺鍍而形成第一記錄層在第一基板上；藉由循 序的執行第一濺鍍，染料塗覆和第二濺鍍而形成第二記錄 層在第二基板上；和結合第一記錄層和第二記錄層，且第 一*基板和第二基板在外側。 (3) (3)1277091 依照本發明，藉由結合第一記錄層和第二記錄層，且 第一基板和第二基板在外側，可形成一側雙層光學記錄媒 體。因爲第一記錄層和第二記錄層未堆疊，如同習知技藝 ，因此不需要以軟沖壓模形成中間層和凹槽。 在一實施例中，在形成第一記錄層的步驟中，藉由該 濺鍍而形成光學記錄媒體的第一反射層；和在形成第二記 錄層的步驟中，藉由第一濺鍍而形成光學記錄媒體的第二 反射層，和藉由第二濺鍍而形成光學記錄媒體的一無機保 護層。 在一實施例中，在形成第一記錄層的步驟中，在該染 料塗覆後，執行退火；和在形成第二記錄層的步驟中’在 該染料塗覆後，執行退火。 在一實施例中，在形成第一記錄層的步驟中，在該濺 鍍後，執行緣清洗；和在形成第二記錄層的步驟中’在第 二濺鍍後，執行緣清洗。在此實施例中，在至少形成第一 記錄層的步驟和形成第二記錄層的步驟之一中’在該緣清 洗後，形成一保護層。 在一實施例中，在形成第一記錄層的步驟和形成第11 記錄層的步驟後，執行檢查。 依照本發明，因爲緣清洗在形成第一記錄層之步驟中 的該濺鍍後，和在形成第二記錄層的步驟中的第二濺鍍後 執行，再者，在至少形成第一記錄層的步驟和形成第二記 錄層的步驟之一中，在該緣清洗後，形成一保護層’因此 在結合第一記錄層和第二記錄層之前，可防止在反射層和 -7- (4) 1277091 無機保護層中的腐蝕或龜裂。 依照本發明的第二觀點，於此提供一種光學 的製造裝置，該光學記錄媒體包括第一記錄層和 層，且藉由來自該光學記錄媒體一側的光束的入 而可記錄和再生，該裝置包含：第一生產線，其 的執行染料塗覆和濺鍍而形成第一記錄層在第一 第二生產線，其藉由循序的執行第一濺鍍，染料 二濺鍍而形成第二記錄層在第二基板上；和第三 其結合第一記錄層和第二記錄層，且第一基板和 在外側。 在一實施例中，該第一生產線藉由該濺鍍而 記錄媒體的第一反射層；和該第二生產線藉由第 形成光學記錄媒體的第二反射層，和藉由第二濺 光學記錄媒體的一無機保護層。 在一實施例中，該光學記錄媒體的製造裝置 含：一退火裝置，其在形成第一記錄層和第二記 在該染料塗覆後，執行退火。 在一實施例中，該光學記錄媒體的製造裝置 含：一緣清洗裝置’其在形成第一記錄層時，在 ，執行緣清洗；和在形成第二記錄層時，在第二 執行緣清洗。在此實施例中，該光學記錄媒體的 進一步包含：一保護層形成裝置，其在至少形成 層和形成第二記錄層之一時，在緣清洗後，形成 記錄媒體 第二記錄 射和反射 藉由循序 基板上； 塗覆和第 生產線， 第二基板 形成光學 一濺鍍而 鍍而形成 進一步包 錄層時， 進一步包 該濺鍍後 濺鍍後， 製造裝置 第一記錄 一保護層 (5) 1277091 在一實施例中，該光學記錄媒體的製造裝置進一步包 含：一檢查裝置，用以檢查第一記錄層和第二記錄層。 由下述之說明伴隨附圖之解說，可更加明瞭本發明之 上述和其它目的，特徵，和優點。 【實施方式】 下面參考附圖說明本發明的較佳實施例。 第一實施例 圖1爲由依照本發明的第一實施例所製造的一側雙層 光學記錄媒體的示意橫截面圖。 如圖1所示的光學記錄媒體包括第一基板1，第一染 料記錄層2，第一反射層3，第二基板1 1，第二反射層12 ，第二染料記錄層1 3，一無機保護層1 4，和一透明中間 層8。 第一基板1，第一染料記錄層2，第一反射層3，和透 明中間層8構成第一碟基板L0，和第二基板1 1，第二反 射層1 2，第二染料記錄層1 3，無機保護層1 4，和透明中 間層8構成第二碟基板L 1。 