TW202237513A

TW202237513A - 無線通信系統及無線通信系統之控制方法

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Publication number: TW202237513A
Application number: TW111107440A
Authority: TW
Inventors: 北村亘; 大島宗訓; 桑原哲也; 高原弘慶
Original assignee: 日商村田機械股份有限公司
Priority date: 2021-03-09
Filing date: 2022-03-02
Publication date: 2022-10-01
Also published as: WO2022190710A1

Abstract

本發明之第1通信裝置(10b)具有通信部(52)；該通信部(52)係，以接收到來自第1搬送台車(4)之配對信號作為觸發，接收來自第1搬送台車(4)之指令信號，且每當接收到指令信號時，便將應答信號發送至第1搬送台車(4)，藉此而在與第1搬送台車(4)之間確立連鎖通信，在當與第1搬送台車(4)之間確立連鎖通信之期間，則可避免與第2搬送台車(6)之間確立連鎖通信。第2搬送台車(6)之通信部(46)係，在將指令信號發送至第1通信裝置(10b)後經過既定時間而仍無法接收應答信號時，則將應發送繼該指令後發送之指令信號之時間點從依據既定週期之時間點加以變更。

Description

無線通信系統及無線通信系統之控制方法

本發明係關於一種無線通信系統及無線通信系統之控制方法。

已知有一種半導體製造系統，其具備用以搬送存放有半導體晶圓之前開式晶圓盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)之高架移行式搬送台車、及用以處理半導體晶圓之半導體製造裝置。

在該半導體製造系統中，搬送台車與連接於半導體製造裝置之埠的通信裝置之間之通信係應用，用來執行國際半導體設備材料產業協會(SEMI，Semiconductor Equipment and Materials International)之E84連鎖時序(interlock sequence)之連鎖通信(interlock communication)。在搬送台車與埠之間移載FOUP時，通信資料藉由上述連鎖通信而於搬送台車與通信裝置之間交換。

然而，專利文獻1中揭示一種技術，其係於移動機無法接收到來自基地台之呼叫設定受理之情形時，則讀出被登錄為周邊區域之高位頻道，而對於對象基地台發送呼叫請求。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2002-374550號公報

(發明所欲解決之問題)

當將專利文獻1中所揭示之技術應用於上述半導體製造系統時，則產生如下問題。例如於2台搬送台車與1台通信裝置之間大致同時地開始連鎖通信時，分別自2台搬送台車發送之2個通信資料可能產生衝突而發生通信錯誤。其結果，則有產生2台搬送台車之連鎖通信均失敗之虞。

本發明係鑒於此種問題所成者，其目的係提供一種可穩定執行搬送台車與通信裝置之間連鎖通信的無線通信系統及無線通信系統之控制方法。 (解決問題之技術手段)

為了達成上述目的，本發明一態樣之無線通信系統具備：複數個搬送台車，該等藉由沿著軌道移行而搬送被搬送物；及通信裝置，其連接至藉由上述複數個搬送台車各者而被移載上述被搬送物之埠，而在與上述複數個搬送台車各者之間進行無線通信；其中，上述複數個搬送台車各者具有第1通信部；該第1通信部係，(i)將配對信號發送至上述通信裝置，(ii)上述通信裝置當接收到上述配對信號作為觸發(frigger)，而以既定週期對上述埠將用以移載上述被搬送物之連鎖通信的第1通信資料發送至上述通信裝置，且自上述通信裝置接收上述連鎖通信的第2通信資料而作為對上述第1通信資料之應答，藉此在與上述通信裝置之間確立上述連鎖通信；上述通信裝置具有第2通信部；該第2通信部係，(iii)接收來自上述複數個搬送台車中特定之搬送台車的上述配對信號，(iv)當接收到上述配對信號作為觸發，接收來自上述特定之搬送台車之上述第1通信資料，且每當接收到上述第1通信資料時便將上述第2通信資料發送至上述特定之搬送台車，藉此在與上述特定之搬送台車之間確立上述連鎖通信，(v)在與上述特定之搬送台車之間確立上述連鎖通信之期間，避免與上述特定之搬送台車以外之其他搬送台車之間確立上述連鎖通信；上述第1通信部係，當將上述第1通信資料發送至上述通信裝置後經過既定時間仍無法接收上述第2通信資料的情形時，則將應發送繼該第1通信資料後發送之第1通信資料之時間點從依據上述既定週期之時間點加以變更。

根據本態樣，其他搬送台車之第1通信部係，於將第1通信資料發送至通信裝置後經過既定時間仍無法接收到第2通信資料時，則將應發送繼該第1通信資料後發送之第1通信資料的時間點從依據既定週期之時間點加以變更。藉此，即便當特定之搬送台車發送第1通信資料之既定週期與其他搬送台車發送第1通信資料之既定週期一致的情形時，仍可避免來自特定搬送台車之第1通信資料與來自其他搬送台車之第1通信資料產生衝突。結果，通信裝置可以接收第1通信資料，因此不會導致通信錯誤，而可穩定執行特定搬送台車與通信裝置之間的連鎖通信。

其亦可構成為例如，上述其他搬送台車之上述第1通信部係，當接收到上述特定之搬送台車與上述通信裝置之間確立之上述連鎖通信的上述第2通信資料的情形時，不將上述第1通信資料發送至上述通信裝置。

根據本態樣，當在特定之搬送台車與通信裝置之間被確立連鎖通信時，則可避免其他搬送台車之第1通信部無謂地將第1通信資料發送至通信裝置。

其亦可構成為例如，上述其他搬送台車之上述第1通信部係，當接收到上述特定之搬送台車與上述通信裝置之間確立之上述連鎖通信的上述第2通信資料時，根據該第2通信資料所包含之上述通信裝置之識別資訊及上述特定搬送台車之識別資訊，而判定在上述通信裝置與上述特定之搬送台車之間被確立上述連鎖通信。

根據本態樣，其他搬送台車之上述第1通信部利用所接收之第2通信資料所包含通信裝置的識別資訊及特定之搬送台車的識別資訊，而可容易地判定在通信裝置與特定之搬送台車之間被確立連鎖通信。

其亦可構成為例如，上述通信裝置之上述第2通信部係，當在與上述特定之搬送台車之間被確立上述連鎖通信之期間，在接收到來自上述其他搬送台車之上述第1通信資料時，不將該第1通信資料輸出至上述埠。

