TWI258650B - Remote control services system and remote control services method - Google Patents

Description

1258650 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關產業用機器的遙控保養系統、遙控保養 方法。 【先前技術】 製造裝置、檢查裝置、分析裝置等的產業用機器在經 製造商製作後，經由供給該些產業用機器的公司（以下稱 裝置供應賣方），提供給顧客，但爲了維持提供後的性能 必須進行保養。 以往該些產業用機器與裝置供應賣方的保養中心是透 過網際網路連接，且由保養中心以遙控來實行保養產業用 機器。於日本特開平1H5520號公報提案使用網際網路 的遙控保養系統，若利用該系統，不管產業用機器的設置 地區，都可進行產業用機器的保養。 內裝計算機的產業用機器是可用各個產業用機器來儲 存顯示產業用機器的使用過程的機器資訊。此種機器資訊 可使用作爲指定故障的原因，在進行保養上成爲非常有價 値的資訊。例如，何時實行那種程式，且產業用機器的各 部位做那種狀態遷移，若能夠參照獲得那種處理結果的機 器資訊’就能期待掌握故障原因是否在程式的內容中，或 者是否在程式的實行順序’或者是否在裝置的指定部位， 或是處理結果是否在所希望者。 (2) !258650 [發明欲解決的課題] 但是目前爲止’機器資訊包括有關產業用機器所製造 的製品製造計劃或製品樣式的機密資訊是很多的，透過第 三者也能利用的網際網路對保養中心的保養員公開機器資 訊是很少的，迅速處理故障很不容易。 因此，使用網際網路的遙控保養系統，怎樣安全管理 機器資訊並活用於保養是很大的課題。連前述日本特開平 1 1 - 15 5 20號公報所示的遙控保養系統，針對積極活用此 種機器資訊的方法也是不接觸。 本發明目的在於提供一在產業用機器的使用者許可的 範圍內，能將儲存在各個產業用機器的機器資訊對保養員 安全公開的遙控保養系統、遙控保養方法。 【發明內容】 就本發明的實施形態來看，爲達成上述目的，乃屬於 保養產業用機器與產業用機器的作業裝置是透過網際網路 而連接的遙控保養方法，將顯示產業用機器狀態的機器資 訊使用指定共通鍵加以密碼，且配合來自作業裝置的要求 而發送被密碼的密碼機器資訊，且產業用機器對作業裝置 輸出發送共通鍵，接收所發送的密碼機器資訊與共通鍵， 使用共通鍵對密碼機器資訊加以解碼，輸出所解碼的機器 資訊。 而屬於保養產業用機器與產業用機器的作業裝置是透 過網際網路而連接的遙控保養系統，產業用機器係具備有 -7- (3) 1258650 :密碼單元、通訊單元及輸出入單元，密碼單元是將顯示 產業用機器狀態的機器資訊使用指定共通鍵加以密碼，且 通訊單元是將屬於密碼單元所密碼的機器資訊的密碼機器 資訊配合來自作業裝置的要求而發送至作業裝置，輸出入 單元是用來輸出產業用機器對作業裝置發送共通鍵，作業 裝置係具備有：通訊單元、解碼單元及輸出入單元，通訊 單元是用來接收產業用機器的通訊單元所發送的密碼機器 資訊與共通鍵，解碼單元是使用共通鍵對密碼機器資訊加 以解碼，輸出入單元是用來輸出解碼單元所解碼的機器資 訊。 並藉由作業裝置來演算配合根據機器資訊所實施的產 業用機器的保養內容的等價，且發送所演算的等價。 【實施方式】 詳細說明本發明的第一實施形態。本實施形態是屬於 適用本發明的半導體製造檢查裝置的遙控保養系統。本系 統是屬於一種在產業用機器使用者許可的範圍內，儲存在 各個產業用機益1中的機益資訊可以安全的對保養員公開的 系統。在本發明所處理的產業用機器中，內裝有計算機， 除此之外未加以限制’但本實施形態的說明中作爲產業用 機器的假設有：應用於半導體製造工廠所使用的曝光裝置 、塗佈顯像裝置、熱處理裝置、組合裝置、檢查裝置等的 半導體製造的各種裝置或系統。以下將該些裝置或系統總 稱爲半導體製造檢查裝置。而在本發明所處理機器資訊是 -8- 1258650 (4) 屬於顯不產業用機器狀態的資料，除此之外未加以限制， 但本實施形態的說明中是假設以程式、程式的實行過程、 感測器的狀態過程、晶圓的處理結果作爲機器資訊。以下 將顯示該些資訊的資料總稱爲機器資料。 第1圖是表示適用本發明的半導體製造檢查裝置的遙 控保養系統的構成之一例的方塊圖。110是指供應半導體 製造檢查裝置的公司（以下記載爲裝置供應賣方）的保養中 心。120是指使用半導體製造檢查裝置來製造半導體裝置 的公司（以下記載爲半導體製造製造商）的製造工廠。第1 圖所示的系統是表示兩個製造工廠120，但實際上可爲兩 個以上的製造工廠120。而製造工廠120可屬於互不相同 的半導體製造製造商的工廠，也可爲屬於同一半導體製造 製造商的工廠。 於保養中心110設有··保養半導體製造檢查裝置的一 個以上的作業裝置113、和用來管理傳向保養中心110的 通訊的管理裝置112。各作業裝置113與管理裝置112是 透過網內網路111而連接。 在各製造工廠120設有：製造半導體裝置的一個以上 的半導體製造檢查裝置123、和用來管理傳向製造工廠 120的通訊的管理裝置122。各半導體製造檢查裝置123 與管理裝置122是透過網內網路121而連接。設置在保養 中心110的管理裝置112是透過設置在各製造工廠120的 管理裝置122與網際網路100而連接。 第1圖的各裝置是屬於利用任何簡單的計算機的裝置 -9 - 1258650 (5) ，但實際上可用複數台計算機構成簡單的裝置，也可利用 單一的計算機構成複數的裝置。而該些計算機係具備有： 中央處理裝置（以下記載爲CUP)、主記憶裝置（以下記載 爲記憶體）、使用硬碟等固定型的記憶媒體的補助記憶裝 置、和使用CD光碟片、光磁碟片等可搬型的記憶媒體的 補助記憶裝置、和鍵盤或滑鼠等的輸入裝置、和顯示器等 的顯示裝置等的輸出裝置。 設置在保養中心11 0的作業裝置11 3是屬於保養中心 110的保養員以遙控來保養半導體製造檢查裝置123的裝 置。作業裝置113係具有一旦接收到來自發生故障的半導 體製造檢查裝置123表示委託保養的訊息（以下記載爲委 託保養），即將儲存在委託保養中的資料輸出至輸出裝置 的機能。 儲存在委託保養中的資料是屬於顯示半導體製造檢查 裝置的識別子的裝置ID、和顯示故障症狀的錯誤碼。輸 出至輸出裝置的資料是藉由保養員使用作爲判斷是否對故 障的處理需要連線。再者，也可在委託保養中儲存有：顯 示發生故障日期的資料、顯示半導體製造工廠識別子的資 料、顯示該半導體製造檢查裝置類別的資料等。 作業裝置1 1 3也具有將顯示程式識別子的程式ID、 和儲存該程式所獲得的參數的訊息（以下記載爲保養操作） 發送至發送委託保養的半導體製造檢查裝置1 23的機能。 再者’保養操作具有：讀出操作和解決操作的類別。讀出 操作是屬於對保養操作的程式ID指定讀出機器資料程式 -10- (6) 1258650 的識別子，解決操作是屬於對保養操作的程式I D指定生 成、編集、取消半導體製造檢查裝置所保存的程式的程式 識別子或生成、編集、取消管理資料的程式識別手、或測 試半導體製造檢查裝置動作的程式識別子。以下說明中， 除了讀出機器資料程式以外的程式，各別總稱爲讀出程式 與解決程式。 作業裝置1 1 3也具有一旦接收到回應保養操作而由半 導體製造檢查裝置123發送的訊息（以下記載爲保養操作 回應），將儲存於保養操作回應的資料，儲存至保養員所 指定的外部記憶裝置的檔案，且將資料儲存在檔案輸出至 輸出裝置的機能。再者，對於保養操作回應則有讀出操作 回應和解決操作回應的類別。 讀出操作回應是儲存屬於針對讀出操作所回應的機器 資料封包。在此機器資料封包是由機器資料ID、密碼機 器資料、信號發送規則的各資料所構成。再者，信號發送 規則也使用對機器資料加以密碼的共通鍵而密碼。解決操 作回應是儲存屬於針對解決操作所回應的訊息資料。在此 訊息資料是指解決程式所輸出的資料。 作業裝置1〗3也具有將顯示保養員識別子的保養員 ID、顯示保養員的通關密碼的保養員通關密碼、儲存位於 分析對象的機器資料封包的機器資料ID的訊息（以下記載 爲著手分析通知），發送至發送委託保養的半導體製造檢 查裝置1 23的機能。再者，成爲分析對象的密碼機器封包 可以透過可搬型記憶媒體而儲存在外部記億裝置的檔案中 -11- 1258650 (7) 業裝置1 1 3也具有一旦接收到回應著手分析通知而由 半導體製造檢查裝置123所發送的訊息（以下記載爲著手 分析通知回應），即將儲存於著手分析通知回應的共通鍵 記載在主記憶裝置的機能。所記憶的共通鍵是經由保養員 使用作爲欲將儲存在者手分析通知的機益資料I D所識別 的機器資料加以解碼。作業裝置1 1 3也具有記憶著用來限 制對記憶在主記憶裝置的共通鍵進行操作限制的規則，且 隨著記憶的規則對共通鍵進行操作限制的機能。對記憶的 共通鍵的操作具有例如在主記憶裝置內的複製、由主記憶 裝置對外部記憶裝置的複製。 作業裝置113也具有當接收到著手分析通知回應時， 使用所記憶的共通鍵對密碼機器資料加以解碼，且將解碼 的機器資料記憶在主記憶裝置的機能。所解碼的機器資料 是經由保養員使用作爲欲分析故障原因是否在程式的內容 中’或者是否在程式的實行順序中，或者是否在控制部的 通訊中’或者是否在裝置的指定部位，或者處理的結果是 否爲所希望的。 作業裝置11 3也具有記憶著用來限制操作記憶在主記 憶裝置的機器資料的規則，且隨在記憶的規則來限制操作 機器資料的機能°所記憶的機器資料的操作係具有例如在 主記憶裝置內的複製，或是從主記憶裝置對外部記憶裝置 的複製。 作業裝置11 3也具有針對所解碼的機器資料而生成顯 -12- 1258650 (8) 不保養貝進丫了操作過程的信號資料’且使用存在於分析對 象的機器資料封包的信號發送規則，而將儲存所生成的信 號資料的訊息（以下稱爲分析操作通知），發送至發送過委 託保養的半導體製造檢查裝置1 23的機能。信號資料是經 由半導體製造檢查裝置123的使用者使用作爲欲針對機器 資料掌握那個保養員是否進行那樣的操作。 作業裝置113也具有將所解碼的機器資料利用動畫輸 出至輸出裝置（以下記載爲動畫顯示）的機能。所顯示的動 畫是經由保養員使用作爲欲視覺分析無法直接用肉眼看見 的半導體製造檢查裝置123的動作。 而作業裝置113也具有將所解碼的機器資料使用定時 圖輸出至輸出裝置（以下記載爲定時圖顯示）的機能。所顯 分作 來勖 ΠΠ1Π 點的 觀.3 2 時 1 定置 動裝 作查 從檢 欲造 爲製 作1 /T 用導 使半 員的 養見 保看 由眼 經肉 是 用 圖接 時直 定法 的無 示析 。 而作業裝置113也具有將所解碼的機器資料和事先記 錄的其他機器資料，重疊在定時圖上並輸出至輸出裝置（ 以下記載爲重疊顯示）的機能。所顯示的定時圖是經由保 養員使用作爲欲進行比較複數產業用機器的動作，或比較 同一產業用機器的不同時刻的動作做分析。 而作業裝置1 13也具有用來輸入顯示判斷指定的故障 原因爲該故障原因的理由的判斷理由的機能。所輸入的判 斷理由是經由半導體製造檢查裝置的使用者或其他保養員 所使用作爲欲確認分析作業的正當性，。 -13- 1258650 Ο) 作業裝置1 1 3也具有將配合保養員的操作自主記憶裝 匱取消機器資料和共通鍵，且儲存顯示取消該些資料的資 料的訊息（以下記載爲分析完成通知），發送至發送過委託 保養的半導體製造檢查裝置1 2 3的機能。分析完成通知 是經由半導體製造檢查裝置i 23的使用者使用作爲欲掌握 所解碼的機器資料與發佈的共通鍵確定在作業裝置113被 取消^再者’本實施形態是指發送著手分析通知後，直到 發送分析完成通知爲止屬於一次分析作業。保養員直到指 定故障原因爲止，一直重覆的進行分析作業。 作業裝置113也具有將由保養作業完成的半導體製造 檢查裝置123的裝置ID、該故障的錯誤碼、用於指定該 故障原因所使用的密碼機器封包、分析該故障原因的過程 (以下記載爲保養實績）所構成的訊息（以下記載爲登錄操 作）’發送至設置在保養中心1 1 0的管理裝置1 1 2的機能 〇 作業裝置113也具有將儲存裝置ID與錯誤碼的至少 一方的訊息（以下記載爲檢索操作），發送至設置在保養中 心110的管理裝置112的機能。作業裝置113也具有一旦 接收到回應檢索操作而自管理裝置1 1 2所發送的訊息（以 下記載爲檢索操作回應），即將儲存在檢索操作回應的資 料輸出至輸出裝置的機能。所輸出的資料是經由保養員使 用作爲欲確認有關發送過委託保養的半導體製造檢查裝置 1 23對故障的處理是否需要連線，或者同一徵狀過去是否 發生，或者採用徵狀的處理方法爲任一種。儲存於檢索操 -14- 1258650 (10) 作回應的密碼機器資料的顯示方法是與從半導體製造檢查 裝置1 23讀出的密碼機器資料的顯示方法同樣的方式，故 省略說明。 設置在保養中心110的管理裝置112是屬於用來管理 對保養中心11 〇收發訊息的通訊，同時管理有關保養知識 的裝置。管理裝置112係具有定期監視是否從設置在各製 造工廠120的管理裝置122接收到委託保養，用來檢測接 收委託保養的情況，對指定保養員所使用的管理裝置i i 2 隨著所定規則發送委託保養的機能。 管理裝置112也具有將回應委託保養並從作業裝置 11 3所發送的保養操作、著手分析通知、分析操作通知、 分析完成通知的各訊息，發送至發送過委託保養的製造工 廠120的管理裝置122的機能。管理裝置112也具有一旦 接收到從作業裝置1 1 3所發送的登錄操作，即將儲存在登 錄操作的裝置ID、錯誤碼、機器資料封包 '分析實績， 登錄到相關連的知識管理表格的機能。管理裝置1 1 2也具 有一旦接收從作業裝置113所發送的檢索操作，即鍵入儲 存在檢索操作的資料，並檢索知識管理表格，且將儲存所 檢索的資料的檢索操作回應，發送至發送過檢索操作的作 業裝置1 1 3的機能。 管理裝置112也具有根據從作業裝置113所發送的保 養操作、著手分析通知、分析操作通知、分析完成通知的 各訊息，來演算等價的機能。管理裝置11 2也具有一旦接 收從作業裝置11 3所發送的登錄操作，即將演算的結果登 -15- (11) 1258650 錄至有關保養內容的知識管理表格的機能。管 也具有將有關登錄在知識管理表格的保養內容 ，發送至設置在製造工廠120的管理裝置122 設置在製造工廠120的管理裝置122是屬 廠120管理通訊的裝置。管理裝置122具有定 從各半導體製造檢查裝置1 23接收到委託保養 收委託保養的情況，將該委託保養發送至保養 管理裝置122的機能。管理裝置122也具有將 養而從保養中心11〇的管理裝置112所發送的 著手分析通知、分析操作通知、分析完成通知 發送至發送過委託保養的半導體製造檢查裝置 〇 設置在製造工廠120的半導體製造檢查裝 於製造工廠120的使用者用來製造半導體裝置 2圖是表示半導體製造檢查裝置 123的構成 導體製造檢查裝置123是由輸入使用者製造半 需要的資料（以下記載爲製造操作）的輸出入部 與管理裝置122之間用來收發委託保養、保養 分析通知、分析操作通知、分析完成通知的各 部1 3 1、和配合保養操作或製造操作來實行程 1 3 2、和經由控制部1 3 2所控制的部位1 3 3所構 輸出入部13 〇係具有一旦接受使用者所輸 作，即將儲存以所輸入的製造操作所指定的程 該程式所獲得的參數的資料（以下記載爲指令） 理裝置1 1 2 的等價訊息 的機能。 於對製造工 期監視是否 ，且檢測接 中心11 0的 回應委託保 保養操作、 的各訊息， 123的機能 置123是屬 的裝置。第 方塊圖。半 導體裝置所 1 3 0、和在 操作、著手 訊息的通訊 式的控制部 成。 入的製造操 .式ID 、和 ，發送至控 -16- 1258650

