TW202242057A - 膜狀接著劑、切割晶粒接合一體型膜、以及半導體裝置及其製造方法 - Google Patents

膜狀接著劑、切割晶粒接合一體型膜、以及半導體裝置及其製造方法 Download PDF

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Abstract

本揭示提供一種膜狀接著劑。在該膜狀接著劑中，120℃下的剪切黏度為17000Pa・s以下，以170℃、1小時的條件固化後的150℃下的儲存彈性模數為23MPa以上，厚度為30μm以下。又，本揭示提供一種使用這樣的膜狀接著劑之切割晶粒接合一體型膜、以及半導體裝置及其製造方法。進而，本揭示提供一種使用這樣的切割晶粒接合一體型膜之半導體裝置之製造方法。

Description

膜狀接著劑、切割晶粒接合一體型膜、以及半導體裝置及其製造方法
本揭示係有關一種膜狀接著劑、切割晶粒接合（dicing/die-bonding）一體型膜、以及半導體裝置及其製造方法。
近年來，已普及將半導體元件（半導體晶片）積層為多層而成之層疊式MCP（Multi Chip Package：多晶片封裝），作為行動電話、可攜式音頻設備用記憶體半導體封裝等而搭載。又，伴隨行動電話等的多功能化，亦推進半導體封裝的高速化、高密度化、高積體化等。
目前，作為半導體裝置之製造方法，通常使用半導體晶圓背面貼附方式，該半導體晶圓背面貼附方式在半導體晶圓的背面貼附具備接著劑層及黏著劑層之切割晶粒接合一體型膜，然後切斷半導體晶圓、接著劑層及黏著劑層的一部分而使其單片化。例如，在專利文獻1、2中揭示了用於這樣的方式的接著劑層之膜狀接著劑。
[專利文獻1]國際公開第2013/133275號 [專利文獻2]國際公開第2020/013250號
然而，在層疊式MCP中，由於半導體元件積層為多層，因此要求所使用之膜狀接著劑薄膜化（例如，厚度30μm以下）。然而，若將以往的膜狀接著劑薄膜化，則膜狀接著劑的支撐構件的表面或半導體元件的表面的凹凸埋入性有時不充分，尚有改善的餘地。藉由改善膜狀接著劑的凹凸埋入性，能夠提高所得到之半導體裝置的連接可靠性，進而能夠期待提高半導體裝置的製造製程中的產率。
膜狀接著劑的凹凸埋入性能夠藉由使膜狀接著劑低黏度化來提高。然而，若使用這樣的低黏度的膜狀接著劑，則固化後的儲存彈性模數不充分，在無法設置接合導線這樣的導線接合性方面具有不充分的傾向。因此，要求膜狀接著劑能夠實現薄膜化，並且能夠兼顧凹凸埋入性與導線接合性（換言之，能夠兼顧固化前的低黏度化與固化後的高彈性化）。
因此，本揭示的主要目的為提供一種能夠實現薄膜化，且凹凸埋入性及導線接合性優異的膜狀接著劑。
本揭示的一方面係有關一種膜狀接著劑。該膜狀接著劑在120℃下的剪切黏度為17000Pa・s以下，以170℃、1小時的條件固化後的150℃下的儲存彈性模數為23MPa以上，厚度為30μm以下。依據本發明人等的研究，發現當固化前的120℃下的剪切黏度為17000Pa・s以下，固化後的150℃下的儲存彈性模數為23MPa以上時，能夠兼顧凹凸埋入性與導線接合性，進而容易形成薄膜。
膜狀接著劑的一態樣含有環氧樹脂、軟化點為90℃以上之第1固化劑、軟化點小於90℃之第2固化劑及彈性體。在該情況下，第1固化劑的軟化點與第2固化劑的軟化點之差可以為10℃以上。
環氧樹脂亦可以含有軟化點為40℃以下之環氧樹脂。
膜狀接著劑還可以含有無機填料。在該情況下，無機填料的平均粒徑可以為0.7μm以下。
以膜狀接著劑的總質量為基準，彈性體的含量可以為22～45質量%。
膜狀接著劑可以用於將複數個半導體元件積層而成之半導體裝置的製造製程。在該情況下，半導體裝置可以為層疊式MCP，亦可以為三維NAND型記憶體。
本揭示的另一方面係有關一種切割晶粒接合一體型膜。該切割晶粒接合一體型膜依序具備基材層、黏著劑層及由上述膜狀接著劑形成之接著劑層。
本揭示的另一方面係有關一種半導體裝置。該半導體裝置具備：半導體元件；支撐構件，搭載半導體元件；及接著構件，設置於半導體元件與支撐構件之間，接著半導體元件與支撐構件。接著構件為上述膜狀接著劑的固化物。半導體裝置亦可以還具備積層在半導體元件的表面上之其他半導體元件。
本揭示的另一方面係有關一種半導體裝置之製造方法。該半導體裝置之製造方法的一態樣包括：使上述膜狀接著劑介在於半導體元件與支撐構件之間或第1半導體元件與第2半導體元件之間，將半導體元件與支撐構件、或第1半導體元件與第2半導體元件接著之步驟。
該半導體裝置之製造方法的另一態樣包括：在上述切割晶粒接合一體型膜的接著劑層上貼附半導體晶圓之步驟；藉由切斷貼附有接著劑層之半導體晶圓，製作複數個單片化之附有接著劑片之半導體元件之步驟；及經由接著劑片將附有接著劑片之半導體元件接著於支撐構件上之步驟。半導體裝置之製造方法亦可以還包括經由接著劑片將其他附有接著劑片之半導體元件接著於與支撐構件接著之半導體元件的表面上之步驟。 [發明效果]
依據本揭示，提供一種能夠實現薄膜化，且凹凸埋入性及導線接合性優異的膜狀接著劑。又，依據本揭示，提供一種使用這樣的膜狀接著劑之切割晶粒接合一體型膜、以及半導體裝置及其製造方法。進而，依據本揭示，提供一種使用這樣的切晶黏晶一體型膜之半導體裝置之製造方法。
以下，適當參閱圖式對本揭示的實施形態進行說明。然而，本揭示並不限定於以下的實施形態。在以下的實施形態中，除了特別明示之情況以外，其構成要素（亦包括步驟等）不是必須的。各圖中的構成要素的大小為概念性的大小，構成要素之間的大小的相對關係並不限定於各圖所示之關係。
關於本揭示中的數值及其範圍亦相同，並不限制本揭示。在本說明書中，使用“～”表示之數值範圍表示將記載於“～”前後之數值分別作為最小值及最大值包含之範圍。在本說明書中階段性地記載之數值範圍內，一個數值範圍所記載之上限值或下限值亦可以替換成其他階段性地記載之數值範圍的上限值或下限值。又，在本說明書中記載之數值範圍內，該數值範圍的上限值或下限值亦可以替換成實施例中所示之值。又，個別地記載之上限值及下限值能夠任意地進行組合。又，“A或B”只要包含A及B中的任一者即可，亦可以包含兩者。又，只要沒有特別說明，以下例示之材料可以單獨使用一種，亦可以組合兩種以上來使用。在組成物中存在複數個符合各成分之物質之情況下，只要沒有特別說明，組成物中的各成分的含量係指組成物中存在之該複數個物質的合計量。