根據本態樣，其可避免複數個搬送台車各者在與1個埠之間同時進行連鎖通信。

其亦可構成為例如，上述複數個搬送台車各者進而具有控制部，上述其他搬送台車之上述控制部係，當在上述通信裝置與上述特定搬送台車之間被確立上述連鎖通信時，則執行第1控制及第2控制中之任一者；上述第1控制係使上述其他搬送台車移動，而使其離開上述埠；上述第2控制係控制上述第1通信部，使得在上述連鎖通信結束為止使上述其他搬送台車待機，而在上述連鎖通信結束後使上述配對信號發送至上述通信裝置。

根據本態樣，其可在通信裝置與特定之搬送台車之間被確立連鎖通信時，適當地控制其他搬送台車之動作。

其亦可構成為例如，上述其他搬送台車之上述控制部係根據上述通信裝置與上述特定搬送台車之間之上述連鎖通信的進行狀況，而執行上述第1控制及上述第2控制中之任一者。

根據本態樣，根據通信裝置與特定搬送台車之間的連鎖通信之進行狀況，可適宜變更其他搬送台車之動作，藉此而可抑制其他搬送台車之無謂的動作。

其亦可構成為例如，上述軌道包含在上下方向配置於不同位置之第1軌道及第2軌道，上述特定之搬送台車及上述其他搬送台車可分別於上述第1軌道及上述第2軌道上，於與上述埠之間移載上述被搬送物。

根據本態樣，可提高複數個搬送台車之各搬送效率。

例如亦可構成為，上述軌道包含在相對於上述軌道之延伸方向而垂直之水平方向上配置於不同位置的第1軌道及第2軌道，上述特定之搬送台車及上述其他搬送台車可分別於上述第1軌道及上述第2軌道上，在與上述埠之間移載上述被搬送物。

根據本態樣，其可提高複數個搬送台車之各搬送效率。

其亦可構成為例如，上述軌道包含於水平面內呈格子狀配置之複數個軌道，上述特定之搬送台車及上述其他搬送台車可分別於上述複數個軌道上互不相同之第1位置及第2位置，在與上述埠之間移載上述被搬送物。

根據本態樣，其可提高複數個搬送台車之各別搬送效率。

本發明一態樣之無線通信系統的控制方法係，其中，該無線通信系統具備：複數個搬送台車，該等藉由沿著軌道移行而搬送被搬送物；及通信裝置，其連接於藉由上述複數個搬送台車各者而被移載上述被搬送物之埠，在與上述複數個搬送台車各者之間進行無線通信；該無線通信系統之控制方法包括如下步驟：(a)上述複數個搬送台車中特定之搬送台車將配對信號發送至上述通信裝置的步驟；(b)上述通信裝置接收來自上述特定之搬送台車之上述配對信號的步驟；(c)以上述通信裝置接收到上述配對信號作為觸發，上述特定之搬送台車以既定週期將對上述埠用以移載上述被搬送物之連鎖通信的第1通信資料發送至上述通信裝置，且上述通信裝置每當接收到上述第1通信資料時，便將上述連鎖通信的第2通信資料作為對上述第1通信資料之應答而發送至上述特定之搬送台車，藉此於上述特定之搬送台車與上述通信裝置之間確立上述連鎖通信的步驟；(d)當上述特定之搬送台車將上述第1通信資料發送至上述通信裝置後經過既定時間仍無法接收到上述第2通信資料時，將應發送繼該第1通信資料後發送之第1通信資料之時間點從依據上述既定週期之時間點加以變更的步驟；及(e)於上述通信裝置與上述特定之搬送台車之間確立上述連鎖通信之期間，避免與上述特定之搬送台車以外之其他搬送台車之間確立上述連鎖通信的步驟。

根據本態樣，其他搬送台車於將第1通信資料發送至通信裝置後經過既定時間仍無法接收到第2通信資料時，將應發送繼該第1通信資料後發送之第1通信資料之時間點從依據既定週期之時間點加以變更。藉此，即便當特定之搬送台車發送第1通信資料之既定週期與其他搬送台車發送第1通信資料之既定週期一致時，仍可避免來自特定搬送台車之第1通信資料與來自其他搬送台車之第1通信資料產生衝突。結果，通信裝置可接收第1通信資料，因此不會導致通信錯誤，而可穩定執行特定之搬送台車與通信裝置之間的連鎖通信。

再者，本發明不僅可以裝置來實現，亦可以將構成該裝置之處理手段作為步驟之方法來實現，或以使電腦執行該等步驟之程式來實現，或以記錄有該程式之電腦可讀取之唯讀光碟(CD-ROM，Compact Disc-Read Only Memory)等記錄媒體而實現，或以表示該程式之資訊、資料或信號來實現。並且，該等程式、資訊、資料及信號亦可經由網際網路等通信網路而發佈。 (對照先前技術之功效)

根據本發明一態樣之無線通信系統等，可穩定執行搬送台車與通信裝置之間的連鎖通信。

以下使用圖式，對本發明之實施形態進行詳細說明。再者，以下所說明之實施形態均為表示概括性或具體性之例。以下實施形態中所示出之數值、形狀、材料、構成要件、構成要件之配置位置及連接形態、步驟、步驟之順序等均為一例，而並非用來限定本發明之主旨。又，以下實施形態中之構成要件中未記載於獨立請求項之構成要件，係作為任意構成要件而加以說明。

(實施形態) [1.通信系統之概要] 首先，參照圖1～圖3，對實施形態之無線通信系統2的概要進行說明。圖1係表示實施形態之無線通信系統2的概要之圖。圖2係表示裝載FOUP 14時E84連鎖時序的一例之圖。圖3係表示卸載FOUP 14時之E84連鎖時序的一例之圖。

如圖1所示，無線通信系統2係例如構建於半導體製造工廠內之系統。於半導體製造工廠內，設置有複數個半導體製造裝置8。無線通信系統2具備：第1搬送台車4、第2搬送台車6、第1通信裝置10及第2通信裝置12。

再者，於半導體製造工廠，實際配置有多台(例如幾百台)搬送台車，但為便於說明，於圖1中僅圖示出第1搬送台車4及第2搬送台車6。又，於半導體製造工廠，實際上設置有多台(例如幾千台)半導體製造裝置，但為便於說明，於圖1中僅圖示出1台半導體製造裝置8。

