TW414760B - Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method - Google Patents

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—製造步驟圖 圖2 5 A 用之凹槽構件 圖2 5 B 用之凹槽構件 圖2 5 C 用之凹槽構件 圖2 5 D 用之凹槽構件 圖2 5 E 用之凹槽構件 圖2 6 A 施例之製造步 圖2 6 B 施例之製造步 ，圖 2 6 C 414760 中文說明書修正頁 Α7民國87年6月呈 Β7 、發明説明（〗6 ) —製造步驟圓： V ^ - 圖2 4 D爲依照本發明之液體噴射頭之製造方法之另 —製造步驟圖： 圖2 4 Ε爲依照本發明之液體噴射頭之製造方法之另 概略的顯示可與本發.明之液體噴射頭一起使 之製造步驟； 概略的顯示可與本發明之液體噴射頭一起使 之製造步驟： 概略的顯示可與本發明之液體噴射頭一起使 之製造步驟； 概略的顯示可與本發明之液體噴射頭一起使 之製造步驟； 概略的顯示可與本發明之液體噴射頭一起使 之製造步驟； 爲本發明之液體噴射頭之製造方法之另一實 驟之圖； 爲本發明之液體噴射頭之製造方法之另一實 驟之圖； 爲本發明之液體噴射頭之製造方法之另一實 η ，聞 讀 背 今 事 項 再 填 寫 本 頁 裝 訂 經濟部中央標準扃貝工消f合作社印裝 圖發 之本 驟爲 步D 造6 製2 之圖 例 施 另 之 法 方 造 製 之 頭 射 噴 氆 液 之 實 圖發 之本 驟爲 步A 造7 製2 之圖 例 施 圖發 之，本 驟爲 步B 造7 製2 之圖 例 施 圖發 之本 驟爲 步C 造7 製2 之圖 例 施 圖樣 i- 之)Λ4 驟Ns 步 造 製 之 例 施 C 隼 橾 f' 國 國 中 通 度 尺 張 紙 另 之 法 方 造 製 之 頭 射 噴 體 液 之 另 之 法 方 造 製 之 頭 射 噴 體 液 之 另 之 法 方 造 製 之 頭 射 噴 體 液 之 實 實 實 -19- 414760 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（1 ) 發明背景 發明領域 本發明係有關一種藉著將熱能施加至液體，使用泡沬 的產生以噴射一種合適的液體之液髗喷射頭，一種使用該 液體噴射頭之噴射頭卡匣，使用該頭匣之液體噴射裝置， 液體噴射頭之製造方法，液體噴射方法，記錄方法，和使 用該液體噴射方法之印表。其進一步係有關一種包含該液 體噴射頭之噴墨頭工具組。 更特定地，本發明係有關一種液體噴射頭，其具有一 使用泡沫產生而移置之可移動構件，以及一使用該液體噴 射頭之噴射頭卡匣，以及一種使用相同物之液體喷射裝置 。本發明進一步係有關一種液體噴射方法與記錄方法，其 藉由使用泡沬產生而移置可移動構件以噴射液體。 本發明可被應用至一用來相對於一記錄介質執行一記 錄操作之印表機，該介質由一種紙質材料、細絲、纖維、 織物、皮革、金屬、塑膠樹脂、玻璃、木頭、或陶瓷材料 所組成，一種影印機器，一種具有一通訊系統之俥眞設備 ，一種如文字處理器一般具有一印表機單元之裝置，以及 一種由各種不同的處理裝置之組合所構成的工業記錄設備 〇 在本說明書中，「記錄」不只表示形成一種具有一特 定意義的圖像，例如一文字或圖樣，也可包含形成一種不 具任何特定意義的圖像，例如一圖案。 表紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210·Χ297公釐）-4 _

In. -I- — - ^—»1 S—1 ^^^1 1^1 n^i ml ^^^1 ^^^1 ^^^1 ^^^1 \eJ_____m ______ (請表聞讀背^之注意亨項再填寫本頁) 41?4ΠΡ6你85105023號專利g奇案I 1 :了 土/更’三補充 中文說明書修正頁 民國88年10月修正 — — - —— ____ 五、發明説明（17 ) 6 活動部份 5 b 支持構件 1 5 a壁構件 4 b 供應通道 經濟部中央標隼局負工消費合作杜印裝 圖 2 7 D 爲 本 發 明 之 液 體噴射 頭之製造方 法之 另一 實 施 例 之 製 造 步 驟 之 圖 * T 圖 2 8 爲 依 照 本 發 明 之 另— 實 施例之液體 噴射 頭匣 之 破 裂 立 體 圖 P 圖 2 9 爲 依 照 本 發 明 之 另- -實 施例之液體 噴射 裝置 之 示 意 立 體 圖 F 「far J 圖 3 0 爲 液 體 噴 射 裝 置 之例之 方塊圖， 圖 3 1 爲 液 體 噴 射 記 錄 系統 :之 例之立體圖 :和 圖 3 2 爲 液 體 噴 射 頭 I 具之例 之示意圖* 元 件 符 號 對 照 表 1 1 噴 射 出 □ 1 .8 接線電極 2 熱 產 生 表 面 7 泡沫 1 4 孔 板 5 分隔壁 3 6 液 體 流 動 路 徑 1 2 第一共同液體室 1 基 底 1 笛—北固® ί艚电 9 ---------^------ir------ {請先«115背<6.之注意事項再填.卞1). 1 2 a 第一供應通道 1 3 a 第二供應通道 4 第二液體流動路徑 3 第一液體流動路徑 1 5 流動通道壁 1 5 d 缺口 3 1 活動部份 1 0 4 掩模 1 0 0 基底 2 0 0 體噴射頭部份 8 0 液體容器 3 0 分隔壁 5 0 Η楢構伴 (UUX 297公疫 / 6 a 自由端 6 b 固定端 8 細縫 3 5 溝隙 6 7 基底 6 6 底層 6 4 接線電極 6 5 電阻層 — A3 保護層 尺度適用中囷國家標隼（CNS ) -20 414760 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（2 ) 相關背景技藝 —種所謂泡沫喷射式的噴墨記錄方法係已知的，其中 導致一種立即的體積改變（泡沫產生）之一種立即的狀態改 變，由施加至墨水的能量（例如熱量）所造成，使用狀態改 變所產生之力量，將喷墨通過噴射出口，藉此墨水被噴射 至該記錄介質並且堆積於記錄介質上以形成一圖像。如同 美國專利第4 ，7 2 3，1 2 9號中所揭示者，一種使用 泡沫喷射記錄方法之記錄裝置，包括一用來噴射墨水的噴 射出口，一與該噴射出口連通之墨水流動路徑，以及一電 熱功率轉送器，作爲一配置於該墨水流動路徑中之能量產 生機構。 此種記錄方法的優點，在於可於高速與低噪音下記錄 —高品質的圖像，同時多個此種噴射出口可呈高密度的定 位，因此，可提供一種供應高解析度的小型記錄設備，並 且可輕易地形成顏色圖像。因此，泡沬噴射記錄方法如今 已廣泛地使用在列表機、影印機、傳眞設備或其他辦公室 設備，並且用在如同織物印刷裝置一般之工業系統中。 由於泡沫噴射技術已被廣泛地使用於各種不同頜域的 產品，因而產生如下所述之各種不同的需求。 例如，能量效率需要改進。爲了符合此種需求，便需 要探討發熱元件的最佳化，例如保護薄膜厚度的調整。由 於將產生的熱量傳送至液體的效率獲得改進，此種方法係 有效的。 (請先閱讀背你之注意事飧再填寫本頁) 裝· -口 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）-5 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414760五、發明説明（3 ) 爲了提供髙品質的圖像，已提出增加噴墨速度的驅動 條件，並且/或者穩定泡沬產生以完成較佳的噴墨。另一 個範例，從增加記錄速度的觀點，已提出流動路徑結構的 改進，藉以增加進入液體流動路徑之液體的充塡（重新裝 塡）率。 日本專利公開申請案No.昭6 3 — 1 9 9 9 7 2揭 示一流動路徑構造，如圖1之（a )和（b )所示。 此製造方法之液體路徑或通道構造由背向波之觀點向 著液體室呈現。由於背向波無助於液體噴射，其被視爲能 量損失。該專利案提供一閥10位在相關於液體之一般流 動方向之熱產生元件2之上游，並安裝在通道之頂板上。 其由最初位置沿著頂板延伸。當泡沬產生時，該閥在向下 延伸之位置，藉此可由閥1 0抑制部份的背向波。當在路 徑3中產生泡沬時，背向波之抑制實際上並不十分重要。 背向波並不直接作用在液體之噴射。當背向波發生在路徑 中時，用以直接噴射液體之壓力已經使液體由通道中噴出 0 另一方面，在泡沬噴射記錄方法中，隨著發熱元件接 觸星水而重覆地加熱，由於墨水燒焦，一種燃燒後的物質 堆積於發熱元件的表面上。然而，隨著墨水種類的不同， 堆稹的數量可能很大。如果這種情形發生時，噴墨會變得 不穗定。此外，即使當被噴射的液體爲一種易於受熱影響 而劣化的液體，或者當液體爲一種泡沫產生不充分的液體 時，該液體仍適於被適當地喷射而不致改變性質。 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）_ 6 ~* (請先'聞讀背.'&之注意事項再填寫本頁) A7 414760 B7 五、發明説明（4 ) 日本公開專利申請案第6 1-6 9 4 6 7與55-8 1 1 7 2號，以及美國專利第4 , 4 8 0，2 5 9號，揭 示不同的液體被用於藉熱置產生泡沬的液體（泡沬產生液 體〉，並且被用'於被噴射之液體（噴射液體）◊在這些公 告案中，作爲噴射液體與泡沬產生液體的墨水，由一矽橡 膠或類似物製成的可彎曲薄膜完全地加以分隔，藉以在自 泡沬產生液體之泡沫產生所造成的壓力*藉著可彎曲薄膜 之變形傳送至噴射液體時，避免噴射液體與發熱元件的直 接接觸。藉著此種結構，可避免發熱元件表面上之堆稹， 或者增加選擇噴射液體的自由度。 然而，藉著此種噴射液體與泡沬產生液體完全分隔之 結構，由泡沬產生所造成之壓力，經由可彎曲薄膜之膨膜 —收縮變形，傅送至噴射液體，因此，相當高程度的壓力 由可彎曲薄膜吸收。 此外，可彎曲薄膜之變形並不夠大，因此，雖然將噴 射液髗與泡沫產生液體分隔可提供相同的效果，能量效率 與噴射力量仍然會劣化。 作爲一種澳淡記錄方法，日本專利公告案第6 2 — 4 8 5 8 5號，揭示一種藉著驅動多個發熱元件以改變被 噴射墨滴的大小之方法，這多個發熱元件配置於一液體流 動路徑中，在適當的時間被獨立地驅動。 發明摘要 因此，本發明之主要目的乃在提供一種液體噴射原理 本紙張尺度適用中國國家標準{〇奶）八4規格（210父297公釐）_7- I- I . — I i i I I n ^ (請先"讀背卦之注意f項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 414760 a7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（5 ) ，其中所產生之泡沬以新穎的方式控制。 本發明之另一目的乃在提供一種液體噴射方法，和 液體噴射頭等，其中累積在熱產生元件上之液體中之熱可 顯著的降低，和在熱產生元件上之殘餘泡沬亦會降低，藉 以改善噴射效率和噴射壓力。 本發明之另一目的乃在提供一種液體喷射頭，其中可 抑制由於背向波而抵抗液體供應方向之慣性力，且同時， 藉由活動構件之閥功能*亦可減少液面之收縮，藉此可增 加重項頻率，以提升高速印表。 本發明之另一目的乃在提供一種液體噴射頭，其可減 少在熱產生元件上之殘留材料沉稹，且可擴大可使用液體 之範圍，此外，噴射效率和噴射力可顯著的增加。 本發明之另一目的乃在提供一種液體噴射方法和液體 噴射頭等，其中欲噴射之液體之選擇性更大。 本發明之另一目的乃在提供一種液體噴射頭之製造方 法，其中該液體噴射頭可輕易的製造。 本發明之另一目的乃在提供一種液體噴射頭和印表裝 置等，由於用以供應多數液體之液體導入路徑以少數之零 件構成，其可輕易的製造。本發明之又一目的乃在提供一 種降低尺寸液體噴射頭和裝置。 本發明之另一目的乃在提供使用上述噴射方法之良好 印表之影像。 本發明之另一目的乃在提供一種頭工具，其可輕易的 拋棄液體噴射頭。 -----^------裝— (請先_閲讀背兩之注_.項再填寫本頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS>A4規格（2!0X297公釐> -8 _ 414760 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明说明（6 ) 依照本發明之第一觀點，本發明提供一種液體噴射方 法，包含：提供具有一可產生熱之熱產生表面之基底以在 液體中產生泡沬；提供具有一自由端之一活動構件；提供 一噴射出口以使用產生之泡沫噴出該液體，噴射出口隔著 該活動構件而與該基底相對：設置活動構件之自由端在相 關於液體流至噴射出口之方向之下游側上；和其中該泡沬 位移活動構件之自由端，並向著噴射出口成長以噴出該液 體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種液體噴射方 法，包含提供一可產生熱之熱產生表面以在液體中產生泡 沫；提供具有一自由端之一活動構件；提供一喷射出口以 使用產生之泡沫噴出該液體，噴射出口隔著該活動構件而 與該熱產生表面相對；設置活動構件之自由端在相關於液 體流至噴射出口之方向之下游側上；和其中該泡沬位移活 動構件之自由端，並向著喷射出口成長以嘖出該液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種液體噴射頭 ，包含：一基底具有可產生熱之熱產生表面以在液體中產 生泡沬；一活動構件具有一自由端：一噴射出口使用產生 之泡沬以噴出液體，該喷射出口隔著活動構件而與該基底 相對；一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沬向著該 噴射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所位移時，在 相反構件接近熱產生表面下，相反構件相對於活動構件之 -側。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種液體噴射頭 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 9 . ----------^------,1T-----^ (請先聞讀背办之注意#‘項再填寫本頁) 經濟部中央樣率局員工消費合作社印製 414760 A7 B7五、發明説明（7 ) ，包含：一可產生熱之熱產生表面以在液體中產生泡沬； 一活動構件具有一自由端；一噴射出口使用產生之泡沬以 噴出液體，該噴射出口隔著活動構件而與該熱產生表面相 對：一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沬向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所位移時，在相 反構件接近熱產生表面下，相反構件相對於活動構件之一 側。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種頭匣，包含 :一液體噴射頭，包括：一基底具有可產生熱之熱產生表 面用以在液體中產生泡沬：一活動構件具有一自由端：一 噴射出口使用產生之泡沫以出液體，該噴射出口隔著活動 構件而與基底相對：一相反構件和該活動構件配合以引導 該泡沬向著該噴射出口，其中當活動構件之自由端由泡沫 所位時，在相反構件接近熱產生表面下，該相反構件相對 於活動構件之一側：和該頭匣進一步包含：一液體容納部 份用以容納欲供應之液體喷射頭之液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種頭匣，包含 :—液體噴射頭，包括：一可產生熱之熱產生表面用以在 液體中產生泡沬；一活動構件具有一自由端：一噴射出口 使用產生之泡沬以出液體，該噴射出口隔著活動構件而與 熱產生表面相對：一相反構件和該活動構件配合以引導該 泡沫向著該噴射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所 位時，在相反構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於 活動構件之一側；和該頭匣進一步包含：一液體容納部份 本紙張尺度適用中國國家操率（CNS)A4規格（210X297公釐）-- -----------^------、玎-----^-I ^ - (請先聞讀之注意才項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7 _五、發明説明（8 ) 用以容納欲供應之液體噴射頭之液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種液體噴射裝 置，包含：一液體喷射頭，包括：一可產生熱之熱產生表 面用以在液體中產生泡沫：一活動構件具有一自由端：一 噴射出口使用產生之泡沫以出液體，該噴射出口隔著活動 構件而與基底相對：一相反構件和該活動構件配合以引導 該泡沬向著該噴射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬 所位時，在相反構件接近熱產生表面下，該相反構件相對 於活動構件之一側；和該裝置進一步包含：驅動訊號供應 機構用以供應驅動訊號以噴出液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種液體喷射裝 置，包含：一液體噴射頭，包括：一基底具有可產生熱之 熱產生表面用以在液體中產生泡沫；一活動構件具有一自 由端；一噴射出口使用產生之泡沬以出液體，該噴射出口 隔著活動構件而與基底相對：一相反構件和該活動構件配 合以引導該泡沬向著該噴射出口，其中當活動構件之自由 端由泡沬所位時，在相反構件接近熱產生表面下，該相反 構件相對於活動構件之一側；和俥送機構用以傳送一記錄 材料以接收由液體噴射頭噴出之液髋。