在本說明書中，（甲基）丙烯酸酯係指丙烯酸酯或與其對應之甲基丙烯酸酯。關於（甲基）丙烯醯基、（甲基）丙烯酸共聚物等其他類似表述亦相同。
[膜狀接著劑] 圖1係表示膜狀接著劑的一實施形態之示意剖面圖。圖1所示之膜狀接著劑1（接著劑膜）可以具有熱固性，亦可以經過半固化（B階段）狀態，在固化處理後能夠成為完全固化（C階段）狀態。
膜狀接著劑的120℃下的剪切黏度為17000Pa・s以下，亦可以為15000Pa・s以下、13000Pa・s以下、12000Pa・s以下、10000Pa・s以下、8000Pa・s以下或8000Pa・s以下。當該剪切黏度為17000Pa・s以下時，具有支撐構件的表面或半導體元件的表面的凹凸埋入性優異的傾向。膜狀接著劑的120℃下的剪切黏度的下限沒有特別限制，例如，可以為500Pa・s以上、1000Pa・s以上、1200Pa・s以上或1500Pa・s以上。當該剪切黏度為500Pa・s以上時，在將半導體元件壓接於支撐構件時，具有能夠更充分地防止膜狀接著劑被壓壞而損傷半導體元件之傾向。另外，在本說明書中，膜狀接著劑的120℃下的剪切黏度能夠藉由例如實施例中記載之方法來測量。
膜狀接著劑在以170℃、1小時的條件固化後的150℃下的儲存彈性模數為23MPa以上，亦可以為25MPa以上、30MPa以上、35MPa以上、40MPa以上、45MPa以上或50MPa以上。當該儲存彈性模數為23MPa以上時，能夠抑制在導線接合時產生不良情況，具有導線接合性優異的傾向。膜狀接著劑在以170℃、1小時的條件固化後的150℃下的儲存彈性模數的上限沒有特別限制，例如，可以為2000MPa以下、1500MPa以下、1000MPa以下、700MPa以下、500MPa以下、300MPa以下、200MPa以下、150MPa以下或100MPa以下。當該儲存彈性模數為2000MPa以下時，膜狀接著劑的薄膜化變得更容易，具有能夠更充分地抑制膜狀接著劑的固化物變得過硬之傾向。另外，在本說明書中，膜狀接著劑的固化後的150℃下的儲存彈性模數能夠藉由例如實施例中記載之方法來測量。
當固化前的120℃下的剪切黏度為17000Pa・s以下，以170℃、1小時的條件固化後的150℃下的儲存彈性模數為23MPa以上時，膜狀接著劑具有容易形成薄膜之傾向。膜狀接著劑的厚度為30μm以下，亦可以為25μm以下、20μm以下、18μm以下、15μm以下、12μm以下、10μm以下、8μm以下或7μm以下。膜狀接著劑的厚度的下限沒有特別限制，例如可以為1μm以上。
關於膜狀接著劑的構成成分，只要膜狀接著劑滿足以下條件，則沒有特別限制。 ・固化前的120℃下的剪切黏度為17000Pa・s以下 ・以170℃、1小時的條件固化後的150℃下的儲存彈性模數為23MPa以上 ・厚度為30μm以下
以下，對作為膜狀接著劑的一例含有環氧樹脂（以下，有時稱為“（A）成分”。）、軟化點為90℃以上之第1固化劑（以下，有時稱為“（B1）成分”。）、軟化點小於90℃之第2固化劑（以下，有時稱為“（B2）成分”。）及彈性體（以下，有時稱為“（C）成分”。）之膜狀接著劑及其構成成分詳細地進行說明。又，該膜狀接著劑除了含有（A）成分、（B1）成分、（B2）成分及（C）成分以外，亦可以還含有無機填料（以下，有時稱為“（D）成分”。）、偶合劑（以下，有時稱為“（E）成分”。）、固化促進劑（以下，有時稱為“（F）成分”。）及其他成分等。這樣的膜狀接著劑具有容易滿足上述條件之傾向。
（A）成分：環氧樹脂 （A）成分只要係在分子內具有環氧基之樹脂，則能夠並無特別限制地使用。作為（A）成分，例如可舉出雙酚A型環氧樹脂；雙酚F型環氧樹脂；雙酚S型環氧樹脂；苯酚酚醛清漆型環氧樹脂；甲酚酚醛清漆型環氧樹脂；雙酚A酚醛清漆型環氧樹脂；雙酚F酚醛清漆型環氧樹脂；茋型環氧樹脂；三𠯤骨架含有環氧樹脂；茀骨架含有環氧樹脂；三酚甲烷型環氧樹脂；聯苯型環氧樹脂；伸茬基（xylylene）型環氧樹脂；聯苯芳烷基（biphenyl aralkyl）型環氧樹脂；萘型環氧樹脂；多官能酚類；蒽等多環芳香族類的二環氧丙基醚化合物等。該等亦可以單獨使用一種或組合兩種以上來使用。該等之中，從薄膜的黏性、柔軟性等的觀點而言，（A）成分亦可以含有甲酚酚醛清漆型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂或雙酚A型環氧樹脂。
（A）成分可以含有軟化點為40℃以下之環氧樹脂（或在30℃下為液狀之環氧樹脂，以下，有時稱為“（A1）成分”。）。亦即，（A）成分可以為（A1）成分與軟化點超過40℃之環氧樹脂（或在30℃下為固體狀之環氧樹脂，以下，有時稱為“（A2）成分”。）的組合。藉由（A）成分含有（A1）成分，具有能夠提高固化後的儲存彈性模數，從而提高導線接合性之傾向。又，藉由（A）成分為（A1）成分與（A2）成分的組合，具有更能夠薄膜化之傾向。
另外，在本說明書中，軟化點係指按照JIS K7234，藉由環球法測量之值。
作為（A1）成分的市售品，例如可舉出EXA-830CRP（商品名，DIC Corporation製造，在30℃下為液狀）、YDF-8170C（商品名，NIPPON STEEL Chemical & Material Co., Ltd.製造，在30℃下為液狀）、EP-4088S（商品名，ADEKA CORPORATION製造，在30℃下為液狀）等。
在（A）成分為（A1）成分與（A2）成分的組合之情況下，以（A）成分的總質量為基準，（A1）成分的含量可以為5質量%以上、10質量%以上或15質量%以上，且可以為80質量%以下、70質量%以下或65質量%以下。另外，接著劑組成物中的（A）成分中的（A1）成分的含量可以與上述範圍相同。
在（A）成分為（A1）成分與（A2）成分的組合之情況下，以（A）成分的總質量為基準，（A2）成分的含量可以為20質量%以上、30質量%以上或35質量%以上，且可以為95質量%以下、90質量%以下或85質量%以下。另外，接著劑組成物中的（A）成分中的（A2）成分的含量可以與上述範圍相同。
（A）成分的環氧當量沒有特別限制，可以為90～300g/eq或110～290g/eq。當（A）成分的環氧當量在這樣的範圍內時，具有維持膜狀接著劑的體積強度的同時容易確保形成膜狀接著劑時的接著劑組成物的流動性之傾向。