第1搬送台車4係用以搬送存放有半導體晶圓之FOUP 14(被搬送物之一例)之高架移行式搬送台車，係所謂之高架移行式無人搬送車(OHT，Overhead Hoist Transfer)。第1搬送台車4沿著半導體製造工廠之頂壁側所設置之第1軌道16進行無人移行。

於第1搬送台車4之內部，搭載有用以抓持FOUP 14之抓持部18。抓持部18可相對於第1搬送台車4升降。例如當在第1搬送台車4與半導體製造裝置8之第1埠26(下述)之間移載FOUP 14時，第1搬送台車4在第1埠26之正上方之位置停止之狀態，抓持部18自第1搬送台車4下降至第1埠26之附近。又，當FOUP 14之移載完成時，抓持部18自第1埠26之附近上升至第1搬送台車4，存放於第1搬送台車4之內部。

第2搬送台車6係與第1搬送台車4同樣地為用以搬送存放有半導體晶圓之FOUP 14之高架移行式搬送台車。第2搬送台車6沿著半導體製造工廠之頂壁側所設置之第2軌道20進行無人移行。第1軌道16及第2軌道20係於半導體製造裝置8之第1埠26之正上方，在上下方向配置於不同之位置。於圖1所示之例中，第2軌道20配置於第1軌道16之上側(正上方)。再者，亦可僅將第1軌道16及第2軌道20中之一者配置於半導體製造裝置8第1埠26之正上方來代替此種配置。又，於第2搬送台車6之內部，與第1搬送台車4同樣地搭載有用以抓持FOUP 14之抓持部21。抓持部21可相對於第2搬送台車6升降。

半導體製造裝置8係用以對存放於FOUP 14之半導體晶圓加以處理或暫時放置等之裝置，被設置於第1軌道16及第2軌道20之下方。半導體製造裝置8具有：第1搬入搬出口22及第2搬入搬出口24，該等用於將存放於FOUP 14之半導體晶圓對半導體製造裝置8內進行搬入及搬出；第1埠26，其配置於第1搬入搬出口22之附近；及第2埠28，其配置於第2搬入搬出口24之附近。

第1埠26係用於載置FOUP 14之裝載埠。對第1埠26，在其與第1搬送台車4之抓持部18(或第2搬送台車6之抓持部21)之間交接FOUP 14。繼而，通過第1搬入搬出口22，在與半導體製造裝置8之間交接存放於FOUP 14之半導體晶圓。

第2埠28係與第1埠26同樣地為用以載置FOUP 14之裝載埠。對第2埠28，在其與第1搬送台車4之抓持部18(或第2搬送台車6之抓持部21)之間交接FOUP 14。繼而，通過第2搬入搬出口24，在與半導體製造裝置8之間交接存放於FOUP 14之半導體晶圓。

再者，於本實施形態中，雖對半導體製造裝置8具有2個埠(第1埠26及第2埠28)之情形作說明，但本發明並不受限於此，其亦可具有1個或3個以上之埠。

第1通信裝置10係用以中介第1搬送台車4及第2搬送台車6各者與半導體製造裝置8的第1埠26之間通信的裝置伺服器。第1通信裝置10例如被配置於半導體製造裝置8之頂面，經由並列纜線30，而與半導體製造裝置8之第1埠26相連接。藉此，第1通信裝置10經由並列纜線30，而可與半導體製造裝置8之第1埠26進行有線通信。又，第1通信裝置10例如可藉由低功耗藍牙(BLE，Bluetooth(註冊商標)Low Energy)之近距離無線通信等，而與第1搬送台車4及第2搬送台車6各者進行無線通信。

第2通信裝置12係用以中介第1搬送台車4及第2搬送台車6各者與半導體製造裝置8的第2埠28之間之通信的裝置伺服器。第2通信裝置12例如被配置於半導體製造裝置8之頂面，經由並列纜線32，與半導體製造裝置8之第2埠28相連接。藉此，第2通信裝置12可經由並列纜線32，與半導體製造裝置8之第2埠28進行有線通信。又，第2通信裝置12經由串列纜線34而與第1通信裝置10連接。藉此，第2通信裝置12可經由串列纜線34，而與第1通信裝置10進行有線通信。又，第2通信裝置12例如可藉由BLE之近距離無線通信等，而與第1搬送台車4及第2搬送台車6各者進行無線通信。

此處，例如，對藉由第1搬送台車4裝載第1埠26上載置之FOUP 14之情形、及自第1搬送台車4將FOUP 14卸載至第1埠26之情形進行說明。於此情形時，在上述無線通信系統2中，藉由SEMI之E84連鎖時序之連鎖通信，在第1搬送台車4與第1通信裝置10之間交換控制信號(以下亦稱為「通信資料」)。於E84連鎖時序中，採用如在第1搬送台車4與第1埠26之間移載FOUP 14時，只要特定之控制信號(例如L_REQ、U_REQ)不成為斷開(off)則不移行至下一步驟之包含複數個步驟之連鎖時序。

如圖2所示，裝載FOUP 14時之E84連鎖時序係由移載前程序、移載程序及移載後程序等3個步驟構成。又，如圖3所示，卸載FOUP 14時之E84連鎖時序係與圖2同樣地由移載前程序、移載程序及移載後程序等3個步驟構成。再者，移載前程序、移載程序及移載後程序係例如於第1搬送台車4到達要移載FOUP 14之第1埠26之正上方位置後，在該位置以停止之狀態執行。或者，移載前程序亦可為，於第1搬送台車4到達要移載FOUP 14之第1埠26之正上方位置前，一面朝向該第1埠26移動(移行)，一面執行。又，移載後程序亦可為，一面進行第1搬送台車4從要移載FOUP 14之第1埠26的正上方之位置離開的移動(移行)，一面執行。

如圖2及圖3所示，於移載前程序中，在第1搬送台車4與第1通信裝置10之間，交換表示自此開始FOUP 14之移載之內容的控制信號。於移載程序中，在第1搬送台車4與第1通信裝置10之間，交換用以執行FOUP 14之移載之控制信號，實際地進行FOUP 14之移載。於移載後程序中，在第1搬送台車4與第1通信裝置10之間，交換表示FOUP 14之移載完成之內容的控制信號。

[2.通信系統之功能構成] 參照圖4～圖6，對實施形態之無線通信系統2之功能構成進行說明。圖4係表示實施形態之無線通信系統2的功能構成之方塊圖。圖5係表示連鎖通信的通信框架42之一例的圖。圖6係表示管理表44之一例的圖。