制部1 3 2，一旦從控制部1 3 2接收到儲存程式實行結果的 資料（以下記載爲指令回應），即從所接收的指令回應取出 程式的實丫了結果並輸出至輸出裝置的機能。 輸出入部130也具有配合來自通訊部131的要求，並 接收到著手分析通知後，將記錄於接收到分析完成通知爲 止的期間的資料輸出至輸出裝置的機能。通訊部1 3 1係具 有定期監視半導體製造檢查裝置123的作業狀況，且檢知 發生故障的情況，生成儲存有該半導體製造檢查裝置1 23 的裝置ID與該故障的錯誤碼的委託保養，且將所生成的 委託保養透過管理裝置122發送至保養中心110的管理裝 置122的機能。通訊部131也具有一旦回應委託保養並接 收到從作業裝置11 3所發送的保養操作，即生成儲存於所 接收的保養操作的程式ID與參數的指令，且將生成的指 令發送至控制部1 3 2的機能。 再者，指令乃具有讀出指令與解決指令的類別。讀出 指令是屬於對指令的程式ID指定讀出程式的識別子，解 決指令是屬於對指令的程式ID指定解決程式的識別子。 通訊部 13 1也具有一旦回應指令而接收到從控制部 132所發送的指令回應，即使用儲存在所接收的指令回應 的資料而生成儲存在保養操作回應的資料，但將儲存所生 成的資料的保養操作回應，發送至發送過保養操作的作業 裝置1 1 3的機能。通訊部1 3 1也具有從控制部1 3 2所發送 的指令回應爲針對讀出指令的回應的情形，針對儲存在指 令回應的機器資料而生成識別機器資料的機器資料ID、 -17- (13) 1258650 和對機器資料加以密碼時所使用的共通鍵、和顯示共通鍵 公開所需要的條件的共通鍵公開條件、和顯示將操作過程 發送至半導體製造檢查裝置123的規則的信號發送規則， 且將該些資料登錄至相關連的共通鍵管理表格，且使用所 登錄的共通鍵對儲存在指令回應的機器資料加以密碼，且 將由所生成的機器資料ID、密碼機器資料、信號發送規 則所構成的機器資料封包作爲儲存在保養操作回應的資料 的機能。再者，信號發送規則也可以使用對密碼機器資料 加以密碼的共通鍵來加以密碼。 通訊部131也具有從控制部132所發送的指令回應爲 針對解決指令的回應的情形，將儲存在指令回應的訊息資 料作爲儲存在保養操作回應的資料的機能。通訊部1 3 1也 具有將表示保養員屬性的保養員屬性登錄在保養員屬性管 理表格的機能。於儲存在保養員屬性的資料乃具有保養員 通關密碼與保養員類別。保養員屬性是經由使用者事先輸 入的。通訊部1 3 1也具有一旦從作業裝置11 3接收到著手 分析通知，即比較儲存在著手分析通知的保養員通關密碼 與儲存在保養員屬性管理表格的保養員通關密碼而加以認 證保養員的機能。經由該認證保養員就可利用獨特的識別 子而識別。 通訊部1 3 1也具有一旦從作業裝置1 1 3接收到著手分 析通知，即鍵入儲存在該通知的機器資料ID，並從共通 鍵管理表格來檢索共通鍵公開條件，且限於該共通鍵公開 條件的條件滿足保養員屬性的情形，鍵入儲存在著手分析 -18- 1258650 (14) 通知的機器資料ID，並從共通鍵管理表格檢索共通鍵， 且將儲存該共通鍵的著手分析通知回應，發送至發送過著 手分析通知的作業裝置1 1 3的機能。 通訊部1 3 1也具有一旦從作業裝置1 1 3接收到著手分 析通知、分析操作通知、分析完成通知的各訊息，即將儲 存在各訊息的資料記錄至分析狀況管理表格的機能。通訊 部131也具有一旦從作業裝置113接收到分析完成通知， 即將接收著手分析通知後，將記錄於接收到分析完成通知 爲止的期間的資料，從分析狀況管理表格進行參照，且將 該資料透過像是輸出至輸出裝置的控制部132而要求輸出 入部130的機能。 控制部132係具有將讀出程式與解決程式記憶在程式 管理表格的機能。控制部132也具有一旦從通訊部131接 收到指令，即將以指令所指定的程式使用對應於此的參數 來實行’且將儲存程式的實行結果的指令回應發送至通訊 部1 3 1的機能。控制部1 3 2也具有從通訊部i 3 !所接收的 指令爲讀出指令的情形，以讀出的機器資料作爲程式實行 結果的機能。控制部132也具有從通訊部13ι所接收的指 令爲解決指令的情形’以解決程式所輸出的訊息資料作爲 程式實行結果的機能。控制部1 3 2也具有將表示輸出入部 1 3 0所發送的指令過程的資料（以下記載爲程式實行過程） ，記錄在程式實行過程管理表格的機能。於程式實行過程 儲存有所謂那個使用者使用那個程式、那個參數來實行的 資訊。 -19- 1258650 (15) 控制部132也具有將顯示各部位133的狀態爲如何遷 移的資料（以下記載爲感測狀態過程）記錄在感測狀態過程 管理表格的機能。於感測狀態過程儲存所謂何時、那個部 位遷移至那個狀態的資訊。控制部1 3 2也具有將顯示經由 各部位133所處理的晶圓狀態的資料（以下記載爲處理結 果）記錄於處理結果管理表格的機能。於處理結果儲存所 謂那個晶圓爲那個狀態的資訊。 接著，針對記憶在作業裝置1 1 3與管理裝置丨χ 2的機 器資料封包的構造做說明。第3圖是表示機器資料封包的 例子。機器資料封包140是由機器資料ID141、密碼機器 資料142、信號發送規則143所構成。於機器資料IW41 儲存顯示被密碼機器資料142密碼而儲存的機器資料的識 別子的資料。於密碼機器資料142儲存以共通鍵加以密碼 所讀出的機器資料的資料。於信號發送規則1 4 3儲存著顯 示將保養員對被密碼機器資料142密碼而儲存的機器資料 所進行的操作過程發送至半導體製造檢查裝置123的規則 的資料。 接著，針對半導體製造檢查裝置1 23所管理的表格構 造做說明。第4圖是表示半導體製造檢查裝置i 23的通訊 部1 3 1所管理的共通鍵管理表格的例子。共通鍵管理表格 150的各行是儲存各機器資料的共通鍵與共通鍵公開條件 ，由機器資料ID151、共通鍵152、共通鍵公開條件153 所構成。於機器資料1D 151儲存顯示機器資料識別子的資 料。於共通鍵152儲存顯示根據儲存在機器資料id 151的 -20· 1258650 (16) 値所識別的機器資料加以解碼時所使用的共通鍵的資料。 於共通鍵公開條件1 5 3儲存欲公開儲存在共通鍵1 5 2的値 所需要的保養員屬性的條件的資料。在此例表示機器資料 D1的共通鍵爲ABC· · ·，只公開上級保養員，機器資 料D2的共通鍵是CBA · · ·，只公開上級保養員與中級 保養員。 第5圖是表示半導體製造檢查裝置123的通訊部131 所管理的保養員屬性管理表格的例子。保養員屬性管理表 格160的各行是儲存各保養員的保養員屬性，由保養員 ID 161、保養員通關密碼162、保養員類別163所構成。 於保養員ID 161儲存顯示保養員識別子的資料。於保養員 通關密碼1 62儲存顯示保養員通關密碼的資料。於保養員 類別1 63儲存顯示保養員類別的資料。在例子表示保養員 D1的通關密碼乃爲1234 ’保養員D1的類別爲上級保養 員，保養員D2的通關密碼爲5678，保養員 D2的類別中 級保養員。 第6圖是表示管理半導體製造檢查裝置123的通訊部 1 3 1的分析狀況管理表格的例子。於分析狀況管理表格 170的各行是儲存有關該故障而接收半導體製造檢查裝置 1 23的通訊部13 1的著手分析通知、分析操作、分析完成 通知的內容，由分析作業ID 171、機器資料ID 172、記錄 曰期173、公司ID174、保養員ID175、內容176所構成 。於分析作業1 D 1 7 1儲存著顯示分析作業識別子的資料。 於機器資料ID 1 72儲存著顯示成爲分析對象的機器資料識 -21 - 1258650 (17) 別子的資料。於記錄日期1 73儲存著顯示記錄過程的曰期 的資料。於保養員類別1 74儲存著顯示進行分析作業的保 養員類別的資料。於保養員ID 1 7 5儲存著進行分析作業的 分析員識別子的資料。於內容176儲存著顯示著手分析通 知、分析操作 '分析完成通知的內容的資料。 此例中是表示該分析作業是指分析作業101，成爲分 析對象的密碼資料是指密碼資料D 1，進行分析的保養員 是指上級保養員的保養員A1。而分析作業101是於2001 年01月03日11時10分00秒從半導體製造檢查裝置 123取得共通鍵，且使用於2001年01月03日11時1〇 分30秒所取得的共通鍵，對密碼機器資料加以解碼，且 於2001年01月03日11時11分〇〇秒以動畫顯示搬送系 統的動作，於2001年01月03日11時10分30秒以動畫 顯示排氣系統的動作，於2001年〇1月〇3日11時12分 00秒以動畫顯不光學系統的動作，於2001年〇1月〇3日 11時10分30秒以定時圖顯不光學系統的動作，於2〇〇1 年01月03日11時13分00秒1以重疊顯示光學系統的 動作’於2001年01月03日11時1〇分30秒指定原因出 於光學系統，於2001年01月〇3日i j時w分〇〇秒取消 所解碼的機器資料，顯示取消於2 0 0 1年〇 1月〇 3日1 1時 10分30秒所取得的共通鍵。 第7圖是表示管理半導體製造檢查裝置123的控制部 132的程式管理表格的例子。程式管理表格18〇的各行是 儲存著實行控制部132的各程式，由程式ι〇181，程式類 -22· (18) 1258650 別182、名稱183、處理條件184、處理手續ι85 。於程式ID 1 8 1儲存著分配至每個程式的獨特的識 資料。於程式類別1 82儲存著顯示程式類別的資料 稱1 83顯示著程式名稱的資料。於處理條件1 84儲 示進行控制部132的處理條件的資料。於處理手續 存著顯示進行控制部132的處理手續的資料。再者 條件的設定也可以保存不必要的程式。 此例中，程式P1是指供讀出程式的程式，具 程式的類別，表示實行所謂程式刪除的名稱手續 P2是指供讀出程式實行過程的程式，具有讀出程 別，表示實行所謂程式實行過程讀取的名稱手續 P3是指供讀出感測狀態過程的程式，具有讀出程 別，表示實行所謂感測狀態過程讀取的名稱手續 P4是指供讀出處理結果的程式，具有讀出程式的 表示實行所謂處理結果讀取的名稱手續。程式P5 生成程式的程式，具有解決程式的類別，表示實行 式創作的名稱手續。程式P6是指供編輯程式的程 有解決程式的類別，表示實行所謂程式編輯的名稱 程式P7是指供取消程式的程式，具有解決程式的 表示實行所謂程式刪除的名稱手續。程式P8是指 動模式來處理晶圓的程式，具有解決程式的類別’ 進行晶圓的處理，使用第1號的插槽，且以晶圓單 處理，測定的晶圓圖像是以儲存在圖像的情形爲處 ，表示依序實行所謂裝載晶圓、排列晶圓、定位' 所構成 別子的 。於名 存著顯 185儲 ，處理 有讀出 。程式 式的類 。程式 式的類 。程式 類別， 是指供 所謂程 式，具 手續。 類別， 欲以自 以自動 位進行 理條件 測定、 -23- 1258650 (19) 卸載晶圓的名稱手續。程式P9是指欲以手動模式來處理 晶圓的程式，具有解決程式的類別，使用第2號的插槽， 且以晶圓匣單位進行處理，所測定的晶圓圖像儲存在圖像 2爲處理條件表示實行與程式P8相同的手續。 第8圖是表示管理半導體製造檢查裝置123的控制部 1 3 2的程式實行過程管理表格、感測狀態過程管理表格、 處理結果管理表格的例子。程式實行過程管理表格190的 各行是儲存實行的程式的各過程，由實行日期1 9 1、使用 者ID192、程式 1D193、參數 194所構成。於實行日期 191儲存著表示實行程式的日期的資料。於使用者ID 192 儲存著表示實行程式的半導體製造檢查裝置123的使用者 識別子的資料。於程式ID 193儲存著表示實行的程式識別 子的資料。於參數1 94儲存著表示實行的程式所獲得的參 數的資料。 此例表示於2001年01月02日10時10分1〇秒，使 用者U1實行程式P8,於2001年01月02日10時15分10 秒，使用者U 1實行程式P 9。感測狀態過程管理表格2 0 0 的各行是儲存著各時刻方面的各部位133狀態的過程’由 記錄日期201、感測器S 1 202、感測器S2203、. · ·的 各項目所構成。於記錄日期2 0 1儲存著表示記錄各部位 127的狀態値的日期的資料。於感測器S 1202、感測器 S2203、· . ·儲存著表示使用各個感測器所測定的各部 位133的狀態的資料。此例表示於2001年01月02日10 時1 0分1 0秒，各部位1 3 3的狀態値分別爲〇 . 〇 1、〇 · 1 〇、 -24- 1258650 (20) • ··，於2001年01月02日10時10分11秒 133的狀態値分別爲〇.〇2、0.20、···。 處理結果管理表格210的各行是儲存各晶圓 果，由晶圓ID211與晶圓圖像212所構成。於晶 儲存著表示分配至每個晶圓的獨特的識別子的資 圓圖像2 1 2儲存著表示晶圓表面狀態的圖像資料 示晶圓W1的表面狀態爲正常的圖形，晶圓W2 態爲異常的圖形。 第 9圖是表示管理設置在保養中心110的 112的知識管理表格的例子。知識管理表格220 儲存著以各分析作業來分析故障原因的過程 ID 221、錯誤碼222、機器資料封包223、分析實 構成。於裝置ID221儲存著發生該故障的半導體 裝置123的識別子的資料。