（B1）成分：軟化點為90℃以上之第1固化劑 （B2）成分：軟化點小於90℃之第2固化劑 （B1）成分及（B2）成分可以為作為（A）成分的固化劑發揮作用之成分，亦即環氧樹脂固化劑。藉由膜狀接著劑含有（B1）成分，膜狀接著劑高交聯化，能夠提高固化後的儲存彈性模數，從而提高導線接合性。另一方面，藉由膜狀接著劑含有（B2）成分，能夠賦予柔軟性，並且能夠提高支撐構件的表面或半導體元件的表面的凹凸埋入性。又，藉由膜狀接著劑含有（B2）成分，與（A）成分的反應率提高，因此減少固化收縮，能夠提高半導體裝置的可靠性。
（B1）成分及（B2）成分可以均為酚醛樹脂。只要在分子內具有酚性羥基，則酚醛樹脂能夠依據軟化點，用作（B1）成分或（B2）成分。作為酚醛樹脂，例如可舉出將苯酚、甲酚、間苯二酚、鄰苯二酚、雙酚A、雙酚F、苯基苯酚、胺基苯酚等酚類及/或α-萘酚、β-萘酚、二羥基萘等萘酚類與甲醛等具有醛基之化合物在酸性觸媒下進行縮合或共縮合而得到之酚醛清漆型酚醛樹脂、由烯丙基化雙酚A、烯丙基化雙酚F、烯丙基化萘二醇、苯酚酚醛清漆、苯酚等酚類及/或萘酚類與二甲氧基對二甲苯或雙（甲氧基甲基）聯苯合成之苯酚芳烷基樹脂、萘酚芳烷基樹脂、聯苯芳烷基型酚醛樹脂、苯基芳烷基型酚醛樹脂等。該等亦可以單獨使用一種或組合兩種以上來使用。該等之中，酚醛樹脂亦可以含有酚醛清漆型酚醛樹脂或苯基芳烷基型酚醛樹脂。
酚醛樹脂的羥基當量亦可以為70g/eq以上或70～300g/eq。當酚醛樹脂的羥基當量為70g/eq以上時，具有儲存彈性模數進一步提高之傾向，當其為300g/eq以下時，能夠防止由發泡、釋氣等的產生引起之不良情況。
（B1）成分可以為軟化點為90℃以上之酚醛樹脂，亦可以將這樣的酚醛樹脂單獨使用一種或組合兩種以上來使用。（B1）成分的軟化點為90℃以上，亦可以為95℃以上、100℃以上、105℃以上、110℃以上或115℃以上。（B1）成分的軟化點的上限例如可以為200℃以下。
作為（B1）成分的市售品，例如可舉出PSM-4326（商品名，Gunei Chemical Industry Co., Ltd.製造，軟化點：120℃）、J-DPP-140（商品名，JFE Chemical Corporation製造，軟化點：140℃）、GPH-103（商品名，Nippon Kayaku Co., Ltd.製造，軟化點：99～106℃）等。
以（B1）成分及（B2）成分的總質量為基準，（B1）成分的含量可以為20質量%以上、30質量%以上或40質量%以上，且可以為80質量%以下、70質量%以下或60質量%以下。另外，接著劑組成物中的（B1）成分及（B2）成分中的（B1）成分的含量可以與上述範圍相同。
（B2）成分可以為軟化點小於90℃之酚醛樹脂，亦可以將這樣的酚醛樹脂單獨使用一種或組合兩種以上來使用。（B2）成分的軟化點小於90℃，亦可以為85℃以下或80℃以下。（B2）成分的軟化點的下限例如可以為20℃以上。
（B1）成分的軟化點與（B2）成分的軟化點之差可以為10℃以上。藉由使用這樣的（B1）成分及（B2）成分的組合，具有能夠兼顧固化前的低黏度化與固化後的高彈性化之傾向。（B1）成分的軟化點與（B2）成分的軟化點之差亦可以為15℃以上、20℃以上或25℃以上。
作為（B2）成分的市售品，例如可舉出MEH-7800M（商品名，MEIWA PLASTIC INDUSTRIES,LTD.製造，軟化點：80℃）、J-DPP-85（商品名，JFE Chemical Corporation製造，軟化點：85℃）、MEH-5100-5S（商品名，MEIWA PLASTIC INDUSTRIES,LTD.製造，軟化點：65℃）等。
以（B1）成分及（B2）成分的總質量為基準，（B2）成分的含量可以為20質量%以上、30質量%以上或40質量%以上，且可以為80質量%以下、70質量%以下或60質量%以下。另外，接著劑組成物中的（B1）成分及（B2）成分中的（B2）成分的含量可以與上述範圍相同。
在（B1）成分及（B2）成分為酚醛樹脂之情況下，從固化性的觀點而言，（A）成分的環氧當量與（B1）成分及（B2）成分的羥基當量之比（（A）成分的環氧當量/（B1）成分及（B2）成分的羥基當量）可以為0.30/0.70～0.70/0.30、0.35/0.65～0.65/0.35、0.40/0.60～0.60/0.40、或0.45/0.55～0.55/0.45。當該當量比為0.30/0.70以上時，具有得到更充分的固化性之傾向。當該當量比為0.70/0.30以下時，能夠防止黏度變得過高，能夠得到更充分的流動性。
以膜狀接著劑的總質量為基準，（A）成分、（B1）成分及（B2）成分的合計含量可以為20質量%以上，亦可以為25質量%以上或30質量%以上。當（A）成分、（B1）成分及（B2）成分的合計含量在這樣的範圍內時，具有能夠兼顧固化前的低黏度化與固化後的高彈性化之傾向。從操作性的觀點而言，以膜狀接著劑的總質量為基準，（A）成分、（B1）成分及（B2）成分的合計含量可以為80質量%以下、70質量%以下、60質量%以下、55質量%以下或50質量%以下。另外，接著劑組成物中的（A）成分、（B1）成分及（B2）成分的合計含量可以與上述範圍相同。
（C）成分：彈性體 作為（C）成分，例如可舉出丙烯酸樹脂、聚酯樹脂、聚醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂、矽酮樹脂、丁二烯樹脂；該等樹脂的改質體等。該等亦可以單獨使用一種或組合兩種以上來使用。該等之中，（C）成分由於離子性雜質少且耐熱性更優異，更容易確保半導體裝置的連接可靠性，流動性更優異，因此亦可以為具有來自於（甲基）丙烯酸酯之構成單元作為主成分的丙烯酸樹脂（丙烯酸橡膠）。以構成單元總量為基準，（C）成分中的來自於（甲基）丙烯酸酯之構成單元的含量例如可以為70質量%以上、80質量%以上或90質量%以上。丙烯酸樹脂（丙烯酸橡膠）可以含有來自於具有環氧基、醇性羥基或酚性羥基、羧基等交聯性官能基之（甲基）丙烯酸酯之構成單元。
