TW201727158A - 空氣調和裝置 - Google Patents

空氣調和裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW201727158A
TW201727158A TW106106518A TW106106518A TW201727158A TW 201727158 A TW201727158 A TW 201727158A TW 106106518 A TW106106518 A TW 106106518A TW 106106518 A TW106106518 A TW 106106518A TW 201727158 A TW201727158 A TW 201727158A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
flow path
air
temperature
disposed
cooling
Prior art date
Application number
TW106106518A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI619914B (zh
Inventor
Kenji Nishimura
Isamu Sasaki
Yosuke Ikeda
Original Assignee
Shinwa Controls Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinwa Controls Co Ltd filed Critical Shinwa Controls Co Ltd
Publication of TW201727158A publication Critical patent/TW201727158A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI619914B publication Critical patent/TWI619914B/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates
    • F24F13/10—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates movable, e.g. dampers
    • F24F13/12—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates movable, e.g. dampers built up of sliding members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00—Control or safety arrangements
    • F24F11/70—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof
    • F24F11/72—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00—Control or safety arrangements
    • F24F11/70—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof
    • F24F11/80—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the temperature of the supplied air
    • F24F11/81—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the temperature of the supplied air by controlling the air supply to heat-exchangers or bypass channels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/02—Ducting arrangements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates
    • F24F13/10—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates movable, e.g. dampers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
