TW202126452A - 線鋸之運轉重啟方法 - Google Patents

線鋸之運轉重啟方法 Download PDF

Info

Publication number
TW202126452A
TW202126452A TW109136777A TW109136777A TW202126452A TW 202126452 A TW202126452 A TW 202126452A TW 109136777 A TW109136777 A TW 109136777A TW 109136777 A TW109136777 A TW 109136777A TW 202126452 A TW202126452 A TW 202126452A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
wire
workpiece
saw
cutting
abrasive
Prior art date
Application number
TW109136777A
Other languages
English (en)
Inventor
小林健司
佐藤三千登
Original Assignee
日商信越半導體股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商信越半導體股份有限公司 filed Critical 日商信越半導體股份有限公司
Publication of TW202126452A publication Critical patent/TW202126452A/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/042—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with blades or wires mounted in a reciprocating frame
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
    • B24B27/0633—Grinders for cutting-off using a cutting wire
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/16—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces performing a reciprocating movement, e.g. during which the sense of rotation of the working-spindle is reversed
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D1/00—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor
    • B26D1/01—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor involving a cutting member which does not travel with the work
    • B26D1/547—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor involving a cutting member which does not travel with the work having a wire-like cutting member
    • B26D1/553—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor involving a cutting member which does not travel with the work having a wire-like cutting member with a plurality of wire-like cutting members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0064—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D1/00—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor
    • B26D1/0006—Cutting members therefor
    • B26D2001/008—Cutting members therefor in the form of wires

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Forests & Forestry (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Abstract

本發明提供一種線鋸之運轉重啟方法，在藉由使用固定磨料鋸線的線鋸來進行的工件之切割中，當重啟由於鋸線斷線等異常而在半途中斷的工件之切割之際，不會因鋸線牽扯工件而發生鋸線斷線。本發明係一種線鋸之運轉重啟方法，係在將表面固著有磨料的固定磨料鋸線繞掛在多槽滾筒來形成鋸線列，使前述固定磨料鋸線沿軸向來回行進，並且將工件相對地推抵至前述鋸線列而進刀，將前述工件加以切割成晶圓狀的線鋸之運轉中，當前述工件之切割在前述工件的半途一度中斷之後，重啟前述工件之切割之情形的運轉重啟方法，其特徵在於，將已使前述磨料磨耗的前述固定磨料鋸線，配置在前述工件之切割中斷的前述工件之進刀位置，而重啟前述工件之切割。