（C）成分的玻璃轉移溫度（Tg）可以為5℃以上，亦可以為10℃以上。當（C）成分的Tg為5℃以上時，能夠進一步提高膜狀接著劑的接著強度，進而具有能夠防止膜狀接著劑的柔軟性變得過高之傾向。藉此，在晶圓切割時容易切斷膜狀接著劑，能夠防止產生毛邊。（C）成分的Tg的上限沒有特別限制，例如可以為55℃以下、50℃以下、45℃以下、40℃以下、35℃以下、30℃以下或25℃以下。當（C）成分的Tg為55℃以下時，具有能夠抑制膜狀接著劑的柔軟性下降之傾向。藉此，在將膜狀接著劑貼附於半導體晶圓上時，具有容易充分地埋入空隙之傾向。又，能夠防止由於與半導體晶圓的密接性下降而導致的切割時的崩裂。在此，玻璃轉移溫度（Tg）係指使用DSC（熱示差掃描量熱儀）（例如，Rigaku Corporation製造，Thermo Plus 2）進行測量而得之值。藉由調整構成（C）成分之構成單元（在（C）成分為丙烯酸樹脂（丙烯酸橡膠）之情況下，來自於（甲基）丙烯酸酯之構成單元）的種類及含量，能夠將（C）成分的Tg調整到所期望的範圍。
（C）成分的重量平均分子量（Mw）可以為10萬以上、30萬以上或50萬以上，並且可以為300萬以下、200萬以下或100萬以下。當（C）成分的Mw在這樣的範圍內時，能夠適當地控制薄膜形成性、薄膜強度、撓性、黏性等，並且迴焊（reflow）性優異，能夠提高埋入性。在此，Mw係指利用凝膠滲透層析法（GPC）進行測量，使用基於標準聚苯乙烯之校準曲線換算而得之值。另外，在GPC中觀測到複數個峰之情況下，將起因於峰強度最高的峰之重量平均分子量定義為本說明書中的重量平均分子量。
作為（C）成分的市售品，可舉出SG-P3、SG-80H（均為Nagase ChemteX Corporation製造）、KH-CT-865（Showa Denko Materials co., Ltd.製造）等。
以膜狀接著劑的總質量為基準，（C）成分的含量可以為22～45質量%。以膜狀接著劑的總質量為基準，當（C）成分的含量為22質量%以上時，具有薄膜塗佈性優異，並且凹凸埋入性優異的傾向。以膜狀接著劑的總質量為基準，（C）成分的含量亦可以為25質量%以上或28質量%以上。以膜狀接著劑的總質量為基準，當（C）成分的含量為45質量%以下時，具有能夠兼顧凹凸埋入性與導線接合性（能夠兼顧固化前的低黏度化與固化後的高彈性化）之傾向，進而具有能夠充分地確保（A）成分的含量，能夠與其他特性兼顧之傾向。以膜狀接著劑的總質量為基準，（C）成分的含量亦可以為44質量%以下、42質量%以下、40質量%以下、38質量%以下、35質量%以下或32質量%以下。另外，接著劑組成物中的（C）成分的含量可以與上述範圍相同。
（D）成分：無機填料 作為（D）成分，例如可舉出氫氧化鋁、氫氧化鎂、碳酸鈣、碳酸鎂、矽酸鈣、矽酸鎂、氧化鈣、氧化鎂、氧化鋁、氮化鋁、硼酸鋁晶鬚、氮化硼、二氧化矽等。該等亦可以單獨使用一種或組合兩種以上來使用。該等之中，從調整熔融黏度的觀點而言，（D）成分亦可以為二氧化矽。（D）成分的形狀沒有特別限制，可以為球狀。
從流動性及儲存彈性模數的觀點而言，（D）成分的平均粒徑可以為0.7μm以下，亦可以為0.6μm以下、0.5μm以下、0.4μm以下或0.3μm以下。（D）成分的平均粒徑例如可以為0.01μm以上。在此，平均粒徑係指藉由依據BET比表面積換算而求出之值。
以膜狀接著劑的總質量為基準，（D）成分的含量可以小於50質量%，亦可以為45質量%以下或40質量%以下。當（D）成分的含量在這樣的範圍內時，具有更能夠薄膜化之傾向。以膜狀接著劑的總質量為基準，（D）成分的含量可以為1質量%以上、5質量%以上、10質量%以上、15質量%以上或20質量%以上。另外，接著劑組成物中的（D）成分的含量可以與上述範圍相同。
（E）成分：偶合劑 （E）成分亦可以為矽烷偶合劑。作為矽烷偶合劑，例如可舉出γ-脲基丙基三乙氧基矽烷、γ-巰基丙基三甲氧基矽烷、3-苯基胺基丙基三甲氧基矽烷、3-（2-胺乙基）胺基丙基三甲氧基矽烷等。該等亦可以單獨使用一種或組合兩種以上來使用。
（F）成分：固化促進劑 作為（F）成分，例如可舉出咪唑類及其衍生物、有機磷系化合物、二級胺類、三級胺類、四級銨鹽等。該等亦可以單獨使用一種或組合兩種以上來使用。該等之中，從反應性的觀點而言，（F）成分亦可以為咪唑類及其衍生物。
作為咪唑類，例如可舉出2-甲基咪唑、1-芐基-2-甲基咪唑、1-氰基乙基-2-苯基咪唑、1-氰基乙基-2-甲基咪唑等。該等亦可以單獨使用一種或組合兩種以上來使用。
膜狀接著劑還可以含有其他成分。作為其他成分，例如可舉出顏料、離子捕捉劑、抗氧化劑等。
以膜狀接著劑的總質量為基準，（E）成分、（F）成分及其他成分的合計含量可以為0.1質量%以上、0.3質量%以上或0.5質量%以上，亦可以為30質量%以下、20質量%以下、10質量%以下或5質量%以下。另外，接著劑組成物中的（E）成分、（F）成分及其他成分的合計含量可以與上述範圍相同。
圖1所示之膜狀接著劑1（接著劑膜）係將含有（A）成分、（B1）成分、（B2）成分及（C）成分、以及依據需要添加之成分之接著劑組成物成形為膜狀而成。這樣的膜狀接著劑1能夠藉由將接著劑組成物塗佈於支撐膜上而形成。在膜狀接著劑1的形成中，亦可以使用接著劑組成物的清漆（接著劑清漆）。在使用接著劑清漆之情況下，將（A）成分、（B1）成分、（B2）成分及（C）成分、以及依據需要添加之成分在溶劑中混合或混煉而製備接著劑清漆，將所得到之接著劑清漆塗佈於支撐膜上，加熱乾燥而去除溶劑，藉此能夠得到膜狀接著劑1。
支撐膜只要是能夠經受上述加熱乾燥之膜，則沒有特別限定，例如可以為聚酯膜、聚丙烯膜、聚對苯二甲酸乙二酯膜、聚醯亞胺膜、聚醚醯亞胺膜、聚萘二甲酸乙二酯膜、聚甲基戊烯膜等。支撐膜可以為組合兩種以上而成之多層膜，亦可以為表面被矽酮系、二氧化矽系等脫模劑等處理而成之基材。支撐膜的厚度例如可以為10～200μm或20～170μm。
混合或混煉使用通常的攪拌機、擂潰機、三輥機、球磨機等分散機，能夠適當組合它們來進行。
用於製備接著劑清漆之溶劑只要是能夠均勻地溶解、混煉或分散各成分者，則沒有限制，能夠使用以往公知的溶劑。作為這樣的溶劑，例如可舉出丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮等酮系溶劑、二甲基甲醯胺、二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯啶酮、甲苯、二甲苯等。從乾燥速度及價格的觀點而言，溶劑可以為甲基乙基酮或環己酮。
作為將接著劑清漆塗佈於支撐膜之方法，能夠使用公知的方法，例如能夠使用刮刀塗佈法、輥塗法、噴塗法、凹版塗佈法、棒塗法及簾式塗佈法等。加熱乾燥條件只要係所使用之溶劑充分地揮發之條件，則沒有特別限制，可以為在50～150℃下1～30分鐘。
