576797 A7 B7 五、發明説明（1 ) 〔本發明所屬的技術領域〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關於在代表噴頭的機能液滴吐出噴頭的噴 頭內流路塡充液體的機能液滴吐出噴頭之液體塡充方法及 利用以此方法塡充液體所獲得的機能液滴吐出噴頭的吐出 裝置，以及液晶顯示裝置之製造方法，有機電激發光裝置 之製造方法，電子放出裝置之製造方法，電漿顯示裝置之 製造方法，電泳顯示裝置之製造方法，彩色濾色片之製造 方法，有機電激發光元件之製造方法，間隔物形成方法、 金屬配線形成方法，透鏡形成方法，光阻劑形成方法及光 擴散體形成方法。 〔習知技術〕 噴墨印表機的噴頭（機能液滴吐出噴頭）能夠點狀精度良 好的吐出微小的墨滴（液滴），例如吐出液使用特殊的墨 水、感光性樹脂等機能液，藉此期待應用於各種製品的製 造領域。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例如使用具有針對彩色濾色片之基板的工件進行相對 移動的托架的吐出裝置，將在副托架搭載複數個機能液滴 吐出噴頭的噴頭單元保持在前述托架，欲以此狀態一邊將 噴頭單元針對工件做相對移動一邊從開設在各機能液滴吐 出噴頭的噴嘴形成面的吐出噴嘴向著工件吐出液滴，藉此 製造液晶顯示裝置、有機電激發光顯示裝置等。 此種吐出裝置是從共同的給液槽對各機能液滴吐出噴 頭以些許的水頭壓來供給液體，且利用組裝在機能液滴吐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 _ 576797 A7 B7 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 出噴頭的幫浦部的作動精度良好的吐出液滴。並在離開吐 出裝置的工件的場所，設有將連接在吸引幫浦的蓋體對應 噴頭單元的複數個機能液滴吐出噴頭而搭載複數個蓋體單 元。並對吐出裝置投入新的噴頭單元時，令噴頭單元移動 到臨近蓋體單元的位置的狀態，使各蓋體密固於各機能液 滴吐出噴頭的噴嘴形成面，將給液槽內的液體利用介著各 蓋體所作用的吸引力塡充到各機能液滴吐出噴頭的噴頭內 流路。 〔本發明欲解決的課題〕 如上所述，就算施行利用蓋體的吸引，在噴頭內流 路，液體的流速還是會下降，無法排除從噴頭內流路產生 的氣泡，就會因殘留氣泡的影響產生液滴吐出不良。因 此’必須重複數次吸引，塡充時消耗的液量會增加，周轉 資金增多。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明有鑑於以上諸點，其課題在於提供一欲自噴頭 內流路效率良好的排除氣泡的機能液滴吐出噴頭之液體塡 充方法及適於實施此方法的吐出裝置，以及液晶顯示裝置 之製造方法，有機電激發光裝置之製造方法，電子放出裝 置之製造方法，電漿顯示裝置之製造方法、電泳顯示裝置 之製造方法，彩色濾色片之製造方法，有機電激發光元件 之製造方法，間隔物形成方法，金屬配線形成方法，透鏡 形成方法，光阻劑形成方法及光擴散體形成方法。 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（3 ) 〔用以解決課題的手段〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲解決上述課題故於具有開設在噴頭本體的噴嘴形成 面的吐出噴嘴的機能液滴吐出噴頭的噴頭內流路塡充液體 之方法，於令連接在吸引幫浦的蓋體密固於前述噴嘴形成 面，將連接在前述機能液滴吐出噴頭的給液槽內的液體利 用介著前述蓋體所作用的吸引力塡充到前述噴頭內流路者 中，其特徵爲：只要藉由本發明就能在前述噴頭內流路的 液體塡充途中依然繼續利用前述蓋體的吸引暫時閉鎖前述 機能液滴吐出噴頭和前述給液槽之間的給液通路。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並於具備有針對工件做相對移動的托架，令具有開設 在噴頭本體的噴嘴形成面的吐出噴嘴的機能液滴吐出噴頭 保持在前述托架，以此狀態一邊將前述托架針對工件做相 對移動一邊從前述機能液滴吐出噴頭的吐出噴嘴向著工件 吐出液滴的吐出裝置中，其特徵爲：於具備有連接在前述 機能液滴吐出噴頭的給液槽、和配置在離開工件之場所的 蓋體單元，在蓋體單元對應前述機能液滴吐出噴頭設有連 接在吸引幫浦的蓋體，在令前述噴頭單元移動到臨近前述 蓋體單元的位置的狀態使前述蓋體密固於前述機能液滴吐 出噴頭的噴嘴形成面，將前述給液槽內的液體利用介著前 述蓋體所作用的吸引力塡充到前述機能液滴吐出噴頭的噴 頭內流路中，只要藉由本發明就能在前述機能液滴吐出噴 頭和前述給液槽之間的給液通路介設開關閥，在前述噴頭 內流路的液體塡充途中依然繼利用前述蓋體的吸引暫時將 前述開關閥加以閉閥。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（4 ) 藉由上述構成就能在給液通路閉鎖時（開關閥閉閥時）利 用因蓋體的吸引讓噴頭內通路減壓。然後利用給液通路的 開通（開關閥的開閥）讓液體急遽流出’令噴頭內流路的液 體流速高速化，且自噴頭內流路效率良好的排除氣泡。因 而能將液體塡充時的吸引次數抑制在最小限’削減液體消 耗量，且能提昇作業效率，提高生產性。 在此，給液通路閉鎖前的噴頭內通路的液體塡充率增 高的時候，閉鎖後噴頭內通路就會效率良好的被減壓。因 此，希望給液槽內的液體變少，直到蓋體被吸引時，加以 閉鎖給液通路。此時，在蓋體和吸引幫浦之間的吸引通路 設置液體感知器，開始噴頭內流路的液體塡充後，利甩液 體感知器來檢測液體時，暫時將開關閥閉閥，就能適切地 自動控制閉閥定時。 更者，前述托架係具備有由副托架和搭載在該副托架 的複數個前述機能液滴吐出噴頭所構成的噴頭單元，同時 將前述蓋體對應前述噴頭單元旳複數個機能液滴吐出噴頭 設置複數個，於分歧連接在各機能液滴吐出噴頭的給液路 的各分歧通路部分個別介設開關閥，同時於分歧連接在各 蓋體的吸引通路的各分歧通路部分個別設有液體感知器， 利用各液體感知器檢測液體時，令對應的各開關閥閉閥地 加以構成，即使在各個機能液滴吐出噴頭於初期液體塡充 率產生誤差，每個機能液滴吐出噴頭仍可利用適當的定時 個別地令開關閥閉閥，就能大幅地提高生產性。 而開關閥和機能液滴吐出噴頭之間的通路長度很短的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -8- 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（5) 時候，提高閉閥後的減壓效率，同時減少液體消耗量。在 此’在與吐出裝置的托架一體動作的部分搭載開關閥，就 能隨著保持在托架的噴頭單元的動作彈性，而不需要附屬 在開關閥和機能液滴吐出噴頭之間的通路部分，就能有利 於縮短通路長度。 本發明的液晶顯示裝置之製造方法乃屬於使用上述吐 出裝置’在彩色濾色片的基板上形成濾色片元件的液晶顯 示裝置之製造方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入 濾色片材料’將機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃 描’選擇性吐出濾色片材料，形成濾色片元件。 本發明的有機電激發光裝置之製造方法乃屬於使用上 述吐出裝置，於基板上的畫素點素形成電激發光層的有機 電激發光裝置之製造方法，其特徵爲··在機能液滴吐出噴 頭導入發光材料，將機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性 掃描’選擇性吐出發光材料，形成電激發光層。 本發明的電子放出裝置之製造方法乃屬於使用上述吐 出裝置’在電極上形成螢光體的電子放出裝置之製造方 法’其特徵爲··在機能液滴吐出噴頭導入螢光材料，將機 能液滴吐出噴頭針對電極做相對性掃描，選擇性吐出螢光 材料，形成螢光體。 本發明的電漿顯示裝置之製造方法乃屬於使用上述吐 出裝置，在背面基板上的凹部形成螢光體的電漿顯示裝置 之製造方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入螢光材 料’將機能液滴吐出噴頭針對背面基板做相對性掃描，選 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 、?τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -9 - 576797 A7 B7 五、發明説明（6 ) ^ " ' 擇性吐出螢光材料，形成螢光體。 本發明的電泳顯示裝置之製造方法乃屬於使用上述吐 出裝置’於電極上的凹部形成泳動體的電泳顯示裝置之製 造方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入泳動體材 料，將機能液滴吐出噴頭針對電極做相對性掃描，選擇性 吐出泳動體材料，形成泳動體。 像這樣將上述吐出裝置適用於液晶顯示裝置之製造方 法' 有機電激發光（Electro-Luminescence)裝置之製造方法、 電子放出裝置之製造方法、PDP(Plasma Display Panel)裝置 之製造方法及電泳顯不裝置之製造方法，就能藉此適當且 圓滑地施行應用於各製造方法的機能液滴吐出噴頭的機能 液的初期塡充作業。再者，液滴吐出噴頭的掃描一般是主 掃描及副掃描，但在所謂一製造線以單一液滴吐出噴頭所 構成的情形下就能做副掃描。而電子放出裝置爲包括所謂 FED(Field Emission Display)裝置的槪念。 本發明的彩色濾色片之製造方法乃屬於使用上述吐出 裝置’製造在基板上配列濾色片元件所形成的彩色爐色片 的彩色濾色片之製造方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴 頭導入濾色片材料，將機能液滴吐出噴頭針對基板做相對 性掃描，選擇性吐出濾色片材料，形成濾色片元件。 此時，形成被覆濾色片元件的保護膜，於形成濾色片 元件後，在機能液滴吐出噴頭導入透光性的塗佈材料，將 機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出塗 佈材料，形成保護膜爲佳。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X29*7公釐） Γ— 衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10· 576797 A7 B7 五、發明説明（7 ) -------衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明的有機電激發光元件之製造方法乃屬於使用上 述吐出裝置，將包括電激發光層的晝素點素配列在基板上 所形成的有機電激發光元件之製造方法，其特徵爲：在機 能液滴吐出噴頭導入發光材料，將機能液滴吐出噴頭針對 基板做相對性掃描，選擇性吐出發光材料，形成電激發光 層。 此時，在電激發光層和基板之間，配合電激發光層形 成晝素電極，在機能液滴吐出噴頭導入液狀電極材料，將 機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出液 狀電極材料，形成畫素電極爲佳。 此時覆蓋電激發光層地形成對向電極，於形成電激發 光層後’在機能液滴吐出噴頭導入液狀電極材料，將機能 液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出液狀電 極材料，形成對向電極爲佳。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之間隔物形成方法乃屬於使用上述吐出裝置， 形成可在兩枚基板間構成胞間隔的粒子狀間隔物的間隔物 形成方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入構成間隔 物的粒子材料，將機能液滴吐出噴頭至少針對一方的基板 做相對性掃描，選擇性吐出粒子材料，在基板上形成間隔 物。 本發明之金屬配線形成方法乃屬於使用上述吐出裝 置，在基板上形成金屬配線的金屬配線形成方法，其特徵 爲：在機能液滴吐出噴頭導入液狀金屬材料，將機能液滴 吐出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出液狀金屬材 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（8) 料，形成金屬配線。