Description

線鋸之運轉重啟方法
本發明係關於藉由鋸線來進行的工件之切割，尤其關於切割中斷時的線鋸之運轉重啟方法。
以往，就自矽晶錠還有化合物半導體錠等切出晶圓的手段而言，已知有線鋸。在此線鋸中，例如遊離磨料型中，係藉由將多數之切割用鋸線多數繞掛在多數之滾筒周圍而形成有鋸線列，並於軸向上高速驅動該切割用鋸線，且適宜供給切割液並使工件受到鋸線列進刀，而使此工件在各鋸線的位置受到切割，同時切出多片晶圓（專利文獻1）。
在此，圖2顯示一般線鋸的一例。如圖2所示，此線鋸201主要以下述者構成：用以切割工件W的鋸線202（高張力鋼線）；繞掛有鋸線202的有槽滾筒103；調整鋸線202的張力之張力調整機構104；將受切割的工件W向下進給的機構105；及，於切割時供給切割液的機構206。
鋸線202自一方的鋸線捲軸107放線，經過導線器（traverser）108、滑輪109、張力調整機構104，以300～500次左右繞掛在有槽滾筒103之後，經由另一方的張力調整機構104’、滑輪109’、導線器108’而由鋸線捲軸107’收線。
又，有槽滾筒103係將聚氨酯樹脂壓入至鋼鐵製圓筒周圍並於其表面以大致一定的節距切出溝槽的滾筒，繞掛的鋸線202可由有槽滾筒驅動馬達110往單向驅動或以預先訂定的周期沿軸向來回驅動。
鋸線捲軸107、107’係受到鋸線捲軸驅動馬達111、111’所旋轉驅動，可藉由分別控制有槽滾筒驅動馬達110與鋸線捲軸驅動馬達111、111’的速度來調整施加在鋸線202的張力。
又，圖2的將工件W向下進給之機構105係如圖3，具有由工件固持部112、工件板113所構成的工件固持機制114，工件板113經由貼附在工件W的接合構件（樑）120而黏接有工件W。
於工件W切割時，由於將工件W向下進給之機構105，工件W受到固持並且相對地被下壓，而往由繞掛在有槽滾筒103的鋸線202所構成的鋸線列相對地進給。
使用此種線鋸201，並使用張力調整機構104、104’而將適當的張力施加在鋸線202，並藉由鋸線捲軸驅動馬達111、111’使鋸線202沿軸向來回行進，並且供給由切割液供給機構206所供給的切割液，以將工件W向下進給之機構105使工件進刀來切割工件。
然而，雖然用於線鋸的鋼線鋸線係富含耐磨耗、耐張力性，而且有槽滾筒為了防止鋸線之損傷而使用既定硬度的樹脂滾筒，但鋸線有時會由於鋸線的歷時性磨耗還有疲勞而於工件之切割時斷線，無法繼續進行工件之切割。
此種情形，習知係進行如下方法：進行使鋸線脫離工件切口的脫離作業後，將斷線之處與新線接線。其後，將接線之處捲送至回收側的鋸線捲軸107’後，使鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，將鋸線列配置在斷線時的工件進刀位置，而重啟工件之切割。
另一方面，亦已知有種將工件之切割的方法，係如圖1所示，不使用含有磨料的切割液，而使用將鑽石磨料等固附於鋸線表面的固定磨料鋸線402來代替，在直徑150mm程度以下的小直徑錠之切割已有一定範圍的實用化。
在此以固定磨料鋸線402進行之切割中，如圖1所示裝設有固定磨料鋸線402來代替如圖2所示的一般線鋸201之中的鋼線鋸線202。又，使用如下線鋸101：包含冷卻液供給機構106，將圖2所示的一般線鋸201中供給的切割液，在圖1所示的線鋸101中，改成不含磨料的冷卻水等冷卻液。在如此藉由固定磨料鋸線402來進行之切割中，能直接使用一般線鋸。
固定磨料鋸線亦有斷線之情形，與遊離磨料鋸線同樣必須進行如下方法：進行使鋸線脫離工件切口的脫離作業，並將斷線之處與新線接線，使接線之處捲送至回收側的鋸線捲軸107’，並使鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，將鋸線列配置在斷線時的工件進刀位置，重啟工件之切割。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開平9-262826號公報
（發明所欲解決之問題）
使用上述遊離磨料的線鋸之情形，由於如圖4（a）所示，鋸線202與工件W之間形成出遊離磨料G寬度大小的間隙（Clearance），所以比較容易將鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，而將鋸線列配置在斷線時的工件進刀位置。然而，如圖4（b）所示，使用上述固定磨料的線鋸之情形，因為固定磨料鋸線402與工件W之間不產生間隙，所以有以下問題：難以將鋸線的各列對應卡合至工件的各切口。
又，鋸線與工件之牽扯較大之情形，有時會導致鋸線斷線。發生鋸線斷線之情形，必須再次進行鋸線之接線作業的工夫，又必須剩餘有重新繞掛的固定磨料鋸線，損失龐大。
本發明有鑑於如前所述的問題，目的在於提供一種線鋸之運轉重啟方法，在藉由使用固定磨料鋸線的線鋸來進行的工件之切割中，即使在重啟由於鋸線斷線等異常而在半途中斷的工件之切割之情形，亦能使鋸線回到工件之切割位置，而且在鋸線往進刀位置設置時不發生鋸線斷線。 （解決問題之方式）
為了達成上述目的，本發明提供一種線鋸之運轉重啟方法，係在將表面固著有磨料的固定磨料鋸線繞掛在多槽滾筒來形成鋸線列，使前述固定磨料鋸線沿軸向來回行進，並且使工件相對地推抵至前述鋸線列來進刀，而將前述工件加以切割成晶圓狀的線鋸之運轉中，於將前述工件之切割在前述工件的半途一度中斷之後，重啟前述工件之切割之情形的運轉重啟方法，其特徵在於，將已使前述磨料磨耗的前述固定磨料鋸線，配置在中斷前述工件之切割的前述工件之進刀位置，而重啟前述工件之切割。
