TW501195B - Apparatus and method for breaking up bubbles in a liquid flow - Google Patents

Description

B7 發明説明（i) 發明領域·· ' 本發明是關於一種管流之氣泡分割器，尤指一種應用 於半導體工業之晶圓光阻液加注作業中、細微化加注設備 管路中氣泡之氣泡分割裝置者。 發明背景： a按，在半導體工業中，-晶圓上光阻之平坦度係為決 ，其佈層品質之一重要因素；影響佈層品質之因素良多， 原晶圓鍛層之特性、光阻液之品質、旋塗設備之參數 設定、加注速度與量、及光阻加注設備之控制等，而在光 阻液及其加注賴之控制上，光阻管流巾之含氣泡量亦為 一影響塗佈品質之重要因素。 如圖-所示，係為一習知光阻加注裝置之示意圖；光 阻之供應係由-光阻供應單元9輸送至一遽清器7、已過 濾光阻可能夾帶之雜質，在經由一加壓卿筒5將光阻藉由 滴出於—晶圓1上；其中’估不論光阻管流氣泡 產生原因為何’然’依管流之特性，其中流通之氣泡有 4聚之趨勢，若是光阻管财之氣義聚為-定之尺寸、 =!嘴釋出並黏附於晶圓之表面’則常有造成光阻塗 佈層凹陷之平坦度不佳情形產生。 =然為解核述之氣朗題’ f知先可以週期維修 修、勢必影響生產之速率；是以，如繁之㈣維 速率間、#彳《甚杜 °產°°良率與生產 迷羊〗取件-雜之齡抒，射光轉針之 501195 五、發明説明（2 ) 凝聚現象實為一較佳之選擇。 發明概述： 本發明之主要目的，係在提供一種管流之氣泡分割 器，用以將一當流中之氣泡微細化'減低較大氣泡之產生。 本發明之又一目的，乃在提供一種應用於光阻管流設 備上之氣泡分割器，以減少較大氣泡藉由噴嘴釋出、並黏 附於晶圓上，可有效提昇晶圓光阻塗佈之平坦化控制。 本發明之再一目的，乃在提供一種管流之氣泡分割 器，藉由縮小管流中之氣泡大小、達到提高製品良率及延 長維修週期之目標。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) / t發明之氣泡分割器，係用以串連於一管路上、用以細 微化管路中之氣泡尺寸，亦可將其争連於一半導體工業之 光阻加注設備、近該光阻加注設備末端喷嘴之管路上、以 解決上述之光阻氣泡影響晶圓光阻塗佈平坦度之問題。 、該氣泡分割器，係為—中空管體，管體之兩端又具有一 ，流入Π及-管流出π、用以將氣泡分顚串連管接至一 管^上’而在氣泡分割器之營體内壁上又财錄個㈣ 至管體巾之分觀藉由分解元之突人管流中、有效 地形成流路中氣泡之_、並將其截斷細分。 在本發明中，該多數個分割單元係可為環繞氣泡分割器 f管體内壁設置，可為自管流人π至管流出Π分佈之環繞 &體内壁之多數個g出圈；而在本發明之較佳實施例中， 本紙張尺度適用中 501195 A7 B7 五、發明説明（j ) ^ ~~ 該多數個突出圈之設置方式係可呈等間距設置、或是里遞 減間距設置。 而應用本發明管流之氣泡分割器之一光阻加注裝置，係 應用於半導體工業中之光阻加注製程，藉由氣泡分割器之 應用，可有將管流氣泡細微化、提高晶圓光阻佈層平坦度 之果效’其係包括有一用以提供加注用光阻之光阻供應單 元、一用以將管流光阻加壓之加壓唧筒、一管接於光阻供 應單元與加壓唧筒並用以濾除光阻供應單元所提供光阻中 雜質之濾清器、一如上所述之氣泡分割器、及一與氣泡分 割器之管流出口管接並用以將管流中之光阻加注於一晶圓 上之噴嘴。 而在本發明之光阻加注裝置之最佳實施例中，又可於 氡泡分割器及喷嘴間、串連一茂氣閥，以藉由該茂氣閥定 時、或視需要、將累積於管路中之氣泡加壓釋出。 為使貴審查委員對於本發明能有更進一步的了解與 認同，茲配合圖式作一詳細說明如后。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 圖式之簡單說明： 圖一係為一習知光阻加注裝置之示意圖。 圖二係為本發明管流之氣泡分割器最佳實施例之剖面 示意圖。 圖三係為本發明管流之氣泡分割器之應用示意圖。 4 501195 五、發明説明（斗） 圖號說明： 曰曰 圓 5加壓唧筒 9光阻供應單元 20氣泡 101分割單元 104管流出口 3噴噙 7濾清器 10氣泡分割器 35洩氣閥 103管流入口 凊參閲圖二聯’係騎發崎紅錢分割器最佳1 施例之剖.