一入射雷射束進入光學記錄媒體和一反射雷射束從第 一碟基板L 0之側離開光學記錄媒體，以進行記錄和再生 圖2A和2B分別爲圖1之一側雙層光學記錄媒體的第 二碟基板L1和第一碟基板L0的示意橫截面圖。 -9- 1277091 , (6) 在圖2 A和2 B中所示的透明中間層8分別以8 a和8 b 表示。 在圖2 A中，第二碟基板L1進一步包括中間凹槽部份 1 5，基板凹槽1 6，和一標記1 7在第二染料記錄層1 3中。 在圖2B中，第一碟基板l〇進一步包括中間凹槽部份 5，基板凹槽6，和一標記7在第一染料記錄層2中。 圖3爲依照本發明的第一實施例所製造的圖1的一側 φ 雙層光學記錄媒體的製造方法的流程圖，其中步驟S 1 -1 至S1-8表示第一碟基板L0的製造，和步驟S2-l至S2-10 爲第二碟基板L1的製造。 首先說明第一碟基板L 0的製造。 在步驟S1-1中，不均勻的第一基板！藉由從一沖壓 模注入模製形成，該沖壓模具有對應的不均勻性。例如， 第一基板1以一透明材料形成，且較佳的，第一基板1以 光學特性相當優越的材料形成，例如，小的複數折射率和 φ 低的吸濕率，且從形成率、成本、和成形穩定性的觀點而 言，碳酸鹽是較佳的。例如，第一基板1的厚度在5 6 0 -600 // m的範圍內，且較佳的是在平面方向的基板厚度分 佈儘可能的窄。 在步驟S 1 -2中，相對於機械特性、光學特性、和形 狀（基板厚度）特性，以一線上檢查裝置檢查所獲得的第 一基板1。此種檢查當然亦可於離線進行。 在步驟S1_3中，在考量生產率和生產成本下，可使 用已存在的旋轉塗覆法以施加染料。藉由施加染料，第一 •10· (7) 1277091 染料記錄層2乃形成在第一基板1上。較佳的是在平面方 向的染料膜厚度分佈儘可能的窄。 在步驟S 1 - 4中，在染料塗覆後，以線上檢查裝置對 所製造的基板構造進行線上缺陷檢查和膜厚度檢查。當然 ’此檢查亦可於離線進行。 在步驟S 1 - 5中，對於在製造下的基板構造執行退火

在步驟S 1 - 6中，以濺鍍沉積作用當成第一反射層3 的半透明反射層。 在步驟S1-7中，因爲染料記錄層黏著至在製造下的 第一碟基板L0的緣，在製造下的第一碟基板L0的緣乃以 旋轉塗覆清洗。 在步驟S 1 - 8中，在清洗緣後，以線上檢查裝置對個 別第一碟基板L0進行線上品質檢查，而後完成第一碟基 板L0的製造。 其次說明第二基板L1的製造。 在步驟S 2 - 1中，不均勻的第二基板1 1經由一沖壓模 注入模製形成，該沖壓模具有對應的不均勻性。第二基板 1 1不需爲透明的，且因此第二基板1 1無需以光學特性和 基板厚度特性相當優越的材料形成。同時，在考量和第一 基板1的關係下，較佳的是，第二基板1 1具有匹配第一 基板1的堅硬度和吸濕性，且相似的，從形成率、成本、 和成形穩定性的觀點而言，碳酸鹽是較佳的。 在步驟S2-2中，相對於機械特性等，以一線上檢查 -11 - (8) 1277091 裝置檢查所獲得的第二基板1 1。此種檢查當然亦 進行。 在步驟S 2 - 3中，以濺鍍沉積第二反射層1 2。 在步驟S2-4中，在濺鍍後，以線上檢查裝 造的基板構造進行線上缺陷檢查和膜厚度檢查。 檢查亦可於離線進行。 在步驟S 2 - 5中，在檢查後，藉由旋轉塗覆 料塗層在第二基板1 1上，藉以形成第二染料記_ 第二基板1 1上。 在步驟S2-6中，在染料塗覆後，以線上檢 所製造的基板構造進行線上缺陷檢查和膜厚度檢 ，此檢查亦可於離線進行。 在步驟S2-7中，對於在製造下的基板構造 在步驟S2_8中，以濺鍍沉積無機保護層I4。 在步驟S2-9中，因爲染料記錄層黏著至在 第二碟基板L1的緣，在製造下的第二碟基板L1 旋轉塗覆清洗。 在步驟S 2 -1 0中，在清洗緣後，以線上檢查 別第二碟基板L1進行線上品質檢查，而後完成 板L1的製造。 在步驟S3-1中，第一碟基板L0和第二碟基 合，而第一基板1和第二基板1 1分別在外側。 基板L0和第二碟基板L 1結合時，可獲得透明中 可於離線