若係本發明之線鋸之運轉重啟方法，由於藉由使固定磨料鋸線的磨料磨耗，而能在工件與鋸線之間形成出間隙，所以容易將鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，能於鋸線往進刀位置設置時抑制鋸線斷線。
又，此時宜於將前述固定磨料鋸線的芯線之直徑定為R、新線即前述固定磨料鋸線之直徑定為R1、已使前述磨料磨耗後的鋸線之直徑定為R2時，將前述R2滿足R≦R2≦R+（R1-R）x0.1的已使前述磨料磨耗的前述固定磨料鋸線，配置在中斷前述工件之切割的前述工件之進刀位置，而重啟前述工件之切割。
依據此種方法，由於藉由使固定磨料鋸線的磨料磨耗，能在工件與鋸線之間形成出間隙，所以更加容易使鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，更加能抑制鋸線斷線。將鋸線列配置在斷線時的工件進刀位置時，不會與工件接觸而發生牽扯，能抑制工件之切割面產生鋸痕、損及Warp品質等等。
又，此時宜為將與前述R2不同的前述固定磨料鋸線之已使前述磨料磨耗後的鋸線直徑定為R3時，將以R3滿足R2＜R3≦R2+（R1-R）x0.5的已使前述磨料磨耗的前述固定磨料鋸線，配置在滿足R2的已使前述磨料磨耗的前述固定磨料鋸線與供給的新線之間的位置，而重啟前述工件之切割。
依據此種方法，由於藉由使固定磨料鋸線的磨料磨耗，能在工件與鋸線之間形成出間隙，所以在鋸線往進刀位置設置時，更加容易使鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，更加能抑制鋸線斷線。於將鋸線列配置在斷線時的工件進刀位置時，不會與工件接觸而發生牽扯，抑制工件之切割面產生鋸痕、損及Warp品質等等。並且，因為鋸線直徑的變化較小，進刀時給予鋸線的負荷不會急遽增大，所以能一併防止切割重啟時的斷線。
又，此時宜將磨石相對地推抵至前述固定磨料鋸線來使前述磨料磨耗。
依據此種方法，能有效地去除固定磨料鋸線表面的固定磨料，更加容易使鋸線回到工件之切割位置。因此，更加容易控制鋸線直徑，俾使運轉重啟時不發生再次斷線，能進一步抑制鋸線牽扯工件而產生鋸痕、損及工件品質、發生鋸線斷線等等。
又，此時前述磨石宜使用WA（White Alundum，白剛鋁石）磨石。
此種磨石，能有效地去除固定磨料鋸線表面的固定磨料，更加容易使鋸線回到工件之切割位置。因此，更加容易控制鋸線直徑，俾使運轉重啟時不會發生再次斷線，能進一步抑制工件牽扯鋸線而產生鋸痕、損及工件品質、發生鋸線斷線等等。 （發明之效果）
如以上所述，因為藉由使固定磨料鋸線的磨料磨耗，能在工件與鋸線之間形成出間隙，所以更加容易使鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，於鋸線往進刀位置設置時更加能抑制鋸線斷線。於將鋸線列配置在斷線時的工件進刀位置時，不會與工件接觸而發生牽扯，能抑制工件之切割面產生鋸痕、損及Warp品質等等。並且，因為鋸線直徑的變化較小，進刀時給予鋸線的負荷不會急遽增大，所以能一併防止切割重啟時的斷線。
（實施發明之較佳形態）
以下詳細說明本發明，但本發明並非限定於此。
如上所述，使用固定磨料的線鋸之情形，由於固定磨料鋸線402與工件W之間不產生間隙，所以將鋸線往進刀位置設置時，難以使鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，因此尋求不會發生鋸線斷線之方法。
本案發明人特意反覆檢討上述問題之結果，發現一種線鋸之運轉重啟方法能在鋸線往進刀位置設置時抑制鋸線斷線發生，而完成本發明，其係在藉由將表面固著有磨料的固定磨料鋸線繞掛在多槽滾筒來形成鋸線列，使前述固定磨料鋸線沿軸向來回行進，並且將工件相對地推抵至前述鋸線列來進刀，將前述工件加以切割成晶圓狀的線鋸之運轉中，將前述工件之切割在前述工件的半途一度中斷之後，重啟前述工件之切割之情形的運轉重啟方法，其特徵在於，將已使前述磨料磨耗的前述固定磨料鋸線，配置在中斷前述工件之切割的前述工件之進刀位置。
以下，參照圖式來說明。
在使用遊離磨料型的線鋸之情形，如圖4（a）所示，因為在鋸線202與工件W之間形成出遊離磨料G寬度大小的間隙（Clearance），所以比較容易使鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，而將鋸線列配置在斷線時的工件進刀位置。然而，使用上述固定磨料型的線鋸之情形，則如圖4（b）所示，由於在固定磨料鋸線402與工件W之間不產生間隙，所以能以使鋸線的各列對應卡合至工件的各切口。
所以，本案發明人發現一種線鋸之運轉重啟方法，係於將表面固著有磨料的固定磨料鋸線繞掛在多槽滾筒來形成鋸線列，使前述固定磨料鋸線沿軸向來回行進，並且將工件相對地推抵至前述鋸線列來進刀，而將前述工件加以切割成晶圓狀的線鋸之運轉中，於將前述工件之切割在前述工件的半途一度中斷之後，重啟前述工件之切割之情形的運轉重啟方法，其特徵在於，將已使前述磨料磨耗的前述固定磨料鋸線，配置在中斷前述工件之切割的前述工件之進刀位置，而重啟前述工件之切割。
若係本發明之線鋸之運轉重啟方法，因為藉由使固定磨料鋸線的磨料磨耗而在工件與鋸線之間形成出間隙，所以容易將鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，而且能在鋸線往進刀位置設置時抑制鋸線斷線。
又，本案發明人發現，於將固定磨料鋸線的芯線之直徑定為R、新線即固定磨料鋸線的直徑定為R1、使磨料磨耗後的鋸線之直徑定為R2時，藉由將R2滿足R≦R2≦R+（R1-R）x0.1的已使磨料磨耗的固定磨料鋸線，配置在中斷工件之切割的工件之進刀位置，能進一步抑制鋸線斷線。而且，不會與工件接觸而發生牽扯，能抑制工件之切割面產生鋸痕、損及Warp品質等等。