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之透鏡形成方法乃屬於使用上述吐出裝置，在 基板上形成微透鏡的透鏡形成方法，其特徵爲；在機能液 滴吐出噴頭導入透鏡材料，將機能液滴吐出噴頭針對基板 做相對性掃描，選擇性吐出透鏡材料，形成微透鏡。 本發明之光阻劑形成方法乃屬於使用上述吐出裝置， 在基板上形成任意形狀的光阻劑之光阻劑形成方法，其特 徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入光阻劑材料，將機能液滴 吐出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出光阻劑材 料，形成光阻劑。 . 本發明之光擴散體形成方法乃屬於使用上述吐出裝 置，在基板上形成光擴散體的光擴散體形成方法，其特徵 爲：在機能液滴吐出噴頭導入光擴散材料，將機能液滴吐 出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出光擴散材料， 形成光擴散體。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 像這樣將上述吐出裝置適用於彩色濾色片之製造方 法、有機電激發光元件之製造方法、間隔物形成方法、金 屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴 散體形成方法，就能藉此適當且圓滑地施行應用於各製造 方法的機能液滴吐出噴頭的機能液的初期塡充作業◊ 〔發明的實施形態〕 以下參照所附圖面針對本發明的實施形態做說明。本 實施形態的吐出裝置是指組裝在所謂平面顯示器之其中一 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（9) 種的有機電激發光裝置的製造線，使用複數個機能液滴吐 出噴頭，從其吐出噴嘴吐出發光材料等的機能液（噴墨方 式）’形成作爲有機電激發光裝置之發光機能的各畫素的電 激發光層及正孔注入層。 於是，先針對有機電激發光裝置的構造做說明，同時 針對其製造方法（製造製程）做說明。然後接著與其製造方 法一起說明由掃描所搭載的機能液滴吐出噴頭的吐出裝置 及其周邊設備所形成的有機電激發光裝置之製造裝置。 第1圖至第13圖是與包括有機電激發光元件的有機電 激發光裝置之製造製程一起表示其構造。該製造製程係具 備有儲料部形成工程、和電漿處理工程、和由正孔注入/ 輸送層形成工程及發光層形成工程所形成的發光元件形成 工程 '和對向電極形成工程、和密封工程所構成。 f諸料部形成工程乃於事先形成在基板501的電路元件 部5 02上及電極511(亦稱畫素電極）上的所定位置，積層無 機物儲料層512a和有機物儲料層512b，藉此形成具有開口 部5 1 2g的儲料部5〗2。像這樣在儲料部形成工程包括：在 電極511的一部分形成無機物儲料層512a的工程、和在無 機物儲料層上形成有機物儲料層5 1 2b的工程。 首先，形成無機物儲料層512a的工程是在電路元件部 5 02的第二層間絕緣膜544b上及畫素電極511上，將在其 整面成爲無機物儲料層512a的SiO 2、Ti02等的無機物膜 利用CVD法、塗佈法、濺鍍法、蒸鍍法等形成。其次將在 無機物膜利用蝕刻等加以圖案化，如第1圖所示，設有對 -------1 衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 #1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 576797 A7 ______B7 _ 五、發明説明（10) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 應電極511之電極面511a的形成位置的下部開口部512c。 此時需要將無機物儲料層512a與電極511的周緣部重疊地 加以形成。像這重疊電極511的周緣部（一部分）和無機物 儲料層5 12a地形成無機物儲料層5 12a，就能藉此控制發光 層510b(參照第1〇圖〜第13圖）的發光區域。 其次，形成有機物儲料層512b的工程，乃如第2圖所 示’在無機物儲料層512a上形成有機物儲料層512b。將有 機物儲料層512b利用微縮技術等加以鈾刻，形成有機物儲 料層512b的上部開口部512d。上部開口部51 2d是設於對 應電極面5 1 1 a及下部開口部5 1 2c的位置。 上部開口部5 1 2d乃如第2圖所示，比下部開口部5 12c 寬，以比電極面5 1 1 a窄地加以形成爲佳。藉此，包圍無機 物儲料層512a的下部開口部512c的第一積層部5 12e較有 機物儲料層5 1 2b更延伸出電極5 1 1的中央側的造形。如此 一來，使上部開口部5 1 2d、下部開口部5 1 2c連通，藉此形 成貫通無機物儲料層512a及有機物儲料層512b的開口部 5 129 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，電漿處理工程是在儲料部512的表面和畫素電 極的表面5 1 1 a形成顯示親液性的區域、和顯示排液性的區 域。該電漿處理工程大致區分爲：預備加熱工程、和將儲 料部512的上面（512f)及開口部5129的壁面及畫素電極 5 1 1的電極面5 1 1 a具有親液性地加以加工的親液化工程、 和將有機物儲料層512b的上面512f及上部開口部512d的 壁面具有排液性地加以加工的排液化工程、和冷却工程。 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） /6797 A7 B7 1、發明説明（11) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先，預備加熱工程是將包括儲料部512的基板501 以所定溫度進行加熱。加熱是在例如載置基板501的台面 安裝加熱器，利用該加熱器在每個台面加熱基板50 1藉此 施行。具體是將基板501的預備加熱溫度設定爲例如70〜 8〇°C的範圍爲佳。 其次，親液化工程是在大氣環境中施行以氧爲處理氣 體的電漿處理（〇2電漿處理）。藉由該〇2電漿處理，如第3 圖所示，畫素電極511的電極面511a、無機物儲料層512a 的第一積層部512e及有機物儲料層512b的上部開口部 5 1 2d的壁面以及上面512f做親液處理。藉由該親液處理， 對該些的各面導入羥基獲得親液性。第3圖是以中心線表 示新處理的部分。 其次，排液化工程是在大氣環境中施行以四赢化甲烷 爲處理氣體的電漿處理（CF 4電漿處理）。藉由CF4電漿處 理，如第4圖所示，上部開口部512d壁面及有機物儲料層 的上面512f就會進行排液處理。藉由該排液處理，在該些 的各面導入氟基獲得排液性。第4圖是以假想線來表示顯 示排液性的區域。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，冷却工程是將欲電漿處理被加熱的基板50 1冷 卻到室溫或液滴吐出工程的管理溫度。將電漿處理後的基 板501冷卻到室溫或所定溫度（例如施行液滴吐出工程的 管理溫度），藉此以一定的溫度進行下一個正孔注入/輸送 層形成工程。 其次，發光元件形成工程是在畫素電極511上形成正 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -^ - 576797 A7 B7 五、發明説明（12) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 孔注入/輸送層及發光層藉此形成發光元件。在發光元件 形成工程包括四個工程。亦即，將欲形成正孔注入/輸送 層的第一組成物吐出到各前述畫素電極上的第一夜滴吐出 工程、和令吐出的前述第一組成物乾燥並在前述畫素電極 上形成正孔注入/輸送層的正孔注入/輸送層形成工程、 和將欲形成發光層的第二組成物吐出到前述正孔注入/輸 送層上的第二夜滴吐出工程、和令吐出的前述第二組成物 乾燥並在前述正孔注入/輸送層上形成發光層的發光層形 成工程。 首先，第一夜滴吐出工程是利用液滴吐出法將包括正 孔注入/輸送層形成材料的第一組成物吐出到電極面511a 上。再者，在第一液滴吐出工程以後，在沒有水、氧的氮 氣氛、氬氣氛等非活性氣體氣氛中進行爲佳。（再者，只在 畫素電極上形成正孔注入/輸送層時，就不會形成鄰接並 形成在有機物儲料層的正孔注入/輸送層） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第5圖所示，在機能液滴吐出噴頭Η塡充包括正孔 注入/輸送層形成材料的第二組成物，且將機能液滴吐出 噴頭Η的吐出噴嘴面對位於下部開口部512c內的電極面 5 1 1 a，一邊令機能液滴吐出噴頭Η和基板50 1相對移動一 邊從吐出噴嘴將控制在相當於一滴液量的第一組成物滴 5 10c吐出到電極面511a上。 在此所用的第一組成物例如可使用將亞乙基二氧硫代 酚（PEDOT)等聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸（PSS)等混合物 溶解於極性溶媒的組成物。極性溶媒舉例有異丙醇（IP A)、 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（13) 正丁醇、丁內酯、N -甲基吡咯烷酮（NMp)、i，3 一二 甲基一 2 -乙撑硫 （DMI)及其衍生物、乙酸卡必醇酯、丁 基卡必醇酯等乙二醇酯類等。再者，正孔注入/輸送層形 成材料也可針對R、G、B各發光層510b使用相同材料， 也可對每個發光層也改變。 如第5圖所示，被吐出的第一組成物滴5 1 0 c會擴散到 被親液處理的電極面511a及第一積層部51 2e上，充滿上 部開口部5 1 2c、5 1 2d內。吐出到電極面5 1 1 a上的第一組 成物量是根據下部、上部開口部5 1 2c、5 1 2d的大小、欲形 成的正孔注入/輸送層的厚度、第一組成物中的正孔注入 /輸送層形成材料濃度等所決定。而第一組成物滴510c可 以不只一次，可分數次吐出到同一電極面511a上。 其次’正孔注入/輸送層形成工程，乃如第6圖所 示，乾燥處理及熱處理吐出後的第一組成物，並蒸發包含 在第一組成物的極性溶媒，藉此在電極面5 1 1 a上形成正孔 注入/輸送層5 10a。進行乾燥處理時，包含在第一組成物 滴510c的極性溶媒的蒸發主要是在靠近無機物儲料層512a 及有機物儲料層512b處引起，與極性溶媒的蒸發一倂濃縮 析出正孔注入/輸送層形成材料。然後在電極面511a上也 會引起極性溶媒蒸發，藉此在電極面5 1 1 a上形成由正孔注 入/輸送層形成材料所形成的平坦部510a。在電極面511a 上，極性溶媒的蒸發速度大致上是很均勻的緣故，正孔注 入/輸送層的形成材料就會均勻地濃縮在電極面5 1 1 a，藉 此形成均勻厚度的平坦部5 1 0a。 I — 11 — I — J— — I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） -17- 576797 A7 B7 五、發明説明（14) 其次，第二液滴吐出工程是利用液滴吐出法將包含發 光層形成材料的第二組成物吐出到正孔注入/輸送層510a 上。在該第二夜滴吐出工程爲了防止正孔注入/輸送層 510a的再溶解，用於發光層形成之際的第二組成物的溶媒 是使用對正孔注入/輸送層5 1 0 a而言不會溶解的非極性溶 媒。 且在其一方，正孔注入/輸送層5 1 0a相對於非極性溶 媒的親和性低的緣故，就算將包含非極性溶媒的第二組成 物吐出到正孔注入/輸送層510a上，還是有無法令正孔注 入/輸送層510a和發光層510b密著，或是無法均勻地塗 佈發光層510b之虞。於是爲了提高非極性溶媒及相對於發 光層形成材料的正孔注入/輸送層510a之表面的親和性， 故於形成發光層之前施行表面改質工程爲佳。 於是先針對表面改質工程做說明。表面改質工程是將 屬於與用於發光層形成之際的第二組成物的非極性溶媒相 同溶媒或類似於此的溶媒的表面改質用溶媒利用液滴吐出 法、旋塗法或浸塗法塗佈在正孔注入/輸送層5 10a上之後 加以乾燥藉此施行。 例如利用液滴吐出法的塗佈，乃如第7圖所示，在機 能液滴吐出噴頭Η塡充表面改質用溶媒，且將機能液滴吐 出噴頭Η的吐出噴嘴面對基板（亦即形成正孔注入/輸送 層5 1 0a的基板），一邊相對移動機能液滴吐出噴頭η和基 板5 0 1 —邊從吐出噴嘴Η將表面改質用溶媒5 1 0 d吐出到正 孔注入/輸送層5 1 0 a上藉此施行。然後如第8圖所示，令 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----------衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 576797 A7 B7 五、發明説明（1δ) 表面改質用溶媒5 1 Od乾燥。