意® ;本發明之氣泡分龍1G，係用以串史 於-管路上、用以細微化管路中之氣泡尺寸，亦可將其 連於-半導體I業之光阻加注設備、近該細加注設備3 端喷嘴之管社、以驗上叙絲氣泡料晶圓光阻璧 佈平坦度之問題。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印装 該氣泡分割器10係為-中空管體，管體之兩端又且有一 管流入口 103及一管流出口 104、用以將氣泡分割器^連管 接至管路上’而在氣泡分割器1〇之管體内壁上又設有多 數個突出至管體中之分割單元TOi，藉由分割單元1〇1之突 入管流中、有效地形成流路中氣泡20之阻滯、並將其截酴 細分。 在本發明中，該多數個分割單元101係為環繞氣泡分寒 器10之管體內壁設置’其可為自管流入口;[Q3至管流出t 104分佈之環繞管體内壁之多數個突出圈；於本發明最佳， 本紙张尺度適用中國國家標率（CNS ) A4规格Ul〇X：m公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 501195 五、發明説明（5 ) 施例中，該突出圈之遠離該管體管壁之外绫僥矗一尖端， 此尖端乃是取其容县突穿分割營流中之氣泡2〇^ά設計。 在本發明之較佳實施例中，該多數個突出圈之設置方式 係可為、自管流入口 103至管流出口 104、呈等間距設置或 是呈遞減間距設置，以增進其細分氣泡之效果。 再請參閱圖三所示，係為本發明管流之氣泡分割器1〇 應用於光阻加注裝置之示意圖；此一光阻加注裝置，係應 用於半導體工業中之光阻加注製程，藉由氣泡分割器1〇之 應用，乃有將管流氣泡細微化、提高晶圓光阻佈層平坦度 之果效’其係包括有一用以提供加注用光阻之光阻供應單 元9、一用以將管流光阻加壓之加壓唧筒5、一管接於光阻 供應單元9及加壓唧筒5並用以濾除光阻供應單元9所提供 光阻中雜質之濾清器7、一如上所述之氣泡分割器1〇、及一 與氣泡分割器10之管流出口 1〇4管接並用以將管流中之光 阻加注於一晶圓1上之噴嘴3。 而在本發明之光阻加注裝置中，因管流中氣泡20之分割 固可將藉由噴嘴3加注之光阻中氣泡2〇細微化、以避免影響 :圓1之平坦度，然，經一定時間之操作後、仍有氣泡邡積 聚於管路中、或是氣泡分割器10之相鄰二分参潭元101間之 疑慮二是以，在本發明光阻加注裝置之最佳實施例中，可 ，該乳泡分割關及嘴嘴3間、串連―泡氣嶋；藉由該线 氣閥35 ’本發明之光阻加注裝置即可定時、或視需要、將 累積於管路中之氣泡20加壓釋出。 本紙張·中 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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以上所述係利用較佳實施例詳細說明本發明，而非限 制本發明之範圍，而且熟知此類技藝人士皆能明瞭，適當 而作些微的改變及調整，仍將不失本發明之要義所在，亦 不脫離本發明之精神和範圍。 綜上所述，本發明實施之具體性，誠已符合專利法中 所規定之發明專利要件，謹請貴審查委員惠予審視，並 賜准專利為禱。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印褽 適 度 尺 張 紙 i本 公 97 2

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 501195 A8 B8 C8 p------—— _______ D8 ' 丨丨· ................................................................. "" ___ 穴、申請專利範圍 1· 一種瞢流之氧泡分钭器，係串連於一管路上、用以細微 化該管路中之氣泡尺寸，其係為一中空管體，該管體之 兩端又具有一管流入口及一管流出口、以將該分割器串 連至該管路上，磚管體之內辟上又設有多數個突出至瞢 ft中之分割單元。 2·如申請專利範圍第1項所述之管流之氣泡分割器，其中所 述之該多數個分割單元係為環繞該管體内壁設置。 