經潦部中央橾準局員工消费合作杜印製 Α7 Β7 五'發明説明（丨） <發明之詳细說明> <產業上之利用範嚼> 本發明係有關一種可檢知愛克西瑪雷射等之雷射装置 之異常之異常檢知裝置，特別是可檢知不依照Μ雷射作為 光源之半導體曝光裝置等之曝光裝置或加工裝置之指令實 行雷射光震盪之異常者，而可藉此防止發生不良品於未然 之装置者。 <習知之技術> 習知之以激勘雷射作為光源之曝光裝置，係以所諝之 step and repeat (步進重複方式）實行 曝光。 在此種步進重複方式中，將載台（s t age)相對 於光棚（ret i cu 1 e)及投影鏡加Μ定位後，在載 台及光柵為停止之狀態下，實行曝光。然後，雷射之各脈 衝能被累積計算，當其到達既定之光量時’即停止雷射震 盪，並移動載台。以此方式重複實行以控制曝光光量。 依此曝光方式，即使雷射之脈衝能及重複頻率多少有 所參差，並產生偏射，因缌曝光量被顯示，並根據其顯示 而實行曝光故，可高精度地控制光董。 其係因即使各個脈®能參差不齊，因其參差之情形係 依照正規分布等之既定分布•若積算多數之脈衝光時’光 之縴光量值亦具有甚少之參差之故所致。 惟，在步進重複方式中，當偏射頻頻發生時，則無法 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項一%寫本頁) 訂 經濟部中央樣準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（L) 控制其光量。 為此，有一種當雷射發生偏射時可避免危險之可緊急 停止雷射裝置之製品被提出，且該製品係被本案申請人提 出發明專利申請（日本特願平4 — 2688 1 0號）。 該申請案，係掲示有一種於每次發出雷射震盪指令時 ’即實行一次之脈衝振盪之雷射装置，其藉由比較雷射光 之檢知次數及雷射震盪指令次數，於發出雷射震盪指令時 仍不震盪雷射光之次數超過既定值時，即緊急停止雷射装 置者。 藉由實行該種雷射停止控制，可避免在缌曝光量參差 不齊之狀態下發生生產出不良品質之半導體之情事。 <發明欲解決之課題> 作為曝光方式，並非僅有上述之步進重複式，亦存在 有一種稱為掃瞄之方式。此掃瞄方式公知有例如「N I K KEI MICR0DEVICES 1993 年 9 月號 」（5 4頁至5 9頁）所刊載者。 在掃瞄方式中，光被整形為片狀光束（s h e e t beam)，一邊使光柵及晶片（wafer)移動（掃 瞄），一邊實行曝光。 此掃瞄方式之優點在於其可實行大面積之曝光。例 使用區塊面積3 6mm 6之鏡頭時，在步進重複方式係為 25mm 角（256MDRAM15x25mm 為一觸點 )•而在掃瞄方式為30X40mm (256MRM15 -5 - 本^張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 B7_ 五、發明説明Ο ) X25mm為2觸點）故可作大面積之曝光。今後，隨著 積體密度之增加，觸點大小將變大（例如64MDRAM 約為 1 0x20mm，而 256MDRAM 約為 1 5x2 5mm)。有關轉變成掃瞄方式之背景可擧出例如随著高 積體化之大面積化、縮小投影曝光装置之鏡頭製造技術已 臻界限，及高生產能化等。 惟，掃瞄方式之缺點為其在原理上非常難以實行光童 之控制。 亦即，激勵雷射因係為脈衝雷射，在實行掃瞄方式時 ，必須使光柵與基板之移動與雷射之震盪作高精度之同步 作動而實行曝光者。 此場合，如步進式般，藉由檢知全部曝光量，並根據 其结果控制曝光時之全部曝光量之回溯（f e e db a c k )係為不可能。 因此，為高精度地控制曝光光量，在輸入雷射之震盪 命令（外部觸發脈衢）至雷射裝置時，須立即震通（或在 非常短之容許時間内），且雷射之脈衝能量之規律性必須 十分整齊。特別是掃瞄方式之場合，更絕對不容許誤放射 (沒有麄盪命令卻震盪，或雖有賑盪命令但不震盪）之發 生。 緣此，K掃瞄方式，於發生誤放射或雷射震盪無法同 步時，必須立即檢知此狀態，並緊急停止雷射，並將異常 告知曝光裝置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項V填寫本頁) -55 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（4) ’ 本發明之第一目的，即在提供一種於使用掃瞄方式時 ，可於事前檢知異常*藉此以防止不良品之發生於未然之 装置者。 又，發生該異常時，迅速將雷射装置之故障處所予Μ 固定化•並立即再度開始作業，以提高作業效率者係極為 重要。 本發明之第二目的，即在提供一種可將雷射裝置之故 障處所迅速特定化之裝置者。 <解決課題之手段> 為此*本發明之第一發明為：一種雷射装置，其可對 應雷射震盪指令*震盪出雷射光，其特徵在於具有：一雷 射震盪指令檢知手段，可檢知前述之雷射震盪指令；一雷 射II盪檢知手段，可檢知雷射葙盪之有無；一異常信號输 出手段· Κ前述雷射震盪指令檢知手段檢知不出前述雷射 震盪指令時•且Κ前述震盪檢知手段檢知出雷射之震盪時 •即顯示雷射装置之異常。 