置對所製 當然，此 施加一染 ^層13在 查裝置對 查。當然 執行退火 製造下的 的緣乃以 裝置對個 第二碟基 板L1結 當第一碟 間層8 ( -12- (9) 1277091 8 a 5 8b) ° 在步驟S3-2中，在結合後，以線上檢查裝置對所獲 得的一側雙層光學記錄媒體進行線上品質檢查，而後完成 一側雙層光學記錄媒體的製造。 圖4爲由依照本發明的本實施例所製造的一側雙層光 學記錄媒體的製造裝置例的示意方塊圖。

在本例中，合倂一部份用以製造第一碟基板L0的生 產線和一部份用以製造第二碟基板L 1的生產線。 需瞭解的是在圖4中未顯示檢查裝置。 圖4所示的裝置包括一注入模製裝置20用以形成第 一碟基板L0，一注入模製裝置21用以形成第二碟基板L1 ，第一濺鑛裝置22用以形成第二碟基板L1，冷卻裝置23 、24用以形成第一碟基板L0和第二碟基板L1，一模塗覆 器25用以形成第一碟基板L0和第二碟基板L1，一退火 裝置26用以形成第一碟基板L0和第二碟基板L1，一濺 鍍裝置27用以形成第一碟基板L0，第二濺鍍裝置28用 以形成第二碟基板L 1，和一結合裝置2 9用以結合第一碟 基板L0和第二碟基板L 1，而第一基板和第二基板在外側 依照此例，在模塗覆器25和退火裝置26上的用以製 造第一碟基板L0的生產線和用以製造第二碟基板L1的生 產線合倂。因此，生產線可製成較短。 圖5爲由依照本發明的本實施例所製造的一側雙層光 學記錄媒體的製造裝置另一例的示意方塊圖。 •13- (10) 1277091 圖5之裝置和圖4所示之裝置之不同點在於用以製造 第一碟基板L0的生產線和用以製造第二碟基板L 1的生產 線完全獨立，亦即，於此有兩個模塗覆器2 5 a和2 5 b，和 兩個退火裝置26a和26b。模塗覆器25a和退火裝置26a 使用於第一碟基板L0，而模塗覆器25b和退火裝置26b 使用於第二碟基板L 1。 依照此例，無需如同圖4之例所示，建立特殊的模塗 覆器25和退火裝置26以使部份生產線合倂，且因此可使 用已存在的一般裝置。 第二實施例 圖6爲由依照本發明的第二實施例之製造方法所製造 的一側雙層光學記錄媒體的示意橫截面圖。 在此實施例中，相同的元件被賦予如同前述實施例相 同的參考數字。 如圖6所示的光學記錄媒體包括第一基板1，第一染 料記錄層2，第一反射層3，第二基板1 1，第二反射層12 ，第二染料記錄層1 3，一無機保護層1 4，一透明中間層8 ，和保護層9、1 0。 第一基板1，第一染料記錄層2，第一反射層3，透明 中間層8，和保護層9構成第一碟基板L0，和第二基板 層 護。 保 1 機 T tei 板射 /基反 3 碟一 1二和 層第體 錄成媒 記構錄 料10記 染層學 第護Μ 保^ ， 進 束 層 8 射 射層雷 反間 二中入 第明一 ， 透 4 11 和 第 從 束 射 雷 -14- (11) 1277091 一碟基板L0之側離開光學記錄媒體，以進行記錄和再生 圖7A和7B分別爲圖6之一側雙層光學記錄媒體的第 二碟基板L1和第一碟基板L0的示意橫截面圖。 在圖7 A中，第二碟基板L1進一步包括中間凹槽部份 1 5，基板凹槽1 6，和一標記1 7在第二染料記錄層1 3中。