於錯誤碼222儲存著 該故障的半導體製造檢查裝置1 23的識別子的資 器資料封包223儲存著指定該故障原因所使用的 資料封包。於分析實績224儲存著表示分析該故 過程的資料。 此例是表示發生在半導體製造檢查裝置T1 E0123的故障原因，是以分析實績R1的方式來 資料封包P 1而加以指定，且在半導體製造檢查裝 發生的錯誤碼E0 1 24的故障原因，是以分析實績 式來分析機器資料封包P 2而加以指定。 接著，針對在作業裝置1 13與半導體製造 ，各部位 的處理結 圓 1D211 料。於晶 。此例表 的表面狀 管理裝置 的各行是 ，由裝置 績224所 製造檢查 表示發生 料。於機 密碼機器 障原因的 的錯誤碼 分析機器 丨置T1所 R2的方 檢查裝置 -25- (21) 1258650 1 23以及管理裝置i i 2之間進行收發訊息的構造做說明。 第1〇圖是表示在作業裝置113與半導體製造檢查裝置 1 2 3之間進行收發的委託保養、著手分析通知、著手分析 通知回應、分析操作通知、分析完成通知的各訊息的例子 、和在作業裝置113與管理裝置112之間進行收發的登錄 操作、檢索操作、檢索操作回應的各訊息的例子。 委託保養230是指半導體製造檢查裝置123爲了委託 保養，發送至作業裝置113的訊息，由裝置ID231與錯誤 碼232所構成。於裝置1〇231儲存著表示檢查發生故障的 半導體製造檢查裝置識別子的資料。於錯誤碼232儲存著 表示故障徵狀的資料。再者，也可於委託保養中附加故障 檢查日期、半導體製造工廠ID、半導體製造檢查裝置類 別等的項目。 著手分析通知24〇是指作業裝置113爲了通知著手分 析作業，發送至半導體製造檢查裝置123的訊息，由保養 員ID241、通關密碼242、機器資料1D243所構成。於保 養員ID 241儲存著表示進行分析作業的保養員識別子的資 料。於通關密碼2 4 2儲存著表示進行分析作業的保養員通 關密碼的資料。於機器資料I D 2 4 3儲存著表示進行分析作 業的密碼機器資料識別子的資料。 著手分析通知回應250是指半導體製造檢查裝置T23 爲了通過對密碼機器資料加以解碼時使用的共通鍵，發送 至作業裝置1 1 ^的$息’由共通鍵2 5 1所構成。於共通鍵 25 1儲存表示對分析的密碼機器資料加以解碼時所用的共 -26- (22) 1258650 通鍵的資料。 分析操作通知260是指作業裝置113爲了 對機器資料進行的操作過程，發送至半導體製 U3的訊息，由信號261所構成。於信號261 養員對機器資料進行的操作過程的資料。 分析完成通知270是指作業裝置113爲了 析作業，發送至半導體製造檢查裝置123的訊 資料取消旗標271與共通鍵取消旗標272所構 資料取消旗標271儲存著表示取消解碼的機器 。於共通鍵取消旗標272儲存著表示取消共通 登錄操作280是指作業裝置113爲了登錄有關 ’發送至半導體製造檢查裝置123的訊息，由 、錯誤碼282、機器資料封包283、分析實績 〇 於裝置ID281儲存著表示進行分析的半導 裝置識別子的資料。於錯誤碼282儲存著表示 半導體製造檢查裝置的故障徵狀的資料。於機 283儲存著指定故障原因時所使用的機器資料 析實績284儲存著表示分析該故障原因過程的 檢索操作290是指作業裝置113爲了檢索 知識，發送至半導體製造檢查裝置1 23的訊息 291所構成。於檢索鍵291儲存著表示半導體 置識別子的資料、指定故障徵狀的資料。 檢索操作回應300是指半導體製造檢查裝 傳遞分析員 造檢查裝置 儲存表示保 傳遞完成分 息，由機器 成。於機器 資料的資料 鍵的資料。 保養的知識 裝置ID281 284所構成 體製造檢查 進行分析的 器資料封包 封包。於分 資料。 有關保養的 ，由檢索鍵 製造檢查裝 置123爲了 -27- (23) 1258650 回電有關檢索的保養的知識，發送至作業裝置113的訊息 ，由檢索結果301的項目所構成。檢索結果301的項目是 用來檢索使用檢索鍵所檢索的資料。 接著，針對第1圖的作業裝置1 13、半導體製造檢查 裝置1 23、管理裝置11 2的處理流程做說明。第1 1圖是 表示作業裝置113收發著手分析通知240與著手分析通知 回應25 0情形的動作的流程圖。 首先，作業裝置113是由保養員接受發送著手分析通 知240的指示（步驟311)。其次，作業裝置113是將儲存 著保養員的保養員ID、保養員的保養員通關密碼、機器 資料封包14〇的機器資料ID的著手分析通知24〇，發送 至發送過委託保養230的半導體製造檢查裝置123(步驟 312)。其次，作業裝置113是回應著手分析通知24〇來接 收由半導體製造檢查裝置1 23所發送的著手分析通知回應 25 0(步驟3 13)。其次，作業裝置113是將儲存在著手分析 通知回應250的共通鍵記憶在主記憶裝置（步驟3 14)。其 次’作業裝置1 1 3是使用記憶的共通鍵對儲存在機器資料 封包140的密碼機器資料加以解碼（步驟3 15)。其次，作 業裝置1 13是將解碼的機器資料記憶在主記憶裝置（步驟 315)。其次，作業裝置113是將儲存在機器資料封包i4〇 的信號發送規則記憶在主記憶裝置（步驟3 i 7)。其次，作 業裝置113是將解碼的機器資料輸出至輸出裝置（步驟 318)，結束處理（步驟319)。 第12圖是表示半導體製造檢查裝置123的通訊部 -28- (24) 1258650 1 3 1收發著手分析通知2 4 0與著手分析通知回應2 5 0情形 的動作的流程圖。首先，通訊部1 3 1是由作業裝置1 1 3接 收著手分析通知240(步驟321)。其次，通訊部131是比 較儲存在著手分析通知240的保養員通關密碼、和儲存在 保養員屬性管理表格的保養員通關密碼，來認證保養員（ 步驟322)。其次，通訊部131是鍵入儲存在著手分析通 知24〇的機器資料ID，從共通鍵管理表格來檢索共通鍵 公開條件，確認檢索的共通鍵公開條件的條件是否滿足保 養員的屬性（步驟323)，限於滿足的情形下，鍵入儲存在 著手分析通知24〇的機器資料ID，並從共通鍵管理表格 來檢索共通鍵（步驟325)，於不滿足的情形下，結束處理（ 步驟328)。其次，通訊部131是將儲存檢索的共通鍵的 著手分析通知回應250，發送至發送過著手分析通知24〇 的作業裝置113(步驟326)，將發送的著手分析通知回應 2 5 0的內容記錄在分析狀況管理表格（步驟3 2 7 )，結束處 理（步驟3 2 7 )。 第13圖是表示作業裝置113發送分析操作通知時的 動作的流程圖。首先，作業裝置1 1 3是由保養員接受對於 輸出至輸出裝置的機器資料的操作指示（步驟3 3 1 )。其次 ’作業裝置1 1 3是生成表示接受的操作內容的信號資料（ 步驟332)。其次’作業裝置113是隨著記憶的信號發送 規則’將儲存生成的信號資料的分析操作通知，發送至發 送過委託保養的半導體製造檢查裝置123(步驟333)，結 束處理（步驟3 3 4 )。 -29- (25) 1258650 第 14圖是表示半導體製造檢查裝置ία的通訊部 1 3 1接收分析操作通知時的動作的流程圖。首先，通訊部 131是從作業裝置ι13接收分析操作通知260(步驟341) 。其次，通訊部13 1是將儲存在分析操作通知260的資 料記錄在分析狀況表格（步驟3 4 2 )，結束處理（步驟3 4 3 )。 第15圖是表示作業裝置ι13發送分析完成通知時的 動作的流程圖。首先，作業裝置i i 3是由保養員接受發送 分析完成通知的指示（步驟251)。其次，作業裝置113是 取消記憶在主記憶裝置的機器資料（步驟2 5 2)。其次，作 業裝置113是取消記憶在主記憶裝置的共通鍵（步驟253) 。其次’作業裝置1 1 3是將儲存表示取消記憶在主記憶裝 置的機器資料與共通鍵的資料的分析完成通知，發送至發 送過委託保養230的半導體製造檢查裝置123(步驟254) ’結束處理（步驟2 5 5 ) 第16圖是表示半導體製造檢查裝置123的通訊部 1 3 1接收分析完成通知時的動作的流程圖。首先，通訊部 131是由作業裝置T13接收分析完成通知（步驟361)。其 次’通訊部1 3 1是將接收的分析完成通知內容記憶、在分析 狀況管理表格（步驟362)。其次，通訊部13ι是從分析狀 況管理表格遺出有關該分析作業的資料，且將讀出的資料 輸出至輸出裝置（步驟3 63) ’結束處理（步驟3 64)。 接著’針對輸出至第1圖的半導體製造檢查裝置123 與作業裝置113的輸出裝置的畫面做說明。第17圖是表 示以第1 1圖所示的處理流程的步驟3 11、3 1 8、和第1 3 -30- (26) 1258650 圖所不的處理流程的步驟3 3 1、和第1 5圖所示的處理流 程的步驟351，輸出至作業裝置113的輸出裝置的分析作 業畫面的例子。 保養作業畫面3 70是指表示由顯示儲存在指定保養員 的機器資料封包14〇的機器資料ID，且以由保養員接受 著手分析通知240的發送指示、分析操作通知260的發送 指示、分析完成通知270的發送指示的畫面、機器資料封 包儲存檔案欄位371、機器資料ID面板372、活動面板 3 73、著手分析通知面板381、機器資料顯示面板383、註 解欄位389所構成。 機器資料封包儲存檔案欄位371是指保養員輸入儲存 分析的機器資料封包140的檔案名的欄位。此例表示分析 的機器資料封包140儲存在C:¥results¥result0123。 機器資料ID面板372是指將儲存在以機器資料封包 儲存檔案欄位371所指定的機器資料封包140的機器資料 ID的値顯示於分析員的面板。此例表示機器資料ID的値 爲D1。 活動面板3 73是指保養員指示著手分析通知24〇的發 送指示、分析操作通知2 6 0的發送指示、分析完成通知 2 70的發送指示的面板，由著手分析通知發送按鈕374、 分析操作通知發送按鈕375、376、3 7 7、3 78、分析完成 通知發送按鈕3 7 9所構成。 著手分析通知發送按鈕374是指保養員指不者手分析 通知240的發送的按鈕，一旦保養員使用滑鼠按下該按鈕 -31 - (27) 1258650 ，就會將儲存著保養員以著手分析通知面板378所輸入 保養員ID及保養員通關密碼、和顯示在機器資料ID面 272的機器資料ID的著手分析通知240，發送至發送過 託保養230的半導體製造檢查裝置123 ^ 分析操作通知發送按鈕375、376、3 77、378是指 養員用來指示保養操作通知270的發送的按鈕’ 一旦保 員使用滑鼠按下該按鈕，就會生成表示有關各分析操作 知發送按鈕375、376、377、3781的操作過程的信號資 ，隨著所記憶的信號發送規則，將儲存所生成的信號資 的分析操作通知260，發送至發送過委託保養230的半 體製造檢查裝置123。此例是表示分析操作通知發送按 3 75是以動畫顯示（A顯示）機器資料，且生成表示形成 畫顯示的信號資料並加以發送。 而分析操作通知發送按鈕376是表示以定時圖顯示 顯示）機器資料，且生成表示形成定時圖顯示的信號資 並加以發送。 而分析操作通知發送按鈕377是表示重疊顯示（〇 示）機器資料，且生成表示形成重疊顯示的信號資料並 以發送。 而分析操作通知發送按鈕378是表示生成顯示指定 障原因的信號資料並加以發送。於表示指故障原因的信 資料也儲存在保養員在註解欄位389所輸入的判斷理由 分析完成通知按鈕379是指保養員指示發送分析完 通知2 7 0的按鈕，一旦保養員使用滑鼠並按下該按鈕， 的 板 委 保 養 通 料 料 導 鈕 動 (T 料 顯 加 故 Prfe 0 成 取 -32- 1258650 (28) 消記憶在主記憶裝置的機器資料與共通鍵，將儲存 消的資料的分析完成通知，發送至發送過委託保養 半導體製造檢查裝置123。 著手分析通知面板3 80是指分析員輸入儲存在 析通知240的分析員識別子與保養員通關密碼的面 保養員ID欄位381與保養員通關密碼欄位382所f| 保養員ID欄位381是指保養員使用鍵盤輸入 保養員ID的欄位，此例是表示保養員ID爲A1。 通關密碼欄位382是指保養員使用鍵盤輸入自己的 通關密碼的欄位。此例是表示保養員通關密碼爲 機器資料顯示面板383是指對保養員顯示解碼的機 的面板。 此例是表示保養員按下分析操作通知按鈕375 ，配備在導軌384上的機械手臂3 85是以動畫顯示 匣386取出晶圓387的動作。保養員按下分析操作 送按鈕3 76 ' 3 77的情形下，就能使用定時圖來顯 資料，或將機器資料與事先記錄的其他機器資料重 時圖上來顯示。 註解欄位3 8 9是在指定故障原因的情形下，使 輸入保養員所判斷的理由的欄位。此例表示馬達的 發生急速變動，保養員即判斷導軌有溝。 第1 8圖是表示在第1 6圖所示的處理流程的歩 輸出至半導體製造檢查裝置123的輸出裝置的分析 出畫面的例子。分析狀況輸出畫面3 9 0是指將記錄 表示取 230的 著手分 板’由 丨成。 自己的 保養員 保養員 1234 ° 器資料 的情形 從晶圓 通知發 示機器 疊在定 用鍵盤 電流値 驟3 63 狀況輸 於從接 -33- 1258650 (29) 收到著手分析通知240至接收到分析完成通知270的分析 過程，顯示在半導體製造檢查裝置123的使用者的畫面， 由分析狀況一覽表3 9 1構成。分析狀況一覽表3 9 1的各行 是表示半導體製造檢查裝置1 23的通訊部1 3 1接收到有關 該故障的著手分析通知240、分析操作260、分析完成通 知270的內容，由分析作業ID欄位392、機器資料ID欄 位3 93、記錄日期欄位394、保養員類別欄位395、保養 員1D欄位3 9 6、內容欄位3 9 7所構成。顯示各欄位的內 容因爲是與儲存著分析狀況管理表格1 70的各項目的資料 相同所以省略說明。 如以上，本實施形態的系統中，是透過網際網路來連 接實行指定處理的一個以上的產業用機器與保養產業用機 器的作業裝置。產業用機器係具備有：密碼單元、通訊單 元及輸出入單元。密碼單元是使用指定的共通鍵對顯示產 業用機器狀態的機器資訊加以密碼。通訊單元是將屬於密 碼單元所密碼的機器資訊的密碼機器資訊配合來自作業裝 置的要求而發送至作業裝置，且將對密碼機器資訊加以密 碼時所用的共通鍵，配合來自接收到密碼機器資訊的作業 裝置的要求而加以發送。輸出入單元是輸出顯示產業用機 器對作業裝置發送共通鍵過程的全部或一部分。作業裝置 係具備有：通訊單元、解碼單元及輸出入單元。通訊單元 是接收到產業用機器的通訊單元發送的密碼機器資訊，且 產業用機器要求接收對密碼機器資訊加以密碼時所用的共 通鍵。