又，本發明之第二發明，其除具有上述同樣之雷射震 慂指令檢知手段及雷射震盪檢知手段，更具有：一異常信 號輸出手段，其在Μ前述雷射震盪指令檢知手段檢知前述 雷射震盪後之時間到達設定時間時，Μ前述雷射震盪檢知 手段檢知不出雷射光之震慂時，即顯示出雷射裝置之異常 者。 又’本發明之第三發明，其除具有上述同樣之雷射震 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項命填寫本頁) 訂 -! A7 B7 五、發明説明（s：) 請先閲讀背面之注意事項(¼寫本頁 盪指令檢知手段及雷射震盪檢知手段，更具有：第1異常 檢知手段，其在以前述雷射震通指令檢知手段檢知不出前 述贏射震盪指令，而K前述雷射震盪檢知手段檢知出前述 雷射光之震盪時，即輸出顯示雷射装置異常之第1之異常 信號者；第2異常檢知手段，其在Μ前述雷射震盪指令檢 知手段檢知前述雷射震盪後之時間到達設定時間時，Μ舫 述雷射震盪檢知手段檢知不出雷射光之震盪時，即輸出顯 示出雷射装置之異常之第2異常信號者；故陣處所判斷手 段，其可根據前述第1及第2異常檢知手段之檢知结果· 判斷雷射裝置之故障處所。 <作用> 依上述第一發明之構成，如第一圖及第三圖所示，Μ 雷射震盪指令檢知手段10檢知不出雷射震盪指令a時， 而以雷射震盪檢知手段1 1檢知出雷射光L之震遞b時， 則輸出表示雷射装置為異常之異常信號S1。 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 又，依第二發明之構成，如第一圖及第三圖所示，在 K雷射震盪指令檢知手段1 0檢知出雷射震盪指令a後之 時間到達設定時間時，且Μ雷射震盪撿知手段11檢知不 出雷射光L之震盪b時，則輸出表示雷射裝置為異常之異 常信號S 2。 又，依第三發明之構成，如第十四圖所示，可根據第 1及第2異常檢知手段（步驟40 1)之檢知结果S1 、 S 2判斷出雷射装置之故障處所（閘流管或充霣回路）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標率局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（b) <實施例> Μ下參照画面說明有闞本發明之雷射裝置之異常檢知 装置之實施例。 第—圖所示者為實胞例之雷射裝置70,與位於該雷 射装置70之外部，而藉由雷射裝置70所發生之雷射光 L賁行曝光之曝光裝置1 2。第二圔為揭示第一圖所示之 放電室1及充電回路5及Η V電源装置6之具體構成之回 路圖。又，在此實施例中，係Μ激勵雷射為例。 如各圖所示，在雷射装置70之放電室1内，係封入 有稀有氣體及鹵素氣體等之雷射氣體2 1 ，同時亦配設有 熱交換器1 9及風扇20。又，放電室1中配設有可實行 預備電離之預備電離電極1 7、1 7及可實行主放電之主 放電轚極1 8。 充霣回路5係由主放電用電容器C 1、預備電離用電 容器C2、C2及線圈Lc、及做為開醑元件之Μ流管（ thyratron) 15所構成。HV電源裝置6為充 電電源1 3、可發生觸發脈衝信號T r之觸發脈衝發生器 1 4所構成。 雷射控制裝置7為控制雷射裝置7 0用之控制裝置。 緊急停止裝置8於檢知出雷射装置7 0之異常時，可使雷 射裝置7 0全體緊急停止。 不發光檢知裝置9，其可檢知雷射光之不發光•並將 之告知雷射控制装置7或曝光装置1 2。 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~~' 請先閲讀背面之注意事項一v %寫本頁) -a A7 B7 經濟部中央標準局另工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 1 1 震 盪 觸 發 檢 知 器 1 0 可 檢 知 刖 述 觸 發 脈 衝 信 號 ( 震 盪 1 1 I 觸 發 脈 衝 ) T Γ 是 否 被 輸 出 9 並 輸 出 震 盪 觸 發 檢 知 信 號 a 1 I 請 1 I 〇 先 1 閱 I 雷 射 光 檢 知 器 1 1 可 檢 知 在 放 電 室 1 中 雷 射 光 L 是 否 讀 背 I 面 I 際 被 m 盪 出 若 有 雷 射 光 L 之 震 盪 » 則 輸 出 代 表 其 狀 態 之 注 1 I 意 | 之 震 盪 雷 射 光 檢 知 信 號 b 0 1 1 全 反 射 鏡 2 及 部 份 反 射 鏡 3 係 構 成 光 共 振 器 〇 被 光 共 % 窝 振 器 所 共 振 之 光 係 被 光 束 分 雛 器 4 做 分 析 出 部 份 光 樣 品 本 頁 1 I 9 並 將 之 輪 入 雷 射 光 檢 知 器 1 1 0 震 盪 雷 射 光 L 被 供 給 至 1 1 I 曝 光 装 置 1 2 〇 1 1 雷 射 展 通 之 際 t 各 脈 衡 係 對 應 下 各 動 作 〇 1 訂 亦 即 震 盪 指 令 從 雷 射 控 制 裝 置 7 輸 出 至 Η V 電 