TW201637876A

TW201637876A - 剝離裝置

Info

Publication number: TW201637876A
Application number: TW105109522A
Authority: TW
Inventors: 上野美佳; 芝藤弥生; 柳田隆明; 正司和大
Original assignee: 思可林集團股份有限公司
Priority date: 2015-03-31
Filing date: 2016-03-25
Publication date: 2016-11-01
Also published as: CN106004000A; CN106004000B; KR101771838B1; TWI624377B; KR20160117174A; JP2016190698A; JP6450238B2

Abstract

本發明係關於一種使相互貼合之2片板狀體剝離之剝離裝置。於保持器件30之保持面310設置有開口部314，相對於開口部314配設有支持第1板狀體之支持構件。於軸向上隔開而設置有複數個限制剝離之推進之輥組件40。各個輥組件40所形成之抵接夾持部於軸向上相互隔開，抵接夾持部之剝離方向上之後端部之位置於剝離方向上相同，保持面310之開口部314設置於與於軸向上相鄰之2個抵接夾持部間之間隙部對應之位置。

Description

剝離裝置

本發明係關於一種使相互貼合之2片板狀體剝離之剝離裝置。

作為於玻璃基板或半導體基板等板狀體上形成特定之圖案或薄膜之技術，存在將擔載於另一板狀體上之圖案或薄膜(以下，稱為「圖案等」)轉印至基板上者。於該技術中，於使2片板狀體密接而將圖案等自一者轉印至另一者上之後，需要不使圖案等損壞地將2片板狀體剝離。

作為可為該目的而加以利用之技術，存在例如日本專利特開2014-189350號公報(專利文獻1)中所記載者。於該技術中，包含相互密接之第1板狀體及第2板狀體之密接體藉由第1板狀體吸附保持於載置台上而保持為水平姿勢。然後，排列於第2板狀體側之複數個剝離器件依序抵接於第2板狀體，一面保持第2板狀體，一面於離開第1板狀體之方向上移動，藉此，第1板狀體與第2板狀體之間之剝離於特定之剝離方向上推進。此時，輥狀之抵接構件一面抵接於第2板狀體之表面，一面於剝離方向上移動，藉此以剝離係以固定之速度推進之方式進行管理。

若板狀體之尺寸大型化，則於上述先前技術中要求進一步之改良。即，因大型之板狀體易於撓曲，故為一面使板狀體維持為水平狀態一面向裝置中進行搬入及搬出而需要特別之機構。又，伴隨板狀體之大型化，輥狀之抵接構件亦於軸向上變長，故而存在施加於板狀體之按壓力因輥之撓曲而變得不均勻之情況。此種按壓力之差異可能會成為被轉印物之損傷及剝離不良之原因。

如此，為對於大型之板狀體亦良好地執行剝離，需要應對板狀體及輥狀構件之撓曲。於該點上，上述先前技術中留有改良之餘地。

本發明係鑒於上述課題而完成者，其目的在於：提供一種於使相互貼合之2片板狀體剝離之剝離裝置中，對於大型之板狀體亦可良好地執行剝離之技術。

本發明之一態樣係於使主面彼此貼合之第1板狀體與第2板狀體剝離之剝離裝置中，為達成上述目的而具備：保持器件，其上表面為大致水平之保持面，且於上述保持面設置有開口部，使與上述第2板狀體為相反側之面向下而保持載置於上述保持面之上述第1板狀體；支持構件，其於上端部自上述開口部向較上述保持面靠上方突出之突出位置與上述上端部於上述開口部內退避至較上述保持面靠下方之退避位置之間移動，且於上述突出位置使上述第1板狀體離開上述保持面而自下方對其加以支持；剝離器件，其保持上述第2板狀體並使其於離開上述第1板狀體之方向上移動，使上述第2板狀體自藉由上述保持器件而保持之上述第1板狀體剝離；以及限制器件，其抵接於上述第2板狀體中與上述第1板狀體為相反側之面，限制藉由上述剝離器件而剝離上述第2板狀體之推進。

此處，上述限制器件具有：複數個輥構件，其等各自抵接於上述第2板狀體而於與上述第2板狀體之間形成抵接夾持部；支持部，其繞著沿平行於上述保持面之軸向之旋轉軸自由旋轉且個別地支持上述複數個輥構件之各者；以及移動機構，其使上述支持部於平行於上述保持面且與上述軸向正交之剝離方向上移動；且上述輥構件之各者所形成之上述抵接夾持部於上述軸向上相互隔開，上述抵接夾持部之上述剝離方向上之後端部之位置於上述剝離方向上彼此相同，上述開口部設置於與於上述軸向上相鄰之2個上述抵接夾持部間之間隙部對應之位置。

於以此方式構成之發明中，剝離器件使第2板狀體向自保持於保持器件之保持面之第1板狀體拉離之方向移動，藉此執行剝離。而且，輥構件與第2板狀體抵接而形成之抵接夾持部限制剝離之推進，藉由該抵接夾持部於剝離方向上移動，而管理剝離之推進。藉此，可使剝離良好地推進。

於用以限制剝離之推進之輥構件係單個之情形時，若第2板狀體之尺寸特別是輥之軸向上之長度變大，則易於發生軸向上之輥徑之變動或動作時之撓曲。故而，有抵接夾持部相對於第2板狀體之抵接壓於軸向上存在差異之虞。若如此地抵接壓存在差異，則會造成限制剝離之功能視軸向位置而有所不同，從而無法恰當地管理剝離之推進，可能會造成剝離不良。又，為以高加工精度製造長條之輥構件，需要更高之製造技術，會導致裝置成本之上升。

另一方面，於本發明中，於軸向上配置有複數個輥構件，且各輥構件相互獨立地得到支持。故而，使各個輥構件之軸向長度更短即可，可減小輥徑之變動或撓曲。藉此，可使抵接夾持部之抵接壓均勻而使剝離良好地推進。又，相較於製造長條輥之情形，亦可抑制製造成本。

又，於本發明中，於設置於保持器件之保持面之開口部，設置有支持構件。支持構件係於使第1板狀體離開保持面之狀態下進行支持。藉此，例如於將貼合後之第1板狀體與第2板狀體載置於保持面上時或將剝離後之第1板狀體自保持面搬出時，可抑制第1板狀體之撓曲而使自外部之進入較為容易。