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，在第二夜滴吐出工程利用液滴吐出法將包含發 光層形成材料的第二組成物吐出到正孔注入/輸送層510a 上。如第9圖所示，在機能液滴吐出噴頭Η塡充含有藍色 (Β)發光層形成材料的第二組成物，且令機能液滴吐出噴頭 Η的吐出噴嘴面對位於下部、上部開口部5 1 2c、5 1 2d內的 正孔注入/輸送層5 1 0a，一邊相對移動機能液滴吐出噴頭 Η和基板501 —邊從吐出噴嘴將控制在相當於一滴液量的 第二組成物滴510e，且將該第二組成物滴5 10e吐出到正孔 注入/輸送層510a上。 發光層形成材料可用聚芴系高分子衍生物、（聚）對亞苯 乙烯撑衍生物、聚亞苯撐衍生物、聚乙烯基咔唑、聚噻吩 衍生物、紫蘇烯系染料、香豆素系染料、鹼性蕊香紅系染 料，或在上述高分子摻雜有機電激發光材料。例如可藉由 使用摻雜紅熒烯、紫蘇、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二 烯、耐綸紅、香豆素6、哇吖酮等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 非極性溶媒乃相對於正孔注入/輸送層5 1 0a爲非溶解 的爲佳，例如可使用環己基苯、二羥基苯并呋喃、三甲基 苯、四甲基苯等。將此種非極性溶媒用於發光層5 1 Ob的第 二組成物，藉此不會再溶解正孔注入/輸送層5 1 0a，就能 塗佈第二組成物。 如第9圖所示，被吐出的第二組成物5 1 0e會擴散到正 孔注入/輸送層510a上，並滴到下部、上部開口部512c、 5 1 2d內。第二組成物510e可以不只一次，還可分數次吐出 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（16) 到同一正孔注入/輸送層5 10a上。此時各次的第二組成物 的量可爲相同，也可以每次改變第二組成物的量。 其次，在發光層形成工程是於吐出第二組成物後，施 行乾燥處理及熱處理，於正孔注入/輸送層5 10a上形成發 光層510b。乾燥處理是藉由乾燥處理吐出後的第二組成 物，令包含於第二組成物的非極性溶媒蒸發，形成如第1 0 圖所不的藍色 （B)發光層510b。 接著，如第11圖所示，與藍色（B)發光層5 10b情形 相同的形成紅色（R)發光層510b，最後形成綠色（G)發光 層5 10b。再者，發光層510b的形成順序並不限於前述順 序，可以任何順序形成。例如也可配合發光層形成材料決 定形成的順序。 其次，在對向電極形成工程，乃如第12圖所示，在發 光層510b及有機物儲料層512b的全面形成陰極503(對向 電極）。再者，陰極5 03也可爲積層複數材料而形成。例 如，在靠近發光層之側形成功函數小的材料爲佳，例如可 使用Ca、Ba等，而也有利用材料在下層形成薄LiF等爲佳 的情形。而上部側（密封側）功函數高於下部側爲佳。該 些陰極（陰極層）503則利用例如蒸鍍法、濺鍍法、CVD法 等而形成爲佳，特別是利用蒸鍍法所形成，但能防止因發 光層510b的熱引起損傷之點爲佳。 而氟化鋰也可以只形成在發光層510b上，進而也可以 只形成在藍色 （B)發光層510b上。此時，在其他的紅色 (R)發光層及綠色（G)發光層510b、510b連接由LiF製成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 20 - --------—-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576797 A7 B7 五、發明説明（17) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的上部陰極層503b。並在陰極503的上部使用藉由蒸鍍 法、濺鍍法、CVD法等形成的A1膜、Ag膜等爲佳。並且 也可在陰極503上設置用來防止氧化的Si02、SiN等保護 層。 最後，在第13圖所示的密封工程是在氮、氬、氨等非 活性氣體氣氛中，於有機電激發光元件504上積層密封用 基板5 05。密封工程是在氮、氬、氦等非活性氣體氣氛施行 爲佳。在大氣中施行的話，在陰極503產生小孔等缺陷的 情形下，會有水、氧等自該缺陷部分侵入陰極503而陰極 5 03被氧化之虞很不理想。並於最後，在可撓性基板的配線 連接陰極503，同時在驅動1C連接電路元件部502的配 線，藉此獲得本實施形態的有機電激發光裝置500。 再者，在上述的排液膜、陰極503、畫素電極511等也 分別使用液體材料，也液滴吐出法形成亦可。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，針對有機電激發光裝置之製造裝置做說明。如 上所述，於有機電激發光裝置之製造製程中，形成正孔注 入/輸送層（正孔注入層）的正孔注入/輸送層形成工程 (第一液滴吐出工程+乾燥工程）、和表面改質工程、和形成 發光層的發光層形成工程（第二夜滴吐出工程+乾燥工程） 是利用使用機能液滴吐出噴頭的液滴吐出法所施行。對應 於此，本實施形態的有機電激發光裝置之製造裝置是使用 令機能液滴吐出噴頭一邊吐出發光機能材料一邊掃描的吐 出裝置。 更具體乃如第14圖所示，進行正孔注入/輸送層形成 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 ___B7_ 五、發明説明（18) 工程（必要的情形包括表面改質工程）的正孔注入層形成設 備Α係具備有：搭載導入第一液滴（發光機能材料：正孔 注入層材料）的機能液滴吐出噴頭的上述吐出裝置la、和乾 燥裝置2a、和基板搬送裝置3a，且具備有收容該些的收容 室裝置4a。如上所述，正孔注入/輸送層形成工程在非活 性氣體的氣氛中施行爲佳，其手段設有收容室裝置4a。 收容室裝置4a是由收容吐出裝置la的主處理室4aa、 和收容乾燥裝置2a及基板搬送裝置3a同時隧道狀收容該 些連結部分（搬送路）的副處理室4ab所構成。主處理室 4aa是採用連續流入非活性氣體，構成良好氣氛的方式（詳 細於後述），副處理室4ab是採用令非活性氣體循環，構成 良好氣氛的方式。再者，圖中的符號5是指基板移載裝 置。 同樣地，如第15圖所示，施行發光層形成工程的發光 層形成設備B係具備三組色彩有別之搭載導入第二液滴 (發光機能材料：R、G、B發光層材料）的機能液滴吐出噴 頭的上述吐出裝置lb、和乾燥裝置2b、和基板搬送裝置 3b，且具備三組收容該些的收容室裝置4b。與上述同樣 地，發光層形成工程在非活性氣體的氣氛中施行爲佳，其 手段設有收容室裝置4b。而且該時的收容室裝置4b也是由 收容各吐出裝置lb的三個主處理室4ba、和收容各乾燥裝 置2b及各基板搬送裝置3b同時隧道狀收容該些連結部分 (搬送路）的三個副處理室4bb所構成。 正孔注入層形成設備A的吐出裝置la及發光層形成設 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -22- 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（19) 備B的各吐出裝置lb只有導入各個機能液滴吐出噴頭的液 體材料不同，而具有同一的構造。而各乾燥裝置2a、2b、 各基板搬送裝置3a、3b及各收容室裝置4a、4b也具有相 同或同樣的構造。因而無視於更換機能液滴吐出噴頭、更 換發光機能材料的供給系統的麻煩’可在任意一組設備 (吐出裝置1、乾燥裝置2、基板搬送裝置3及收容室裝置4) 製造有機電激發光裝置。 於是，本實施形態是以第15圖左端的一組設備亦即形 成B色發光層的吐出裝置lb、乾燥裝置2b、基板搬送裝置 3b及收容室裝置4b爲例，說明各構成裝置，且其他設備說 明予以省略。 藉由圖外的裝置，經過上述之儲料部形成工程及電漿 處理工程的基板，會從位於第1 5圖左端的基板移載裝置5 被搬送到基板搬送裝置3(3b)，在此被轉換方向及姿勢並被 搬送到吐出裝置l(lb)。從基板搬送裝置3(3b)轉送到吐出 裝置l(lb)的基板則被設置在吐出裝置l(lb)。吐出裝置 1 (1 b)是利用其機能液滴吐出噴頭對基板的多數畫素區域 (開口部512g)吐出（第二液滴吐出工程）B色發光材料（液 滴）。 其次，塗上發光材料的基板則從吐出裝置1( lb)被轉送 到基板搬送裝置3(3b)，利用基板搬送裝置3(3b)被導入到 乾燥裝置2(2b)。乾燥裝置2(2b)是將基板曝露在所定時 間、高溫的非活性氣體的氣氛，令發光材料中的溶劑氣化 (乾燥工程）。在此再度將基板導入吐出裝置l(lb)且施行第 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 576797 A7 B7 五、發明説明（20) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 二夜滴吐出工程。亦即，重複複數次該第二液滴吐出工程 和I乾燥工程’在發光層成爲所希望的膜厚時，基板經過基 板搬送裝置3(3 b)，而形成R色發光層，被搬送到中間的吐 出裝置1(1 b)，最後形成G色發光層，被搬送到右端的吐出 裝置l(lb)。然後，該些作業在上述的收容室裝置4(4b)內 的非活性氣體的氣氛中施行。再者，欲形成B、R、G之各 色發光層的作業順序是任意的。 再者’乾燥裝置2及基板搬送裝置3的詳細說明省 略’但例如只要是乾燥裝置2即可，使用噴出非活性氣體 的吹風乾燥、真空乾燥之其他使用加熱面板或使用燈具 (紅外線燈具）等爲佳。而乾燥溫度以4(TC ± 2°C〜200°C ± 2°C 爲佳。 #1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，針對吐出裝置1做詳細說明。吐出裝置1乃如 第16圖至第19圖所示，具備有液滴吐出裝置（液滴吐出 手段）1 0、和其附帶裝置丨i。附帶裝置i !係具備有：對液 滴吐出裝置1 〇供給液體材料同時回收不要的液體的液體供 給回收裝置1 3、對各構成零件供給驅動、控制用等壓縮空 氣的空氣供給裝置14、吸引空氣的真空吸引裝置15及供機 能液滴吐出噴頭7維修的維修裝置1 6等。 液滴吐出裝置1 〇係具有設置在基台上的架台2 1、和設 置在架台21上的石定盤22、和設置在石定盤22上的X軸 台23及正交於此的Y軸台24、和吊設在Y軸台24地加以 設置的主托架25、和保持在該主托架25的噴頭單元26。 詳細於後述，但在噴頭單元26設有複數個機能液滴吐出噴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（21) 頭7。並對應該複數個機能液滴吐出噴頭7,在X軸台23 的吸附台8 1上設定基板（工件）W。 本實施形態的液滴吐出裝置1 〇是爲與機能液滴吐出噴 頭7的驅動（選擇性吐出液滴）同步來移動基板W的構成， 機能液滴吐出噴頭7的所謂主掃描是藉由往X軸台23的X 軸方向之往復的兩動作施行。並配合於此，所謂的前掃描 是藉由Y軸台24利用往機能液滴吐出噴頭7的Y軸方向的 律動動作施行。再者，上述的主掃描也可以只往X軸方向 的往動（或復動）動作所施行。 一方面，噴頭單元26的終點位置係爲第17圖及第19 圖中之圖示左端位置，且從該液滴吐出裝置1 〇的左方進行 噴頭單元26的搬入或更換（詳細於後述）。而圖示的前側是 臨近於上述的基板搬送裝置3，基板W是從該前側被搬 入、搬出。並且在該液滴吐出裝置1 0的圖示右側一體添設 上述附帶裝置11的主要構成裝置。 附帶裝置1 1係具備有：排水型的共同機台3 1、和收容 在共同機台31內一方之半部的上述空氣供給裝置14及真 空吸引裝置15、和在共同機台31內的一方半部收容主要裝 置的上述液體供給回收裝置1 3、和在共同機台3 1上收容主 要裝置的上述維修裝置1 6。 維修裝置1 6係具有：機能液滴吐出噴頭7接受定期噴 灑（丟棄吐出所有來自吐出噴嘴的液體）的噴灑單元33、和 進行機能液滴吐出噴頭7的吸引及保管的淸洗單元34、和 擦拭機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面的擦拭單元3 5。而 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ir“ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 576797 A7 B7 五、發明説明（22) 且淸洗單元34及擦拭單元35是配設在上述的共同機台31 上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一方面，處理室4乃如第14圖及第15圖所示，在處 理室空間37倂設電氣室38及機械室39，具有所謂淸洗空 間的形態。