    • F24F3/153—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification with subsequent heating, i.e. with the air, given the required humidity in the central station, passing a heating element to achieve the required temperature
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
    • F24F6/02—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by evaporation of water in the air
    • F24F6/025—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by evaporation of water in the air using electrical heating means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F2110/00—Control inputs relating to air properties
    • F24F2110/10—Temperature
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F2110/00—Control inputs relating to air properties
    • F24F2110/20—Humidity

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Air Conditioning Control Device (AREA)
  • Central Air Conditioning (AREA)

Abstract

在空氣調和裝置中，除了溫度之外，亦有著要求對於濕度進行嚴格控制的傾向。空氣調和裝置(1)，具備：具有設有將溫度控制對象的空氣取入的取入口(21)的上游側流路部(10U)及設有將溫度控制對象的空氣吐出的吐出口(22)的下游側流路部(10D)的導管(10)、及被配置於導管(10)的上游側流路部(10U)內且將溫度控制對象的空氣冷卻的冷卻部(31)、及被配置於導管(10)的下游側流路部(10D)內且將溫度控制對象的空氣加熱的加熱部(41)、及設在吐出口(22)的下游側，從取入口(21)朝吐出口(22)將空氣流通的送風機(50)、及被配置於下游側流路部(10D)內的加濕器(70)。加濕器(70)，具有：朝向上方開放將水貯留的貯留槽(71)、及將貯留槽(71)內的水加熱的加熱器(72)、及將貯留槽(71)從上方覆蓋的蓋(73)。在蓋(72)中，朝上下方向貫通的開口部(74)是部分地被設置。加濕器(70)，是被配置於加熱部(41)的下游側，加熱部(41)、加濕器(70)及送風機(50)，是在水平方向並列。開口部(74)，是被設置在比蓋(73)的送風機(50)側的端部更加熱部(41)側的位置。

Description

空氣調和裝置
本發明，是有關於空氣調和裝置。
例如藉由光刻而形成半導體的電路圖型時，使用：旋轉塗佈機等的感光耐蝕膜的塗抹裝置、在感光耐蝕膜將光曝光的曝光裝置、將被光曝光的感光耐蝕膜顯像的顯像裝置、將藉由顯像而形成的光阻圖型作為遮罩將基板蝕刻的蝕刻裝置等。這種被設置各種裝置的清淨室和各種裝置的內部空間的溫度，是嚴格要求被控制在所期的溫度，此溫度控制，一般是藉由空氣調和裝置進行。
可對應清淨室等的溫度控制的空氣調和裝置，以往已被提案各種的裝置。在例如專利文獻1中，揭示了本案申請人的空氣調和裝置。
[習知技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2013-108652號公報
專利文獻1的空氣調和裝置，是將取入的空氣冷卻，藉由加熱及加濕來控制在所期的溫度及濕度，供給至使用領域。且，此空氣調和裝置，是具備將取入的空氣分岐成主流及副流的導管，在此導管中，在主流流通的流路部分配置有冷卻手段。另一方面，在副流流通的流路部分中被配置有流量調節構件，該流路部分是由冷卻手段的下游側與主流的流路部分連接。由此，藉由流路調節構件將冷卻所必要的流量分的空氣供給至冷卻手段進行冷卻，可以達成節能化。
但是在此空氣調和裝置中，因為導管中的主流的流路部分及副流的流路部分是彼此獨立地構成，且被設置冷卻手段、加熱手段、加濕手段等的比較多的構件，所以具有裝置整體大型化的課題。
且最近，在半導體製造設備所使用的這種的空氣調和裝置中，除了溫度以外，對於濕度也有要求嚴格控制的傾向。尤其是，在使用於光刻的感光耐蝕膜的塗抹裝置中，感光耐蝕膜不是只有溫度因為也因濕度而使特性大大地變化，所以濕度控制的精度提高被強力要求。