如圖4所示，無線通信系統2具有第1搬送台車4、第2搬送台車6、第1通信裝置10及第2通信裝置12作為功能構成。再者，本發明之無線通信系統2係用來與半導體製造裝置8之第1埠26及第2埠28各者進行通信之系統。

第1搬送台車4具有通信部36(第1通信部之一例)、記憶部38及控制部40。

通信部36係在與第1通信裝置10(或第2通信裝置12)之間，藉由無線通信而收發連鎖通信的通信資料。

此處，作為一例，對在第1搬送台車4與第1通信裝置10之間交換的連鎖通信之通信資料進行說明。該連鎖通信之通信資料係例如圖5所示之通信框架42。圖5所示之通信框架42包含SYNC、Message Length(訊息長度)、 Message ID(訊息ID)、搬送台車側無線ID、半導體製造裝置側無線ID、Option/Message Status(選項/訊息狀態)、PI/O IN 8bit、PI/O OUT 8bit、及CHECK SUM(核對和)各欄位。

SYNC係通信框架42之SYNC部。Message Length係自通信框架42之Message ID至PI/O OUT 8bit之資料長度。Message ID係通信框架42之唯一識別碼。搬送台車側無線ID係第1搬送台車4之識別資訊。半導體製造裝置側無線ID係第1通信裝置10之識別資訊。Option/Message Status係選項指示及通信框架42之發送方向(第1搬送台車4→第1通信裝置10或第1通信裝置10→第1搬送台車4)。PI/O IN 8bit係輸入至第1埠26之並列I/O資料。PI/O OUT 8bit係自第1埠26輸出之並列I/O資料。CHECK SUM係通信框架42之CHECK SUM部。

記憶部38係記憶管理表44之記憶體。管理表44例如圖6所示，針對每個半導體製造裝置8，示出半導體製造裝置8之站台編號、第1通信裝置10之無線頻道、第2通信裝置12之無線頻道、第1通信裝置10之裝置編號(識別資訊)及第2通信裝置12之裝置編號(識別資訊)之對應關係的資料表。

於圖6所示之例中，在管理表44之第1行，將半導體製造裝置8之站台編號「00001」、第1通信裝置10之無線頻道「001」、第2通信裝置12之無線頻道「011」、第1通信裝置10之裝置編號「00001」及第2通信裝置12之裝置編號「00002」建立對應而存放。

控制部40藉由參照記憶部38且控制通信部36，而執行各種處理。再者，控制部40係例如藉由處理器讀出並執行硬碟或半導體記憶體等記錄媒體中記錄之軟體程式而實現。

第2搬送台車6具有通信部46(第1通信部之一例)、記憶部48及控制部50。

通信部46係在與第1通信裝置10(或第2通信裝置12)之間，藉由無線通信而收發連鎖通信的通信資料。

記憶部48係記憶上述管理表44之記憶體。

控制部50藉由參照記憶部48且控制通信部46，而執行各種處理。再者，控制部50係例如藉由處理器讀出並執行硬碟或半導體記憶體等記錄媒體中記錄之軟體程式而實現。

第1通信裝置10具有通信部52(第2通信部之一例)及控制部54。

通信部52係在與第1搬送台車4及第2搬送台車6各者之間，藉由無線通信而收發連鎖通信的通信資料。又，通信部52經由並列纜線30，而在與第1埠26之間收發通信資料。又，通信部52經由串列纜線34，而在與第2通信裝置12之間收發各種資料。

控制部54藉由控制通信部52，而執行各種處理。再者，控制部54係例如藉由處理器讀出並執行硬碟或半導體記憶體等記錄媒體中記錄之軟體程式而實現。

第2通信裝置12具有通信部56(第2通信部之一例)及控制部58。

通信部56係在與第1搬送台車4及第2搬送台車6各者之間，藉由無線通信而收發連鎖通信的通信資料。又，通信部56經由並列纜線32，在與第2埠28之間收發通信資料。又，通信部56經由串列纜線34，在與第1通信裝置10之間收發各種資料。

控制部58藉由控制通信部56而執行各種處理。再者，控制部58係例如藉由處理器讀出並執行硬碟或半導體記憶體等記錄媒體中記錄之軟體程式而實現。

第1埠26具有通信部60及控制部62。

通信部60經由並列纜線30，而在與第1通信裝置10之間收發通信資料。

控制部62藉由控制通信部60而執行各種處理。具體而言，控制部62根據來自第1通信裝置10之通信資料，而執行用以在與第1搬送台車4及第2搬送台車6各者之間移載FOUP 14之連鎖處理。又，控制部62執行用來通過第1搬入搬出口22而在與半導體製造裝置8之間進行FOUP 14之交接的處理。再者，控制部62係例如藉由處理器讀出並執行硬碟或半導體記憶體等記錄媒體中記錄之軟體程式而實現。

第2埠28具有通信部64及控制部66。

通信部64經由並列纜線32，而在與第2通信裝置12之間收發通信資料。

控制部66藉由控制通信部64，而執行各種處理。具體而言，控制部66根據來自第2通信裝置12之通信資料，執行用以在與第1搬送台車4及第2搬送台車6各者之間移載FOUP 14之連鎖處理。又，控制部66執行用以通過第2搬入搬出口24而在與半導體製造裝置8之間進行FOUP 14之交接的處理。再者，控制部66係例如藉由處理器讀出並執行硬碟或半導體記憶體等記錄媒體中記錄之軟體程式而實現。

[3.無線通信系統之動作] 參照圖7及圖8對無線通信系統2之動作進行說明。圖7係用以說明實施形態之無線通信系統2之動作的圖。圖8係表示實施形態之無線通信系統2的動作之流程的時序圖。