於載置於保持面之第1板狀體中與保持面之開口部之周緣對應之部位，有如下之虞：若受到來自輥構件之按壓，則於該部位局部作用有較高之應力，而使第1板狀體損傷。又，有此種應力集中成為剝離不良之契機之虞。另一方面，於本發明中，於與藉由複數個輥構件而形成之複數個抵接夾持部間之間隙對應之位置設置有開口部。故而，於開口部之正上方，第1及第2板狀體不會受到來自輥構件之按壓。藉此，可防止因於開口部上之按壓而導致之板狀體之損傷及剝離不良。

如此，於本發明中，於軸向上配置之複數個輥構件抵接於第2板狀體而形成抵接夾持部。又，設置有支持構件，該支持構件自開口部突出而支持第1板狀體，該開口部設置於保持器件之保持面中碰到軸向上之抵接夾持部間之間隙之部位。故而，於本發明中，即便於第1及第2板狀體之尺寸為大型之情形時亦可良好地執行該等之剝離。

1‧‧‧剝離裝置

3‧‧‧載置台區塊

4‧‧‧輥單元(限制器件)

5‧‧‧上部吸附區塊

11‧‧‧主框架

30‧‧‧載置台(保持器件)

31‧‧‧水平台部

32‧‧‧楔形台部

33‧‧‧初始剝離單元

36‧‧‧提昇機構

40‧‧‧輥組件

41‧‧‧滑件

42‧‧‧滑件

43‧‧‧下部角鋼

44‧‧‧升降機構

45‧‧‧上部角鋼(基底構件、支持部)

46‧‧‧螺桿

50‧‧‧支持框架

51‧‧‧吸附單元(剝離器件，第1吸附單元)

52‧‧‧吸附單元(剝離器件，第2吸附單元)

53‧‧‧吸附單元(剝離器件，第3吸附單元)

54‧‧‧吸附單元(剝離器件，第4吸附單元)

70‧‧‧控制單元

74‧‧‧負壓供給部

310‧‧‧(水平台部31之)上表面(保持面)

311‧‧‧槽

312‧‧‧槽

313‧‧‧第1開口(開口部)

314‧‧‧第2開口(開口部)

320‧‧‧(楔形台部之)上表面

321‧‧‧水平面

322‧‧‧楔形面

331‧‧‧按壓構件

332‧‧‧支持臂

333‧‧‧導軌

334‧‧‧柱構件

335‧‧‧升降機構

336‧‧‧基底部

337‧‧‧位置調整機構

351‧‧‧導軌

352‧‧‧導軌

353‧‧‧馬達(移動機構)

354‧‧‧滾珠螺桿機構(移動機構)

361‧‧‧頂起銷(支持構件)

362‧‧‧外殼

363‧‧‧驅動部

365‧‧‧升降機構

401‧‧‧剝離輥(輥構件)

403‧‧‧墊片(間隔件)

402‧‧‧輥支持部(支持框架、支持部)

451‧‧‧貫通孔

452‧‧‧定位用基準面

461‧‧‧剝離輥

462‧‧‧剝離輥

463‧‧‧剝離輥

517‧‧‧吸附墊

521‧‧‧樑構件

522‧‧‧柱構件

523‧‧‧柱構件

524‧‧‧板構件

525‧‧‧升降機構

526‧‧‧墊支持構件

527‧‧‧吸附墊

537‧‧‧吸附墊

547‧‧‧吸附墊

701‧‧‧CPU

702‧‧‧馬達控制部

703‧‧‧閥控制部

704‧‧‧負壓控制部

705‧‧‧使用者介面部

AR‧‧‧有效區域

BL‧‧‧橡皮布(第1板狀體)

Dx‧‧‧(開口314之)直徑

E‧‧‧脊線部

G12‧‧‧間隙

G23‧‧‧間隙

N1‧‧‧抵接夾持部

N2‧‧‧抵接夾持部

N3‧‧‧抵接夾持部

N61‧‧‧抵接夾持部

N62‧‧‧抵接夾持部

N63‧‧‧抵接夾持部

R‧‧‧輥構件

R1‧‧‧區域

R2‧‧‧區域

R3‧‧‧區域

R4‧‧‧區域

R5‧‧‧區域

R6‧‧‧區域

SB‧‧‧基板(第2板狀體)

V3‧‧‧閥群

V5‧‧‧閥群

WK‧‧‧工件

+X‧‧‧方向

-X‧‧‧方向

+Y‧‧‧方向

-Y‧‧‧方向

+Z‧‧‧方向

-Z‧‧‧方向

圖1係表示本發明之剝離裝置之一實施形態之立體圖。

圖2係表示該剝離裝置之主要構成之立體圖。

圖3A、圖3B係表示輥單元之構造之圖。

圖4A、圖4B、圖4C係表示提昇機構之構成例之剖視圖。

圖5係表示該剝離裝置之電氣構成之方塊圖。

圖6A、圖6B、圖6C、圖6D係表示各部於剝離動作之過程中之動作之圖。

圖7係表示輥單元與工件之抵接狀態之圖。

圖8A、圖8B、圖8C係將剝離輥為單個之情形與複數個之情形加以比較之圖。

圖9A、圖9B係表示載置台上之開口部與剝離輥之位置關係之圖。

圖10係表示載置台與載置於載置台上之工件之位置關係之圖。

圖11係表示剝離裝置之變化例之圖。

圖12A、圖12B係表示輥徑不同之剝離輥之組合例之圖。

圖1係表示本發明之剝離裝置之一實施形態之立體圖。為統一地表示各圖中之方向，如圖1右下方所示設定XYZ正交座標軸。此處，XY平面表示水平面。又，Z軸表示鉛垂軸，更詳細而言，(-Z)方向表示朝向鉛垂下方之方向。

該剝離裝置1係用以使於主面彼此相互密接之狀態下搬入之2片板狀體剝離之裝置。例如可於在玻璃基板或半導體基板等基板之表面形成特定之圖案之圖案形成製程之一部分中使用。更具體而言，於該圖案形成製程中，於橡皮布表面，均勻地塗佈圖案形成材料(塗佈步驟)，上述橡皮布作為暫時擔載應對作為被轉印體之基板轉印之圖案之擔載體。然後，將已根據圖案形狀經過表面加工之版壓抵於橡皮布上之塗佈層，藉此使塗佈層圖案化(圖案化步驟)。使以此方式而形成有圖案之橡皮布密接於基板(轉印步驟)，藉此圖案最終被自橡皮布轉印至基板上。