又，在進一步調查中得知：直到配置在工件進刀位置為止均無問題，但有時運轉重啟後立即再次發生斷線。
調查斷線之處後得知：係在已使固定磨料鋸線的直徑磨耗成滿足R2的部分，與新線之邊界附近穿過工件之中的時序發生斷線。由此，本案發明人推測，已使固定磨料鋸線磨耗之處與新線，在鋸線直徑大幅不同之情形，其落差部分的前後給予工件的進刀變大，給予鋸線的負荷急遽增大而發生斷線。
所以，本案發明人發現一種線鋸之運轉重啟方法來作為防止運轉重啟時再次斷線的方法，其係於將與R2不同之使固定磨料鋸線的磨料磨耗之後的鋸線直徑定為R3時，以R3滿足R2＜R3≦R2+（R1-R）x0.5的已使磨料磨耗的固定磨料鋸線，配置在滿足R2的已使磨料磨耗的固定磨料鋸線與供給的新線之間的位置，而重啟工件之切割。
依據此種方法，由於鋸線行進穿過工件中時，鋸線直徑以R2=＞R3=＞新線的順序變大，所以鋸線直徑的變化小於以R2=＞新線的順序來卡合之情形，進刀時給予鋸線的負荷不會急遽增大，能防止鋸線斷線。
又，宜為了使固定磨料鋸線磨耗，而將磨石相對地推抵至固定磨料鋸線。又，磨石宜使用WA（White Alundum，白剛鋁石）磨石。
若係此種運轉重啟方法，能有效地去除固定磨料鋸線表面的固定磨料，更加容易使鋸線回到工件之切割位置，而且，能容易地控制鋸線直徑，俾使往進刀位置設置鋸線時還有運轉重啟時不發生再次斷線。 [實施例]
以下，藉由本發明之實施例及比較例來具體說明本發明，但本發明並非限定於此。
使用如圖1所示的線鋸，以表1的共通條件來開始圓柱狀的工件之切割，在半途將切割加以中斷。其後，使鋸線脫離工件切口，並將鋸線往回收側捲軸捲送直到鋸線的未使用部分來到工件的位置。
[表1]
鋸線 芯線徑 0.140mm
鑽石粒徑 10-20μm
鋸線外徑 0.174mm
磨料固附方法 鎳電鍍附
工件 直徑 301mm
長度 300mm
切割時的鋸線行進條件 鋸線張力 25N
鋸線行進速度 最高1500m/min.
鋸線前進量 2114m
鋸線後退量 2086m
鋸線使用量 9000m
切割時的工件進給條件 工件進給速度 0.32mm/min
進刀深度 310mm
冷卻水 液種 水+二元醇混合物
冷卻液流量 約150L/min.
冷卻液溫度 23℃
（實施例1） 嘗試使用表2的磨石，將使鋸線磨耗成表3的各條件後，使至鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，而將鋸線列配置在切割中斷時的工件進刀位置。
[表2]
磨石 種類 WA
號數 #200
[表3]
  鋸線芯線徑R 鋸線直徑R1 R+（R1-R）x0.1 磨耗後的鋸線直徑R2
條件1 0.14mm 0.174mm 0.1434mm 0.155mm
條件2 0.145mm
條件3 0.143mm
條件4 0.141mm
條件5 0.140mm
（比較例） 嘗試不使鋸線磨耗，並將鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，而將鋸線列配置在工件之切割中斷時的工件進刀位置。
進行實施例1與比較例之結果，如表4所示，在比較例中發生鋸痕還有鋸線斷線。關於實施例1，任何條件下均不發生鋸線斷線，滿足「R≦R2≦R+（R1-R）ⅹ0.1」的條件3～5則不產生鋸痕亦不發生鋸線斷線。
[表4]
  比較例 實施例1
條件1 條件2 條件3 條件4 條件5
鋸痕發生 有 有 有 無 無 無
往切口位置配置時鋸線斷線 有 無 無 無 無 無
（實施例2） 使用表2的磨石，使鋸線磨耗成表5的各條件，並將鋸線的各列對應卡合至工件的各切口，而將鋸線列配置在工件之切割中斷時的工件進刀位置，並重啟切割。
[表5]
  鋸線磨耗處理前 鋸線磨耗處理後
  芯線徑R 直徑R1 直徑R2 R2+（R1-R）x0.5 直徑R3
條件1 0.14mm 0.174mm 0.143mm 0.16mm 0.174mm
條件2 0.165mm
條件3 0.16mm
條件4 0.155mm
條件5 0.15mm
實施例2的結果，如表6所示，在滿足「R2＜R3≦R2+（R1-R）x0.5」的條件3～5下，不發生運轉重啟時的斷線。
[表6]
  實施例
條件1 條件2 條件3 條件4 條件5
運轉重啟時的斷線 有 有 無 無 無
另，本發明並非限定於上述實施形態。上述實施形態係例示，與本發明之申請專利範圍所記載的技術的思想具有實質上相同構成、發揮同樣作用效果者，均包含在本發明之技術範圍。
101:線鋸(固定磨料型) 103:有槽滾筒 104,104’:張力調整機構 105:將工件向下進給之機構 106:冷卻液供給機構 107,107’:鋸線捲軸 108,108’:導線器 109,109’:滑輪 110:有槽滾筒驅動馬達 111,111’:鋸線捲軸驅動馬達 112:工件固持部 113:工件板 114:工件固持機制 120:接合構件(樑) 201:線鋸(遊離磨料型) 202:鋸線(高張力鋼線) 206:切割液供給機構 402:固定磨料鋸線 W:工件 G:磨料
圖1係顯示固定磨料型的線鋸的一例。 圖2係顯示遊離磨料型的線鋸的一例。 圖3係顯示將工件向下進給之機構。 圖4（a）、（b）係顯示為了重啟工件之切割而將鋸線配置在工件進刀位置之際的工件與鋸線之剖視圖。
101:線鋸(固定磨料型)
103:有槽滾筒
104,104’:張力調整機構
105:將工件向下進給之機構
106:冷卻液供給機構
107,107’:鋸線捲軸
108,108’:導線器
109,109’:滑輪
110:有槽滾筒驅動馬達
111,111’:鋸線捲軸驅動馬達
402:固定磨料鋸線
W:工件