本發明的空氣調和裝置，具備：導管，具 有：設有將溫度控制對象的空氣取入的取入口的上游側流路部、及設有將前述溫度控制對象的空氣吐出的吐出口的下游側流路部；及被配置於前述導管的前述上游側流路部內，將前述溫度控制對象的空氣冷卻的冷卻部；及被配置於前述導管的前述下游側流路部內，將前述溫度控制對象的空氣加熱的加熱部；及設在前述吐出口的下游側，從前述取入口朝前述吐出口將前述溫度控制對象的空氣流通的送風機；及被配置於前述下游側流路部內的加濕器；前述加濕器，具有：朝向上方開放將水貯留的貯留槽、及將前述貯留槽內的水加熱的加熱器、及將前述貯留槽從上方覆蓋的蓋，在前述蓋中，朝上下方向貫通的開口部是部分地設置，前述加濕器，是被配置於前述加熱部的下游側，前述加熱部、前述加濕器及前述送風機，是在水平方向並列，前述開口部，是設在比前述蓋的前述送風機側的端部更前述加熱部側的位置。
在前述開口部的周緣中，設有朝前述貯留槽的底部側突出並且橫跨前述周緣的至少一部分延伸的圍繞部也可以。
前述開口部，是其面積為從俯視看的前述蓋的整體的面積的20%~60%的單一的開口部較佳。
1‧‧‧空氣調和裝置
10‧‧‧導管
10U‧‧‧上游側流路部
10D‧‧‧下游側流路部
11‧‧‧分隔板
12‧‧‧流量調節構件
21‧‧‧取入口
22‧‧‧吐出口
30‧‧‧冷卻管路
31‧‧‧冷卻部
32‧‧‧壓縮機
33‧‧‧凝縮器
34‧‧‧膨脹閥
41‧‧‧加熱部
50‧‧‧送風機
51‧‧‧連接流路
60‧‧‧控制部
70‧‧‧加濕器
71‧‧‧貯留槽
72‧‧‧加熱器
73‧‧‧蓋
74‧‧‧開口部
75‧‧‧供給槽
76‧‧‧圍繞部
81‧‧‧環境溫度感測器
82‧‧‧環境濕度感測器
83‧‧‧冷卻溫度感測器
84‧‧‧來源溫度感測器
85‧‧‧來源濕度感測器
86‧‧‧使用溫度感測器
87‧‧‧使用濕度感測器
S1‧‧‧主流用流路
S2‧‧‧副流用流路
[第1圖]本發明的一實施例的空氣調和裝置的概略 圖。
[第2圖]顯示設於第1圖所示的空氣調和裝置的導管的上游側流路部的圖。
[第3圖](A)、(B)，是說明將設在第2圖所示的導管的上游側流路部的流量調節構件的位置變更的樣子的圖。
[第4圖]顯示設於第1圖所示的空氣調和裝置的加濕器的側剖面及送風機的圖。
[第5圖]第4圖所示的加濕器的主要部分的放大圖。
[第6圖]顯示一般的加濕器的圖。
以下，參照添付的圖面，詳細說明本發明的一實施例。第1圖，是本發明的一實施例的空氣調和裝置1的概略圖。空氣調和裝置1，是例如用於，對於進行感光耐蝕膜的塗抹的塗抹裝置，供給被溫度控制的空氣，將裝置內溫度一定地維持。
如第1圖所示，本實施例的空氣調和裝置1，具備：具有設有將溫度控制對象的空氣取入的取入口21的上游側流路部10U及設有將溫度控制對象的空氣吐出的吐出口22的下游側流路部10D的導管10；及被配置於上游側流路部10U內，將溫度控制對象的空氣冷卻的冷卻部31；及被配置於下游側流路部10D內，將溫度控制對象的空氣加熱的加熱部41；及設在吐出口22的下游側，從取入口21朝吐出口22將溫度控制對象的空氣流通的送風機 50；及將冷卻部31及加熱部41等控制的控制部60。
在第1圖中，複數的箭頭A，是顯示空氣的流動。如箭頭A所示，在此空氣調和裝置1中，藉由送風機50的驅動，從導管10的取入口21取入的溫度控制對象的空氣通過上游側流路部10U及下游側流路部10D之後，從吐出口22被吐出。其後，來自吐出口22的空氣，是藉由送風機50透過連接流路51被供給至使用領域U。使用領域U，是進行例如塗抹感光耐蝕膜用的塗抹裝置(塗抹機等)的內部空間等。
在此空氣調和裝置1中，如上述流通的空氣，是藉由冷卻部31被冷卻並且藉由加熱部41被加熱，使用領域U的溫度是朝向預先被設定的目標使用溫度被控制。且，在本實施例中，在下游側流路部10D中的加熱部41的下游側設有加濕器70，溫度控制對象的空氣，也朝向預先被設定的目標使用濕度被控制。控制部60，是控制：冷卻部31的冷卻能力、加熱部41的加熱能力及加濕器70的加濕量，讓使用領域U成為所期的溫度及濕度。
冷卻部31，是與壓縮機32、凝縮器33及膨脹閥34協動，構成冷卻管路30。冷卻管路30，是使熱媒體在冷卻部31、壓縮機32、凝縮器33及膨脹閥34循環的方式由該順序藉由配管35連接地構成。冷卻部31，是冷卻線圈，讓來自膨脹閥34的低溫的熱媒體流通，朝壓縮機32流出。
壓縮機32，是將從冷卻部31流出的低溫且低 壓的氣體的狀態的熱媒體壓縮，成為高溫(例如80℃)且高壓的氣體的狀態，供給至凝縮器33。壓縮機32，是由可變運轉頻率被運轉且可對應運轉頻率將旋轉數調節的變頻壓縮機。在壓縮機32中，運轉頻率愈高，愈多的熱媒體被供給至凝縮器33。壓縮機32，是採用渦卷型壓縮機較佳。但是，可藉由由變頻器所產生的運轉頻率的調節將旋轉數調節將熱媒體的供給量(流量)調節的話，壓縮機32的形式無特別限定。
凝縮器33，是將由壓縮機32被壓縮的熱媒體藉由冷卻水冷卻並且凝縮，成為規定的冷卻溫度(例如40°C)的高壓的液體的狀態，供給至膨脹閥34。在凝縮器33的冷卻水中，使用水也可以，使用其他的冷媒也可以。且，膨脹閥34，是藉由將從凝縮器33被供給的熱媒體膨脹使減壓，成為低溫(例如2℃)且低壓的氣液混合狀態，供給至冷卻部31。冷卻部31，是將被供給的熱媒體與溫度控制對象的空氣熱交換將空氣冷卻。與空氣熱交換的熱媒體，是成為低溫且低壓的氣體的狀態從冷卻部31流出再度由壓縮機32被壓縮。