解碼單元是記憶著作業裝置的通訊單元接收的共通 -34- 1258650 (30) 鍵，且使用記憶的共通鍵對密碼機器資訊加以解碼。輸出 入單元是記憶著解碼單元解碼的機器資訊，且用來輸出記 憶的機器資訊的全部或一部分。 因而，可在產業用機器使用者許可的範圍內，對保養 員安全的公開儲存在每個產業用機器的機器資訊。而產業 用機器的輸出入單元是將密碼機器資訊輸出至記憶媒體， 且作業裝置的輸出入單元是從記憶媒體輸入產業用機器的 輸出入單元所輸出的密碼機器資訊，就可將加以密碼的機 器資訊使用任意的媒體輸入至作業裝置。 而產業用機器的通訊單元是使用與作業裝置相關的公 開鍵加以密碼來發送共通鍵，且作業裝置的通訊單元是使 用與公開鍵相關的秘密鍵，而對於從產業用機器的通訊單 元接收到的共通鍵加以解碼，就能將共通鍵安全的發送至 作業裝置。 而產業用機器的通訊單元是保存表示作業裝置使用者 屬性的屬性資訊和表示欲發送共通鍵所必要的作業裝置使 用者屬性條件的條件資訊，且由作業裝置要求共通鍵的時 候’讀出使用者的屬性資訊與共通鍵的條件資訊，且限於 在歸於所讀出的條件資訊的條件滿足歸於所讀出的屬性資 訊的屬性的時候’將共通鍵發送至作業裝置，就能限定於 指定的保養員來發送共通鍵。 而作業裝置的解碼單元是記憶著用來限制對作業裝置 的通訊單元所接收的共通鍵的操作的規則，且隨著記憶的 規則’來限制對作業裝置的通訊單元所接收的共通鍵的操 •35- 1258650 (31) 作’就bS在作業裝置安全的管理共通鍵。 而作業裝置的輸出入單元是記億著用來限制對作業裝 置的碼單元所解碼的機器資訊的操作的規則，且按照記憶 白勺規則’來限制對作業裝置的解碼單元所解碼的機器資訊 的操作’就能在作業裝置安全的管理所解碼的機器資訊。 而作業裝置的輸出入單元是使用動畫來輸出所記憶的機器 資訊’就能以視覺來分析無法直接用肉眼看見的產業用機 器的動作。而作業裝置的輸出入單元是使用定時圖來輸出 所記憶的機器資訊，就能從動作定時觀點來分析無法直接 用肉眼看見的產業用機器的動作。而作業裝置的輸出入單 元是將記憶的複數機器資料重疊在定時圖上並輸出至輸出 裝置’就能進行複數產業用機器動作的比較，或是同一產 業用機器不同時刻動作的比較來加以分析。 而作業裝置的輸出入單元是對應作業裝置的輸出入單 元所輸出的機器資訊，生成表示作業裝置的使用者進行的 操作內容的信號資訊，且作業裝置的通訊單元是將作業裝 置的輸出入單元所生成的信號資訊，發送至發送共通鍵的 產業用機器，且產業用機器的通訊單元是用來接收發送共 通鍵的作業裝置所發送的信號資訊，且產業用機器的輸出 入單元是用來輸出產業周機器的通訊單元所接收的信號資 訊的全部或一部分，產業用機器的使用者就能掌握作業裝 置的使用者對於解碼的機器資訊所進行的操作內容。 而作業裝置的輸出入單元是生成顥示作業裝置的使用 者指定故障原因的信號資訊，產業用機器的使用者就能掌 -36- (32) 1258650 握是否能指定分析結果的故障結果。而作業裝置的輸出入 單元是接受作業裝置的使用者以指定事象作爲故障原因而 加以判斷的理由，且將接受的理由儲存在信號資訊，產業 用機器的使用者就能掌握故障原因的判斷理由。而作業裝 置的輸出入單元是生成表示作業裝置的使用者取消作業裝 置的解碼單元所記憶的共通鍵的信號資訊，產業用機器的 使用者就能掌握取消發送至作業裝置的共通鍵。而作業裝 置的輸出入單元是生成表示作業裝置的使用者取消作業裝 置的輸出入單元所記憶的機器資訊的信號資訊，產業用機 器的使用者就能掌握取消在作業裝置被解碼的機器資訊。 而作業裝置的通訊單元是記憶著表示將作業裝置的輸 出入單元所生成的信號資訊發送至產業用機器的規則的信 號發送規則，且按照記憶的信號發送規則，將作業裝置的 輸出入單元所生成的信號資訊發送至產業用機器，就能靈 活變更發送指定信號資訊的規則。而作業裝置的通訊單元 是記憶著將表示作業裝置的使用者指定故障原因的信號資 訊發送至發送共通鍵的產業用機器的規則的信號發送規則 ，產業用機器的使用者就能掌握是否可指定分析結果的故 障結果。而作業裝置的通訊單元記憶著表示將以指定事象 作爲故障原因而加以判斷的理由的信號資訊發送至發送共 通鍵的產業用機器的規則的信號發送規則，產業用機器的 使用者就能掌握故障原因的判斷理由。而作業裝置的通訊 單元是記憶著表示將顯示作業裝置的使用者取消作業裝置 的解碼單元所記憶的共通鍵的的信號資訊，發送至發送共 -37- 1258650 (33) 通鍵的產業用機器的規則的信號發送規則，產業用機器的 使用者就能掌握取消發送至作業裝置的共通鍵。 而作業裝置的輸出入單元是記憶著表示將顯示作業裝 置的使用者取消作業裝置的輸出入單元所記憶的機器資訊 的信號資訊，發送至發送共通鍵的產業用機器的規則的信 號發送規則，產業用機器的使用者就能掌握取消在作業裝 置所解碼的機器資訊。 而作業裝置係具有：識別產業用機器的資訊、和爲了 指定故障原因所使用的密碼機器資訊、和與針對故障的因 應方法相關而登錄的登錄單元，且作業裝置的輸出入單元 是參照登錄單元而輸出針對該故障的因應方法，作業裝置 的使用者就能彼此共有有關分析故障原因的方法的知識。 以上雖是說明第一實施形態，但除此以外本發明是可 變形。第二實施形態是第一實施形態的變形例。第一實施 形態是在產業用機器的使用者許可的範圍內，能將儲存在 每個產業用機器的機器資訊對保養員安全的公開，但第二 實施形態是屬於能以管理裝置單一性的進行儲存在每個產 業用機器的機器資訊的公開、和機器資訊安全性的管理。 適用本發明的系統可變更爲設置在製造工廠12〇的半導體 製造檢查裝置 123與管理裝置122的構成，但設置在保 養中心110的作業裝置113與管理裝置112的構成是與第 一實施形態所說明者同樣的。 第19圖是表示設置在製造工廠120的管理裝置122 構成的方塊圖。管理裝置1 2 2是指單一性的管理以設置在 -38- 1258650 (34) 製造工廠120的每個半導體製造檢查裝置123 器資料的裝置，由輸出有關分析管理裝置122 況的資料的輸出入部400、和在管理裝置112 造檢查裝置1 23之間收發訊息的通訊部40 1、 入部4〇〇與通訊部401的控制部402所構成。 輸出入部400係具有接收到著手分析通知 至接收到分析完成通知爲止的期間的資料輸出 的機能。 通訊部401是定期監視半導體製造檢查裝 業狀況，檢查發生故障的時候，生成該半導體 置123的裝置ID、和儲存該故障錯誤碼的委 生成的委託保養發送至保養中心110的管理裝 能。 通訊部40 1也具有一旦接收到回應委託保 裝置113發送的保養操作，即發送至發生故障 造檢查裝置123的機能。通訊部401也具有一 應保養操作而從半導體製造檢查裝置123發送 回應，即使用儲存在接收的保養操作回應的資 發送至發送過保養操作的半導體製造檢查裝置 ’且將儲存該資料的保養操作回應發送至發送 的作業裝置113的機能。

通訊部401也具有在從半導體製造檢查裝 的保養操作回應爲讀出操作回應的情形下，對 保養操作回應的機器資料，生成機器資料ID 所儲存的機 的使用者狀 及半導體製 和控制輸出 後，將記錄 至輸出裝置 置123的作 製造檢查裝 託保養，將 置122的機 養而從作業 的半導體製 旦接收到回 的保養操作 料，而生成 1 2 3的資料 過保養操作 置123發送 於儲癩存在 、共通鍵、 -39 - (35) 1258650 共通鍵公開條件、信號發送規則，登錄在與該些資料互相 關連的共通鍵管理表格，且使用登錄的共通鍵對儲存在保 養操作回應的機器資料加以密碼，且將由生成的機器資料 I D、密碼機器資料、信號發送規則所構成的機器資料封包 儲存至保養操作回應的資料的機能。再者，信號發送規則 也可以使用對密碼機器資料加以密碼的共通鍵加以密碼。 通訊部40 1具有對於從半導體製造檢查裝置123發送 的保養操作回應爲解決操作回應的情形下，將儲存在保養 操作回應的訊息資料作爲儲存在保養操作回應的資料的機 能。通訊部40 1也具有將表示保養員屬性的保養員屬性登 錄在保養員屬性管理表格的機能。於儲存在保養員屬性的 資料係具有保養員通關密碼與保養員類別。保養員屬性是 經由使用者事先輸入的。 通訊部4 0 1也具有一旦從作業裝置1 1 3接收到著手分 析通知，即比較儲存在著手分析通知的通關密碼與儲存在 保養員屬性管理表格的通關密碼來認證保養員的機能。經 由該認證以獨特的識別子來識別保養員。 通訊部4〇 1也具有一旦從作業裝置1 1 3接收到著手分 析通知，即鍵入儲存在著手分析通知的機器資料ID，並 從共通鍵管理表格檢索共通鍵公開條件，且限於歸於該共 通鍵公開條件的條件滿足保養員屬性的情形下，鍵入儲存 在著手分析通知的機器資料Ϊ D，並從共通鍵管理表格檢 索共通鍵，且將儲存檢索的共通鍵的著手分析通知回應， 發送至發送過著手分析通知的作業裝置113的機能。 -40- (36) 1258650 通訊部40 1也具有一旦從作業裝置1 1 3接收到著手分 析通知、分析操作通知、分析完成通知的各訊息，即將儲 存在各訊息的資料記錄在分析狀況管理表格的機能。通訊 部4〇 1也具有一旦從作業裝置1 1 3接收到分析完成通知， 即從分析狀況管理表格來參照接收到著手分析通知後，記 錄於接收到分析完成通知爲止的期間的資料，且欲將參照 的資料輸出至輸出裝置，透過控制部402而要求輸出入部 400的機能。 設置在製造工廠120的半導體製造檢查裝置123是由 使用者輸入製造操作的輸出入部130、和從管理裝置122 接收到保養操作的通訊部13 1、和配合接收的保養操作來 實行程式的控制部1 3 2、和經由控制部1 3 2而控制的部位 1 3 4所構成。控制部〗3 2與部位i 3 4是與第一實施形態所 說明的一樣’以下針對輸出入部13〇與通訊部131做詳細 說明。 _出入部130係具有一旦接受使用者輸入的製造操作 ’即將以所輸入的製造操作指定的程式ID、和儲存該程 式所獲得的參數的指令發送至控制部1 3 2，且一旦從控制 部1 3 2接收到儲存程式實行結果的指令回應，即從所接收 白勺ί旨令®應取出程式實行結果並輸出至輸出裝置的機能。 S訊部1 3 1係具有對於定期監視半導體製造檢查裝置 1 23的作業狀況’且檢查發生故障的情形下，生成儲存著 該半導體製造檢查裝置123的裝置1D、和該故障錯誤碼 的妥託保養’且將該委託保養透過管理裝置1 2 2發送至保 -41 - 1258650 (37) 養中心110的管理裝置122的機能。通訊部131也具 旦接收到回應委託保養而從作業裝置11 3發送的保養 ，即生成儲存著儲存在所接收的保養操作的程式ID 數的指令，且將生成的指令發送至控制部 1 3 2的機 通訊部1 3 1係具有一旦回應指令而接收到從控制部 發送的指令回應，即將儲存著所接收的指令回應的保 作回應發送至管理裝置122的機能。 機器資料封包的構造、管理表格的構造、訊息的 以及輸出畫面是與第一實施形態所說明的一樣，故省 明。 管理裝置1 22收發著手分析通知、著手分析通知 、分析操作通知、分析完成通知時的處理流程是與第 施形態所說明的半導體製造檢查裝置1 23 —樣，故省 明。 如上，於本實施形態的系統中，乃屬於實行指定 的一個以上的產業用機器、和管理從產業用機器發送 訊的管理裝置、和保養產業用機器的作業裝置是透過 網路而連接的遙控保養系統，而產業用機器係具備有 示產業用機器狀態的機器資訊發送至管理裝置的通訊 。而且管理裝置是具備有密碼單元、通訊單元以及輸 單元。密碼單元是使用指定的共通鍵來加以密碼產業 器所發送的機器資訊。通訊單元是將屬於密碼單元所 的機器資訊的密碼機器資訊，配合來自作業裝置的要 發送至作業裝置，且將對密碼機器資訊加以密碼時所 有一 操作 與參 能。 132 養操 構造 略說 回應 一實 略說 處理 的資 網際 將表 m—' 兀 出入 用機 密碼 求而 用的 -42 - 1258650 (38) 共通鍵，配合來自接收密碼機器資訊的作業裝置的要求而 發送。輸出入單元是輸出表示管理裝置對作業裝置發送共 通鍵的過程的全部或一部分。作業裝置是具備有通訊單元 、解碼單元以及輸出入單元。通訊單元是接收管理裝置的 通訊單元所發送的密碼機器資訊，且要求管理裝置接收對 密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵。解碼單元是記憶 著作業裝置的通訊單元所接收的共通鍵，且使用記憶的共 通鍵對密碼機器資訊加以解碼。輸出入單元是記憶著解碼 單元所解碼的機器資訊，且輸出記憶的機器資訊的全部或 一部分。 因而，能以管理裝置單一性的進行儲存在每個產業用 機器的機器資訊的公開和機器資訊的安全性管理。 而管理裝置的輸出入單元是將密碼機器資訊輸出至記 憶媒體，且作業裝置的輸出入單元是從記憶媒體輸入管理 裝置的輸出入單所輸出的密碼機器資訊，就能將密碼的機 器資訊使用任意的媒體輸入至作業裝置。 而管理裝置的通訊單元是將共通鍵使用與作業裝置相 關的公開鍵加以密碼而發送，且作業裝置的通訊單元是將 從產業用機器的通訊單元接收的共通鍵，使用與公開鍵相 關的秘密鍵而解碼，就能將共通鍵安全的發送至作業裝置 。而管理裝置的通訊單元是對於保存表示作業裝置使用者 屬性的屬性資訊、和表示爲了發送共通鍵所必要的作業裝 置使用者屬性條件的條件資訊，且作業裝置要求共通鍵的 情形下，讀出使用者的屬性資訊與共通鍵的條件資訊，且 -43- (39) 1258650 限於歸於讀出的條件資訊的條件滿足歸於讀出的屬性資訊 的屬性的情形下，將共通鍵發送至作業裝置，就能限定於 {乍^裝置的指定使用者來發送共通鍵。 而作業裝置的解碼單元是記憶著限制作業裝置的通訊 單元接收使用共通鍵的規則，且按照記億的規則，來限制 使用作業裝置的通訊單元所接收的共通鍵，就能在作業裝 置安全的管理共通鍵。 而作業裝置的輸出入單元是記憶著限制作業裝置的解 碼單元所解碼的機器資訊的使用的規則，且按照記憶的規 則，限制作業裝置的解碼單元所解碼的機器資訊的使用， 就能在作業裝置安全的管理解碼的機器資訊。而作業裝置 的輸出入單元是以使用動畫來輸出記億的機器資訊的方式 ，無法直接用肉眼看見的產業用機器的動作就能以視覺性 加以分析。而作業裝置的輸出入單元是以使用定時圖來輸 出記憶的機器資訊的方式，無法直接用肉眼看見的產業用 機器的動作就能由動作定時觀點進行分析。而作業裝置的 輸出入單元是以將記憶的複數機器資料重疊在定時圖上並 輸出至輸出裝置的方式，就能進行複數產業用機器的動作 的比較，或同一產業用機器不同時刻的動作的比較而加以 分析。 