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種液體喷射裝 置，包含：一液體噴射頭，包括：一基底具有可產生熱之 熱產生表面用以在液體中產生泡沫；一活動構件具有一自 由端：一嘖射出口使用產生之泡沫以出液體，該噴射出口 隔著活動構件而與熱產生表面相對；一相反構件和該活動 - ^ 裝 訂 線 (請洗閲讀耆面之注意才項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS)A4规格（ 210X297公釐^ - 414760 經濟部中央標準局負工消费合作社印笨 __B7_ _ .五、發明説明（9 ) 構件配合以引導該泡沬向著該噴射出口，其中當活動構件 之自由端由泡沬所位時，在相反構件接近熱產生表面下， 該相反構件相對於活動構件之一側：和該裝置進一步包含 :驅動訊號供應機構用以供應驅動訊號以噴出液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種液體噴射裝 置，包含：一液體噴射頭，包括：一可產生熱之熱產生表 面用以在液體中產生泡沬：一活動構件具有一自由端：一 噴射出口使用產生之泡沬以出液體，該噴射出α隔著活動 構件而與熱產生表面相對：一相反構件和該活動構件配合 以引導該泡沬向著該噴射出口，其中當活動構件之自由端 由泡沫所位時*在相反構件接近熱產生表面下，該相反構 件相對於活動構件之一側；和傳送機構用以傳送一記錄材 料以接收由液體噴射頭噴出之液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種頭工具，包 含：一液體噴射頭，包括：一基底具有可產生熱之熱產生 表面用以在液體中產生泡沬：一活動構件具有一自由端： 一噴射出口使用產生之泡沬以出液體，該噴射出口隔著活 動構件而與熱產生表面相對：一相反構件和該活動構件配 合以引導該泡沬向著該喷射出口，其中當活動構件之自由 端由泡沫所位時，在相反構件接近熱產生表面下，該相反 構件相對於活動構件之一側；和一液體容器用以容納欲供 應至液髗喷射頭之液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種頭工具，包 含：一液體噴射頭，包括：一可產生熱之熱產生表面用以 請 杏- 閲 讀 I 之 注 意 t 項- 再 填 弇 本 頁 裝 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X 297公釐〉-12 414760 A7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印褽 B7五、發明説明（i〇 ) 在液體中產生泡沫：一活動構件具有一自由端：一噴射出 口使用產生之泡沬以出液體*該喷射出口隔著活動構件而 與熱產生表面相對；一相反梅件和該活動構件配合以引導 該泡沬向著該噴射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬 所位時，在相反構件接近熱產生表面下，該相反構件相對 於活動構件之一側；和一液髗容器含有欲供應至液體噴射 頭之液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供一種液體噴射方 法，包含：提供具有一可產生熱之熱產生表面之基底以在 液體中產生泡沬： 提供具有一自由端之一活動構件： 提供具有一噴射出口以使用產生之泡沬噴出該液體之 噴射出口構件，該噴射出口隔著該活動構件而與該基底相 對； 其中該噴射出口構件和該基底之間界定一液體路徑， 且在該路徑上不會互相穿越； 設置活動構件之自由端在相關於液髏流至噴射出口之 方向之下游側上：和 其中該泡沬位移活動構件之自由端，並向著噴射出口 成長以噴出該液體。 依照本發明之另一觀點，本發明提供 —種液體噴射頭，包含：一基底具有可產生熱之熱產 生表面以在液體中產生泡沫；一活動構件具有一自由端： 一噴射出□構件，其具有噴射出口使用產生之泡沬以喷出 (請先 尚讀背面之注意亨項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾率（CNS>A4規格（210X297公釐）-13 - 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印聚 414760_^_五、發明説明（η ) 液體，該噴射出口隔著活動構件而與該基底相對：其中該 噴射出口構件和該基底之間界定一液體路徑，且在該路徑 中，它們不會互相穿越；一相反梢件和該活動構件配合以 引導該泡沫向著該喷射出口，其中當活動構件之自由端由 泡沬所位移時，在相反構件接近熱產生表面下，該相反構 件相對於活動構件之一側：和由熱產生表面所產生之熱會 引起液體之膜沸騰以產生泡沬。 依照本發明之另一目的，本發明提供一種使用該記錄 裝置之記錄系統。 依照本發明，一種活動構件具有一自由端***熱產生 元件之熱產生表面和一噴射出口之間，且藉由熱產生表面 所產生之泡沬而生之壓力以位移向著喷射出口。結果，該 活動構件配合相對於活動構件之一構件*並集中由泡沬所 產生之壓力向著喷射出口，如同擠壓介於熱產生表面和噴 射出口間之流體連接路徑。因此，液體可利用高噴射效率 ，高噴射能量，和高射出準確度投射在記錄材料上。活動 構件亦可有效的降低背向波之影響，因此，可改善液體之 再充塡特性。因此，本發明在連績液體噴射時可提供液滴 之穗定噴射性質和泡沫之髙反應性穗定成長，藉以完成髙 速記錄和高影像品質記錄。 藉由使用可輕易產生泡沫且不會在兩流動路徑構造中 之液體喷射頭上輕易的產生累積材料，可增加噴射液體之 選擇之自由度。此外，會受到熱所影響之液體亦可使用而 不會有任何影像。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公嫠）-Μ - -----Ί.--^----裝------訂-----^--線 « (請讀背之注意f項再填寫本頁) 414760 A7 B7 五、發明説明（12 ) 依照本發明之液體噴射頭之製造方法，此種液體噴射 頭可高精確的製造，並以低成本且較少數目之零件製造， 本發明另可提供髙噴射效率之液體噴射裝置或記錄系 統0 依照本發明，液體噴射頭可再使用。 在考量本發明下述之較佳實施例以及伴隨之附圖後， 本發明之上述，和其它目的，特點和優點將變的更加清楚 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 圖式簡述 圖1爲依照一實施例之液體噴射頭之主要部份之示意 截面圇： 圖2爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之主要部 份之部份示意部份立體圖： 圈3 A爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之液體 噴射狀態之示意截面圖： 圖3 B爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之液體 噴射狀態之示意截面圖： 圖3 C爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之液體 噴射狀態之示意截面圖： . 圖3 D爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之液體 噴射狀態之示意截面圖： .圖4爲依照本發明之一實施例之液體喷射頭之液體噴 射狀態之示意截面圖： ---,--^------裝------訂-----：—線 (請讀背面之注項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨Ο X 297公釐）-15 - 414^60 Λ7 B7 經濟部中央標丰局員工消費合作社印製 五、發明说明（13 ) 圇5爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之液體噴 射狀態之示意截面圖： 圖6爲依照本發明之一實施例之液體喷射頭之主要部 份之部份破裂示意立體圔：， 圇7爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之主要部 份之部份之示意截面圖： 圖8爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之主要部 份破裂示意立體圖： .圚9A爲使用於依照本發明之一實施例之液體噴射頭 中之熱產生元件和活動部份等之示意頂平面圖： 圖9 B爲使用於依照本發明之實施例之液體噴射頭中 之熱產生元件和活動部份之示意頂平面圖； >圖9 C爲使用於依照本發明之實施例之液體噴射頭中 之熱產生元件和活動部份之示意頂平面圖： 圖1 Ο A爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之液 體噴射狀態之示意截面圖： 圖1 Ο B爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之液 體噴射狀態之示意截面圖： 圖1 0 C爲依照本發明之一實施例之液雔噴射頭之液 體噴射狀態之示意截面圖； 圖1 0 D爲依照本發明之一實施例之液體喷射頭之液 體噴射狀態之示意截面圖； 圖11A爲由依照本發明之一實施例名液體噴射頭所 產生之泡沬之壓力傅播示意截面圖： (請先閲讀背®之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格U10X297公釐）-16 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印掣 4141^0 A7 B7 五、發明説明（14 ) 圚11B爲由習知液體噴射頭來而之泡沬之壓力俥播 τκ意截面圖： 圖1 2爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之主要 部份之示意截面圖： 圖13A爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之示 意截面圓和部份示意頂平面圖； 圊1 3 B爲依照本發明之一實施例.之液體噴射頭之示 意截面圚和部份示意頂平面圖； 圖14A爲在依照本發明之一實施例之液體噴射頭中 ，液體噴射狀態之示意截面圖： 圖1 4 B爲在依照本發明之一實施例之液體_射頭中 ，液體噴射狀態之示意截面圇； 圇1 5 A爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之示 意.截面圖和部份示意頂平面圖： 圖1 5 B爲依照本發明之..一實施.例之液體.噴射頭之示 意截面圖和部份示意頂平面圖； 圖16A爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之主 要部份之示意截面圖： 圖1 6 B爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之主 要部份之示意截面圖： 圚1 7爲本發明之一實施例之部份示意立體圖： 圖1 8爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之部份 示意立體圇： 圖1 9 A爲可使用於本發明之液體噴射頭中之活動部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格U10X297公釐>-17 - 414160 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（15 ) 份之構造之例示意頂平面圖： 圚1 9 B爲可使用於本發明之液體喷射頭中之活動部 份之構造之另一例之示意頂平面圖； 圖1 9 C爲可使用於本發明之液體喷射頭中之活動部 份之構造之又一例之示意頂平面圖： 圖2 0爲可和本發明之液體噴射頭一起使用之活動部 份之例之示意頂平面圖： 圇21A爲本發明之液體噴射頭之活動部份之構造之 例之示意頂平面圖； 圖21B爲本發明之液體噴射頭之活動部份之構造之 另一例之示意頂~平面圖； 圈21C爲本發明之液雔噴射頭之活動部份之構造之 又一例之示意頂平面圖； 圖2 2 A爲本發明之液體噴射頭之基底之例之示意截 面圖： :圖2 2 B爲本發明之液體噴射頭之基底之例之示意截 面圊： 圖2 3爲應用於本發明之液體噴射頭之驅動脈衝之圖 圖2 4 A爲依照本發明之液體噴射頭之製造方法之製 圖2 4 B爲依照本發明之液體噴射頭之製造方法之另 一製造步驟圖； 圖2 4 C爲依照本發明之液體噴射頭之製造方法之另 I - IJ Ί I n n n 線 (請:?t閱讀貨面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）_ μ，

—製造步驟圖 圖2 5 A 用之凹槽構件 圖2 5 B 用之凹槽構件 圖2 5 C 用之凹槽構件 圖2 5 D 用之凹槽構件 圖2 5 E 用之凹槽構件 圖2 6 A 施例之製造步 圖2 6 B 施例之製造步 ，圖 2 6 C 414760 中文說明書修正頁 Α7民國87年6月呈 Β7 、發明説明（〗6 ) —製造步驟圓： V ^ - 圖2 4 D爲依照本發明之液體噴射頭之製造方法之另 —製造步驟圖： 圖2 4 Ε爲依照本發明之液體噴射頭之製造方法之另 概略的顯示可與本發.明之液體噴射頭一起使 之製造步驟； 概略的顯示可與本發明之液體噴射頭一起使 之製造步驟： 概略的顯示可與本發明之液體噴射頭一起使 之製造步驟； 概略的顯示可與本發明之液體噴射頭一起使 之製造步驟； 概略的顯示可與本發明之液體噴射頭一起使 之製造步驟； 爲本發明之液體噴射頭之製造方法之另一實 驟之圖； 爲本發明之液體噴射頭之製造方法之另一實 驟之圖； 爲本發明之液體噴射頭之製造方法之另一實 η ，聞 讀 背 今 事 項 再 填 寫 本 頁 裝 訂 經濟部中央標準扃貝工消f合作社印裝 圖發 之本 驟爲 步D 造6 製2 之圖 例 施 另 之 法 方 造 製 之 頭 射 噴 氆 液 之 實 圖發 之本 驟爲 步A 造7 製2 之圖 例 施 圖發 之，本 驟爲 步B 造7 製2 之圖 例 施 圖發 之本 驟爲 步C 造7 製2 之圖 例 施 圖樣 i- 之)Λ4 驟Ns 步 造 製 之 例 施 C 隼 橾 f' 國 國 中 通 度 尺 張 紙 另 之 法 方 造 製 之 頭 射 噴 體 液 之 另 之 法 方 造 製 之 頭 射 噴 體 液 之 另 之 法 方 造 製 之 頭 射 噴 體 液 之 實 實 實 -19- 41?4ΠΡ6你85105023號專利g奇案I 1 :了 土/更’三補充 中文說明書修正頁 民國88年10月修正 — — - —— ____ 五、發明説明（17 ) 6 活動部份 5 b 支持構件 1 5 a壁構件 4 b 供應通道 經濟部中央標隼局負工消費合作杜印裝 圖 2 7 D 爲 本 發 明 之 液 體噴射 頭之製造方 法之 另一 實 施 例 之 製 造 步 驟 之 圖 * T 圖 2 8 爲 依 照 本 發 明 之 另— 實 施例之液體 噴射 頭匣 之 破 裂 立 體 圖 P 圖 2 9 爲 依 照 本 發 明 之 另- -實 施例之液體 噴射 裝置 之 示 意 立 體 圖 F 「far J 圖 3 0 爲 液 體 噴 射 裝 置 之例之 方塊圖， 圖 3 1 爲 液 體 噴 射 記 錄 系統 :之 例之立體圖 :和 圖 3 2 爲 液 體 噴 射 頭 I 具之例 之示意圖* 元 件 符 號 對 照 表 1 1 噴 射 出 □ 1 .8 接線電極 2 熱 產 生 表 面 7 泡沫 1 4 孔 板 5 分隔壁 3 6 液 體 流 動 路 徑 1 2 第一共同液體室 1 基 底 1 笛—北固® ί艚电 9 ---------^------ir------ {請先«115背<6.之注意事項再填.卞1). 1 2 a 第一供應通道 1 3 a 第二供應通道 4 第二液體流動路徑 3 第一液體流動路徑 1 5 流動通道壁 1 5 d 缺口 3 1 活動部份 1 0 4 掩模 1 0 0 基底 2 0 0 體噴射頭部份 8 0 液體容器 3 0 分隔壁 5 0 Η楢構伴 (UUX 297公疫 / 6 a 自由端 6 b 固定端 8 細縫 3 5 溝隙 6 7 基底 6 6 底層 6 4 接線電極 6 5 電阻層 — A3 保護層 尺度適用中囷國家標隼（CNS ) -20 A7 414760 __B7 五、發明説明（） 17-1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