在處理室空間37導入屬於非活性氣體的氮氣， 收容在此的上述液滴吐出裝置1 0及附帶裝置1 1，全體會曝 光在氮氣的氣氛中，在氮氣的氣氛中進行作用。 在此參照第20圖的模式圖，簡單地說明在氮氣氣氛中 進行作業的吐出裝置1的一連串動作。首先，準備階段是 將噴頭單兀26搬運到液滴吐出裝置10，噴頭單元26被設 定在主托架25。噴頭單元26被設定在主托架25的話，Y 軸台24是令噴頭單元26在圖外的噴頭辨識相機的位置移 動，藉由噴頭辨識相機辨識噴頭單元26的位置。在此根據 該辨識結果，噴頭單元26的Θ補正，且在資料上施行噴頭 單元2 6的X軸方向及Y軸方向的位置補正。位置補正後， 噴頭單元（主托架25)26會回到終點位置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一·方面’在X軸台23的吸附台81上導入基板（此時 爲每個被導入的基板）W的話，在該位置（交接位置）以後 述的主基板辨識相機90來辨識基板位置。在此根據該辨識 結果，Θ補正基板W，且基板W的X軸方向及Y軸方向的 位置補正是在資料上施行。位置補正後，基板（吸附台 81)W會回到終點位置。再者，在X軸及Y軸台23、24的 初期調整時（所謂的通過進出）是在吸附台81上導入調整 罩，且利用後述的副基板辨識相機1〇8施行初期調整。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 26 - 576797 A7 B7 五、發明説明（23) 如此一來準備完成的話，實際的液滴吐出作業，首先 驅動X軸台23，令基板W在主掃描方向往復動作同時驅動 複數個機能液滴吐出噴頭7，並對機能液滴的基板W進行 選擇性的吐出動作。基板W復動之後，此次驅動Y軸台 24，使噴頭單元26以一間距量在副掃描方向移動，再度往 基板W的主掃描方向施行往復移動和機能液滴吐出噴頭7 的驅動。然後將此重複數次，從基板W的端到另一端（所 有區域）施行液滴吐出。 再者，本實施形態乃針對噴頭單元26將屬於其吐出對 象工件的基板W在主掃描方向（X軸方向）移動，但也可爲 令噴頭單元26在主掃描方向移動的構成。而且也可爲固定 噴頭單元26，使基板W在主掃描方向及前掃描方向移動的 構成。 其次，針對上述的液滴吐出裝置10及附帶裝置11按 順序說明，但說明前爲了容易理解，針對液滴吐出裝置1 〇 的主要部分的噴頭單元26做詳細說明。 第21圖至第23圖乃爲噴頭單元的構造圖。如該些圖 所示，噴頭單元26係具備有：副托架4 1、和搭載在副托架 4 1的複數個（十二個）機能液滴吐出噴頭7、和欲將各機能液 滴吐出噴頭7 —個個安裝在副托架41的複數個（十二個）噴 頭保持構件42。十二個機能液滴吐出噴頭7是平均六個左 右一半，針對主掃描方向以所定角度傾斜而配設。 而各六個機能液滴吐出噴頭7是針對副掃描方向互互 偏位而配設，十二個機能液滴吐出噴頭7的所有吐出噴嘴 -------- 衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 #1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27- 576797 A7 B7 五、發明説明（24) 68(於後述）是連接（一部分重複）前掃描方向。亦即，實施形 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 態的噴頭配列是在副托架41上於同一方向傾斜而配置兩列 六個機能液滴吐出噴頭7，且於各噴頭列間，機能液滴吐出 噴頭7是互相呈180°旋轉的配置。 不過該配列圖形爲一例，例如各噴頭列所鄰接的機能 液滴吐出噴頭7彼此可爲具有90°的角度而配置（鄰接噴 頭彼此爲「八」字狀），或者各噴頭列間的機能液滴吐出噴 頭7可爲具有90°的角度而配置（列間噴頭彼此爲「八」 字狀）。無論那一個，只要十二個機能液滴吐出噴頭7之利 用所有吐出噴嘴68的點可連續在前掃描方向進行即可。 而針對各種基板W，只要機能液滴吐出噴頭7爲專用 零件即可，不需要傾斜設定機能液滴吐出噴頭7，只要不規 則狀、階段狀地配設就很夠用。更可說是極盡所能的構成 所定長度的噴嘴列（點列），可將此以單一的機能液滴吐出 噴頭7所構成，亦可以複數個機能液滴吐出噴頭7所構 成。亦即，機能液滴吐出噴頭7的個數、列數甚至是配列 圖形都是任意。 經濟部智慧財1局員工消費合作社印製 副托架41係具有：一部分被缺口的略方形本體面板 44、和設在本體面板44的長邊方向的中間位置的左右一對 基準插銷45、45、和安裝在本體面板44之面長邊部分的左 右一對支撐構件46、46、和設在各支撐構件46之端部的左 右一對把手47、47。左右的把手47、47例如將組裝的噴頭 單元26載入上述的液滴吐出裝置1〇時，即爲以手把持噴 頭單元26的部位。而左右的支撐構件46、46即爲將副托 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（25) — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 架41固定在液滴吐出裝置1〇之設定部時的部位（均於後詳 細述之）。更且，一對基準插銷4 5、4 5是晝像辨識爲前 提，屬於將副托架（噴頭單元26)41定位於X軸、γ軸及Θ 方向（位置辨識）的基準。 更在副托架41設有裝脫自如地連接自各機能液滴吐出 噴頭7離開的場所例如位於副托架41的把手47側的端 部，並介著配管配接器48連接在各機能液滴吐出噴頭7的 噴頭側配管構件4 8 a和液體供給回收裝置1 3之連接在於後 詳述的給液槽1 26的裝置側配管構件的配管接頭49。 如第24圖（a)(b)即可明確表示，配管接頭49係具備有 介著支架490被固定在副托架41的把手47側的端部的橫 長面板491，在該面板491嵌合固定以上下兩列共計十二個 的插座492，在各插座492的一端部介著管接頭493連接各 噴頭側配管構件48a地被構成。在各插座492的另一端部 形成插頭孔492a。在該插頭孔492a插拔自如地嵌合插頭 494 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在插頭494介著彎管495連接裝置側配管構件，並且 只在各插座4 92插拔各插頭4 94，可在噴頭側配管構件48a 連接、分開裝置側配管構件。而且就算在配管分離時產生 滴落下的液體，配管接頭49自機能液滴吐出噴頭7離開的 緣故，滴落下的液體並不會附著在後記的機能液滴吐出噴 頭7的連接器66(參照第25圖（a))，就能防止因滴落下的液 體引起的故障。尙且，上述插頭494可藉由利用兩端的螺 絲釘496裝脫自如地安裝在面板491的壓桿497防止脫 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（26) 落。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 可是在插頭孔492a內，與插頭494之間產生空隙的 話，來自空隙的氣泡會流入到機能液滴吐出噴頭7，產生液 滴吐出不良。於是，本實施形態將插頭孔492a的孔底面 492b形成配合插頭494之前端錐度的錐形面，就不會產生 空隙。尙且，插頭孔492a的深度和插頭494的長度的尺寸 公差，而在孔底面492b和插頭494的前端之間，會有稍微 產生空隙的可能性，但該空隙是錐形狀地指向自插頭494 流出的液體的流線方向的緣故，當於吐出裝置1投入噴頭 單元26時，在往所施行的機能液滴吐出噴頭7之液體塡充 工程，很容易自空隙吸引排除氣泡，在吐出裝置1的作業 中，氣泡不會自空隙流入機能液滴吐出噴頭7。 而本實施形態是在插頭494的外周，具有軸向間隔的 安裝複數個例如兩個針對插頭孔492a的密封用0形環 498，提昇插頭494和插座492之間的密封性。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 更在副托架41設有圖未示但位於左右兩列的機能液滴 吐出噴頭群的上側，連接在該些機能液滴吐出噴頭7的左 右一對配線接續裝配。而且各配線連接裝配是配線連接在 吐出裝置1的制裝置（噴頭驅動器：圖示省略）。 如第25圖（a) (b)所示，機能液滴吐出噴頭7是所謂兩 連者，具備有··具有兩連的連接針62、62的液體導入部 6 1、和連至液體導入部6 1之側方的兩連噴頭基板63、和連 至液體導入部6 1之下方的2 .連幫浦部64、和連至幫浦部 64的噴嘴形成面板65。在各連接針62連接上述配管配接 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（27) 器48，更在各連接針62的基部裝固防止侵入幫浦部64的 異物的過濾器62a。在噴頭基板63的2連連接器66、66連 接自上述配線連接裝配被導出的可撓性扁形電纜（圖未 示）。 並藉由幫浦部64和噴嘴形成面板65構成突出於副托 架41背面側的方形噴頭本體60。而在噴嘴形成面板65的 噴嘴形成面67形成兩列多數個吐出噴嘴68。尙且，配管配 接器48是配合兩連的連接針62、62，針對各一個機能液滴 吐出噴頭7平均設置兩個的緣故，就能將連接在配管接頭 49的各插座492的噴頭側配管構件48a介著T字接頭連接 在兩個配管配接器48、48。 其次，針對液滴吐出裝置1〇的其他構成裝置和附帶裝 置11的各構成裝置按順序說明。 第26圖至第29圖是表示搭載X軸台的液滴吐出裝置 的架台21及石定盤22。如該些圖所示，架台21是將角鋼 材等組成方形所構成，具有分散配置在下部之附調整螺栓 的複數個（九個）支撐腳71。在架台21的上部以各邊兩個的 比例，以向側方延長地安裝在運搬等移動之際用以固定石 定盤22的複數個（八個）固定構件72。各固定構件72是 「L」字狀地形成支架狀，將基端側固定在架台2 1的上部 側面，將前端側介著調整螺栓73抵接在石定盤22的下部 側面。石定盤22是針對架台2 1以非鎖固狀態而載置，於 搬運石定盤22之際，藉此該固定構件72針對架台21使石 定盤22不動地固定在X軸方向及Y軸方向（前後左右）。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 填寫木 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -31 - 576797 A7 B7 五、發明説明（28) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 石定盤22是令機能液滴吐出噴頭7精度良好的移動的 X軸台23及Y軸台24不會因周圍的環境條件、振動等產 生精度（特別是平面度）上失常地加以支撐，平面視之爲長 方形無垢的石材所構成。在石定盤22的下部設有將此支撐 在架台21上之附調整螺栓的三個主支撐腳75及六個補助 腳76。三個主支撐腳75是以三點支撐石定盤22，且出現 其表面的平行度（包括水平度），六個補助腳76是支撐自 石定盤22的三個主支撐腳75偏移的部分，且抑制其彎 曲。 因此，第29圖乃如模式性所示，三個主支撐腳75、 75、 75是呈兩等邊三角形地被配置，爲其底邊的兩個主支 撐腳75是位於石定盤22的基板搬入側（同圖爲左側，第 1 6圖爲前側）地被配設。而六個補助腳7 6、7 6、7 6、7 6、 76、 76是包括上述三個主支撐腳75、75、75，成爲縱橫3 X 3地均勻且分散的被配設。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此時在石定盤22上乃沿著其長邊的中心線與軸線一致 的設置X軸台23，沿著短邊的中心軸與軸線一致的設置γ 軸台24。因此，X軸台23是直接固定在石定盤22上，Y 軸台24是介著各個間塊79將該四根支柱78固定在石定盤 22上。藉此，Y軸台24係跨過X軸台23正交於其上側地 被配設。再者，第27圖中的符號80是指欲固定後述的主 基板辨識相機的四個小塊體，主基板辨識相機亦被固定在 石定盤2 2上。 如第26圖至第28圖的X軸移動系統和第30圖至第 -32- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 ___ B7 五、發明説明（29) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 32圖Θ移動系統所示，X軸台23是延設在石定盤22的長 邊方向，由藉由空氣吸引加以吸附設定基板W的吸附台 81、和支撐吸附台81的Θ台82 (參照第30圖至第32圖）、 和將Θ台82滑動自如地支撐在X軸方向的X軸空氣滑動器 83、和介著0台82令吸附台81上的基板W在X軸方向移 動的X軸線性馬達84、和倂設在X軸空氣滑動器83的X 軸線性刻度85(參照第26圖至第29圖）所構成。 