此時，為使於圖案化步驟中得以密接之版與橡皮布之間、或於轉印步驟中得以密接之基板與橡皮布之間分離，可恰當地應用本裝置。當然，既可用於該等兩種用途，亦可用於除此以外之用途。例如於將擔載於擔載體上之薄膜轉印至基板上時之剝離製程中亦可應用本裝置。此外，於將直接或隔著薄膜等薄層而密接之2個板狀體剝離之全體製程中，均可應用本裝置。以下，將圖案及薄膜總稱為「圖案等」。

該剝離裝置1具有於安裝於殼體之主框架11上分別固定有載置台區塊3及上部吸附區塊5之構造。於圖1中，為表示裝置之內部構造而省略殼體之圖示。又，除該等各區塊以外，該剝離裝置1亦具備控制單元70(圖5)。

載置台區塊3具有載置台30，該載置台30用以載置使版與橡皮布、或基板與橡皮布密接而形成之密接體(以下，稱為「工件」)。載置台30具備：水平台部31，其上表面為大致水平之平面；以及楔形台部32，其上表面為相對於水平面具有數度(例如2度左右)之傾斜度之平面。於載置台30之楔形台部32側即(-Y)側之端部附近，設置有初始剝離單元33。又，以橫跨水平台部31之方式設置有輥單元4。

另一方面，上部吸附區塊5具備支持框架50，該支持框架50以自主框架11立設並且覆蓋載置台區塊3之上部之方式設置。於支持框架50上安裝有第1吸附單元51、第2吸附單元52、第3吸附單元53及第4吸附單元54。該等吸附單元51~54係於(+Y)方向上依序排列。再者，吸附單元之配設數量任意而並不限定於上述數量。

圖2係表示該剝離裝置之主要構成之立體圖。更具體而言，圖2表示剝離裝置1之各構成中之載置台30、輥單元4及第2吸附單元52之構造。載置台30具備：水平台部31，其上表面310為大致水平面；以及楔形台部32，其上表面320為相對於水平面傾斜數度之楔形面。水平台部31之上表面310具有較所載置之工件之平面尺寸略大之平面尺寸。

楔形台部32係密接於水平台部31之(-Y)側端部而設置，其上表面320具有水平面321及楔形面322。更具體而言，楔形台部32之上表面320中與水平台部31接觸之部分成為位於與水平台部31之上表面310相同高度(Z方向位置)之水平面321。另一方面，於較該水平面321靠(-Y)方向側，楔形台部32之上表面320成為具有伴隨自水平台部31向(-Y) 方向偏離而向下方即向(-Z)方向後退之下行坡度之楔形面322。因此，自載置台30整體而言，水平台部31之上表面310之水平面與楔形台部32之上表面320中之水平面321連續而成為一體之水平面，於該水平面之(-Y)側端部連接有楔形面322。水平面321與楔形面322連接之脊線部E形成為於X方向上延伸之直線狀。

於水平台部31之上表面310刻設有格子狀之槽。更具體而言，於水平台部31之上表面310之中央部設置有格子狀之槽311。又，以包圍形成有槽311之區域之方式，於水平台部31之上表面310周緣部設置有槽312。該等槽311、312經由控制閥而連接於下述負壓供給部74(圖5)，具有作為藉由被供給負壓而吸附保持載置於載置台30上之工件之吸附槽之功能。兩種槽311、312於載置台上不相連，且經由相互獨立之控制閥而連接於負壓供給部74。因此，除使用兩種槽進行強力吸附以外，亦可僅使用一種槽進行吸附。

如圖1所示，於載置台30之(-Y)側端部附近配置有初始剝離單元33。初始剝離單元33具有於楔形台部32之上方於X方向上延設之棒狀之按壓構件331，按壓構件331係受支持臂332支持。支持臂332經由於鉛垂方向上延設之導軌333而自由升降地安裝於柱構件334上。藉由升降機構335之作動，支持臂332相對於柱構件334而上下活動。柱構件334係受安裝於主框架11上之基底部336支持，但柱構件334之Y方向位置可藉由位置調整機構337而於基底部336上於特定之範圍內調整。

如下所述，於在載置台上表面310之特定位置載置有工件之狀態下，工件之(-Y)側端部向楔形台部32之上方突出。根據來自控制單元70之控制指令，支持臂332向下方移動，按壓構件331之下端抵接於工件而將該工件往下方按壓。此製造了剝離之契機。

以橫跨按照上述方式構成之載置台30之方式，設置有輥單元4。具體而言，沿水平台部31之X方向兩端部，於Y方向上延設有1對導軌 351、352，該等導軌351、352固定於主框架11。又，以相對於導軌351、352而自由滑動之方式安裝有輥單元4。

輥單元4具備分別自由滑動地與導軌351、352卡合之滑件41、42。以將該等滑件41、42相連之方式，設置有橫跨載置台30上部且於X方向上延設之下部角鋼43。於下部角鋼43經由升降機構44而自由升降地安裝有上部角鋼45。又，相對於上部角鋼45安裝有複數個、於該例中為3套輥組件40。

圖3A及圖3B係表示輥單元之構造之圖。更具體而言，圖3A係表示輥單元4之主要部分之構造之分解立體圖，圖3B係自X方向觀察輥單元4之主要部分之圖。各輥組件40分別具備將X方向設定為長度方向之圓柱狀之剝離輥401、及對剝離輥401繞著沿X方向之旋轉軸自由旋轉地予以支持之輥支持部402。

剝離輥401形成為利用由彈性材料例如橡膠製成之表面層覆蓋由例如鐵、不鏽鋼、鋁合金或黃銅等金屬材料所形成之帶芯棒之表面之構造，其表面具有彈性。輥支持部402將剝離輥401自由旋轉地軸支，剝離輥401繞著旋轉軸而自由旋轉。

各輥組件40藉由適當之固定構件例如螺桿46而固定於上部角鋼45。上部角鋼45係垂直於X方向之截面形狀為大致L字型且於X方向上延伸之構件。於上部角鋼45，設置有複數個具有將Y方向設定為長度方向之橢圓形截面之貫通孔451，於各貫通孔451分別插通有螺桿46。相對於1個輥組件40，與輥支持部402之X方向兩端部對應而設置有2個貫通孔451。

各輥組件40分別藉由2個螺桿46而固定於上部角鋼45。如圖3B所示，於上部角鋼45下部設置有被加工成鉛垂平面之定位用基準面452。藉由使輥支持部402之(+Y)側端面碰觸定位用基準面452，而使各輥組件40之位置對齊。貫通孔451為長孔，故而各輥組件40於上部角鋼45上之安裝位置可於Y方向及繞著Z軸而於特定範圍內調整。又，視需要而將另行準備之墊片(間隔件)403夾於上部角鋼45與輥支持部402之間，藉此調整輥組件40之Z方向位置。

各輥組件40為相同構造，藉由採用上述構造，可藉由調整作業而修正因加工尺寸之差異而引起之錯位。於將輥組件40組裝至上部角鋼45上時，使用該等位置調整功能，以各剝離輥401之旋轉軸相互一致之方式預先進行調整。

於該例中，3套輥組件40均具有相同之構造，且剝離輥401之尺寸即直徑及X方向長度相等。又，複數個剝離輥401之旋轉軸相互一致。然而，如下所述，亦可使用尺寸及旋轉軸互不相同之複數個剝離輥。

返回至圖2繼續進行說明。若上部角鋼45利用升降機構44而向下方即向(-Z)方向下降，則剝離輥401之下表面抵接於載置於載置台30上之工件之上表面。另一方面，於上部角鋼45利用升降機構44而就位於上方即(+Z)方向之位置之狀態下，形成為剝離輥401自工件之上表面向上方遠離之狀態。

輥單元4可利用安裝於主框架11上之馬達353而於Y方向上移動。更具體而言，下部角鋼43連結於作為將馬達353之旋轉運動轉換為直線運動之轉換機構之例如滾珠螺桿機構354。若馬達353旋轉，則下部角鋼43沿導軌351、352於Y方向上移動，藉此輥單元4於Y方向上移動。伴隨輥單元4之移動之剝離輥401之可動範圍於(-Y)方向上被設定為至水平台部31之(-Y)側端部附近為止，於(+Y)方向上被設定為至較水平台部31之(+Y)側端部靠外側即進而向(+Y)側行進所到達之位置為止。

其次對第2吸附單元52之構成進行說明。再者，第1至第4吸附單元51~54均具有相同之構造，此處，以第2吸附單元52之構造為代表而進行說明。第2吸附單元52具有於X方向上延設且固定於支持框架50之樑構件521。於樑構件521，於X方向上位置互不相同地安裝有朝向鉛垂下方即向(-Z)方向延伸之1對柱構件522、523。於柱構件522、523經由未圖示之導軌而自由升降地安裝有板構件524，板構件524係藉由包含馬達及轉換機構(例如滾珠螺桿機構)之升降機構525而升降驅動。

於板構件524之下部安裝有於X方向上延伸之方棒狀之墊支持構件526。於墊支持構件526之下表面沿X方向以相等間隔排列有複數個吸附墊527。於圖2中，表示使第2吸附單元52移動至較實際之位置靠上方之狀態，於利用升降機構525使板構件524向下方移動時，吸附墊527可下降至極近接於水平台部31之上表面310之位置。於在載置台30上載置有工件之狀態下，吸附墊527抵接於工件之上表面。對各吸附墊527賦予來自下述負壓供給部74之負壓，而吸附保持工件之上表面。

載置台30之水平台部31與楔形台部32係分開形成，可分離。楔形台部32可利用省略了圖示之水平移動機構而相對於水平台部31沿水平方向進行接近、遠離移動。藉由楔形台部32密接於水平台部31之側面，水平台部31與楔形台部32一體地作為載置台30發揮功能。

於水平台部31之上表面310，除上述吸附槽311、312以外，亦設置有形狀互不相同之開口313、314。更具體而言，於水平台部31之上表面310中吸附槽311與吸附槽312之間之平坦部分之複數個位置，分散配置有具有橢圓形狀之複數個第1開口313。又，於水平台部31之上表面310之中央部之相互遠離之4個位置，設置有大致圓形之第2開口314。第1開口313及第2開口314均於水平台部31之上表面310不與吸附槽311、312連接。為實現該構成，吸附槽311於第2開口314之周圍切斷開。於該等開口313、314之內部配設有提昇機構。

圖4A至圖4C係表示提昇機構之構成例之剖視圖。此處，以配設於第2開口314之提昇機構36為例對其構造進行說明。然而，藉由適當地變更頂起銷之形狀，可對配設於第1開口313之提昇機構亦應用相同之構造。提昇機構36具備頂起銷361、外殼362及驅動部363。頂起銷361插通於設置於水平台部31之第2開口314。外殼362安裝於水平台部31之底面，驅動部363設置於外殼362，使頂起銷361升降。作為驅動部363，可使用氣缸、螺線管、壓電致動器等各種致動器。

根據來自控制單元70之控制指令，驅動部363作動，藉此，頂起銷361於圖4A所示之退避位置與圖4B所示之突出位置之間升降移動。退避位置係如圖4A所示頂起銷361之上端退避至較載置台上表面310靠下方之位置。突出位置係如圖4B所示頂起銷361之上端向較載置台上表面310靠上部突出之位置。如圖4C所示，藉由使複數個頂起銷361就位於突出位置，可於使工件WK(下述)離開載置台上表面310之狀態下支持工件WK。若以複數個頂起銷361之上端位於相同高度之方式使頂起銷361就位，則可呈水平姿勢支持工件WK。為更確實地保持工件，各頂起銷361亦可具有吸附保持功能。

圖5係表示該剝離裝置之電氣構成之方塊圖。裝置各部係由控制單元70控制。控制單元70具備：CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)701，其負責裝置整體之動作；馬達控制部702，其對設置於各部之馬達類機構進行控制；閥控制部703，其對設置於各部之閥類機構進行控制；負壓控制部704，其對供給至各部之負壓進行控制；以及使用者介面(UI)部705，其具有受理來自使用者之操作輸入及將裝置之狀態報告給使用者之功能。

馬達控制部702對設置於載置台區塊3之馬達353及升降機構335、44、365、水平移動機構以及分別設置於上部吸附區塊5之各吸附單元51~54之升降機構525等馬達群進行驅動控制。再者，此處，作為各可動部之驅動源，代表性地記載有馬達，但並不限定於此，亦可根據其用途而將例如氣缸、螺線管、壓電元件等各種致動器作為驅動源使用。負壓控制部704對由負壓供給部74產生並視需要而供給至裝置各部之負壓之大小進行控制。再者，於可利用工廠公用電力等自外部供給之負壓之情形時，該剝離裝置亦可不具備負壓供給部。

閥控制部703對閥群V3、閥群V5等進行控制；該閥群V3設置於自負壓供給部74連接至設置於水平台部31之吸附槽311、312之配管路徑上，用以對該等吸附槽個別地供給特定之負壓；閥群V5設置於自負壓供給部74連接至各吸附單元51~54之吸附墊517等之配管路徑上，用以對各吸附墊517等供給特定之負壓。

其次，對以上述方式構成之剝離裝置1之動作進行說明。利用該剝離裝置1而執行之剝離動作與上述專利文獻1(日本專利特開2014-189350號公報)中所記載之剝離裝置之剝離動作基本相同。因此，省略有關該剝離裝置1之剝離動作之詳細說明，此處，簡單地對各部於剝離動作中之舉動進行說明。

圖6A至圖6D係表示各部於剝離動作之過程中之動作之圖。此處，橡皮布BL作為利用圖案形成材料而形成有預先特定之圖案等之圖案擔載體，基板SB作為供該圖案等轉印之被轉印體，橡皮布BL與基板SB經由圖案貼合而成者成為作為剝離對象物之工件WK。對將橡皮布BL及基板SB自該工件WK剝離之動作進行說明。CPU701執行特定之控制程序，且控制單元70控制裝置各部，藉此執行剝離動作。

首先，自外部向剝離裝置1搬入工件WK並將工件WK載置於載置台30之特定位置。此時，藉由使配設於開口313、314之頂起銷定位於向較載置台上表面310靠上方突出之突出位置，可容易地交接來自外部之搬送裝置之工件WK。頂起銷於接收至工件WK之後下降至退避位置，藉此工件WK被載置於載置台上表面310。

於工件WK剛被搬入之後之初始狀態下，藉由吸附槽311、312中之一者或兩者而吸附保持工件WK。初始剝離單元33之按壓構件331、輥單元4之剝離輥401、第1至第4吸附單元51~54之吸附墊517~547均遠離工件WK。各吸附單元51~54係以不會對於Y方向上移行之輥單元4造成干涉之方式，隔開充足之間隙而配置於吸附墊517~547與基板SB之間。又剝離輥401位於較第1吸附單元51之吸附墊517略靠(+Y)側之位置，且處於自工件WK遠離之狀態。自該狀態執行剝離動作。

於剝離動作中，首先第1吸附單元51下降，吸附墊517抵接於基板SB之(-Y)側端部上表面並利用負壓而吸附保持基板SB。又，剝離輥401下降並抵接於基板SB之上表面。自該狀態，如圖6A所示，按壓構件331下降而往下按壓橡皮布BL之端部。橡皮布BL之端部向楔形台部32之上方突出，且於其下表面與楔形載置台32之上表面320之間存在間隙。因此，藉由按壓構件331向下方按壓橡皮布BL之端部，橡皮布BL之端部沿楔形台部32之楔形面向下方彎曲。其結果，利用第1吸附單元51而吸附保持之基板SB之端部與橡皮布BL之間分離而開始剝離。

繼而，如圖6B所示，第1吸附單元51開始上升，並且剝離輥401一面抵接於基板SB表面而轉動，一面向(+Y)方向移動。藉此，基板SB與橡皮布BL之剝離朝著(+Y)方向推進。由於已使剝離輥401抵接，故剝離不會超出剝離輥401抵接於基板SB之區域而推進。藉由使剝離輥401一面抵接於基板SB、一面以固定速度向(+Y)方向移動，可使剝離之推進速度維持固定。

對於剝離輥401藉由之後之基板SB，吸附單元52、53、54依序下降，抵接於自橡皮布BL剝離之後之基板SB並保持該基板SB。具體而言，如圖6C所示，一旦剝離輥401藉由第2吸附單元52之正下方位置，該第2吸附單元52就開始下降而朝著基板SB推進。若吸附墊527 抵接於基板SB上表面，則利用自負壓供給部74供給之負壓，第2吸附單元52開始吸附保持基板SB。

第2吸附單元52一旦開始吸附保持基板SB便轉而上升。於此以後，基板SB就由第1吸附單元51及第2吸附單元52保持。藉此，正於自橡皮布BL進行剝離之基板SB更確實地得至保持，可防止基板SB向下撓曲而與橡皮布BL再接觸、或自吸附墊517脫落等問題。又，若將基板SB與橡皮布BL已經剝離之剝離區域和尚未剝離之未剝離區域之交界線稱為「剝離交界線」，則藉由恰當地保持剝離交界線附近之基板SB與橡皮布BL之角度，亦可獲得使剝離良好地推進之效果。

其他吸附單元53、54亦同樣地，一旦剝離輥401藉由該吸附單元之下方，該吸附單元就開始下降，於吸附墊抵接於基板SB之時間點開始吸附保持並上升，藉此將基板SB向上方提拉。各吸附單元於上升至距離載置台30特定之高度之時間點停止。

剝離推進方向之最下游側即最靠(+Y)側之吸附單元54保持基板SB並上升至特定位置，藉此，如圖6D所示，基板SB與橡皮布BL完全分離，從而完成剝離。剝離輥401及按壓構件331退避至與基板SB、橡皮布BL均分離之位置，藉此可搬出已相互分離之基板SB與橡皮布BL。此時頂起銷再次就位於突出位置，藉此殘留於載置台30上之橡皮布BL以離開載置台上表面310之狀態得至支持。藉此，易於實施橡皮布BL向外部之搬送裝置之交接。以此方式搬出基板SB及橡皮布BL，完成剝離動作。

圖7係表示輥單元與工件之抵接狀態之圖。若於在載置台30上載置有工件WK之狀態下輥單元4下降，則3個剝離輥401分別抵接於基板SB之上表面而形成抵接夾持部。如圖7所示，自(-X)側往(+X)側依序給形成於3個剝離輥401與基板SB上表面之間之3個抵接夾持部標上符號N1、N2、N3。各抵接夾持部N1、N2、N3於X方向上相互隔開。即，X方向上之抵接夾持部N1、N2間之間隙G12、抵接夾持部N2、N3間之間隙G23均大於0。

又，於Y方向上，如圖中虛線所示，於X方向上延伸之抵接夾持部N1~N3之(-Y)側端部之位置相同。伴隨輥單元4之移動，抵接夾持部N1~N3向(+Y)方向移動，抵接夾持部N1~N3之(-Y)側端部相當於該移動方向上之後端部。基板SB自橡皮布BL之剝離係朝著(+Y)方向而推進，故而抵接夾持部N1~N3之(-Y)側端部亦可稱為剝離推進方向上之後端部。

於較抵接夾持部N1~N3之後端部靠剝離推進方向上之上游側即(-Y)側，藉由利用吸附單元51等而實施之提拉，形成為基板SB已被剝離而離開橡皮布BL之狀態。另一方面，於較抵接夾持部N1~N3之後端部靠下游側即(+Y)側，藉由剝離輥401而對剝離之推進加以限制，形成為基板SB與橡皮布BL依然密接之狀態。因此，抵接夾持部N1~N3之後端部碰到已剝離之區域與未剝離之區域之交界。

3個抵接夾持部N1~N3之後端部之Y方向位置相同，一面保持該關係，一面使抵接夾持部N1~N3向(+Y)方向移動。藉此，已剝離區域與未剝離區域之間之剝離交界線始終呈於X方向上延伸之一條直線之狀態向(+Y)方向推進。藉此，可減小因剝離之推進速度局部變動而引起之應力集中之影響，從而使剝離良好地推進。為防止剝離交界線之紊亂，較佳為於構造上可行之範圍內縮窄抵接夾持部間之間隙G12、G23。藉由本申請之發明者之實驗而確認至：例如於基板SB係如玻璃基板般剛性相對較高之基板之情形時，即便剝離輥間之間隙設定為10毫米左右，剝離品質亦無問題。

自形成一條直線狀之剝離交界線之觀點而言，理想為藉由單個輥構件自基板SB之(-X)側端部至(+X)側端部進行按壓。然而，自實現基板尺寸之大型化方面而言，該設定未必容易。

圖8A至圖8C係將剝離輥為單個之情形與複數個之情形加以比較之圖。於將剝離輥設定為單個構件之情形時，如圖8A所示，輥構件R之長度必須至少較X方向上之基板SB之長度長。近年來，亦存在輥構件R之長度為1米以上之情形，以此種長度很難尺寸精度較佳地製造具有充足強度之輥構件。雖然亦可考慮擴大輥徑，但如此無法於抵接夾持部附近使吸附墊517等抵接於基板SB，故而有剝離之品質發生問題之虞。又，伴隨輥質量之增加，需要使周圍構件高剛性化、大型化，故而亦會造成製造成本增大。

又，有時如圖8B所示，於長條之輥構件R按壓至基板SB時，輥構件R撓曲，即便於靠近軸承之端部附近對基板SB作用有充足之按壓力，亦不會特別於中央部分施加有充足之按壓力。此種不均勻之按壓可能會成為剝離不良之原因。雖然亦可藉由使支承輥抵接於輥構件R而抑制撓曲，但尤其是於輥表面包含彈性材料之情形時，有因表面層之彈性變形而無法充分地獲得支承之效果之情況。

鑒於此種問題，於該實施形態之輥單元4中，如圖8C所示，將剝離輥401於X方向上分割為複數個，於使該等之位置對齊之後使該等一體地移動。藉由如此設定，既獲得了與單個輥構件相同之剝離限制效果，又實現了上述單個輥之問題點之解決。即，藉由縮短各剝離輥401之X方向長度，可形成抑制尺寸之差異又不易產生撓曲之構造。

又，即便各個剝離輥401較短，於藉由單個支軸而支持該等之構造中，有時依然會因支軸之撓曲而導致按壓力之不均勻。於該實施形態中，各剝離輥401分別獨立地支持於輥支持部402。藉此，可抑制各剝離輥401之兩端位置之變動，從而使對基板SB之按壓力更均勻。

進而，藉由分割剝離輥，有可避開設置於載置台之開口部而按壓基板SB之效果。即，於該實施形態中，如圖8C所示，剝離輥401之尺寸與開口314之位置之關係係以相鄰之2個剝離輥間之間隙部位於設置於載置台上表面310之開口314上方之方式設定。

若工件WK大型化，則難以於將工件WK搬入至載置台30及自載置台30搬出工件WK時使工件WK維持為水平姿勢。於該實施形態中，使頂起銷自分散配置於載置台上表面310之開口313、314突出而自下方支持工件WK。藉由如此設定，而抑制工件WK之撓曲以保持水平姿勢。然而，於剝離輥所造成之按壓之點上，載置台較佳為儘可能平坦且無開口。

圖9A及圖9B係表示載置台上之開口部與剝離輥之位置關係之圖。如圖9A所示，於剝離輥係單個輥構件R之情形時，或者雖然剝離輥被分割為複數個但有1個輥構件R配置於開口314之上部時，由輥構件R按壓之工件WK(基板SB及橡皮布BL)於開口314之位置被按入至開口314之內部。此時，尤其是於相當於開口314之周緣部之位置，於基板SB及橡皮布BL發生應力集中，因此有基板SB或橡皮布BL受到損傷之虞。又，當於基板SB與橡皮布BL之間擔載有圖案等時，有於該位置導致圖案等之斷裂之虞。

於該實施形態中，如圖9B所示，2個剝離輥401間之間隙部位於水平台部31之開口314之上方。又，剝離輥401間之間隔G12(或G23)大於開口314之直徑(更嚴格而言為X方向上之開口寬度)Dx。故而，避免了於開口314或其周緣部之上方工件WK被剝離輥401按壓，從而不會發生如上所述之應力集中。

如上文所述，自剝離之品質之觀點而言，理想為載置台上之開口及剝離輥間之間隙儘可能小。因此，較佳為於可確保足以支持工件之強度之範圍內，儘可能使頂起銷細化，且縮小開口。又，較佳為使剝離輥間之間隙亦儘可能小。

圖10係表示載置台與工件之位置關係之圖。於基板SB與橡皮布BL密接而形成之工件WK中，橡皮布BL具有大於基板SB之平面尺寸。故而，基板SB之整面與橡皮布BL對向。與此相對地，橡皮布BL之中央部分與基板SB對向，但周緣部成為不與基板SB對向之餘白部分。於基板SB之表面區域中除周緣部以外之中央部分，設定供圖案等有效地轉印、作為器件而發揮功能之有效區域AR。

工件WK係以基板SB之有效區域AR之整體位於水平台部31之上表面310之方式載置於載置台30上。另一方面，於較有效區域AR靠外側，基板SB之(-Y)側端部就位於向較載置台30之水平面與楔形面之交界之脊線部E略靠(-Y)側突出之位置。

於圖中，標有點之區域R1表示藉由吸附槽311而吸附橡皮布BL之區域。藉由吸附槽311而吸附之區域R1覆蓋有效區域AR整體。又，區域R2表示藉由吸附槽312而吸附橡皮布BL之區域。吸附槽312於較有效區域AR靠外側吸附橡皮布BL。因此，例如於僅藉由吸附槽312而吸附橡皮布BL之態樣中，避免了有效區域AR內之圖案等受到吸附之影響。

區域R3表示於剝離開始時初始剝離單元33之按壓構件331抵接於基板SB之區域。於該區域R3，橡皮布BL藉由按壓構件331而被往下方即(-Z)方向按壓。藉此，於基板SB與橡皮布BL之間開始剝離。

區域R4表示基板SB上表面中藉由吸附單元51之吸附墊517而被吸附之區域。基板SB於該區域R4由吸附單元51吸附保持，且被往上方即(+Z)方向提拉，藉此基板SB離開橡皮布BL而使剝離推進。

區域R5表示載置台上之開口314之開口位置。開口314為以頂起銷361支持工件WK之中央部，而設置於基板SB之有效區域AR中。故而，存在若於開口314之上方工件WK受到剝離輥401之按壓，則圖案損傷之情形。於該實施形態中，與開口314對應之區域R5設定於間隙部分，該間隙部分係於形成於3個剝離輥401與基板SB之間之抵接夾持部N1、N2、N3之間於X方向產生。換言之，於基板SB之有效區域 AR中與3個剝離輥401均不抵接之部分之下方，設置開口314。

於該例中，於X方向及Y方向上位置不同地各設置有2個共計4個與開口314對應之區域R5。於X方向上位置不同之2個區域R5分散配置於抵接夾持部N1、N2之間之間隙部分及抵接夾持部N2、N3之間之間隙部分。又，於Y方向上位置不同之2個區域R5於X方向上處於相同位置，且均位於與抵接夾持部之間隙部分碰觸之位置。藉由形成此種配置，而避免4個區域R5全部受到剝離輥401之按壓。藉此，可防止於開口314處之圖案斷裂等。

另一方面，自使剝離良好地推進之觀點而言，理想為自基板SB之(-X)側端部至(+X)側端部儘可能連續地形成抵接夾持部。因此，於X方向上之開口314之位置，僅設置用以避開開口314之最小限度之間隙，而對於除此以外之區域則形成連續之抵接夾持部。即，於考慮具有與開口314之X方向長度大致相同之寬度、包含開口314之位置而於Y方向上延伸之虛擬之帶狀區域時，較佳為剝離輥401逐一抵接於藉由帶狀區域劃分基板SB上表面而形成之部分區域之各者。各剝離輥401之X方向長度更佳為儘可能接近對應之部分區域之寬度。

如圖10所示，於該例中，基板SB上表面中包含與開口314對應之區域R5之細帶狀區域以外之區域使藉由3個剝離輥401而形成之抵接夾持部N1~N3中之任一者通過，並受到剝離輥401之按壓。藉由於1個帶狀區域設置複數個開口314，可於不增加基板SB中不受剝離輥401按壓之區域之面積之條件下，增加頂起銷之配設數量。

又，區域R6表示配設於載置台上之開口313之頂起銷所抵接之橡皮布BL之下表面區域。該頂起銷於工件WK中基板SB與橡皮布BL重合之區域且較有效區域AR靠外側之區域，抵接於橡皮布BL之下表面。藉此，可防止於藉由該頂起銷進行支持時，對有效區域AR內之圖案等施加按壓力。又，利用基板SB之剛性與橡皮布BL之剛性支持工件WK，故而即便為大型且自重較大之工件WK亦可確實地加以支持。

如此，於該實施形態中，自既避免於開口314處之按壓又於基板SB之儘可能大之範圍內藉由剝離輥401進行按壓而使剝離良好推進之觀點、及配設複數個頂起銷361而保持工件WK之水平姿勢之觀點，以兼顧該等之方式，確定各部之配置及尺寸。

如上所述，於該實施形態中，橡皮布BL與基板SB貼合而形成之工件WK藉由載置台30而吸附保持橡皮布BL。而且，為使該等相互剝離，吸附單元51等一面保持基板SB，一面向上方即離開橡皮布BL之方向移動。此時，剝離輥401抵接於基板SB，並連動於吸附單元51等之移動，向剝離方向即(+Y)方向移動，藉此限制剝離之推進。

剝離輥401於正交於剝離方向之X方向上排列有複數個，且該等一體地於剝離方向上移動。藉此，一面使已剝離區域與未剝離區域之交界之剝離交界線維持直線狀一面沿剝離方向推進剝離。藉由如此構成，可抑制因剝離之推進速度局部變動而引起之剝離不良。於將剝離輥設定為單個輥構件之情形時，存在因輥之撓曲而導致按壓力不均勻之問題、或輥之製造成本增大之問題。藉由分割為複數個剝離輥401，可避免此種問題。

又，為於載置台30附近呈水平姿勢保持工件WK，於該實施形態中，頂起銷361自載置台上表面310突出而自下表面支持工件WK。為配設頂起銷361，於載置台上表面310設置有開口314。該開口314設置於載置台上表面310中與藉由複數個剝離輥401而形成之抵接夾持部N1~N3間之間隙部分對應之位置。從而，不會於開口314之上方藉由剝離輥401而按壓工件WK。其結果，防止於開口314之位置工件WK上發生應力集中而引起剝離不良。

如以上所說明般，於該實施形態中，橡皮布BL及基板SB分別相當於本發明之「第1板狀體」及「第2板狀體」。又，於上述實施形態中，載置台30作為本發明之「保持器件」而發揮功能，水平台部31之上表面310相當於本發明之「保持面」。又，第2開口314相當於本發明之「開口部」。又，於上述實施形態中，頂起銷361作為本發明之「支持構件」而發揮功能，吸附單元51~54分別作為本發明之「剝離器件」而發揮功能。

又，輥單元4作為本發明之「限制器件」而發揮功能，剝離輥401作為本發明之「輥構件」而發揮功能。又，輥支持部402及上部角鋼45分別作為本發明之「支持框架」及「基底構件」而發揮功能，該等構件一體地作為本發明之「支持部」而發揮功能。又，馬達353及滾珠螺桿機構354成為一體作為本發明之「移動機構」而發揮功能。

再者，本發明並不限定於上述實施形態，只要不脫離其主旨，便可除上述以外進行各種變更。例如，上述實施形態之剝離裝置1具備4組吸附單元51~54作為本發明之「剝離器件」，但剝離器件之配設數量任意，例如亦可如下文般只有1個。

圖11係表示剝離裝置之變化例之主要部分之圖。於該變化例中，自上述實施形態之剝離裝置1中省去第2~第4吸附單元52~54，而僅設置有1個吸附單元51作為「剝離器件」。除該點以外之各部之構成與上述實施形態相同，省略詳細之說明。於該變化例中，吸附單元51保持形成工件WK之基板SB之(-Y)側端部，連動於吸附單元51之上升，剝離輥4(01向(+Y)方向移動，藉此推進剝離。以此方式，於只有1個剝離器件之構成中，亦可應用上述載置台30及輥單元4，而獲得與上述實施形態相同之效果。

又，於上述實施形態中，3組輥組件40具有相同構造，3個剝離輥401具有相同尺寸。然而，複數個剝離輥亦可長度不同，又，亦可如下文所例示般，剝離輥之直徑不同。

圖12A及圖12B係表示輥徑不同之剝離輥之組合例之圖。於圖12A所示之例中，自(-X)側往(+X)側排列有3個剝離輥461、462、463。其中中央之剝離輥462之直徑較其他剝離輥461、463大，且軸向(X方向)長度較其他剝離輥461、463短。藉由使中央之剝離輥462之旋轉軸(二點鏈線所示)之位置與其他剝離輥461、463之旋轉軸(單點鏈線所示)之位置於Z方向上不同，可使剝離輥461、462、463均抵接於基板。

如圖12B所示，剝離輥461、462、463分別與基板SB抵接而形成之抵接夾持部N61、N62、N63需要使作為剝離方向之(+Y)方向上之後端部即該抵接夾持部之(-Y)側端部之Y方向位置如虛線所示相互對齊。如上文所述，抵接夾持部之後端部係已剝離區域與未剝離區域之交界，若於複數個剝離輥所形成之抵接夾持部中後端部之位置對齊則即可使剝離交界線成為X方向之一條直線。抵接夾持部之前端部處於未剝離區域，無需於抵接夾持部間使其位置對齊。藉由使中央之剝離輥462之旋轉軸之位置與其他剝離輥461、463之旋轉軸之位置於Y方向上不同，可實現此種位置關係。

如此地，複數個剝離輥只要所形成之抵接夾持部之位置於軸向上分散，且剝離方向上之抵接夾持部後端部之位置對齊即可，而無需具有相同之形狀。於如上述實施形態般將所有輥構件設定為相同形狀之情形時，相較於製造不同形狀之輥構件之情形，可實現製造成本之降低。另一方面，於需要使抵接夾持部之大小不同時，只要對各剝離輥之尺寸或位置加以調整，而使抵接夾持部成為上述位置關係即可。

又，於上述實施形態中，3組輥組件40全部可調整相對於上部角鋼45之位置。然而，亦可預先確定好複數個剝離輥中1個剝離輥之位置。其理由在於：藉由將該剝離輥之位置作為基準而進行其他剝離輥之位置調整，可獲得與上述相同之位置關係。

又，上述實施形態具備3個剝離輥401，但剝離輥之個數並不限定於此。關於頂起銷之根數亦相同。

以上，如例示具體之實施形態而說明般，於本發明中，亦能以複數個輥構件之直徑相同，且各自之旋轉軸一致之方式配置。藉由使複數個輥構件之直徑相同，可實現構件之製造成本之降低。於輥構件之直徑相同之情形時，藉由使各自之旋轉軸一致，可使抵接夾持部之位置對齊，又可使於各抵接夾持部間之抵接壓一致。

又，支持部亦可具有個別地支持各個輥構件之複數個支持框架、及一體地保持複數個支持框架之基底構件。藉由針對每個輥構件而個別地設置支持框架，可容易地實施支持部之組裝及調整之作業。又，藉由將支持框架安裝於共用之基底構件上，可於維持抵接夾持部間之相對位置關係之狀態下，伴隨基底構件之移動而使各抵接夾持部移動。

於該情形時，至少1個支持框架較佳為可調整相對於基底構件之安裝位置。藉由如此構成，可進行利用複數個輥構件而形成之複數個抵接夾持部間之位置對準，從而可更適當地進行藉由輥構件而實施之剝離之推進管理。

又，各個支持框架亦可旋轉自由地支持一輥構件之軸向上之兩端部。於此種構成中，各輥構件之兩端位置穩定，故而可縮小於抵接夾持部之抵接壓之差異。

又，剝離器件亦可為於剝離方向上於較輥構件靠上游側保持第2板狀體之器件。於一面抵接於第2板狀體一面於剝離方向上移動之輥構件之上游側，藉由剝離器件而使第2板狀體離開第1板狀體，藉此可使第1板狀體與第2板狀體之剝離沿剝離方向單向地推進。於該情形時，剝離器件尤其亦能以保持第2板狀體之剝離方向上之上游側端部而使該第2板狀體離開第1板狀體之方式構成。

又，亦能以如下方式構成：於保持器件之保持面，設置有於軸向上位置不同之複數個開口部，且相對於第2板狀體之與第1板狀體為相反側之主面中藉由虛擬地使開口部於剝離方向上延長所成之帶狀區域而劃分之複數個部分區域之各者，輥構件逐一抵接。藉由於軸向上位置不同地設置複數個開口部而配設支持構件，可更穩定地支持第1板狀體。於該情形時，只要於軸向上於2個開口部之間配置1個輥構件，即可於開口部間之區域形成無間隙地連續之抵接夾持部。

又，於保持面，亦可設置有於軸向上位置相同且於剝離方向上位置不同之複數個開口部。藉由於剝離方向上位置不同地設置複數個開口部，可更穩定地支持第1板狀體。於該情形時，若複數個開口部之軸向位置相同，則可使用以避開該等開口部之抵接夾持部間之軸向間隙位置相同。

又，本發明對於各輥構件之表面包含彈性材料之情形尤其合適。於表面具有彈性層之輥構件中，若形成為長條狀，則特別難以形成抵接壓均勻之抵接夾持部。藉由應用本發明而設置複數個輥構件，可形成抵接壓均勻之抵接夾持部而使剝離良好地推進。

[產業上之可利用性]

本發明可較佳地應用於使相互貼合之2片板狀體剝離之剝離處理，特別地，亦可應付板狀體之尺寸之大型化。

4‧‧‧輥單元

30‧‧‧載置台(保持器件)

31‧‧‧水平台部

32‧‧‧楔形台部

40‧‧‧輥組件

41、42‧‧‧滑件

43‧‧‧下部角鋼

44‧‧‧升降機構

45‧‧‧上部角鋼

52‧‧‧第2吸附單元

310‧‧‧(水平台部之)上表面(保持面)

311、312‧‧‧槽

313、314‧‧‧開口(開口部)

320‧‧‧(楔形台部之)上表面

321‧‧‧水平面

322‧‧‧楔形面

351、352‧‧‧導軌

353‧‧‧馬達

354‧‧‧滾珠螺桿機構