源 装 1 I 置 6 0 之 後 9 藉 由 Η V 電 源 装 置 6 之 充 電 電 源 1 3 對 充 電 1 1 I 回 路 5 供 給 高 壓 電 Η V 0 因 此 放 電 室 1 内 之 電 極 1 7 1 1 1 7 至 1 8 > 1 8 間 引 起 放 霉 用 之 電 荷 被 蓄 積 於 電 容 器 1 % C 1 N C 2 而 實 行 充 電 0 1 1 於 其 充 電 完 了 後 從 觸 發 脈 衝 發 生 器 1 4 對 閘 流管 1 1 1 I 5 輸 出 觸 發 脈 衝 信 號 Τ Γ 9 Μ 驅 動 閘 流 管 1 5 而 導 通 閘 1 1 流 管 1 5 〇 其 结 果 霉 容 器 C 1 之 電 荷 被 放 電 而 激 勵 雷 1 1 射 氣 體 2 1 並 發 光 〇 妖 後 * 所 發 出 之 光 缕 由 上 述 共 振 器 而 1 I 震 盪 輸 出 雷 射 光 L 0 1 | 震 盪 觸 發 檢 知 器 1 0 於 每 次 檢 知 觸 發 脈 衝 信 5Κ Τ Γ 時 1 1 » 則 输 出 震 盪 觸 發 檢 知 信 號 a 至 不 發 光 檢 知 装 置 9 0 一 方 1 1 - 10 - 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央橾準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（f ) 面，雷射光檢知器11於每次檢知被輸入之震盪雷射光L 時，則输出震盪雷射光檢知信號b至不發光檢知装置9。 不發光檢知装置9可根據上述震盪觸發檢知信號a及 震盪雷射光檢知信號b，檢知是否發生不發光，亦即雷射 装置7 0之異常者。在此，不發光檢知裝置9可判斷出是 否應輸出異常檢知信號S 1、S2至何装置者。 若判斷為雷射装置7 0必須緊急停止時，則輸出異常 檢知信號S 1 、S2至緊急停止装置8。 當異常檢知信號S 1 、S2輸入緊急停止裝置8時， 該裝置8則判斷出當緊急停止雷射装置7 0全體之運轉， 而對充電回路5、HV電源装置6及雷射光控制装置7輸 出緊急停止命令。對應此緊急停止命令之輸人，各櫬械皆 停止動作，而停止雷射装置70全體之運轉。 又，若判斷為無緊急停止之必要時，則將異常檢知信 號S 1 、S2輸出至雷射控制裝置7。其结果，雷射控制 裝置7對曝光裝置12通知已發生不發光（異常）。 又，如必須立即將發生不發光（異常）之情形告知曝 光装置1 2時，如第一圖之點線所示，可由不發光檢知装 置9對曝光装置1 2直接輸出異常檢知信號S 1 、S2。 又，在此實施例中，雖係藉由於HV«源装置6 (觸 發脈衝發生器14)上附設震盪觸發檢知器10，而檢知 觸發脈衝信號T r者，為其並不限制於此，只要為可檢知 雷射震盪指令之場所，其可配設於任意之場所。例如|可 -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） HV Hit ml ml 1 i 一"4 (請先閱讀背面之注意事項p填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（1 ) 將震盪觸發檢知器1 0配設於曝光装置1 2與雷射控制裝 置7之間，或可配設在Η V電源裝置6與雷射控制裝置7 之間。 第三圖為不發光檢知装置9之基本構成示意圖。 如同圖所示，不發光檢知裝置9，係由在無震盪命令 a時*可檢知雷射光L已震盪之異常S 1之檢知装置2 2 ，與输入雷射震盪信號a後，在既定之容許時間内可檢知 雷射光L不震盪之異常S 2之装置2 3所構成。各装置2 2、23，被輸入震盪觸發檢知信號a及震暹雷射檢知信 號b後，可根據各檢知信號a、b分別檢知異常S 1、S 2，而將異常檢知信號S 1 、S2分別輸出至各裝置22 、2 3 〇 異常檢知信號S 1 、S2被输入〃或#回路24 ( 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 請先閱讀背面之注意事項^螇寫本頁 OR CIRCUIT)，而〃或"回路24之輸出之異 常檢知信號S 1或S2，被施加於曝光装置1 2。其结果 •曝光装置1 2根據被輪入之異常檢知信號S 1或S2實 行既定之異常處理。例如*接收到異常檢知信號S1 、S 2之曝光装置1 2，可對雷射控制装置7輸出震盪停止命 令，或者可實行闞閉快門等之曝光装置停止控制。 又*異常檢知信號S 1、S2可直接输出至雷射控制 装置7。 雷射控制装置7可根據輸入之異常檢知信號S 1 、S 2及曝光装置1 2所輸出之信號，實行雷射震盪停止等各 -1 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） B7_ 五、發明説明（β) 種異常處理。 又，在此實施例中，雖係使用閘流管（t h yr a t r ο n) 1 5作為充電回路5之開關元件，但作為開闞元 件亦可使用任易之例如t hyr i s t o r等之固體開闞 0 M下，說明有關不發光檢知装置9之具體構成。 