由於膜狀接著劑1能夠實現薄膜化，因此能夠較佳地用於將複數個半導體元件積層而成之半導體裝置的製造製程。在該情況下，半導體裝置可以為層疊式MCP，亦可以為三維NAND型記憶體。
[切割晶粒接合一體型膜] 圖2係表示切割晶粒接合一體型膜的一實施形態之示意剖面圖。圖2所示之切割晶粒接合一體型膜10依序具備基材層2、黏著劑層3及由上述膜狀接著劑1形成之接著劑層1A。基材層2及黏著劑層3可以為切割帶4。當使用這樣的切割晶粒接合一體型膜10時，對半導體晶圓的層壓步驟為1次，因此能夠實現作業的效率化。切割晶粒接合一體型膜亦可以為膜狀、片狀、帶狀等。
切割帶4具備基材層2及設置於基材層2上之黏著劑層3。
作為基材層2，例如可舉出聚四氟乙烯膜、聚對苯二甲酸乙二酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚甲基戊烯膜、聚醯亞胺膜等塑膠膜等。該等基材層2亦可以依據需要已進行底漆塗佈、UV處理、電暈放電處理、研磨處理、蝕刻處理等表面處理。
黏著劑層3為由黏著劑形成之層。黏著劑只要在切割時具有半導體元件不飛散之充分的黏著力，在其後半導體元件的拾取步驟中具有不損傷半導體元件之程度的低黏著力，則沒有特別限制，能夠在切晶帶的領域中使用以往公知的黏著劑層。黏著劑亦可以為感壓型或放射線固化型中的任一種。感壓型黏著劑為在短時間的加壓下顯示恆定的黏著性之黏著劑。另一方面，放射線固化型黏著劑為具有藉由放射線（例如，紫外線）的照射而黏著性下降之性質之黏著劑。
從經濟性及膜的操作性的觀點而言，切割帶4（基材層2及黏著劑層3）的厚度可以為60～150μm或70～130μm。
切割晶粒接合一體型膜10例如能夠藉由準備膜狀接著劑1及切割帶4，將膜狀接著劑1與切割帶4的黏著劑層3貼合而得到。又，切割晶粒接合一體型膜10例如亦能夠藉由準備切割帶4，與形成上述膜狀接著劑1之方法同樣地，在切割帶4的黏著劑層3上塗佈接著劑組成物（接著劑清漆）而得到。
在將膜狀接著劑1與切割帶4的黏著劑層3貼合之情況下，切割晶粒接合一體型膜10能夠藉由使用輥層合機、真空層合機等在特定條件（例如，室溫（20℃）或加熱狀態）下將膜狀接著劑1層合於切割帶4上而形成。切割晶粒接合一體型膜10能夠連續地製造，效率優異，因此亦可以在加熱狀態下使用輥層合機來形成。
膜狀接著劑及切割晶粒接合一體型膜可以用於半導體裝置的製造製程，亦可以用於將複數個半導體元件積層而成之半導體裝置的製造製程。膜狀接著劑及切割晶粒接合一體型膜可以用於半導體裝置的製造，該半導體裝置的製造包括：在0℃～90℃下，將膜狀接著劑或切割晶粒接合一體型膜的接著劑層貼合於半導體晶圓或已經單片化之半導體元件（半導體晶片）上，藉由旋轉刀、雷射或基於拉伸之分割而得到附有接著劑片之半導體元件之步驟；及經由接著劑片將該附有接著劑片之半導體元件接著於支撐構件或其他半導體元件上之步驟。
膜狀接著劑在作為將複數個半導體元件積層而成之半導體裝置之層疊式MCP（例如，三維NAND型記憶體）中，亦能夠較佳地用作用於接著半導體元件彼此的接著劑。
膜狀接著劑例如亦能夠用作保護倒裝晶片型半導體裝置之半導體元件背面之保護片、密封倒裝晶片型半導體裝置之半導體元件表面與被接著體之間的密封片等。
以下，使用圖式對使用膜狀接著劑及切割晶粒接合一體型膜製造之半導體裝置具體地進行說明。另外，近年來提出了各種結構的半導體裝置，本實施形態的膜狀接著劑及切割晶粒接合一體型膜的用途並不限定於以下說明之結構的半導體裝置。
[半導體裝置] 圖3係表示半導體裝置的一實施形態之示意剖面圖。圖3所示之半導體裝置100具備半導體元件11、搭載半導體元件11之支撐構件12及接著構件15。接著構件15設置於半導體元件11與支撐構件12之間，接著半導體元件11與支撐構件12。接著構件15為接著劑組成物的固化物（膜狀接著劑的固化物）。半導體元件11的連接端子（未圖示）經由導線13與外部連接端子（未圖示）電連接，並藉由密封材料14密封。
圖4係表示半導體裝置的另一實施形態之示意剖面圖。在圖4所示之半導體裝置110中，第一層半導體元件11a藉由接著構件15a（接著劑組成物的固化物（膜狀接著劑的固化物））接著於形成有端子16之支撐構件12上，在第一層半導體元件11a上，進而藉由接著構件15b（接著劑組成物的固化物（膜狀接著劑的固化物））接著有第二層半導體元件11b。第一層半導體元件11a及第二層半導體元件11b的連接端子（未圖示）經由導線13與外部連接端子電連接，並藉由密封材料14密封。亦可以說，圖4所示之半導體裝置110在圖3所示之半導體裝置100中還具備積層於半導體元件（11a）的表面上之其他半導體元件（11b）。
圖5係表示半導體裝置的另一實施形態之示意剖面圖。圖5所示之半導體裝置120具備支撐構件12及積層於支撐構件12上之半導體元件11a、11b、11c、11d。為了與形成於支撐構件12的表面之連接端子（未圖示）的連接，四個半導體元件11a、11b、11c、11d積層於沿橫向（與積層方向正交之方向）彼此錯開之位置（參閱圖5）。半導體元件11a藉由接著構件15a（接著劑組成物的固化物（膜狀接著劑的固化物））接著於支撐構件12上，三個半導體元件11b、11c、11d之間亦分別存在接著構件15b、15c、15d（接著劑組成物的固化物（膜狀接著劑的固化物））。亦可以說，圖5所示之半導體裝置120在圖3所示之半導體裝置100中還具備積層於半導體元件（11a）的表面上之其他半導體元件（11b、11c、11d）。
以上，對本揭示的實施形態詳細地說明了半導體裝置（封裝），但本揭示並不限定於上述實施形態。例如，在圖5中，例示了積層有四個半導體元件之態樣的半導體裝置，但積層之半導體元件的數量並不限定於此。又，在圖5中，例示了半導體元件積層於沿橫向（與積層方向正交之方向）彼此錯開之位置之態樣的半導體裝置，但亦可以為半導體元件積層於沿橫向（與積層方向正交之方向）彼此不錯開之位置之態樣的半導體裝置。
[半導體裝置之製造方法] 圖3、圖4及圖5所示之半導體裝置（半導體封裝）能夠藉由以下方法而得到，該方法包括：使上述膜狀接著劑介在於半導體元件與支撐構件之間、或半導體元件（第1半導體元件）與半導體元件（第2半導體元件）之間，將半導體元件與支撐構件、或將半導體元件（第1半導體元件）與半導體元件（第2半導體元件）接著之步驟。更具體而言，能夠藉由使上述膜狀接著劑介在於半導體元件與支撐構件之間、或半導體元件（第1半導體元件）與半導體元件（第2半導體元件）之間，對該等進行加熱壓接將兩者接著，然後依據需要經過導線接合步驟、基於密封材料的密封步驟、包括基於焊接的迴焊之加熱熔融步驟等而得到。