以下，如圖7所示，考慮於半導體製造工廠內，依序排列設置有半導體製造裝置8a、8b、8c、8d之情形。

半導體製造裝置8a具有第1埠26a及第2埠28a。於第1埠26a及第2埠28a，分別連接有第1通信裝置10a及第2通信裝置12a。

半導體製造裝置8b具有第1埠26b及第2埠28b。於第1埠26b及第2埠28b，分別連接有第1通信裝置10b及第2通信裝置12b。

半導體製造裝置8c具有第1埠26c及第2埠28c。於第1埠26c及第2埠28c，分別連接有第1通信裝置10c及第2通信裝置12c。

半導體製造裝置8d具有第1埠26d及第2埠28d。於第1埠26d及第2埠28d，分別連接有第1通信裝置10d及第2通信裝置12d。

又，以下說明第1搬送台車4及第2搬送台車6於大致相同之時間點，受上位控制器(未圖示)指示，而在與半導體製造裝置8b之第1埠26b之間移載FOUP 14(參照圖1)之情形。於此情形時，第1搬送台車4及第2搬送台車6分別沿著第1軌道16及第2軌道20移行，於大致相同之時間點，在要移載FOUP 14之第1埠26b之正上方之位置停止。又，第1搬送台車4及第2搬送台車6自上位控制器獲取與連接於第1埠26b之第1通信裝置10b有關之資訊(例如第1通信裝置10b之無線頻帶、無線頻道及無線ID等)。藉此，第1搬送台車4及第2搬送台車6各者可根據所獲取之有關第1通信裝置10b之資訊，而在與第1通信裝置10b之間進行無線通信。

如圖8所示，第1搬送台車4之通信部36藉由無線通信，而將用於通信同步之配對信號發送至第1通信裝置10b(S101)。以第1通信裝置10b接收到配對信號作為觸發，第1搬送台車4之通信部36藉由無線通信，而將作為連鎖通信的通信資料之指令信號(第1通信資料之一例)發送至第1通信裝置10b(S102)。此處，第1搬送台車4之通信部36將指令信號以既定週期(例如10 msec)而發送至第1通信裝置10b。再者，作為上述既定週期之起點的時間點，可為步驟S102中發送指令信號之時間點，抑或為步驟S101中發送配對信號之時間點。

第1通信裝置10b之通信部52藉由無線通信，而接收來自第1搬送台車4之指令信號。又，第1通信裝置10b之通信部52藉由有線通信，而將所接收到之該指令信號發送(輸出)至第1埠26b。第1通信裝置10b之通信部52藉由無線通信，而將連鎖通信的通信資料即應答信號(第2通信資料之一例)作為對所接收到之指令信號之應答，發送至第1搬送台車4(S103)。此處，第1通信裝置10b之通信部52每當接收到來自第1搬送台車4之指令信號時，便將應答信號發送至第1搬送台車4。

如此，來自第1搬送台車4之指令信號係由第1通信裝置10b所接收，且來自第1通信裝置10b之應答信號係由第1搬送台車4所接收，藉此，於第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間確立連鎖通信。藉此，於第1搬送台車4與第1埠26b之間，藉由E84連鎖時序，依序執行移載前程序、移載程序及移載後程序。

繼而，第1搬送台車4之通信部36接收到來自第1通信裝置10b之應答信號，對應於此，藉由無線通信，將指令信號發送至第1通信裝置10b(S104)。與上述同樣地，第1通信裝置10b之通信部52藉由無線通信，接收來自第1搬送台車4之指令信號。又，第1通信裝置10b之通信部52藉由有線通信，而將接收到之該指令信號輸出至第1埠26b。

其次，第2搬送台車6之通信部46藉由無線通信，將用於通信同步之配對信號發送至第1通信裝置10b(S105)。第1通信裝置10b接收到配對信號作為觸發，第2搬送台車6之通信部46則藉由無線通信，將指令信號發送至第1通信裝置10b(S106)。此處，第2搬送台車6之通信部46將指令信號以既定週期(例如10 msec)發送至第1通信裝置10b。第1搬送台車4之通信部36所發送指令信號之既定週期與第2搬送台車6之通信部46所發送指令信號之既定週期相同。再者，作為上述既定週期之起點的時間點可為步驟S106中發送指令信號之時間點，抑或為步驟S105中發送配對信號之時間點。

於與上述步驟S106相同之時間點，第1通信裝置10b之通信部52藉由無線通信，對第2搬送台車6發送應答信號，作為對來自第1搬送台車4之指令信號的應答(S107)，並將應答信號發送至第1搬送台車4(S108)。再者，該等步驟S107及步驟S108之各時間點亦可為大致同時。

此時，步驟S106中第2搬送台車6發送指令信號之時間點與步驟S107中第1通信裝置10b發送應答信號之時間點一致，因此該等指令信號與應答信號產生衝突(S109)。所以，第2搬送台車6之通信部46因步驟S109中之信號彼此(指令信號及應答信號)之衝突(更具體而言為2個通信框架之破損)，而無法接收步驟S107中所發送之應答信號，因此在第2搬送台車6與第1通信裝置10b之間不被確立連鎖通信。另一方面，第1搬送台車4之通信部36在第1通信裝置10b發送應答信號之時間點則不發送指令信號，因此，指令信號與應答信號不會產生衝突。因而，第1搬送台車4之通信部36可接收步驟S108中發送之應答信號。

繼而，第1搬送台車4之通信部36接收來自第1通信裝置10b之應答信號，對應於此，其藉由無線通信，將指令信號發送至第1通信裝置10b(S110)。第2搬送台車6之通信部46當在步驟S106中發送指令信號後經過既定時間(例如100 msec)仍無法接收到應答信號之情形時，則將應發送繼步驟S106中發送之指令信號後所發送之指令信號的時間點從依據既定週期之時間點(圖8中以虛線箭頭表示之時間點)加以變更(S111)。

具體而言，第2搬送台車6之通信部46係以自本來應發送之時間點延遲僅短於10 msec之時間(例如7 msec)之方式，使在步驟S106中發送之指令信號後繼發送指令信號之時間點錯開。藉此，第2搬送台車6之通信部46係在該已變更之時間點將指令信號發送至第1通信裝置10b(S112)。此時，第2搬送台車6之通信部46則不變更發送指令信號之既定週期。再者，該時間點之錯開量亦可不必為固定值，亦可為對第1搬送台車4及第2搬送台車6預先決定不同之值。或者，該時間點之錯開量亦可為隨機決定。

再者，於上述步驟S111中，第2搬送台車6之通信部46亦可以自本來應發送之時間點延遲長於10 msec之時間(例如12 msec)之方式，使步驟S106中發送之指令信號後繼發送指令信號之時間點錯開。

又，在步驟S111中於變更時間點前使第2搬送台車6本來應發送指令信號之時間點(圖8中以虛線箭頭表示之時間點)、與步驟S110中第1搬送台車4發送指令信號之時間點成為一致。於此情形時，如上所述，藉由於步驟S111中變更發送指令信號之時間點，則此後，第1搬送台車4發送指令信號之時間點與第2搬送台車6發送指令信號之時間點變成不一致。其結果，則可避免來自第1搬送台車4之指令信號與來自第2搬送台車6之指令信號產生衝突。