而作業裝置的輸出入單元是針對作業裝置的輸出入單 元輸出的機器資訊，而生成表示作業裝置的使用者進行的 操作內容的信號資訊，作業裝置的通訊單元是將作業裝置 的輸出入單元所生成的信號資訊，發送至發送共通鍵的管 -44- (40) 1258650 理裝置，管理裝置的通訊單元是接收發送共通鍵的作業裝 置所發送的信號資訊，管理裝置的輸出入單元是以輸出管 理裝置的通訊單元接收的信號資訊的全部或一部分的方式 ，管理裝置的使用者就能掌握作業裝置的使用者針對解碼 的機器資訊進行操作的內容。而作業裝置的輸出入單元是 以生成表示作業裝置的使用者指定故障原因的信號資訊的 方式，管理裝置的使用者就能掌握是否能指定分析結果的 故障結果。 而作業裝置的輸出入單元是是接受作業裝置的使用者 以指定事象作爲故障原因進行判斷的理由，將接受的理由 儲存在信號資訊的方式，管理裝置的使用者就能掌握故障 原因的判斷理由。而作業裝置的輸出入單元是以生成表示 作業裝置的使用者取消作業裝置的解碼單元所記憶的共通 鍵的信號資訊的方式，管理裝置的使用者就能掌握取消發 送至作業裝置的共通鍵。而作業裝置的輸出入單元是以生 成表示作業裝置的使用者取消作業裝置的輸出入單元所記 憶的機器資訊的信號資訊的方式，管理裝置的使用者就能 掌握在作業裝置所解碼的機器資訊。 而作業裝置的通訊單元是以記憶著作業裝置的輸出入 單元生成的信號資訊發送至管理裝置的規則，且按照記憶 的規則，將作業裝置的輸出入單元生成的信號資訊發送至 管理裝置的方式，就能靈活變更發送指定信號資訊的規則 。而作業裝置的通訊單元是以記憶著表示將作業裝置的使 用者指定故障原因的信號資訊，發送至發送共通鍵的管理 -45- 1258650 (41) 裝置的規則的信號發送規則的方式，管理裝置的使用者就 能掌握是否能指定分析結果的故障結果。而作業裝置的通 訊單元是以記憶著表示以指定事象作爲故障原因進行判斷 的理由的信號資訊發送至發送共通鍵的管理裝置的規則的 信號發送規則的方式，管理裝置的使用者就能掌握故障原 因的判斷理由。而作業裝置的通訊單元是以記憶著表示將 作業裝置的使用者取消作業裝置的解碼單元所記憶的共通 鍵的信號資訊發送至發送共通鍵的管理裝置的規則的信號 發送規則的方式，管理裝置的使用者就能掌握取消發送至 作業裝置的共通鍵。 而作業裝置的輸出入單元是以記憶著表示將作業裝置 的使用者取消作業裝置的輸出入單元所記憶的機器資訊的 信號資訊發送至發送共通鍵的管理裝置的規則的信號發送 規則的方式，管理裝置的使用者就能掌握取消在作業裝置 所解碼的機器資訊。 而作業裝置是具有登錄與識別產業用機器的資訊、和 使用作爲指定故障原因的密碼機器資訊、和針對故障的因 應方法相關的登錄單元的方式，且作業裝置的輸出入單元 是以參照登錄單元而輸出針對該故的因應方法的方式，作 業裝置的使用者就能彼此共有有關於分析故障原因的方法 的知識。 詳細說明本發明的第三實施形態。第20圖是表示適 用本發明的半導體製造檢查裝置的遙控保養系統構成的方 塊圖。第一實施形態是透過網際網路來連接設置半導體製 -46 - (42) 1258650 造檢查裝置的複數製造工廠和設置作業裝置的保養中心， 且在產業用機器的使用者許可的範圍內，儲存在每個產業 用機器的機器資訊就能安全的對保養員公開，但第三實施 形態是更加上透過網際網路來連接設置半導體製造檢查裝 置的製造工廠和設置作業裝置的複數保養中心，且在半導 體製造檢查裝置的使用者許可的範圍內，將儲存在每個半 導體製造檢查裝置的機器資訊就能安全的對於配合發生故 障的半導體製造檢查裝置的保養員公開。 第20圖所示的系統是分別表示兩個保養中心110, 但實際上也可爲兩個以上的保養中心110。而保養中心 110可爲屬於互不相同的保養賣方的保養中心，也可爲屬 於同一保養賣方的保養中心。 適用本發明的系統是於設置在製造工廠120的半導體 製造檢查裝置123的通訊部131追加以下說明的新機能， 但除此以外的各裝置構成方面是與第一實施形態所說明者 一樣。 半導體製造檢查裝置123的通訊部131係具有對於定 期監視半導體製造檢查裝置1 23的作業狀況，且檢查發生 故障的情形下，按照所定的規則，選定從半導體製造檢查 裝置1 23讀出的一個以上的機器資料，且讀出選定的機器 資料的機能。通訊部1 3 1是具有針對讀出的各機器資料生 成機器資料ID、共通鍵、共通鍵公開條件，且將該些資 料登錄在互相關連的共通鍵管理表格的機能。通訊部131 也具有將讀出的各機器資料，使甩生成的共通鍵加以密碼 -47- (43) 1258650 ，且生成由所生成的機器資料ID、密碼機器資 發送規則所構成的機器資料封包的機能。通訊部 有生成儲存著半導體製造檢查裝置123的裝置 障的錯誤碼、生成的一個以上的機器資料封包的 的機能。通訊部13 1也具有按照所定的規則來 生成的委託保養的保養中心11 〇，且將委託保養 定的保養中心110的管理裝置112的機能。 再者，通訊部1 3 1是考慮各種決定發送委託 業裝置的規則。例如事先記憶著表示前述各作業 所得的保養作業品質的品質資訊，且根據記憶的 決定發送委託保養的作業裝置的規則，或根據品 定發送委託保養的作業裝置的候補，且由該候補 體製造檢查裝置的使用者選擇的作業裝置作爲發 養的作業裝置而加以決定的規則等。 從通訊部1 3 1接收委託保養的作業裝置11 3 讀出操作回應情形一樣的，於保養員指定的外部 的檔案儲存委託保養，且針對儲存於所儲存的委 各機器資料封包進行顯表。 接著，針對由半導體製造檢查裝置123發送 置1 1 3的委託保養構造做說明。第2 1圖是表示 的資料構成例。委託保養410是指爲了委託保養 製造檢查裝置123發送至作業裝置113的訊息 ID411、錯誤碼412、機器資料封包413、· · · 。機器資料封包4 1 3的項目可爲複數項。 料、信號 131也具 ID、該故 委託保養 決定發送 發送至決 保養的作 裝置提供 品質資訊 質資訊選 中以半導 送委託保 是與接數 記憶裝置 託保養的 至作業裝 委託保養 從半導體 ，由裝置 等所構成 -48 - 1258650 (44) 於裝置ID411儲存著表示檢查故障發生的半導體製造 檢查裝置123的識別子的資料。於錯誤碼412儲存著表示 故障徵狀的資料。於機器資料封包4 1 3儲存著爲了分析故 障原因所使用的機器資料封包。再者，也可在委託保養附 加故障檢查日期、半導體製造工廠ID、半導體製造檢查 裝置類別等項目。 第22圖是於第6圖所示的分析狀況管理表格管加根 據保養內容所演算的等價金額，並從保養中心1 1 0的管理 裝置112發送至半導體製造工廠120的管理裝置122，支 付確認上的等價。 於分析狀況管理表格420的各行是由分析作業ID421 、機器資料ID 422、記錄日期423、保養員類別424、保 養員IDG5、內容426、金額427所構成。於分析作業 IDGl儲存著表示分析作業識別子的資料。於機器資料 IDG2儲存著表示屬於分析對象的機器資料識別子的資料 。於記錄日期423儲存著表示記錄過程的日期的資料。於 保養員類別424儲存著表示進行分析作業的保養員的類別 的資料。於保養員IDU5儲存著表示進行分析作業的分析 員識別子的資料。於內容426儲存著表示著手分析通知、 分析操作、分析完成通知的內容的資料。於金額4 2 7儲存 著配合分析內容而演算的等價金額。 接著’針對有關第20圖所示的半導體製造檢查裝置 123的保養的處理流程做說明。第23圖是表示半導體製 造檢查裝置1 23將委託保養發送至作業裝置1 χ 3時的動作 -49- 1258650 (45) 流程圖。通訊D i 3 i是藉由定期實行該流程圖所示的處理 ’定期監視半導體製造檢查裝置123的作業狀況。 首先通訊部131是確認檢查是否在半導體製造檢查裝 置123發生故障（步驟431、432)，檢查發生故障時，即按 照所定的規則’選定從半導體製造檢查裝置1 23讀出的機 器資料（步驟433) ’未檢查出發生故障時，即結束處理（步 驟 439)。 檢查發生故障時，通訊部13 1是讀出選定的一個以上 的機器資料（步驟434)。其次，通訊D131是針對讀出的 各機器資料，生成機器資料ID、共通鍵、共通鍵公開條 件’將該些資料登錄在互相關連的共通鍵管理表格（步驟 435)。其次，通訊部131是生成儲存著半導體製造檢查裝 置123的裝置ID、該故障的錯誤碼、生成一個以上的機 器資料封包的委託保養（步驟436)。通訊部131是按照所 定的規則來決定發送所生成的委託保養的保養中心110( 步驟43 7)。對決定的保養中心110的管理裝置112發送 委託保養（步驟43 8)，結束處理（步驟439)。 如上’於本實施形態的系統中，屬於實行指定處理的 一個以上的產業用機器、和保養產業用機器的一個以上的 作業裝置是透過網際網路來連接的遙控保養系統，產業用 機器係具備有密碼單元、決定單元、通訊單元以及輸出入 單元。密碼單元是使用指定的共通鍵加以密碼表示產業用 機益71犬悲的機器資訊。決定單元是決疋發送屬於密碼單元 所密碼的機器資訊的密碼機器資訊的作業裝置。通訊單元 •50- 1258650 (46) 是將密碼單元密碼的密碼機器資訊發送至決定單元決定的 作業裝置’且配合來自接收密碼機器資訊的作業裝置的要 求’來發送對密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵。輸 出入單元是輸出表示產業用機器對作業裝置發送共通鍵的 過程的全部或一部分。作業裝置係具備有通訊單元、解碼 單元以及輸出入單元。通訊單元係接收產業用機器的通訊 單元發送的密碼機器資訊，且產業用機器要求接收對密碼 機器資訊加以密碼時所用的共通鍵。解碼單元是記憶著作 業裝置通訊單元接收的共通鍵，且使用記憶的共通鍵來解 碼密碼機器資訊。輸出入單元是記憶著解碼單元解碼的機 器資訊，且輸出記憶的機器資訊的全部或一部分。 因而在產業用機器的使用者許可的範圍內，能將儲存 在每個產業用機器的機器資訊，安全的對配合發生故障的 產業用機器的保養員公開。 而產業用機器的決定單元是記憶著表示各作業裝置提 供所得的保養作業的品質的品質資訊，且根據記億的品質 資訊是決定發送表示委託保養的委託保養的至少一個以上 的作業裝置，且產業用機器的通訊單元是以對產業用機器 的決定單元決定的作業裝置發送委託保養與密碼機器資訊 的方式，就能配合各作業裝置提供所得的保養作業品質加 以委託保養。 而產業用機器的決定單元是生成發送委託保養的至少 一個的作業裝置的候補，且產業用機器的輸出入單元是輸 出產業用機器的決定單元生成的候補，產業用機器的決定 -51 - (47) 1258650 單元是以從產業用機器的輸出入單元輸出的候補中，以產 業用機器的使用者選擇的作業裝置作爲發送委託保養的作 業裝置來決定的方式，就能配合產業用機器的使用者的判 斷而靈活的委託保養。 以上說明第三實施形態，但除此以外本發明也能變形 。第四實施形態是將第三實施形態加以變形。第三實施形 悲是在產業用機器的使用者許可的範圍內，能將儲存在每 個產業用機器的機器資訊，對配合發生故障的產業用機器 的保養員安全的公開，但第四實施形態能以管理裝置單一 性的進行配合儲存在每個產業用機器的機器資訊的保養員 的公開和機器資訊的安全性的管理。適用本發明的系統是 於設置在製造工廠120的管理裝置122管加以下說明的新 機能’但就除此以外的各裝置構成來看是與第三實施形態 所說明者一樣的。 於第19圖中，管理裝置122的通訊部401是具有對 於定期監視半導體製造檢查裝置123的作業狀況，且檢查 發生故障的情形，按照所定的規則選定從該半導體製造檢 查裝置1 23讀出的機器資料，且將讀出該機器資料的讀出 操作發送至半導體製造檢查裝置123的機能。 通訊部4〇 1也具有一旦接收到回應讀出操作而從半導 體製造檢查裝置1 23發送的各讀出操作回應，即對儲存在 接收的讀出操作回應的機器資料，生成機器資料ID、共 通鍵、共通鍵公開條件，且將該些資料登錄在互相關連的 共通鍵管理表格的的機能。 -52- 1258650 (48) 通訊部401也具有使用生成的共通鍵對儲存在讀出操 作回應的機器資料加以密碼，生成由生成的機器資料ID 、密碼機益1貝料、ί目號發迭規則所構成的機器資料封包， 且生成儲存著該半導體製造檢查裝置123的裝置ID、該 故障的錯灰碼、一個以上的機益資料封包的委託保養的機 肯t 。 通訊部40 1也具有按照所定的規則來決定發送生成的 委託保養的裝置賣方，對決定的裝置賣方的管理裝置112 發送委託保養的機能。 再者通訊部401是考慮各種選定發送委託保養的作 業裝置的規則。例如事先記憶著表示前述各作業裝置提供 所得的保養作業品質的品質資訊，且根據記憶的品質資訊 來決定發送委託保養的作業裝置的規則，或根據品質資訊 選定發定委託保養的作業裝置的候補，且考慮從該候補中 以管理裝置的使用者選擇的作業裝置作爲發送委託保養的 作業裝置而決定的規則等。 從通訊部1 3 1接收委託保養的作業裝置1 1 3是與接收 讀出操作回應時同樣的，於保養員指定的外部記憶裝置的 檔案儲存委託保養，且針對儲存在委託保養的各機器資料 封包進行顯示。 從管理裝置122發送至作業裝置113的委託保養構造 是與第三實施形態所說明者一樣的，故省略說明。 管理裝置122將委託保養發送至作業裝置113時的 動作是與第Η實施形態所說明的半導體製造檢查裝置123 -53- 1258650 (49) 一樣的，故省略說明。 如上，就本實施形態的系統來看，是屬於實行指定處 理的一個以上的產業用機器、和管理從產業用機器發送的 資訊的管理裝置、和保養產業用機器的一個以上的作業裝 置是透過網際網路而連接的遙控保養系統，而產業用機器 係具備有將表示產業用機器狀態的機器資訊發送至管理裝 置的通訊單元。管理裝置係具備有密碼單元、決定單元、 通訊單元以及輸出入單元。密碼單元是使用指定的共通鍵 來密碼產業用機器的通訊單元發送的機器資訊。決定單元 是決定發送屬於密碼單元密碼的機器資訊的密碼機器資訊 的作業裝置。通訊單元是將密碼單元所密碼的密碼機器資 訊發送至決定單元決定的作業裝置，且配合來自接收密碼 機器資訊的作業裝置的要求，發送對密碼機器資訊加以密 碼時所用的共通鍵。輸出入單元是輸出表示管理裝置對作 業裝置發送共通鍵的過程的全部或一部分。作業裝置係具 備有通訊單元、解碼單元以及輸出入單元。通訊單元是接 收管理裝置的通訊單元發送的密碼機器資訊，要求管理裝 置接收對密碼機器資訊加以密碼的共通鍵。