在圖7B中，第一碟基板L0進一步包括中間凹槽部份 5，基板凹槽6，和一標記7在第一染料記錄層2中。 圖8爲依照本發明的第二實施例所製造的圖6的一側 雙層光學記錄媒體的製造方法的流程圖，其中步驟S 1 -1 至S1-9表示第一碟基板L0的製造，和步驟S2-1至S2-11 爲第二碟基板L1的製造。 首先說明第一碟基板L0的製造。 在步驟S 1 -1中，不均勻的第一基板1藉由從一沖壓 模注入模製形成，該沖壓模具有對應的不均勻性。例如， φ 第一基板1以一透明材料形成，且較佳的，第一基板1以 光學特性相當優越的材料形成，例如，小的複數折射率和 低的吸濕率，且從形成率、成本、和成形穩定性的觀點而 言，碳酸鹽是較佳的。例如，第一基板1的厚度在5 6 0 -60 0 // m的範圍內’且較佳的是在平面方向的基板厚度分 佈儘可能的窄。 在步驟S 1 -2中，相對於機械特性、光學特性、·和形 狀（基板厚度）特性，以一線上檢查裝置檢查所獲得的第 一基板1。此種檢查當然亦可於離線進行。 -15- (12) (12)1277091 在步驟S I - 3中，在檢查後，施加染料塗覆在第一基 板1上。在第一實施例中，在考量生產率和生產成本下， 可使用已存在的旋轉塗覆法以施加染料。藉由施加染料， 第一染料記錄層2乃形成在第一基板1上。較佳的是在平 面方向的染料膜厚度分佈儘可能的窄。 在步驟S 1 - 4中，在染料塗覆後，以線上檢查裝置對 所製造的基板構造進行線上缺陷檢查和膜厚度檢查。當然 ，此檢查亦可於離線進行。 在步驟S1-5中，對於在製造下的基板構造執行退火 〇 在步驟S 1 -6中，以濺鍍沉積作用當成第一反射層3 的半透明反射層。 在步驟S1-7中，因爲染料記錄層黏著至在製造下的 第一碟基板L0的緣，在製造下的第一碟基板L0的緣乃以 旋轉塗覆清洗。 在步驟S卜8中，藉由濺鍍’保護層9形成在以半透 明反射層製成的第一反射層3上。 在步驟S1-9中，在濺鍍後，以線上檢查裝置對個別 第一碟基板L 0進行線上品質檢查，而後完成第一碟基板 L0的製造。 其次說明第二基板L 1的製造。 在步驟s 2 -1中，不均勻的第二基板1 1經由一沖壓模 注入模製形成，該沖壓模具有對應的不均勻性。第二基板 1 1不需爲透明的，且因此第二基板11無需以光學特性和 -16- (13) (13)1277091 基板厚度特性相當優越的材料形成。同時，在考量和第一 基板1的關係下，較佳的是，第二基板1 1具有匹配第一 基板1的堅硬度和吸濕性’且相似的，從形成率、成本、 和成形穩定性的觀點而目’碳酸鹽是較佳的。 在步驟S 2 - 2中，相對於機械特性等，以一線上檢查 裝置檢查所獲得的第二基板1 1。此種檢查當然亦可於離線 進行。 在步驟S2-3中，以濺鍍沉積第二反射層12。 在步驟S2-4中，在濺鍍後，以線上檢查裝置對所製 造的基板構造進行線上缺陷檢查和膜厚度檢查。當然，此 檢查亦可於離線進行。 在步驟S2-5中，在檢查後，藉由旋轉塗覆施加一染 料塗層在第二基板11上，藉以形成第二染料記錄層13在 第二基板1 1上。 在步驟S2-6中，在染料塗覆後，以線上檢查裝置對 所製造的基板構造進行線上缺陷檢查和膜厚度檢查。當然 ，此檢查亦可於離線進行。 在步驟S2-7中，對於在製造下的基板構造執行退火 〇 在步驟S2-8中，以濺鍍沉積無機保護層14。 在步驟S2-9中，因爲染料記錄層黏著至在製造下的 第二碟基板L 1的緣，在製造下的第二碟基板L 1的緣乃以 旋轉塗覆清洗。 在步驟S 2 -1 0中，在清洗緣後，以旋轉塗覆形成保§蒦 -17- (14) 1277091 層1 0在無機保護層1 4上。 在步驟S2-1 1中，在濺鍍後，以線上檢查 第二碟基板L 1進行線上品質檢查，而後完成 L 1的製造。 在步驟S3-1中，第一碟基板L0和第二碟 合，而第一基板1和第二基板1 1分別在外側 基板L0和第二碟基板L1結合時，可獲得透明