第1通信裝置10b之通信部52則接收：步驟S110中所發送來自第1搬送台車4之指令信號、及步驟S112中所發送錯開時間點發送之來自第2搬送台車6的指令信號。

此時，第1通信裝置10b之通信部52，將來自與該第1通信裝置10b之間被確立連鎖通信之第1搬送台車4的指令信號藉由有線通信發送至第1埠26b。

另一方面，第1通信裝置10b之通信部52則廢除來自與該第1通信裝置10b之間未確立連鎖通信之第2搬送台車6的指令信號(S113)。藉此，第1通信裝置10b之通信部52係在與第1搬送台車4之間已確立連鎖通信期間，當接收到來自該第1搬送台車4以外之其他搬送台車(第2搬送台車6)之指令信號時，則不會將接收到之該指令信號發送至第1埠26b。即，第1通信裝置10b之通信部52係於在與第1搬送台車4之間已確立連鎖通信之期間，可避免在與該第1搬送台車4以外之其他搬送台車(第2搬送台車6)之間確立連鎖通信。

第1通信裝置10b之通信部52藉由無線通信，對第1搬送台車4發送應答信號，作為對來自第1搬送台車4之指令信號之應答(S114)，並將應答信號發送至第2搬送台車6(S115)。再者，該等步驟S114及步驟S115之各時間點亦可為大致同時。

第1搬送台車4之通信部36接收來自第1通信裝置10b之應答信號，此後，在與第1通信裝置10b之間持續進行連鎖通信，直至第1搬送台車4與第1埠26b之間E84連鎖時序之移載後程序結束為止。再者，第1搬送台車4之通信部36藉由將包含PI/O IN 8bit(all 0)及PI/O OUT 8bit(all 0)之圖5的通信框架42發送至第1通信裝置10b，而結束與第1通信裝置10b之間的連鎖通信。

另一方面，第2搬送台車6之通信部46接收對來自第1搬送台車4之指令信號之應答、即步驟S115中第1通信裝置10b所發送之應答信號。此時，第2搬送台車6之通信部46根據接收到之應答信號中所包含的圖5所示之搬送台車側無線ID(第1搬送台車4之識別資訊)及半導體製造裝置側無線ID(第1通信裝置10b之識別資訊)，而判定第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間被確立連鎖通信。第2搬送台車6之通信部46根據該判定結果，停止對第1通信裝置10b發送指令信號(S116)。

其次，第2搬送台車6之通信部46藉由參照被記憶於記憶部48之管理表44，讀出與第1通信裝置10b相連接之第2通信裝置12b的無線頻道及裝置編號(識別資訊)。第2搬送台車6之通信部46根據所讀出之第2通信裝置12b的無線頻道及裝置編號，藉由無線通信，將查詢信號發送至第2通信裝置12b(S117)。查詢信號係用來對第2通信裝置12b查詢第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間連鎖通信的進行狀況之信號。

第2通信裝置12b之通信部56接收來自第2搬送台車6之查詢信號，對應於此，其藉由有線通信，將請求信號發送至第1通信裝置10b(S118)。請求信號係用來對第1通信裝置10b請求發送第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間連鎖通信的進行狀況相關的資訊(以下稱為「進行狀況資訊」)的信號。

第1通信裝置10b之通信部52接收來自第2通信裝置12b之請求信號，對應於此，其藉由有線通信，將應答信號發送至第2通信裝置12b(S119)。應答信號係對來自第2通信裝置12b之請求信號作應答用來發送進行狀況資訊的信號。再者，進行狀況資訊可自圖5所示之通信框架42所含有之PI/O IN 8bit及PI/O OUT 8bit而獲得。

第2通信裝置12b之通信部56接收來自第1通信裝置10b之應答信號，對應於此，其藉由無線通信，將回答信號發送至第2搬送台車6(S120)。回答信號係對來自第2搬送台車6之查詢信號作回答用於發送進行狀況資訊的信號。

第2搬送台車6之通信部46接收來自第2通信裝置12b之回答信號。第2搬送台車6之控制部50根據由通信部46所接收到之回答信號，判斷第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間連鎖通信的進行狀況(S121)。第2搬送台車6之控制部50根據回答信號所示連鎖通信之進行狀況，而執行下述第1控制及第2控制中之任一者。

於第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間連鎖通信的進行狀況為移載前程序的情形時(S121中「移載前程序」)，第2搬送台車6之控制部50則執行第1控制(S122)。於第1控制中，第2搬送台車6之控制部50藉由使第2搬送台車6以離開第1埠26b正上方之位置的方式移動，而使第2搬送台車6迂迴移行作控制。

當自第2搬送台車6向第1埠26b卸載FOUP 14時，第2搬送台車6之控制部50控制第2搬送台車6之移行，使其於第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間連鎖通信結束後，再次回到第1埠26b之正上方的位置。當第2搬送台車6再次回到第1埠26b之正上方的位置時，第2搬送台車6之控制部50控制通信部46，使其將配對信號發送至第1通信裝置10b。

另一方面，和自第1埠26b往第2搬送台車6裝載FOUP 14之情形相同地，第2搬送台車6之控制部50控制第2搬送台車6之移行，使其於第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間的連鎖通信結束後，再次回到第1埠26b之正上方的位置。再者，在此情形下，亦可為，除第1搬送台車4及第2搬送台車6以外之其他搬送台車可用來代替第2搬送台車6，而於第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間的連鎖通信結束後，到達第1埠26b之正上方的位置。

當第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間的連鎖通信之進行狀況為移載前程序時，至該連鎖通信的結束為止則需要相對較長之時間(例如10秒)。於此種情形時，藉由執行使第2搬送台車6迂迴移行之第1控制，則可避免於第2軌道20中第2搬送台車6妨礙後續之其他搬送台車的移行，而可避免搬送台車發生塞車。

另一方面，於第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間的連鎖通信之進行狀況為移載後程序時(S121中「移載後程序」)，第2搬送台車6之控制部50則執行第2控制(S123)。於第2控制中，第2搬送台車6之控制部50控制通信部46，以使第2搬送台車6於第1埠26b之正上方的位置待機直至連鎖通信結束為止，且在連鎖通信結束後將配對信號發送至第1通信裝置10b。