2 2 阻止物 9 0 液體容器 1 2 1 基底 7 0 電路板 1 I 2 3 鎳層 9 4 定位構件 請 1 1 2 4 乾燥膜 9 2 液體傳送路徑 先 閲 1 Μ 2 5 光罩 8 4 傳送路徑 讀 背 1 Λ 1 1 0 3 阻止物 9 3 傳送路徑 之 注 t 1 8 2 泡沬產生液體路 徑 意 事 1 項 1 3 0 6 驅動馬達 再 填 I 1 5 0 記錄材料 3 0 7 頭驅動器 寫 本 % 頁 1 1 1 1 馬達 2 0 1 液體噴射頭 1 1 1 2 齒輪 2 0 4 a 墨容器 1 1 1 1 3 齒輪 3 0 4 b 墨容器 1 1 1 1 5 托架軸 2 0 5 c 墨容器 1 訂 3 0 0 主電腦 2 0 5 d 墨容器 1 1 3 0 1 輸入介面 2 0 4 e 液體容器 1 1 3 0 2 CPU 1 I 2 0 3 a，2 0 3 b 2 0 3 c -2 0 3 d 蓋 1 1 3 0 3 ROM 2 0 6 運送皮帶 銷 I 3 0 4 RAM 2 5 1 先印表處理裝置 1 1 I 3 0 5 馬達驅動器 2 5 2 後印表處理裝置 1 I 5 0 1 頭工具包裝 5 1 0 頭 1 I 5 1 1 噴墨部份 5 1 0 墨容器 1 1 5 3 0 墨充填機構 5 2 0 墨容器 1 I 5 2 1 室氣通孔 5 3 1 尖端 1 1 較佳 實 施例之說明 I 以下參考圖式說明本發明之較佳實施例。 (實施例1 ) _圖1爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之示意橫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20-1 - 經濟部十央標率局員工消費合作社印^ 414*7 60 a7 _B7_ 五、發明説明（18 ) 截面圖。圖2爲圖1之液體喷射頭之部份破裂示意部份圓 0 此實施例之液體噴射頭稱爲側卸下型頭，其中噴射出 口11實質平行的面對熱產生表面2之熱產生元件。熱產 生表面2之尺寸爲4 8 μιηΧ 4 6 且爲熱產生電阻型 式。其安裝在基底1上，並藉由如美國專利USP4，7 2 3，1 2 9所揭示之液體之膜沸騰而產生熱能以產生泡 沬。噴射出口 1 1形成在一孔板1 4中，該孔板1 4爲噴 射出口部份材料。孔板14經由電成型以鎳製成。 液體流動路徑3 b位在孔板1 4和基底1之間，因此 可和噴射出口11流體相通以使液體可流經於此。在此實 施例中，水基墨（水和乙醇之混合液體）當成欲噴射之液 體。 液體流動路徑3 b具有一活動部份6以平板槓桿之型 式，以覆蓋熱產生元件2並面對熱產生元件2。於此活動 部份稱爲'活動構件'。活動部份6位在相鄰熱產生表面 之向上突起空間，在垂直於熱產生元件2之熱產生表面之 方向。活動部份6爲例如金饜之彈性彈料。在此實施例中 ，使用厚度爲5 之鎳。活動部份6之一端5 a支持和 固定在一支持構件5 b上。支持構件5 b由圖樣光敏樹脂 材料形成在基底1上。在活動部份6和熱產生表面間有一 約1 5//m之間隙。 參考數字1 5 a爲一壁構件，當活動部份6打開時， 壁構件在接近熱產生表面下，當成相反構件相對活動部份 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）_ 21 - ------\---τ---裝------ 訂-----^--線 - - (請δ讀背面之注意有項再填寫本頁) 414760 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 〔19) 1 ! 6 之 表 面 0 壁 構 件 1 5 a 和 活 動 部 份 6 之 白 由 端 6 a 以 I 約 2 μ m 之 細 縫 8 互 相 相 對 0 活 動 部 份 6 具 有 一 固 定點 ( 1 1 1 支 點 ) 在 相 關 於 由 -- 共 同 液 體 室 經 由 供 應 通 道 4 b 和 活 動 1 1 部 份 6 到 噴 射 出 □ 1 1 之 液 體 流 動 之 上游 側 上 9 和 一 白 由 請 1 1 端 6 a 在 下 游 側 0 固 定 端 6 b 作 用 當 在 打 開 活 動 部份 6 閱 讀 背 1 時 之 基 礎 部 份 ( 支 點 ) 0 面 之 注 1 在 此 賨 施 例 中 * 細 縫 8 窄 到 足 以 避 免 在 活 動 部 份 6 位 f 項 1 I 移 之 前 經 由 細 縫 8 之 泡 沬 擴 張 〇 因 此 9 雖 然 細 縫 形 成 環 繞 再 I 1 活 動 部 份 6 但 是 其 仍 可 提 供 實 質 的 密 封 構 件 0 至 少 活 動 寫 本 Μ ^' Λ 1 1 部 份 6 之 白 由 端 6 a 位 在 由 於 泡 沫 而 生 壓 力 延 伸 之 1E 域 中 1 1 0 在 圖 1 中 A 表 示 在 穩 定 狀 態 中 活 動 部 份 6 之 上 1 1 側 區 域 { 噴 射 出 P 側 ) 和 % B 表 示 下 側 區 域 ( 熱 產 生 1 訂 元 件 側 ) 〇 1 1 當 在 熱 產 生 元 件 2 之 熱 產 生 表 面 上 產 生 熱 且 泡 沫 產 生 1 I 在 區 域 B 時 y 活 動 部 份 6 之 白 由 端 6 a 立 即 在 圖 1 之 箭 頭 1 1 方 向 移 動 、 亦 即 向 著 域 A 9 以 基 礎 部 份 6 b 作 用 當 成 *~- 1 線 支 點 9 藉 由 泡 沬 之 產 生 和 成 長 而 導 致 之 壓 力 和 泡 沫 之 擴 張 1 1 等 0 藉 此 液 體 可 經 由 喷 射 出 □ 1 1 噴 出 0 1 1 在 圖 2 中 參 考 數 字 1 8 表 示 接 線 電 極 用 以 施 加 一 電 I 訊 號 至 熱 產 生 元 件 2 ( 其 爲 熱 轉 換 器 ) 9 且 其 安 裝 在 基 1 1 底 1 上 0 1 I I 以 下 說 明 依 照 此 實 施 例 之 液 體 噴 射 頭 之 噴 射 操 作 0 圖 1 1 I 3 A — 3 D 爲 依 照 此 實 施 例 之 液 體 噴 射 頭 之 噴 射 操 作 之 示 1 1 意 截 面 圖 0 在 圖 3 A — 3 D 中 9 省 略 支 持 構 件 5 b 以 簡 化 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS) A4規格（210X297公釐）-22 - 414760 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 0 圖3 A爲熱產生元件之尙未供應例如髦能之能量時之 狀態，亦即，熱產生元件尙未產生熱（最初狀態）。如圖 3 A所示，自由端6 a相對於具有預定尺寸之細縫8。 圖3 B爲熱產生元件2供應電能等以產生熱之狀態， 其以膜沸騰產生泡沫，且該泡沬會成長。由泡沬之產生和 成長而導致之壓力主要傳播至活動部份6。活動部份6之 機械位移有助於來自噴射出口之噴射液體之噴射。 圖3 C爲泡沫7進一步成長之狀態。可了解的是，活 動部份6圖爲泡沬7之成長而進一步位移向著噴射出口。 藉由活動部份6之位移，噴射出口側區域A和熱產生元件 側區域B比最初狀態更自由的互相相通。在此狀態中，介 於熱產生表面和噴射出口間之流體相通路徑由活動部份6 抑制至一適當範圍以集中泡沬擴張之力向著噴射出口。以 此方式，由泡沫成長而導致之壓力波集中的傅送在向上方 向。藉由壓力波之直接傳播和圖4 B中活動部份6之位移 ，噴射液體以高速和高噴射能董噴出，並進一步以液滴 1 1 a (圖3D)之形式經由噴射出口 1 1以高嘖射效率 噴出。 在圖3 C中，在熱產生元件側面域B上產生之部份泡 沬延伸至噴射出口側區域A。如果介於基底1之表面或熱 產生元件2之熱產生表面和活動部份6間之間隙逋當的選 擇以允許泡沬延伸進入噴射出口側區域A時，可進一步增 加噴射能量。爲了使泡沬延伸向著噴射出口超過活動部份 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）-23 - I . Ί n ~Ί H 裝 n 1 n n 1111 * (請忠閲讀之注意專項再填寫本頁) 經濟.部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（21 ) 6之最初位置，最好使熱產生元件側區域B之高度小於最 大泡沬狀態之高度，更特別而言，爲數pm - 3 0 ym。 圖3 D爲內側壓力減少下，泡沫7之陷縮狀態。活動 部份6由於來自泡沬之收縮而導致之負壓力和由於活動部 份之彈簧特性之恢復力而恢復其初始位置。因此，液體流 動路徑3 b迅速的供應以噴出液體之置。在液體流動路怪 3 b中，沒有因爲泡沬之背向波之任何影響，且液體供應 和活動部份6之關閉同時的進行，且因此，液體供應不會 受活動部份所阻礙。 以下說明此實施例之液體嘖射頭之液體再充塡之情形 0 當泡沬7達到最大體積後而在陷縮處理時，同時由噴 射出口 1 1側和液體流動路徑3 b側流入用以補償消失泡 沬體積之液體體稹。在上側（噴射出口側）超過活動部份 6之最初位置之泡沬之體積爲w 1，而下側（熱產生元件 側）之體稹爲活動部份（wl+w2=w)。當活動部份 6恢復其初始位置時，用以補償w 1部份之噴射出D上之 液面收縮停止，而後，剩餘w 2之補償主要由介於活動部 份6和熱產生表面間之液體供應作用。藉此，可減少在噴 射出口上之液面之收縮。 在此寅施例中，體積w 2之補償主要經由液體流動路 徑3 b沿熱產生元件之熱產生表面，使用在泡沫收縮時之 壓力改變而强力的作用，因此，可達成快速的再充塡。在 習知液體噴射頭中，當使用泡沬之收縮之壓力而作用再充 ----：--Ί------裝------訂-----線 (請先閱讀之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐）-24 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 414760 A7 B7五、發明説明（22) 塡時，液面之振盪相當大，而會導致影像品質之破壞。但 是在此實施例中，由於介於噴射出口側區域A和熱產生元 件側區域B間之相通受到抑制，可減少液面之振盪。藉此 ，可獲得影像品質之改善和高速記錄。 基底1之表面實質與熱產生元件2之熱產生表面齊平 ，亦即，熱產生表面不會形成向下步階。在此種情形中， 供應至面域B之液髋只沿著基底1之表面。因此，可抑制 在熱產生元件2之熱產生表面上之液體之停滯，且可移去 導因於溶解氣體之沉澱泡沬或無壓縮之殘餘氣泡，和液體 中之熱累稹不會太多。因此，可在高速上重種穗定的產生 泡沬。在此實施例中，基底1之表面爲平坦內壁，但是本 發明並不需做此種限制，只要內壁具有使液體不會停滯且 在液體中不會發生渦流之平滑表面即可。 (實施例2 ) 圖4爲本發明之液體噴射頭之另一實施例之主要部份 之示意截面圖。在圖4中，爲了簡化起見，省略支持構件 5 b 〇 此實施例與實施例1之不同點爲活動部份6較薄以提 供更高的彈性。藉此，如圖4之破折線所示，由泡沬所位 移之活動部份6些微的彎向噴射出口11。如果活動部份 具有彈性，即使以相當低的泡沫產生壓力，活動部份亦可 偏折至某種程度，因此，泡沫產生壓力可進一步有效的引 導至液體噴射頭。在此實施例中，亦可提供高噴射能量和 本紙張尺度適用申國國家標準（CNS)A4规格（2丨0X297公釐>_ 25 - -----Ί,--τ---裝--------訂-----^--線 (請先閱讀Ϊ之注意ΐ項再4·寫本頁) 經潦部中央標準局貞工消費合作社印製 4U76〇 A7 ___B7___五、發明説明（23 ) 高噴射效益液體噴射頭。 (實施例3 ) 圖5爲另一實施例之主要部份之示意截面圖。圖6爲 圖5所示之液體噴射頭之部份示意部份破裂立體圖。此實 施例之頭之活動部份6並非單一構造，而爲複合構造。泡 沫之壓力位移一對活動部份6以允許壓力傳向位在活動部 份6上之喷射出口11，活動部份6之一作用當成活動構 件，而另一活動部份6當成相反構件，因此，泡沬產生壓 力可有效的引導向著噴射出口。在此賁施例中，亦可提供 高噴射能童和高噴射效率液體噴射頭。 (實施例4 ) 圖7爲本發明之另一實施例之液體噴射頭之示意横截 面圖。圖8爲圖7之液體噴射頭之示意部份部份破裂立體 圇。 此實施例之液體噴射頭爲側卸下型頭，其中熱產生元 件2面對噴射出口 1 1。熱產生元件2之尺寸爲4 8 //m X4 且爲熱產生電阻型式，其安裝在基底1上，並 藉由如美國專利USP4 ，7 2 3，1 2 9號所揭示之液 體之膜沸騰產生熱能以產生泡沫。噴射出口 1 1具有一孔 板1 4，其爲噴射出口部份材料。噴射出口 1 4以鎳經由 電成型製造。 第一液體流動路徑3設置在孔板1 4之下，因此其可 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐）-26 - ~ 414760 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（24) 直接和喷射出口 1 1形成流體相通。另一方面，在基底1 上，第二液體流動路徑4提供用於泡沫產生液體之流動。 在第一液體流動路徑3和第二液體流動路徑4之間設有隔 板或分隔壁5以分離液體流動路徑。分隔壁5由例如金藺 之彈性材料製成。在此實施例中，分隔壁5爲5 厚之 鎳製成。分隔壁5分離在第一液體流動路徑3中之喷射液 體和在第二液體流動路徑4中之泡沬產生液體。 來自含有喷射液體之第一共同液體室12之噴射液體 經由第一供應通道1 2 a供應至第一液體流動路徑3。來 自含有泡沫產生液體之第二共同液體室13之泡沬產生液 體經由第二供應通道1 3 a供應至第二液體流動路徑4。 第一共同液體室1 2和第二共同液體室1 3以一隔板1 a 分離。在此實施例中，供應至第一液體流動路徑3之噴射 液體和供應至第二液體流動路徑4之泡沬產生液體均爲水 基墨（水和乙醇之混合液體）。 分隔壁5位在相鄰熱產生元件2之熱產生表面之突起 空間之部份，且垂直於熱產生表面，並具有一對平板懸臂 構造之活動部份6，其中之一爲活動構件，而另一個爲相 對於活動構件之相反構件。活動部份6和熱產生表面間有 約1 5j«m之間隙。 活動部份6之自由端6 a隔著約2 m之間隙（細縫 8 )互相相對。基礎部份6 b作用當成活動部份6打開時 之基礎部份。細縫8形成在包括有連接熱產生元件2之中 央部份和噴射出口 1 1之中央部份之線之平面上。在此實 (請4¥^讀背面之洼意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ π _ 414760 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印裝 A7 B7五、發明説明（25 ) 施例中，細縫8相當窄，因此當泡沬成長時，在活動部份 6位移之前，泡沬不會延伸經由細縫8環繞活動部份6。 至少活動部份6之自由端6 a位在由於泡沬延伸鱷力之區 域內。 在圇7中，表示在穩定狀態中，活動部份6之 上側面域（噴射出口側），和表示下側區域（熱產 生元件側）。 當在熱產生元件2之熱產生表面上產生熱且泡沬產生 在區域Β時，活動部份6之自由端6 a立即在圖1之箭頭 方向移動，亦即向著區域A，以基礎部份6 b作用當成一 支點，藉由泡沬之產生和成長而導致之壓力和泡沬之擴張 等。藉此，液體可經由噴射出口11噴出。 圖8中之參考數字1 8表示一接線電極用以施加電訊 號至熱產生元件2 ，該熱產生元件2爲安裝在基底1上之 電熱轉換器。 以下說明在此實施例中，介於活動部份6和第二液體 流勖路徑4間之位置關係。圖9A爲由孔板14側觀察之 活動部份6之示意頂平面圖。圖9 B爲由分隔壁5側觀察 之第二液體流動路徑4之底部之示意頂平面圖。圖9 C爲 由孔板14側觀察，通過第二液體流動路徑4之活動部份 6之示意頂平面圖。在這些圖中，圖片之前側爲噴射出口 1 1側。 在此實施例中，喉部份9形成在第二液體流動路徑4 中之熱產生元件2之兩側上。藉由此喉部份，第二液體流 ---.-----r---裝------訂-----：-1 線 (請0讀之注意f項再4·寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）_ 28 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414760 A7 B7五、發明説明（26 ) 動路徑4之熱產生元件2之相鄰區域具有室（泡沬產生室 )構造，如此可抑制在泡沬產生沿著第二液體流動路徑4 之壓力之散逸。 當喉部份提供在液體流動路徑中以抑制在習知液體噴 射頭中產生泡沬壓力之散逸時，在喉部份上之流動路徑橫 截面區域令因爲欲噴射之液體之再充塡特性而不能太小。 但是，在此實施例中，大部份的噴射液體爲在第一液體流 動路徑中之噴射液體，而在具有熱產生元件之第二液體流 動路徑中之泡沬產生液雅並未噴出太多，且因此，充塡入 第二液體流動路徑之區域B中之泡沫產生液體相當少。因 此，在喉部份9中之流動通道壁之間隙可以非常窄，如數 // m。藉此，在第二液體流動路徑4中產生之泡沬壓力可 直接集中向著活動部份6 ，而不會散逸到週圍。此壓力可 使用當成經由活動部份6之噴射能量，且因此，可完成進 一步之高噴射效率和噴射能量。 以下說明在此實施例中液體噴射頭之嘖射操作。圚 10A—圖10D爲在此實施例中之液體噴射頭之噴射操 作之示意截面圖。在此實施例中，欲供應至第一液體流動 路徑3之噴射液髗和欲供應至第二液體流動路徑4之泡沬 產生液體爲相同的水基墨。 圖1 0 A爲在例如電能之能量施加至熱產生元件2之 前之狀態，亦即，在熱產生元件產生熱之前之初始狀態。 如圖10A所示，在熱產生元件2之上方之分隔壁5之自 由端6 a經由一細縫8而互相面對，以分離在第一液體流 ----^--,------裝------訂-----^丨線 (請先聞讀之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公嫠）_ 29 Μ濟部中央標率局負工消費合作社印製 414760 A7 B7五、發明説明（27 ) 動路徑3中之噴射液體和在第二液體流動路徑4中之泡沬 產生液體。 圖10B爲熱產生元件2供應電能等以產生熱之狀態 ，其以膜沸騰產生泡沫，且該泡沬7會成長和擴張。由泡 沬之產生和成長而導致之壓力主要傳播至活動部份6。活 動部份6之機械位移有助於來自噴射出口之噴射液體之噴 射0 圖3 C爲泡沬7進一步成長之狀態。可了解的是，活 動部份6因爲泡沬7之成長而進一步位移向著第一液體流 動路徑3側，而其基礎部份6 b作用當成支點。