TW202414507A - 具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件 - Google Patents

Abstract

本發明涉及一種具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，包括：準分子燈的燈泡(bulb)；及當上述準分子燈開始啓動時，爲了在上述燈泡內部形成最初的等離子體，與上述燈泡連接的觸發器。其可以延遲隨着使用時間的降低發光速度，提高發光速度。

Description

具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件

本發明涉及一種具有等離子體形成觸發器的準分子燈組件，更具體地，涉及一種具有用於形成等離子體的觸發器的準分子燈組件，其能夠根據使用時間延遲發光速度的降低並提高發光速度。

常規地，準分子燈作爲具有高效輻射性能的真空紫外光輻射源之一，利用于光化學反應固化、乾洗、殺菌、表面改性、光CVD等的處理。 作爲準分子燈的代表，已知一種準分子燈，該準分子燈通過在提供高頻電力的電極之間***諸如稀有氣體的準分子產生氣體和介電質，從而在電極之間通過介電質放電。

例如，如日本註冊專利第3189481號中，當在放電空間內外佈置的內部電極和外部電極之間施加數kV的高電壓時，在放電空間中產生介電質阻擋放電或容量耦合型高頻放電(以下，介電質阻擋放電)，並且準分子光輻射到發光管外部。 但是，這種準分子燈的缺點是，長時間使用或冷卻狀態變長或在暗處使用時，發光速度變慢。

[先行技術文獻] [專利文獻] (專利文獻1)日本註冊專利第3189481號

[要解決的課題] 本發明是爲了改善上述問題而發明的，提供一種具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，該觸發器能夠根據使用時間延遲發光速度的降低並提高發光速度。

[課題的解決手段] 為解決上述目的，根據本發提供一種具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，包括： 準分子燈的燈泡(bulb)；及當上述準分子燈開始啓動時，爲了在上述燈泡內部形成最初的等離子體，與上述燈泡連接的觸發器。 在此，上述觸發器，通過向燈泡內部施加高壓或向燈泡外部施加高壓，誘導準分子燈的初始等離子體形成或照射特定波長的UV來激發燈泡內部的密封氣體，從而提高等離子體放電速度。 而且，上述觸發器，包括在燈泡內部施加高壓的DC變壓器。 而且，上述燈泡是用於真空紫外線(Vacuum ultraviolet)光源的燈泡。 而且，上述觸發器，包括照射特定波長的UV的UV光源，密封在上述燈泡中的密封氣體通過從上述UV光源照射的UV激發。 而且，上述燈泡由鈉鈣(soda-lime)玻璃或石英製成。

[發明的效果] 根據如上所述構造的本發明，通過在構成準分子燈的燈泡內部設置施加高壓或照射UV的觸發器，可以彌補被指出準分子燈的缺點，即長時間使用或冷狀態延長或在黑暗中使用時發光速度減慢，並且可以快速的提高初始操作速度。 特別是，本發明在燈泡內部施加數kV的高電壓，在等離子源電源被施加時，在短時間內同時從燈泡外部施加高電壓，從而使燈泡內部的密封氣體放電。 最重要的是，本發明通過提供照射特定波長的UV的UV光源，從UV光源照射到燈泡內部的UV波長有助於燈泡內部的密封氣體的激發，從而提高了等離子體放電速度。

本發明的優點和特徵以及實現這些的方法將通過參考後述的實施例和附圖來明確。 但是，本發明不限於以下公開的實施例，而是以不同的各種形式實現。 在本說明書中，本實施例旨在使本發明的開始完整，並提供給在本發明所屬的技術領域中具有通常知識的人完整地告知發明的範疇。 而且本發明僅由請求項的範疇來定義。 因此，在幾個實施例中，爲了避免本發明被模糊解釋，沒有具體說明衆所周知的組件、衆所周知的動作及衆所周知的技術。 另外，在整個清單中，相同的參考符號是指相同的組件，並且本清單中使用的(提到的)術語是爲了說明實施例，而不是要限制本發明。 在本說明書中，單數型還包含複數型，除非句子中特別提到，並且"包含（或具備）"所提及的組件和操作不排除存在或增加一個或多個其他組件和操作。 如果沒有其他定義，本規範中使用的所有術語（包括技術和科學術語）都可以作爲對本發明所屬技術領域具有通常知識的人具有共同理解的含義。 另外，一般使用的詞典中定義的用語，只要沒有定義，就不會被理想地或過度解釋。

以下，參考附圖說明本發明的優選實施例。 圖1係顯示根據本發明的各種實施例的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件的整體構成的概念圖。 圖2和圖3係顯示根據本發明的各種實施例的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件的實際應用狀態的概念圖。

本發明如圖1(a)所示，可以包括準分子燈的燈泡10和當準分子燈開始工作時，爲了在燈泡10內部形成最初的等離子體，與燈泡10連接的觸發器20。 在此，觸發器20如圖1(a)所示，通過向燈泡10內部施加高壓來誘導準分子燈的初始等離子體形成，或如圖1(b)所示，通過照射特定波長的UV，使燈泡10內部的密封氣體激發，從而提高等離子體放電速度。