於第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間的連鎖通信之進行狀況為移載後程序時，至該連鎖通信之結束為止則僅需要相對較短之時間(例如1秒)。於此種情形時，藉由執行使第2搬送台車6於該處待機之第2控制，第2搬送台車6則可於連鎖通信結束後迅速地將配對信號發送至第1通信裝置10b。

又，於第1搬送台車4與第1通信裝置10b之間的連鎖通信之進行狀況為移載程序時(S121中「移載程序」)，第2搬送台車6之控制部50對開始移載程序之後是否已經過既定時間T(例如數秒)進行判定(S124)。當未經過既定時間T時(S124中為NO)，第2搬送台車6之控制部50則執行上述第1控制(步驟S122)。於此情形時，至連鎖通信之結束為止其需要相對較長之時間，因此藉由執行使第2搬送台車6迂迴移行之第1控制，則可避免於第2軌道20中第2搬送台車6妨礙後續之其他搬送台車的移行，而可避免搬送台車發生塞車。

另一方面，當已經過既定時間T時(S124中為YES)，第2搬送台車6之控制部50則執行上述第2控制(步驟S123)。在此情形時，至連鎖通信之結束為止其需要相對較短之時間，因此藉由執行使第2搬送台車6於該處待機之第2控制，第2搬送台車6則可於連鎖通信結束後迅速地將配對信號發送至第1通信裝置10b。

[4.效果] 圖9係表示有關比較例之無線通信系統的動作之流程的時序圖。於圖9之時序圖中，其與圖8之時序圖中之處理相同之處理被標註以相同之步驟編號，而省略其說明。

於比較例之無線通信系統中，執行步驟S101～S110後，並不執行圖8之步驟S111。如圖9所示，於步驟S109之後，第1搬送台車4之通信部36將指令信號發送至第1通信裝置10b(S110)，在與此相同之時間點，第2搬送台車6之通信部46將指令信號發送至第1通信裝置10b(S201)。即，第1搬送台車4之通信部36發送指令信號之週期及時間點、與第2搬送台車6之通信部46發送指令信號之週期及時間點一致。於此情形時，因來自第1搬送台車4之指令信號與來自第2搬送台車6之指令信號產生衝突(S202)，因此第1通信裝置10b之通信部52則無法接收指令信號而導致通信錯誤。

其後，與上述同樣地，第1搬送台車4之通信部36將指令信號再次發送至第1通信裝置10b(S203)，在與此相同之時間點，第2搬送台車6之通信部46將指令信號再次發送至第1通信裝置10b(S204)。於此情形時，亦因來自第1搬送台車4之指令信號與來自第2搬送台車6之指令信號產生衝突(S205)，因此第1通信裝置10b之通信部52則無法接收指令信號而導致通信錯誤。

第1搬送台車4之通信部36在發送指令信號後，當在預先確定之應答時間(例如250 msec)內無法接收到應答信號之情形時，則發生通信逾時(S206)。同樣地，於第2搬送台車6之通信部46發送指令信號後，當在預先確定之應答時間(例如250 msec)內無法接收到應答信號之情形時，則發生通信逾時(S207)。因此，第1搬送台車4及第2搬送台車6皆產生有無法在與第1通信裝置10b之間執行連鎖通信之問題。

與之相對的，於本實施形態中，第2搬送台車6之通信部46當在圖8之步驟S106中發送指令信號後經過既定時間仍無法接收到應答信號時，則將應繼圖8之步驟S106中發送之指令信號後發送之指令信號的時間點從依據既定週期之時間點(圖8中以虛線箭頭表示之時間點)加以變更。

藉此，即使第1搬送台車4之通信部36發送指令信號之既定週期、與第2搬送台車6之通信部46發送指令信號之既定週期為一致的情形時，其亦可避免來自第1搬送台車4之指令信號與來自第2搬送台車6之指令信號產生衝突。結果，第1通信裝置10b之通信部52可接收指令信號，因此其不會導致通信錯誤，而第1搬送台車4在與第1通信裝置10b之間可繼續執行連鎖通信。

(其他變形例等) 以上，雖對本發明之無線通信系統及無線通信系統之控制方法根據上述實施形態而進行了說明，但本發明並不受限於上述實施形態。對上述實施形態於本發明領域中具有通常知識者所可思及之變化其所獲得之形態、及上述實施形態中之構成要件任意組合所實現之其他形態亦均包含於本發明中。

於上述實施形態中，雖第1軌道16及第2軌道20於半導體製造裝置8之第1埠26之正上方，在上下方向被配置於不同位置，但本發明並不受限於此。第1軌道16及第2軌道20例如亦可在相對於第1軌道16及第2軌道20之各個延伸方向而垂直之水平方向上被配置於不同之位置。於此情形時，第1軌道16中之第1搬送台車4及第2軌道20中之第2搬送台車6均可在與第1埠26等之間移載FOUP 14，因此其與上述實施形態同樣地可發揮本發明之效果。

或者，第1搬送台車4及第2搬送台車6亦可沿著於水平面內呈格子狀配置之複數個軌道上而二維地移行。於此情形時，第1搬送台車4及第2搬送台車6可分別於格子狀之複數個軌道上互不相同之第1位置及第2位置，在與第1埠26等之間移載FOUP 14，因此其與上述實施形態同樣地均可發揮本發明之效果。

再者，於上述實施形態中，各構成要件亦可以專用之硬體構成，或藉由執行適於各構成要件之軟體程式所實現。各構成要件亦可藉由中央處理單元(CPU，Central Processing Unit)或處理器等程式執行部對硬碟或半導體記憶體等記錄媒體中所記錄之軟體程式讀出並執行而實現。 (產業上之可利用性)

本發明之無線通信系統例如可應用於藉由沿著設置於頂壁之軌道而移行之搬送台車來搬送FOUP之半導體製造系統等。

2:無線通信系統 4:第1搬送台車 6:第2搬送台車 8,8a,8b,8c,8d:半導體製造裝置 10,10a,10b,10c,10d:第1通信裝置 12,12a,12b,12c,12d:第2通信裝置 14:FOUP 16:第1軌道 18,21:抓持部 20:第2軌道 22:第1搬入搬出口 24:第2搬入搬出口 26,26a,26b,26c,26d:第1埠 28,28a,28b,28c,28d:第2埠 30,32:並列纜線 34:串列纜線 36,46,52,56,60,64:通信部 38,48:記憶部 40,50,54,58,62,66:控制部 42:通信框架 44:管理表