X軸線性馬達8 4是位於X軸空氣滑動器8 3的噴頭單 元26搬入側，X軸線性刻度85是位於X軸空氣滑動器83 的附帶裝置11側，該些是相互平行地被配設。X軸線性馬 達84、X軸空氣滑動器83及X軸線性刻度85是直接支撐 在石定盤22上。在吸附台81連接有連繫在上述真空吸引 裝置15的真空管（圖示省略），藉由其空氣吸引被設定的基 板W是維持平坦度地吸附基板。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而在X軸線性刻度85的附帶裝置1 1側乃平行地位於 此，並在石定盤22上以收容在箱體88的狀態配設X軸電 纜支架87。在X軸電纜支架87乃隨著吸附台81及Θ台82 的移動地收容吸附台81的真空管、Θ台82用的電纜等（參 照第27圖及第28圖）。 像這樣構成的X軸台23是藉由X軸線性馬達84的驅 動，以X軸空氣滑動器83來引導吸附基板W的吸附台8 1 及Θ台82在X軸方向移動。在該X軸方向的往復移動中， 藉由從基板搬入側向著內側的往動動作，進行機能液滴吐 出噴頭7的相對性主掃描。並根據後述的主基板辨識相機 -33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（3〇) 90的辨識結果，藉由Θ台82施行基板W的Θ補正（水平 面內的角度補正）。 第33圖是表75主基板辨識相機。如同圖所示，在吸附 台8 1的正上部是臨近於基板的搬入位置（交接的位置）地 配設一對主基板基板辨識相機90、90。一對主基板基板辨 識相機90、 90是同時畫像辨識基板的兩個基準位置（圖 示省略）。 如第34圖、第35圖及第36圖所示，具備有：γ軸台 24是延設在石定盤22的短邊方向，吊設上述主托架25的 架橋面板9 1、和以兩持架橋面板9 1且滑動自如地支撐在γ 軸方向的一對Y軸滑動器92、92、和倂設在Y軸滑動器92 的Y軸線性刻度93、和以一對Y軸滑動器92、92引導架 橋面板91在Y軸方向移動的γ軸滾珠螺桿94、和令Y軸 滾珠螺桿94正反旋轉的Y軸馬達95。並位於一對Y軸滑 動器92、92的兩側，以分別收容在箱體97、97的狀態而 配設一對Y軸電纜支架96、96。 Y軸馬達95是由伺服馬達構成，Y軸馬達95進行正反 旋轉的話，介著Y軸滾珠螺桿94而螺合於此的架橋面板 91是以一對Y軸滑動器92、92進行引導在Y軸方向移 動。亦即，隨著往架橋面板9 1的Y軸方向的移動，主托架 25會在Y軸方向移動。該該主托架（噴頭單元26)25的γ 軸方向的往復移動中，藉由從終點位置側向著附帶裝置j i 側的往動動作，進行機能液滴吐出噴頭7的副掃描。 一方面，在上述四根支柱78上支撐以主托架25的移 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -34- 576797 A7 _B7_ 五、發明説明（31) 動路徑部分爲長方形開口 98a的載置台面板98，在載置台 面板98上係避開長方形開口 98a而相互平行地配設一對Y 軸滑動器92、92及Y軸滾珠螺桿94。並在從載置台面板 98拉出到外側的一對支撐板99、99上，與其箱體97、97 一同載置上述一對Y軸電纜支架96、96。 在基板搬入側的Y軸電纜支架96主要是收容連接在噴 頭單元26的電纜，在反側的Y軸電纜支架主要是收容連接 在噴頭單元26的裝置側配管構件（圖示均省略）。而該些電 纜及配管構件是介著上述架橋面板91連接在噴頭單元26 的複數個機能液滴吐出噴頭7。 如第37圖及第38圖所示，主托架25是由自下側固定 在上述架橋面板9 1之外觀「I」形的吊設構件1 0 1、和安裝 在吊設構件101下面的Θ台102、和吊設在Θ台102下面地 被安裝的托架本體103所構成。而該吊設構件101是臨近 於上述載置台面板98的長方形開口 98a。 托架本體103係具備有，承載噴頭單元26的底座面板 104、和垂設底座面板104地加以支撐的弓形構件105、和 突出於底座面板104 —方的端部地設有一對暫置角鋼106、 106、和設在底座面板104另一方的端部的制動面板107。 而在制動面板1 07的外側配設辨識基板W的上述一對副基 板辨識相機108。 在底座面板104形成遊動嵌合噴頭單元26的本體面板 44的方形開口 1 1 1，並在構成該方形開口 1 1 1的底座面板 104的左右各開口緣部112設有：欲定位固定噴頭單元26 1 衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 576797 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（32) 的螺栓孔1 1 3、1 1 3、兩個貫通孔1 1 4、1 1 4及定位銷1 1 5。 在像這樣構成的主托架25係利用其兩把手47、47以 手動搬入噴頭單元26的設定。亦即搬入的噴頭單元26會 暫時被載置在兩暫置角鋼1〇6、106上（暫時置放）。在此將 配設在架橋面板9 1上的裝置側配管構件連接在噴頭單元26 的配管接頭49，同時將控制用的電纜配線連接在配線連接 裝配。然後再度握持把手47、47，引導兩暫置角鋼106、 106，而將噴頭單元26推入前方，將此設定在底座面板104 的左右開口緣部112、112。 其次，針對附帶裝置1 1的共同機台3 1做說明。如第 39圖至第42圖所示，共同機台31係具備有：介著隔壁形 成大小兩個收容室122a、122b的排水形式的機台本體 121、和設在機台本體121上的移動台123、和固定在移動 台123上的共同底座124、和設在自機台本體121上的移動 台123偏移端位置的液槽底座125。在共同底座124載置淸 洗單元34及擦拭單元35，在液槽底座125載置後述的液體 供給回收裝置13的給液槽126。 在機台本體121的下面設有附調整螺栓的六個支撐腳 128、和四個腳輪129，而在液滴吐出裝置10側設有欲與液 滴吐出裝置10的架台21連結的一對連結支架130、130。 藉此與液滴吐出裝置1 0和附帶裝置（共同機台3 1 ) 1 1 —體 化，且配合需要而分開附帶裝置1 1，就能移動。 在機台本體121小的一方的收容室122b收容空氣供給 裝置14及真空吸引裝置15的主要部分，在大的一方的收 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 ir 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -36- 576797 A7 B7 五、發明説明（33) 容室122a收容機能液供給回收裝置13的液槽類。而欲連 接在該液槽類的接頭群131是緊臨於形成在機台本體121 之端部上面的矩形開口 1 2 1 a (圖示左端圖）。並位於該矩形 開口 l2la的近傍，設有後述的廢液幫浦152 (參照第16 圖）。 移動台123係具備有：延長至機台本體121的長邊方 向，加以支撐共同底座1 24的方形台1 3 3、和滑動自如地支 撐方形台133的一對移動滑動器134、134、和配設在一對 移動滑動器134、134間的滾珠螺桿135、和令滾珠螺桿 135共同旋轉的移動馬達136。移動馬達136是介著結合器 137被連接在滾珠螺桿135之端，方形台133是介著內螺紋 138螺合在滾珠螺桿135。藉此移動馬達136正轉的話，方 形台133及共同底座124即介著滾珠螺桿135在X軸方向 做進退。 移動台123是令載置在共同底座124上的淸洗單元34 和擦拭單元35移動，但當移動台123驅動時，藉由上述的 Y軸台24使用噴頭單元26臨近於淸洗單元34的正上部。 淸洗單元34密貼在噴頭單元26的複數個機能液滴吐出噴 頭7並吸引液體時，各機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面 67會被污染的關係，故繼續藉由移動台123使擦拭單元35 接近複數個機能液滴吐出噴頭7，以擦拭噴嘴形成面67受 污染地加以動作（詳細於後述）。 並在移動台123的旁邊平行於此地配設電纜支架139。 電纜支架139是被固定在共同機台31上，同時前端部被固 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 蟮—丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -37- 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（34) 定在共同底座124，收容兩單元34、35用的電纜、空氣管 或是後述洗淨用的管、廢液（再利用）用的管等（圖示省 略）。 其次，參照第43圖至第46圖，並針對液體供給回收 裝置13做說明。如第43圖的配管系統圖所示，液體供給 回收裝置13是以對噴頭單元26的各機能液滴吐出噴頭7 供給液體材料的液體供給系統141、和在淸洗單元34回收 吸引的液體材料的液體回收系統142、和對擦拭單元35供 給洗淨用的液體材料溶劑的洗淨液供給系統143、和回收來 自沖水單元33的廢液的廢液回收系統144所構成。 第44圖及第45圖是指收容在上述共同機台31之屬於 大者的收容室122a的液槽群，在拉出式的防液盤146上載 置複數個液槽。在防液盤146上構成液槽群，自圖示左側 橫排地配設洗淨液供給系統1 43的洗淨液槽1 47、液體回收 系統142的再利用液槽148及液體供給系統141的加壓液 槽149，同時在洗淨液槽147及再利用液槽148的近傍配設 形成小型的廢液回收系統144的廢液槽150。 如第43圖所示，廢液槽150是介著廢液幫浦152被連 接在沖水單元33，利用各機能液滴吐出噴頭7將吐至沖水 單元33的液體材料回收到廢液槽150。再利用液槽148是 連接在淸洗單元34的吸引幫浦153，藉由吸引幫浦153從 各機能液滴吐出噴頭7回收吸引的液體材料。再者，如第 46圖所示，廢液幫浦152和後述的給液槽126上流側的開 關閥154是被固定在支撐面板155,如上所述，安裝在機台 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 参· 訂 -__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -38- 576797 A7 B7 五、發明説明（35) 本體1 2 1的端部上面（參照第1 6圖）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第43圖所示，在洗淨液槽147連接連繫空氣供給裝 置14的液槽加壓用管156，流出側被連接在擦拭單元35的 洗淨液噴霧頭（於後述）195。亦即洗淨液槽147是利用從 空氣供給裝置14被導入的壓縮空氣，將內部的洗淨液加壓 供給到洗淨液噴霧頭1 95。詳細於後述，但洗淨液噴霧頭 1 95所吐出的洗淨液會含浸在擦拭機能液滴吐出噴頭7的擦 拭片182。 在加壓液槽149連接連繋空氣供給裝置14的液槽加壓 用管157，流出側被連接在液體供給系統141的給液槽 126。亦即加壓液槽149是指液體材料的主液槽，利用從空 氣供給裝置1 4被導入的壓縮空氣，將內部的液體材料壓送 到給液槽126。 第47圖至第49圖係表示給液槽126。給液槽126是被 固定在上述的液槽底座125上，於兩側具有液位窗162、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 62，同時具備有：以凸緣形式緊閉蓋合的矩形液槽本體 1 6 1、和臨近兩液位窗1 62、1 62用來檢測機能液之液位 (水位）的液位檢測器163、和載置液槽本體161的盤164、 和介著盤164來支撐液槽本體16 1的液槽架16 5。 液槽架165是由安裝面板167、和立設在安裝面板167 上的兩根支柱狀構件168、168所形成，利用該兩根支柱狀 構件168就能微調節液槽本體161的高度及水平。在液槽 本體（的蓋體）161的上面接合著連接在加壓液槽149的供 給管169，並在噴頭單元26側設有延長的給液通路（第43 -39- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（36) 圖的符號158)用的六個連接器170a及大氣開放用的一個連 接器170b。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 液位檢測器163是由上下稍微分離而配設的上限位準 檢測器163 a及下限位準檢測器163b所形成，該上限位準 檢測器163a和下限位準檢測器163b是針對液槽架165在 基部側一個個高度調節自如地被安裝。上限位準檢測器 163a及下限位準檢測器163b均設有向著液槽本體161的兩 液位窗162、162而延伸的一對板狀臂163c、163c，在一對 板狀臂163c、163c的一方安裝臨近其中一方的液位窗162 的發光元件163d，但在另一方安裝臨近另一方的液位窗 162的受光元件163e。亦即利用該發光元件163d及受光元 件163e構成透過型的液位感知器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於連接在給液槽126的上述供給管169的上流側分段 開關閥154 (參照第43圖及第46圖）。開關閥154是利用上 限位準檢測器163a及下限位準檢測器163b被開閉控制， 給液槽1 26的液位經常調整位在上限位準和下限位準之 間。在此，液體材料是以所定壓從加壓液槽149被壓送到 給液槽126，但在給液槽126該加壓液槽149側的壓力會因 大氣開放被切邊，經由上述液位調整而管理的些許水頭壓 (例如25mm± 0.5mm)對機能液滴吐出噴頭7供給液體材 料。藉此，利用機能液滴吐出噴頭7的幫浦動作，亦即幫 浦部64內的壓電元件的幫浦驅動吐出精度良好的液滴，防 止垂液從機能液滴吐出噴頭7的吐出噴嘴68滴下。 再者，如第43圖所示，自給液槽126的六根給液通路 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（37) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 158是分別介著T字接頭158a被分歧在兩根合計十二根分 歧通路l58b，在設於噴頭單元26的配管接頭49的十二個 各插座492連接該些各分歧通路158b作爲裝置側配管構 件。並在各分歧通路158b分段開關閥166,在往機能液滴 吐出噴頭7的液體塡充工程，如後記詳述地暫時將開關閥 166閉閥。 其次，針對維修裝置16以擦拭單元3 5、淸洗單元 3 4、沖水單元3 3的順序做說明。 如第50圖至第55圖所示，擦拭單元35是由別個獨立 構成的捲取單元（第50圖至第52圖）171和拭取單元（第5 3 圖至第55圖）1 72所形成，在上述共同底座124上以突合狀 態被配設。捲取單元171是配設在共同底座124的前側， 拭取單元172是配設在共同底座124的深側亦即淸洗單元 34側。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實施形態的擦拭單元35是針對停止在淸洗單元34正 上部亦即淸洗位置的噴頭單元26，一邊移行後述的擦拭片 182 —邊利用上述的移動台123令整體在X軸方向移動， 擦拭複數個機能液滴吐出噴頭7。因此擦拭單元35是從捲 取單元171被放出，爲了拭取動作令拭取單元172旋轉而 捲繞於捲取單元171。 如第50圖、第51圖及第52圖所示，捲取單元171係 具備有：懸臂式的支撐架1 74、和旋轉自如地支撐在支撐架 174的上側放出捲軸175及下側捲取捲軸176、和捲取旋轉 捲取捲軸176的捲取馬達177。而支撐架174的上側部係固 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 41 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 五、發明説明（38) 定副支撐架178，在該副支撐架178以位在放出捲軸175前 方地以兩支持來支撐速度檢測滾輪1 79及中間滾輪1 80。更 在該些構成零件的下側配設接受洗淨液的洗淨液盤1 8 1。 在放出捲軸175插塡滾筒狀的擦拭片182，自放出捲軸 175被放出的擦拭片182是介著速度檢測滾輪179及中間滾 輪180被送入拭取單元172。在捲取捲軸176和捲取馬達 177之間套掛定時皮帶183，捲取捲軸176是利用捲取馬達 177進行旋轉並捲取擦拭片182。 詳細於後述，但在拭取單元172也設有饋送擦拭片182 的馬達（拭取馬達194)，放出捲軸175是利用設在這的轉 矩限制器1 84，頂抗拭取馬達1 94地加以制動旋轉。速度檢 測滾輪179是由自由旋轉的上下兩個滾輪179a、179b所形 成的夾緊滾輪，利用設在這的速度檢測器1 85來控制捲取 馬達177。亦即放出捲軸175是以張開擦拭片182的狀態而 送出，捲取捲軸176是以不產生鬆弛地捲繞著擦拭片182。 如第53圖、第54圖及第55圖所示，拭取單元172係 具備有：左右一對架台191、191、和支撐在一對架台 191、191之斷面略「U」字狀的底座支撐架192、和以單邊 支撐並旋轉自如地支撐在底座支撐架192的拭取滾輪193、 和令拭取滾輪1 93旋轉的拭取馬達1 94、和平行對峙於拭取 滾輪193的洗淨液噴霧頭195、和令底座支撐架192昇降的 一對複動式空氣汽缸196、196。 一對架台1 9 1、1 9 1是分別由位在外側的固定架台 1 98、和在上下方向滑動自如地安裝在固定架台〗98的內側 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣.
、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -42- 576797 A7 B7 五、發明説明（39) ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 的可動架台199所形成，在各固定架台198的底座部立設 上述的空氣汽缸196。各空氣汽缸196的柱塞196a被固定 在可動架台199，藉由同時驅動的一對空氣汽缸196、 196,昇降底座支撐架192及支撐在這的拭取滾輪193、拭 取馬達194等。 拭取滾輪193是由介著定時皮帶201連結在拭取馬達 194的驅動滾輪2〇2、和夾著擦拭片182並接觸驅動滾輪 202的從動滾輪203所形成，以夾緊滾輪所構成。驅動滾輪 202是以例如在核心部分捲繞具有彈性或柔軟性的橡膠的橡 膠滾輪所構成，將環繞在這的擦拭片1 8 2 —邊移行一邊推 壓在機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67。 洗淨液噴霧頭195是在拭取滾輪（驅動滾輪202) 1 93的 近傍，對著自上述中間滾輪180被送出的擦拭片182噴灑 洗淨液。因此在洗淨液噴霧頭195的前面亦即拭取滾輪193 側係配合擦拭片1 8 2的寬度而橫並地設有複數個噴霧噴嘴 204，在後面設有連接上述洗淨液槽147之連接管所用的複 數個連接器205。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 噴上洗淨液的擦拭片182係浸含著洗淨液，臨近於機 能液滴吐出噴頭7而擦拭這裡。再者，位於拭取滾輪193 的下方，並在底座支撐架192也設有洗淨液盤，與捲取單 元1 7 1的洗淨液盤1 8 1 —同獲得自擦拭片1 82滴下的洗淨 液。 在此，參照第56圖的模式圖，簡單地說明一連串的拭 取動作。噴頭單元26淸洗完時，即驅動移動台123，令擦 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -43- 576797 A 7 B7 五、發明説明（40) 拭單元35前進並充分接近噴頭單元26。拭取滾輪193移動 到機能液滴吐出噴頭7近傍的話，移動台123即停止，且 驅動兩空氣汽缸196、196，並接觸機能液滴吐出噴頭7(推 壓）地令拭取滾輪193上昇。 在此，驅動捲取馬達177及拭取馬達194，拭取送出擦 拭片182的同時，開始洗淨液的噴霧。並與此同時再度驅 動移動台123, 一邊進行擦拭片182的饋送一邊擦拭複數個 機能液滴吐出噴頭7下面地令拭取滾輪193前進。拭取動 作完成時，即停止擦拭片182的饋送，且令拭取滾輪193 下降，更利用移動台123使擦拭單元35後退到原來的位 置。 其次，參照第57圖至第60圖，針對淸洗單元34做說 明。淸洗單元34係具備有對應十二個機能液滴吐出噴頭7 將十二個蓋體212配置在蓋體底座213的蓋體單元211、和 支撐蓋體單元211的支撐構件214、和介著支撐構件214令 蓋體單元211昇降的昇降機構215。 並如第43圖所示，將連接在分段吸引幫浦153的再利 用液槽148的吸引通路216介著集管216a分歧爲十二條分 歧通路216b，將該些分歧通路216b連接在各蓋體212。在 各分歧通路2 1 6b由蓋體2 1 2側依順設有液體感知器2 1 7、 壓力感知器2 1 8和開關閥2 1 9。 十二個蓋體212是以與噴頭單元26的十二個機能液滴 吐出噴頭7 —同並列且一同傾斜的姿勢被固定在蓋體底座 213。各蓋體212乃如第61圖所示，由蓋體本體220和蓋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -44- 576797 A7 B7 五、發明説明（41) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 體保持具221所形成，蓋體本體220是以兩個彈簧222、 222推拍上方且稍微可上下動的狀態保持在蓋體保持具 221。在蓋體底座213配合十二個蓋體212形成十二個安裝 開口 224，同時包括該安裝開口 224地形成十二個淺溝 225。各蓋體212係將下部***安裝開口 224，且將其蓋體 保持具221定位於淺溝225的狀態，螺固在淺溝225的部 分（參照第60圖）。 在各蓋體本體220的上面形成包括機能液滴吐出噴頭7 兩列吐出噴嘴群的凹部220a，在凹部22 0a的周緣部安裝密 封墊227，並在底部位以利用押框228a推壓的狀態來敷設 吸收材228。並在凹部220a的底部位形成小孔229，該小 孔229則連通至連接吸引用的各分歧通路216b的L字接頭 230。吸收液體材料的時候，於機能液滴吐出噴頭7的噴嘴 形成面67推壓密封墊227，欲包含兩列吐出噴嘴群地密封 噴嘴形成面67。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在各蓋體212更設有將凹部220a在其底面側做大氣開 放的大氣開放閥23 1。大氣開放閥23 1是用彈簧23 la推迫 上方閉合側，在液體材料吸引動作的最後階段，拉下大氣 開放閥23 1加以開閥，藉此也可以吸引浸含在吸收材228 的液體材料。圖中231b是指大氣開放閥231的操作部。 支撐構件214係具備有：在上端具有支撐蓋體單元211 的的支撐面板24 1的支撐構件本體242、和在上下方向滑動 自如地支撐著支撐構件本體242的架台243。在支撐面板 241的長邊方向的兩側下面固定一對空氣汽缸244、244, -45- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（42) I I I I I---1· -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 設有利用該一對空氣汽缸244、244而昇降的操作面板 245，在操作面板245上安裝卡合於各蓋體212的大氣開放 閥231的操作部231b的鉤245a。於是利用一對空氣汽缸 2 44、244介著操作面板245來開閉大氣開放閥23 1。 昇降機構215係具備有··由立設在架台243的底座部 243a的空氣汽缸所形成的下段昇降汽缸246、和由設在利 用該昇降汽缸246而昇降的面板248上的空氣汽缸所形成 的上段昇降汽缸247，在前述支撐面板241連結上段昇降汽 缸247的活塞桿。兩昇降汽缸246、247的動程爲互異，利 用兩昇降汽缸246、247的選擇作動將蓋體單元211的上昇 位置自如地切換到比較高的第一位置和比較低的第二位 置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在此，蓋體單元211是在將噴頭單元26移動到臨近蓋 體單元2 1 1之正上部的淸洗位置之際，令機能液滴吐出噴 頭7抵接在蓋體212地經常待機於在蓋體212的密封墊227 和機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67之間空出數mm間 隙地加以設定的下降端位置。並利用往第一位置的上昇將 蓋體212的密封墊227密貼在機能液滴吐出噴頭7的噴嘴 形成面67，在第二位置於蓋體212的密封墊227和機能液 滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67之間稍微空出間隙（例如 0.5mm左右）。