3·如申請專利範圍第丨項所述之管流之氣泡分割器，其中所 述之該多數個分割單元係為自該管流入口至該管流出口 分佈之環繞該管體内壁之多數個突出圈。 4·如申請專利範圍第3項所述之管流之氣泡分割器，其中所 述之該突出圈之遠離該管體管壁之外緣係為一尖端。 5·如申請專利範圍第3項所述之管流之氣泡分割器，其中所 述之該多數個突出圈之設置方式係為、自該管流入口至 該管流出口、呈篝間辟設置。 L如申請專利範圍第3項所述之管流之氣泡分割器，其中所 述之該多數個突出圈之設置方式係為、自該管流入口至 該管流出口、呈遞巍閲屈設置。 *· 一種管流之氣泡分割器，係串連於一半導體工業之光阻 r 加注設備、近該光阻加注設備末端喷嘴之管路上、用以 細微化該管路中之氣泡尺寸，其係為一中空管體，該管 體之兩端又具有一營湳入口及一瞢漭屮口、以將該分割 器串連至該管路上，該管體之内劈t冬設有多數個突出 至管體中之分割單悉。 ______ 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（21〇><297公慶了一- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

   、申請專利範圍 所述之管流之氣泡分割器，其中所 q “夕77割單元係為魏該管翻壁設置。 • ζ申^利範圍第7項所述之管流之氣泡分割器，其中所 數個分割單元料自該管流人口至該管流出口 刀佈之環繞該管體内壁之多數個突出圈。 •如申明專利fc圍第9項所述之管流之氣泡分割器，其中 、所述之該突㈣之義鮮體管狀外緣係為-尖 端。 次 11·如申明專利範圍第9項所述之管流之氣泡分割器，其中 所述之該多數個突出圈之設置方式係為、自該管流二口 至該管流出口、呈等間距設置。 12·如申凊專利範圍第9項所述之管流之氣泡分割器， 所述之該多數個突出圈之設置方式係為、自該管流二口 至該管流出口、呈遞減間距設置。 13· -種光阻加注裝置，係應用於半導體工業中之光阻加注 以提供一經管流氣缉細微化之加注光阻者，其包 一光阻供應覃元，係用以提供加注用之光阻; -^㈣筒，制以將該絲加注裝置中之管流光阻加 壓·， 一遽清n ’係管接於該光_應單元及該加㈣筒間、 用以濾除該光阻供應單元所提供光阻♦雜質；曰 一，泡分割器，係為-中㈣體、用以細微化管路中 氣泡尺寸’該管體之兩端又具有一與該加㈣筒管接 _^_ 9 本紙張尺度適用中國國家樣隼（CNS) M規格（2wxm公瘦 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 0 1---- 1 1*-1 I 、-is 1ml f2 . 501195 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 Βδ C3 D8 申請專利範園 之管流入口及一管流出口，該管體之内壁上X設有多 數龍突出至管體中之分割單元；及 一噴嘴，係與該氣泡分割器之該管流出口管接、用以將 管流中之光阻加注於一晶圓上。 44·如申請專利範圍第13項所述之光阻加注裝置，其中所述 之該氣泡分割器之該多數個分割單元係為環繞該管體 内壁設置。 15·如申請專利範圍第13項所述之光阻加注裝置，其中所述 之該氣泡分割器之該多數個分割單元係為自該管流入 口至該管流出口分佈之環繞該管體内壁之多數個突出 圈。 16.如申請專利範圍第15項所述之光阻加注裝置，其中所述 之該突出圈之遠離該管體管壁之外緣係為一尖端。 17·如申請專利範圍第15項所述之光阻加注裝置，其中所述 之該多數個突出圈之設置方式係為、自該管流乂口至該 管流出口'呈等間距設置。 18.如申請專利範圍第15項所述之轨加注裝置，盆中所述 之該多數個突出圈之設置对係為、自該f流入口至該 管流出口、呈遞減間距設置。 说如申請專利範圍第13項所述之光阻加注裝置，盆中又包 括管接於該氣齡割器與該噴嘴間之域閥，以 作為維修時之管路洩氣元件。 _尺度適用t國國家檩準規格（210x29: '公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)