首先，說明有關異常S 1之檢知装置2 2之具體構成 Ο 第四圖為以回路構成装置2 2之場合之一例。 如該圖所示，震盪觸發檢知信號a與藤通雷射光檢知 信號b係分別被輸入脈衝發生器30及31。在脈衡發生 器30、3 1 ，輸入信號a、b ，分別被變換成既定之脈 衝幅度並被整形*而脈衝信號分別被輸出至計數器32、 3 3° 計數器32、33可於每次輸入脈衝信號時動作，而 計算輸入脈衝數，而其計數结果值Ca、Cb分別被輸入 減算器3 4。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在滅算器34，被實行Cb_Ca之減算，其減算值 (異常次數）Cb—Ca被輪出至比較器36。 一方面，在數值設定器35，不發光之容許值（次數 )C被預先設定，此設定值C被輸入比較器36。 在比較器36，減算结果Cb_Ca被與設定值C比 較，若為Cb_CaSC時，則輸出異常檢知信號s 1。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 五、發明説明（ A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 第 常檢知 亦 ，於每 增加1 序中， N T 2 又 異常判 計算D )。之 其 若D > S 1 ( 其 器（F 實施例 a )( 時間圖 五圖為以 處理係如 即第五圖 次輸入震 (步驟1 於每次輸 增加1 ( ，在第五 斷之基準 =C N T 後，比較 结果，若 E ，則移 步驟1 2 次，異常 L I P 作說明。 b )分別 ，及判斷 軟體實 流程圖 (a ) 盪觸發 0 1) 入震盪 步驟1 圖（c 之值（ 2 - C 計算值 為D各 行至次 0 ) · S 1之 FLO 在此， 為判斷 為異常 行異常S 1之檢知之實施例，其異 所示。 所示之程序 檢知信號a 。_方面， 雷射光檢知 0 2)。 )所示之程 次數）E ( N T 1 (異 D與基準值 (routine)中 時，則順次對C N T 1 第五圖（b)所示之程 信號b時，則順次對C 序中，首先，輸入作為 步驟1 0 3 )。接著， 常次數）（步驟1 0 2 E (步驟 1 1 0 )。 E ，則回到步驟1 0 4。一方面， 一步驟1 20，輸出異常檢知信號 之後終了。 檢知裝置2 P )為中心 第六圖為其 為正常之場 之場合之回 2係K雙毽態多諧震盪 所構成之回路所構成之 回路構成圖，第七圖（ 合之回路各部之信號之 路各部之信號之時間圖 亦即·震盪雷射光檢知信號b及震盪觸發檢知信號a 分別被輸入脈衝發生器3 1及3 0，並被整形成既定之脈 衝波形A、B (參照第七圖）。 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 背 ιέ 之 注 意 事 項-sΓ丄 % 本 頁 訂 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印製 A7 B7_ 五、發明説明（θ) 自脈衝發生器3 1輸出之脈衝信號A分別被輸入雙镲 態多諧震盪器42之S (設定）端子及延遲回路4 1 。 一方面•自脈衝發生器30輸出之脈衝信號B，被輸 入延遲回路4 0 *因此脈衝信號B被延遲並作為脈衝信號 C被輸出，而被輪人雙g態多諧震盪器42之R (res e t )端子。 雙穩態多諧震盪器4 2之狀態信號Q *被作為信號D 而被輸入回路4 3之一方之輸入端子。一方面*被延遲回 路4 1所延遲之脈衝信號E，被輸入〃和”回路（and c i rcu i t) 43之他方之輸入端子。 又•"和"回路43之輸出信號F被輸入可預先設定 設定值（次數）之預先設定計算器44。其结果，若計算 器44之計數值（異常回路）超過設定值時，則輸出異常 檢知信號S 1 。 其次，參照第七圖（a)說明有關雷射裝置70正常 作動時（不發生異常S1之場合）之情形。
亦即，對應震盪雷射光檢知信號b之脈衝信號A *將 比對應震盪觸發檢知信號a脈衝信號B，在時間上有所延 遲。為此，藉由延遲回路40輸出表示震盪觸發檢知信諕 a之脈衡B比震盪雷射光檢知號b之脈衡A為遲之脈衝C ，並输入雙S態多諧震盪器42之R (RESET)端子 〇 在正常動作之場合，藉由震盪雷射光檢知信號b ·設 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項-S填寫本頁) -ΪΤ A7 ____B7__ 五、發明説明（〇) / 定雙S態多諧思盪器42 ，並藉由震盪觸發檢知信號a重 新設定（reset)之。因此，雙锞態多諧震盪器42 之狀態信號Q被作成信號D般之脈衝波形而輸出。 一方面*藤盪雷射光檢知信號b之脈衝A被输入延遅 回路4 1 ，而被作成比脈衝波形D為遲之脈衝信號E輪出 〇 在此，脈衝D及E在時間上完全錯開。因此，”和" 輪出F經常為Low狀態（理輯〃 0”）。其结果，預先 設定計算器44不實行發生異常之次數之計算。 