藉由活動 部份6之位移，第一液體流動路徑3和第二液體流動路徑 4實質的互相以流體相通。在此狀態中，介於熱產生表面 和噴射出口間之流體相通路徑由活動部份6抑制至一適當 範圍以集中泡沬擴張之力向著噴射出口。以此方式，由泡 沬成長而導致之壓力波集中的傳送在右上方向著與第一液 體流動路徑3流體相通之噴射出口11。藉由壓力波之直 接俥播和圖1 0 B中活動部份6之位移，噴射液體以高速 和高噴射能量噴出，並進一步以液滴1 1 a (圖3D)之 形式經由噴射出口11以高噴射效率噴出。 在圖1 0 C中，以活動部份6位移至第一液髏流動路 徑3側，在第二液體流動路徑4中之區域B上產生之泡沬 之一部份延伸進入第一液體流動路徑3側。因此，第二液 體流動路徑4之高度（由基底1之表面或熱產生元件3之 熱產生表面至活動部份6間之間隙）會使泡沫延伸進入第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）_ - !].— -Ί------裝------訂------丨線 (請讀之注意萼項再填寫本頁) 414760 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（28 ) 一液體流動路徑3側，藉此可進一步改善噴射能暈。爲了 延伸泡沬進入第一液體流動路徑3，最好使第二液髗流動 路徑4之高度小於最大泡沫之高度，例如，數；/m_3 0 μ m ° 圓1 0 D爲內側壓力減少下，泡沫7之陷縮狀態。活 動部份6由於來自泡沬之收縮而導致之負壓力和由於活動 部份之彈簧特性之恢復力而恢復其初始位置。因此，第一 液體流動路徑3迅速的供應以噴出液體之量。在第一液體 流動路徑3中，沒有因爲泡沬之背向波之任何影響，且液 體供應和活動部份6之關閉同時的進行，且因此，液體供 應不會受活動部份所阻礙。因此，在圖10D中，內側並 未受到太多壓力，且因此，少置的降低已是足夠的。 以下說明此實施例之液體噴射頭之液體再充塡之情形 0 當泡沬7達到最大體稂後而在陷縮處理時，同時由噴 射出口 1 1側第一液體流動路徑3和第二液體流動路徑4 側流入用以補償消失泡沬體稹之液體體稹。在上側（噴射 出口側）超過活動部份6之最初位置之泡沬之體稹爲w1 ，而下側（熱產生元件側）之體稹爲活動部份（w 1 +w 2=w)。當活動部份6恢復其初始位置時，用以補償w 1部份之噴射出口上之液面收縮停止，而後，剩餘w 2之 補償主要由在第二液體流動路徑4中之液體供應作用。藉 此，可減少在喷射出口上之液面之收縮。 在此實施例中，體積w 2之補償主要經由液體流動路 ----：--Μ--.---裝------訂------- 線 - (請先閲讀^^之注意事項再^寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2丨ΟΧ297公釐）—31 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 414760 A7 B7五、發明説明（29 ) 徑3 b沿熱產生元件之熱產生表面*使用在泡沬收縮時之 壓力改變而强力的作用，因此，可達成快速的再充塡。在 習知液體噴射頭中，當使用泡沫之收縮之壓力而作用再充 塡時，液面之振盪相當大，而倉導致影像品質之破壞。但 是在此實施例中，由於介於噴射出口側之第一液體流動路 徑3之區域和第二液體流動路徑間之相通受到活動部份之 抑制，可減少液面之振盪。藉此，可獲得影像品質之改善 和高速記錄。 基底1之表面實質與熱產生元件2之熱產生表面齊平 ，亦即，熱產生表面不會形成向下步階。在此種情形中， 供應至菡域B之液體只沿著基底1之表面。因此，可抑制 在熱產生元件2之熱產生表面上之液體之停滯，且可移去 導因於溶解氣體之沉澱泡沫或無壓縮之殘餘氣泡，和液體 中之熱累稹不會太多。因此，可在高速上重覆穩定的產生 泡沬。在此實施例中，基底1之表面爲平坦內壁，但是本 發明並不需做此種限制，只要內壁具有使液體不會停滯且 在液體中不會發生渦流之平滑表面即可。 以下說明，和習知例比較下，來自此實施例之液體噴 射頭中之泡沬之壓力傅播。圖1 1 A爲在此寅施例之液體 喷射頭中，來自泡沬之壓力俥播之示意截面圖。圖1 1 B 爲在習知技藝之液髋噴射頭中，來自泡沬之壓力俥播之示 意截面圖。 在圖1 1 B所示之習知液體噴射頭中，在傳播方向並 無任何阻擋材料阻止由泡沬7所產生之壓力之傳播。因此 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS > A4規格（2丨0'乂297公釐）_ 32 _ 414760 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（3〇 ) ，泡沬之壓力傳播方向沿著泡沬之表面之法線方向廣泛的 散佈，如νϊ_ν8所示。在這些方向中，引導至噴射出口 ，對液體喷射最具影響力之壓力分置爲ν8—ν6，亦即， 接近噴射出口之壓力傅播分量。特別的，乂4和\^3最接近 噴射出口，因此它們有效的作用於液體噴射，而ν3和 丫6對於噴射出口具有較小之分量。於此，V Α和VB爲沿 著液體流動路徑在相反方向之Μ力俥播分量。 在圚11Α所示之實施例中，活動部份6引導泡沬之 壓力傳播分量v3— v6向著噴射出口，且因此，泡沬7之 壓力直接且有效的作用。泡沫向著噴射出口成長。以此方 式，活動部份不只控制壓力俥播方向，且亦控制泡沬之成 長，因此，噴射效率，噴射能量和噴射速度等可顯著的加 强。 於此，νΑ1和νΒ1爲沿著第一液體流動路徑在互相相 反方向中之壓力分量，而Va和VB爲沿著第二液體流動路 徑在互相相反方向中之壓力分量。在此實施例中，活動部 份6抑制背向波，且因此，VA1和νΒ1小於在習知技藝。 泡沫受引導向著噴射出口，且因此，VA和VB亦小於在習 知技藝。結果，VA1+VA和νΒ1+νΒ小於在習知技藝中 之V A和V B。 (實施例5 ) 圖12爲本發明之液體噴射頭之另一實施例之主要部 份之示意截面圇。此實施例與實施例4之不同點爲活動部 —：—^,---裝— C請讀$之注意事項再4-寫本頁) ，11 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-33- 414760 A7 B7__ 五、發明説明（31 ) 份6較薄以提供更高的彈性。藉此，如圖12之破折線所 示，由泡沬所位移之活動部份6些微的《向噴射出口 1 1 。如果活動部份具有彈性，即使以相當低的泡沬產生壓力 ，活動部份亦可偏折至某種程度，因此，泡沬產生壓力可 進一步有效的引導至噴射出口。在此寊施例中，亦可提供 高噴射能量和髙噴射效益液體噴射頭。 1 (實施例6 ) 圖1 3 A爲依照本發明之另一實施例之液體噴射頭之 主要部份之示意截面圖。圚1 3 B爲由噴射出口側観察， 使用於此實施例中之活動部份之示意頂平面圇。此實施例 和實施例4之不同點爲使用以壁在四側封閉之溝或坑型液 體通道4 a以取代第二液體流動路徑4。在此實施例中， 在液體噴射後，液體主要由第一液體流動路徑3經由在活 動部份6中之開口 6 c而供應至坑型液體通道4 a中。開 口 6 c之尺寸蕎滿足可允許墨之流動而不會使泡沫逃逸。 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 {請§讀^之注意尊項再填寫本頁) 在此實施例中，泡沬產生壓力沿著活動部份6之下部 份逃逸向著上游側。再者，在泡沫收縮時，欲再充塡之墨 之量僅爲相關於坑型液體通道之體積，因此，再充塡量相 當小，如此可完成速響應率。在此實施例中，可避免高噴 射能量和高噴射效率液體喷射頭。 (實施例7 ) 圖1 4 A爲依照本發明之另一實施例之液體喷射頭之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐> —34 - 414作0 A7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 ______B7五、發明説明（32 ) 主要部份之示意截面圇。此實施例之液體噴射頭之活動部 份6不是雙型，而是單一型。在活動部份6之自由端6 a 側上之第一液體流動路徑3以一壁1 5 a (相對於活動部 份之相反構件）封閉，因此由泡沬所產生之壓力藉由偏折 活動部份6而擴張向著噴射出口11。在此實施例中，活 動部份6爲單一構件，其製造較爲簡單且設計之自由度較 大。 圇1 4 B爲在依照此資施例之液體噴射頭中，泡沬7 之產生之示意截面圖。如圖中所示，在第二液體流動路徑 4之區域B中產生之一部份泡沫擴張進入第一液體流動路 徑3側，而活動部份6位移進入第一液體流動路徑3側。 因此，第二液體流動路徑4之高度（由基底1之表面或熱 產生元件2之熱產生表面至活動部份6之間隙）可使泡沫 擴張進入第一液體流動路徑3側，如此可進一步改善噴射 能量。爲了使泡沬擴張進入第一液體流動路徑3，第二液 體流動路徑4之高度最好小於最大泡沬之高度，例如，數 //m_3 0//m。在此實施例中，可防止高噴射能量和高 噴射效率液體噴射頭。 (實施例8 ) 圖15A爲依照本發明之另一實施例之液體噴射頭之 主要部份之示意截面圖。圖1 5 B爲由噴射出口側視之， 此實施例之活動部份之示意頂平面圖。此實施例和實施例 4之不同點在於其使用以壁在四側包圍之坑型液體通道 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2丨Ox297公釐）-35 - I. I :J n I- I n I n ^ I~^ (請先时讀^之注意事項再4寫本页) ‘ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414760 A7 _B7_ 五、發明説明（33 ) 4 a以取代第二液體流動路徑4。在此實施例中*在液體 噴射後，液體主要由第一液體流動路徑3經由在活勖部份 6中之開口 6 c而供應至坑型液體通道4 a中。開口 6 c 之尺寸需足以提供墨之流動而不會使泡沫逃逸。 在此實施例中，用以向上偏折閥之壓力和泡沬之壓力 均受引導向著噴射出口。洁動部份6實質的和泡沬之收縮 同時的回到初始位置，且因此，可減少墨液面之收縮程度 ，因此，藉由泡沫收縮之墨再充塡功能之力，墨可由上游 側平滑的供應至熱產生元件。藉此，可避免具有高喷射能 量之液體噴射頭和高噴射效率。 (寅施例9 ) 圚16A爲依照本發明之另一實施例之液體喷射頭之 主要部份之示意截面圖。圖1 5 B爲由喷射出口側視之， 此實施例之活動部份之示意頂平面圖。此實施例和實施例 4之不同點在於其使用以壁在四側包圍之坑型液體通道 4 a以取代第二液體流動路徑4。在此實施例中，在液體 噴射後，液體主要由第一液體流動路徑3經由在活動部份 6中之開口 6 c而供應至坑型液髋通道4 a中。開口 6 c 之尺寸需足以提供里之流動而不會使泡沫逃逸。 在此實施例中，沿著活動部份6之下部份向著上游側 之泡沬產生壓力之散逸可受到抑制，且因此，泡沬產生壓 力可有效的引導向著噴射出口。再者，在泡沬收縮時，欲 再充塡之墨量只是相關於坑型液體通道之體積，因此，再 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS >A4規格（210X297公釐）_ π _ ---.--Μ--.---裝------訂------丨線 (請先聞讀之注意事項再4-寫本頁) 414760 A7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 B7五、發明説明（3〇 充塡量非常小如此可完成高速響應率。依照此實施例，亦 可避免高噴射能量和高喷射效率之液體噴射頭。 (頭例1 ) 圖17爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之例之 示意立體圖，其分別具有多數之噴射出口和多數以液體相 通之液體流動路徑。液懺噴射頭由基底1，分隔壁5和孔 板14隔著間隙畳層而形成。基底1具有由例如鋁之金屬 製之支持構件和多數之熱產生元件2。熱產生元件2以竈 熱轉換器元件產生熱之型式，以在供應至第二液體流動路 徑4之泡沫產生液體中，藉由膜沸騰而產生泡沫。基底1 具有接線電極以供應電訊號至熱產生元件2 ，和功能元件 ，如電晶體，二極體，閂鎖，移位暫存器，用以選擇性的 驅動熱產生元件2。在熱產生元件2上，另提供有一保護 層（圖中省略）用以保護熱產生元件2。 分隔壁5具有一對活動部份6以相對於熱產生元件2 。在分隔壁5之上方，具有噴射出口11之孔板14另具 有流動通道壁15以在其間包夾構成第一液體流動路徑3 Ο 在圓17中，參考數字12表示一第一共同液體室用 以供應噴射液體經由第一供應通道1 2 a至第一液體流動 路徑3。第二共同液體室1 3用以供應泡沫產生液體經由 第二供應通道1 3 a至第二液體流動路徑4。因此，第一 共同液體室12和多數在分隔壁5上由流動通道壁15所 分離之第一液體流動路徑3形成流體相通。第二共同液體 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS > A4規格（210X297公釐）_ _ (請朱M-讀^兩之注意尊項再t寫本頁) -裝. *π' 線 經濟部中央摞率局員工消费合作社印製 41^60 A7 Β7五、發明説明（35 ) 室1 3和在基底1上由多數流動通道壁（圖中省略）所分 離之多數第二液镫流動路徑4形成流體相通。 在液體噴射頭之製造中，如圖1 7所示，厚度爲1 5 之乾燥膜（固體光敏樹脂材料）位在基底1上，並定 圚樣以形成用以構成第二液體流動路徑4之流動通道壁。 流體通道壁之材料必窬能展現對抗泡沫產生液體之反溶劑 特性，且流劻通道壁可形成。此種材料之例包括除了乾燥 膜外之液體光敏樹脂材料。其它的例如聚砚或聚乙烯樹脂 或例如金，矽，鎳之金屬，和玻璃等。而後，基底1和分 隔壁5連接以形成整合之基底和分離壁之結合，而熱產生 元件2和活動部份6相關的正確的設置。 具有噴射出口11之孔板14以電成型由鎳製成。孔 板1 4可爲具有噴射出口之凹構構件，該噴射出口藉由投 射準分子雷射至具有第一液體流動路徑3之整體模製樹脂 而形成。第一液體流動路徑3藉由設置2 5 Am厚之乾燥 膜在孔板14之背側並使其定圖樣而形成。而後，孔板 1 4連接整合基底和分離壁之組成，而噴射出口 1 1和活 動部份6互相正確的設置。 (頭例2 ) 圈1 8爲依照本發明之一實施例之液體噴射頭之示意 立體圖。此實施例和前述之頭之不同點在於活動部份6爲 個別構件而非是一對。具有流動通道壁15之缺口15d 作用當成相反構件。在此實施例中，可提供具有高噴射能 , r f 裝 1 ^ I ^ r (請啦町讀背"1之注意萼項再填寫本頁) _ 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS M4規格（210X297公釐）-38 60 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ____ _B7_ 五、發明説明（36 ) 量和高噴射效率之液體噴射頭。 (活動部份和分離壁） 圇1 9 A —圖1 9 C爲依照另一實施例具有活動部份 之液體噴射頭之示意頂平面圖。圖1 9 A中分離壁5之活 動部份6爲矩形。圖1 9 B中，活動部份爲矩形且具有窄 的基礎部份6 b作用當成在位移或偏折時之支點。圖1 9 C中，活動部份爲矩形且具有較寬的基礎部份6 b作用當 成非自由端6 a側之位移之支點。 在使用圖19B所示之活動部份6時，位移操作相當 容易，以圖1 9 C所示之活動部份6 ，活動部份之耐用性 較高。由活動部份之操作之容易性和活動部份之耐用性之 觀點視之，作用當成支點之基礎部份6 b之寬度，如圖 9A所示，最好爲弧形的窄小。 圚2 0爲由噴射出口側視之，圖1 9 A之矩形活動部 份6和熱產生元件2之示意頂平面圖，以顯示其間之關係 。爲了有效的使用泡沬產生壓力，兩活動部份6延伸在不 同方向，因此，剛好在熱產生元件2之有效泡沫產生區域 上方之部份由活動部份覆蓋，亦即，活動端互相相對。在 此實施例中，活動部份6具有相同的構造和對稱的安排， 但是亦可使用具有不同構造之多數活動部份。如果活動部 份之耐用性相當高且噴射效率較高，活動部份可爲不對稱 。藉由使活動部份之全部面域大於熱產生元件之熱產生表 面之全部區域，並設置活動部份之支點在熱產生元件之有 * —： . · n ^ I n I ^ (請先ΚΓ讀^之注意1再4-寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠）_ 39 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 41^6° A7 B7五、發明説明（37) 效泡沬產生區域之區域外，即可改善液體噴射頭之耐用性 和噴射效率。 在具有如圖7所示之相對活動部份之頭中，由改善噴 射效率之觀點而言，細縫最好相當窄。較佳的是通過熱產 生元件之熱產生表面之中央且垂直於熱產生表面之線接近 通過介於自由端間之間隙之區域之中央且垂直於間隙區域 之線，且這些線最好實質的重叠。再者，較佳的是通過熱 產生元件之熱產生表面之中央且垂直於熱產生表面之線通 過噴射出口，且更好的是該線和通過噴射出口之中央垂直 於噴射出□之線重叠。 在具有如圖1 4 B所示之一側活動部份和相對缺口之 頭中，較隹的是通過熱產生元件之熱產生表面且垂直於熱 產生表面之線穿透一側活動部份。此外，較佳的是，通過 熱產生表面之中央且垂直於熱產生表面之線穿透噴射出口 ，且進一步較佳的是，該線和通過噴射出口之中央且垂直 於噴射出口之線實質的重叠。 圖2 1 A —圖2 1C爲不少於三個活動部份6使用於 一泡沫產生區域之構造之示意頂平面圖，和圖2 1 A爲三 個位置之例：圖2 1B爲四個位置之例，和圖2 1C爲六 個位置之例。