再者，本實施形態乃將蓋體單元211利用下 段昇降汽缸246上昇到第一位置，利用上段昇降汽缸247 上昇到第二位置，但當然也可以構成將往第一位置和第二 位置的上昇利用上下相反的昇降汽缸進行。 -46 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 __B7_ 五、發明説明（43) 此種構成的淸洗單元34是利用移動台123移動交叉於 噴頭單元26的Y軸方向移動軌跡的位置，對此噴頭單元 26則藉由Y軸台24移動到臨近淸洗單元34(蓋體單元21 1) 之正上部的淸洗位置。在此，藉由昇降機構2 1 5的下段昇 降汽缸246的作動令蓋體單元211上昇到第一位置，且在 噴頭單元26的十二個機能液滴吐出噴頭7自下側推壓十二 個蓋體212。推壓在各機能液滴吐出噴頭7的各蓋體212係 頂抗本身的兩個彈簧222、222，而令該蓋體本體220沈入 幾分，其密封墊227即均勻地密貼在機能液滴吐出噴頭7 的噴嘴形成面67。 接著，驅動吸引幫浦153的同時，將分段在吸引用的 各分歧通路2 1 6b的開關閥2 1 9加以開閥，自各機能液滴吐 出噴頭7的所有吐出噴嘴68介著各蓋體212吸引液體材 料。並在吸引完之前將大氣開放閥23 1加以開閥，然後將 開關閥219加以閉閥完成吸引。吸引動作完成時，令蓋體 單元211下降到下降端位置。再者，吸引中根據來自設在 吸引用各分歧通路216b的壓力感知器218的訊號來監視各 蓋體212是否發生吸引不良。而且當裝置運作停止時等保 管頭部時，令蓋體單元211上昇到第一位置，將各機能液 滴吐出噴頭7利用各蓋體2 1 2密封，成爲保管狀態。 其次，參照第62圖及第63圖，針對沖水單元33做說 明。沖水單元33是配設在上述X軸電纜支架87的箱體88 上（參照第3 0圖）。沖水單元3 3是由固定在X軸電纜支架 87上的滑動底座251、和進退自如地設在滑動底座251上 (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁)
、1T - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） - 47- 576797 A7 B7 五、發明説明（44) 的長板狀滑動器252、和固定在滑動器252兩端部的一對沖 水箱25 3、25 3、和敷設在各沖水箱253內的一對液體吸收 材254、254所構成。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一對沖水箱25 3、253係具備對應噴頭單元26的左右 兩列的各機能液滴吐出噴頭群的寬度，同時具有對應各機 能液滴吐出噴頭群的副掃描方向的移動範圍的長度而形成 細長形狀。而且該一對沖水箱25 3、253是從滑動器252直 角地延長至X軸台23的上側，且夾著吸附台81地被配 設。並在各沖水箱25 3、253的中央部底面安裝構成排液口 的排液接頭256。連接在該排液接頭256的排液管（圖示省 略）是通過X軸電纜支架87內被連接在上述廢液槽150。 在滑動器252係固定位於一對沖水箱253、253間，並 向著X軸台23的Θ台82而延伸的一對安裝片257、257, 該一對安裝片257、257的前端部是固定在Θ台82的底座 部。亦即，介著滑動器252，一對沖水箱253、2 53被滑動 底座251引導與Θ台82 —同移動。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此種構成的沖水單元33乃如第30圖所示，沖水單元 3 3與Θ台82 —同施行往道的話，最初同圖式右側的沖水箱 25 3會通過噴頭單元26的正下方。此時，複數個（十二個） 機能液滴吐出噴頭7會依序進行噴灑動作，噴頭單元26仍 會移行到通常的液滴吐出動作。同樣地，沖水單元33施行 復道的話，最初左側的沖水箱25 3會通過噴頭單元26的正 下方。此時，複數個機能液滴吐出噴頭7會依序進行噴灑 動作’噴頭單元26仍會移行到通常的液滴吐出動作。像這 -48- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 576797 A7 B7 五、發明说明（45) 樣於供主掃描的往復運動中施行適當噴灑。因而只提供噴 灑動作，噴頭單元26等不會移動，就不會影響噴灑的間歇 時間。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 當噴灑液滴的吐出爲某種程度的時間休止時，例如針 對吐出裝置1出入基板W時也有進行的必要。於是，當液 滴的吐出爲某種程度的時間休止時，將噴頭單元26移動到 臨近蓋體單元2 1 1之正上部的淸洗位置，自各機能液滴吐 出噴頭7向著各蓋體212進行噴灑。此時，蓋體單元211 保存在下降端位置的話，來自機能液滴吐出噴頭7的吐出 液體的一部會自機能液滴吐出噴頭7和蓋體2 1 2之間的間 隙成爲霧狀飛散到外部。因此將蓋體單元2 1 1利用昇降機 構215的上段昇降汽缸247上昇到上述第二位置，在此狀 態進行噴灑。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 按照這樣，機能液滴吐出噴頭7和蓋體2 1 2之間就會 稍微形成間隙，防止來自機能液滴吐出噴頭7的吐出液體 向外部飛散。此時，一旦對蓋體212作用來自吸引幫浦153 的吸引力，就能更有效的防止吐出液體向外部飛散。再 者，也考慮以蓋體212密貼在機能液滴吐出噴頭7的噴嘴 形成面67的狀態進行噴灑，但蓋體212密貼在噴嘴形成面 67的話，噴嘴形成面67被污染的關係，噴灑後需要擦拭噴 嘴形成面6，很不實用。 可是對吐出裝置1投入新的噴頭單元26時，機能液滴 吐出噴頭7的頭內流路變空的關係，在開始液滴吐出作業 前，頭內流路需要塡充液體材料。此時，來自給液槽126 -49 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 ____B7_ 五、發明説明（46) 的液體材料的供給要稍微用水頭壓進行的緣故，於頭內流 路塡充液體材料需要吸引。於是在液體塡充作業之際，將 噴頭單元26移動到淸洗位置，且令蓋體單元211上昇到上 述第一位置，並使各蓋體212密貼在各機能液滴吐出噴頭7 的噴嘴形成面67，將給液槽126內的液體材料利用介著各 蓋體212所作用之來自吸引幫浦153的吸引力塡充到各機 能液滴吐出噴頭7的頭內流路。然而就算利用蓋體2 1 2進 行吸引，在頭內流路液體材料的流速會降低，無法自頭內 流路排除氣泡，在殘留氣泡的影響下會產生液滴吐出不 良。特別是氣泡易殘留於設在機能液滴吐出噴頭7的連接 針62的基部的過濾器62a上。 於是，本實施形態在給液用的各分歧通路1 5 8b外設如 上所述的開關閥166，同時在吸引用的各分歧通路216b設 有如上述的液體感知器2 1 7，液體塡充開始後液體材料被吸 引到蓋體212，當這被液體感知器217檢知到時，依然對應 繼續因蓋體2 12引起的吸引，暫時將開關閥166閉閥。藉 此就在開關閥1 66的閉閥中令頭內通路減壓，然後因開關 閥1 66的開閥，而令液體材料急遽地流動，頭內流路中的 液體材料的流速成爲高速化，氣泡就能自頭內流路效率良 好的被排除。根據實驗，相對於開關閥1 66之閉閥前的流 速爲100mm/ s左右，且暫時將開關閥166閉閥後再開閥的 話，流速爲200〜2000mm/ s，確認會大幅地增加。 在此，開關閥166之閉閥前的頭內流路的液體塡充率 很高的程度下，閉閥後頭內流路會效率良好的被減壓。當 ----------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -50- 576797 A7 ___B7 五、發明説明（47) 液體材料達到上述液體感知器217時，液體材料會略爲充 滿頭內流路，就能利用液體感知器2 1 7適當地自動控制閉 閥定時。而在給液用和吸引用的各分歧通路158b、216b分 別設有開關閥1 66和液體感知器2 1 7，藉此就算在各個機能 液滴吐出噴頭7產生初期的液體塡充率誤差，還是能對每 個機能液滴吐出噴頭7以適當的定時個別的將開關閥1 66 加以閉閥。 而開關閥1 66和機能液滴吐出噴頭7之間的通路長度 很短的程度下，閉閥後的減壓效率提高，同時塡充時的液 體消耗量減少。在此，在與主托架25 —體動作的部分搭載 開關閥166的話，不需要將追蹤保持在主托架25的噴頭單 元26的動作的鬆弛附加在開關閥1 66和機能液滴吐出噴頭 7之間的通路部分，就能縮短通路長度。於是本實施形態是 在吊設主托架25的架橋面板91搭載開關閥166。其詳細乃 如第64圖及第65圖所示，於固定在架橋面板91的架台 261上，平均六個上下兩段搭載十二個開關閥166。 並於覆蓋開關閥166之搭載處的架台261的上面板262 配置六個T字接頭158a、和六個接地接頭15 8c，且將連繫 給液槽126的六條給液通路158(管）分別介著接地接頭 15 8c連接到T字接頭158a的內向連接口。然後將連接在該 些六個T字接頭158b的下向連接口的六條分歧通路158b 的上流部分1 5 8b i連接到上段的六個開關閥1 66的流入口 166a，同時將連接在該些T字接頭158a的外向連接口之剩 下的六條分歧通路158b的上流部分158b i連接在下段的六 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 51 - -------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576797 A7 B7 五、發明説明（48) 個開關閥166的流入口 166a。 n m m n In n n LI m I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 並在架台261的下面板263介著支架264配置十二個 管接頭158d，將連接在上下兩段合計十二個開關閥166的 流出口的十二條分歧通路158b的中間部分158b 2分別連接 在管接頭158d的一端，在該些管接頭158d的另一端連接 著被連接在噴頭單元26的配管接頭49的插座492的裝置 側配管構件的分歧通路158b的下流部分158b 3。再者，在 架台261也設有不介著開關閥166給液到噴頭單元26的歧 管 265。 以上針對有機電激發光裝置之製造裝置做說明，但液 晶顯示裝置之彩色濾色片的其他製品以噴墨方式製造的吐 出裝置也同樣適用本發明。 例如液晶顯示裝置方面的彩色濾色片之製造方法係於 複數個機能液滴吐出噴頭7導入R、G、B各色的濾色片材 料，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及前掃描， 選擇性吐出濾色片材料，在基板上形成多數濾色片元件。 加上利用與上述同樣的方法也可形成被覆多數濾色片元件 的保護膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 同樣地，本實施形態的機能液滴吐出裝置1 〇可適用於 電子放出裝置之製造方法、電漿顯示裝置之製造方法及電 泳顯示裝置之製造方法等。 電子放出裝置之製造方法是對複數個機能液滴吐出噴 頭7入R' G、B各色的螢光材料，且複數個機能液滴吐出 噴頭7進行主掃描及副掃描，選擇性吐出螢光材料，在電 -52- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（49) 極上形成多數螢光體。再者，電子放出裝置是包括FED(電 場放出顯示器）的上位槪念。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 電漿顯示裝置之製造方法是在複數個機能液滴吐出噴 頭7導入R、G、B各色的螢光材料，且複數個機能液滴吐 出噴頭7進行主掃描及副掃描，選擇性吐出螢光材料，在 背面基板上的多數凹部分別形成螢光體。 電泳顯示裝置之製造方法是在複數個機能液滴吐出噴 頭7導入各色的泳動體材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7 進行主掃描及副掃描，選擇性吐出油墨材料，在電極上的 多數凹部分別形成泳動體。再者，由帶電粒子和顏料所形 成的泳動體會微密封地被封入爲佳。 一方，本實施形態的機能液滴吐出裝置10也適用於間 隔物形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻 劑形成方法及光擴散體形成方法等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 間隔物形成方法是在兩枚基板間構成微小的單元空 隙，形成多數粒子狀的間隔物，使構成間隔物的粒子材料 分散在液中，將調整爲液狀的材料導入到複數個機能液滴 吐出噴頭7，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及副 掃描，選擇性吐出粒子材料，至少在一方的基板上形成間 隔物。