其次，參照第七圖（b)說明有關雷射装置70發生 異常動作之場合（發生異常S1之場合）。 亦即，震盪觸發檢知信號a未被輸出之狀態，而震盪 雷射時•震盪雷射光檢知信號b之脈衝A被輸入雯穩態多 諧震盪器42之設定端子S ·使雙穩態多諧震盪器42之 輸出Q成為H i gh (信號D)狀態。 經濟部中央樣準局負工消費合作社印製 惟，當重新設定脈衝未被輸入時，亦即，信號B、C 維持為埋輯” 0”時，雙穗慇多諧震盪器42之輸出Q經 常保持為High (信號D)狀態。 震盪雷射光檢知信號b之脈衝A被延遲回路4 1所延 遲，而成為H i g h狀態之波形E。其结果，藉由輸入信 號D、E ，從〃和〃回路43中輪出H i g h狀態之脈衡 F。此脈衝F被输入雙S態多諧震通器44，而計算異常 次數。其结果•若計算數比設定值為大時，則输出異常檢 -16- 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) M規格（210x297公釐〉 經濟部中央樣準局員工消費合作杜印製 B7 五、發明説明（） / 知信號S 1 。 其次以第八圖所示之流程圖說明以炊體實行異常S1 之檢知之場合之其他實施例。 第八圖（a)為震通觸發檢知之子程序，於每次输入 震盪觸發檢知信號a時*此子程序即起動，而立起震盪觸 發用之 號幟（步驟201)。 第八圖（b)為雷射光檢知子程序，於每次输入震盪 雷射光檢知信號b時即啟動。 首先，若檢知出雷射光L之震盪時，則移行至步發[2 1 0 ·Μ判斷Μ盪觸發用之 號幟是否被立起。在此，若 震盪觸發用 號幟被立起時，則移行至步驟211，重新 設定震盪觸發用之 號帷。一方面，若未立起震盪觸發用 之 號帷時，則移行至步驟212，加算1於CN上。 第八圖（c)為主程序•其初期化處理係將CN初期 設定為0 (步驟220)。並重複實行異常檢知次程序（ 步驟22 1)及雷射®通處理等之處理（步驟222)。 之 ο 初 3 最 2 斷驟 判步 Λ ( 輪 Ε 先 } 首數 , 次 序生 程發 次常 知異 檢 ί 常值 異之 為值 } 基 d 為 ί 作 圖之 八用 第常 異 } 大 1 為 3 值 2 準 驟基 步比 ί 數 Ε 次 值生 準發 基常 及異 Ν 為 C 則 之 ， 在 Ε 現 > 較 Ν 比 C , 若 次， 其果 结 其 ί 回 1 並 S ) 號 3 信 3 知 2 檢驟 常步 異 < 出0 輸為 , 定 果設 结新 其重 ο Ν 2 C 3 將 2 , 驟 } 步 2 至 3 行 2 移驟 而步 本紙張尺度逋用中國國家樣準（CMS > Α4規格（210X 297公嫠）
B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 五、發明説明 ( ) 到 主 程 序 0 其 次 說 明 有 關 以 可 檢 知 在 輸 入 震 通 觸 發 檢 知 信 號 a 後 即 使 經 過 既 定 時 間 亦 不 震 盪 雷 射 光 之 異 常 S 2 之 装 置 2 3 作 為 K 雙 穩 態 多 諧 震 盪 器 為 中 心 之 回 路 之 構 成 之 實 胨 例 0 在 此 第 九 圖 為 回 路 構 成 匾 第 十 圖 ( a ) ( b ) 分 別 為 判 斷 為 正 常 之 回 路 各 部 之 信 號 之 時 間 圖 及 判 斷 為 異 常 之 回 路 各 部 之 信 號 之 時 間 圖 0 亦 即 震 盪 觸 發 檢 知 信 號 a 被 輸 入 脈 衝 發 生 器 3 0 而 發 生 出 既 定 之 脈 衝 信 號 A 0 此 脈 衡 觸 發 檢 知 信 號 & 之 脈 衝 A 被 兩 條 信 線 所 分 離 其 — 方 被 輸 入 雙 穩 態 多 諧 m 盪 器 5 3 之 S ( 設 定 ) 端 子 而 另 — 方 被 输 入 脈 街 整 形 器 5 0 〇 Μ 脈 m 整 形 器 5 0 將 脈 衝 信 號 A 整 形 成 既 定 之 ma 賑 街 幅 度 〇 在 此 脈 衝 幅 度 之 長 度 係 被 設 定 成 對 懕 於 在 觸 發 脈 衝 信 號 T Γ 發 生 之 後 至 雷 射 光 L 震 遞 之 間 之 容 許 時 間 之 長 度 0 亦 即 脈 衝 幅 度 係 被 作 成 判 斷 異 常 用 之 基 值 0 上 述 脈 衝 信 號 C 被 輸 入 // 和 // 回 路 5 2 之 —* 方 之 輸 入 端 子 0 一 方 面 震 慂 雷 射 光 檢 知 信 號 b 被 輸 人 脈 衝 發 生 器 3 1 而 發 生 既 定 之 脈 衝 信 號 B 〇 此 震 m 雷 射 光 檢 知 信 號 b 之 脈 m B 被 输 入 和 // 回 路 5 2 之 他 方 输 入 端 子 0 和 // 回 路 5 2 之 輪 出 信 號 D 則 被 输 入 雙 穩 態 多 諧 m 盪 器 5 3 之 R 端 子 ( Γ e S e t ) 〇 之 後 此 雙 穩 態 多 諧 震 盪 器 5 3 之 狀 態 信 號 Q 之 信 號 E 被 輸 入 // 和 ft 回 路 5 - 18 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局負工消费合作社印策 A7 B7_ 五、發明説明（心） 4 一方之輸入端子。 