在此冷卻管路30中，藉由將壓縮機32的運轉頻率變化將旋轉數調節，可調節被供給至凝縮器33的熱媒體的供給量，並且藉由可調節膨脹閥34的開度，成為可調節被供給至冷卻部31的熱媒體的供給量。藉由這種調節使冷卻能力成為可變。
另一方面，加熱部41，是例如電氣加熱器。 更具體而言，加熱部41，可採用：電熱管或是鰭片加熱器、或是由這些的組合所構成的電氣加熱器等。
在本實施例中的導管10中，上游側流路部10U及下游側流路部10D是形成L字狀的方式被結合。在此例中，上游側流路部10U是沿著上下方向延伸地配置，下游側流路部10D是沿著水平方向延伸地配置。又，導管10的形狀不限定於L字狀，即使形成例如直線狀也可以。
第2圖，是顯示導管10的上游側流路部10U的圖，本實施例中的導管10的上游側流路部10U，是具有將其內部空間分隔成主流用流路S1及副流用流路S2的分隔板11，冷卻部31，是被配置於主流用流路S1。在此，在上游側流路部10U中，設有：將副流用流路S2的至少一部分覆蓋，將副流用流路S2的開口面積(流路面積)調節的流量調節構件12。本實施例中的流量調節構件12，是設在分隔板11，形成板狀。
本實施例中的流量調節構件12，是設在分隔板11，在上游側流路部10U內沿著對於溫度控制對象的空氣流動的方向交叉的方向延伸。在圖示的例中，溫度控制對象的空氣，是藉由上游側流路部10U是呈直線狀延伸且分隔板11也沿著上游側流路部10U朝直線狀延伸，在上游側流路部10U內的主流用流路S1及副流用流路S2的雙方呈直線狀流動。流量調節構件12，是如上述在上游側流路部10U內沿著對於空氣呈直線狀流動的方向(即 上游側流路部10U的延伸方向)垂直交叉的方向延伸的方式，被設在分隔板11。
在本實施例中，流量調節構件12，是從分隔板11的下游側的端部曲折彎曲的方式形成於該端部的固定板部11A，藉由螺栓13可裝卸地被固定。將此螺栓13取下將流量調節構件12的位置變更之後，或是準備與貫通螺栓13的螺栓孔的位置不同的其他的流量調節構件12之後，藉由螺栓13，再度將相同流量調節構件12或是其他的流量調節構件12固定於分隔板11，就可以調節副流用流路S2的開口面積。又，將相同流量調節構件12可變更位置地設在分隔板11的情況時，雖在流量調節構件12形成有複數螺栓孔，但是未貫通螺栓13的螺栓孔被關閉較佳。
第3圖(A)，是顯示使副流用流路S2的開口面積比第2圖所示的狀態更小的方式，將流量調節構件12的位置變更後的樣子。第3圖(B)，是顯示使副流用流路S2的開口面積比第2圖所示的狀態更大的方式，將流量調節構件12的位置變更後的樣子。在此例中，在第2圖、第3圖(A)、(B)中，顯示使用相同流量調節構件12的例。此情況，流量調節構件12的位置是朝減小副流用流路S2的開口面積的方向被變更時，主流用流路S1的開口面積變大。相反地，流量調節構件12的位置是朝加大副流用流路S2的開口面積的方向被變更時，主流用流路S1的開口面積變小。
在這種導管10中，將配置有冷卻部31的導管10的上游側流路部10U內藉由分隔板11分隔成主流用流路S1及副流用流路S2，藉由流量調節構件12來調節未被配置冷卻部31的副流用流路S2的開口面積，成為可調節冷卻的空氣及不冷卻的空氣的流量。且藉由對應冷卻的空氣的流量將冷卻部31的冷卻能力調節，可以達成節能化。又，本實施例中的流量調節構件12雖是板狀，但是可將副流用流路S2的開口面積調節的話，其形狀及構造不特別限定。例如，流量調節構件12是蝶形閥等也無妨。但是，如本實施例，流量調節構件12是由板狀設成分隔板11的情況時，因為其構造成為簡易，所以可以提高生產性。
接著說明加濕器70。第4圖是顯示本實施例中的加濕器70。加濕器70，具有：朝向上方開放將水W貯留的貯留槽71、及將貯留槽71內的水W加熱的加熱器72、及將貯留槽71從上方覆蓋的蓋73，在蓋73中，朝上下方向貫通的開口部74是部分地被設置。在第4圖中，符號75，是顯示與貯留槽71的側面連接的供給槽。貯留槽71及供給槽75，是藉由無圖示的連通路被連通。在加濕器70中，被供給至供給槽75的水是通過上述的連通路被供給至貯留槽71。
蓋73，是形成板状，將貯留槽71從上方覆蓋。第5圖，是顯示由第4圖的符號Z顯示的蓋73的主要部分的放大圖。如第5圖所示，在本實施例中，在開口 部74的周緣，設有朝貯留槽71的底部側突出並且橫跨前述周緣的全周延伸的圍繞部76。又，在此例中，圍繞部76是橫跨開口部74的周緣的全周延伸，但是圍繞部76是橫跨開口部74的周緣的一部分延伸的構成也可以。
且如第1圖及第4圖所示，在本實施例中，加熱部41、加濕器70及送風機50，是在水平方向並列。在此，開口部74，是被設在比蓋73的送風機50側的端部更加熱部41側的位置。且，圖示的開口部74，是其面積為從俯視看的蓋73的整體的面積的20%~60%的單一的開口部。「從俯視看的蓋73的整體的面積」，是從俯視看，被蓋73的外緣包圍的領域的面積的意思。本件發明人得知，開口部74，是成為面積為從俯視看的蓋73的整體的面積的上述的範圍的單一的開口部的情況時，可以提高加濕控制的精度，而將開口部74的面積設定於該範圍。又，開口部74的面積，是從俯視看的蓋73的整體的面積的35%~45%更佳。且，開口部74即使被複數設置也無妨。