除非在製造時有任何問題，活動部份6之數 目並不受到限制。在任何例中，活動部份6以徑向方式安 排，因此，由泡沬所產生之壓力均勻的施加至活動部份6 ，且支點側製成弧形以達成較佳的操作和耐用性。藉由閥 形活動部份6之相鄰徑向安排，可利用髙效率噴射出大尺 ---^--Γ---.---裝------訂-----^--線 _ (請先时讀1之注意<項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（ 210X297公釐）_ - 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 414^0 A7 B7_五、發明説明（38 ) 寸液滴。熟悉此項技藝之人士可依照欲噴射之液滴之直徑 而決定多數之活動部份6。 關於包括活動部份之分離壁之材料，可使用具有相對 於泡沫產生液體和噴射液髋之反溶劑特性之材料，適於操 作當作活動部份之具有彈性之材料，和適於形成細小細縫 之材料。 活動部份之材料之較佳例包括耐久材料如金澜，銀， 鎳，金，鐵，鈦，鋁，鉑，鉅，不銹鋼，磷青銅等或其合 金，或具有睛族之樹脂材料，如丙烯睛，丁二烯，苯乙烯 等，具有醢胺之樹脂材料如聚醯胺等，具羧基樹脂材料， 如聚碳酸酯等，具醛基樹脂材料，如聚縮醛等，具碉基樹 脂材料，如聚硯，如液晶聚合物等之樹脂材料，或其化學 化合物之樹脂材料：或耐抗墨之材料，如金，鶴，鉬，鎳 ，不銬鋼，鈦，及其合金之金屬；及材料可包覆金屬，如 聚醯胺之醯胺基樹脂材料，如聚酸醛之醛基榭脂材料，如 聚醚酮之酮基樹脂材料，如聚亞醯胺之亞醯胺基樹脂材料 ，如聚乙烯之乙基樹脂材料，如聚丙烯之烷基材料，如酚 樹脂之羥基樹脂材料，如環氧樹脂材料之環氧基樹脂材料 ，如密胺樹脂材料之氨基樹脂材料，如二甲基樹脂材料之 羥甲基樹脂材料，及其化學化合物，如二氧化矽或其化學 化合物之陶瓷材料。 隔絕或分隔壁之較佳實例含具高抗熱，高抗溶及高模 製性，尤係最近之工程塑膠樹脂材料，如聚乙烯，聚丙烯 ，聚醯胺，聚乙烯對苯二酸酯，密胺樹脂材料，酚樹脂， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ( 210X297公釐>· 41 _ · ； 11 n I 1 It n n I n n ^ .. , (讀先蚶讀背面之注意亨項再填寫本頁) 414咖 A7 B7 _ 五、發明説明（39 ) 環氧樹脂材料，聚丁二烯，聚氨酯，聚醚酮，聚醚，碘， 聚丙烯酯，聚亞醯胺，聚硒，液晶聚合體（LCP )或其 化學化合物，或金屬如二氧化矽，四氮化三硅，鎳，金， 不銹鋼，其合金或其化學化合物，或包覆鈦或金之材料。 分隔壁之厚度取決於所用材料及構形，並考慮壁之足 夠强度及活動部份之足夠操作性，通常較佳爲約0. 5 μιώ 至 1 0#m。 用於提供活動部份3 1之溝隙3 5宽度方面，當泡沬 產生液體及噴射液體爲不同材料時，應避免液體混合，其 間隙可於液體間形成一凹面，以避免之間混合。例如，當 泡沬產生液體之黏度約2 C P時，噴射液體之黏度不超過 1 0 0CP。溝隙約5^m以避免液體混合，較佳不超過 (請^w讀背商之注意有項再填寫本頁) -裝- 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (元件基底） 在本發明中，活動部份之厚度爲〃 m級當成較佳之厚 度。當細縫形成在數P m級厚之活動部份中，且細縫具有 寬度等級m )之活動部份厚度時，最好考慮在製造 時之樂化。 當相對於由細縫所形成之活動部份之自由端和/或側 向緣之構件厚度等於活動部份之厚度時，在考慮製造時之 變化以穩定的抑制介於泡沬產生液體和噴射液體間之液體 混合下，介於細縫寬度和厚度間之關係最好如下所述。當 泡沬產生液體之黏度不超過3CP，且高黏度墨（5CP 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ π - A7 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（4〇 ) 9 1 0 C P 等 ) 使 用 當 成 噴 射 液 體 時 9 如 果 滿 足 W / t 1 則 可 抑 制 2 液 體 之 混 合 ~ 段 相 當 長 的 時 間 0 提 供 % 實 質 密 封 之 細 縫 fig. 好 具 有 數 微 米 寬 度 ， 如 此 可 確 保 避 免 液 體 混 合 0 當 喷 射 液 體 和 泡 沫 產 生 液 體 分 開 時 9 活動 部 份作 用 當 成 其 間 之 隔 板 〇 但 是 ί 少 量 的 泡 沬 產 生 液 體會 混 入 噴射 液 體 中 0 在 液 體 噴 射 用 於 印 表 之 例 中 如 果 混 合 比 例 小於 2 0 % 9 則 此 種 混 合 實 際 上 並 Jwwt. 問 題 〇 因 此 本 發 明 涵 蓋 泡 沫 產 生 液 體 之 混 合 比 例 不 超 過 2 0 % 之 例 〇 在 前 述 之 實 施例 中 > 即 使使 用 不 同 的 黏 度 時 > 泡 沬 產 生 液 體 之 最 大 混 合 比 例 爲 1 5 % 0 以 黏 度 不 超 過 5 C P S 之 泡 沬 產 生 液 體 > 雖 然 混 合 比 例 會 因 驅 動 頻率 之 不 同 而 不 同 9 但 是 最 大 的 混 合 比 例 約 爲 1 0 % 0 藉 由 降 低 噴射 液 體 之 黏度 範 圍 低 於 2 0 C Ρ S 9 可 減 少 混 合 液 體 ( 例 如 不 超 過 5 % ) 0 ( 噴 射 液 體 和 泡 沬 產 生 液 體 ) 當 噴 射 液 體 和 泡 沬 產 生 液 體 爲 相 同 之 液 體 時 可 使 用 各 種 液 體 材 料 如 果 其 不 會 由 熱 產 生 元 件 所 授 予 之 熱 所 破 壞 ： 累 稹 材 料 不 會 輕 易 的 沉 稹 在 熱 產 生 元 件 上 9 汽 化 之 狀 態 改 變 和 環 縮 可 逆 * 和 液 體 流 動 路 徑 9 活 動 部 份 或 分 隔 壁 等 不 會 受 到 破 壞 〇 爲 了 記 錄 9 使 用 在 習 知 泡 沫 喷 射 裝 置 中 當 成 記 錄 液 體 之 液 體 亦 可 使 用 於 本 發 明 中 0 裝 訂 線 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-43 請 閱' 背 面

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I 項 再 填- 寫 本 頁 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 ____B7 五、發明説明（41 ) 另一方面，即使噴射液體和泡沬產生液體爲不同液體 材料時，藉由泡沬產生液體之泡沬產生所生之壓力而引起 活動部份之位移，可使噴射液體噴出。因此，如聚乙二醇 之高黏度液體（其在熱應用下之泡沫產生並不充足，且因 此，噴射能量並不充足），可藉由供應此液體在第一液體 流動路徑和供應良好泡沬產生液體（乙酵和水以4 : 6之 混合液體，黏度約爲1 一 2 c p s )至第二液體流動路徑 當成泡沬產生液體可以高噴射效率和高噴射壓力噴出。 由熱輕易影響之液體可在高噴射效率和高喷射塵力下 噴出，而不會對此液體產生熱破壞，如果此液體供應至第 —液體流動路徑，且不會由熱輕易影響且具有良好泡沬產 生特性之液體供應至第二液體流動路徑。 可使用各種不同的液體材料，只要它們不會受到熱產 生元件之熱之破壞：汽化之狀態改變和濃縮是可逆的；和 液體流動路徑，活動部份或分隔壁等不會受到破壞。更特 別而言，此種液體包括：甲醇，乙醇，正Η醇，異丙醇， 正己烷，正庚烷，正辛烷，甲苯，二甲苯，二氯甲烷，三 氯乙烯，氟利昂TF，氟利昂BF，乙酯，二噁烷，環己 烷，醋酸甲酯，醋酸乙酯，丙酮，丁酮，水或類似物，及 其混合物。 關於噴射液體方面，可使用各種之不同液體而無關於 熱特性或泡沬產生特性。具有低泡沬產生特性之液體，會 輕易的由熱所影響或破壞之液體等不易噴出之液體皆可噴 出。但是，最好是活動部份之操作或泡沬產生噴射不會由 ------------装------ΐτ-----—線- •' (請先Μ-讀背*之注再4-寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（21〇Χ297公釐）-44 - 414760 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印製 五、發明説明（42 ) 噴射液體所阻擋或 份之泡沬產生之反 品或香水等，其會 如圖1所示之 使用： 泡沬產生液體 噴射液體，其 c p S )，聚乙二 結果，可滿足 亦可使用下列 體而執行記錄操作 不可使用喷射之液 液體亦可正常噴射 泡沬產生液體 乙醇 水 泡沬產生液體 水 泡沬產生液體 異河醇 水 噴射液體1 : 碳黑 一與泡沫產生液體反應。但是，活動部 應是可使用的。噴射液體之其它例如藥 由熱所輕易的影響。 頭以2 5V，2 · 5KHz電壓驅動， ，其爲上述乙醇和水之混合液體： 爲染料墨（2cps)，顏料墨（15 醇2 0 0或聚乙二醇6 0 0。 滿意的喷射。 組合之液體作爲泡沬產生液體及噴射液 。因此，過去如此具十餘c p s黏度而 體已可正常噴射，即使1 5 0 cps之 而提供高品質影像。 1 ： 4 0 ΐ t .% 6 0 w t . % 2 ： 3 (顏料墨約 P黏度） 苯乙烯一丙烯酸酯一丙烯酸乙酯共聚物 本紙張尺度適用中國國家標举（CNS > A4規格（2!〇χ297公釐）_ --:--: .---裝-- * - (請也M'讀背齑之注意事項再填寫本頁) 訂 1 0 0 w t . 1 0 w t . 414760 A7 B7 五、發明説明（43 ) (氣化物1 4 0，平均分子量8 0 0 0 ) 單乙醇胺 甘油 硫甘醇 乙酵 水 噴射液體2 (黏度55cp〉： 聚乙二醇2 0 0 噴射液體3 (黏度150cp): 聚乙二醇6 0 0 1 w t , % 0 . 2 5 w t.劣 69w t.% 5 w t. % 3 w t . % 1 6 . 7 5 v t . % 1 OOwt.« 1 0 0 w t. % 再者，可使用適於噴射液體和泡沫產生液體之下述液 體，且結果是由於高速墨噴射，可記錄高影像品質。 請 先 閲· 讀 背 之 注 項 再 填^ 馬 本 頁 裝 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 染料墨（黏度2 c ρ C · I .食用黑 二甘醇 硫甘醇 乙醇 水 染料 3 w t . % 10wt,% 5 w t . ^ 3 w t , ^ 77w t. % 在以往不易噴射之液體之例中，噴射速度較低，且因 此，由於噴射之不穩定性，噴射方向之變化相當大，且會· 引起噴射量之變化和液滴之射擊位置之變化，且因此，影 本紙張尺度逋用中國國家梯率{ CNS ) A4规格（210X297公釐> _ 46 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414760 A7 ______B7_五、發明説明（44 ) 像品質不高。但是，依照此資施例，泡沬穗定且充足的產 生。因此，可改善液滴之射擊準確性，且墨噴射童相當穩 定，如此可顯示的改善記錄影像品質。 (元件基底） 以下說明具有用以施加熱之液體之加熱構件之元件基 底之構件。 圖2 2 A和2 2 B爲依照本發明之液體噴射頭之元件 基底之截面圖。圚2 2 A揭示具有一保護膜之頭元件基底 1之一部份，該保護膜位在含有加熱元件之電熱轉換器上 。圖2 2 B爲不具有保護膜之頭元件基底1。 氧化矽或氮化矽層形成在矽之基底6 7上當成底層 6 6以用於絕緣和熱累稹。在底層6 6上，叠層著含有硼 化鋁，氮化鉅（TaN)，鉅鋁化合物（ TaAj?)組成之0 · 0 1〜0 · 0 2//m厚熱產生電阻 層65 (熱產生元件2)，和0·2〜1· 厚之鋁 圖樣接線電極6 4。當電壓經由兩接線竄極6 4施加至熱 產生電阻屠6 5時，電流流經位在兩電極6 4之間之熱產 生電阻麿65中，藉以產生熱。 在圇2 2 A中所示之構造之中，以氧化矽或氮化矽等 形成之0.1〜2.0//!11厚之保護層6 3形成在熱產生 電阻層上，至少介於接線電極6 4之間。再者，钽等製成 之0 . 1〜0 . 厚之防止空腔層位在保護層6 3上 ，以保護至少熱產生電阻層6 5免於例如墨之各種液體的 —-H n — .1 ^ I I n n I i —線 (請先as·讀¾¾之注項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家搮準（CNS)A4規格（2丨0'〆297公釐）-47 - 414760 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（45 ) 侵蝕。爲何使用例如鉅之金靥材料當成防止空腔層6 2之 原因爲在泡沬之產生和收縮時產生之壓力波或霣盪波相當 强，如此易於激烈的破壤硬且易碎之氧化膜之耐用性。 圖2 2 B爲不具保護層6 2之熱元件基底1 ;此保護 層並非是必然的。關於不需要上述保護層之熱產生電阻層 材料，可使用例如銥鉅鋁合金之金屬合金材料。 換言之，依照本發明之熱產生元件之構造包含保護層 位在熱產生竜阻屠之熱產生部份之上，介於接線電極之間 ，但是並非强迫如此。 在此實施例中，熱產生元件由熱產生電阻層所構成， 其產生熱以回應電訊號。但是，本發明並不限於此實施例 。本發明可與任何熱產生元件相容，只要該熱產生元件可 在泡沬產生液體中產生充足的泡沬以噴射出噴射液體即可 。例如，可使用一光熱轉換器，其在接收到例如雷射光束 時會產生熱，或一含有加熱部份之加熱構件，其在接收到 高頻波時會產生熱。 除了前述電熱轉換器（其含有由熱產生部份所構成之 熱產生電阻層6 5 )和用以供應電訊號至熱產生锾阻層 6 5之接線電極6 4外，元件基底1可整合包含功能元件 如電晶體，二極體，閂鎖，和移位暫存器等。這些功能元 件亦可經由半導體製造步驟而形成。 圖2 3爲施加至熱產生元件之驅動訊號之圖樣。橫座 標表示施加至熱產生部份之驅動訊號之期間，和継座檫表 示驅動訊號之電壓値。爲了藉由驅動安排在元件基底1上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )A4規格（210X297公釐）_ 48 _ 5 . (請先W-讀背®之注意專項再於寫本頁) t

X 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 414760 A7 _B7五、發明説明（46 ) 之電熱轉換器之熱產生部份而噴出液體，如圖2 3所示之 矩形脈波經由接線電極6 4而施加至熱產生電阻層6 5， 使位在接線電極6 4間之熱產生電阻層6 5可快速的產生 熱。在前述之寅施例中，該驅動訊號用以驅動熱產生元件 ，因此，液體，亦即，墨水，可由噴射孔經由前述操作而 噴出。該驅動訊號之電壓爲24V，脈寬爲7^sec， 電流爲1 5 OmA，和頻率爲6KHz。但是，驅動訊號 之規格並不限於上述：可使用任何的驅動訊號，只要該驅 動訊號可在泡沫產生液體中適當的產生泡沬。 (頭製造方法） 以下說明依照本發明之液髓噴射頭之製造方法。 具有兩液髖流動路徑之液體噴射頭之製造方法如下所 述。首先，第二液體流動路徑4之壁形成在元件基底1上 ，和一分隔壁5位在壁之頂部。而後，具有凹槽之凹槽構 件（其會變成第一液體流動路徑3)乃位在分隔壁5之頂 部上。分隔壁5提供在凹槽構件上，且在此例中，在第二 液體流動路徑4之壁形成之後，含有分隔壁5之凹槽構件 結合至壁之頂表面。 其次，說明第二液體流動路徑4之製造方法。 圚2 4A— 2 4 E爲在本發明之第一實施例中，液體 噴射頭之製造方法之步驟之示意截面圖。 參考圖2 4 A，含有由硼化紿，氮化鈦構成之加熱構 件2之電熱轉換器形成在元件基底1上，亦即，矽晶片之 — |_ 裝 I I ―― I 訂 I I — 線- (請先eg·讀背*之注意f項再填寫本頁) · 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X29?公釐）_ 49 _ 414760 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、 發明説明（47 ) 1 I 個 別 繪 圖 部 份 9 使 用 和 用 於 半 導 體 製 造 方 法 相 似 之 製 造 裝 1 1 置 中 0 而 後 * 清 潔 元 件 基 底 1 之 表 面 以 改 善 對 光 敏 樹 脂 之 1 黏 著 性 > 該 光 敏 樹 脂 包 含 在 下 述 之 步 驟 中 0 爲 了 進 一 步 改 1 I 黏 著 性 9 元 件 基 底 表 面 之 性 質 紫 外 線 和 臭 氧 之 組合修改 請 先 閲 1 1 9 而 後 旋 轉 塗 覆 以 硅 院 耦 合 器 A 1 8 9 ( N I Ρ Ρ 0 Ν 背 1 1 * 1 U N I C A 之 產 品 ) 之 1 W t % 之 乙 醇 溶 液 0 之 注 毒 1 其 次 9 參 考 圇 2 4 B 9 ...... 