又’震盪觸檢知信號a之脈衝A亦被輪入延遲回路5 1 ，而被此延遲回路51所延遲之脈衝F則被輸入〃和" 回路54他方之输入端子。. ”和"回路54之輸出信號G被輸入雙穩態多諧藤盪 器55 ’而計算Η丨gh狀態之脈衝G。之後，若計算值 大於設定值時，則計算器5 5中輸出異常檢知信號S 2。 其次*參照第十圖（a)說明有關雷射装置70正常 動作（不發生異常S2之場合）時之場合。 亦即*首先以震盪觸發檢知信號a之脈衡A，設定雙 ο。 檢常”諧aF 保不 作 5C 光正輯多 號衢常 5 動 器衝射射邏態 信脈 G5 常 形脈雷雷 {樓 出之出器 異 整之盪内態雙 輸出输算 ο 衝}藤間狀定 之_ 之計 7 脈度與時 h 設 314 定 置 被幅 C 許 S 新 555 設 装 A 間衝容 i 重 器路路先 射 衝時脈在 HD 盪回回預 雷 脈許此，出if裔遅" ， 明 , 容，算輸脈 諧延和 } 說 面 <2 積中此 多自〃 s ) 方度 5 輯 2 依 態與 ，o b 1 幅路理 5, 穩 E 此” ί 。 衝回作路後 雙衝因輯 圈 3 脈〃 被回之 自脈。理 十 5 之和 Β 〃 。 為此«{ 第 器定"衝和 D 作。重態。照 通既在脈〃衝。，Ε 無狀數參 篤述，之從脈 3 果衝並W次， 諧上此 b * 之 5 结脈上 Ο 常次 多成因號時丨器其生間 L 異其 態形 信光”盪 發時為算 穩整 知發 1 震 ，在持計 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（、ι A7 B7 經濟部中央搮準扃員工消費合作社印装 之場合 亦 態多諧 形成上 以 信號b 遲發光 持為L 態多諧 之 狀態（ 觸發震 路5 2 衡G被 。其结 5 _出 其 裝置2 )(b 及判斷 亦 ，而發 則被輸 (發生 即*首 震盪器 述之既 "和〃 之脈衝 時，則 o w狀 震盪器 後，雙 信號E 盪檢知 ，而直 輸入預 果，若 異常檢 次，Μ 3。在 )分別 為異常 即*震 生既定 入脈衝 異常S 2 先以震盪 5 3 0 — 定脈衝幅 回路5 2 Β兩者之 "和"回 態（理輯 5 3不被 穗態多諧 )並被輸 信號a之 接作為Η 先設定計 計算數大 知信號S 回路構成 此，第十 為判斷為 之回路各 通觸發檢 之脈衝A 整形器5 之埸合） 觸發檢知 方面，脈 度（容許 取得前述 理輯積， 路5 2之 "0，，之 重新設定 震通器5 入"和# 脈衝A用 1 g h狀 算器5 5 於預先設 2 ° 之其他實 一圖為回 正常之回 部之信號 知信號a 。此震盪 0。藉此 信號a之脈® A設定雙穩 衝A被脈衝整形器5 0整 時間幅度）之脈衡C。 脈3fC與震盪雷射光檢知 例如，雷射比容許時間更 輪出側不發生脈衝，常保 信號D)。其结果，雙锞 0 3之輸出Q成為H i s h 回路54。一方面，延遅 之脈衡F被输入"和"回 態之脈銜G而输出。此脈 ，而實行異常次數之累算 定之次數時•則計算器5 施例說明檢知異常S2之 路構成圖，第十二圖（a 路各部之信號之時間圖* 之時間圓。 *被輸入脈衝發生器3 0 觸發檢知信號a之脈衝A 脈衝整形器50，脈衝信 請 先 閲 讀 背 * 意 事 填 寫 本 頁 訂 20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 五、發明説明（β) A7 B7 經濟部中央棣準局貝工消费合作社印製 號A被 係被設 盪之容 之基值 C被轉 之輸入 而發生 此 6 1它 ，該信 6 2將 其所得 號S 2 其 作之情 亦 形器5 之脈衝 其 與震盪 時間内 狀態（ 整形成 定成對 許時間 。上述 換器6 端子' 方，震 既定之 震盪雷 方之輸 號E被 計算Η 之計數 既定之脈衝 應於自發生 之長度。亦 之脈衝信號 0轉換成信 盪雷射光檢 脈衝Β。 射光檢知信 入端子。而 輸入預先設 i g h狀態 比預先設定 幅度。在此，脈衝幅度之艮度， 觸發脈衝信號T r至雷射光L震 即|脈衝幅度被作為判斷異常用 C被輸入轉換器60。又，信號 號D，而被輸入〃和〃回路一方 知信號b被輸入脈衝發生器3 1 號b之脈衝B被輸入〃和〃回路 從此〃和〃回路61輸出信號E 定計算器6 1。預先設定計算器 (邏輯值〃 1”）之脈衡E，若 之數為大時，則输出異常檢知信 次，參照第十二圖（a)說明雷射裝置70正常動 形（不發生異常S2之場合）。 即•首先，震盪觸發檢知信號a之脈衡A被脈衝整 0整形成上述之既定之脈衝幅度（容許時間幅度） C。此脈衝波形C被轉換器6 0反轉成波形D。 