此時，觸發器20如圖1(a)和圖2所示，可以包括向燈泡10內部施加高壓的DC變壓器。 另外，燈泡10如圖3所示，可以使用用於真空紫外線(Vacuum ultraviolet)光源的燈泡。

即，高壓觸發器如圖2所示，可以以高壓電線與燈泡(bulb)外部接觸的方式施加高壓，PCB和燈泡可以設置在一條直線上，並且不限定且可以改變設計。 另外，用於真空UV光源的，即UV觸發器，如圖3所示，UV光源和燈泡不限於直線狀，並且不限定且可以改變設計。 另一方面，觸發器20包括如圖1(b)所示的照射特定波長的UV的UV光源22，並且密封在燈泡10中的密封氣體被UV光源22照射的UV激發，從而提高等離子體放電速度。

在此，密封氣體可以應用於包括Xe的稀有氣體，或稀有氣體和鹵素氣體的混合氣體。 此時，上述特定波長爲375~400nm，上述燈泡10當然可以適當選擇和使用由鈉鈣(soda-lime)玻璃或石英製成的。

另一方面，本發明也可以應用實施例，如圖4和圖5所示，使UV光源22快速且均勻地照射到燈泡10中。 首先，燈泡10的中心可以如圖4所示，使內部電極11貫通並與外部電連接，也可以如圖5所示，採用省略內部電極11的結構。 在此，沿着燈泡10的外周面，多個外部電極12與內部電極11平行地呈放射狀佈置。 此時，在貫通內部電極11的尖端部的燈泡10的一端側，朝向燈泡10的另一端測可以形成圓錐臺形狀的座槽13。

另外，還具備固定到這種座槽13的圓錐臺形狀的固定塊30，固定塊30可以在中心形成由內部電極11貫通的安裝孔31。 另外，多個UV光源22沿着固定塊30的傾斜表面32呈放射狀佈置，以朝向燈泡10的內部空間照射特定波長的UV。

以下，將根據本發明的優選實施例，簡要說明下具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件的作用及效果。 首先，本發明通過在構成準分子燈的燈泡10內部具備施加高電壓或照射UV的觸發器20，可以彌補一直被指爲準分子燈的長時間使用或冷狀態變長或在暗室使用時發光速度變慢的缺點，提高快速的初期運轉速度。 特別是，本發明在燈泡10內部施加數kV的高電壓，在等離子源的電源被施加時，在短時間內同時從燈泡10的外部施加高電壓，從而使燈泡10內部的密封氣體放電。 最重要的是，本發明通過具備照射特定波長的UV的UV光源22，從UV光源22照射到燈泡10內部的UV波長有助於燈泡10內部的密封氣體的激發，從而提高等離子體放電速度。

如上所述，可以看出，本發明的基本技術思想是提供一種準分子燈組件，該準分子燈組件具有用於等離子體形成的觸發器，該觸發器能夠根據使用時間延遲發光速度的降低並提高發光速度。 另外，在本發明的基本技術思想範疇內，對於具有相應行業通常知識的人，當然也可以進行其他很多修改和應用。

10:燈泡 11:內部電極 12:外部電極 13:座槽 20:觸發器 21:DC變壓器 22:UV光源 30:固定積木 31:安裝孔 32:傾斜面

圖1係顯示根據本發明的各種實施例的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件的整體構成的概念圖。 圖2和圖3係顯示根據本發明的各種實施例的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件的實際應用狀態的概念圖。 圖4和圖5係顯示根據本發明的各種實施例的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件的整體構成的概念圖。

10:燈泡

11:內部電極

12:外部電極

13:座槽

20:觸發器

21:DC變壓器

22:UV光源

30:固定積木

31:安裝孔

32:傾斜面

Claims (6)

1. 一種具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，包括： 準分子燈的燈泡(bulb)；及 當該準分子燈開始啓動時，爲了在該燈泡內部形成最初的等離子體，與該燈泡連接的觸發器。
2. 如請求項1的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，其中： 該觸發器，通過向燈泡內部施加高壓或向燈泡外部施加高壓，誘導準分子燈的初始等離子體形成或照射特定波長的UV來激發燈泡內部的密封氣體，從而提高等離子體放電速度。
3. 如請求項1的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，其中： 該觸發器，包括在燈泡內部施加高壓的DC變壓器。
4. 如請求項1的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，其中： 該燈泡是用於真空紫外線(Vacuum ultraviolet)光源的燈泡。
5. 如請求項1的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，其中： 該觸發器，包括照射特定波長的UV的UV光源， 密封在該燈泡中的密封氣體通過從該UV光源照射的UV激發。
6. 如請求項2或請求項5的具有等離子體形成用觸發器的準分子燈組件，其中： 該燈泡由鈉鈣(soda-lime)玻璃或石英製成。