在這種加濕器70中，藉由將貯留槽71，藉由形成有部分地開口部74的蓋73覆蓋，且藉由減小被曝露在貯留槽71內的水W的水面中的空氣的流動的部分，如第4圖所示，就可抑制水面被擾亂。對於此，第6圖，是顯示一般的加濕器，如此加濕器的貯留槽710朝上方整體的開放的情況時，貯留槽710內的水的水面因為是大曝露在空氣的流動，所以水面的擾亂變大。水面的擾亂大的情 況時，藉由水面的表面積增加，被供給至空氣的蒸氣會意外增加，具有減損加濕控制的穩定性的情況。對於此，依據本實施例的這種構成的話，藉由使貯留槽71內的水的水面的擾亂被抑制，可以提高加濕控制的精度。
接著說明控制部60。本實施例中的控制部60，是對應各種感測器的檢出值，將冷卻部31的冷卻能力、加熱部41的加熱能力及加濕器70的加濕量等控制。在本實施例中，在控制部60，連接有：環境溫度感測器81、環境濕度感測器82、冷卻溫度感測器83、來源溫度感測器84、來源濕度感測器85、使用溫度感測器86、及使用濕度感測器87。
環境溫度感測器81，是被配置於上游側流路部10U的副流用流路S2，檢出從取入口21被取入但未藉由冷卻部31被冷卻的空氣的溫度。環境濕度感測器82，是被配置於上游側流路部10U的副流用流路S2，檢出從取入口21被取入但未藉由冷卻部31被冷卻的空氣的濕度。冷卻溫度感測器83，是檢出：藉由冷卻部31被冷卻，由加熱部41加熱前的空氣的溫度。來源溫度感測器84，是被配置於藉由送風機50被吐出的空氣通過的連接流路51，檢出通過連接流路51的空氣的溫度。來源濕度感測器85，是被配置於連接流路51，檢出通過連接流路51的空氣的濕度。使用溫度感測器86，是被配置於使用領域U，檢出使用領域U內的空氣的溫度。使用濕度感測器87，是被配置於使用領域U，檢出使用領域U內的空 氣的濕度。
說明控制部60的具體的處理的話，本實施例中的控制部60，是依據環境溫度感測器81所檢出的環境溫度、環境濕度感測器82所檢出的環境濕度、風量(在本例中，對應送風機50的驅動狀態運算)、藉由流量調節構件12的設置狀態而決定的主流用流路S1及副流用流路S2的流量的比率、冷卻溫度感測器83所檢出的溫度等，運算冷卻溫度感測器83所檢出的溫度成為目標溫度的冷卻部31的冷卻能力，使成為此運算出的冷卻能力的方式將壓縮機32的運轉頻率控制。且，本實施例中的控制部60，也成為使冷卻管路30內的熱媒體被維持在一定的壓力的方式將膨脹閥34的開度，透過脈衝轉換器52控制。如此熱媒體的壓力是藉由被一定地維持，使冷卻部31的冷卻能力穩定。
且控制部60，是依據使用溫度感測器86所檢出的溫度及在使用領域U預先被設定的目標使用溫度的差分、及使用濕度感測器87所檢出的濕度及在使用領域U預先被設定的目標使用濕度的差分，設定通過連接流路51的溫度控制對象的空氣的目標來源溫度及目標來源濕度。且控制部60，是依據來源溫度感測器84所檢出的溫度及前述目標來源溫度的差分、及來源濕度感測器85所檢出的濕度及前述目標濕度的差分，運算將來源溫度感測器84所檢出的溫度與前述目標來源溫度一致用的加熱部41的加熱能力，使成為此被運算出的加熱能力的方式將 加熱部41控制，並且運算將來源濕度感測器85所檢出的濕度與前述目標來源濕度一致用的加濕器70的加濕量，使成為此被運算出的加濕量的方式將加濕器70控制。
接著，說明本實施例的空氣調和裝置1的動作。
在空氣調和裝置1中，首先，在控制部60中，被輸入：使用領域U的目標溫度也就是目標使用溫度、及使用領域U的目標濕度也就是目標使用濕度。且，藉由送風機50被驅動，使導管10內的空氣朝吐出口22側流動，從導管10的取入口21取入溫度控制對象的空氣。進一步，冷卻管路30的壓縮機32也被驅動。
從導管10的取入口21取入的空氣，是對應藉由流量調節構件12的設置狀態而決定的主流用流路S1及副流用流路S2的流量的比率，流動於主流用流路S1及副流用流路S2。主流用流路S1及副流用流路S2的流量的比率，是對應空氣調和裝置1所使用的環境被選擇的方式被設定。具體而言，此比率，是設定成：可以對應空氣調和裝置1所使用的環境將由冷卻部31所產生的冷卻能力儘可能地抑制的值，可達成節能化的值。
例如，空氣調和裝置1所使用的環境的溫度是比較低溫的情況時，使在副流用流路S2流通的空氣比在主流用流路S1流通的空氣更多的方式，將副流用流路S2的開口面積比較大地設定較佳。由此，將藉由冷卻部31被冷卻的空氣量減少，抑制由冷卻部31所產生的冷卻 能力，可以達成節能化。另一方面，空氣調和裝置1所使用的環境的溫度是比較高溫的情況時，雖可使流通副流用流路S2的空氣比流通主流用流路S1的空氣更少的方式，將副流用流路S2的開口面積比較小地設定，但關閉較佳。由此，有必要將取入的空氣的溫度大幅下降的情況時，可以將空氣有效率地冷卻。