後，Μ 〃和"回路6 1取得上述反轉所得之信號D 雷射光檢知信號b之脈衡Β之理輯積，在上述容許 發光之埸合，〃和〃回路6 1之輸出經常為Low 埋輯"0”之信號E) ° 21- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 填 寫 本 頁 訂 A7 B7 經濟部中央樣準局員工消费合作杜印製 五、發明説明 ( (1 ) 1 X 其 次 參 照 第 十 二 圔 ( b ) 說 明 有 闞 雷 射 装 置 7 〇 異 1 1 I 常 動 作 之 場 合 ( 發 生 異 常 S 2 之 場 合 ) 0 1 1 首 先 震 盪 觸 發 檢 知 信 號 a 之 脈 衡 A 被 脈 衝 整 形 器 5 請 1 I 閱 I 0 整 形 成 上 述 之 既 定 脈 銜 幅 度 ( 容 許 時 間 幅 度 ) 之 脈 衡 C 讀 背 1 I St 1 I 0 此 波 形 C 被 轉 換 器 6 1 所 反 轉 而 輸 出 波 形 D 〇 在 此 9 之 注 1 I 若 震 盪 雷 射 光 檢 知 信 號 b 之 脈 衝 B 在 上 述 容 許 時 間 之 後 方 意 事 項 1 I 發 生 之 場 合 此 邏 輯 為 // 1 ” 之 脈 衝 B 將 白 // 和 回 路 6 填 V I 九 寫 1 被 當 作 脈 衡 E 而 直 接 白 和 // 回 路 6 1 中 输 出 0 頁 1 此 脈 衝 Ε 將 被 預 先 設 定 計 算 器 6 2 所 累 算 〇 其 结 果 9 1 1 當 計 算 數 比 設 定 次 數 為 大 時 則 從 計 算 器 6 2 輸 出 異 常 檢 1 | 知 信 號 S 2 0 1 訂 其 次 參 照 第 十 三 圖 所 示 之 流 程 圖 說 明 K 軟 體 實 行 異 1 I 常 S 2 之 檢 知 之 實 施 例 〇 1 1 第 十 三 圖 ( a ) 為 震 盪 觸 發 檢 知 子 程 序 於 每 次 输 入 1 1 震 盪 觸 發 檢 知 信 號 a 時 即 起 動 此 子 程 序 而 立 起 震 盪 觸 jm ' | 發 用 之 號 幟 ( 步 驟 3 0 1 ) 〇 輸 入 震 盪 觸 發 檢 知 信 號 a 丨 I 後 之 時 間 Τ 將 被 計 時 並 判 斷 此 時 間 T 是 否 比 既 定 之 設 定 1 1 時 間 Κ 為 小 ( 步 驟 3 0 2 ) 〇 在 此 時 間 T 若 為 設 定 時 間 1 1 K Μ 上 時 m 盪 觸 發 之 號 幟 將 被 重 新 設 定 ( 步 驟 3 0 3 1 I ) 並 返 回 原 步 驟 而 當 時 間 T 比 設 定 時 間 K 為 小 時 震 1 I 盪 觸 發 用 之 號 幟 則 在 起 之 狀 態 下 配 返 回 〇 1 1 第 十 二 圖 ( b ) 為 雷 射 光 檢 知 子 程 序 其 與 每 次 震 盪 1 1 雷 射 光 檢 知 信 號 b 被 輸 入 時 即 啟 動 〇 1 1 - 22 1 1 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS〉Μ規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ ) 1 1 | /· 首 先 檢 知 雷 射 光 L 之震盪時 即移行至步驟3 1 0 1 1 1 t 判 斷 震 盪 觴 發 用 之 號 幟 是 否 立 起 0 在 此 當震盪觸發 1 I 用 之 號 幟 立 起 時 則會返回原程序 而 號幟未立起時 請 先 1 閱 I » 則 對 C Ν 加 算 1 (步驟 3 1 1 ) 0 讀 背 1 面 I 第 十 三 圖 ( C ) 為 主 程 序 作為初期化處理係將C N 之 注 I 意 I 於 初 期 時 設 定 為 0 ( 步 驟 3 2 0 ) 0 之後反複實行異常檢 事 項 1 I 4 一 、1 1 知 子 程 序 ( 步 琢 3 2 1 ) 及雷射震盪控制等之處理（步驟 填 本 3 2 2 ) 0 頁 1 1 第 十 三 圖 ( d ) 為異常檢知子程序 首先輪入判斯最 1 1 初 之 異 常 用 之 基 值 (異常發生次數） E ( 步 驟 3 3 0) 〇 1 1 其 次 比 較 現 在 之 C N 和 基 準 值 E (步驟 3 3 1)° 1 訂 其 結 果 若 C N > E 則 為 異 常 發 生 次 數 大 於 基 準值，故移 1 I 行 至 步 驟 3 3 2 0 其 结 果 異 常 檢 知 信 號 S 2 被輪出（步 1 1 I 驟 3 3 2 ) 將 C N 重 新 設 定 為 0 ( 步 驟 3 3 3 )並回到 1 1 主 程 序 0 ' 1 其 次 參 昭 第 十 四 圖 說 明 實 行 雷 射 装 置 7 0之故障診 1 I 斷 之 實 施 例 0 1 1 在 此 故 陣 程 序 中 首 先 檢 知 出 雷 射 装 置 7 0之不發光 1 1 > 並 >λ 第 三 圖 所 示 之 不 發 光 檢 知 装 置 9 實 行 之 (步驟4 0 1 1 1 ) 其 结 果 被 輸 出 上 述 異 常 檢 知 信 號 S 1 或異常檢知 1 I 信 號 S 2 0 圓 1 在 此 異 常 檢 知 信 號 S 1 被 輸 出 時 且 無 有雷射震盪 1 1 指 令 時 則 為 雪 射 光 已 m 盪 之 情 形 ( 步 驟 4 0 2 )。在此 1 1 - 2 3 - 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 經濟部中央橾隼局貝工消費合作社印製 A7 _B7___ 五、發明説明（/) ，此種異常原因則被判斷為第二圖所示之開朗元件之阐流 管1 5為自燸，即無有觸發脈衝信號丁 r之輸入而實行開 關者，而判斷為「閘流管1 5發生異常」並將故障處所特 定化，此意旨之通知被輸出至雷射裝置7〇之外部（步驟 403)。藉此，可迅速採取閘流管15之交換、調整等 措施。 一方面，異常檢知信號S 2被輸出時，則為在輸出觸 發脈衝T r後，即使經過既定之容許時間，亦不實行雷射 光震盪之狀態（步驟404)。在此*此種異常原因被判 斷為第二圖所示之充電回路5之異常（例如電容器短路等 )，而判斷為「充霄回路1 5發生失異常」而將故障處所 特定化，並將該意旨之通知，告知雷射装置70之外部（ 步软405)。藉此，可迅速實行充電回路5等之檢査措 施〇 <發明之效果> 如以上所說明者，依本發明，本發明可在事前檢知出 成為掃瞄方式之問題之異常，故可防止不良品之發生於未 〇 又，發生異常之埸合，因可迅速將雷射装置之故障處 所予Μ特定化，故可立即重新開始作業，而可大大地提高 作業效率。 <圖面之簡單說明> 第一圈為本發明有闞之雷射裝置之異常檢測裝置之實施例 -2 4 - 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS > Α4规格（2丨0 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( v^) 1 1 之 構 成 方 塊 圖 0 1 1 1 第 二 圖 為 揭 示 第 一 圖 中 放 電 室 、 充 電 回 路 及 Η V 電 源 裝 置 1 I 之 構 成 之 回 路 圖 〇 請 先 1 1 閱 I 第 三 圖 為 揭 示 第 一 圖 所 示 之 不 發 光 檢 知 装 置 之 構 成 之 概 念 讀 背 I 面 I 方 塊 圖 0 之 注 1 I 意 1 I 第 四 圖 為 揭 示 第 三 圖 所 示 之 異 常 S 1 之 檢 知 裝 置 之 具 體 構 事 項 1 I v 1 I 成 之 方 塊 圖 0 填 寫 X. 第 五 圖 ( a ) ( b ) ( C ) 為 揭 示 第 三 tsi 圖 所 示 之 異 常 S 1 本 頁 1 檢 知 裝 置 所 實 行 之 檢 知 處 理 程 序 之 流 程 圖 〇 1 1 第 —L- 圖 為 揭 示 第 三 圖 所 示 之 異 常 S 1 之 檢 知 装 置 之 具 體 構 1 1 成 之 方 塊 圖 〇 1 訂 第 七 圖 ( a ) ( b ) 為 第 圖 所 示 之 裝 置 各 部 之 信 號 之 時 1 | 間 表 ( a ) 為 正 常 動 作 之 場 合 .( b ) 為 異 常 動 作 之 場 1 1 合 之 時 間 IS! 画 0 1 1 第 八 !ΕΠ 酬 ( a ) ( b ) ( C ) ( d ) 為 第 三 圖 所 示 之 異 常 S 、1 1 之 檢 知 裝 置 所 實 行 之 檢 知 處 理 之 順 序 之 流 程 1ST 國 〇 1 I 第 九 圖 為 揭 示 第 三 圖 所 示 之 異 常 S 2 之 檢 知 裝 置 之 具 體 構 1 1 成 之 方 塊 圖 0 1 1 第 十 圖 ( a ) ( b ) 為 第 九 圖 之 裝 置 各 部 之 信 號 之 時 間 圖 1 I » ( a ) 為 正 常 動 作 之 場 合 ( b ) 為 異 常 動 作 之 埸 合 之 1 I 時 間 ED 圖 0 1 1 1 第 十 一 圖 為 第 三 圖 所 示 之 異 常 S 2 之 檢 知 裝 置 之 具 體 構 成 1 1 之 方 塊 圖 0 1 1 - 25 - 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 五、發明説明（Λ A7 B7 時，場 常 之之 異 。 號作 之。圖 信動 示圖程 之常 所程流 部異 圖流之 各為 三之績 置} 第序手 裝 b 為順理 之 { } 之處 圖， d 理之 一合 ί 處斷 十場 } 知診 第之 C 檢障 為作 ί 之故 丨動 } 行之 置器 b 常 b 實置 装知器 {正 { 所裝 知檢知 丨為 } 置射 > 檢發檢置 a}。 a 装雷明光觸光装 (a 圖丨知為說發盪射射 圖丨間圖檢圖 之不震雷雷 二-時三 之四號 十 表之十 2 十符 010 第 間合第 S 第 <9117 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本f) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）