圖1係表示實施形態之無線通信系統的概要之圖。圖2係表示裝載FOUP時之E84連鎖時序的一例之圖。圖3係表示卸載FOUP時之E84連鎖時序的一例之圖。圖4係表示實施形態之無線通信系統的功能構成之方塊圖。圖5係表示連鎖通信之通信框架的一例之圖。圖6係表示管理表的一例之圖。圖7係用以說明實施形態之無線通信系統的動作之圖。圖8係表示實施形態之無線通信系統的動作之流程的時序圖。圖9係表示比較例之無線通信系統的動作之流程的時序圖。

4:第1搬送台車

6:第2搬送台車

10b:第1通信裝置

12b:第2通信裝置

Claims

一種無線通信系統，其具備：複數個搬送台車，該等藉由沿著軌道移行而搬送被搬送物；及通信裝置，其連接至藉由上述複數個搬送台車各者而被移載上述被搬送物之埠，而在與上述複數個搬送台車各者之間進行無線通信；其中，上述複數個搬送台車各者具有第1通信部，該第1通信部係：(i)將配對信號發送至上述通信裝置，(ii)上述通信裝置當接收到上述配對信號作為觸發，以既定週期將用以對上述埠移載上述被搬送物之連鎖通信的第1通信資料發送至上述通信裝置，且自上述通信裝置接收上述連鎖通信的第2通信資料而作為對上述第1通信資料之應答，藉此在與上述通信裝置之間確立上述連鎖通信，上述通信裝置具有第2通信部，該第2通信部係：(iii)接收來自上述複數個搬送台車中特定之搬送台車的上述配對信號，(iv)當接收到上述配對信號作為觸發，接收來自上述特定之搬送台車的上述第1通信資料，且每當接收到上述第1通信資料時，便將上述第2通信資料發送至上述特定之搬送台車，藉此在與上述特定之搬送台車之間確立上述連鎖通信，(v)在與上述特定之搬送台車之間確立上述連鎖通信之期間，避免在與上述特定之搬送台車以外之其他搬送台車之間確立上述連鎖通信，上述第1通信部係，當將上述第1通信資料發送至上述通信裝置後經過既定時間仍無法接收到上述第2通信資料的情形時，將應發送繼該第1通信資料後發送之第1通信資料之時間點從依據上述既定週期之時間點加以變更。
如請求項1之無線通信系統，其中，上述其他搬送台車之上述第1通信部係，當接收到上述特定之搬送台車與上述通信裝置之間被確立之上述連鎖通信的上述第2通信資料的情形時，不將上述第1通信資料發送至上述通信裝置。
如請求項1或2之無線通信系統，其中，上述其他搬送台車之上述第1通信部係，當接收到上述特定之搬送台車與上述通信裝置之間被確立之上述連鎖通信的上述第2通信資料的情形時，根據該第2通信資料所包含之上述通信裝置之識別資訊及上述特定之搬送台車之識別資訊，而判定在上述通信裝置與上述特定之搬送台車之間被確立上述連鎖通信。
如請求項1至3中任一項之無線通信系統，其中，上述通信裝置之上述第2通信部係，當在與上述特定之搬送台車之間被確立上述連鎖通信之期間，當接收來自上述其他搬送台車之上述第1通信資料之情形時，則不將該第1通信資料輸出至上述埠。
如請求項1至4中任一項之無線通信系統，其中，上述複數個搬送台車各者進而具有控制部，上述其他搬送台車之上述控制部係，當在上述通信裝置與上述特定之搬送台車之間被確立上述連鎖通信的情形時，則執行第1控制及第2控制中之任一者；上述第1控制係使上述其他搬送台車移動，而使其離開上述埠；上述第2控制係控制上述第1通信部，使得在上述連鎖通信結束為止使上述其他搬送台車待機，而在上述連鎖通信結束後使上述配對信號發送至上述通信裝置。
如請求項5之無線通信系統，其中，上述其他搬送台車之上述控制部係根據上述通信裝置與上述特定之搬送台車之間的上述連鎖通信之進行狀況，而執行上述第1控制及上述第2控制中之任一者。
如請求項1至6中任一項之無線通信系統，其中，上述軌道包含在上下方向配置於不同位置之第1軌道及第2軌道，上述特定之搬送台車及上述其他搬送台車可分別於上述第1軌道及上述第2軌道上，在與上述埠之間移載上述被搬送物。
如請求項1至6中任一項之無線通信系統，其中，上述軌道包含在相對於上述軌道之延伸方向而垂直之水平方向上配置於不同位置的第1軌道及第2軌道，上述特定之搬送台車及上述其他搬送台車可分別於上述第1軌道及上述第2軌道上，在與上述埠之間移載上述被搬送物。
如請求項1至6中任一項之無線通信系統，其中，上述軌道包含於水平面內呈格子狀配置之複數個軌道，上述特定之搬送台車及上述其他搬送台車可分別於上述複數個軌道上互不相同之第1位置及第2位置，在與上述埠之間移載上述被搬送物。
一種無線通信系統之控制方法，該無線通信系統具備有：複數個搬送台車，該等藉由沿著軌道移行而搬送被搬送物；及通信裝置，其連接於藉由上述複數個搬送台車各者而被移載上述被搬送物之埠，在與上述複數個搬送台車各者之間進行無線通信；該無線通信系統之控制方法包括如下步驟： (a)上述複數個搬送台車中特定之搬送台車將配對信號發送至上述通信裝置的步驟； (b)上述通信裝置接收來自上述特定之搬送台車的上述配對信號的步驟； (c)以上述通信裝置接收到上述配對信號作為觸發，上述特定之搬送台車以既定週期將用以對上述埠移載上述被搬送物之連鎖通信的第1通信資料發送至上述通信裝置，且上述通信裝置每當接收到上述第1通信資料時，便將上述連鎖通信的第2通信資料作為對上述第1通信資料之應答而發送至上述特定之搬送台車，藉此於上述特定之搬送台車與上述通信裝置之間確立上述連鎖通信的步驟； (d)當上述特定之搬送台車將上述第1通信資料發送至上述通信裝置後經過既定時間仍無法接收到上述第2通信資料之情形時，則將應發送繼該第1通信資料後發送之第1通信資料之時間點從依據上述既定週期之時間點加以變更的步驟；及 (e)在上述通信裝置在與上述特定之搬送台車之間被確立上述連鎖通信之期間，避免其與上述特定之搬送台車以外之其他搬送台車之間確立上述連鎖通信的步驟。