Claims (5)

  1. 一種線鋸之運轉重啟方法，係在將表面固著有磨料的固定磨料鋸線繞掛在多槽滾筒來形成鋸線列，使該固定磨料鋸線沿軸向來回行進，並且將工件相對地推抵至該鋸線列來進刀，而將該工件加以切割成晶圓狀的線鋸之運轉中， 當該工件之切割在該工件的半途一度中斷之後，重啟該工件之切割之情形的運轉重啟方法，其特徵在於， 將已使該磨料磨耗的該固定磨料鋸線，配置在該工件之切割中斷的該工件之進刀位置，而重啟該工件之切割。
  2. 如請求項1之線鋸之運轉重啟方法，其中，在將該固定磨料鋸線的芯線之直徑定為R、將新線即該固定磨料鋸線之直徑定為R1、已使該磨料磨耗之後的鋸線之直徑定為R2時，將該R2滿足R≦R2≦R+（R1-R）x0.1的已使該磨料磨耗的該固定磨料鋸線，配置在該工件之切割中斷的該工件之進刀位置，而重啟該工件之切割。
  3. 如請求項2之線鋸之運轉重啟方法，其中，將與該R2不同之已使該固定磨料鋸線之該磨料磨耗後的鋸線直徑定為R3時，將該R3滿足R2＜R3≦R2+（R1-R）x0.5的已使該磨料磨耗的該固定磨料鋸線，配置在滿足R2的已使該磨料磨耗的該固定磨料鋸線與供給的新線之間的位置，而重啟該工件之切割。
  4. 如請求項1至3其中任一項之線鋸之運轉重啟方法，其中，將磨石相對地推抵至該固定磨料鋸線來使該磨料磨耗。
  5. 如請求項4之線鋸之運轉重啟方法，其中，使用WA（White Alundum，白剛鋁石）磨石作為該磨石。
TW109136777A 2019-12-10 2020-10-23 線鋸之運轉重啟方法 TW202126452A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019223232A JP7226286B2 (ja) 2019-12-10 2019-12-10 ワイヤソーの運転再開方法
JP2019-223232 2019-12-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW202126452A true TW202126452A (zh) 2021-07-16

Family

ID=76234610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109136777A TW202126452A (zh) 2019-12-10 2020-10-23 線鋸之運轉重啟方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7226286B2 (zh)
KR (1) KR20210073450A (zh)
CN (1) CN112936626A (zh)
TW (1) TW202126452A (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116494402B (zh) * 2023-06-27 2024-02-02 江苏京创先进电子科技有限公司 晶圆环切方法及***
CN117140315B (zh) * 2023-10-30 2024-01-30 四川盛杰机电设备有限责任公司 一种无槽线轮控制***及其切割设备

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3656317B2 (ja) 1996-03-27 2005-06-08 信越半導体株式会社 ワイヤソーによるワーク切断方法及び装置
JP6080753B2 (ja) 2013-12-13 2017-02-15 信越半導体株式会社 ワイヤソーの運転再開方法
DE102016211883B4 (de) 2016-06-30 2018-02-08 Siltronic Ag Verfahren und Vorrichtung zur Wiederaufnahme des Drahtsägeprozesses eines Werkstückes nach einer unplanmäßigen Unterbrechung

Also Published As

Publication number Publication date
JP7226286B2 (ja) 2023-02-21
CN112936626A (zh) 2021-06-11
KR20210073450A (ko) 2021-06-18
JP2021091044A (ja) 2021-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI711505B (zh) 工件的切斷方法及線鋸
US9776340B2 (en) Method for slicing ingot and wire saw
TW202126452A (zh) 線鋸之運轉重啟方法
TWI753128B (zh) 工件的切斷方法
KR102100839B1 (ko) 워크의 절단방법
TW202035090A (zh) 工件之切斷方法及線鋸
CN110545957B (zh) 工件的切断方法及接合部件
TW202042998A (zh) 工件之切斷方法及線鋸
WO2023112490A1 (ja) ワークの切断方法及びワイヤソー
TW201738022A (zh) 線鋸裝置的製造方法及線鋸裝置