且流通主流用流路S1的空氣是藉由冷卻部31被冷卻，在冷卻隨後，藉由冷卻溫度感測器83將溫度檢出。另一方面，流通於副流用流路S2的空氣，是在不被任何溫度控制，且在通過了副流用流路S2之後，與被冷卻的通過了主流用流路S1的空氣合流。其後，被合流的空氣，是藉由加熱部41被加熱之後，藉由加濕器70被加濕，最終至使用領域U。此時，藉由加濕器70被加濕後的空氣，是藉由來源溫度感測器84將溫度檢出，藉由來源濕度感測器85將濕度檢出。且，到達使用領域U的空氣，是藉由使用溫度感測器86將溫度檢出，藉由使用濕度感測器87將濕度檢出。且，控制部60，是藉由依據各種感測器進行控制，來控制使用領域U的溫度及濕度，朝向被設定的目標使用溫度及目標使用濕度。
依據以上說明的本實施例的空氣調和裝置1的話，將配置有冷卻部31的導管10的上游側流路部10U內藉由分隔板11分隔成主流用流路S1及副流用流路S2，藉由流量調節構件12來調節未被配置冷卻部31的副流用流路S2的開口面積，不需將導管10大型化，就可調 節冷卻的空氣及不冷卻的空氣的流量。且藉由對應冷卻的空氣的流量將冷卻部31的冷卻能力調節，可以達成節能化。由此，藉由作成可將冷卻的空氣及不冷卻的空氣的流量調節的導管10等的構件，不會將裝置整體大型化，且可以達成節能化。
且流量調節構件12，因為是可裝卸地被設置，所以可以將冷卻的空氣及不冷卻的空氣的流量靈活地調節。且，因為流量調節構件12是被設置在分隔板11，所以與將流量調節構件12直接地設置在導管10的情況時相比較，因為可以將流量調節構件12的設置構造簡化，所以可以提高生產性。尤其是，因為流量調節構件12，是形成板状，流量調節構件12，是設在分隔板11，在上游側流路部10U內朝對於溫度控制對象的空氣流動的方向交叉的方向延伸，所以可以將流量調節構件12的設置構造非常簡化，可以將生產性有效地提高。
且因為上游側流路部10U及下游側流路部10D，是形成L字狀的方式被結合，所以與上游側流路部及下游側流路部是呈直線狀結合的情況時相比較，容易將裝置整體小型化。
且空氣調和裝置1，是進一步具備：設在吐出口22的下游側且從取入口21朝吐出口22將溫度控制對象的空氣流通的送風機50、及被配置於下游側流路部10D內的加濕器70。加濕器70，具有：朝向上方開放將水貯留的貯留槽71、及將貯留槽71內的水加熱的加熱器72、 及將貯留槽71從上方覆蓋的蓋73，在蓋73中，朝上下方向貫通的開口部74是部分地被設置。由此，因為可抑制因通過加濕器70的空氣的影響使貯留槽71內的水的水面被擾亂，所以可以提高加濕控制的精度。
進一步，在開口部74的周緣中，設有朝貯留槽71的底部側突出並且橫跨前述周緣的至少一部分延伸的圍繞部76。由此，如第5圖所示，即使水滴Wa是附著在開口部74的周緣，也容易藉由伴隨水滴Wa成長的自重朝圍繞部76被導引而返回至貯留槽71側。由此，藉由抑制附著在開口部74的周緣的水滴由空氣的影響朝導管10側飛散，可以提高加濕控制的精度。
且加濕器70，是被配置於加熱部41的下游側，加熱部41、加濕器70及送風機50，是在水平方向並列，開口部74，是被設在比蓋73的送風機50側的端部更加熱部41側的位置。送風機50的附近容易發生渦流，但是依據此構成的話，因為開口部74遠離渦流容易發生領域，所以可抑制因渦流的影響所導致的加濕控制被擾亂。由此可以提高加濕控制的精度。
以上，雖說明了本發明的一實施例，但是本發明不限定於上述的實施例。
A‧‧‧箭頭
S1‧‧‧主流用流路
S2‧‧‧副流用流路
U‧‧‧使用領域
1‧‧‧空氣調和裝置
10‧‧‧導管
10D‧‧‧下游側流路部
10U‧‧‧上游側流路部
21‧‧‧取入口
30‧‧‧冷卻管路
31‧‧‧冷卻部
32‧‧‧壓縮機
33‧‧‧凝縮器
34‧‧‧膨脹閥
35‧‧‧配管
41‧‧‧加熱部
51‧‧‧連接流路
52‧‧‧脈衝轉換器(操作員；批發商)
60‧‧‧控制部
81‧‧‧環境溫度感測器
82‧‧‧環境濕度感測器
83‧‧‧冷卻溫度感測器
84‧‧‧來源溫度感測器
85‧‧‧來源濕度感測器
86‧‧‧使用溫度感測器
87‧‧‧使用濕度感測器

Claims (3)

  1. 一種空氣調和裝置，具備：導管，具有：設有將溫度控制對象的空氣取入的取入口的上游側流路部、及設有將前述溫度控制對象的空氣吐出的吐出口的下游側流路部；及被配置於前述導管的前述上游側流路部內，將前述溫度控制對象的空氣冷卻的冷卻部；及被配置於前述導管的前述下游側流路部內，將前述溫度控制對象的空氣加熱的加熱部；及設在前述吐出口的下游側，從前述取入口朝前述吐出口將前述溫度控制對象的空氣流通的送風機；及被配置於前述下游側流路部內的加濕器；前述加濕器，具有：朝向上方開放將水貯留的貯留槽、及將前述貯留槽內的水加熱的加熱器、及將前述貯留槽從上方覆蓋的蓋，在前述蓋中，朝上下方向貫通的開口部是部分地被設置，前述加濕器，是被配置於前述加熱部的下游側，前述加熱部、前述加濕器及前述送風機，是在水平方向並列，前述開口部，是被設置在比前述蓋的前述送風機側的端部更前述加熱部側的位置。
  2. 如申請專利範圍第1項的空氣調和裝置，其中，在前述開口部的周緣中，設有朝前述貯留槽的底部側突出並且橫跨前述周緣的至少一部分延伸的圍繞部。