解碼單元是記 憶著作業裝置的通訊單元接收的共通鍵，且使用記憶的共 通鍵對密碼機器資訊加以解碼。輸出入單元是記憶著解碼 單元解碼的機器資訊，輸出記憶的機器資訊的全部或一部 分。 因而能以管理裝置單一性的進行對配合儲存在每個產 業用機器的機器資訊的保養員的公開和機器資訊安全性的 -54- (50) 1258650 管理。 而管理裝置的決定單元是記憶著表示各作業裝置提供 所得的保養作業品質的品質資訊，且根據記憶的品質資訊 來決定發送表示委託保養的委託保養的至少一個以上的作 業裝置，管理裝置的通訊單元是以對管理裝置的決定單元 決定的作業裝置發送委託保養與密碼機器資訊的方式，就 能配合各作業裝置提供所得的保養作業屬性來委託保養。 而管理裝置的決定單元是生成發送委託保養的至少一 個的作業裝置的候補，管理裝置的輸出入單元是輸出管理 裝置的決定單元生成的候補，管理裝置的決定單元是以從 管理裝置的輸出入單元輸出的候補中，以管理裝置的使用 者選擇的作業裝置作爲發送委託保養的作業裝置來決定的 方式，就能配合管理裝置的使用者的判斷而靈活委託保養 〇 於以下表示本發明的各實施形態的特徵。 (1)於實行指定處理的一個以上的產業用機器和保養 產業用機器的作業裝置是透過網際網路而連接的遙控保養 系統中，前述產業用機器係具有：對表示產業用機器狀態 的機器資訊使用指定的共通鍵加以密碼的密碼單元、和將 屬於前述密碼單元密碼的機器資訊的密碼機器資訊配合來 自前述作業裝置的要求而發送至前述作業裝置，且將對前 述密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵配合來自接收密 碼機器資訊的前述作業裝置的要求而發送的通訊單元、和 輸出表示前述產業用機器對前述作業裝置發送共通鍵的過 -55- 1258650 (51) 程的全部或一部分的輸出入單元，且前述作業裝置 :前述接收產業用機器的通訊單元發送的密碼機器 且前述產業用機器要求接收前述密碼機器資訊加以 所用的共通鍵的通訊單元、和前述記憶著作業裝置 單元接收的共通鍵，且使用記憶的共通鍵對密碼機 加以解碼的解碼單元、和前述記憶著解碼單元解碼 資訊，且輸出記憶的機器資訊的全部或一部分的輸 元爲特徵的遙控保養系統。 (2) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述產業用 輸出入單元是將前述密碼機器資訊輸出至記憶媒體 述作業裝置的輸出入單元是由記億媒體輸入前述產 器的輸出入單元輸出的密碼機器資訊爲特徵的遙控 統。 (3) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述產業用 通訊單元是使用與前述作業裝置相關的公開鍵加以 發送共通鍵，且前述作業裝置的通訊單元是使用與 開鍵相關的秘密鍵加以解碼由前述產業用機器的通 接收的共通鍵爲特徵的遙控保養系統。 (4) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述產業用 通訊單元是保存表示前述作業裝置的使用者屬性的 訊和表示爲了發送共通鍵所必要的前述作業裝置的 屬性條件的條件資訊，且由前述作業裝置要求共通 形下，讀出前述使用者的屬性資訊與共通鍵的條件 且限於歸於所讀出條件資訊的條件滿足歸於所讀出 係具有 資訊， 密碼時 的通訊 器資訊 的機器 出入單 機器的 ，且前 業用機 保養系 機器的 密碼來 前述公 訊單元 機器的 屬性資 使用者 鍵的情 資訊， 的屬性 -56- (52) 1258650 資訊的屬性的情形下，將共通鍵發送至前述作業裝置爲特 徵的遙控保養系統。 (5) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的解 碼單元是記憶著對前述作業裝置的通訊單元接收的共通鍵 限制操作的規則，且依照記憶的規則對前述作業裝置的通 訊單元接收的共通鍵進行限制操作爲特徵的遙控保養系統 〇 (6) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的輸 出入單元是記憶著對前述作業裝置的解碼單元解碼的機器 資訊限制操作的規則，且依照記億的規則對前述作業裝置 的解碼單元解碼的機器資訊進行限制操作爲特徵的遙控保 養系統。 (7) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的輸 出入單元是用動畫來輸出記憶的前述機器資訊爲特徵的遙 控保養系統。 (8) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的輸 出入單元是用定時圖來輸出記憶的前述機器資訊爲特徵的 遙控保養系統。 (9) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的輸 出入單元是將記憶的複數前述機器資料重疊在定時圖上並 輸出至輸出裝置爲特徵的遙控保養系統。 (1 〇)於（1)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的輸 出入單元是針對前述作業裝置的輸出入單元輸出的機器資 訊，生成表示前述作業裝置的使用者進行的操作內容的信 •57· 1258650 (53) 號資訊，且前述作業裝置的通訊單元是將前述作業裝置的 輸出入單元生成的信號資訊發送至發送共通鍵的產業用機 器’且前述產業用機器的通訊單元是接收發送共通鍵的作 業裝置發送的信號資訊，且前述產業用機器的輸出入單元 是輸出前述產業用機器的通訊單元接收的信號資訊的全部 或一部分爲特徵的遙控保養系統。 (11) 於（10)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是生成表示前述作業裝置的使用者指定故障原 因的信號資訊爲特徵的遙控保養系統。 (12) 於（11)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是接受前述作業裝置的使用者以指定事象作爲 故障原因而加以判斷的理由，且將接受的理由儲存在信號 資訊爲特徵的遙控保養系統。 (13) 於（11)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是生成表示前述作業裝置的使用者取消前述作 業裝置的解碼單元記憶的共通鍵的信號資訊爲特徵的遙控 保養系統 (14) 於（11)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是生成表示前述作業裝置的使用者取消前述作 業裝置的輸出入單元記憶的機器資訊的信號資訊爲特徵的 遙控保養系統。 (15) 於（10)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 通訊單元是記憶著表示將前述作業裝置的輸出入單元生成 的信號資訊發送至產業用機器的規則的信號發送規則，且 -58- 1258650 (54) 依照記憶的信號發送規則將前述作業裝 成的信號資訊發送至產業用機器爲特徵 (1 6 )於（1 5 )記載的遙控保養系統中 通訊單元是記憶著表示將表示前述作業 故障原因的信號資訊發送至發送前述共 的規則的信號發送規則爲特徵的遙控保 (17) 於（16)記載的遙控保養系統中 通訊單元是記憶著表示將表示以指定事 判斷的理由的信號資訊發送至發送前述 器的規則的信號發送規則爲特徵的遙控 (18) 於（15)記載的遙控保養系統中 通訊單元是記憶著表示將表示前述作業 前述作業裝置的解碼單元記憶的共通鍵 發送前述共通鍵的產業用機器的規則的 徵的遙控保養系統。 (19) 於（15)記載的遙控保養系統中 輸出入單元是記憶著表示將前述作業裝 述作業裝置的輸出入單元記憶的機器資 至發送前述共通鍵的產業用機器的規則 特徵的遙控保養系統。 (20) 於（1)記載的遙控保養系統中， 有：識別產業用機器的資訊、和爲了指 的密碼機器資訊、和與針對故障的因應 登錄單元，且前述作業裝置的輸出入單 置的輸出入單元生 的遙控保養系統。 ，前述作業裝置的 裝置的使用者指定 通鍵的產業用機器 養系統。 ，前述作業裝置的 象作爲故障原因而 共通鍵的產業用機 保養系統。 ，前述作業裝置的 裝置的使用者取消 的信號資訊發送至 信號發送規則爲特 ，前述作業裝置的 置的使用者取消前 訊的信號資訊發送 的信號發送規則爲 前述作業裝置係具 定故障原因所使用 方法相關而登錄的 元是參照登錄單元 -59· (55) 1258650 而輸出針對該故障的因應方法爲特徵的遙控保養系統。 (21) 於（1)記載的遙控保養系統中，前述產業用機器是 屬於半導體製造檢查裝置爲特徵的遙控保養系統。 (22) 在由透過網際網路而連接的作業裝置以遙控接受 保養作業的產業用機器中，具有：將表示產業用機器狀態 的機器資訊使用指定的共通鍵加以密碼的密碼單元、和將 屬於前述密碼單元密碼的機器資訊的密碼機器資訊配合來 自前述作業裝置的要求而發送至前述作業裝置，且將對前 述密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵配合來自接收密 碼機器資訊的前述作業裝置的要求來發送的通訊單元、和 輸出表示前述產業用機器對前述作業裝置發送共通鍵的過 程的全部或一部分的輸出入單元爲特徵的產業用機器。 (23) 於（2 2)記載的產業用機器中，前述輸出入單元是 將輸入至前述作業裝置的密碼機器資訊輸出至記憶媒體爲 特徵的產業用機器。 (24) 於（2 2)記載的產業用機器中，前述通訊單元是使 用與前述作業裝置相關的公開鍵加以密碼來發送前述共通 鍵爲特徵的產業用機器。 (25) 於（2 2)記載的產業用機器中，前述通訊單元是保 存表示前述作業裝置的使用者屬性的屬性資訊和表示爲了 發送共通鍵所必要的前述作業裝置的使用者的屬性條件的 條件資訊’且由前述作業裝置要求共通鍵的時候，讀出前 述使用者的屬性資訊與共通鍵的條件資訊，且限於在歸於 所讀出的條件資訊的條件滿足歸於屬性資訊的屬性的時候 -60· (56) 1258650 ，將共通鍵發送至前述作業裝置爲特徵的產業用機器。 (26) 於（2 2)記載的產業用機器中，前述通訊單元是由 發送共通鍵的作業裝置來接收表示前述作業裝置的使用者 針對機器資訊而進行的操作內容的信號資訊，前述輸出入 單元是輸出前述通訊單元接收的信號資訊的全部或一部分 爲特徵的產業用機器。 (27) 於（26)記載的遙控保養系統中，前述通訊單元是 接收表示前述作業裝置的使用者指定故障原因的信號資訊 爲特徵的產業用機器。 (28) 於（27)記載的遙控保養系統中，前述通訊單元是 接收表示前述作業裝置的使用者以指定事象作爲故障原因 而判斷的理由的信號資訊爲特徵的產業用機器。 (29) 於（2 6)記載的產業用機器中，前述通訊單元是接 收表示前述作業裝置的使用者取消前述作業裝置記億的共 通鍵的信號資訊爲特徵的產業用機器。 (30) 於（26)記載的產業用機器中，前述通訊單元是接 收表示前述作業裝置的使用者取消前述作業裝置記憶的機 器資訊的信號資訊爲特徵的產業用機器。 (31) 在以遙控保養透過網際網路而連接的產業用機器 的作業裝置中，具有：由前述產業用機器接收屬於將表示 前述產業用機器狀態的機器資訊使用指定的共通鍵加以密 碼的資訊的密碼機器資訊，且前述產業用機器要求接收對 前述密碼機器訊加以密碼時所用的共通鍵的通訊單元、和 記憶著前述通訊單元接收的共通鍵，且使用記憶的共通鍵 -61 · 1258650 (57) 對密碼機器資訊加以解碼的解碼單元、和前述記憶著解碼 單兀解碼的機器資訊，且輸出記憶的機器資訊的全部或一 部分的輸出入單元爲特徵的作業裝置。 (32) 於（31)記載的作業裝置中，前述輸出入單元是從 記憶媒體輸入前述產業用機器輸出的密碼機器資訊爲特徵 的作業裝置。 (33) 於（3 1)記載的作業裝置中，前述通訊單元是將由 前述產業用機器接收的共通鍵，使用與作業裝置有關的秘 密鍵加以解碼爲特徵的作業裝置。 (34) 於（31)記載的作業裝置中，前述解碼單元是記憶 著對前述通訊單元接收的共通鍵進行限制操作的規則，且 依照記憶的規則，對前述通訊單元接收的共通鍵進行限制 操作爲特徵的作業裝置。 (35) 於（3 1)記載的作業裝置中，前述輸出入單元是記 億著對前述解碼單元解碼的機器資訊進行限制操作的規則 ，且依照記憶的規則，對前述解碼單元解碼的機器資訊進 行限制操作爲特徵的作業裝置。 (36) 於（3 1)記載的作業裝置中，前述輸出入單元是用 動畫來輸出所記憶的前述機器資訊爲特徵的作業裝置。 (37) 於（3 1)記載的作業裝置中，前述輸出入單元是用 定時圖來輸出所記憶的前述機器資訊爲特徵的作業裝置。 (3 8)於（3 1)記載的作業裝置中，前述輸出入單元是將 記憶的複數前述機器資料重疊在定時圖上並輸出至輸出裝 置爲特徵的作業裝置。 -62- (58) 1258650 (39) 於（31)記載的作業裝置中，前 前述輸出入單元輸出的機器資訊生成表 使用者進行的操作內容的信號資訊，且 前述輸出入單元生成的信號資訊發送至 用機器爲特徵的作業裝置。 (40) 於（31)記載的作業裝置中，前 表示前述作業裝置的使用者指定故障原 徵的作業裝置。 (41) 於（40)記載的作業裝置中，前 受前述作業裝置的使用者以指定事象作 的理由，將接受的理由儲存在信號資訊 〇 (42) 於（31)記載的作業裝置中，前 成表示前述作業裝置的使用者取消前述 元記憶的共通鍵的信號資訊爲特徵的作 (43) 於（31)記載的作業裝置中，前 成表示前述作業裝置的使用者取消前述 單元記憶的機器資訊的信號資訊爲特徵 (44) 於（31)記載的作業裝置中，前 著將前述輸出入單元生成的信號資訊發 規則，且依照記憶的規則，將前述作業 生成的信號資訊發送至產業用機器爲特 (45) 於（44)記載的作業裝置中，前 著表示將表示前述作業裝置的使用者指 述輸出入單元是對 示前述作業裝置的 前述通訊單元是將 發送共通鍵的產業 述輸出入單元是生 因的信號資訊爲特 述輸出入單兀是接 爲故障原因而判斷 爲特徵的作業裝置 述輸出入單元是生 作業裝置的解碼單 業裝置。 述輸出入單元是生 作業裝置的輸出入 的作業裝置。 述通訊單元是記憶 送至產業用機器的 裝置的輸出入單元 徵的作業裝置。 