在步驟S3-2中，在結合後，以線上檢查 得的一側雙層光學記錄媒體進行線上品質檢查 一側雙層光學記錄媒體的製造。 依照上述實施例，因爲保護層9形成在以 層製成的第一反射層上，因此可避免半透明反 。再者，因爲保護層1 0形成在無機保護層1 4 避免在無機保護層14中的龜裂，且因此可改 φ 層1 4的耐用性和有利於到達結合處的管理。 雖然本發明已參考選擇用於說明目的的特 做說明，但是，需瞭解的是，本發明並不限於 ’對於熟悉此項技藝的人士而言，於此仍可達 和修飾，但其仍屬本發明之精神和範疇。 例如，依照本發明的第二實施例之圖6所 層光學記錄媒體的製造方法亦可以如圖4和5 實施。爲此目的，在生產線中的濺鍍裝置27禾I ’需要安裝一裝置以形成保護層9和1 0在緣 裝置對個別 第二碟基板 :基板L1結 。當第一碟 中間層8 ( 裝置對所獲 ，而後完成 半透明反射 射層的腐鈾 上，因此可 善無機保護 殊實施例而 這些實施例 成各種改變 示之一側雙 所示之裝置 ]2 8處理後 清洗處理的 -18- (15) 1277091 後續處理中。 生產線可根據安裝空間或其它條件而適當的改變，而 非限制於如第一和第二實施例之態樣。 依照本發明，由於第一記錄層和第二記錄層未堆疊， 如同習知技藝，其不需要以一軟沖壓模形成一中間層和凹 槽’且可達成可增加產能的一側雙層光學記錄媒體的製造 ’而無箭修改已存在的生產設備。 φ 此外’在結合第一記錄層和第二記錄層之前，可防止 ’ 在反射層和無機保護層中的腐鈾或龜裂。 本發明可應用至包括第一記錄層和第二記錄層的光學 記錄媒體’且可藉由來自光學記錄媒體一側的光束的入射 和反射而記錄和再生。例如，本發明可應用至如 DVD + R/RW，DVD-R/RW，和 D V D · R A Μ 之光學記錄碟。 特別的’本發明可有效的產生需要高產能但無需修改已存 在的製造設備的一側雙層光學記錄媒體。 【圖式簡單說明】 圖1爲由依照本發明的第一實施例所製造的一側雙層 光學記錄媒體的示意橫截面圖； 圖2Α和2Β分別爲圖1之一側雙層光學記錄媒體的第 二碟基板L1和第一碟基板L0的示意橫截面圖； 圖3爲依照本發明的第一實施例所製造的圖1的一側 雙層光學記錄媒體的製造方法的流程圖； 圖4爲由依照本發明的本實施例所製造的一側雙層光 -19- (16) (16)1277091 學記錄媒體的製造裝置例的示意方塊圖； 圖5爲由依照本發明的本實施例所製造的一側雙層光 學記錄媒體的製造裝置另一例的示意方塊圖； 圖6爲由依照本發明的第二實施例之製造方法所製造 的一側雙層光學記錄媒體的示意橫截面圖； 圖7A和7B分別爲圖6之一側雙層光學記錄媒體的第 二碟基板L 1和第一碟基板L0的示意橫截面圖； 圖8爲依照本發明的第二實施例所製造的圖6的一側 雙層光學記錄媒體的製造方法的流程圖；和 圖9A至9H爲在相關技藝中用以製造雙層DVD-R的 方法的橫截面圖。 【主要元件之符號說明】 1 :第一基板 2 :第一顏料記錄層 3 :第一反射層 1 1 :第二基板 1 2 :第二反射層 1 3 :第二顏料記錄層 1 4 :無機保護層 8 :透明中間層 L0 :第一碟基板 L 1 :第二碟基板 8 a，8 b :透明中間層 •20- (17) (17)1277091 1 5 :中間凹槽部份 1 6 :基板凹槽 1 7 :標記 5 :中間凹槽部份 6 :基板凹槽 7 :標記 20，21 :注入模製裝置 22 :第一濺鍍裝置 23，24 :冷卻裝置 2 5 :模塗覆器 26 :退火裝置 27 :濺鍍裝置 28 :第二濺鍍裝置 29 :結合裝置 2 5 a，2 5 b :模塗覆器 26a，26b:退火裝置 9，10 :保護層