作為使膜狀接著劑介在於半導體元件與支撐構件之間、或半導體元件（第1半導體元件）與半導體元件（第2半導體元件）之間之方法，如後所述，可以為在預先製作附有接著劑片之半導體元件後，貼附於支撐構件或半導體元件上之方法。
接著，使用圖2所示之切割晶粒接合一體型膜對半導體裝置之製造方法的一實施形態進行說明。另外，基於切割晶粒接合一體型膜的半導體裝置之製造方法並不限定於以下說明之半導體裝置之製造方法。
半導體裝置例如能夠藉由以下方法得到，該方法包括：在上述切割晶粒接合一體型膜的接著劑層上貼附半導體晶圓之步驟（層合步驟）；藉由切斷貼附有接著劑層之半導體晶圓，製作複數個單片化之附有接著劑片之半導體元件之步驟（切割步驟）；及經由接著劑片將附有接著劑片之半導體元件接著於支撐構件上之步驟（第1接著步驟）。半導體裝置之製造方法亦可以還包括經由接著劑片將其他附有接著劑片之半導體元件接著於與支撐構件接著之半導體元件的表面上之步驟（第2接著步驟）。
層合步驟為將半導體晶圓壓接於切割晶粒接合一體型膜10的接著劑層1A上，將其接著保持並貼附之步驟。本步驟亦可以在利用壓接輥等按壓機構按壓的同時進行。
作為半導體晶圓，例如可舉出單晶矽、多晶矽、各種陶瓷、砷化鎵等化合物半導體等。
切割步驟為進行半導體晶圓的切割之步驟。藉此，能夠將半導體晶圓切斷為特定尺寸，製造複數個單片化之附有接著劑片之半導體元件。切割例如能夠從半導體晶圓的電路面側按照常規方法進行。又，在本步驟中，例如能夠採用到切割帶為止設置切槽之稱為全切割之方式、在半導體晶圓上設置一半切槽，藉由冷卻並拉伸來分割之方式、及藉由雷射分割之方式等。作為在本步驟中使用之切割裝置，沒有特別限定，能夠使用以往公知的裝置。
作為半導體元件（半導體晶片），例如可舉出IC（積體電路）等。作為支撐構件，例如可舉出42合金引線框、銅引線框等引線框；聚醯亞胺樹脂、環氧樹脂等塑膠膜；在玻璃不織布等基材中含浸、固化聚醯亞胺樹脂、環氧樹脂等塑膠而成之改質塑膠膜；氧化鋁等陶瓷等。
半導體裝置之製造方法依據需要亦可以包括拾取步驟。拾取步驟係為了剝離接著固定於切割晶粒接合一體型膜上之附有接著劑片之半導體元件而進行附有接著劑片之半導體元件的拾取之步驟。作為拾取的方法沒有特別限定，能夠採用以往公知的各種方法。作為這樣的方法，例如可舉出藉由針從切割晶粒接合一體型膜側將各個附有接著劑片之半導體元件頂起，藉由拾取裝置拾取被頂起之附有接著劑片之半導體元件之方法等。
在此，在黏著劑層為放射線（例如，紫外線）固化型之情況下，能夠在對該黏著劑層照射放射線後進行拾取。藉此，黏著劑層對接著劑片的黏著力下降，附有接著劑片之半導體元件的剝離變得容易。其結果，能夠不損傷附有接著劑片之半導體元件而進行拾取。
第1接著步驟為經由接著劑片將藉由切割形成之附有接著劑片之半導體元件接著於用於搭載半導體元件的支撐構件上之步驟。半導體裝置之製造方法依據需要亦可以包括經由接著劑片將其他附有接著劑片之半導體元件接著於與支撐構件接著之半導體元件的表面上之步驟（第2接著步驟）。接著均能夠藉由壓接進行。作為壓接條件，沒有特別限定，能夠依據需要適當設定。壓接條件例如可以為80～160℃的溫度、5～15N的荷重、1～10秒的時間。另外，作為支撐構件，能夠例示與上述相同的支撐構件。
半導體裝置之製造方法依據需要亦可以包括使接著劑片進一步熱固化之步驟（熱固化步驟）。藉由使將半導體元件與支撐構件、或將半導體元件（第1半導體元件）與半導體元件（第2半導體元件）接著之接著劑片進一步熱固化，能夠更牢固地接著固定。在進行熱固化之情況下，亦可以同時施加壓力使其固化。本步驟中的加熱溫度能夠依據構成成分適當變更接著劑片。加熱溫度例如可以為60～200℃。另外，關於溫度或壓力，亦可以一邊階段性地變更一邊施加。
半導體裝置之製造方法亦可以依據需要包括將支撐構件的端子部（內部引線）的末端與半導體元件上的電極墊（electrode pad）用接合導線電連接之步驟（導線接合步驟）。作為接合導線，例如使用金線、鋁線、銅線等。進行導線接合時的溫度可以在80～250℃或80～220℃的範圍內。加熱時間可以為數秒～數分鐘。亦可以在上述溫度範圍內加熱之狀態下，藉由併用基於超聲波的振動能量和基於施加加壓的壓接能量來進行導線接合。
半導體裝置之製造方法亦可以依據需要包括利用密封材料密封半導體元件之步驟（密封步驟）。本步驟係為了保護搭載於支撐構件上之半導體元件或接合導線而進行。本步驟能夠藉由用模具成型密封用樹脂（密封樹脂）來進行。作為密封樹脂，例如可以為環氧系樹脂。藉由密封時的熱及壓力埋入支撐構件及殘渣，能夠防止由接著界面中的氣泡引起之剝離。
半導體裝置之製造方法亦可以依據需要包括使在密封步驟中固化不充分的密封樹脂完全固化之步驟（後固化步驟）。在密封步驟中，即使在接著劑片未熱固化之情況下，在本步驟中，亦能夠在固化密封樹脂的同時使接著劑片熱固化來接著固定。本步驟中的加熱溫度能夠依據密封樹脂的種類而適當設定，例如可以在165～185℃的範圍內，加熱時間可以為0.5～8小時左右。
半導體裝置之製造方法亦可以依據需要包括使用迴焊爐對接著於支撐構件上之附有接著劑片之半導體元件進行加熱之步驟（加熱熔融步驟）。在本步驟中，亦可以將樹脂密封之半導體裝置表面安裝於支撐構件上。作為表面安裝的方法，例如可舉出預先將焊料供給到印刷配線板上後，利用溫風等加熱熔融，進行焊接之迴焊等。作為加熱方法，例如可舉出熱風迴焊、紅外線迴焊等。又，加熱方法可以對整體進行加熱，亦可以對局部進行加熱。加熱溫度例如可以在240～280℃的範圍內。 [實施例]
以下，基於實施例對本揭示具體地進行說明，但本揭示並不限定於該等。
[膜狀接著劑的製作] （實施例1～9及比較例1～3） ＜接著劑清漆的製備＞ 以表1及表2所示之成分及含量（單位：質量份），在由（A）成分（（A1）成分及/或（A2））、（B1）成分及/或（B2）、以及（D）成分構成之混合物中加入環己酮，進行了攪拌混合。向其中以表1及表2所示之成分及含量（單位：質量份）加入（C）成分並攪拌，進而加入（E）成分及（F）成分，攪拌至各成分變得均勻，製備出接著劑清漆。另外，表1及表2所示之各成分係指下述成分，表1及表2所示之數值係指固體成分的質量份。
（A）成分：環氧樹脂 （A1）成分：軟化點為40℃以下之環氧樹脂（在30℃下為液狀之環氧樹脂） （A1-1）YDF-8170C（商品名，NIPPON STEEL Chemical & Material Co., Ltd.，雙酚F型環氧樹脂，環氧當量：159g/eq，在30℃下為液狀） （A2）成分：軟化點超過40℃之環氧樹脂 （A2-1）N-500P-10（商品名，DIC Corporation製造，鄰甲酚酚醛清漆型環氧樹脂，環氧當量：204g/eq，軟化點：75～85℃）
（B1）成分：軟化點為90℃以上之第1固化劑 （B1-1）PSM-4326（商品名，Gunei Chemical Industry Co., Ltd.製造，苯酚酚醛清漆型酚醛樹脂，羥基當量：105g/eq，軟化點：120℃）
（B2）成分：軟化點小於90℃之第2固化劑 （B2-1）MEH-7800M（商品名，Meiwa Chemical Industry Co.,Ltd.製造，苯基芳烷基型酚醛樹脂，羥基當量：174g/eq，軟化點：80℃）
（C）成分：彈性體 （C-1）SG-P3（商品名，Nagase ChemteX Corporation製造，丙烯酸橡膠，重量平均分子量：80萬，Tg：12℃）
（D）成分：無機填料 （D-1）SC2050-HLG（商品名，Admatechs Co.,Ltd.製造，二氧化矽填料分散液，平均粒徑：0.50μm） （D-2）SC1030-HJA（商品名，Admatechs Co.,Ltd.製造，二氧化矽填料分散液，平均粒徑：0.30μm） （D-3）R972（商品名，NIPPON AEROSIL CO., LTD.製造，二氧化矽粒子，平均粒徑：0.016μm）
（E）成分：偶合劑 （E-1）A-189（商品名，Nippon Unicar Company Limited製造，γ-巰基丙基三甲氧基矽烷） （E-2）A-1160（商品名，Nippon Unicar Company Limited製造，γ-脲基丙基三乙氧基矽烷）
（F）成分：固化促進劑 （F-1）2PZ-CN（商品名，SHIKOKU CHEMICALS CORPORATION製造，1-氰基乙基-2-苯基咪唑）
＜膜狀接著劑的製作＞ 將所製作之接著劑清漆用100篩目的過濾器過濾，並進行真空消泡。作為支撐膜，準備厚度38μm的實施了脫模處理之聚對苯二甲酸乙二酯膜（PET）膜，將真空消泡後的接著劑清漆塗佈於PET膜上。將所塗佈之接著劑清漆以在90℃下加熱乾燥5分鐘，接著，在140℃下加熱乾燥5分鐘這分兩階段進行加熱乾燥，得到了B階段狀態的實施例1～9及比較例1～3的膜狀接著劑。在膜狀接著劑中，依據接著劑清漆的塗佈量，將膜狀接著劑的厚度調整為7μm。
[膜狀接著劑的評價] ＜薄膜化的評價＞ 薄膜化的評價係目視確認所製作之薄膜（厚度：7μm）的膜狀接著劑的塗佈面，依據有無異物、脫落、條紋等不良情況來進行評價。將沒有確認到不良情況者評價為“A”，將確認到不良情況者評價為“B”。將結果示於表1及表2中。
＜凹凸埋入性的評價＞ （半導體裝置的製作） 使用實施例1～9及比較例1～3的膜狀接著劑進行了埋入性的評價。準備切割帶（Showa Denko Materials co., Ltd.製造，厚度：110μm），貼附所製作之膜狀接著劑（厚度：7μm），製作出具備切割帶及膜狀接著劑之切割晶粒接合一體型膜。在階段溫度70℃下，將半導體晶圓（厚度：75μm）層合於由切割晶粒接合一體型膜的膜狀接著劑形成之接著劑層側，製作出切割樣品。
使用全自動切割機DFD-6361（DISCO Corporation製造），切斷所得到之切割樣品。切斷以使用2片刀片之階梯切割方式進行，使用了切割刀片ZH05-SD3500-N1-xx-DD及ZH05-SD4000-N1-xx-BB（均為DISCO Corporation製造）。切斷條件設為刀片轉數4000旋轉/分、切斷速度50mm/秒、晶片尺寸7.5mm×7.5mm。關於切斷，在厚度方向上，以半導體晶圓殘留30μm左右之方式進行第1階段的切斷，接著，以在切割帶上形成20μm左右的切槽之方式進行第2階段的切斷。
接著，使用拾取用夾頭拾取應拾取的半導體元件（半導體晶片）。在拾取中，使用中央的1根銷（pin）來頂起。作為拾取條件，將頂起速度設定為20mm/s，將頂起高度設定為450μm。以這種方式，得到了附有接著劑片之半導體元件。
接著，使用晶粒接合機BESTEM-D02（Canon Machinery Inc.製造），將附有接著劑片之半導體元件（半導體晶片）壓接於具有作為支撐構件的虛設電路之玻璃環氧基板上。此時，調整位置以使半導體元件位於虛設電路的中央。以這種方式，得到了具備支撐構件及配置於支撐構件上之半導體元件之半導體裝置。
（凹凸埋入性的評價） 用超聲波影像裝置（SAT）（Hitachi Construction Machinery Fine Tech Co., Ltd.製造，HYE-FOCUS）分析所得到之半導體裝置，將有無產生空隙作為凹凸埋入性進行評價。將沒有確認到產生空隙者作為凹凸埋入性良好而評價為“A”，將即使一部分確認到產生空隙者評價為“B”。將結果示於表1及表2中。
＜導線接合性的評價＞ 導線接合性的評價藉由測量實施例1～9及比較例1～3的膜狀接著劑（接著劑組成物）固化後的150℃下的儲存彈性模數來進行。利用以下方法測量了該儲存彈性模數。亦即，藉由積層複數個厚度7μm的膜狀接著劑，將厚度設為約300μm，藉由將其切出4mm×50mm來製作出測量用試樣。使所製作之試樣以170℃、1小時的條件固化，使用動態黏彈性測量裝置DVE-V4（商品名，RHEOLOGY公司製造）在以下測量條件下進行測量，將150℃時的儲存彈性模數值作為150℃下的儲存彈性模數。將該儲存彈性模數為23MPa以上之情況作為導線接合性優異而評價為“A”，將該儲存彈性模數小於23MPa之情況評價為“B”。將固化後的150℃下的儲存彈性模數及評價結果示於表1及表2。 （測量條件） ・夾頭間距離：20mm ・升溫速度：5℃/min ・測量治具：拉伸測量治具 ・頻率：10Hz ・荷重：自動靜荷重