述通訊單元是記憶 定故障原因的信號 •63- (59) 1258650 資訊發送至發送前述共通鍵的產業用機器的規則的信 送規則爲特徵的作業裝置。 (46) 於（45)記載的作業裝置中，前述通訊單元是 著表示將表示指定事象作爲故障原因而判斷的理由的 資訊發送至發送前述共通鍵的產業用機器的規則的信 送規則爲特徵的作業裝置。 (47) 於（45)記載的作業裝置中，前述通訊單元是 著表示將表示前述作業裝置的使用者取消前述解碼單 億的共通鍵的信號資訊發送至發送前述共通鍵的產業 器的規則的信號發送規則爲特徵的作業裝置。 (48) 於（45)記載的作業裝置中，前述輸出入單元 憶著表示將表示前述作業裝置的使用者取消前述輸出 元記憶的機器資訊的信號資訊發送至發送前述共通鍵 業用機器的規則的信號發送規則爲特徵的作業裝置。 (49) 於（31)記載的作業裝置中，前述作業裝置係 :識別產業用機器的資訊、和爲了指定故障原因所使 密碼機器資訊、和與針對故障的因應方法有關而登錄 錄單元，且前述輸出入單元是參照登錄單元而輸出針 故障的因應方法爲特徵的作業裝置。 (5 0)在實行指定處理的一個以上的產業用機器、 理由產業用機器發送的資訊的管理裝置、和保養產業 器的作業裝置是透過網際網路而連接的遙控保養系統 前述產業用機器係具有將表示產業用機器狀態的機器 發送至前述管理裝置的通訊單元’且前述管理裝置是 號發 記億 信號 號發 記憶 元記 用機 是記 入單 的產 具有 用的 的登 對該 和管 用機 中， 資訊 將前 -64 - (60) 1258650 述產業用機器發送的機器資訊使用指定的共通鍵加以密碼 的密碼單元、和將屬於前述密碼單元密碼的機器資訊的密 碼機器資訊配合來自前述作業裝置的要求而發送至前述作 業裝置’且將對密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵配 合來自接收密碼機器資訊的前述作業裝置的要求而發送的 通訊單元、和輸出前述管理裝置對前述作業裝置發送共通 鍵的過程的全部或一部分的輸出入單元，且前述作業裝置 係具有··接收前述管理裝置的通訊單元發送的密碼機器資 訊’且前述管理裝置要求接收對前述密碼機器資訊加以密 碼時所用的共通鍵的通訊單元、和記憶著前述作業裝置的 通訊單元接收的共通鍵，且使用記憶的共通鍵對密碼機器 資訊加以解碼的解碼單元、和記憶著前述解碼單元解碼的 機器資訊，且輸出記憶的機器資訊的全部或一部分的輸出 入單元爲特徵的遙控保養系統。 (5 1)於（5 0)記載的遙控保養系統中，前述管理裝置的 輸出入單元是將前述密碼機器資訊輸出至記憶媒體，且前 述作業裝置的輸出入單元是從記憶媒體輸入前述管理裝置 的輸出入單元輸出的密碼機器資訊爲特徵的遙控保養系統 c (52)於（5 0)記載的遙控保養系統中，前述管理裝置的 通訊單元使用與前述作業裝置有關的公開鍵加以密碼來發 送共通鍵’且前述作業裝置的通訊單元是將前述產業用機 器的通訊單元接收的共通鍵使用與前述公開鍵有關的秘密 鍵加以解碼爲特徵的遙控保養系統。 *65· (61) 1258650 (53)於（50)記載的遙控保養系統中，前述管理裝置的 通訊單元是保存表示前述作業裝置的使用者屬性的屬性資 訊和表示爲了發送共通鍵所必要的前述作業裝置的使用者 的屬性條件的條件資訊，且由前述作業裝置要求共通鍵的 時候，讀出前述使用者的屬性資訊與共通鍵的條件資訊， 且限於在歸於所讀出的條件資訊的條件滿足歸於所讀出的 屬性資訊的屬性的時候，將共通鍵發送至前述作業裝置爲 特徵的遙控保養系統。 (5 4)於（5 0)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 解碼單元是記憶著對前述作業裝置的通訊單元接收的共通 鍵進行限制操作規則，且依照記憶的規則對前述作業裝置 的通訊單元接收的共通鍵進行限制操作爲特徵的遙控保養 系統。 (5 5)於（5 0)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是記憶著對前述作業裝置的解碼單元解碼的機 器資訊進行限制操作的規則，且依照記憶的規則對前述作 業裝置的解碼單元解碼的機器資訊進行限制操作爲特徵的 遙控保養系統。 (5 6)於（50)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是用動畫來輸出記憶的前述機器資訊爲特徵的 遙控保養系統。 (5 7)於（5 0)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是用定時圖來輸出記憶的前述機器資訊爲特徵 的遙控保養系統。 _ 66 · (62) 1258650 (58) 於（50)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是將記憶的複數前述機器資料重疊在定時圖上 並輸出至輸出裝置爲特徵的遙控保養系統。 (59) 於（50)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是針對前述作業裝置的輸出入單元輸出的機器 資訊生成表示前述作業裝置的使用者進行的操作內容的信 號資訊，且前述作業裝置的通訊單元是將前述作業裝置的 輸出入單元所生成的信號資訊發送至發送共通鍵的管理裝 置，且前述管理裝置的通訊單元是接收發送共通鍵的作業 裝置發送的信號資訊，且前述管理裝置的輸出入單元是輸 出前述管理裝置的通訊單元接收的信號資訊的全部或一部 分爲特徵的遙控保養系統。 (60) 於（59)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是生成表示前述作業裝置的使用者指定故障原 因的信號資訊爲特徵的遙控保養系統。 (6 1)於（5 9)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 _出入單元是接受前述作業裝置的使用者以指定事象作爲 故障原因而判斷的理由，將接受的理由儲存在信號資訊爲 特徵的遙控保養系統。 (62) 於（59)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是生成表示前述作業裝置的使用者取消前述作 業裝置的解碼單元記憶的共通鍵的信號資訊爲特徵的遙控 保養系統。 (63) 於（5 9)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 •67- (63) 1258650 輸出入單元是生成表示前述作業裝置的使用者取消前述作 業裝置的輸出入單元記憶的機器資訊的信號資訊爲特徵的 遙控保養系統。 (64) 於（5 0)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 通訊單元是記憶著將前述作業裝置的輸出入單元生成的信 號資訊發送至前述管理裝置的規則，且依照記憶的規則， 將前述作業裝置的輸出入單元生成的信號資訊發送至管理 裝置爲特徵的遙控保養系統。 (65) 於（64)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 通訊單元是記憶著表示將表示前述作業裝置的使用者指定 故障原因的信號資訊發送至發送前述共通鍵的管理裝置的 規則的信號發送規則爲特徵的遙控保養系統。 (6 6)於（64)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 通訊單元是記憶著表示將表示以指定事象作爲故障原因而 判斷的理由的信號資訊發送至發送前述共通鍵的管理裝置 的規則的信號發送規則爲特徵的遙控保養系統。 (6 7)於（6 4)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 通訊單元是記憶著表示將前述作業裝置的使用者取消前述 作業裝置的解碼單元記憶的共通鍵的信號資訊發送至發送 前述共通鍵的管理裝置的規則的信號發送規則爲特徵的遙 控保養系統。 (6 8)於（6 4)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置的 輸出入單元是記憶著表示將表示前述作業裝置的使用者取 消前述作業裝置的輸出入單元記憶的機器資訊的信號資訊 -68- 1258650 (64) 發送至發送前述共通鍵的管理裝置的規則的信號發送規則 爲特徵的遙控保養系統。 (69) 於（50)記載的遙控保養系統中，前述作業裝置係 具有：識別產業用機器的資訊、和爲了指定故障原因所使 用的密碼機器資訊、和與針對故障的因應方法相關而登錄 的登錄單元，且前述作業裝置的輸出入單元是參照登錄單 元而輸出針對該故障的因應方法爲特徵的遙控保養系統。 (70) 於（5 0)記載的遙控保養系統中，前述產業用機器 是屬於半導體製造檢查裝置爲特徵的遙控保養系統。 (71) 在管理由實行指定處理的一個以上的產業用機器 發送的資訊的管理裝置中，具有··將表示產業用機器狀態 的機器資訊使用指定的共通鍵加以密碼的密碼單元、和配 合來自透過網際網路而連接的作業裝置的要求，將屬於前 述密碼單元密碼的機器資訊的密碼機器資訊發送至前述作 業裝置，且配合來自接收密碼機器資訊的前述作業裝置的 要求來發送對前述密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵 的通訊單元、和輸出表示對前述作業裝置發送共通鍵的過 程的全部或一部分的輸出入單元爲特徵的管理裝置。 (7 2)於（7 1)記載的管理裝置中，前述輸出入單元是將 輸入至前述作業裝置的密碼機器資訊輸出至記憶媒體爲特 徵的管理裝置。 (73)於（7 1)記載的管理裝置中，前述通訊單元是使用 與前述作業裝置有關的公開鍵加以密碼來發送共通鍵爲特 徵的管理裝置。 -69 - 1258650 (65) (74) 於（71)記載的管理裝置中，前述通訊單元 表示前述作業裝置的使用者屬性的屬性資訊和表示 送共通鍵所必要的前述作業裝置的使用者的屬性條 件資訊，且由前述作業裝置要求共通鍵的時候，讀 使用者的屬性資訊與共通鍵的條件資訊，且限於在 讀出的條件資訊的條件滿足歸於所讀出的屬性資訊 的時候，將共通鍵發送至前述作業裝置爲特徵的管 〇 (75) 於（71)記載的管理裝置中，前述通訊單元 送共通鍵的作業裝置來接收表示前述作業裝置的使 對機器資訊進行的操作內容的信號資訊，且前述輸 元是以輸出前述通訊單元接收的信號資訊的全部或 爲特徵的管理裝置。 (76) 於（75)記載的管理裝置中，前述通訊單元 述作業裝置的使用者接收到表示指定故障原因的信 爲特徵的管理裝置。 (77) 於（75)記載的管理裝置中，前述通訊單元 表示前述作業裝置的使用者以指定事象作爲故障原 理由的信號資訊爲特徵的管理裝置。 (7 8)於（75)記載的管理裝置中，前述通訊單元 表示前述作業裝置的使用者取消前述作業裝置記憶 鍵的信號資訊爲特徵的管理裝置。 (7 9)於（75)記載的管理裝置中，前述通訊單元 表示前述作業裝置的使用者取消前述作業裝置記憶 是保存 爲了發 件的條 出前述 歸於所 的屬性 理裝置 是從發 用者針 出入單 一部分 是以前 號資訊 是接收 因判斷 是接收 的共通 是接收 的機器 •70- (66) 1258650 資訊的信號資訊爲特徵的管理裝置。 (80)屬於實行指定處理的一個以上的產業用機器、和 保養產業用機器的一個以上的作業裝置是透過網際網路而 連接的遙控保養系統中’則述產業用機器係具有：使用指 定的共通鍵對表示產業用機器狀態的機器資訊加以密碼的 密碼單元、和決定發送屬於前述密碼單元密碼的機器資訊 的密碼機器資訊的作業裝置的決定單元、和將密碼單元密 碼的密碼機器資訊發送至前述決定單元決定的作業裝置， 且配合來自接收前述密碼機器資訊的前述作業裝置的要求 ，來發送對前述密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵的 通訊單元、和輸出表示前述產業用機器對前述作業裝置發 送共通鍵的過程的全部或一部分的輸出入單元；前述作業 裝置係具有：接收前述產業用機器的通訊單元發送的密碼 機器資訊，且前述產業用機器要求接收對前述密碼機器資 訊加以密碼時所用的共通鍵的通訊單元、和記憶著前述作 業裝置的通訊單元接收的共通鍵，且使用記憶的共通鍵來 解碼密碼機器資訊的解碼單元、和記憶著前述解碼單元解 碼的機器資訊，且輸出記憶的機器資訊的全部或一部分的 輸出入單元爲特徵的遙控保養系統。 (8 1)於（80)記載的遙控保養系統中，前述產業用機器 的決定單元是記憶著表示前述各作業裝置提供所得的保養 作業品質的品質資訊，且根據記憶的品質資訊，來決定發 送表示委託保養的委託保養的至少一個以上的作業裝置， 前述產業用機器的通訊單元是對前述產業用機器的決定單 -71 - (67) 1258650 元決定的作業裝置發送委託保養與前述密碼機器資訊爲特 徵的遙控保養系統。 (8 2)於（8 0)記載的遙控保養系統中，而產業用機器的 決定單元是生成發送委託保養的至少一個的作業裝置的候 補，且產業用機器的輸出入單元是輸出產業用機器的決定 單元生成的候補，產業用機器的決定單元是以從產業用機 器的輸出入單元輸出的候補中，產業用機器的使用者以選 擇的作業裝置作爲發送委託保養的作業裝置來決定爲特徵 的遙控保養系統。 (83) 於（8 0)記載的遙控保養系統中，前述產業用機器 是屬於半導體製造檢查裝置爲特徵的遙控保養系統。 (84) 在由透過網際網路而連接的一個以上的作業裝置 以遙控接受保養作業的產業用機器中，前述產業用機器係 具有：對表示產業用機器狀態的機器資訊使用指定的共通 鍵加以密碼的密碼單元、和決定發送屬於前述密碼單元密 碼的機器資訊的密碼機器資訊的作業裝置的決定單元、和 將密碼單元密碼的密碼機器資訊發送至前述決定單元決定 的作業裝置，且配合來自接收密碼機器資訊的前述作業裝 置的要求，來發送對前述密碼機器資訊加以密碼時所用的 共通鍵的通訊單元、和輸出表示前述產業用機器對前述作 業裝置發送共通鍵的過程的全部或一部分的輸出入單元爲 特徵的產業用機器。 (85) 於（84)記載的產業用機器中，前述決定單元是記 憶著表示前述各作業裝置提供所得的保養作業品質的品質 -72- (68) 1258650 資訊，且根據前述產業用機器的通訊單元接收的品質資訊 ，來決定發送表示委託保養的委託保養的至少一個以上的 作業裝置，且前述通訊單元 是對前述產業用機器的決定 單元決定的作業裝置發送委託保養與前述密碼機器資訊爲 特徵的產業用機器。 (8 6)於（84)記載的產業用機器中，前述決定單元是生 成發送委託保養的至少一個的作業裝置的候補，且前述產 業用機器的輸出入單元是輸出前述決定單元生成的候補， 且前述決定單元是從前述輸出入單元輸出的候補中以前述 產業用機器的使用者選擇的產業用機器作爲發送委託保養 的作業裝置來決定爲特徵的產業用機器。 (8 7)於實行指定處理的一個以上的產業用機器、和管 理從產業用機器發送的資訊的管理裝置、和保養產業用機 器的一個以上的作業裝置是透過網際網路而連接的遙控保 養系統中，前述產業用機器係具有將表示產業用機器狀態 的機器資訊發送至前述管理裝置的通訊單元，且前述管理 裝置是對前述產業用機器的通訊單元發送的機器資訊使用 指定的共通鍵加以密碼的密碼單元、和決定發送屬於前述 密碼單元密碼的機器資訊的密碼機器資訊的作業裝置的決 定單元、和將前述密碼單元密碼的密碼機器資訊發送至決 定單元決定的前述作業裝置，且配合來自接收密碼機器資 訊的前述作業裝置的要求，發送對前述密碼機器資訊加以 密碼時所用的共通鍵的通訊單元、和輸出表示前述管理裝 置對前述作業裝置發送共通鍵的過程的全部或一部分的輸 -73- (69) 1258650 出入單元，且前述作業裝置是接收前述管理裝置的通訊單 元發送的密碼機器資訊，且前述管理裝置要求接收對前述 密碼機器資訊加以密碼的共通鍵的通訊單元、和記憶著前 述作業裝置的通訊單元接收的共通鍵，且使用記憶的共通 鍵對密碼機器資訊加以解碼的解碼單元、和記憶著前述解 碼單元解碼的機器資訊，且輸出記憶的機器資訊的全部或 一部分的輸出入單元爲特徵的遙控保養系統。 (8 8)於（8 7)記載的遙控保養系統中，前述管理裝置的 決定單元是記憶著表示前述各作業裝置提供所得的保養作 業品質的品質資訊，且根據記憶的品質資訊來決定發送表 示委託保養的委託保養的至少一個以上的作業裝置，前述 管理裝置的通訊單元是對前述管理裝置的決定單元決定的 作業裝置發送委託保養與前述密碼機器資訊爲特徵的遙控 保養系統。 (8 9)於（8 7)記載的遙控保養系統中，前述管理裝置的 決定單元是生成發送委託保養的至少一個的作業裝置的候 補，且前述管理裝置的輸出入單元是輸出前述管理裝置的 決定單元生成的候補，且前述管理裝置的決定單元是從前 述管理裝置的輸出入單元輸出的候補中，以發送委託保養 的作業裝置來決定前述管理裝置的使用者選擇的作業裝置 爲特徵的遙控保養系統。 (90)於（8 7)記載的遙控保養系統中，前述產業用機器 是屬於半導體製造檢查裝置爲特徵的遙控保養系統。 (9 1)在管理由實行指定處理的一個以上的產業用機器 -74- 1258650 (70) 發送的資訊的管理裝置中，具有：將由前述產業用機器接 收的機器資訊使用指定的共通鍵加以密碼的密碼單元、和 前述決定發送屬於密碼單元密碼的機器資訊的密碼機器資 訊的作業裝置的決定單元、和將前述密碼單元密碼的密碼 機器資訊發送至前述決定單元決定的作業裝置，且配合來 自接收前述密碼機器資訊的前述作業裝置的要求，而發送 對前述密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵的通訊單元 、和輸出表示前述通訊單元對前述作業裝置發送共通鍵的 過程的全部或一部分的輸出入單元爲特徵的管理裝置。 (92) 於（9 1)記載的管理裝置中，前述決定單元是記憶 著表示前述各作業裝置提供所得的保養作業品質的品質資 訊，且根據記憶的品質資訊，決定發送表示委託保養的委 託保養的至少一個以上的作業裝置，且前述通訊單元是對 前述決定單元決定的作業裝置發送委託保養與前述密碼機 器資訊爲特徵的管理裝置。 (93) 於（9 1)記載的管理裝置中，前述決定單元是生成 發送委託保養的至少一個的作業裝置的候補，且前述輸出 入單元是輸出前述管理裝置的決定單元生成的候補，且前 述決定單元是從前述輸出入單元輸出的候補中，以發送委 託保養的作業裝置來決定前述管理裝置的使用者選擇的作 業裝置爲特徵的管理裝置。 [發明效果] 如以上所述，若按照本發明，即可在產業用機器使用 -75- 1258650 (71) 者許可的範圍內，對保養員安全公開儲存在每個產業用機 器的機器資訊。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明的第一實施形態的系統構成方塊 圖。 第2圖是表示半導體製造檢查裝置的構成方塊圖。 第3圖是表示密碼機器資料封包的構成圖。 第4圖是表示共通鍵管理表格的構成圖。 第5圖是表不保養員屬性管理表格的構成圖。 第6圖是表示分析狀況管理表格的構成圖。 第7圖是表示程式實行過程管理表格的構成圖。 第8圖是表不實行権限管理表格、程式實行過程管理 表格以及感測狀態過程管理表格的構成圖。 第9圖是表示知識管理表格的構成圖。 第10圖是表示在半導體製造檢查裝置與作業裝置之 間進行收發訊的訊息資料的構成圖。 第11圖是表示作業裝置收發送著手分析通知與著手 分析回應時的動作流程圖。 第12圖是表示半導體製造檢查裝置的通訊部收發訊 著手分析通知與著手分析回應時的動作流程圖。 第13圖是表示作業裝置發送分析操作通知時的動作 流程圖。 第14圖是表示半導體製造檢查裝置的通訊部接收分 -76- (72) 1258650 析操作通知時的動作流程圖。 第15圖是表示作業裝置發送分析完成通知時的動作 流程圖。 第1 6圖是表示半導體製造檢查裝置的通訊部接收分 析完成通知時的動作流程圖。 第17圖是表示顯示於作業裝置的分析作業畫面圖。 第18圖是表示顯示於半導體製造檢查裝置的分析實 績輸出畫面圖。 第19圖是設置在製造工廠的管理裝置的構成方塊圖 〇 第20圖是表示本發明的第三實施形態的系統構成方 塊圖。 第21圖是表示在設置在半導體製造工廠的管理裝置 與保養中心的作業裝置之間進行收發訊的委託保養資料的 構成圖。 第2 2圖是表示分析狀況管理表格的構成圖。 第23圖是表示半導體製造檢查裝置的通訊部接收委 託保養時的動作流程圖。 [圖號說明] 1〇〇···網際網路 110…保養中心 111、 121…網內網路 112、 122…管理裝置 -77- 1258650 (73) 1 1 3…作業裝 120···半導體 123…半導體 1 3 0…輸出入 131···通訊部 132···控制部 置 製造工廠 製造檢查裝置 部 133…部位

Claims (1)

1. (1) 1258650 拾、申請專利範圍 1· 一種遙控保養系統，乃屬於產業用機器 業用機器的作業裝置是透過網際網路而連接的 統’其特徵爲： 則述產業用機器係具備有：將顯示其狀態 使用指定共通鍵加以密碼的密碼單元、和配合 業裝置的要求而發送屬於經由該密碼單元加以 資sJl的密碼機器資訊的通訊單元、和前述產業 前述作業裝置輸出發送共通鍵的輸出入單元。 2·—種遙控保養系統，乃屬於產業用機器 業用機器的作業裝置是透過網際網路而連接的 統，其特徵爲： 前述作業裝置係具備有：接收表示前述產 態的機器資訊被密碼的密碼機器資訊與共通鍵 、和使用該共通鍵對前述密碼機器資訊加以解 元、和輸出經由該解碼單元加以解碼的機器資 單元。 3 · —種遙控保養系統，乃屬於產業用機器 業用機器的作業裝置是透過網際網路而連接的 統，其特徵爲： 前述產業用機器係具備有：將顯示其狀態 使用指定共通鍵加以密碼的密碼單元、和配合 業裝置的要求而發送屬於經由該密碼單元加以 資訊的密碼機器資訊的通訊單元、和前述產業 與保養該產 遙控保養系 的機器資訊 來自前述作 密碼的機器 用機器是對 與保養該產 遙控保養系 業用機器狀 的通訊單元 碼的解碼單 訊的輸出入 與保養該產 遙控保養系 的機器資訊 來自前述作 密碼的機器 用機器是輸 -79- (2) 1258650 出對前述作業裝置發送共通鍵的輸出入單元； 前述作業裝置係具備有：接收經由前述產業用機器的 通訊單元所發送的密碼機器資訊與共通鍵的通訊單元、和 使用該共通鍵對前述密碼機器資訊加以解碼的解碼單元、 和輸出經由該解碼單元加以解碼的機器資訊的輸出入單元 〇 4. 一種遙控保養系統，乃屬於實行指定處理的一個以 上的產業用機器與保養產業用機器的作業裝置是透過網際 網路而連接的遙控保養系統，其特徵爲： 產業用機器係具備有：將顯示產業用機器狀態的機器 資訊使用指定共通鍵加以密碼的密碼單元、和將經由屬於 密碼單元加以密碼的機器資訊的密碼機器資訊配合來自作 業裝置的要求而發送到作業裝置，且配合來自接收密碼機 器資訊的作業裝置的要求來發送用於將密碼機器資訊加以 密碼時的共通鍵的通訊單元、和輸出顯示產業用機器對作 業裝置發送共通鍵過程的全部或一部分的輸出入單元； 作業裝置係具備有：接收經由產業用機器的通訊單元 加以發送的密碼機器資訊，且對於產業用機器所要求而接 收用於將密碼機器資訊加以密碼時的共通鍵的通訊單元、 和記億著經由作業裝置的通訊單元加以接收的共通鍵，且 使用所記憶的共通鍵將密碼機器資訊加以解碼的解碼單元 、和記憶著經由解碼單元所解碼的機器資訊，且輸出所記 憶的機器資訊的全部或一部分分的輸出入單元。 5 · —種遙控保養系統，乃屬於實行指定處理的一個以 •80· (3) 1258650 上的產業用機器、加以管理由產業用機器所發送的資訊的 管理裝置、和保養產業用機器的作業裝置是透過網際網路 而連接的遙控保養系統，其特徵爲： 產業用機器係具備有對管理裝置發送顯示產業用機器 狀態的機器資訊的通訊單元； 管理裝置係具備有：將經由產業用機器所發送的機器 資訊使用指定共通鍵加以密碼的密碼單元、和將屬於經由 密碼單元加以密碼的機器資訊的密碼機器資訊，配合來自 作業裝置的要求而發送到作業裝置，且配合來自接收密碼 機器資訊的作業裝置的要求而發送用於將密碼機器資訊加 以密碼時的共通鍵的通訊單元、和管理裝置用來輸出顯示 對作業裝置發送共通鍵的過程的全部或一部分分的輸出入 單元； 作業裝置係具備有：接收管理裝置的通訊單元所發送 的密碼機器資訊，且對於管理裝置所要求而接收對密碼機 器資訊加以密碼時所用的共通鍵的通訊單元、和記憶著作 業裝置的通訊單元所接收的共通鍵，且使用記憶的共通鍵 對密碼機器資訊加以解碼的解碼單元、和記憶著解碼單元 所解碼的機器資訊，且輸出所記憶的機器資訊的全部或一 部分分的輸出入單元。 6 · —種遙控保養系統，在實行指定處理的一個以上的 產業用機器和保養產業用機器的一個以上的作業裝置是透 過網際網路而連接的遙控保養系統中，其特徵爲： 產業用機器係具備有：將表示產業用機器狀態的機器 • 81 - (4) 1258650 資訊使用指定共通鍵加以密碼的密碼單元、和決定發送屬 於密碼單元密碼的機器資訊的密碼機器資訊的作業裝置的 決定單元、和將密碼單元密碼的密碼機器資訊發送至決定 單元決定的作業裝置，且配合來自接收發送密碼機器資訊 的作業裝置的要求，來發送對密碼機器資訊加以密碼時所 用的共通鍵的通訊單元、和輸出表示產業用機器對作業裝 置發送共通鍵的過程的全部或一部分的輸出入單元，作業 裝置係具備有··接收產業用機器的通訊單元發送的密碼機 器資訊’且要求產業用機器接收對密碼機器資訊加以密碼 時所用的共通鍵的通訊單元、和記憶著作業裝置的通訊單 元接收的共通鍵，且使用記憶的共通鍵對密碼機器資訊加 以解碼的解碼單元、和記億著解碼單元解碼的機器資訊， 且輸出記憶的機器資訊的全部或一部分的輸出入單元。 7 . —種遙控保養系統，在實行指定處理的一個以上的 產業用機器和保養產業用機器的一個以上的作業裝置是透 過網際網路而連接的遙控保養系統中，其特徵爲： 產業用機器係具備有將表示產業用機器狀態的機器資 訊發送至管理裝置的通訊單元，管理裝置係具備有：將產 業用機器的通訊單元發送的機器資訊使用指定的共通鍵加 以密碼的密碼單元、和決定發送屬於密碼單元密碼的機器 資訊的密碼機器資訊的作業裝置的決定單元、和將密碼單 元密碼的密碼機器資訊發送至決定單元決定的作業裝置， 且配合來自接收密碼機器資訊的作業裝置的要求，發送對 密碼機器資訊加以密碼時所用的共通鍵的通訊單元、和輸 -82- (5) 1258650 出表不管理裝置對作業裝置發送共通鍵的過程的全部或一 部分的輸出入單元，作業裝置係具備有··接收前述管理裝 置的通訊單兀發送的密碼機器資訊，且管理裝置要求接收 對密碼機器資訊加以密碼的共通鍵的通訊單元、和記憶著 作業裝置的通訊單元接收的共通鍵，且使用記憶的共通鍵 對密碼機器資訊加以解碼的解碼單元、和記憶著解碼單元 解碼的機器資訊，且輸出記憶的機器資訊的全部或一部分 的輸出入單元。 8 ·如申請專利範圍第1項至第7項的任一項的遙控保 養系統，其中’前述產業用機器是屬於半導體製造檢查裝 置。 9·如申請專利範圍第i項至第7項的任一項的遙控保 養系統，其中，前述作業裝置、具備有演算配合根據前述 機器資訊所實施的前述產業用機器的保養內容的等價的演 算單元’該作業裝置的輸出入單元是發送該演算的等價。 10·—種遙控保養方法，其特徵爲具備有： 產業用機器與保養該產業用機器的作業裝置是透過網 際網路而連接，將表示前述產業用機器狀態的機器資訊使 用指定共通鍵加以密碼的步驟、和配合來自前述作業裝置 的要求而發送密碼的密碼機器資訊的步驟、和輸出由前述 產業用機器對前述作業裝置發送共通鍵的步驟。 11·一種遙控保養方法，其特徵爲具備有： 產業用機器與保養該產業用機器的作業裝置是透過網 際網路而連接’接收表示前述產業用機器狀態的機器資訊 -83- (6) 1258650 密碼的密碼機器資訊與共通鍵的步驟、和使用該共通鍵對 前述密碼機器資訊加以解碼的步驟、和輸出解碼的機器資 訊的步驟。 1 2 . —種遙控保養方法，其特徵爲具備有： 產業用機器與保養該產業用機器的作業裝置是透過網 際網路而連接，將表示前述產業用機器狀態的機器資訊使 用指定共通鍵加以密碼的步驟、和配合來自前述作業裝置 的要求而發送密碼的密碼機器資訊的步驟、和輸出前述產 業用機器對前述作業裝置發送共通鍵的步驟、和接收發送 的密碼機器資訊與共通鍵的步驟、和使用該共通鍵對前述 密碼機器資訊加以解碼的步驟、和輸出解碼的機器資訊的 步驟。 1 3 ·如申請專利範圍第1 〇項至第1 2項的任一項的遙 控保養方法，其中，前述產業用機器是屬於半導體製造檢 查裝置。 14·如申請專利範圍第10項至第12項的任一項的遙 控保養方法，其中，經由前述作業裝置來演算配合根據前 述機器資訊所實施的前述產業用機器的保養內容的等價， 且發送該演算的等價。 -84 -