Claims (1)

1277091 (υ 十、申請專利範圍 1. 一種光學記錄媒體的製造方法，該光學記錄 括第一記錄層和第一記錄層，且藉由來自該光學記 一側的光束的入射和反射而可記錄和再生，該方法 步驟爲： 藉由循序的執行染料塗覆和濺鍍而形成第一記 第一基板上； 藉由循序的執行第一機鍍，染料塗覆和第二濺 成第二記錄層在第二基板上；和 結合弟一*日己錄層和弟一 δ5錄層，且第一•某板和 板在外側。 2 ·如申請專利範圍第1項的光學記錄媒體的製 ，其中： 在形成第一記錄層的步驟中，藉由該濺鍍而形 記錄媒體的第一反射層；和 在形成第二記錄層的步驟中，藉由第一濺鍍而 學記錄媒體的第二反射層’和藉由第二濺鑛而形成 錄媒體的一無機保護層。 3 .如申請專利範圍第1項的光學記錄媒體的製 ，其中： 在形成第一記錄層的步驟中，在該染料塗覆後 退火；fa 在形成第二記錄層的步驟中，在該染料塗覆後 退火。 媒體包 錄媒體 包含之 錄層在 鑛而形 第二基 造方法 成光學 形成光 光學記 造方法 ，執行 ，執行 -22· (2) 1277091 4.如申請專利範圍第1項的光學§5錄媒體的製造方法 ，其中： 在形成第一記錄層的步驟中，在該濺鍍後’執行緣清 洗；和 在形成第二記錄層的步驟中，在第二濺鍍後’執行緣 清洗。

5 ·如申請專利範圍第4項的光學記錄媒體的製造方法 ，其中： 在至少形成第一記錄層的步驟和形成第二記錄層的步 驟之一中的緣清洗後，形成一保護層。 6 ·如申請專利範圍第1項的光學記錄媒體的製造方法 ，其中： 在形成第一記錄層的步驟和形成第二記錄層的步驟後 ，執行檢查。 7. —種光學記錄媒體的製造裝置，該光學記錄媒體包 括第一記錄層和第二記錄層，且藉由來自該光學記錄媒體 一側的光束的入射和反射而可記錄和再生，該裝置包含： 第一生產線，其藉由循序的執行染料塗覆和濺鍍而形 成第一記錄層在第一基板上； 第二生產線，其藉由循序的執行第一濺鍍，染料塗覆 和第二濺鑛而形成第二記錄層在第二基板上；和 第三生產線，其結合第一記錄層和第二記錄層，且第 一基板和第二基板在外側。 8 .如申請專利範圍第7項的光學記錄媒體的製造裝置 -23- (3) 1277091 ，其中： 該第一生產線藉由該濺鍍而形成光學記錄媒體的第一 反射層；和 該第二生產線藉由第一縣鍍而形成光學記錄媒體的第 二反射層，和藉由第二濺鍍而形成光學記錄媒體的一無機 保護層。

9.如申請專利範圍第7項的光學記錄媒體的製造裝置 ，進一步包含： 一退火裝置，其在形成第一記錄層和第二記錄層時， 在該染料塗覆後，執行退火。 1 0 .如申請專利範圍第 7項的光學記錄媒體的製造裝 置，進一步包含： 一緣清洗裝置，其在形成第一記錄層時，在該濺鑛後 ，執行緣清洗；和在形成第二記錄層時，在第二濺鍍後， 執行緣清洗。 1 1 ·如申請專利範圍第1 0項的光學記錄媒體的製造裝 置，進一步包含： 一保護層形成裝置，其在至少形成第一記錄層和形成 第二記錄層之一時，在緣清洗後，形成一保護層。 1 2 ·如申請專利範圍第7項的光學記錄媒體的製造裝 置，進一步包含： 一檢查裝置，用以檢查第一記錄層和第二記錄層。 -24-