乾 燥 膜 0 d y il S Υ 一 f 項 1 I 再 I 3 1 8 ( To ky 0 Ohka K 〇gy 〇 公司之產品） ，亦即 > - -紫 % 本 1 裝 1 外 線 感 應 樹 脂 膜 D F 9 曼 層 在 元 件 基 底 1 上 ) 其 表 面 受 到 頁 1 1 清 潔 以 改 善 黏 著 性 0 1 | 其 次 參 考 圖 2 4 C > 光 罩 P Μ 位 在 乾 燥 膜 D F 上 〇 1 I 紫 外 線 以 預 定 圖 樣 照 射 在 覆 盖 有 光 罩 P Μ 之 乾 燥 膜 D F 上 1 訂 | 9 藉 此 9 乾 燥 膜 D F 之 區 域 ( 其 由 光 罩 Ρ Μ 所 遮 蔽 ) 曝 露 1 1 至 紫 外 線 ； 這 些 曝 露 區 域 變 成 第 二 液 ΜιΜι 腊 流 動 路 徑 之 壁 0 道 - 1 1 些 曝 光 方 法 使 用 Μ P A — 6 0 0 ( C a no η 公 司 之 產 品 ) 執 丨 行 ， 藉 此 > 曝 光 率 約 爲 6 0 0 m J / cm* c ) 線 1 其 次 參 考 圖 2 4 D 9 乾 燥 膜 D F 使 用 顯 影 劑 1 I B Μ R C — 3 ( To ky 0 Ohka K 〇gy 〇 公司之產品） 顯影 1 I 其 爲 二 甲 苯 和 醋 酸 鹽 丁 基 纖 維 素 之 混 合 物 ： 未 曝 露 之 區 域 1 1. I 溶 解 留 下 曝 露 和 硬 化 區 域 當 成 第 二 液 體 流 動 路 徑 4 之 壁 1 1 〇 而 後 ί 殘 留 在 元 件 基 底 1 之 表 面 上 之 殘 留 物 以 氧 氣 電 漿 1 1 灰 渣 裝 置 ( Μ A S — 8 0 0 ) ( A 1 c a η - Te c h 公司之產品 1 1 ) 處 理 元 件 基 底 1 之 表 面 約 9 0 秒 而 移 去 〇 其 次 9 以 强 度 1 I 爲 1 0 0 m J / cm2之紫外線照射曝露區域兩小時， 在 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）_ 5〇 - 41^6° 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（48 ) 1 5 0 °C之溫度下，以完全硬化。 依照上述之方法，第二液體流動路徑均勻且準確的形 成在矽基底之加熱器板上。 其次，一金枉螺擋板使用擋板結合器（kushu Matsushita電子公司之產品）而形成在加熱器板之電接 點上。而後，矽晶片使用安裝有0 · 0 5tnm厚之鑽石刀 片之切割機AWD - 4 0 0 0 (Tokyo Seiraitsu公司之 產品）切割，以分離每個加熱器板1。而後，結合T A B 片和加熱器板1。其次，由結合凹槽構件1 4 a和分隔壁 5而形成之複合構件準確的位在加熱器板1上並結合。 當使用上述之方法時，不只可準確的形成液體流動路 徑，且亦可定位而不會變成不對準加熱器板之加熱器。由 於凹槽構件1 4 a和分隔壁5以前述步驟結合在一起，可 改善介於第一液體流動路徑3和彈性構件6間之位置關保 之正確性。使用高精確製造技術可產生穩定噴射之液體噴 射頭，特別是對印表品質之改善。再者，這些技術容許多 數之頭同時形成在晶片上，如此可以較低之成本製造大量 的頭。 在此寅施例中，以紫外線硬化之乾燥膜使用以形成第 二液體流動路徑2，但是亦可使用之樹脂材料爲在紫外線 頻譜中之吸收帶爲接近2 4 8mm者。 在後者之例中，在叠層後，樹脂硬化，而後，藉由直 接移去此部份即可形成第二液體流動路徑，這些部份使用 準分子雷射而由硬化樹脂中變成第二液體流動路徑。 11..!. 裝 訂 線 {請1閣讀f.®-之注意1項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐）_ 51 _ 414760 A7 B7 經濟部中央榡率局負工消費合作社印製 五、發明説明（49 ) 圚2 5 A — 2 5 E爲依照本發明之液體噴射頭之凹槽 構件之製造方法之步驟之示意截面圖。 參考圇2 5A，在此實施例中，0 . 5pm厚之阻止 物2 2位在不銹鋼（SUS )基底2 1上，在以具有和噴 射孔相同節距之預定圖樣中。在此實施例中，形成具有 5 9 "m直徑之阻止物以獏得具有直徑3 0 //m之嘖射孔 0 其次，參考圖2 5B，鎳層2 3以電鍍在SUS基式 2I上成長15^m厚。關於電鍍溶液方面，可使用氨基 礙酸鎳，應力減少劑Zero Ohru (World Metal公司產品 )，硼酸，防坑劑NP — AP S (World Metal公司產品 )，和氯化鎳。關於用以施加幫場之機構方面*一電極接 附至陽極側，和已完成圖樣之SUS基底2 1接附至陰極 側。電鍍溶液之溫度和電流密度保持在5 0°C和5 A/ cnf。因此，不只鎳層可成長在阻止物之厚度方向，且亦 可利用同樣的速度成長在阻止物圖樣之徑向上。結果，可 完成噴射孔之較佳直徑。 其次，參考圖2 5 C，乾燥膜Ordyl SY-318(Tokyo Ohka Kogyo 公司產品），亦即，紫外線感應樹脂膜2 4 ，簦層在鎳電鍍基底21上。 而後，參考圖2 5D，光單2 5位在乾燥膜2 4上， 且以光罩2 5阻隔成預定圖樣之乾燥膜2 4以紫外線照射 :而留下當成液體路徑壁之區域以紫外線照射。這些曝光 方法使用曝光裝置MPA-6 0 0 (Canon公司產品）執 本紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐）_ 52 - (請尤閱讀t.®-之注項再秦寫本頁) 414760 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（50 > 行，其中曝光率約爲6 0 OmJ / cm·。 其次，參考圚2 5E，乾燥膜2 4使用顯影劑 BMRC — 3 (Tokyo Ohka Kogyo 公司產品）以顯影， 顯影劑BMR C - 3爲二甲苯和醋酸鹽丁基嫌維素之混合 物；未曝光之區域溶解，留下之區域藉由曝光而硬化當成 液體流動路徑之壁。留在基底表面上之殘留物藉由氧氣m 漿灰渣裝置MAS — 8 0 0 (Alcan-Tech 公司產品）處 理基底之表面約9 0秒而移去。其次，曝光區域進一步以 1 0 OmJ/crrf之强度之紫外線在1 5 0°C之溫度上照 射2小時，以使完全硬化。因此，可形成15髙之壁 。其次，藉由使用超音波振動至SUS基底2 1 ，鎳層 2 4可和SUS基底2 1分離，以獲得預定型式之凹槽構 件。 在此實施例中，液體流動路徑可由樹脂材料形成，但 是凹檜構件可單獨由鎳形成。在後例中，乾燥膜2 4.之區 域（其未變成液體路徑壁）在圖2 5 D所示之步驟中移去 ，且鎳層藉由電鍍而累積在移去 ' 非壁'區域所產生之表 面上。而後，移去阻止物。當凹槽構件之鎳層部份之表面 鍍金時，凹槽構件可具有更佳的溶劑阻力。 圖2 6A_2 6D爲在本發明之第二實施例中，液體 噴射頭之製造方法之步驟之示意截面圖。 參考圖2 6A，在此實施例中，1 5 厚之阻止物 1 0 1位在不銹鋼（SUS )基底1 C 0上，以第二液體 流動路徑之圖樣。 -·. (請先"讀卑此之注意身項再痕寫本瓦) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4规格（210X297公釐> -μ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414760 A7 _ B7_ 五、發明説明（51 ) 其次，參考圖2 6B，鎳屉以電鍍在SUS基式 1 〇 〇上成長1 5 厚，其厚度和阻止物1 〇 1之厚度 相同。關於電鍍溶液方面，可使用氨基磺酸鎳，應力減少 劑Zero Ohru (World Meta丨公司產品），硼酸，防坑劑 N P — A P S ( Wor Id Metal公司產品），和氯化鎳。關 於用以施加電場之機構方面，一電極接附至陽極側，和已 完成圖樣之SUS基底21接附至陰極側。蕙鍍溶液之溫 度和電流密度保持在5 0°C和5 A/c m3。 其次，參考圖2 6 C，在上述電鍍處理完成後，鎳層 1 0 2部份使用超音波振動以使與SUS基底分離，如此 可完成具有已定規格之第二液體流動路徑。當鎳層部份之 表面在鎳層部份1 0 2分離後鍍金時，第二液體流動路徑 具有較高的溶劑阻止力。 此時，含有電熱轉換器之加熱器板使用和半導體製造 裝置相似之製造裝置形成在一矽晶片上。已形成有加.熱器 板之晶片以切割機器切割成分離的個別加熱器板，如上所 述。分離的加熱器板1結合至TAB片以提供電接線。其 次，參考圖2 6 D，含有第二液體流動路徑之上述構件準 確的位在加熱板1上並固定。在此定位和固定步驟時，含 有第二液體流動路徑之構件固定至加熱器板1之力量必需 足以防止當頂板結合於上時，其間之相互位移。此乃因爲 在後續的步驟中，固定有分隔壁之頂板位在所組合之熱板 上，且所有的元件使用按壓彈簧緊密的固定在一起。 在此實施例中，紫外線硬化型黏劑（GRACE JAPAN之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐）-54 - I-I n Ί— I I I 訂— — I I 線r (請尤閲讀#-^之注意1^再^寫本頁) 經濟部中央標率局員工消費合作社印裝 414160 A7 B7五、發明説明（52 ) 產品：Araicon tIV- 300 )塗覆至接點並以紫外線照射裝置 硬化。曝光率爲1 〇 OmJ/cni，且曝光期間約爲三秒 Ο 依照此實施例之製造方法，不只第二液體流動路徑可 高度精準的製造，且可定位而不會產生相關於熱產生元件 不對準之情形。此外，液體流動路徑壁由鎳形成。因此， 可提供高可靠性和高度鹸性阻止頭。 圖2 7A— 2 7D爲在本發明之第三實施例中，液髗 噴射頭製造方法之步驟之示意截面圖。 參考圖2 7A，阻止物1 0 3塗覆在具有對準孔或掩 模1 0 4之1 5//m厚不銹鋼（SUS)基底1 0 0之兩 表面上。關於阻止物，可使用Tokyo Ohka Kogyo公司之 產品 PMERR — AR9 0 0。 其次，參考圖2 7B，使用曝光裝置MPA — 6 0 0 (Canon 公司產品）使阻止塗層基底1 0 0曝光，而後 ，阻止物1 0 3由相關於第二液體流動路徑和對準孔 1 0 4之面域移去。曝光率爲8 0 OmJ/crtf。 其次，參考圖2 7C，兩表面具有圖樣阻止物1 0 3 之SUS基底1 0 0埋入蝕刻液體中（氯化鐵或氣化銅水 溶液），蝕去未由阻止物1 0 3所覆蓋之部份，而後，移 去阻止物。 其次，參考圖2 7D，蝕刻SUS基底1 〇 〇位在加 熱器板1上，並固定之，完成含有第二液體流動路徑4之 液體噴射頭，以和前述實施例所述之製造方法相同的方式 ---^——^——.---裝------訂-----.—線 {請尤M-讀#-卸之注意<項再4-寫本頁) 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210Χ297公釐55 - 五、發明説明（53 ) A7 B7 依照此實施例，不只第二液體流動路徑可高度精確的 形成，且可定位而不會不對準加熱器。此外，液體流動路 徑由不銹鋼形成。因此，可提供高度可靠和高度鹸性阻止 液體噴射頭。 依照上述之頭製造方法，第二液體流動路徑之壁事先 形成在元件基底上，如此可正確的定位電熱轉換器和第二 液體流動路徑。再者，在基底晶片切割成元件基底之分離 片之前，第二液體流動路徑可形成在多數之元件基底上（ 其集合的繪製在基底晶片上）。因此，可利用低的成本提 供多數之液體噴射頭。 再者，在以此實施例所述之製造方法製造之液體噴射 頭中，熱產生元件和第二液體流動路徑以高度準確性互相 相關的設置；因此，由電熱轉換器之熱產生而引起之泡沬 產生之壓力可有效的傳送，如此可使頭之噴射效率相當儍 越0 諳 先·. 聞 讀 背_ 面T 之 注 意 事 項 再 裝 訂 經濟部中央標準局貝工消f合作社印褽 (液體喷射頭匣） 以下簡要的說明安裝有依照前述實施例之液體噴射頭 之液體噴射頭匣。 圚2 8爲含有前述液體噴射頭之液體噴射頭匣之破裂 示意圖。液體噴射頭匣主要含有一液體噴射頭部份2 0 0 和一液體容器8 0。 液體噴射頭部份2 0 0包含一元件基底1 ，一分隔壁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-56 414160 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 B7 五、發明説明（54 ) 3 0，一凹槽構件5 0，一液體容器9 0，一電路板（ TAP片）7 0用以供應電訊號等。在元件基底1上，多 數用以供熱至泡沬產生液髏之熱產生電阻對齊。再者，在 元件基底1上，亦提供有多數功能元件用以選擇性的驅動 熱產生電阻。一液體流動路徑形成在元件基底1和含有彈 性構件之分隔壁3 0間，和泡沬產生液體流經此液體流動 路徑。噴射液體路徑（未顯示），亦即，欲噴射之液體流 經之路徑由分隔壁3 0，凹槽構件5 0，和液體傳送構件 8 0結合而成。兩液體經由液體傅送機構8 0供應，且路 由在基底1之後。 液體容器9 0分離的含有例如墨之液體，和用以產生 泡沬之泡沬產生液體，此兩液體均傳送至液體噴射頭◊在 液體容器9 Q之外部表面上，提供有定位構件9 4用以設 置連接構件，該連接構件連接液體嘖射頭和液體容器。 TAB片7 0 (其在頭部份位在液體容器9 0上之後接附 )使用雙面黏著帶固定至液體容器9 0之表面。噴射液體 由液體容器之喷射液體傳送路徑9 2，連接構件之傳送路 徑8 4，和液體傳送構件8 0之喷射液體傳送路徑，而傳 送至第一共同液雔室。泡沬產生液體亦藉由液體容器之傳 送路徑9 3，連接構件之供應路徑，和液體傳送構件8 0 之泡沬產生液體路徑8 2之順序而傳送至第二共同液體室 Ο 前述之說明參考液體噴射頭匣和液體容器之組合，當 泡沬產生液體和噴射液體不同時，其可分離的傳送或容納 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠> -57 - ---*·'--i 1-- ......... It - II- ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 TJ 1^1 In —.1 n^i (請^聞讀#-*'之注意1項再填寫本頁) 41416° A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（55 ) 泡沬產生液體和噴射液體。但是，當噴射液體和泡沫產生 液體相同時，即無需提供分離的傳送路徑和容器以用以泡 沬產生液體和喷射液體。 此外，上述之液體容器在液體耗竭後可再充塡。因此 ，較佳的是，液體容器具有一液體塡充埠。再者，液體噴 射頭和液體容器可分離或不分離。 圖2 9爲使用上述液體噴射頭之液體噴射裝置之示意 圖。在此實施例中，噴射液體爲墨水，且此裝置爲噴墨記 錄裝置。液體噴射裝置包含一托架HC，其上可安裝一頭 匣，該頭匣包含一液體容器部份9 0和液體噴射頭部份 2 0 0 ，再者爲可拆離的互相連接。托架HC可來回移動 在記錄材料1 5 0之宽度方向上*胲記錄材料1 5 0例如 由記錄材料傳送機構所饋送之記錄紙片。 當驅動訊號由未顯示之驅動訊號供應機構供應至在托 架上之液體噴射機構時，記錄液體由液體噴射頭噴至記錄 材料以回應該訊號。 本實施例之液體噴射裝置包含一馬達111當成驅動 源用以驅動記錄材料傳送機構，和托架，齒輪1 1 2， 1 1 3用以由驅動源俥送能量至托架，和托架軸1 1 5等 。藉由記錄裝置和使用此記錄裝置之液體嘖射方法，可提 供噴出液體至各種記錄材料之良好印表。 圇3 0爲使用依照本發明之液體噴射方法和液體噴射 頭之噴墨記錄裝置之一般操作之方塊圖。 記錄裝置由主電腦3 0 0接收以控制訊號型式之印表 請 先 閱 背· 面，· 之 注 意 尊 項 再 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（2〖〇'乂2们公釐）-58 414760 A7 B7 五、發明説明（56 ) 資料。印表資料暫時的儲存在印表裝置之输入介面3 〇 1 中，且同時，轉換成可處理之資料以輸入至C PU 3 0 2 ，該CPU 3 0 2作用當成供應頭驅動訊號之機構。 CPU3 0 2處理輸入至CPU3 0 2之前述資料成爲可 印表資料（影像資料），並使用例如RAM3 0 4之週邊 單元處理這些資料，而後控制程式儲存在ROM3 0 3中 請 先·， 閎 讀 背. 之 注 經濟部中央標率局員工消费合作社印装 再者，爲了 C P U 3 0 2 產 動馬達移動記錄 料和馬達驅動資 3 0 5傳送至頭 當的時間以形成 關於記錄介 液體且可使用上 片；投影片（0 板等：嫌維織品 ，豬皮，合成皮 竹材料；陶瓷材 料等。 前述之記錄 裝置，用於使用 裝置，用以金靥 ，用於木材之記 記錄影像資料在記錄紙片上之適當點上， 生驅動資料用以驅動-驅動馬達，而該驅 紙片和 料分別 記錄頭以和影像賫料同步。