例如對於構成上述液晶顯示裝置、電泳顯示裝置中 的兩枚基板間的單元空隙時就很有用，當然也適用於其他 需要此種微小間隙的半導體製造技術。 金屬配線形成方法是在複數個機能液滴吐出噴頭7導 入液狀金屬材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃 -53- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 五、發明説明（50) 描及副掃描，選擇性吐出液狀金屬材料，在基板上形成金 屬配線。例如適用於連接上述液晶顯示裝置方面的驅動器 和各電極的金屬配線、連接上述有機電激發光裝置方面的 TFT等和各電極的金屬配線。而除了此種平面顯示器之 外，當然也適用於一般的半導體製造技術。 透鏡形成方法是在複數個機能液滴吐出噴頭7導入透 鏡材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及前掃 描，選擇性吐出透鏡材料，在透明基板上形成多數微透 鏡。例如可適用作爲上述FED裝置方面的光束收束用的裝 置。而且當然也適用於各種光裝置。 光阻劑形成方法是在複數個機能液滴吐出噴頭7導入 光阻劑材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及 前掃描，選擇性吐出光阻劑材料，在基板上形成任意形狀 的光阻劑。例如上述各種顯示裝置方面的儲料形成，能由 原來針對半導體製造技術爲主體的微縮法擴大適用到光阻 劑的塗佈。 光擴散體形成方法是指在基板上形成多數光擴散體的 光擴散體形成方法，對複數個機能液滴吐出噴頭7導入光 擴散材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及前 掃描’選擇性吐出光擴散材料，形成多數光擴散體。此情 形當然也適用於各種光裝置。 〔發明效果〕 由以上說明即可明白，按照本發明之吐出裝置用噴頭 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -?·%» 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -54 - 576797 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（51) 單元及吐出裝置，就算在取下配管時自配管構件產生垂 液，液體也不會附著在機能液滴吐出噴頭的連接部，且能 夠在噴頭單元的開放空間部分針對噴頭單元進行配管作 業，提高作業性。 一方面，按照本發明的液晶顯示裝置之製造方法、有 機電激發光裝置之製造方法等各種製造方法，就能介著吐 出裝置提高製造方法的可靠性。 〔圖面的簡單說明〕 第1圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的儲料部形成工程（無機物儲料）的斷面圖。 第2圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的儲料部形成工程（有機物儲料）的斷面圖。 第3圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的電漿處理工程（親水化處理）的斷面圖。 第4圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的電漿處理工程（撥水化處理）的斷面圖。 第5圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的正孔注入層形成工程（液滴吐出）的斷面圖。 第6圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的正孔注入層形成工程（乾燥）的斷面圖。 第7圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的表面改質工程（液滴吐出 >的斷面圖。 第8圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 --------- -------丁------__ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -55- 576797 A7 B7 五、發明説明（52) 法的表面改質工程（乾燥）的斷面圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第9圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的B發光層形成工程（液滴吐出）的斷面圖。 第10圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的B發光層形成工程（乾燥）的斷面圖。 第11圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的R、G、B發光層形成工程的斷面圖。 第12圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的對向電極形成工程的斷面圖。 第13圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的密封工程的斷面圖。 第14圖是有關實施形態的正孔注入層形成設備的槪念 圖。 第1 5圖是有關實施形態的發光層形成設備的槪念圖。 第1 6圖是有關實施形態的吐出裝置的外觀立體圖。 第1 7圖是有關實施形態的吐出裝置的外觀正面圖。 第1 8圖是有關實施形態的吐出裝置的外觀側面圖。 第1 9圖是有關實施形態的吐出裝置的外觀平面圖。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 第20圖是有關實施形態的吐出裝置的液滴吐出裝置的 模式圖。 第2 1圖是有關實施形態的噴頭單元的平面圖。 第22圖是有關實施形態的噴頭單元的側面圖。 第23圖是有關實施形態的·噴頭單元的正面圖。 第24圖（a)是有關實施形態的噴頭單元的配管接頭的外 -56- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（53) 觀立體圖、（b)配管接頭的斷面圖。 第25圖（a)是有關實施形態的機能液滴吐出噴頭的外觀 立體圖、（b)機能液滴吐出噴頭的斷面圖。 第26圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的石定盤旋轉 的側面圖。 第27圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的石定盤旋轉 的平面圖。 第28圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的石定盤旋轉 的正面圖。 第29圖是表示有關實施形態的液滴吐出裝置的石定盤 的支撐形態的模式圖。 第30圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的X軸台的平 面圖。 第3 1圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的X軸台的側 面圖。 第32圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的X軸台的正 面圖。 第33圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的主基板辨識 相機旋轉的立體圖。 第34圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的Y軸台的平 面圖。 第3 5圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的Y軸台的側 面圖。 第3 6圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的γ軸台的正 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 #1. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -57- 576797 A7 B7 五、發明説明（54) 面圖。 11----------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第37圖是有關實施形態的Y軸台的主托架的立體圖。 第3 8圖是有關實施形態的Y軸台的主托架的平面圖。 第39圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的共同機台的 立體圖。 第4〇圖是有關取出實施形態的液滴吐出裝置的共同底 座的共同機台的立體圖。 第41圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的共同機台的 側面圖。 第42圖是有關實施形態的液滴吐出裝置的共同機台的 平面圖。 第43圖是有關實施形態的液滴吐出裝置之液體供給回 收裝置的配管系統圖。 第44圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的幫浦群 旋轉的立體圖。 第4 5圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的幫浦群 旋轉的平面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第46圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的廢液幫 浦旋轉的立體圖。 第47圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的給液槽 的立體圖。 第4 8圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的給液槽 的側面圖。 第49圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的給液槽 -58- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576797 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（55) 的正面圖。 第50圖是有關實施形態的擦拭單元的捲取單元的立體 圖。 第51圖是有關實施形態的擦拭單元的捲取單元的平面 圖。 第5 2圖是有關實施形態的擦拭單元的捲取單元的正面 圖。 第53圖是有關實施形態的擦拭單元的拭取單元的立體 圖。 第54圖是有關實施形態的擦拭單元的拭取單元的平面 圖。 第5 5圖是有關實施形態的擦拭單元的拭取單元的正面 圖。 第56圖是表示擦拭單元動作的模式圖。 第57圖是有關實施形態的淸洗單元的外觀立體圖。 第5 8圖是有關實施形態的淸洗單元的正面圖。 第59圖是有關實施形態的淸洗單元的側面圖。 第60圖是有關實施形態的淸洗單元的平面圖。 第61圖是淸洗單元的蓋體的放大斷面圖。 第62圖是有關實施形態的噴灑單元的立體圖。 第63圖是有關實施形態的噴灑單元的平面圖。 第64圖是有關實施形態的給液通路中的開關閥的配置 部的立體圖。 第65圖是有關實施形態的給液通路中的開關閥的配置 「「「- ml . . I I I 1 - - - I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -59- 576797 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（56) 部的側面圖。 〔符號說明〕 W 基板（工件） 1 吐出裝置 7 機能液滴吐出噴頭 25 主托架 26 噴頭單元 34 蓋體單元 41 副托架 67 噴嘴形成面 68 吐出噴嘴 126 給液槽 153 吸引幫浦 158 給液通路 158b 分歧通路 166 開關閥 212 蓋體 216 吸引通路 216b 分歧通路 217 液體感知器 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60-