＜剪切黏度的測量＞ 利用以下方法測量了剪切黏度。亦即，藉由積層複數個實施例1～9及比較例1～3的厚度7μm的膜狀接著劑，將厚度設為約300μm，藉由將其衝切成直徑9mm的圓形，得到了測量用試樣。在動態黏彈性裝置ARES（商品名，TA Instruments公司製造）上設置直徑8mm的圓形鋁板治具，進而在治具上設置試樣。然後，在35℃下施加5%的應變的同時以5℃/分的升溫速度升溫至130℃，將120℃時的剪切黏度值作為120℃下的剪切黏度。將結果示於表1及表2中。
【表1】
  實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 實施例5 實施例6 實施例7 實施例8 實施例9
（A） （A1） （A1-1） 5 5 8 10 12 14 5 5 5
（A2） （A2-1） 19 19 15 13 11 9 19 19 19
（B1） （B1-1） 8 8 8 8 9 9 8 8 8
（B2） （B2-1） 8 8 8 8 9 9 8 8 8
（C） （C-1） 29 29 29 29 29 29 24 40 54
（D） （D-1） 31 - - - - - - - -
（D-2） - 31 31 31 31 31 31 31 31
（D-3） - - - - - - - - -
（E） （E-1） 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
（E-2） 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3
（F） （F-1） 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
剪切黏度（120℃） （Pa･s） 2000 5800 1300 2700 1100 2000 6900 12900 16200
儲存彈性模數（150℃） （MPa） 50 90 80 60 50 50 530 70 25
薄膜化 A A A A A A A A A
凹凸埋入性 A A A A A A A A A
導線接合性 A A A A A A A A A
【表2】
  比較例1 比較例2 比較例3
（A） （A1） （A1-1） 1 10 5
（A2） （A2-1） 14 18 19
（B1） （B1-1） 7 - 8
（B2） （B2-1） - 22 8
（C） （C-1） 49 45 70
（D） （D-1） 29 - -
（D-2） - - 31
（D-3） - 5 -
（E） （E-1） 0.1 0.1 0.1
（E-2） 0.3 0.3 0.3
（F） （F-1） 0.1 0.1 0.1
剪切黏度（120℃） （Pa･s） 21000 8700 18900
儲存彈性模數（150℃） （MPa） 10 20 20
薄膜化 A A A
凹凸埋入性 B A B
導線接合性 B B B
如表1及表2所示，實施例1～9的膜狀接著劑與比較例1～3的膜狀接著劑相比，在薄膜化、凹凸埋入性及導線接合性的所有方面優異。由該等結果確認到，本揭示的膜狀接著劑能夠實現薄膜化，且凹凸埋入性及導線接合性優異。
1:膜狀接著劑 1A:接著劑層 2:基材層 3:黏著劑層 4:切割帶 10:切割晶粒接合一體型膜 11,11a,11b,11c,11d:半導體元件 12:支撐構件 13:導線 14:密封材料 15,15a,15b,15c,15d:接著構件 16:端子 100,110,120:半導體裝置
圖1係表示膜狀接著劑的一實施形態之示意剖面圖。 圖2係表示切割晶粒接合一體型膜的一實施形態之示意剖面圖。 圖3係表示半導體裝置的一實施形態之示意剖面圖。 圖4係表示半導體裝置的另一實施形態之示意剖面圖。 圖5係表示半導體裝置的另一實施形態之示意剖面圖。
1:膜狀接著劑

Claims (15)

  1. 一種膜狀接著劑，其中 120℃下的剪切黏度為17000Pa・s以下， 以170℃、1小時的條件固化後的150℃下的儲存彈性模數為23MPa以上， 厚度為30μm以下。
  2. 如請求項1所述之膜狀接著劑，其含有環氧樹脂、軟化點為90℃以上之第1固化劑、軟化點小於90℃之第2固化劑及彈性體。
  3. 如請求項2所述之膜狀接著劑，其中 前述第1固化劑的軟化點與前述第2固化劑的軟化點之差為10℃以上。
  4. 如請求項2或請求項3所述之膜狀接著劑，其中 前述環氧樹脂含有軟化點為40℃以下之環氧樹脂。
  5. 如請求項2至請求項4之任一項所述之膜狀接著劑，其還含有無機填料。
  6. 如請求項5所述之膜狀接著劑，其中 前述無機填料的平均粒徑為0.7μm以下。
  7. 如請求項2至請求項6之任一項所述之膜狀接著劑，其中 以膜狀接著劑的總質量為基準，前述彈性體的含量為22～45質量%。
  8. 如請求項1至請求項7之任一項所述之膜狀接著劑，其用於將複數個半導體元件積層而成之半導體裝置的製造製程。
  9. 如請求項8所述之膜狀接著劑，其中 前述半導體裝置為三維NAND型記憶體。
  10. 一種切割晶粒接合一體型膜，其依序具備基材層、黏著劑層及由請求項1至請求項7之任一項所述之膜狀接著劑形成之接著劑層。
  11. 一種半導體裝置，其具備： 半導體元件； 支撐構件，搭載前述半導體元件；及 接著構件，設置於前述半導體元件與前述支撐構件之間，接著前述半導體元件與前述支撐構件， 前述接著構件為請求項1至請求項7之任一項所述之膜狀接著劑的固化物。
  12. 如請求項11所述之半導體裝置，其還具備積層在前述半導體元件的表面上之其他半導體元件。
  13. 一種半導體裝置之製造方法，其包括：使請求項1至請求項7之任一項所述之膜狀接著劑介在於半導體元件與支撐構件之間或第1半導體元件與第2半導體元件之間，將前述半導體元件與前述支撐構件、或將前述第1半導體元件與前述第2半導體元件接著之步驟。
  14. 一種半導體裝置之製造方法，其包括： 將請求項10所述之切割晶粒接合一體型膜的前述接著劑層貼附於半導體晶圓上之步驟； 藉由切斷貼附有前述接著劑層之前述半導體晶圓，製作複數個單片化之附有接著劑片之半導體元件之步驟；及 經由接著劑片將前述附有接著劑片之半導體元件接著於支撐構件上之步驟。
  15. 如請求項14所述之半導體裝置之製造方法，其還包括：經由接著劑片將其他前述附有接著劑片之半導體元件接著於與前述支撐構件接著之前述半導體元件的表面上之步驟。
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