影像資 經由頭驅動器3 0 7和馬達驅動器 2 0 0和一驅動馬達3 0 6，其控制以適 一影像 質方面 述之記 HP) :金屬 革等； 料如瓷 ，該記錄介質用以黏著例如墨水之 錄裝置，如下所列：各種不同的紙 :用以形成光碟之塑膠材料，裝飾 材料如鋁，銅等；皮革材料如牛皮 木質材料如實心木材，三合板等： 碼：和例如具有三維構造之海綿材 裝置包括用於各種紙片或OHP片之印表 以形成光碟之塑膠材料之塑膠材料之記錄 板之記錄裝®，用於皮革材料之記錄裝置 錄裝置，用以陶瓷材料之記錄裝置，用於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-59 項 再 填 寫 本 頁 裝 訂 A7 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（57 ) 例 如 海 綿 之 三 維 記 錄 介 質 之 記 錄 裝 置 9 用 於 記 錄 影 像 在 楸 品 上 之 紡 她 _ 印 表 裝 置 9 和 其 它 記 錄 裝 置 等 0 關 於 欲使 用 在 液 體噴 射 裝 置 中 之 液 雔 方 面 可 使 用 任 何 液 體 ϊ 只 要 該 液 體 可 和 所使 用 之 記 錄 介 質 及 記 錄 狀況 相 容 即 可 0 ( 記錄 系 統 ) 以 下 說 明 — 噴 gflS 記 錄 系 統 之 範 例 9 其 使 用 依 照 本 發 明 之 液 體 噴 射 頭 當 成 記 錄 頭 以 記 錄 影 像 在 記 錄 介 質 上 0 ΓΒΠ 圖 3 1 爲 使 用 依 照 本 發 明 之 前 述 液 體 噴 射 頭 2 0 1 之 噴 墨 記 錄 系 統 之 示 意 立 hliMf 體 圖 並 說 明 其 -- 般 結 構 0 在 此 實 施 例 中 之 液體噴 射頭 爲 全 線 型 頭 ， 其 包含 多 數 之 噴射 孔 以 3 6 0 d P i 之 密 度對 準 y 以 覆 蓋 記 錄 介 質 I 5 0 之 整 個 可 記 錄 範 圍 〇 本 實 施 例 包含 四 個 頭 9 其 相 關 於 四 種 顔 色 9 黃 ( Υ ) 9 紫 紅 ( Μ ) 9 藍 緣 ( C ) 9 和 黑 ( B K ) 0 此 四 個 頭 由 握 持 器 1 2 0 2 固 定 的 支 持 9 並 以 預 定 間 隔 互 相 平 行 的 設 置 〇 道 些 頭 回 應 於 由 頭驅 動 器 3 0 7 供 應 而 來 之 訊 號 而 受 到 驅 動 ? 該 頭 驅 動 器 3 0 7 由 供 應 驅 動 訊 號 至 每個 頭 之 機 構 所 構 成 0 四 顔 色 墨 ( Y Μ 9 C 和 B K ) 由 tog 容 器 2 0 4 a 9 3 0 4 b 9 2 0 5 C 或 2 0 5 d 供 應 至 相 關 的 頭 〇 參 考數 字 2 0 4 e 表 示 泡 沫 產 生 液 體 容 器 9 而 泡 沫 產 生 液 體 可 由 此 傳 送 至每 個 頭 0 讀 先·. 閱 裝 訂 背 面! 之 注 意 項 再 填 寫 本 頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐）_ 60 414760 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（58 ) 在每個頭之下方設置有頭蓋2 0 3a，2 0 3b， 2 Ο 3 c或2 Ο 3 d，其含有由海綿所構成之吸墨構件。 它們覆蓋相關頭之噴射孔，保護頭，並在非記錄期間保持 頭之效能。 參考數字2 0 6表示一運送皮帶，其構成用以傳送上 述實施例所述之各種記錄介質。運送皮帶2 0 6以各種輥 路由經由預定路徑，並由連接至馬達驅動器3 0 5之驅動 輥而驅動。 在此實施例中之噴墨記錄系統包含先印表處理裝置 2 5 1和後印表處理裝置2 5 2，其分別沿著記錄介質傳 送路徑設置在噴墨記錄裝置之上游和下游側。這些處理裝 置2 5 1和2 5 2分別在記錄之前或後，以各種方式處理 記錄介質。 先印表處理和後印表處理依照記錄介質之型式或墨之 型式而改變。例如，當使用由金屬材料，塑膠材料，或陶 瓷材料等構成之記錄介質時，記錄介質在印表前曝露至紫 外線和臭氧下，以致動其表面。 在傾向於獲得電荷之記錄材料中（例如塑膠樹脂材料 )，灰塵傾向於藉由靜電而沉稹在表面上，該灰塵會阻礙 所需之記錄。在此例中，必需使用離子機以移去記錄材料 之靜電荷，藉以由記錄材料中移去灰塵。當記錄材料爲織 品時，由改善固定和防止羽化之觀點而言，必需作用先處 理，其中施加鹸性物質，溶水性物質，聚合物組成物，溶 水性金屬鹽，尿素，或磁脲至該織品。但是先處理並不限 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Μ規格（ 210X297公釐）_ 61 - ^^1 I—t ^^1 —I— ^^1 ^^1 In ----- (請it's讀背s'之注意賓項再填寫本頁) ,11 414760 A7 B7 經濟部中央橾隼局貝工消費合作社印製 五 '發明説明（59 ) 於此，其亦可爲提供記錄材料以適當溫度者。 另一方面，後處理爲一處理用以授予已接收墨之記錄 材料，一熱處理，紫外線照射投射等，以促進墨之固定， 或一清潔處理，以移去先處理使用之處理材料和因爲無反 應而剩餘之材料。 在此實施例中，頭爲全線頭，但是本發明當然可應用 至串列型頭，其中該頭沿著記錄材料之宽度移動。 (頭工具） 以下說明一頭工具，其包含依照本發明之液體噴射頭 。圖3 2爲此頭工具之示意圖。頭工具以頭工具包裝 5 〇 1之型式存在，且包含：依照本發明之頭5 1 0，其 含有用以噴出墨水之嘖墨部份5 1 1 ;墨容器5 1 0，亦 即，可與頭分離或不可分離之液體容器；和墨充塡機構 5 3 0，其保持墨水以充塡入墨容器5 2 0中。 在墨容器5 2 0中之墨完全耗竭後，墨充塡機構之尖 端5 3 0 (以皮下注射針之型式存在）***墨容器之空氣 通孔5 2 1中，介於墨容器和頭之間之接頭中，或鐄透墨 容器壁之孔中；和在墨充塡機構內之墨經由此尖端5 3 1 充塡入墨容器中。 當液體噴射頭，墨容器，墨充塡機構等以包含在工具 包裝中之工具之型式存在而可應用時，如上所述，墨可輕 易的充塡入已耗竭之墨容器中；因此，可快速的開始再記 錄。 (請先聞讀背面之注意1T項再填寫本頁) ί 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 62 - 414760 A7 B7 五、發明説明（60 ) 在此實施例中， 具並非强制性的需要 塡以墨水之可更換型 即使圓3 2僅顯 充塡機構，除了印表 充塡泡沬產生液體進 雖然本發明已參 受限於上述之細節， 範疇或改進之目的內 頭工具含有墨充塡機構。但是，頭工 包含墨充塡機構；該工具亦可含有充 液體容器，和一頭。 示用以充塡印表墨水進入墨容器之墨 墨充塡機構外，頭工具亦可含有用以 入泡沬產生液體容器之機構。 考上述之構造加以說明，但是其並不 本發明欲涵蓋在下述申請專利範圔之 所伴隨而來之任何改變和修飾。 閲 讀 背 之 注

S 奢 裝 訂 線- 經濟部中央標準局負工消f合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐）-63 -

Claims (1)

1. 本告fe 7 4 1 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^288°8

   六、申請專利範圍 附件1 : 第85 1 0 5023號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國88年10月修正 1 · 一種液體噴射方法，包含： 提供具有一可產生熱之熱產生表面之基底以在液體中 產生泡沬； 提供具有一自由端之一活動構件； 提供一噴射出口以使用產生之泡抹噴出該液體，噴射 出口隔著該活動構件而與該基底相對；， 設置活動構件之自由端在相關於液體流至噴射出口之 方向之下游側上；和 其中該泡沬位移活動構件之自由端，並向著噴射出口 成長以噴出該液體，和該活動構件引導成長泡沬在實質垂 直於熱產生表面之方向，向著噴射出口。 2 .如申請專利範圍第1項所述之方法，真中該基底 和該噴射出口實質互相平行。 3 .如申請專利範圍第1項所述之方法，其中由熱產 生表面所產生之熱會引起液體之膜沸騰以產生泡沬· 4. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中泡沫擴 張向著噴射出口，超過活動構件之初始位置。 5. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中當活動 構件位移時，泡沬接觸該活動構件。 6. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中不同的 液體分別供應至活動構件一側上之空間和活動構件另一側 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） I 讀 背 面 意 事 項 再 裝 頁 訂 線 本告fe 7 4 1 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^288°8

   六、申請專利範圍 附件1 : 第85 1 0 5023號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國88年10月修正 1 · 一種液體噴射方法，包含： 提供具有一可產生熱之熱產生表面之基底以在液體中 產生泡沬； 提供具有一自由端之一活動構件； 提供一噴射出口以使用產生之泡抹噴出該液體，噴射 出口隔著該活動構件而與該基底相對；， 設置活動構件之自由端在相關於液體流至噴射出口之 方向之下游側上；和 其中該泡沬位移活動構件之自由端，並向著噴射出口 成長以噴出該液體，和該活動構件引導成長泡沬在實質垂 直於熱產生表面之方向，向著噴射出口。 2 .如申請專利範圍第1項所述之方法，真中該基底 和該噴射出口實質互相平行。 3 .如申請專利範圍第1項所述之方法，其中由熱產 生表面所產生之熱會引起液體之膜沸騰以產生泡沬· 4. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中泡沫擴 張向著噴射出口，超過活動構件之初始位置。 5. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中當活動 構件位移時，泡沬接觸該活動構件。 6. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中不同的 液體分別供應至活動構件一側上之空間和活動構件另一側 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） I 讀 背 面 意 事 項 再 裝 頁 訂 線 頜3°8 414760 六、申請專利範圍 上的空間· 7. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中相同的 液體分別供應至活動構件一側上之空間和活動構件另一側 上的空間。 8. —種液體噴射方法，包含： 提供一可產生熱之熱產生表面以在液體中產生泡沫； 提供具有一自由端之一活動構件； 提供一噴射出口以使用產生之泡沫噴出該液體，噴射 出口隔著該活動構件而與該熱產生表面相對； 設置活動構件之自由端在相關於液體流至噴射出口之 方向之下游側上；和 其中該泡沬位移活動構件之自由端，並向著噴射出口 成長以噴出該液體，和該活動構件引導成長泡沬在實質垂. 直於熱產生表面之方向•向著噴射出口。 9 .如申請專利範圍第8項所述之方法·.真中該基底 和該噴射出口實質互相平行》 10.如申請專利範圍第8項所述之方法，其中由熱 產生表面所產生之熱會引起液體之膜沸騰以產生泡沬· 1 1 .如申請專利範圍第8項所述之方法*其中泡沬 擴張向著噴射出口，超過活動構件之初始位置* 1 2 .如申請專利範圍第8項所述之方法，其中當活 動構件位移時，泡沬接觸該活動構件· 1.3.如申請專利範圍第8項所述之方法，其中不同 的液體分別供應至活動構件一側上之空間和活動構件另一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規核^"(210 X 297公釐) Llli-Trl·, —4—Γ! --I! I I 訂·! ------- (請先閱讀"-面之泣意事項再1!^本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -2 - A8B8C8D8 414760 六、申請專利範圍 側上的空間。 14.如申請專利範圍第8項所述之方法，其中相同 的液體分別供應至活動構件一側上之空間和活動構件另一 側上的空間。 1 5 種液體噴射頭，包含： —基底具有可產生熱之熱產生表面以在^液璩中產生泡 沫.； 一活動構件具有一自由端； 一噴射出口使用產生之泡沫以噴出液體，該噴射出口 隔著活動構件而與該基底相對： 一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沬向著該噴 射出口，其中當活勖構件之自由端庙泡沬所位移時，在相 辱構件接班熱產生表面下，相反構件相對於活動構件之一 側， 其中該活動構件引導成長泡沬在實質垂直於熱產生表 面之方向*向著噴射出口。 1 6 .、如申請專利範圍第1 5項所述之液體噴射頭， 其中界定噴射出口之構件和界定熱產生表面之構件賁質互 相平行。 17. 如申請專利範圍第15項所述之液體噴射頭， 其中相反構件爲具有一自由端之第二活動構件’和活動構 件之自由端以一間隙互相相對。 18. 如申請專利範圍第17項所述之液體噴射頭， 其中一第一線垂直於熱產生表面並通過熱產生表面之中央 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公茇） L!--π·'·1 -:1— !裝·！ I 訂-! I _ 線 <請先Μ讀t·面之}i,意事項再填f本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -3 _ A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 .，和一第二線垂直於該間隙並通過該間隙之中央*且第一 線和第二線互相靠近。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項所述之液體噴射頭， 其中該線實質的互相重叠。 2 0 .如申請專利範圍第1 7項所述之液體噴射頭· 其中該第一線穿透噴射出口· 2 1 .如申請專利範圔第2 0項所述之液體噴射頭* 其中該第一線和垂直於噴射出口且通過噴射出口之中央之 線實質互相重叠。 22.如申請專利範圍第15項所述之液體噴射頭， 其中該相反構件爲一壁。 2 3 .如申請專利範圍第2 2項所述之液體噴射頭， 其中該第一線穿透該活動構件。 24. 如申請專利範圍第22項所述之液體噴射頭> 其中該第一線穿透該噴射出口。 ' 25. 如申請專利範圍第24項所述之液體噴射頭* 其中該第一線和垂直於噴射出口且通過噴射出口之中央之 線實質重叠。 2 6 .如申請專利範圔第1 5項所述之液體噴射頭， 其中液體流動路徑分別形成在活動構件之一側和活動構件 之另一側上。 27.如申請專利範圍第26項所述之液體噴射頭， 某中該活動構件爲介於液體流動路徑間之分離壁之一部份 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 1' I I I- — ^*— — ^1 — — — ·1111111 11 — — — — —— — <請先閱讀t-面之>i.意事項再填S本頁) —4 — 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 414760 六、申請專利範圍 28. 如申請專利範團第26項所述之液體噴射頭， 其中液體流動路徑實質互相氣密的分離。 29. 如申請專利範圍第26項所述之液體噴射頭， 其中不同的液體分別供應至液體流動路徑。 30. 如申請專利範圍第26項所述之液體噴射頭， 笋中相同的液體分別供應至液體流動路徑。 31. 如申請專利範圍第15項所述之液體噴射頭， 其中液體沿著實質與熱產生表面齊平之內壁而供應至熱產 生表面》 32. 如申請專利範圍第15項所述之液糖噴射頭， 其中該活動構件之區域大於熱產生表面之區域· 3 3 .如申請専利範圍第1 5項所述之液體噴射頭， 其中該活動構件具有一支點部份位在離開熱產生表面區域 之位置。 3 4 .如申請專利範凰第1 5項所述之液艟噴射頭· 其中該活動構件爲板型式· 3 5 .如申請專利範圍第1 5項所述之液體噴射頭， 其中該活動構件爲金靥^ 36.如申請專利範圍第35項所述之液體噴射頭， 其中該金屬爲鎳或金。 3 7 .如申請專利範圍第1 5項所述之液體噴射頭· 其中該活動構件爲樹脂材料。 3 8 .如申請專利範圍第1 5項所述之液體噴射頭， 其中該活動構件爲陶瓷材料。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ΓΙΙΙ^-ΙΊ1—— -裝·！ 1 — ！1 訂------線 <請先閱讀背面之?£-^^項再<^本頁) -5 - 六、申請專利範圍 3 9 .如申請專利範圍第2 6項所述之液體噴射頭， 進一步包含共同液體室以容納欲供應至液髖流動路徑之液 (請先閲讀背面之注意事項再填本頁) Mil 體* 4 0 ·如申請專利範圍第1 5項所述之液體噴射頭， 其中該熱產生表面爲一電熱轉換器用以將電轉換爲熱。 4 1 .如申請專利範圍第1 5項所述之液體噴射頭， 其中由熱產生表面所產生之熱會引起液體之膜沸騰以產生 泡沬。 4 2 種液髏噴射頭，包含： —可產生熱之熱產生表面以在液體中產生泡沬； —活動構件具有一自由端； 一噴射出口使用產生之泡沬以噴出液體*該噴射出口 隔著活動構件而與該熱產生表面相對； 一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沫向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所位時，在相 反構件接近熱產生表面下，相反構件相對於活動構件之一 側， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中該活動構件引導成長泡沫在實質垂直於熱產生表 面之方向*向著噴射出口》 43.如申請專利範圍第42項所述之液體噴射頭， 其中該噴射出口和該基底實質互相平行· 4 4 ·如申請專利範圍第4 2項所述之液體噴射頭， 某中相反構件爲具有一自由端之第二活動構件，和活動構 J牛之自由端以一間隙互相相對。