TWD167985S - 反應管之部分 - Google Patents

反應管之部分

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TWD167985S
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Taiwan
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reaction tube
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gas
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TW102308330F
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Inventor
Keishin Yamazaki
Masahiro Miyake
Kosuke Takagi
Yasuaki Komae
Shinya Morita
Naonori Akae
Masato Terasaki
Original Assignee
日立國際電氣股份有限公司
Hitachi Int Electric Inc
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是反應管，為應用在基板處理裝置的反應管。;【設計說明】;本物品具有用來收容處理基板的開口，在該開口的周緣設有凸緣；本物品，是在側面具備：形成設置有氣體噴嘴之空間的略矩形狀之突出部；和排出從該氣體噴嘴被噴出的氣體的開口部，於本物品的內部，將氣體從上述氣體噴嘴供給到上述處理基板之後，從上述開口部排出，進行上述處理基板的處理。;圖式中以實線所示為「主張設計之部分」，以虛線所示為「不主張設計之部分」。
TW102308330F 2013-06-28 2013-12-24 反應管之部分 TWD167985S (zh)

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