  3. 如申請專利範圍第1或2項的空氣調和裝置，其中，前述開口部，是其面積為從俯視看的前述蓋的整體的面積的20%~60%的單一的開口部。
TW106106518A 2015-09-07 2016-09-06 空氣調和裝置 TWI619914B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015176025 2015-09-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201727158A true TW201727158A (zh) 2017-08-01
TWI619914B TWI619914B (zh) 2018-04-01

Family

ID=58239761

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106106518A TWI619914B (zh) 2015-09-07 2016-09-06 空氣調和裝置
TW105128798A TWI619913B (zh) 2015-09-07 2016-09-06 空氣調和裝置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105128798A TWI619913B (zh) 2015-09-07 2016-09-06 空氣調和裝置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10837658B2 (zh)
JP (1) JP6231251B2 (zh)
KR (1) KR102070531B1 (zh)
CN (1) CN108139091B (zh)
TW (2) TWI619914B (zh)
WO (1) WO2017043436A1 (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10663189B2 (en) * 2016-11-19 2020-05-26 Harris Environmental Systems, Inc. Environmental room with reduced energy consumption
JP6831568B2 (ja) * 2017-04-25 2021-02-17 伸和コントロールズ株式会社 空気調和装置
CN110662924B (zh) * 2017-12-14 2021-10-08 周兆泰 半导体制冷制暖空调机
US10677489B2 (en) * 2017-12-21 2020-06-09 Rheem Manufacturing Company Intelligent bypass damper operation in an HVAC system with zones
US11519632B2 (en) * 2020-10-16 2022-12-06 Richard T. Burks, III Variable air flow / multiple zone HVAC air terminal system

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE26430E (en) * 1968-08-06 Beeler air conditioning system
US2260477A (en) * 1938-09-24 1941-10-28 Honeywell Regulator Co Air conditioning system
US2342689A (en) * 1940-10-04 1944-02-29 Robert H Henley System for cooling and humidifying air
US2504278A (en) * 1947-04-30 1950-04-18 Vapor Heating Corp Automatic humidity control system
US3406743A (en) * 1967-04-10 1968-10-22 Alvaro S. Gomez Temperature and humidity controls for a cigar vending machine
US3908752A (en) * 1973-08-16 1975-09-30 William R Padden Vertical blower coil unit for heating and cooling
US3958628A (en) * 1973-08-16 1976-05-25 Padden William R Vertical blower coil unit for heating and cooling
JPS532941Y2 (zh) * 1974-06-27 1978-01-25
US4043141A (en) * 1976-02-26 1977-08-23 A. C. Manufacturing Company Air conditioning method and apparatus with humidifier