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） _ 6 - 414760 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4 5 ,如申請專利範圍第4 4項所述之液體噴射頭， 其中一第—線垂直於熱產牛表面並通過熱產生表面之中央 ’和一第二線垂直於該間隙並通過該間隙之中央，且第— 線和第二線互相靠近。 4 6 .如申請專利範圍第4 5項所述之液體噴射頭， 其中該線實質的互相重叠》 4 7 .如申請專利範圍第4 4項所述之液體噴射頭· 其中該第一線穿透噴射出口。 48.如申請專利範圍第47項所述之液體噴射頭， 其中該第一線和垂直於噴射出口且通過噴射出口之中央之 線實質互相重叠。 4 9.如申請專利範圍第4 2項所述之液體噴射頭.， 其中該相反構件爲一壁。 50.如申請專利範圍第49項所述之液體噴射頭* 其中該第.一線穿透該活動構件· 5 1 .如申請專利範圍第4 9項所述之液體噴射頭， 其中該第一線穿透該噴射出口。 5 2 .如申請專利範圍第5 1項所述之液體噴射頭1 其中該第一線和垂直於噴射出口且通過噴射出口之中央之 線實質重叠。 53.如申請專利範圔第42項所述之液體噴射頭， 其中液體流動路徑分別形成在活動構件之一側和活動構件 之另一側上。 5 4 .如申請專利範圔第5 3項所述之液體噴.射頭， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I — I ΙΓ — ^ — * I I I----^ ·11111111 — It V · (請先《讀背面之注意事碩再$本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 7 4147GG 謹 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 六、申請專利範圍 其中該活動構件爲介於液體流動路徑間之分離壁之一部份 0 5 5 .如申請專利範圍第5 3項所述之液體噴射頭， 其中液體流動路徑實質互相氣密的分離。 5 6 .如申請專利範圍第5 3項所述之液體噴射頭* 其中不同的液體分別供應至液體流動路徑· 5 7.·如申請專利範圍第5 3項所述之液體噴射頭， 其中相同的液體分別供應至液體流動路徑。 5 8,.如申請專利範圍第5 3項所述之液體噴射頭| 其中液體沿著實質與熱產生表面齊平之內壁而供應至熱產 生.表面。 59. 如申請專利範圍第53項所述之液體噴射頭， 其中該活動構件之區域大於熱產生表面之區域。 60. 如申請專利範圍第53項所述之液體噴射頭， 其中該活..動構件具有一支點部份位在離開熱產生表面區域 之位置。 6 1 .如申請專利範圍第5 3項所述之液體噴射頭| 其中該活動構件爲板型式》 6 2 .如申請專利範圍第5 3項所述之液體噴射頭， 其中該活動構件爲金屬。 6 3 .如申請專利範圍第6 2項所述之液體噴射頭， 其中該金屬爲鎳或金。 64.如申請專利範圍第53項所述之液體噴射頭， 其中該活動構件爲樹脂材料♦ 請 先 閱 讀 背' 面 之 注· f 裝 訂 本紙張尺度適用中國圉家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） -8 - 觔580808 41476C 六、申請專利範圍 65.如申請專利範圍第53項所述之液體噴射頭， 其中該活動構件爲陶瓷材料* 6 6 ·如申請專利範圍第5 3項所述之液體噴射頭， 進一步包含共同液體室以容納欲供應至液體流動路徑之液 體· 67.如申請專利範圍第42項所述之液體噴射頭， 其中該熱產生表面爲一電熱轉換器用以將電轉換爲熱· 6 8'如申請專利範圍第5 3項所述之液體噴射頭， 其中由熱產生表面所產生之熱會引起液體之膜沸賸以產生 · .... 泡沬。 69.—種頭匣，包含： 一液體噴射頭•包括： 一基底具有可產生熱之熱產生表面用以在液體中產生 泡沬； . 一活動構件具有一自由端： 一墳射出口使用產生之泡沫以出液體*該噴射出口隔 著活動構件而與基底相對； 一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沫向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所位時，在相反 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活動構件之一 側：和 該頭匣進一步包含： 一液體容納部份用以容納欲供應之液體噴射頭之液體 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —ί I —ΐ 1ΊΙΙΊ—·— — — ^ i — — — — — — ^-111111!^ (請先閲讀#面之注』意事項再填f本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -9 一 A8B8C8S 414760 六、申請專利範圍 其中該活動構件引導成長泡沬在實質垂直於熱產生表 面之方向，向著噴射出口。 70.如申請專利範圍第69項所述之頭匣，其中該 液體噴射頭和該液體容納部份是可分離的。 7 1 .如申請專利範圍第6 9項所述之頭匣，其中該 液體容納部份含有再充填液體* 72. 如申請專利範圍第69項所述之頭匣，其中該 、液體容納部份具有液體注入埠以再充填液體。 73. —種頭匣，包含： 一液體噴射頭，包括： 一可產生熱之熱產生表面用以在液體中產生泡沬； 一活動構件具有一自由端； 一噴射出口使用產生之泡沫以出液體，該噴射出口隔 著活動構件而與熱產生表面相對； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一相反構件和該活動構件配合以引導該泡法向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所位時，在相反 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活動構件之一 側；和 該頭匣進一步包含： 一液體容納部份用以容納欲供應之液體噴射頭之液體 ， 其中該活動構件引導成長泡沬在實質垂直於熱產生表 面之.方向，向著噴射出口。 7 4 .如申請專利範圍第7 3項所述之頭匣，其中該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 * 297公釐） . -10 - 4147^0 A8 Βδ C8 D8 ------------ 六、申請專利範圍 液體噴射頭和該液體容納部份是可分離的，。 75. 如申請専利範圍第73項所述之頭匣，其中該 裤體容納部份含有再充填液體。 76. 如申請專利範圔第73項所述之頭匣，其中該 液體容納部份具有液體注入埠以再充填液體。 7 7 . —種液體噴射裝置，包含： —液體噴射頭*包括： 一基底具有可產生熱之熱產生表面用以在液體中產生 泡洙； 一活動構件具有一自由端； —噴射出口使用產生之泡沫以出液體|該噴射出口隔 著活動構件而與基底相對； 一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沬向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所位時，在相反 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活齒構件之一 側；和 該裝罝進一步包含： 驅動訊號供應機構用以供應驅動訊號以噴出液體， 其中該活動構件引導成長泡沬在實質垂直於熱產生表 面·之方向，向著噴射出口· 78. —種液體噴射裝置，包含： 一液體噴射頭，包括： —基底具有可產生熱之熱產生表面用以在液饋中產生 泡沫； 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 * 297公釐） -I I I i Ί ---''---裳.！ i I 訂 ! !-線 (請先閱讀背面之L意事項再壤芙本頁> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印紫 -11 - A8B8C8D8 414760 六、申請專利範圍 一活動構件具有一自由端； —噴射出口使用產生之泡沫以出液體，該噴射出口隔 著活動構件而與基底湘對； 一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沫向著該噴 射出□，其中當活動構件之自由端由泡沬所位時，在相反 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活動構件之一 側：和 -傳送機構用以傳送一記錄材料以接收由液辑噴射頭噴 出之液體， 其中該活動構件引導成長泡沫在實質垂直於熱產生表 面之方向，向著噴射出口》 79. 如申請專利範圍第78項所述之液體噴射裝置 ，其中多數顔色之記錄液體由液體噴射頭噴出以作用彩色 記錄在記錄材料上。 80. 如申請專利範圍第78項所述之液Μ噴射裝置 ，其中多數之噴射出口安排覆蓋記錄材料之整個寬度· 8 1 . —種液體噴射裝置*包含： 一液體噴射頭，包括： 一可產生熱之熱產生表面用以在液體中產生泡沬： 一活動構件具有一自由端； 一噴射出口使用產生之泡沬以出液體 > 該噴射出口隔 著活動構件萌與熱產生表面相對； 一相反構件和該活動構件配合以引専該泡沫向著該噴、 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所位時’在相反 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） I· ϋ ^ ί ^ Λί I* I J— I I I I > I I n IB f I ^ fe I ^ ^ ^ I I a— I * * (請先M讀背面之注意事項再t本頁) 經濟部智慧財產局貴工消費合作社印繁 -12 - 41476G 六、申請專利範圍 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活動構件之一 側；和 (請先閱讀背面之注意事項再填ί本頁) 該裝置進一步包含： 驅動訊號供應機構用以供應驅動訊號以噴出液體， 其中該活動構件引導成長泡沫在實質垂直於熱產生表 面之方向，向著噴射出口。 8 2.. —種液體噴射裝置，包含： 一液體噴射頭，包括： 一可產生熱之熱產生表面用以在液體中產生泡沫； 一活動構件具有一自由端； 一噴射出口使用產生之泡沫以出液體，該噴射出口隔 著活動構件而與熱產生表面相對： 广相反構件和該活動構件配合以引導該泡沫向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沫所位時|在相反 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活動構件之一 側；和 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 傳送機構用以傳送一記錄材料以接收由液體噴射頭噴 出之液體， 其中該活動構件引導成長泡沬在實質垂直於熱產生表 面之方向，向著噴射出口。 83. 如申請專利範圍第82項所述之液體噴射裝置 ，其中多數顏色之記錄液體由液體噴射頭噴出以作用彩色 記，錄在記錄材料上。 84. 如申請專利範圔第82項所述之液體噴射裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公蜚） -13 - A8B8C8D8 六、申請專利範圍 ’其中多數之噴射出口安排覆蓋記錄材料之整個寬度· 85. —種記錄系統，包含： <請先閲讚背面之ii-意事項再填S本頁) 如申請專利範圔第7 7 、7 8、81、或8 2項所界定 之液體噴射裝置：和 —後..處理裝置用以促進液體固定在記錄材料上* 86. —種記錄系統，包含： 如申請專利範圔第7 7 '78、81、或8 2項所界定 之液體噴射裝置；和 一前處理裝置用以促進液體固定在記錄材料上* 8 7 —種頭工具，包含： 一液體噴射頭，包括： 一基底具有可產生熱之熱產生表面用以在液體中產生 泡沫； 一活動構件具有一自由端： —噴射出口使用產生之泡沫以出液體，該會射出口隔 著活動構件而與熱產生表面相對； 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沫向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沬所位時，在相反 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活動構件之一 側：和 —液體容器用以容納欲供應至液體噴射頭之液體* 其中該活動構件引導成長泡沬在實質垂直於熱產生表 面之方向•向著噴射出口· 8.8.如申請專利範圍第8 7項所述之頭工具，進一 本紙張又度適用中國a家標準（CNS)A4規格（210 X 297公;Ϊ ) -14 - 414760 六、申請專利範圍 步包含液體充填機構用以充填欲供應之液體· 89.—種頭工具，包含： 一液體噴射頭*包括： 一可產生熱之熱產生表面用以在液體中產生泡沬； 一活動構件具有一自由端； 一噴射出口使用產生之泡沫以出液體、，該噴射出口隔 著活動構件而與熱產生表面相對： 一相反構件和該活動構件SB合以引導該泡沬向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沫所位時，在相反 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活動構件之一 側：；和 、一液體容器含有欲供應至液體噴射頭之液體， 其中該活動構件引導成長泡沬在實質垂直於熱產生 表面之方向，向著噴射出口》 9 0 .如申請專利範圍第8 9項所述之頭工具，進一 步包含液體充填機構用以充填欲供應之液體· 其中該活動構件引導成長泡沫在實質垂直於熱產生表 面之方向，向著噴射出口。 9 1 種液體噴射方法，包含： 提供具有一可產生熱之熱產生表面之基底以在液體中 產生泡沬； 提供具有一自由端之一活動構件； 提供具有一噴射出口以使用產生之泡沬噴出該液體之 噴射出口構件，該噴射出口隔著該活動構件而與該基底相 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----^--.----^-- (請先閱讀背面之注意事項再換寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15 - 41476G Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、申請專利範固 對： 其中該噴射出口構件和該基底之間界定.π液體路徑， 且在該路徑上不會互相穿越； 設置活動構件之自由端在相關於液體流至噴射出口之 方向之下游側上；和 其中該泡沬位移活動構件之自由端，並向著噴射出口 成長以噴出該液體， 其中該活動構件引導成長泡沬在實質垂直於熱產生表 面之方向，向著噴射出口· 92.如申請專利範圍第91項所述之方法，其中活 動構件具有一固定端位在相關於液體流動方向之上游側。 9 3 .如申請專利範圍第9 1項所述之方法，其中當 活動構件由泡沬所位移時，泡沫會擴展活動構件之自由端 9 4 .如申請專利範圍第1項所述之方法•其中由熱 «- - 產生表面所產生之熱會引起液體之膜沸騰而產生泡沫》 9 5 . —種液體噴射頭，包含： 一基底具有可產生熱之熱產生表面以在液體中產生泡 沫； 一活動構件具有一自由端： 一嗆射出口構件，其具有噴射出α使用產生之泡洙以 出液體，該噴射出口隔著活動構件而與該基底相對； 其中該噴射出口構件和該基底之間界定一液體路徑， 且在該路徑中，它們不會互相穿越； 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----Ί丨-Μ--裝------訂------.線- (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) -16 - 51 51 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 414760 S 六、申請專利範固 一相反構件和該活動構件配合以引導該泡沬向著該噴 射出口，其中當活動構件之自由端由泡沫所位時，在相反 構件接近熱產生表面下，該相反構件相對於活動構件之一 側；和 由熱產生表面所產生之熱會引起液體之膜沸騰以產生 泡沫， 其中該活動構件引導成長泡沫在實質垂直於熱產生表 面之方向，向著噴射出口。 96. 如申請專利範圍第95項所述之液體噴射頭， 其中活動構件具有一固定端位在相關於液體流動方向之上 游側。 97. 如申請專利範圍第95項所述之液體噴射頭， 其中當活動構件由泡沫所位移時，泡沫會擴展活動構件之 自由端。 98. 如申請專利範圍第95項所述之液體噴射頭， < ~~ 其中由熱產生表面所產生之熱會引起液體之膜沸騰而產生 泡沫。 9 9 .如申請專利範圍第9 5項所述之液體噴射頭， 其中該相反構件爲具有一自由端之第二活動構件，和活動 構件之自由端以介於其間之一間隙區相相對。 1 0 0 ·如申請專利範圍第9 5項所述之液體噴射頭 ，其中該相反構件爲一壁。 本紙張尺度逋用中國S家橾率（CNS )八4规格（210X297公釐） 裝------訂------：線， (請先《讀背面之注$項再填寫本頁) -17 -