US4494596A (en) * 1980-05-16 1985-01-22 Haden Schweitzer Corporation Method and apparatus for conditioning air temperature and humidity
JPS6063722U (ja) * 1983-10-11 1985-05-04 株式会社東芝 超音波加湿器
JPH0612465Y2 (ja) * 1988-07-12 1994-03-30 三菱電機株式会社 空気調和機
JPH0448137A (ja) * 1990-06-18 1992-02-18 Hisao Matsui エアーバイパス式温調空調機
JPH092053A (ja) * 1994-06-17 1997-01-07 Nippondenso Co Ltd 車両用加湿冷風機
JPH1089718A (ja) * 1996-09-17 1998-04-10 Hitachi Air Conditioning & Refrig Co Ltd 空気調和装置
JP2001041495A (ja) * 1999-08-03 2001-02-13 Komatsu Electronics Inc 恒温・恒湿空気供給装置
JP4047639B2 (ja) 2002-06-25 2008-02-13 伸和コントロールズ株式会社 産業用空調装置
JP2008151453A (ja) * 2006-12-19 2008-07-03 Max Co Ltd 加湿空調システム
KR101405618B1 (ko) * 2008-03-07 2014-06-10 엘지전자 주식회사 공기 조화 시스템
ES2573508T3 (es) * 2009-03-27 2016-06-08 Mitsubishi Electric Corporation Aparato de atomización electrostática, dispositivo, acondicionador de aire y refrigerador
JP5097852B1 (ja) 2011-11-18 2012-12-12 伸和コントロールズ株式会社 空気調和方法および空気調和装置
JP5516695B2 (ja) * 2012-10-31 2014-06-11 ダイキン工業株式会社 空気調和装置
JP5544580B1 (ja) * 2013-07-26 2014-07-09 株式会社 エコファクトリー 空気調和装置及び空気調和装置の運転方法
KR101573759B1 (ko) * 2014-04-18 2015-12-02 주식회사 경동나비엔 제습 냉방 장치
JPWO2017018160A1 (ja) * 2015-07-27 2018-04-26 シャープ株式会社 空調システムおよび二酸化炭素吸収ユニット

Also Published As

Publication number Publication date
CN108139091A (zh) 2018-06-08
TW201723393A (zh) 2017-07-01
JP6231251B2 (ja) 2017-11-15
TWI619914B (zh) 2018-04-01
CN108139091B (zh) 2020-03-24
KR20180054667A (ko) 2018-05-24
KR102070531B1 (ko) 2020-01-29
JPWO2017043436A1 (ja) 2017-09-14
US20180274802A1 (en) 2018-09-27
TWI619913B (zh) 2018-04-01
WO2017043436A1 (ja) 2017-03-16
US10837658B2 (en) 2020-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201727158A (zh) 空氣調和裝置
TWI658240B (zh) 加濕器和空氣調和裝置
TWI659184B (zh) Air conditioning system
KR101912065B1 (ko) 항온항습장치
US10866009B2 (en) Air conditioning system regulating temperature and humidity of air
TW201837383A (zh) 空氣調和裝置
US11105523B2 (en) Air conditioner
KR101753554B1 (ko) 공기 조화 장치
TWI658239B (zh) 空氣調和裝置
JPH10288355A (ja) 恒温恒湿空気供給装置
JP2008076026A (ja) 空調装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees